JP7033204B2

JP7033204B2 - 水平多関節ロボット及び作業実行装置

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Publication number: JP7033204B2
Application number: JP2020528634A
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Inventors: 識西山
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Description

本開示は、水平多関節ロボット及び作業実行装置に関する。

従来、水平旋回する複数のアームを備えた水平多関節型ロボットが知られている（例えば、特許文献１）。特許文献１に記載の水平多関節型ロボットは、基台に回動可能に設けられた第１のアームと、第１のアームに回動可能に設けられた第２のアームと、第２のアームを上下に貫通するように設けられた主軸と、を備えている。主軸は、回転可能且つ上下移動可能に支持されている。主軸の下端部には、被搬送物を搬送するハンドなどのツールが取り付けられるようになっている。

特開２０１０－５８１８０号

特許文献１に記載の水平多関節型ロボットには、ツールを取り付ける箇所が１箇所しか存在しない。これに対して、複数のツールを取り付け可能にして、水平多関節型ロボットによる作業効率を向上させたいという要望があった。この要望に対応するため、特許文献１において第２のアームに主軸を複数設けて、複数の主軸の下端部の各々にツールを取り付けることが考えられる。しかし、ツールによって上下方向の高さが異なる場合があった。そして、高さの異なる複数のツールをいずれも主軸の下端部すなわち第２のアームの下方に取り付けると、例えば第２のアームを移動させる際に高さの高いツールが第２のアームの下方の他の物体に接触してしまうなどの不具合が生じる場合があった。また、ツールによって使用時の上下方向の高さ（ワークとの上下方向の距離と、ツールを取り付けるアームを基準とした上下方向の位置と、の少なくとも一方）が異なる場合があった。そのため、使用時の高さが異なる複数のツールをいずれも主軸の下端部すなわち第２のアームの下方に取り付けると、一方のツールの使用時の高さが不適切になる場合があった。

本開示は、上述した課題を解決するためになされたものであり、ツールの高さとツールの使用時の高さとの少なくとも一方が互いに異なる２つのツールの取り付けに適した水平多関節ロボットを提供することを主目的とする。

本開示は、上述した主目的を達成するために以下の手段を採った。

本開示の水平多関節ロボットは、
基台と、
互いに対して水平旋回するように接続された複数のアームを有し、前記基台に取り付けられたアーム部と、
前記複数のアームのうち前記基台側とは反対の先端側に位置する先端側アームに配設され、ワークに対する作業を行う第１ツールを前記先端側アームの下方に取り付けるための第１ツール保持部と、
前記先端側アームに配設され、ワークに対する作業を行う第２ツールを前記先端側アームの側方に取り付けるための第２ツール保持部と、
を備えたものである。

この水平多関節ロボットは、第１ツール保持部によって第１ツールを先端側アームの下方に取り付けることができ、第２ツール保持部によって第２ツールを先端側アームの側方に取り付けることができる。このため、互いに高さの異なる２つのツールを取り付けるにあたり、高さの低い方を第１ツールとして第１ツール保持部に取り付け、高さの高い方のツールを第２ツールとして第２ツール保持部に取り付けることで、高さの高い方のツールが先端側アームの下方に突出する部分を少なくできる。その結果、アーム部を移動させる際に高さの高い方のツール（第２ツール）が先端側アームの下方の他の物体に接触してしまうなどの不具合が生じにくくなる。また、互いに使用時の高さの異なる２つのツールを取り付けるにあたり、使用時の高さの低い方を第１ツールとして第１ツール保持部に取り付け、使用時の高さの高い方を第２ツールとして第２ツール保持部に取り付けることで、第２ツールの使用時の高さを適切な状態にしやすくなる。これらにより、この水平多関節ロボットは、ツールの高さとツールの使用時の高さとの少なくとも一方が互いに異なる２つのツールの取り付けに適している。ここで、「水平」は略水平を含む。また、前記第１ツールと第２ツールとは、同じワークに対して作業を行うツールであってもよいし、互いに異なるワークに対して作業を行うツールであってもよい。

作業実行装置１００の概略説明図。ロボット１０の概略説明図。第２ツール昇降機構４１及び第２ツール保持部６０の斜視図。第２ツール昇降機構４１の部分縦断面図。作業実行装置１００における電気的な接続関係を表すブロック図。第１アーム２１の先端側周辺の側面図。第１アーム２１の先端側周辺の上面図。変形例の第２ツールであるねじ締め用ツール１８０の説明図。変形例の第２ツールである撮像用ツール２８０を取り付けた状態の第１アーム２１の斜視図。

本開示の作業実行装置の実施形態について図面を参照しながら以下に説明する。図１は作業実行装置１００の概略説明図である。図２はロボット１０の概略説明図である。図３は第２ツール昇降機構４１及び第２ツール保持部６０の斜視図であり、左上後方から見た様子を示している。図３Ｂは、図３Ａの状態から第２ツール保持部６０を下降させた様子を示している。図４は第２ツール昇降機構４１の部分縦断面図である。図５は作業実行装置１００における電気的な接続関係を表すブロック図である。図６は第１アーム２１の先端側周辺の側面図、図７は第１アーム２１の先端側周辺の上面図である。作業実行装置１００の左右方向（Ｘ軸）、前後方向（Ｙ軸）及び上下方向（Ｚ軸）は、図１に示した通りとする。また、ロボット１０については水平方向に可動するため上下方向以外の方向については固定される特定の方向はないが、説明の便宜のため、図２に示した左右方向（Ｘ軸）、前後方向（Ｙ軸）を用いて説明する。前後左右方向は、水平方向と平行である。

作業実行装置１００は、作業対象であるワーク（ここでは部品Ｐ及び基板Ｓ）に対して所定の作業を行う装置として構成されている。作業実行装置１００は、ロボット１０と、台座１０１と、基板搬送装置１０３と、パレット１０５と、圧力供給源１０６（図５参照）と、装置全体を制御する制御部９０（図５参照）と、を備えている。ロボット１０は、複数のツール（エンドエフェクタともいう）を取り付け可能であり、本実施形態では２つのツール（第１，第２ツール）を取り付け可能である。ロボット１０は、第１，第２ツールとしてそれぞれ複数種類のツールを取り付け可能であってもよい。以下では、第１ツールが吸着ノズル７０であり、第２ツールがディスペンサ８０である場合を例として説明する。台座１０１は、ロボット１０，基板搬送装置１０３を配設固定する。基板搬送装置１０３は、ベルトコンベアとして構成されている。基板搬送装置１０３は、基板Ｓを右方向に搬送して、基板Ｓの搬入及び搬出を行う。圧力供給源１０６は、ロボット１０に取り付けられた吸着ノズル７０及びディスペンサ８０に圧力を供給する。

