KR20170140151A - 유리 기판 곤포체 - Google Patents

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Abstract

복수매의 원반 형상 유리 기판(2)이 상자(3)에 곤포되어 이루어지는 유리 기판 곤포체(1)에 대하여 복수매의 원반 형상 유리 기판(2)의 상호 간에 합지(4)를 개재시킨 상태에서 복수매의 원반 형상 유리 기판(2)을 평평하게 놓고 적층하여 곤포했다.

Description

유리 기판 곤포체{GLASS SUBSTRATE PACKAGE}
본 발명은 복수매의 유리 기판이 곤포재에 곤포되어 이루어지는 유리 기판 곤포체에 관한 것이고, 상세하게는 원반 형상 유리 기판을 곤포한 곤포체에 관한 것이다.
최근 반도체 웨이퍼의 백 그라인드 공정에 있어서 반도체 웨이퍼를 지지하는 지지체로서 원반 형상 유리 기판이 채용되는 경우가 있다. 이러한 원반 형상 유리 기판은 제조 후 복수매를 하나로 합쳐 곤포한 곤포체가 되어 제조 공장으로부터 출하된다. 여기서, 특허문헌 1에는 복수매의 원반 형상 유리 기판을 세로로 놓고 병렬로 수용가능한 기판 수용 용기를 구비한 곤포체가 개시되어 있다.
동 문헌에 개시된 곤포체에서는 기판 수용 용기가 복수매의 원반 형상 유리 기판을 세로로 놓고 수용하기 위한 수용부와, 이 수용부에 부착되는 덮개부로 이루어져 있고, 수용부에는 복수매의 원반 형상 유리 기판을 소정 간격을 두고 수용하기 위한 복수의 유지 가이드가 형성되어 있다. 또한, 덮개부에는 각 원반 형상 유리 기판을 수용부에 삽입하기 위한 복수의 구멍부가 형성되어 있다.
일본특허공개 2012-56582호 공보
그런데, 특허문헌 1에 개시된 곤포체에서는 하기와 같은 해결해야 할 문제가 생기고 있다. 즉, 동 곤포체에서는 수용되는 원반 형상 유리 기판의 수에 따른 수의 유지 가이드 및 구멍부가 기판 수용 용기(수용부, 덮개부)에 형성되어 있는 것이 필요하다. 그 때문에 수용되는 원반 형상 유리 기판의 수의 증가에 따라 기판 수용 용기에 형성해야 할 유지 가이드 및 구멍부의 수가 필연적으로 증가하여 기판 수용 용기의 제조 비용이 상승해 버린다. 그 결과, 곤포에 요하는 비용이 높아져 버리는 난점이 있었다.
또한, 동 곤포체에서는 원반 형상 유리 기판이 세로로 놓여 기판 수용 용기에 수용되는 점에서 세로로 놓이게 된 원반 형상 유리 기판의 외주 단부 중 하단에 위치하는 부위가 수용부와 점접촉한 상태가 되어 상기 부위에 국소적으로 과대한 응력이 작용해 버린다. 또한, 원반 형상 유리 기판의 외주 단부에는 연삭 툴 등에 의해 모따기 가공 등이 실시되어 있는 것이 통상이다. 그 때문에 가공 시에 발생한 크랙 등에의 응력의 작용에 기인하여 외주 단부를 기점으로 원반 형상 유리 기판이 파손되어 버리는 경우가 있었다.
상기 사정을 감안하여 이루어진 본 발명은 원반 형상 유리 기판의 파손을 방지하면서 저비용으로 복수매의 원반 형상 유리 기판의 곤포를 가능하게 하는 것을 기술적 과제로 한다.
상기 과제를 해결하기 위해서 창안된 본 발명은 복수매의 원반 형상 유리 기판이 곤포재에 곤포되어 이루어지는 유리 기판 곤포체에 있어서 복수매의 원반 형상 유리 기판의 상호 간에 보호 시트를 개재시킨 상태에서 복수매의 원반 형상 유리 기판이 평평하게 놓여 적층되어서 곤포되어 있는 것으로 특징지어진다.
