KR101944786B1 - 점성 유체 공급 장치 및 부품 실장 장치 - Google Patents

Abstract

이 점성 유체 공급 장치(1)는 점성 유체가 스프레딩되는 플레이트(2)와, 플레이트 상의 점성 유체를 고르게 하도록 슬라이딩하는 스퀴지(3)와, 스퀴지의 슬라이딩 방향과 평행한 제 1 방향의 이동을 규제하는 진행방향 규제부(51)와, 진행방향 규제부와는 별개로 설치되고 스퀴지의 플레이트에 대한 압박방향과 평행한 제 2 방향의 이동을 규제하는 압박방향 규제부(52)를 구비한다.

Description

점성 유체 공급 장치 및 부품 실장 장치

본 발명은 점성 유체 공급 장치 및 부품 실장 장치에 관한 것이다.

종래 플럭스나 땜납 페이스트 등의 점성 유체를 공급하는 점성 유체 공급 장치가 알려져 있다. 이러한 점성 유체 공급 장치는 예를 들면 미국 특허 제 6293317호에 개시되어 있다.

미국 특허 제 6293317호에는 점성 유체가 스프레딩되는 베이스 플레이트와, 베이스 플레이트 상의 점성 유체를 고르게 하도록 슬라이딩하는 컨테이너(스퀴지)와, 컨테이너의 슬라이딩 방향 및 베이스 플레이트에 대한 압박방향의 양쪽을 규제하는 규제부를 구비하는 점성 유체 공급 장치가 개시되어 있다.

미국 특허 제 6293317호

그러나, 미국 특허 제 6293317호의 점성 유체 공급 장치에서는 규제부는 컨테이너(스퀴지)의 슬라이딩 방향 및 베이스 플레이트에 대한 압박방향의 양쪽을 규제하도록 구성되어 있기 때문에 컨테이너를 슬라이딩시켰을 경우에 컨테이너에 작용하는 힘이 압박방향으로도 영향을 미친다는 문제가 있다. 이 때문에 컨테이너(스퀴지)의 압박력을 정밀도 좋게 유지하는 것이 곤란하다는 문제점이 있다.

이 발명은 상기와 같은 과제를 해결하기 위해 이루어진 것이며, 이 발명의 하나의 목적은 스퀴지의 압박력을 정밀도 좋게 유지하는 것이 가능한 점성 유체 공급 장치 및 부품 실장 장치를 제공하는 것이다.

이 발명의 제 1 국면에 의한 점성 유체 공급 장치는 점성 유체가 스프레딩되는 플레이트와, 플레이트 상의 점성 유체를 고르게 하도록 슬라이딩하는 스퀴지와, 스퀴지의 슬라이딩 방향과 평행한 제 1 방향의 이동을 규제하는 진행방향 규제부와, 진행방향 규제부와는 별개로 설치되고 스퀴지의 플레이트에 대한 압박방향과 평행한 제 2 방향의 이동을 규제하는 압박방향 규제부를 구비한다.

이 발명의 제 1 국면에 의한 점성 유체 공급 장치에서는 상기와 같이 스퀴지의 슬라이딩 방향과 평행한 제 1 방향의 이동을 규제하는 진행방향 규제부와, 진행방향 규제부와는 별개로 배치되고 스퀴지의 플레이트에 대한 압박방향과 평행한 제 2 방향의 이동을 규제하는 압박방향 규제부를 설치한다. 이것에 의해 스퀴지의 슬라이딩 방향을 규제하는 힘과, 스퀴지의 압박방향을 규제하는 힘이 독립적으로 작용하므로 스퀴지를 슬라이딩시켰을 경우에 스퀴지에 작용하는 힘이 압박방향에 영향을 주는 것을 억제할 수 있다. 이것에 의해 스퀴지의 압박력을 정밀도 좋게 유지할 수 있다.

상기 제 1 국면에 의한 점성 유체 공급 장치에 있어서, 바람직하게는 스퀴지는 압박방향 규제부의 규제가 해제된 상태에서 제 2 방향으로 이동되어서 떼내어지도록 구성되어 있다. 이렇게 구성하면 스퀴지의 제 1 방향 및 제 2 방향이 일체의 부재에 의해 규제되어 있는 경우와 달리 압박방향 규제부에 의한 제 2 방향의 규제를 해제함으로써 스퀴지를 떼어낼 수 있으므로 스퀴지를 용이하게 착탈할 수 있다.

상기 제 1 국면에 의한 점성 유체 공급 장치에 있어서, 바람직하게는 압박방향 규제부는 스퀴지에 대해 제 1 방향을 따라 이동하여 스퀴지의 제 2 방향의 이동을 규제하도록 구성되어 있다. 이렇게 구성하면 스퀴지의 제 2 방향을 규제하는 힘에 반하도록 압박방향 규제부를 이동시켜서 스퀴지의 제 2 방향의 규제를 온/오프하는 경우에 비해 보다 작은 힘으로 압박방향 규제부를 이동시킬 수 있다. 이것에 의해 스퀴지의 제 2 방향의 규제를 용이하게 온/오프할 수 있다. 또한, 압박방향 규제부를 압박방향인 상하방향으로 이동시키는 경우와 달리 점성 유체 공급 장치가 설치되는 기판 작업 장치의 헤드 등의 이동체가 압박방향 규제부와 상하방향으로 간섭하는 것을 억제할 수 있다.

이 경우, 바람직하게는 압박방향 규제부가 스퀴지의 제 2 방향의 이동을 규제하고 있는 경우에 압박방향 규제부의 제 1 방향의 이동을 규제하는 위치 규제부를 더 구비한다. 이렇게 구성하면 위치 규제부에 의해 압박방향 규제부가 제 1 방향으로 이동하여 스퀴지의 제 2 방향의 규제가 해제되는 것을 억제할 수 있다.

상기 제 1 국면에 의한 점성 유체 공급 장치에 있어서, 바람직하게는 압박방향 규제부에 맞물려서 스퀴지에 압박력을 전달하는 압박부를 더 구비한다. 이렇게 구성하면 압박방향 규제부의 규제력을 압박부를 통해 용이하게 스퀴지에 전달할 수 있다.

이 경우, 바람직하게는 압박방향 규제부는 압박부와 맞물리는 선단 부분이 제 1 방향을 따라 제 2 방향의 크기가 변화되어 경사지는 경사부를 포함한다. 이렇게 구성하면 압박방향 규제부에 의해 스퀴지를 제 2 방향으로 규제할 때에 경사부에 의해 서서히 힘을 가할 수 있으므로 압박방향 규제부를 규제 위치로 이동시킬 때에 요하는 힘이 커지는 것을 억제할 수 있다. 이것에 의해 스퀴지의 제 2 방향의 규제를 용이하게 온/오프할 수 있다.

상기 압박부를 더 구비하는 구성에 있어서, 바람직하게는 압박방향 규제부는 압박부에 얹혀 스퀴지의 제 2 방향의 이동을 규제하도록 구성되어 있다. 이렇게 구성하면 압박방향 규제부가 압박부에 얹히므로 압박방향이 하방향인 경우에 압박방향 규제부에 의해 압박부를 위로부터 하방향으로 용이하게 규제할 수 있다.

상기 제 1 국면에 의한 점성 유체 공급 장치에 있어서, 바람직하게는 압박방향 규제부를 회동가능하게 지지하는 회동 지지부를 더 구비하고, 압박방향 규제부는 스퀴지의 제 2 방향의 규제를 해제하고 있는 경우, 회동 지지부에 접함과 아울러 스퀴지의 제 2 방향을 규제하고 있는 경우, 회동 지지부로부터 제 2 방향으로 이간되도록 구성되어 있다. 이렇게 구성하면 압박방향 규제부를 회동함으로써 스퀴지의 제 2 방향의 규제를 용이하게 온/오프할 수 있다. 또한, 스퀴지의 제 2 방향을 규제하고 있는 경우, 압박방향 규제부가 회동 지지부로부터 제 2 방향으로 이간되므로 압박방향 규제부에 의한 압박력을 회동 지지부에 의해 지지되는 일 없이 스퀴지에 전달할 수 있다.

상기 제 1 국면에 의한 점성 유체 공급 장치에 있어서, 바람직하게는 압박방향 규제부에 접속됨과 아울러 스퀴지의 플레이트에 대한 압박력을 발생시키는 압박력 발생 기구를 더 구비한다. 이렇게 구성하면 스퀴지의 플레이트에 대한 압박력을 압박력 발생 기구에 의해 용이하게 발생시킬 수 있다.

