WO2015015922A1 - フィルタ、および、ターゲット供給装置 - Google Patents

フィルタ、および、ターゲット供給装置 Download PDF

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司 堀
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    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
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    • B01D—SEPARATION
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    • B01D46/40—Particle separators, e.g. dust precipitators, using edge filters, i.e. using contiguous impervious surfaces
    • B01D46/406—Particle separators, e.g. dust precipitators, using edge filters, i.e. using contiguous impervious surfaces of stacked bodies
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70058—Mask illumination systems
    • G03F7/70191—Optical correction elements, filters or phase plates for controlling intensity, wavelength, polarisation, phase or the like

Definitions

  • This disclosure relates to a filter and a target supply device.
  • the EUV light generation apparatus includes an LPP (Laser Produced Plasma) system using plasma generated by irradiating a target material with laser light, and a DPP (Discharge Produced Plasma) using plasma generated by discharge.
  • LPP Laser Produced Plasma
  • DPP discharge Produced Plasma
  • Three types of devices are known: a system device and an SR (Synchrotron Radiation) device using orbital radiation.
  • a filter according to an aspect of the present disclosure includes a first member having a flow path formed on a first surface, and a second member disposed so that a second surface covers the flow path.
  • the two members circulate a fluid between the second surface and the second space on the opposite surface side to the second surface via a second region spaced from the first region of the flow path.
  • the 2nd distribution part for this may be provided.
  • a target supply device includes a nozzle in which a nozzle hole for outputting a target material is formed, a target generator that accommodates the target material therein, and is disposed in the target generator.
  • a filter for suppressing foreign matter in the target material from blocking the nozzle hole wherein the filter includes a first member having a flow path formed on a first surface, and a second surface blocking the flow path.
  • a second member disposed so as to cover the first member, and the first member includes a first region of the flow path between the first surface and a first space on the opposite side of the first surface.
  • a second flow path between the second surface and the second space on the opposite surface side of the second surface. Through the second region spaced apart from the first region.
  • Tsu DOO material may comprise a second circulation unit for circulating.
  • FIG. 1 schematically shows a configuration of an LPP EUV light generation apparatus.
  • FIG. 2 schematically shows a configuration of an EUV light generation apparatus including a target supply apparatus according to the first embodiment.
  • FIG. 3 schematically shows the configuration of the target supply apparatus.
  • FIG. 4 is a perspective view schematically showing the second filter.
  • FIG. 5A schematically shows a configuration of the second filter according to the second embodiment viewed from the + Z direction side.
  • FIG. 5B is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. 5A.
  • FIG. 5C schematically shows a configuration of the flow path of the second filter when viewed from the + Z direction side.
  • FIG. 5A schematically shows a configuration of the flow path of the second filter when viewed from the + Z direction side.
  • FIG. 6 schematically shows a method for manufacturing the first member.
  • FIG. 7 schematically shows a method for manufacturing the second member.
  • FIG. 8A schematically shows a configuration of the second filter according to the third embodiment viewed from the + Z direction side.
  • FIG. 8B is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. 8A.
  • FIG. 8C schematically shows a configuration of the flow path of the second filter when viewed from the + Z direction side.
  • FIG. 9A schematically shows a configuration of the second filter according to the fifth embodiment viewed from the + Z direction side.
  • FIG. 9B is a sectional view taken along line BB in FIG. 9A.
  • FIG. 10A schematically illustrates a configuration of the second filter according to the fifth embodiment when viewed from the + Z direction side.
  • FIG. 10A schematically illustrates a configuration of the second filter according to the fifth embodiment when viewed from the + Z direction side.
  • FIG. 10B is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. 10A.
  • FIG. 11A schematically illustrates a configuration of the second filter according to the sixth embodiment when viewed from the + Z direction side.
  • FIG. 11B is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. 11A.
  • FIG. 11C schematically shows a modification of the flow path of the second filter.
  • FIG. 12 schematically shows a method for manufacturing the second filter.
  • FIG. 13A schematically shows a main part of a target supply device according to a seventh embodiment.
  • FIG. 13B is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. 13A.
  • FIG. 14 schematically shows a main part of a target supply apparatus according to the eighth embodiment.
  • FIG. 13A schematically shows a main part of a target supply device according to a seventh embodiment.
  • FIG. 13B is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. 13A.
  • FIG. 14 schematically shows a
  • FIG. 15A schematically shows a main part of the target supply device according to the ninth embodiment.
  • FIG. 15B is a sectional view taken along line BB in FIG. 15A.
  • FIG. 16 schematically illustrates a main part of the target supply device according to the tenth embodiment.
  • FIG. 17A schematically shows a configuration of the filter according to the first modification viewed from the + Z direction side.
  • FIG. 17B is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. 17A.
  • FIG. 18A schematically shows a configuration of the filter according to the second modification viewed from the + Z direction side.
  • 18B is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. 18A.
  • FIG. 19A schematically shows a configuration of the filter according to the third modification viewed from the + Z direction side.
  • FIG. 19A schematically shows a configuration of the filter according to the third modification viewed from the + Z direction side.
  • FIG. 19B is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. 19A.
  • FIG. 19C is a cross-sectional view taken along the line CC of FIG. 19A.
  • FIG. 20A schematically shows a configuration in which another filter according to the third modification is viewed from the + Z direction side.
  • 20B is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. 20A.
  • FIG. 21A schematically shows a configuration in which another filter according to the third modification is viewed from the + Z direction side.
  • FIG. 21B schematically shows a configuration of another filter according to the third modification viewed from the + Z direction side.
  • FIG. 21C schematically shows a configuration of another filter according to the third modification viewed from the + Z direction side.
  • FIG. 21A schematically shows a configuration in which another filter according to the third modification is viewed from the + Z direction side.
  • FIG. 21B schematically shows a configuration of another filter according to the third modification viewed from the + Z direction side.
  • FIG. 21D schematically shows a configuration of another filter according to the third modification viewed from the + Z direction side.
  • FIG. 21E schematically shows a configuration of another filter according to the third modification viewed from the + Z direction side.
  • FIG. 21F schematically illustrates a configuration in which another filter according to the third modification is viewed from the + Z direction side.
  • FIG. 21G schematically shows a configuration of another filter according to the third modification viewed from the + Z direction side.
  • FIG. 22A schematically shows a configuration of a filter according to a fourth modification viewed from the + Z direction side.
  • 22B is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. 22A.
  • 22C is a cross-sectional view taken along the line CC of FIG. 22A.
  • FIG. 23A schematically shows a configuration of a filter according to a fifth modification viewed from the + Z direction side.
  • FIG. 23B is a sectional view taken along line BB in FIG. 23A.
  • FIG. 23C is a cross-sectional view taken along the line CC of FIG. 23A.
  • FIG. 24A schematically shows a configuration of a filter according to a sixth modification viewed from the + Z direction side.
  • 24B is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. 24A.
  • 24C is a cross-sectional view taken along the line CC of FIG. 24A.
  • FIG. 25 is a cross-sectional view of a filter according to a seventh modification.
  • FIG. 26 is a cross-sectional view of a filter according to an eighth modification.
  • a filter includes a first member having a flow path formed on a first surface, and a second member disposed so that a second surface covers the flow path, and the first member Comprises a first flow part for flowing a fluid between the first surface and the first space on the opposite side of the first surface through the first region of the flow path, and the second member is A second circulation part for circulating fluid between the second surface and the second space on the opposite side of the second surface via a second region separated from the first region of the flow path. You may prepare.
  • the target supply device includes a nozzle in which a nozzle hole for outputting a target material is formed, and a target generator that accommodates the target material therein is disposed in the target generator.
  • a filter for suppressing foreign matter in the target material from blocking the nozzle hole and the filter includes a first member having a flow path formed on the first surface and a second surface covering the flow path.
  • the second member has a second region separated from the first region of the flow path between the second surface and the second space on the opposite surface side of the second surface.
  • a second distribution part for distributing the target material may be provided.
  • FIG. 1 schematically shows a configuration of an exemplary LPP type EUV light generation system.
  • the EUV light generation apparatus 1 may be used together with at least one laser apparatus 3.
  • a system including the EUV light generation apparatus 1 and the laser apparatus 3 is referred to as an EUV light generation system 11.
  • the EUV light generation apparatus 1 may include a chamber 2 and a target supply apparatus 7.
  • the chamber 2 may be sealable.
  • the target supply device 7 may be attached so as to penetrate the wall of the chamber 2, for example.
  • the material of the target substance supplied from the target supply device 7 may include, but is not limited to, tin, terbium, gadolinium, lithium, xenon, or a combination of any two or more thereof.
  • the wall of the chamber 2 may be provided with at least one through hole.
  • a window 21 may be provided in the through hole, and the pulse laser beam 32 output from the laser device 3 may pass through the window 21.
  • an EUV collector mirror 23 having a spheroidal reflecting surface may be disposed.
  • the EUV collector mirror 23 may have first and second focal points.
  • On the surface of the EUV collector mirror 23, for example, a multilayer reflective film in which molybdenum and silicon are alternately laminated may be formed.
  • the EUV collector mirror 23 is preferably arranged such that, for example, the first focal point thereof is located in the plasma generation region 25 and the second focal point thereof is located at the intermediate focal point (IF) 292.
  • a through hole 24 may be provided at the center of the EUV collector mirror 23, and the pulse laser beam 33 may pass through the through hole 24.
  • the EUV light generation apparatus 1 may include an EUV light generation control unit 5, a target sensor 4, and the like.
  • the target sensor 4 may have an imaging function, and may be configured to detect the presence, locus, position, speed, and the like of the droplet (target) 27.
  • the EUV light generation apparatus 1 may include a connection unit 29 that allows the inside of the chamber 2 and the inside of the exposure apparatus 6 to communicate with each other.
  • a wall 291 in which an aperture 293 is formed may be provided inside the connection portion 29.
  • the wall 291 may be arranged such that its aperture 293 is located at the second focal position of the EUV collector mirror 23.
  • the EUV light generation apparatus 1 may include a laser beam traveling direction control unit 34, a laser beam focusing mirror 22, a target recovery unit 28 for recovering the droplet 27, and the like.
  • the laser beam traveling direction control unit 34 may include an optical element for defining the traveling direction of the laser beam and an actuator for adjusting the position, posture, and the like of the optical element.
  • the pulsed laser beam 31 output from the laser device 3 passes through the window 21 as the pulsed laser beam 32 through the laser beam traveling direction control unit 34 and enters the chamber 2. May be.
  • the pulsed laser beam 32 may travel through the chamber 2 along at least one laser beam path, be reflected by the laser beam collecting mirror 22, and irradiate at least one droplet 27 as the pulsed laser beam 33.
  • the target supply device 7 may be configured to output the droplet 27 toward the plasma generation region 25 inside the chamber 2.
  • the droplet 27 may be irradiated with at least one pulse included in the pulsed laser light 33.
  • the droplet 27 irradiated with the pulsed laser light is turned into plasma, and radiation light 251 can be emitted from the plasma.
  • the EUV light 252 included in the radiation light 251 may be selectively reflected by the EUV collector mirror 23.
  • the EUV light 252 reflected by the EUV collector mirror 23 may be condensed at the intermediate condensing point 292 and output to the exposure apparatus 6.
  • a single droplet 27 may be irradiated with a plurality of pulses included in the pulse laser beam 33.
  • the EUV light generation controller 5 may be configured to control the entire EUV light generation system 11.
  • the EUV light generation controller 5 may be configured to process the image data of the droplet 27 captured by the target sensor 4.
  • the EUV light generation controller 5 may be configured to control, for example, the timing at which the droplet 27 is output, the output direction of the droplet 27, and the like.
  • the EUV light generation control unit 5 may be configured to control, for example, the oscillation timing of the laser device 3, the traveling direction of the pulse laser light 32, the condensing position of the pulse laser light 33, and the like.
