JP2001048659A - ホットプレス装置、及びこれを用いた炭化ケイ素焼結体の製造方法 - Google Patents
ホットプレス装置、及びこれを用いた炭化ケイ素焼結体の製造方法Info
- Publication number
- JP2001048659A JP2001048659A JP11219505A JP21950599A JP2001048659A JP 2001048659 A JP2001048659 A JP 2001048659A JP 11219505 A JP11219505 A JP 11219505A JP 21950599 A JP21950599 A JP 21950599A JP 2001048659 A JP2001048659 A JP 2001048659A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hot press
- powder
- mold
- sample
- sintered body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 粉漏れを防止し、歩留まり、得られる焼結体
の性能を向上させ、部材（モールド類、押圧パンチ等）
を保護することができるホットプレス装置、及びそれを
用いた炭化ケイ素焼結体の製造方法を提供すること。 【解決手段】 筒状のモールドと、モールド内部の両端
部に配置され、モールド内部に充填された試料を押圧す
る一対の押圧パンチとを備え、前記試料と、前記一対の
押圧パンチの少なくとも一方との間に、炭化繊維材料か
らなる粉漏れ防止用シートを配設することを特徴とする
ホットプレス装置、及びそれを用いた炭化ケイ素焼結体
の製造方法である。
の性能を向上させ、部材（モールド類、押圧パンチ等）
を保護することができるホットプレス装置、及びそれを
用いた炭化ケイ素焼結体の製造方法を提供すること。 【解決手段】 筒状のモールドと、モールド内部の両端
部に配置され、モールド内部に充填された試料を押圧す
る一対の押圧パンチとを備え、前記試料と、前記一対の
押圧パンチの少なくとも一方との間に、炭化繊維材料か
らなる粉漏れ防止用シートを配設することを特徴とする
ホットプレス装置、及びそれを用いた炭化ケイ素焼結体
の製造方法である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、セラミックス等の
原料となる粉体材料（以下、単に「試料」という。）を
加熱しながら加圧焼結するホットプレス装置、及びこれ
を用いた炭化ケイ素焼結体の製造方法に関するものであ
る。
原料となる粉体材料（以下、単に「試料」という。）を
加熱しながら加圧焼結するホットプレス装置、及びこれ
を用いた炭化ケイ素焼結体の製造方法に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来から、セラミック材料は、電子材
料、磁性材料、光学材料、超硬材料、及び高温材料とし
て注目され利用されてきている。このようなセラミック
材料の焼結に際しては、近年、加圧焼結法が登場してお
り、開発、研究が盛んに行われている。
料、磁性材料、光学材料、超硬材料、及び高温材料とし
て注目され利用されてきている。このようなセラミック
材料の焼結に際しては、近年、加圧焼結法が登場してお
り、開発、研究が盛んに行われている。
【０００３】加圧焼結法は、常温焼結法に比べて、1)焼
結時の緻密化温度が低下すること、2)焼結温度の低下に
伴い均一で粒子径が小さく、かつ理論密度をもった焼結
体を作成できるという利点がある。また、常圧焼結では
作製不能あるいは困難なものも作製することが可能とな
る。
結時の緻密化温度が低下すること、2)焼結温度の低下に
伴い均一で粒子径が小さく、かつ理論密度をもった焼結
体を作成できるという利点がある。また、常圧焼結では
作製不能あるいは困難なものも作製することが可能とな
る。
【０００４】加圧焼結法の１つとして、ホットプレス法
が挙げられる。ホットプレス法は、試料を一軸加圧する
方法である。通常、ホットプレス法では、試料を前成形
をした後に焼結するが、この方式はホットプレス時の押
圧印加時にクラックが発生しやすい。特に焼結中に液相
を持たないセラミクス（Ｓｉ3Ｎ4、ＳｉＣ等）では焼結
