WO2016189681A1 - 配管装置および、洗浄装置 - Google Patents

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WO2016189681A1
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cleaning
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nozzle
liquid
pump
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Inventor
和美 星川
Original Assignee
富士機械製造株式会社
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/02—Cleaning by the force of jets or sprays

Definitions

  • the present invention relates to a piping device that circulates liquid in piping by the operation of a pump, and a cleaning device including the piping device.
  • a piping device comprising a storage tank for storing liquid, a pipe for discharging the liquid from the storage tank, and a pump for sending the liquid from the storage tank into the pipe is used as a cleaning device by pressurizing the liquid with the pump. Used.
  • the following patent document describes an example of a cleaning device for cleaning an instrument such as a suction nozzle used in a working machine.
  • a piping device described in the present application is provided in a storage tank that stores liquid, a pipe that is connected to the storage tank, and discharges liquid from the storage tank, and the pipe.
  • a pump that sends liquid from the storage tank into the pipe, a detection device that is provided in the pipe and outputs a detection value indicating that a predetermined amount of liquid is flowing in the pipe, and controls the operation of the pump And a detection value indicating that a predetermined amount of liquid is flowing in the pipe within the set time after the operation of the pump is started by the operation control unit.
  • a control unit having a determination unit for determining whether or not.
  • cleaning apparatus as described in this application is a washing
  • a detection device that outputs a detection value indicating that a predetermined amount of liquid is flowing in the piping is provided in the piping. Then, it is determined whether or not a detection value indicating that a predetermined amount of liquid is flowing in the pipe is output by the detection device within a set time after the operation of the pump is started. At this time, if the detection value is output within the set time after the pump operation is started, it is determined that the liquid is flowing in the pipe, and the detection value is detected within the set time after the pump operation is started. Is not output, it is determined that no liquid is flowing in the pipe. Thus, in the piping device described in the present application, it is possible to monitor the flow of liquid in the piping with only one detection device, and it is possible to monitor the flow of liquid in the piping at a low cost. It becomes.
  • FIG. 1 shows an electronic component mounting apparatus 10.
  • the electronic component mounting apparatus 10 includes one system base 12 and two electronic component mounting machines (hereinafter, may be abbreviated as “mounting machines”) 14 adjacent on the system base 12. Yes.
  • the direction in which the mounting machines 14 are arranged is referred to as the X-axis direction, and the horizontal direction perpendicular to the direction is referred to as the Y-axis direction.
  • Each mounting machine 14 mainly includes a mounting machine main body 20, a transport device 22, a mounting head moving device (hereinafter also referred to as “moving device”) 24, a mounting head 26, a supply device 28, and a nozzle station 30. ing.
  • the mounting machine main body 20 includes a frame portion 32 and a beam portion 34 that is overlaid on the frame portion 32.
  • the transport device 22 includes two conveyor devices 40 and 42.
  • the two conveyor devices 40 and 42 are disposed in the frame portion 32 so as to be parallel to each other and extend in the X-axis direction.
  • Each of the two conveyor devices 40 and 42 conveys a circuit board supported by the conveyor devices 40 and 42 in the X-axis direction by an electromagnetic motor (not shown).
  • the circuit board is held at a predetermined position by a board holding device (not shown).
  • the moving device 24 is an XY robot type moving device.
  • the moving device 24 includes an electromagnetic motor (not shown) that slides the slider 50 in the X-axis direction and an electromagnetic motor (not shown) that slides in the Y-axis direction.
  • a mounting head 26 is attached to the slider 50, and the mounting head 26 is moved to an arbitrary position on the frame portion 32 by operation of two electromagnetic motors.
  • the mounting head 26 mounts electronic components on the circuit board.
  • the mounting head 26 has a suction nozzle 60 provided on the lower end surface.
  • the suction nozzle 60 communicates with a positive / negative pressure supply device (not shown) through negative pressure air and positive pressure air passages.
  • the suction nozzle 60 sucks and holds the electronic component with a negative pressure, and detaches the held electronic component with a positive pressure.
  • the mounting head 26 has a lifting device (not shown) that lifts and lowers the suction nozzle 60.
  • the mounting head 26 changes the vertical position of the electronic component to be held by the lifting device.
  • the suction nozzle 60 is attachable to and detachable from the mounting head 26 and can be replaced with a suction nozzle corresponding to the electronic component to be held.
  • the supply device 28 is a feeder type supply device, and has a plurality of tape feeders 70.
  • the tape feeder 70 accommodates the taped component in a wound state.
  • the taped component is a taped electronic component.
  • the tape feeder 70 sends out the taped parts by a feeding device (not shown).
  • the feeder type supply device 28 supplies the electronic component at the supply position by feeding the taped component.
  • the nozzle station 30 has a nozzle tray 76.
  • a plurality of suction nozzles 60 are accommodated in the nozzle tray 76.
  • exchange of the suction nozzle 60 attached to the mounting head 26 and the suction nozzle 60 accommodated in the nozzle tray 76 is performed as necessary.
  • the nozzle tray 76 can be attached to and detached from the nozzle station 30, and the collection of the suction nozzle 60 accommodated in the nozzle tray 76 and the replenishment of the suction nozzle 60 to the nozzle tray 76 can be performed outside the mounting machine 14. Is possible.
  • the mounting operation can be performed by the mounting head 26 on the circuit board held by the transport device 22 with the above-described configuration.
  • the circuit board is transported to the work position in accordance with a command from a control device (not shown) of the mounting machine 14, and is held by the board holding device at that position.
  • the tape feeder 70 sends out the taped parts and supplies the electronic parts at the supply position in accordance with an instruction from the control device.
  • the mounting head 26 moves above the supply position of the electronic component and sucks and holds the electronic component by the suction nozzle 60. Subsequently, the mounting head 26 moves above the circuit board and mounts the held electronic component on the circuit board.
  • the suction nozzle 60 is managed by the nozzle management device described below.
  • the nozzle management device 80 has a generally rectangular parallelepiped shape.
  • the nozzle management device 80 accommodates the nozzle tray 76 in the nozzle management device 80 on the front or takes out the nozzle tray 76 from the nozzle management device 80.
