JP4232861B2 - はんだボールの搭載方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、プリント基板や半導体ウエハなどの表面に形成された接続用のパッドに、はんだボールを搭載するためのはんだボールの搭載方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
プリント基板や半導体素子(以下「ワーク」という。)の電気的な接続を行うためのボールグリッドアレイ(BGA)を形成する方法、及び装置として、特開2000−294676号公報には、以下のような方法(はんだボールの搭載方法)、及び装置(はんだボールの搭載装置)が開示されている。
【0003】
まず、前者の搭載方法は、
「あらかじめ所定の複数の位置にフラックスが塗布されたワークの表面に、前記フラックスの塗布位置と対向する、はんだボールの径より若干大径の複数の穴が形成されたマスクを配置し、前記マスクの穴を通してワークのフラックスの塗布位置にはんだボールを搭載するはんだボールの搭載方法であって、前記マスクと相対移動可能で、前記マスクの穴形成領域外の位置で待機するスキージによって仕切られた空間にあらかじめ複数のはんだボールを供給し、ワークの表面にマスクを位置決めし、ワークとマスクの相対位置を保持した状態でワークとマスクを前記スキージの待機位置が高くなるように所定の角度傾斜させ、前記スキージを前記マスクに沿って往復移動させ、前記スキージによって支えられたはんだボールを前記マスクに沿って往復移動させた後、前記ワークとマスクを水平状態に戻し、前記マスクをワークから離間させ、ワークを搬出することを特徴とするはんだボールの搭載方法。」
というものである。
【0004】
次に、後者の搭載装置は、
「水平軸を中心として揺動可能なチルトテーブルと、クランク機構を介して前記チルトテーブルを揺動させるチルトテーブルの揺動手段と、ワークの位置決め手段と、ワークの固定手段とを備え、前記チルトテーブルに支持されたテーブルと、前記ワークのはんだボール搭載領域と対応する複数の矩形の貫通穴が形成され、前記チルトテーブルに摺動可能に支持されたマスク治具と、所定の間隔で形成されワーク表面に接触する複数のリブの間に、前記ワークのはんだボール搭載位置に対応するはんだボールの径より若干大径の複数の貫通穴が形成され、前記マスク治具の前記ワークとの対向面に固定されたマスクと、前記チルトテーブルを一辺とする平行四辺形リンクを備え、この平行四辺形リンクで前記マスク治具を移動させるマスク治具移動手段と、前記マスク治具に摺動可能に支持されたスキージホルダと、一端が前記スキージホルダに固定され、その下端が前記マスクの貫通穴に落下したはんだボールに接触しない位置まで前記マスク治具の各貫通穴に摺動可能に挿入された複数のスキージとを設けたことを特徴とするはんだボール搭載装置。」
というものである。
【0005】
これらの技術、すなわちはんだボールの搭載方法、及びはんだボールの搭載装置によると、1回の工程でワークに搭載できるはんだボール数が、それまでは1000個程度が限度であったのに対し、数万個のはんだボールを搭載することができるという利点を有している。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来技術の場合、はんだボールは位置エネルギを動力源としてマスクの表面を移動し、規制部材としてのスキージにより移動を制限されてほぼ定速度で移動するように構成されている。したがって、はんだボールは、マスクの表面に凹凸があると、移動が阻害され、移動の途中で停止してしまうおそれがある。そこで、従来、マスクの表面をできるだけ平坦に(表面粗さを0.3μmRz以下)なるように仕上げていた。
【0007】
図13(a)、(b)は、従来のマスクの表面粗さを測定したデータであり、(a)は、はんだボールの転がり方向と直角の方向(X方向)、(b)は転がり方向(Y方向)を示している。このマスクの場合、X方向の表面粗さはRz0.32であり、またY方向の表面粗さは0.37μmRzであって、Y方向の表面粗さがX方向の表面粗さよりも僅かに大きいが、粗さの形態、すなわち山と谷の差は小さい。
