WO2015100796A1 - 液晶显示面板的修复方法及修复系统 - Google Patents

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crystal display
display panel
graphene
laser
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李冠政
李吉
陈雅惠
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TCL China Star Optoelectronics Technology Co Ltd
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Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co Ltd
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    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
    • G02F1/1362—Active matrix addressed cells
    • G02F1/136259—Repairing; Defects
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F2202/00—Materials and properties
    • G02F2202/36—Micro- or nanomaterials

Definitions

  • the present invention relates to the field of flat display, and in particular to a method and a repairing system for a liquid crystal display panel.
  • TFT arrays are the key structure of active matrix liquid crystal displays (TFT ⁇ LCDs), so the quality of TFT matrices is critical to the quality of TFT LCDs.
  • Defects in the TFT are generated, such as short-circuit or open-circuit defects of the channel, source, drain, and gate electrodes, scan lines associated with the leads, short-circuit or open-circuit defects of the signal lines, and defects in the storage capacitor electrodes and the pixel electrodes. Therefore, for these defects, the typical Array process has a laser chemical vapor deposition (CVD) repair step after the gate process source/drain process.
  • CVD laser chemical vapor deposition
  • Laser CVD is a technique for directly depositing a micro-region film by laser chemical reaction. It directly applies gas molecules by laser heating or laser to cleave gas molecules and then deposits a film on the substrate.
  • Laser CVD has the following advantages: 1. Micro-area deposition, high spatial resolution and controllability, non-laser irradiation area is not affected by heat; 2 can achieve rapid temperature rise in the local domain, reaching the decomposition temperature of chemical substances adsorbed on the surface of the substrate, fast Deposition; 3, no pollution, simple process; 4, can be used together with other laser processing technology. Based on these characteristics, laser CVD has important application value in the circuit breaker's open circuit or section repair.
  • the laser CVD repair method for TFT wiring is a chromium (Cr) or tungsten (W) metal line by using hexacarbonyl chromium (Cr(CO) 6 ) or hexacarbonyl tungsten (W(CO) 6 ) as a reaction gas.
  • this repaired part has a non-uniform conductivity, which will cause thermal stress when a thermal load is applied, thus causing a reliability problem of the repair point; in addition, the raw materials Cr(CO) 6 and W(CO) 6 used are Highly toxic and environmentally harmful graphene is a new type of carbon nanomaterial with superior electrical, thermal and mechanical properties.
  • the method of growing graphene has mechanical stripping method, silicon carbide (SiC) epitaxial production.
  • SiC silicon carbide
  • the raw materials used for the growth of graphene by the CVD method are very readily available hydrocarbons, which are safer and more environmentally friendly than the raw materials for depositing W or Cr, and the cost is also lower.
  • Graphene is prepared by a CVD method in which a reduced gas such as a hydrocarbon is decomposed into carbon atoms at a high temperature and deposited on the surface of a substrate to form graphene.
  • the heating method that generates high temperature is generally heated by a resistance wire, but this method has a slow heating and cooling rate, and the entire substrate is at a high temperature, and micro-region selective deposition cannot be realized. If this method is used to repair defects in the TFTHLCD, Causes damage to many structures.
  • the object of the present invention is to provide a method for repairing a liquid crystal display panel, which comprises forming a graphene at a break by a laser chemical vapor deposition method to repair an open circuit, has a simple process, and has a good repairing effect, and uses a common gas such as methane as a carbon source gas. , conducive to environmental protection flick
  • Another object of the present invention is to provide a repair system for a liquid crystal display panel, which controls the switching of the laser device by the control system, effectively controls the number of layers of graphene formed, thereby controlling the conductivity of the graphene and improving the repairing effect.
  • the present invention provides a method for repairing a liquid crystal display panel, comprising the following steps:
  • Step 1 Providing a liquid crystal display panel, the circuit on the liquid crystal display panel has an open circuit; Step 2. Forming a graphene on the liquid crystal display panel by laser chemical vapor deposition to connect the open circuit.
  • the liquid crystal display panel includes a substrate, a data line and a scan line formed on the substrate, an insulating layer formed on the data line and the scan line, and a pixel electrode formed on the insulating layer, wherein the open circuit is located on the data line, the scan line or the pixel On the electrode.
  • the graphene is formed at a disconnection position on the data line, the scan line or the pixel electrode to electrically connect the data line, the scan line or the pixel electrode.