  • a door 82 is provided above the door 82. Above the door 82, a panel 86 for displaying various information is disposed.
  • the nozzle management device 80 has a management device main body 90, a pallet storage device 92, a nozzle transfer device 94, a nozzle inspection device 96, and a nozzle cleaning device 98, as shown in FIG.
  • FIG. 3 is a perspective view showing a state where the outer shell member of the nozzle management device 80 is removed, and shows the internal structure of the nozzle management device 80.
  • the management apparatus main body 90 includes a frame unit 100 and a beam unit 102 that is overlaid on the frame unit 100.
  • the frame portion 100 has a hollow structure, and a pallet accommodating device 92 is disposed in the frame portion 100, and an upper end portion of the pallet accommodating device 92 is exposed on the upper surface of the frame portion 100.
  • the pallet storage device 92 includes a plurality of pallet placement shelves 106 and a support arm 108.
  • the pallet mounting shelf 106 is a shelf for mounting the nozzle pallet 110, and a plurality of pallet mounting shelves 106 are arranged in the vertical direction inside the frame unit 100.
  • a plurality of suction nozzles 60 are accommodated in the nozzle pallet 110.
  • the support arm 108 moves up and down in front of the plurality of pallet mounting shelves 106 and approaches and separates from the pallet mounting shelves 106 by the operation of an arm moving device (not shown). As a result, the support arm 108 performs the storage of the nozzle pallet 110 on the pallet mounting shelf 106 and the removal of the nozzle pallet 110 from the pallet mounting shelf 106.
  • the nozzle pallet 110 taken out from the pallet mounting shelf 106 moves to the upper surface side of the frame unit 100 when the support arm 108 moves upward.
  • the nozzle transfer device 94 is a device for transferring the suction nozzle 60 between the nozzle tray 76 and the nozzle pallet 110, and is disposed in the beam unit 102.
  • the nozzle transfer device 94 includes a transfer head 120 and a head moving device 122.
  • a camera 126 facing downward and a holding chuck 128 for holding the suction nozzle 60 are attached to the lower end surface of the transfer head 120.
  • the head moving device 122 is an XYZ type moving device that moves the transfer head 120 in the front-rear direction, the left-right direction, and the up-down direction on the frame unit 100.
  • a fixed stage 130 for setting the nozzle tray 76 is provided on the upper surface on the front side of the frame 100.
  • the nozzle tray 76 set on the fixed stage 130 and the support arm 108 of the pallet accommodating device 92 are provided.
  • the suction nozzle 60 is transferred between the nozzle pallet 110 supported by the nozzle pallet 110.
  • the nozzle inspection device 96 includes a camera 140, a load cell 142, and an air supply device 144.
  • the camera 140 is disposed on the upper surface of the frame unit 100 so as to face upward, and the tip of the suction nozzle 60 is inspected using the camera 140.
  • the suction nozzle 60 to be inspected is held by the holding chuck 128, and the suction nozzle 60 held by the holding chuck 128 is imaged by the camera 140 from below. Thereby, the imaging data of the front-end
  • the load cell 142 is disposed next to the camera 140, and the load cell 142 is used to inspect the expansion / contraction state of the tip portion of the suction nozzle 60.
  • the suction nozzle 60 to be inspected is held by the holding chuck 128, and the tip of the suction nozzle 60 held by the holding chuck 128 is brought into contact with the load cell 142.
  • the tip portion of the suction nozzle 60 can be extended and contracted, and the extension state of the tip portion of the suction nozzle 60 is inspected based on the load measured by the load cell 142.
  • the air supply device 144 is attached to the transfer head 120 of the nozzle transfer device 94, and the air flow rate of the suction nozzle 60 is inspected using the air supply device 144. Specifically, the air supply device 144 moves above the suction nozzle 60 mounted on either the nozzle tray 76 or the nozzle pallet 110 by the operation of the head moving device 122. The joint 146 of the air supply device 144 is connected to the suction nozzle 60 to be inspected, and air is supplied from the air supply device 144. At this time, the air pressure is measured, and the air flow rate inspection of the suction nozzle 60 is performed based on the air pressure.
  • a plurality of disposal boxes 148 are disposed on the upper surface of the frame unit 100, and the suction nozzle 60 determined as a defective nozzle by the above inspection is discarded in the disposal box 148. Further, the suction nozzle 60 determined as a normal nozzle by the inspection is returned to the nozzle tray 76 or the nozzle pallet 110.
  • the nozzle cleaning device 98 is a device that cleans and dries the suction nozzle 60, and is disposed next to the pallet storage device 92.
  • the nozzle cleaning device 98 includes a cleaning / drying mechanism 150 and a cleaning pallet moving mechanism 152.
  • the cleaning / drying mechanism 150 is a mechanism for cleaning and drying the suction nozzle 60 inside.
  • the cleaning pallet moving mechanism 152 is a mechanism for moving the cleaning pallet 158 between an exposure position where the cleaning pallet 158 is exposed (a position where the cleaning pallet 158 is illustrated in FIG. 3) and the inside of the cleaning / drying mechanism 150. It is.
  • the suction nozzle 60 to be cleaned is moved from the nozzle tray 76 or the nozzle pallet 110 to the exposed position by the nozzle transfer device 94. Transferred to the cleaning pallet 158. Then, the cleaning pallet 158 moves into the cleaning / drying mechanism 150 by the operation of the cleaning pallet moving mechanism 152.
  • the cleaning / drying mechanism 150 includes an upper cleaning unit 170, a lower cleaning unit 172, a housing 174, and a piping device 176.
  • the upper cleaning unit 170 and the lower cleaning unit 172 are arranged to face each other in the vertical direction in the housing 174. Then, the cleaning pallet 158 moves between the upper cleaning unit 170 and the lower cleaning unit 172 by the operation of the cleaning pallet moving mechanism 152.
  • the upper cleaning unit 170 has an upper injection nozzle 178, and the upper injection nozzle 178 is slidably held on the lower surface of the upper cleaning unit 170.
  • a plurality of injection holes (not shown) are formed on the lower surface of the upper injection nozzle 178.
  • the lower cleaning unit 172 includes a lower injection nozzle 180, and the lower injection nozzle 180 is slidably held on the upper surface of the lower cleaning unit 172.