【0008】
しかし、このように表面を滑らかに形成したマスクであっても、はんだボール(直径が0.1〜0.5mm)がスキージに追従できないで、マスク上で停止して(付着して)はんだボールをマスクの貫通穴に供給できない場合が発生した。
【0009】
また、スキージの移動を開始したとき、はんだボールが直ちに移動せず、時間遅れが発生して作業能率が低下する場合があった。
【0010】
本発明は、上述の事情に鑑みてなされたものであり、規制部材(上述ではスキージ)の下方への移動開始時に、はんだボールが直ちに移動して、時間遅れが発生するのを防止し、よって作業能率を向上させるようにしたはんだボールの搭載方法を提供することにある。
【0011】
また、はんだボールがマスク表面で停止することなく、規制部材に追随して円滑に移動するようにし、よってはんだボールをボール保持穴(上述では貫通穴)に確実に供給することができるようにしたはんだボールの搭載装置を提供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するための本発明は、ワーク表面の複数箇所に塗布されたフラックス上に、はんだボールを搭載するためのはんだボールの搭載方法において、前記はんだボールが通過可能な複数のボール保持穴を有するマスクで前記ワーク表面を覆って、複数の前記ボール保持穴を前記ワーク表面の複数の前記フラックスに対応させる位置決め工程と、前記ワークと前記マスクとを傾斜させる傾斜工程と、傾斜状態の前記マスク表面上を上方から下方に移動しようとする複数の前記はんだボールの移動速度を規制部材で規制しながら、前記はんだボールを前記マスク表面で移動させて前記はんだボールを前記ボール保持穴に落とし込んでいくボール搭載工程とを有し、前記傾斜工程後で前記ボール搭載工程前に、前記規制部材を一旦、上方に移動させて前記はんだボールを上方に移動させた後、直ちに前記ボール搭載工程に移行する後退工程を設けた、ことを特徴とする。
【0013】
好ましくは、ワーク表面の複数箇所に塗布されたフラックス上に、はんだボールを搭載するためのはんだボールの搭載装置において、前記ワーク表面を覆うように配置され、複数の前記フラックスに対応する位置に前記はんだボールが通過可能な複数のボール保持穴を有するマスクと、前記ワークと前記マスクとを傾斜させる傾斜機構と、傾斜状態の前記マスク表面上を上方から下方に移動しようとする複数の前記はんだボールの移動速度を規制しながら、前記はんだボールを前記マスク表面で移動させて前記はんだボールを前記ボール保持穴に落とし込んでいく規制部材と、を備え、前記マスク表面における前記規制部材の移動方向をY方向、これに直交する方向をX方向とすると、前記マスク表面は、前記X方向の表面粗さXsが0.5μmRz以上に相当する溝を有し、前記表面粗さXsに対する前記Y方向の表面粗さYsの比Ys/Xsが0.7以下である。
【0014】
【発明の実施の形態】
実施の形態の説明に先立ち、まず、本発明の概略を説明する。
【0015】
本発明の発明者は、前述の目的を達成するため、マスク表面の性状(凹凸)と、はんだボールの転がり特性との関係に注目し、種々の実験を重ねた結果、以下のことを見出した。
【0016】
図10は、実験方法の概要を示す説明図である。ここでは、マスクとしてメタルマスク(材質はニッケル)を使用し、マスクの傾斜角度θを25度、スキージ(規制部材)の、斜面に沿って下方に移動するときの移動速度vを10mm/秒とした。以下、スキージの移動方向(はんだボールの転がり方向)をY方向、これと直角な方向をX方向という。
【0017】
図11は、実験結果の一例を示す図である。同図中、はんだボールの直径について、「△」は0.3mm、「□」は0.2mm、「○」は0.17mm、「◇」は0.1mmである。また、白抜きで示すものは、スキージの移動に伴ってはんだボールが斜面に沿って転がり落ちる場合、またこれらの図形の内部を塗りつぶして示すものは、はんだボールが転がり落ちないで停止した場合である。なお、中間色は、これらの中間である。