  • the graphene is formed on the insulating layer, and a contact hole is formed on the insulating layer, and the graphene is electrically connected to the data line or the scan line through the contact hole.
  • a mixed gas of methane and hydrogen, methane and argon or ethane and hydrogen or argon is used as a carbon source gas; and laser chemical vapor deposition is performed using a laser as an energy source.
  • laser chemical vapor deposition is also performed using copper vapor as a catalyst.
  • the method further includes the following steps: exposing the graphene to the environment of the doping molecule, and dividing the graphene.
  • the invention further provides a method for repairing the liquid crystal display panel, comprising the following steps: Step 1, providing a liquid crystal display panel, the circuit on the liquid crystal display panel has an open circuit; Step 2, forming a graphene on the liquid crystal display panel by laser chemical vapor deposition to connect the open circuit;
  • the liquid crystal display panel includes a substrate, a data line and a scan line formed on the substrate, an insulating layer formed on the data line and the scan line, and a pixel electrode formed on the insulating layer, wherein the open circuit is located on the data line and the scan line. Or on the pixel electrode;
  • a mixed gas of decane and hydrogen, methane and argon, or ethane and hydrogen or argon is used as a carbon source gas; and laser chemical vapor deposition is performed using a laser as an energy source.
  • the graphene is formed at a disconnection position on the data line, the scan line or the pixel electrode to electrically connect the data line, the scan line or the pixel electrode.
  • the graphene is formed on the insulating layer, and a contact hole is formed on the insulating layer, and the graphene is electrically connected to the data line or the scan line through the contact hole.
  • laser chemical vapor deposition is also performed using copper vapor as a catalyst.
  • step 3 wherein the graphene is subjected to molecular doping by exposing the graphene to an environment of doped molecules.
  • the invention also provides a repair system for a liquid crystal display panel, comprising: a working platform, a gas chamber disposed on the working platform, a gas processing system communicating with the gas chamber, and an exhaust system communicating with the gas chamber, disposed above the gas chamber a laser device and a control system electrically connected to the gas processing system and the laser device, the laser device comprising a laser, a switch and an acousto-optic scanner, the gas processing system for providing a carbon source gas, and the exhaust system
  • the laser device is used to provide a laser
  • the control system is used to control the gas processing system and the laser device.
  • the control system controls whether the laser provides laser light by controlling the opening and closing of the switch.
  • Advantageous Effects of Invention The repair method and repair system of the liquid crystal display panel of the present invention form a graphene at a break by laser chemical vapor deposition to repair an open circuit, has a simple process, a good repair effect, and a common gas such as methane. It is a carbon source gas, which is good for environmental protection. It can control the number of graphene layers by controlling the irradiation of laser light, thereby controlling the conductivity of graphene and improving the repair effect.
  • the resolution of the graphene growth line adjusts the laser light path so that the spot can heat the circuit breaker area according to the set path, deposit the required graphene line or shape, and repair quickly and accurately.
  • FIG. 1 is a flow chart of a method for repairing a liquid crystal display panel of the present invention
  • FIG. 2 is a schematic structural view of a liquid crystal display panel repaired by the repair method of the liquid crystal display panel of the present invention
  • FIG. 3 is a schematic structural view of a first embodiment of a liquid crystal display panel in which a repair method of a liquid crystal display panel of the present invention is repaired;
  • FIG. 4 is a schematic structural view of a second embodiment of a liquid crystal display panel repaired by the repair method of the liquid crystal display panel of the present invention
  • FIG. 5 is a schematic structural view of a third embodiment of a liquid crystal display panel repairing a repair method of a liquid crystal display panel according to the present invention.
  • FIG. 6 is a schematic structural view of a repair system of a liquid crystal display panel of the present invention. Specific travel mode
  • the present invention provides a method for repairing a liquid crystal display panel, which includes the following steps:
  • Step 1 Providing a liquid crystal display panel, the circuit on the liquid crystal display panel has an open circuit.
  • Step 2 Forming a graphite woman on the liquid crystal display panel by laser chemical vapor deposition to connect the open circuit.
  • the invention replaces existing chromium or tungsten with graphene in the open circuit position to repair defects, and the graphene has better electric charge and heat transfer ability, and different ductility, solving the chromium or pigeon repair due to thermal stress.
