WO2016204025A1 - ガス供給対象装置、ガス供給システム、及び、ガス供給システムの制御方法 - Google Patents

ガス供給対象装置、ガス供給システム、及び、ガス供給システムの制御方法 Download PDF

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WO2016204025A1
WO2016204025A1 PCT/JP2016/066911 JP2016066911W WO2016204025A1 WO 2016204025 A1 WO2016204025 A1 WO 2016204025A1 JP 2016066911 W JP2016066911 W JP 2016066911W WO 2016204025 A1 WO2016204025 A1 WO 2016204025A1
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WO
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gas
gas supply
chamber
target device
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Application number
PCT/JP2016/066911
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English (en)
French (fr)
Inventor
山田 貴之
竹内 晴紀
Original Assignee
シンフォニアテクノロジー株式会社
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Publication date
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C10PETROLEUM, GAS OR COKE INDUSTRIES; TECHNICAL GASES CONTAINING CARBON MONOXIDE; FUELS; LUBRICANTS; PEAT
    • C10LFUELS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; NATURAL GAS; SYNTHETIC NATURAL GAS OBTAINED BY PROCESSES NOT COVERED BY SUBCLASSES C10G, C10K; LIQUEFIED PETROLEUM GAS; ADDING MATERIALS TO FUELS OR FIRES TO REDUCE SMOKE OR UNDESIRABLE DEPOSITS OR TO FACILITATE SOOT REMOVAL; FIRELIGHTERS
    • C10L3/00Gaseous fuels; Natural gas; Synthetic natural gas obtained by processes not covered by subclass C10G, C10K; Liquefied petroleum gas
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61LMETHODS OR APPARATUS FOR STERILISING MATERIALS OR OBJECTS IN GENERAL; DISINFECTION, STERILISATION OR DEODORISATION OF AIR; CHEMICAL ASPECTS OF BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES; MATERIALS FOR BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES
    • A61L2/00Methods or apparatus for disinfecting or sterilising materials or objects other than foodstuffs or contact lenses; Accessories therefor
    • A61L2/16Methods or apparatus for disinfecting or sterilising materials or objects other than foodstuffs or contact lenses; Accessories therefor using chemical substances
    • A61L2/20Gaseous substances, e.g. vapours
    • A61L2/208Hydrogen peroxide
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
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    • A61L2/24Apparatus using programmed or automatic operation
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J4/00Feed or outlet devices; Feed or outlet control devices
    • AHUMAN NECESSITIES
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    • A61L2202/00Aspects relating to methods or apparatus for disinfecting or sterilising materials or objects
    • A61L2202/10Apparatus features
    • A61L2202/11Apparatus for generating biocidal substances, e.g. vaporisers, UV lamps
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61LMETHODS OR APPARATUS FOR STERILISING MATERIALS OR OBJECTS IN GENERAL; DISINFECTION, STERILISATION OR DEODORISATION OF AIR; CHEMICAL ASPECTS OF BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES; MATERIALS FOR BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES
    • A61L2202/00Aspects relating to methods or apparatus for disinfecting or sterilising materials or objects
    • A61L2202/10Apparatus features
    • A61L2202/14Means for controlling sterilisation processes, data processing, presentation and storage means, e.g. sensors, controllers, programs

Definitions

  • the present invention relates to a gas supply target device including a chamber to which a gas such as nitrogen gas or hydrogen peroxide gas is supplied, a gas supply system including a gas supply target device and a gas generation device, and control of the gas supply system Regarding the method.
  • a process of processing a substrate such as a semiconductor wafer or a liquid crystal display panel
  • the substrate is accommodated in a chamber of a gas supply target device
  • an inert gas such as nitrogen gas is supplied to the chamber, and the chamber (and the chamber is accommodated).
  • a technique for removing contaminants from a substrate is known (see Patent Document 1).
  • a gas having a sterilizing action such as hydrogen peroxide gas is supplied to the chamber of the gas supply target device, and the chamber (and the chamber is covered).
  • a technique for sterilizing an object to be sterilized when a sterilized material is contained (see Patent Document 2).
  • the object of the present invention is to grasp the gas supply status to the chamber even when restarting after the supply of power to the gas supply target device is interrupted, and to perform processing according to the status.
  • a gas supply target apparatus, a gas supply system, and a control method for the gas supply system are provided.
  • a gas supply target device including a chamber to which a gas is supplied, and can selectively take a plurality of states indicating the supply status of the gas to the chamber, and the gas supply
  • the apparatus further comprises holding means capable of holding any of the plurality of states at the time when the supply of power is interrupted.
  • a gas supply target device is provided.
  • the apparatus includes: a gas supply target device having a chamber to which a gas is supplied; and a gas generator having a gas generator that generates a gas, wherein the gas generated by the gas generator is A gas supply system configured to supply to a chamber, wherein the gas supply target device can selectively take a plurality of states indicating the supply status of the gas to the chamber and to the gas supply target device When the supply of power is cut off, the holding means is further capable of holding any of the plurality of states at the time when the supply of power is cut off, and the holding means is in the plurality of states.
  • a gas supply system further comprising: a determination unit that determines which one of the two is present; and a processing unit that performs a process according to the determination of the determination unit.
  • the apparatus includes: a gas supply target device having a chamber to which a gas is supplied; and a gas generator having a gas generator that generates gas, wherein the gas generated by the gas generator is
  • the gas supply system further comprising holding means capable of holding any of the plurality of states when the supply of power is cut off when the supply of power to the supply target device is cut off.
  • a determination step for determining which of the plurality of states the holding means is in the determination means, and the determination means by the processing means of the gas supply system.
  • the control method of the gas supply system is provided.
  • the state of the holding means is determined and the supply status of the gas to the chamber is grasped. , Processing according to the situation can be performed.
  • the holding means may be configured to have the plurality of states by an external device regardless of whether power is supplied to the gas supply target device or when power supply is interrupted. You may be comprised so that it can be judged in which. According to this configuration, in both cases where power is supplied to the gas supply target device and when power supply is interrupted, the external device changes the state of the holding means included in the gas supply target device. It is possible to determine, grasp the gas supply status to the chamber of the gas supply target device, and perform processing according to the status.
  • the holding means may be configured to be set to any one of the plurality of states by an external device when power is supplied to the gas supply target device. According to the said structure, management of the gas supply object apparatus by an external apparatus can be performed more appropriately.
  • the holding means may include a latching relay. According to this configuration, by electrically determining the state of the latching relay, it is possible to accurately grasp the state of gas supply to the chamber and perform processing according to the state.
  • the gas may have a sterilizing action.
  • the “sterilization action” refers to an action for realizing a state in which all microorganisms (mainly bacteria) having proliferative properties are completely killed or removed.
  • a gas having a sterilizing effect may be harmful to the human body, depending on the concentration. Therefore, according to the said structure, the profit by this invention is large from the point which ensures an operator's safety.
  • the gas supply system includes a plurality of the gas supply target devices, and one gas supply in which the gas generated by the gas generator is sequentially selected from the plurality of gas supply target devices. It may be configured to supply the chamber of the target device. According to the said structure, when supplying gas sequentially with respect to the chamber of several gas supply object apparatus, the supply condition of each gas supply object apparatus can be grasped
  • the holding unit may selectively take three or more states. According to this configuration, it is possible to selectively take not only two holding means but three or more states, so that the gas supply status to the chamber can be grasped in more detail, and detailed management of the gas supply target device can be performed. Can be realized.
  • the holding unit may include a plurality of elements whose states can be switched.
  • the state of the holding means is determined, the supply status of the gas to the chamber is grasped, and the response is determined accordingly. Can be processed.