ロボット１０は、ワークに対して所定の作業を行う水平多関節ロボットとして構成されている。ワークは、特に限定されないが、例えば、機械部品、電気部品、電子部品、化学部品など各種の部品のほか、食品、バイオ、生物関連の物品などが挙げられる。本実施形態では、ロボット１０は、チップ状の電子部品などとして構成された複数の部品Ｐをパレット１０５上の複数の凹部から採取して移動させ、基板Ｓ上に載置して接着する処理を行う。

ロボット１０は、図２に示すように、アーム部２０と、第３支持部２３と、基台２４と、第１，第２アーム駆動部２５ａ，２５ｂと、第１ツール昇降部３０と、第１ツール回転部３５と、第２ツール昇降部４０と、第１ツール保持部５０と、第２ツール保持部６０と、を備えている。

アーム部２０は、互いに対して水平旋回するように接続された複数のアームを有しており、本実施形態では第１，第２アーム２１，２２を有している。アーム部２０は、第２アーム回転機構２６ｂ及び第３支持部２３を介して基台２４の上方に取り付けられている。第１，第２アーム２１，２２は、基台２４側から順に第２アーム２２，第１アーム２１の順に取り付けられている。すなわち、第１アーム２１は、アーム部２０の複数のアームのうち基台２４側とは反対の先端側に位置する。この第１アーム２１を先端側アームとも称する。

第１アーム駆動部２５ａは、第１アーム回転機構２６ａと、第１アーム用モータ２７ａと、エンコーダ２８ａ（図５参照）と、を備えている。第１アーム回転機構２６ａは、回転軸及び歯車機構などを有しており、第１アーム２１の長手方向（ここでは前後方向）の一端側（基端側であり、ここでは後端側）と第２アーム２２の長手方向（ここでは前後方向）の一端側（先端側であり、ここでは前端側）とを接続している。第１アーム用モータ２７ａは、第２アーム２２内に配設されている。第１アーム用モータ２７ａは、第１アーム回転機構２６ａを回転させる。これにより、第１アーム回転機構２６ａは第２アーム２２に対して第１アーム２１を回転軸Ａ１を中心として水平旋回させる。エンコーダ２８ａは、第１アーム用モータ２７ａの回転位置を検出する。

第２アーム駆動部２５ｂは、第２アーム回転機構２６ｂと、第２アーム用モータ２７ｂと、エンコーダ２８ｂ（図５参照）と、を備えている。第２アーム回転機構２６ｂは、回転軸及び歯車機構などを有しており、第２アーム２２の長手方向（ここでは前後方向）の他端側（基端側であり、ここでは後端側）と第３支持部２３及び基台２４とを接続している。第２アーム用モータ２７ｂは、基台２４内に配設されている。第２アーム用モータ２７ｂは、第２アーム回転機構２６ｂを回転させる。これにより、第２アーム回転機構２６ｂは基台２４に対して第２アーム２２を回転軸Ａ２を中心として水平旋回させる。エンコーダ２８ｂは、第２アーム用モータ２７ｂの回転位置を検出する。

第１ツール昇降部３０は、第１ツール保持部５０を昇降させることで第１ツール保持部５０に取り付けられた第１ツール（ここでは吸着ノズル７０）を昇降させる。第１ツール昇降部３０は、第１アーム２１に配設されている。第１ツール昇降部３０は、第１ツール昇降機構３１と、第１ツール昇降用モータ３２と、エンコーダ３３と、を備えている。第１ツール昇降機構３１は、第１ツール保持部５０の支持軸５１に貫通されたボールねじナットなどを備えている。第１ツール昇降用モータ３２は、第１ツール昇降機構３１のボールねじナットを回転させる。これにより、第１ツール昇降機構３１は、ボールねじのねじ軸として構成された支持軸５１を上下方向に移動（昇降）させる。支持軸５１が昇降することで、第１ツール保持部５０は第１アーム２１に対して昇降する。エンコーダ３３は、第１ツール昇降用モータ３２の回転位置を検出する。

第１ツール回転部３５は、第１ツール保持部５０を回転（ここでは自転）させることで第１ツール保持部５０に取り付けられた第１ツール（ここでは吸着ノズル７０）を回転させる。第１ツール回転部３５は、第１アーム２１内に配設されている。第１ツール回転部３５は、第１ツール回転機構３６と、第１ツール回転用モータ３７と、エンコーダ３８と、を備えている。第１ツール回転機構３６は、第１ツール保持部５０の支持軸５１に貫通されたボールスプラインナットなどを備えている。第１ツール回転用モータ３７は、第１ツール回転機構３６のボールスプラインナットを回転させる。これにより、第１ツール回転機構３６は、ボールスプラインの回転軸として構成された支持軸５１を軸回転させる。支持軸５１が軸回転することで、第１ツール保持部５０は第１アーム２１に対して水平旋回する。エンコーダ３８は、第１ツール回転用モータ３７の回転位置を検出する。

第１ツール保持部５０は、第１アーム２１に配設されている。第１ツール保持部５０は、ワークに対する作業を行う第１ツールを第１アーム２１の下方（ここでは真下）に取り付けるように構成されている。第１ツール保持部５０は、支持軸５１と、接続用ノズル５２と、第１ツール取付部材５４と、接続用ノズル５７と、複数の固定用ボルト５９と、を備えている。支持軸５１は、軸方向が上下方向と平行であり、第１アーム２１の長手方向の他端側（先端側であり、ここでは前端側）を上下に貫通している。支持軸５１は、上述したように第１ツール昇降機構３１及び第１ツール回転機構３６を上下に貫通しており、これらの機構によって昇降及び回転する。接続用ノズル５２は、支持軸５１の上端付近に配設されており、図示しない配管を介して圧力供給源１０６と接続されている。圧力供給源１０６からの圧力は、接続用ノズル５２を介して、支持軸５１内に軸方向に沿って形成された圧力供給路に供給される。第１ツール取付部材５４は、第１ツールを取り付け可能な部材である。第１ツール取付部材５４は、支持軸５１の下端に接続されている。第１ツール取付部材５４は、本体部５５と、フランジ部５６と、を有している。本体部５５は、円柱状の部材であり、外周面には接続用ノズル５７が取り付けられている。フランジ部５６は、本体部５５の下端に配設されている。フランジ部５６の下面は、第１ツールを取り付け可能な取付面５６ａとなっている。接続用ノズル５７は、支持軸５１内及び本体部５５内に形成された圧力供給路と連通している。圧力供給源１０６からの圧力は、接続用ノズル５２，支持軸５１，本体部５５，接続用ノズル５７をこの順に通過し、接続用ノズル５７に接続された図示しない配管を介して吸着ノズル７０の接続用ノズル７３に供給される。固定用ボルト５９は、第１ツール取付部材５４と第１ツールとを接続固定するための部材である。複数の固定用ボルト５９は、本実施形態では４本とした（２本のみ図示）。固定用ボルト５９は、フランジ部５６に形成されたボルト孔を貫通して吸着ノズル７０の固定用タップ７２ｂ内に挿入される。これにより、吸着ノズル７０は第１ツール取付部材５４の取付面５６ａの真下に取り付けられる。