  • the defect that causes the repair failure improves the reliability of the repair point, and the raw material used in the conventional method ( ⁇ (( ⁇ ): ⁇ is a highly toxic and environmentally harmful physical shield.
  • the raw materials used in the growing graphite women are very readily available hydrocarbons, which are safer and more environmentally friendly than the materials from which chromium or tungsten is deposited.
  • the liquid crystal display panel includes a substrate, a data line and a scan line formed on the substrate, an insulating layer formed on the data line and the scan line, and a pixel electrode formed on the insulating layer, wherein the open circuit is located on the data line, and is scanned. On a line or pixel electrode.
  • the liquid crystal display panel includes a substrate 20 and a gate formed on the substrate 20 . 22, a gate insulating layer 24 formed on the gate electrode 22, a source/drain 26 formed on the gate insulating layer 24, and a data line 28 formed on the gate insulating layer 24, the open circuit being located on the data line 28
  • the graphene 30 is formed on the gate insulating layer 24 corresponding to the disconnection position, and both ends of the disconnected data line 28 are connected so that the data line 28 forms a path.
  • the specific manner of forming the graphene 30 may be: placing a liquid crystal display panel in a closed loop region, and introducing a carbon source gas into the closed loop region, and depositing carbon in the carbon source gas on the liquid crystal by laser irradiation.
  • the open position of the data line 28 of the display panel forms a graphite of 30.
  • the carbon source gas may be a mixed gas of methane (CH 4 ) and hydrogen ( 3 ⁇ 4 ), methane and argon (Ar), or ethane (c 2 3 ⁇ 4 ) and hydrogen or argon.
  • the temperature of the disconnection position is between 650 and 200, preferably 1000.
  • the invention utilizes laser chemical vapor deposition method to grow graphene at the disconnection position, and can directly heat only the growth region, does not have a heated heating region, avoids other regions being affected by heat, and can change the laser energy to make the growth region fast.
  • the laser can be quickly removed by turning off the laser, which has the characteristics of fast cooling speed, reducing the unnecessary growth of multilayer graphene, effectively controlling the number of layers of graphene growth, and adjusting the spot of the laser.
  • the radius controls the resolution of the graphene growth line and adjusts the laser path to allow the spot to heat the selected area on the substrate in a defined path to deposit the desired graphene line or shape.
  • the present invention can also use copper vapor as a catalyst when depositing graphene 30, so that graphene 30 can be deposited better, and the repairing effect of the liquid crystal display panel is ensured.
  • the present invention may further comprise the step 3, after forming the graphene 30, exposing the graphene 30 to the environment of the doping molecule, and molecularly doping the graphene 30 to optimize the conductivity of the graphene 30. Performance, which in turn improves the repair.
  • the doping molecule can also be injected into the closed loop with the carbon source gas to form molecular doping while forming the graphene 30, simplifying the repair process and improving the repair efficiency.
  • a second implementation M of the method for repairing a liquid crystal display panel of the present invention is provided.
  • the disconnection position of the data line 28 is located below the protective layer 29.
  • a contact hole 292 is first provided on the protective layer 29 to expose both ends of the disconnection of the data line 28', and then graphene 30' is formed on the protective layer 29, and the graphene 30 passes through the contact hole 292 to break the data line 28
  • the form of the graphene 30' is the same as that of the graphene 30 in the first embodiment, and will not be described herein.
  • FIG. 2 and FIG. 5 are a third embodiment of a method for repairing a liquid crystal display panel of the present invention.
  • the breaking position is located on the pixel electrode 40, and the pixel electrode 40 is located on the protective layer 29.
  • the graphite is 3 (the germanium is formed on the protective layer 29, and
  • the graphene 30" is formed in the same manner as the graphene 30 in the first embodiment, and is not referred to FIG. 6 in this embodiment.
  • the present invention also provides a repair system for a liquid crystal display panel, comprising: a work platform 200, a gas chamber 400 disposed on the work platform 200, a gas processing system 500 in communication with the gas chamber 400, and a helium gas connected to the gas chamber 400.
  • the system 600 is provided with a laser device 700 disposed above the gas chamber 400 and a control system 800 electrically connected to the gas processing system 500 and the laser device 700.
  • the laser device 700 includes a laser 702, a switch 704, and an acousto-optic scanner 706.
  • the gas treatment system 500 is for providing a carbon source gas
  • the exhaust system 600 is for removing exhaust gas
  • the laser device 700 is for laser light
  • the control system 800 is for controlling the gas treatment system 500. With laser device 700.