  • a plurality of injection holes (not shown) are formed on the upper surface of the lower injection nozzle 180.
  • the bottom surface of the housing 174 functions as a water storage tank, and the cleaning water 182 stored in the bottom surface of the housing 174 is circulated by the piping device 176, and the injection nozzles 178 of the upper cleaning unit 170 and the lower cleaning unit 172 are circulated. , 180.
  • the piping device 176 includes a drainage channel 184, a flow switch 186, a filter 188, a pressure pump 190, and a water supply channel 192. Washing water 182 is stored on the bottom surface of the housing 174, and one end of the drainage channel 184 is opened on the bottom surface.
  • the drainage channel 184 extends downward, and a flow switch 186 is disposed in the drainage channel 184.
  • the flow switch 186 is either an ON sensor value indicating that the cleaning water 182 is flowing in the drainage channel 184 or an OFF sensor value indicating that the cleaning water 182 is not flowing in the drainage channel 184. Is a sensor that outputs.
  • the flow switch 186 for example, there is one in which a valve is disposed in the drainage channel 184. In such a flow switch, when the cleaning water 182 flows in the drainage channel 184, the valve opens to turn on the reed switch, output the ON sensor value, and the cleaning water 182 flows in the drainage channel 184. If not, the reed switch is turned OFF by closing the valve, and the OFF sensor value is output.
  • the flow switch 186 for example, there is a switch in which a float that moves up and down by increasing or decreasing the washing water 182 in the drainage channel 184 is disposed, and a magnet is enclosed in the float.
  • a flow switch when the cleaning water 182 flows in the drainage channel 184, the float moves upward, the reed switch is turned on by the magnet enclosed in the float, the ON sensor value is output, and the drainage
  • the float moves downward, the reed switch is turned off by the magnet enclosed in the float, and the OFF sensor value is output.
  • the flow switch 186 is a relatively inexpensive sensor because of its simple structure as described above.
  • a filter 188 is disposed in the drainage channel 184 on the downstream side of the flow switch 186. As a result, the cleaning water 182 stored on the bottom surface of the housing 174 flows into the drainage channel 184, and impurities are removed by the filter 188. Further, a pressure pump 190 is disposed in the drainage channel 184 on the downstream side of the filter 188. A water supply path 192 is connected to the pressure pump 190, and the cleaning water 182 pressurized by the pressure pump 190 is sent out to the water supply path 192.
  • the water supply path 192 is connected to the spray nozzles 178 and 180 of the upper cleaning unit 170 and the lower cleaning unit 172, and the cleaning water 182 is ejected from the spray nozzles 178 and 180 toward the cleaning pallet 158.
  • the ejection nozzles 178 and 180 are slid by the operation of an electromagnetic motor (not shown). Thereby, the plurality of suction nozzles 60 placed on the cleaning pallet 158 are cleaned.
  • a partition plate 196 is disposed between the lower cleaning unit 172 and the cleaning water 182 stored on the bottom surface of the housing 174.
  • the partition plate 196 is disposed in an inclined state, and a sheet-like sponge 198 is fixed to the upper surface of the partition plate 196.
  • the washing water 182 ejected from each of the ejection nozzles 178 and 180 falls on the partition plate 196.
  • the cleaning water 182 is prevented from rebounding by the sponge 198 disposed on the upper surface of the partition plate 196.
  • the cleaning water 182 flows on the partition plate 196 disposed in an inclined state and is re-stored on the bottom surface of the housing 174.
  • the cleaning / drying mechanism 150 circulates the cleaning water 182.
  • the cleaning / drying mechanism 150 monitors whether or not the cleaning water 182 is circulated appropriately. Specifically, when the pressurization pump 190 is operated, it is determined whether or not the ON sensor value is output by the flow switch 186 within a set time from the timing when the operation of the pressurization pump 190 is started. That is, as shown in FIG.
  • the flow switch It is determined whether or not the sensor value by 186 has been switched from the OFF sensor value to the ON sensor value.
  • the set time is set in consideration of a time lag until a predetermined amount of the wash water 182 flows through the drainage channel 184 by the operation of the pressurizing pump 190.
  • the circulation of the cleaning water 182 is constantly monitored not only at the timing when the operation of the pressurizing pump 190 is started but also while the cleaning / drying mechanism 150 is operating.
  • the monitoring of the circulation of the cleaning water 182 while the cleaning / drying mechanism 150 is operating when the OFF sensor value is output by the flow switch 186 while the pressure pump 190 is operating, the cleaning water 182 It is judged that the circulation is not performed properly. That is, it is determined that the cleaning water 182 is properly circulated unless the OFF sensor value is output by the flow switch 186 while the pressure pump 190 is operating. Thereby, it becomes possible to always monitor the circulation of the cleaning water 182.
  • the cleaning / drying mechanism 150 it is possible to appropriately monitor the circulation of the cleaning water 182 only by disposing the relatively inexpensive flow switch 186 in the drainage channel 184.
  • the flow switch 186 is disposed upstream of the pressurizing pump 190, that is, between the housing 174 of the drainage channel 184 and the pressurizing pump 190. For this reason, it is possible to employ an inexpensive flow switch that does not support high-pressure water instead of a relatively expensive flow switch that supports high-pressure water.
  • the cleaning / drying mechanism 150 is provided with a plurality of blower tubes (not shown) adjacent to the upper cleaning unit 170 and the lower cleaning unit 172.
  • the plurality of air ducts are disposed above and below the cleaning pallet 158 moved by the cleaning pallet moving mechanism 152.
  • the blower pipe is connected to a blower (not shown) via a heater (not shown), and warm air is blown into the blower pipe.
  • warm air is blown toward the cleaning pallet 158 cleaned by the cleaning units 170 and 172, and the suction nozzle 60 placed on the cleaning pallet 158 is dried.
  • the cleaning pallet 158 is moved to the exposure position by the operation of the cleaning pallet moving mechanism 152, and the nozzle tray 76 or the The suction nozzle 60 is returned to the nozzle pallet 110.
  • the nozzle management device 80 includes a control device 200 as shown in FIG.
  • the control device 200 includes a controller 202 and a plurality of drive circuits 206.
