WO2016148276A1 - ホットプレス装置、及び焼結体の製造方法 - Google Patents

ホットプレス装置、及び焼結体の製造方法 Download PDF

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Definitions

  • the present invention relates to a hot press apparatus and a method for manufacturing a sintered body.
  • raw material powder is placed inside a cylindrical mold.
  • the raw material powder is heated by applying pressure to the raw material powder by a pair of press punches arranged at both ends inside the mold, thereby sintering the raw material powder.
  • a sintered compact is manufactured.
  • the outer peripheral portion of the mold is covered with a cylindrical support member so that the mold is not deformed by the pressure generated by the pressing punch.
  • the support member has a rigidity capable of withstanding the pressure, whereby the inside of the mold due to the pressure can be prevented from expanding outward.
  • an embodiment of the present invention is a hot press capable of preventing the occurrence of product defects and improving the yield and improving the material utilization efficiency even when the sintered body to be manufactured is large-sized or large-diameter.
  • An object is to provide an apparatus and a method for producing a sintered body.
  • the first feature is that a cylindrical die, a cylindrical outer sleeve disposed inside the die, and a cylindrical inner sleeve disposed inside the outer sleeve are provided. And a pair of pressing punches for pressing a sample filled in the mold, wherein the inner sleeve has a lower rigidity than the outer sleeve, and the inner sleeve
  • This is a hot press apparatus in which a sheet containing graphite is disposed on the inner side of the mold.
  • a second feature is the hot press device according to (1), wherein the outer sleeve has a hardness of 30 HSD or more.
  • a third feature is a method for manufacturing a sintered body using the hot press device described in (1) or (2) above.
  • FIG. 1 is a diagram illustrating a schematic configuration of a hot press apparatus according to the present embodiment.
  • FIG. 1 shows a schematic configuration of a hot press apparatus according to the present embodiment.
  • This hot press apparatus has a cylindrical die 14, a cylindrical outer sleeve 15 disposed inside the die 14, and a cylindrical inner sleeve 16 disposed inside the outer sleeve 15. 10 and a pair of pressing punches 12 and 13 for pressing the sample 11 filled in the mold 10.
  • the inner sleeve 16 has lower rigidity than the outer sleeve 15, and a graphite sheet member 21 containing graphite is disposed on the inner side of the mold 10 of the inner sleeve 16.
  • the outer sleeve 15 preferably has a hardness of 30 HSD or more, more preferably 40 HSD or more. In this embodiment, a graphite sheet member made of graphite is used.
  • the rigidity is the degree of difficulty of dimensional change (deformation) with respect to bending or twisting force expressed by elastic modulus such as Young's modulus and rigidity, hardness, and the like.
  • the internal dimensions of the mold 10 filled with the sample 11 are assumed to have a diameter of 300 mm or more and a height of 50 mm or more so as to cope with an increase in size or diameter of the sintered body. .
  • the “height” inside the mold 10 is also referred to as the thickness of the sintered body.
  • a cradle 17 for placing the mold 10 is provided.
  • the mold 10 includes a heating unit that heats the sample 11 filled in the mold 10.
  • Spacers 18a and 18b, powder leakage preventing sheets 19a and 19b, and graphite sheet members 20a and 20b are sequentially disposed on the pressing surfaces of the pressing punches 12 and 13 disposed at both ends inside the mold 10, respectively. is doing.
  • the graphite sheet members 20a and 20b made of graphite are preferably provided for better release from the sintered body after hot pressing.
  • a sample 11 is filled into the mold 10 using the hot press apparatus of the present embodiment, and the sample 11 is heated and sintered with a pair of press punches 12 and 13 while being heated. Silicon sintered body) can be manufactured.
  • the sample 11 is not particularly limited, and conventionally known raw material powder (for example, raw material powder for silicon carbide sintered body) can be used. Further, in the hot press apparatus of the present embodiment, the pressure and sintering conditions may be performed under conventionally known conditions.
  • the die 14 has a cylindrical shape with a height of 300 mm or more and a wall thickness of 30 mm or more, and is preferably formed of a carbon fiber reinforced carbon composite material.
  • the outer sleeve 15 inside the die 14 and the inner sleeve 16 inside the outer sleeve 15 are shown as a single layer, but each may have two or more layers.
  • the total thickness of the outer sleeve 15 and the inner sleeve 16 is preferably 20 mm or more and is preferably a graphite member.
  • it is preferable that the outer sleeve 15 and the inner sleeve 16 are divided into cylinders at two or more places in all layers.