  • the various controls described above are merely examples, and other controls may be added as necessary.
  • the first flow part may be configured by a first through hole that penetrates the first member.
  • the first through hole may be formed so as to penetrate substantially the center of the first member.
  • the second flow part may be configured by a second through hole that penetrates the second member.
  • the flow path may be configured by a groove formed on the first surface.
  • FIG. 2 schematically shows a configuration of an EUV light generation apparatus including a target supply apparatus according to the first embodiment.
  • FIG. 3 schematically shows the configuration of the target supply apparatus.
  • FIG. 4 is a perspective view schematically showing the second filter.
  • the EUV light generation apparatus 1A may include a chamber 2 and a target supply apparatus 7A as shown in FIG.
  • the target supply device 7A may include a target generation unit 70A and a target control device 71A.
  • the laser device 3 and the EUV light generation controller 5A may be electrically connected to the target control device 71A.
  • the target generation unit 70A may include a target generator 8A, a pressure control unit 73A, a temperature control unit 74A, a first filter 75A, and a second filter 76A.
  • the target generator 8A may include a tank 81A, a nozzle base end portion 82A, and a nozzle front end portion 83A.
  • the tank 81A, the nozzle base end portion 82A, and the nozzle tip end portion 83A may be made of a material having low reactivity with the target material 270 such as molybdenum, for example.
  • the tank 81A may include a tank body 811A and a lid 812A.
  • the tank body 811A may be formed in a substantially cylindrical shape having a wall surface on the second surface on the ⁇ Z direction side.
  • the hollow portion of the tank main body 811A may be an accommodation space 810A.
  • a concave portion 813A that is recessed in a substantially circular shape toward the + Z direction may be provided at the center of the second surface of the tank body 811A.
  • a first through hole 814A that communicates with the accommodation space 810A may be provided at the center of the recess 813A.
  • the lid 812A may be formed in a substantially disk shape that closes the first surface on the + Z direction side of the tank body 811A.
  • the lid 812A may be fixed to the first surface of the tank body 811A by a plurality of bolts 815A.
  • the nozzle base end portion 82A may be formed in a substantially cylindrical shape.
  • a first convex portion 821A similar to the shape of the concave portion 813A of the tank body 811A may be provided on the first surface on the + Z direction side of the nozzle base end portion 82A.
  • the nozzle base end portion 82A may be fixed to the second surface of the tank body 811A by a plurality of bolts 829A.
  • a second through hole 822A penetrating in the Z-axis direction may be provided at the center of the nozzle base end portion 82A.
  • the second through hole 822A may communicate with the first through hole 814A.
  • the + Z direction side in the second through hole 822A may be the accommodating portion 823A.
  • the housing portion 823A may house the first filter 75A and the shim 755A.
  • the accommodating portion 823A may include a first contact portion 824A and a second contact portion 825A.
  • a second convex portion 826A may be provided on the second surface on the ⁇ Z direction side of the nozzle base end portion 82A.
  • the second convex portion 826A may protrude in a substantially disc shape in the ⁇ Z direction.
  • a concave portion 827A that is recessed in a substantially circular shape in the + Z direction may be provided at the center of the second convex portion 826A.
  • An opening of the second through hole 822A may exist in the recess 827A.
  • the second filter 76A may be inserted into the recess 827A.
  • the nozzle tip portion 83A may be formed in a substantially disc shape. In the center of the first surface of the nozzle tip 83A, a recess 831A that is recessed in a substantially circular shape in the ⁇ Z direction may be provided. The second convex portion 826A of the nozzle base end portion 82A may be fitted into the concave portion 831A. At this time, the recess 831A may contact the second filter 76A.
  • the nozzle tip portion 83A may be fixed to the second surface of the nozzle base end portion 82A by a plurality of bolts 839A penetrating the nozzle tip portion 83A.
  • a third through hole 832A penetrating in the Z-axis direction may be provided at the center of the nozzle tip portion 83A.
  • the third through hole 832A may communicate with the second through hole 822A.
  • the third through-hole 832A may have a shape that decreases in diameter as it goes in the ⁇ Z direction.
  • the end of the third through hole 832A on the ⁇ Z direction side may be a nozzle hole 833A.
  • the nozzle hole 833A may be a circular opening and may have a diameter of 1 ⁇ m to 3 ⁇ m.
  • the nozzle tip portion 83A may be a nozzle in which a nozzle hole 833A is formed.
  • the member in which the nozzle hole is formed may be simply referred to as a nozzle.
  • the nozzle tip 83A is preferably made of a material having a contact angle between the nozzle tip 83A and the target material 270 of 90 ° or more.
  • at least the surface of the nozzle tip 83A may be coated with a material having a contact angle of 90 ° or more.
  • the material having a contact angle of 90 ° or more may be SiC, SiO 2 , Al 2 O 3 , molybdenum, or tungsten.
  • the tank 81A, the nozzle base end portion 82A, and the nozzle tip end portion 83A may be made of an electrically insulating material.
  • an electrically insulating material (not shown) may be disposed between the chamber 2 and the target generator 8A.
  • the preset output direction of the droplet 27 may be, for example, the central axis direction of the nozzle hole 833A, or may be the ⁇ Z direction in FIG.
  • the preset output direction of the droplet 27 is referred to as a set output direction 10A.
  • the set output direction 10A does not necessarily coincide with the gravity direction 10B.
  • the droplet 27 may be output in an oblique direction with respect to the gravity direction 10B.
  • the chamber 2 may be installed so that the set output direction 10A matches the gravity direction 10B.
  • the pressure control unit 73A may include a pressure controller 732A and a pressure sensor 733A.
  • the pressure controller 732A may be coupled to the first end portion on the + Z direction side of the lid portion 812A via the pipe 734A.
  • An inert gas cylinder 731A may be connected to the pressure controller 732A via a pipe 735A.
  • the pressure controller 732A may be electrically connected to the target control device 71A.
  • the pressure controller 732A is configured to adjust the pressure in the target generator 8A by controlling the pressure of the inert gas supplied from the inert gas cylinder 731A based on the signal transmitted from the target control device 71A. May be.
  • the pressure sensor 733A may be provided in the pipe 734A.
  • the pressure sensor 733A may be electrically connected to the target control device 71A.
  • the pressure sensor 733A may detect the pressure of the inert gas present in the pipe 734A and transmit a signal corresponding to the detected pressure to the target control device
  • the temperature control unit 74A may be configured to control the temperature of the target material 270 in the tank 81A.
  • the temperature control unit 74A may include a heater 741A, a heater power source 742A, a temperature sensor 743A, and a temperature controller 744A.
  • the heater 741A may be provided on the outer peripheral surface of the tank body 811A of the tank 81A.
  • the heater power supply 742A may supply power to the heater 741A based on a signal from the temperature controller 744A to cause the heater 741A to generate heat. Thereby, the target material 270 in the tank 81A can be heated via the tank 81A.
  • the temperature sensor 743A may be provided on the nozzle base end portion 82A side on the outer peripheral surface of the tank 81A, or may be provided in the tank 81A.
  • the temperature sensor 743A may be configured to detect mainly the temperature of the installation position of the temperature sensor 743A and a position near the temperature sensor 743A in the tank 81A, and transmit a signal corresponding to the detected temperature to the temperature controller 744A.
  • the temperature at the position where the temperature sensor 743A is installed and the vicinity thereof can be a temperature reflecting the temperature of the target material 270 in the tank 81A.
  • the temperature controller 744A may be configured to output a signal for controlling the temperature of the target material 270 to a predetermined temperature to the heater power source 742A based on a signal from the temperature sensor 743A.
  • the target material 270 may contain particles as foreign matter.
  • the particles can be generated by the reaction of the target material 270 with impurities or oxygen, can be included in the raw material of the target material 270, or can be generated by physical wear of the target material 270 and the tank 81A.
  • the first filter 75A may include a first porous filter 751A, a second porous filter 752A, and a third porous filter 753A.
  • the first, second, and third porous filters 751A, 752A, and 753A may be made of a porous material in order to collect particles contained in the target material 270.
  • the first porous filter 751A may be provided with countless through pores having a diameter of, for example, about 20 ⁇ m.
  • the second porous filter 752A may be provided with countless through pores having a diameter of, for example, about 10 ⁇ m.
  • the third porous filter 753A may be provided with innumerable through pores having a diameter of about 6 ⁇ m, for example.
  • the sizes of the through holes of the first porous filter 751A, the second porous filter 752A, and the third porous filter 753A may be different. Further, the through pores of the first, second, and third porous filters 751A, 752A, and 753A may be bent in various directions and pass through the respective porous filters.
  • the first, second, and third porous filters 751A, 752A, and 753A may be formed in a substantially disk shape, and the diameter thereof may be larger than the maximum inner diameter of the second through hole 822A.
  • the first, second, and third porous filters 751A, 752A, and 753A are accommodated in the accommodating portion 823A so as to close the second through hole 822A and overlap in the Z-axis direction in the second through hole 822A. Also good.
  • the first porous filter 751A may be located on the + Z direction side
  • the third porous filter 753A may be located on the ⁇ Z direction side.
  • a porous filter having small through pores may be arranged along the output direction of the target material 270.
  • the first, second, and third porous filters 751A, 752A, and 753A may be formed of a material that has low reactivity with the target material 270.
  • the difference between the linear thermal expansion coefficient of the material constituting the first, second and third porous filters 751A, 752A and 753A and the linear thermal expansion coefficient of the material constituting the target generator 8A constitutes the target generator 8A. It may be smaller than 20% of the linear thermal expansion coefficient of the material.
  • the target generator 8A may be formed of molybdenum having low reactivity with tin.
  • the first, second, and third porous filters 751A, 752A, and 753A are made of any of the materials shown in Table 1 below. May be.
  • the coefficient of linear thermal expansion of molybdenum is 5.2 ⁇ 10 ⁇ 6 .
  • the linear thermal expansion coefficient of tungsten is 4.6 ⁇ 10 ⁇ 6 .
  • the material of the first, second, and third porous filters 751A, 752A, and 753A may be, for example, shirasu porous glass (SPG) provided by SPG Techno Co., Ltd.
  • SPG may be a porous glass made from volcanic ash shirasu.
  • the first, second, and third porous filters 751A, 752A, and 753A may be formed in a substantially disc shape, for example, the first, second, and third porous filters.
  • the Z-axis direction dimension which is the thickness dimension of the filters 751A, 752A, and 753A, may be about 3 mm, and the diameters of the first, second, and third porous filters 751A, 752A, and 753A are about 20 mm. There may be.
  • the SPG composition ratio may be the ratio shown in Table 2 below.
  • the first, second, and third porous filters 751A, 752A, and 753A have an infinite number of through-holes that have a diameter of 6 ⁇ m to 20 ⁇ m and bend in various directions. Can be provided.
  • a shim 755A may be overlaid on the first surface on the + Z direction side of the first porous filter 751A.
  • two shims 755A may be stacked inside the accommodating portion 823A.
  • their thicknesses may be the same or different.
  • the shim 755A may be formed of a material having low reactivity with the target material 270.
  • the difference between the linear thermal expansion coefficient of the material constituting the first, second and third porous filters 751A, 752A and 753A and the linear thermal expansion coefficient of the material constituting the shim 755A is the line of the material constituting the shim 755A. It may be smaller than 20% of the thermal expansion coefficient.
  • the shim 755A may be formed of molybdenum.
  • the shim 755A may be formed in a substantially annular plate shape.
  • the second filter 76A may be a filter according to the present disclosure.
  • the second filter 76A may be provided so as to close the third through hole 832A on the ⁇ Z direction side of the first filter 75A.
  • the ⁇ Z direction side may be the output direction of the target material 270.
  • the second filter 76A may collect particles that have passed through the third porous filter 753A and / or particles that are generated downstream in the output direction of the target material 270 from the third porous filter 753A.