  • FIG. It is a schematic structure figure showing a gas supply system concerning one embodiment of the present invention. It is a block diagram which shows the electric constitution of the gas supply system which concerns on one Embodiment of this invention.
  • the gas supply condition (before gas supply start, during gas supply, after gas supply completion) and the state of the holding means (state A, state B, state C) in one embodiment of the present invention are shown.
  • FIG. It is a flowchart which shows the control method of the gas supply system which concerns on one Embodiment of this invention. It is a flowchart which shows a door lock control routine.
  • the gas supply system 1 controls a plurality of gas supply target devices 10, a gas generation device 50, and these devices 10 and 50. And a management PC (Personal Computer) 90.
  • a management PC Personal Computer
  • Each gas supply target device 10 includes a controller 11, a holding means 12, a chamber 10a, and the like.
  • the holding means 12 includes two latching relays 12a and 12b.
  • the gas supply target device 10 connected to the gas generation device 50 in FIGS. 1 and 2 further constitutes a gas supply path to the container mounting portion 10b, the container mounting sensor 10bS, the door 10c, and the chamber 10a.
  • the pipe 13, the pipe 14 constituting the exhaust path from the chamber 10 a, the supply pipe mounting sensor 13 ⁇ / b> S, the exhaust pipe mounting sensor 14 ⁇ / b> S, the door opening / closing sensor 15, the door opening request switch 16, and the door lock mechanism 17 are provided.
  • the gas generator 50 includes a controller 51, a gas generator 50a, a pipe 53 constituting a gas supply path to the chamber 10a, a pipe 54 constituting an exhaust path from the chamber 10a, an electromagnetic valve 53V, and a gas concentration sensor 54S.
  • the chamber 10a is a space where gas is supplied.
  • the container mounting part 10b is provided in the upper part of the chamber 10a.
  • a container (a container capable of accommodating a plurality of cell culture dishes) is detachable from the container mounting portion 10b. When the container is mounted on the container mounting portion 10b, the internal space of the container communicates with the chamber 10a.
  • the container mounting sensor 10bS is provided in the vicinity of the container mounting unit 10b, and outputs an ON signal when a container is mounted on the container mounting unit 10b, and an OFF signal when a container is not mounted on the container mounting unit 10b. 11 to send.
  • the door 10c is attached to a side wall that defines the chamber 10a and can be opened and closed by an operator. When the door 10c is opened, the chamber 10a communicates with the external space.
  • the door opening / closing sensor 15 is provided in the vicinity of the door 10c, and transmits an ON signal to the controller 11 when the door 10c is closed and an OFF signal when the door 10c is opened.
  • the door opening request switch 16 is provided in the vicinity of the door 10c, and is pressed by the operator when the door 10c needs to be opened.
  • the door opening request switch 16 transmits an ON signal to the controller 11 when pressed, and an OFF signal when not pressed.
  • the door lock mechanism 17 is a mechanism for prohibiting the opening of the door 10c, and is configured by an arbitrary mechanical mechanism (solenoid, gear, etc.). Under the control of the controller 11, the door lock mechanism 17 can selectively take an ON state (a state in which the opening of the door 10c is prohibited) and an OFF state (a state in which the opening of the door 10c is not prohibited). For safety, the door lock mechanism 17 is maintained in an ON state (a state in which opening of the door 10c is prohibited) when power supply to the gas supply target device 10 is interrupted.
  • the supply pipe attachment sensor 13S and the exhaust pipe attachment sensor 14S are provided in the vicinity of the distal ends of the pipes 13 and 14 (ends on the opposite side to the end connected to the chamber 10a), and the supply pipe 73 is provided at the distal ends.
  • An ON signal is sent to the controller 11 when the exhaust pipe 74 is attached, and an OFF signal is sent to the controller 11 when the air supply pipe 73 and the exhaust pipe 74 are not attached to the tip.
  • the air supply pipe 73 connects the pipe 13 and the pipe 53.
  • the exhaust pipe 74 connects the pipe 14 and the pipe 54.
  • the gas generator 50 a generates gas under the control of the controller 51.
  • the gas generated by the gas generator 50a is supplied to the chamber 10a through the pipes 53, 73, and 13.
  • the electromagnetic valve 53V is provided in the middle of the pipe 53, and can be selectively opened and closed under the control of the controller 51.
  • the solenoid valve 53V When the solenoid valve 53V is in the open state, the pipe 53 can communicate with the outside, and gas can pass from the pipe 53 to the pipes 73 and 13.
  • the solenoid valve 53V When the solenoid valve 53V is in the closed state, the communication between the pipe 53 and the outside is blocked, and the passage of gas from the pipe 53 to the pipes 73 and 13 is impossible.
  • the gas concentration sensor 54S is provided at the tip of the tube 54 (the end opposite to the end connected to the gas generator 50a), detects the concentration of gas passing through the tip, and sends the detection signal to the controller. 51.
  • Each of the latching relays 12a and 12b is turned on or off in response to the input signal received from the controller 51 of the gas generator 50, and then maintains that state (ON or OFF) even if no input signal is received. To do. Thereby, as shown in FIG. 3, the holding means 12 can selectively take three states A to C according to the ON / OFF combination of the two latching relays 12a and 12b, and the gas supply target device. When the supply of power to 10 is cut off, the state at the time when the supply of power is cut off can be maintained. Each state A to C shows the supply status of the gas to the chamber 10a. The state A is a state in which both the latching relays 12a and 12b are OFF, and indicates “before starting gas supply”.
  • the state B is a state in which the latching relay 12a is ON and the latching relay 12b is OFF, and indicates “gas supply in progress”.
  • the state C is a state where both the latching relays 12a and 12b are ON, and indicates “after completion of gas supply”.
  • the controller 51 of the gas generator 50 can set ON / OFF of each latching relay 12a, 12b, and can determine ON / OFF of each latching relay 12a, 12b (that is, each latching relay). 12a and 12b and ON / OFF reading of the latching relays 12a and 12b can be performed).
  • Writing and reading with respect to each latching relay 12a, 12b by the controller 51 is possible both when power is supplied to the gas supply target device 10 and when power supply is interrupted.
  • the holding means 12 is an external device (in this embodiment, the controller of the gas generation device 50) regardless of whether power is supplied to the gas supply target device 10 or when power supply is interrupted. 51), it is possible to determine which of the above states A to C. Further, when there is power supply to the gas supply target device 10, the holding means 12 is not provided by the gas supply target device 10 but by an external device (in this embodiment, the controller 51 of the gas generation device 50).
  • the state can be set to any one of the states A to C.
  • the controller 11 of the gas supply target device 10 can determine ON / OFF of each latching relay 12a, 12b, but cannot set ON / OFF of each latching relay 12a, 12b.
  • the management PC 90 is communicably connected to each of the controller 11 of each gas supply target device 10 and the controller 51 of the gas generation device 50, and issues a command to each controller 11, 51 or receives information from each controller 11, 51. Can be read out. Further, the management PC 90 stores information related to the devices 10 and 50 (history information related to gas supply and the like).
  • the gas generated by the gas generator 50a and supplied to the chamber 10a is hydrogen peroxide gas and has a sterilization effect. That is, the gas supply system 1 according to the present embodiment uses the hydrogen peroxide gas and the chamber 10a (and, if the object to be sterilized is contained in the chamber 10a, the object to be sterilized (in FIGS. 1 and 2).
  • the gas supply target device 10 connected to the gas generating device 50 via the pipes 73 and 74, a plurality of cell culture dishes accommodated in a container) are sterilized. Each sterilized cell culture dish is filled with cells and culture medium, and is used for cell culture and further examination.
  • the gas supply target device 10 that is not connected to the gas generation device 50 in FIGS. 1 and 2 is a cell culture device or inspection device, a device that constitutes a path through which the cell culture dish moves to the culture device or inspection device, or the like.