  • the inner sleeve 16 is assumed to be less rigid than the outer sleeve 15.
  • the outer sleeve 15 preferably has a hardness of 30 HSD or more.
  • the hot press apparatus of this embodiment can prevent the occurrence of product defects and improve the yield and the material utilization efficiency even when the sintered body to be manufactured is enlarged or has a large diameter.
  • a graphite sheet member 21 having a thickness of 1 mm or less is disposed on the inner side of the mold 10 of the inner sleeve 16 so that the graphite sheet member 21 is in direct contact with the raw material powder, not the inner peripheral surface of the inner sleeve 16. .
  • the outer peripheral portion of the sintered body and the inner peripheral surface of the mold 10, that is, a graphite sheet member The sliding with 21 can be improved, the powder flow and the like can be improved, and the local low density portion can be further prevented from occurring in the outer peripheral portion of the sintered body.
  • the sintered body after hot pressing can be released or released from the mold 10 better. As a result, the occurrence of product defects can be prevented, the yield can be improved, and the material utilization efficiency can be improved.
  • Sheets 19a and 19b for preventing powder leakage preferably have one or more layers of carbon fiber reinforced carbon composites or felt carbon members each having a thickness of 3 mm or more.
  • the shape of the powder leakage preventing sheets 19 a and 19 b is preferably about 0 to 3 mm larger than the diameter of the cross-sectional shape inside the mold 10 or the same shape.
  • the method for producing a sintered body according to the present embodiment is a method for producing a sintered body (for example, a silicon carbide sintered body) using the hot press apparatus according to the present embodiment.
  • the conditions for pressing and sintering are, for example, non-metallic assistants described in JP-A-10-67565 and JP-A-10-163079 filed earlier by the applicant of the present application. What is necessary is just to carry out according to the pressurization and sintering conditions for producing a silicon carbide sintered body by hot press sintering using an agent.
  • Example 1 The hot press apparatus shown in FIG. 1 in which the inside diameter of the mold 10 filled with the sample 11 is 300 mm and a carbon fiber reinforced carbon composite material is used for the die 14 and the spacers 18a and 18b is referred to as Example 1. .
  • a silicon carbide sintered body having a diameter of 300 mm and a height (thickness) of 50 mm was obtained. Even when the pressurization and sintering were repeated, the inner sleeve 16 did not crack.
  • Comparative Example 1 A hot press apparatus similar to that in Example 1 is used as Comparative Example 1 except that the inner sleeve 16 and the outer sleeve 15 have the same high rigidity and the graphite sheet member 21 is not disposed. Using the hot press apparatus of Comparative Example 1, a silicon carbide sintered body having the same dimensions was obtained in the same manner as in Example 1. Cracks occurred in the inner sleeve 16 due to repeated pressurization and sintering.
  • Comparative Example 2 A hot press apparatus similar to that of Example 1 except that the graphite sheet member 21 is not disposed is referred to as Comparative Example 2. Using the hot press apparatus of Comparative Example 2, a silicon carbide sintered body having the same dimensions was obtained in the same manner as in Example 1. Even when the pressurization and sintering were repeated, the inner sleeve 16 did not crack.
  • Table 1 shows the measurement results and evaluation results of the overall density and the local density (minimum value) for the silicon carbide sintered bodies obtained using Example 1 and Comparative Examples 1 and 2.
  • the silicon carbide sintered body obtained in Example 1 has an overall density higher than those of Comparative Examples 1 and 2, and the overall density and the local density of the outer peripheral portion. The difference is extremely smaller than Comparative Examples 1 and 2. Good product evaluation. Therefore, it can be seen that the hot press apparatus of Example 1 sufficiently prevents the occurrence of a local low density portion in the outer peripheral portion of the sintered body as compared with Comparative Examples 1 and 2. This prevention effect is achieved by improving the powder flow at the outer peripheral portion of the sintered body by improving the sliding between the outer peripheral portion of the sintered body and the inner peripheral surface of the mold 10 by the graphite sheet member 21, and the inner sleeve 16. This is thought to be due to the prevention of cracking. By making the sliding between the outer peripheral portion of the sintered body and the inner peripheral surface of the mold 10 better, the sintered body after hot pressing can be released or removed from the mold 10 more favorably, resulting in product defects. Can be further prevented.
