WO2016167092A1 - ガラス基板梱包体 - Google Patents

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Definitions

  • the present invention relates to a glass substrate package in which a plurality of glass substrates are packaged in a packing material, and more particularly to a package in which a disk-shaped glass substrate is packed.
  • Patent Document 1 discloses a package including a substrate container that can accommodate a plurality of disk-shaped glass substrates in a vertical orientation in parallel.
  • the substrate storage container is composed of a storage portion for vertically storing a plurality of disc-shaped glass substrates, and a lid portion attached to the storage portion. Are formed with a plurality of holding guides for accommodating a plurality of disc-shaped glass substrates at predetermined intervals.
  • the lid is formed with a plurality of holes for inserting each disk-shaped glass substrate into the housing.
  • the package disclosed in Patent Document 1 has the following problems to be solved. That is, in the package, it is necessary that the number of holding guides and holes corresponding to the number of disc-shaped glass substrates to be accommodated be formed in the substrate accommodating container (accommodating portion, lid portion). Therefore, as the number of disc-shaped glass substrates to be accommodated increases, the number of holding guides and holes to be formed in the substrate accommodating container inevitably increases, and the manufacturing cost of the substrate accommodating container increases. As a result, there is a difficulty that the cost required for packaging increases.
  • the portion located at the lower end of the outer peripheral end of the disk-shaped glass substrate placed vertically is the storage section. Excessive stress acts locally on the part in a point contact state.
  • the outer peripheral edge part of a disk shaped glass substrate is chamfered with a grinding tool or the like. For this reason, the disc-shaped glass substrate may be damaged starting from the outer peripheral end due to the action of stress on cracks or the like generated during processing.
  • the present invention made in view of the above circumstances has a technical problem to enable packaging of a plurality of disc-shaped glass substrates at a low cost while preventing damage to the disc-shaped glass substrate.
  • the present invention devised to solve the above problems is a glass substrate package in which a plurality of disc-shaped glass substrates are packed in a packing material, and a protective sheet is provided between the plurality of disc-shaped glass substrates. It is characterized in that a plurality of disc-shaped glass substrates are stacked in a flat state and packed in an intervening state.
  • a plurality of disk-shaped glass substrates are stacked in a flat position, and a plurality of disk-shaped glass substrates are packed with a packing material only by interposing a protective sheet therebetween. Can do. Therefore, it is possible to suppress the cost required for packing these disk-shaped glass substrates. Furthermore, since a plurality of disk-shaped glass substrates are stacked in a flat position, it is possible to avoid an excessive stress from acting on the outer peripheral edge of each disk-shaped glass substrate. As a result, it is possible to accurately prevent the occurrence of a situation in which the disc-shaped glass substrate is damaged starting from the outer peripheral end. As described above, according to the glass substrate package of the present invention, it is possible to pack a plurality of disc-shaped glass substrates at low cost while preventing the disc-shaped glass substrate from being damaged.
  • the disk-shaped glass substrate may have a positioning portion obtained by removing a part of the outer peripheral end portion in order to position the disk-shaped glass substrate.
  • the glass substrate package according to the present invention As described above, it is possible to accurately prevent the damage of each disk-shaped glass substrate due to the fact that a plurality of disk-shaped glass substrates are stacked flat. Is possible. Therefore, when packing a disk-shaped glass substrate having a positioning portion, if the glass substrate packing body according to the present invention is adopted, its usefulness can be further enhanced.
  • a plurality of disc-shaped glass substrates are laminated in a state where the positions of the positioning portions are aligned with each other.
  • a packing material has a side wall part surrounding the outer peripheral edge part of a disk shaped glass substrate, and the disk shaped glass substrate is packed so that a positioning part may become non-contact with a side wall part.
  • each disk-shaped glass substrate moves within the packing material due to vibrations generated in the package, or a plurality of disk-shaped packages. It becomes easy to prevent the occurrence of a situation in which positional deviation occurs between the glass substrates.
  • the side wall portion forms a square that circumscribes the disk-shaped glass substrate.
  • the packing material has an upper wall portion facing the disk-shaped glass substrate positioned in the uppermost layer among the plurality of disk-shaped glass substrates, and the disk-shaped glass substrate and upper wall positioned in the uppermost layer It is preferable that a cushioning material is filled between the portions.
  • the packing material is a box-like body, and the box-like body is configured to be deployable.
  • each disk-shaped glass substrate can be easily accommodated in the box-shaped body, and each disk-shaped glass substrate can be easily taken out from the box-shaped body when unpacking.
  • the disk-shaped glass substrate has a warp, and a plurality of disk-shaped glass substrates are laminated in a state where the directions of the warp are aligned with each other.
  • the disc-shaped glass substrate is provided with a marking for determining the direction of warpage.
  • the present invention it is possible to pack a plurality of disc-shaped glass substrates at a low cost while preventing damage to the disc-shaped glass substrate.
  • a glass substrate package 1 is formed by packing a plurality of disc-shaped glass substrates 2 in a box 3 as a packing material (box-shaped body). It is.
  • a plurality of disk-shaped glass substrates 2 are stacked in a flat state and packaged with a slip sheet 4 as a protective sheet interposed between the plurality of disk-shaped glass substrates 2.
  • a slip sheet 4 as a protective sheet interposed between the plurality of disk-shaped glass substrates 2.
  • Each of the plurality of disk-shaped glass substrates 2 is a glass substrate that serves as a support for supporting the semiconductor wafer in the back grinding process of the semiconductor wafer.