初期に発生したクラックが最後まで残存するため前成形
では不良品となるリスクが大きい。
が挙げられる。ホットプレス法は、試料を一軸加圧する
方法である。通常、ホットプレス法では、試料を前成形
をした後に焼結するが、この方式はホットプレス時の押
圧印加時にクラックが発生しやすい。特に焼結中に液相
を持たないセラミクス（Ｓｉ3Ｎ4、ＳｉＣ等）では焼結
初期に発生したクラックが最後まで残存するため前成形
では不良品となるリスクが大きい。
【０００５】そのため、このようなリスクを回避すべ
く、試料を前成形せず、粉の状態でホットプレス装置の
炉（モールド）内にセットし、焼結する方式も行われて
いる。
く、試料を前成形せず、粉の状態でホットプレス装置の
炉（モールド）内にセットし、焼結する方式も行われて
いる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ホットプレス装置で、試料を粉の状態でセットする方式
でホットプレスを行うと、押圧印加時に粉漏れが発生
し、これに伴い、歩留まりの悪化、部材（モールド類、
押圧パンチ等）の汚れ或いは変形、如いては得られる焼
結体の性能をも悪化（例えば、密度、強度の悪化、圧さ
ムラ等）させるという問題があった。
ホットプレス装置で、試料を粉の状態でセットする方式
でホットプレスを行うと、押圧印加時に粉漏れが発生
し、これに伴い、歩留まりの悪化、部材（モールド類、
押圧パンチ等）の汚れ或いは変形、如いては得られる焼
結体の性能をも悪化（例えば、密度、強度の悪化、圧さ
ムラ等）させるという問題があった。
【０００７】従って、本発明は、上記問題を解決すべく
成されたもので、粉漏れを防止し、歩留まり、得られる
焼結体の性能を向上させ、部材（モールド類、押圧パン
チ等）を保護することができるホットプレス装置、及び
炭化ケイ素焼結体の製造方法の提供を目的とする。
成されたもので、粉漏れを防止し、歩留まり、得られる
焼結体の性能を向上させ、部材（モールド類、押圧パン
チ等）を保護することができるホットプレス装置、及び
炭化ケイ素焼結体の製造方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】本発明者等は、前記従来
における問題について鋭意検討した結果、本発明を完成
するに至った。即ち、本発明は、
における問題について鋭意検討した結果、本発明を完成
するに至った。即ち、本発明は、
【０００８】＜１＞筒状のモールドと、モールド内部の
両端部に配置され、モールド内部に充填された試料を押
圧する一対の押圧パンチとを備え、前記試料と、前記一
対の押圧パンチの少なくとも一方との間に、炭化繊維材
料からなる粉漏れ防止用シートを配設することを特徴と
するホットプレス装置である。
両端部に配置され、モールド内部に充填された試料を押
圧する一対の押圧パンチとを備え、前記試料と、前記一
対の押圧パンチの少なくとも一方との間に、炭化繊維材
料からなる粉漏れ防止用シートを配設することを特徴と
するホットプレス装置である。
【０００９】＜２＞炭化繊維材料からなる粉漏れ防止用
シートの密度が、０．０１〜０．４ｇ／ｃｍ3であるこ
とを特徴とする前記＜１＞に記載のホットプレス装置で
ある。
シートの密度が、０．０１〜０．４ｇ／ｃｍ3であるこ
とを特徴とする前記＜１＞に記載のホットプレス装置で
ある。
【００１０】＜３＞炭化繊維材料からなる粉漏れ防止用
シートが、カーボンフェルト、カーボンクロス、カーボ
ンペーパー、又はこれらの積層体であることを特徴とす
る前記＜１＞又は＜２＞のいずれかに記載のホットプレ
ス装置である。
シートが、カーボンフェルト、カーボンクロス、カーボ
ンペーパー、又はこれらの積層体であることを特徴とす
る前記＜１＞又は＜２＞のいずれかに記載のホットプレ
ス装置である。
【００１１】＜４＞炭化繊維材料からなる粉漏れ防止用
シートが、カーボンフェルトであることを特徴とする前
記＜３＞に記載のホットプレス装置である。
シートが、カーボンフェルトであることを特徴とする前
記＜３＞に記載のホットプレス装置である。
【００１２】＜５＞炭化繊維材料からなる粉漏れ防止用
シートの厚さが、２〜１５ｍｍであることを特徴とする
前記＜１＞〜＜４＞のいずれかに記載のホットプレス装
置である。
シートの厚さが、２〜１５ｍｍであることを特徴とする
前記＜１＞〜＜４＞のいずれかに記載のホットプレス装