  • the silicon carbide sintered body obtained in Comparative Example 1 has an overall density lower than that of Example 1 and Comparative Example 2, and the difference between the overall density and the local density at the outer peripheral portion was also carried out. It is larger than Example 1 and Comparative Example 2. It is also bad as a product evaluation. This is because when the inner sleeve 16 is cracked, a sintered body enters the crack of the inner sleeve 16 and a resistance force that hinders the forming of the sintered body is generated. This is considered to be due to the occurrence of local low density portions in the outer periphery of the body.
  • the powder flow is not improved at the outer peripheral portion of the sintered body, which is also localized at the outer peripheral portion of the sintered body. This is considered to be a factor in generating a low density portion.
  • the occurrence of cracks in the inner sleeve 16 may cause foreign matters to be mixed and loss of the sample 11 (raw material powder), resulting in product defects.
  • the silicon carbide sintered body obtained in Comparative Example 2 has a higher overall density than Comparative Example 1, it is lower than Example 1. Further, the difference between the density as a whole and the local density at the outer peripheral portion is also smaller than that of Comparative Example 1, but larger than that of Example 1. This is because the powder flow is not sufficiently improved at the outer peripheral portion of the sintered body because the graphite sheet member 21 is not disposed on the inner peripheral surface of the inner sleeve 16, and local low in the outer peripheral portion of the sintered body. This is probably due to the density part.
  • the inner sleeve 16 has lower rigidity than the outer sleeve 15, and the graphite sheet member 21 is disposed on the inner side of the mold 10 of the inner sleeve 16.
  • the hot press apparatus of Example 1 has a local low density on the outer periphery of the sintered body even when the sintered body to be manufactured is enlarged or has a large diameter (diameter 300 mm, height (thickness) 50 mm). It is possible to prevent the occurrence of the part.