  • Each disk-shaped glass substrate 2 is provided with a notch 2aa as a positioning portion formed by removing a part of the outer peripheral end 2a. This notch 2aa is formed in order to determine the orientation of the disk-shaped glass substrate 2 in a plan view and perform positioning.
  • Each disk-shaped glass substrate 2 has a curved curvature so that one of its upper and lower surfaces is convex, and the vicinity of the notch 2aa in each disk-shaped glass substrate 2 is based on the SEMI standard. Marking 2b for discriminating the direction of warpage is applied.
  • the marking 2b is, for example, a character string drawn by a large number of dots formed on the disk-shaped glass substrate 2 by laser irradiation.
  • the plurality of disk-shaped glass substrates 2 are laminated in a state where the positions of the notches 2aa and the warping directions are aligned with each other.
  • a plurality of disk-shaped glass substrates 2 are laminated in a state where the lower surfaces of the disk-shaped glass substrates 2 are aligned so that the lower surfaces are convex.
  • the average thermal expansion coefficient in the temperature range of 30 ° C. to 380 ° C. of the disk-shaped glass substrate 2 has a small proportion of semiconductor chips in the semiconductor wafer supported by the disk-shaped glass substrate 2, and the sealing material
  • the ratio is large, it is preferable to increase, and conversely, when the ratio of the semiconductor chip is large in the semiconductor substrate and the ratio of the sealing material is small, it is preferable to decrease.
  • the disc-shaped glass substrate 2 Is a glass composition in terms of mass%, SiO 2 : 55 to 75%, Al 2 O 3 : 15 to 30%, Li 2 O: 0.1 to 6%, Na 2 O + K 2 O (Na 2 O and K the total amount of 2 O): 0 ⁇ 8% , MgO + CaO + SrO + BaO (MgO, CaO, SrO and BaO in total amount): a preferably contains 0-10%, or, SiO 2: 55 ⁇ 75% , Al 2 O 3 : 10 to 30%, Li 2 O + Na 2 O + K 2 O (total amount of Li 2 O, Na 2 O and K 2 O): 0 to 0.3%, MgO + CaO
  • the disc-shaped glass substrate 2 Is a glass composition in mass%, SiO 2 : 55 to 75%, Al 2 O 3 : 3 to 15%, B 2 O 3 : 5 to 20%, MgO: 0 to 5%, CaO: 0 to 10 %, SrO: 0-5%, BaO: 0-5%, ZnO: 0-5%, Na 2 O: 5-15%, K 2 O: 0-10%, SiO 2 : 64 to 71%, Al 2 O 3 : 5 to 10%, B 2 O 3 : 8 to 15%, MgO: 0 to 5%, CaO: 0 to 6%, SrO: 0 to 3%, BaO: 0 to 3%, ZnO: 0 ⁇ 3 %
  • the average thermal expansion coefficient of the disc-shaped glass substrate 2 in the temperature range of 30 ° C. to 380 ° C. to 70 ⁇ 10 ⁇ 7 / ° C. or more and 85 ⁇ 10 ⁇ 7 / ° C.
  • the disc-shaped glass substrate 2 Has a glass composition of mass%, SiO 2 : 60 to 75%, Al 2 O 3 : 5 to 15%, B 2 O 3 : 5 to 20%, MgO: 0 to 5%, CaO: 0 to 10 %, SrO: 0-5%, BaO: 0-5%, ZnO: 0-5%, Na 2 O: 7-16%, K 2 O: 0-8%, SiO 2 : 60 to 68%, Al 2 O 3 : 5 to 15%, B 2 O 3 : 5 to 20%, MgO: 0 to 5%, CaO: 0 to 10%, SrO: 0 to 3%, BaO: 0 to 3%, ZnO: 0 ⁇ 3 %, Na 2 O: 8 ⁇ 16%, K 2 O: 0 favored more to contain ⁇ 3% There.
  • the disc-shaped glass substrate 2 is a glass composition in mass%, SiO 2 : 55 to 70%, Al 2 O 3 : 3 to 13%, B 2 O 3 : 2 to 8%, MgO: 0 to 5%, CaO: 0 to It is preferable to contain 10%, SrO: 0 to 5%, BaO: 0 to 5%, ZnO: 0 to 5%, Na 2 O: 10 to 21%, K 2 O: 0 to 5%.
  • the average coefficient of thermal expansion of the disk-shaped glass substrate 2 in the temperature range of 30 ° C. to 380 ° C. is to be controlled to be over 120 ⁇ 10 ⁇ 7 / ° C. and 165 ⁇ 10 ⁇ 7 / ° C.
  • the disk-shaped glass substrate 2 Has a glass composition of mass%, SiO 2 : 53 to 65%, Al 2 O 3 : 3 to 13%, B 2 O 3 : 0 to 5%, MgO: 0.1 to 6%, CaO: 0 ⁇ 10%, SrO: 0-5%, BaO: 0-5%, ZnO: 0-5%, Na 2 O + K 2 O: 20-40%, Na 2 O: 12-21%, K 2 O: 7 It preferably contains ⁇ 21%.
  • the disk-shaped glass substrate 2 with small variation in plate thickness is obtained. It becomes easy.
  • the interleaf paper 4 is made of, for example, a pulp sheet or a polyethylene sheet.
  • the interleaf paper 4 is formed in a square shape, and the length of one side of the square is equal to the diameter of the disk-shaped glass substrate 2.
  • the interleaving paper 4 can cover the entire main surface (upper surface, lower surface) of the disc-shaped glass substrate 2 and protect the main surface from the occurrence of scratches.