  • the second filter 76A may include a first member 77A and a second member 78A.
  • the first and second members 77A and 78A may be formed in a substantially disk shape with a material having low reactivity with the target material 270.
  • the material having low reactivity with the target substance 270 may be molybdenum or tungsten when the target substance 270 is tin, or may be any of the materials shown in Table 1.
  • the thickness dimension of the first and second members 77A and 78A may be about 300 ⁇ m.
  • a substantially circular first through hole 773A penetrating in the Z-axis direction may be provided at the center of the first member 77A.
  • the diameter of the first through hole 773A may be 600 ⁇ m.
  • a flow path 774A may be formed on the first surface 771A on the + Z direction side of the first member 77A.
  • the flow path 774A may be configured by a plurality of grooves.
  • the flow paths 774A may be formed in a lattice shape or may be formed in a radial shape. In FIG. 4, the flow path 774A may be configured by grooves formed in a lattice shape on the first surface 771A.
  • the flow path 774A may be formed by etching the first surface 771A of the first member 77A.
  • the dimension in the orthogonal direction of the first surface 771A which is the depth dimension of the flow path 774A, may be smaller than the dimension of the particles that have passed through the third porous filter 753A.
  • the depth dimension of the flow path 774A may be 3 ⁇ m or less.
  • the flow path 774A can collect particles.
  • the flow path 774A may extend to the first through hole 773A.
  • the end of the flow path 774A on the first through hole 773A side may be the first region 775A.
  • the first through hole 773A passes between the first surface 771A and the first space 776A on the third surface 772A opposite to the first surface 771A via the first region 775A of the flow path 774A.
  • circulating the target material 270 as a fluid can be comprised.
  • the first through hole 773A may constitute a first flow part for causing the target material 270 flowing into the first region 775A of the flow path 774A to flow out into the first space 776A.
  • a flat surface portion 777A may be provided outside the flow path 774A on the first surface 771A of the first member 77A.
  • the flat surface portion 777A may be provided in an annular shape surrounding the flow path 774A.
  • the flat portion 777A may be an unetched region on the first surface 771A.
  • the flat portion 777A and the third surface 772A may be polished.
  • the second member 78A may be arranged so as to overlap from the ⁇ Z direction side of the first member 77A as indicated by a two-dot chain line in FIG.
  • the second member 78A may be arranged such that the second surface 781A covers a part of the flow path 774A of the first member 77A.
  • the second member 78A may be provided with four substantially circular second through holes 783A penetrating in the Z-axis direction.
  • the diameter of the second through hole 783A may be 400 ⁇ m.
  • the second through holes 783A may be provided at substantially equal intervals along the outer circumferential direction of the second member 78A. Accordingly, the second through hole 783A can be provided point-symmetrically with respect to the center of the second member 78A.
  • the second through-hole 783A may be provided so as not to be positioned within the opening of the first through-hole 773A when the second member 78A is placed on the first member. At this time, a part of the flow path 774A may be located in the opening of the second through hole 783A.
  • the region located in the opening of the second through hole 783A in the flow path 774A may be a second region 778A that is separated from the first region. Accordingly, the second through hole 783A is interposed between the second surface 781A and the second space 784A on the fourth surface 782A side opposite to the second surface 781A via the second region 778A of the flow path 774A.
  • circulating the target material 270 may be comprised.
  • the second through hole 783A may constitute a second flow part for allowing the target material 270 existing in the second space 784A to flow into the second region 778A of the flow path 774A.
  • the second surface 781A and the fourth surface 782A may be polished.
  • the target control device 71A may control the temperature of the target material 270 in the target generator 8A by transmitting a signal to the temperature controller 744A.
  • the target control device 71A may control the pressure in the target generator 8A by transmitting a signal to the pressure controller 732A of the pressure control unit 73A.
  • the operation of incorporating the filter may be performed when the target generator 8A is assembled or when the target generator 8A is maintained.
  • the first member 77A in which the first through hole 773A and the flow path 774A are formed may be manufactured in advance.
  • the second member 78A in which the second through hole 783A is formed may be manufactured.
  • the first member 77A and the second member 78A may be manufactured by the same method as in the second embodiment described later.
  • the second member 78A and the first member 77A may be arranged so that the second surface 781A of the second member 78A covers the flow path 774A of the first member 77A.
  • the first member 77A and the second member 78A may be diffusion bonded.
  • the 2nd filter 76A which has the flow path 774A whose depth dimension is 3 micrometers or less can be formed.
  • diffusion bonding between the first member and the second member may not be essential.
  • the second filter 76A may be inserted into the recess 827A of the nozzle base end portion 82A. Thereafter, the second convex portion 826A of the nozzle base end portion 82A may be inserted into the concave portion 831A of the nozzle tip portion 83A, and the bolt 839A may be screwed into the nozzle base end portion 82A. Thus, the bolt 839A is screwed into the nozzle base end portion 82A, so that the second member 78A of the second filter 76A is interposed between the third surface 772A of the first member 77A of the second filter 76A and the nozzle tip portion 83A.
  • the nozzle distal end portion 83A can be fixed to the nozzle proximal end portion 82A so that the space between the fourth surface 782A and the nozzle proximal end portion 82A is sealed.
  • the four second through holes 783A of the second member 78A are located in the opening of the second through hole 822A, and the inside of the second through hole 822A can be the second space 784A.
  • the first through hole 773A of the first member 77A is located in the opening on the + Z direction side of the third through hole 832A, and the inside of the third through hole 832A can be the first space 776A.
  • first filter 75A and the shim 755A may be disposed in the accommodating portion 823A of the nozzle base end portion 82A.
  • first convex portion 821A of the nozzle base end portion 82A may be fitted into the concave portion 813A of the tank body 811A.
  • the bolt 829A may be screwed into the tank body 811A.
  • the target control device 71A may heat the target generator 8A to a temperature equal to or higher than the melting point of the target material 270. Thereafter, the target control apparatus 71A may adjust the pressure in the target generator 8A to the first pressure. By adjusting the pressure, the liquid target material 270 can pass through the first porous filter 751A. When the target material 270 passes through the first porous filter 751A, the first porous filter 751A can collect particles larger than the diameter of the through pore.
  • the target material 270 that has passed through the first porous filter 751A can pass through the second porous filter 752A.
  • the second porous filter 752A can collect particles larger than the diameter of the through pore.
  • the target material 270 that has passed through the second porous filter 752A can pass through the third porous filter 753A.
  • the third porous filter 753A can collect particles larger than the diameter of the through pore.
  • the target material 270 may pass through the second filter 76A.
  • particles may exist in the target material 270 that has reached the second filter 76A.
  • the first and second porous filters 751A, 752A, and 753A are formed when the first, second, and third porous filters 751A, 752A, and 753A are formed or attached to the nozzle base end portion 82A. Or could not be collected by the first, second and third porous filters 751A, 752A and 753A.
  • the second filter 76A can collect the particles.
  • the target material 270 that has reached the second filter 76A can flow into the second through hole 783A of the second member 78A from the direction of the arrow 710A on the ⁇ Z direction side.
  • the target material 270 that has flowed into the second through hole 783A can pass through the flow path 774A.
  • the flow path 774A can collect particles larger than the depth dimension of the flow path 774A.
  • the target material 270 may pass through the first through hole 773A, pass through the second filter 76A in the direction of the arrow 710B on the ⁇ Z direction side, and flow into the third through hole 832A.
  • the target control apparatus may adjust the pressure in the target generator 8A to the second pressure and output the target material 270 as the droplet 27 from the nozzle hole 833A.
  • the second filter 76A capable of collecting fine particles can be easily obtained simply by disposing the second member 78A so that the second surface 781A covers the flow path 774A of the first member 77A. Can be manufactured. Compared with the case where the flow path 774A is formed by drilling, the flow path 774A capable of collecting fine particles can be easily formed. Compared to the case where the flow path 774A is formed by drilling, the flow path 774A having the same shape can be stably manufactured.
  • the first circulation part can be formed by a simple method.
  • the second through-hole 783A is used as the second flow part for allowing the target material 270 existing in the second region 778A to flow into the second region 778A of the flow path 774A, the second member 78A can be simply drilled.
  • the second circulation part can be formed by a simple method.
  • the channel 774A is constituted by the groove formed on the first surface 771A, the channel 774A can be formed by a simple method such as etching.
  • the first member is formed in a substantially plate shape by rolling, and the flow path intersects the rolling direction of the first member. It may be formed so as to extend in the direction of.
  • FIG. 5A schematically illustrates a configuration of the second filter according to the second embodiment when viewed from the + Z direction side.
  • FIG. 5B is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. 5A.
  • FIG. 5C schematically shows a configuration of the flow path of the second filter when viewed from the + Z direction side.
  • the target supply device of the second embodiment may apply the same configuration as the target supply device 7A of the first embodiment, except for the second filter 76B.
  • the second filter 76B may be a filter according to the present disclosure. As shown in FIGS. 5A and 5B, the second filter 76B may include a first member 77B and a second member 78B.
  • the first and second members 77B and 78B may be formed in a substantially disc shape with a material having low reactivity with the target substance.
  • the material having low reactivity with the target substance may be molybdenum or tungsten when the target substance is tin, or any of the materials shown in Table 1.
  • the thickness dimension of the first and second members 77B and 78B may be about 300 ⁇ m.
  • the diameters of the first and second members 77B and 78B may be about 5 mm.
  • a substantially circular first through hole 773B penetrating in the Z-axis direction may be provided in the center of the first member 77B.
  • the diameter of the first through hole 773B may be 900 ⁇ m.
  • a groove 770B that is recessed in a circular shape may be formed on the first surface 771B on the + Z direction side of the first member 77B.
  • the diameter of the groove portion 770B may be 2.1 mm.
  • the depth dimension of the groove part 770B may be 3 ⁇ m or less.
  • first spacer portions 7741B a plurality of first spacer portions 7741B, a plurality of second spacer portions 7742B, and a plurality of third spacer portions 7743B may be provided.
  • the groove portion 770B and the first, second, and third spacer portions 7741B, 7742B, and 7743B may be formed by etching the first surface 771B of the first member 77B.
  • the first spacer portion 7741B may be provided in a substantially annular region around the first through hole 773B.
  • the shape of the first spacer portion 7741B when viewed from the + Z direction may be a substantially rectangular shape.
  • the direction in which the first spacer portion 7741B extends when viewed from the + Z direction may be a direction substantially orthogonal to the rolling direction 760B of the first member 77B.
  • the first spacer portion 7741B may be provided so as to be aligned in the rolling direction 760B.
  • the first spacer portion 7741B may extend to the first through hole 773B.
  • the second spacer portion 7742B may be provided in the + X direction side and ⁇ X direction side regions of the first spacer portion 7741B.
  • the shape of the second spacer portion 7742B when viewed from the + Z direction may be substantially square.
  • the second spacer portions 7742B may be scattered in the X-axis direction and the Y-axis direction.
  • the third spacer portion 7743B may be provided in regions on the + Y direction side and the ⁇ Y direction side of the first spacer portion 7741B.
  • the shape of the third spacer portion 7743B when viewed from the + Z direction may be a substantially linear shape in which the first through hole 773B side extends in the X-axis direction, and the opposite side to the first through hole 773B may be a substantially arc shape.
  • the region between the first spacer portions 7741B adjacent to each other in the groove portion 770B can constitute a first flow path 774B1 extending in a direction substantially orthogonal to the rolling direction 760B.
  • a region between the third spacer portion 7743B and the first spacer portion 7741B adjacent to each other in the groove portion 770B can constitute the first flow path 774B1.
  • the first flow path 774B1 can be located on the + X direction side, the ⁇ X direction side, the + Y direction side, and the ⁇ Y direction side of the first through hole 773B. Note that the first flow path 774B1 may extend in an intersecting direction instead of a direction substantially orthogonal to the rolling direction 760B.
