KR20130076370A - 열간 가압 소결 장치 - Google Patents

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Abstract

실시예에 따른 열간 가압 소결 장치는, 원료가 충전되는 몰드 공간부를 구비하는 몰드 부재; 및 상기 원료의 상부에 위치하며, 상기 원료를 균일하게 배치시키는 레벨링 부재를 포함한다.

Description

열간 가압 소결 장치{HOT PRESS SINTERING APPARATUS}
본 기재는 열간 가압 소결 장치에 관한 것이다.
일반적으로 탄화규소, 탄화 붕소, 질화 규소 등은 대표적인 비산화물계 구조 재료로서, 고강도, 고경도 및 내마모성의 기계적 특성과 함께, 내산화성, 내부식성, 내열 충격성, 고온 강도 등의 열적 특성을 가진다.
이러한 비산화물계 구조 재료는 강한 공유 결합으로 이루어지므로 성형을 위하여 고온 등의 특정한 조건에서 소결을 하여야 한다. 이러한 비산화물계 구조 재료의 소결 방법으로는 상압 소결법, 반응 소결법, 재결정법, 산화물 결합법 및 열간 가압 소결 방법 등이 있다.
이 중 고온에서 압력을 가하여 소결을 하는 열간 가압 소결 방법은 소결 특성이 매우 우수한 소결 방법으로 알려져 있다. 한편, 열간 가압 소결 방법을 이용하여 소결시, 피 가열체의 면적이 넓을수록 소결체 내부 밀도 편차가 커지게 된다. 또한, 고순도 목적의 소결용 분체를 균일하게 소결하기 위해 소결조제 등의 불순물 등을 투입하게 되면 순도 저하의 직접적인 원인이 된다는 문제가 있다. 따라서, 고순도를 유지하면서도 소결체 내부 밀도 편차를 줄일 수 있는 방법에 대해 연구가 진행되고 있다.
실시예는 신뢰성이 향상된 소결체를 제조할 수 있다.
실시예에 따른 열간 가압 소결 장치는, 원료가 충전되는 몰드 공간부를 구비하는 몰드 부재; 및 상기 원료의 상부에 위치하며, 상기 원료를 균일하게 배치시키는 레벨링 부재를 포함한다.
실시예에 따른 열간 가압 소결 장치는 레벨링 부재를 포함한다. 상기 레벨링 부재를 통해 원료를 균일하게 배치시킬 수 있다. 즉, 소결하고자 하는 원료의 내부 밀도를 균일하게 하여, 밀도 편차를 줄일 수 있다. 또한, 소결조제 등의 불순물을 생략할 수 있어 고순도의 소결체를 제작할 수 있다. 따라서, 실시예에 따른 열간 가압 소결 장치를 통해 신뢰성이 향상된 소결체를 제작할 수 있다.
도 1은 실시예에 따른 열간 가압 소결 장치의 개략적인 사시도이다.
도 2는 도 1의 A-A’를 따라서 절단한 단면을 도시한 단면도이다.
도 3은 실시예에 따른 열간 가압 소결 장치에 포함되는 레벨링부의 사시도이다.
도 4는 다른 실시예에 따른 열간 가압 소결 장치의 개략적인 단면도이다.
실시예들의 설명에 있어서, 각 층(막), 영역, 패턴 또는 구조물들이 기판, 각 층(막), 영역, 패드 또는 패턴들의 “상/위(on)”에 또는 “하/아래(under)”에 형성된다는 기재는, 직접(directly) 또는 다른 층을 개재하여 형성되는 것을 모두 포함한다. 각 층의 상/위 또는 하/아래에 대한 기준은 도면을 기준으로 설명한다.
도면에서 각 층(막), 영역, 패턴 또는 구조물들의 두께나 크기는 설명의 명확성 및 편의를 위하여 변형될 수 있으므로, 실제 크기를 전적으로 반영하는 것은 아니다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 1 내지 도 3을 참조하여, 실시예에 따른 열간 가압 소결 장치를 설명한다. 도 1은 실시예에 따른 열간 가압 소결 장치의 개략적인 사시도이다. 도 2는 도 1의 A-A’를 따라서 절단한 단면을 도시한 단면도이다. 도 3은 실시예에 따른 열간 가압 소결 장치에 포함되는 레벨링부의 사시도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 실시예에 따른 열간 가압 소결 장치는 몰드 부재(20) 및 레벨링 부재(200)를 포함한다.
상기 몰드 부재(20)는 원료(S)를 수용할 수 있다. 상기 몰드 부재(20)는 원료(S)가 충전되는 몰드 공간부를 구비한다. 상기 몰드 공간부는 원형, 사각형 또는 다각형 형상일 수 있다.
상기 몰드 부재(20)는 고순도(일례로, 99.99~99.9999%)의 흑연을 포함할 수 있다.
상기 몰드 부재(20) 내에 이형 시트(26)가 더 위치할 수 있다. 상기 이형 시트(26)는 상기 몰드 부재(20)의 내벽에 위치할 수 있다. 상기 이형 시트(26)는 상기 몰드 부재(20)의 상면보다 더 높게 위치할 수 있다. 상기 이형 시트(26)는 고순도의 흑연을 포함할 수 있다. 상기 이형 시트(26)를 통해 상기 몰드 부재(20)의 파손을 효과적으로 방지할 수 있다.
상기 레벨링 부재(200)는 상기 원료(S)의 상부에 위치할 수 있다.
상기 레벨링 부재(200)는 레벨링부(210), 레벨링 지지부(220) 및 레벨링 수평부(230)를 포함할 수 있다.
상기 레벨링부(210)는 상기 원료(S)의 상면에 위치할 수 있다.
상기 레벨링부(210)는 상기 몰드 부재(20) 내에서 회전 가능하게 구비된다. 따라서, 상기 레벨링부(210)는 상기 원료(S)의 상면에서 회전할 수 있다. 즉, 상기 레벨링부(210)는 상기 원료(S)의 상면을 따라 회전할 수 있다.
또한, 상기 레벨링부(210)는 상기 몰드 부재(20) 내에서 상하로 이동 가능하게 구비된다. 따라서, 상기 레벨링부(210)는 상기 원료(S)의 상면에서 상하로 이동할 수 있다.
상기 레벨링부(210)는 접촉부(212) 및 홀(214)을 포함한다. 상기 접촉부(212)는 상기 원료(S)와 접촉할 수 있다. 상기 접촉부(212)는 상기 원료(S)와 직접 접촉할 수 있다. 따라서, 상기 접촉부(212)는 이물이 없도록 주의해야 한다. 상기 접촉부(212)가 상기 원료(S)와 접촉하면서 상기 원료(S)를 고르게 위치시킬 수 있다.
상기 접촉부(212)의 높이(H1)는 2 ㎜ 내지 10 ㎜일 수 있다. 상기 접촉부(212)의 높이(H1)가 2 ㎜ 미만일 경우, 상기 원료(S)의 레벨링 역할을 잘 하지 못할 수 있다. 또한, 상기 접촉부(212)의 높이(H1)가 10 ㎜를 초과할 경우, 상기 접촉부(212)의 높이가 높아 상기 원료(S)가 상기 홀(214)로 잘 넘어가지 않을 수 있다. 따라서, 상기 원료(S)의 균일도 향상에 기여하는 부분이 미미할 수 있다.
상기 접촉부(212)의 두께(T)는 1 ㎜ 내지 10 ㎜ 일 수 있다. 상기 접촉부(212)의 두께(T)가 1 ㎜ 미만일 경우, 상기 접촉부(212)와 상기 원료(S)가 접촉하는 면적이 줄어들어 상기 원료(S)의 레벨링 효과가 미미할 수 있다. 또한, 상기 접촉부(212)의 두께(T)가 10 ㎜를 초과할 경우, 상기 원료(S)에 가해지는 압력이 커져 오히려 원료(S)의 밀도 편차가 발생할 수 있다.
상기 홀(214)은 상기 접촉부(212) 상에 위치한다. 상기 홀(214)은 상기 레벨링부(210)의 길이 방향으로 연장된 형상일 수 있다. 일례로, 상기 홀(214)은 사각기둥 형상일 수 있다. 즉, 상기 홀(214)의 단면은 사각형일 수 있다. 도면에서는 상기 홀(214)이 상기 레벨링부(210)에서 1개로 구비되는 것으로 도시하였으나, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니고, 다수개로 구비될 수 있다.
상기 홀(214)에서는 상기 상기 원료(S)가 이동할 수 있다. 즉, 상기 접촉부(212)에서 레벨링된 원료(S)의 잉여부분이 상기 홀(214)을 통과할 수 있다. 즉, 상기 레벨링부(210)가 회전하면서 상기 원료(S)가 상기 접촉부(212) 및 상기 홀(214)과 접촉 또는 통과할 수 있고, 상기 원료(S)의 레벨링이 이루어질 수 있다.
상기 홀(214)의 높이(H2)는 1 ㎜ 내지 200 ㎜일 수 있다. 상기 홀(214)의 높이(H2)가 1 ㎜ 미만일 경우, 상기 원료(S)가 잘 통과하기 어려워 원료(S)의 레벨링 효과가 미미할 수 있다.
상기 레벨링 지지부(220)는 상기 레벨링부(210) 상에 위치한다. 구체적으로, 상기 레벨링 지지부(220)는 상기 몰드 부재(20) 상에 위치한다. 즉, 상기 레벨링 지지부(220)는 상기 몰드 부재(20)의 상면에 위치할 수 있다. 더 구체적으로, 상기 레벨링 지지부(220)는 상기 이형 시트(26)보다 높게 위치할 수 있다. 따라서, 상기 레벨링 지지부(220)의 움직임에도 상기 이형 시트(26)와 부딪히거나 접촉하지 않을 수 있다.
상기 레벨링 지지부(220)는 상기 레벨링부(210)를 구동할 수 있다. 구체적으로, 상기 레벨링 지지부(220)는 상기 레벨링부(210)가 회전하도록 구동할 수 있다. 따라서, 상기 레벨링 지지부(220) 또한 회전할 수 있다. 즉, 상기 레벨링 지지부(220)를 회전시키면 상기 레벨링부(210)가 함께 회전할 수 있다.
상기 레벨링 수평부(230)는 상기 레벨링부(210)와 연결될 수 있다. 상기 레벨링 수평부(230)는 상기 몰드 부재(20)의 길이 방향으로 연장될 수 있다. 상기 레벨링 수평부(230)는 상기 레벨링부(210)의 수평을 조절할 수 있다. 즉, 상기 레벨링 수평부(230)는 상기 레벨링부(210)가 상기 원료(S)의 상면에서 수평을 유지할 수 있도록 할 수 있다.
한편, 상기 레벨링 수평부(230)는 상기 레벨링 지지부(220)를 체결할 수 있는 체결부를 포함할 수 있다.
상기 레벨링 지지부(220) 및 상기 레벨링 수평부(230)는 수지를 포함할 수 있다. 일례로, 상기 레벨링 지지부(220) 및 상기 레벨링 수평부(230)는 아크릴, 테프론 수지 또는 폴리에틸렌 등의 플라스틱 재질을 포함할 수 있다.
상기 레벨링 부재(200)를 통해 상기 원료(S)를 균일하게 배치시킬 수 있다. 즉, 소결하고자 하는 원료(S)의 내부 밀도를 균일하게 하여, 밀도 편차를 줄일 수 있다. 또한, 소결조제 등의 불순물을 생략할 수 있어 고순도의 소결체를 제작할 수 있다. 따라서, 실시예에 따른 열간 가압 소결 장치를 통해 신뢰성이 향상된 소결체를 제작할 수 있다.
이하, 다른 실시예에 따른 열간 가압 소결 장치를 설명한다.
도 4는 다른 실시예에 따른 열간 가압 소결 장치의 개략적인 단면도이다.
도 4를 참조하면, 본 실시예에 따른 열간 가압 소결 장치(100)는, 진공이 유지되는 챔버(10), 이 챔버(10) 내에 위치하는 몰드 부재(20), 가압 부재(30), 가열 부재(40) 및 단열 부재(50)를 포함한다. 이를 좀더 상세하게 설명하면 다음과 같다.
챔버(10)는 진공을 유지하기 위하여 밀폐될 수 있다. 이에 의하여 챔버(10) 내에 위치한 가열 부재(40) 등의 산화를 방지하는 한편, 소결 공정 중 원료에 분순물이 혼입되는 것을 방지할 수 있다.
진공을 유지하기 위하여 챔버(10)의 외부에 진공을 위한 진공 점프(102)가 위치하고, 이 진공 펌프(102)와 챔버(10)가 개폐 밸브(104) 및 배기구(106)를 통하여 연결될 수 있다. 이에 의하여 공기를 선택적으로 배출하여 챔버(10)의 내부를 일정 수준의 진공 상태로 유지할 수 있다. 그리고 챔버(10) 내로 불활성 가스를 주입하기 위한 별도의 가스 공급원(도시하지 않음), 개폐 밸브(도시하지 않음) 및 주입구(도시하지 않음)가 위치할 수 있다.
챔버(10) 내에 위치하는 몰드 부재(20) 내에는 원료(S)가 충전된다.
몰드 부재(20) 내의 원료(S)를 가압 성형하는 가압 부재(30)는, 하부에 위치하는 하부 가압 부재(31)와, 상부에 위치하는 상부 가압 부재(32)를 포함할 수 있다. 이러한 가압 부재(30)는 고온에서 견딜 수 있는 물질로 이루어질 수 있으며, 일례로 흑연을 포함할 수 있다.
이때, 하부 가압 부재(31)의 상면에는 고순도, 일례로 99.99~99.9999%의 흑연을 포함하는 흑연판 또는/및 흑연 시트(31a)가 위치할 수 있다. 마찬가지로, 상부 가압 부재(32)의 하면에는 고순도, 일례로 99.99~99.9999%의 흑연을 포함하는 흑연판 또는/및 흑연 시트(32a)이 위치할 수 있다.
몰드 부재(20)의 외부에는 챔버(10)의 내부(특히, 몰드 부재(20) 내에 위치한 원료)를 가열하는 가열 부재(40)가 위치한다. 가열 부재(40)로는 몰드 부재(20)를 가열할 수 있는 다양한 방식이 적용될 수 있다. 일례로, 가열 부재(40)가 흑연을 포함하여, 외부에서 공급되는 전원에 의하여 발열되어 몰드 부재(20)를 가열할 수 있다.
가열 부재(40)와 챔버(10) 사이에 위치하는 단열 부재(50)는 몰드 부재(20)가 반응에 적정한 온도로 유지될 수 있도록 하는 역할을 한다. 이러한 단열 부재(20)는 고온에 견딜 수 있도록 흑연을 포함할 수 있다.
상하 이동 부재(81, 82)는 하부 및 상부 가압 부재(31, 32)의 상하 이동을 위한 구동력을 프레스 기계(도시하지 않음) 등으로부터 전달 받을 수 있도록, 챔버(10)를 통과하여 외부까지 연장되어야 한다.
본 실시예에서는 앞서 설명한 열간 가압 소결 장치에서 원료의 레벨링을 실시한 후, 소결을 실시할 수 있다. 즉, 레벨링이 이루어진 원료(S)를 수용하는 상기 몰드 부재(20)를 본 실시예에 따른 열간 가압 소결 장치(100)에 위치시킬 수 있다.
본 실시예에 따른 열간 가압 소결 장치(100)에서는, 하부 가압 부재(31)가 몰드 부재(20) 내에 위치한 상태에서 몰드 부재(20)의 내부로 원료(S)를 충전하고, 가열 부재(40)에 의하여 고온이 유지된 상태에서 상부 가압 부재(32)를 이용하여 원료(S)를 가압한다. 그러면, 고온 및 고압에 의해 원료(S)가 원하는 형상으로 소결된다.
이하, 제조예 및 비교예를 통하여 실시예를 좀더 상세하게 설명한다. 제조예는 실시예를 좀더 명확하게 설명하기 위하여 제시한 것에 불과하며, 실시예가 제조예로 한정되는 것은 아니다.
제조예
IPA의 용매에, 페놀계 수지와 중심 입경이 1.8um인 탄화 규소 분말을 혼합하였다.
이어서, 혼합된 원료를 스프레이 건조기를 이용하여 과립화하였다.
이어서, 열간 가압 소결 장치에 과립화된 원료를 장입한 후 레벨링 부재를 통하여 레벨링을 실시하였다. 이후, 2100℃의 온도에서 40MPa의 압력으로 열간 가압하여 소결체를 형성하였다.
비교예
원료를 레벨링 하지 않았다는 점을 제외하고는 제조예 1과 동일한 방법으로 소결체를 제조하였다.
제조예 및 비교예에 의해 제조된 소결체의 밀도 편차 및 순도를 측정하여 이를 표 1에 나타내었다.
소결체 내부 밀도 편차 군내 소결체 간 밀도 편차 소결체 순도(%)
제조에 0.03 0.01 99.99996
비교예 0.11 0.06 99.99996
표 1을 참조하면, 제조예에 의해 제조된 소결체의 밀도 편차가 비교예에 비해 매우 낮은 것을 알 수 있다. 즉, 본 실시예에 따른 열간 가압 소결 장치에 의하면 제조된 소결체의 밀도 편차를 줄일 수 있음을 알 수 있다.
상술한 실시예에 설명된 특징, 구조, 효과 등은 본 발명의 적어도 하나의 실시예에 포함되며, 반드시 하나의 실시예에만 한정되는 것은 아니다. 나아가, 각 실시예에서 예시된 특징, 구조, 효과 등은 실시예들이 속하는 분야의 통상의 지식을 가지는 자에 의하여 다른 실시예들에 대해서도 조합 또는 변형되어 실시 가능하다. 따라서 이러한 조합과 변형에 관계된 내용들은 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
또한, 이상에서 실시예들을 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예들에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부한 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

Claims (12)

  1. 원료가 충전되는 몰드 공간부를 구비하는 몰드 부재; 및
    상기 원료의 상부에 위치하며, 상기 원료를 균일하게 배치시키는 레벨링 부재를 포함하는 열간 가압 소결 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 레벨링 부재는,
    상기 원료의 상면에 위치하는 레벨링부;
    상기 레벨링부 상에 위치하고, 상기 레벨링부를 구동하는 레벨링 지지부; 및
    상기 레벨링부의 수평을 조절하는 레벨링 수평부를 포함하는 열간 가압 소결 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 레벨링부는 상기 몰드 부재 내에서 회전 가능하게 구비되는 열간 가압 소결 장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 레벨링부는 상기 몰드 부재 내에서 상하로 이동 가능하게 구비되는 열간 가압 소결 장치.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 레벨링 지지부는 상기 레벨링부가 회전하도록 구동하는 열간 가압 소결 장치.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 레벨링부는 상기 원료와 접촉하는 접촉부; 및
    상기 접촉부 상에 위치하고, 상기 원료가 이동하는 홀을 포함하는 열간 가압 소결 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 접촉부의 높이는 2 ㎜ 내지 10 ㎜ 인 열간 가압 소결 장치.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 접촉부의 두께는 1 ㎜ 내지 10 ㎜ 인 열간 가압 소결 장치.
  9. 제6항에 있어서,
    상기 홀의 높이는 1 ㎜ 내지 200 ㎜ 인 열간 가압 소결 장치.
  10. 제2항에 있어서,
    상기 레벨링 지지부 및 상기 레벨링 수평부는 수지를 포함하는 열간 가압 소결 장치.
  11. 제2항에 있어서,
    상기 레벨링 지지부는 상기 몰드 부재 상에 위치하는 열간 가압 소결 장치.
  12. 제2항에 있어서,
    상기 몰드 부재 내에 이형 시트가 더 위치하고,
    상기 레벨링 지지부는 상기 이형 시트보다 높게 위치하는 열간 가압 소결 장치.
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Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5240691A (en) * 1990-06-18 1993-08-31 Regents Of The University Of California High density crystalline boron prepared by hot isostatic pressing in refractory metal containers
JP2001048659A (ja) * 1999-08-03 2001-02-20 Bridgestone Corp ホットプレス装置、及びこれを用いた炭化ケイ素焼結体の製造方法
JP2007077482A (ja) * 2005-09-16 2007-03-29 Nissin Kogyo Co Ltd 多孔質材及びその製造方法、複合金属材料及びその製造方法
KR20100107759A (ko) * 2009-03-26 2010-10-06 현대제철 주식회사 원료 장입 장치
KR20110072665A (ko) * 2009-12-23 2011-06-29 엘지이노텍 주식회사 고순도 튜브형 세라믹스 성형 장치 및 이를 이용한 고순도 튜브형 세라믹스 성형 방법
JP4842212B2 (ja) * 2006-05-31 2011-12-21 花王株式会社 ガラス製ハードディスク基板用成形型

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5240691A (en) * 1990-06-18 1993-08-31 Regents Of The University Of California High density crystalline boron prepared by hot isostatic pressing in refractory metal containers
JP2001048659A (ja) * 1999-08-03 2001-02-20 Bridgestone Corp ホットプレス装置、及びこれを用いた炭化ケイ素焼結体の製造方法
JP2007077482A (ja) * 2005-09-16 2007-03-29 Nissin Kogyo Co Ltd 多孔質材及びその製造方法、複合金属材料及びその製造方法
JP4842212B2 (ja) * 2006-05-31 2011-12-21 花王株式会社 ガラス製ハードディスク基板用成形型
KR20100107759A (ko) * 2009-03-26 2010-10-06 현대제철 주식회사 원료 장입 장치
KR20110072665A (ko) * 2009-12-23 2011-06-29 엘지이노텍 주식회사 고순도 튜브형 세라믹스 성형 장치 및 이를 이용한 고순도 튜브형 세라믹스 성형 방법

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