  • the hot press apparatus of Example 1 can prevent the occurrence of product defects and improve the yield and improve the material utilization efficiency even when the sintered body to be manufactured is large-sized or large-diameter. .
  • the present invention even when the sintered body to be manufactured is enlarged or large-diametered, it is possible to prevent the occurrence of product defects, improve the yield, and improve the material utilization efficiency.

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Abstract

　ホットプレス装置は、筒状のダイスと、ダイスの内側に配設された筒状の外スリーブと、外スリーブの内側に配設された筒状の内スリーブとを有するモールドと、モールドの内部に充填される試料を押圧するための一対の押圧パンチとを備えている。内スリーブは、外スリーブよりも剛性が低く、内スリーブのモールドの内部側に、黒鉛を含む黒鉛シート部材を配設している。外スリーブの硬度は３０ＨＳＤ以上であることが好ましい。

Description

ホットプレス装置、及び焼結体の製造方法
　本発明は、ホットプレス装置、及び焼結体の製造方法に関する。
　従来、両端部が開口した筒状のモールドを有するホットプレス装置を用いて、焼結体の原料となる原料粉体に圧力をかけながら加熱する焼結体の製造方法が知られている（特許文献１参照）。
　ホットプレス装置を用いた焼結体の製造方法では、まず、筒状のモールドの内部に原料粉体を配置する。モールド内部の両端部に配置された一対の押圧パンチによって、原料粉体に圧力をかけながら加熱し、原料粉体を焼結する。これによって、焼結体が製造される。押圧パンチによって生じる圧力によりモールドが変形しないように、焼結体の製造時において、モールド外周部は、筒状の支持部材に覆われている。支持部材は、圧力に耐えられる剛性を有しており、これにより、圧力によるモールド内部が外側へ膨らむことを抑制できる。
特開２００１―４８６５９号公報
　炭化ケイ素部材等の焼結体においては、近年大型化（大口径化）が進んでいる。このため、従来のホットプレス装置を用いた製造方法では、焼結体外周部において粉流れが悪い状態が発生することや、モールド内周部に割れが発生すること、さらには、焼結体とモールド内部との離形が悪い場合があった。このため、歩留まりの向上が難しかった。焼結体外周部において粉流れが悪い状態の発生や、モールド内周部の割れの発生により、焼結体外周部に局所的な低密度部分が発生することがあった。このため、製品不良につながる場合があった。
　そこで、本発明の実施形態は、製造する焼結体が大型化又は大口径化した場合であっても、製品不良の発生を防止し、歩留まりを向上させて材料利用効率の改善を図れるホットプレス装置、及び焼結体の製造方法を提供することを目的とする。
　上述した課題を解決するため、本発明の実施形態は、次のような特徴を有する。
（１）まず、第１の特徴は、筒状のダイスと、前記ダイスの内側に配設された筒状の外スリーブと、前記外スリーブの内側に配設された筒状の内スリーブとを有するモールドと、前記モールドの内部に充填される試料を押圧するための一対の押圧パンチとを備えたホットプレス装置であって、前記内スリーブは、前記外スリーブよりも剛性が低く、前記内スリーブの前記モールドの内部側に、黒鉛を含むシートを配設したホットプレス装置である。
（２）第２の特徴は、前記外スリーブの硬度が３０ＨＳＤ以上である上記（１）に記載のホットプレス装置である。
（３）第３の特徴は、上記（１）または（２）に記載のホットプレス装置を用いて、焼結体を製造する焼結体の製造方法である。
　本発明の実施形態によれば、製品不良の発生を防止し、歩留まりを向上させて材料利用効率の改善を図れるホットプレス装置、及び焼結体の製造方法を提供することができる。
図１は、本実施形態に係るホットプレス装置の概略構成を示す図である。
　以下、本発明の実施形態に係るホットプレス装置、及び焼結体の製造方法について説明する。図１に、本実施形態に係るホットプレス装置の概略構成を示す。このホットプレス装置は、筒状のダイス１４と、ダイス１４の内側に配設された筒状の外スリーブ１５と、外スリーブ１５の内側に配設された筒状の内スリーブ１６とを有するモールド１０と、モールド１０の内部に充填される試料１１を押圧するための一対の押圧パンチ１２、１３とを備えている。内スリーブ１６は、外スリーブ１５よりも剛性が低く、内スリーブ１６のモールド１０の内部側に、黒鉛を含む黒鉛シート部材２１を配設している。外スリーブ１５の硬度は３０ＨＳＤ以上であることが好ましく、さらに好ましくは４０ＨＳＤ以上である。なお、本実施形態では黒鉛からなる黒鉛シート部材を用いる。
　なお、ここでの剛性とは、ヤング率や剛性率などの弾性率や硬度等で表される、曲げやねじりの力に対する、寸法変化（変形）のしづらさの度合いのことである。