  • the angle formed between the direction in which the first flow path 774B1 extends and the rolling direction 760B is not about 90 °, but may be an angle other than about 0 ° such as about 45 ° or about 60 °.
  • a region between the second spacer portions 7742B adjacent to each other in the groove portion 770B can constitute a second flow path 774B2 formed in a lattice shape.
  • a region between the third spacer portion 7743B and the second spacer portion 7742B adjacent to each other in the groove portion 770B can constitute a second flow path 774B2 extending linearly.
  • the region outside the third spacer portion 7743B and the second spacer portion 7742B in the groove portion 770B can constitute the third flow path 774B3.
  • the third flow path 774B3 can be formed in a substantially annular shape concentric with the first through hole 773B.
  • the first flow path 774B1, the second flow path 774B2, and the third flow path 774B3 may constitute the flow path 774B.
  • the width dimension of the first channel 774B1 and the second channel 774B2 may be 30 ⁇ m.
  • the width dimensions of the first flow path 774B1 and the second flow path 774B2 may be different.
  • the width dimension of the third channel 774B3 may be 200 ⁇ m.
  • the depth dimension of the first, second, and third flow paths 774B1, 774B2, and 774B3 may be the same as the depth dimension of the groove portion 770B.
  • the depth dimensions of the first, second, and third flow paths 774B1, 774B2, and 774B3 may be dimensions in a direction perpendicular to the first surface 771B.
  • the depth dimensions of the first, second, and third flow paths 774B1, 774B2, and 774B3 may be smaller than the dimensions of the particles that have passed through the third porous filter 753A. Thereby, the flow path 774B can collect particles.
  • the end of the first flow path 774B1 on the first through hole 773B side in the flow path 774B may be the first region 775B.
  • the first through-hole 773B is formed between the first surface 771B and the first space 776B on the third surface 772B side opposite to the first surface 771B.
  • region 775B can be comprised.
  • the first through hole 773B may constitute a first flow part for causing the target material flowing into the first region 775B of the flow path 774B to flow out into the first space 776B.
  • a flat surface portion 777B may be provided outside the flow path 774B on the first surface 771B of the first member 77B.
  • the flat portion 777B may be provided in an annular shape surrounding the flow path 774B.
  • the flat portion 777B may be an unetched region on the first surface 771B.
  • the flat portion 777B and the third surface 772B may be polished.
  • the second member 78B may be disposed so as to overlap the first member 77B.
  • the second member 78B may be arranged such that the second surface 781B covers the flow path 774B of the first member 77B.
  • the second member 78B may be provided with eight substantially circular second through holes 783B penetrating in the Z-axis direction.
  • the diameter of the second through hole 783B may be 40 ⁇ m.
  • the second through holes 783B may be provided at substantially equal intervals along the outer circumferential direction of the second member 78B. Accordingly, the second through hole 783B can be provided point-symmetrically with respect to the center of the second member 78B.
  • the second through-hole 783B may be provided so as not to be positioned within the opening of the first through-hole 773B when the second member 78B is disposed so as to overlap the first member 77B. At this time, a part of the flow path 774B may be located in the opening of the second through hole 783B. A part of the flow path 774B located in the opening of the second through hole 783B may be the second region 778B. The second region 778B may include a third flow path 774B3.
  • the second through hole 783B is interposed between the second surface 781B and the second space 784B on the fourth surface 782B side opposite to the second surface 781B via the second region 778B of the flow path 774B.
  • circulating a target material can be comprised.
  • the second through hole 783B can constitute a second flow part for allowing the target material existing in the second space 784B to flow into the second region 778B of the flow path 774B.
  • the second surface 781B and the fourth surface 782B may be polished.
  • FIG. 6 schematically shows a manufacturing method of the first member.
  • FIG. 7 schematically shows a method for manufacturing the second member.
  • a method for manufacturing the first member 77B will be described.
  • a plate 100B formed of molybdenum may be prepared.
  • the plate 100B may be formed by rolling bulk molybdenum.
  • the vertical direction in FIG. 6 may substantially coincide with the rolling direction 760B of the plate 100B.
  • the plate 100B may be a 100 mm square.
  • Masking for forming the flow path 774B may be provided on the first surface 101B of the plate 100B. The masking may be configured such that the flow paths 774B of the plurality of first members 77B can be formed.
  • the first surface 101B of the plate 100B may be etched by a wet etching method. Thereby, the first flow path 774B1 in FIG. 5C is formed on the first surface 101B, and a plurality of flow paths 774B can be formed.
  • a cross-shaped marker 102B may be formed in the approximate center of the flow path 774B.
  • a plurality of first members 77B may be cut out from the plate 100B. You may form the 1st through-hole 773B by giving a drilling process in the approximate center of the 1st member 77B. At this time, drilling may be performed using the marker 102B as a mark. Both surfaces of the first member 77B may be polished and cleaned. Thus, the manufacture of the first member 77B can be completed.
  • the double-side polishing of the first member 77B may be performed prior to etching and drilling. Further, the drilling process may be performed prior to the etching.
  • the first flow path 774B1 of the flow path 774B can extend in a direction substantially orthogonal to the rolling direction 760B.
  • the etched surface may be roughened by the structure depending on the rolling direction 760B of the plate 100B. Due to this surface roughness, fine grooves extending along the rolling direction 760B can be formed on the bottom surface of the first flow path 774B1.
  • the depth dimension of the portion where the fine groove is formed in the first flow path 774B1 may be larger than the depth dimension of the portion where the fine groove is not formed.
  • the direction in which the first flow path 774B1 extends is parallel to the rolling direction 760B, fine grooves on the bottom surface can be continuously formed along the direction in which the first flow path 774B1 extends. Thereby, particles that can be collected in a portion where the fine groove is not formed in the first flow path 774B1 can pass through the portion where the fine groove is formed and flow into the first through hole 773A.
  • the direction in which the first flow path 774B1 extends is substantially orthogonal to or intersects with the rolling direction 760B, the minute grooves extend from one side to the other side in the width direction of the bottom surface portion, and thus the first flow path 774B1 extends. It can suppress that the fine groove
  • a plate 110B formed of molybdenum may be prepared.
  • the plate 110B may be formed by the same method as the plate 100B.
  • the plate 110B may be a 100 mm square.
  • a plurality of second members 78B may be cut out from the plate 110B. You may form the 2nd through-hole 783B by giving a drilling process in the multiple places of the 2nd member 78B. Both surfaces of the second member 78B may be polished and cleaned. Thus, the manufacture of the second member 78B can be completed.
  • the second member 78B may be disposed on the first member 77B so that the second surface 781B of the second member 78B covers the flow path 774B of the first member 77B.
  • the first member 77B and the second member 78B may be diffusion bonded.
  • the 2nd filter 76B which has the flow path 774B whose depth dimension is 3 micrometers or less can be manufactured.
  • the second through-hole 783B is provided point-symmetrically with respect to the center of the second member 78B, the second through-hole is provided even if the arrangement position of the second member 78B with respect to the first member 77B is shifted in the rotation direction.
  • the third flow path 774B3 is located in the opening of the hole 783B, and the target material can flow through the second filter 76B. Since the first and second surfaces 771B and 781B are polished, the gap between the first surface 771B and the second surface 781B can be reduced. In the second embodiment, diffusion bonding between the first member and the second member may not be essential.
  • a second filter 76B may be attached between the nozzle base end portion 82A and the nozzle tip end portion 83A. Accordingly, the eight second through holes 783B of the second member 78B are positioned in the opening of the second through hole 822A, and the inside of the second through hole 822A can be the second space 784B.
  • the first through hole 773B of the first member 77B is located in the opening on the + Z direction side of the third through hole 832A, and the inside of the third through hole 832A can be the first space 776B.
  • the flow path 774B can be suppressed from being crushed even if pressure is applied to the fourth surface 782B. Thereafter, the target material may pass through the first through hole 773B and flow into the third through hole 832A.
  • the direction in which the first flow path 774B1 extends is set to a direction substantially orthogonal to the rolling direction 760B or a direction intersecting with it, and thus a direction parallel to the rolling direction 760B. Compared to the case of setting to, fine particles can be collected.
  • FIG. 8A schematically illustrates a configuration of the second filter according to the third embodiment viewed from the + Z direction side.
  • FIG. 8B is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. 8A.
  • FIG. 8C schematically shows a configuration of the flow path of the second filter when viewed from the + Z direction side.
  • the target supply device of the third embodiment may apply the same configuration as the target supply device 7A of the first embodiment, except for the second filter 76C.
  • the second filter 76C may be a filter according to the present disclosure. As shown in FIGS. 8A and 8B, the second filter 76C may include a first member 77C and a second member 78B.
  • the first member 77C may be formed in a substantially disc shape with a material having low reactivity with the target substance, similarly to the first member 77B.
  • the thickness dimension of the first member 77C may be about 300 ⁇ m, for example.
  • the diameter of the first member 77C may be about 5 mm, for example.
  • a substantially circular first through hole 773C penetrating in the vertical direction may be provided in the center of the first member 77C.
  • the diameter of the first through hole 773C may be 600 ⁇ m, for example.
  • a first groove 770C1 and a second groove 770C2 may be formed on the first surface 771C on the + Z direction side of the first member 77C.
  • the first groove portion 770C1 may have a circular shape with a diameter of 2.6 mm, for example.
  • the second groove 770C2 may be provided so as to extend radially from the outer edge of the first groove 770C1.
  • the second groove portions 770C2 may be provided at substantially equal intervals along the outer peripheral direction of the first groove portion 770C1.
  • the depth dimension of the first and second groove portions 770C1 and 770C2 may be, for example, 3 ⁇ m or less.
  • a plurality of first spacer portions 7741C and a plurality of second spacer portions 7742C may be provided inside the first groove portion 770C1.
  • the first and second groove portions 770C1 and 770C2 and the first and second spacer portions 7741C and 7742C may be formed by etching the first surface 771C of the first member 77C.
  • the first spacer portion 7741C may be provided in a substantially annular region around the first through hole 773C.
  • the first spacer portion 7741C may be provided to extend radially from a position away from the first through hole 773C by a predetermined distance.
  • the first spacer portions 7741C may be provided at substantially equal intervals along the outer peripheral direction of the first through hole 773C.
  • the second spacer portion 7742C may be provided in a substantially annular region surrounding the first spacer portion 7741C.
  • the second spacer portion 7742C may be provided to extend radially from a position away from the first spacer portion 7741C by a predetermined distance.
  • the second spacer portions 7742C may be provided at substantially equal intervals along the outer peripheral direction of the first through hole 773C.
  • the substantially annular region on the first through hole 773C side from the first spacer portion 7741C in the first groove portion 770C1 can constitute the first flow path 774C1.
  • a region between the first spacer portions 7741C adjacent to each other in the first groove portion 770C1 can constitute a radial second flow path 774C2.
  • a region between the first spacer portion 7741C and the second spacer portion 7742C adjacent to each other in the first groove portion 770C1 can form a substantially circular third flow path 774C3.
  • a region between the second spacer portions 7742C adjacent to each other in the first groove portion 770C1 can constitute a radial fourth flow path 774C4.
  • the substantially annular region outside the second spacer portion 7742C in the first groove portion 770C1 can constitute the fifth flow path 774C5.
  • the second groove 770C2, the first channel 774C1, the second channel 774C2, the third channel 774C3, the fourth channel 774C4, and the fifth channel 774C5 may constitute the channel 774C.
  • the width dimension of the second groove 770C2 may be, for example, 70 ⁇ m to 100 ⁇ m.
  • the width dimension of the first flow path 774C1 may be 150 ⁇ m, for example.
  • the width dimension of the second and third flow paths 774C2 and 774C3 may be, for example, 10 ⁇ m.