  • the working mode is: placing the liquid crystal display panel to be repaired in the air chamber 400, the control system 800 controls the gas processing system 500 to pass the carbon source gas into the gas chamber 400, and the control system 800 controls the switch 704 to open, so that the laser 702 emits The laser is irradiated into the inlet chamber 400, and the acousto-optic scanner 706 is controlled to control the laser irradiation path, so that the graphite is formed at the disconnection position of the liquid crystal display panel, thereby realizing the repair of the liquid crystal display panel.
  • the repairing system of the liquid crystal display panel further comprises a display device 900 electrically connected to the acousto-optic scanner 706 for observing the formation of graphene on the liquid crystal display panel.
  • the repairing method and the repairing system of the liquid crystal display panel of the present invention form a graphite woman at the break by laser chemical vapor deposition to repair the open circuit, the process is simple, the repairing effect is good, and common gases such as methane are used.
  • the carbon source gas is beneficial to environmental protection; and the number of layers of graphene can be controlled by controlling the irradiation of the laser, thereby controlling the conductivity of the graphene and improving the repairing effect; meanwhile, the spot radius of the laser can be adjusted to control the graphite.
  • the resolution of the olefin growth line adjusts the laser beam path so that the spot can heat the selected area on the substrate in a set path to deposit the desired graphene line or shape.

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Abstract

一种液晶显示面板的修复方法及修复系统，所述方法包括：步骤1、提供液晶显示面板，该液晶显示面板上的电路有断路；步骤2、通过激光化学气相沉积法在液晶显示面板上形成石墨烯，以连通该断路。该修复方法及修复系统，通过激光化学气相沉积法，在断路处形成石墨烯，以修复断路，制程简单，修复效果好，且以甲烷等常见气体为碳源气体，利于环境保护；并可以通过控制激光的照射与否控制石墨烯的层数，进而控制石墨烯的导电率，提升修复效果；同时，还可以调整激光的光斑半径，则可控制石墨烯生长线路的分辨率，调整激光光路，使光斑能按设定的路径对断路区域进行加热，沉积出所需要的石墨烯线路或形状。

