JP2000079513A - 自動加工装置 - Google Patents

自動加工装置

Info

Publication number
JP2000079513A
JP2000079513A JP10249975A JP24997598A JP2000079513A JP 2000079513 A JP2000079513 A JP 2000079513A JP 10249975 A JP10249975 A JP 10249975A JP 24997598 A JP24997598 A JP 24997598A JP 2000079513 A JP2000079513 A JP 2000079513A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
work
processing
workpiece
robot
turntable
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP10249975A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3419318B2 (ja
Inventor
Yasuyuki Iwasaki
安行 岩崎
Satoru Muramoto
悟 村本
Hidetaka Mizusawa
秀毅 水澤
Keiji Uchida
圭司 内田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Omron Corp
Original Assignee
Omron Corp
Omron Tateisi Electronics Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Omron Corp, Omron Tateisi Electronics Co filed Critical Omron Corp
Priority to JP24997598A priority Critical patent/JP3419318B2/ja
Publication of JP2000079513A publication Critical patent/JP2000079513A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3419318B2 publication Critical patent/JP3419318B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】 【課題】 加工ロボットを用いてワークに所定の加工を
施す自動加工装置の制御管理の容易化と小型化を図る。 【解決手段】 ワークWを一定姿勢で保持する一対のワ
ーク装着部7a,7bを対角位置に備えたターンテーブ
ル2と、各ワーク装着部7a,7bをワーク脱着位置B
と加工位置Aとに亘って移動させるようターンテーブル
2を回転させる制御手段と、前記加工位置Aに搬入セッ
トされたワーク装着部のワークWに所定の加工を施す加
工ロボット3とを備え、一方のワーク装着部が奥側の加
工位置Aにセットされた時、他方のワーク装着部が手前
側のワーク脱着位置Bに位置するよう構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、電子回路
の基板にハンダ付け加工を自動的に行う場合などに利用
する自動加工装置に関する。
【0002】
【従来の技術】同一仕様の基板を大量にハンダ付け加工
する場合には、基板(ワーク)を一定間隔で保持してピ
ッチ移動させて所定の加工位置に順送りし、そこで加工
ロボットを用いて所望の加工を施すような連続したコン
ベアラインが使用されるのであるが、多くの仕様の基板
を比較的少量づつ生産するような場合には、ハンダ付け
加工のみに加工ロボットを利用する簡易で小型の自動加
工装置を用いる方が便利である。
【0003】このような際に使用される自動加工装置の
一例としては、例えば、図8に示すように、並列配備さ
れた2つのワーク装着部41a,41bに対して加工ユ
ニット42を直交する2つのアクチュエータ43,44
で2次元的に移動させるよう構成した2軸型の加工ロボ
ット45を配備したものが利用されており、一方のワー
ク装着部41aのワークWに加工を施している間に他方
のワーク装着部41bへのワークWの装填を行い、一方
のワーク装着部41aでの加工が終了すると、加工ユニ
ット32を他方のワーク装着部41bに移動させて次の
加工を行い、その間に、一方のワーク装着部41aにお
いて加工の済んだワークWの取り出しと新しいワークW
の装填を行う。また、ワークWがの仕様が異なると、ワ
ーク装着部41a,41bにおける治具の交換と加工ロ
ボット45における作動プログラムの変更を行う。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上記従来手段は、装置
の手前でワークの出し入れを行うことができるととも
に、多くの仕様のワークを比較的少量づつ加工するのに
好適なものであるが、2つのワーク装着部41a,41
bが並列配備されるために、装置幅が大きいものになっ