  • the width dimension of the fourth flow path 774C4 may be, for example, 40 ⁇ m to 60 ⁇ m.
  • the width dimension of the fifth channel 774C5 may be, for example, 100 ⁇ m.
  • the depth dimension of the second groove 770C2 and the depth dimension of the first to fifth flow paths 774C1 to 774C5 may be the same as the depth dimension of the first groove 770C1.
  • the depth dimension of the first to fifth flow paths 774C1 to 774C5 may be smaller than the dimension of the particles that have passed through the third porous filter 753A. Thereby, the flow path 774C can collect fine particles.
  • the first channel 774C1 in the channel 774C may be the first region 775C.
  • the first through hole 773C is formed between the first surface 771C and the first space 776C on the third surface 772C side opposite to the first surface 771C.
  • region 775C can be comprised.
  • the first through hole 773C may constitute a first flow part for causing the target material flowing into the first region 775C of the flow path 774C to flow out into the first space 776C. As shown in FIG.
  • a flat surface portion 777C may be provided outside the flow path 774C on the first surface 771C of the first member 77C.
  • the flat surface portion 777C may include an annular portion and a portion that extends radially from the inner edge of the annular shape.
  • the flat portion 777C may be an unetched region on the first surface 771C.
  • the flat portion 777C and the third surface 772C may be polished.
  • the second through hole 783B of the second member 78B may be provided not to be positioned within the opening of the first through hole 773C when the second member 78B is disposed on the first member 77C. At this time, a part of the flow path 774C may be located in the opening of the second through hole 783B. A part of the flow path 774C located in the opening of the second through hole 783B may be the second region 778C.
  • the second region 778C may include a part of the second groove 770C2 and the fourth and fifth flow paths 774C4 and 774C5.
  • the second through hole 783B is interposed between the second surface 781B and the second space 784B on the fourth surface 782B side opposite to the second surface 781B via the second region 778C of the flow path 774C.
  • circulating a target substance can be comprised.
  • the 2nd through-hole 783B can comprise the 2nd circulation part similar to 2nd Embodiment.
  • the first member 77C may be manufactured by the same method as the first member 77B except that a dry etching method is used instead of the wet etching method.
  • the second member 78B may be placed over the first member 77C so that the second surface 781B of the second member 78B covers the flow path 774C of the first member 77C. At this time, the first member 77C and the second member 78B may be diffusion bonded.
  • the 2nd filter 76C which has the flow path 774C whose depth dimension is 3 micrometers or less can be formed.
  • the second through-hole 783B is provided point-symmetrically around the center of the second member 78B, even if the arrangement position of the second member 78B with respect to the first member 77C is shifted in the rotation direction, the second through-hole Part of the second groove 770C2 and the fourth and fifth flow paths 774C4 and 774C5 are located in the opening of the hole 783B, and the target material can flow through the second filter 76C. Since the first and second surfaces 771C and 781B are polished, the gap between the first surface 771C and the second surface 781B can be reduced. In the third embodiment, diffusion bonding between the first member and the second member may not be essential.
  • a second filter 76C may be attached between the nozzle base end portion 82A and the nozzle tip end portion 83A. Accordingly, the eight second through holes 783B of the second member 78B are positioned in the opening of the second through hole 822A, and the inside of the second through hole 822A can be the second space 784B.
  • the first through hole 773C of the first member 77C is located in the opening on the + Z direction side of the third through hole 832A, and the inside of the third through hole 832A can be the first space 776C.
  • Target Supply Device When the pressure in the target generator 8A is adjusted in a state where the target generator 8A is heated to a temperature equal to or higher than the melting point of the target material, the particles are first
  • the target material collected by the filter 75A can pass through the second filter 76C.
  • the target material that has reached the second filter 76C can flow into the second through hole 783B of the second member 78B.
  • the target material that has flowed into the second through-hole 783B flows through the channel 774C through the second groove 770C2, the fifth channel 774C5, the fourth channel 774C4, the third channel 774C3, the second channel 774C2, and the first channel. You can pass in the order of 774C1.
  • the channel 774C can collect particles larger than the depth dimension of the channel 774C. Since the upper ends of the first and second spacer portions 7741C and 7742C are in contact with the second surface 781B, the flow path 774C can be suppressed from being crushed even if pressure is applied to the fourth surface 782B. Thereafter, the target material may pass through the first through hole 773C and flow into the third through hole 832A.
  • a columnar spacer is arranged on the first surface, and the flow path is a region between adjacent spacers. It may be configured.
  • the first member is disposed so that a part of the first surface protrudes from the second surface, and the flow path is formed to a position corresponding to the outer edge of the second member;
  • the second circulation part may be configured by a side space facing a part of the first surface protruding from the second surface and the outer edge of the second member.
  • FIG. 9A schematically illustrates a configuration of the second filter according to the fourth embodiment as viewed from the + Z direction side.
  • FIG. 9B is a sectional view taken along line BB in FIG. 9A.
  • the target supply device of the fourth embodiment may apply the same configuration as the target supply device 7A of the first embodiment, except for the second filter 76D.
  • the second filter 76D may be a filter according to the present disclosure. As shown in FIGS. 9A and 9B, the second filter 76D may include a first member 77D and a second member 78D.
  • the first and second members 77D and 78D may be formed in a substantially disk shape with a material having low reactivity with the target substance.
  • the thickness dimension of the first and second members 77D and 78D may be about 300 ⁇ m, for example.
  • the diameter of the first member 77D may be about 5 mm, for example.
  • a substantially circular first through hole 773D penetrating in the vertical direction may be provided in the center of the first member 77D.
  • a plurality of spacers 7741D may be arranged on the first surface 771D on the + Z direction side of the first member 77D.
  • the spacer 7741D may be columnar.
  • the spacer 7741D may be configured separately from the first member 77D, or may be configured integrally with the first member 77D.
  • the spacers 7741D may be scattered in a substantially annular region centered on the first through-hole 773D.
  • the region between the spacers 7741D adjacent to each other on the first surface 771D of the first member 77D can constitute a flow path 774D.
  • the width dimension of the flow path 774D may be, for example, 10 ⁇ m to 150 ⁇ m.
  • the depth dimension of the channel 774D may be, for example, 3 ⁇ m or less. Thereby, the flow path 774D can collect fine particles.
  • the first surface 771D and the third surface 772D may be polished.
  • the diameter of the second member 78D may be smaller than the diameter of the first member 77D. Accordingly, the first member 77D can be arranged such that a part of the first surface 771D protrudes from the second surface 781D.
  • the second member 78D may be provided such that the plurality of spacers 7741D are in contact with the second surface 781D on the ⁇ Z direction side when the second member 78D is disposed so as to overlap the spacer 7741D of the first member 77D.
  • the end of the flow path 774D on the first through hole 773D side may be the first region 775D. Accordingly, as shown in FIG. 9B, the first through hole 773D is formed between the first surface 771D and the first space 776D on the third surface 772D side opposite to the first surface 771D.
  • region 775D can be comprised.
  • the first through hole 773D may constitute a first flow part for causing the target material flowing into the first region 775D of the flow path 774D to flow out into the first space 776D.
  • the end of the second member 78D on the outer edge side in the flow path 774D may be the second region 778D.
  • the side space 762D facing the portion of the first surface 771D that protrudes outside the second surface 781D and the outer edge of the second member 78D is formed on the opposite side of the second surface 781D and the second surface 781D.
  • a second flow part for flowing the target material through the second region 778D of the flow path 774D can be configured between the second space 784D on the fourth surface 782D side.
  • the side space 762D may constitute a second flow part for allowing the target material existing in the second space 784D to flow into the second region 778D of the flow path 774D.
  • the second surface 781D and the fourth surface 782D may be polished.
  • the first member 77D in which the first through hole 773D is formed may be manufactured.
  • the flow path 774D may be formed by arranging the spacer 7741D on the first surface 771D of the first member 77D.
  • the second member 78D may be manufactured.
  • the second member 78D may be overlaid on the first member 77D so that the second surface 781D of the second member 78D covers the flow path 774D of the first member 77D.
  • the first member 77D and the second member 78D may be diffusion bonded.
  • the second filter 76D having the flow path 774D having a depth dimension of, for example, 3 ⁇ m or less can be formed.
  • a second filter 76D may be attached between the nozzle base end portion 82A and the nozzle tip end portion 83A. Thereby, the side space 762D of the second filter 76D can be positioned in the opening of the second through hole 822A, and the inside of the second through hole 822A can be the second space 784D.
  • the first through hole 773D of the first member 77D is located in the opening on the + Z direction side of the third through hole 832A, and the inside of the third through hole 832A can be the first space 776D.
  • Target Supply Device When the pressure in the target generator 8A is adjusted while the target generator 8A is heated to a temperature equal to or higher than the melting point of the target material, particles are first
  • the target material collected by the filter 75A can pass through the second filter 76D.
  • the target material that has reached the second filter 76D can flow into the flow path 774D through the side space 762D.
  • the flow path 774D can collect particles larger than the depth dimension of the flow path 774D. Since the upper end of the spacer 7741D is in contact with the second surface 781D, the channel 774D can be prevented from being crushed even if pressure is applied to the fourth surface 782D.
  • the target material may pass through the first through hole 773D and flow into the third through hole 832A.
  • the channel 774D since the channel 774D is configured in the region between the spacers 7741D adjacent to each other, the channel 774D can be easily formed without drilling the first member 77D.
  • the second circulation portion is configured by the side space 762D facing the outside of the second surface 781D of the first surface 771D and the outer edge of the second member 78D, the second member 78D is drilled.
  • the second circulation part can be easily formed without any problem.
  • the second through hole may be formed so as to penetrate substantially the center of the second member.
  • the second member is disposed such that a part of the second surface protrudes from the first surface, and the flow path is formed up to the outer edge of the first member. May be constituted by a side space facing a part of the second surface protruding from the first surface and the outer edge of the first member.
  • FIG. 10A schematically illustrates a configuration of the second filter according to the fifth embodiment when viewed from the + Z direction side.
  • FIG. 10B is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. 10A.
  • the same configuration as the target supply device 7A of the first embodiment may be applied except for the configuration of the second filter 76E.
  • the second filter 76D may be a filter according to the present disclosure.
  • the second filter 76E may include a first member 77E and a second member 78E, as shown in FIGS. 10A and 10B.
  • the first member 77E and the second member 78E may be formed in a substantially disc shape.
  • a plurality of flow paths 774E may be formed on the first surface 771E on the ⁇ Z direction side of the first member 77E.
  • the flow path 774E may be configured by a groove formed in the first surface 771E.
  • the flow path 774E may be provided so that the outer edge of the first member 77E communicates with a through hole 783E described later.
  • the flow paths 774E may be provided radially.
  • the depth dimension of the flow path 774E may be 3 ⁇ m or less, for example. Thereby, the flow path 774E can collect particles.
  • the diameter of the second member 78E may be larger than the diameter of the first member 77E. Accordingly, the second member 78E can be arranged such that a part of the second surface 781E protrudes from the first surface 771E.
  • the second member 78E may be disposed so as to overlap the lower side of the first member 77E.
  • the second member 78E may be arranged such that the second surface 781E covers the flow path 774E.
  • a substantially circular through hole 783E may be provided in the center of the second member 78E.
  • the through hole 783E may be the second through hole of the present disclosure.
  • the end portion on the outer edge side of the second member 78E in the flow path 774E may be the first region 775E.
  • the side space 761E facing the portion of the second surface 781E that protrudes outside the first surface 771E and the outer edge of the first member 77E is the first surface 771E and the side opposite to the first surface 771E.
  • a first flow part for flowing the target material between the first space 776E on the third surface 772E side and the first region 775E of the flow path 774E can be configured.
  • the side space 761E can constitute a first flow part for allowing the target material existing in the first space 776E to flow into the first region 775E of the flow path 774E.
