WO2016170572A1 - 粘性流体供給装置および部品実装装置 - Google Patents

Abstract

この粘性流体供給装置（１）は、粘性流体が伸び広げられるプレート（２）と、プレート上の粘性流体をならすように摺動するスキージ（３）と、スキージの摺動方向と平行な第１方向の移動を規制する進行方向規制部（５１）と、進行方向規制部とは別個に設けられ、スキージのプレートに対する押圧方向と平行な第２方向の移動を規制する押圧方向規制部（５２）とを備える。

Description

粘性流体供給装置および部品実装装置

　本発明は、粘性流体供給装置および部品実装装置に関する。

　従来、フラックスや半田ペーストなどの粘性流体を供給する粘性流体供給装置が知られている。このような粘性流体供給装置は、たとえば、米国特許第６２９３３１７号に開示されている。

　米国特許第６２９３３１７号には、粘性流体が伸び広げられるベースプレートと、ベースプレート上の粘性流体をならすように摺動するコンテナ（スキージ）と、コンテナの摺動方向およびベースプレートに対する押圧方向の両方を規制する規制部とを備える粘性流体供給装置が開示されている。

米国特許第６２９３３１７号

　しかしながら、米国特許第６２９３３１７号の粘性流体供給装置では、規制部は、コンテナ（スキージ）の摺動方向およびベースプレートに対する押圧方向の両方を規制するように構成されているため、コンテナを摺動させた場合にコンテナに作用する力が、押圧方向にも影響するという不都合がある。このため、コンテナ（スキージ）の押圧力を精度よく維持することが困難であるという問題点がある。

　この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、スキージの押圧力を精度よく維持することが可能な粘性流体供給装置および部品実装装置を提供することである。

　この発明の第１の局面による粘性流体供給装置は、粘性流体が伸び広げられるプレートと、プレート上の粘性流体をならすように摺動するスキージと、スキージの摺動方向と平行な第１方向の移動を規制する進行方向規制部と、進行方向規制部とは別個に設けられ、スキージのプレートに対する押圧方向と平行な第２方向の移動を規制する押圧方向規制部とを備える。

　この発明の第１の局面による粘性流体供給装置では、上記のように、スキージの摺動方向と平行な第１方向の移動を規制する進行方向規制部と、進行方向規制部とは別個に配置され、スキージのプレートに対する押圧方向と平行な第２方向の移動を規制する押圧方向規制部とを設ける。これにより、スキージの摺動方向を規制する力と、スキージの押圧方向を規制する力とが独立して作用するので、スキージを摺動させた場合にスキージに作用する力が押圧方向に影響するのを抑制することができる。これにより、スキージの押圧力を精度よく維持することができる。

　上記第１の局面による粘性流体供給装置において、好ましくは、スキージは、押圧方向規制部の規制が解除された状態で、第２方向に移動されて取り外されるように構成されている。このように構成すれば、スキージの第１方向および第２方向が一体の部材により規制されている場合と異なり、押圧方向規制部による第２方向の規制を解除することにより、スキージを取り外すことができるので、スキージを容易に着脱することができる。

　上記第１の局面による粘性流体供給装置において、好ましくは、押圧方向規制部は、スキージに対して第１方向に沿って移動して、スキージの第２方向の移動を規制するように構成されている。このように構成すれば、スキージの第２方向を規制する力に反するように押圧方向規制部を移動させてスキージの第２方向の規制をオン／オフする場合に比べて、より小さな力で押圧方向規制部を移動させることができる。これにより、スキージの第２方向の規制を容易にオン／オフすることができる。また、押圧方向規制部を押圧方向である上下方向に移動させる場合と異なり、粘性流体供給装置が設置される基板作業装置のヘッドなどの移動体が押圧方向規制部と上下方向に干渉するのを抑制することができる。

　この場合、好ましくは、押圧方向規制部がスキージの第２方向の移動を規制している場合に、押圧方向規制部の第１方向の移動を規制する位置規制部をさらに備える。このように構成すれば、位置規制部により、押圧方向規制部が第１方向に移動してスキージの第２方向の規制が解除されるのを抑制することができる。

　上記第１の局面による粘性流体供給装置において、好ましくは、押圧方向規制部に係合して、スキージに押圧力を伝達する押付部をさらに備える。このように構成すれば、押圧方向規制部の規制力を押付部を介して容易にスキージに伝達することができる。

　この場合、好ましくは、押圧方向規制部は、押付部と係合する先端部分が第１方向に沿って第２方向の大きさが変化して傾斜する傾斜部を含む。このように構成すれば、押圧方向規制部によりスキージを第２方向に規制する際に、傾斜部により徐々に力を加えることができるので、押圧方向規制部を規制位置に移動させる際に要する力が大きくなるのを抑制することができる。これにより、スキージの第２方向の規制を容易にオン／オフすることができる。

　上記押付部をさらに備える構成において、好ましくは、押圧方向規制部は、押付部に乗り上げて、スキージの第２方向の移動を規制するように構成されている。このように構成すれば、押圧方向規制部が押付部に乗り上げるので、押圧方向が下方向である場合に、押圧方向規制部により押付部を上から下方向に容易に規制することができる。

　上記第１の局面による粘性流体供給装置において、好ましくは、押圧方向規制部を回動可能に支持する回動支持部をさらに備え、押圧方向規制部は、スキージの第２方向の規制を解除している場合、回動支持部に接するとともに、スキージの第２方向を規制している場合、回動支持部から第２方向に離間するように構成されている。このように構成すれば、押圧方向規制部を回動することにより、スキージの第２方向の規制を容易にオン／オフすることができる。また、スキージの第２方向を規制している場合、押圧方向規制部が回動支持部から第２方向に離間するので、押圧方向規制部による押圧力を回動支持部により支えられることなく、スキージに伝達することができる。

　上記第１の局面による粘性流体供給装置において、好ましくは、押圧方向規制部に接続されるとともに、スキージのプレートに対する押圧力を発生させる押圧力発生機構をさらに備える。このように構成すれば、スキージのプレートに対する押圧力を押圧力発生機構により容易に発生させることができる。

　この場合、好ましくは、スキージが第２方向に規制されている場合に、押圧力発生機構による押圧力が発生されるように構成されている。このように構成すれば、スキージの第２方向を規制した状態から、さらに押圧力を付加することができるので、スキージの押圧力を容易に大きくすることができる。また、スキージの第２方向の規制をオン／オフする場合に、押圧力発生機構による押圧力を発生させないことにより、押圧方向規制部を容易に移動させることができるので、スキージの第２方向の規制を容易にオン／オフすることができる。

