WO2016051661A1 - 垂直磁気記録媒体 - Google Patents

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WO2016051661A1
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magnetic
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recording layer
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中田 仁志
友博 森谷
島津 武仁
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富士電機株式会社
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    • G11B5/62Record carriers characterised by the selection of the material
    • G11B5/64Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
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    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
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    • G11B5/73Base layers, i.e. all non-magnetic layers lying under a lowermost magnetic recording layer, e.g. including any non-magnetic layer in between a first magnetic recording layer and either an underlying substrate or a soft magnetic underlayer
    • G11B5/7368Non-polymeric layer under the lowermost magnetic recording layer
    • G11B5/7379Seed layer, e.g. at least one non-magnetic layer is specifically adapted as a seed or seeding layer

Definitions

  • the present invention relates to a perpendicular magnetic recording medium.
  • the present invention relates to a perpendicular magnetic recording medium having a magnetic layer containing a regular alloy, containing Fe and Pt as components, and further containing vanadium (V).
  • the perpendicular magnetic recording medium includes at least a nonmagnetic substrate and a magnetic recording layer formed of a hard magnetic material.
  • the perpendicular magnetic recording medium optionally includes a soft magnetic backing layer that plays a role of concentrating the magnetic flux generated by the magnetic head on the magnetic recording layer, and an underlayer for orienting the hard magnetic material of the magnetic recording layer in a desired direction Further, it may further include a protective film for protecting the surface of the magnetic recording layer.
  • the granular magnetic material includes magnetic crystal grains and a nonmagnetic material segregated so as to surround the periphery of the magnetic crystal grains. Individual magnetic crystal grains in the granular magnetic material are magnetically separated by a nonmagnetic material.
  • CoCr-based disordered alloy magnetic layers such as CoCrPt have been mainly studied as metal magnetic materials for perpendicular magnetic recording media.
  • CoCrPt have been mainly studied as metal magnetic materials for perpendicular magnetic recording media.
  • the reduction of the grain size of the magnetic crystal grains reduces the thermal stability of the recorded magnetization. Therefore, in order to compensate for the decrease in thermal stability due to the reduction in the grain size of the magnetic crystal grains, it is required to use a material having higher crystal magnetic anisotropy.
  • L1 0 type ordered alloy As a material having a high crystal magnetic anisotropy required, L1 0 type ordered alloy and a manufacturing method thereof are proposed. These L1 0 type ordered alloy include FePt, CoPt, FePd, CoPd the like.
  • the ordered alloy as described above is difficult to obtain better crystal grains with improved regularity. Further, in the granular magnetic material, it is also necessary to improve the separability of individual magnetic crystal grains in the granular magnetic material and realize better crystallinity with high regularity.
  • Patent Document 1 JP 2003-313659 discloses a sputtering target for forming a thin film of L1 0 type ordered alloy.
  • Patent Document 1 describes an FePtV-based alloy having a composition of Fe ⁇ Pt as an example.
  • Patent Document 1 by decreasing the annealing temperature at the time of ordering the magnetic alloy film by sputtering on the L1 0 ordered phase, having such high magnetic anisotropy constant (Ku) and high coercive force (Hc) It is possible to obtain an ordered phase alloy film with good reproducibility.
  • the magnetic recording medium makes it possible to rule into L1 0 ordered phase magnetic alloy film at a relatively low annealing temperature, whereby the magnetic anisotropy constant (Ku) is larger L1 0
  • Ku magnetic anisotropy constant
  • Patent Document 2 discloses a method for forming a magnetic recording medium containing an alloy having a high magnetic anisotropy constant (Ku) and an oxide compound, and a magnetic recording layer of such a magnetic recording medium.
  • a sputter target is disclosed.
  • Patent Document 2 discloses that since the magnetic recording layer has a high magnetic anisotropy constant (Ku), the thermal stability can be improved and the magnetic domain of the magnetic recording layer can be remarkably reduced.
  • the sputter target of Patent Document 2 as a sputtering target for forming a thin film of L1 0 type ordered alloys, are described as an example FePtV oxide alloy.
  • An object of the present invention is to provide a magnetic recording medium having a magnetic recording layer including a better L1 0 type ordered alloy.
  • the present invention includes a non-magnetic substrate, relates to a magnetic recording medium comprising at least a magnetic recording layer, wherein the includes a magnetic recording layer is ordered alloy having an L1 0 ordered structure including Fe, Pt and V, Pt> Fe composition It is characterized by having.
  • the magnetic recording layer preferably has a granular structure composed of magnetic crystal grains including the ordered alloy and nonmagnetic crystal grain boundaries, and the nonmagnetic crystal grain boundaries preferably include V.
  • the magnetic recording medium of the present invention further includes a seed layer, and the seed layer includes Pt.
  • the coercive force (Hc) of the magnetic recording layer can be improved by improving the separation performance between the magnetic crystal grains.
  • FIG. 6 is a graph showing the relationship between the V content and the lengths of the a-axis and c-axis of the crystal lattice in the magnetic recording media of Example 1 and Comparative Examples 1-2.
  • 6 is a graph showing the relationship between the V content and the degree of order S in the magnetic recording media of Example 1 and Comparative Examples 1 and 2.
  • 6 is a graph showing the relationship between the V content and saturation magnetization (Ms) in the magnetic recording media of Example 1 and Samples 1 to 6 of Comparative Examples 1 and 2.
  • Ms saturation magnetization
  • 6 is a graph showing the relationship between the V content and the magnetic anisotropy constant (Ku) in the magnetic recording media of Samples 1 to 6 of Example 1 and Comparative Examples 1 and 2.
  • 6 is a graph showing the relationship between the V content and the coercive force (Hc) in the magnetic recording media of Samples 1 to 6 of Example 1 and Comparative Examples 1 and 2.