  • the end of the flow path 774E on the through hole 783E side may be the second region 778E.
  • the through hole 783E allows the target material to pass between the second surface 781E and the second space 784E on the fourth surface 782E side opposite to the second surface 781E via the second region 778E of the flow path 774E.
  • the 2nd distribution part for distributing can be constituted.
  • the through hole 783E can constitute a second flow part for allowing the target material flowing into the second region 778E of the flow path 774E to flow out into the second space 784E.
  • the first member 77E in which the flow path 774E is formed may be manufactured. You may manufacture the 2nd member 78E in which the through-hole 783E was formed. The first member 77E may be placed on the second member 78E so that the second surface 781E of the second member 78E covers the flow path 774E of the first member 77E. At this time, the first member 77E and the second member 78E may be diffusion bonded. Thereby, the 2nd filter 76E which has the flow path 774E whose depth dimension is 3 micrometers or less, for example can be formed.
  • a second filter 76E may be attached between the nozzle base end portion 82A and the nozzle tip end portion 83A.
  • the side space 761E of the second filter 76E is positioned in the opening of the second through hole 822A, and the inside of the second through hole 822A can be the first space 776E.
  • the through hole 783E of the second member 78E is located in the opening on the + Z direction side of the third through hole 832A, and the inside of the third through hole 832A can be the second space 784E.
  • the first flow portion is configured by the side space 761E facing the portion of the second surface 781E that protrudes outside the first surface 771E and the outer edge of the first member 77E.
  • the first flow part can be easily formed without drilling the one member 77E.
  • the first member is a first plate-like member and a second plate arranged so as to overlap the first plate-like member.
  • the flow path may be constituted by a third through hole that penetrates the second plate-like member.
  • FIG. 11A schematically illustrates a configuration of the second filter according to the sixth embodiment when viewed from the + Z direction side.
  • FIG. 11B is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. 11A.
  • FIG. 11C schematically shows a modification of the flow path of the second filter.
  • the target supply device of the sixth embodiment may apply the same configuration as the target supply device 7A of the first embodiment, except for the second filter 76F.
  • the second filter 76F may be a filter according to the present disclosure.
  • the second filter 76F may include a first member 77F and a second member 78F, as shown in FIGS. 11A and 11B.
  • the first and second members 77F and 78F may be formed in a substantially disc shape with a material having low reactivity with the target substance.
  • the thickness dimension of the first and second members 77F and 78F may be about 300 ⁇ m, for example.
  • the diameters of the first and second members 77F and 78F may be about 5 mm, for example.
  • the first member 77F may include a first plate member 77F1 and a second plate member 77F2.
  • the thickness dimension of the first plate-like member 77F1 may be smaller than the thickness dimension of the second member 78F.
  • a first through hole 773F penetrating in the vertical direction may be provided in the center of the first plate-like member 77F1.
  • the thickness dimension of the second plate member 77F2 may be, for example, 3 ⁇ m or less.
  • the second plate-like member 77F2 may be provided with, for example, eight third through-holes 7741F having a slit shape penetrating in the vertical direction.
  • the third through hole 7741F may be provided so as to extend radially from a position away from the center of the second plate-like member 77F2.
  • the third through holes 7741F may be provided at substantially equal intervals along the outer peripheral direction of the second plate-like member 77F2. Thereby, the third through hole 7741F can be provided point-symmetrically around the center of the second plate-like member 77F2.
  • the second plate member 77F2 may be disposed on the surface on the + Z direction side of the first plate member 77F1.
  • the 3rd through-hole 7741F can comprise channel 774F whose depth dimension is 3 micrometers or less, for example.
  • the flow path 774F can collect particles.
  • the end on the center side of the second plate-like member 77F2 in the flow path 774F may be the first region 775F.
  • the first through hole 773F is formed between the first surface 771F of the first member 77F and the first space 776F on the third surface 772F side opposite to the first surface 771F.
  • region 775F can be comprised.
  • the first through hole 773F may constitute a first flow part for causing the target material flowing into the first region 775F of the flow path 774F to flow out into the first space 776F.
  • a flat surface portion 777F may be provided outside the flow path 774F on the first surface 771F of the first member 77F.
  • the second member 78F may be disposed so as to overlap the upper side of the first member 77F.
  • the second member 78F may be arranged such that the second surface 781F covers the flow path 774F of the first member 77F.
  • the second member 78F may be provided with eight substantially circular second through holes 783F penetrating in the vertical direction.
  • the second through holes 783F may be provided at substantially equal intervals along the outer circumferential direction of the second member 78F. Accordingly, the second through hole 783F can be provided point-symmetrically around the center of the second member 78F.
  • the second through hole 783F may be provided so as not to be positioned within the opening of the first through hole 773F when the second member 78F is disposed on the first member 77F.
  • a part of the flow path 774F may be located in the opening of the second through hole 783F.
  • a part of the flow path 774F located in the opening of the second through hole 783F may be the second region 778F.
  • the second through hole 783F is interposed between the second surface 781F and the second space 784F on the fourth surface 782F side opposite to the second surface 781F via the second region 778F of the flow path 774F.
  • circulating a target substance can be comprised.
  • the second through hole 783F may constitute a second flow part for allowing the target material existing in the second space 784F to flow into the second region 778F of the flow path 774F.
  • the flow path 774F may be formed in a crank shape as shown in FIG. 11C.
  • the corner portion 774F1 in the flow path 774F may be formed so as to protrude outward in a substantially circular shape. Thereby, particles are collected in the corner portion 774F1, and clogging of the flow path 774F by the particles can be suppressed.
  • FIG. 12 schematically shows a manufacturing method of the second filter.
  • a first plate member 77F1 made of molybdenum may be prepared.
  • the first plate member 77F1 may be cut out from a plate having a size capable of obtaining a plurality of first plate members 77F1.
  • the 2nd plate-shaped member 77F2 and the 2nd member 78F which are mentioned later may be similarly cut out from a big plate. You may form the 1st through-hole 773F by giving a drilling process to the approximate center of the 1st plate-shaped member 77F1.
  • Both surfaces of the first plate member 77F1 may be polished and cleaned.
  • the first plate member 77F1 can be manufactured.
  • the second plate member 77F2 can be manufactured.
  • a second member 78F made of molybdenum may be prepared.
  • the second through hole 783F may be formed by drilling a plurality of locations of the second member 78F. Both surfaces of the second member 78F may be polished and cleaned. Thus, the second member 78F can be manufactured.
  • the second plate member 77F2 may be disposed so as to overlap the first plate member 77F1 to form the first member 77F.
  • the second member 78F may be placed on the first member 77F so that the second surface 781F of the second member 78F covers the flow path 774F of the first member 77F.
  • the first member 77F and the second member 78F may be diffusion bonded.
  • the 2nd filter 76F which has the flow path 774F whose depth dimension is 3 micrometers or less can be manufactured.
  • the second through-hole 783F is provided point-symmetrically with respect to the center of the second member 78F, even if the position of the second member 78F relative to the first member 77F is slightly shifted in the rotational direction, A flow path 774F is located in the opening of the through hole 783F, and the target material can flow through the second filter 76F. Since the first and second surfaces 771F and 781F are polished, the gap between the first surface 771F and the second surface 781F can be reduced. Since the joint surface between the first plate member 77F1 and the second plate member 77F2 is polished, the gap between the first plate member 77F1 and the second plate member 77F2 can be reduced. In the sixth embodiment, diffusion bonding between the first member and the second member may not be essential.
  • a second filter 76F may be attached between the nozzle base end portion 82A and the nozzle tip end portion 83A. Accordingly, the eight second through holes 783F of the second member 78F are positioned in the opening of the second through hole 822A, and the inside of the second through hole 822A can become the second space 784F.
  • the first through hole 773F of the first member 77F is located in the opening on the + Z direction side of the third through hole 832A, and the inside of the third through hole 832A can be the first space 776F.
  • the flow path 774E is configured by the third through hole 7741F that penetrates the second plate-shaped member 77F2, the flow path 774E is easily formed as compared with the case where the groove is formed. Can do.
  • the second member is disposed on the output direction side of the target material with respect to the first member, and the second circulation unit May be constituted by a second through hole penetrating the second member, and an opening on the output direction side of the second through hole may constitute a nozzle hole.
  • FIG. 13A schematically illustrates a main part of a target supply device according to a seventh embodiment.
  • FIG. 13B is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. 13A.
  • the target supply device of the seventh embodiment may apply the same configuration as the target supply device 7A of the first embodiment, except for the target generator 8G and the filter 76G.
  • the target generator 8G may or may not include the first filter 75A. As shown in FIGS. 13A and 13B, the target generator 8G may include a nozzle base end portion 82G provided at the front end of a tank (not shown) and a nozzle front end portion 83G.
  • the nozzle base end portion 82G and the nozzle tip end portion 83G may be made of a material having low reactivity with the target substance.
  • a second through hole 822G penetrating in the Z-axis direction may be provided in the center of the nozzle base end portion 82G.
  • the inner diameter of the second through hole 822G may be 3 mm, for example.
  • a concave portion 827G may be provided at the tip of the nozzle base end portion 82G.
  • the nozzle tip 83G may be formed in a substantially cylindrical shape, and the outer dimension of the planar portion may be formed larger than the diameter of the second through hole 822G.
  • a recess 831G may be provided on the upper surface of the nozzle tip 83G.
  • a conical hole 834G penetrating in the vertical direction may be provided at the center of the nozzle tip 83G.
  • the conical hole 834G may be formed in a conical shape having a diameter that increases in the ⁇ Z direction.
  • the filter 76G may be provided so as to close the second through hole 822G at the tip of the nozzle base end portion 82G.
  • the filter 76G may include a first member 77G and a second member 78G.
  • the first and second members 77G and 78G may be formed in a substantially disk shape with a material having low reactivity with the target substance.
  • the diameters of the first and second members 77G and 78G may be larger than the diameter of the second through hole 822G.
  • the first member 77G may be provided with, for example, eight substantially circular first through holes 773G penetrating in the vertical direction.
  • the first through holes 773G may be provided at substantially equal intervals along the outer circumferential direction of the first member 77G. Accordingly, the first through hole 773G can be provided point-symmetrically with respect to the center of the first member 77G.
  • a substantially circular first flow path 774G1 may be provided on the first surface 771G on the ⁇ Z direction side of the first member 77G.
  • the first flow path 774G1 may be provided at the center of the first surface 771G.
  • a second flow path 774G2 may be provided on the first surface 771G.
  • the second flow path 774G2 may be provided so as to extend radially from the outer edge of the first flow path 774G1 toward the first through hole 773G.
  • the first and second flow paths 774G1 and 774G2 may be configured by grooves formed in the first surface 771G.
  • the second flow paths 774G2 may be provided at substantially equal intervals along the outer peripheral direction of the first member 77G. Thereby, the second flow path 774G2 can be provided point-symmetrically with respect to the center of the first member 77G.
  • the first channel 774G1 and the second channel 774G2 may constitute the channel 774G.
  • the depth dimension of the second channel 774G2 may be smaller than the depth dimension of the first channel 774G1.
  • the depth dimension of the second flow path 774G2 may be 3 ⁇ m or less, for example. Thereby, the flow path 774G can collect particles.
  • region 775G may be sufficient as the edge part by the side of the 1st through-hole 773G in the flow path 774G. Accordingly, the first through hole 773G is formed between the first surface 771G of the first member 77G and the first space 776G on the third surface 772G side opposite to the first surface 771G.
  • region 775G can be comprised.
  • the first through hole 773G may constitute a first flow part for allowing the target material existing in the first space 776G to flow into the first region 775G of the flow path 774G.
  • the first surface 771G and the third surface 772G may be polished.
  • the second member 78G may be disposed so as to overlap the first member 77G.