이러한 구성에 의하면 복수매의 원반 형상 유리 기판을 평평하게 놓고 적층함과 아울러 이들의 상호 간에 보호 시트를 개재시키는 것만으로 복수매의 원반 형상 유리 기판을 곤포재에 의해 곤포할 수 있다. 그 때문에 이들 원반 형상 유리 기판의 곤포에 요하는 비용을 억제하는 것이 가능해진다. 또한, 복수매의 원반 형상 유리 기판이 평평하게 놓여 적층되는 점에서 각 원반 형상 유리 기판의 외주 단부에 과대한 응력이 작용하는 것도 회피할 수 있다. 그 결과, 외주 단부를 기점으로 하여 원반 형상 유리 기판이 파손되는 사태의 발생을 적확하게 방지하는 것이 가능해진다. 이상과 같이, 본 발명에 따른 유리 기판 곤포체에 의하면 원반 형상 유리 기판의 파손을 방지하면서 저비용으로 복수매의 원반 형상 유리 기판을 곤포할 수 있다.
상기 구성에 있어서, 원반 형상 유리 기판이 상기 원반 형상 유리 기판의 위치 결정을 행하기 위해서 그 외주 단부의 일부가 제거되어 이루어지는 위치 결정부를 갖고 있어도 좋다.
원반 형상 유리 기판이 위치 결정부를 갖는 경우에는 상기 위치 결정부가 원반 형상 유리 기판의 외주 단부의 일부가 제거되어 이루어지는 점에서 필연적으로 원반 형상 유리 기판의 강도가 저하되어 버려 상기 원반 형상 유리 기판이 파손되기 쉬워진다. 그러나, 본 발명에 따른 유리 기판 곤포체에 의하면 상술한 바와 같이 복수매의 원반 형상 유리 기판이 평평하게 놓여 적층되는 것에 기인하여 각 원반 형상 유리 기판의 파손을 적확하게 방지하는 것이 가능하다. 그 때문에 위치 결정부를 갖는 원반 형상 유리 기판을 곤포하는 경우에 본 발명에 의한 유리 기판 곤포체를 채용하면 그 유용성을 보다 높일 수 있다.
상기 구성에 있어서, 복수매의 원반 형상 유리 기판이 위치 결정부의 위치를 서로 일치시킨 상태에서 적층되어 있는 것이 바람직하다.
이렇게 하면 곤포된 복수매의 원반 형상 유리 기판의 상호 간에서 위치 결정부의 위치가 서로 일치하고 있는 점에서 곤포재에 의한 곤포를 풀어 각 원반 형상 유리 기판에 처리를 실시하는 경우에는 그 처리를 원활하게 실행하는 것이 가능해진다.
상기 구성에 있어서, 곤포재가 원반 형상 유리 기판의 외주 단부를 둘러싸는 측벽부를 갖고, 원반 형상 유리 기판은 위치 결정부가 측벽부와 비접촉이 되도록 곤포되어 있는 것이 바람직하다.
이렇게 하면 원반 형상 유리 기판의 위치 결정부와, 곤포재의 측벽부의 접촉을 확실하게 회피할 수 있다. 그 때문에 위치 결정부에 작용하는 응력을 가급적으로 억제하는 것이 가능해지고, 위치 결정부를 기점으로 원반 형상 유리 기판이 파손되는 사태의 발생을 적확하게 방지할 수 있다.
상기 구성에 있어서, 원반 형상 유리 기판의 외주 단부의 일부가 측벽부와 접촉하고 있는 것이 바람직하다.
이렇게 하면 곤포재의 측벽부에 의해 원반 형상 유리 기판이 지지되게 된다. 그 때문에 본 발명에 의한 유리 기판 곤포체를 수송하는 경우에 상기 곤포체에 발생한 진동 등에 기인하여 각 원반 형상 유리 기판이 곤포재 내에서 이동하거나, 복수매의 원반 형상 유리 기판의 상호 간에서 위치의 어긋남이 생기거나 하는 사태의 발생을 방지하기 쉬워진다.