　上記押圧力発生機構をさらに備える構成において、好ましくは、押圧方向規制部は、スキージを挟むように一対設けられており、一対の押圧方向規制部を連結する連結部をさらに備え、押圧力発生機構は、連結部を押圧方向に付勢するシリンダを含む。このように構成すれば、スキージを挟むように配置された一対の押圧方向規制部によりスキージの第２方向を安定して規制することができる。また、一対の押圧方向規制部を連結する連結部をシリンダにより付勢することにより、スキージの両側から容易に押圧力を付与することができる。

　上記押圧力発生機構をさらに備える構成において、好ましくは、押圧力発生機構は、押圧力を調整する押圧力調整機構を含む。このように構成すれば、スキージの押圧力を押圧力調整機構により容易に調整することができる。

　この発明の第２の局面による部品実装装置は、基板に部品を実装する実装部と、部品に粘性流体を供給する粘性流体供給部とを備え、粘性流体供給部は、粘性流体が伸び広げられるプレートと、プレート上の粘性流体をならすように摺動するスキージと、スキージの摺動方向と平行な第１方向の移動を規制する進行方向規制部と、進行方向規制部とは別個に設けられ、スキージのプレートに対する押圧方向と平行な第２方向の移動を規制する押圧方向規制部とを含む。

　この発明の第２の局面による部品実装装置では、上記のように、スキージの摺動方向と平行な第１方向の移動を規制する進行方向規制部と、進行方向規制部とは別個に配置され、スキージのプレートに対する押圧方向と平行な第２方向の移動を規制する押圧方向規制部とを設ける。これにより、スキージの摺動方向を規制する力と、スキージの押圧方向を規制する力とが独立して作用するので、スキージを摺動させた場合にスキージに作用する力が押圧方向に影響するのを抑制することができる。これにより、スキージの押圧力を精度よく維持することが可能な粘性流体供給部を備えた部品実装装置を提供することができる。

　本発明では、スキージの押圧力を精度よく維持することができる。

本発明の第１実施形態による部品実装装置の概略を示した平面図である。 本発明の第１実施形態による部品実装装置の一連の実装動作を説明するための模式図である。 本発明の第１実施形態によるフラックス供給装置を示した斜視図である。 本発明の第１実施形態によるフラックス供給装置のスキージを示した斜視図である。 本発明の第１実施形態によるフラックス供給装置のスキージの駆動機構を示した斜視図である。 本発明の第１実施形態によるフラックス供給装置のスキージが規制された状態を示した側面図である。 本発明の第１実施形態によるフラックス供給装置のスキージの規制が解除された状態を示した側面図である。 本発明の第１実施形態によるフラックス供給装置のスキージが配置されていない状態を示した側面図である。 本発明の第２実施形態によるフラックス供給装置を示した斜視図である。 本発明の第２実施形態によるフラックス供給装置のスキージを示した斜視図である。 本発明の第２実施形態によるフラックス供給装置のスキージが規制された状態を示した側面図である。 本発明の第２実施形態によるフラックス供給装置のスキージの規制が解除された状態を示した側面図である。

　以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。

［第１実施形態］
（部品実装装置の構成）　
　図１および図２を参照して、本発明の第１実施形態による部品実装装置１００の構造について説明する。

　部品実装装置１００は、ダイシングされたウエハＷからベアチップ（半導体チップ）Ｃを取り出して基板Ｓの実装面上に実装するとともに、テープフィーダ１３ａにより供給される電子部品（いわゆるパッケージ部品）などを基板Ｓの実装面上に実装することが可能ないわゆる複合型の部品実装装置である。なお、ベアチップＣは、本発明の「部品」の一例である。

　この部品実装装置１００は、図１に示すように、基台１０と、制御部１１と、コンベア１２と、２つのチップ部品供給部１３と、２つの実装部１４と、ウエハ保持テーブル１５と、取出部１６と、部品認識カメラ１７と、固定カメラ１８と、ウエハ収納部１９とを備えている。また、部品実装装置１００には、フラックス供給装置１が設けられている。なお、フラックス供給装置１は、本発明の「粘性流体供給装置」および「粘性流体供給部」の一例である。

　制御部１１は、部品実装装置１００の各部の動作を統括的に制御するように構成されている。具体的には、制御部１１は、コンベア１２、チップ部品供給部１３、実装部１４、ウエハ保持テーブル１５、取出部１６、部品認識カメラ１７、固定カメラ１８、ウエハ収納部１９およびフラックス供給装置１などの動作制御を行うように構成されている。制御部１１は、上記の各部の駆動モータに内蔵されるエンコーダ等の位置検出手段からの出力信号に基づいて、各部の動作制御を行う。また、制御部１１は、各種カメラ（部品認識カメラ１７および固定カメラ１８）の撮像制御および画像認識を行う機能を有する。

　コンベア１２は、所定の実装作業位置に基板Ｓを搬入および搬出するように構成されている。また、コンベア１２は、Ｘ方向に延びる一対のコンベアレールと、基板Ｓを所定位置で位置決めする位置決め機構（図示せず）とを含んでいる。これにより、コンベア１２は、基板ＳをＸ方向に搬送し、所定の実装作業位置に基板Ｓを位置決め固定する。

　２つのチップ部品供給部１３は、それぞれ、部品実装装置１００の手前側（Ｙ１方向側）の両端に設けられている。チップ部品供給部１３には、テープフィーダ１３ａがＸ方向に沿って並んで配置されている。各テープフィーダ１３ａは、キャリアテープを間欠的に送り出し、所定の部品供給位置にキャリアテープ内の電子部品を供給する。

　実装部１４は、チップ部品供給部１３から供給される電子部品およびウエハＷのベアチップＣを基板Ｓに実装するように構成されている。具体的には、実装部１４は、ＸＹ移動機構により、コンベア１２（基板Ｓ）の上方を水平方向（ＸＹ方向）に移動可能に支持されている。実装部１４は、Ｘ方向に沿って配置された複数（２つ）の吸着ノズル１４ａ（図２参照）を有している。

　また、実装部１４は、取出部１６によりウエハＷから取り出されるベアチップＣを吸着ノズル１４ａにより吸着して基板Ｓ上に実装するように構成されている。また、実装部１４は、テープフィーダ１３ａによって供給される電子部品を吸着ノズル１４ａにより吸着して基板Ｓ上に実装するように構成されている。