  • the gas generating device 50 is sequentially connected via the pipes 73 and 74, and the gas is supplied to the chamber 10a. That is, the gas supply system 1 according to the present embodiment supplies the gas generated by the gas generator 50a to the chamber 10a of one gas supply target device 10 that is sequentially selected from the plurality of gas supply target devices 10. Is configured to do.
  • control is executed by the management PC 90, the controller 11 of the gas supply target device 10 connected to the gas generation device 50, and the controller 51 of the gas generation device 50.
  • the management PC 90 When the gas supply target device 10, the gas generation device 50, and the management PC 90 connected to the gas generation device 50 are activated (the power to the devices 10, 50 and the management PC 90 is cut off due to a power failure or the like, and then the power supply is performed). By restarting, supply of gas to a certain gas supply target apparatus 10 is stopped due to the fact that it is restarted or that the supply pipe 73 and / or the exhaust pipe 74 is removed, not a power failure, and thereafter This also includes the case where the gas supply target device 10 is again connected to the gas generation device 50 and restarted.) First, the management PC 90 performs a sterilization command for the gas supply target device 10 connected to the gas generation device 50. It is determined whether or not there is (S1). The sterilization command is input by an operator via input means provided in the management PC 90, for example.
  • the controller 11 of the gas supply target device 10 is mounted with the container, the supply pipe 73, and the exhaust pipe 74 based on the signals from the sensors 10bS, 13S, 14S. It is determined whether or not (S2).
  • the controller 11 determines whether or not the door 10c is closed based on a signal from the door opening / closing sensor 15. Judgment is made (S3).
  • the controller 11 determines whether or not the holding means 12 is in the state A indicating “Before gas supply starts” (S4).
  • the gas concentration in the chamber 10a is relatively low and less than a certain value (for example, a concentration value that can be harmful to the human body).
  • a certain value for example, a concentration value that can be harmful to the human body.
  • the gas concentration in the chamber 10a is relatively high and is a certain value or more.
  • after completion of gas supply since the sterilization of the chamber 10a has already been completed, it is considered unnecessary to further supply the gas to the chamber 10a.
  • the controller 51 of the gas generator 50 opens the electromagnetic valve 53V and drives the gas generator 50a.
  • the gas supply to the chamber 10a is started (S5). While the gas is supplied to the chamber 10a, the gas is supplied through the tubes 53, 73, and 13 and the exhaust from the chamber 10a is performed through the tubes 14, 74, and 54.
  • the exhaust gas is collected in the gas generator 50a.
  • the controller 51 transmits an input signal to the latching relays 12a and 12b, and sets the holding means 12 to the state B (a state indicating “gas supply in progress”) (S6).
  • the controller 51 determines whether or not a predetermined time (time until the gas concentration in the chamber 10a reaches a predetermined value) has elapsed since the driving of the gas generator 50a was started in S5 (S7). ).
  • the controller 51 stops driving the gas generator 50a, closes the electromagnetic valve 53V, and stops the supply of gas to the chamber 10a (S8). .
  • the controller 51 After S8, the controller 51 performs aeration using a catalyst or the like to supply air to the chamber 10a and exhaust air from the chamber 10a to reduce the gas concentration in the chamber 10a.
  • the process of circulating air with the vessel 50a is performed (S9). Based on the detection signal from the gas concentration sensor 54S, the controller 51 performs aeration until the gas concentration becomes less than a certain value.
  • the controller 51 transmits an input signal to the latching relays 12a and 12b, and sets the holding means 12 to the state C (a state indicating “after gas supply is completed”) (S10). After S10, the control routine ends.
  • the controller 11 of the gas supply target device 10 determines that the holding unit 12 indicates “In the middle of gas supply”. It is determined whether or not (S11).
  • the controller 51 of the gas generator 50 determines the gas concentration based on the detection signal from the gas concentration sensor 54S. It is determined whether the value is equal to or less than the value (S12).
  • the controller 51 opens the solenoid valve 53V and drives the gas generator 50a to supply the gas to the chamber 10a as in S5. Is started (S13).
  • the controller 51 moves the process to S7.
  • the predetermined time in S7 is determined based on the concentration confirmed in S12.
  • S4 and S11 correspond to the “determination step” according to the present invention
  • the controller 11 of the gas supply target device 10 corresponds to the “determination means” according to the present invention.
  • a series of processes of S5 to S10, a series of processes of S12, S13, S7 to S10, and a process of ending the control routine in the case of S11: NO correspond to “processing steps” according to the present invention.
  • the controller 51 of the gas generator 50 corresponds to the “processing means” according to the present invention.
  • the controller 11 determines whether or not an ON signal is transmitted from the door opening request switch 16 (S21). When it is determined that the ON signal is not transmitted from the door opening request switch 16 (S21: NO), the controller 11 repeats the process of S21.
  • the controller 11 When it is determined that the ON signal is transmitted from the door opening request switch 16 (S21: YES), the controller 11 indicates the state A in which the holding means 12 indicates “before starting gas supply” or “after completion of gas supply”. It is determined whether or not it is in state C (S22).
  • the controller 11 When it is determined that the holding means 12 is in the state A indicating “Before gas supply start” or the state C indicating “After gas supply is completed” (S22: YES), the controller 11 then turns on the door lock mechanism 17 In this case, after each part of the gas supply target device 10 is stopped in a safe state for the operator, the door lock mechanism 17 is switched from ON to OFF, or when the door lock mechanism 17 is OFF at that time, the door The lock mechanism 17 is kept OFF (S23). After S23, the control routine ends.
  • the controller 11 keeps the door lock mechanism 17 ON when the door lock mechanism 17 is ON at that time, and changes the door lock mechanism 17 from OFF to ON when the door lock mechanism 17 is OFF at that time. Switch (S24). After S24, the control routine ends.
  • S22 corresponds to the “determination step” according to the present invention
  • the controller 11 of the gas supply target device 10 corresponds to the “determination means” according to the present invention
  • S23 and S24 correspond to “processing steps” according to the present invention
  • the controller 11 of the gas supply target apparatus 10 corresponds to “processing means” according to the present invention.
  • the state of the holding means 12 is determined (S4, S11, S22).
  • the gas supply status to the chamber 10a in this embodiment, before starting gas supply, during gas supply, after gas supply completion) can be grasped and processing according to the status can be performed.
  • the holding means can hold any of the states A to C, the air supply pipe 73 and / or the exhaust pipe 74 are attached again, and the gas At the stage of restarting the supply, it can be determined whether the holding means is in any of the states A to C (S4, S11, S22), and a process corresponding to the supply state of the gas to the chamber 10a can be performed.
  • the holding means 12 is an external device (in this embodiment, the controller 51 of the gas generation device 50) in both cases where power is supplied to the gas supply target device 10 and when power supply is interrupted. It is configured so that it can be determined in any of the states A to C. According to the configuration, the holding device 12 included in the gas supply target device 10 can be used regardless of whether the power supply is supplied to the gas supply target device 10 or the power supply is interrupted. It is possible to determine the state of the gas, grasp the gas supply status to the chamber 10a of the gas supply target device 10, and perform processing according to the status.
  • the holding means 12 is configured to be set to any of the states A to C by an external device (in this embodiment, the controller 51 of the gas generation device 50) when the gas supply target device 10 is supplied with power. Yes. According to the said structure, management of the gas supply object apparatus 10 by an external apparatus can be performed more appropriately.
  • the holding means 12 includes latching relays 12a and 12b. According to the said structure, the state of supply of the gas to the chamber 10a can be grasped
  • the gas supplied to the chamber 10a has a sterilization effect.
  • the “sterilization action” refers to an action for realizing a state in which all microorganisms (mainly bacteria) having proliferative properties are completely killed or removed.