吸着ノズル７０は、第１ツールの一例であり、ワーク（ここでは部品Ｐ）を保持する保持用ツールの一種である。吸着ノズル７０は、負圧を利用してワークを吸着して保持する。吸着ノズル７０は、本体部７１と、フランジ部７２と、接続用ノズル７３とを備えている。本体部７１は、円柱状の部材であり、外周面には接続用ノズル７３が取り付けられている。本体部７１の下端は開口しており、この開口は本体部７１内に形成された圧力供給路を介して接続用ノズル７３と連通している。圧力供給源１０６から接続用ノズル７３に負圧が供給されると、本体部７１の下端の開口に負圧が作用して、本体部７１の下端にワークが吸着される。フランジ部７２は、本体部７１の上端に配設されている。フランジ部７２の上面は取付面７２ａとなっている。取付面７２ａは、第１ツール取付部材５４への吸着ノズル７０の取り付け時に取付面５６ａと接触する。フランジ部７２には、複数（ここでは４箇所）の固定用タップ７２ｂが形成されている。

第２ツール昇降部４０は、第２ツール保持部６０を昇降させることで第２ツール保持部６０に取り付けられた第２ツール（ここではディスペンサ８０）を昇降させる。第２ツール昇降部４０は、第１アーム２１に配設されている。第２ツール昇降部４０は、第２ツール昇降機構４１と、第２ツール昇降用モータ４２と、エンコーダ４３（図５参照）と、を備えている。

第２ツール昇降機構４１は、図３，４に示すように、ボールねじナット４４ａと、プーリ４４ｂと、タイミングベルト４５と、複数（ここでは２個）のベアリング４６と、ベアリングカバー４７ａと、カバー底板４７ｂと、内輪支持部材４８と、スライダ４９と、スライダ支持部４９ａとを備えている。

ボールねじナット４４ａは、第２ツール保持部６０の支持軸６７に上下に貫通されている。ボールねじナット４４ａが回転することで、支持軸６７が昇降して第２ツール保持部６０及びディスペンサ８０が昇降する。プーリ４４ｂは、ボールねじナット４４ａ及び支持軸６７に上下に貫通されている。プーリ４４ｂは、ボールねじナット４４ａと一体的に回転するよう構成されている。プーリ４４ｂは、ボールねじナット４４ａを支持する役割も果たす。タイミングベルト４５は、第１アーム２１内の第２ツール昇降用モータ４２と第１アーム２１外のプーリ４４ｂとを架け渡すように配設されている。タイミングベルト４５を介して、第２ツール昇降用モータ４２が出力する回転駆動力がプーリ４４ｂに伝達される。

ベアリング４６は、ボールねじナット４４ａ及びプーリ４４ｂを回転可能に支持するための部材である。ベアリング４６は、例えばボールベアリングとして構成されている。ベアリング４６の内輪は、ボールねじナット４４ａ，プーリ４４ｂ及び支持軸６７に上下に貫通されており、これらと一体的に回転する。ベアリングカバー４７ａは、第１アーム２１の前端面に取り付けられて、この前端面から前方に突出している。ベアリングカバー４７ａは、ベアリング４６の外輪の上方及び外周面を覆っている。カバー底板４７ｂは、ベアリングカバー４７ａの底部として構成された部材であり、ベアリングカバー４７ａに取り付けられている。カバー底板４７ｂは、ベアリング４６の外輪の下面に接触している。このベアリングカバー４７ａ及びカバー底板４７ｂによりベアリング４６の外輪が支持されている。内輪支持部材４８は、プーリ４４ｂの下端付近に取り付けられたリング状の部材である。内輪支持部材４８及びプーリ４４ｂは、ベアリング４６の内輪を上下から挟み込むことで、ベアリング４６の内輪と一体的に固定されている。

スライダ４９は、第２ツール保持部６０のガイドレール６８を昇降可能に構成されている。スライダ４９は、スライダ支持部４９ａの前端面に左右に並べて２本取り付けられており、各々が上下方向に延びるように配設されている。スライダ支持部４９ａは、第１アーム２１の前端面に取り付けられて、この前端面から前方に突出している。スライダ支持部４９ａを介して、スライダ４９が第１アーム２１に取り付けられている。

第２ツール昇降用モータ４２は、第２ツール昇降機構４１のタイミングベルト４５を回転させて、ボールねじナット４４ａ及びプーリ４４ｂを回転させる。これにより、上述したように支持軸６７が昇降して第２ツール保持部６０及びディスペンサ８０が昇降する（図３Ａ，３Ｂ参照）。第２ツール昇降用モータ４２及び第２ツール昇降機構４１は、第２ツール保持部６０及びディスペンサ８０を図３Ａの状態よりも上昇させることもできる。エンコーダ４３は、第２ツール昇降用モータ４２の回転位置を検出する。

第２ツール保持部６０は、第１アーム２１の側方に配設されており、本実施形態では第１アーム２１の前端面の前方に配置されている。第２ツール保持部６０は、第２ツール昇降機構４１を介して第１アーム２１に取り付けられている。第２ツール保持部６０は、第１アーム２１の長手方向の他端面（ここでは前端面）の側方であって前端面に対して第１アーム２１の長手方向に沿った位置（ここでは第１アーム２１の前方）に第２ツールを取り付けるよう構成されている。第２ツール保持部６０は、第２ツール取付部材６４と、固定用ボルト６４ｃと、一対の突出部材６６，６６と、支持軸６７と、ガイドレール６８と、を備えている。