이 경우, 바람직하게는 스퀴지가 제 2 방향으로 규제되어 있는 경우에 압박력 발생 기구에 의한 압박력이 발생되도록 구성되어 있다. 이렇게 구성하면 스퀴지의 제 2 방향을 규제한 상태로부터 압박력을 더 부가할 수 있으므로 스퀴지의 압박력을 용이하게 크게 할 수 있다. 또한, 스퀴지의 제 2 방향의 규제를 온/오프하는 경우에 압박력 발생 기구에 의한 압박력을 발생시키지 않는 것에 의해 압박방향 규제부를 용이하게 이동시킬 수 있으므로 스퀴지의 제 2 방향의 규제를 용이하게 온/오프할 수 있다.

상기 압박력 발생 기구를 더 구비하는 구성에 있어서, 바람직하게는 압박방향 규제부는 스퀴지를 끼우도록 한 쌍 설치되어 있으며, 한 쌍의 압박방향 규제부를 연결하는 연결부를 더 구비하고, 압박력 발생 기구는 연결부를 압박방향으로 바이어싱하는 실린더를 포함한다. 이렇게 구성하면 스퀴지를 끼우도록 배치된 한 쌍의 압박방향 규제부에 의해 스퀴지의 제 2 방향을 안정하게 규제할 수 있다. 또한, 한 쌍의 압박방향 규제부를 연결하는 연결부를 실린더에 의해 바이어싱함으로써 스퀴지의 양측으로부터 용이하게 압박력을 부여할 수 있다.

상기 압박력 발생 기구를 더 구비하는 구성에 있어서, 바람직하게는 압박력 발생 기구는 압박력을 조정하는 압박력 조정 기구를 포함한다. 이렇게 구성하면 스퀴지의 압박력을 압박력 조정 기구에 의해 용이하게 조정할 수 있다.

이 발명의 제 2 국면에 의한 부품 실장 장치는 기판에 부품을 실장하는 실장부와, 부품에 점성 유체를 공급하는 점성 유체 공급부를 구비하고, 점성 유체 공급부는 점성 유체가 스프레딩되는 플레이트와, 플레이트 상의 점성 유체를 고르게 하도록 슬라이딩하는 스퀴지와, 스퀴지의 슬라이딩 방향과 평행한 제 1 방향의 이동을 규제하는 진행방향 규제부와, 진행방향 규제부와는 별개로 설치되고 스퀴지의 플레이트에 대한 압박방향과 평행한 제 2 방향의 이동을 규제하는 압박방향 규제부를 포함한다.

이 발명의 제 2 국면에 의한 부품 실장 장치에서는 상기와 같이 스퀴지의 슬라이딩 방향과 평행한 제 1 방향의 이동을 규제하는 진행방향 규제부와, 진행방향 규제부와는 별개로 배치되고 스퀴지의 플레이트에 대한 압박방향과 평행한 제 2 방향의 이동을 규제하는 압박방향 규제부를 설치한다. 이것에 의해 스퀴지의 슬라이딩 방향을 규제하는 힘과 스퀴지의 압박방향을 규제하는 힘이 독립적으로 작용하므로 스퀴지를 슬라이딩시켰을 경우에 스퀴지에 작용하는 힘이 압박방향에 영향을 주는 것을 억제할 수 있다. 이것에 의해 스퀴지의 압박력을 정밀도 좋게 유지하는 것이 가능한 점성 유체 공급부를 구비한 부품 실장 장치를 제공할 수 있다.

(발명의 효과)

본 발명에서는 스퀴지의 압박력을 정밀도 좋게 유지할 수 있다.

도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 부품 실장 장치의 개략을 나타낸 평면도이다.
도 2는 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 부품 실장 장치의 일련의 실장 동작을 설명하기 위한 모식도이다.
도 3은 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 플럭스 공급 장치를 나타낸 사시도이다.
도 4는 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 플럭스 공급 장치의 스퀴지를 나타낸 사시도이다.
도 5는 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 플럭스 공급 장치의 스퀴지의 구동 기구를 나타낸 사시도이다.
도 6은 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 플럭스 공급 장치의 스퀴지가 규제된 상태를 나타낸 측면도이다.
도 7은 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 플럭스 공급 장치의 스퀴지의 규제가 해제된 상태를 나타낸 측면도이다.
도 8은 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 플럭스 공급 장치의 스퀴지가 배치되어 있지 않은 상태를 나타낸 측면도이다.
도 9는 본 발명의 제 2 실시형태에 의한 플럭스 공급 장치를 나타낸 사시도이다.
도 10은 본 발명의 제 2 실시형태에 의한 플럭스 공급 장치의 스퀴지를 나타낸 사시도이다.
도 11은 본 발명의 제 2 실시형태에 의한 플럭스 공급 장치의 스퀴지가 규제된 상태를 나타낸 측면도이다.
도 12는 본 발명의 제 2 실시형태에 의한 플럭스 공급 장치의 스퀴지의 규제가 해제된 상태를 나타낸 측면도이다.

이하, 본 발명의 실시형태를 도면에 의거하여 설명한다.

[제 1 실시형태]

(부품 실장 장치의 구성)

도 1 및 도 2를 참조하여 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 부품 실장 장치(100)의 구조에 대해 설명한다.

부품 실장 장치(100)는 다이싱된 웨이퍼(W)로부터 베어 칩(반도체 칩)(C)을 인출하여 기판(S)의 실장면 상에 실장함과 아울러 테이프 피더(13a)에 의해 공급되는 전자 부품(소위 패키지 부품) 등을 기판(S)의 실장면 상에 실장하는 것이 가능한 소위 복합형의 부품 실장 장치이다. 또한, 베어 칩(C)은 본 발명의 「부품」의 일례이다.

이 부품 실장 장치(100)는 도 1에 나타내는 바와 같이 기대(10)와, 제어부(11)와, 컨베이어(12)와, 2개의 칩 부품 공급부(13)와, 2개의 실장부(14)와, 웨이퍼 유지 테이블(15)과, 인출부(16)와, 부품 인식 카메라(17)와, 고정 카메라(18)와, 웨이퍼 수납부(19)를 구비하고 있다. 또한, 부품 실장 장치(100)에는 플럭스 공급 장치(1)가 설치되어 있다. 또한, 플럭스 공급 장치(1)는 본 발명의 「점성 유체 공급 장치」 및 「점성 유체 공급부」의 일례이다.

제어부(11)는 부품 실장 장치(100)의 각 부의 동작을 통괄적으로 제어하도록 구성되어 있다. 구체적으로는 제어부(11)는 컨베이어(12), 칩 부품 공급부(13), 실장부(14), 웨이퍼 유지 테이블(15), 인출부(16), 부품 인식 카메라(17), 고정 카메라(18), 웨이퍼 수납부(19) 및 플럭스 공급 장치(1) 등의 동작 제어를 행하도록 구성되어 있다. 제어부(11)는 상기 각 부의 구동 모터에 내장되는 엔코더 등의 위치 검출 수단으로부터의 출력 신호에 의거하여 각 부의 동작 제어를 행한다. 또한, 제어부(11)는 각종 카메라(부품 인식 카메라(17) 및 고정 카메라(18))의 촬상 제어 및 화상 인식을 행하는 기능을 갖는다.

컨베이어(12)는 소정의 실장 작업 위치에 기판(S)을 반입 및 반출하도록 구성되어 있다. 또한, 컨베이어(12)는 X방향으로 연장되는 한 쌍의 컨베이어 레일과, 기판(S)을 소정 위치에서 위치 결정하는 위치 결정 기구(도시하지 않음)를 포함하고 있다. 이것에 의해 에 따라 컨베이어(12)는 기판(S)을 X방향으로 반송하고, 소정의 실장 작업 위치에 기판(S)을 위치 결정 고정한다.

2개의 칩 부품 공급부(13)는 각각 부품 실장 장치(100)의 바로 앞측(Y1방향측)의 양단에 설치되어 있다. 칩 부품 공급부(13)에는 테이프 피더(13a)가 X방향을 따라 나란히 배치되어 있다. 각 테이프 피더(13a)는 캐리어 테이프를 간헐적으로 송출하고, 소정의 부품 공급 위치에 캐리어 테이프 내의 전자 부품을 공급한다.

실장부(14)는 칩 부품 공급부(13)로부터 공급되는 전자 부품 및 웨이퍼(W)의 베어 칩(C)을 기판(S)에 실장하도록 구성되어 있다. 구체적으로는 실장부(14)는 XY 이동 기구에 의해 컨베이어(12)(기판(S))의 상방을 수평방향(XY방향)으로 이동가능하게 지지되어 있다. 실장부(14)는 X방향을 따라 배치된 복수(2개)의 흡착 노즐(14a)(도 2 참조)을 갖고 있다.