  • the plurality of drive circuits 206 are connected to the pallet storage device 92, the nozzle transfer device 94, the nozzle inspection device 96, and the pressure pump 190.
  • the controller 202 includes a CPU, a ROM, a RAM, and the like, mainly a computer, and is connected to a plurality of drive circuits 206. Thereby, the operations of the pallet storage device 92, the nozzle transfer device 94, and the like are controlled by the controller 202.
  • the controller 202 is connected to the flow switch 186 of the nozzle cleaning device 98, and the sensor value detected by the flow switch 186 is input to the controller 202. Thereby, the controller 202 monitors the circulation of the washing water 182 described above. The controller 202 determines whether or not the ON sensor value is detected by the flow switch 186 within a set time from the start of the operation of the pressurization pump 190 and the operation control unit 210 that controls the operation of the pressurization pump 190. And a determination unit 212.
  • the mounting machine 14 is an example of a work machine and a mounting machine.
  • the suction nozzle 60 is an example of an instrument and a component holder.
  • the cleaning / drying mechanism 150 is an example of a cleaning device.
  • the housing 174 is an example of a storage tank.
  • the piping device 176 is an example of a piping device. What is constituted by the drainage channel 184 and the water supply channel 192 is an example of piping.
  • the flow switch 186 is an example of a detection device.
  • the filter 188 is an example of a filter.
  • the pressurization pump 190 is an example of a pump.
  • the control device 200 is an example of a control device.
  • the operation control unit 210 is an example of an operation control unit.
  • the determination unit 212 is an example of a determination unit.
  • this invention is not limited to the said Example, It is possible to implement in the various aspect which gave various change and improvement based on the knowledge of those skilled in the art. Specifically, for example, in the above embodiment, the present invention is applied to the cleaning of the suction nozzle 60, but the equipment used in the mounting machine 14, specifically, for example, the cleaning of the feeder, the nozzle tray 76, etc. It is possible to apply this invention to. In addition, the present invention can be applied to cleaning of various instruments as well as instruments used in the mounting machine 14. Furthermore, in the above-described embodiments, the present invention is applied to the cleaning of instruments. However, the present invention can be applied to various uses other than cleaning, for example, watering, liquid filtration, and the like. .
  • the flow switch 186 is used as a detection device for detecting the flow of the cleaning water 182 in the pipe, but a flow sensor or the like that can detect the flow rate of the cleaning water 182 flowing in the pipe is used. Is possible.

Landscapes