　ウエハ保持テーブル１５は、出し入れ機構（図示せず）によりウエハ収納部１９から引き出されたウエハＷを所定位置で支持するように構成されている。

　取出部１６は、ウエハＷからベアチップＣを取り出して実装部１４に受け渡すように構成されている。また、取出部１６は、所定の駆動手段によりウエハ保持テーブル１５の上方位置において水平方向（ＸＹ方向）に移動される。また、取出部１６は、４つのウエハヘッド１６ａを含んでいる。

　ウエハヘッド１６ａは、Ｘ軸回りに回転が可能で、かつ上下方向への移動（昇降）が可能に構成されている。また、ウエハヘッド１６ａは、ベアチップＣを吸着することが可能に構成されている。つまり、取出部１６は、突上部（図示せず）により突き上げられたベアチップＣをウエハヘッド１６ａにより吸着して取り出し、ベアチップＣを反転（フリップ）させ、所定の受け渡し位置において、実装部１４（吸着ノズル１４ａ）にベアチップＣを受け渡すように構成されている。

　部品認識カメラ１７は、ウエハＷからのベアチップＣの取り出しに先立ち、取り出し対象となるベアチップＣを撮像するように構成されている。また、部品認識カメラ１７は、取出部１６と共通のフレームに設けられている。また、部品認識カメラ１７は、所定の駆動手段によりウエハ保持テーブル１５の上方位置において水平方向（ＸＹ方向）に移動される。

　固定カメラ１８は、基台１０上であって実装部１４の可動領域内に設置されている。固定カメラ１８は、実装部１４の吸着ノズル１４ａにより吸着されている電子部品（ベアチップＣを含む）を下側から撮像するように構成されている。

　ウエハ収納部１９は、ダイシングされた複数枚のウエハＷを収容可能に構成されている。ウエハＷのベアチップＣは、たとえば電極上にバンプが形成されたフリップチップ実装用のベアチップである。この場合、ベアチップＣは、バンプ形成面（実装面）が上方を向くようにフィルム状のウエハシート上に貼り付けられて保持されている。

　フラックス供給装置１は、ベアチップＣのバンプにフラックスを転写（塗布）するために設けられている。具体的には、フラックス供給装置１は、プレート２上にフラックスを薄く伸ばし広げて供給する。そして、実装部１４の吸着ノズル１４ａに吸着されたベアチップＣが伸び広げられたフラックスに接触される。これにより、ベアチップＣのバンプにフラックスが転写される。なお、フラックスは、接合のための半田の濡れが良好になるようにベアチップＣのバンプに塗布される。

（部品実装動作の説明）
　次に、図２を参照して、部品実装装置１００による電子部品の実装動作について説明する。

　図２に示すように、ウエハＷのベアチップＣを基板Ｓに実装する場合、まず、取出部１６により実装対象のベアチップＣが取り出されて、取出部１６のウエハヘッド１６ａにベアチップＣが吸着保持される。ウエハヘッド１６ａが回動してベアチップＣが反転（フリップ）され、ベアチップＣが所定の受け渡し位置に配置される。これに対応して、実装部１４の吸着ノズル１４ａが受け渡し位置の上方で受け渡し高さ位置まで下降されて、ベアチップＣが吸着される。

　ベアチップＣが吸着された後、実装部１４が、フラックス供給装置１の上方に移動される。実装部１４の吸着ノズル１４ａが転写高さ位置まで下降されて、ベアチップＣのバンプ形成面にフラックスが転写（塗布）される。その後、実装部１４が、固定カメラ１８の上方を通過するように移動されて、吸着ノズル１４ａに吸着されたベアチップＣのバンプ形成面が撮像される。これにより、ベアチップＣのバンプ形成面の不良判定や、吸着位置ずれの認識が行われる。なお、この転写動作と撮像動作とは、順序が逆になる場合もある。すなわち、転写前の状態の方が良好に撮像（画像認識）を行える場合には、撮像動作が先に実施される。

　撮像後、コンベア１２に保持された基板Ｓの上方に実装部１４が移動され、所定の実装位置の上方で吸着ノズル１４ａが実装高さ位置まで下降されて、ベアチップＣが基板Ｓ上に載置（実装）される。

　また、テープフィーダ１３ａ（図１参照）の供給部品を実装する場合、実装部１４がテープフィーダ１３ａの所定の部品取出位置の上方に移動される。そして、吸着ノズル１４ａが下降されて電子部品が取り出される。その後、実装部１４が、固定カメラ１８の上方を通過するように移動されて、吸着ノズル１４ａに吸着された電子部品の下面が撮像される。そして、実装部１４が基板Ｓの上方に移動される。その後、吸着ノズル１４ａが下降されて、電子部品が基板Ｓ上に載置（実装）される。なお、ベアチップＣがキャリアテープに個別収納されテープフィーダ１３ａから供給される場合には、テープフィーダ１３ａからベアチップＣが取り出された後、図２に示すように転写および撮像が実施され、基板Ｓ上にベアチップＣが載置（実装）される。

（フラックス供給装置の構成）
　図３～図８を参照して、本発明の第１実施形態によるフラックス供給装置１の構造について説明する。

　図３に示すように、フラックス供給装置１は、プレート２と、スキージ３と、基台部４と、スキージ保持部５と、フラックス吐出部６と、センサ７と、発光部８ａおよびセンサ（受光部）８ｂとを備えている。

　プレート２は、凹部２１を含んでいる。スキージ３は、図４に示すように、一対のスキージ部３１と、一対の壁部３２と、一対の板状部３３と、一対の摺動方向規制ピン３４と、一対の押付部３５とを含んでいる。基台部４は、図５に示すように、モータ４１と、ベルト４２と、プレート位置決め部４３とを含んでいる。スキージ保持部５は、図４に示すように、進行方向規制部５１と、押圧方向規制部５２と、連結部５３と、回動支持部５４と、プランジャー部５５と、エアシリンダ５６とを含んでいる。なお、プランジャー部５５は、本発明の「位置規制部」の一例であり、エアシリンダ５６は、本発明の「押圧力発生機構」および「シリンダ」の一例である。

　押圧方向規制部５２は、スキージロック部５２１と、回動支持凹部５２２と、プランジャー係合穴５２３および５２４と、遮断ピン５２５とを有している。エアシリンダ５６には、空気圧発生部５６１と、レギュレータ５６２とが接続されている。なお、レギュレータ５６２は、本発明の「押圧力調整機構」の一例である。押圧方向規制部５２の外側には、上部に作業者の操作部が形成され、断面が略Ｌ字状の操作レバーが設けられている。