置である。
【００１３】＜６＞前記＜１＞〜＜５＞のいずれかに記
載のホットプレス装置を用いて、炭化ケイ素焼結体を製
造することを特徴とする炭化ケイ素焼結体の製造方法で
ある。
載のホットプレス装置を用いて、炭化ケイ素焼結体を製
造することを特徴とする炭化ケイ素焼結体の製造方法で
ある。
【００１４】本発明のホットプレス装置は、試料と押圧
パンチとの間に介在させることにより、粉漏れを防止す
ることができ、その結果、歩留まり、得られる焼結体の
性能を向上させ、さらには部材（モールド類、押圧パン
チ等）の汚れ或いは変形を防止させることができる。
パンチとの間に介在させることにより、粉漏れを防止す
ることができ、その結果、歩留まり、得られる焼結体の
性能を向上させ、さらには部材（モールド類、押圧パン
チ等）の汚れ或いは変形を防止させることができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】本発明のホットプレス装置は、筒
状のモールドと、モールド内部の両端部に配置され、モ
ールド内部に充填された試料を押圧する一対の押圧パン
チとを備え、前記試料と、前記一対の押圧パンチの少な
くとも一方との間に、炭化繊維材料からなる粉漏れ防止
用シートが配設する。
状のモールドと、モールド内部の両端部に配置され、モ
ールド内部に充填された試料を押圧する一対の押圧パン
チとを備え、前記試料と、前記一対の押圧パンチの少な
くとも一方との間に、炭化繊維材料からなる粉漏れ防止
用シートが配設する。
【００１６】前記炭化繊維材料からなる粉漏れ防止用シ
ート（以下、単に「粉漏れ防止用シート」という。
ート（以下、単に「粉漏れ防止用シート」という。
【００１７】前記粉漏れ防止用シートの密度は、好まし
くは０．０１〜０．４ｇ／ｃｍ3であり、より好ましく
は０．０１〜０．３ｇ／ｃｍ3であり、さらに好ましく
は、０．０３〜０．１ｇ／ｃｍ3である。
くは０．０１〜０．４ｇ／ｃｍ3であり、より好ましく
は０．０１〜０．３ｇ／ｃｍ3であり、さらに好ましく
は、０．０３〜０．１ｇ／ｃｍ3である。
【００１８】前記粉漏れ防止用シートの密度が、０．０
１ｇ／ｃｍ3未満であると、炭素繊維の隙間から粉体が
もれる場合があり、また、これを防止するため厚さを増
加させると、粉体の充填量が低下する場合がある。一
方、０．４ｇ／ｃｍ3を超えると、材料自体の柔軟性が
なくなり、シートとモールドとの間に隙間ができ易くな
り、この隙間から粉体がもれだす場合がある。
１ｇ／ｃｍ3未満であると、炭素繊維の隙間から粉体が
もれる場合があり、また、これを防止するため厚さを増
加させると、粉体の充填量が低下する場合がある。一
方、０．４ｇ／ｃｍ3を超えると、材料自体の柔軟性が
なくなり、シートとモールドとの間に隙間ができ易くな
り、この隙間から粉体がもれだす場合がある。
【００１９】前記粉漏れ防止用シートとして具体的に
は、カーボンフェルト、カーボンクロス、カーボンペー
パー、又はこれらの積層体等が挙げられ、特に好ましく
はカーボンフェルトである。
は、カーボンフェルト、カーボンクロス、カーボンペー
パー、又はこれらの積層体等が挙げられ、特に好ましく
はカーボンフェルトである。
【００２０】前記粉漏れ防止用シートの形状は、モール
ドの内径の断面形状よりも、０〜３ｍｍ程度の大きい形
状、或いは同じ形状であることがよい。これにより、押
圧パンチで試料を加圧したときに、ある程度潰れて広が
り、モールドの内壁に良好に圧着し、効果的に粉漏れを
防止することができる。また、モールドの内径の断面形
状よりも大きすぎると、粉漏れ防止用シートにシワがで
きて、均一に加圧できなくなるため、好ましくない。
ドの内径の断面形状よりも、０〜３ｍｍ程度の大きい形
状、或いは同じ形状であることがよい。これにより、押
圧パンチで試料を加圧したときに、ある程度潰れて広が
り、モールドの内壁に良好に圧着し、効果的に粉漏れを
防止することができる。また、モールドの内径の断面形
状よりも大きすぎると、粉漏れ防止用シートにシワがで
きて、均一に加圧できなくなるため、好ましくない。
【００２１】前記粉漏れ防止用シートの厚さは、好まし
くは２〜１５ｍｍであり、より好ましくは３〜１０ｍｍ
である。この厚さが、２ｍｍ未満であると、加圧したと
きに潰れて広がり難くなり、粉漏れを十分に防止するこ