  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)

Abstract

洗浄・乾燥機構（１５０）では、配管（１８４）内に液体が流れていることを示すセンサ値であるＯＮセンサ値と、配管（１８４）内に液体が流れていないことを示すセンサ値であるＯＦＦセンサ値との何れかのセンサ値を出力するフロースイッチ（１８６）が、排水路（１８４）に設けられている。このセンサは、所謂、フロースイッチ（１８６）であり、構造が簡便なため、比較的安価である。そして、加圧ポンプ（１９０）の作動開始から設定時間内に、フロースイッチ（１８６）によりＯＮセンサ値が出力されるか否かが判定される。この際、設定時間内にＯＮセンサ値が出力された場合に、配管（１８４）内に液体が流れていると判断され、設定時間内にＯＮセンサ値が出力されない場合に、配管（１８４）内に液体が流れていないと判断される。これにより、比較的安価なセンサを１つ設けるだけで、配管内（１８４）の液体の流れを監視することが可能となる。

Description

配管装置および、洗浄装置
　本発明は、ポンプの作動により配管内に液体を流通させる配管装置、および、その配管装置を備えた洗浄装置に関する。
　液体を貯留する貯留槽と、貯留槽から液体を排出するための配管と、貯留槽から配管内に液体を送り出すポンプとを備えた配管装置は、ポンプにより液体を加圧することで、洗浄装置として用いられる。下記特許文献には、作業機で用いられる吸着ノズル等の器具を洗浄するための洗浄装置の一例が記載されている。
特開２０１１－７８８８１号公報 特開２０１４－１６８７４５号公報
　上記特許文献に記載の技術によれば、配管内に適切に液体を流すことが可能となる。しかしながら、ポンプのサーマルトリップ、液体の不足、配管の詰まり等により、配管内に適切に液体を流すことができない場合がある。このため、配管内の液体の流れを監視するべく、貯留槽に液体の液面センサ，ポンプにサーマルセンサ，配管に圧力センサ等を配設する必要があるが、それらのセンサは、比較的高価であり、多くのセンサを配設すると、コスト的に問題がある。本発明は、そのような実情に鑑みてなされたものであり、本発明の課題は、低コストで配管内の液体の流れを監視することである。
　上記課題を解決するために、本願に記載の配管装置は、液体を貯留する貯留漕と、前記貯留漕に繋がれ、前記貯留漕から液体を排出するための配管と、前記配管に設けられ、前記貯留漕から前記配管内に液体を送り出すポンプと、前記配管に設けられ、前記配管内に所定量の液体が流れていることを示す検出値を出力する検出装置と、前記ポンプの作動を制御する作動制御部と、前記作動制御部により前記ポンプの作動が開始されてから設定時間内に、前記検出装置により前記配管内に所定量の液体が流れていることを示す検出値が出力されるか否かを判定する判定部とを有する制御装置とを備えることを特徴とする。
　また、上記課題を解決するために、本願に記載の洗浄装置は、作業機で用いられる器具を洗浄するための洗浄装置であって、当該洗浄装置が、上記配管装置を備え、前記ポンプにより前記配管から送り出された液体により前記器具を洗浄することを特徴とする。
　本願に記載の配管装置では、配管内に所定量の液体が流れていることを示す検出値を出力する検出装置が、配管に設けられている。そして、ポンプの作動が開始されてから設定時間内に、検出装置により配管内に所定量の液体が流れていることを示す検出値が出力されるか否かが判定される。この際、ポンプの作動が開始されてから設定時間内に検出値が出力された場合に、配管内に液体が流れていると判断され、ポンプの作動が開始されてから設定時間内に検出値が出力されない場合に、配管内に液体が流れていないと判断される。このように、本願に記載の配管装置では、検出装置を１つ設けるだけで、配管内の液体の流れを監視することが可能となり、低コストで配管内の液体の流れを監視することが可能となる。
電子部品装着装置を示す斜視図である。 ノズル管理装置の外観を示す斜視図である。 ノズル管理装置の内部構造を示す斜視図である。 洗浄・乾燥機構を示す概略図である。 ポンプの作動状態とフロースイッチにより出力されるセンサ値との関係を示す図である。 ノズル管理装置の備える制御装置を示すブロック図である。
　以下、本発明を実施するための形態として、本発明の実施例を、図を参照しつつ詳しく説明する。
　＜電子部品装着装置の構成＞
　図１に、電子部品装着装置１０を示す。電子部品装着装置１０は、１つのシステムベース１２と、そのシステムベース１２の上に隣接された２台の電子部品装着機（以下、「装着機」と略す場合がある）１４とを有している。なお、装着機１４の並ぶ方向をＸ軸方向と称し、その方向に直角な水平の方向をＹ軸方向と称する。
　各装着機１４は、主に、装着機本体２０、搬送装置２２、装着ヘッド移動装置（以下、「移動装置」と略す場合がある）２４、装着ヘッド２６、供給装置２８、ノズルステーション３０を備えている。装着機本体２０は、フレーム部３２と、そのフレーム部３２に上架されたビーム部３４とによって構成されている。
　搬送装置２２は、２つのコンベア装置４０，４２を備えている。それら２つのコンベア装置４０，４２は、互いに平行、かつ、Ｘ軸方向に延びるようにフレーム部３２に配設されている。２つのコンベア装置４０，４２の各々は、電磁モータ（図示省略）によって各コンベア装置４０，４２に支持される回路基板をＸ軸方向に搬送する。また、回路基板は、所定の位置において、基板保持装置（図示省略）によって保持される。
　移動装置２４は、ＸＹロボット型の移動装置である。移動装置２４は、スライダ５０をＸ軸方向にスライドさせる電磁モータ（図示省略）と、Ｙ軸方向にスライドさせる電磁モータ（図示省略）とを備えている。スライダ５０には、装着ヘッド２６が取り付けられており、その装着ヘッド２６は、２つの電磁モータの作動によって、フレーム部３２上の任意の位置に移動させられる。
　装着ヘッド２６は、回路基板に対して電子部品を装着するものである。装着ヘッド２６は、下端面に設けられた吸着ノズル６０を有している。吸着ノズル６０は、負圧エア，正圧エア通路を介して、正負圧供給装置（図示省略）に通じている。吸着ノズル６０は、負圧によって電子部品を吸着保持し、保持した電子部品を正圧によって離脱する。また、装着ヘッド２６は、吸着ノズル６０を昇降させる昇降装置（図示省略）を有している。その昇降装置によって、装着ヘッド２６は、保持する電子部品の上下方向の位置を変更する。なお、吸着ノズル６０は、装着ヘッド２６に着脱可能とされており、保持対象の電子部品に応じた吸着ノズルに交換可能とされている。
　供給装置２８は、フィーダ型の供給装置であり、複数のテープフィーダ７０を有している。テープフィーダ７０は、テープ化部品を巻回させた状態で収容している。テープ化部品は、電子部品がテーピング化されたものである。そして、テープフィーダ７０は、送り装置（図示省略）によって、テープ化部品を送り出す。これにより、フィーダ型の供給装置２８は、テープ化部品の送り出しによって、電子部品を供給位置において供給する。