　また、試料１１の充填されるモールド１０の内部の寸法は、焼結体の大型化又は大口径化に対応できるように、本実施形態では、直径３００ｍｍ以上、高さ５０ｍｍ以上を想定している。なお、モールド１０の内部の「高さ」は焼結体としては厚みとも呼ぶ。
　モールド１０の端部には、モールド１０を配置するための受け台１７を備える。また、図示しないが、モールド１０には、モールド１０内部に充填された試料１１を加熱する加熱手段を備えている。
　モールド１０内部の両端部に配置されている押圧パンチ１２、１３の押圧面には、それぞれスペーサー１８ａ、１８ｂと、粉漏れ防止用シート１９ａ、１９ｂと、黒鉛シート部材２０ａ、２０ｂとを順次配設している。黒鉛からなる黒鉛シート部材２０ａ、２０ｂは、ホットプレス後の焼結体との離型をより良好にさせる目的で設けることが好ましい。
　本実施形態のホットプレス装置を用いて、モールド１０の内部に試料１１を充填し、試料１１を加熱しながら、一対の押圧パンチ１２、１３により加圧焼結することにより焼結体(例えば炭化ケイ素焼結体)を製造することができる。
　本実施形態のホットプレス装置において、試料１１としては、特に限定はなく、従来公知の原料粉体(例えば炭化ケイ素焼結体用の原料粉体)を用いることができる。また、本実施形態のホットプレス装置において、加圧・焼結の条件は、従来公知の条件で行えばよい。
　ダイス１４は、高さ３００ｍｍ以上、肉厚３０ｍｍ以上の円筒形状であり、炭素繊維強化炭素複合材で形成されることが好ましい。ダイス１４の内側の外スリーブ１５と、その外スリーブ１５よりも内側の内スリーブ１６とは、図示したものは一層であるが、それぞれ２層以上としてもよい。外スリーブ１５と内スリーブ１６との厚みは合計で２０ｍｍ以上で黒鉛部材であることが好ましい。また、外スリーブ１５と内スリーブ１６とは、全ての層において２ヵ所以上で円筒が分断されていることが好ましい。
　内スリーブ１６は、外スリーブ１５よりも剛性が低いものとする。外スリーブ１５の硬度は３０ＨＳＤ以上であることが好ましい。内スリーブ１６を外スリーブ１５よりも剛性の低いものとすることにより、製造する焼結体が大型化又は大口径化（例えば、直径３００ｍｍ以上、かつ高さ又は厚み５０ｍｍ以上）した場合も、加圧・焼結を繰り返しても、内スリーブ１６の割れを防止できる。これにより、内スリーブ１６の割れに焼結体が入り込むことによる、焼結体の成形を阻害する抵抗力が発生しなくなり、内スリーブ１６の割れ近傍の焼結体外周部における局所的な低密度部分の発生を防止できる。さらには、内スリーブ１６の割れ防止により、異物の混入や原料粉体(試料１１)の損失も防止できる。従って、本実施形態のホットプレス装置は、製造する焼結体が大型化又は大口径化した場合においても、製品不良の発生を防止し、歩留まりを向上させて材料利用効率の改善を図れる。
　内スリーブ１６のモールド１０の内部側には、厚さ１ｍｍ以下の黒鉛シート部材２１を配置し、内スリーブ１６の内周面ではなく、この黒鉛シート部材２１が原料粉体に直接接するようにした。これにより、焼結体が大型化又は大口径化（例えば、直径３００ｍｍ以上、かつ高さ(厚み)５０ｍｍ以上）しても、焼結体外周部とモールド１０の内周面、即ち黒鉛シート部材２１との滑りがよくなり、粉流れ等を改善でき、焼結体外周部に局所的な低密度部分が発生することをより一層防止できる。さらには、ホットプレス後の焼結体をモールド１０からより良好に離型又は脱型できる。これにより、製品不良の発生を防止し、歩留まりを向上させて材料利用効率の改善を図れる。
　粉漏れ防止用シート１９ａ、１９ｂは、それぞれ厚み３ｍｍ以上の炭素繊維強化炭素複合材またはフェルト炭素部材を１層以上配置したものが好ましい。粉漏れ防止用シート１９ａ、１９ｂの形状は、モールド１０の内部の断面形状の直径よりも、０～３ｍｍ程度大きい形状、或いは同じ形状であることがよい。これにより、押圧パンチ１２、１３で試料を加圧したときに、ある程度潰れて広がり、モールド１０の内周面つまり内壁に良好に圧着し、効果的に粉漏れを防止することができる。その結果、歩留まり、得られる焼結体の性能を向上させ、さらには部材（モールド類、押圧パンチ等）の汚れ、あるいは変形を防止することができる。
　本実施形態の焼結体の製造方法は、前記本実施形態のホットプレス装置を用いて、焼結体(例えば炭化ケイ素焼結体)を製造する方法である。
　本実施形態の焼結体の製造方法において、加圧・焼結の条件は、例えば、本願出願人が先に出願した特開平１０－６７５６５号、特開平１０－１６３０７９号に記載の非金属助剤を用いてホットプレス焼結させて炭化ケイ素焼結体を製造する加圧・焼結の条件に従って行えばよい。
　次に、ホットプレス装置の実施例及び比較例について説明する。なお、本発明は、これらの例によって何ら限定されるものではない。
　（実施例１）
　試料１１の充填されるモールド１０の内部の直径を３００ｍｍとし、ダイス１４とスペーサー１８ａ、１８ｂとには、炭素繊維強化炭素複合材を用いた、図１に示すホットプレス装置を実施例１とする。この実施例１のホットプレス装置を用いて、直径３００ｍｍ、高さ(厚み)５０ｍｍの炭化ケイ素焼結体を得た。加圧及び焼結を繰り返しても、内スリーブ１６に割れは発生しなかった。
　（比較例１）
　内スリーブ１６と外スリーブ１５とには同程度に剛性が高いものを使用し、黒鉛シート部材２１を配置していない以外は実施例１と同様のホットプレス装置を比較例１とする。この比較例１のホットプレス装置を用いて、実施例１の場合と同様にして同寸法の炭化ケイ素焼結体を得た。加圧及び焼結の繰り返しにより、内スリーブ１６に割れが発生した。