第２ツール取付部材６４は、平板状の部材であり、第１アーム２１の側方に配置されている。第２ツール取付部材６４の前面が、第２ツールを取り付け可能な取付面６４ａとなっている。第２ツール取付部材６４は、複数（ここでは４個）の固定用タップ６４ｂと、１以上（ここでは２個）の位置決めピン６４ｄとを有している。固定用タップ６４ｂは、取付面６４ａに開口している。位置決めピン６４ｄは、第２ツールを取り付ける際の位置決めに用いられる部材であり、取付面６４ａから前方に突出している。固定用ボルト６４ｃは、ディスペンサ８０に形成されたボルト孔を貫通して固定用タップ６４ｂ内に挿入される。これにより、第２ツール取付部材６４の取付面６４ａの前方にディスペンサ８０が取り付けられる。

突出部材６６，６６は、第２ツール取付部材６４の上下両端付近に配設されており、第２ツール取付部材６４から後方に突出している。この一対の突出部材６６，６６の間に支持軸６７が取り付けられている。支持軸６７は、軸方向が上下方向と平行であり、上述したように第２ツール昇降機構４１のボールねじナット４４ａ等を上下に貫通している。支持軸６７は、ボールねじのねじ軸として構成されており、ボールねじナット４４ａの回転により昇降する。

ガイドレール６８は、第２ツール取付部材６４の後面に左右に並べて２本配設されている。ガイドレール６８は、長手方向が上下方向に平行である。第２ツール昇降機構４１によって支持軸６７が昇降すると、第２ツール取付部材６４も一体的に昇降し、ガイドレール６８もスライダ４９に対して昇降する。

ディスペンサ８０は、第２ツールの一例であり、ワーク（ここでは部品Ｐ及び基板Ｓ）に対して粘性流体を吐出する吐出用ツールの一種である。このように、ディスペンサ８０は、吸着ノズル７０とは異なる作業を行う。ディスペンサ８０が吐出する粘性流体は、例えば接着剤，はんだ，ろう材などが挙げられる。本実施形態では、粘性流体は接着剤とした。ディスペンサ８０は、正圧を利用して接着剤を吐出する。ディスペンサ８０は、図２に示すように、本体部８１と、収容室８１ａと、板状部８２と、接続用ノズル８３と、吐出ノズル８４と、を備えている。ディスペンサ８０は収容室８１ａを有しているため、吸着ノズル７０と比べてツールの上下方向の長さが長い（高さが高い）。

本体部８１は、長手方向が上下方向と平行な略直方体形状の部材であり、内部に収容室８１ａが形成されている。収容室８１ａは、接着剤を収容している。板状部８２は、本体部８１の後端に配設されており、本体部８１から左右に突出する部分を有する平板状の部材である。板状部８２の後面は取付面８２ａとなっている。取付面８２ａは、第２ツール取付部材６４へのディスペンサ８０の取り付け時に取付面６４ａと接触する。板状部８２には複数（ここでは４箇所）のボルト孔が形成されており、このボルト孔に固定用ボルト６４ｃが挿入されて第２ツール取付部材６４とディスペンサ８０とが接続固定される。板状部８２には、１以上（ここでは２個）の位置決め孔８２ｂが形成されている。ディスペンサ８０の第２ツール取付部材６４への取り付け時には、位置決め孔８２ｂに位置決めピン６４ｄが挿入される。

接続用ノズル８３は、本体部８１の上端に配設されており、図示しない配管を介して圧力供給源１０６と接続されている。吐出ノズル８４は、本体部８１の下端に配設され、下方に向けて開口する吐出口を有する。接続用ノズル８３，収容室８１ａ及び吐出ノズル８４は、本体部８１内部に形成された圧力供給路を介してこの順に連通している。これにより、圧力供給源１０６から接続用ノズル８３に正圧が供給されると、収容室８１ａ内の接着剤が押し出されて吐出ノズル８４の吐出口から下方に吐出される。また、圧力供給源１０６から負圧が供給されると、吐出ノズル８４の吐出口の接着剤が収容室８１ａ側に吸引されて、吐出ノズル８４からの接着剤の吐出が抑制される。

ここで、第１アーム２１と第２ツール保持部６０及びディスペンサ８０との位置関係について詳細に説明する。上述したように、第２ツール保持部６０は、第１アーム２１の側方にディスペンサ８０を取り付けるように構成されている。「第１アーム２１の側方に取り付ける」とは、第１アーム２１が存在する上下方向の範囲と少なくとも一部が重複する位置に取り付けることを意味する。図６には、第１アーム２１が存在する上下方向の範囲を領域Ｒ１として示した。ディスペンサ８０は、少なくとも一部がこの領域Ｒ１と重複する位置に取り付けられている。本実施形態ではディスペンサ８０は第２ツール昇降部４０によって昇降するが、この場合はディスペンサ８０が昇降して取り得る位置のいずれかにおいて、ディスペンサ８０の少なくとも一部が第１アーム２１の側方に位置すれば（領域Ｒ１と重複していれば）よい。本実施形態では、第２ツール取付部材６４の取付面６４ａが側方且つ第１アーム２１に対して外方向（ここでは特に前方）を向いているため、ディスペンサ８０は第１アーム２１の側方に取り付けられるようになっている。また、本実施形態では、第２ツール取付部材６４を含む第２ツール保持部６０も第１アーム２１の側方に配設されている。すなわち、第２ツール保持部６０は少なくとも一部が領域Ｒ１と重複する位置に取り付けられている。

また、上述したように、第２ツール保持部６０は、第１アーム２１の側方のうち特に前方にディスペンサ８０を取り付けるように構成されている。「第１アーム２１の前方」は、図７に示す領域Ｒ２を意味する。領域Ｒ２は、第１アーム２１の前面よりも前方の領域のうち、第１アーム２１が存在する左右方向（第１アーム２１の長手方向及び上下方向に垂直な方向）の範囲内の領域である。「第１アーム２１の前方にディスペンサ８０が取り付けられる」とは、ディスペンサ８０の少なくとも一部がこの領域Ｒ２と重複するように取り付けられていることを意味する。本実施形態では、図７に示すように、ディスペンサ８０はこの領域Ｒ２内に含まれるように第２ツール保持部６０に取り付けられている。言い換えると、ディスペンサ８０は、第１アーム２１の左右にはみ出す部分がなく、全体が領域Ｒ２と重複している。第２ツール取付部材６４又は第２ツール取付部材６４を含む第２ツール保持部６０についても、この領域Ｒ２と少なくとも一部重複するように配設されていてもよい。本実施形態では、図７に示すように、第２ツール保持部６０全体がこの領域Ｒ２内に含まれている。