  • the corner part (part corresponding to a square corner) of the interleaf paper 4 is in a state of protruding from the outer peripheral end part 2 a of the disk-shaped glass substrate 2.
  • the slip sheet 4 is used as the protective sheet, but the present invention is not limited to this, and for example, a resin sheet, a film, or the like may be used as the protective sheet.
  • a resin sheet, a film, or the like may be used as the protective sheet.
  • the shape of the slip sheet 4 is formed in the square, it is not restricted to this, The slip sheet 4 formed in arbitrary shapes may be used.
  • the interleaving paper 4 does not necessarily have to protrude from the outer peripheral end 2a of the disk-shaped glass substrate 2.
  • a circular slip sheet 4 having the same area as the main surface of the disc-shaped glass substrate 2 may be used so that the outer contour of the disc-shaped glass substrate 2 and the outer contour of the slip sheet 4 overlap in plan view. .
  • the box 3 includes a box body 3a that houses a plurality of disk-shaped glass substrates 2 therein, and a lid 3b that covers the box body 3a from above.
  • a material of the box body 3a and the lid 3b resin, wood, paper, plastic, or the like can be used. Both the box body 3 a and the lid 3 b can be fixed via the adhesive tape 5.
  • the box body 3a has a bottom 3aa on which a plurality of disk-shaped glass substrates 2 are placed, and a side wall 3ab that is connected to the bottom 3aa and surrounds the outer peripheral end 2a of each disk-shaped glass substrate 2. ing.
  • the bottom 3aa is formed in a square shape in plan view.
  • the side wall portion 3ab has a square shape that circumscribes the disk-shaped glass substrate 2 when the disk-shaped glass substrate 2 is viewed in plan. Thereby, a part of outer peripheral end 2a of each disk-shaped glass substrate 2 and the side wall 3ab are in contact with each other.
  • the outer peripheral end 2a of the disk-shaped glass substrate 2 and the side wall 3ab are in contact with each other at four points P, and these four points P are in the circumferential direction of the disk-shaped glass substrate 2. Are located at regular intervals.
  • Each disk-shaped glass substrate 2 is accommodated (packed) in the box body 3a so that the notch 2aa in the substrate is not in contact with the side wall 3ab. More specifically, each disk-shaped glass substrate 2 is accommodated (packed) in the box body 3a so that the notch 2aa in each disk-shaped glass substrate 2 is arranged facing a square corner formed by the side wall 3ab. .
  • the side wall 3ab of the box body 3a is composed of four wall portions 3aba to 3abd, and each of the wall portions 3aba to 3abd has its posture from the vertical placement posture shown in FIG. 1 to the flat placement posture shown in FIG. It is possible to change.
  • the four wall portions 3aba to 3abd are placed in a flat position, and the box body It is possible to perform the storing operation and the taking-out operation in a state where 3a is expanded.
  • holes 6 are formed at both ends in the longitudinal direction of the wall portion 3aba and the wall portion 3abc.
  • the wall 3abb and the wall 3abd are formed with projections 7 at both ends in the longitudinal direction. Then, each of the wall portions 3aba to 3abd is placed in a vertical posture, and the projection 7 formed on the wall portion 3abb and the wall portion 3abd is inserted into the hole 6 formed on the wall portion 3aba and the wall portion 3abc, thereby The box body 3a shown in Fig. 1 can be assembled.
  • the inner wall surface facing the outer peripheral end portion 2a of the disc-shaped glass substrate 2 is made of a cushioning material (for example, polystyrene foam).
  • the lid 3b has an upper wall portion 3ba facing the disc-shaped glass substrate 2 located in the uppermost layer of the plurality of disc-shaped glass substrates 2.
  • a bubble cushioning material 8 serving as a cushioning material is filled between the upper wall 3ba of the lid 3b and the disk-shaped glass substrate 2 located in the uppermost layer.
  • the cushioning material is not limited to the bubble cushioning material 8, and resin, paper, polystyrene foam, or the like may be used.
  • both the box main body 3a and the lid 3b are fixed via the adhesive tape 5.
  • the present invention is not limited to this, and both the box main body 3a and the lid 3b are bound with a string.
  • a rubber band may be wound around the two to fix it.
  • all the four wall portions 3aba to 3abd constituting the side wall portion 3ab of the box body 3a can change the posture from the vertical posture to the flat posture. It is not limited to. The posture may be changed only for a part of the four wall portions 3aba to 3abd.
  • a plurality of disk-shaped glass substrates 2 are laminated in a flat position, and a plurality of disk-shaped glass substrates 2 are formed by simply interposing a slip sheet 4 between them. It can be packed by the box 3. Therefore, it is possible to suppress the cost required for packing these disk-shaped glass substrates 2. Furthermore, since a plurality of disk-shaped glass substrates 2 are stacked in a flat manner, it is possible to avoid excessive stress from acting on the outer peripheral end 2a of each disk-shaped glass substrate 2. As a result, it is possible to accurately prevent the occurrence of a situation in which the disc-shaped glass substrate 2 is damaged starting from the outer peripheral end 2a.
  • the glass substrate package according to the present invention is not limited to the configuration described in the above embodiment.
  • the bottom of the box body is formed in a square shape in plan view, but may be formed in a circular shape or a polygonal shape.
  • the side wall portion when the side wall portion is a plan view of the disk-shaped glass substrate, it forms a square that circumscribes the disk-shaped glass substrate. However, it may be circular or polygonal. .