또한, 실장부(14)는 인출부(16)에 의해 웨이퍼(W)로부터 인출되는 베어 칩(C)을 흡착 노즐(14a)에 의해 흡착하여 기판(S) 상에 실장하도록 구성되어 있다. 또한, 실장부(14)는 테이프 피더(13a)에 의해 공급되는 전자 부품을 흡착 노즐(14a)에 의해 흡착하여 기판(S) 상에 실장하도록 구성되어 있다.

웨이퍼 유지 테이블(15)은 출입 기구(도시하지 않음)에 의해 웨이퍼 수납부(19)로부터 인출된 웨이퍼(W)를 소정 위치에서 지지하도록 구성되어 있다.

인출부(16)는 웨이퍼(W)로부터 베어 칩(C)을 인출하여 실장부(14)에 운반하도록 구성되어 있다. 또한, 인출부(16)는 소정의 구동 수단에 의해 웨이퍼 유지 테이블(15)의 상방 위치에 있어서 수평방향(XY방향)으로 이동된다. 또한, 인출부(16)는 4개의 웨이퍼 헤드(16a)를 포함하고 있다.

웨이퍼 헤드(16a)는 X축 방향으로 회전이 가능하며, 또한 상하방향으로의 이동(승강)이 가능하게 구성되어 있다. 또한, 웨이퍼 헤드(16a)는 베어 칩(C)을 흡착하는 것이 가능하게 구성되어 있다. 즉, 인출부(16)는 밀어 올림부(도시하지 않음)에 의해 밀어 올려진 베어 칩(C)을 웨이퍼 헤드(16a)에 의해 흡착하여 인출하고, 베어 칩(C)을 반전(플립)시키고, 소정의 운반 위치에 있어서 실장부(14)(흡착 노즐(14a))에 베어 칩(C)을 운반하도록 구성되어 있다.

부품 인식 카메라(17)는 웨이퍼(W)로부터의 베어 칩(C)의 인출에 앞서 인출 대상이 되는 베어 칩(C)을 촬상하도록 구성되어 있다. 또한, 부품 인식 카메라(17)는 인출부(16)와 공통의 프레임에 설치되어 있다. 또한, 부품 인식 카메라(17)는 소정의 구동 수단에 의해 웨이퍼 유지 테이블(15)의 상방 위치에 있어서 수평방향(XY방향)으로 이동된다.

고정 카메라(18)는 기대(10) 위이며 실장부(14)의 가동 영역 내에 설치되어 있다. 고정 카메라(18)는 실장부(14)의 흡착 노즐(14a)에 의해 흡착되어 있는 전자 부품(베어 칩(C)을 포함한다)을 하측으로부터 촬상하도록 구성되어 있다.

웨이퍼 수납부(19)는 다이싱된 복수매의 웨이퍼(W)를 수용가능하게 구성되어 있다. 웨이퍼(W)의 베어 칩(C)은 예를 들면, 전극 상에 범프가 형성된 플립 칩 실장용의 베어 칩이다. 이 경우, 베어 칩(C)은 범프 형성면(실장면)이 상방을 향하도록 필름 형상의 웨이퍼 시트 상에 붙여서 유지되어 있다.

플럭스 공급 장치(1)는 베어 칩(C)의 범프에 플럭스를 전사(도포)하기 위해서 설치되어 있다. 구체적으로는 플럭스 공급 장치(1)는 플레이트(2) 상에 플럭스를 얇게 스프레딩하여 공급한다. 그리고, 실장부(14)의 흡착 노즐(14a)에 흡착된 베어 칩(C)이 스프레딩된 플럭스에 접촉된다. 이것에 의해 베어 칩(C)의 범프에 플럭스가 전사된다. 또한, 플럭스는 접합을 위한 땜납의 젖음성이 양호해지도록 베어 칩(C)의 범프에 도포된다.

(부품 실장 동작의 설명)

이어서, 도 2를 참조하여 부품 실장 장치(100)에 의한 전자 부품의 실장 동작 에 대해 설명한다.

도 2에 나타내는 바와 같이 웨이퍼(W)의 베어 칩(C)을 기판(S)에 실장하는 경우, 우선 인출부(16)에 의해 실장 대상의 베어 칩(C)이 인출되어서 인출부(16)의 웨이퍼 헤드(16a)에 베어 칩(C)이 흡착 유지된다. 웨이퍼 헤드(16a)가 회동하여 베어 칩(C)이 반전(플립)되고, 베어 칩(C)이 소정의 운반 위치에 배치된다. 이것에 대응하여 실장부(14)의 흡착 노즐(14a)이 운반 위치의 상방에서 운반 높이 위치까지 하강되어서 베어 칩(C)이 흡착된다.

베어 칩(C)이 흡착된 후, 실장부(14)가 플럭스 공급 장치(1)의 상방으로 이동된다. 실장부(14)의 흡착 노즐(14a)이 전사 높이 위치까지 하강되어서 베어 칩(C)의 범프 형성면에 플럭스가 전사(도포)된다. 그 후, 실장부(14)가 고정 카메라(18)의 상방을 통과하도록 이동되어서 흡착 노즐(14a)에 흡착된 베어 칩(C)의 범프 형성면이 촬상된다. 이것에 의해 베어 칩(C)의 범프 형성면의 불량 판정이나, 흡착 위치 어긋남의 인식이 행해진다. 또한, 이 전사 동작과 촬상 동작은 순서가 반대로 되는 경우도 있다. 즉, 전사 전의 상태의 쪽이 양호하게 촬상(화상 인식)을 행할 수 있는 경우에는 촬상 동작이 먼저 실시된다.

촬상 후, 컨베이어(12)에 유지된 기판(S)의 상방으로 실장부(14)가 이동되고, 소정의 실장 위치의 상방에서 흡착 노즐(14a)이 실장 높이 위치까지 하강되어서 베어 칩(C)이 기판(S) 상에 적재(설치)된다.

또한, 테이프 피더(13a)(도 1 참조)의 공급 부품을 실장하는 경우, 실장부(14)가 테이프 피더(13a)의 소정의 부품 인출 위치의 상방으로 이동된다. 그리고, 흡착 노즐(14a)이 하강되어서 전자 부품이 인출된다. 그 후, 실장부(14)가 고정 카메라(18)의 상방을 통과하도록 이동되어서 흡착 노즐(14a)에 흡착된 전자 부품의 하면이 촬상된다. 그리고, 실장부(14)가 기판(S)의 상방으로 이동된다. 그 후, 흡착 노즐(14a)이 하강되어서 전자 부품이 기판(S) 상에 적재(설치)된다. 또한, 베어 칩(C)이 캐리어 테이프에 개별 수납되어 테이프 피더(13a)로부터 공급되는 경우에는 테이프 피더(13a)로부터 베어 칩(C)이 인출된 후, 도 2에 나타내는 바와 같이 전사 및 촬상이 실시되고, 기판(S) 상에 베어 칩(C)이 적재(설치)된다.

(플럭스 공급 장치의 구성)

도 3~도 8을 참조하여 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 플럭스 공급 장치(1)의 구조에 대해 설명한다.

도 3에 나타내는 바와 같이 플럭스 공급 장치(1)는 플레이트(2)와, 스퀴지(3)와, 기대부(4)와, 스퀴지 유지부(5)와, 플럭스 토출부(6)와, 센서(7)와, 발광부(8a) 및 센서(수광부)(8b)를 구비하고 있다.

플레이트(2)는 오목부(21)를 포함하고 있다. 스퀴지(3)는 도 4에 나타내는 바와 같이 한 쌍의 스퀴지부(31)와, 한 쌍의 벽부(32)와, 한 쌍의 판 형상부(33)와, 한 쌍의 슬라이딩 방향 규제 핀(34)과, 한 쌍의 압박부(35)를 포함하고 있다. 기대부(4)는 도 5에 나타내는 바와 같이 모터(41)와, 벨트(42)와, 플레이트 위치 결정부(43)를 포함하고 있다. 스퀴지 유지부(5)는 도 4에 나타내는 바와 같이 진행방향 규제부(51)와, 압박방향 규제부(52)와, 연결부(53)와, 회동 지지부(54)와, 플런저부(55)와, 에어실린더(56)를 포함하고 있다. 또한, 플런저부(55)는 본 발명의 「위치 규제부」의 일례이며, 에어실린더(56)는 본 발명의 「압박력 발생 기구」 및 「실린더」의 일례이다.