  • a gas having a sterilizing effect may be harmful to the human body, depending on the concentration. Therefore, according to the said structure, the profit by this invention is large from the point which ensures an operator's safety.
  • the gas supply system 1 includes a plurality of gas supply target devices 10, and a chamber of one gas supply target device 10 in which the gas generated by the gas generator 50 a is sequentially selected from the plurality of gas supply target devices 10. 10a.
  • the supply condition of the gas of each gas supply object apparatus 10 is grasped
  • the holding means 12 can selectively take three or more states (in this embodiment, three states A to C). According to this configuration, since the holding means 12 can selectively take not only two but also three or more states, the gas supply status to the chamber 10a can be grasped in more detail, and the gas supply target device 10 can be determined. Detailed management can be realized.
  • the holding means 12 includes a plurality of elements (latching relays 12a and 12b) whose states can be switched.
  • the form of the container attached to the container attachment part is arbitrary, for example, SMIF POD (Standard Mechanical Interface Pod: container having an opening that can be opened and closed at the bottom), FOUP (Front Opening Unified Pod: opening and closing at the front) A container having a simple opening).
  • the gas supply target device according to the present invention is not limited to having a portion (a container mounting portion or the like) where a cell culture dish is arranged.
  • the several gas supply object apparatus contained in the gas supply system which concerns on this invention may be an apparatus with a mutually different structure, and may be an apparatus with the same structure.
  • the gas supply system according to the present invention may include only one gas supply target device.
  • the present invention is not limited to the purpose of cell culture, the purpose of cell inspection, etc., but for various purposes, a gas supply target device to which gas is supplied. It can also be applied to systems and systems that process substrates such as display panels.
  • the gas supplied to the chamber of the gas supply target device is not limited to hydrogen peroxide gas, and may be any kind of gas such as ethylene oxide gas, nitrogen gas, argon gas, air, etc. May be mixed. Moreover, gas is not limited to what has a sterilization effect, or a thing harmful to a human body.
  • the “supply state of gas to the chamber” indicated by the state of the holding means is not limited to “before gas supply start”, “in the middle of gas supply”, and “after gas supply completion” as in the above embodiment,
  • -Holding means is not limited to a latching relay.
  • the holding means may be a latching solenoid or a nonvolatile memory (EPROM or the like).
  • EPROM nonvolatile memory
  • the holding means is a latching solenoid
  • the door locking mechanism 17, the locking mechanism of the pipes 73 and 74 and the latching solenoid are linked so that the locking mechanism is turned on when the latching solenoid is in the second state. It is also possible to prohibit the opening of 10c and the removal of the tubes 73 and 74.
  • the holding means is a nonvolatile memory
  • the “gas concentration in the chamber” and / or “the number of times of gas supply to the chamber” may be stored in the nonvolatile memory.
  • the number of states that the holding unit can take is only required to be plural, for example, two ("first state” indicating the start of gas supply or after the completion of gas supply, and "second state” indicating the middle of gas supply) ).
  • the number of elements included in the holding unit may be 3 or more.
  • the holding means may be constituted by one element (for example, one latching relay).