　図３に示すように、プレート２は、フラックスが伸び広げられるように構成されている。プレート２は、スキージ３の摺動方向と平行なＡ方向に延びるように形成されている。プレート２の凹部２１は、所定の深さだけ凹んでいる。これにより、凹部２１にフラックスが略均一の高さで伸び広げられる。なお、Ａ方向は、本発明の「第１方向」の一例である。

　図３に示すように、スキージ３は、プレート２上のフラックスをならすように摺動するように構成されている。具体的には、スキージ３は、Ｂ方向（Ｂ２方向）に押圧されてプレート２に接した状態で、Ａ方向（Ａ１方向およびＡ２方向）に移動するように構成されている。図４に示すように、スキージ３のスキージ部３１は、Ａ１方向およびＡ２方向に一対設けられている。一対のスキージ部３１は、Ａ方向と直交する水平方向の両端に設けられた一対の壁部３２により連結されている。つまり、一対のスキージ部３１および一対の壁部３２は、枠形状に連結されている。スキージ部３１は、摺動することにより進行方向（Ａ１方向またはＡ２方向）のプレート２上のフラックスをならすように構成されている。なお、Ｂ方向は、本発明の「第２方向」の一例である。

　板状部３３は、一対の壁部３２の外側にそれぞれ設けられている。一対の板状部３３には、摺動方向規制ピン３４および押付部３５がそれぞれ設けられている。摺動方向規制ピン３４は、板状部３３から外側に突出するように設けられている。摺動方向規制ピン３４は、スキージ保持部５の進行方向規制部５１に当接して、スキージ３に摺動方向（進行方向）の力を伝達するように構成されている。

　押付部３５は、板状部３３から外側に突出するように設けられている。押付部３５は、スキージ保持部５の押圧方向規制部５２に係合して、スキージ３に押圧方向（Ｂ２方向）の力（押圧力）を伝達するように構成されている。

　図３に示すように、基台部４は、プレート２が設置されるとともに、スキージ保持部５を介してスキージ３を移動させるように構成されている。具体的には、図５に示すように、基台部４のモータ４１によりベルト４２が駆動される。ベルト４２は、スキージ保持部５に当接して、スキージ保持部５をＡ方向に移動させる。また、基台部４のプレート位置決め部４３によりプレート２が位置決めされて、基台部４にプレート２が設置されるように構成されている。

　スキージ保持部５は、スキージ３を保持するように構成されている。具体的には、スキージ保持部５は、スキージ３の押圧方向と平行なＢ方向の移動を規制するとともに、スキージ３の進行方向（摺動方向）と平行なＡ方向の移動を規制するように構成されている。

　ここで、第１実施形態では、スキージ保持部５の進行方向規制部５１は、スキージ３の摺動方向と平行なＡ方向の移動を規制するように構成されている。進行方向規制部５１は、Ａ方向と直交する水平方向に対向するように一対設けられている。つまり、進行方向規制部５１は、スキージ３を挟み込むように一対設けられている。また、進行方向規制部５１は、ベース部５ａに固定されている。また、進行方向規制部５１は、上方向（Ｂ１方向）が開放されたスリット形状を有している。進行方向規制部５１のスリット形状には、スキージ３の摺動方向規制ピン３４が挟み込まれるように構成されている。そして、摺動方向規制ピン３４がＡ方向において進行方向規制部５１に当接することにより、スキージ３（摺動方向規制ピン３４）の摺動方向の移動が規制される。これにより、スキージ保持部５がＡ方向に移動されることにより、スキージ３もＡ方向に移動（摺動）する。

　また、第１実施形態では、押圧方向規制部５２は、スキージ３のプレート２に対する押圧方向と平行なＢ方向（Ｂ１方向）の移動を規制するように構成されている。押圧方向規制部５２は、Ａ方向と直交する水平方向に対向するように一対設けられている。つまり、押圧方向規制部５２は、スキージ３を挟み込むように一対設けられている。

　また、押圧方向規制部５２は、進行方向規制部５１とは別個に設けられている。また、押圧方向規制部５２の規制が解除された状態で、スキージ３がＢ方向（Ｂ１方向）に移動されて取り外されるように構成されている。また、押圧方向規制部５２は、スキージ３に対してＡ方向（水平方向）に沿って移動して、スキージ３のＢ方向（上下方向）の移動を規制するように構成されている。具体的には、一対の押圧方向規制部５２は、連結部５３により互いに連結されている。また、押圧方向規制部５２は、回動支持部５４により回動可能に支持されている。そして、押圧方向規制部５２は、回動支持部５４を中心に回動することにより、スキージロック部５２１がＡ方向に沿って移動して、スキージ３をロックする（Ｂ１方向の移動を規制する）ように構成されている。なお、一対の押圧方向規制部５２は、連結部５３により連結されているため、一方の押圧方向規制部５２をＡ方向に沿って移動させると、他方の押圧方向規制部５２も同じようにＡ方向に沿って移動する。

　押圧方向規制部５２のスキージロック部５２１は、スキージ３の押付部３５に係合して、スキージ３のＢ方向の移動を規制するとともに、スキージ３に押圧力を伝達するように構成されている。スキージロック部５２１の押付部３５と係合する先端部分には、Ａ方向に沿ってＢ方向の大きさが変化して傾斜する傾斜部５２１ａ（図６参照）が形成されている。また、押圧方向規制部５２のスキージロック部５２１は、押付部３５に乗り上げて、スキージ３をロックする（Ｂ方向の移動を規制する）ように構成されている。

　押圧方向規制部５２の回動支持凹部５２２は、回動支持部５４に支持されるように、切欠き状に形成されている。押圧方向規制部５２は、スキージ３のロックを解除している（Ｂ方向の規制を解除している）場合、回動支持凹部５２２が回動支持部５４に接するように構成されている。つまり、押圧方向規制部５２によるスキージ３のロックを解除している場合、押圧方向規制部５２は、回動支持部５４を中心に回動する。一方、スキージ３がロックされている（Ｂ方向を規制している）場合、回動支持凹部５２２が回動支持部５４からＢ方向（Ｂ１方向）に離間するように構成されている。