상기 구성에 있어서, 원반 형상 유리 기판을 평면으로 본 경우에 측벽부가 원반 형상 유리 기판에 외접하는 정방형을 이루는 것이 바람직하다.
이렇게 하면 원반 형상 유리 기판의 외주 단부와, 곤포재의 측벽부가 4점에서 접촉하게 됨과 아울러 이 4점이 원반 형상 유리 기판의 둘레방향을 따라 등간격으로 위치한 상태가 된다. 이것에 의해 원반 형상 유리 기판을 곤포재의 측벽부에 의해 안정된 상태에서 지지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 의한 유리 기판 곤포체를 수송할 때에 각 원반 형상 유리 기판의 곤포재 내에서의 이동이나, 복수매의 원반 형상 유리 기판의 상호 간에서의 위치의 어긋남을 방지하는데 보다 바람직하다.
상기 구성에 있어서, 곤포재가 복수매의 원반 형상 유리 기판 중 최상층에 위치하는 원반 형상 유리 기판에 대향하는 상벽부를 갖고, 최상층에 위치하는 원반 형상 유리 기판과 상벽부 사이에 완충재가 충전되어 있는 것이 바람직하다.
이렇게 하면 본 발명에 의한 유리 기판 곤포체를 수송할 때에 진동 등에 기인한 충격이 원반 형상 유리 기판에 전파하는 것을 방지하기 쉬워진다.
상기 구성에 있어서, 곤포재가 상자 형상체로 이루어지며, 상기 상자 형상체가 전개가능하게 구성되어 있는 것이 바람직하다.
이렇게 하면 상자 형상체를 전개함으로써 각 원반 형상 유리 기판을 상자 형상체 내에 수용하기 쉬워짐과 아울러 곤포를 풀 때에 상자 형상체로부터 각 원반 형상 유리 기판을 인출하기 쉬워진다.
상기 구성에 있어서, 원반 형상 유리 기판이 휨을 갖고, 복수매의 원반 형상 유리 기판이 휨의 방향을 서로 일치시킨 상태에서 적층되어 있는 것이 바람직하다.
이렇게 하면, 곤포재에 의한 곤포를 풀었을 경우에 복수매의 원반 형상 유리 기판의 한 매 한 매에 대하여 휨의 방향을 검사하는 수고를 더는 것이 가능해진다.
상기 구성에 있어서, 원반 형상 유리 기판에 휨의 방향을 판별하기 위한 마킹이 실시되어 있는 것이 바람직하다.
이렇게 하면, 원반 형상 유리 기판에 실시된 마킹을 확인함으로써 각 원반 형상 유리 기판의 휨의 방향을 용이하게 판별할 수 있다.
(발명의 효과)
본 발명에 의하면 원반 형상 유리 기판의 파손을 방지하면서 저비용으로 복수매의 원반 형상 유리 기판을 곤포하는 것이 가능해진다.
도 1은 본 발명의 실시형태에 의한 유리 기판 곤포체를 분해하여 나타내는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시형태에 의한 유리 기판 곤포체를 나타내는 종단측면도이다.
도 3은 본 발명의 실시형태에 의한 유리 기판 곤포체를 나타내는 평면도이다.
도 4는 본 발명의 실시형태에 의한 유리 기판 곤포체에 구비된 상자 본체를 나타내는 사시도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시형태에 의한 유리 기판 곤포체를 나타내는 평면도이다.
이하, 본 발명의 실시형태에 의한 유리 기판 곤포체에 대해서 첨부 도면을 참조하여 설명한다. 우선, 본 발명의 실시형태에 의한 유리 기판 곤포체의 구성에 대하여 설명한다.
도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이 본 발명의 실시형태에 의한 유리 기판 곤포체(1)는 복수매의 원반 형상 유리 기판(2)이 곤포재(상자 형상체)로서의 상자(3)에 곤포되어 이루어지는 것이다. 이 유리 기판 곤포체(1)에서는 복수매의 원반 형상 유리 기판(2)의 상호 간에 보호 시트로서의 합지(4)를 개재시킨 상태에서 복수매의 원반 형상 유리 기판(2)이 평평하게 놓여 적층되어서 곤포되어 있다.