ていた。また、2つのワーク装着部41a,41bに対
して加工ロボット45の作動プログラムを2種類用意す
る必要があり、プログラムの設定に時間がかかるととも
に、その作動制御の維持管理にも手数がかかるものとな
っていた。
【0005】本発明は、このような点に着目してなされ
たものであって、制御管理が容易に行うことができると
ともに、小型化が可能な自動加工装置を提供することを
目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明では、上述の目的
を達成するために、次のように構成している。
【0007】すなわち、請求項1の本発明の自動加工装
置は、ワークを保持する複数のワーク装着部を備えたタ
ーンテーブルと、各ワーク装着部をワーク脱着位置と加
工位置とに亘って移動させるようターンテーブルを回転
させる制御手段と、前記加工位置に搬入セットされたワ
ーク装着部のワークに所定の加工を施す加工ロボットと
を備えるものである。
【0008】請求項2の本発明の自動加工装置は、請求
項1の構成において、前記ワーク装着部を、ターンテー
ブルの対角位置に一対備えるとともに、一方のワーク装
着部が前記加工位置に移動したときに、他方のワーク装
着部が前記ワーク脱着位置に移動するものである。
【0009】請求項3の本発明の自動加工装置は、請求
項1または2の構成において、前記加工ロボットが、前
記ワークにハンダ付けを行うハンダ付けロボットであ
る。
【0010】請求項4の本発明の自動加工装置は、請求
項1ないし3のいずれかの構成において、前記加工位置
に搬入されてきたテーブル上のワークを位置決め固定す
るワーク固定機構を配備してある。
【0011】請求項5の本発明の自動加工装置は、請求
項1ないし4のいずれかの構成において、前記ワーク脱
着位置に復帰移動してきたワーク装着部のワークを、そ
のワーク装着部から排出する加工済みワーク排出機構を
備えてある。
【0012】(作用)請求項1に係る発明の構成による
と、ワーク脱着位置にあるワーク装着部にワークを装填
し、次に、ターンテーブルを回転させて、ワークが装填
されたワーク装着部を加工位置に搬入セットし、そこ
で、加工ロボットを作動させて、ワークに所定の加工を
施こす。この時、ワーク脱着位置にある他のワーク装着
部に次のワークを装填する。1回の加工が終了すると、
加工済みのワークが装填されたワーク装着部を再びワー
ク脱着位置に移動させ、加工済みワークと新しいワーク
とを取り替える。また、加工済みのワークをワーク脱着
位置に移動させるのに伴って、後続のワークを装填した
他のワーク装着部が入れ替わりに加工位置に搬入セット
され、次の加工が行われる。
【0013】請求項2に係る発明の構成によると、一方
のワーク装着部が、加工位置にあってワークに所定の加
工が施されている間に、他方のワーク装着部が、ワーク
脱着位置にあってワークの交換が可能となる。
【0014】請求項3に係る発明の構成によると、ワー
クは、ワーク脱着位置で供給装填された後、加工位置に
搬入されて所定のハンダ付け加工を受け、加工後に再び
ワーク脱着位置に戻されて取り出される。
【0015】請求項4に係る発明の構成によると、ワー
クを装填したワーク装着部がワーク脱着位置から加工位
置に移動する間に、ワークがターンテーブの回転による
遠心力や慣性などによって多少位置ずれしていることが
あっても、この加工位置に搬入されたワークはワーク固
定機構の作用を受け、正しく位置決め固定された状態で
加工ロボットによる所定の加工を受ける。従って、回転
移送中のワークのずれ動きに特に注意を払う必要がなく
なり、その分、ターンテーブの回転速度を速くすること
が可能となる。
【0016】なお、各ワーク装着部に、ワークを位置決
め固定するクランプ機構を装備することで、ターンテー
ブの回転速度を速くしながら、加工位置で正しく位置決
めした加工を行うことが可能となるが、これによると、
各ワーク装着部にクランプ機構を装備して、これを個別
に制御するために設備が複雑でコスト高となるが、本発
明によれば、加工位置にのみワーク固定機構を設置すれ
ばよい。
【0017】請求項5に係る発明の構成によると、加工
が済んで再びワーク脱着位置に戻されてきたワークは、
加工済みワーク排出機構の作用を受けて、ワーク装着部
から手前に排出され、加工済みワークが排出されたあと
に次の新しいワークを装填すればよい。
【0018】
【発明の実施の形態】以下、図面によって本発明の実施
の形態について詳細に説明する。
【0019】図1は、本発明の一つの実施の形態の自動
加工装置をハンダ付けロボットシステムに適用した概略
構成図である。
【0020】このハンダ付けロボットシステム50は、
X軸アクチュエータ11およびY軸アクチュエータ12
を備える直交2軸型のハンダ付けロボット本体51と、
ハンダコテの温度制御やハンダ心線の供給制御などのハ
ンダ付け条件を制御するハンダ付けユニットコントロー
ラ52と、パソコン32から入力される制御用プログラ
ムに従ってハンダ付けロボット本体51およびハンダ付
けユニットコントローラ52を制御してハンダ付け作業
を行わせる制御ボックス31とを備えている。