  • the determination unit and the processing unit may be provided either inside or outside the gas supply target device. -The processing performed by the processing means (processing performed in the processing step) is not limited to the processing described in the above embodiment (processing that prohibits the opening of the door, etc.), for example, removal of the air supply pipe and the exhaust pipe is prohibited. Or a process of performing notification (notification by sound such as an alarm or notification by an image) when the door is opened or the supply pipe or the exhaust pipe is removed.

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Abstract

ガス供給対象装置への電力の供給が遮断された後に再開された場合にも、チャンバーへのガスの供給状況を把握し、その状況に応じた処理を行えるようにする。 ガス供給対象装置は、チャンバー10aへのガスの供給状況を示す3つの状態A~Cを選択的に取り得ると共に、当該ガス供給対象装置への電力の供給が遮断された場合に、電力の供給が遮断された時点における状態を保持することが可能な保持手段12を有する。ガス供給対象装置への電力の供給が遮断された後に再開された場合に、保持手段12が状態A~Cのいずれにあるかが判断され、チャンバー10aへのガスの供給状況に応じた処理が行われる。

Description

ガス供給対象装置、ガス供給システム、及び、ガス供給システムの制御方法
 本発明は、窒素ガス、過酸化水素ガス等のガスが供給されるチャンバーを備えたガス供給対象装置、ガス供給対象装置とガス発生装置とを備えたガス供給システム、及び、ガス供給システムの制御方法に関する。
 半導体ウェハ、液晶ディスプレイパネル等の基板を処理する工程において、ガス供給対象装置のチャンバーに基板を収容して、チャンバーに窒素ガス等の不活性ガスを供給し、チャンバー(及び、チャンバーに収容された基板)から汚染物質を除去する技術が知られている(特許文献1参照)。また、細胞の培養や検査を行う工程、医療用機器を製造する工程等において、ガス供給対象装置のチャンバーに過酸化水素ガス等の滅菌作用を有するガスを供給し、チャンバー(及び、チャンバーに被滅菌物が収容されている場合は、被滅菌物)の滅菌を行う技術が知られている(特許文献2参照)。
WO2010/137556 特開2013-144159号公報
 上記技術を行う場合において、停電等によりガス供給対象装置への電力の供給が遮断され、その後、電力の供給が再開されることが考えられる。このとき、チャンバーへのガスの供給状況(ガス供給開始前、ガス供給途中、ガス供給完了後、等)を把握できないと、以下のような問題が生じ得る。例えば、チャンバーへのガスの供給状況が不明であるため、一律にエアレーション(チャンバー内のガス濃度を低下させるため、チャンバーへの空気の供給とチャンバーからの排気とを行い、チャンバーと外部とで空気を循環させる処理)を行うと、作業効率が悪くなる。また、例えば、チャンバーへのガスの供給状況が不明であるにも関わらず、チャンバーに設けられた扉が開放されると、チャンバーからガスが漏れ出してしまい、当該ガスが人体に有害なものである場合、作業者の安全性を確保することができない。
 本発明の目的は、ガス供給対象装置への電力の供給が遮断された後に再開された場合にも、チャンバーへのガスの供給状況を把握し、その状況に応じた処理を行うことができる、ガス供給対象装置、ガス供給システム、及び、ガス供給システムの制御方法を提供することである。
 本発明の第1観点によると、ガスが供給されるチャンバーを備えたガス供給対象装置であって、前記チャンバーへのガスの供給状況を示す複数の状態を選択的に取り得ると共に、当該ガス供給対象装置への電力の供給が遮断された場合に、前記電力の供給が遮断された時点における前記複数の状態のいずれかを保持することが可能な保持手段をさらに備えたことを特徴とする、ガス供給対象装置が提供される。
 本発明の第2観点によると、ガスが供給されるチャンバーを有するガス供給対象装置と、ガスを発生させるガス発生器を有するガス発生装置とを備え、前記ガス発生器が発生させたガスを前記チャンバーに供給するように構成されたガス供給システムであって、前記ガス供給対象装置は、前記チャンバーへのガスの供給状況を示す複数の状態を選択的に取り得ると共に、当該ガス供給対象装置への電力の供給が遮断された場合に、前記電力の供給が遮断された時点における前記複数の状態のいずれかを保持することが可能な保持手段をさらに有し、前記保持手段が前記複数の状態のいずれにあるかを判断する判断手段と、前記判断手段の判断に応じた処理を行う処理手段とをさらに備えたことを特徴とする、ガス供給システムが提供される。
 本発明の第3観点によると、ガスが供給されるチャンバーを有するガス供給対象装置と、ガスを発生させるガス発生器を有するガス発生装置とを備え、前記ガス発生装置が発生させたガスを前記チャンバーに供給するように構成されたガス供給システムを制御する方法であって、前記ガス供給対象装置は、前記チャンバーへのガスの供給状況を示す複数の状態を選択的に取り得ると共に、当該ガス供給対象装置への電力の供給が遮断された場合に、前記電力の供給が遮断された時点における前記複数の状態のいずれかを保持することが可能な保持手段をさらに有し、前記ガス供給システムの判断手段によって前記保持手段が前記複数の状態のいずれにあるかを判断する判断ステップと、前記ガス供給システムの処理手段によって前記判断手段の判断に応じた処理を行う処理ステップとを備えたことを特徴する、ガス供給システムの制御方法が提供される。
 上記第1~第3観点によれば、ガス供給対象装置への電力の供給が遮断された後に再開された場合に、保持手段の状態を判断し、チャンバーへのガスの供給状況を把握して、その状況に応じた処理を行うことができる。
 上記第1~第3観点において、前記保持手段は、当該ガス供給対象装置への電力の供給がある場合及び電力の供給が遮断されている場合のいずれにおいても、外部装置によって前記複数の状態のいずれにあるかを判断できるように構成されてよい。当該構成によれば、ガス供給対象装置への電力の供給がある場合及び電力の供給が遮断されている場合のいずれにおいても、外部装置が、当該ガス供給対象装置に含まれる保持手段の状態を判断し、当該ガス供給対象装置のチャンバーへのガスの供給状況を把握して、その状況に応じた処理を行うことができる。
 上記第1~第3観点において、前記保持手段は、当該ガス供給対象装置への電力の供給がある場合、外部装置によって前記複数の状態のいずれかに設定できるように構成されてよい。当該構成によれば、外部装置によるガス供給対象装置の管理をより適切に行うことができる。
 上記第1~第3観点において、前記保持手段は、ラッチングリレーを含んでよい。当該構成によれば、ラッチングリレーの状態を電気的に判断することで、チャンバーへのガスの供給状況を的確に把握し、その状況に応じた処理を行うことができる。
 上記第1~第3観点において、前記ガスが滅菌作用を有してよい。ここで、「滅菌作用」とは、増殖性を持つあらゆる微生物(主に細菌類)を完全に殺滅又は除去する状態を実現するための作用をいう。滅菌作用を有するガスは、濃度にもよるが、人体に有害となり得る。そのため、上記構成によれば、作業者の安全性を確保する点から、本発明による利益が大きい。
 上記第2観点に係るガス供給システムは、複数の前記ガス供給対象装置を備え、前記ガス発生器が発生させたガスを、前記複数のガス供給対象装置の中から順次選択される1つのガス供給対象装置の前記チャンバーに供給するように構成されてよい。当該構成によれば、複数のガス供給対象装置のチャンバーに対して順次ガスを供給する場合に、各ガス供給対象装置のガスの供給状況を把握し、その状況に応じた処理を行うことができる。
 なお、上記第1~第3観点において、前記保持手段は、3以上の前記状態を選択的に取り得るものであってよい。当該構成によれば、保持手段が2つのみではなく3以上の状態を選択的に取り得ることで、チャンバーへのガスの供給状況をより詳細に把握し、ガス供給対象装置のきめ細やかな管理を実現することができる。
 また、上記第1~第3観点において、前記保持手段は、それぞれ状態が切り替え可能な複数の素子を含んでよい。当該構成によれば、保持手段が3以上の状態を選択的に取り得るという構成を、各素子の状態の組み合わせによって、比較的簡単に実現することができる。
 本発明によれば、ガス供給対象装置への電力の供給が遮断された後に再開された場合に、保持手段の状態を判断し、チャンバーへのガスの供給状況を把握して、その状況に応じた処理を行うことができる。