  • a protective tape may be attached so as to cover the notch in the glass substrate package according to the above embodiment.
  • the protective tape may be individually attached to the notches in each of the plurality of disc-shaped glass substrates, or the notches in each of the plurality of disc-shaped glass substrates may be collectively covered with a single protective tape. May be.
  • a circular paper having the same area as the main surface of the disk-shaped glass substrate is used as a slip sheet interposed between the plurality of disk-shaped glass substrates. It is preferable to use paper.
  • the disk-shaped glass substrate on which the notch as the positioning portion is formed is packed, but this is not restrictive. As shown in FIG. 5, it is good also as a structure which packed the disk shaped glass substrate 2 in which orientation flat 2ab as a positioning part was formed.
  • the disc-shaped glass substrate 2 is preferably accommodated (packed) in the box body 3a so that the orientation flat 2ab on the substrate is not in contact with the side wall 3ab.
  • a box is used as a packing material for packing a plurality of disk-shaped glass substrates, but this is not restrictive.
  • a bag, wrapping paper, or the like may be used as the packaging material.

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Abstract

複数枚の円盤状ガラス基板２が箱３に梱包されてなるガラス基板梱包体１について、複数枚の円盤状ガラス基板２の相互間に合紙４を介在させた状態で、複数枚の円盤状ガラス基板２を平置きで積層して梱包した。

Description

ガラス基板梱包体
　本発明は、複数枚のガラス基板が梱包材に梱包されてなるガラス基板梱包体に係り、詳しくは、円盤状ガラス基板を梱包した梱包体に関する。
　近年、半導体ウェハーのバック・グラインド工程において、半導体ウェハーを支持する支持体として円盤状ガラス基板が採用される場合がある。このような円盤状ガラス基板は、製造後、複数枚を一纏めに梱包した梱包体とされて製造工場から出荷される。ここで、特許文献１には、複数枚の円盤状ガラス基板を縦置きで並列に収容可能な基板収容容器を備えた梱包体が開示されている。
　同文献に開示された梱包体では、基板収容容器が、複数枚の円盤状ガラス基板を縦置きで収容するための収容部と、この収容部に取り付けられる蓋部とから成っており、収容部には、複数枚の円盤状ガラス基板を所定の間隔をあけて収容するための複数の保持ガイドが形成されている。また、蓋部には、各円盤状ガラス基板を収容部に挿入するための複数の孔部が形成されている。
特開２０１２－５６５８２号公報
　ところで、特許文献１に開示された梱包体では、下記のような解決すべき問題が生じている。すなわち、同梱包体では、収容される円盤状ガラス基板の数に応じた数の保持ガイド及び孔部が基板収容容器（収容部、蓋部）に形成されていることが必要である。そのため、収容される円盤状ガラス基板の数の増加に伴って、基板収容容器に形成すべき保持ガイド及び孔部の数が必然的に増加し、基板収容容器の製造コストが高騰してしまう。その結果、梱包に要するコストが嵩んでしまう難点があった。
　また、同梱包体では、円盤状ガラス基板が縦置きで基板収容容器に収容されることから、縦置きにされた円盤状ガラス基板の外周端部のうち、下端に位置する部位が収容部と点接触した状態となって当該部位に局所的に過大な応力が作用してしまう。なお、円盤状ガラス基板の外周端部には、研削ツール等によって面取り加工等が施されていることが通常である。そのため、加工時に発生したクラック等への応力の作用に起因して、外周端部を起点に円盤状ガラス基板が破損してしまう場合があった。
