JP2016156604A - 冷却装置およびこれを搭載した電子機器 - Google Patents

Abstract

【課題】本発明は、容易にメンテナンスすることができる冷却装置を提供することを目的とするものである。
【解決手段】発熱体２を設置する受熱部３と、放熱経路５、放熱部４、帰還経路６、を順に連結して冷媒の循環経路を形成し、放熱部４は、受熱部より上方に配置され、放熱経路５は、放熱部側放熱経路９と、受熱部側放熱経路１０と、放熱部側放熱経路９と受熱部側放熱経路１０との間に放熱経路着脱部１３と、放熱経路着脱部１３近傍の受熱部側放熱経路１０に放熱経路開閉弁１５とを備え、帰還経路６は、放熱部側帰還経路１１と、受熱部側帰還経路１２と、放熱部側帰還経路１１と受熱部側帰還経路１２との間に帰還経路着脱部１４と、帰還経路着脱部１４近傍の受熱部側帰還経路１２に帰還経路開閉弁１６とを備えたことを特徴とする冷却装置とした。
【選択図】図１

Description

本発明は、中央演算処理装置（ＣＰＵ）、大規模集積回路（ＬＳＩ）、絶縁ゲートバイポーラトランジスタ（ＩＧＢＴ）等の電子部品を搭載した電子機器の冷却装置およびこれを搭載した電子機器に関するものである。

従来、この種の冷却装置は、例えば特許文献１のようなループ型ヒートパイプを用いた冷却装置で、中央演算処理装置（ＣＰＵ）、大規模集積回路（ＬＳＩ）、絶縁ゲートバイポーラトランジスタ（ＩＧＢＴ）等の電子部品の冷却を行っていた。

以下、特許文献１に示すループ型ヒートパイプについて、図１２を参照しながら説明する。

図１２に示すようにループ型ヒートパイプは上昇管１０１と下降管１０２とを別個に含むループ回路１０３と、ループ回路１０３に真空下において封入された冷媒である熱媒体１１２と、ループ回路１０３の一部を構成し、かつループ回路１０３の上方に位置する冷却器１０５と、上昇管１０１の下部に位置する加熱部１１３と、ループ回路１０３内の下部に介装しループ回路１０３内の熱媒体１１２の循環方向を限定する逆止弁１０７とを備えている。

ここで、加熱部１１３に接触させた半導体スイッチング素子に熱が発生すると、発生した熱は加熱部１１３へ伝わり、加熱部１１３を循環する熱媒体１１２に熱が加えられ気化する。逆止弁１０７によりその循環方向が制限され、気化した熱媒体１１２は上昇管１０１を上昇し冷却器１０５に導かれて冷却され、ここで、加熱部１１３で加えられた熱を放出する。冷却器１０５で熱を放出した熱媒体１１２は、下降管１０２を下降し、逆止弁１０７を介して再び加熱部１１３へと循環する。

特開昭６１−０３８３９６号公報

上記従来例における課題は、冷却装置のメンテナンスが煩雑になることであった。

すなわち、上記従来例の冷却装置において、冷却の対象は受熱部１１３に接触させた電子部品であり、例えば算処理装置（ＣＰＵ）、大規模集積回路（ＬＳＩ）、絶縁ゲートバイポーラトランジスタ（ＩＧＢＴ）等で、それらの電子部品には頻繁に不具合が生じうる。

そして、電子部品に不具合が生じた場合、不具合が生じた電子部品を交換することとなる。電子部品と冷却装置とは、熱を受け渡しするために密着して接触させて配置されているため、電子部品を交換する際には、電子部品とともに冷却装置も一旦取り外すこととなる。

その際に、冷却用液体管路１１１が冷却器１０５の内部に突入しているため、冷却器１０５の内部から冷却用液体管路１１１を取り出して、ループ回路１０３を取り外す必要がある。また、ループ回路１０３内には、熱媒体１１２が封入されているが、ループ回路１０３の密閉状態を開放する際に、熱媒体１１２が蒸発したりループ回路１０３から溢れ出ることにより、熱媒体１１２の一部または全部が消失することがある。従って、電子部品を交換した後に、冷却器１０５の内部に冷却用液体管路１１１を配置し、さらに、蒸発したり溢れ出て消失した熱媒体１１２を補充することが必要となる。このように、冷却装置のメンテナンスが煩雑になるという課題があった。

そこで本発明は、容易にメンテナンスすることができる冷却装置を提供することを目的とする。

そして、この目的を達成するために、本発明は、冷媒の相変化によって発熱体を冷却する冷却装置において、前記発熱体を設置する受熱部と、放熱経路、放熱部、帰還経路、を順に連結して前記冷媒の循環経路を形成し、前記放熱部は、前記受熱部より上方に配置され、前記放熱経路は、放熱部側放熱経路と、受熱部側放熱経路と、前記放熱部側放熱経路と前記受熱部側放熱経路との間に放熱経路着脱部と、前記放熱経路着脱部近傍の前記受熱部側放熱経路に放熱経路開閉弁とを備え、前記帰還経路は、放熱部側帰還経路と、受熱部側帰還経路と、前記放熱部側帰還経路と前記受熱部側帰還経路との間に帰還経路着脱部と、前記帰還経路着脱部近傍の前記受熱部側帰還経路に帰還経路開閉弁とを備えたことを特徴とする冷却装置であり、これにより所期の目的を達成するものである。

以上のように本発明は、冷媒の相変化によって発熱体を冷却する冷却装置において、
前記発熱体を設置する受熱部と、放熱経路、放熱部、帰還経路、を順に連結して前記冷媒の循環経路を形成し、前記放熱部は、前記受熱部より上方に配置され、前記放熱経路は、放熱部側放熱経路と、受熱部側放熱経路と、前記放熱部側放熱経路と前記受熱部側放熱経路との間に放熱経路着脱部と、前記放熱経路着脱部近傍の前記受熱部側放熱経路に放熱経路開閉弁とを備え、前記帰還経路は、放熱部側帰還経路と、受熱部側帰還経路と、前記放熱部側帰還経路と前記受熱部側帰還経路との間に帰還経路着脱部と、前記帰還経路着脱部近傍の前記受熱部側帰還経路に帰還経路開閉弁とを備えたことを特徴とする冷却装置であり、容易にメンテナンスすることができる冷却装置を提供することができるものである。

すなわち、前記放熱経路は、放熱部側放熱経路と、受熱部側放熱経路と、前記放熱部側放熱経路と前記受熱部側放熱経路との間に放熱経路着脱部とを備え、前記帰還経路は、放熱部側帰還経路と、受熱部側帰還経路と、前記放熱部側帰還経路と前記受熱部側帰還経路との間に帰還経路着脱部とを備えているので、冷却対象の電子部品等が故障した場合などメンテナンスを要する場合、放熱経路を放熱経路着脱部により放熱部側放熱経路と受熱部側放熱経路に分離し、帰還経路を帰還経路着脱部により放熱部側帰還経路と受熱部側帰還経路に分離することによって、メンテナンスする電子部品等を設置した受熱部を受熱部側放熱経路、受熱部側帰還経路とともに冷却装置から分離することができる。

さらに、前記放熱経路着脱部近傍の前記受熱部側放熱経路に放熱経路開閉弁、前記帰還経路着脱部近傍の前記受熱部側帰還経路に帰還経路開閉弁を備えているので、放熱経路着脱部と帰還経路着脱部を分離する際に、放熱経路開閉弁と帰還経路開閉弁を閉じることにより、受熱部、受熱部側放熱経路、受熱部側帰還経路に存在する冷媒を封じ込めて、放熱経路着脱部および帰還経路着脱部から冷媒が漏れるのを防ぐことができる。その結果、メンテナンスする電子部品等を設置した受熱部を受熱部側放熱経路、受熱部側帰還経路とともに冷却装置から分離する際に、放熱経路着脱部および帰還経路着脱部から冷媒が漏れるのを防ぐことができる。

さらに、メンテナンスを終えた電子部品等を設置した受熱部を受熱部側放熱経路、受熱部側帰還経路とともに再度、冷却装置に装着する際においては、放熱経路着脱部により放熱部側放熱経路と受熱部側放熱経路を接続し、帰還経路着脱部により放熱部側帰還経路と受熱部側帰還経路を接続することによって、メンテナンスを終えた電子部品等を設置しなおした受熱部を受熱部側放熱経路、受熱部側帰還経路とともに冷却装置に装着することができる。

このように、冷却対象の電子部品等が故障した場合などメンテナンスを要する場合、メンテナンスする電子部品等を設置した受熱部を受熱部側放熱経路、受熱部側帰還経路とともに冷却装置から分離し、その後、メンテナンスを終えた電子部品等を設置しなおした受熱部３を受熱部側放熱経路、受熱部側帰還経路とともに冷却装置に装着することができる。結果として、冷却装置を容易にメンテナンスすることができるのである。

本発明の実施の形態１の冷却装置を搭載した電子機器の概略図 （ａ）同発明の放熱経路着脱部の装着状態を示す断面外略図、（ｂ）同発明の放熱経路着脱部の分離状態を示す断面概略図 （ａ）同発明の帰還経路着脱部の装着状態を示す断面外略図、（ｂ）同発明の帰還経路着脱部の分離状態を示す断面概略図 （ａ）同発明の放熱経路開閉弁の開状態を示す断面概略図、（ｂ）同発明の放熱経路開閉弁の閉状態を示す断面概略図 （ａ）同発明の帰還経路開閉弁の開状態を示す断面概略図、（ｂ）同発明の帰還経路開閉弁の閉状態を示す断面概略図 （ａ）同発明の冷却装置の停止から分離時のメンテナンス操作フロー図、（ｂ）同発明の冷却装置の装着から運転準備時のメンテナンス操作フロー図、（ｃ）同発明の冷却装置の運転開始から通常運転時のメンテナンス操作フロー図 （ａ）同発明の放熱経路着脱部および帰還経路着脱部の別の構成を示す断面概略図、（ｂ）同発明の放熱経路着脱部および帰還経路着脱部の別の構成を示す断面概略図 本発明の実施の形態２の冷却装置を搭載した電子機器の概略図 本発明の実施の形態３の冷却装置を搭載した電子機器の概略図 （ａ）同冷却装置の冷媒タンクを示す正面図、（ｂ）同冷却装置の冷媒タンクを示す斜視図 （ａ）同冷却装置の他の冷媒タンクを示す斜視図、（ｂ）同冷却装置のさらに他の冷媒タンクを示す図、（ｃ）同冷却装置のまたさらに他の冷媒タンクを示す図 従来の冷却装置を示す概略図

本発明の一実施形態に係る冷却装置は、冷媒の相変化によって発熱体を冷却する冷却装置において、前記発熱体を設置する受熱部と、放熱経路、放熱部、帰還経路、を順に連結して前記冷媒の循環経路を形成し、前記放熱部は、前記受熱部より上方に配置され、前記放熱経路は、放熱部側放熱経路と、受熱部側放熱経路と、前記放熱部側放熱経路と前記受熱部側放熱経路との間に放熱経路着脱部と、前記放熱経路着脱部近傍の前記受熱部側放熱経路に放熱経路開閉弁とを備え、前記帰還経路は、放熱部側帰還経路と、受熱部側帰還経路と、前記放熱部側帰還経路と前記受熱部側帰還経路との間に帰還経路着脱部と、前記帰還経路着脱部近傍の前記受熱部側帰還経路に帰還経路開閉弁とを備えた構成とすることにより、容易にメンテナンスすることができる冷却装置を提供することができるものである。

すなわち、前記放熱経路は、放熱部側放熱経路と、受熱部側放熱経路と、前記放熱部側放熱経路と前記受熱部側放熱経路との間に放熱経路着脱部とを備え、前記帰還経路は、放熱部側帰還経路と、受熱部側帰還経路と、前記放熱部側帰還経路と前記受熱部側帰還経路との間に帰還経路着脱部とを備えているので、冷却対象の電子部品等が故障した場合などメンテナンスを要する場合、放熱経路を放熱経路着脱部により放熱部側放熱経路と受熱部側放熱経路に分離し、帰還経路を帰還経路着脱部により放熱部側帰還経路と受熱部側帰還経路に分離することによって、メンテナンスする電子部品等を設置した受熱部を受熱部側放熱経路、受熱部側帰還経路とともに冷却装置から分離することができる。

さらに、前記放熱経路着脱部近傍の前記受熱部側放熱経路に放熱経路開閉弁、前記帰還経路着脱部近傍の前記受熱部側帰還経路に帰還経路開閉弁を備えているので、放熱経路着脱部と帰還経路着脱部を分離する際に、放熱経路開閉弁と帰還経路開閉弁を閉じることにより、受熱部、受熱部側放熱経路、受熱部側帰還経路に存在する冷媒を封じ込めて、放熱経路着脱部および帰還経路着脱部から冷媒が漏れるのを防ぐことができる。

その結果、メンテナンスする電子部品等を設置した受熱部を受熱部側放熱経路、受熱部側帰還経路とともに冷却装置から分離する際に、放熱経路着脱部および帰還経路着脱部から冷媒が漏れるのを防ぐことができる。

さらに、メンテナンスを終えた電子部品等を設置した受熱部を受熱部側放熱経路、受熱部側帰還経路とともに再度、冷却装置に装着する際においては、放熱経路着脱部により放熱部側放熱経路と受熱部側放熱経路を接続し、帰還経路着脱部により放熱部側帰還経路と受熱部側帰還経路を接続することによって、メンテナンスを終えた電子部品等を設置しなおした受熱部を受熱部側放熱経路、受熱部側帰還経路とともに冷却装置に装着することができる。

このように、冷却対象の電子部品等が故障した場合などメンテナンスを要する場合、メンテナンスする電子部品等を設置した受熱部を受熱部側放熱経路、受熱部側帰還経路とともに冷却装置から分離し、その後、メンテナンスを終えた電子部品等を設置しなおした受熱部を受熱部側放熱経路、受熱部側帰還経路とともに冷却装置に装着することができる。結果として、冷却装置を容易にメンテナンスすることができるのである。

また、開放口を備えた、循環経路の内部圧力を減圧する内部圧力調整弁を前記放熱部側放熱経路または前記放熱部側帰還経路の少なくとも一方に設け、前記開放口の開口面は、鉛直方向より上向きである構成にしてもよい。

これにより、冷却対象の電子部品等が故障した場合などメンテナンスを要する場合、放熱経路を放熱経路着脱部により放熱部側放熱経路と受熱部側放熱経路に分離し、帰還経路を帰還経路着脱部により放熱部側帰還経路と受熱部側帰還経路に分離する際に、内部圧力調整弁を開くことで、減圧状態の循環経路内に大気が流入し、放熱部、放熱部側放熱経路、および放熱部側帰還経路に存在する冷媒が、下方に配置された受熱部側放熱経路、受熱部側帰還経路および受熱部に滴下しやすくなる。

そして、放熱経路開閉弁と帰還経路開閉弁を閉じることにより、滴下した冷媒も含め、受熱部、受熱部側放熱経路、受熱部側帰還経路に存在する冷媒を封じ込めて、放熱経路着脱部および帰還経路着脱部から冷媒が漏れるのを防ぐことができる。

さらに、内部圧力調整弁の開放口の開口面が鉛直方向より上向きであるため、内部圧力調整弁を開いた際に、冷媒が開放口から漏れるのも防ぐことができる。

その結果、メンテナンスする電子部品等を設置した受熱部を受熱部側放熱経路、受熱部側帰還経路とともに冷却装置から分離する際に、内部圧力調整弁の開放口、放熱経路着脱部および帰還経路着脱部から冷媒が漏れるのを防ぎ、結果として、冷却装置を容易にメンテナンスすることができるのである。

さらに、メンテナンスを終えた電子部品等を設置した受熱部を受熱部側放熱経路、受熱部側帰還経路とともに再度、冷却装置に装着する際においては、放熱経路着脱部と帰還経路着脱部により放熱経路および帰還経路を接続した後、放熱経路開閉弁と帰還経路開閉弁は閉じた状態で、内部圧力調整弁を開き、真空ポンプを内部圧力調整弁に接続して、放熱部側放熱経路、放熱部側帰還経路および放熱部の内部圧力を十分に減圧する。

受熱部を分離する際に、内部圧力調整弁を開いたため、放熱部側放熱経路、放熱部側帰還経路および放熱部の内部が大気圧状態となったためである。

一方、受熱部側放熱経路、受熱部側帰還経路および受熱部は、放熱経路開閉弁および帰還経路開閉弁を閉じることにより、内部圧力は減圧された状態を維持しているので、放熱部側放熱経路、放熱部側帰還経路および放熱部の内部圧力を減圧した後に、内部圧力調整弁を閉じ、循環経路内の減圧状態を確保した後で、放熱経路開閉弁および帰還経路開閉弁を開き、冷媒の循環経路を確保する。

また、放熱経路開閉弁より受熱部側の受熱部側放熱経路および帰還経路開閉弁より受熱部側の受熱部側帰還経路の少なくともどちらかの経路に冷媒タンクを設けたことにより、冷却装置に封入される冷媒の量が多くなっても、封入した冷媒の液面高さが帰還経路開閉弁および放熱経路開閉弁よりも下方にできる。

このように、冷却対象の電子部品等が故障した場合などメンテナンスを要する場合、メンテナンスする電子部品等を設置した受熱部を受熱部側放熱経路、受熱部側帰還経路とともに冷却装置から分離し、その後、メンテナンスを終えた電子部品等を設置しなおした受熱部を受熱部側放熱経路、受熱部側帰還経路とともに冷却装置に装着することができる。結果として、冷却装置を容易にメンテナンスすることができるのである。

（実施の形態１）
以下、本発明の実施の形態１について、図面を参照しながら説明する。

図１は、本発明の実施の形態１の冷却装置を搭載した電子機器の概略図である。

図１に示すように、電子機器５０は、ケース５１内に発熱体２となる電力用半導体素子と冷却装置１とが備えられている。

冷却装置１は、発熱体２を冷却するための受熱部３と、放熱部４を備えており、放熱経路５と帰還経路６とにより受熱部３と放熱部４が連結されている。この構成により、冷却装置１は内部が密閉空間となり、図１では図示していないが、冷却装置１内は、減圧した上で、冷媒が封入されている。冷媒としては、純水、エタノール、フロン類、フッ素系溶剤類などが用いられるが、これらに限られない。受熱部３および放熱部４の材質は、冷媒が、純水、エタノールの場合は、銅が適しており、冷媒が、フロン類、フッ素系溶剤類の場合は、アルミニウムが適しているが、これらに限られない。

帰還経路６には、冷媒の逆流を防止する逆流防止部８を備えている。

また、冷却装置１は、放熱部４に冷媒により輸送した熱を冷却するための冷却ファン７を備えている。本実施の形態では、空冷式の冷却ファン７としたが、冷却可能であれば、水冷式、その他の方式であってもよい。

次に、上記構成における冷却装置１の基本的な仕組みについて説明する。

冷却装置１は、内部を減圧した後に冷媒を封入したものであり、冷却装置１内は、冷媒の作用により外部温度に応じた冷媒の飽和圧力となる。発熱体２の熱は受熱部３を介して冷媒に伝わり、冷媒が液相から気相へと変化することで、発熱体２が冷却される。受熱部３内にて気化した冷媒は、未沸騰の液相の冷媒との気液二相の混相流となって、受熱部３から放熱経路５を通り放熱部４へと移動し、冷却ファン７により冷やされ再び液化し液相の冷媒となり帰還経路６および逆流防止部８を経て受熱部３に戻る。

逆流防止部８は、帰還経路６中に設けられたものであって、放熱経路５よりも冷媒の流通抵抗を増大させたものであるため、受熱部３内にて気化した冷媒が帰還経路６へ逆流することを防止する。よって、受熱部３内にて冷媒が気化し、気化した冷媒が放熱経路５を通過し放熱部４にて液化し、液化した冷媒が帰還経路６を通過し再び受熱部３内に供給されるサイクルが繰り返されることで、発熱体２を冷却している。

次に、本実施の形態における特徴的な構成について説明する。

放熱経路５は、放熱部４に近い側の放熱部側放熱経路９と、受熱部３に近い側の受熱部側放熱経路１０とに分割されている。

放熱部４は、受熱部３より上方に配置されているので、放熱部側放熱経路９は、受熱部側放熱経路１０より上方に配置される。
放熱部側放熱経路９と受熱部側放熱経路１０との間には、放熱経路着脱部１３を設ける。
放熱経路着脱部１３により、放熱部側放熱経路９と受熱部側放熱経路１０とは、接続され、また分離することができる。

帰還経路６は、放熱部４に近い側の放熱部側帰還経路１１と、受熱部３に近い側の受熱部側帰還経路１２に分割されている。

放熱部４は、受熱部３より上方に配置されているので、放熱部側帰還経路１１は、受熱部側帰還経路１２より上方に配置される。
放熱部側帰還経路１１と受熱部側帰還経路１２との間には、帰還経路着脱部１４を設ける。
帰還経路着脱部１４により、放熱部側帰還経路１１と受熱部側帰還経路１２とは、接続され、また分離することができる。
さらに、放熱経路着脱部１３近傍の受熱部側放熱経路１０には、放熱経路５を開閉する放熱経路開閉弁１５を設ける。
帰還経路着脱部１４近傍の受熱部側帰還経路１２には、帰還経路６を開閉する帰還経路開閉弁１６を設ける。

ここで図２に、放熱経路着脱部１３の構成を示し、図３に帰還経路着脱部１４の構成を示し、その特徴を説明する。

図２に示すように放熱経路着脱部１３は、放熱経路着脱固定部１３ａ、放熱経路着脱締結部１３ｂ、放熱経路着脱封止部１３ｃ、を備えている。放熱部側放熱経路９の先端には放熱経路着脱固定部１３ａが例えば溶接されて気密に接続している。受熱部側放熱経路１０の先端には放熱経路着脱締結部１３ｂの一面が例えば溶接されて気密に接続し、さらに放熱経路着脱締結部１３ｂの他面には放熱経路着脱封止部１３ｃを備えている。

放熱経路着脱固定部１３ａは、例えば円盤形状で、放熱部側放熱経路９との接続面の対面側に、放熱経路着脱締結部１３ｂと接触し締結ネジ等で固定される構造を備え、また中央に円筒形状の凹部があり、放熱経路着脱封止部１３ｃを嵌めることができる構造となっている。

放熱経路着脱締結部１３ｂは、例えば円盤形状で、外周側に締結ネジを軸方向に貫通させることができる貫通孔を複数備え、締結ネジにより放熱経路着脱固定部１３ａに対し固定できるようになっている。

放熱経路着脱封止部１３ｃは、例えば円筒状の凸形状であり、その外周部に放熱経路着脱部１３の気密性を保つためのシール部材を備えており、シール部材とは例えば、ゴム製のＯリングや、金属製のフェルールやガスケットである。

以上のような構成により、放熱経路着脱封止部１３ｃを放熱経路着脱固定部１３ａに嵌めこむことで、このシール部材が放熱経路着脱固定部１３ａの円筒形状の凹部の内側壁に押し付けられ、高い気密性を実現し、減圧状態を維持することができるのである。

図２（ａ）に示すように、放熱経路着脱部１３により放熱部側放熱経路９と受熱部側放熱経路１０を装着するとは、放熱経路着脱固定部１３ａへ放熱経路着脱封止部１３ｃを嵌め込み、放熱経路着脱固定部１３ａと放熱経路着脱締結部１３ｂを締結ネジ等で固定することである。

図２（ｂ）に示すように、放熱経路着脱部１３により放熱部側放熱経路９と受熱部側放熱経路１０を分離するとは、放熱経路着脱固定部１３ａと放熱経路着脱締結部１３ｂを固定している締結ネジ等を外し、放熱経路着脱固定部１３ａから放熱経路着脱封止部１３ｃを引き抜くことである。

図２に示すような構成により、放熱経路着脱部１３は繰返し装着と分離を実施でき、減圧状態の維持も同時にできるのである。

図３に示すように帰還経路着脱部１４は、帰還経路着脱固定部１４ａ、帰還経路着脱締結部１４ｂ、帰還経路着脱封止部１４ｃ、を備えており、構造や操作は放熱経路着脱部１３と同様である。

またここで図４に、放熱経路開閉弁１５構成を示し、図５に帰還経路開閉弁１６の構成を示し、その特徴を説明する。

図４に示すように、放熱経路開閉弁１５は、その本体に、放熱経路開閉弁体１５ａ、放熱経路開閉弁閉止部１５ｂ、放熱経路開閉弁座１５ｃ、を備えている。

放熱経路開閉弁体１５ａは例えば略円筒形状であり、放熱経路開閉弁閉止部１５ｂに近い側にシール部材、例えばゴム製のＯリングを備え、放熱経路開閉弁座１５ｃに近い側は、先端に向けて断面が細くなるテーパ形状となっている。シール部材とテーパ形状の間の円筒側壁部はネジ構造となっており、放熱経路開閉弁体１５ａは軸方向に移動可能となっている。

放熱経路開閉弁閉止部１５ｂは、例えば円盤形状の底面中央に円筒状の凸部を備え、その凸部の側壁にシール部材、例えばゴム製のＯリングを備えており、その円筒状の凸部を放熱経路開閉弁１５本体に対し嵌めこむ。円盤形状の外周側には、外周側に締結ネジを軸方向に貫通させることができる貫通孔を複数備え、締結ネジにより放熱経路開閉弁１５本体に対し、放熱経路開閉弁閉止部１５ｂを固定できるようになっている。このとき、放熱経路開閉弁１５本体には締結ネジが嵌るネジ穴が設けられている。放熱経路開閉弁閉止部１５ｂを放熱経路開閉弁１５本体から取り外すと、放熱経路開閉弁体１５ａの移動操作ができる状態になり、放熱経路開閉弁閉止部１５ｂを放熱経路開閉弁１５本体に固定すると、気密性の確保と放熱経路開閉弁体１５ａの誤操作防止ができる。

放熱経路開閉弁座１５ｃは、放熱経路開閉弁１５本体に設けられた、例えば円筒形状の凹部であり、その内径は、放熱経路開閉弁体１５ａの先端テーパ部の先端最小径より大きく、テーパ部根元の最大径より小さい。これにより、放熱経路開閉弁体１５ａを軸方向の放熱経路開閉弁１５本体の内奥側に移動操作させて、放熱経路開閉弁体１５ａの先端テーパ部が放熱経路開閉弁座１５ｃに接触させることにより、放熱経路開閉弁１５を閉じることができるのである。

図４（ａ）に示すように、放熱経路開閉弁１５を開くとは、放熱経路開閉弁体１５ａの先端テーパ部が、放熱経路開閉弁座１５ｃと離れており、放熱経路開閉弁１５本体内で受熱部側放熱経路１０の流路が繋がっている状態である。

図４（ｂ）に示すように、放熱経路開閉弁１５を閉じるとは、放熱経路開閉弁体１５ａの先端テーパ部が、放熱経路開閉弁座１５ｃと接触しており、放熱経路開閉弁１５本体内で受熱部側放熱経路１０の流路が分断されている状態である。

図４に示すような構成により、放熱経路開閉弁１５は繰返し開閉操作を実施でき、減圧状態の維持も同時にできるのである。

冷却対象の電子部品等が故障した場合などメンテナンスを要する場合、放熱経路５を放熱経路着脱部１３により放熱部側放熱経路９と受熱部側放熱経路１０に分離し、帰還経路６を帰還経路着脱部１４により放熱部側帰還経路１１と受熱部側帰還経路１２に分離することによって、メンテナンスする電子部品等を設置した受熱部３を受熱部側放熱経路１０、受熱部側帰還経路１２とともに冷却装置１から分離することができる。

図５に示すように、帰還経路開閉弁１６は、その本体に、帰還経路開閉弁体１６ａ、帰還経路開閉弁閉止部１６ｂ、帰還経路開閉弁座１６ｃ、を備えている。構造や操作は放熱経路開閉弁１５と同様である。

以上のような構成により、放熱経路着脱部１３と帰還経路着脱部１４により放熱経路５および帰還経路６を分離する際に、放熱経路開閉弁１５と帰還経路開閉弁１６を閉じることにより、受熱部３、受熱部側放熱経路１０、受熱部側帰還経路１２に存在する冷媒を封じ込めて、放熱経路着脱部１３および帰還経路着脱部１４から冷媒が漏れるのを防ぐことができる。

その結果、メンテナンスする電子部品等を設置した受熱部３を受熱部側放熱経路１０、受熱部側帰還経路１２とともに冷却装置１から分離する際に、放熱経路着脱部１３および帰還経路着脱部１４から冷媒が漏れるのを防ぐことができる。

さらに、メンテナンスを終えた電子部品等を設置した受熱部３を受熱部側放熱経路１０、受熱部側帰還経路１２とともに再度、冷却装置１に装着する際においては、放熱経路着脱部１３により放熱部側放熱経路９と受熱部側放熱経路１０を接続し、帰還経路着脱部１４により放熱部側帰還経路１１と受熱部側帰還経路１２を接続することによって、メンテナンスを終えた電子部品等を設置しなおした受熱部３を受熱部側放熱経路１０、受熱部側帰還経路１２とともに冷却装置１に装着することができる。

最初に、冷却装置１の循環経路に冷媒を注入する際、下方に位置する受熱部３、受熱部側帰還経路１２、受熱部側放熱経路１０の順に冷媒が貯まることとなるが、冷媒の量は、受熱部側帰還経路１２に設けた帰還経路開閉弁１６本体内の帰還経路開閉弁体１６ａと帰還経路開閉弁座１６ｃの接触位置、および受熱部側放熱経路１０に設けた放熱経路開閉弁１５本体内の放熱経路開閉弁体１５ａと放熱経路開閉弁座１５ｃの接触位置、これよりも下方に冷媒の水面が位置する量とすることが望ましい。

これは冷媒量を、帰還経路開閉弁体１６ａと帰還経路開閉弁座１６ｃの接触位置、放熱経路開閉弁体１５ａと放熱経路開閉弁座１５ｃの接触位置、これよりも上方に冷媒の水面が位置する量まで注入すると、放熱経路着脱部１３と帰還経路着脱部１４により放熱経路５および帰還経路６を分離する際に、放熱経路開閉弁１５および帰還経路開閉弁１６を閉じても、冷媒を、受熱部３、受熱部側放熱経路１０、受熱部側帰還経路１２に封じ込めることができず、放熱経路着脱部１３および帰還経路着脱部１４から冷媒が漏れる恐れがあるからである。

放熱経路着脱部１３および帰還経路着脱部１４を設ける位置は、同じ高さであることが望ましいが、各々を異なる高さに設けてもよい。

放熱経路開閉弁１５および帰還経路開閉弁１６を設ける位置は、同じ高さであることが望ましいが、各々を異なる高さに設けてもよい。このときは、いずれかの内、低い方に合わせて冷媒量を調整する必要がある。

次に、本実施の形態における他の特徴的な構成について説明する。

図１に示すように、冷却装置１は、開放口１８を備えた、循環経路の内部圧力を減圧する内部圧力調整弁１７を放熱部側放熱経路９または放熱部側帰還経路１１の少なくとも一方に設け、開放口１８の開口面１９は、鉛直方向より上向きである構成にする。

なお、本実施の形態においては、内部圧力調整弁１７は放熱部側放熱経路９に設ける構成で説明する。

すなわち、開放口１８の開口面１９は、上向きに水平方向に開口していることが望ましいが、鉛直方向より少しでも水平方向に近い角度で上向きに開口していればよい。

これにより、冷却対象の電子部品等が故障した場合などメンテナンスを要する場合、放熱経路５を放熱経路着脱部１３により放熱部側放熱経路９と受熱部側放熱経路１０に分離し、帰還経路６を帰還経路着脱部１４により放熱部側帰還経路１１と受熱部側帰還経路１２に分離する際に、内部圧力調整弁１７を開くことにより、減圧状態の循環経路内に大気が流入する。これにより、放熱部４、放熱部側放熱経路９および放熱部側帰還経路１１に存在する冷媒が、下方に配置された受熱部側放熱経路１０、受熱部側帰還経路１２および受熱部３に滴下しやすい。

これにより、放熱経路着脱部１３と帰還経路着脱部１４を分離する際に、放熱経路開閉弁１５と帰還経路開閉弁１６を閉じることにより、受熱部３、受熱部側放熱経路１０、受熱部側帰還経路１２に存在する冷媒を封じ込めて、放熱経路着脱部１３および帰還経路着脱部１４から冷媒が漏れるのを防ぐことができる。

さらに、内部圧力調整弁１７の開放口１８の開口面１９が鉛直方向より上向きであるため、内部圧力調整弁１７を開いた際に、冷媒が開放口１８から漏れるのも防ぐことができる。

その結果、メンテナンスする電子部品等を設置した受熱部３を受熱部側放熱経路１０、受熱部側帰還経路１２とともに冷却装置１から分離する際に、内部圧力調整弁１７の開放口１８、放熱経路着脱部１３および帰還経路着脱部１４から冷媒が漏れるのを防ぐことができる。

次に本発明の特徴である冷却装置１のメンテナンス操作について説明する。

図６は、冷却装置１のメンテナンス時の操作フロー図であり、放熱経路着脱部１３、帰還経路着脱部１４、放熱経路開閉弁１５、帰還経路開閉弁１６、内部圧力調整弁１７の各状態、および操作フローを示している。

図６（ａ）は、冷却装置１の停止から受熱部３の分離までを示している。

冷却対象の電子部品等が故障した場合など電子部品の取り外しや交換が必要な程のメンテナンスを要する場合には、放熱経路５を放熱経路着脱部１３により放熱部側放熱経路９と受熱部側放熱経路１０に分離し、帰還経路６を帰還経路着脱部１４により放熱部側帰還経路１１と受熱部側帰還経路１２に分離し電子部品を設置した受熱部３とともに、冷却装置１から分離する。

すなわち、故障した電子部品への通電が停止されるに従い、冷却装置１内の冷媒の循環は次第に収まるので、電子部品および受熱部３が十分に設置環境温度同等まで冷えると冷却装置１が停止したとみなす。このとき、内部の冷媒の殆どは受熱部３、受熱部側放熱経路１０、受熱部側帰還経路１２に収まっている。その後、内部圧力調整弁１７を開く。これにより、減圧状態の循環経路内に大気が流入し、放熱部４および放熱部側放熱経路９、放熱部側帰還経路１１に残存する冷媒が、下方に配置された受熱部側放熱経路１０、受熱部側帰還経路１２、受熱部３へ滴下する。

次に、放熱経路開閉弁１５と帰還経路開閉弁１６を閉じる。これにより、受熱部３、受熱部側放熱経路１０、受熱部側帰還経路１２に存在する冷媒を封じ込めて、放熱経路着脱部１３および帰還経路着脱部１４から冷媒が漏れるのを防ぐことができる。

そして次に、放熱経路着脱部１３を分離し、放熱部側放熱経路９と受熱部側放熱経路１０を分離する。同様に、帰還経路着脱部１４を分離し、放熱部側帰還経路１１と受熱部側帰還経路１２を分離する。

これにより受熱部３を冷却装置１から分離できる。

図６（ｂ）は、冷却装置の装着から運転準備までを示している。

メンテナンスを終えた電子部品等を設置した受熱部３は、受熱部側放熱経路１０、受熱部側帰還経路１２とともに冷却装置１に接続し、冷却装置１が運転可能な状態に復旧する必要がある。

すなわち、放熱経路着脱部１３により放熱部側放熱経路９と受熱部側放熱経路１０を接続し、帰還経路着脱部１４により放熱部側帰還経路１１と受熱部側帰還経路１２を接続することによって、メンテナンスを終えた電子部品等を設置しなおした受熱部３を受熱部側放熱経路１０、受熱部側帰還経路１２とともに冷却装置１に装着する。このとき、内部圧力調整弁１７は開いた状態であり、放熱経路開閉弁１５と帰還経路開閉弁１６は閉じた状態である。

次に、内部圧力調整弁１７に真空ポンプ（図示なし）を接続し、放熱部側放熱経路９、放熱部側帰還経路１１および放熱部４の内部圧力を十分に減圧したのち、内部圧力調整弁１７を閉じ減圧状態を維持した上で、真空ポンプは停止して外す。

そして次に、放熱経路開閉弁１５と帰還経路開閉弁１６を開き、冷媒の循環経路を確保する。

これにより、受熱部３を冷却装置１に装着し、冷却装置１の運転準備ができる。

このとき、電子部品のメンテナンス時に、放熱経路開閉弁１５と帰還経路開閉弁１６を開いた上で、メンテナンス用の配管経路（図示せず）を接続し、受熱部３、受熱部側放熱経路１０、受熱部側帰還経路１２、の内部を減圧した上で、再度放熱経路開閉弁１５と帰還経路開閉弁１６を閉じておくことが望ましい。受熱部３、受熱部側放熱経路１０、受熱部側帰還経路１２、側に空気が入っていると、冷却装置１の冷却性能を低下させるからである。

ここで、メンテナンス用の配管経路とは、一端が放熱経路開閉弁１５と気密に接続でき、他端が帰還経路開閉弁１６と気密に接続でき、経路の途中に真空ポンプとの接続口を備えた構成であり、受熱部３、受熱部側放熱経路１０、受熱部側帰還経路１２、の内部を減圧することができるのである。

図６（ｃ）は、冷却装置の運転開始から通常運転までを示している。

冷却装置１は、発熱体２となる電子部品に通電され、発熱体２の熱が受熱部３を介して冷媒に伝わることで冷媒の循環が開始され、冷媒の循環が安定し通常運転となる。

以上のような操作により冷却装置１のメンテナンスを行うことで、冷却装置１を容易にメンテナンスすることができるのである。

なお、放熱経路着脱封止部１３ｃ、帰還経路着脱封止部１４ｃ、は電子機器のメンテナンスで冷却装置１から受熱部３とともに分離した際に、シール部材を新品に交換しても良く、これにより、冷却装置１を繰返し着脱したとしても減圧状態の維持が容易になり、メンテナンス性を向上することができる。

なお、図７（ａ）に示すように、放熱経路着脱封止部１３ｃの円筒凸形状の外径が、帰還経路着脱封止部１４ｃの円筒凸形状の外径よりも大きくてもよく、これにより受熱部３の装着の際に、放熱経路着脱封止部１３ｃを帰還経路着脱固定部１４ａに誤って装着してしまうことを防ぎ、冷却装置１のメンテナンス性を向上することができる。

なお、図７（ｂ）に示すように、帰還経路着脱封止部１４ｃの円筒凸形状の高さが、放熱経路着脱封止部１３ｃの円筒凸形状の高さよりも大きくてもよく、これにより受熱部３の装着の際に、放熱経路着脱封止部１３ｃを帰還経路着脱固定部１４ａに誤って装着してしまうことを防ぎ、冷却装置１のメンテナンス性を向上することができる。

なお、図７（ｂ）とは逆で、放熱経路着脱封止部１３ｃの円筒凸形状の高さが、帰還経路着脱封止部１４ｃの円筒凸形状の高さよりも大きくても良い。

なお、放熱経路着脱部１３、帰還経路着脱部１４、の材質は、内部に封入する冷媒により腐食されない金属が好ましい。

なお、放熱経路開閉弁１５、帰還経路開閉弁１６として、開閉可能で閉止性能に優れた、例えばミニチュアバルブやグローブバルブ、ニードルバルブ、ベローズバルブ、ストップバルブ、なども用いることができるが、これらに限らない。

なお、放熱経路開閉弁１５、帰還経路開閉弁１６、の材質は、内部に封入する冷媒により腐食されない金属が好ましい。

（実施の形態２）
以下、本発明の実施の形態２について、図面を参照しながら説明する。

図８は、本発明の実施の形態２の冷却装置を搭載した電子機器の概略図である。
実施の形態１と同様の構成要素については同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。
図８に示すように、本実施の形態においては、内部圧力調整弁１７は放熱部側放熱経路９に設ける構成とする。

実施の形態１との違いは、内部圧力調整弁１７が放熱部側放熱経路９ではなく放熱部側帰還経路１１に設けられた点である。

放熱部側帰還経路１１は放熱部４の低部と接続されているため、放熱部側放熱経路９に設けた実施の形態１と比べ、内部圧力調整弁１７を手動で操作する場合の作業性が向上する。

他の作用効果は実施の形態１と同じであり、説明は省略する。

（実施の形態３）
以下、本発明の実施の形態３について、図面を参照しながら説明する。実施の形態１、２と同様の構成要素については同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。

実施の形態１、２において、冷却装置１に封入される冷媒の量、すなわち液面高さは、帰還経路開閉弁１６および放熱経路開閉弁１５よりも上方になる場合がある。

そのため、本実施形態では、図９に示すように、放熱経路開閉弁１５より受熱部３側の受熱部側放熱経路１０に冷媒タンク２０を設けている。これにより封入した冷媒の液面高さが帰還経路開閉弁１６および放熱経路開閉弁１５よりも下方になっている。

次に、図１０を用いて冷媒タンク２０の構成を説明する。

図１０に示すように、冷媒タンク２０は、タンク本体２１と入口管２２および出口管２３で構成されている。タンク本体２１は上部がドーム状の上部空間２１ａと、下部が円筒状の下部空間２１ｂを内部に有し、入口管２２の上部先端２２ａは下部空間２１ｂ内に突出している。また、出口管２３は上部空間２１ａの天面に接続されている。

上記構成において、発熱体の発熱により受熱部内の冷媒が加熱されると、冷媒が蒸発し気化冷媒が受熱部から受熱部側放熱経路１０へ移動し、受熱部側放熱経路１０に溜まっていた液冷媒内を一部の液冷媒とともに混相流となり高速で上昇していく。この上昇してきた混相流が入口管２２から冷媒タンク２０内へ流入し、冷媒タンク２０内に溜まっていた液冷媒と一緒に出口管２３から流出する。

すなわち、発熱体の発熱により加熱されて高温高圧となった気相冷媒が受熱部側放熱経路１０に溜まっていた液相冷媒の一部とともに混相流となり高速で冷媒タンク２０に流入する。

一方、冷媒タンク２０において、内部が液相の冷媒に充満されているので、つまり、冷媒タンク２０の内部圧力が冷媒タンク２０に流入する混相流冷媒の蒸気圧力より低く、この圧力差の作用によって混相流冷媒が高速で冷媒タンク２０に流入した瞬間、一気に冷媒タンク２０の内部に拡散し、周囲の液相冷媒と混合し合い、最後に冷媒液タンク内の液冷媒とともに混相流となり出口管２３から流出する。

しかしながら、高速で冷媒タンク２０に流入する混相流冷媒が周囲の液相冷媒と混合し合うとき、混合による流れの乱れや壁面との衝突による圧力損失が生じてしまい、冷却性能が低下する恐れがある。

このとき、入口管２２の上部先端２２ａを下部空間２１ｂ内に突出させることによって、入口管２２の上部先端２２ａから出口管２３までの距離を短くし、高速で冷媒タンク２０に流入する混相流冷媒を出口管２３へ流れやすくさせる。

よって混合による流れの乱れや壁面との衝突による圧力損失を抑制し、冷却性能の高い冷却装置を提供することができる。入口管２２の上部先端２２ａが下部空間２１ｂ内に突出する長さは、できるだけ冷媒タンク２０の中央近傍まで延設した方が望ましい。

また、タンク本体２１の上部空間２１ａがドーム状で、出口管２３が上部空間２１ａの天面に接続されているので、高速で冷媒タンク２０に流入する混相流冷媒が周囲の液相冷媒と混合し合うとき、壁面との衝突による圧力損失がドーム状の壁面により緩和し、さらに冷媒がドーム状の壁面に沿って出口管２３へ流れることができるため、冷媒が出口管２３へ流れやすくなり、結果として、混合による流れの乱れや壁面との衝突による圧力損失を抑制し、冷却性能の高い冷却装置を提供することができる。

また、タンク本体２１に接続する入口管２２および出口管２３の接続方向については、図１０に示すような入口管２２および出口管２３が同一延長線上に配置してもよいが、タンク本体２１の下部から流入して側面から流出する構成やタンク本体２１の側面から流入して上部から流出する構成などにしてもよい。

また、タンク本体２１の外形の大きさについては、放熱経路開閉弁１５より受熱部３側の受熱部側放熱経路１０の長さに応じて、冷媒貯留量から決めればよいが、設置条件からは、水平方向の断面積をあまり大きくはできず、上下方向の長さをできるだけ長くする方が好ましい。

なお、タンク本体２１の内部空間の形状は、図１１に示すように、円筒状、四角筒状、球状が使用できるが、冷媒貯留量と冷媒の通過圧損からは、図１０で説明した形状が好ましい。

また、本実施形態では、タンク本体２１の外形を四角筒状で説明したが、円筒状の大口径の配管を用いてもよく、タンク本体２１の外形に対し内部空間を広くでき、冷媒貯留量も確保できる。

また、本実施形態では、放熱経路開閉弁１５より受熱部３側の受熱部側放熱経路１０に冷媒タンク２０を設けたが、１０年以上の長期間の使用に耐え得るよう、冷媒を多い目に封入する場合には、帰還経路開閉弁１６より受熱部３側の受熱部側帰還経路１２に設けてもよい。

なお、冷媒タンク２０を受熱部側帰還経路１２に設ける場合には、受熱部３に対する水頭圧が低くなるため、冷媒の循環が不安定になる可能性があり、水頭圧高さに余裕のない場合には受熱部側放熱経路１０に冷媒タンク２０を設けるのが好ましい。

このように、冷却対象の電子部品等が故障した場合などメンテナンスを要する場合、メンテナンスする電子部品等を設置した受熱部３を受熱部側放熱経路１０、受熱部側帰還経路１２とともに冷却装置１から分離し、その後、メンテナンスを終えた電子部品等を設置しなおした受熱部３を受熱部側放熱経路１０、受熱部側帰還経路１２とともに冷却装置１に装着することができる。結果として、冷却装置１を容易にメンテナンスすることができるのである。

以上のように本発明にかかる冷却装置は、容易にメンテナンスすることができるので、中央演算処理装置（ＣＰＵ）、大規模集積回路（ＬＳＩ）、絶縁ゲートバイポーラトランジスタ（ＩＧＢＴ）等の電子部品を搭載した電子機器等の冷却装置として有用である。

１ 冷却装置
２ 発熱体
３ 受熱部
４ 放熱部
５ 放熱経路
６ 帰還経路
７ 冷却ファン
８ 逆流防止部
９ 放熱部側放熱経路
１０ 受熱部側放熱経路
１１ 放熱部側帰還経路
１２ 受熱部側帰還経路
１３ 放熱経路着脱部
１３ａ 放熱経路着脱固定部
１３ｂ 放熱経路着脱締結部
１３ｃ 放熱経路着脱封止部
１４ 帰還経路着脱部
１４ａ 帰還経路着脱固定部
１４ｂ 帰還経路着脱締結部
１４ｃ 帰還経路着脱封止部
１５ 放熱経路開閉弁
１５ａ 放熱経路開閉弁体
１５ｂ 放熱経路開閉弁閉止部
１５ｃ 放熱経路開閉弁座
１６ 帰還経路開閉弁
１６ａ 帰還経路開閉弁体
１６ｂ 帰還経路開閉弁閉止部
１６ｃ 帰還経路開閉弁座
１７ 内部圧力調整弁
１８ 開放口
１９ 開口面
２０ 冷媒タンク
２１ タンク本体
２１ａ 上部空間
２１ｂ 下部空間
２２ 入口管
２２ａ 上部先端
２３ 出口管
５０ 電子機器
５１ ケース

Claims (9)

1. 冷媒の相変化によって発熱体を冷却する冷却装置において、
   前記発熱体を設置する受熱部と、放熱経路、放熱部、帰還経路、を順に連結して前記冷媒の循環経路を形成し、
   前記放熱部は、前記受熱部より上方に配置され、
   前記放熱経路は、放熱部側放熱経路と、受熱部側放熱経路と、前記放熱部側放熱経路と前記受熱部側放熱経路との間に放熱経路着脱部と、前記放熱経路着脱部近傍の前記受熱部側放熱経路に放熱経路開閉弁とを備え、
   前記帰還経路は、放熱部側帰還経路と、受熱部側帰還経路と、前記放熱部側帰還経路と前記受熱部側帰還経路との間に帰還経路着脱部と、前記帰還経路着脱部近傍の前記受熱部側帰還経路に帰還経路開閉弁とを備えたことを特徴とする冷却装置。
2. 開放口を備えた、循環経路の内部圧力を減圧する内部圧力調整弁を前記放熱部側放熱経路または前記放熱部側帰還経路の少なくとも一方に設け、
   前記開放口の開口面は、鉛直方向より上向きであることを特徴とする請求項１に記載の冷却装置。
3. 前記帰還経路に逆流防止部を備えたことを特徴とする請求項１または２に記載の冷却装置。
4. 前記放熱経路着脱部は、前記放熱部側放熱経路に放熱経路着脱固定部を備え、前記受熱部側放熱経路に放熱経路着脱締結部と放熱経路着脱封止部を備え、
   前記帰還経路着脱部は、前記放熱部側帰還経路に帰還経路着脱固定部を備え、前記受熱部側帰還経路に帰還経路着脱締結部と帰還経路着脱封止部を備えたことを特徴とする請求項１から３のいずれか一つに記載の冷却装置。
5. 前記放熱経路着脱封止部は、円筒凸形状であり、
   前記帰還経路着脱封止部は、円筒凸形状であり、
   前記放熱経路着脱封止部の円筒外径が、前記帰還経路着脱封止部の円筒外径よりも大きいことを特徴とする請求項１から４のいずれか一つに記載の冷却装置。
6. 前記放熱経路着脱封止部は、円筒凸形状であり、
   前記帰還経路着脱封止部は、円筒凸形状であり、
   前記帰還経路着脱封止部の円筒高さが、前記放熱経路着脱封止部の円筒高さよりも大きいことを特徴とする請求項１から４のいずれか一つに記載の冷却装置。
7. 前記放熱経路開閉弁は、内部に放熱経路開閉弁体と、前記放熱経路開閉弁の側壁に位置し、前記放熱経路開閉弁体を遮蔽できる放熱経路開閉弁閉止部を備え、
   前記帰還経路開閉弁は、内部に帰還経路開閉弁体と、前記帰還経路開閉弁の側壁に位置し、前記帰還経路開閉弁体を遮蔽できる帰還経路開閉弁閉止部を備えたことを特徴とする請求項１から６のいずれか一つに記載の冷却装置。
8. 放熱経路開閉弁より受熱部側の受熱部側放熱経路および帰還経路開閉弁より受熱部側の受熱部側帰還経路の少なくともどちらかの経路に冷媒タンクを設けたことを特徴とする請求項１から７のいずれか一つに記載の冷却装置。
9. 請求項１〜８のいずれか一つに記載の冷却装置を搭載した電子機器。

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