복수매의 원반 형상 유리 기판(2)의 각각은 반도체 웨이퍼의 백 그라인드 공정에 있어서 반도체 웨이퍼를 지지하는 지지체가 되는 유리 기판이다. 각 원반 형상 유리 기판(2)에는 그 외주 단부(2a)의 일부가 제거되어 이루어지는 위치 결정부로서의 노치(2aa)가 형성되어 있다. 이 노치(2aa)는 원반 형상 유리 기판(2)을 평면으로 본 경우에 그 방향을 판별하여 위치 결정을 행하기 위해서 형성되는 것이다. 또한, 각 원반 형상 유리 기판(2)은 그 상하면 중 한쪽이 볼록해지도록 만곡된 휨을 갖고 있고, 각 원반 형상 유리 기판(2)에 있어서의 노치(2aa)의 근방에는 SEMI 규격에 의거하여 휨의 방향을 판별하기 위한 마킹(2b)이 실시되어 있다. 이 마킹(2b)은 예를 들면, 레이저의 조사에 의해 원반 형상 유리 기판(2)에 형성되는 다수의 도트로 그려진 문자열 등으로 이루어진다. 그리고, 복수매의 원반 형상 유리 기판(2)은 노치(2aa)의 위치, 및 휨의 방향이 서로 일치된 상태에서 적층되어 있다. 또한, 본 실시형태에서는 각 원반 형상 유리 기판(2)의 상하면 중 하면이 볼록해지도록 일치된 상태에서 복수매의 원반 형상 유리 기판(2)이 적층되어 있다.
여기서, 예를 들면 원반 형상 유리 기판(2)의 30℃~380℃의 온도 범위에 있어서의 평균 열 팽창계수는 상기 원반 형상 유리 기판(2)이 지지하는 반도체 웨이퍼 내에서 반도체 칩의 비율이 적고, 밀봉재의 비율이 많은 경우에는 상승시키는 것이 바람직하고, 반대로 반도체 기판 내에서 반도체 칩의 비율이 많고, 밀봉재의 비율이 적은 경우에는 저하시키는 것이 바람직하다.
그리고, 원반 형상 유리 기판(2)의 30℃~380℃의 온도 범위에 있어서의 평균 열 팽창계수를 0×10-7/℃ 이상, 또한 50×10-7/℃ 미만으로 규제하고 싶은 경우, 원반 형상 유리 기판(2)은 유리 조성으로서 질량%로 SiO2: 55~75%, Al2O3 : 15~30%, Li2O: 0.1~6%, Na2O＋K2O(Na2O와 K2O의 합계량): 0~8%, MgO＋CaO＋SrO＋BaO(MgO, CaO, SrO 및 BaO의 합계량): 0~10%를 함유하는 것이 바람직하고, 또는 SiO2: 55~75%, Al2O3 : 10~30%, Li2O＋Na2O＋K2O(Li2O, Na2O 및 K2O의 합계량): 0~0.3%, MgO＋CaO＋SrO＋BaO: 5~20%를 함유하는 것도 바람직하다.
또한, 원반 형상 유리 기판(2)의 30℃~380℃의 온도 범위에 있어서의 평균 열 팽창계수를 50×10-7/℃ 이상, 또한 70×10-7/℃ 미만으로 규제하고 싶은 경우, 원반 형상 유리 기판(2)은 유리 조성으로서 질량%로 SiO2: 55~75%, Al2O3: 3~15%, B2O3: 5~20%, MgO: 0~5%, CaO: 0~10%, SrO: 0~5%, BaO: 0~5%, ZnO: 0~5%, Na2O: 5~15%, K2O: 0~10%를 함유하는 것이 바람직하고, SiO2: 64~71%, Al2O3: 5~10%, B2O3: 8~15%, MgO: 0~5%, CaO: 0~6%, SrO: 0~3%, BaO: 0~3%, ZnO: 0~3%, Na2O: 5~15%, K2O: 0~5%를 함유하는 것이 보다 바람직하다.