【0018】
同図から明らかなように、良好な結果が得られる、すなわちスキージの移動に伴ってはんだボールが移動するのはマスク表面のX方向の表面粗さXsが0.7μmRz以上の場合であり、表面粗さXsが0.4μmRz未満の場合ははんだボールが停止した。一方、Y方向の表面粗さYsについては、X方向の表面粗さXsに対する比Ys/Xsが1未満の場合、すなわちマスク表面がX方向よりもY方向が滑らかに形成されている場合の方がはんだボールの移動は良好である。
【0019】
図12(a)、(b)は、良好な結果が得られた場合のマスクの表面粗さを測定したデータである。このマスクの場合、X方向の表面粗さXsは0.95μmRz、またY方向の表面粗さYsは0.54μmRzであり、X方向の粗さは微細で先鋭な山と谷が密集した形態であるのに対してY方向はゆるやかな粗さになっている。
【0020】
以上の結果から、マスクの表面として、Y方向に沿った、微細な多数の直線溝を設けることが有効であり、実用的にはX方向の表面粗さXsを0.5μmRz以上、好ましくは0.7μmRz以上とし、Y方向の表面粗さYsを、Ys/Xs=1.0以下、好ましくは0.7以下、0.3以上にすればよい。
【0021】
また、スキージの下方への移動を開始した際、はんだボールが直ちに移動を開始しない点に関しては、以下のようにすればよいことを見出した。すなわち、はんだボールが直ちに移動を開始しないのは、隙間なく層状に重なったはんだボールが、摩擦力により塊状を維持することに起因している。したがって、塊状態を解除することにより、スキージに対する移動の遅れは解決されることになる。
【0022】
以下、図面に沿って、本発明の実施の形態について説明する。
【0023】
図1〜図4に、本発明に係るはんだボールの搭載装置の一例を示す。このうち図1は、はんだボールの搭載装置の平面図、図2は図1中のK線矢視拡大図、図3は図1のはんだボールの搭載装置を図1中の右方から見た側面図、図4は図1のM−M線矢視拡大図である。なお、以下の説明では、図1中の「上」「下」「左」「右」を、この順に、はんだボールの搭載装置の「後」「前」「右」「左」と決め、また、はんだボールの搭載装置における左右方向を「X方向」、前後方向を「Y方向」と決め、さらに、図3中の「上」「下」を、はんだボールの搭載装置の「上」「下」と決める。本発明が取り扱うはんだボールは、直径が0.1〜0.5mm程度の球形である。
【0024】
図1に示すはんだボールの搭載装置は、傾斜可能なチルトテーブル4を備えている。チルトテーブル4の左右の両側にはそれぞれ同軸上に配置されたチルトピン3、3が固定されている。チルトピン3、3は、1対のブラケット1、1に保持された軸受け(不図示)に回転自在に係合している。ブラケット1、1は、ベースBに固定されている。チルトテーブル4には、テーブル11が固定されている。テーブル11には、円形のワーク14(図1の破線)が保持されている。マスク治具15は、2対のガイドピン18(図4参照。ただし同図では1本のみを図示。)を介してチルトテーブル4に位置決めされている。
【0025】
マスク治具15のほぼ中央には短辺16a、16a、長辺16b、16bを有する矩形の貫通穴からなるボール移動域16が形成されている。マスク治具15の上面にはボール移動域16の長辺16b、16bの外側に、これに沿うようにして前後方向に向けた1対のガイドレール30、30が固定されている。マスク治具15の下面には、上述のボール移動域16の全体を下方から覆うように、板状のマスク20が固定されている。このマスク20の上面Sは、上述のボール移動域16の底面を構成することになる。マスク20は金属製であり、厚さ方向に貫通された多数のボール保持穴21が穿設されている。ボール移動域16の底面となるマスク20の上面Sは、図1中のX方向の表面粗さXsが1.0μmRzに、またY方向の表面粗さYsが0.5μmRzとなるように形成されている。
【0026】