本発明の一実施形態に係るガス供給システムを示す概略構成図である。 本発明の一実施形態に係るガス供給システムの電気的構成を示すブロック図である。 本発明の一実施形態におけるチャンバーへのガスの供給状況(ガス供給開始前、ガス供給途中、ガス供給完了後)と保持手段の状態(状態A、状態B、状態C)との対応関係を示す図である。 本発明の一実施形態に係るガス供給システムの制御方法を示すフロー図である。 扉ロック制御ルーチンを示すフロー図である。
 本発明の一実施形態に係るガス供給システム1は、図1及び図2に示すように、複数のガス供給対象装置10と、ガス発生装置50と、これら装置10,50を統括して制御するための管理PC(Personal Computer)90とを含む。
 各ガス供給対象装置10は、コントローラ11、保持手段12、チャンバー10a等を有する。保持手段12は、2つのラッチングリレー12a,12bを含む。特に、図1及び図2においてガス発生装置50と接続されているガス供給対象装置10は、さらに、コンテナ装着部10b、コンテナ装着センサ10bS、扉10c、チャンバー10aへのガスの供給路を構成する管13、チャンバー10aからの排気路を構成する管14、給気管装着センサ13S、排気管装着センサ14S、扉開閉センサ15、扉開放要求スイッチ16、及び、扉ロック機構17を有する。
 ガス発生装置50は、コントローラ51、ガス発生器50a、チャンバー10aへのガスの供給路を構成する管53、チャンバー10aからの排気路を構成する管54、電磁弁53V、及び、ガス濃度センサ54Sを有する。
 チャンバー10aは、ガスが供給される空間である。
 コンテナ装着部10bは、チャンバー10aの上部に設けられている。コンテナ装着部10bには、コンテナ(複数の細胞培養皿を収容可能な容器)が着脱可能である。コンテナ装着部10bにコンテナが装着されているとき、コンテナの内部空間はチャンバー10aと連通している。
 コンテナ装着センサ10bSは、コンテナ装着部10bの近傍に設けられており、コンテナ装着部10bにコンテナが装着されているときON信号、コンテナ装着部10bにコンテナが装着されていないときOFF信号を、コントローラ11に送信する。
 扉10cは、チャンバー10aを画定する側壁に取り付けられており、作業者によって開閉可能である。扉10cが開放されると、チャンバー10aは外部空間と連通する。
 扉開閉センサ15は、扉10cの近傍に設けられており、扉10cが閉鎖されているときON信号、扉10cが開放されているときOFF信号を、コントローラ11に送信する。
 扉開放要求スイッチ16は、扉10cの近傍に設けられており、扉10cの開放が必要な場合に作業者によって押下される。扉開放要求スイッチ16は、押下されたときにON信号、押下されていないときにOFF信号を、コントローラ11に送信する。
 扉ロック機構17は、扉10cの開放を禁止するための機構であり、任意のメカ機構(ソレノイド、ギア等)により構成される。扉ロック機構17は、コントローラ11による制御の下、ONの状態(扉10cの開放を禁止する状態)とOFFの状態(扉10cの開放を禁止しない状態)とを選択的に取り得る。また、安全のため、扉ロック機構17は、ガス供給対象装置10への電力の供給が遮断されている場合、ONの状態(扉10cの開放を禁止する状態)に維持される。
 給気管装着センサ13S及び排気管装着センサ14Sは、それぞれ、管13,14の先端(チャンバー10aに接続する端部とは反対側の端部)近傍に設けられており、当該先端に給気管73,排気管74が装着されているときON信号、当該先端に給気管73,排気管74が装着されていないときOFF信号を、コントローラ11に送信する。
 給気管73は、管13と管53とを接続する。排気管74は、管14と管54とを接続する。
 ガス発生器50aは、コントローラ51による制御の下、ガスを発生させる。ガス発生器50aによって発生されたガスは、管53,73,13を通って、チャンバー10aに供給される。
 電磁弁53Vは、管53の途中に設けられており、コントローラ51による制御の下、開状態と閉状態とを選択的に取り得る。電磁弁53Vが開状態にあるとき、管53は外部と連通可能であり、管53から管73,13へのガスの通過が可能である。電磁弁53Vが閉状態にあるとき、管53と外部との連通が遮断され、管53から管73,13へのガスの通過が不能である。
 ガス濃度センサ54Sは、管54の先端(ガス発生器50aに接続する端部とは反対側の端部)に設けられており、当該先端を通るガスの濃度を検知して、検知信号をコントローラ51に送信する。
 各ラッチングリレー12a,12bは、ガス発生装置50のコントローラ51からの入力信号の受信に応じて、接点がON又はOFFし、その後入力信号の受信がなくてもその状態(ON又はOFF)を保持する。これにより、保持手段12は、図3に示すように、2つのラッチングリレー12a,12bのON・OFFの組み合わせに応じた3つの状態A~Cを選択的に取り得ると共に、当該ガス供給対象装置10への電力の供給が遮断された場合に、電力の供給が遮断された時点における状態を保持することが可能となっている。各状態A~Cは、チャンバー10aへのガスの供給状況を示す。状態Aは、ラッチングリレー12a,12bが共にOFFの状態であり、「ガス供給開始前」を示す。状態Bは、ラッチングリレー12aがON且つラッチングリレー12bがOFFの状態であり、「ガス供給途中」を示す。状態Cは、ラッチングリレー12a,12bが共にONの状態であり、「ガス供給完了後」を示す。
 ガス発生装置50のコントローラ51は、各ラッチングリレー12a,12bのON/OFFを設定することができ、且つ、各ラッチングリレー12a,12bのON/OFFを判断することができる(即ち、各ラッチングリレー12a,12bに対する書き込み、及び、各ラッチングリレー12a,12bのON/OFFの読み取りを行うことができる)。コントローラ51による各ラッチングリレー12a,12bに対する書き込み及び読み取りは、当該ガス供給対象装置10への電力の供給がある場合及び電力の供給が遮断されている場合のいずれにおいても、可能となっている。即ち、保持手段12は、当該ガス供給対象装置10への電力の供給がある場合及び電力の供給が遮断されている場合のいずれにおいても、外部装置(本実施形態では、ガス発生装置50のコントローラ51)によって上記状態A~Cのいずれにあるかを判断できるように構成されている。また、保持手段12は、当該ガス供給対象装置10への電力の供給がある場合、当該ガス供給対象装置10によってではなく、外部装置(本実施形態では、ガス発生装置50のコントローラ51)によって、上記状態A~Cのいずれかに設定できるように構成されている。
 これに対し、ガス供給対象装置10のコントローラ11は、各ラッチングリレー12a,12bのON/OFFを判断することはできるが、各ラッチングリレー12a,12bのON/OFFを設定することはできない。
 管理PC90は、各ガス供給対象装置10のコントローラ11及びガス発生装置50のコントローラ51のそれぞれと通信可能に接続されており、各コントローラ11,51に指令を出したり、各コントローラ11,51から情報を読み出したりすることができる。また、管理PC90は、各装置10,50に関する情報(ガス供給に関する履歴情報等)を記憶する。
 本実施形態において、ガス発生器50aによって発生され、チャンバー10aに供給されるガスは、過酸化水素ガスであり、滅菌作用を有する。つまり、本実施形態に係るガス供給システム1は、過酸化水素ガスを用いて、チャンバー10a(及び、チャンバー10aに被滅菌物が収容されている場合は、被滅菌物(図1及び図2においてガス発生装置50と管73,74を介して接続されているガス供給対象装置10では、コンテナに収容された複数の細胞培養皿))の滅菌を行うものである。滅菌された各細胞培養皿は、細胞及び培養液が入れられ、細胞の培養、さらにその後検査に用いられる。
 図1及び図2においてガス発生装置50と接続されていないガス供給対象装置10は、細胞の培養装置又は検査装置、細胞培養皿が培養装置又は検査装置まで移動する経路を構成する装置等であって、このときガス発生装置50と接続されていないが、順次、管73,74を介してガス発生装置50と接続され、チャンバー10aにガスが供給される。つまり、本実施形態に係るガス供給システム1は、ガス発生器50aが発生させたガスを、複数のガス供給対象装置10の中から順次選択される1つのガス供給対象装置10のチャンバー10aに供給するように構成されている。
 次いで、図4を参照し、本発明の一実施形態に係るガス供給システム1の制御方法について説明する。なお、以下の制御は、管理PC90、ガス発生装置50に接続されたガス供給対象装置10のコントローラ11、及び、ガス発生装置50のコントローラ51によって実行される。
 ガス発生装置50に接続されたガス供給対象装置10、ガス発生装置50及び管理PC90が起動されると(停電等により装置10,50及び管理PC90への電力が遮断され、その後、電力の供給が再開されることで、再起動された場合や、停電ではなく、給気管73及び/又は排気管74が取り外されたことを要因として、あるガス供給対象装置10に対するガスの供給が停止され、その後再び当該ガス供給対象装置10がガス発生装置50に接続されて、再起動された場合等も含む。)、先ず、管理PC90が、ガス発生装置50に接続されたガス供給対象装置10に対する滅菌指令があるか否かを判断する(S1)。滅菌指令は、例えば、管理PC90に設けられた入力手段を介して作業者によって入力される。