制御部９０は、ＣＰＵを中心とするマイクロプロセッサとして構成されており、作業実行装置１００全体を制御する。制御部９０は、各エンコーダからの信号を入力しつつ各モータに駆動信号を出力して、各機構２６ａ，２６ｂ，３１，３６，４１の動作や位置を制御する。制御部９０は、基板搬送装置１０３に制御信号を出力して、基板Ｓの搬送を行う。制御部９０は、圧力供給源１０６に制御信号を出力して吸着ノズル７０及びディスペンサ８０の各々に供給される圧力（正圧，負圧又は常圧）を制御し、これにより吸着ノズル７０及びディスペンサ８０を制御する。また、制御部９０は、パレット１０５の複数の凹部の各々の位置情報、凹部に配置された部品Ｐの種類や大きさなどの部品情報、基板Ｓ上のどこにどのような順序でどの部品Ｐを配置するかのなどの作業順序情報、などを含む作業情報を記憶している。

次に、こうして構成された本実施形態の作業実行装置１００の動作、特に、部品Ｐをパレット１０５上の複数の凹部から採取して移動させ、基板Ｓ上に載置して接着する移載接着処理について説明する。この移載接着処理は、制御部９０がアーム部２０と吸着ノズル７０及びディスペンサ８０のうち一方のツールとを制御してワークに対して一方のツールを用いた作業を行う第１処理と、制御部９０がアーム部２０と他方のツールとを制御して第１処理を行った後のワークに対して他方のツールを用いた作業を行う第２処理と、を含む。移載接着処理を開始するにあたり、複数の部品Ｐが配置されたパレット１０５は、例えば図示しないパレット供給部又は作業者によって予め台座１０１上の所定位置に配置されているものとする。また、吸着ノズル７０及びディスペンサ８０は第１，第２ツール保持部５０，６０に取り付けられているものとする。

移載接着処理では、制御部９０は、まず、基板搬送装置１０３を制御して基板Ｓをロボット１０付近の所定位置まで搬送する。次に、制御部９０は、記憶している作業情報に基づいて、基板Ｓ上の所定位置（次に部品Ｐを接着すべき位置）に接着剤を塗布する接着剤塗布処理を行う。接着剤塗布処理では、制御部９０は、まず、ロボット１０の第１，第２アーム２１，２２を必要量だけ水平旋回させて、基板Ｓ上の所定位置の直上にディスペンサ８０の吐出ノズル８４を移動させる。次に、制御部９０は、ディスペンサ８０を下降させて、吐出ノズル８４を基板Ｓに接近させる。続いて、制御部９０は、ディスペンサ８０に正圧を作用させて、吐出ノズル８４から接着剤を吐出させて所定位置に塗布する。制御部９０は、接着剤の吐出中にアーム部２０を水平旋回させて所定の領域に接着剤が塗布されるようにしてもよい。そして、制御部９０は、ディスペンサ８０に負圧を作用させて吐出ノズル８４からの接着剤の吐出を終了すると共に、ディスペンサ８０を上昇させて、接着剤塗布処理を終了する。

続いて、制御部９０は、記憶している作業情報に基づいて、パレット１０５に配置されている部品Ｐを直前の接着剤塗布処理で接着剤を塗布した位置に移動して載置する移載処理を行う。移載処理では、制御部９０は、まず、パレット１０５の複数の凹部の各々に配置された部品Ｐのうち１つを処理対象に設定する。次に、制御部９０は、第１，第２アーム２１，２２を必要量だけ水平旋回させて、処理対象の部品Ｐの直上に吸着ノズル７０を移動させる。続いて、制御部９０は、吸着ノズル７０を下降させ、吸着ノズル７０に負圧を作用させて、吸着ノズル７０に部品Ｐを採取させる。そして、制御部９０は、吸着ノズル７０を上昇させ、第１，第２アーム２１，２２を必要量だけ水平旋回させて接着剤を塗布した位置の直上に部品Ｐを移動させ、吸着ノズル７０を下降させて部品Ｐを基板Ｓ上に載置する。このとき、制御部９０は、必要に応じて第１ツール回転部３５を用いて部品Ｐの向きを調整してもよい。部品Ｐが基板Ｓ上の接着剤が塗布された位置に載置されると、部品Ｐは基板Ｓ上に接着される。その後、制御部９０は、吸着ノズル７０に正圧（又は常圧）を作用させて吸着ノズル７０による部品Ｐの保持を解除し、吸着ノズル７０を上昇させて、移載処理を終了する。

制御部９０は、記憶している作業情報に基づいて、上述した接着剤塗布処理と移載処理とを交互に繰り返し、基板Ｓ上に移載及び接着すべき全ての部品Ｐに対しての処理が完了すると、移載接着処理を終了する。このように、制御部９０は、アーム部２０とディスペンサ８０とを制御して基板Ｓに接着剤を塗布する接着剤塗布処理（第１処理の一例）と、接着剤塗布処理で接着剤が塗布された基板Ｓに対して吸着ノズル７０を用いて部品Ｐを載置する移載処理（第２処理の一例）と、を行う。また、制御部９０は、接着剤塗布処理と移載処理とを交互に繰り返すにあたり、移載処理で載置した部品Ｐ上に接着剤塗布処理で接着剤を塗布して、次の移載処理でその部品Ｐ上に別の部品Ｐを載置して接着してもよい。この場合、移載処理を第１処理の一例とみなし、移載処理で載置した部品Ｐ上に接着剤を塗布する接着剤塗布処理を第２処理の一例とみなすこともできる。

以上詳述した本実施形態のロボット１０は、第１ツール保持部５０によって第１ツール（ここでは吸着ノズル７０）を先端側アーム（ここでは第１アーム２１）の下方に取り付けることができ、第２ツール保持部６０によって第２ツール（ここではディスペンサ８０）を第１アーム２１の側方に取り付けることができる。このため、ロボット１０では、互いに高さの異なる２つのツールを取り付けるにあたり、高さの低い方のツールである吸着ノズル７０を第１ツールとして第１ツール保持部５０に取り付け、高さの高い方のツールであるディスペンサ８０を第２ツールとして第２ツール保持部６０に取り付けることで、ディスペンサ８０が第１アーム２１の下方に突出する部分を少なくできる。その結果、アーム部２０を移動させる際にディスペンサ８０が第１アーム２１の下方の他の物体に接触してしまうなどの不具合が生じにくくなる。これに対し、例えば吸着ノズル７０及びディスペンサ８０を共に第１アーム２１の下方に取り付けると、ディスペンサ８０は吸着ノズル７０と比べて第１アーム２１の下方により多く突出するから、アーム部２０の水平旋回時にディスペンサ８０が第１アーム２１の下方の他の物体に接触しやすくなる。このように、本実施形態のロボット１０は互いに高さの異なる２つのツールの取り付けに適している。