또한, 원반 형상 유리 기판(2)의 30℃~380℃의 온도 범위에 있어서의 평균 열 팽창계수를 70×10-7/℃ 이상, 또한 85×10-7/℃ 이하로 규제하고 싶은 경우, 원반 형상 유리 기판(2)은 유리 조성으로서 질량%로 SiO2: 60~75%, Al2O3: 5~15%, B2O3: 5~20%, MgO: 0~5%, CaO: 0~10%, SrO: 0~5%, BaO: 0~5%, ZnO: 0~5%, Na2O: 7~16%, K2O: 0~8%를 함유하는 것이 바람직하고, SiO2: 60~68%, Al2O3: 5~15%, B2O3: 5~20%, MgO: 0~5%, CaO: 0~10%, SrO: 0~3%, BaO: 0~3%, ZnO: 0~3%, Na2O: 8~16%, K2O: 0~3%를 함유하는 것이 보다 바람직하다.
추가하여, 원반 형상 유리 기판(2)의 30℃~380℃의 온도 범위에 있어서의 평균 열 팽창계수를 85×10-7/℃ 초과, 또한 120×10-7/℃ 이하로 규제하고 싶은 경우, 원반 형상 유리 기판(2)은 유리 조성으로서 질량%로 SiO2: 55~70%, Al2O3: 3~13%, B2O3: 2~8%, MgO: 0~5%, CaO: 0~10%, SrO: 0~5%, BaO: 0~5%, ZnO: 0~5%, Na2O: 10~21%, K2O: 0~5%를 함유하는 것이 바람직하다.
또한, 원반 형상 유리 기판(2)의 30℃~380℃의 온도 범위에 있어서의 평균 열 팽창계수를 120×10-7/℃ 초과, 또한 165×10-7/℃ 이하로 규제하고 싶은 경우, 원반 형상 유리 기판(2)은 유리 조성으로서 질량%로 SiO2: 53~65%, Al2O3: 3~13%, B2O3: 0~5%, MgO: 0.1~6%, CaO: 0~10%, SrO: 0~5%, BaO: 0~5%, ZnO: 0~5%, Na2O＋K2O: 20~40%, Na2O: 12~21%, K2O: 7~21%를 함유하는 것이 바람직하다.
이들과 같이 하면, 원반 형상 유리 기판(2)의 평균 열 팽창계수를 소망의 범위로 규제하기 쉬워짐과 아울러 내실투성이 향상되기 때문에 판 두께의 불균일이 적은 원반 형상 유리 기판(2)을 얻기 쉬워진다.
합지(4)는 예를 들면 펄프 시트, 폴리에틸렌 시트 등으로 이루어진다. 이 합지(4)는 그 형상이 정방형으로 형성되어 있고, 상기 정방형의 한 변의 길이는 원반 형상 유리 기판(2)의 직경과 같은 길이로 되어 있다. 이것에 의해 합지(4)는 원반 형상 유리 기판(2)의 주면(상면, 하면)의 전체면을 덮고, 상기 주면을 찰상의 발생 등으로부터 보호하는 것이 가능하게 되어 있다. 또한, 합지(4)에 있어서의 코너부(정방형의 각에 상당하는 부위)는 원반 형상 유리 기판(2)의 외주 단부(2a)로부터 돌출된 상태로 되어 있다.
여기서, 본 실시형태에서는 보호 시트로서 합지(4)를 사용하고 있지만, 이들에 한정되는 것은 아니고 예를 들면, 보호 시트로서 수지 시트, 필름 등을 사용해도 좋다. 또한, 본 실시형태에서는 합지(4)의 형상이 정방형으로 형성되어 있지만, 이에 한정되는 것이 아니고 임의의 형상으로 형성된 합지(4)를 사용해도 좋다. 또한, 합지(4)는 반드시 원반 형상 유리 기판(2)의 외주 단부(2a)로부터 돌출되어 있을 필요는 없다. 예를 들면, 원반 형상 유리 기판(2)의 주면과 동일한 면적을 갖는 원형의 합지(4)를 사용하고, 원반 형상 유리 기판(2)의 외주 윤곽과 합지(4)의 외주 윤곽이 평면으로 볼 때 겹치도록 해도 좋다.