　ノズルステーション３０は、ノズルトレイ７６を有している。ノズルトレイ７６には、複数の吸着ノズル６０が収容されている。このノズルステーション３０では、装着ヘッド２６に取り付けられている吸着ノズル６０と、ノズルトレイ７６に収容されている吸着ノズル６０との交換等が、必要に応じて行われる。また、ノズルトレイ７６は、ノズルステーション３０に着脱可能であり、ノズルトレイ７６に収容された吸着ノズル６０の回収，ノズルトレイ７６への吸着ノズル６０の補給等を装着機１４の外部において行うことが可能である。
　＜装着機による装着作業＞
　装着機１４では、上述した構成によって、搬送装置２２に保持された回路基板に対して、装着ヘッド２６によって装着作業を行うことが可能である。具体的には、装着機１４の制御装置（図示省略）の指令により、回路基板が作業位置まで搬送され、その位置において、基板保持装置によって保持される。また、テープフィーダ７０は、制御装置の指令により、テープ化部品を送り出し、電子部品を供給位置において供給する。そして、装着ヘッド２６が、電子部品の供給位置の上方に移動し、吸着ノズル６０によって電子部品を吸着保持する。続いて、装着ヘッド２６は、回路基板の上方に移動し、保持している電子部品を回路基板上に装着する。
　装着機１４では、上述したように、テープフィーダ７０によって供給された電子部品を、吸着ノズル６０によって吸着保持し、その電子部品が回路基板上に装着される。このため、吸着ノズル６０に不具合が生じている場合には、装着作業を適切に行うことができない虞があるため、吸着ノズル６０を適切に管理する必要がある。そこで、以下に説明するノズル管理装置により、吸着ノズル６０の管理が行われる。
　＜ノズル管理装置の構成＞
　ノズル管理装置８０は、図２に示すように、概して直方体形状をなしており、正面に、ノズルトレイ７６をノズル管理装置８０内に収納、若しくは、ノズル管理装置８０からノズルトレイ７６を取り出すための扉８２が設けられている。その扉８２の上方には、各種情報を表示するパネル８６等が配設されている。
　ノズル管理装置８０は、図３に示すように、管理装置本体９０、パレット収容装置９２、ノズル移載装置９４、ノズル検査装置９６、ノズル洗浄装置９８を有している。なお、図３は、ノズル管理装置８０の外殻部材を取り外した状態を示す斜視図であり、ノズル管理装置８０の内部構造を示している。
　管理装置本体９０は、フレーム部１００と、そのフレーム部１００に上架されたビーム部１０２とによって構成されている。フレーム部１００は、中空構造とされており、フレーム部１００内にパレット収容装置９２が配設され、パレット収容装置９２の上端部が、フレーム部１００の上面に露出している。
　パレット収容装置９２は、複数のパレット載置棚１０６と、支持アーム１０８とを含む。パレット載置棚１０６は、ノズルパレット１１０を載置するための棚であり、複数のパレット載置棚１０６が、フレーム部１００の内部において、上下方向に並んで配設されている。なお、ノズルパレット１１０には、複数の吸着ノズル６０が収容される。また、支持アーム１０８は、アーム移動装置（図示省略）の作動により、複数のパレット載置棚１０６の前方において、上下方向に移動するとともに、パレット載置棚１０６に接近・離間する。これにより、パレット載置棚１０６へのノズルパレット１１０の収納、パレット載置棚１０６からのノズルパレット１１０の取出しが、支持アーム１０８によって行われる。なお、パレット載置棚１０６から取り出されたノズルパレット１１０は、支持アーム１０８が上方に移動することで、フレーム部１００の上面側に移動する。
　ノズル移載装置９４は、ノズルトレイ７６とノズルパレット１１０との間で吸着ノズル６０を移載するための装置であり、ビーム部１０２に配設されている。ノズル移載装置９４は、移載ヘッド１２０とヘッド移動装置１２２とを有している。移載ヘッド１２０の下端面には、下方を向いた状態のカメラ１２６と、吸着ノズル６０を保持するための保持チャック１２８とが取り付けられている。
　また、ヘッド移動装置１２２は、移載ヘッド１２０をフレーム部１００の上において前後方向、左右方向、上下方向に移動させるＸＹＺ型の移動装置である。なお、フレーム部１００の前方側の上面には、ノズルトレイ７６をセットするための固定ステージ１３０が設けられており、固定ステージ１３０にセットされたノズルトレイ７６と、パレット収容装置９２の支持アーム１０８に支持されたノズルパレット１１０との間で、吸着ノズル６０が移載される。
　ノズル検査装置９６は、カメラ１４０とロードセル１４２とエア供給装置１４４とを有している。カメラ１４０は、上方を向いた状態でフレーム部１００の上面に配設されており、カメラ１４０を用いて、吸着ノズル６０の先端部が検査される。詳しくは、検査対象の吸着ノズル６０が保持チャック１２８によって保持され、その保持チャック１２８に保持された吸着ノズル６０が、下方からカメラ１４０によって撮像される。これにより、吸着ノズル６０の先端部の撮像データが得られ、その撮像データに基づいて、吸着ノズル６０の先端部の状態が検査される。
　また、ロードセル１４２は、カメラ１４０の隣に配設されており、ロードセル１４２を用いて、吸着ノズル６０の先端部の伸縮状態が検査される。詳しくは、検査対象の吸着ノズル６０が保持チャック１２８によって保持され、その保持チャック１２８に保持された吸着ノズル６０の先端部がロードセル１４２に当接される。吸着ノズル６０の先端部は、伸縮可能とされており、ロードセル１４２により測定された荷重に基づいて、吸着ノズル６０の先端部の伸縮状態が検査される。
　また、エア供給装置１４４は、ノズル移載装置９４の移載ヘッド１２０に装着されており、エア供給装置１４４を用いて、吸着ノズル６０のエア流量検査が行われる。詳しくは、エア供給装置１４４が、ヘッド移動装置１２２の作動により、ノズルトレイ７６とノズルパレット１１０との何れかに載置された吸着ノズル６０の上方に移動する。そして、エア供給装置１４４のジョイント１４６が、検査対象の吸着ノズル６０に接続され、エア供給装置１４４からエアが供給される。この際にエア圧が測定され、そのエア圧に基づいて、吸着ノズル６０のエア流量検査が行われる。
　なお、フレーム部１００の上面には、複数の廃棄ボックス１４８が配設されており、上記検査により不良ノズルと判定された吸着ノズル６０は、廃棄ボックス１４８に廃棄される。また、上記検査により正常なノズルと判定された吸着ノズル６０は、ノズルトレイ７６若しくは、ノズルパレット１１０に戻される。
　ノズル洗浄装置９８は、吸着ノズル６０の洗浄および乾燥を行う装置であり、パレット収容装置９２の隣に配設されている。ノズル洗浄装置９８は、洗浄・乾燥機構１５０と洗浄パレット移動機構１５２とを備えている。洗浄・乾燥機構１５０は、内部において吸着ノズル６０の洗浄および乾燥を行う機構である。洗浄パレット移動機構１５２は、洗浄パレット１５８が露出する露出位置（図３で洗浄パレット１５８が図示されている位置）と、洗浄・乾燥機構１５０の内部との間で、洗浄パレット１５８を移動させる機構である。