　押圧方向規制部５２のプランジャ―係合穴５２３および５２４は、プランジャー部５５に係合して、押圧方向規制部５２のＡ方向に沿った移動（回動）を抑制するように構成されている。つまり、押圧方向規制部５２がスキージ３のＢ方向の移動を規制している場合に、プランジャー部５５がプランジャー係合穴５２３に係合して、押圧方向規制部５２のＡ方向の移動を規制する。また、押圧方向規制部５２がスキージ３のＢ方向の移動の規制を解除している場合に、プランジャー部５５がプランジャー係合穴５２４に係合して、押圧方向規制部５２のＡ方向の移動を規制する。

　遮断ピン５２５は、一対の押圧方向規制部５２のうち、一方側に２つ設けられている。遮断ピン５２５は、連結部５３の上側（Ｂ１方向側）に所定の間隔を隔てて配置されている。遮断ピン５２５は、発光部８ａからセンサ８ｂへの光（可視光または赤外光）を遮断するように構成されている。具体的には、図６に示すように、スキージ３が押圧方向規制部５２によりロックされている（Ｂ方向の移動が規制されている）場合、発光部８ａからの光は、遮断ピン５２５および連結部５３の隙間を通過して、センサ８ｂに到達する。図７に示すように、スキージ３の押圧方向規制部５２によるロックが解除されている（Ｂ方向の移動の規制が解除されている）場合、発光部８ａからの光は、連結部５３により遮られ、センサ８ｂに到達しない。つまり、押圧方向規制部５２が回動されることにより、発光部８ａの光が遮断ピン５２５および連結部５３の隙間を通過することができなくなる。図８に示すように、スキージ３が設置されていない場合、発光部８ａからの光は、遮断ピン５２５により遮られ、センサ８ｂに到達しない。つまり、押圧方向規制部５２の回動支持凹部５２２が回動支持部５４に接するように配置されることにより、発光部８ａの光が遮断ピン５２５および連結部５３の隙間を通過することができなくなる。

　エアシリンダ５６は、押圧方向規制部５２に接続されるとともに、スキージ３のプレート２に対する押圧力を発生させるように構成されている。具体的には、エアシリンダ５６は、押圧方向規制部５２を連結する連結部５３を押圧方向（Ｂ２方向）に付勢するように構成されている。エアシリンダ５６は、空気圧発生部５６１による空気圧により駆動してスキージ３の押圧力を発生させるように構成されている。空気圧発生部５６１により発生させる空気圧は、レギュレータ５６２を介して所望の圧力に調整される。つまり、レギュレータ５６２を操作することにより、スキージ３のプレート２に対する押圧力が調整される。たとえば、塗布するフラックスの粘度情報に基づいて、押圧力が調整される。

　フラックス吐出部６は、フラックスをプレート２上に供給するように構成されている。具体的には、フラックス吐出部６は、スキージ３のスキージ部３１および壁部３２により形成された枠内にフラックスを供給するように構成されている。

　センサ７は、スキージ３の枠内のフラックスの量を測定するように構成されている。センサ７は、たとえば、超音波センサを含む。

　発光部８ａおよびセンサ８ｂは、スキージ３が設置されているか否かを検知するように構成されている。具体的には、スキージ３がスキージ保持部５によりロックされている状態を検知するように構成されている。つまり、図６に示すように、スキージ３が押圧方向規制部５２によりロックされている（Ｂ方向の移動が規制されている）場合、センサ８ｂにより発光部８ａの光が検出される。これにより、スキージ３がスキージ保持部５によりロックされている状態が検知される。そして、スキージ３がロックされている（Ｂ方向に規制されている）場合に、エアシリンダ５６による押圧力が発生されるように構成されている。つまり、センサ８ｂの検知結果に基づいて、ロックされている状態の場合、エアシリンダ５６を駆動させて押圧力が発生される。また、スキージ３のＢ方向の規制が解除（ロックが解除）されている場合は、エアシリンダ５６による押圧力を発生させないとともに、フラックス吐出部６からのフラックスの供給が行われない。

　また、受光部８ｂの検出結果に基づいて、受光部８ｂにより投光部８ａの光が検出されない場合、即ちスキージ３が設置されていないか、設置されていてもロックされていない場合には、部品実装装置１００が自動運転中にモータ４１の駆動によりスキージ３をＡ方向に移動するタイミングとなってもモータ４１を駆動させず、停止したままとなるようにしてもよい。あるいは、部品実装装置１００の自動運転が停止しているときに受光部８ｂにより投光部８ａの光が検出されない場合には、部品実装装置１００の自動運転を開始するためのスイッチの押下等の操作がされても自動運転が開始されないようにしてもよい。さらに、受光部８ｂにより投光部８ａの光が検出されない場合に、図示しないモニタ等に異常状態である旨の警告表示をしてもよい。

（第１実施形態の効果）
　第１実施形態では、以下のような効果を得ることができる。

　第１実施形態では、上記のように、スキージ３の摺動方向と平行なＡ方向の移動を規制する進行方向規制部５１と、進行方向規制部５１とは別個に配置され、スキージ３のプレート２に対する押圧方向と平行なＢ方向（Ｂ１方向）の移動を規制する押圧方向規制部５２とを設ける。これにより、スキージ３の摺動方向を規制する力と、スキージ３の押圧方向を規制する力とが独立して作用するので、スキージ３を摺動させた場合にスキージ３に作用する力が押圧方向に影響するのを抑制することができる。これにより、スキージ３の押圧力を精度よく維持することができる。

　また、第１実施形態では、スキージ３を、押圧方向規制部５２の規制が解除された状態で、Ｂ方向に移動されて取り外されるように構成する。これにより、スキージ３のＡ方向およびＢ方向が一体の部材により規制されている場合と異なり、押圧方向規制部５２によるＢ方向の規制を解除することにより、スキージ３を取り外すことができるので、スキージ３を容易に着脱することができる。

　また、第１実施形態では、押圧方向規制部５２を、スキージ３に対してＡ方向に沿って移動して、スキージ３のＢ方向の移動を規制するように構成する。これにより、スキージ３のＢ方向を規制する力に反するように押圧方向規制部５２を移動させてスキージ３のＢ方向の規制をオン／オフする場合に比べて、より小さな力で押圧方向規制部５２を移動させることができる。その結果、スキージ３のＢ方向の規制を容易にオン／オフすることができるとともに、作業性の向上を図ることができる。さらに、押圧方向規制部５２を押圧方向である上下方向に移動させる場合と異なり、部品実装装置１００の実装部１４などの移動体が押圧方向規制部５２と上下方向に干渉するのを抑制することができる。

　また、第１実施形態では、押圧方向規制部５２がスキージ３のＢ方向の移動を規制している場合に、押圧方向規制部５２のＡ方向の移動を規制するプランジャー部５５を設ける。これにより、プランジャー部５５により、押圧方向規制部５２がＡ方向に移動してスキージ３のＢ方向の規制が解除されるのを抑制することができる。