Description

本发明涉及平面显示领域， 尤其涉及一种液晶显示面板的修复方法及 修复系统。 背景;
薄膜晶体管 （TFT ) 阵列是有源矩阵液晶显示器 （TFT~LCD ) 的关键 结构， 因此 TFT 矩阵的好坏对 TFT LCD 的品质至关重要。
TFT结构的阵列 （ Array )制程较为复杂繁瑣， 在反复的工艺中
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致 TFT 的缺陷产生， 如： 沟道、 源极、 漏极、 柵极等电极短路或断路缺 陷， 与引线有关的扫描线、 信号线的短路或断路缺陷、 储存电容电极和像 素电极的缺陷。 因此， 针对这些缺陷， 典型的 Array制程中在栅极制程禾 源 /漏极工程后均有激光化学气相沉积 ( Chemical Vapor Deposition， CVD )修补的步骤。 随着 TFTHXD 不断向着高分辨率和高精细化的方向 发展， 要保证生产的 TFT 毫无缺陷基本不可能实现， 所以对 TFT 的修 复， 特别是对 TFT的精细修复显得更加重要。
激光 CVD是一种利用激光化学反应直接沉积微区薄膜的技术， 它通过 激光加热或激光直接作用气体分子， 使气体分子裂解， 然后在基板上沉积 成膜。 激光 CVD具有以下优点： 1、 微区沉积， 空间分辨率高且可控， 非 激光照射区域不受热影响； 2 能实现定域内的迅速升温， 达到吸附在基 底表面的化学物质的分解温度， 快速沉积； 3、 无污染， 工艺简单； 4 , 可 与其他激光加工技术并用。 基于这些特点， 激光 CVD在 TFT阵列的断路或 断面修复中有重要应用价值。 目前， 用于 TFT布线的激光 CVD修复方法是 以六羰基铬 （Cr(CO)6 ) 或六羰基钨 （W(CO)6 ) 为反应气体， 沉积铬 ( Cr )或钨（W )金属线路使电路重新导通。 然而， 此修复部分具有非均 匀的电导率， 在施加热载荷时将引起热应力， 因此导致修复点的可靠性隐 患； 另外， 所使用的原料 Cr(CO)6和 W(CO)6是有剧毒和对环境有害的物 石墨烯是一种新型的碳纳米材料， 具有超强的导电、 导热和机械性 能。 因此， 若能用石墨烯代替 Cr或 W沉积在断路的缺陷出， 由于石墨烯 更优异的电荷和热量的传输能力， 及优异的延展性， 可以提高修复点的可 靠性。 目前， 生长石墨烯的方法有机械剥离法、 碳化硅（SiC ) 外延生产 法， 氧化还原法和化学气相沉积法， 其中 CVD 法是使用最为普遍的一种 方法， 所生长的石墨烯缺陷少， 品质好。 另一方面， CVD法生长石墨烯所 使用的原料是非常易得的碳氢化合物， 比沉积 W 或 Cr 的原料更安全环 保， 成本也更低。 CVD法制备石墨烯是使含减的气体， 如碳氢化合物， 在 高温下分解成碳原子沉积在基底的表面， 形成石墨烯。 产生高温的加热方 式一般采用电阻丝加热， 但是此方式升温和降温速率慢， 而且使整个基底 都处于高温之下， 无法实现微区选择性沉积， 若应用此方法修复 TFTHLCD 中的缺陷， 还会对很多结构造成破坏„ 发明内容
本发明的目的在于提供一种液晶显示面板的修复方法， 通过激光化学 气相沉积法， 在断路处形成石墨烯， 以修复断路， 制程简单， 修复效果 好， 且以甲烷等常见气体为碳源气体， 利于环境保护„
本发明的另一目的在于提供液晶显示面板的修复系统， 通过控制系统 控制激光设备的开关， 有效控制所形成的石墨烯的层数， 进而控制石墨烯 的导电率， 提升修复效果。
为实现上述目的， 本发明提供一种液晶显示面板的修复方法， 包括以 下步骤：
步骤 1、 提供液晶显示面板， 该液晶显示面板上的电路有断路； 步骤 2、 通过激光化学气相沉积法在液晶显示面板上形成石墨烯， 以 连通该断路。
所述液晶显示面板包括基板、 形成于基板上的数据线与扫描线， 形成 于数据线与扫描线上的绝缘层及形成绝缘层上的像素电极， 所述断路位于 数据线、 扫描线或像素电极上。
所述石墨烯形成于数据线、 扫描线或像素电极上的断路位置， 以将数 据线、 扫描线或像素电极电性连.接。