　上記の事情に鑑みなされた本発明は、円盤状ガラス基板の破損を防止しつつ、低コストに複数枚の円盤状ガラス基板の梱包を可能とすることを技術的課題とする。
　上記の課題を解決するために創案された本発明は、複数枚の円盤状ガラス基板が梱包材に梱包されてなるガラス基板梱包体において、複数枚の円盤状ガラス基板の相互間に保護シートを介在させた状態で、複数枚の円盤状ガラス基板が平置きで積層されて梱包されていることに特徴付けられる。
　このような構成によれば、複数枚の円盤状ガラス基板を平置きで積層すると共に、これらの相互間に保護シートを介在させるだけで、複数枚の円盤状ガラス基板を梱包材によって梱包することができる。そのため、これら円盤状ガラス基板の梱包に要するコストを抑制することが可能となる。さらに、複数枚の円盤状ガラス基板が平置きで積層されることから、各円盤状ガラス基板の外周端部に過大な応力が作用することも回避できる。その結果、外周端部を起点として円盤状ガラス基板が破損するような事態の発生を的確に防止することが可能となる。以上のように、本発明に係るガラス基板梱包体によれば、円盤状ガラス基板の破損を防止しつつ、低コストに複数枚の円盤状ガラス基板を梱包することができる。
　上記の構成において、円盤状ガラス基板が、当該円盤状ガラス基板の位置決めを行うために、その外周端部の一部が除去されてなる位置決め部を有していてもよい。
　円盤状ガラス基板が、位置決め部を有する場合には、当該位置決め部が円盤状ガラス基板の外周端部の一部が除去されてなることから、必然的に円盤状ガラス基板の強度が低下してしまい、当該円盤状ガラス基板が破損しやすくなる。しかしながら、本発明に係るガラス基板梱包体によれば、上述のように、複数枚の円盤状ガラス基板が平置きで積層されることに起因して、各円盤状ガラス基板の破損を的確に防止することが可能である。そのため、位置決め部を有した円盤状ガラス基板を梱包する場合に、本発明に係るガラス基板梱包体を採用すれば、その有用性をより高めることができる。
　上記の構成において、複数枚の円盤状ガラス基板が、位置決め部の位置を互いに揃えられた状態で積層されていることが好ましい。
　このようにすれば、梱包された複数枚の円盤状ガラス基板の相互間で位置決め部の位置が互いに揃っていることから、梱包材による梱包を解いて各円盤状ガラス基板に処理を施すような場合には、その処理を円滑に実行することが可能となる。
　上記の構成において、梱包材が、円盤状ガラス基板の外周端部を囲う側壁部を有し、円盤状ガラス基板は、位置決め部が側壁部と非接触となるように梱包されていることが好ましい。
　このようにすれば、円盤状ガラス基板の位置決め部と、梱包材の側壁部との接触を確実に回避することができる。そのため、位置決め部に作用する応力を可及的に抑制することが可能となり、位置決め部を起点に円盤状ガラス基板が破損するような事態の発生を的確に防止することができる。
　上記の構成において、円盤状ガラス基板の外周端部の一部が、側壁部と接触していることが好ましい。
　このようにすれば、梱包材の側壁部によって円盤状ガラス基板が支持されることになる。そのため、本発明に係るガラス基板梱包体を輸送するような場合に、当該梱包体に発生した振動等に起因して、各円盤状ガラス基板が梱包材内で移動したり、複数枚の円盤状ガラス基板の相互間で位置のずれが生じたりするような事態の発生を防止しやすくなる。
　上記の構成において、円盤状ガラス基板を平面視した場合に、側壁部が円盤状ガラス基板に外接する正方形をなすことが好ましい。
　このようにすれば、円盤状ガラス基板の外周端部と、梱包材の側壁部とが四点で接触することになると共に、この四点が円盤状ガラス基板の周方向に沿って等間隔に位置した状態となる。これにより、円盤状ガラス基板を梱包材の側壁部によって安定した状態で支持することができる。従って、本発明に係るガラス基板梱包体を輸送する際に、各円盤状ガラス基板の梱包材内での移動や、複数枚の円盤状ガラス基板の相互間での位置のずれを防止する上でより好適である。
　上記の構成において、梱包材が、複数枚の円盤状ガラス基板のうちの最上層に位置する円盤状ガラス基板に対向する上壁部を有し、最上層に位置する円盤状ガラス基板と上壁部との間に、緩衝材が充填されていることが好ましい。
　このようにすれば、本発明に係るガラス基板梱包体を輸送する際に、振動等に起因した衝撃が円盤状ガラス基板に伝播することを防止しやすくなる。
　上記の構成において、梱包材が箱状体でなり、該箱状体が展開可能に構成されていることが好ましい。
　このようにすれば、箱状体を展開することにより、各円盤状ガラス基板を箱状体内に収容しやすくなると共に、梱包を解く際に箱状体から各円盤状ガラス基板を取り出しやすくなる。
　上記の構成において、円盤状ガラス基板が反りを有し、複数枚の円盤状ガラス基板が、反りの向きを互いに揃えられた状態で積層されていることが好ましい。
　このようにすれば、梱包材による梱包を解いた場合に、複数枚の円盤状ガラス基板の一枚一枚に対し、反りの向きを検査するような手間を省くことが可能となる。
　上記の構成において、円盤状ガラス基板に反りの向きを判別するためのマーキングが施されていることが好ましい。
　このようにすれば、円盤状ガラス基板に施されたマーキングを確認することで、各円盤状ガラス基板の反りの向きを容易に判別することができる。