また、第１アーム２１は、長手方向を有し、その長手方向の一端側（ここでは後端側）に設けられた回転軸Ａ１を中心として水平旋回する。そして、第２ツール保持部６０は、第１アーム２１の長手方向の他端面（ここでは前端面）の側方であって他端面に対して第１アーム２１の長手方向に沿った位置（ここでは前方）にディスペンサ８０を取り付けるよう構成されている。これにより、ディスペンサ８０をアーム部２０によって基台２４から離れた位置まで移動させることができ、ディスペンサ８０の水平方向の移動可能範囲が広くなる。

さらに、ロボット１０は、第１ツール保持部５０を第１アーム２１に対して昇降させる第１ツール昇降機構３１と、第２ツール保持部６０を第１アーム２１に対して昇降させる第２ツール昇降機構４１と、を備えている。そのため、第１，第２昇降機構３１，４１によって吸着ノズル７０，ディスペンサ８０を昇降させることができ、それによりワークに対する作業がしやすくなる。

そして、ロボット１０は、第１ツール保持部５０に取り付けられた吸着ノズル７０を備えている。また、ロボット１０は、第２ツール保持部６０に取り付けられ、吸着ノズル７０よりも上下方向の高さが高く、吸着ノズル７０とは異なる作業を行うディスペンサ８０を備えている。ここで、互いに異なる作業を行う２つのツールは高さも互いに異なる場合が多い。ロボット１０では、吸着ノズル７０よりも高さの高いディスペンサ８０が第２ツール保持部６０に取り付けられているため、アーム部２０を移動させる際にディスペンサ８０が第１アーム２１の下方の他の物体に接触してしまうなどの不具合が生じにくくなる。

そしてまた、第１ツールは、ワーク（ここでは部品Ｐ）を保持する保持用ツール（ここでは吸着ノズル７０）である。また、第２ツールは、粘性流体を収容する収容室８１ａと、粘性流体を吐出する吐出ノズル８４と、を有する吐出用ツール（ここではディスペンサ８０）である。ここで、ディスペンサ８０は収容室８１ａを有する分だけ吸着ノズル７０よりも高さが高くなりやすい。ロボット１０は、このような吸着ノズル７０とディスペンサ８０とを取り付けるのに適している。

さらに、作業実行装置１００は、互いに異なる作業を行う吸着ノズル７０及びディスペンサ８０を備えたロボット１０を備えている。また、作業実行装置１００は、アーム部２０と吸着ノズル７０及びディスペンサ８０のうち一方のツールとを制御してワーク（ここでは部品Ｐ又は基板Ｓ）に対して一方のツールを用いた作業を行う第１処理と、アーム部２０と他方のツールとを制御して第１処理を行った後のワークに対して他方のツールを用いた作業を行う第２処理と、を行う制御部９０を備えている。この作業実行装置１００は、互いに異なる作業を行う吸着ノズル７０及びディスペンサ８０を用いて効率よく作業を行うことができる。

なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。

例えば、上述した実施形態では、第１ツールとして吸着ノズル７０を例示したが、吸着ノズル７０に限らず第１ツールはワークを保持する保持用ツールとしてもよい。保持用ツールの例のうち吸着ノズル７０以外の例としては、圧力を利用してワークを把持するメカチャックや、磁力でワークを引き付けて保持するツールなどが挙げられる。また、第１ツールとして保持用ツール以外のツールを第１ツール保持部５０に取り付けてもよい。

上述した実施形態では、第２ツールとしてディスペンサ８０を例示したが、これに限られない。例えば、図８に示すねじ締め用ツール１８０を第２ツールとしてもよい。ねじ締め用ツール１８０のうちディスペンサ８０と同じ構成要素については図８において同じ符号を付して、詳細な説明を省略する。ねじ締め用ツール１８０は、雄ネジを回転させてねじ締めを行うツールである。ねじ締め用ツール１８０は、本体部８１内に配設されたモータ１８１ａと、本体部８１の下端に取り付けられたドライバー１８４とを備えている。ドライバー１８４は、複数種類存在して交換可能に本体部８１に取り付けられてもよい。モータ１８１ａは、図示しない電気配線を介して制御部９０からの制御信号を入力し、ドライバー１８４を軸回転させる。ロボット１０は、第１ツール保持部５０に取り付けられた吸着ノズル７０と、第２ツール保持部６０に取り付けられたねじ締め用ツール１８０とを備えていてもよい。この場合、制御部９０は、ワークとしての雄ネジを吸着ノズル７０で保持して所定位置まで移動させ、ねじ締め用ツール１８０を用いて雄ネジのねじ締めを行ってもよい。ねじ締め用ツール１８０は、モータ１８１ａを備えるため、吸着ノズル７０よりも上下方向の高さが高くなりやすい。上述した実施形態のロボット１０は、このような吸着ノズル７０とねじ締め用ツール１８０とを取り付けるのに適している。

上述した実施形態では、第２ツールとしてのディスペンサ８０は、第１ツールとしての吸着ノズル７０とは異なる作業を行うツールであったが、これに限られない。第１ツールと第２ツールとは同じ作業を行うツールであってもよい。同じ作業を行う２つのツールを取り付ける場合も、２つのツールのうち一方が他方より上下方向の高さが高い場合には、高さの高い方のツールを第２ツールとして第２ツール保持部６０に取り付ければよい。

上述した実施形態では、第２ツール保持部６０は第１アーム２１の前方に第２ツールを取り付けるように構成されていたが、第１アーム２１の前方に限らず側方に第２ツールを取り付けるように構成されていればよい。例えば、第２ツール保持部６０は第１アーム２１の左方や右方に第２ツールを取り付けるように構成されていてもよい。

上述した実施形態において、ロボット１０は、第１，第２ツールとは別に、下方を撮像するカメラを備えていてもよい。また、第１，第２ツールに取り付けられるツールは、カメラ以外のツールとしてもよい。