 滅菌指令がないと判断した場合(S1:NO)、管理PC90は、S1の処理を繰り返す。
 滅菌指令があると判断した場合(S1:YES)、当該ガス供給対象装置10のコントローラ11が、各センサ10bS,13S,14Sからの信号に基づき、コンテナ、給気管73及び排気管74が装着されているか否かを判断する(S2)。
 コンテナ、給気管73及び排気管74のいずれかが装着されていないと判断した場合(S2:NO)、コントローラ11は、S2の処理を繰り返す。
 コンテナ、給気管73及び排気管74の全てが装着されていると判断した場合(S2:YES)、コントローラ11は、扉開閉センサ15からの信号に基づき、扉10cが閉鎖されているか否かを判断する(S3)。
 扉10cが閉鎖されていないと判断した場合(S3:NO)、コントローラ11は、S3の処理を繰り返す。
 扉10cが閉鎖されていると判断した場合(S3:YES)、コントローラ11は、保持手段12が「ガス供給開始前」を示す状態Aにあるか否かを判断する(S4)。
 「ガス供給開始前」又は「ガス供給完了後」の場合、チャンバー10a内のガス濃度は、比較的低く、一定値(例えば、人体に有害となり得る濃度値)未満である。一方、「ガス供給途中」の場合、チャンバー10a内のガス濃度は、比較的高く、一定値以上である。また、「ガス供給完了後」の場合、チャンバー10aの滅菌が既に完了しているため、チャンバー10aへのガスの供給をさらに行う必要はないと考えられる。
 保持手段12が「ガス供給開始前」を示す状態Aにあると判断された場合(S4:YES)、ガス発生装置50のコントローラ51は、電磁弁53Vを開状態として、ガス発生器50aを駆動させ、チャンバー10aへのガスの供給を開始させる(S5)。チャンバー10aへのガスの供給が行われる間、管53,73,13を介したガスの供給と共に、管14,74,54を介したチャンバー10aからの排気が行われる。排気ガスは、ガス発生器50aに回収される。
 S5の後、コントローラ51は、ラッチングリレー12a,12bに入力信号を送信し、保持手段12を状態B(「ガス供給途中」を示す状態)とする(S6)。
 S6の後、コントローラ51は、S5でガス発生器50aの駆動を開始させてから所定時間(チャンバー10a内のガス濃度が所定値に達するまでの時間)が経過したか否かを判断する(S7)。
 所定時間が経過していないと判断した場合(S7:NO)、コントローラ51は、S6の処理を繰り返す。
 所定時間が経過したと判断した場合(S7:YES)、コントローラ51は、ガス発生器50aの駆動を停止させ、電磁弁53Vを閉状態として、チャンバー10aへのガスの供給を停止させる(S8)。
 S8の後、コントローラ51は、触媒を用いる等して、エアレーション(チャンバー10a内のガス濃度を低下させるため、チャンバー10aへの空気の供給とチャンバー10aからの排気とを行い、チャンバー10aとガス発生器50aとで空気を循環させる処理)を行う(S9)。コントローラ51は、ガス濃度センサ54Sからの検知信号に基づき、ガス濃度が一定値未満になるまで、エアレーションを行う。
 S9の後、コントローラ51は、ラッチングリレー12a,12bに入力信号を送信し、保持手段12を状態C(「ガス供給完了後」を示す状態)とする(S10)。S10の後、当該制御ルーチンが終了する。
 保持手段12が「ガス供給開始前」を示す状態Aにないと判断した場合(S4:NO)、当該ガス供給対象装置10のコントローラ11は、保持手段12が「ガス供給途中」を示す状態Bにあるか否かを判断する(S11)。
 保持手段12が「ガス供給途中」を示す状態Bにあると判断された場合(S11:YES)、ガス発生装置50のコントローラ51は、ガス濃度センサ54Sからの検知信号に基づき、ガス濃度が規定値以下であるか否かを判断する(S12)。
 ガス濃度が規定値以下であると判断した場合(S12:YES)、コントローラ51は、S5と同様に、電磁弁53Vを開状態として、ガス発生器50aを駆動させ、チャンバー10aへのガスの供給を開始させる(S13)。
 S13の後、又は、ガス濃度が規定値以下でないと判断した場合(S12:NO)、コントローラ51は、処理をS7に移す。なお、この場合のS7における所定時間は、S12で確認された濃度に基づいて決定される。
 保持手段12が「ガス供給途中」を示す状態Bにない(即ち、「ガス供給完了後」に示す状態Cにある)と判断された場合(S11:NO)、当該制御ルーチンが終了する。
 なお、S11:NOの場合や、S12:NOの場合に、無駄なガス供給作業を省略することで、作業時間の短縮、及び、ガス消費量の低減が実現される。
 当該制御ルーチンにおいては、S4,S11が本発明に係る「判断ステップ」に該当し、ガス供給対象装置10のコントローラ11が本発明に係る「判断手段」に該当する。また、S5~S10の一連の処理、S12,S13,S7~S10の一連の処理、及び、S11:NOの場合に当該制御ルーチンを終了する処理が、本発明に係る「処理ステップ」に該当し、ガス発生装置50のコントローラ51が本発明に係る「処理手段」に該当する。
 次いで、図5を参照し、扉ロック制御ルーチンについて説明する。なお、以下の制御は、ガス供給対象装置10に電力が供給されている間、ガス供給対象装置10のコントローラ11によって実行される。
 先ず、コントローラ11は、扉開放要求スイッチ16からON信号が送信されているか否かを判断する(S21)。扉開放要求スイッチ16からON信号が送信されていないと判断した場合(S21:NO)、コントローラ11は、S21の処理を繰り返す。
 扉開放要求スイッチ16からON信号が送信されていると判断した場合(S21:YES)、コントローラ11は、保持手段12が「ガス供給開始前」を示す状態A又は「ガス供給完了後」を示す状態Cにあるか否かを判断する(S22)。
 保持手段12が「ガス供給開始前」を示す状態A又は「ガス供給完了後」を示す状態Cにあると判断した場合(S22:YES)、コントローラ11は、そのとき扉ロック機構17がONの場合は、当該ガス供給対象装置10の各部を作業者にとって安全な状態で停止させた後に、扉ロック機構17をONからOFFに切り替え、或いは、そのとき扉ロック機構17がOFFの場合は、扉ロック機構17をOFFに維持する(S23)。S23の後、当該制御ルーチンが終了する。
 保持手段12が「ガス供給開始前」を示す状態A及び「ガス供給完了後」を示す状態Cのいずれにもない(即ち、「ガス供給途中」に示す状態Bにある)と判断した場合(S22:NO)、コントローラ11は、そのとき扉ロック機構17がONの場合は扉ロック機構17をONに維持し、そのとき扉ロック機構17がOFFの場合は扉ロック機構17をOFFからONに切り替える(S24)。S24の後、当該制御ルーチンが終了する。
 当該制御ルーチンにおいては、S22が本発明に係る「判断ステップ」に該当し、ガス供給対象装置10のコントローラ11が本発明に係る「判断手段」に該当する。また、S23及びS24が本発明に係る「処理ステップ」に該当し、ガス供給対象装置10のコントローラ11が本発明に係る「処理手段」に該当する。
 以上に述べたように、本実施形態によれば、ガス供給対象装置10への電力の供給が遮断された後に再開された場合に、保持手段12の状態を判断し(S4,S11,S22)、チャンバー10aへのガスの供給状況(本実施形態では、ガス供給開始前、ガス供給途中、ガス供給完了後)を把握して、その状況に応じた処理を行うことができる。
 具体的には、例えば、一律にエアレーションを行うのではなく、保持手段12が「ガス供給途中」を示す状態Bにあり且つガス濃度が規定値以下であると判断された場合(S11:YES→S12:YES)は、ガスの供給を継続する(S13,S7~S10の一連の処理を行う)ことで、作業効率の悪化を抑制することができる。また、例えば、保持手段12が「ガス供給途中」を示す状態Bにあると判断された場合(S22:NO)は、扉10cの開放を禁止する(S24)ことで、作業者の安全性を確保することができる。
 なお、停電ではなく、給気管73及び/又は排気管74が取り外されたことを要因として、ガス供給対象装置10に対するガスの供給が停止されることも考えられる。このような場合においても、本実施形態によれば、保持手段が状態A~Cのいずれかを保持することが可能であるため、給気管73及び/又は排気管74が再び取り付けられ、ガスの供給を再開する段階において、保持手段が状態A~Cのいずれにあるかを判断し(S4,S11,S22)、チャンバー10aへのガスの供給状況に応じた処理を行うことができる。
 保持手段12は、当該ガス供給対象装置10への電力の供給がある場合及び電力の供給が遮断されている場合のいずれにおいても、外部装置(本実施形態では、ガス発生装置50のコントローラ51)によって状態A~Cのいずれにあるかを判断できるように構成されている。当該構成によれば、ガス供給対象装置10への電力の供給がある場合及び電力の供給が遮断されている場合のいずれにおいても、外部装置が、当該ガス供給対象装置10に含まれる保持手段12の状態を判断し、当該ガス供給対象装置10のチャンバー10aへのガスの供給状況を把握して、その状況に応じた処理を行うことができる。