ホルダ32は、2本のガイドレール30、30を跨ぐように配設されている。ホルダ32は、ガイドレール30、30に係合する直動軸受31、31(図4参照。ただし同図では1個のみを図示。)に固定されていて、図1中のY方向に移動自在に構成されている。図1中ではホルダ32のホームポジションを実線で示し、また前進限を二点鎖線で示している。ホルダ32の左の側面には溝33が形成されている。ホルダ32は、上述のボール移動域16に嵌合する板状のスキージ(規制部材)34を支持している。スキージ34の左右方向の幅は、上述のボール移動域16の短辺16aよりも少し短く、また、スキージ34の下端34a(図4参照)は、上述のマスク20の上面Sよりも少し上に位置するようになっている。なお、スキージ34とボール移動域16との位置関係については後に詳述する。
【0027】
ボール移動域16は、スキージ34によって前部16Aと後部16Bとに2分されており、このうち後部16Bには、多数のはんだボール19が収納されている。チルトテーブル4の左端近傍には、ガイドレール30と平行になるようにしてガイドレール35が固定されている。ドライビングフック37は、ガイドレール35に係合する直動軸受(不図示)に固定されている。このドライビングフック37は、上述のホルダ32の溝33に嵌合され、かつ駆動モータ(不図示)によって回転されるドライビングベルト(不図示)に連結されている。したがって、ホルダ32は、駆動モータの正逆回転に伴って、ガイドレール30、30に沿って前後方向に移動できるようになっている。
【0028】
チルトテーブル4の左側後部には、チルトモータ6が配設されている。チルトモータ6を保持するブラケット5は、上述のベースBに固定されている。チルトモータ6の回転軸に固定されたフランジ7には、図2、図3に示すように、クランクピン8が固定されている。クランクピン8は、フランジ7の中心から外れた偏心位置に固定され、クランクプレート9を回転自在に支持している。クランクピン10は、チルトテーブル4とクランクプレート9とを結合している。これらクランクプレート9と、クランクピン10と、チルトテーブル4とは一体的に構成されている。これらチルトモータ6、ブラケット5、フランジ7、クランクピン8、クランクプレート9、クランクピン10によって、傾斜機構2を構成している。
【0029】
したがって、傾斜機構2は、クランクピン8が下端位置にある状態から、フランジ7を180度回転させるとクランクピン8が図3の二点鎖線で示す上方に移動し、この移動によりクランクプレート9が押し上げられてクランクピン10が二点鎖線で示す位置に上昇する。これにより、チルトテーブル4の後端側が押し上げられる。この結果、チルトテーブル4は、チルトピン3の軸心を中心として反時計回りに回転し、前端側が下方に下がった傾斜姿勢(図3の二点鎖線)をとる。一方、この状態からさらにフランジ7を180度回転させると、クランクピン8、クランクプレート9、及びクランクピン10を介してチルトテーブル4の後端側が引き下げられる。この結果、チルトテーブル4はチルトピン3の軸心を中心として時計回りに回転し、水平な姿勢(図3の実線)に復帰する。
【0030】
次に、図4、図5によりさらに詳細に説明する。ここで、図4は、図1のM−M線矢視図、図5は図4の状態におけるワーク14とマスク20との関係を示す拡大図である。テーブル11の上面には、複数の真空吸着ポケット12が形成されており、それぞれ通路13を介して真空供給源(不図示)に接続されている。ワーク14の表面には、フラックスFがあらかじめ塗布されている。マスク20に設けられたボール保持穴21の直径は、はんだボール19の直径よりも僅かに大径である。マスク20の底面(下面)には、フラックスFの塗布厚さよりも厚いリブ22が配置されている。
【0031】
スキージ34の下端34aとマスク20の表面Sとの間隔g1は、はんだボール19の半径より十分小さく、かつ、ボール保持穴21に落ち込んだはんだボール19の頭頂部にスキージ34の下端34aが接触しない大きさに設定されている。また、スキージ34の側端縁34bとボール移動域16の側壁16cとの間の隙間g2は、はんだボール19の半径よりも十分小さく形成されている。
【0032】