とができない場合があり、一方、１５ｍｍを超えると、
試料の最大充填量が少なくなるばかりでなく、粉漏れ防
止用シート１枚あたりの単価が高くなりコストアップに
つながる場合がある。
くは２〜１５ｍｍであり、より好ましくは３〜１０ｍｍ
である。この厚さが、２ｍｍ未満であると、加圧したと
きに潰れて広がり難くなり、粉漏れを十分に防止するこ
とができない場合があり、一方、１５ｍｍを超えると、
試料の最大充填量が少なくなるばかりでなく、粉漏れ防
止用シート１枚あたりの単価が高くなりコストアップに
つながる場合がある。
【００２２】前記粉漏れ防止用シートは、ホットプレス
後の試料との離型を良好にさせる目的で、試料と接する
側にグラフフォイルを積層することが好ましい。
後の試料との離型を良好にさせる目的で、試料と接する
側にグラフフォイルを積層することが好ましい。
【００２３】前記粉漏れ防止用シートは、試料と押圧パ
ンチとの間に介在させることで、押圧パンチで試料を加
圧したときに、粉漏れ防止用シートが炭素繊維材料から
なるため、ある程度潰れて広がり、モールド内壁に圧着
される。これにより、粉漏れを防止しすることができ、
その結果、歩留まり、得られるセラミックの性能を向上
させ、さらには部材（モールド類、押圧パンチ等）の汚
れ或いは変形を防止することができる。粉漏れが起こる
と、試料の押圧面が不均一となり、試料を均一に加圧で
きなくなるため、密度、強度の低下或いはムラ、厚みム
ラ等が生じたり、押圧パンチをいためたりすると推測さ
れる。
ンチとの間に介在させることで、押圧パンチで試料を加
圧したときに、粉漏れ防止用シートが炭素繊維材料から
なるため、ある程度潰れて広がり、モールド内壁に圧着
される。これにより、粉漏れを防止しすることができ、
その結果、歩留まり、得られるセラミックの性能を向上
させ、さらには部材（モールド類、押圧パンチ等）の汚
れ或いは変形を防止することができる。粉漏れが起こる
と、試料の押圧面が不均一となり、試料を均一に加圧で
きなくなるため、密度、強度の低下或いはムラ、厚みム
ラ等が生じたり、押圧パンチをいためたりすると推測さ
れる。
【００２４】本発明のホットプレス装置を具体的に説明
する。図１は、本発明のホットプレス装置の１例を示す
概略構成図である。図１に示すホットプレス装置は、円
筒状のモールド１０と、モールド１０内部の両端部に配
置され、モールド１０内部に充填された試料１１を押圧
する一対の押圧パンチ１２、１３とを備える。また、図
示しないが、モールド１０内部に充填された試料１１を
加熱する加熱手段を備える。
する。図１は、本発明のホットプレス装置の１例を示す
概略構成図である。図１に示すホットプレス装置は、円
筒状のモールド１０と、モールド１０内部の両端部に配
置され、モールド１０内部に充填された試料１１を押圧
する一対の押圧パンチ１２、１３とを備える。また、図
示しないが、モールド１０内部に充填された試料１１を
加熱する加熱手段を備える。
【００２５】モールド１０は、円筒状のダイス１４と、
ダイス１４の内側に配設される外スリーブ１５と、さら
に外スリーブ１５の内側に配設される内スリーブ１６と
から構成される。また、モールド１０の端部には、受け
台１７を備える。
ダイス１４の内側に配設される外スリーブ１５と、さら
に外スリーブ１５の内側に配設される内スリーブ１６と
から構成される。また、モールド１０の端部には、受け
台１７を備える。
【００２６】押圧パンチ１２、１３の押圧面には、スペ
ーサー１８と、前記粉漏れ防止用シート１９と、グラフ
フォイル２０とを順次配設してなる。
ーサー１８と、前記粉漏れ防止用シート１９と、グラフ
フォイル２０とを順次配設してなる。
【００２７】本発明のホットプレス装置を用いて、モー
ルド１０の内部に試料１１を充填し、試料１１を加熱し
ながら、一対の押圧パンチ１２、１３により加圧焼結す
ることによりセラミック材料を製造することができる。
ルド１０の内部に試料１１を充填し、試料１１を加熱し
ながら、一対の押圧パンチ１２、１３により加圧焼結す
ることによりセラミック材料を製造することができる。
【００２８】本発明のホットプレス装置において、試料
としては、特に限定はなく、従来公知のセラミック材料
の原料粉体を用いることができる。
としては、特に限定はなく、従来公知のセラミック材料
の原料粉体を用いることができる。
【００２９】本発明のホットプレス装置において、加圧