  • the magnetic recording medium of the present invention includes a non-magnetic substrate and a magnetic recording layer, the magnetic recording layer is formed having an ordered alloy of the L1 0 ordered structure. Further, the magnetic recording layer contains Fe, Pt, and V, and has a composition of Pt> Fe.
  • the magnetic recording medium can include a non-magnetic substrate 10, a magnetic recording layer 30, and an optionally provided seed layer 20, as shown in FIG.
  • the nonmagnetic substrate 10 may be various substrates having a smooth surface.
  • a material generally used for a magnetic recording medium can be used.
  • examples of materials that can be used for the nonmagnetic substrate 10 include an Al alloy plated with NiP, tempered glass, crystallized glass, and MgO.
  • the magnetic recording layer 30 includes iron (Fe) and platinum (Pt) and vanadium (V).
  • Magnetic recording layer 30 comprises ordered alloy, preferably ordered alloy has L1 0 type structure. Particularly preferred L1 0 type ordered alloy is FePt.
  • the ratio of Fe to Pt is Fe ⁇ Pt in at%.
  • the content of Fe and Pt in ordered alloy is satisfying those Fe (at%) ⁇ Pt ( at%) in the content of each element L1 0 type ordered alloy is formed. More preferably, the Fe and Pt contents are such that Fe is 40 to 45 at% and Pt is 45 to 55 at% under the condition of Fe (at%) ⁇ Pt (at%).
  • the V content in the magnetic recording layer is 3 to 12 at%, preferably 3.5 to 12 at%.
  • V in the magnetic recording layer used in the present invention is preferably V in a zero-valent oxidation state, that is, V in a metal state. While not intending to be bound by any theory, V is believed to enhance the phase separation to precipitate out of the FePt of L1 0 type ordered alloy. In the present invention, ordered alloys do not contain higher oxidation states of V, such as V oxides.
  • the regularity of the ordered alloy can be calculated by, for example, measuring the magnetic recording layer by the X-ray diffraction method (XRD) and calculating the ratio between the measured value and the theoretical value when it is completely ordered.
  • XRD X-ray diffraction method
  • For L1 0 type ordered alloy can be calculated using the integrated intensity of the (001) and (002) peaks from ordered alloy.
  • the (002) peak integrated intensity with respect to the (001) peak integrated intensity is theoretically calculated when the ratio of the (002) FePt peak integrated intensity to the measured (001) FePt peak integrated intensity is perfectly ordered.
  • the regularity S can be obtained by dividing by the ratio.
  • the magnetic recording layer of the magnetic recording medium of the present invention preferably has a granular structure composed of magnetic crystal grains made of the ordered alloy FePt and nonmagnetic crystal grain boundaries containing V. In the granular structure, each magnetic crystal grain is magnetically separated by a nonmagnetic grain boundary.
  • the magnetic recording layer is preferably formed by a sputtering method involving heating of the substrate.
  • the sputtering method include general methods well known in the technical field such as a DC magnetron sputtering method and an RF sputtering method, and these general methods can be used in the present invention.
  • the term “sputtering method” has the same meaning as the above-described general method unless otherwise specified.
  • the substrate temperature when forming the magnetic recording layer is preferably within the range of 400 to 500 ° C. By employing a substrate temperature within this range, it is possible to improve the degree of order S of L1 0 type ordered alloy material in the magnetic recording layer.
  • a target used for the sputtering method for example, a sputtering method using two targets, a target made of Fe and Pt, and a target made of V can be adopted. Or you may employ
  • a target in which a material for forming magnetic crystal grains and a material for forming nonmagnetic crystal grain boundaries are mixed in a predetermined ratio may be used.
  • a target made of a material that forms magnetic crystal grains and a target made of a material that forms nonmagnetic crystal grain boundaries may be used.
  • a plurality of targets may be used as targets for forming magnetic crystal grains. In this case, power can be separately supplied to each target to control the ratio of magnetic crystal grains and nonmagnetic crystal grain boundaries in the magnetic recording layer.
  • the layer responsible for magnetic recording may be a single layer of the magnetic recording layer 30 or may be a laminate of a plurality of layers obtained by adding other layers to the magnetic recording layer 30.
  • the layer added to the magnetic recording layer 30 is a layer for the purpose of Curie temperature (Tc) control, a cap layer for adjusting magnetization reversal, and two magnetic layers It may be an exchange coupling control layer for controlling exchange coupling, a magnetic layer for controlling magnetic characteristics, a magnetic layer for controlling a ferromagnetic resonance frequency toward microwave assisted magnetic recording, and the like.
  • Tc Curie temperature
  • a cap layer for adjusting magnetization reversal
  • It may be an exchange coupling control layer for controlling exchange coupling, a magnetic layer for controlling magnetic characteristics, a magnetic layer for controlling a ferromagnetic resonance frequency toward microwave assisted magnetic recording, and the like.
  • These layers can be formed using any method known in the art, including sputtering.
  • These layers are inseparably arranged with the magnetic recording layer 30.
  • the explanation regarding the arrangement of the top and bottom of the magnetic recording layer 30 is understood as the top and bottom of the laminate. I want.
  • the magnetic recording medium of the present invention is one selected from the group consisting of an adhesion layer, a heat sink layer, a soft magnetic backing layer, an underlayer, and a seed layer 20 between the nonmagnetic substrate 10 and the magnetic recording layer 30 or A plurality of layers may be further included.
  • the magnetic recording medium of the present invention may further include a protective layer on the magnetic recording layer 30.
  • the magnetic recording medium of the present invention may further include a liquid lubricant layer on the magnetic recording layer 30 or the protective layer.
  • the adhesion layer that may be optionally provided is used to enhance the adhesion between the layer formed thereon and the layer (including the nonmagnetic substrate 10) formed thereunder.