次に、上述構成のはんだボールの搭載装置の動作を説明する。なお、ホルダ32は図1に示すホームポジションに配置されており、ドライビングフック37は上述のホルダ32の溝33に嵌合している。
【0033】
図6〜図9は、はんだボール19の搭載工程の各工程を示す図である。チルトテーブル4を水平にした状態で、マスク治具15をh(手動又は自動搬送手段によりワーク14を容易に搬入、搬出ができる距離で、6〜10mm程度である。)上昇させ、ワーク14をテーブル11に位置決めする。テーブル11の上面には、ワーク14の外形を拘束して水平方向の位置決めを行うための手段(溝又はワーク14に形成された切り欠き等の回転方向に位置決め可能な手段:不図示。)が設けられており、すべてのフラックスFがボール保持穴21に対向するように位置決めされる(位置決め工程)。この状態で、真空供給手段によりワーク14をテーブル11に固定し、その後、マスク治具15を下降させ、リブ22の下端をワーク14の表面に当接させる。
【0034】
次に、マスク治具15のボール移動域16のうちのスキージ34で仕切られた後部16Bに、ボール保持穴21の数の2〜3倍の数のはんだボール19を供給する。そして、チルトモータ6を動作させ、チルトテーブル4を角度θだけ傾斜させる(傾斜工程)。すると、図6に示すように、テーブル11とマスク治具15も同時に傾斜する。このとき、はんだボール19はスキージ34に支えられているため、自重によって落下することはない。なお、角度θは、マスク20の表面S上をはんだボール19がその自重で転がり落ち、かつボール保持穴21に落下しやすい角度(例えば、20〜40度程度)に設定される。
【0035】
この状態で、前述の駆動ベルト(不図示)により、ドライビングフック37等を介してスキージ34を、一旦、ワーク14とは逆の方向に距離Lだけ移動(後退)させ、密集しているはんだボール19の集積形状を変えてから、直ちにワーク14側にあらかじめ定める速度で移動(前進)させる(後退工程)。なお、距離Lは、供給されるはんだボール19の量にもよるが、一般に5mm程度で十分である。このように、密集して塊状態に静止しているはんだボール19をスキージ34により強制的に動かすことにより塊状態を崩すとともに、はんだボール19に動きを加えると、スキージ34の移動方向を反転させた際に、はんだボール19はスキージ34に追従して直ちに移動を開始する。
【0036】
スキージ34を移動させる速度としては、マスク20の表面S上を自重により転がり落ちるはんだボール19がマスク20のボール保持穴21内に確実に落下(供給)できる速度に設定する。すなわち、例えば、角度θが25度で、はんだボール19の直径が0.3mmの場合、スキージ34の移動速度を、5〜30mm/秒に設定するとよい。
【0037】
図7に示すように、スキージ34の近傍のはんだボール19は重なり合った状態になるが、後側は、後部16B内に広がり一層の状態でマスク20の表面S上を転がり落ちる。この結果、はんだボール19は確実にボール保持穴21に落下し(供給され)、フラックスFの粘着力によって保持されワーク14上に搭載される(ボール搭載工程)。各ボール保持穴21に1個のはんだボール19が入ると、後続のはんだボール19は、このボール保持穴21に入っているはんだボール19を乗り越えて転がり落ちる。この結果、スキージ34が前進限(下端)まで移動すると、マスク20に形成されたボール保持穴21のすべてにそれぞれ1個のはんだボール19が落ち込み、フラックスFの粘着力によって保持されワーク14上に搭載される。
【0038】
図8に示すように、スキージ34がボール保持穴21のある領域を越えて前進限に配置された後、スキージ34の移動を停止させる。そして、チルトモータ6を動作させてチルトテーブル4を水平に戻した後、駆動ベルト等によってスキージ34をホームポジションに戻す。この際、スキージ34は、マスク20の表面S上に残っている余剰のはんだボール19をホームポジション近傍に戻すとともに、ボール保持穴21内のはんだボール19をフラックスFに押し込む。この結果、はんだボール19はフラックスFに確実に保持される。
【0039】
スキージ34がホームポジションに戻った後、マスク治具15を上昇させ、ワーク14を取り出す。