　（比較例２）
　黒鉛シート部材２１を配置していない以外は実施例１と同様のホットプレス装置を比較例２とする。この比較例２のホットプレス装置を用いて、実施例１の場合と同様にして同寸法の炭化ケイ素焼結体を得た。加圧及び焼結を繰り返しても、内スリーブ１６に割れは発生しなかった。
　実施例１、比較例１、２を用いて得られた炭化ケイ素焼結体について、全体としての密度と、局所としての密度(minimum値)との測定結果と、評価結果を表１に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
　表１に示す通り、実施例１で得られた炭化ケイ素焼結体は、全体としての密度が比較例１、２よりも高く、かつ、全体としての密度と外周部の局所での密度との差が、比較例１、２よりも極めて小さい。製品評価としても良好である。よって、実施例１のホットプレス装置は、比較例１、２よりも焼結体外周部に局所的な低密度部分が発生することを十分に防止していることがわかる。この防止効果は、黒鉛シート部材２１によって焼結体外周部とモールド１０の内周面との滑りを良好にしたことにより、焼結体外周部の粉流れを改善したことと、内スリーブ１６の割れを防止したこととによるものと考える。焼結体外周部とモールド１０の内周面との滑りを良好にしたことにより、さらには、ホットプレス後の焼結体をモールド１０からより良好に離型又は脱型でき、製品不良の発生をより一層防止できる。
　比較例１で得られた炭化ケイ素焼結体は、全体としての密度が実施例１、比較例２よりも低く、かつ、全体としての密度と外周部の局所での密度との差も、実施例１、比較例２よりも大きい。製品評価としても不良である。これは、内スリーブ１６に割れが発生したことにより、内スリーブ１６の割れに焼結体が入り込み、焼結体の成形を阻害する抵抗力が発生して、内スリーブ１６の割れ近傍の焼結体外周部において局所的な低密度部分が発生したことによるものと考える。さらには、内スリーブ１６の内周面に黒鉛シート部材２１が配置されていなことにより、焼結体外周部で粉流れが改善されておらず、このことも、焼結体外周部において局所的な低密度部分が発生することの要因になっていると考える。また、内スリーブ１６の割れの発生は、異物の混入や試料１１(原料粉体)の損失を誘発させることがあり、製品不良の原因となる。
　比較例２で得られた炭化ケイ素焼結体は、全体としての密度が比較例１よりは高いものの、実施例１よりは低い。また、全体としての密度と外周部の局所での密度との差も、比較例１よりは小さいものの、実施例１よりは大きい。これは、内スリーブ１６の内周面に黒鉛シート部材２１が配置されていなことにより、焼結体外周部で粉流れが十分に改善されておらず、焼結体外周部において局所的な低密度部分が発生したことによるためと考える。
　このように、実施例１のホットプレス装置は、内スリーブ１６を外スリーブ１５よりも剛性が低いものとし、内スリーブ１６のモールド１０の内部側に黒鉛シート部材２１を配設した。これにより、内スリーブ１６の割れを防止できると共に、焼結体外周部とモールド１０の内周面との滑りを良好にできる。これにより、実施例１のホットプレス装置は、製造する焼結体が大型化又は大口径化（直径３００ｍｍ、高さ(厚み)５０ｍｍ）した場合も、焼結体外周部に局所的な低密度部分が発生することを防止できる。さらには、異物の混入や試料１１(原料粉体)の損失を防止できると共に、ホットプレス後の焼結体をモールド１０からより良好に離型又は脱型できる。従って、実施例１のホットプレス装置は、製造する焼結体が大型化又は大口径化した場合であっても、製品不良の発生を防止し、歩留まりを向上させて材料利用効率の改善を図れる。
　本出願は、２０１５年３月１８日に出願された日本国特許出願第２０１５－０５４３４６号に基づく優先権を主張しており、この出願の全内容が参照により本願明細書に組み込まれる。
　本発明によれば、製造する焼結体が大型化又は大口径化した場合であっても、製品不良の発生を防止し、歩留まりを向上させて材料利用効率の改善を図ることができる。
１０　モールド
１１　試料
１２、１３　押圧パンチ
１４　ダイス
１５　外スリーブ
１６　内スリーブ
１７　受け台
１８ａ、１８ｂ　スペーサー
１９ａ、１９ｂ　粉漏れ防止用シート
２０ａ、２０ｂ　黒鉛シート部材
２１　黒鉛シート部材

Claims (3)

  1. 　筒状のダイスと、前記ダイスの内側に配設された筒状の外スリーブと、前記外スリーブの内側に配設された筒状の内スリーブとを有するモールドと、
    　前記モールドの内部に充填される試料を押圧するための一対の押圧パンチとを備えたホットプレス装置であって、
    　前記内スリーブは、前記外スリーブよりも剛性が低く、
    　前記内スリーブの前記モールドの内部側に、黒鉛を含むシートを配設した
    ことを特徴とするホットプレス装置。
  2. 　前記外スリーブの硬度が３０ＨＳＤ以上であることを特徴とする請求項１に記載のホットプレス装置。
  3. 　請求項１または２に記載のホットプレス装置を用いて、焼結体を製造することを特徴とする焼結体の製造方法。
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