【0021】図2は、ハンダ付けロボット本体の平面図
であり、図3は、その側面図である。
【0022】このハンダ付けロボット本体は卓上型に構
成されたものであり、ベース1の中央部にターンテーブ
ル2が縦向き軸心P周りに回転自在に配備されるととも
に、ベース1の左側にロボット作動部3が配備され、ベ
ース1の手前(図2において下側)に非常停止やリセッ
トなどを行うプッシュ式のスイッチ操作部4やレバー操
作式の起動スイッチ5が設けられている。
【0023】前記ターンテーブル2は、エアーシリンダ
を内蔵した駆動機構6の上に設置され、180°の回転
角度で往復回動されるとともに、テーブル上には、同一
仕様に構成した一対のワーク装着部7a,7bが、テー
ブル軸心Pを中心として対角状に取り付けられている。
そして、装置手前にワーク脱着位置Bが設定されるとと
もに、テーブル軸心Pを挟んだ奥側の対角位置に加工位
置Aが設定され、テーブル停止状態では両ワーク装着部
7a,7bの一方がワーク脱着位置B、他方が加工位置
Aに位置するようにターンテーブル2が回転制御される
ようになっている。
【0024】図4に示すように、各ワーク装着部7a,
7bには、支持台8を介してテーブル上に固定配置され
た左右一対の治具9が備えられており、各治具9の上面
には、基板(ワーク)Wを左右から位置決め案内して載
置する段部9aが互いに平行に形成されるとともに、各
段部9aのテーブル軸心P側の奥端には、基板Wの先端
側の端辺を受け止めて位置決めする当接部9bが形成さ
れている。
【0025】前記ロボット作動部3は、図2,図3に示
されるように、装置前後方向に沿って配置したX軸アク
チュエータ11と、このX軸アクチュエータ11のスラ
イダ11aに連結されて装置左右方向に沿って配置した
Y軸アクチュエータ12と、Y軸アクチュエータ12の
スライダ12aに連結支持されたハンダ付けユニット1
3とから構成された、直交2軸型ロボットとなってお
り、ハンダ付けユニット13をターンテーブル2の上面
と平行な水平面に沿って移動させ、プログラム設定され
たポイント毎にハンダコテ14とハンダ心線供給具15
を下降して基板Wに所定のハンダ付けを施すよう構成さ
れている。
【0026】また、前記加工位置の奥部には、ワーク固
定機構16が配備されている。このワーク固定機構16
は、プッシャー17とこれを水平前後方向に進退駆動す
るエアーシリンダ18とからなり、加工位置に搬入され
た基板Wの後側の端辺を、図3の仮想線で示されるよう
にプッシャー17で押圧して、基板Wの先端側の端辺を
治具9の当接部9bに押しつけて、最終的な位置決めと
固定を行うよう構成されている。なお、エアーシリンダ
18はガイド19に沿って左右に位置調節可能に支持さ
れるとともに、ガイド19自体もガイド20に沿って上
下に位置調節可能に支持されており、基板の後側端辺の
適所にプッシャー17を作用させることができるよう
に、エアーシリンダ18の設置高さおよび左右位置を調
節することができるようになっている。
【0027】また、装置右側には、加工済みの基板Wに
作用するワーク排出機構21が配備されている。このワ
ーク排出機構21は、エアーシリンダ22によって前後
に移動されるL形支持アーム23の先端に下向きに突出
するピン状の当接部材24を備えて構成されたものであ
り、通常は当接部材24がテーブル軸心P上に待機する
ようエアーシリンダ22が伸長しており、図3の仮想線
で示されるようにエアーシリンダ22が短縮作動して当
接部材24が手前側に移動することで、ワーク脱着位置
に位置しているワーク装着部の基板Wの先端側端辺fを
当接部材24で押圧して、治具9から手前側に払い出し
排出するよう構成されている。
【0028】本発明に係る自動加工装置は以上のように
構成されたものであり、以下にその作動の概略を図5な
いし図7の基づいて説明する。
【0029】図5(a)に示すように、初期状態では、
両ワーク装着部7a,7bがワーク脱着位置と加工位置
に位置しており、ワーク脱着位置に位置するワーク装着
部7aの治具9に基板W(1) を位置決め装着する。基板
装着が完了した後、起動操作することでターンテーブル
2が時計方向に回転を開始する。
【0030】図5(b)に示すように、ターンテーブル
2は180°回転して停止し、基板W(1) を装着したワ
ーク装着部7aが加工位置に到達するとともに、入れ替
わりに他方のワーク装着部7bがワーク脱着位置に至
る。
【0031】図6(c)に示すように、ワーク固定機構
16が作動して、加工位置の基板W(1) は治具9に対し
て位置決め固定され、この状態でロボット作動部3が起
動され、予めプログラム設定された手順でハンダ付けユ
ニット13が基板上のハンダ付けポイントに移動して、
各ポイントごとにハンダ付けを施す。また、この加工処
理の間に、ワーク脱着位置のワーク装着部7bに次の基
板W(2) を装着する。
【0032】図6(d)に示すように、全ハンダ付けポ
イントの処理が終了すると、ワーク固定機構16および
ハンダ付けユニット13が待機位置に復帰するととも
に、ターンテーブル2が反時計方向に回転され、加工済
みの基板W(1) がワーク脱着位置に向けて反時計回りで
搬送されるとともに、後続の基板W(2) が反時計回りで