・焼結の条件は、従来公知の条件で行えばよい。
・焼結の条件は、従来公知の条件で行えばよい。
【００３０】本発明のホットプレス装置は、上記構成に
限定されるわけではなく、前記粉漏れ防止用シートを配
設する以外の構成は、従来公知、如何なる種類のホット
プレス装置の構成に適応する。
限定されるわけではなく、前記粉漏れ防止用シートを配
設する以外の構成は、従来公知、如何なる種類のホット
プレス装置の構成に適応する。
【００３１】本発明の炭化ケイ素焼結体の製造方法は、
前記本発明のホットプレス装置を用いて、炭化ケイ素焼
結体を製造する方法である。
前記本発明のホットプレス装置を用いて、炭化ケイ素焼
結体を製造する方法である。
【００３２】本発明の炭化ケイ素焼結体の製造方法にお
いて、原料である試料としては、液相を持たないセラミ
クスの原料粉体（Ｓｉ3Ｎ4、ＳｉＣ等）が好ましく、例
えば、本願出願人が先に出願した特開平１０−６７５６
５号、同１０−１６３０７９号等に記載の非金属助剤を
用いてホットプレス焼結させる炭化ケイ素焼結体の原料
粉体等が挙げられる。この炭化ケイ素焼結体の原料粉体
は、スラリー状であり、粒子径が小さく非常にさらさら
しているため、粉漏れ防止効果が顕著である。
いて、原料である試料としては、液相を持たないセラミ
クスの原料粉体（Ｓｉ3Ｎ4、ＳｉＣ等）が好ましく、例
えば、本願出願人が先に出願した特開平１０−６７５６
５号、同１０−１６３０７９号等に記載の非金属助剤を
用いてホットプレス焼結させる炭化ケイ素焼結体の原料
粉体等が挙げられる。この炭化ケイ素焼結体の原料粉体
は、スラリー状であり、粒子径が小さく非常にさらさら
しているため、粉漏れ防止効果が顕著である。
【００３３】本発明の炭化ケイ素焼結体の製造方法にお
いて、加圧・焼結の条件は、例えば、前述と同様に本願
出願人が先に出願した特開平１０−６７５６５号、同１
０−１６３０７９号等に記載の非金属助剤を用いてホッ
トプレス焼結させて炭化ケイ素焼結体を製造する加圧・
焼結の条件に従って行えばよい。
いて、加圧・焼結の条件は、例えば、前述と同様に本願
出願人が先に出願した特開平１０−６７５６５号、同１
０−１６３０７９号等に記載の非金属助剤を用いてホッ
トプレス焼結させて炭化ケイ素焼結体を製造する加圧・
焼結の条件に従って行えばよい。
【実施例】本発明を、実施例を通してより具体的に説明
するが、本発明はこれら実施例になんら限定されない。
するが、本発明はこれら実施例になんら限定されない。
【００３４】（実施例１）図１に示すホットプレス装置
のモールド（内径φ２２０ｍｍ）内部に、特開平１０−
６７５６５号に記載の炭化ケイ素焼結体の原料粉体であ
る炭化ケイ素粉体３０００ｇをセットしホットプレス
（焼結温度２３００℃、圧力５００ｋｇ／ｃｍ2）を行
った。なお、粉漏れ防止用シートとして、カーボンフェ
ルト（大和田カーボン工業製、径φ２２２ｍｍ、厚さ４
ｍｍ、密度０．１６ｇ／ｃｍ3）を配設した。
のモールド（内径φ２２０ｍｍ）内部に、特開平１０−
６７５６５号に記載の炭化ケイ素焼結体の原料粉体であ
る炭化ケイ素粉体３０００ｇをセットしホットプレス
（焼結温度２３００℃、圧力５００ｋｇ／ｃｍ2）を行
った。なお、粉漏れ防止用シートとして、カーボンフェ
ルト（大和田カーボン工業製、径φ２２２ｍｍ、厚さ４
ｍｍ、密度０．１６ｇ／ｃｍ3）を配設した。
【００３５】その結果、粉洩れはほとんど発生せず、得
られた焼結体の厚さムラも僅かであった。また、モール
ド外部に粉体がこぼれた跡はなく、押圧パンチ類（スペ
ーサー）の歪みも少なかった。詳しくは表１に示す。
られた焼結体の厚さムラも僅かであった。また、モール
ド外部に粉体がこぼれた跡はなく、押圧パンチ類（スペ
ーサー）の歪みも少なかった。詳しくは表１に示す。
【００３６】（比較例１）粉漏れ防止用シートを配設し
ない以外は、実施例１と同様にホットプレスを行った。
ない以外は、実施例１と同様にホットプレスを行った。
【００３７】その結果、押圧印加と同時に粉洩れが発生
し（重量が３０％以上減少）、得られた焼結体は、厚さ
ムラも大きく、全体的にくさび状の形状となった。ま
た、モールド外部も噴出した粉で汚れており、押圧パン
チ類（スペーサー）の歪みも大きかった。詳しくは表１
に示す。
し（重量が３０％以上減少）、得られた焼結体は、厚さ