  • the adhesion layer 20 can be formed using a material having good adhesion to the material of the nonmagnetic substrate 10 described above. Examples of such materials include metals such as Ni, W, Ta, Cr, and Ru, and alloys containing the aforementioned metals.
  • an adhesion layer may be formed between two constituent layers other than the nonmagnetic substrate 10.
  • the adhesion layer may be a single layer or may have a laminated structure of a plurality of layers.
  • the soft magnetic backing layer that may be optionally provided controls the magnetic flux from the magnetic head to improve the recording and reproducing characteristics of the magnetic recording medium.
  • Materials for forming the soft magnetic underlayer include NiFe alloys, Sendust (FeSiAl) alloys, crystalline materials such as CoFe alloys, microcrystalline materials such as FeTaC, CoFeNi, CoNiP, and Co alloys such as CoZrNb and CoTaZr. Mention may be made of amorphous materials.
  • the optimum value of the thickness of the soft magnetic underlayer depends on the structure and characteristics of the magnetic head used for magnetic recording. When the soft magnetic backing layer is formed by continuous film formation with other layers, it is preferable that the soft magnetic backing layer has a thickness in the range of 10 nm to 500 nm (including both ends) from the viewpoint of productivity.
  • a heat sink layer may be provided.
  • the heat sink layer is a layer for effectively absorbing excess heat of the magnetic recording layer 30 generated during the heat-assisted magnetic recording.
  • the heat sink layer can be formed using a material having high thermal conductivity and specific heat capacity.
  • a material includes Cu simple substance, Ag simple substance, Au simple substance, or an alloy material mainly composed of them.
  • “mainly” means that the content of the material is 50 wt% or more.
  • the heat sink layer can be formed using an Al—Si alloy, a Cu—B alloy, or the like.
  • the heat sink layer can be formed using Sendust (FeSiAl) alloy, soft magnetic CoFe alloy, or the like.
  • Sendust FeSiAl
  • soft magnetic material By using a soft magnetic material, the function of concentrating the perpendicular magnetic field generated by the head on the magnetic recording layer can be imparted to the heat sink layer, and the function of the soft magnetic backing layer can be supplemented.
  • the optimum value of the heat sink layer thickness varies depending on the amount of heat and heat distribution during heat-assisted magnetic recording, the layer configuration of the magnetic recording medium, and the thickness of each component layer. In the case of forming by continuous film formation with other constituent layers, the film thickness of the heat sink layer is preferably 10 nm or more and 100 nm or less in consideration of productivity.
  • the heat sink layer can be formed using any method known in the art, such as a sputtering method or a vacuum evaporation method. Usually, the heat sink layer is formed using a sputtering method.
  • the heat sink layer can be provided between the nonmagnetic substrate 10 and the adhesion layer, between the adhesion layer and the underlayer, etc. in consideration of characteristics required for the magnetic recording medium.
  • the underlayer is a layer for controlling the crystallinity and / or crystal orientation of the seed layer 20 formed above.
  • the underlayer may be a single layer or a multilayer.
  • the underlayer is formed of Cr metal or an alloy in which at least one metal selected from the group consisting of Mo, W, Ti, V, Mn, Ta, and Zr is added to Cr as a main component.
  • a magnetic film is preferred.
  • the underlayer can be formed using any method known in the art such as sputtering.
  • the function of the seed layer 20 is to ensure the adhesion between the magnetic recording layer 30 and an underlying layer such as an underlayer, and to change the grain size and crystal orientation of the magnetic recording layer 30 of the upper magnetic recording layer 30. Is to control.
  • the seed layer 20 is preferably nonmagnetic.
  • the seed layer 20 controls the temperature rise and temperature distribution of the magnetic recording layer 30 as a thermal barrier.
  • the seed layer 20 has a function of rapidly raising the temperature of the magnetic recording layer 30 when the magnetic recording layer 30 is heated during the heat-assisted recording, Before the heat transfer in the in-plane direction of the recording layer 30 occurs, it is preferable to achieve both the function of guiding the heat of the magnetic recording layer 30 to the lower layer such as the underlayer by the heat transfer in the depth direction.
  • the material of the seed layer 20 is appropriately selected according to the material of the magnetic recording layer 30. More specifically, the material of the seed layer 20 is selected according to the material of the magnetic crystal grains of the magnetic recording layer. For example, if the magnetic crystal grains in the magnetic recording layer 30 is formed by L1 0 type ordered alloy, it is preferable to form the seed layer using a Pt metal or NaCl-type compounds. In particular, in the present invention, it is preferable to form the seed layer 20 using Pt.
  • oxides such as MgO and SrTiO 3 , nitrides such as TiN, and the like can be used.
  • the seed layer 20 preferably has a thickness of 1 nm to 60 nm, preferably 1 nm to 20 nm.
  • the seed layer 20 can be formed using any method known in the art, such as a sputtering method or a vacuum evaporation method.
  • the protective layer can be formed using a material conventionally used in the field of magnetic recording media.
  • the protective layer can be formed using a nonmagnetic metal such as Pt, a carbon-based material such as diamond-like carbon, or a silicon-based material such as silicon nitride.
  • the protective layer may be a single layer or may have a laminated structure.
  • the protective layer having a laminated structure may be, for example, a laminated structure of two types of carbon materials having different characteristics, a laminated structure of metals and carbon materials, or a laminated structure of metal oxide films and carbon materials.
  • the protective layer can be formed using any method known in the art, such as sputtering, CVD, and vacuum deposition.
  • the liquid lubricant layer can be formed using a material conventionally used in the field of magnetic recording media.
  • a perfluoropolyether lubricant can be used.
  • the liquid lubricant layer can be formed using, for example, a coating method such as a dip coating method or a spin coating method.