加工位置に向けて搬送される。
【0033】図7(e)に示すように、ターンテーブル
2は180°回転すると停止し、加工済み基板W(1) を
装着したワーク装着部7aがワーク脱着位置に到達する
とともに、入れ替わりに後続の基板W(2) を装着した他
方のワーク装着部7bが加工位置に至る。
【0034】図7(f)に示すように、次に、ワーク排
出機構21が作動を開始し、当接部材24が手前方向に
駆動移動し、加工済み基板W(1) の後端辺eを後方から
押圧して治具9から払出し搬出する。なお、この間に加
工位置ではワーク固定機構16による基板W(2) の最終
的な位置決め固定、およびハンダ付け加工が行われると
ともに、排出の終了したワーク脱着位置では、新しい基
板の装填が行われることになる。
【0035】以下、上記行程を順次繰り返すことで、基
板Wを順次ハンダ付け加工してゆくことができる。な
お、基板Wの種類が変更されると、これに合わせて各ワ
ーク装着部7a,7bにおける治具9の位置調節や交換
を行い、かつ、ロボット作動部3における制御用プログ
ラムの変更を行う。
【0036】なお、本発明は、以下のような形態で実施
することも可能である。
【0037】 加工ロボット3には種々のものを使用
することができ、例えば、、部品供給ヘッドを利用する
ことで、基板やその他の半製品などのワークへの部品自
動装着加工に利用することもできる。
【0038】 加工ロボット3に直交3軸型ロボット
を利用したり、多関節型ロボットを利用することもでき
る。
【0039】 加工位置にワーク固定機構16を配備
する代わりに、各ワーク装着部7a,7bにソレノイド
駆動型あるいはエアー駆動型のクランプ機構を装備し、
ワーク脱着位置で位置決め装填されたワークWを固定保
持して加工位置に回転搬入するように構成するもよい。
【0040】 ワークWの種類によっては、ワークW
を吸着保持したり、掴み上げて排出するようワーク排出
機構21を構成することもできる。
【0041】 ワーク脱着位置でのワーク装着をロボ
ットを用いて自動的に行う形態に発展させることも容易
である。
【0042】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば以下に示すような効果が期待できる。
【0043】請求項1に係る発明の自動加工装置によれ
ば、ターンテーブルの回転によって各ワーク装着部を、
ワーク脱着位置と加工位置とに移動させることができ、
ワーク脱着位置でワークの交換をしている間に加工位置
で所定の加工を行うことができるものでありながら、装
置幅を小さくすることができる。また、加工位置が一箇
所であるので、加工ロボットの制御用プログラムも一つ
だけ設定すればよく、加工前の設定準備や管理が容易と
なる。
【0044】請求項2に係る発明の自動加工装置によれ
ば、ワーク脱着位置と加工位置とを装置の前後に配備で
きるので、装置手前のワーク脱着位置でワークの交換を
している間に装置奥側の加工位置で所定の加工を行うこ
とができる。
【0045】請求項3に係る発明の自動加工装置によれ
ば、仕様の異なる多種類の基板に対するハンダ付け加工
を能率よく行うことができ、本発明の特徴を効果的に発
揮させることができる。
【0046】請求項4に係る発明の自動加工装置によれ
ば、加工位置で改めて位置決め固定を行うので、ターン
テーブルでの移送中の多少のずれ動きが許容されること
ととなり、従って、ターンテーブルの回転速度を速くす
ることが可能となって、処理サイクルの短縮化に有効と
なる。しかも、各ワーク装着部にクランプ機構などの位
置決め固定手段を装備する必要がないので、装置の簡素
化にも効果がある。
【0047】請求項5に係る発明の自動加工装置によれ
ば、ワーク脱着位置に戻されてきた加工済みワークが自
動的に排出されるので、ワーク脱着位置でのワーク交換
を迅速に行うことが容易となり、作業能率を向上する上
で有効となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一つの実施の形態の自動加工装置を用
いたシステムの概略構成図である。
【図2】図1の自動加工装置の平面図である。
【図3】図1の自動加工装置の側面図である。
【図4】ターンテーブルの斜視図である。
【図5】加工行程を示す概略平面図である。
【図6】加工行程を示す概略平面図である。
【図7】加工行程を示す概略平面図である。
【図8】従来構造の一例を示す概略平面図である。
【符号の説明】
2 ターンテーブル 3 ロボット作動部 7a ワーク装着部 7b ワーク装着部 9 治具 13 ハンダ付けユニット 16 ワーク固定機構 21 ワーク排出機構 24 当接部材 A 加工位置 B ワーク脱着位置 P テーブル軸心 W ワーク f ワークの端辺
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H05K 3/34 507 H05K 3/34 507M (72)発明者 水澤 秀毅 熊本県阿蘇郡一宮町大字宮地字南油町4429 番地 オムロン阿蘇株式会社内 (72)発明者 内田 圭司 熊本県阿蘇郡一宮町大字宮地字南油町4429 番地 オムロン阿蘇株式会社内