상자(3)는 복수매의 원반 형상 유리 기판(2)을 내부에 수용하는 상자 본체(3a)와, 상자 본체(3a)를 상방으로부터 덮는 덮개체(3b)를 구비하고 있다. 또한, 상자 본체(3a) 및 덮개체(3b)의 재질로서는 수지, 나무, 종이, 플라스틱 등을 사용하는 것이 가능하다. 상자 본체(3a)와 덮개체(3b)의 양자는 점착 테이프(5)를 통해 고정하는 것이 가능하게 되어 있다.
상자 본체(3a)는 복수매의 원반 형상 유리 기판(2)이 적재되는 저부(3aa)와, 이 저부(3aa)에 연결되고, 또한 각 원반 형상 유리 기판(2)의 외주 단부(2a)를 둘러싸는 측벽부(3ab)를 갖고 있다. 저부(3aa)는 평면으로 볼 때 정방형으로 형성되어 있다. 또한 측벽부(3ab)는 도 3에 나타내는 바와 같이 원반 형상 유리 기판(2)을 평면으로 본 경우에 상기 원반 형상 유리 기판(2)에 외접하는 정방형을 이루고 있다. 이것에 의해 각 원반 형상 유리 기판(2)의 외주 단부(2a)의 일부와, 측벽부(3ab)가 접촉한 상태로 되어 있다. 상세하게는 원반 형상 유리 기판(2)의 외주 단부(2a)와 측벽부(3ab)는 4개의 점(P)에서 접촉하도록 되어 있고, 이 4개의 점(P)은 원반 형상 유리 기판(2)의 둘레방향을 따라 등간격으로 위치하고 있다.
또한, 각 원반 형상 유리 기판(2)은 상기 기판에 있어서의 노치(2aa)가 측벽부(3ab)와 비접촉이 되도록 상자 본체(3a)에 수용(곤포)되어 있다. 상세히 설명하면, 각 원반 형상 유리 기판(2)에 있어서의 노치(2aa)가, 측벽부(3ab)가 이루는 정방형의 각에 면한 배치가 되도록 각 원반 형상 유리 기판(2)이 상자 본체(3a)에 수용(곤포)되어 있다.
상자 본체(3a)의 측벽부(3ab)는 4개의 벽부(3aba~3abd)로 구성되어 있고, 각 벽부(3aba~3abd)는 각각 도 1에 나타내는 세로 놓기 자세로부터 도 4에 나타내는 평평하게 놓기 자세까지 그 자세를 변화시키는 것이 가능하게 되어 있다. 이것에 의해 각 원반 형상 유리 기판(2)의 상자 본체(3a)에의 수용 시, 및 상자 본체(3a)로부터의 인출 시에는 도 4에 나타내는 바와 같이 4개의 벽부(3aba~3abd)를 평평하게 놓기 자세로 하여 상자 본체(3a)를 전개한 상태에서 수용 작업 및 인출 작업을 실행하는 것이 가능하다. 4개의 벽부(3aba~3abd) 중 벽부(3aba) 및 벽부(3abc)에는 그 길이방향의 양단에 구멍(6)이 형성되어 있다. 이것에 대하여 벽부(3abb) 및 벽부(3abd)에는 그 길이방향의 양단에 돌기(7)가 형성되어 있다. 그리고, 각 벽부(3aba~3abd)를 세로 놓기 자세로 함과 아울러 벽부(3abb) 및 벽부(3abd)에 형성된 돌기(7)를 벽부(3aba) 및 벽부(3abc)에 형성된 구멍(6)에 삽입함으로써 도 1에 나타내는 상자 본체(3a)가 조립된 상태로 하는 것이 가능하다. 또한, 4개의 벽부(3aba~3abd)의 각각에 있어서 원반 형상 유리 기판(2)의 외주 단부(2a)에 대향하는 내벽면은 완충재(예를 들면, 발포 스티롤 등)로 구성되어 있다.