所述石墨烯形成于所述绝缘层上， 并在绝缘层上形成接触孔， 所述石 墨烯通过接触孔与数据线或扫描线电性连接。
所述步骤 2 中， 以甲烷与氢气、 甲烷与氩气 或乙烷与氢气或氩气的 混合气体为碳源气体； 以激光为能量源进行激光化学气相沉积。
所述步骤 2中， 还以铜蒸汽为催化剂进行激光化学气相沉积。
还包括步骤 3 , 将石墨烯暴露于掺杂分子的环境中， 对石墨烯进行分 本发明还提^ Γ—种液晶显示面板的修复方法， 包括以下步骤： 步骤 1、 提供液晶显示面板， 该液晶显示面板上的电路有断路； 步骤 2、 通过激光化学气相沉积法在液晶显示面板上形成石墨烯， 以 连通该断路；
其中， 所述液晶显示面板包括基板、 形成于基板上的数据线与扫描 线、 形成于数据线与扫描线上的绝缘层及形成绝缘层上的像素电极， 所述 断路位于数据线、 扫描线或像素电极上；
其中， 所述步骤 2 中， 以曱烷与氢气、 甲烷与氩气、 或乙烷与氢气或 氩气的混合气体为碳源气体； 以激光为能量源进行激光化学气相沉积。
所述石墨烯形成于数据线、 扫描线或像素电极上的断路位置， 以将数 据线、 扫描线或像素电极电性连接。
所述石墨烯形成于所述绝缘层上， 并在绝缘层上形成接触孔， 所述石 墨烯通过接触孔与数据线或扫描线电性连接。
所述步骤 2中， 还以铜蒸汽为催化剂进行激光化学气相沉积。
还包括步骤 3， 将石墨烯暴露于掺杂分子的环境中， 对石墨烯进行分 子掺杂。
本发明还提供一种液晶显示面板的修复系统， 包括： 工作平台、 设于 工作平台上的气室、 与气室连通的气体处理系统、 与气室连通的排气系 统， 设于气室上方的激光设备及电性连接于气体处理系统与激光设备的控 制系统， 所述激光设备包括激光器、 开关及声光扫描器， 所述气体处理系 统用于提供碳源气体， 所述排气系统用于排除废气， 所述激光设备用于提 供激光， 所述控制系统用于控制气体处理系统与激光设备。
还包括电性连接声光扫描器的显示设备。
所述控制系统通过控制开关的打开与闭合控制激光器是否提供激光。 本发明的有益效果： 本发明的液晶显示面板的修复方法及修复系统， 通过激光化学气相沉积法， 在断路处形成石墨烯， 以修复断路， 制程简 单， 修复效果好， 且以甲烷等常见气体为碳源气体， 利于环境保护； 并可 以通过控制激光的照射与否控制石墨烯的层数， 进而控制石墨烯的导电 率， 提升修复效果； 同时， 还可以调整激光的光斑半径， 则可控制石墨烯 生长线路的分辨率， 调整激光光路， 使光斑能按设定的路径对断路区域进 行加热， 沉积出所需要的石墨烯线路或形状， 快速、 准确的进行修复。
为了能更进一步了解本发明的特征以及技术内容， 请参阔以下有关本 发明的详细说明与附图， 然而附图仅提供参考与说明用， 并非用来对本发 明加以限制。 附图说明
下面结合附图， 通过对本发明的具体实施方式详细描述， 将使本发明 的技术方案及其它有益效果显而易见。
附图中，
图 1为本发明液晶显示面板的修复方法的流程图；
图 2为本发明液晶显示面板的修复方法进行修复的液晶显示面板的结 构示意图；
图 3 为本发明液晶显示面板的修复方法进行修复的液晶显示面板的第 一实施例的结构示意图；
图 4为本发明液晶显示面板的修复方法进行修复的液晶显示面板的第 二实施例的结构示意图；
图 5 为本发明液晶显示面板的修复方法进行修复的液晶显示面板的第 三实施例的结构示意图；
图 6为本发明液晶显示面板的修复系统的构架示意图。 具体实旅方式
为更进一步阐述本发明所采取的技术手段及其效果， 以下结合本发明 的优选实施例及其附图进行详 ·细描述.0
请参阅图 1 , 本发明提供一种液晶显示面板的修复方法， 包括以下步 骤：
步骤 1、 提供液晶显示面板， 该液晶显示面板上的电路有断路。
步骤 2、 通过激光化学气相沉积法在液晶显示面板上形成石墨婦， 以 连通该断路。
本发明以石墨烯代替现有的鉻或钨沉积在断路位置处以修复缺陷， 由 于石墨烯具有更优异的电荷和热量的传输能力， 及俛异的延展性， 解决了 铬或鸽修复由于热应力导致修复失效的缺陷， 提高了修复点的可靠性， 且， 传统方法所使用的原料 (^((^^和^!^)：^是有剧毒和对环境有害的物 盾。 而本发明中生长石墨婦所使用的原料是非常易得的碳氢化合物， 比沉 积铬或钨的原料更安全环保， 成本也更低。
具体地， 所述液晶显示面板包括基板、 形成于基板上的数据线与扫描 线、 形成于数据线与扫描线上的绝缘层及形成绝缘层上的像素电极， 所述 断路位于数据线、 扫描线或像素电极上。