  • Example 1 A (001) MgO single crystal substrate (manufactured by Tateho Chemical Industry Co., Ltd.) having a smooth surface was washed to prepare a nonmagnetic substrate 10.
  • the nonmagnetic substrate 10 after cleaning was introduced into the sputtering apparatus. After heating the nonmagnetic substrate 10 to 350 ° C., a 20 nm-thick Pt seed layer 20 was formed by RF magnetron sputtering using a Pt target in Ar gas at a pressure of 0.4 Pa.
  • the film is formed by simultaneous RF magnetron sputtering using an FePt target and a single element V target in Ar gas at a pressure of 0.6 Pa.
  • a 10 nm thick FePtV magnetic recording layer 30 was formed to obtain a magnetic recording medium having the structure shown in FIG.
  • an Fe / Pt ratio of 45/55 was used as the FePt target.
  • the electric power applied to the FePt target was fixed at 300 W, and the electric power applied to the V target was changed from 40 to 450 W to adjust the V content of the magnetic recording layer 30.
  • Table 1 The composition of the produced magnetic recording medium is shown in Table 1.
  • Example 2 A magnetic recording medium was prepared in the same manner as in Example 1 except that targets having Fe / Pt ratios of 50/50 (Comparative Example 1) and 54/46 (Comparative Example 2) were used as FePt targets.
  • the compositions of the produced magnetic recording media are shown in Tables 2 and 3.
  • magnetic recording layer 30 of the resultant magnetic recording medium is determined to have a L1 0 ordered structure. Further, the XRD, measured length of a-axis and c-axis of the crystal lattice of the L1 0 ordered structure. Further, the regularity S was determined from XRD.
  • the saturation magnetization (Ms) of the obtained magnetic recording medium was determined using a vibrating sample magnetometer (VSM). Moreover, the hysteresis curve was measured by VSM and the coercive force (Hc) was measured. Further, the composition of the magnetic recording layer 30 of the obtained magnetic recording medium was measured by Rutherford backscattering method (RBS). Using a torque magnetometer, the sample placed in a magnetic field was rotated, the torque acting in each direction of the sample was measured, and the magnetic anisotropy constant (Ku) was determined.
  • L1 shows 0 ordered results of a-axis and the length of the c axis of the crystal lattice was determined structure and the value of the degree of order S in the first to Table 3.
  • Table 1 shows the results for the Fe / Pt ratio of 45/55 (Example 1)
  • Table 2 shows the results for the Fe / Pt ratio of 50/50 (Comparative Example 1)
  • Table 3 shows the results for Fe / Pt. The ratio is 54/46 (Comparative Example 2).
  • FIG. 2 shows the relationship between the V content of the magnetic recording layer 30 and the lengths of the a-axis and c-axis of the crystal lattice.
  • both the a-axis and c-axis of the crystal lattice hardly changed even when the V content increased. From this, it is presumed that V is not contained in the FePt crystal. That is, it is considered that V precipitates outside FePt, a grain boundary is formed by V, and FePt magnetic crystal grains are phase-separated by V.
  • FIG. 3 shows the relationship between the V content of the magnetic recording layer 30 and the degree of order S. As can be seen from FIG. 3, the regularity S was almost constant even when the V content increased. If V is in the FePt crystal, the degree of order S is considered to decrease. Therefore, from the result of the degree of order S, it is considered that V is not contained in the FePt crystal.
  • the relationship between the V content of the magnetic recording layer 30 and the saturation magnetization (Ms) is shown in FIG.
  • the relationship between the V content of the magnetic recording layer 30 and the magnetic anisotropy constant (Ku) is shown in FIG.
  • the relationship between the V content of the magnetic recording layer 30 and the coercive force (Hc) is shown in FIG.
  • the saturation magnetization (Ms) and the magnetic anisotropy constant (Ku) are not increased even when the V content is increased. I could't.
  • V is a material that increases Hc with respect to the ordered alloy of FePt.
  • Hc increases although both Ms and Ku monotonously decrease.
  • Hc is said to have the following relationship between Ku and Ms.
  • Hc A (2 Ku / Ms) (In the formula, A is a coefficient representing magnetic separation performance between magnetic particles.)