압박방향 규제부(52)는 스퀴지 로킹부(521)와, 회동 지지 오목부(522)와, 플런저 맞물림 구멍(523 및 524)과, 차단 핀(525)을 갖고 있다. 에어실린더(56)에는 공기압 발생부(561)와 레귤레이터(562)가 접속되어 있다. 또한, 레귤레이터(562)는 본 발명의 「압박력 조정 기구」의 일례이다. 압박방향 규제부(52)의 외측에는 상부에 작업자의 조작부가 형성되고, 단면이 대략 L자 형상의 조작 레버가 설치되어 있다.

도 3에 나타내는 바와 같이 플레이트(2)는 플럭스가 스프레딩되도록 구성되어 있다. 플레이트(2)는 스퀴지(3)의 슬라이딩 방향과 평행한 A방향으로 연장되도록 형성되어 있다. 플레이트(2)의 오목부(21)는 소정의 깊이만큼 오목해져 있다. 이것에 의해 오목부(21)에 플럭스가 대략 균일한 높이에서 스프레딩된다. 또한, A방향은 본 발명의 「제 1 방향」의 일례이다.

도 3에 나타내는 바와 같이 스퀴지(3)는 플레이트(2) 상의 플럭스를 고르게 하도록 슬라이딩하게 구성되어 있다. 구체적으로는 스퀴지(3)는 B방향(B2방향)으로 압박되어서 플레이트(2)에 접한 상태에서 A방향(A1방향 및 A2방향)으로 이동하도록 구성되어 있다. 도 4에 나타내는 바와 같이 스퀴지(3)의 스퀴지부(31)는 A1방향 및 A2방향에 한 쌍 설치되어 있다. 한 쌍의 스퀴지부(31)는 A방향과 직교하는 수평방향의 양단에 설치된 한 쌍의 벽부(32)에 의해 연결되어 있다. 즉, 한 쌍의 스퀴지부(31) 및 한 쌍의 벽부(32)는 프레임 형상으로 연결되어 있다. 스퀴지부(31)는 슬라이딩함으로써 진행방향(A1방향 또는 A2방향)의 플레이트(2) 상의 플럭스를 고르게 하도록 구성되어 있다. 또한, B방향은 본 발명의 「제 2 방향」의 일례이다.

판 형상부(33)는 한 쌍의 벽부(32)의 외측에 각각 설치되어 있다. 한 쌍의 판 형상부(33)에는 슬라이딩 방향 규제 핀(34) 및 압박부(35)가 각각 설치되어 있다. 슬라이딩 방향 규제 핀(34)은 판 형상부(33)로부터 외측으로 돌출되도록 설치되어 있다. 슬라이딩 방향 규제 핀(34)은 스퀴지 유지부(5)의 진행방향 규제부(51)에 접촉하여 스퀴지(3)에 슬라이딩 방향(진행방향)의 힘을 전달하도록 구성되어 있다.

압박부(35)는 판 형상부(33)로부터 외측으로 돌출되도록 설치되어 있다. 압박부(35)는 스퀴지 유지부(5)의 압박방향 규제부(52)에 맞물려서 스퀴지(3)에 압박방향(B2방향)의 힘(압박력)을 전달하도록 구성되어 있다.

도 3에 나타내는 바와 같이 기대부(4)는 플레이트(2)가 설치됨과 아울러 스퀴지 유지부(5)를 통해 스퀴지(3)를 이동시키도록 구성되어 있다. 구체적으로는 도 5에 나타내는 바와 같이 기대부(4)의 모터(41)에 의해 벨트(42)가 구동된다. 벨트(42)는 스퀴지 유지부(5)에 접촉하여 스퀴지 유지부(5)를 A방향으로 이동시킨다. 또한, 기대부(4)의 플레이트 위치 결정부(43)에 의해 플레이트(2)가 위치 결정되어서 기대부(4)에 플레이트(2)가 설치되도록 구성되어 있다.

스퀴지 유지부(5)는 스퀴지(3)를 유지하도록 구성되어 있다. 구체적으로는 스퀴지 유지부(5)는 스퀴지(3)의 압박방향과 평행한 B방향의 이동을 규제함과 아울러 스퀴지(3)의 진행방향(슬라이딩 방향)과 평행한 A방향의 이동을 규제하도록 구성되어 있다.

여기서, 제 1 실시형태에서는 스퀴지 유지부(5)의 진행방향 규제부(51)는 스퀴지(3)의 슬라이딩 방향과 평행한 A방향의 이동을 규제하도록 구성되어 있다. 진행방향 규제부(51)는 A방향과 직교하는 수평방향에 대향하도록 한 쌍 설치되어 있다. 즉, 진행방향 규제부(51)는 스퀴지(3)를 끼워 넣도록 한 쌍 설치되어 있다. 또한, 진행방향 규제부(51)는 베이스부(5a)에 고정되어 있다. 또한, 진행방향 규제부(51)는 상방향(B1방향)이 개방된 슬릿 형상을 갖고 있다. 진행방향 규제부(51)의 슬릿 형상에는 스퀴지(3)의 슬라이딩 방향 규제 핀(34)이 끼워 넣어지도록 구성되어 있다. 그리고, 슬라이딩 방향 규제 핀(34)이 A방향에 있어서 진행방향 규제부(51)에 접촉함으로써 스퀴지(3)(슬라이딩 방향 규제 핀(34))의 슬라이딩 방향의 이동이 규제된다. 이것에 의해 스퀴지 유지부(5)가 A방향으로 이동됨으로써 스퀴지(3)도 A방향으로 이동(슬라이딩)한다.

또한, 제 1 실시형태에서는 압박방향 규제부(52)는 스퀴지(3)의 플레이트(2)에 대한 압박방향과 평행한 B방향(B1방향)의 이동을 규제하도록 구성되어 있다. 압박방향 규제부(52)는 A방향과 직교하는 수평방향에 대향하도록 한 쌍 설치되어 있다. 즉, 압박방향 규제부(52)는 스퀴지(3)를 끼워 넣도록 한 쌍 설치되어 있다.

또한, 압박방향 규제부(52)는 진행방향 규제부(51)와는 별개로 설치되어 있다. 또한, 압박방향 규제부(52)의 규제가 해제된 상태에서 스퀴지(3)가 B방향(B1방향)으로 이동되어서 떼내어지도록 구성되어 있다. 또한, 압박방향 규제부(52)는 스퀴지(3)에 대해 A방향(수평방향)을 따라 이동하여 스퀴지(3)의 B방향 (상하방향)의 이동을 규제하도록 구성되어 있다. 구체적으로는 한 쌍의 압박방향 규제부(52)는 연결부(53)에 의해 서로 연결되어 있다. 또한, 압박방향 규제부(52)는 회동 지지부(54)에 의해 회동가능하게 지지되어 있다. 그리고, 압박방향 규제부(52)는 회동 지지부(54)를 중심으로 회동함으로써 스퀴지 로킹부(521)가 A방향을 따라 이동하여 스퀴지(3)를 로킹하도록(B1방향의 이동을 규제하도록) 구성되어 있다. 또한, 한 쌍의 압박방향 규제부(52)는 연결부(53)에 의해 연결되어 있기 때문에 한쪽의 압박방향 규제부(52)를 A방향을 따라 이동시키면 다른 쪽의 압박방향 규제부(52)도 마찬가지로 A방향을 따라 이동한다.

압박방향 규제부(52)의 스퀴지 로킹부(521)는 스퀴지(3)의 압박부(35)에 맞물려서 스퀴지(3)의 B방향의 이동을 규제함과 아울러 스퀴지(3)에 압박력을 전달하도록 구성되어 있다. 스퀴지 로킹부(521)의 압박부(35)와 맞물리는 선단 부분에는 A방향을 따라 B방향의 크기가 변화되어 경사지는 경사부(521a)(도 6 참조)가 형성되어 있다. 또한, 압박방향 규제부(52)의 스퀴지 로킹부(521)는 압박부(35)에 얹혀 스퀴지(3)를 로킹하도록(B방향의 이동을 규제하도록) 구성되어 있다.

압박방향 규제부(52)의 회동 지지 오목부(522)는 회동 지지부(54)에 지지되도록 노치 형상으로 형성되어 있다. 압박방향 규제부(52)는 스퀴지(3)의 로킹을 해제하고 있는(B방향의 규제를 해제하고 있는) 경우, 회동 지지 오목부(522)가 회동 지지부(54)에 접하도록 구성되어 있다. 즉, 압박방향 규제부(52)에 의한 스퀴지(3)의 로킹을 해제하고 있는 경우, 압박방향 규제부(52)는 회동 지지부(54)를 중심으로 회동한다. 한편, 스퀴지(3)가 로킹되어 있는(B방향을 규제하고 있는) 경우, 회동 지지 오목부(522)가 회동 지지부(54)로부터 B방향(B1방향)으로 이간되도록 구성되어 있다.