　本発明によれば、円盤状ガラス基板の破損を防止しつつ、低コストに複数枚の円盤状ガラス基板を梱包することが可能となる。
本発明の実施形態に係るガラス基板梱包体を分解して示す斜視図である。 本発明の実施形態に係るガラス基板梱包体を示す縦断側面図である。 本発明の実施形態に係るガラス基板梱包体を示す平面図である。 本発明の実施形態に係るガラス基板梱包体に備えられた箱本体を示す斜視図である。 本発明の他の実施形態に係るガラス基板梱包体を示す平面図である。
　以下、本発明の実施形態に係るガラス基板梱包体について添付の図面を参照して説明する。まず、本発明の実施形態に係るガラス基板梱包体の構成について説明する。
　図１及び図２に示すように、本発明の実施形態に係るガラス基板梱包体１は、複数枚の円盤状ガラス基板２が梱包材（箱状体）としての箱３に梱包されてなるものである。このガラス基板梱包体１では、複数枚の円盤状ガラス基板２の相互間に保護シートとしての合紙４を介在させた状態で、複数枚の円盤状ガラス基板２が平置きで積層されて梱包されている。
　複数枚の円盤状ガラス基板２の各々は、半導体ウェハーのバック・グラインド工程において半導体ウェハーを支持する支持体となるガラス基板である。各円盤状ガラス基板２には、その外周端部２ａの一部が除去されてなる位置決め部としてのノッチ２ａａが形成されている。このノッチ２ａａは、円盤状ガラス基板２を平面視した場合に、その向きを判別して位置決めを行うために形成されるものである。また、各円盤状ガラス基板２は、その上下面のうちの一方が凸となるように湾曲した反りを有しており、各円盤状ガラス基板２におけるノッチ２ａａの近傍には、ＳＥＭＩ規格に基づいて反りの向きを判別するためのマーキング２ｂが施されている。このマーキング２ｂは、例えば、レーザーの照射によって円盤状ガラス基板２に形成される多数のドットで描かれた文字列等でなる。そして、複数枚の円盤状ガラス基板２は、ノッチ２ａａの位置、及び反りの向きが互いに揃えられた状態で積層されている。なお、本実施形態では、各円盤状ガラス基板２の上下面のうち、下面が凸となるように揃えられた状態で複数枚の円盤状ガラス基板２が積層されている。
　ここで、例えば、円盤状ガラス基板２の３０℃～３８０℃の温度範囲における平均熱膨張係数は、当該円盤状ガラス基板２が支持する半導体ウェハー内で半導体チップの割合が少なく、封止材の割合が多い場合には、上昇させることが好ましく、逆に、半導体基板内で半導体チップの割合が多く、封止材の割合が少ない場合には、低下させることが好ましい。
　そして、円盤状ガラス基板２の３０℃～３８０℃の温度範囲における平均熱膨張係数を０×１０－７／℃以上、且つ５０×１０－７／℃未満に規制したい場合、円盤状ガラス基板２は、ガラス組成として、質量％で、ＳｉＯ２：５５～７５％、Ａｌ２Ｏ３：１５～３０％、Ｌｉ２Ｏ：０．１～６％、Ｎａ２Ｏ＋Ｋ２Ｏ（Ｎａ２ＯとＫ２Ｏの合量）：０～８％、ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ（ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ及びＢａＯの合量）：０～１０％を含有することが好ましく、或いは、ＳｉＯ２：５５～７５％、Ａｌ２Ｏ３：１０～３０％、Ｌｉ２Ｏ＋Ｎａ２Ｏ＋Ｋ２Ｏ（Ｌｉ２Ｏ、Ｎａ２Ｏ及びＫ２Ｏの合量）：０～０．３％、ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ：５～２０％を含有することも好ましい。
　また、円盤状ガラス基板２の３０℃～３８０℃の温度範囲における平均熱膨張係数を５０×１０－７／℃以上、且つ７０×１０－７／℃未満に規制したい場合、円盤状ガラス基板２は、ガラス組成として、質量％で、ＳｉＯ２：５５～７５％、Ａｌ２Ｏ３：３～１５％、Ｂ２Ｏ３：５～２０％、ＭｇＯ：０～５％、ＣａＯ：０～１０％、ＳｒＯ：０～５％、ＢａＯ：０～５％、ＺｎＯ：０～５％、Ｎａ２Ｏ：５～１５％、Ｋ２Ｏ：０～１０％を含有することが好ましく、ＳｉＯ２：６４～７１％、Ａｌ２Ｏ３：５～１０％、Ｂ２Ｏ３：８～１５％、ＭｇＯ：０～５％、ＣａＯ：０～６％、ＳｒＯ：０～３％、ＢａＯ：０～３％、ＺｎＯ：０～３％、Ｎａ２Ｏ：５～１５％、Ｋ２Ｏ：０～５％を含有することがより好ましい。
　さらに、円盤状ガラス基板２の３０℃～３８０℃の温度範囲における平均熱膨張係数を７０×１０－７／℃以上、且つ８５×１０－７／℃以下に規制したい場合、円盤状ガラス基板２は、ガラス組成として、質量％で、ＳｉＯ２：６０～７５％、Ａｌ２Ｏ３：５～１５％、Ｂ２Ｏ３：５～２０％、ＭｇＯ：０～５％、ＣａＯ：０～１０％、ＳｒＯ：０～５％、ＢａＯ：０～５％、ＺｎＯ：０～５％、Ｎａ２Ｏ：７～１６％、Ｋ２Ｏ：０～８％を含有することが好ましく、ＳｉＯ２：６０～６８％、Ａｌ２Ｏ３：５～１５％、Ｂ２Ｏ３：５～２０％、ＭｇＯ：０～５％、ＣａＯ：０～１０％、ＳｒＯ：０～３％、ＢａＯ：０～３％、ＺｎＯ：０～３％、Ｎａ２Ｏ：８～１６％、Ｋ２Ｏ：０～３％を含有することがより好ましい。
　加えて、円盤状ガラス基板２の３０℃～３８０℃の温度範囲における平均熱膨張係数を８５×１０－７／℃超、且つ１２０×１０－７／℃以下に規制したい場合、円盤状ガラス基板２は、ガラス組成として、質量％で、ＳｉＯ２：５５～７０％、Ａｌ２Ｏ３：３～１３％、Ｂ２Ｏ３：２～８％、ＭｇＯ：０～５％、ＣａＯ：０～１０％、ＳｒＯ：０～５％、ＢａＯ：０～５％、ＺｎＯ：０～５％、Ｎａ２Ｏ：１０～２１％、Ｋ２Ｏ：０～５％を含有することが好ましい。