　また、第１実施形態では、押圧方向規制部５２に係合して、スキージ３に押圧力を伝達する押付部３５を設ける。これにより、押圧方向規制部５２の規制力を押付部３５を介して容易にスキージ３に伝達することができる。

　また、第１実施形態では、押圧方向規制部５２に、押付部３５と係合する先端部分がＡ方向に沿ってＢ方向の大きさが変化して傾斜する傾斜部５２１ａを設ける。これにより、押圧方向規制部５２によりスキージ３をＢ方向に規制する際に、傾斜部５２１ａにより徐々に力を加えることができるので、押圧方向規制部５２を規制（ロック）位置に移動させる際に要する力が大きくなるのを抑制することができる。その結果、スキージ３のＢ方向の規制を容易にオン／オフすることができる。

　また、第１実施形態では、押圧方向規制部５２を、押付部３５に乗り上げて、スキージ３のＢ方向の移動を規制するように構成する。これにより、押圧方向規制部５２が押付部３５に乗り上げるので、押圧方向規制部５２により押付部３５を上から下方向に容易に規制することができる。

　また、第１実施形態では、押圧方向規制部５２を、スキージ３のＢ方向の規制を解除している場合、回動支持部５４に接するとともに、スキージ３のＢ方向を規制している場合、回動支持部５４からＢ方向に離間するように構成する。これにより、押圧方向規制部５２を回動することにより、スキージ３のＢ方向の規制を容易にオン／オフすることができる。また、スキージ３のＢ方向を規制している場合、押圧方向規制部５２が回動支持部５４からＢ方向に離間するので、押圧方向規制部５２による押圧力を回動支持部５４により支えられることなく、スキージ３に伝達することができる。

　また、第１実施形態では、押圧方向規制部５２に接続されるとともに、スキージ３のプレート２に対する押圧力を発生させるエアシリンダ５６を設ける。これにより、スキージ３のプレート２に対する押圧力をエアシリンダ５６により容易に発生させることができる。

　また、第１実施形態では、スキージ３がＢ方向に規制されている場合に、エアシリンダ５６による押圧力が発生されるように構成する。これにより、スキージ３のＢ方向を規制した状態から、さらに押圧力を付加することができるので、スキージ３の押圧力を容易に大きくすることができる。また、スキージ３のＢ方向の規制をオン／オフする場合に、エアシリンダ５６による押圧力を発生させないことにより、押圧方向規制部５２を容易に移動させることができるので、スキージ３のＢ方向の規制を容易にオン／オフすることができる。

　また、第１実施形態では、エアシリンダ５６を、連結部５３を押圧方向に付勢するように構成する。これにより、スキージ３を挟むように配置された一対の押圧方向規制部５２によりスキージ３のＢ方向を安定して規制することができる。また、一対の押圧方向規制部５２を連結する連結部５３をエアシリンダ５６により付勢することにより、スキージ３の両側から容易に押圧力を付与することができる。

　また、第１実施形態では、押圧力を調整するレギュレータ５６２を設ける。これにより、例えば塗布するフラックスの粘度に応じて、スキージ３の押圧力をレギュレータ５６２により容易に調整することができる。

［第２実施形態］
　図９～図１２を参照して、本発明の第２実施形態によるフラックス供給装置２００について説明する。この第２実施形態では、押圧方向規制部５２が回動するようにＡ方向に移動してスキージ３のＢ方向の移動を規制する構成の上記第１実施形態とは異なり、押圧方向規制部２３２が平行移動によりＡ方向に移動してスキージ２２０の移動を規制する構成について説明する。

（フラックス供給装置の構成）
　図９に示すように、フラックス供給装置２００は、プレート２１０と、スキージ２２０と、スキージ保持部２３０と、発光部２４１ａおよびセンサ（受光部）２４１ｂと、発光部２４２ａおよびセンサ２４２ｂとを備えている。なお、フラックス供給装置２００は、本発明の「粘性流体供給装置」および「粘性流体供給部」の一例である。

　プレート２１０は、凹部２１１を含んでいる。スキージ２２０は、図１０に示すように、一対のスキージ部２２１と、一対の連結部２２２と、一対の板状部２２３と、一対の摺動方向規制ピン２２４と、一対の押付部２２５とを含んでいる。スキージ保持部２３０は、進行方向規制部２３１と、押圧方向規制部２３２と、バネ２３３とを含んでいる。なお、バネ２３３は、本発明の「押圧力発生機構」の一例である。

　図９に示すように、プレート２１０は、フラックスが伸び広げられるように構成されている。プレート２１０は、スキージ２２０の摺動方向と平行なＡ方向に延びるように形成されている。プレート２１０の凹部２１１は、所定の深さだけ凹んでいる。これにより、凹部２１１にフラックスが略均一の高さで伸び広げられる。また、プレート２１０は、Ａ方向（Ａ１方向およびＡ２方向）に移動するように構成されている。なお、Ａ方向は、本発明の「第１方向」の一例である。

　スキージ２２０は、プレート２１０上のフラックスをならすように摺動するように構成されている。具体的には、スキージ２２０がＢ方向（Ｂ２方向）に押圧された状態で、プレート２１０がＡ方向（Ａ１方向およびＡ２方向）に移動するように構成されている。つまり、スキージ２２０は、プレート２１０に対してＡ方向に相対的に移動する。図１０に示すように、スキージ２２０のスキージ部２２１は、Ａ１方向およびＡ２方向に一対設けられている。一対のスキージ部２２１は、Ａ方向と直交する方向の両端に設けられた一対の連結部２２２により連結されている。また、スキージ部２２１の両端には、堰部２２１ａ（図１１参照）が設けられている。これにより、スキージ２２０を摺動した際にフラックスがスキージ部２２１の端部から液漏れするのを抑制することが可能である。スキージ部２２１は、プレート２１０に対して相対的に移動して摺動することにより相対的な進行方向（Ａ１方向またはＡ２方向）のプレート２１０上のフラックスをならすように構成されている。なお、Ｂ方向は、本発明の「第２方向」の一例である。

　板状部２２３は、一対の連結部２２２の外側にそれぞれ設けられている。一対の板状部２２３には、摺動方向規制ピン２２４および押付部２２５がそれぞれ設けられている。摺動方向規制ピン２２４は、板状部２２３から外側に突出するように設けられている。摺動方向規制ピン２２４は、スキージ保持部２３０の進行方向規制部２３１に当接して、スキージ２２０の摺動方向（進行方向）の移動を規制するように構成されている。