　ノズル洗浄装置９８により、吸着ノズル６０の洗浄が行われる際には、洗浄対象の吸着ノズル６０が、ノズル移載装置９４によって、ノズルトレイ７６若しくは、ノズルパレット１１０から、露出位置に移動している洗浄パレット１５８に移載される。そして、洗浄パレット１５８が、洗浄パレット移動機構１５２の作動により、洗浄・乾燥機構１５０の内部に移動する。洗浄・乾燥機構１５０は、図４に示すように、上部洗浄ユニット１７０と下部洗浄ユニット１７２とハウジング１７４と配管装置１７６とを含む。
　上部洗浄ユニット１７０と下部洗浄ユニット１７２とは、ハウジング１７４内の上下方向において、互いに向かい合うように配置されている。そして、上部洗浄ユニット１７０と下部洗浄ユニット１７２との間を、洗浄パレット１５８が、洗浄パレット移動機構１５２の作動により移動する。上部洗浄ユニット１７０は、上部噴射ノズル１７８を有しており、上部洗浄ユニット１７０の下面において、上部噴射ノズル１７８をスライド可能に保持している。なお、上部噴射ノズル１７８の下面には、複数の噴射穴（図示省略）が形成されている。また、下部洗浄ユニット１７２は、下部噴射ノズル１８０を有しており、下部洗浄ユニット１７２の上面において、下部噴射ノズル１８０をスライド可能に保持している。なお、下部噴射ノズル１８０の上面には、複数の噴射穴（図示省略）が形成されている。
　また、ハウジング１７４の底面は、貯水タンクとして機能しており、ハウジング１７４の底面に貯留された洗浄水１８２が、配管装置１７６によって循環され、上部洗浄ユニット１７０と下部洗浄ユニット１７２の各噴射ノズル１７８，１８０に供給される。詳しくは、配管装置１７６は、排水路１８４とフロースイッチ１８６とフィルタ１８８と加圧ポンプ１９０と給水路１９２とを含む。ハウジング１７４の底面には、洗浄水１８２が貯留されており、その底面には、排水路１８４の一端が開口している。排水路１８４は、下方に向かって延設されており、排水路１８４には、フロースイッチ１８６が配設されている。
　フロースイッチ１８６は、排水路１８４内に洗浄水１８２が流れていることを示すＯＮセンサ値と、排水路１８４内に洗浄水１８２が流れていないことを示すＯＦＦセンサ値との何れかのセンサ値を出力するセンサである。フロースイッチ１８６としては、例えば、排水路１８４内に弁が配設されたものがある。このようなフロースイッチでは、排水路１８４内を洗浄水１８２が流れた場合に、弁が開くことで、リードスイッチがＯＮとなり、ＯＮセンサ値を出力し、排水路１８４内を洗浄水１８２が流れていない場合には、弁が閉じることで、リードスイッチがＯＦＦとなり、ＯＦＦセンサ値を出力する。また、フロースイッチ１８６としては、例えば、排水路１８４内の洗浄水１８２の増減により上下動するフロートが配設され、そのフロートにマグネットが封入されているものがある。このようなフロースイッチでは、排水路１８４内を洗浄水１８２が流れた場合に、フロートが上方に移動し、そのフロートに封入されたマグネットによりリードスイッチがＯＮとなり、ＯＮセンサ値を出力し、排水路１８４内を洗浄水１８２が流れていない場合には、フロートが下方に移動し、そのフロートに封入されたマグネットによりリードスイッチがＯＦＦとなり、ＯＦＦセンサ値を出力する。なお、フロースイッチ１８６は、上述したような簡便な構造であることから、比較的安価なセンサである。
　また、排水路１８４には、フロースイッチ１８６の下流側に、フィルタ１８８が配設されている。これにより、ハウジング１７４の底面に貯留されている洗浄水１８２が、排水路１８４に流れ込み、フィルタ１８８によって、不純物が取り除かれる。さらに、排水路１８４には、フィルタ１８８の下流側に、加圧ポンプ１９０が配設されている。その加圧ポンプ１９０には、給水路１９２が接続されており、加圧ポンプ１９０によって加圧された洗浄水１８２が、給水路１９２に送り出される。その給水路１９２は、上部洗浄ユニット１７０と下部洗浄ユニット１７２の各噴射ノズル１７８，１８０に接続されており、各噴射ノズル１７８，１８０から洗浄水１８２が洗浄パレット１５８に向かって噴出される。なお、各噴射ノズル１７８，１８０から洗浄水１８２が噴出される際には、各噴射ノズル１７８，１８０は、電磁モータ（図示省略）の作動によりスライドする。これにより、洗浄パレット１５８に載置されている複数の吸着ノズル６０が洗浄される。
　また、下部洗浄ユニット１７２とハウジング１７４の底面に貯留されている洗浄水１８２との間には、仕切板１９６が配設されている。仕切板１９６は、傾斜した状態で配設されており、その仕切板１９６の上面には、シート状のスポンジ１９８が固着されている。このため、各噴射ノズル１７８，１８０から噴出された洗浄水１８２は、仕切板１９６上に落ちる。この際、仕切板１９６上面に配設されたスポンジ１９８によって、洗浄水１８２の跳ね返りが防止される。そして、洗浄水１８２は、傾斜した状態で配設された仕切板１９６上を流れ、ハウジング１７４の底面に再貯留される。このように、洗浄・乾燥機構１５０では、洗浄水１８２の循環が行われている。
　また、洗浄・乾燥機構１５０では、加圧ポンプ１９０のサーマルトリップ、洗浄水１８２の不足、フィルタ１８８，噴射穴等の目詰まり等により、洗浄水１８２の循環が適切に行われず、吸着ノズル６０の洗浄が適切に行われない虞がある。このようなことに鑑みて、洗浄・乾燥機構１５０では、洗浄水１８２の循環が適切に行われているか否かが監視されている。詳しくは、加圧ポンプ１９０が作動されると、加圧ポンプ１９０の作動が開始したタイミングから設定時間内に、フロースイッチ１８６によってＯＮセンサ値が出力されたか否かが判断される。つまり、図５に示すように、加圧ポンプ１９０の作動状態が停止から作動に切り替えられたタイミングにおいて、経過時間の計測が開始され、計測された経過時間が設定時間を超える前に、フロースイッチ１８６によるセンサ値が、ＯＦＦセンサ値からＯＮセンサ値に切り替えられたか否かが判断される。
　そして、加圧ポンプ１９０の作動が開始してから設定時間内に、フロースイッチ１８６によってＯＮセンサ値が出力された場合に、洗浄水１８２の循環が適切に行われていると判断される。一方、加圧ポンプ１９０の作動が開始してから設定時間内に、フロースイッチ１８６によってＯＮセンサ値が出力されない場合に、洗浄水１８２の循環が適切に行われていないと判断される。なお、設定時間は、加圧ポンプ１９０の作動により排水路１８４の内部を所定量の洗浄水１８２が流れる迄のタイムラグを考慮して設定される。