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ワークを保持する複数のワーク装着部を
    備えたターンテーブルと、各ワーク装着部をワーク脱着
    位置と加工位置とに亘って移動させるようターンテーブ
    ルを回転させる制御手段と、前記加工位置に搬入セット
    されたワーク装着部のワークに所定の加工を施す加工ロ
    ボットとを備えることを特徴とする自動加工装置。
  2. 【請求項2】 前記ワーク装着部を、ターンテーブルの
    対角位置に一対備えるとともに、一方のワーク装着部が
    前記加工位置に移動したときに、他方のワーク装着部が
    前記ワーク脱着位置に移動する請求項1記載の自動加工
    装置。
  3. 【請求項3】 前記加工ロボットが、前記ワークにハン
    ダ付けを行うハンダ付けロボットである請求項1または
    2記載の自動加工装置。
  4. 【請求項4】 前記加工位置に搬入されてきたテーブル
    上のワークを位置決め固定するワーク固定機構を配備し
    てある請求項1ないし3のいずれかに記載の自動加工装
    置。
  5. 【請求項5】 前記ワーク脱着位置に復帰移動してきた
    ワーク装着部のワークを、そのワーク装着部から排出す
    る加工済みワーク排出機構を備えてある請求項1ないし
    4のいずれかに記載の自動加工装置。
JP24997598A 1998-09-03 1998-09-03 自動加工装置 Expired - Fee Related JP3419318B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP24997598A JP3419318B2 (ja) 1998-09-03 1998-09-03 自動加工装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP24997598A JP3419318B2 (ja) 1998-09-03 1998-09-03 自動加工装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2000079513A true JP2000079513A (ja) 2000-03-21
JP3419318B2 JP3419318B2 (ja) 2003-06-23