上述した実施形態では、第１ツールよりも第２ツールの方が上下方向の高さが高い場合について説明したが、これに限られない。第２ツールは、第１ツールと比べて使用時の高さが高くてもよい。「使用時の高さ」とは、使用時のワークとの上下方向の距離と、ツールを取り付けるアーム（例えば第１アーム２１）を基準とした使用時の上下方向の位置と、の少なくとも一方を意味する。例えば、図９に示す撮像用ツール２８０を第２ツールとしてもよい。撮像用ツール２８０は、ワークの画像を撮像するツールである。撮像用ツール２８０は、撮像ユニット２８１と、板状部２８２とを備えている。撮像ユニット２８１は、レンズなどの光学系と、ＣＣＤなどの撮像素子とを備えている。撮像ユニット２８１の撮像範囲は、撮像ユニット２８１の下方である。板状部２８２は、平板状の部材であり、板状部８２と同様に第２ツール取付部材６４に取り付け可能に構成されている。板状部２８２の前方に、撮像ユニット２８１が取り付けられている。この図９の例では、例えば吸着ノズル７０でワーク（例えば部品Ｐ）を保持し、撮像用ツール２８０で下方のワーク（例えば部品Ｐ又は基板Ｓ）を撮像することができる。また、第２ツール昇降機構４１が撮像用ツール２８０を昇降させることで、撮像時に撮像ユニット２８１と対象物との距離を調整してピント合わせを行うことができる。例えば、制御部９０が、撮像ユニット２８１が生成した画像データの輝度情報に基づいてコントラストを導出し、このコントラストに基づいて導出される評価値に基づいて第２ツール昇降機構４１を制御して、ピント合わせを行ってもよい。ここで、撮像用ツール２８０（特に撮像ユニット２８１）は、吸着ノズル７０と比べてワークから上下に離れて作業（撮像）を行うため、吸着ノズル７０よりも使用時の高さが高い。そのため、例えば吸着ノズル７０及び撮像ユニット２８１を共に第１アーム２１の下方に取り付けると、撮像ユニット２８１がワークに近すぎて使用時の高さが不適切になる場合がある。例えば、撮像ユニット２８１がワークにピントを合わせられなかったり、ワークが撮像ユニット２８１の視野に含まれなかったりする場合がある。これに対し、図９の例では、第２ツール保持部６０によって第２ツール（ここでは撮像用ツール２８０）を第１アーム２１の側方に取り付けることができるため、第２ツールの使用時の高さを適切な状態にしやすくなる。このように、本実施形態のロボット１０は互いに使用時の高さの異なる２つのツールの取り付けにも適している。なお、図９の例では、吸着ノズル７０及び撮像用ツール２８０とは別のツールである撮像ユニット２８５が、第１アーム２１の右側面に固定的に配設されている。図９の例において、撮像ユニット２８５を省略してもよい。

本開示の水平多関節ロボット及び作業実行装置は、以下のように構成してもよい。

本開示の水平多関節ロボットにおいて、前記先端側アームは、長手方向を有し、該長手方向の一端側に設けられた回転軸を中心として水平旋回し、前記第２ツール保持部は、前記先端側アームの前記長手方向の他端面の側方であって該他端面に対して該長手方向に沿った位置に前記第２ツールを取り付けるよう構成されていてもよい。こうすれば、第２ツールをアーム部によって基台から離れた位置まで移動させることができ、第２ツールの水平方向の移動可能範囲が広くなる。

本開示の水平多関節ロボットは、前記第１ツール保持部を前記先端側アームに対して昇降させる第１ツール昇降機構と、前記第２ツール保持部を前記先端側アームに対して昇降させる第２ツール昇降機構と、の少なくとも一方を備えていてもよい。こうすれば昇降機構によって第１，第２ツールの少なくとも一方を昇降させることができ、それによりワークに対する作業がしやすくなる。

本開示の水平多関節ロボットは、前記第１ツール保持部に取り付けられた前記第１ツールと、前記第２ツール保持部に取り付けられ、前記第１ツールよりも上下方向の高さが高く、前記第１ツールとは異なる作業を行う前記第２ツールと、を備えていてもよい。ここで、互いに異なる作業を行う２つのツールは高さも互いに異なる場合が多い。この水平多関節ロボットは、第１ツールよりも高さの高い第２ツールが第２ツール保持部に取り付けられているため、アーム部を移動させる際に第２ツールが先端側アームの下方の他の物体に接触してしまうなどの不具合が生じにくくなる。

互いに異なる作業を行う第１，第２ツールを備えた態様の水平多関節ロボットにおいて、前記第１ツールは、前記ワークを保持する保持用ツールであり、前記第２ツールは、粘性流体を収容する収容室と、該粘性流体を吐出する吐出ノズルと、を有する吐出用ツールであってもよい。ここで、吐出用ツールは収容室を有する分だけ保持用ツールよりも高さが高くなりやすい。この水平多関節ロボットは、このような保持用ツールと吐出用ツールとを取り付けるのに適している。

互いに異なる作業を行う第１，第２ツールを備えた態様の水平多関節ロボットにおいて、前記第１ツールは、前記ワークとしての雄ねじを保持する保持用ツールであり、前記第２ツールは、前記雄ねじを回転させてねじ締めを行うねじ締め用ツールであってもよい。ここで、ねじ締め用ツールは保持用ツールよりも高さが高くなりやすい。この水平多関節ロボットはこのような保持用ツールとねじ締め用ツールとを取り付けるのに適している。

第１，第２ツール昇降機構の少なくとも一方を備えた態様の水平多関節ロボットにおいて、少なくとも前記第２ツール昇降機構を備え、前記第２ツール保持部に取り付けられ、画像を撮像する前記第２ツールと、前記第１ツール保持部に取り付けられ、前記第２ツールとは異なる作業を行う前記第１ツールと、を備えていてもよい。ここで、画像を撮像するツール（撮像用ツール）は、対象物から離れて撮像を行うため、他の作業を行うツールと比べて使用時の高さが高くなりやすい。この水平多関節ロボットは、このような撮像用ツールと撮像以外の作業を行うツールとを取り付けるのに適している。また、この水平多関節ロボットでは、第２ツール昇降機構により第２ツール（撮像用ツール）を昇降させることで、撮像時に対象物までの距離を調整してピント合わせを行うことができる。

本開示の作業実行装置は、
互いに異なる作業を行う第１，第２ツールを備えた態様の水平多関節ロボットと、
前記アーム部と前記第１，第２ツールのうち一方のツールとを制御して前記ワークに対して前記一方のツールを用いた作業を行う第１処理と、前記アーム部と前記第１，第２ツールのうち他方のツールとを制御して該第１処理を行った後の前記ワークに対して前記他方のツールを用いた作業を行う第２処理と、を行う制御部と、
を備えたものである。