압박방향 규제부(52)의 플런저 맞물림 구멍(523 및 524)은 플런저부(55)에 맞물려서 압박방향 규제부(52)의 A방향을 따르는 이동(회동)을 억제하도록 구성되어 있다. 즉, 압박방향 규제부(52)가 스퀴지(3)의 B방향의 이동을 규제하고 있는 경우에 플런저부(55)가 플런저 맞물림 구멍(523)에 맞물려서 압박방향 규제부(52)의 A방향의 이동을 규제한다. 또한, 압박방향 규제부(52)가 스퀴지(3)의 B방향의 이동의 규제를 해제하고 있는 경우에 플런저부(55)가 플런저 맞물림 구멍(524)에 맞물려서 압박방향 규제부(52)의 A방향의 이동을 규제한다.

차단 핀(525)은 한 쌍의 압박방향 규제부(52) 중 한쪽측에 2개 설치되어 있다. 차단 핀(525)은 연결부(53)의 상측(B1방향측)에 소정의 간격을 두고 배치되어 있다. 차단 핀(525)은 발광부(8a)로부터 센서(8b)로의 광(가시광 또는 적외광)을 차단하도록 구성되어 있다. 구체적으로는 도 6에 나타내는 바와 같이 스퀴지(3)가 압박방향 규제부(52)에 의해 로킹되어 있는(B방향의 이동이 규제되어 있는) 경우, 발광부(8a)로부터의 광은 차단 핀(525) 및 연결부(53)의 간극을 통과하여 센서(8b)에 도달한다. 도 7에 나타내는 바와 같이 스퀴지(3)의 압박방향 규제부(52)에 의한 로킹이 해제되어 있는(B방향의 이동의 규제가 해제되어 있는) 경우, 발광부(8a)로부터의 광은 연결부(53)에 의해 차단되어 센서(8b)에 도달하지 않는다. 즉, 압박방향 규제부(52)가 회동됨으로써 발광부(8a)의 광이 차단 핀(525) 및 연결부(53)의 간극을 통과할 수 없게 된다. 도 8에 나타내는 바와 같이 스퀴지(3)가 설치되어 있지 않는 경우, 발광부(8a)로부터의 광은 차단 핀(525)에 의해 차단되어 센서(8b)에 도달하지 않는다. 즉, 압박방향 규제부(52)의 회동 지지 오목부(522)가 회동 지지부(54)에 접하도록 배치됨으로써 발광부(8a)의 광이 차단 핀(525)및 연결부(53)의 간극을 통과할 수 없게 된다.

에어실린더(56)는 압박방향 규제부(52)에 접속됨과 아울러 스퀴지(3)의 플레이트(2)에 대한 압박력을 발생시키도록 구성되어 있다. 구체적으로는 에어실린더(56)는 압박방향 규제부(52)를 연결하는 연결부(53)를 압박방향(B2방향)으로 바이어싱하도록 구성되어 있다. 에어실린더(56)는 공기압 발생부(561)에 의한 공기압에 의해 구동되어 스퀴지(3)의 압박력을 발생시키도록 구성되어 있다. 공기압 발생부(561)에 의해 발생되는 공기압은 레귤레이터(562)를 통해 소망의 압력으로 조정된다. 즉, 레귤레이터(562)를 조작함으로써 스퀴지(3)의 플레이트(2)에 대한 압박력이 조정된다. 예를 들면, 도포하는 플럭스의 점도 정보에 의거하여 압박력이 조정된다.

플럭스 토출부(6)는 플럭스를 플레이트(2) 상에 공급하도록 구성되어 있다. 구체적으로는 플럭스 토출부(6)는 스퀴지(3)의 스퀴지부(31) 및 벽부(32)에 의해 형성된 프레임 내에 플럭스를 공급하도록 구성되어 있다.

센서(7)는 스퀴지(3)의 프레임 내의 플럭스의 양을 측정하도록 구성되어 있다. 센서(7)는 예를 들면, 초음파 센서를 포함한다.

발광부(8a) 및 센서(8b)는 스퀴지(3)가 설치되어 있는지 아닌지를 검지하도록 구성되어 있다. 구체적으로는 스퀴지(3)가 스퀴지 유지부(5)에 의해 로킹되어 있는 상태를 검지하도록 구성되어 있다. 즉, 도 6에 나타내는 바와 같이 스퀴지(3)가 압박방향 규제부(52)에 의해 로킹되어 있는(B방향의 이동이 규제되어 있는) 경우, 센서(8b)에 의해 발광부(8a)의 광이 검출된다. 이것에 의해 스퀴지(3)가 스퀴지 유지부(5)에 의해 로킹되어 있는 상태가 검지된다. 그리고, 스퀴지(3)가 로킹되어 있는(B방향으로 규제되어 있는) 경우에 에어실린더(56)에 의한 압박력이 발생되도록 구성되어 있다. 즉, 센서(8b)의 검지 결과에 의거하여 로킹되어 있는 상태의 경우, 에어실린더(56)를 구동시켜서 압박력이 발생된다. 또한, 스퀴지(3)의 B방향의 규제가 해제(로킹이 해제)되어 있는 경우는 에어실린더(56)에 의한 압박력을 발생시키지 않음과 아울러 플럭스 토출부(6)로부터의 플럭스의 공급이 행해지지 않는다.

또한, 수광부(8b)의 검출 결과에 의거하여 수광부(8b)에 의해 투광부(8a)의 광이 검출되지 않는 경우, 즉 스퀴지(3)가 설치되어 있지 않거나, 설치되어 있어도 로킹되어 있지 않는 경우에는 부품 실장 장치(100)가 자동 운전 중에 모터(41)의 구동에 의해 스퀴지(3)를 A방향으로 이동하는 타이밍이 되어도 모터(41)를 구동시키지 않고 정지한 채가 되도록 해도 좋다. 또는, 부품 실장 장치(100)의 자동 운전이 정지해 있을 때에 수광부(8b)에 의해 투광부(8a)의 광이 검출되지 않는 경우에는 부품 실장 장치(100)의 자동 운전을 개시하기 위한 스위치의 압하 등의 조작이 되어도 자동 운전이 개시되지 않도록 해도 좋다. 또한, 수광부(8b)에 의해 투광부(8a)의 광이 검출되지 않는 경우에 도시하지 않은 모니터 등에 이상 상태인 취지의의 경고 표시를 해도 좋다.

(제 1 실시형태의 효과)

제 1 실시형태에서는 이하와 같은 효과를 얻을 수 있다.

제 1 실시형태에서는 상기와 같이 스퀴지(3)의 슬라이딩 방향과 평행한 A방향의 이동을 규제하는 진행방향 규제부(51)와, 진행방향 규제부(51)와는 별개로 배치되고 스퀴지(3)의 플레이트(2)에 대한 압박방향과 평행한 B방향(B1방향)의 이동을 규제하는 압박방향 규제부(52)를 설치한다. 이것에 의해 스퀴지(3)의 슬라이딩 방향을 규제하는 힘과 스퀴지(3)의 압박방향을 규제하는 힘이 독립적으로 작용하므로 스퀴지(3)를 슬라이딩시켰을 경우에 스퀴지(3)에 작용하는 힘이 압박방향에 영향을 주는 것을 억제할 수 있다, 이것에 의해 스퀴지(3)의 압박력을 정밀도 좋게 유지할 수 있다.

또한, 제 1 실시형태에서는 스퀴지(3)를 압박방향 규제부(52)의 규제가 해제된 상태에서 B방향으로 이동되어서 떼내어지도록 구성한다. 이것에 의해 스퀴지(3)의 A방향 및 B방향이 일체의 부재에 의해 규제되어 있는 경우와 달리 압박방향 규제부(52)에 의한 B방향의 규제를 해제함으로써 스퀴지(3)를 떼어낼 수 있으므로 스퀴지(3)를 용이하게 착탈할 수 있다.

또한, 제 1 실시형태에서는 압박방향 규제부(52)를 스퀴지(3)에 대해 A방향을 따라 이동하여 스퀴지(3)의 B방향의 이동을 규제하도록 구성한다. 이것에 의해 스퀴지(3)의 B방향을 규제하는 힘에 반하도록 압박방향 규제부(52)를 이동시켜서 스퀴지(3)의 B방향의 규제를 온/오프하는 경우에 비해 보다 작은 힘으로 압박방향 규제부(52)를 이동시킬 수 있다. 그 결과, 스퀴지(3)의 B방향의 규제를 용이하게 온/오프할 수 있음과 아울러 작업성의 향상을 도모할 수 있다. 또한, 압박방향 규제부(52)를 압박방향인 상하방향으로 이동시키는 경우와 달리 부품 실장 장치(100)의 실장부(14) 등의 이동체가 압박방향 규제부(52)와 상하방향으로 간섭하는 것을 억제할 수 있다.