ムラも大きく、全体的にくさび状の形状となった。ま
た、モールド外部も噴出した粉で汚れており、押圧パン
チ類（スペーサー）の歪みも大きかった。詳しくは表１
に示す。
【００３８】（比較例２）粉漏れ防止用シートの代わり
に、ウレタンフォーム（厚さ５ｍｍ）を配設した以外
は、実施例１と同様にホットプレスを行った。
に、ウレタンフォーム（厚さ５ｍｍ）を配設した以外
は、実施例１と同様にホットプレスを行った。
【００３９】その結果、押圧印加時の粉洩れは防げた
が、炉温が２００〜３００℃前後でウレタンフォーム溶
融による粉洩れが発生し、得られた焼結体は、厚さムラ
が大きいく、全体的さび状の形状となった。また、モー
ルド外部も噴出した粉で汚れており、押圧パンチ類（ス
ペーサー）の歪みも大きかった。詳しくは表１に示す。
が、炉温が２００〜３００℃前後でウレタンフォーム溶
融による粉洩れが発生し、得られた焼結体は、厚さムラ
が大きいく、全体的さび状の形状となった。また、モー
ルド外部も噴出した粉で汚れており、押圧パンチ類（ス
ペーサー）の歪みも大きかった。詳しくは表１に示す。
【００４０】
【表１】
【００４１】実施例１、及び比較例１〜２により、実施
例１では、カーボンフェルトを、試料と、押圧パンチの
との間に介在させているため、粉漏れを防止し、密度が
高く、圧さムラのない炭化ケイ素焼結体が得られ、さら
にスペーサーの変形が少ないのがわかる。
例１では、カーボンフェルトを、試料と、押圧パンチの
との間に介在させているため、粉漏れを防止し、密度が
高く、圧さムラのない炭化ケイ素焼結体が得られ、さら
にスペーサーの変形が少ないのがわかる。
【発明の効果】以上より、本発明ホットプレス装置によ
れば、炭素繊維材料からなる粉漏れ防止用シートを、試
料と、一対の押圧パンチの少なくとも一方との間に介在
させることにより、粉漏れを防止し、歩留まり、得られ
る焼結体の性能を向上させ、部材（モールド類、押圧パ
ンチ等）を保護することができる。本発明の炭化ケイ素
焼結体の製造方法によれば、前記本発明のホットプレス
装置を用いることにより、粉体漏れがなく、良好な性能
を有する炭化ケイ素焼結体を得ることができる。
れば、炭素繊維材料からなる粉漏れ防止用シートを、試
料と、一対の押圧パンチの少なくとも一方との間に介在
させることにより、粉漏れを防止し、歩留まり、得られ
る焼結体の性能を向上させ、部材（モールド類、押圧パ
ンチ等）を保護することができる。本発明の炭化ケイ素
焼結体の製造方法によれば、前記本発明のホットプレス
装置を用いることにより、粉体漏れがなく、良好な性能
を有する炭化ケイ素焼結体を得ることができる。
【図１】 本発明のホットプレス装置の１例を示す概略
構成図である。
構成図である。
１０ モールド １１ 試料 １２、１３ 押圧パンチ １４ ダイス １５ 外スリーブ １６ 内スリーブ １７ 受け台 １８ スペーサー １９ 粉漏れ防止用シート ２０ グラフフォイル
Claims (6)
- 【請求項１】 筒状のモールドと、モールド内部の両端
部に配置され、モールド内部に充填された試料を押圧す
る一対の押圧パンチとを備え、前記試料と、前記一対の
押圧パンチの少なくとも一方との間に、炭化繊維材料か
らなる粉漏れ防止用シートを配設することを特徴とする
ホットプレス装置。 - 【請求項２】 炭化繊維材料からなる粉漏れ防止用シー
トの密度が、０．０１〜０．４ｇ／ｃｍ3であることを
特徴とする請求項１に記載のホットプレス装置。 - 【請求項３】 炭化繊維材料からなる粉漏れ防止用シー
トが、カーボンフェルト、カーボンクロス、カーボンペ
ーパー、又はこれらの積層体であることを特徴とする請
求項１又は２に記載のホットプレス装置。 - 【請求項４】 炭化繊維材料からなる粉漏れ防止用シー
トが、カーボンフェルトであることを特徴とする請求項
３に記載のホットプレス装置。 - 【請求項５】 炭化繊維材料からなる粉漏れ防止用シー
トの厚さが、２〜１５ｍｍであることを特徴とする請求
項１〜４のいずれかに記載のホットプレス装置。 - 【請求項６】 請求項１〜５のいずれかに記載のホット
プレス装置を用いて、炭化ケイ素焼結体を製造すること