Family

ID=17200982

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP24997598A Expired - Fee Related JP3419318B2 (ja) 1998-09-03 1998-09-03 自動加工装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3419318B2 (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010024294A1 (ja) * 2008-08-28 2010-03-04 株式会社Ihi 溶接加工装置
JP2011167703A (ja) * 2010-02-16 2011-09-01 Kobe Steel Ltd 仕口用溶接支持台
CN113118657A (zh) * 2021-04-23 2021-07-16 广州松兴电气股份有限公司 一种蜂巢能源焊接器
CN113319458A (zh) * 2021-06-03 2021-08-31 江苏申牌万向轮有限公司 一种旋转焊接系统
CN115194514A (zh) * 2022-08-11 2022-10-18 山东实胜机械股份有限公司 一种高精密锻件钻孔的转换工装

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104002033B (zh) * 2014-05-27 2016-10-05 深圳市川菱科技有限公司 自动碰焊机

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010024294A1 (ja) * 2008-08-28 2010-03-04 株式会社Ihi 溶接加工装置
JP2010052008A (ja) * 2008-08-28 2010-03-11 Ihi Corp 溶接加工装置
CN102196882A (zh) * 2008-08-28 2011-09-21 株式会社Ihi 焊接加工装置
RU2479399C2 (ru) * 2008-08-28 2013-04-20 АйЭйчАй КОРПОРЕЙШН Сварочное оборудование
JP2011167703A (ja) * 2010-02-16 2011-09-01 Kobe Steel Ltd 仕口用溶接支持台
CN113118657A (zh) * 2021-04-23 2021-07-16 广州松兴电气股份有限公司 一种蜂巢能源焊接器
CN113118657B (zh) * 2021-04-23 2022-09-09 广州松兴电气股份有限公司 一种焊接器
CN113319458A (zh) * 2021-06-03 2021-08-31 江苏申牌万向轮有限公司 一种旋转焊接系统
CN115194514A (zh) * 2022-08-11 2022-10-18 山东实胜机械股份有限公司 一种高精密锻件钻孔的转换工装

Also Published As

Publication number Publication date
JP3419318B2 (ja) 2003-06-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3196626B2 (ja) 部品実装方法
JPH11245064A (ja) ディスク装置用サスペンションのレーザ溶接設備
WO2001024598A1 (fr) Procede et dispositif de montage de composants
JP2000079513A (ja) 自動加工装置
JP2021182647A (ja) 3次元実装装置及び3次元実装方法
JP6499768B2 (ja) 部品実装機、部品保持部材撮像方法
JP3494886B2 (ja) 曲げ加工装置
JP4375907B2 (ja) 作業方法と装置
JPH0818195B2 (ja) ワークの検査装置
JP4832262B2 (ja) 部品実装装置
JP2002283168A (ja) マシニングセンタにおけるワークの加工方法
JP5690791B2 (ja) 基板処理装置
JP2008183695A (ja) 部品組立装置
CN111659968B (zh) 进行锡焊的机器人装置
JPWO2018066091A1 (ja) 部品実装機
JP2002171054A (ja) はんだボールの搭載方法、及びはんだボールの搭載装置
JP4029374B2 (ja) 転写ヘッドのクリーニング装置及び方法
JP3800671B2 (ja) 対象物の搬送装置
JP7033204B2 (ja) 水平多関節ロボット及び作業実行装置
CN219541999U (zh) 全自动激光加工装置
JP2925670B2 (ja) 部品実装装置および部品実装方法
JP3494153B2 (ja) 部品実装方法及びその装置
JP3928274B2 (ja) ボンディング装置
JP2001156497A (ja) 部品実装装置
JPH10223703A (ja) ボンディング装置

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090418

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100418

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110418

Year of fee payment: 8

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees