WO2016132744A1

WO2016132744A1 - 冷却装置およびこれを搭載した電子機器

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Publication number: WO2016132744A1
Application number: PCT/JP2016/000889
Authority: WO
Inventors: 辰乙郁; 村山　拓也; 杉山　誠; 若菜野上
Original assignee: パナソニックＩｐマネジメント株式会社
Priority date: 2015-02-19
Filing date: 2016-02-19
Publication date: 2016-08-25

Abstract

冷却装置（１）は、発熱体（２）を設置する受熱部（３）、放熱経路（５）、放熱部（４）および帰還経路（６）を順に連結して形成する循環経路を備え、冷媒の相変化によって発熱体（２）を冷却する。放熱経路（５）は、放熱部側放熱経路（９）と、受熱部側放熱経路（１０）と、放熱部側放熱経路（９）と受熱部側放熱経路（１０）との間に設けた放熱経路着脱部（１３）と、受熱部側放熱経路（１０）に設けた放熱経路開閉弁（１５）と、を備える。帰還経路（６）は、放熱部側帰還経路（１１）と、受熱部側帰還経路（１２）と、放熱部側帰還経路（１１）と受熱部側帰還経路（１２）との間に設けた帰還経路着脱部（１４）と、受熱部側帰還経路（１２）に設けた帰還経路開閉弁（１６）と、を備える。

Description

冷却装置およびこれを搭載した電子機器

　本発明は、電子部品等の冷却対象を冷却する冷却装置およびこれを搭載した電子機器に関する。

　従来、この種の電子機器としては、例えば特許文献１に開示されているような冷却装置と、中央演算処理装置（ＣＰＵ）、大規模集積回路（ＬＳＩ）、絶縁ゲートバイポーラトランジスタ（ＩＧＢＴ）等の電子部品と、を備えた電子機器がある。

　以下、特許文献１に示す冷却装置について、図１２を参照しながら説明する。

　図１２に示すように、冷却装置は、上昇管１０１、下降管１０２、冷却器１０５および受熱部１１３で形成したループ回路１０３と、冷媒である熱媒体１１２と、逆止弁１０７と、を備える。熱媒体１１２は、密閉状態のループ回路１０３内に封入されている。冷却器１０５は、ループ回路１０３の上部に位置し、その内部には冷却用液体管路１１１が挿設されている。受熱部１１３は、上昇管１０１の下部に位置し、電子部品が設置されている。逆止弁１０７は、ループ回路１０３内に位置し、ループ回路１０３内の熱媒体１１２の循環方向を限定している。

　ここで、電子部品に熱が発生すると、発生した熱は受熱部１１３を介してループ回路１０３内を循環する熱媒体１１２に伝わり、その熱によって熱媒体１１２が気化する。逆止弁１０７により熱媒体１１２の循環方向が限定されているため気化した熱媒体１１２は上昇管１０１を上昇し、さらに冷却器１０５まで導かれて冷却される。すなわち、熱媒体１１２は、受熱部１１３で熱を受け、冷却器１０５で熱を放出する。冷却器１０５で熱を放出した熱媒体１１２は、下降管１０２を下降し、逆止弁１０７を介して、再び受熱部１１３へと戻る。

特開昭６１－０３８３９６号公報

　上記従来例における問題は、電子機器のメンテナンスが煩雑になることであった。

　すなわち、上記従来の電子機器において、冷却対象は受熱部１１３に接合させた電子部品であり、ＣＰＵ、ＬＳＩ、ＩＧＢＴ等であって、それらの電子部品には頻繁に不具合が生じうる。

　そして、電子部品に不具合が生じた場合、不具合が生じた電子部品を交換するための電子機器のメンテナンスを行う必要がある。しかしながら、電子部品と受熱部１１３とは、熱の受け渡しの効率を高めるために密着した状態で接合されている。そのため、不具合が生じた電子部品を受熱部１１３から取り除くためには、受熱部１１３を含むループ回路１０３全体を冷却装置から一旦取り外す必要がある。

　しかしながら、ループ回路１０３の一部である冷却器１０５の内部には、冷却用液体管路１１１が挿設されているため、冷却器１０５の内部から冷却用液体管路１１１を取り出してからでなければ、冷却装置からループ回路１０３を取り外すのは困難である。また、ループ回路１０３の密閉状態を開放する際に、ループ回路１０３内に封入された熱媒体１１２が蒸発したりループ回路１０３内から溢れ出たりして、熱媒体１１２の一部または全部が消失することがある。従って、電子部品を交換した後に、冷却器１０５の内部に冷却用液体管路１１１を再度挿設したり、さらに、蒸発したり溢れ出たりして消失した熱媒体１１２を補充したりすることが必要となる。このように、従来の電子機器には、メンテナンスが煩雑であるという問題があった。

　そこで本発明は、電子機器のメンテナンスの煩雑さを低減できる冷却装置を提供することを目的とする。

　そして、この目的を達成するために、本発明の一態様に係る冷却装置は、発熱体を設置する受熱部、放熱経路、放熱部および帰還経路を順に連結して形成した冷媒の循環経路を備え、冷媒の相変化によって発熱体を冷却する。放熱経路は、放熱部側放熱経路と、受熱部側放熱経路と、放熱部側放熱経路と受熱部側放熱経路との間に設けた放熱経路着脱部と、受熱部側放熱経路に設けた放熱経路開閉弁と、を備える。帰還経路は、放熱部側帰還経路と、受熱部側帰還経路と、放熱部側帰還経路と受熱部側帰還経路との間に設けた帰還経路着脱部と、受熱部側帰還経路に設けた帰還経路開閉弁と、を備える。

　以上のような構成により、本発明の一態様に係る冷却装置は、電子機器のメンテナンスの煩雑さを低減できる。

図１は、本発明の実施の形態１の冷却装置を搭載した電子機器の概略図である。図２Ａは、同冷却装置の放熱経路着脱部の接続状態を示す断面概略図である。図２Ｂは、同冷却装置の放熱経路着脱部の分離状態を示す断面概略図である。図３Ａは、同冷却装置の帰還経路着脱部の接続状態を示す断面概略図である。図３Ｂは、同冷却装置の帰還経路着脱部の分離状態を示す断面概略図である。図４Ａは、同冷却装置の放熱経路開閉弁の開状態を示す断面概略図である。図４Ｂは、同冷却装置の放熱経路開閉弁の閉状態を示す断面概略図である。図５Ａは、同冷却装置の帰還経路開閉弁の開状態を示す断面概略図である。図５Ｂは、同冷却装置の帰還経路開閉弁の閉状態を示す断面概略図である。図６Ａは、同冷却装置の停止から受熱部の分離までの操作フロー図である。図６Ｂは、同受熱部の装着から冷却装置の運転準備までの操作フロー図である。図６Ｃは、同冷却装置の運転準備から通常運転開始までの操作フロー図である。図７Ａは、同冷却装置の放熱経路着脱部および帰還経路着脱部の変形例を示す断面概略図である。図７Ｂは、同冷却装置の放熱経路着脱部および帰還経路着脱部の変形例を示す断面概略図である。図８は、本発明の実施の形態２の冷却装置を搭載した電子機器の概略図である。図９は、本発明の実施の形態３の冷却装置を搭載した電子機器の概略図である。図１０Ａは、同冷却装置の冷媒タンクを示す正面図である。図１０Ｂは、同冷却装置の冷媒タンクを示す斜視図である。図１１Ａは、同冷却装置の冷媒タンクの変形例を示す斜視図である。図１１Ｂは、同冷却装置の冷媒タンクの変形例を示す斜視図である。図１１Ｃは、同冷却装置の冷媒タンクの変形例を示す斜視図である。図１２は、従来の冷却装置を示す概略図である。

　本発明の一態様に係る冷却装置は、発熱体を設置する受熱部、放熱経路、放熱部および帰還経路を順に連結して形成した冷媒の循環経路を備え、冷媒の相変化によって発熱体を冷却する。放熱経路は、放熱部側放熱経路と、受熱部側放熱経路と、放熱部側放熱経路と受熱部側放熱経路との間に設けた放熱経路着脱部と、受熱部側放熱経路に設けた放熱経路開閉弁と、を備える。帰還経路は、放熱部側帰還経路と、受熱部側帰還経路と、放熱部側帰還経路と受熱部側帰還経路との間に設けた帰還経路着脱部と、受熱部側帰還経路に設けた帰還経路開閉弁と、を備える。

　以上のような構成により、本発明の冷却装置は、電子機器のメンテナンスの煩雑さを低減できる。

　すなわち、冷却装置は、放熱部側放熱経路と受熱部側放熱経路との間に設けた放熱経路着脱部と、放熱部側帰還経路と受熱部側帰還経路との間に設けた帰還経路着脱部と、を備える。そのため、放熱経路を放熱経路着脱部により放熱部側放熱経路と受熱部側放熱経路とに分離し、帰還経路を帰還経路着脱部により放熱部側帰還経路と受熱部側帰還経路とに分離することができる。これによって、循環経路全体ではなく、電子部品を設置した受熱部、受熱部側放熱経路および受熱部側帰還経路だけを、冷却装置から取り外すことができる。

　さらに、冷却装置は、受熱部側放熱経路に設けた放熱経路開閉弁と、受熱部側帰還経路に設けた帰還経路開閉弁と、を備える。そのため、放熱経路および帰還経路を分離する際に、放熱経路開閉弁および帰還経路開閉弁を閉じて、受熱部、受熱部側放熱経路および受熱部側帰還経路内に冷媒を封じ込めることができる。これによって、放熱経路着脱部および帰還経路着脱部から冷媒が蒸発したり溢れ出したりしにくくなる。

　その結果、受熱部、受熱部側放熱経路および受熱部側帰還経路を冷却装置から取り外す際に、放熱経路着脱部および帰還経路着脱部から冷媒が消失しにくくなる。

　さらに、受熱部、受熱部側放熱経路および受熱部側帰還経路を再度、冷却装置に取り付ける際においては、放熱経路着脱部により放熱部側放熱経路と受熱部側放熱経路とを接続し、帰還経路着脱部により放熱部側帰還経路と受熱部側帰還経路とを接続する。これによって、受熱部、受熱部側放熱経路および受熱部側帰還経路を冷却装置に取り付けやすくなる。

　このように、冷却対象の電子部品が故障した場合など電子機器のメンテナンスを要する場合に、受熱部、受熱部側放熱経路および受熱部側帰還経路を冷却装置から取り外すことができる。その後に、受熱部、受熱部側放熱経路および受熱部側帰還経路を冷却装置に取り付けることもできる。結果として、電子機器のメンテナンスの煩雑さを低減できる。

　また、本発明の別の一態様に係る冷却装置は、一端が放熱部側放熱経路または放熱部側帰還経路に接続され、他端に開口面が水平方向より上向きである開放口が形成された開放経路を備える。また、開放経路に循環経路の内部圧力を調整するための内部圧力調整弁を備える。

　以上のような構成であるため、放熱経路を放熱経路着脱部により放熱部側放熱経路と受熱部側放熱経路とに分離し、帰還経路を帰還経路着脱部により放熱部側帰還経路と受熱部側帰還経路とに分離する際に、内部圧力調整弁を開けば、減圧状態の循環経路内に大気が流入する。そうすると、放熱部、放熱部側放熱経路および放熱部側帰還経路に存在する冷媒が、下方に配置された受熱部側放熱経路、受熱部側帰還経路および受熱部に移動しやすくなる。

　そして、放熱経路開閉弁と帰還経路開閉弁とを閉じることにより、移動した冷媒も含め、受熱部、受熱部側放熱経路および受熱部側帰還経路内に冷媒を封じ込めることができる。そのため、放熱経路着脱部および帰還経路着脱部から冷媒が消失しにくくなる。

　さらに、開放経路の開放口の開口面が上向きであるため、内部圧力調整弁を開いた際に、冷媒が開放口から漏れにくくなる。その結果、受熱部、受熱部側放熱経路および受熱部側帰還経路を冷却装置から取り外す際に、開放経路の開放口から冷媒が消失しにくくなる。結果として、電子機器のメンテナンスの煩雑さを低減できる。

　また、本発明のさらに別の一実施形態に係る冷却装置は、受熱部側放熱経路および受熱部側帰還経路の少なくとも一方の経路に冷媒を貯める冷媒タンクを設けている。これにより、循環経路内に封入される冷媒の量が多くなっても、封入された冷媒の液面高さが帰還経路開閉弁および放熱経路開閉弁よりも下方になりやすい。

　（実施の形態１）
　以下、本発明の実施の形態１について、図面を参照しながら説明する。

　図１は、本発明の実施の形態１の冷却装置１を搭載した電子機器５０の概略図である。

　図１に示すように、電子機器５０は、ケース５１と、ケース５１内に収容された発熱体２および冷却装置１を備える。なお、冷却対象である発熱体２は、本実施の形態では、ＣＰＵ、ＬＳＩ、ＩＧＢＴ等の電子部品である。

　冷却装置１は、冷媒の循環経路を備える。循環経路は、発熱体２を設置する受熱部３、放熱経路５、放熱部４および帰還経路６を順に連結して形成される。この構成により、循環経路は内部が密閉空間となり、図１では図示していないが、循環経路内は、減圧した上で、冷媒が封入されている。冷媒としては、純水、エタノール、フロン類、フッ素系溶剤類などが用いられるが、これらに限らない。受熱部３および放熱部４の材質は、冷媒が、純水、エタノールの場合は、銅が適しており、冷媒が、フロン類、フッ素系溶剤類の場合は、アルミニウムが適しているが、これらに限らない。

　冷却装置１は、帰還経路６に冷媒の逆流を防止する逆流防止部８を備えている。

　また、冷却装置１は、放熱部４に冷媒により輸送された熱を冷却するための冷却具７を備えている。本実施の形態では、冷却具７は空冷式のファンである。なお、冷却具７は、冷媒を冷却可能であれば、水冷式、その他の方式の冷却具であってもよい。また、冷却装置１は、必ずしも冷却具７を備えている必要はない。

　次に、上記構成における冷却装置１の基本的な仕組みについて説明する。

　冷却装置１の循環経路は、内部を減圧した後に冷媒を封入したものである。循環経路内の気相圧力は、冷媒の作用により外部温度に応じた冷媒の飽和圧力となる。発熱体２の熱は受熱部３を介して冷媒に伝わり、伝わった熱によって冷媒が気化する際の気化熱で、受熱部３を介して発熱体２が冷却される。受熱部３内にて気化した冷媒は、気化しなかった液相冷媒との気液二相の混相流冷媒となって、受熱部３から放熱経路５を通り放熱部４へと移動する。そして、気化した冷媒は冷却具７により冷却され液化する。液化した冷媒は、帰還経路６を通り、受熱部３に戻る。

　帰還経路６には逆流防止部８が設けられており、これにより帰還経路６は放熱経路５よりも冷媒の流通抵抗が大きくなっている。そのため、受熱部３内にて気化した冷媒が帰還経路６側へ逆流しにくい。よって、冷媒が受熱部３内にて気化し、気化した冷媒が放熱経路５を通り放熱部４にて液化し、液化した冷媒が帰還経路６を通り再び受熱部３内に戻る、サイクルが繰り返される。このことで、発熱体２を冷却している。

　次に、本実施の形態における特徴的な構成について説明する。

　放熱経路５は、放熱部４に近い側の放熱部側放熱経路９と、受熱部３に近い側の受熱部側放熱経路１０とに分割されている。

　放熱部４は、受熱部３より上に配置されているので、放熱部側放熱経路９は、受熱部側放熱経路１０より上方に配置される。放熱部側放熱経路９と受熱部側放熱経路１０との間には、放熱経路着脱部１３が設けられている。放熱経路着脱部１３により、放熱部側放熱経路９と受熱部側放熱経路１０とを、接続することができ、また分離することができる。

　帰還経路６は、放熱部４に近い側の放熱部側帰還経路１１と、受熱部３に近い側の受熱部側帰還経路１２とに分割されている。

　放熱部４は、受熱部３より上方に配置されているので、放熱部側帰還経路１１は、受熱部側帰還経路１２より上に配置される。放熱部側帰還経路１１と受熱部側帰還経路１２との間には、帰還経路着脱部１４が設けられている。帰還経路着脱部１４により、放熱部側帰還経路１１と受熱部側帰還経路１２とを、接続することができ、また分離することができる。

　さらに、受熱部側放熱経路１０における放熱経路着脱部１３近傍には、放熱経路５を開閉する放熱経路開閉弁１５が設けられている。また、受熱部側帰還経路１２における帰還経路着脱部１４近傍には、帰還経路６を開閉する帰還経路開閉弁１６が設けられている。

　図２Ａおよび図２Ｂは、放熱経路着脱部１３の接続状態および分離状態をそれぞれ示す断面概略図である。

　図２Ａおよび図２Ｂに示すように、放熱経路着脱部１３は、放熱経路着脱固定部１３ａ、放熱経路着脱締結部１３ｂおよび放熱経路着脱封止部１３ｃを備えている。放熱部側放熱経路９における受熱部側放熱経路１０側の先端には、放熱経路着脱固定部１３ａが例えば溶接により気密に設けられている。受熱部側放熱経路１０における放熱部側放熱経路９側の先端には、放熱経路着脱締結部１３ｂが例えば溶接により気密に設けられている。さらに放熱経路着脱締結部１３ｂにおける受熱部側放熱経路１０とは反対側には、放熱経路着脱封止部１３ｃが設けられている。

　放熱経路着脱固定部１３ａは、例えば略円盤形状であって、放熱部側放熱経路９と反対側の外周部に、放熱経路着脱締結部１３ｂを締結ネジ１３ｄで固定するためのネジ孔１３ｅが複数形成されている。また、放熱経路着脱固定部１３ａは、放熱部側放熱経路９と反対側の中央部に円筒形状の凹部が形成されており、その凹部に放熱経路着脱封止部１３ｃを嵌めることができる構造となっている。

　放熱経路着脱締結部１３ｂは、例えば略円盤形状であって、その外周部には締結ネジ１３ｄを放熱経路５に沿った方向に貫通させることができる貫通孔１３ｆが複数形成されており、締結ネジ１３ｄにより放熱経路着脱固定部１３ａに対し固定できるようになっている。

　放熱経路着脱封止部１３ｃは、例えば略円筒状であり、その外周面における２箇所に放熱経路着脱部１３の気密性を保つためのシール部材１３ｇを備える。シール部材１３ｇは例えば、ゴム製のＯリング、或いは金属製のフェルールやガスケットである。放熱経路着脱締結部１３ｂおよび放熱経路着脱封止部１３ｃは、合わせて凸形状を形成している。

　以上のような構成により、放熱経路着脱締結部１３ｂを放熱経路着脱固定部１３ａに当接させるとともに、放熱経路着脱封止部１３ｃを放熱経路着脱固定部１３ａの凹部に嵌めこむことで、シール部材１３ｇが放熱経路着脱固定部１３ａの凹部の内周面に押し付けられる。これにより、高い気密性を実現し、循環経路の減圧状態を維持できる。

　図２Ａに示すように、放熱経路着脱部１３により放熱部側放熱経路９と受熱部側放熱経路１０とを接続するとは、放熱経路着脱固定部１３ａの凹部へ放熱経路着脱封止部１３ｃを嵌め込み、放熱経路着脱固定部１３ａに放熱経路着脱締結部１３ｂを締結ネジ１３ｄで固定することである。

　図２Ｂに示すように、放熱経路着脱部１３により放熱部側放熱経路９と受熱部側放熱経路１０とを分離するとは、放熱経路着脱固定部１３ａに放熱経路着脱締結部１３ｂを固定している締結ネジ１３ｄを外し、放熱経路着脱固定部１３ａの凹部から放熱経路着脱封止部１３ｃを引き抜くことである。

　以上のような構成により、放熱経路着脱部１３は繰返し接続と分離を実施できる。また、放熱経路着脱部１３により放熱部側放熱経路９と受熱部側放熱経路１０を接続した状態において循環経路の減圧状態の維持もできる。

　図３Ａおよび図３Ｂは、帰還経路着脱部１４の接続状態および分離状態をそれぞれ示す断面概略図である。

　図３Ａおよび図３Ｂに示すように、帰還経路着脱部１４は、ネジ孔１４ｅが形成された帰還経路着脱固定部１４ａと、貫通孔１４ｆが形成された帰還経路着脱締結部１４ｂと、シール部材１４ｇを備えた帰還経路着脱封止部１４ｃとを備えている。帰還経路着脱締結部１４ｂは帰還経路着脱固定部１４ａに締結ネジ１４ｄにより固定される。帰還経路着脱部１４の構造や操作は放熱経路着脱部１３と同様であるため、詳細な説明は省略する。

　冷却対象の電子部品が故障した場合など電子機器５０のメンテナンスを要する場合、放熱経路５を放熱経路着脱部１３により放熱部側放熱経路９と受熱部側放熱経路１０とに分離し、帰還経路６を帰還経路着脱部１４により放熱部側帰還経路１１と受熱部側帰還経路１２とに分離することができる。これによって、循環経路全体ではなく、電子部品を設置した受熱部３、受熱部側放熱経路１０および受熱部側帰還経路１２だけを、冷却装置１から取り外すことができる。

　図４Ａおよび図４Ｂは、放熱経路開閉弁１５の開状態および閉状態をそれぞれ示す断面概略図である。

　図４Ａおよび図４Ｂに示すように、放熱経路開閉弁１５は、放熱経路を開閉する放熱経路開閉弁体１５ａと、放熱経路開閉弁体１５ａを遮蔽する放熱経路開閉弁閉止部１５ｂと、放熱経路開閉弁座１５ｃと、を備えている。

　放熱経路開閉弁体１５ａは例えば略円柱形状であり、放熱経路開閉弁閉止部１５ｂに近い側にシール部材１５ｄ、例えばゴム製のＯリングを備える。放熱経路開閉弁体１５ａの放熱経路開閉弁座１５ｃに近い側の端部１５ｅは、先端に向けて断面が細くなるテーパ形状となっている。シール部材１５ｄとテーパ形状となった端部１５ｅとの間の円柱側壁部１５ｆはネジ構造となっており、放熱経路開閉弁体１５ａは受熱部側放熱経路１０と直交する方向に沿って移動可能となっている。

　放熱経路開閉弁閉止部１５ｂは、例えば略円盤形状であって、その底面中央に円柱状の凸部１５ｇを備える。その円柱状の凸部１５ｇの側壁にシール部材１５ｈ、例えばゴム製のＯリングを備えており、その円柱状の凸部１５ｇを受熱部側放熱経路１０に対し嵌めこむ。放熱経路開閉弁閉止部１５ｂの外周部には、締結ネジ１５ｉを受熱部側放熱経路１０と直交する方向に沿って貫通させることができる貫通孔を複数備える。締結ネジ１５ｉにより、受熱部側放熱経路１０に対し放熱経路開閉弁閉止部１５ｂを固定できるようになっている。なお、受熱部側放熱経路１０には締結ネジ１５ｉが嵌るネジ穴が設けられている。放熱経路開閉弁閉止部１５ｂを受熱部側放熱経路１０から取り外すと、放熱経路開閉弁体１５ａの移動操作ができる状態になる。放熱経路開閉弁閉止部１５ｂを受熱部側放熱経路１０に固定すると、放熱経路開閉弁体１５ａを放熱経路開閉弁１５内部に遮蔽できる。これによって、気密性の確保と放熱経路開閉弁体１５ａの誤操作防止とができる。

　放熱経路開閉弁座１５ｃは、受熱部側放熱経路１０に設けられた、例えば円筒凹形状である。その凹形状の内径は、放熱経路開閉弁体１５ａのテーパ形状となった端部１５ｅの先端最小径より大きく、端部１５ｅ根元の最大径より小さい。これにより、放熱経路開閉弁体１５ａを移動操作させて、放熱経路開閉弁体１５ａの端部１５ｅを放熱経路開閉弁座１５ｃに接触させることにより、放熱経路開閉弁１５を閉じることができる。

　図４Ａに示すように、放熱経路開閉弁１５を開いているとは、放熱経路開閉弁体１５ａの端部１５ｅが、放熱経路開閉弁座１５ｃから離れており、放熱経路開閉弁１５内で受熱部側放熱経路１０の流路が繋がっている状態である。

　図４Ｂに示すように、放熱経路開閉弁１５を閉じているとは、放熱経路開閉弁体１５ａの端部１５ｅが、放熱経路開閉弁座１５ｃと接触しており、放熱経路開閉弁１５内で受熱部側放熱経路１０の流路が分断されている状態である。

　図４Ａおよび図４Ｂに示すような構成により、放熱経路開閉弁１５は繰返し開閉操作を実施できる。また、放熱経路開閉弁１５を閉じた際には、循環経路の減圧状態の維持もできる。

　図５Ａおよび図５Ｂは、帰還経路開閉弁１６の開状態および閉状態をそれぞれ示す断面概略図である。

　図５Ａおよび図５Ｂに示すように、帰還経路開閉弁１６は、シール部材１６ｄ、端部１６ｅおよび円柱側壁部１６ｆを備えた帰還経路開閉弁体１６ａと、円柱状の凸部１６ｇおよびシール部材１６ｈを備えた帰還経路開閉弁閉止部１６ｂと、帰還経路開閉弁座１６ｃと、を備えている。帰還経路開閉弁閉止部１６ｂは受熱部側帰還経路１２に、締結ネジ１６ｉにより固定される。構造や操作は放熱経路開閉弁１５と同様であるため、詳細な説明は省略する。

　以上のような構成により、放熱経路着脱部１３と帰還経路着脱部１４とにより放熱経路５および帰還経路６を分離する際に、放熱経路開閉弁１５および帰還経路開閉弁１６を閉じて、受熱部３、受熱部側放熱経路１０および受熱部側帰還経路１２内に冷媒を封じ込めることができる。これによって、放熱経路着脱部１３および帰還経路着脱部１４から冷媒が蒸発したり溢れ出たりしにくくなる。

　その結果、受熱部３、受熱部側放熱経路１０および受熱部側帰還経路１２を冷却装置１から取り外す際に、放熱経路着脱部１３および帰還経路着脱部１４から冷媒が消失しにくくなる。

　さらに、受熱部３、受熱部側放熱経路１０および受熱部側帰還経路１２を再度、冷却装置１に取り付ける際においては、放熱経路着脱部１３により放熱部側放熱経路９と受熱部側放熱経路１０とを接続し、帰還経路着脱部１４により放熱部側帰還経路１１と受熱部側帰還経路１２とを接続する。これによって、受熱部３、受熱部側放熱経路１０および受熱部側帰還経路１２を冷却装置１に取り付けやすくなる。

　最初に、冷却装置１の循環経路内に冷媒を注入する際、下方に位置する受熱部３、受熱部側帰還経路１２、受熱部側放熱経路１０の順に冷媒が貯まることとなる。この冷媒の水面が、受熱部側帰還経路１２に設けた帰還経路開閉弁１６内の帰還経路開閉弁体１６ａと帰還経路開閉弁座１６ｃとの接触位置、および、受熱部側放熱経路１０に設けた放熱経路開閉弁１５内の放熱経路開閉弁体１５ａと放熱経路開閉弁座１５ｃとの接触位置よりも下方になるように冷媒を注入することが望ましい。

　冷媒の水面の位置が、帰還経路開閉弁体１６ａと帰還経路開閉弁座１６ｃとの接触位置、および放熱経路開閉弁体１５ａと放熱経路開閉弁座１５ｃとの接触位置よりも上方だと、放熱経路着脱部１３と帰還経路着脱部１４とにより放熱経路５および帰還経路６を分離する際に、放熱経路開閉弁１５および帰還経路開閉弁１６を閉じても、受熱部３、受熱部側放熱経路１０および受熱部側帰還経路１２内に、全ての冷媒を封じ込めることができない。すなわち、放熱経路着脱部１３および帰還経路着脱部１４から冷媒が消失する恐れがある。

　放熱経路着脱部１３および帰還経路着脱部１４を設ける位置は、同じ高さであることが望ましいが、各々を異なる高さに設けてもよい。

　放熱経路開閉弁１５および帰還経路開閉弁１６を設ける位置も、同じ高さであることが望ましいが、各々を異なる高さに設けてもよい。異なる高さに設けるときは、低い方の位置に合わせて、注入する冷媒の量を調整する必要がある。

　次に、本実施の形態における他の特徴的な構成について説明する。

　図１に示すように、冷却装置１は、一端が放熱部側放熱経路９に接続されており、他端に開口面１９が水平方向より上向きである開放口１８が形成された開放経路を備える。開放経路は循環経路の内部圧力を調整するための内部圧力調整弁１７を備える。

　なお、本実施の形態においては、循環経路から分岐させた経路上に内部圧力調整弁１７を設けているが、循環経路に直接内部圧力調整弁１７を設けてもよい。その場合は、内部圧力調整弁１７のみで開放経路が形成される。

　また、本実施の形態においては、開放経路の一端は放熱部側放熱経路９に接続される構成で説明するが、開放経路の一端は放熱部側帰還経路１１に接続されていてもよいし、開放経路の一端が枝分かれして放熱部側放熱経路９および放熱部側帰還経路１１の両方に接続されていてもよい。また、放熱部側放熱経路９に開放経路が接続され、放熱部側帰還経路１１にも放熱部側放熱経路９に接続された開放経路とは別の開放経路が接続されていてもよい。

　開放口１８の開口面１９は、鉛直方向上向きであることが望ましいが、水平方向よりも少しでも上向きであればよい。

　以上のような構成であるため、放熱経路５を放熱経路着脱部１３により放熱部側放熱経路９と受熱部側放熱経路１０とに分離し、帰還経路６を帰還経路着脱部１４により放熱部側帰還経路１１と受熱部側帰還経路１２とに分離する際に、内部圧力調整弁１７を開けば、減圧状態の循環経路内に大気が流入しやすくなる。そうすると、放熱部４、放熱部側放熱経路９および放熱部側帰還経路１１内に存在する冷媒が、下方に配置された受熱部側放熱経路１０、受熱部側帰還経路１２および受熱部３に移動しやすくなる。

　そして、放熱経路開閉弁１５と帰還経路開閉弁１６とを閉じることにより、受熱部３、受熱部側放熱経路１０および受熱部側帰還経路１２内に冷媒を封じ込めることができる。そのため、放熱経路着脱部１３および帰還経路着脱部１４から冷媒が消失しにくくなる。

　さらに、開放経路の開放口１８の開口面１９が上向きであるため、内部圧力調整弁１７を開いた際に、冷媒が開放経路の開放口１８から消失しにくくなる。その結果、受熱部３、受熱部側放熱経路１０および受熱部側帰還経路１２を冷却装置１から取り外す際に、開放経路の開放口１８から冷媒が消失しにくくなる。

　次に本発明の特徴である冷却装置１の操作フローについて説明する。

　図６Ａ～図６Ｃは、冷却装置１の操作フロー図であり、放熱経路着脱部１３、帰還経路着脱部１４、放熱経路開閉弁１５、帰還経路開閉弁１６および内部圧力調整弁１７の各状態並びに操作フローを示している。

　図６Ａは、冷却装置１の停止から受熱部３の分離までの操作フローを示している。

　冷却対象の電子部品が故障した場合など電子部品の取り外しや交換が必要な程の電子機器５０のメンテナンスを要する場合には、放熱経路５を放熱経路着脱部１３により放熱部側放熱経路９と受熱部側放熱経路１０とに分離し、帰還経路６を帰還経路着脱部１４により放熱部側帰還経路１１と受熱部側帰還経路１２とに分離する。そして、受熱部側放熱経路１０および受熱部側帰還経路１２を、電子部品を設置した受熱部３とともに、冷却装置１から取り外す。

　すなわち、電子部品が故障すると、電子部品の発熱が停止するので、循環経路内の冷媒の循環は次第に収まる。電子部品および受熱部３が十分に設置環境温度と同等まで冷えると、冷却装置１が停止したとみなす。このとき、循環経路内の冷媒の殆どは受熱部３、受熱部側放熱経路１０および受熱部側帰還経路１２に収まっている。その後、内部圧力調整弁１７を開く。これにより、減圧状態の循環経路内に大気が流入する。そうすると、放熱部４、放熱部側放熱経路９および放熱部側帰還経路１１内に残存する冷媒が、下方に配置された受熱部側放熱経路１０、受熱部側帰還経路１２および受熱部３へ移動する。

　次に、放熱経路開閉弁１５と帰還経路開閉弁１６とを閉じる。これにより、受熱部３、受熱部側放熱経路１０および受熱部側帰還経路１２内に冷媒を封じ込めることができるので、放熱経路着脱部１３および帰還経路着脱部１４から冷媒が消失するのを防ぐことができる。

　そして次に、放熱経路着脱部１３により放熱部側放熱経路９と受熱部側放熱経路１０とを分離する。同様に、帰還経路着脱部１４により放熱部側帰還経路１１と受熱部側帰還経路１２とを分離する。

　これにより、受熱部３を冷却装置１から取り外すことができる。

　図６Ｂは、受熱部３の装着から冷却装置１の運転準備までの操作フローを示している。

　電子部品を設置しなおした後に、受熱部３、受熱部側放熱経路１０および受熱部側帰還経路１２を冷却装置１に取り付け、冷却装置１を運転可能な状態に復旧させる必要がある。

　すなわち、放熱経路着脱部１３により放熱部側放熱経路９と受熱部側放熱経路１０とを接続し、帰還経路着脱部１４により放熱部側帰還経路１１と受熱部側帰還経路１２とを接続する。これによって、電子部品を設置しなおした受熱部３、受熱部側放熱経路１０および受熱部側帰還経路１２を冷却装置１に取り付ける。このとき、内部圧力調整弁１７は開いた状態であり、放熱経路開閉弁１５と帰還経路開閉弁１６とは閉じた状態である。

　次に、開放経路の開放口１８に真空ポンプ（図示なし）を接続し、放熱部側放熱経路９、放熱部側帰還経路１１および放熱部４の内部圧力を十分に減圧する。その後、内部圧力調整弁１７を閉じ、減圧状態を維持した上で、真空ポンプを停止して外す。

　そして次に、放熱経路開閉弁１５と帰還経路開閉弁１６とを開き、冷媒の循環経路を確保する。

　これにより、受熱部３を冷却装置１に装着し、冷却装置１の運転準備ができる。

　メンテナンス時は、放熱経路開閉弁１５と帰還経路開閉弁１６とを開いた上で、メンテナンス用の配管経路（図示せず）を放熱経路着脱部１３および帰還経路着脱部１４と接続し、受熱部３、受熱部側放熱経路１０および受熱部側帰還経路１２の内部を減圧した上で、再度放熱経路開閉弁１５と帰還経路開閉弁１６とを閉じておくことが望ましい。受熱部３、受熱部側放熱経路１０および受熱部側帰還経路１２側に空気が入っていると、冷却装置１の冷却性能が低下するからである。

　ここで、メンテナンス用の配管経路とは、一端が放熱経路着脱部１３と気密に接続でき、他端が帰還経路着脱部１４と気密に接続でき、経路の途中に真空ポンプとの接続口を備えた構成である。真空ポンプを接続して、動作させることにより、受熱部３、受熱部側放熱経路１０および受熱部側帰還経路１２の内部を減圧することができる。

　図６Ｃは、冷却装置１の運転準備から通常運転開始までの操作フローを示している。

　発熱体２となる電子部品に通電されると、発熱体２の熱が受熱部３を介して冷媒に伝わる。これによって、冷媒の循環が開始され、冷媒の循環が安定した後に、冷却装置１は通常運転となる。

　以上のような冷却装置１の操作を行うことで、電子機器５０のメンテナンスの煩雑さを低減できるのである。

　なお、メンテナンスで冷却装置１から受熱部３を取り外した際に、放熱経路着脱封止部１３ｃおよび帰還経路着脱封止部１４ｃのシール部材１３ｇ、１４ｇを新品に交換しても良い。これにより、放熱経路着脱部１３および帰還経路着脱部１４を繰返し着脱したとしても減圧状態の維持が容易になり、電子機器５０のメンテナンスの煩雑さを低減できる。

　なお、図７Ａに示すように、放熱経路着脱封止部１３ｃの円筒外径Ｗ１と帰還経路着脱封止部１４ｃの円筒外径Ｗ２とが互いに異なっていてもよい。これにより受熱部３の装着の際に、放熱経路着脱封止部１３ｃを帰還経路着脱固定部１４ａに誤って嵌合してしまうことを防ぎ、電子機器５０のメンテナンスの煩雑さを低減できる。この場合、放熱経路着脱封止部１３ｃの円筒高さＨ１と帰還経路着脱封止部１４ｃの円筒高さＨ２とは、同じであってもよいし、互いに異なっていてもよい。

　なお、図７Ｂに示すように、放熱経路着脱封止部１３ｃの円筒高さＨ１と帰還経路着脱封止部１４ｃの円筒高さＨ２とが互いに異なっていてもよい。これにより受熱部３の装着の際に、放熱経路着脱封止部１３ｃを帰還経路着脱固定部１４ａに誤って嵌合してしまうことを防ぎ、電子機器５０のメンテナンスの煩雑さを低減できる。この場合、放熱経路着脱封止部１３ｃの円筒外径Ｗ１と帰還経路着脱封止部１４ｃの円筒外径Ｗ２とは、同じであってもよいし、互いに異なっていてもよい。

　なお、放熱経路着脱部１３および帰還経路着脱部１４の材質は、内部に封入する冷媒により腐食されない金属が好ましい。

　なお、放熱経路開閉弁１５および帰還経路開閉弁１６として、開閉可能で閉止性能に優れた、例えばミニチュアバルブ、グローブバルブ、ニードルバルブ、ベローズバルブ、ストップバルブなどを用いることができるが、これらに限らない。

　なお、放熱経路開閉弁１５および帰還経路開閉弁１６の材質は、内部に封入する冷媒により腐食されない金属が好ましい。

　（実施の形態２）
　以下、本発明の実施の形態２について、図面を参照しながら説明する。

　図８は、本発明の実施の形態２の冷却装置１を搭載した電子機器５０の概略図である。

　実施の形態１と同様の構成要素については同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。

　図８に示すように、本実施の形態においては、開放経路は放熱部側帰還経路１１に設ける構成とする。

　実施の形態１との違いは、開放経路が放熱部側放熱経路９ではなく放熱部側帰還経路１１に設けられた点である。

　本実施の形態では、放熱部側帰還経路１１は放熱部側放熱経路９に比べて、放熱部４の下部と接続されているため、内部圧力調整弁１７を手動で操作する場合の作業性が向上する。

　他の作用効果は実施の形態１と同じであり、説明は省略する。

　（実施の形態３）
　以下、本発明の実施の形態３について、図面を参照しながら説明する。実施の形態１、２と同様の構成要素については同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。

　実施の形態１、２において、循環経路内に封入される冷媒の量、すなわち液面高さは、帰還経路開閉弁１６および放熱経路開閉弁１５よりも上方になる場合がある。

　そのため、図９に示すように、放熱経路開閉弁１５より受熱部３側の受熱部側放熱経路１０に冷媒を貯める冷媒タンク２０を設けている。これにより封入した冷媒の液面高さを帰還経路開閉弁１６および放熱経路開閉弁１５よりも下方に位置させやすい。

　次に、図１０Ａおよび図１０Ｂを用いて、冷媒タンク２０の構成を説明する。

　図１０Ａおよび図１０Ｂに示すように、冷媒タンク２０は、タンク本体２１、入口管２２および出口管２３で構成されている。タンク本体２１内は、上部がドーム状の上部空間２１ａとなっており、下部が円柱状の下部空間２１ｂとなっている。入口管２２の上部先端２２ａは下部空間２１ｂ内に突出している。また、出口管２３は上部空間２１ａの天面に接続されている。

　上記構成において、発熱体２の発熱により受熱部３内の液相冷媒が加熱されると、液相冷媒は気化して、気相冷媒となる。気相冷媒は受熱部３から受熱部側放熱経路１０へ移動し、受熱部側放熱経路１０に貯まっていた液相冷媒の一部とともに混相流冷媒となり、高速で上昇していく。この上昇してきた混相流冷媒が入口管２２から冷媒タンク２０内へ流入し、冷媒タンク２０内に溜まっていた液相冷媒とともに出口管２３から流出する。

　すなわち、発熱体２の発熱により加熱されて高温高圧となった気相冷媒が受熱部側放熱経路１０に貯まっていた液相冷媒の一部とともに混相流冷媒となり、高速で冷媒タンク２０に流入する。

　一方、冷媒タンク２０の内部は液相冷媒に充満されている。つまり、冷媒タンク２０の内部圧力が冷媒タンク２０に流入する混相流冷媒の蒸気圧力より低い。この圧力差の作用によって混相流冷媒が高速で冷媒タンク２０に流入した瞬間、混相流冷媒は一気に冷媒タンク２０の内部に拡散し、周囲の液相冷媒と混合し、最後に冷媒タンク２０内の液相冷媒とともに混相流冷媒となり、出口管２３から流出する。

　しかしながら、高速で冷媒タンク２０に流入する混相流冷媒が周囲の液相冷媒と混合するとき、混合による流れの乱れや壁面との衝突による圧力損失が生じてしまい、冷却性能が低下する恐れがある。

　このとき、入口管２２の上部先端２２ａを下部空間２１ｂ内に突出させることによって、入口管２２の上部先端２２ａから出口管２３までの距離を短くする。それによって、高速で冷媒タンク２０に流入する混相流冷媒を出口管２３へ流れやすくする。

　よって、混合による流れの乱れや壁面との衝突による圧力損失を抑制し、冷却性能の高い冷却装置１を提供することができる。下部空間２１ｂ内に突出する入口管２２の上部先端２２ａは、できるだけ冷媒タンク２０の中央近傍まで延設した方が望ましい。

　また、タンク本体２１の上部空間２１ａはドーム状であり、出口管２３が上部空間２１ａの天面に接続されている。そのため、高速で冷媒タンク２０に流入する混相流冷媒が周囲の液相冷媒と混合するとき、壁面との衝突による圧力損失がドーム状の壁面により緩和する。さらに、混相流冷媒がドーム状の壁面に沿って出口管２３へ流れることができるため、混相流冷媒が出口管２３へ流れやすくなる。結果として、混合による流れの乱れや壁面との衝突による圧力損失を抑制し、冷却性能の高い冷却装置１を提供することができる。

　また、タンク本体２１に接続する入口管２２および出口管２３の接続方向については、図１０Ａおよび図１０Ｂに示すように入口管２２および出口管２３が同一延長線上になるように配置してもよいが、タンク本体２１の下部から流入して側面から流出する構成やタンク本体２１の側面から流入して上部から流出する構成などにしてもよい。

　また、タンク本体２１の外形の大きさについては、受熱部側放熱経路１０における放熱経路開閉弁１５より受熱部３側の部分の長さに応じて、冷媒貯留量から決めればよい。しかし、設置条件からは、水平方向の断面積をあまり大きくはできないため、上下方向の長さをできるだけ長くする方が好ましい。

　なお、タンク本体２１の内部空間の形状は、図１１Ａ～図１１Ｃに示すように、円柱状、球状または四角柱状が使用できる。しかし、冷媒貯留量と冷媒の通過圧損とを考慮すると、図１０Ａおよび図１０Ｂに示す形状が好ましい。

　また、本実施形態では、タンク本体２１の外形を四角筒状で説明したが、円筒状の大口径の配管を用いてもよい。その際は、タンク本体２１の外形に対し内部空間を広くできるため、冷媒貯留量も確保できる。

　また、本実施形態では、放熱経路開閉弁１５より受熱部３側の受熱部側放熱経路１０に冷媒タンク２０を設けたが、１０年以上の長期間の使用に耐え得るよう、冷媒を多めに封入する場合には、帰還経路開閉弁１６より受熱部３側の受熱部側帰還経路１２に冷媒タンク２０を設けてもよい。

　なお、冷媒タンク２０を受熱部側帰還経路１２に設ける場合には、受熱部３に対する水頭圧が低くなるため、冷媒の循環が不安定になる可能性がある。そのため、水頭圧高さに余裕のない場合には受熱部側放熱経路１０に冷媒タンク２０を設けるのが好ましい。

　このように、冷却対象の電子部品が故障した場合など電子機器５０のメンテナンスを要する場合、電子部品を設置した受熱部３、受熱部側放熱経路１０および受熱部側帰還経路１２を冷却装置１から取り外す。その後に、電子部品を設置しなおした受熱部３、受熱部側放熱経路１０および受熱部側帰還経路１２を冷却装置１に取り付けることができる。結果として、電子機器５０のメンテナンスの煩雑さを低減できる。

　以上のように本発明の一態様に係る冷却装置は、電子機器のメンテナンスの煩雑さを低減することができるので、ＣＰＵ、ＬＳＩ、ＩＧＢＴ等の電子部品を冷却する冷却装置として有用である。

　１　　冷却装置
　２　　発熱体
　３　　受熱部
　４　　放熱部
　５　　放熱経路
　６　　帰還経路
　７　　冷却具
　８　　逆流防止部
　９　　放熱部側放熱経路
　１０　　受熱部側放熱経路
　１１　　放熱部側帰還経路
　１２　　受熱部側帰還経路
　１３　　放熱経路着脱部
　１３ａ　　放熱経路着脱固定部
　１３ｂ　　放熱経路着脱締結部
　１３ｃ　　放熱経路着脱封止部
　１３ｄ　　締結ネジ
　１３ｅ　　ネジ穴
　１３ｆ　　貫通孔
　１３ｇ　　シール部材
　１４　　帰還経路着脱部
　１４ａ　　帰還経路着脱固定部
　１４ｂ　　帰還経路着脱締結部
　１４ｃ　　帰還経路着脱封止部
　１４ｄ　　締結ネジ
　１４ｅ　　ネジ穴
　１４ｆ　　貫通孔
　１４ｇ　　シール部材
　１５　　放熱経路開閉弁
　１５ａ　　放熱経路開閉弁体
　１５ｂ　　放熱経路開閉弁閉止部
　１５ｃ　　放熱経路開閉弁座
　１５ｄ　　シール部材
　１５ｅ　　端部
　１５ｆ　　円柱側壁部
　１５ｇ　　凸部
　１５ｈ　　シール部材
　１５ｉ　　締結ネジ
　１６　　帰還経路開閉弁
　１６ａ　　帰還経路開閉弁体
　１６ｂ　　帰還経路開閉弁閉止部
　１６ｃ　　帰還経路開閉弁座
　１６ｄ　　シール部材
　１６ｅ　　端部
　１６ｆ　　円柱側壁部
　１６ｇ　　凸部
　１６ｈ　　シール部材
　１６ｉ　　締結ネジ
　１７　　内部圧力調整弁
　１８　　開放口
　１９　　開口面
　２０　　冷媒タンク
　２１　　タンク本体
　２１ａ　　上部空間
　２１ｂ　　下部空間
　２２　　入口管
　２２ａ　　上部先端
　２３　　出口管
　５０　　電子機器
　５１　　ケース
　Ｗ１　　円筒外径
　Ｗ２　　円筒外径
　Ｈ１　　円筒高さ
　Ｈ２　　円筒高さ

Claims

発熱体を設置する受熱部、放熱経路、放熱部および帰還経路を順に連結して形成した冷媒の循環経路を備え、
前記冷媒の相変化によって前記発熱体を冷却する冷却装置であって、
前記放熱経路は、放熱部側放熱経路と、受熱部側放熱経路と、前記放熱部側放熱経路と前記受熱部側放熱経路との間に設けた放熱経路着脱部と、前記受熱部側放熱経路に設けた放熱経路開閉弁と、を備え、
前記帰還経路は、放熱部側帰還経路と、受熱部側帰還経路と、前記放熱部側帰還経路と前記受熱部側帰還経路との間に設けた帰還経路着脱部と、前記受熱部側帰還経路に設けた帰還経路開閉弁と、を備えた冷却装置。
一端が前記放熱部側放熱経路または前記放熱部側帰還経路に接続され、他端に開口面が水平方向より上向きである開放口が形成された開放経路を備え、
前記開放経路に前記循環経路の内部圧力を調整するための内部圧力調整弁を備えた請求項１に記載の冷却装置。
前記帰還経路に前記冷媒の逆流を防止する逆流防止部を備えた請求項１に記載の冷却装置。
前記放熱経路着脱部は、放熱経路着脱固定部と、前記放熱経路着脱固定部に締結する放熱経路着脱締結部と、前記放熱経路着脱締結部に前記放熱経路着脱固定部を締結した状態で前記放熱経路着脱固定部と嵌合する放熱経路着脱封止部と、を備え、
前記帰還経路着脱部は、帰還経路着脱固定部と、前記帰還経路着脱固定部に締結する帰還経路着脱締結部と、前記帰還経路着脱締結部に前記帰還経路着脱固定部を締結した状態で前記帰還経路着脱固定部に嵌合する帰還経路着脱封止部と、を備えた請求項１に記載の冷却装置。
前記放熱経路着脱封止部および前記帰還経路着脱封止部は、いずれも円筒形状であり、
前記放熱経路着脱封止部の円筒外径と前記帰還経路着脱封止部の円筒外径とが、互いに異なる請求項４に記載の冷却装置。
前記放熱経路着脱封止部および前記帰還経路着脱封止部は、いずれも円筒形状であり、
前記帰還経路着脱封止部の円筒高さと前記放熱経路着脱封止部の円筒高さとが、互いに異なる請求項４に記載の冷却装置。
前記放熱経路開閉弁は、前記放熱経路を開閉する放熱経路開閉弁体と、前記放熱経路開閉弁体を遮蔽する放熱経路開閉弁閉止部と、を備え、
前記帰還経路開閉弁は、前記帰還経路を開閉する帰還経路開閉弁体と、前記帰還経路開閉弁体を遮蔽する帰還経路開閉弁閉止部と、を備えた請求項１に記載の冷却装置。
前記受熱部側放熱経路および前記受熱部側帰還経路の少なくとも一方に、前記冷媒を貯める冷媒タンクを備えた請求項１に記載の冷却装置。
請求項１に記載の冷却装置を搭載した電子機器。