を特徴とする炭化ケイ素焼結体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11219505A JP2001048659A (ja) | 1999-08-03 | 1999-08-03 | ホットプレス装置、及びこれを用いた炭化ケイ素焼結体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11219505A JP2001048659A (ja) | 1999-08-03 | 1999-08-03 | ホットプレス装置、及びこれを用いた炭化ケイ素焼結体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001048659A true JP2001048659A (ja) | 2001-02-20 |
Family
ID=16736516
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11219505A Pending JP2001048659A (ja) | 1999-08-03 | 1999-08-03 | ホットプレス装置、及びこれを用いた炭化ケイ素焼結体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001048659A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003059607A1 (fr) * | 2002-01-11 | 2003-07-24 | Nikko Materials Company, Limited | Procede et dispositif de presse a chaud |
| JP2012236379A (ja) * | 2011-05-13 | 2012-12-06 | Bridgestone Corp | 焼結体の製造方法 |
| KR20130076370A (ko) * | 2011-12-28 | 2013-07-08 | 엘지이노텍 주식회사 | 열간 가압 소결 장치 |
| WO2016148276A1 (ja) * | 2015-03-18 | 2016-09-22 | 株式会社ブリヂストン | ホットプレス装置、及び焼結体の製造方法 |
| WO2018012332A1 (ja) * | 2016-07-11 | 2018-01-18 | 住友金属鉱山株式会社 | 放電プラズマ焼結用スペーサー、放電プラズマ焼結装置、及び放電プラズマ焼結方法 |
| KR101931167B1 (ko) * | 2011-12-29 | 2018-12-21 | 엘지이노텍 주식회사 | 소결체 제조 장치 |
| CN114644528A (zh) * | 2022-03-30 | 2022-06-21 | 江苏东润安全科技有限公司 | 一种硬质材料及其制备方法和应用 |
-
1999
- 1999-08-03 JP JP11219505A patent/JP2001048659A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003059607A1 (fr) * | 2002-01-11 | 2003-07-24 | Nikko Materials Company, Limited | Procede et dispositif de presse a chaud |
| JP2012236379A (ja) * | 2011-05-13 | 2012-12-06 | Bridgestone Corp | 焼結体の製造方法 |
| KR20130076370A (ko) * | 2011-12-28 | 2013-07-08 | 엘지이노텍 주식회사 | 열간 가압 소결 장치 |
| KR101905812B1 (ko) * | 2011-12-28 | 2018-10-08 | 엘지이노텍 주식회사 | 열간 가압 소결 장치 |
| KR101931167B1 (ko) * | 2011-12-29 | 2018-12-21 | 엘지이노텍 주식회사 | 소결체 제조 장치 |
| WO2016148276A1 (ja) * | 2015-03-18 | 2016-09-22 | 株式会社ブリヂストン | ホットプレス装置、及び焼結体の製造方法 |
| JP2016172415A (ja) * | 2015-03-18 | 2016-09-29 | 株式会社ブリヂストン | ホットプレス装置、及び焼結体の製造方法 |