　押付部２２５は、板状部２２３から外側に突出するように設けられている。押付部２２５は、スキージ保持部２３０の押圧方向規制部２３２に係合して、スキージ２２０に押圧方向（Ｂ２方向）の力（押圧力）を伝達するように構成されている。

　スキージ保持部２３０は、スキージ２２０を保持するように構成されている。具体的には、スキージ保持部２３０は、スキージ２２０の押圧方向と平行なＢ方向の移動を規制するとともに、スキージ２２０の摺動方向（相対的な進行方向）と平行なＡ方向の移動を規制するように構成されている。スキージ保持部２３０は、Ａ方向において所定の位置に固定されている。具体的には、スキージ保持部２３０は、ベース２３０ａに対して保持部２３０ｂがＡ方向（水平方向）に移動しないように構成されている。一方、保持部２３０ｂは、ベース２３０ａに対してＢ１方向（上方向）には移動するように構成されている。

　ここで、第２実施形態では、スキージ保持部２３０の進行方向規制部２３１は、スキージ２２０の摺動方向と平行なＡ方向の移動を規制するように構成されている。進行方向規制部２３１は、Ａ方向と直交する水平方向に対向するように一対設けられている。つまり、進行方向規制部２３１は、スキージ２２０を挟み込むように一対設けられている。また、進行方向規制部２３１は、ベース２３０ａに固定されている。また、進行方向規制部２３１は、上方向（Ｂ１方向）が開放されたスリット形状を有している。進行方向規制部２３１のスリット形状には、スキージ２２０の摺動方向規制ピン２２４が挟み込まれるように構成されている。そして、摺動方向規制ピン２２４がＡ方向において進行方向規制部２３１に当接することにより、スキージ２２０（摺動方向規制ピン２２４）の摺動方向の移動が規制される。

　また、第２実施形態では、押圧方向規制部２３２は、スキージ２２０のプレート２１０に対する押圧方向と平行なＢ方向（Ｂ１方向）の移動を規制するように構成されている。押圧方向規制部２３２は、Ａ方向と直交する水平方向に対向するように一対設けられている。つまり、押圧方向規制部２３２は、スキージ２２０を挟み込むように一対設けられている。

　また、押圧方向規制部２３２は、進行方向規制部２３１とは別個に設けられている。また、押圧方向規制部２３２の規制が解除された状態で、スキージ２２０がＢ方向（Ｂ１方向）に移動されて取り外されるように構成されている。また、押圧方向規制部２３２は、スキージ２２０に対してＡ方向（水平方向）に沿って平行移動して、スキージ２２０のＢ１方向（上方向）の移動を規制するように構成されている。

　押圧方向規制部２３２の押付部２２５と係合する先端部分には、Ａ方向に沿ってＢ方向の大きさが変化して傾斜する傾斜部２３２ａが形成されている。また、押圧方向規制部２３２は、押付部２２５に乗り上げて、スキージ２２０をロックする（Ｂ方向の移動を規制する）ように構成されている。つまり、図１１に示すように、押圧方向規制部２３２によりスキージ２２０がロックされた（Ｂ方向の移動を規制された）場合、保持部２３０ｂがベース２３０ａから浮き上がる。

　バネ２３３は、押圧方向規制部２３２に接続されるとともに、スキージ２２０のプレート２１０に対する押圧力を発生させるように構成されている。具体的には、バネ２３３は、押圧方向規制部２３２に当接する保持部２３０ｂを押圧方向（Ｂ２方向）に付勢するように構成されている。

　発光部２４１ａおよびセンサ２４１ｂは、スキージ２２０が設置されているか否かを検知するように構成されている。具体的には、スキージ２２０がスキージ保持部２３０によりロックされている状態を検知するように構成されている。つまり、図１１に示すように、スキージ２２０が押圧方向規制部２３２によりロックされている（Ｂ方向の移動が規制されている）場合、センサ２４１ｂにより発光部２４１ａの光が検出される。つまり、保持部２３０ｂがベース２３０ａから浮き上がることにより、発光部２４１ａからの光が、保持部２３０ｂおよびベース２３０ａの隙間を通過して、センサ２４１ｂに到達する。これにより、スキージ２２０がスキージ保持部２３０によりロックされている状態が検知される。一方、図１２に示すように、スキージ２２０が押圧方向規制部２３２によりロックされていない（Ｂ方向の移動の規制が解除されている）場合、発光部２４１ａの光はセンサ２４１ｂにより検出されない。つまり、保持部２３０ｂがベース２３０ａに当接することにより、発光部２４１ａからの光が、保持部２３０ｂにより遮られ、センサ２４１ｂに到達しない。

　発光部２４２ａおよびセンサ２４２ｂは、スキージ２２０が設置されているか否かを検知するように構成されている。具体的には、図９に示すように、スキージ２２０が設置されている場合、センサ２４２ｂにより発光部２４２ａの光が検出されない。つまり、発光部２４２ａからの光が、スキージ２２０により遮られ、センサ２４２ｂに到達しない。一方、スキージ２２０が設置されていない場合、センサ２４２ｂにより発光部２４２ａの光が検出される。つまり、発光部２４２ａからの光が、遮られることなくセンサ２４２ｂに到達する。

　また、スキージ検出部２４２がスキージ２２０の設置を検出していない場合、または、受光部２４２ｂの検出結果に基づいて、受光部２４２ｂにより投光部２４２ａの光が検出されない場合、部品実装装置１００が自動運転中にプレート２１０の移動によりスキージ３を相対的にＡ方向に移動するタイミングとなっても移動させずに停止したままとなるようにしてもよい。あるいは、部品実装装置１００の自動運転が停止しているときに上記のような検出状態が発生した場合であれば、部品実装装置１００の自動運転を開始するためのスイッチの押下等の操作がされても自動運転が開始されないようにしてもよい。さらに、上記検出状態の場合に、図示しないモニタ等に異常状態である旨の警告表示をしてもよい。

　なお、第２実施形態のその他の構成は、上記第１実施形態と同様である。

（第２実施形態の効果）
　第２実施形態では、以下のような効果を得ることができる。

　第２実施形態では、第１実施形態と同様、スキージ２２０の摺動方向と平行なＡ方向の移動を規制する進行方向規制部２３１と、進行方向規制部２３１とは別個に配置され、スキージ２２０のプレート２１０に対する押圧方向と平行なＢ方向（Ｂ１方向）の移動を規制する押圧方向規制部２３２とを設ける。これにより、スキージ２２０の押圧力を精度よく維持することができる。