【0040】
以上説明した、はんだボールの搭載装置、及びはんだボールの搭載方法によると、例えば、搭載すべきはんだボール19の数が数万個以上であっても、一度の作業で確実に必要な数のはんだボール19を、ワーク14のフラックスF上に搭載することができる。また、簡単な操作で作業できるので、作業が容易で作業能率を向上させることができる。
【0041】
本実施の形態によると、チルトテーブル4側とマスク治具15側とをホルダ32とドライビングフック37との間で切り離すことができるので、ワーク14の種類に合わせてマスク治具15を複数種準備しておくことにより、複数品種のワーク14にも容易に適応することができる。
【0042】
なお、本実施の形態では、チルトテーブル4を一方にだけ傾斜させるようにしたが、図8の状態からチルトテーブル4を図8とは逆の向きに傾け、余剰のはんだボール19を重力によりホームポジション側に移動させてからスキージ34をホームポジションに戻すようにしてもよい。
【0043】
また、マスク20をワーク14から離間させる際、マスク治具15に微小の振動を加えることによりマスク20とはんだボール19とを確実に離間させるようにしてもよい。
【0044】
さらに、マスク20は金属製に限らず、例えば、片面銅張積層板にボール保持穴21を形成した後、ボール保持穴21が形成された領域の銅箔をエッチングにより除去して形成することもできる。
【0045】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明(はんだボールの搭載方法)によれば、規制部材(スキージ)の下方への移動開始時に、はんだボールが直ちに移動して、時間遅れが発生するのを防止することができ、したがって、作業能率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るはんだボールの搭載装置の平面図である。
【図2】図1のK線矢視拡大図である。
【図3】はんだボールの搭載装置の左側面図である。
【図4】図1のM−M線矢視拡大図である。
【図5】図4の一部拡大図である。
【図6】はんだボールの搭載工程を示す図である。
【図7】はんだボールの搭載工程を示す図である。
【図8】はんだボールの搭載工程を示す図である。
【図9】はんだボールの搭載工程を示す図である。
【図10】実験方法の概要を示す説明図である。
【図11】実験結果の一例を示す図である。
【図12】(a)、(b)は良好な結果が得られた場合のマスクの表面粗さを測定したデータを示す図である。
【図13】(a)、(b)は従来のマスクの表面粗さを測定したデータを示す図である。
【符号の説明】
2 傾斜機構
4 チルトテーブル
14 ワーク
19 はんだボール
20 マスク
21 ボール保持穴
34 規制部材(スキージ)
F フラックス
S マスク表面
X 規制部材(スキージ)の移動方向と直角な方向
Xs マスク表面のX方向の表面粗さ
Y 規制部材(スキージ)の移動方向
Ys マスク表面のY方向の表面粗さ
Claims (1)
- ワーク表面の複数箇所に塗布されたフラックス上に、はんだボールを搭載するためのはんだボールの搭載方法において、
前記はんだボールが通過可能な複数のボール保持穴を有するマスクで前記ワーク表面を覆って、複数の前記ボール保持穴を前記ワーク表面の複数の前記フラックスに対応させる位置決め工程と、
前記ワークと前記マスクとを傾斜させる傾斜工程と、
傾斜状態の前記マスク表面上を上方から下方に移動しようとする複数の前記はんだボールの移動速度を規制部材で規制しながら、前記はんだボールを前記マスク表面で移動させて前記はんだボールを前記ボール保持穴に落とし込んでいくボール搭載工程とを有し、
前記傾斜工程後で前記ボール搭載工程前に、前記規制部材を一旦、上方に移動させて前記はんだボールを上方に移動させた後、直ちに前記ボール搭載工程に移行する後退工程を設けた、
ことを特徴とするはんだボールの搭載方法。
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