| CN107428027A (zh) * | 2015-03-18 | 2017-12-01 | 株式会社普利司通 | 热压装置和烧结体的制造方法 |
| WO2018012332A1 (ja) * | 2016-07-11 | 2018-01-18 | 住友金属鉱山株式会社 | 放電プラズマ焼結用スペーサー、放電プラズマ焼結装置、及び放電プラズマ焼結方法 |
| CN114644528A (zh) * | 2022-03-30 | 2022-06-21 | 江苏东润安全科技有限公司 | 一种硬质材料及其制备方法和应用 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0492284B1 (en) | Use of permeable materials to improve hot pressing process | |
| EP1795505A1 (en) | Disk roll | |
| JP2001048659A (ja) | ホットプレス装置、及びこれを用いた炭化ケイ素焼結体の製造方法 | |
| JP3185934B2 (ja) | 板ガラスの曲げ成形方法 | |
| KR102145545B1 (ko) | 열간 가압 소결 방법 및 장치 | |
| JP3479738B2 (ja) | 半導体パッケージと、それに用いる放熱基板の製造方法 | |
| JP5292994B2 (ja) | 石英ガラスの成形方法および成形装置 | |
| JP2008031020A5 (ja) | ||
| WO2016148276A1 (ja) | ホットプレス装置、及び焼結体の製造方法 | |
| US8221664B2 (en) | Hot axial pressing method | |
| JP2010024084A (ja) | 型材を用いた石英ガラス材料の成形方法 | |
| JPH10236879A (ja) | セラミックスの焼成方法、セラミックスの焼成装置および焼成治具 | |
| JP2851726B2 (ja) | ホットプレス方法 | |
| JP2006249462A (ja) | 電極の製造方法、及び電極 | |
| KR102061270B1 (ko) | 에어홀이 형성된 열간 가압 소결용 몰드 장치 | |
| KR102427219B1 (ko) | 프리프레스를 이용한 내플라즈마성 엣지링 제조방법 및 이에 따라 제조된 내플라즈마성 엣지링 | |
| JP4223082B2 (ja) | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 | |
| JP5782343B2 (ja) | 炭素質フィルムの製造方法、及びグラファイトフィルムの製造方法 | |
| JP4402149B2 (ja) | 加圧方法 | |
| TWI685471B (zh) | 具移載部之下模具 | |
| WO2021106533A1 (ja) | 酸化物含有セラミック焼結体の製法及び離型シート | |
| JP3604128B2 (ja) | 変位制御式加圧焼結装置及びそれを利用した加圧焼結方法 | |
| KR20240012822A (ko) | 중공형 제품 성형용 가압 소결 방법 및 장치 | |
| JPS62273809A (ja) | 薄肉グリ−ンセラミツク管の製造方法 | |
| JP2770574B2 (ja) | Ｃ／ｃコンポジット成形体の成形方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060615 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090220 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090303 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090507 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090623 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20091027 |