　また、洗浄・乾燥機構１５０では、加圧ポンプ１９０の作動が開始したタイミングだけでなく、洗浄・乾燥機構１５０が作動している最中も、常時、洗浄水１８２の循環が監視されている。洗浄・乾燥機構１５０の作動中での洗浄水１８２の循環の監視では、加圧ポンプ１９０が作動している最中に、フロースイッチ１８６によってＯＦＦセンサ値が出力された場合に、洗浄水１８２の循環が適切に行われていないと判断される。つまり、加圧ポンプ１９０が作動している最中に、フロースイッチ１８６によってＯＦＦセンサ値が出力されない限り、洗浄水１８２の循環が適切に行われていると判断される。これにより、洗浄水１８２の循環を、常時、監視することが可能となる。
　このように、洗浄・乾燥機構１５０では、比較的安価なフロースイッチ１８６を排水路１８４に配設するだけで、洗浄水１８２の循環を適切に監視することが可能となる。特に、洗浄・乾燥機構１５０では、フロースイッチ１８６が、加圧ポンプ１９０の上流側、つまり、排水路１８４のハウジング１７４と加圧ポンプ１９０との間に配設されている。このため、比較的高価な高圧水対応のフロースイッチではなく、安価な高圧水非対応のフロースイッチを採用することが可能となる。
　また、洗浄・乾燥機構１５０には、上部洗浄ユニット１７０および、下部洗浄ユニット１７２の隣に、複数の送風管（図示省略）が配設されている。複数の送風管は、洗浄パレット移動機構１５２により移動される洗浄パレット１５８の上方及び下方に配設されている。また、送風管は、送風装置（図示省略）に加温器（図示省略）を介して接続されており、送風管には、温風が吹き込まれる。これにより、各洗浄ユニット１７０，１７２によって洗浄された洗浄パレット１５８に向かって温風が吹きこまれ、洗浄パレット１５８に載置されている吸着ノズル６０が乾燥される。そして、洗浄・乾燥機構１５０において、吸着ノズル６０の洗浄および乾燥が完了すると、洗浄パレット１５８が、洗浄パレット移動機構１５２の作動により、露出位置に移動され、洗浄パレット１５８から、ノズルトレイ７６若しくは、ノズルパレット１１０に、吸着ノズル６０が戻される。
　さらに、ノズル管理装置８０は、図６に示すように、制御装置２００を備えている。制御装置２００は、コントローラ２０２と複数の駆動回路２０６とを備えている。複数の駆動回路２０６は、パレット収容装置９２、ノズル移載装置９４、ノズル検査装置９６、加圧ポンプ１９０に接続されている。コントローラ２０２は、ＣＰＵ，ＲＯＭ，ＲＡＭ等を備え、コンピュータを主体とするものであり、複数の駆動回路２０６に接続されている。これにより、パレット収容装置９２、ノズル移載装置９４等の作動が、コントローラ２０２によって制御される。また、コントローラ２０２は、ノズル洗浄装置９８のフロースイッチ１８６に接続されており、フロースイッチ１８６によって検出されたセンサ値が、コントローラ２０２に入力される。これにより、コントローラ２０２が、上述した洗浄水１８２の循環を監視する。なお、コントローラ２０２は、加圧ポンプ１９０の作動を制御する作動制御部２１０と、加圧ポンプ１９０の作動開始から設定時間内に、フロースイッチ１８６によってＯＮセンサ値が検出されたか否かを判定する判定部２１２とを有している。
　ちなみに、上記実施例において、装着機１４は、作業機および、実装機の一例である。吸着ノズル６０は、器具および、部品保持具の一例である。洗浄・乾燥機構１５０は、洗浄装置の一例である。ハウジング１７４は、貯留槽の一例である。配管装置１７６は、配管装置の一例である。排水路１８４および給水路１９２によって構成されるものは、配管の一例である。フロースイッチ１８６は、検出装置の一例である。フィルタ１８８は、フィルタの一例である。加圧ポンプ１９０は、ポンプの一例である。制御装置２００は、制御装置の一例である。作動制御部２１０は、作動制御部の一例である。判定部２１２は、判定部の一例である。
　なお、本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することが可能である。具体的には、例えば、上記実施例では、本発明が吸着ノズル６０の洗浄に適用されているが、装着機１４で用いられる器具、具体的には、例えば、フィーダ，ノズルトレイ７６等の洗浄に本発明を適用することが可能である。また、装着機１４で用いられる器具だけでなく、種々の器具の洗浄に本発明を適用することが可能である。さらに言えば、上記実施例では、本発明が器具の洗浄に適用されているが、洗浄以外の用途、例えば、散水、液体の濾過等の種々の用途に本発明を適用することが可能である。
　また、上記実施例では、配管内の洗浄水１８２の流れを検出する検出装置として、フロースイッチ１８６が採用されているが、配管内を流れる洗浄水１８２の流量を検出可能な流量センサ等を採用することが可能である。
　１４：装着機（作業機）（実装機）　　６０：吸着ノズル（器具）（部品保持部）　　１５０：洗浄・乾燥機構（洗浄装置）　　１７４：ハウジング（貯留槽）　　１７６：配管装置　　１８４：排水路（配管）　　１８６：フロースイッチ（検出装置）　　１８８：フィルタ　　１９０：加圧ポンプ（ポンプ）　　１９２：給水路（配管）　　２００：制御装置　　２１０：作動制御部　　２１２：判定部

Claims (6)

  1. 　液体を貯留する貯留漕と、
    　前記貯留漕に繋がれ、前記貯留漕から液体を排出するための配管と、
    　前記配管に設けられ、前記貯留漕から前記配管内に液体を送り出すポンプと、
    　前記配管に設けられ、前記配管内に所定量の液体が流れていることを示す検出値を出力する検出装置と、
    　前記ポンプの作動を制御する作動制御部と、前記作動制御部により前記ポンプの作動が開始されてから設定時間内に、前記検出装置により前記配管内に所定量の液体が流れていることを示す検出値が出力されるか否かを判定する判定部とを有する制御装置と
    　を備える配管装置。
  2. 　前記検出装置が、前記配管の前記貯留漕と前記ポンプとの間に設けられることを特徴とする請求項１に記載の配管装置。
  3. 　前記検出装置が、
    　前記配管内に液体が流れていることを示す検出値と、前記配管内に液体が流れていないことを示す検出値との何れかを出力することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の配管装置。
  4. 　作業機で用いられる器具を洗浄するための洗浄装置であって、
    　当該洗浄装置が、
    　請求項１ないし請求項３のいずれか１つに記載された配管装置を備え、
    　前記ポンプにより前記配管から送り出された液体により前記器具を洗浄することを特徴とする洗浄装置。
  5. 　洗浄に使用した液体を前記貯留漕に戻すことを特徴とする請求項４に記載の洗浄装置。
  6. 　前記作業機は、実装機であり、
    　前記器具は、前記実装機に備えられる部品保持具であり、
    　前記洗浄装置は、さらにフィルタを備えることを特徴とする請求項４または請求項５に記載の洗浄装置。
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