또한, 제 1 실시형태에서는 압박방향 규제부(52)가 스퀴지(3)의 B방향의 이동을 규제하고 있는 경우에 압박방향 규제부(52)의 A방향의 이동을 규제하는 플런저부(55)를 설치한다. 이것에 의해, 플런저부(55)에 의해 압박방향 규제부(52)가 A방향으로 이동하여 스퀴지(3)의 B방향의 규제가 해제되는 것을 억제할 수 있다.

또한, 제 1 실시형태에서는 압박방향 규제부(52)에 맞물려서 스퀴지(3)에 압박력을 전달하는 압박부(35)를 설치한다. 이것에 의해 압박방향 규제부(52)의 규제력을 압박부(35)를 통해 용이하게 스퀴지(3)에 전달할 수 있다.

또한, 제 1 실시형태에서는 압박방향 규제부(52)에 압박부(35)와 맞물리는 선단 부분이 A방향을 따라 B방향의 크기가 변화되어 경사지는 경사부(521a)를 설치한다. 이것에 의해, 압박방향 규제부(52)에 의해 스퀴지(3)를 B방향으로 규제할 때에 경사부(521a)에 의해 서서히 힘을 가할 수 있으므로 압박방향 규제부(52)를 규제(로킹) 위치로 이동시킬 때에 요하는 힘이 커지는 것을 억제할 수 있다. 그 결과, 스퀴지(3)의 B방향의 규제를 용이하게 온/오프할 수 있다.

또한, 제 1 실시형태에서는 압박방향 규제부(52)를 압박부(35)에 얹혀 스퀴지(3)의 B방향의 이동을 규제하도록 구성한다. 이것에 의해 압박방향 규제부(52)가 압박부(35)에 얹히므로 압박방향 규제부(52)에 의해 압박부(35)를 위로부터 하방향으로 용이하게 규제할 수 있다.

또한, 제 1 실시형태에서는 압박방향 규제부(52)를 스퀴지(3)의 B방향의 규제를 해제하고 있는 경우, 회동 지지부(54)에 접함과 아울러 스퀴지(3)의 B방향을 규제하고 있는 경우, 회동 지지부(54)로부터 B방향으로 이간되도록 구성한다. 이것에 의해 압박방향 규제부(52)를 회동함으로써 스퀴지(3)의 B방향의 규제를 용이하게 온/오프할 수 있다. 또한, 스퀴지(3)의 B방향을 규제하고 있는 경우, 압박방향 규제부(52)가 회동 지지부(54)로부터 B방향으로 이간되므로 압박방향 규제부(52)에 의한 압박력을 회동 지지부(54)에 의해 지지되는 일 없이 스퀴지(3)에 전달할 수 있다.

또한, 제 1 실시형태에서는 압박방향 규제부(52)에 접속됨과 아울러 스퀴지(3)의 플레이트(2)에 대한 압박력을 발생시키는 에어실린더(56)를 설치한다. 이것에 의해 스퀴지(3)의 플레이트(2)에 대한 압박력을 에어실린더(56)에 의해 용이하게 발생시킬 수 있다.

또한, 제 1 실시형태에서는 스퀴지(3)가 B방향으로 규제되어 있는 경우에 에어실린더(56)에 의한 압박력이 발생되도록 구성한다. 이것에 의해 스퀴지(3)의 B방향을 규제한 상태로부터 압박력을 더 부가할 수 있으므로 스퀴지(3)의 압박력을 용이하게 크게 할 수 있다. 또한, 스퀴지(3)의 B방향의 규제를 온/오프하는 경우에 에어실린더(56)에 의한 압박력을 발생시키지 않는 것에 의해 압박방향 규제부(52)를 용이하게 이동시킬 수 있으므로 스퀴지(3)의 B방향의 규제를 용이하게 온/오프할 수 있다.

또한, 제 1 실시형태에서는 에어실린더(56)를, 연결부(53)를 압박방향으로 바이어싱하도록 구성한다. 이것에 의해 스퀴지(3)를 끼우도록 배치된 한 쌍의 압박방향 규제부(52)에 의해 스퀴지(3)의 B방향을 안정하게 규제할 수 있다. 또한, 한 쌍의 압박방향 규제부(52)를 연결하는 연결부(53)를 에어실린더(56)에 의해 바이어싱함으로써 스퀴지(3)의 양측으로부터 용이하게 압박력을 부여할 수 있다.

또한, 제 1 실시형태에서는 압박력을 조정하는 레귤레이터(562)를 설치한다. 이것에 의해 예를 들면 도포하는 플럭스의 점도에 따라 스퀴지(3)의 압박력을 레귤레이터(562)에 의해 용이하게 조정할 수 있다.

[제 2 실시형태]

도 9~도 12를 참조하여 본 발명의 제 2 실시형태에 의한 플럭스 공급 장치(200)에 대해 설명한다. 이 제 2 실시형태에서는 압박방향 규제부(52)가 회동하도록 A방향으로 이동하여 스퀴지(3)의 B방향의 이동을 규제하는 구성의 상기 제 1 실시형태와는 달리 압박방향 규제부(232)가 평행 이동에 의해 A방향으로 이동하여 스퀴지(220)의 이동을 규제하는 구성에 대해 설명한다.

(플럭스 공급 장치의 구성)

도 9에 나타내는 바와 같이 플럭스 공급 장치(200)는 플레이트(210)와, 스퀴지(220)와, 스퀴지 유지부(230)와, 발광부(241a) 및 센서(수광부)(241b)와, 발광부(242a) 및 센서(242b)를 구비하고 있다. 또한, 플럭스 공급 장치(200)는 본 발명의 「점성 유체 공급 장치」 및 「점성 유체 공급부」의 일례이다.

플레이트(210)는 오목부(211)를 포함하고 있다. 스퀴지(220)는 도 10에 나타내는 바와 같이 한 쌍의 스퀴지부(221)와, 한 쌍의 연결부(222)와, 한 쌍의 판 형상부(223)와, 한 쌍의 슬라이딩 방향 규제 핀(224)과, 한 쌍의 압박부(225)를 포함하고 있다. 스퀴지 유지부(230)는 진행방향 규제부(231)와, 압박방향 규제부(232)와, 스프링(233)을 포함하고 있다. 또한, 스프링(233)은 본 발명의 「압박력 발생 기구」의 일례이다.

도 9에 나타내는 바와 같이 플레이트(210)는 플럭스가 스프레딩되도록 구성되어 있다. 플레이트(210)는 스퀴지(220)의 슬라이딩 방향과 평행한 A방향으로 연장되도록 형성되어 있다. 플레이트(210)의 오목부(211)는 소정의 깊이만큼 오목해져 있다. 이것에 의해 오목부(211)에 플럭스가 대략 균일한 높이에서 스프레딩된다. 또한, 플레이트(210)는 A방향(A1방향 및 A2방향)으로 이동하도록 구성되어 있다. 또한, A방향은 본 발명의 「제 1 방향」의 일례이다.

스퀴지(220)는 플레이트(210) 상의 플럭스를 고르게 하도록 슬라이딩하게 구성되어 있다. 구체적으로는 스퀴지(220)가 B방향(B2방향)으로 압박된 상태에서 플레이트(210)가 A방향(A1방향 및 A2방향)으로 이동하도록 구성되어 있다. 즉, 스퀴지(220)는 플레이트(210)에 대해 A방향으로 상대적으로 이동한다. 도 10에 나타내는 바와 같이 스퀴지(220)의 스퀴지부(221)는 A1방향 및 A2방향에 한 쌍 설치되어 있다. 한 쌍의 스퀴지부(221)는 A방향과 직교하는 방향의 양단에 설치된 한 쌍의 연결부(222)에 의해 연결되어 있다. 또한, 스퀴지부(221)의 양단에는 둑부(221a) (도 11 참조)가 설치되어 있다. 이것에 의해 스퀴지(220)를 슬라이딩했을 때에 플럭스가 스퀴지부(221)의 단부로부터 액 누설되는 것을 억제하는 것이 가능하다. 스퀴지부(221)는 플레이트(210)에 대해 상대적으로 이동하여 슬라이딩함으로써 상대적인 진행방향(A1방향 또는 A2방향)의 플레이트(210) 상의 플럭스를 고르게 하도록 구성되어 있다. 또한, B방향은 본 발명의 「제 2 방향」의 일례이다.