  • the second member 78G may be arranged such that the second surface 781G on the + Z direction side covers the flow path 774G of the first member 77G.
  • a second through hole 783G penetrating in the Z-axis direction may be provided at the center of the second member 78G.
  • the second through hole 783G may be formed in a conical shape having a diameter that increases in the ⁇ Z direction.
  • the upper opening of the second through hole 783G may constitute a nozzle hole 785G.
  • the diameter of the nozzle hole 785G may be, for example, 1 ⁇ m to 3 ⁇ m.
  • the second through-hole 783G may be provided so as not to be positioned within the opening of the first through-hole 773G when the second member 78G is disposed so as to overlap the first member 77G. At this time, a part of the flow path 774G may be located in the opening of the nozzle hole 785G of the second through hole 783G. A part of the flow path 774G located in the opening of the second through hole 783G may be the second region 778G. Accordingly, the second through hole 783G is interposed between the second surface 781G and the second space 784G on the fourth surface 782G side opposite to the second surface 781G via the second region 778G of the flow path 774G.
  • circulating a target substance can be comprised.
  • the second through hole 783G may constitute a second flow part for allowing the target material flowing into the second region 778G of the flow path 774G to flow out into the second space 784G.
  • the second surface 781G and the fourth surface 782G may be polished.
  • the first member 77G and the second member 78G are diffusion bonded so that the flow path 774G of the first member 77G is covered with the second surface 781G of the second member 78G. May be. Thereby, a filter 76G having a flow path 774G having a depth dimension of 3 ⁇ m or less at the shallowest portion can be formed. Since the first and second surfaces 771G and 781G are polished, the gap between the first surface 771G and the second surface 781G can be reduced. In the seventh embodiment, diffusion bonding between the first member and the second member may not be essential.
  • the filter 76G may be inserted into the recess 831G of the nozzle tip portion 83G, and the nozzle tip portion 83G may be attached to the nozzle base end portion 82G with a bolt (not shown).
  • the first member 77G may be inserted into the recess 827G.
  • the second member 78G may be disposed on the ⁇ Z direction side with respect to the first member 77G. Accordingly, the eight first through holes 773G of the first member 77G can be positioned within the opening of the second through hole 822G, and the inside of the second through hole 822G can be the first space 776G.
  • the second through-hole 783G of the second member 78G is located in the opening on the + Z direction side of the conical hole 834G, and the inside of the conical hole 834G can be the second space 784G.
  • the target material is filtered. Can pass 76G.
  • the target material that has reached the filter 76G can pass through the flow path 774G via the first through hole 773G. At this time, the flow path 774G can collect particles larger than the depth dimension of the flow path 774G.
  • the target control device may adjust the pressure in the target generator 8G to output the target material as the droplet 27 from the nozzle hole 785G.
  • the filter 76G since the nozzle hole 785G is configured by the output direction side opening of the target material in the second through-hole 783G, the filter 76G has the function of collecting particles and the function of the nozzle. Can have.
  • FIG. 14 schematically illustrates a main part of a target supply device according to an eighth embodiment.
  • the target supply device of the eighth embodiment may apply the same configuration as the target supply device of the seventh embodiment, except for the second member 78H of the filter 76H that constitutes the target generator 8H.
  • the second member 78H of the filter 76H may be formed in a substantially disc shape with a material having low reactivity with the target substance.
  • the second member 78H may be arranged such that the second surface 781H on the + Z direction side covers the flow path 774G of the first member 77G.
  • a frustoconical protrusion 786H may be provided at the center of the fourth surface 782H on the ⁇ Z direction side of the second member 78H.
  • the protrusion 786H may be provided to make it easier for the electric field to concentrate on the protrusion 786H when a droplet is generated using an electric field.
  • a second through hole 783H penetrating in the Z-axis direction may be provided at the center of the second member 78H.
  • the second through hole 783H may be formed in a conical shape whose diameter is reduced toward the ⁇ Z direction.
  • the opening in the ⁇ Z direction side of the second through-hole 783H and the opening in the center of the tip of the protrusion 786H may constitute the nozzle hole 785H.
  • the diameter of the nozzle hole 785H may be, for example, 1 ⁇ m to 3 ⁇ m.
  • the second through-hole 783H may be provided so as not to be positioned within the opening of the first through-hole 773G when the second member 78H is disposed so as to overlap the first member 77G.
  • a part of the flow path 774G may be located in the opening of the second through hole 783H.
  • a part of the flow path 774G located in the opening of the second through hole 783H may be the second region 778G.
  • the second through hole 783H is interposed between the second surface 781H and the second space 784H on the fourth surface 782H side opposite to the second surface 781H via the second region 778G of the flow path 774G.
  • circulating a target substance can be comprised.
  • the second through hole 783H may constitute a second flow part for allowing the target material flowing into the second region 778G of the flow path 774G to flow out into the second space 784H.
  • the second surface 781H and the fourth surface 782H may be polished.
  • the first member 77G and the second member 78H are diffusion bonded so that the flow path 774G of the first member 77G is covered with the second surface 781H of the second member 78H. May be.
  • a filter 76H having a flow path 774G having a depth dimension of 3 ⁇ m or less at the shallowest portion can be formed. Since the first and second surfaces 771G and 781H are polished, the gap between the first surface 771G and the second surface 781H can be reduced.
  • the filter 76H may be attached so as to be sandwiched between the nozzle base end portion 82G and the nozzle tip end portion 83G.
  • the second member 78H may be disposed on the ⁇ Z direction side with respect to the first member 77G. Accordingly, the second through hole 783H of the second member 78H is positioned inside the conical hole 834G, and the inside of the conical hole 834G can be the second space 784H.
  • Target Supply Device When the pressure in the target generator 8H is adjusted while the target generator 8H is heated to a temperature equal to or higher than the melting point of the target material, the target material is filtered. 76H can be passed. The target material that has reached the filter 76H can pass through the flow path 774G via the first through hole 773G. At this time, the flow path 774G can collect particles larger than the depth dimension of the flow path 774G. Thereafter, the target control device may adjust the pressure in the target generator 8H to output the target material as the droplet 27 from the nozzle hole 785H.
  • FIG. 15A schematically illustrates a main part of a target supply device according to a ninth embodiment.
  • FIG. 15B is a sectional view taken along line BB in FIG. 15A.
  • the target supply device of the ninth embodiment may apply the same configuration as the target supply device of the seventh embodiment, except for the filter 76J constituting the target generator 8J.
  • the target generator 8J may include a nozzle base end portion 82G and a pipe 84J.
  • the pipe 84J may be made of a material having low reactivity with the target substance.
  • the inner diameter of the through hole 841J of the pipe 84J may be substantially equal to the inner diameter of the second through hole 822G of the nozzle base end portion 82G.
  • the + Z side end of the pipe 84J may be inserted into the concave portion 827G of the nozzle base end portion 82G.
  • the + Z side end face of the pipe 84J and the surface of the recess 827G of the nozzle base end part 82G may be polished so as to be sealable when the pipe 84J is inserted into the recess 827G.
  • the filter 76J may be provided so as to close the through hole 841J at the tip of the pipe 84J.
  • the filter 76J may include a first member 77J and a second member 78J.
  • the first and second members 77J and 78J may be formed of a material having low reactivity with the target substance.
  • the outer shape of the first and second members 77J and 78J may be larger than the diameter of the through hole 841J.
  • first through holes 773G may be provided in the first member 77J.
  • a flow path 774J may be provided on the first surface 771J on the ⁇ Z direction side of the first member 77J.
  • the flow path 774J may be configured by a groove formed in the first surface 771J.
  • the flow path 774J may be provided so as to extend radially from the center of the first surface 771J toward the first through hole 773G.
  • the depth dimension of the flow path 774J may be, for example, 3 ⁇ m or less. Thereby, the flow path 774J can collect particles.
  • region 775G may be sufficient as the edge part by the side of the 1st through-hole 773G in the flow path 774J. Accordingly, the first through-hole 773G is formed between the first surface 771J of the first member 77J and the first space 776J on the third surface 772J side opposite to the first surface 771J.
  • region 775J can be comprised.
  • the first through hole 773G can constitute a first flow part for allowing the target material existing in the first space 776J to flow into the first region 775J of the flow path 774J.
  • the first surface 771J and the third surface 772J may be polished.
  • the second member 78J may include a plate-like portion 787J and a tubular portion 788J.
  • the plate-like portion 787J may be formed in a substantially disc shape.
  • the outer diameter of the plate-like portion 787J may be larger than the outer diameter of the first member 77J.
  • a protrusion 786H may be provided at the center of the fourth surface 782J on the ⁇ Z direction side in the plate-like portion 787J.
  • a second through hole 783H may be provided in the center of the plate-like portion 787J.
  • the lower opening of the second through hole 783H may constitute a nozzle hole 785H.
  • the cylindrical portion 788J may be provided at an end portion on the outer side in the surface direction of the plate-like portion 787J.
  • the first member 77J may be arranged inside the second member 78J so that the second surface 781J on the + Z direction side covers the flow path 774J of the first member 77J.
  • the outer peripheral surface of the first member 77J and the inner peripheral surface of the cylindrical portion 788J may be sealed.
  • the first surface 771J and the second surface 781J may be sealed.
  • the second through hole 783H may be provided so as not to be positioned within the opening of the first through hole 773G when the first member 77J is disposed in the second member 78J.
  • a part of the flow path 774J may be located in the opening of the second through hole 783H.
  • a part of the flow path 774J located in the opening of the second through hole 783H may be the second region 778J. Accordingly, the second through-hole 783H is interposed between the second surface 781J and the second space 784J on the fourth surface 782J side opposite to the second surface 781J via the second region 778J of the flow path 774J.
  • circulating a target substance can be comprised.
  • the second through hole 783H may constitute a second flow part for causing the target material flowing into the second region 778J of the flow path 774J to flow out into the second space 784J.
  • a pipe 84J may be disposed on the third surface 772J side of the first member 77J.
  • the outer peripheral surface of the pipe 84J and the inner peripheral surface of the cylindrical portion 788J may be sealed.
  • the third surface 772J and the second surface 781J may be polished.
  • the end surface on the ⁇ Z side of the pipe 84J may be polished.
  • the inner peripheral surface of the fourth surface 782J may be polished.
  • the inner peripheral surface of the cylindrical portion 788J may be polished.
  • the first member 77J may be disposed in the second member 78J so that the flow path 774J of the first member 77J is covered with the second surface 781J of the second member 78J.
  • the filter 76J having the flow path 774J having a depth dimension of 3 ⁇ m or less can be formed.
  • the pipe 84J may be disposed in the second member 78J.
  • the second member 78J of the filter 76J may be attached to the nozzle base end portion 82G with a bolt (not shown).
  • the pipe 84J may be inserted into the recess 827G.
  • the second member 78J may be disposed on the ⁇ Z direction side with respect to the first member 77J.
  • the eight first through holes 773G of the first member 77J are positioned in the opening of the through hole 841J, and the inside of the through hole 841J can be the first space 776J.
  • the second through hole 783H of the second member 78J is located on the ⁇ Z direction side of the plate-like portion 787J, and the position on the ⁇ Z direction side can be the second space 784J.
  • the first member is disposed on the output direction side of the target material with respect to the second member, It is comprised by the 1st through-hole which penetrates 1 member, and the opening of the output direction side of a 1st through-hole may comprise a nozzle hole.
  • FIG. 16 schematically illustrates a main part of a target supply device according to the tenth embodiment.
  • the target supply device of the tenth embodiment may apply the same configuration as the target supply device of the seventh embodiment, except for the filter 76K that constitutes the target generator 8K.
  • the filter 76K may include a first member 77K and a second member 78K.
  • the first member 77K and the second member 78K may be formed in a substantially disc shape.
  • a frustoconical protrusion 793K may be provided at the center of the third surface 772K on the ⁇ Z direction side of the first member 77K.