　なお、第２実施形態のその他の効果は、上記第１実施形態と同様である。

（変形例）
　なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更（変形例）が含まれる。

　たとえば、上記第１および第２実施形態では、本発明の粘性流体塗布装置をフラックス塗布装置に適用する例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明の粘性流体塗布装置をフラックス以外の粘性流体を塗布する装置に適用してもよい。たとえば、半田、銀ペーストなどの粘性流体を塗布する装置に本発明の粘性流体塗布装置を適用してもよい。

　また、上記第１および第２実施形態では、バンプを有するベアチップをフリップチップ実装する例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、ＢＧＡ（ボールグリッドアレイ）を有するパッケージ部品をＰｏＰ（ｐａｃｋａｇｅ　ｏｎ　ｐａｃｋａｇｅ）実装する場合に本発明を適用してもよい。また、本発明の部品実装装置をフリップチップボンダに適用してもよいし、テープフィーダやトレイから供給される部品を実装する部品実装装置に適用してもよい。

　また、上記第１実施形態では、本発明の押圧力発生機構としてエアシリンダを用い、上記第２実施形態では、本発明の押圧力発生機構としてバネを用いる例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、押圧力発生機構として、たとえば、油圧シリンダ、ソレノイド、リニアモータなどを用いてもよい。

　また、上記第１実施形態では、本発明の押圧力調整機構としてレギュレータを用いる例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、押圧力調整機構として、たとえば、手動バルブ、電磁弁、圧力可変機構、電流制御部、サーボコントローラなどを用いてもよい。

　また、上記第１および第２実施形態では、スキージの上方からフラックス（粘性流体）を供給する構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、スキージの下方に位置するプレートに吐出部を設けて粘性流体を供給してもよい。

　また、上記第１および第２実施形態では、発光部からの光をセンサにより検出して、スキージの有無および規制状態を検知する構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、光以外を用いてスキージの有無および規制状態を検知してもよい。たとえば、音（超音波）や電波を用いてスキージの有無および規制状態を検知してもよい。また、機械スイッチを用いてスキージの有無および規制状態を検知してもよい。また、センサは、透過型のセンサを用いてもよいし、反射型のセンサを用いてもよい。

　１、２００　フラックス供給装置（粘性流体供給装置）
　２、２１０　プレート
　３、２２０　スキージ
　１４　実装部
　３５、２２５　押付部
　５１、２３１　進行方向規制部
　５２、２３２　押圧方向規制部
　５３　連結部
　５４　回動支持部
　５５　プランジャー部（位置規制部）
　５６　エアシリンダ（押圧力発生機構、シリンダ）
　１００　部品実装装置
　２３２ａ、５２１ａ　傾斜部
　２３３　バネ（押圧力発生機構）
　５６２　レギュレータ（押圧力調整機構）
　Ｃ　ベアチップ（部品）
　Ｓ　基板

Claims (13)

1. 　粘性流体が伸び広げられるプレートと、
   　前記プレート上の粘性流体をならすように摺動するスキージと、
   　前記スキージの摺動方向と平行な第１方向の移動を規制する進行方向規制部と、
   　前記進行方向規制部とは別個に設けられ、前記スキージの前記プレートに対する押圧方向と平行な第２方向の移動を規制する押圧方向規制部とを備える、粘性流体供給装置。
2. 　前記スキージは、前記押圧方向規制部の規制が解除された状態で、前記第２方向に移動されて取り外されるように構成されている、請求項１に記載の粘性流体供給装置。
3. 　前記押圧方向規制部は、前記スキージに対して前記第１方向に沿って移動して、前記スキージの前記第２方向の移動を規制するように構成されている、請求項１または２に記載の粘性流体供給装置。
4. 　前記押圧方向規制部が前記スキージの前記第２方向の移動を規制している場合に、前記押圧方向規制部の前記第１方向の移動を規制する位置規制部をさらに備える、請求項３に記載の粘性流体供給装置。
5. 　前記押圧方向規制部に係合して、前記スキージに押圧力を伝達する押付部をさらに備える、請求項１～４のいずれか１項に記載の粘性流体供給装置。
6. 　前記押圧方向規制部は、前記押付部と係合する先端部分が前記第１方向に沿って前記第２方向の大きさが変化して傾斜する傾斜部を含む、請求項５に記載の粘性流体供給装置。
7. 　前記押圧方向規制部は、前記押付部に乗り上げて、前記スキージの前記第２方向の移動を規制するように構成されている、請求項５または６に記載の粘性流体供給装置。
8. 　前記押圧方向規制部を回動可能に支持する回動支持部をさらに備え、
   　前記押圧方向規制部は、前記スキージの前記第２方向の規制を解除している場合、前記回動支持部に接するとともに、前記スキージの前記第２方向を規制している場合、前記回動支持部から前記第２方向に離間するように構成されている、請求項１～７のいずれか１項に記載の粘性流体供給装置。
9. 　前記押圧方向規制部に接続されるとともに、前記スキージの前記プレートに対する押圧力を発生させる押圧力発生機構をさらに備える、請求項１～８のいずれか１項に記載の粘性流体供給装置。
10. 　前記スキージが前記第２方向に規制されている場合に、前記押圧力発生機構による押圧力が発生されるように構成されている、請求項９に記載の粘性流体供給装置。
11. 　前記押圧方向規制部は、前記スキージを挟むように一対設けられており、
    　一対の前記押圧方向規制部を連結する連結部をさらに備え、
    　前記押圧力発生機構は、前記連結部を押圧方向に付勢するシリンダを含む、請求項９または１０に記載の粘性流体供給装置。
12. 　前記押圧力発生機構は、押圧力を調整する押圧力調整機構を含む、請求項９～１１のいずれか１項に記載の粘性流体供給装置。
13. 　基板に部品を実装する実装部と、
    　前記部品に粘性流体を供給する粘性流体供給部とを備え、
    　前記粘性流体供給部は、
    　粘性流体が伸び広げられるプレートと、
    　前記プレート上の粘性流体をならすように摺動するスキージと、
    　前記スキージの摺動方向と平行な第１方向の移動を規制する進行方向規制部と、
    　前記進行方向規制部とは別個に設けられ、前記スキージの前記プレートに対する押圧方向と平行な第２方向の移動を規制する押圧方向規制部とを含む、部品実装装置。

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