请参阅图 2及图 3， 以断路形成于数据线上为例， 进行说明： 在本实施例中， 液晶显示面板包括基板 20、 形成于基板 20上的柵极 22 , 形成于栅极 22上的栅极绝缘层 24、 形成于栅极绝缘层 24上的源 /漏 极 26及形成于柵极绝缘层 24上的数据线 28 , 所述断路位于数据线 28的 棵露位置， 那么在进行断路修复时， 在对应断路位置的柵极绝缘层 24 上 形成石墨烯 30， 并连接断路的数据线 28的两端， 使得数据线 28形成通路 即可。
其中， 所述石墨烯 30 形成的具体方式可为： 将液晶显示面板置于密 闭环境内， 并向该密闭环境内通入碳源气体， 通过激光照射， 使得碳源气 体中的碳沉积于液晶显示面板的数据线 28的断路位置， 形成石墨歸 30。
具体地， 所述碳源气体可以为甲烷（CH4 ) 与氢气（¾ ) 、 甲烷与氩 气（Ar ) 、 或乙烷（c2¾ ) 与氢气或氩气的混合气体， 所述激光照射， 使 得该断路位置的温度介于 650〜】200 , 优选 1000 。
本发明利用激光化学气相沉积法在断路位置生长石墨烯， 可以实现仅 对生长区域直接加热， 不存在酎加的受热区域， 避免其它区域受到热影 响， 并可以通过改变激光能量， 使生长区域快速达到反应所需的温度， 可 以通过关闭激光器， 快速去除光束， 具有降温速度快的特点， 减少不必要 的多层石墨烯生长， 有效控制石墨烯生长的层数， 同时， 还可以调整激光 的光斑半径， 則可控制石墨烯生长线路的分辨率， 调整激光光路， 使光斑 能按设定的路径对衬底上选择的区域进行加热， 沉积出所需要的石墨烯线 路或形状。
进一步地， 本发明还可以在沉积石墨烯 30 时以铜蒸汽作为催化剂， 以便能更好的沉积石墨烯 30， 保证液晶显示面板的修复效果。
值得一提的是， 本发明还可以包括步骤 3 , 在形成石墨烯 30后， 将石 墨烯 30暴露于掺杂分子的环境中， 对石墨烯 30进行分子掺杂， 以优化石 墨烯 30的导电性能， 进而提高修复效果。
另， 该摻杂分子还可以与碳源气体一起注入密闭环境内， 在形成石墨 烯 30的同时进行分子摻杂， 简化修复制程， 提高修复效率。
请参阅图 2 及图 4， 为本发明液晶显示面板的修复方法的第二实施 M , 在本实施例中， 所述.数据线 28，的断路位置位于保护层 29下方， 在修 复时， 需先在保护层 29 上设置接触孔 292 , 以露出数据线 28'断路的两 端， 再在保护层 29上形成石墨烯 30' , 该石墨烯 30，通过.接触孔 292将断 路的数据线 28'电性连接， 以实现修复， 在本实施例中， 所述石墨烯 30'的 形成方式与上述第一实施例中的石墨烯 30 形成方式相同， 在此不作赘 述。
请参阅图 2 及图 5 , 为本发明液晶显示面板的修复方法的第三实施 例， 在本实施例中， 所述.断路位置位于像素电极 40上， 所述像素电极 40 位于保护层 29上， 在修复时， 所述石墨歸 3(Γ形成于保护层 29上， 并将 像素电极 40 的断路缺陷填满， 进而实现修复， 在本实施例中， 所述石墨 烯 30"的形成方式与上述第一实施例中的石墨烯 30形成方式相同， 在此不 请参阅图 6, 本发明还提供一种液晶显示面板的修复系统， 包括： 工 作平台 200、 设于工作平台 200上的气室 400、 与气室 400连通的气体处 理系统 500 > 与气室 400连通的棑气系统 600 , 设于气室 400上方的激光 设备 700 及电性连接于气体处理系统 500 与激光设备 700 的控制系统 800, 所述激光设备 700包括激光器 702、 开关 704及声光扫描器 706， 所 述气体处理系统 500 用于提供碳源气体， 所述排气系统 600 用于排除废 气， 所述激光设备 700用于提^ r激光， 所述控制系统 800用于控制气体处 理系统 500与激光设备 700。
其工作模式为： 将待修复的液晶显示面板置于气室 400 内， 控制系统 800控制气体处理系统 500向气室 400内通入碳源气体， 控制系统 800控 制开关 704打开， 使得激光器 702发出的激光照射进气室 400内， 并控制 声光扫描器 706控制激光照射路径， 使得石墨婦形成于液晶显示面板的断 路位置， 进而实现液晶显示面板的修复。