덮개체(3b)는 복수매의 원반 형상 유리 기판(2) 중 최상층에 위치하는 원반 형상 유리 기판(2)에 대향하는 상벽부(3ba)를 갖고 있다. 도 2에 나타내는 바와 같이 덮개체(3b)의 상벽부(3ba)와, 최상층에 위치하는 원반 형상 유리 기판(2) 사이에는 완충재로서의 기포 완충재(8)가 충전되어 있다. 또한, 완충재로서는 기포 완충재(8)에 한정되지 않고 수지, 종이, 발포 스티롤 등을 사용해도 좋다.
여기서, 본 실시형태에서는 상자 본체(3a)와 덮개체(3b)의 양자가 점착 테이프(5)를 통해 고정되어 있지만, 이에 한정되는 것이 아니고 상자 본체(3a)와 덮개체(3b)의 양자를 끈으로 묶어 양자의 주위에 고무 밴드를 감거나 해서 고정해도 좋다. 또한, 본 실시형태에서는 상자 본체(3a)의 측벽부(3ab)를 구성하는 4개의 벽부(3aba~3abd)의 전체가 세로 놓기 자세로부터 평평하게 놓기 자세까지 자세를 변화시키는 것이 가능하게 되어 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 4개의 벽부(3aba~3abd)의 일부에 대해서만 자세의 변화가 가능하도록 해도 좋다.
이하, 상기 유리 기판 곤포체(1)를 사용한 경우의 주된 작용·효과에 대하여 설명하다.
상기 유리 기판 곤포체(1)에 의하면 복수매의 원반 형상 유리 기판(2)을 평형하게 놓고 적층함과 아울러 이들의 상호 간에 합지(4)를 개재시키는 것만으로 복수매의 원반 형상 유리 기판(2)을 상자(3)에 의해 곤포할 수 있다. 그 때문에 이들 원반 형상 유리 기판(2)의 곤포에 요하는 비용을 억제하는 것이 가능해진다. 또한, 복수매의 원반 형상 유리 기판(2)이 평평하게 놓여 적층되는 점에서 각 원반 형상 유리 기판(2)의 외주 단부(2a)에 과대한 응력이 작용하는 것도 회피할 수 있다. 그 결과, 외주 단부(2a)를 기점으로 하여 원반 형상 유리 기판(2)이 파손되는 사태의 발생을 적확하게 방지하는 것이 가능해진다.
여기서, 본 발명에 의한 유리 기판 곤포체는 상기 실시형태에서 설명한 구성에 한정되는 것은 아니다. 상기 실시형태에서는 상자 본체의 저부가 평면으로 볼 때 정방형으로 형성되어 있지만, 원형이나 다각형으로 형성되어 있어도 좋다. 마찬가지로 해서, 상기 실시형태에서는 측벽부가 원반 형상 유리 기판을 평면으로 본 경우에 상기 원반 형상 유리 기판에 외접하는 정방형을 이루고 있지만, 원형이나 다각형을 이루도록 해도 좋다.