　また、円盤状ガラス基板２の３０℃～３８０℃の温度範囲における平均熱膨張係数を１２０×１０－７／℃超、且つ１６５×１０－７／℃以下に規制したい場合、円盤状ガラス基板２は、ガラス組成として、質量％で、ＳｉＯ２：５３～６５％、Ａｌ２Ｏ３：３～１３％、Ｂ２Ｏ３：０～５％、ＭｇＯ：０．１～６％、ＣａＯ：０～１０％、ＳｒＯ：０～５％、ＢａＯ：０～５％、ＺｎＯ：０～５％、Ｎａ２Ｏ＋Ｋ２Ｏ：２０～４０％、Ｎａ２Ｏ：１２～２１％、Ｋ２Ｏ：７～２１％を含有することが好ましい。
　これらのようにすれば、円盤状ガラス基板２の平均熱膨張係数を所望の範囲に規制しやすくなると共に、耐失透性が向上するため、板厚のバラつきが小さい円盤状ガラス基板２を得やすくなる。
　合紙４は、例えばパルプシート、ポリエチレンシート等でなる。この合紙４は、その形状が正方形に形成されており、当該正方形の一辺の長さは、円盤状ガラス基板２の直径に等しい長さとされている。これにより、合紙４は、円盤状ガラス基板２の主面（上面、下面）の全面を覆い、当該主面を擦り傷の発生等から保護することが可能となっている。なお、合紙４におけるコーナー部（正方形の角に相当する部位）は、円盤状ガラス基板２の外周端部２ａから食み出した状態となっている。
　ここで、本実施形態では、保護シートとして合紙４を用いているが、これに限定されるものではなく、例えば、保護シートとして樹脂シート、フィルム等を用いてもよい。また、本実施形態では、合紙４の形状が正方形に形成されているが、この限りではなく、任意の形状に形成された合紙４を用いてよい。さらに、合紙４は必ずしも円盤状ガラス基板２の外周端部２ａから食み出している必要はない。例えば、円盤状ガラス基板２の主面と同一な面積を有する円形の合紙４を用い、円盤状ガラス基板２の外周輪郭と合紙４の外周輪郭とが平面視で重なるようにしてもよい。
　箱３は、複数枚の円盤状ガラス基板２を内部に収容する箱本体３ａと、箱本体３ａを上方から覆う蓋体３ｂとを備えている。なお、箱本体３ａ及び蓋体３ｂの材質としては、樹脂、木、紙、プラスチック等を用いることが可能である。箱本体３ａと蓋体３ｂとの両者は、粘着テープ５を介して固定することが可能となっている。
　箱本体３ａは、複数枚の円盤状ガラス基板２が載置される底部３ａａと、この底部３ａａに連なり、且つ、各円盤状ガラス基板２の外周端部２ａを囲う側壁部３ａｂとを有している。底部３ａａは、平面視で正方形に形成されている。また、側壁部３ａｂは、図３に示すように、円盤状ガラス基板２を平面視した場合に、当該円盤状ガラス基板２に外接する正方形をなしている。これにより、各円盤状ガラス基板２の外周端部２ａの一部と、側壁部３ａｂとが接触した状態となっている。詳細には、円盤状ガラス基板２の外周端部２ａと、側壁部３ａｂとは、四つの点Ｐで接触するようになっており、この四つの点Ｐは、円盤状ガラス基板２の周方向に沿って等間隔で位置している。
　また、各円盤状ガラス基板２は、当該基板におけるノッチ２ａａが側壁部３ａｂと非接触となるように箱本体３ａに収容（梱包）されている。詳述すると、各円盤状ガラス基板２におけるノッチ２ａａが、側壁部３ａｂがなす正方形の角に面した配置となるように、各円盤状ガラス基板２が箱本体３ａに収容（梱包）されている。
　箱本体３ａの側壁部３ａｂは、四つの壁部３ａｂａ～３ａｂｄで構成されており、各壁部３ａｂａ～３ａｂｄは、それぞれ図１に示す縦置き姿勢から図４に示す平置き姿勢まで、その姿勢を変化させることが可能となっている。これにより、各円盤状ガラス基板２の箱本体３ａへの収容時、及び、箱本体３ａからの取り出し時には、図４に示すように、四つの壁部３ａｂａ～３ａｂｄを平置き姿勢とし、箱本体３ａを展開した状態で、収容作業及び取り出し作業を実行することが可能である。四つの壁部３ａｂａ～３ａｂｄのうち、壁部３ａｂａ及び壁部３ａｂｃには、その長手方向の両端に穴６が形成されている。これに対し、壁部３ａｂｂ及び壁部３ａｂｄには、その長手方向の両端に突起７が形成されている。そして、各壁部３ａｂａ～３ａｂｄを縦置き姿勢とすると共に、壁部３ａｂｂ及び壁部３ａｂｄに形成された突起７を壁部３ａｂａ及び壁部３ａｂｃに形成された穴６に挿し込むことで、図１に示す箱本体３ａが組み立てられた状態とすることが可能である。なお、四つの壁部３ａｂａ～３ａｂｄのそれぞれにおいて、円盤状ガラス基板２の外周端部２ａに対向する内壁面は、緩衝材（例えば、発泡スチロール等）で構成されている。
　蓋体３ｂは、複数枚の円盤状ガラス基板２のうちの最上層に位置する円盤状ガラス基板２に対向する上壁部３ｂａを有している。図２に示すように、蓋体３ｂの上壁部３ｂａと、最上層に位置する円盤状ガラス基板２との間には、緩衝材としての気泡緩衝材８が充填されている。なお、緩衝材としては、気泡緩衝材８に限らず、樹脂、紙、発泡スチロール等を用いてもよい。
　ここで、本実施形態では、箱本体３ａと蓋体３ｂとの両者が粘着テープ５を介して固定されているが、この限りではなく、箱本体３ａと蓋体３ｂとの両者を紐で縛る、両者の周りにゴムバンドを巻く等して固定してもよい。また、本実施形態では、箱本体３ａの側壁部３ａｂを構成する四つの壁部３ａｂａ～３ａｂｄの全てが、縦置き姿勢から平置き姿勢まで姿勢を変化させることが可能となっているが、これに限定されるものではない。四つの壁部３ａｂａ～３ａｂｄの一部のみについて、姿勢の変化が可能であるようにしてもよい。