  • Nonmagnetic substrate 10
  • Seed layer 30 Magnetic recording layer

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  • Magnetic Record Carriers (AREA)

Abstract

 本発明は、磁気記録媒体に関し、この磁気記録媒体は、非磁性基板と、磁気記録層を少なくとも含む。本発明の磁気記録媒体において、前記磁気記録層はL1型規則構造を有する規則合金を含み、Fe、PtおよびVを含み、Pt>Feの組成を有する。好ましくは、前記磁気記録層は、前記規則合金を含む磁性結晶粒と、非磁性結晶粒界とからなるグラニュラー構造を有し、前記非磁性結晶粒界はVを含む。

Description

垂直磁気記録媒体
 本発明は、垂直磁気記録媒体に関する。特に、本発明は、規則合金を含み、Fe及びPtを成分として含み、更にバナジウム(V)を含む磁性層を有する垂直磁気記録媒体に関する。
 近年、磁気記録の高密度化の要請が著しい。磁気記録の高密度化を実現する技術として、垂直磁気記録方式が採用されている。垂直磁気記録媒体は、非磁性基体と、硬質磁性材料から形成される磁気記録層を少なくとも含む。垂直磁気記録媒体は、任意選択的に、磁気ヘッドが発生する磁束を磁気記録層に集中させる役割を担う軟磁性裏打ち層、磁気記録層の硬質磁性材料を目的の方向に配向させるための下地層、磁気記録層の表面を保護する保護膜などをさらに含んでもよい。
 良好な磁気特性を得ることを目的として、グラニュラー磁性材料を用いて垂直磁気記録媒体の磁気記録層を形成することが提案されている。グラニュラー磁性材料は、磁性結晶粒と、磁性結晶粒の周囲を取り囲むように偏析した非磁性体とを含む。グラニュラー磁性材料中の個々の磁性結晶粒は、非磁性体によって磁気的に分離されている。
 また、従来、垂直磁気記録媒体用の金属磁性材料として、CoCrPtをはじめとするCoCr系不規則合金磁性層が主に研究されてきた。近年、垂直磁気記録媒体の記録密度のさらなる向上を目的として、磁性層中の磁性結晶粒の粒径を縮小させる必要に迫られている。ここで、磁性結晶粒の粒径の縮小は、記録された磁化の熱安定性を低下させる。そのため、磁性結晶粒の粒径の縮小による熱安定性の低下を補償するために、より高い結晶磁気異方性を有する材料を用いることが求められている。
 求められる高い結晶磁気異方性を有する材料として、L1系規則合金およびその製造方法が提案されている。これらのL1系規則合金は、FePt、CoPt、FePd、CoPdなどを含む。
 上記のような規則合金は、規則性を高めたより良い結晶粒を得ることが困難である。また、グラニュラー磁性材料においては、グラニュラー磁性材料中の個々の磁性結晶粒の分離性を高め、規則性の高いより良い結晶性を実現することも必要とされる。
 特開2003-313659号公報(特許文献1)は、L1型の規則合金の薄膜を形成するためのスパッタターゲットを開示する。このスパッタターゲットとして、特許文献1は、Fe≧Ptの組成を有するFePtV系合金を一例として記載している。特許文献1では、スパッタ成膜した磁性合金膜をL1規則相に規則化する際のアニール温度を低下させることで、高い磁気異方性定数(Ku)や高い保磁力(Hc)などを有する規則相合金膜を再現性よく得ることを可能にしている。また、特許文献1では、磁気記録媒体は、磁性合金膜を比較的低いアニール温度でL1規則相に規則化することを可能にし、これによって、磁気異方性定数(Ku)が大きいL1構造の規則相合金膜を記録層として用いた磁気記録媒体の実用性や量産性などを高めている。
 特開2008-059733号公報(特許文献2)は、高い磁気異方性定数(Ku)を有する合金と酸化化合物を含む磁気記録媒体、及びそのような磁気記録媒体の磁気記録層を形成するためのスパッタターゲットを開示する。特許文献2では、磁気記録層は、高い磁気異方性定数(Ku)を有するため、熱安定性を向上すると同時に、この磁気記録層の磁区を著しく小さくできることが開示されている。また、特許文献2のスパッタターゲットは、L1型の規則合金の薄膜を形成するためのスパッタターゲットとして、FePtV酸化物系合金を一例として記載している。
特開2003-313659号公報 特開2008-059733号公報
 本発明の目的は、より優れたL1系規則合金を含む磁気記録層を有する磁気記録媒体を提供することである。
 本発明は、非磁性基板と、磁気記録層を少なくとも含む磁気記録媒体に関し、前記磁気記録層はL1型規則構造を有する規則合金を含み、Fe、PtおよびVを含み、Pt>Feの組成を有することを特徴とする。
 本発明では、前記磁気記録層は、前記規則合金を含む磁性結晶粒と、非磁性結晶粒界とからなるグラニュラー構造を有し、前記非磁性結晶粒界はVを含むことが好ましい。
 更に、本発明の一実施形態では、本発明の磁気記録媒体は、シード層をさらに含み、前記シード層がPtを含むことを特徴とする。
 本発明では、磁性結晶粒子間の分離性能を向上させることにより、磁気記録層の保磁力(Hc)を向上できる。
本発明の磁気記録媒体の1つの構成例を示す概略断面図である。 実施例1および比較例1~2の磁気記録媒体におけるV含有量と結晶格子のa軸およびc軸の長さとの関係を示すグラフである。 実施例1および比較例1~2の磁気記録媒体におけるV含有量と規則度Sとの関係を示すグラフである。 実施例1および比較例1~2のサンプル1~6の磁気記録媒体におけるV含有量と飽和磁化(Ms)との関係を示すグラフである。 実施例1および比較例1~2のサンプル1~6の磁気記録媒体におけるV含有量と磁気異方性定数(Ku)との関係を示すグラフである。 実施例1および比較例1~2のサンプル1~6の磁気記録媒体におけるV含有量と保磁力(Hc)との関係を示すグラフである。
 本発明の磁気記録媒体は、非磁性基板と磁気記録層とを含み、前記磁気記録層は、L1型規則構造の規則合金を有して形成される。さらに、磁気記録層は、Fe、PtおよびVを含み、Pt>Feの組成を有する。
 以下に本発明を、図面を参照して説明するが、本発明はこれらに限定されない。本発明の一実施形態では、磁気記録媒体は、図1に示すように、非磁性基板10、磁気記録層30、および任意選択的に設けてもよいシード層20を含むことができる。
 非磁性基板10は、表面が平滑である様々な基板であってよい。非磁性基板には、磁気記録媒体に一般的に用いられる材料を用いることができる。例えば、非磁性基板10に用いることができる材料として、NiPメッキを施したAl合金、強化ガラス、結晶化ガラス、あるいはMgO等を挙げることができる。
 磁気記録層30は、鉄(Fe)および白金(Pt)と、バナジウム(V)とを含む。磁気記録層30は、規則合金を含み、好ましくは、規則合金は、L1型構造を有する。特に好ましいL1型規則合金は、FePtである。
 本発明に用いられる規則合金において、FeとPtの比は、at%でFe<Ptである。好ましくは、規則合金におけるFeおよびPtの含有量は、L1型規則合金が形成されるそれぞれの元素の含有量においてFe(at%)<Pt(at%)の条件を満たすものである。より好ましくは、FeおよびPtの含有量は、Fe(at%)<Pt(at%)の条件の下で、Feが40~45at%であり、Ptが45~55at%である。また、磁気記録層におけるVの含有量は、3~12at%、好ましくは3.5~12at%である。この範囲内の組成比を用いることによって、保磁力(Hc)を改良できるL1型規則構造の規則合金を得ることができる。
 本発明に用いられる磁気記録層中のVは、好ましくは、0価の酸化状態のV、すなわち金属状態のVである。何らかの理論に拘束されることを意図するものではないが、Vは、L1型規則合金のFePtの外に析出して相分離を高めていると考えられる。本発明では、規則合金は、V酸化物のようなより高い酸化状態のVを含まない。
 本発明において、規則合金の規則性は、例えば、磁気記録層をX線回折法(XRD)により測定し、測定値と完全に規則化した際の理論値との比により算出することができる。L1型規則合金の場合は、規則合金由来の(001)および(002)ピークの積分強度を用いて算出することができる。測定された(001)FePtピーク積分強度に対する(002)FePtピーク積分強度の比の値を、完全に規則化した際に理論的に算出される(001)ピーク積分強度に対する(002)ピーク積分強度の比で除算することで規則度Sを得ることができる。
 本発明の磁気記録媒体の磁気記録層は、前記規則合金のFePtからなる磁性結晶粒と、Vを含む非磁性結晶粒界とからなるグラニュラー構造を有することが好ましい。グラニュラー構造において、それぞれの磁性結晶粒は、非磁性結晶粒界によって磁気的に分離される。
 本発明では、磁気記録層は、好ましくは、基板の加熱を伴うスパッタ法で形成される。スパッタ法としては、DCマグネトロンスパッタリング法、RFスパッタリング法などの当該技術分野においてよく知られた一般的方法を挙げることができ、本発明ではこれらの一般的方法を用いることができる。本明細書において、「スパッタ法」の語は、特に断りがない限り上記の一般的方法と同様の意味を有する。磁気記録層を形成する際の基板温度は、400~500℃の範囲内であることが好ましい。この範囲内の基板温度を採用することにより、磁気記録層中のL1型規則合金材料の規則度Sを向上させることができる。スパッタ法に用いるターゲットとして、例えば、FeおよびPtからなるターゲット、およびVからなるターゲットの2つのターゲットを用いるスパッタ法を採用することができる。あるいはまた、Feからなるターゲット、Ptからなるターゲット、およびVからなるターゲットの3つのターゲットを用いるスパッタ法を採用してもよい。これらの場合、それぞれのターゲットに別個に電力を供給することによって、磁気記録層30の規則合金中のFe、PtおよびVの比率を制御することができる。
 グラニュラー構造を有する磁気記録層の形成の際には、磁性結晶粒を形成する材料と非磁性結晶粒界を形成する材料を所定の比率で混合したターゲットを用いてもよい。あるいはまた、磁性結晶粒を形成する材料からなるターゲットと、非磁性結晶粒界を形成する材料からなるターゲットとを用いてもよい。前述のように、磁性結晶粒を形成するためのターゲットとして複数のターゲットを用いてもよい。この場合、それぞれのターゲットに別個に電力を供給して、磁気記録層中の磁性結晶粒と非磁性結晶粒界との比率を制御することができる。
 本発明において、磁気記録を担う層は、磁気記録層30単一の層であってよく、あるいは磁気記録層30に他の層を加えた複数の層の積層体であってもよい。磁気記録を担う層が複数の層から構成される場合、磁気記録層30に加える層は、キュリー温度(Tc)制御を目的とする層、磁化反転を調整するためのキャップ層、2つの磁性層間の交換結合を制御するための交換結合制御層、磁気特性を制御するための磁性層、マイクロ波アシスト磁気記録に向けた強磁性共鳴周波数を制御する磁性層などであってもよい。これらの層は、スパッタ法を含む、当該技術において知られている任意の方法を用いて形成することができる。これらの層は、磁気記録層30と一体不可分に配置される。磁気記録層30に他の層を加えた複数の層の積層体を採用する場合には、磁気記録層30の上、下等の配置に関する説明は、当該積層体の上、下等として理解されたい。
 本発明の磁気記録媒体は、非磁性基板10と磁気記録層30との間に、密着層、ヒートシンク層、軟磁性裏打ち層、下地層、およびシード層20からなる群から選択される1つまたは複数の層をさらに含んでもよい。また、本発明の磁気記録媒体は、磁気記録層30の上に保護層をさらに含んでもよい。さらに、本発明の磁気記録媒体は、磁気記録層30または保護層の上に液体潤滑剤層をさらに含んでもよい。
 任意選択的に設けてもよい密着層は、その上に形成される層とその下に形成される層(非磁性基板10を含む)との密着性を高めるために用いられる。密着層を非磁性基板10の上面に設ける場合、密着層20は、前述の非磁性基板10の材料との密着性が良好な材料を用いて形成することができる。そのような材料として、Ni、W、Ta、Cr、Ruなどの金属、前述の金属を含む合金を挙げることができる。あるいはまた、非磁性基板10以外の2つの構成層の間に密着層を形成してもよい。密着層は、単一の層であってもよいし、複数の層の積層構造を有してもよい。
 任意選択的に設けてもよい軟磁性裏打ち層は、磁気ヘッドからの磁束を制御して、磁気記録媒体の記録および再生特性を向上させる。軟磁性裏打ち層を形成するための材料として、NiFe合金、センダスト(FeSiAl)合金、CoFe合金などの結晶質材料、FeTaC、CoFeNi、CoNiPなどの微結晶質材料、CoZrNb、CoTaZrなどのCo合金を含む非晶質材料を挙げることができる。軟磁性裏打ち層の膜厚の最適値は、磁気記録に用いる磁気ヘッドの構造および特性に依存する。他の層と連続成膜で軟磁性裏打ち層を形成する場合、生産性との兼ね合いから、軟磁性裏打ち層が10nm~500nmの範囲内(両端を含む)の膜厚を有することが好ましい。
 本発明の磁気記録媒体を熱アシスト磁気記録方式において使用する場合、ヒートシンク層を設けてもよい。ヒートシンク層は、熱アシスト磁気記録時に発生する磁気記録層30の余分な熱を効果的に吸収するための層である。ヒートシンク層は、熱伝導率および比熱容量が高い材料を用いて形成することができる。そのような材料は、Cu単体、Ag単体、Au単体、またはそれらを主体とする合金材料を含む。ここで、「主体とする」とは、当該材料の含有量が50wt%以上であることをいう。また、強度などの観点から、Al-Si合金、Cu-B合金などを用いて、ヒートシンク層を形成することができる。さらに、センダスト(FeSiAl)合金、軟磁性のCoFe合金などを用いてヒートシンク層を形成することができる。軟磁性材料を用いることによって、ヘッドの発生する垂直方向の磁界を磁気記録層に集中させる機能をヒートシンク層に付与することができ、軟磁性裏打ち層の機能を補完することもできる。ヒートシンク層の膜厚の最適値は、熱アシスト磁気記録時の熱量および熱分布、ならびに磁気記録媒体の層構成および各構成層の厚さによって変化する。他の構成層との連続成膜で形成する場合などは、生産性との兼ね合いから、ヒートシンク層の膜厚は10nm以上100nm以下であることが好ましい。ヒートシンク層は、スパッタ法、真空蒸着法などの当該技術において知られている任意の方法を用いて形成することができる。通常の場合、ヒートシンク層は、スパッタ法を用いて形成される。ヒートシンク層は、磁気記録媒体に求められる特性を考慮して、非磁性基板10と密着層との間、密着層と下地層との間などに設けることができる。
 下地層は、上方に形成されるシード層20の結晶性および/または結晶配向を制御するための層である。下地層は単層であっても多層であってもよい。下地層は、Cr金属、または主成分であるCrにMo、W、Ti、V、Mn、Ta、およびZrからなる群から選択される少なくとも1種の金属が添加された合金から形成される非磁性膜であることが好ましい。下地層は、スパッタ法などの当該技術において知られている任意の方法を用いて形成することができる。
 シード層20の機能は、下地層などのその下にある層と磁気記録層30との間の密着性を確保すること、上層である磁気記録層30の磁性結晶粒の粒径および結晶配向を制御することである。シード層20は非磁性であることが好ましい。加えて、本発明の磁気記録媒体を熱アシスト磁気記録方式において使用する場合には、シード層20が熱的なバリアとして磁気記録層30の温度上昇および温度分布を制御することが好ましい。磁気記録層30の温度上昇および温度分布を制御するために、シード層20は、熱アシスト記録時の磁気記録層30の加熱の際に磁気記録層30の温度を速やかに上昇させる機能と、磁気記録層30の面内方向の伝熱が起こる前に、深さ方向の伝熱によって磁気記録層30の熱を下地層などの下層に導く機能とを両立することが好ましい。
 上記の機能を達成するために、シード層20の材料は、磁気記録層30の材料に合わせて適宜選択される。より具体的には、シード層20の材料は、磁気記録層の磁性結晶粒の材料に合わせて選択される。たとえば、磁気記録層30の磁性結晶粒がL1型規則合金で形成される場合、Pt金属、またはNaCl型の化合物を用いてシード層を形成することが好ましい。特に、本発明では、Ptを用いてシード層20を形成することが好ましい。また、複数の層を積層して、シード層20を形成する場合、上記材料に加えて、MgO、SrTiOなどの酸化物、あるいはTiNなどの窒化物などを用いることもできる。磁気記録層30の磁性結晶粒の結晶性の向上、および生産性の向上の観点から、シード層20は、1nm~60nm、好ましくは1nm~20nmの膜厚を有することが好ましい。シード層20は、スパッタ法、真空蒸着法などの当該技術において知られている任意の方法を用いて形成することができる。
 保護層は、磁気記録媒体の分野で慣用的に使用されている材料を用いて形成することができる。具体的には、Ptなどの非磁性金属、ダイアモンドライクカーボンなどのカーボン系材料、あるいは窒化シリコンなどのシリコン系材料を用いて、保護層を形成することができる。また、保護層は、単層であってもよく、積層構造を有してもよい。積層構造の保護層は、たとえば、特性の異なる2種のカーボン系材料の積層構造、金属とカーボン系材料との積層構造、または金属酸化物膜とカーボン系材料との積層構造であってもよい。保護層は、スパッタ法、CVD法、真空蒸着法などの当該技術において知られている任意の方法を用いて形成することができる。
 液体潤滑剤層は、磁気記録媒体の分野で慣用的に使用されている材料を用いて形成することができる。たとえば、パーフルオロポリエーテル系の潤滑剤などを用いることができる。液体潤滑剤層は、たとえば、ディップコート法、スピンコート法などの塗布法を用いて形成することができる。
 (実施例1)
 平滑な表面を有する(001)MgO単結晶基板(タテホ化学工業株式会社製)を洗浄し、非磁性基板10を準備した。洗浄後の非磁性基板10を、スパッタ装置内に導入した。非磁性基板10を350℃に加熱した後に、圧力0.4PaのArガス中でPtターゲットを用いたRFマグネトロンスパッタ法により、膜厚20nmのPtシード層20を形成した。
 次に、シード層20を形成した非磁性基板10を350℃に加熱した後に、圧力0.6PaのArガス中で、FePtターゲットおよび単一元素のVターゲットを用いる同時RFマグネトロンスパッタ法により、膜厚10nmのFePtV磁気記録層30を形成し、図1に示す構造を有する磁気記録媒体を得た。ここで、FePtターゲットとして、Fe/Pt比が45/55を用いた。また、FePtターゲットに印加する電力を300Wに固定し、Vターゲットに印加する電力を40~450Wに変化させて、磁気記録層30のVの含有量を調整した。作製した磁気記録媒体の組成を表1に示した。
 (比較例1~2)
 FePtターゲットとして、Fe/Pt比が50/50(比較例1)及び54/46(比較例2)のターゲットを用いた以外、上記実施例1と同様にして、磁気記録媒体を調製した。作製した磁気記録媒体の組成を表2および表3に示した。
 (評価)
 XRDにより、得られた磁気記録媒体の磁気記録層30がL1型規則構造を有することを確認した。また、XRDにより、L1型規則構造の結晶格子のa軸およびc軸の長さ測定した。また、XRDから規則度Sを求めた。
 さらに、振動試料型磁力計(VSM)を用いて、得られた磁気記録媒体の飽和磁化(Ms)を求めた。また、VSMによりヒステリシス曲線を測定し、保磁力(Hc)を測定した。また、得られた磁気記録媒体の磁気記録層30の組成を、ラザフォード後方散乱法(RBS)により測定した。トルク磁力計により、磁場中においた試料を回転させて試料の各方向には働くトルクを測定し、磁気異方性定数(Ku)を求めた。
 L1型規則構造の結晶格子のa軸およびc軸の長さを測定した結果と、規則度Sの値を第1~表3に示す。表1はFe/Ptの比が45/55(実施例1)の結果であり、表2はFe/Ptの比が50/50(比較例1)の結果であり、表3はFe/Ptの比が54/46(比較例2)の結果である。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000003
 磁気記録層30のV含有量と、結晶格子のa軸およびc軸の長さとの関係を図2に示す。図2から分かるように、V含有量が増加しても、結晶格子のa軸及びc軸の両方ともほとんど変化しなかった。このことから、Vは、FePtの結晶中には入っていないと推定される。即ち、VがFePt外に析出し、Vにより粒界が形成され、FePt磁性結晶粒がVにより相分離していると考えられる。また、磁気記録層30のV含有量と、規則度Sの関係を図3に示す。図3からわかるように、V含有量が増加しても、規則度Sはほぼ一定であった。VがFePtの結晶中にあれば、規則度Sは低下すると考えられる。従って、この規則度Sの結果からも、Vは、FePtの結晶中には入っていないと考えられる。
 次に、上記実施例1及び比較例1~2の各試料1~6について、飽和磁化(Ms)、保磁力(Hc)および磁気異方性定数(Ku)の測定結果を、表4(実施例1)、表5(比較例1)および表6(比較例2)に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000004
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000005
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000006
 磁気記録層30のV含有量と、飽和磁化(Ms)との関係を図4に示した。また、磁気記録層30のV含有量と、磁気異方性定数(Ku)との関係を図5に示した。更に、磁気記録層30のV含有量と、保磁力(Hc)との関係を図6に示した。図4及び図5に見られるように、実施例1および比較例1~2において、Vの含有量を増加させても、飽和磁化(Ms)および磁気異方性定数(Ku)の増加は見られなかった。これに対し、図6に示されるように、Vの含有量を増加させると、実施例1の磁気記録媒体の保磁力(Hc)が、比較例1~2の磁気記録媒体の保磁力(Hc)に比べ有意に増大した。特に、Vの添加量が1.8<V<11.6(at%)でHcが増大した。また、実施例1におけるFePtVの組成がFe42.8Pt51.1V6.1で、Hcの値が最大値5.9kOeを示した。
 以上の結果から、Vは、FePtの規則合金に対して、Hcを増大させる材料であることが分かった。
 また、本発明では、Vの含有量が増加するに従い、MsおよびKuが、共に単調に減少しているにもかかわらず、Hcが増大する。
 本発明のような、MsおよびKuが減少しているにもかかわらず、Hcが増大する理由は、現時点では不明であるが、以下のように推定することができる。
 HcはKuとMsとの間に次式の関係があるといわれている。
 Hc=A(2Ku/Ms)
 (式中、Aは磁性粒子間の磁気的な分離性能を表す係数である。)
 Fe45Pt55の組成で検証すれば、Ku/Msは以下の表7に示すように、実施例1においてほぼ一定である。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000007
 従って、Hcの増加はAの増加に起因していると考えられる。また、図2及び図3に示した、構造解析の結果を合わせて考えると、次のことが考えられる。
 構造解析の結果では、c軸およびa軸の軸長の変化は少なく、規則度Sがほぼ一定であったことから、VはFePtの結晶中には入っていないと推定できる。即ち、VをFePt規則合金に添加することによって、FePtの磁性結晶粒の外にVの粒界が形成され、磁性結晶粒子間の分離性能が向上し、この結果、Hcが増加したと考えることができる。
 また、FePtの組成において、Fe<Ptの場合にHcが増大する理由は不明であるが、Vが粒界に偏析しやすくなって磁性結晶粒の分離性が向上することなどが考えられる。
 以上のように、L1型規則合金に対するVの添加が、優れた磁気特性の発現に有効であることが分かる。
 10 非磁性基板
 20 シード層
 30 磁気記録層

Claims (3)

  1.  非磁性基板と、磁気記録層を少なくとも含む磁気記録媒体であって、前記磁気記録層はL1型規則構造を有する規則合金を含み、Fe、PtおよびVを含み、Pt>Feの組成を有することを特徴とする磁気記録媒体。
  2.  前記磁気記録層は、前記規則合金を含む磁性結晶粒と、非磁性結晶粒界とからなるグラニュラー構造を有し、前記非磁性結晶粒界はVを含むことを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体。
  3.  前記磁気記録媒体は、シード層をさらに含み、前記シード層がPtを含むことを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体。
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