판 형상부(223)는 한 쌍의 연결부(222)의 외측에 각각 설치되어 있다. 한 쌍의 판 형상부(223)에는 슬라이딩 방향 규제 핀(224) 및 압박부(225)가 각각 설치되어 있다. 슬라이딩 방향 규제 핀(224)은 판 형상부(223)로부터 외측으로 돌출되도록 설치되어 있다. 슬라이딩 방향 규제 핀(224)은 스퀴지 유지부(230)의 진행방향 규제부(231)에 접촉하여 스퀴지(220)의 슬라이딩 방향(진행방향)의 이동을 규제하도록 구성되어 있다.

압박부(225)는 판 형상부(223)로부터 외측으로 돌출되도록 설치되어 있다. 압박부(225)는 스퀴지 유지부(230)의 압박방향 규제부(232)에 맞물려서 스퀴지(220)에 압박방향(B2방향)의 힘(압박력)을 전달하도록 구성되어 있다.

스퀴지 유지부(230)는 스퀴지(220)를 유지하도록 구성되어 있다. 구체적으로는 스퀴지 유지부(230)는 스퀴지(220)의 압박방향과 평행한 B방향의 이동을 규제함과 아울러 스퀴지(220)의 슬라이딩 방향(상대적인 진행방향)과 평행한 A방향의 이동을 규제하도록 구성되어 있다. 스퀴지 유지부(230)는 A방향에 있어서 소정의 위치에 고정되어 있다. 구체적으로는 스퀴지 유지부(230)는 베이스(230a)에 대해 유지부(230b)가 A방향(수평방향)으로 이동하지 않도록 구성되어 있다. 한편, 유지부(230b)는 베이스(230a)에 대해 B1방향(상방향)으로는 이동하도록 구성되어 있다.

여기서, 제 2 실시형태에서는 스퀴지 유지부(230)의 진행방향 규제부(231)는 스퀴지(220)의 슬라이딩 방향과 평행한 A방향의 이동을 규제하도록 구성되어 있다. 진행방향 규제부(231)는 A방향과 직교하는 수평방향에 대향하도록 한 쌍 설치되어 있다. 즉, 진행방향 규제부(231)는 스퀴지(220)를 끼워 넣도록 한 쌍 설치되어 있다. 또한, 진행방향 규제부(231)는 베이스(230a)에 고정되어 있다. 또한, 진행방향 규제부(231)는 상방향(B1방향)이 개방된 슬릿 형상을 갖고 있다. 진행방향 규제부(231)의 슬릿 형상에는 스퀴지(220)의 슬라이딩 방향 규제 핀(224)이 끼워 넣어지도록 구성되어 있다. 그리고, 슬라이딩 방향 규제 핀(224)이 A방향에 있어서 진행방향 규제부(231)에 접촉함으로써 스퀴지(220)(슬라이딩 방향 규제 핀(224))의 슬라이딩 방향의 이동이 규제된다.

또한, 제 2 실시형태에서는 압박방향 규제부(232)는 스퀴지(220)의 플레이트(210)에 대한 압박방향과 평행한 B방향(B1방향)의 이동을 규제하도록 구성되어 있다. 압박방향 규제부(232)는 A방향과 직교하는 수평방향에 대향하도록 한 쌍 설치되어 있다. 즉, 압박방향 규제부(232)는 스퀴지(220)를 끼워 넣도록 한 쌍 설치되어 있다.

또한, 압박방향 규제부(232)는 진행방향 규제부(231)와는 별개로 설치되어 있다. 또한, 압박방향 규제부(232)의 규제가 해제된 상태에서 스퀴지(220)가 B방향(B1방향)으로 이동되어서 떼내어지도록 구성되어 있다. 또한, 압박방향 규제부(232)는 스퀴지(220)에 대해 A방향(수평방향)을 따라 평행 이동하여 스퀴지(220)의 B1방향(상방향)의 이동을 규제하도록 구성되어 있다.

압박방향 규제부(232)의 압박부(225)와 맞물리는 선단 부분에는 A방향을 따라 B방향의 크기가 변화되어 경사지는 경사부(232a)가 형성되어 있다. 또한, 압박방향 규제부(232)는 압박부(225)에 얹혀 스퀴지(220)를 로킹하도록(B방향의 이동을 규제하도록) 구성되어 있다. 즉, 도 11에 나타내는 바와 같이 압박방향 규제부(232)에 의해 스퀴지(220)가 로킹된(B방향의 이동이 규제된) 경우, 유지부(230b)가 베이스(230a)로부터 들뜬다.

스프링(233)은 압박방향 규제부(232)에 접속됨과 아울러 스퀴지(220)의 플레이트(210)에 대한 압박력을 발생시키도록 구성되어 있다. 구체적으로는 스프링(233)은 압박방향 규제부(232)에 접촉하는 유지부(230b)를 압박방향(B2방향)으로 바이어싱하도록 구성되어 있다.

발광부(241a) 및 센서(241b)는 스퀴지(220)가 설치되어 있는지 아닌지를 검지하도록 구성되어 있다. 구체적으로는 스퀴지(220)가 스퀴지 유지부(230)에 의해 로킹되어 있는 상태를 검지하도록 구성되어 있다. 즉, 도 11에 나타내는 바와 같이 스퀴지(220)가 압박방향 규제부(232)에 의해 로킹되어 있는(B방향의 이동이 규제되어 있는) 경우, 센서(241b)에 의해 발광부(241a)의 광이 검출된다. 즉, 유지부(230b)가 베이스(230a)로부터 들뜸으로써 발광부(241a)로부터의 광이 유지부(230b) 및 베이스(230a)의 간극을 통과하여 센서(241b)에 도달한다. 이것에 의해 스퀴지(220)가 스퀴지 유지부(230)에 의해 로킹되어 있는 상태가 검지된다. 한편, 도 12에 나타내는 바와 같이 스퀴지(220)가 압박방향 규제부(232)에 의해 로킹되어 있지 않는(B방향의 이동의 규제가 해제되어 있는) 경우, 발광부(241a)의 광은 센서(241b)에 의해 검출되지 않는다. 즉, 유지부(230b)가 베이스(230a)에 접촉함으로써 발광부(241a)로부터의 광이 유지부(230b)에 의해 차단되어 센서(241b)에 도달하지 않는다.

발광부(242a) 및 센서(242b)는 스퀴지(220)가 설치되어 있는지 아닌지를 검지하도록 구성되어 있다. 구체적으로는 도 9에 나타내는 바와 같이 스퀴지(220)가 설치되어 있는 경우, 센서(242b)에 의해 발광부(242a)의 광이 검출되지 않는다. 즉, 발광부(242a)로부터의 광이 스퀴지(220)에 의해 차단되어 센서(242b)에 도달하지 않는다. 한편, 스퀴지(220)가 설치되어 있지 않는 경우, 센서(242b)에 의해 발광부(242a)의 광이 검출된다. 즉, 발광부(242a)로부터의 광이 차단되는 일 없이 센서(242b)에 도달한다.

또한, 스퀴지 검출부(242)가 스퀴지(220)의 설치를 검출하고 있지 않는 경우, 또는 수광부(242b)의 검출 결과에 의거하여 수광부(242b)에 의해 투광부(242a)의 광이 검출되지 않는 경우, 부품 실장 장치(100)가 자동 운전 중에 플레이트(210)의 이동에 의해 스퀴지(3)를 상대적으로 A방향으로 이동하는 타이밍이 되어도 이동시키지 않고 정지한 채가 되도록 해도 좋다. 또는, 부품 실장 장치(100)의 자동 운전이 정지해 있을 때에 상기와 같은 검출 상태가 발생한 경우이면 부품 실장 장치(100)의 자동 운전을 개시하기 위한 스위치의 압하 등의 조작이 되어도 자동 운전이 개시되지 않도록 해도 좋다. 또한, 상기 검출 상태의 경우에 도시하지 않은 모니터 등에 이상 상태인 취지의 경고 표시를 해도 좋다.

또한, 제 2 실시형태의 그 외의 구성은 상기 제 1 실시형태와 마찬가지이다.

(제 2 실시형태의 효과)

제 2 실시형태에서는 이하와 같은 효과를 얻을 수 있다.