この作業実行装置は、上述した本開示の水平多関節ロボットと同様の効果、例えばツールの高さとツールの使用時の高さとの少なくとも一方が互いに異なる２つのツールの取り付けに適しているという効果が得られる。また、互いに異なる作業を行う第１，第２ツールを用いて効率よく作業を行うことができる。

本開示の作業実行装置は、上述したいずれかの態様の水平多関節ロボットを備えたものである。そのため、この作業実行装置は、上述した本開示の水平多関節ロボットと同様の効果、例えばツールの高さとツールの使用時の高さとの少なくとも一方が互いに異なる２つのツールの取り付けに適しているという効果が得られる。

本発明は、部品や基板などのワークに対する作業を行う各種産業に利用可能である。

１０ロボット、２０アーム部、２１，２２第１，第２アーム、２３第３支持部、２４基台、２５ａ，２５ｂ第１，第２アーム駆動部、２６ａ，２６ｂ第１，第２アーム回転機構、２７ａ，２７ｂ第１，第２アーム用モータ、２８ａ，２８ｂエンコーダ、３０第１ツール昇降部、３１第１ツール昇降機構、３２第１ツール昇降用モータ、３３エンコーダ、３５第１ツール回転部、３６第１ツール回転機構、３７第１ツール回転用モータ、３８エンコーダ、４０第２ツール昇降部、４１第２ツール昇降機構、４２第２ツール昇降用モータ、４３エンコーダ、４４ａボールねじナット、４４ｂプーリ、４５タイミングベルト、４６ベアリング、４７ａベアリングカバー、４７ｂカバー底板、４８内輪支持部材、４９スライダ、４９ａスライダ支持部、５０第１ツール保持部、５１支持軸、５２接続用ノズル、５４第１ツール取付部材、５５本体部，５６フランジ部，５６ａ取付面、５７接続用ノズル５９固定用ボルト、６０第２ツール保持部、６４第２ツール取付部材、６４ａ取付面、６４ｂ固定用タップ、６４ｃ固定用ボルト、６４ｄ位置決めピン、６６突出部材、６７支持軸、６８ガイドレール、７０吸着ノズル、７１本体部、７２フランジ部、７２ａ取付面、７２ｂ固定用タップ、７３接続用ノズル、８０ディスペンサ、８１本体部、８１ａ収容室、８２板状部、８２ａ取付面、８２ｂ位置決め孔、８３接続用ノズル、８４吐出ノズル、９０制御部、１００作業実行装置、１０１台座、１０３基板搬送装置、１０５パレット、１０６圧力供給源、１８０ねじ締め用ツール、１８１ａモータ、１８４ドライバー、２８０撮像用ツール、２８１撮像ユニット、２８２板状部、２８５撮像ユニット、Ｐ部品，Ｓ基板。

Claims

基台と、
互いに対して水平旋回するように接続された複数のアームを有し、前記基台に取り付けられたアーム部と、
前記複数のアームのうち前記基台側とは反対の先端側に位置する先端側アームに配設され、ワークに対する作業を行う第１ツールを前記先端側アームの下方に取り付けるための第１ツール保持部と、
前記先端側アームに配設され、ワークに対する作業を行う第２ツールを前記先端側アームの側方に取り付けるための第２ツール保持部と、
前記第１ツール保持部に取り付けられた前記第１ツールと、
前記第２ツール保持部に取り付けられ、前記第１ツールよりも上下方向の高さが高く、前記第１ツールとは異なる作業を行う前記第２ツールと、
を備え、
前記第１ツールは、前記ワークを保持する保持用ツールであり、
前記第２ツールは、粘性流体を収容する収容室と、該粘性流体を吐出する吐出ノズルと、を有する吐出用ツールである、
水平多関節ロボット。
基台と、
互いに対して水平旋回するように接続された複数のアームを有し、前記基台に取り付けられたアーム部と、
前記複数のアームのうち前記基台側とは反対の先端側に位置する先端側アームに配設され、ワークに対する作業を行う第１ツールを前記先端側アームの下方に取り付けるための第１ツール保持部と、
前記先端側アームに配設され、ワークに対する作業を行う第２ツールを前記先端側アームの側方に取り付けるための第２ツール保持部と、
前記第１ツール保持部に取り付けられた前記第１ツールと、
前記第２ツール保持部に取り付けられ、前記第１ツールよりも上下方向の高さが高く、前記第１ツールとは異なる作業を行う前記第２ツールと、
を備え、
前記第１ツールは、前記ワークとしての雄ねじを保持する保持用ツールであり、
前記第２ツールは、前記雄ねじを回転させてねじ締めを行うねじ締め用ツールである、
水平多関節ロボット。
前記先端側アームは、長手方向を有し、該長手方向の一端側に設けられた回転軸を中心として水平旋回し、
前記第２ツール保持部は、前記先端側アームの前記長手方向の他端面の側方であって該他端面に対して該長手方向に沿った位置に前記第２ツールを取り付けるよう構成されている、
請求項１又は２に記載の水平多関節ロボット。
請求項１～３のいずれか１項に記載の水平多関節ロボットであって、
前記第１ツール保持部を前記先端側アームに対して昇降させる第１ツール昇降機構と、前記第２ツール保持部を前記先端側アームに対して昇降させる第２ツール昇降機構と、の少なくとも一方を備えた、
水平多関節ロボット。
請求項４に記載の水平多関節ロボットであって、
少なくとも前記第２ツール昇降機構を備え、
前記第２ツール保持部に取り付けられ、画像を撮像する前記第２ツールと、
前記第１ツール保持部に取り付けられ、前記第２ツールとは異なる作業を行う前記第１ツールと、
を備えた水平多関節ロボット。
請求項１～５のいずれか１項に記載の水平多関節ロボットと、
前記アーム部と前記第１，第２ツールのうち一方のツールとを制御して前記ワークに対して前記一方のツールを用いた作業を行う第１処理と、前記アーム部と前記第１，第２ツールのうち他方のツールとを制御して該第１処理を行った後の前記ワークに対して前記他方のツールを用いた作業を行う第２処理と、を行う制御部と、
を備えた作業実行装置。
請求項１～６のいずれか１項に記載の水平多関節ロボットを備え、前記ワークに対する作業を行うための作業実行装置。