　以下、上記のガラス基板梱包体１を用いた場合の主たる作用・効果について説明する。
　上記のガラス基板梱包体１によれば、複数枚の円盤状ガラス基板２を平置きで積層すると共に、これらの相互間に合紙４を介在させるだけで、複数枚の円盤状ガラス基板２を箱３によって梱包することができる。そのため、これら円盤状ガラス基板２の梱包に要するコストを抑制することが可能となる。さらに、複数枚の円盤状ガラス基板２が平置きで積層されることから、各円盤状ガラス基板２の外周端部２ａに過大な応力が作用することも回避できる。その結果、外周端部２ａを起点として円盤状ガラス基板２が破損するような事態の発生を的確に防止することが可能となる。
　ここで、本発明に係るガラス基板梱包体は、上記の実施形態で説明した構成に限定されるものではない。上記の実施形態では、箱本体の底部が平面視で正方形に形成されているが、円形や多角形に形成されていてもよい。同様にして、上記の実施形態では、側壁部が円盤状ガラス基板を平面視した場合に、当該円盤状ガラス基板に外接する正方形をなしているが、円形や多角形をなすようにしてもよい。
　また、上記の実施形態に係るガラス基板梱包体について、各円盤状ガラス基板に形成されたノッチを保護するため、ノッチを覆うように保護テープを貼り付けてもよい。この場合、複数枚の円盤状ガラス基板の各々におけるノッチに個別に保護テープを貼り付けてもよいし、単一の保護テープで複数枚の円盤状ガラス基板の各々におけるノッチを纏めて覆うようにしてもよい。なお、単一の保護テープでノッチを纏めて覆う場合には、複数枚の円盤状ガラス基板の相互間に介在させる合紙として、円盤状ガラス基板の主面と同一な面積を有する円形の合紙を用いることが好ましい。
　また、上記の実施形態では、位置決め部としてのノッチが形成された円盤状ガラス基板を梱包した構成となっているが、この限りではない。図５に示すように、位置決め部としてのオリエンテーションフラット２ａｂが形成された円盤状ガラス基板２を梱包した構成としてもよい。この場合、円盤状ガラス基板２は、当該基板におけるオリエンテーションフラット２ａｂが側壁部３ａｂと非接触となるように箱本体３ａに収容（梱包）されることが好ましい。さらに、上記の実施形態では、複数枚の円盤状ガラス基板を梱包する梱包材として箱を用いているが、この限りではない。梱包材として袋や包装紙等を用いてもよい。
　１　　　　　ガラス基板梱包体
　２　　　　　円盤状ガラス基板
　２ａ　　　　外周端部
　２ａａ　　　ノッチ
　２ａｂ　　　オリエンテーションフラット
　２ｂ　　　　マーキング
　３　　　　　箱
　３ａ　　　　箱本体
　３ａａ　　　底部
　３ａｂ　　　側壁部
　３ａｂａ　　壁部
　３ａｂｂ　　壁部
　３ａｂｃ　　壁部
　３ａｂｄ　　壁部
　４　　　　　合紙
　５　　　　　粘着テープ
　６　　　　　穴
　７　　　　　突起
　８　　　　　気泡緩衝材
　Ｐ　　　　　点

Claims (10)

  1. 　複数枚の円盤状ガラス基板が梱包材に梱包されてなるガラス基板梱包体において、
    　前記複数枚の円盤状ガラス基板の相互間に保護シートを介在させた状態で、該複数枚の円盤状ガラス基板が平置きで積層されて梱包されていることを特徴とするガラス基板梱包体。
  2. 　前記円盤状ガラス基板が、該円盤状ガラス基板の位置決めを行うために、その外周端部の一部が除去されてなる位置決め部を有することを特徴とする請求項１に記載のガラス基板梱包体。
  3. 　前記複数枚の円盤状ガラス基板が、前記位置決め部の位置を互いに揃えられた状態で積層されていることを特徴とする請求項２に記載のガラス基板梱包体。
  4. 　前記梱包材が、前記円盤状ガラス基板の外周端部を囲う側壁部を有し、
    　前記円盤状ガラス基板は、前記位置決め部が前記側壁部と非接触となるように梱包されていることを特徴とする請求項２又は３に記載のガラス基板梱包体。
  5. 　前記円盤状ガラス基板の外周端部の一部が、前記側壁部と接触していることを特徴とする請求項４に記載のガラス基板梱包体。
  6. 　前記円盤状ガラス基板を平面視した場合に、前記側壁部が該円盤状ガラス基板に外接する正方形をなすことを特徴とする請求項５に記載のガラス基板梱包体。
  7. 　前記梱包材が、前記複数枚の円盤状ガラス基板のうちの最上層に位置する円盤状ガラス基板に対向する上壁部を有し、
    　前記最上層に位置する円盤状ガラス基板と前記上壁部との間に、緩衝材が充填されていることを特徴とする請求項１～６のいずれかに記載のガラス基板梱包体。
  8. 　前記梱包材が箱状体でなり、該箱状体が展開可能に構成されていることを特徴とする請求項１～７のいずれかに記載のガラス基板梱包体。
  9. 　前記円盤状ガラス基板が反りを有し、
    　前記複数枚の円盤状ガラス基板が、前記反りの向きを互いに揃えられた状態で積層されていることを特徴とする請求項１～８のいずれかに記載のガラス基板梱包体。
  10. 　前記円盤状ガラス基板に前記反りの向きを判別するためのマーキングが施されていることを特徴とする請求項９に記載のガラス基板梱包体。
     
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