제 2 실시형태에서는 제 1 실시형태와 마찬가지로 스퀴지(220)의 슬라이딩 방향과 평행한 A방향의 이동을 규제하는 진행방향 규제부(231)와, 진행방향 규제부(231)와는 별개로 배치되고 스퀴지(220)의 플레이트(210)에 대한 압박방향과 평행한 B방향(B1방향)의 이동을 규제하는 압박방향 규제부(232)를 설치한다. 이것에 의해 스퀴지(220)의 압박력을 정밀도 좋게 유지할 수 있다.

또한, 제 2 실시형태의 그 외의 효과는 상기 제 1 실시형태와 마찬가지이다.

(변형예)

또한, 금회 개시된 실시형태는 모든 점에서 예시이며 제한적인 것이 아니라고 생각되어야 한다. 본 발명의 범위는 상기한 실시형태의 설명이 아니라 특허청구의 범위에 의해 나타내어지고, 또한 특허청구의 범위로 균등한 의미 및 범위 내에서의 모든 변경(변형예)이 포함된다.

예를 들면, 상기 제 1 및 제 2 실시형태에서는 본 발명의 점성 유체 도포 장치를 플럭스 도포 장치에 적용하는 예를 나타냈지만 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 본 발명의 점성 유체 도포 장치를 플럭스 이외의 점성 유체를 도포하는 장치에 적용해도 좋다. 예를 들면, 땜납, 은 페이스트 등의 점성 유체를 도포하는 장치에 본 발명의 점성 유체 도포 장치를 적용해도 좋다.

또한, 상기 제 1 및 제 2 실시형태에서는 범프를 갖는 베어 칩을 플립 칩 실장하는 예를 나타냈지만 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 예를 들면, BGA(볼 그리드 어레이)를 갖는 패키지 부품을 PoP(package on package) 실장하는 경우에 본 발명을 적용해도 좋다. 또한, 본 발명의 부품 실장 장치를 플립 칩 본더에 적용해도 좋고, 테이프 피더나 트레이로부터 공급되는 부품을 실장하는 부품 실장 장치에 적용해도 좋다.

또한, 상기 제 1 실시형태에서는 본 발명의 압박력 발생 기구로서 에어실린더를 사용하고, 상기 제 2 실시형태에서는 본 발명의 압박력 발생 기구로서 스프링을 사용하는 예를 나타냈지만 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 본 발명에서는 압박력 발생 기구로서 예를 들면, 유압 실린더, 솔레노이드, 리니어 모터 등을 사용해도 좋다.

또한, 상기 제 1 실시형태에서는 본 발명의 압박력 조정 기구로서 레귤레이터를 사용하는 예를 나타냈지만 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 본 발명에서는 압박력 조정 기구로서 예를 들면, 수동 밸브, 전자 밸브, 압력 가변 기구, 전류 제어부, 서보 컨트롤러 등을 사용해도 좋다.

또한, 상기 제 1 및 제 2 실시형태에서는 스퀴지의 상방으로부터 플럭스(점성 유체)를 공급하는 구성의 예를 나타냈지만 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 본 발명에서는 스퀴지의 하방에 위치하는 플레이트에 토출부를 설치하여 점성 유체를 공급해도 좋다.

또한, 상기 제 1 및 제 2 실시형태에서는 발광부로부터의 광을 센서에 의해 검출하여 스퀴지의 유무 및 규제 상태를 검지하는 구성의 예를 나타냈지만 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 본 발명에서는 광 이외를 이용하여 스퀴지의 유무 및 규제 상태를 검지해도 좋다. 예를 들면, 소리(초음파)나 전파를 이용하여 스퀴지의 유무 및 규제 상태를 검지해도 좋다. 또한, 기계 스위치를 사용하여 스퀴지의 유무 및 규제 상태를 검지해도 좋다. 또한, 센서는 투과형의 센서를 사용해도 좋고, 반사형의 센서를 사용해도 좋다.

1, 200 플럭스 공급 장치(점성 유체 공급 장치)
2, 210 플레이트
3, 220 스퀴지
14 실장부
35, 225 압박부
51, 231 진행방향 규제부
52, 232 압박방향 규제부
53 연결부
54 회동 지지부
55 플런저부(위치 규제부)
56 에어실린더(압박력 발생 기구, 실린더)
100 부품 실장 장치
232a, 521a 경사부
233 스프링(압박력 발생 기구)
562 레귤레이터(압박력 조정 기구)
C 베어 칩(부품)
S 기판

Claims (12)

1. 점성 유체가 스프레딩되는 플레이트와,
   상기 플레이트 상의 점성 유체를 고르게 하도록 슬라이딩하는 스퀴지와,
   상기 스퀴지의 슬라이딩 방향과 평행한 제 1 방향의 이동을 규제하는 진행방향 규제부와,
   상기 진행방향 규제부와는 별개로 설치되고 상기 스퀴지의 상기 플레이트에 대한 압박방향과 평행한 제 2 방향의 이동을 규제하는 압박방향 규제부를 구비하고,
   상기 압박방향 규제부는 상기 스퀴지에 대해 상기 제 1 방향을 따라 이동하여 상기 스퀴지의 상기 제 2 방향의 이동을 규제하도록 구성되어 있는 점성 유체 공급 장치.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 스퀴지는 상기 압박방향 규제부의 규제가 해제된 상태에서 상기 제 2 방향으로 이동되어서 떼내어지도록 구성되어 있는 점성 유체 공급 장치.
3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
   상기 압박방향 규제부가 상기 스퀴지의 상기 제 2 방향의 이동을 규제하고 있는 경우에 상기 압박방향 규제부의 상기 제 1 방향의 이동을 규제하는 위치 규제부를 더 구비하는 점성 유체 공급 장치.
4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
   상기 압박방향 규제부에 맞물려서 상기 스퀴지에 압박력을 전달하는 압박부를 더 구비하는 점성 유체 공급 장치.
5. 제 4 항에 있어서,
   상기 압박방향 규제부는 상기 압박부와 맞물리는 선단 부분이 상기 제 1 방향을 따라 상기 제 2 방향의 크기가 변화되어 경사지는 경사부를 포함하는 점성 유체 공급 장치.
6. 제 4 항에 있어서,
   상기 압박방향 규제부는 상기 압박부에 얹혀 상기 스퀴지의 상기 제 2 방향의 이동을 규제하도록 구성되어 있는 점성 유체 공급 장치.
7. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
   상기 압박방향 규제부를 회동가능하게 지지하는 회동 지지부를 더 구비하고,
   상기 압박방향 규제부는 상기 스퀴지의 상기 제 2 방향의 규제를 해제하고 있는 경우, 상기 회동 지지부에 접함과 아울러 상기 스퀴지의 상기 제 2 방향을 규제하고 있는 경우, 상기 회동 지지부로부터 상기 제 2 방향으로 이간되도록 구성되어 있는 점성 유체 공급 장치.
8. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
   상기 압박방향 규제부에 접속됨과 아울러 상기 스퀴지의 상기 플레이트에 대한 압박력을 발생시키는 압박력 발생 기구를 더 구비하는 점성 유체 공급 장치.
9. 제 8 항에 있어서,
   상기 스퀴지가 상기 제 2 방향으로 규제되어 있는 경우에 상기 압박력 발생 기구에 의한 압박력이 발생되도록 구성되어 있는 점성 유체 공급 장치.
10. 제 8 항에 있어서,
    상기 압박방향 규제부는 상기 스퀴지를 끼우도록 한 쌍 설치되어 있고,
    한 쌍의 상기 압박방향 규제부를 연결하는 연결부를 더 구비하고,
    상기 압박력 발생 기구는 상기 연결부를 압박방향으로 바이어싱하는 실린더를 포함하는 점성 유체 공급 장치.
11. 제 8 항에 있어서,
    상기 압박력 발생 기구는 압박력을 조정하는 압박력 조정 기구를 포함하는 점성 유체 공급 장치.
12. 기판에 부품을 실장하는 실장부와,
    상기 부품에 점성 유체를 공급하는 점성 유체 공급부를 구비하고,
    상기 점성 유체 공급부는,
    점성 유체가 스프레딩되는 플레이트와,
    상기 플레이트 상의 점성 유체를 고르게 하도록 슬라이딩하는 스퀴지와,
    상기 스퀴지의 슬라이딩 방향과 평행한 제 1 방향의 이동을 규제하는 진행방향 규제부와,
    상기 진행방향 규제부와는 별개로 설치되고 상기 스퀴지의 상기 플레이트에 대한 압박방향과 평행한 제 2 방향의 이동을 규제하는 압박방향 규제부를 포함하고,
    상기 압박방향 규제부는 상기 스퀴지에 대해 상기 제 1 방향을 따라 이동하여 상기 스퀴지의 상기 제 2 방향의 이동을 규제하도록 구성되어 있는 부품 실장 장치.

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