 保持手段12は、当該ガス供給対象装置10電力の供給がある場合、外部装置(本実施形態では、ガス発生装置50のコントローラ51)によって状態A~Cのいずれかに設定できるように構成されている。当該構成によれば、外部装置によるガス供給対象装置10の管理をより適切に行うことができる。
 保持手段12は、ラッチングリレー12a,12bを含む。当該構成によれば、ラッチングリレー12a,12bの状態を電気的に判断することで、チャンバー10aへのガスの供給状況を的確に把握し、その状況に応じた処理を行うことができる。
 チャンバー10aに供給されるガスは、滅菌作用を有する。ここで、「滅菌作用」とは、増殖性を持つあらゆる微生物(主に細菌類)を完全に殺滅又は除去する状態を実現するための作用をいう。滅菌作用を有するガスは、濃度にもよるが、人体に有害となり得る。そのため、当該構成によれば、作業者の安全性を確保する点から、本発明による利益が大きい。
 ガス供給システム1は、複数のガス供給対象装置10を備え、ガス発生器50aが発生させたガスを、複数のガス供給対象装置10の中から順次選択される1つのガス供給対象装置10のチャンバー10aに供給するように構成されている。当該構成によれば、複数のガス供給対象装置10のチャンバー10aに対して順次ガスを供給する場合に、各ガス供給対象装置10のガスの供給状況を把握し、その状況に応じた処理を行うことができる。
 なお、保持手段12は、3以上の状態(本実施形態では、3つの状態A~C)を選択的に取り得る。当該構成によれば、保持手段12が2つのみではなく3以上の状態を選択的に取り得ることで、チャンバー10aへのガスの供給状況をより詳細に把握し、ガス供給対象装置10のきめ細やかな管理を実現することができる。
 また、保持手段12は、それぞれ状態が切り替え可能な複数の素子(ラッチングリレー12a,12b)を含む。当該構成によれば、保持手段が3以上の状態を選択的に取り得るという構成を、各素子の状態の組み合わせによって、比較的簡単に実現することができる。
 以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、例えば以下のように、請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。
 ・コンテナ装着部に装着されるコンテナの形態は、任意であり、例えば、SMIF POD(Standard Mechanical Interface Pod:底部に開閉可能な開口部を有する容器)、FOUP(Front Opening Unified Pod:正面に開閉可能な開口部を有する容器)等であってよい。また、本発明に係るガス供給対象装置は、細胞培養皿が配置される部分(コンテナ装着部等)を有することに限定されない。
 ・本発明に係るガス供給システムに含まれる複数のガス供給対象装置は、構成が互いに異なる装置であってもよいし、構成が互いに同じ装置であってもよい。また、本発明に係るガス供給システムは、ガス供給対象装置を1つだけ備えたものであってもよい。
 ・本発明は、細胞の培養目的、細胞の検査目的等に限定されず、様々な目的において、ガスが供給されるガス供給対象装置
 ・ガスを供給するシステムに適用可能であり、半導体ウェハ、液晶ディスプレイパネル等の基板を処理する装置
 ・システム等にも適用可能である。
 ・ガス供給対象装置のチャンバーに供給されるガスは、過酸化水素ガスに限定されず、酸化エチレンガス、窒素ガス、アルゴンガス、空気等、任意の種類のガスであってよく、複数種類のガスが混合されたものであってもよい。また、ガスは、滅菌作用を有するものや、人体に有害なものに限定されない。
 ・保持手段の状態が示す「チャンバーへのガスの供給状況」とは、上述の実施形態のような「ガス供給開始前」「ガス供給途中」「ガス供給完了後」に限定されず、「チャンバー内のガス濃度」、「チャンバーへのガスの供給回数(履歴)」等であってもよい。
 ・保持手段は、ラッチングリレーに限定されない。例えば、保持手段は、ラッチングソレノイドや、不揮発性メモリ(EPROM等)であってもよい。保持手段がラッチングソレノイドの場合、ラッチングソレノイドの状態(第1状態及び第2状態のいずれにあるか)を目視によって判断することができる。また、保持手段がラッチングソレノイドの場合、扉ロック機構17、管73,74のロック機構等とラッチングソレノイドを連携させ、ラッチングソレノイドが第2状態の場合にロック機構がONになるようにして、扉10cの開放や管73,74の取り外しを禁止することも可能である。保持手段が不揮発性メモリの場合、不揮発性メモリに「チャンバー内のガス濃度」及び/又は「チャンバーへのガスの供給回数」を記憶させてもよい。
 ・保持手段が取り得る状態の数は、複数であればよく、例えば2つ(ガス供給開始前又はガス供給完了後を示す「第1状態」、及び、ガス供給途中を示す「第2状態」)であってもよい。
 ・保持手段に含まれる素子の数は、3以上であってもよい。また、保持手段が1つの素子(例えば、1つのラッチングリレー)で構成されてもよい。
 ・判断手段及び処理手段は、ガス供給対象装置の内部及び外部のいずれに設けられてもよい。
 ・処理手段が行う処理(処理ステップにおいて行われる処理)は、上述の実施形態で記載した処理(扉の開放を禁止する処理等)に限定されず、例えば、給気管及び排気管の取り外しを禁止する処理や、扉の開放や給気管及び排気管の取り外しが行われたときに報知(アラーム等の音声による報知や、画像による報知等)を行う処理であってもよい。
 1 ガス供給システム
 10 ガス供給対象装置
 10a チャンバー
 11 コントローラ(判断手段,処理手段)
 12 保持手段
 12a,12b ラッチングリレー(素子)
 50 ガス発生装置
 50a ガス発生器
 51 コントローラ(処理手段)

Claims (8)

  1.  ガスが供給されるチャンバーを備えたガス供給対象装置であって、
     前記チャンバーへのガスの供給状況を示す複数の状態を選択的に取り得ると共に、当該ガス供給対象装置への電力の供給が遮断された場合に、前記電力の供給が遮断された時点における前記複数の状態のいずれかを保持することが可能な保持手段をさらに備えたことを特徴とする、ガス供給対象装置。
  2.  前記保持手段は、当該ガス供給対象装置への電力の供給がある場合及び電力の供給が遮断されている場合のいずれにおいても、外部装置によって前記複数の状態のいずれにあるかを判断できるように構成されていることを特徴とする、請求項1に記載のガス供給対象装置。
  3.  前記保持手段は、当該ガス供給対象装置への電力の供給がある場合、外部装置によって前記複数の状態のいずれかに設定できるように構成されていることを特徴とする、請求項1又は2に記載のガス供給対象装置。
  4.  前記保持手段は、ラッチングリレーを含むことを特徴とする、請求項1~3のいずれか1項に記載のガス供給対象装置。
  5.  前記ガスが滅菌作用を有することを特徴とする、請求項1~4のいずれか1項に記載のガス供給対象装置。
  6.  ガスが供給されるチャンバーを有するガス供給対象装置と、
     ガスを発生させるガス発生器を有するガス発生装置とを備え、
     前記ガス発生器が発生させたガスを前記チャンバーに供給するように構成されたガス供給システムであって、
     前記ガス供給対象装置は、前記チャンバーへのガスの供給状況を示す複数の状態を選択的に取り得ると共に、当該ガス供給対象装置への電力の供給が遮断された場合に、前記電力の供給が遮断された時点における前記複数の状態のいずれかを保持することが可能な保持手段をさらに有し、
     前記保持手段が前記複数の状態のいずれにあるかを判断する判断手段と、
     前記判断手段の判断に応じた処理を行う処理手段とをさらに備えたことを特徴とする、ガス供給システム。
  7.  複数の前記ガス供給対象装置を備え、
     前記ガス発生器が発生させたガスを、前記複数のガス供給対象装置の中から順次選択される1つのガス供給対象装置の前記チャンバーに供給するように構成されたことを特徴とする、請求項4に記載のガス供給システム。
  8.  ガスが供給されるチャンバーを有するガス供給対象装置と、ガスを発生させるガス発生器を有するガス発生装置とを備え、前記ガス発生装置が発生させたガスを前記チャンバーに供給するように構成されたガス供給システムを制御する方法であって、
     前記ガス供給対象装置は、前記チャンバーへのガスの供給状況を示す複数の状態を選択的に取り得ると共に、当該ガス供給対象装置への電力の供給が遮断された場合に、前記電力の供給が遮断された時点における前記複数の状態のいずれかを保持することが可能な保持手段をさらに有し、
     前記ガス供給システムの判断手段によって前記保持手段が前記複数の状態のいずれにあるかを判断する判断ステップと、
     前記ガス供給システムの処理手段によって前記判断手段の判断に応じた処理を行う処理ステップとを備えたことを特徴する、ガス供給システムの制御方法。
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