또한, 상기 실시형태에 의한 유리 기판 곤포체에 대하여 각 원반 형상 유리 기판에 형성된 노치를 보호하기 위해서 노치를 덮도록 보호 테이프를 부착해도 좋다. 이 경우, 복수매의 원반 형상 유리 기판의 각각에 있어서의 노치에 개별적으로 보호 테이프를 부착해도 좋고, 단일의 보호 테이프로 복수매의 원반 형상 유리 기판의 각각에 있어서의 노치를 한꺼번에 덮도록 해도 좋다. 또한, 단일의 보호 테이프로 노치를 한꺼번에 덮는 경우에는 복수매의 원반 형상 유리 기판의 상호 간에 개재시키는 합지로서 원반 형상 유리 기판의 주면과 동일 면적을 갖는 원형의 합지를 사용하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 실시형태에서는 위치 결정부로서의 노치가 형성된 원반 형상 유리 기판을 곤포한 구성으로 되어 있지만, 이에 한정되지 않는다. 도 5에 나타내는 바와 같이, 위치 결정부로서의 오리엔테이션 플랫(2ab)이 형성된 원반 형상 유리 기판(2)을 곤포한 구성으로 해도 좋다. 이 경우, 원반 형상 유리 기판(2)은 상기 기판에 있어서의 오리엔테이션 플랫(2ab)이 측벽부(3ab)와 비접촉이 되도록 상자 본체(3a)에 수용(곤포)되는 것이 바람직하다. 또한, 상기 실시형태에서는 복수매의 원반 형상 유리 기판을 곤포하는 곤포재로서 상자를 사용하고 있지만, 이에 한정되지 않는다. 곤포재로서 자루나 포장지 등을 사용해도 좋다.
1 유리 기판 곤포체 2 원반 형상 유리 기판
2a 외주 단부 2aa 노치
2ab 오리엔테이션 플랫 2b 마킹
3 상자 3a 상자 본체
3aa 저부 3ab 측벽부
3aba 벽부 3abb 벽부
3abc 벽부 3abd 벽부
4 합지 5 점착 테이프
6 구멍 7 돌기
8 기포 완충재 P 점

Claims (10)

  1. 복수매의 원반 형상 유리 기판이 곤포재에 곤포되어 이루어지는 유리 기판 곤포체에 있어서,
    상기 복수매의 원반 형상 유리 기판의 상호 간에 보호 시트를 개재시킨 상태에서 상기 복수매의 원반 형상 유리 기판이 평평하게 놓여 적층되어서 곤포되어 있는 것을 특징으로 하는 유리 기판 곤포체.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 원반 형상 유리 기판이 상기 원반 형상 유리 기판의 위치 결정을 행하기 위해 그 외주 단부의 일부가 제거되어 이루어지는 위치 결정부를 갖는 것을 특징으로 하는 유리 기판 곤포체.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 복수매의 원반 형상 유리 기판이 상기 위치 결정부의 위치를 서로 일치시킨 상태에서 적층되어 있는 것을 특징으로 하는 유리 기판 곤포체.
  4. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 곤포재가 상기 원반 형상 유리 기판의 외주 단부를 둘러싸는 측벽부를 갖고,
    상기 원반 형상 유리 기판은 상기 위치 결정부가 상기 측벽부와 비접촉이 되도록 곤포되어 있는 것을 특징으로 하는 유리 기판 곤포체.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 원반 형상 유리 기판의 외주 단부의 일부가 상기 측벽부와 접촉하고 있는 것을 특징으로 하는 유리 기판 곤포체.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 원반 형상 유리 기판을 평면으로 본 경우에 상기 측벽부가 상기 원반 형상 유리 기판에 외접하는 정방형을 이루는 것을 특징으로 하는 유리 기판 곤포체.
  7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 곤포재가 상기 복수매의 원반 형상 유리 기판 중 최상층에 위치하는 원반 형상 유리 기판에 대향하는 상벽부를 갖고,
    상기 최상층에 위치하는 원반 형상 유리 기판과 상기 상벽부 사이에 완충재가 충전되어 있는 것을 특징으로 하는 유리 기판 곤포체.
  8. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 곤포재가 상자 형상체로 이루어지고, 상기 상자 형상체가 전개가능하게 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 유리 기판 곤포체.
  9. 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 원반 형상 유리 기판이 휨을 갖고,
    상기 복수매의 원반 형상 유리 기판이 상기 휨의 방향을 서로 일치시킨 상태에서 적층되어 있는 것을 특징으로 하는 유리 기판 곤포체.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 원반 형상 유리 기판에 상기 휨의 방향을 판별하기 위한 마킹이 실시되어 있는 것을 특징으로 하는 유리 기판 곤포체.
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