值得一提的是， 所述液晶显示面板的修复系统还包括电性连接声光扫 描器 706的显示设备 900， 用于观察液晶显示面板上石墨烯的形成情况。
综上所述， 本发明的液晶显示面板的修复方法及修复系统， 通过激光 化学气相沉积法， 在断路处形成石墨婦， 以修复断路， 制程简单， 修复效 果好， 且以甲烷等常见气体为碳源气体， 利于环境保护； 并可以通过控制 激光的照射与否控制石墨烯的层数， 进而控制石墨烯的导电率， 提升修复 效果； 同时， 还可以调整激光的光斑半径， 则可控制石墨烯生长线路的分 辨率， 调整激光光路， 使光斑能按设定的路径对衬底上选择的区域进行加 热， 沉积出所需要的石墨烯线路或形状。
以上所述， 对于本领域的普通技术人员来说， 可以根据本发明的技术 方案和技术构思作出其他各种相应的改变和变形， 而所有这些改变和变形 都应属于本发明权利要求的保护范围„

Claims

权 利 要 求
】、 一种液晶显示面板的修复方法， 包括以下步骤：
步骤 1、 提供液晶显示面板， 该液晶显示面板上的电路有断路； 步骤 2、 通过激光化学气相沉积法在液晶显示面板上形成石墨烯， 以 连通该断路。
2 , 如权利要求 1 所述的液晶显示面板的修复方法， 其中， 所述液晶 显示面板包括基板、 形成于基板上的数据线与扫描线、 形成于数据线与扫 描线上的绝缘层及形成绝缘层上的像素电极， 所述断路位于数据线、 扫描 线或像素电极上。
3、 如权利要求 2 所述的液晶显示面板的修复方法， 其中， 所述石墨 烯形成于数据线、 扫描线或像素电极上的断路位置， 以将数据线、 扫描线 或像素电极电性连接。
4、 如权利要求 2 所述的液晶显示面板的修复方法， 其中， 所述石墨 烯形成于所述绝缘层上， 并在绝缘层上形成接触孔， 所述石墨烯通过接触 孔与数据线或扫描线电性连接。
5 , 如权利要求 i所述的液晶显示面板的修复方法， 其中， 所述步骤 2 中， 以甲烷与氢气、 甲烷与氩气、 或乙烷与氢气或氩气的混合气体为碳源 气体； 以激光为能量源进.行激光化学气相沉积。
6、 如权利要求 5所述的液晶显示面板的修复方法， 其中， 所述步骤 2
7、、如权利要求 i所述的液 显 ^面板的修复方法， 还包括步糠 3 , 将 石墨烯暴露于掺杂分子的环境中， 对石墨烯进行分子掺杂。
8、 一种液晶显示面板的修复方法， 包括以下步骤：
步骤 1、 提供液晶显示面板， 该液晶显示面板上的电路有断路； 步骤 2、 通过激光化学气相沉积法在液晶显示面板上形成石墨烯， 以 连通该断路；
其中， 所述液晶显示面板包括基板、 形成于基板上的数据线与扫描 线， 形成于数据线与扫描线上的绝缘层及形成绝缘层上的像素电极， 所述 断路位于数据线、 扫描线或像素电极上；
其中， 所述步骤 2 中， 以甲烷与氢气、 曱烷与氩气、 或乙烷与氢气或 氩气的混合气体为碳源气体； 以激光为能量源进行激光化学气相沉积。
9、 如权利要求 8 所述的液晶显示面板的修复方法， 其中， 所述石墨 烯形成于数据线、 扫描线或像素电极上的断路位置， 以将数据线、 扫描线 或像素电极电性连接。
10、 如权利要求 8所述的液晶显示面板的修复方法， 其中， 所述石墨 烯形成于所述绝缘层上， 并在绝缘层上形成接触孔， 所述石墨烯通过接触 孔与数据线或扫描线电性连接。
11、 如权利要求 8 所述的液晶显示面板的修复方法， 其中， 所述步骤 2中， 还以铜蒸汽为催化剂进行激光化学气相沉积。
12、 如权利要求 8 所述的液晶显示面板的修复方法， 还包括步骤 3 , 将石墨烯暴露于掺杂分子的环境中， 对石墨烯进行分子掺杂。
13、 一种液晶显示面板的修复系统， 包括： 工作平台、 设于工作平台 上的气室、 与气室连通的气体处理系统、 与气室连通的排气系统、 设于气 室上方的激光设备及电性连接于气体处理系统与激光设备的控制系统， 所 述激光设备包括激光器、 开关及声光扫描器， 所述气体处理系统用于提供 碳源气体， 所述排气系统用于排除废气， 所述激光设备用于提供激光， 所 述控制系统用于控制气体处理系统与激光设备。
】4、 如权利要求 13 所述的液晶显示面板的修复系统， 还包括电性连 接声光扫描器的显示设备。
15、 如权利要求 13 所述的液晶显示面板的修复系统， 其中， 所述控 制系统通过控制开关的打开与闭合控制激光器是否提供激光。
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