  • a first through hole 773K may be provided in the center of the first member 77K.
  • the opening in the ⁇ Z direction side of the first through-hole 773K and the center of the tip of the protruding portion 793K may constitute a nozzle hole 794K.
  • the diameter of the nozzle hole 794K may be, for example, 1 ⁇ m to 3 ⁇ m.
  • eight channels 774K may be provided on the first surface 771K on the + Z direction side of the first member 77K.
  • the flow path 774K may be configured by a groove formed in the first surface 771K.
  • the channel 774K may be provided so as to extend radially from the center of the first surface 771K, similarly to the channel 774F illustrated in FIG. 11A.
  • the flow paths 774K may be provided at substantially equal intervals along the outer peripheral direction of the first member 77K.
  • the depth dimension of the channel 774K may be, for example, 3 ⁇ m or less.
  • the portion communicating with the first through hole 773K in the flow path 774K may be the first region 775K.
  • the first through hole 773K is formed between the first surface 771K of the first member 77K and the first space 776K on the third surface 772K side opposite to the first surface 771K.
  • region 775K can be comprised.
  • the first through hole 773K may constitute a first flow part for causing the target material flowing into the first region 775K of the flow path 774K to flow out into the first space 776K.
  • the second member 78K may be arranged so as to overlap the upper side of the first member 77K.
  • the second member 78K may be arranged such that the second surface 781K covers the flow path 774K.
  • the second member 78K may be provided with eight substantially circular second through holes 783K.
  • the second through holes 783K may be provided at substantially equal intervals along the outer circumferential direction of the second member 78K.
  • the second through hole 783K may be provided so as not to be positioned within the opening of the first through hole 773K.
  • a second region 778K that is an end portion of the flow path 774K may be positioned in the opening of the second through hole 783K.
  • the second through-hole 783K is interposed between the second surface 781K and the second space 784K on the fourth surface 782K side opposite to the second surface 781K via the second region 778K of the flow path 774K.
  • circulating a target substance can be comprised.
  • the second through hole 783K may constitute a second flow part for allowing the target material existing in the second space 784K to flow into the second region 778K of the flow path 774K.
  • the first member 77K and the second member 78K may be diffusion-bonded so that the flow path 774K of the first member 77K is covered with the second surface 781K of the second member 78K. Thereby, the filter 76K having the flow path 774K having a depth dimension of 3 ⁇ m or less can be formed.
  • a filter 76K may be attached between the nozzle tip portion 83G and the nozzle base end portion 82G.
  • the first member 77K may be disposed on the ⁇ Z direction side with respect to the second member 78K.
  • the second through hole 783K of the second member 78K is positioned in the opening of the second through hole 822G, and the inside of the second through hole 822G can be the second space 784K.
  • the first through hole 773K of the first member 77K is located in the opening on the + Z direction side of the conical hole 834G, and the inside of the conical hole 834G can be the first space 776K.
  • the filter 76K since the nozzle hole 794K is configured by the opening in the output direction side of the target material in the first through hole 773K, the filter 76K has the function of collecting particles and the function of the nozzle. Can have.
  • the filter may have the following configuration.
  • the first and second members may be formed of a material having low reactivity with the target substance.
  • the depth dimension of the flow path may be, for example, 3 ⁇ m or less.
  • the ⁇ Z direction may coincide with the gravity direction 10B.
  • FIG. 17A schematically illustrates a configuration of a filter according to a first modification as viewed from the + Z direction side.
  • FIG. 17B is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. 17A.
  • the filter 76L may include a first member 77L and a second member 78L, as shown in FIGS. 17A and 17B.
  • the first member 77L and the second member 78L may be formed in a substantially disk shape.
  • a plurality of first through holes 773L may be provided in the first member 77L.
  • the first through holes 773L may be arranged in a staggered manner.
  • a flow path 774L may be formed in the first surface 771L on the ⁇ Z direction side of the first member 77L.
  • the flow path 774L may be provided so as to communicate between the first through hole 773L and a second through hole 783L, which will be described later, adjacent to the first through hole 773L.
  • the end of the flow path 774L on the first through hole 773L side may be the first region 775L. Accordingly, the first through hole 773L is interposed between the first surface 771L and the first space 776L on the third surface 772L side opposite to the first surface 771L via the first region 775L of the flow path 774L.
  • circulating a target material can be comprised.
  • the second member 78L may be disposed so as to overlap the ⁇ Z direction side of the first member 77L.
  • the second member 78L may be arranged such that the second surface 781L covers the flow path 774L.
  • a plurality of second through holes 783L may be provided in the second member 78L.
  • the second through hole 783L may be provided at a position corresponding to between the first through holes 773L adjacent to each other.
  • the second through hole 783L may be provided so as not to be positioned within the opening of the first through hole 773L when the first member 77L is disposed on the second member 78L.
  • the second region 778L of the flow path 774L may be positioned in the opening of the second through hole 783L.
  • the second through hole 783L is interposed between the second surface 781L and the second space 784L on the fourth surface 782L side opposite to the second surface 781L via the second region 778L of the flow path 774L.
  • circulating a target material can be comprised.
  • FIG. 18A schematically illustrates a configuration of a filter according to a second modification as viewed from the + Z direction side.
  • 18B is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. 18A.
  • the filter 76M may include a first member 77M and a second member 78M.
  • the first member 77M and the second member 78M may be formed in a substantially disc shape.
  • eight first through holes 773M may be provided in the first member 77M.
  • the first through holes 773M may be provided at substantially equal intervals along the outer peripheral direction of the first member 77M.
  • a flow path 774M may be formed in the first surface 771M on the ⁇ Z direction side of the first member 77M.
  • the flow path 774M may be provided so as to communicate the first through hole 773M and a second through hole 783M described later.
  • the end of the flow path 774M on the first through hole 773M side may be the first region 775M. Accordingly, the first through hole 773M is interposed between the first surface 771M and the first space 776M on the third surface 772M side opposite to the first surface 771M via the first region 775M of the flow path 774M.
  • circulating a target material can be comprised.
  • the second member 78M may be arranged so as to overlap from the ⁇ Z direction side of the first member 77M.
  • the second member 78M may be arranged such that the second surface 781M covers the flow path 774M.
  • a second through hole 783M may be provided in the center of the second member 78M.
  • the second through hole 783M may be provided so as not to be positioned in the opening of the first through hole 773M when the first member 77M is disposed on the second member 78M.
  • the second region 778M of the flow path 774M may be located in the opening of the second through hole 783M.
  • the second through hole 783M is interposed between the second surface 781M and the second space 784M on the fourth surface 782M side opposite to the second surface 781M via the second region 778M of the flow path 774M.
  • circulating a target material can be comprised.
  • FIG. 19A schematically shows a configuration of a filter according to a third modification viewed from the + Z direction side.
  • FIG. 19B is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. 19A.
  • FIG. 19C is a cross-sectional view taken along the line CC of FIG. 19A.
  • FIG. 20A schematically shows a configuration in which another filter according to the third modification is viewed from the + Z direction side.
  • 20B is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. 20A.
  • FIG. 21A schematically shows a configuration in which another filter according to the third modification is viewed from the + Z direction side.
  • FIG. 21B schematically shows a configuration of another filter according to the third modification viewed from the + Z direction side.
  • FIG. 21C schematically shows a configuration of another filter according to the third modification viewed from the + Z direction side.
  • FIG. 21D schematically shows a configuration of another filter according to the third modification viewed from the + Z direction side.
  • FIG. 21E schematically shows a configuration of another filter according to the third modification viewed from the + Z direction side.
  • FIG. 21F schematically illustrates a configuration in which another filter according to the third modification is viewed from the + Z direction side.
  • FIG. 21G schematically shows a configuration of another filter according to the third modification viewed from the + Z direction side.
  • the filter 76N may include a first member 77N and a second member 78N.
  • the first member 77N and the second member 78N may be formed in a substantially disc shape.
  • a first through hole 773N may be provided on the + X direction side from the center of the first member 77N.
  • One flow path 774N may be formed on the first surface 771N on the ⁇ Z direction side of the first member 77N.
  • the flow path 774N may be provided so as to extend linearly from the first through hole 773N in the ⁇ X direction.
  • the end of the flow path 774N on the first through hole 773N side may be the first region 775N.
  • the first through hole 773N is interposed between the first surface 771N and the first space 776N on the third surface 772N side opposite to the first surface 771N via the first region 775N of the flow path 774N.
  • circulating a target material can be comprised.
  • the second member 78N may be arranged so as to overlap from the ⁇ Z direction side of the first member 77N.
  • the second member 78N may be arranged such that the second surface 781N covers the flow path 774N.
  • the first member 77N and the second member 78N may be sandwiched between the seal members 763N.
  • a second through hole 783N may be provided on the ⁇ X direction side from the center of the second member 78N.
  • the second through hole 783N may be provided so as not to be positioned within the opening of the first through hole 773N when the first member 77N is disposed on the second member 78N.
  • the second region 778N of the flow path 774N may be positioned in the opening of the second through hole 783N.
  • the second through hole 783N is interposed between the second surface 781N and the second space 784N on the fourth surface 782N opposite to the second surface 781N via the second region 778N of the flow path 774N.
  • circulating a target material can be comprised.
  • a plurality of flow paths 774N may be provided in the first member 77N.
  • the number of flow paths 774N may be five, for example.
  • the five flow paths 774N may be formed side by side in the Y-axis direction.
  • the flow path 774N may include a first flow path 790N1, a second flow path 790N2, and a third flow path 790N3.
  • the first flow path 790N1 may communicate with the second through hole 783N.
  • the dimension in the Y-axis direction, which is the width dimension of the first flow path 790N1 may be smaller than the width dimension of the second flow path 790N2.
  • the dimension in the X-axis direction, which is the length dimension of the first flow path 790N1 may be smaller than the length dimension of the second flow path 790N2.
  • the second flow path 790N2 may be connected to the + X direction side of the first flow path 790N1.
  • the width dimension of the second flow path 790N2 may be smaller than the width dimension of the third flow path 790N3.
  • the length dimension of the second flow path 790N2 may be smaller than the length dimension of the third flow path 790N3.
  • the third flow path 790N3 may be connected to the + X direction side of the second flow path 790N2 and may communicate with the first through hole 773N.
  • the flow path 774N includes the first to third flow paths 790N1 to N3, the fourth flow path 790N4, the fifth flow path 790N5, and the sixth flow path shown in FIG. 21A. 790N6.
  • the fourth flow path 790N4 may connect the first flow paths 790N1 adjacent to each other.
  • the fifth flow path 790N5 may connect the second flow paths 790N2 adjacent to each other.
  • the sixth flow path 790N6 may connect the third flow paths 790N3 adjacent to each other.
  • the flow path 774N may be composed of a first flow path 791N1 bent in a crank shape.
  • the first flow path 791N1 may have a width dimension on the second through hole 783N side smaller than a width dimension on the first through hole 773N side.
  • the flow path 774N includes the first flow path 791N1, the second flow path 791N2, the third flow path 791N3, and the fourth flow path 791N4 shown in FIG. 21C. May be.
  • the second flow path 791N2 may connect the first flow paths 791N1 adjacent to each other on the flow path 774N side.
  • the third flow path 791N3 may connect the first flow paths 791N1 adjacent to each other on the first through hole 773N side from the second flow path 791N2.
  • the fourth flow path 791N4 may connect the first flow paths 791N1 adjacent to each other on the first through hole 773N side from the third flow path 791N3.
  • the flow path 774N may be bent so as to meander in the Y-axis direction.
  • the bent portion of the flow path 774N may be bent in an arc shape.
  • the flow path 774N may be bent in a crank shape.
  • the bent portion of the flow path 774N may be bent at a substantially right angle.
  • the flow path 774N may include a first flow path 792N1 and a second flow path 792N2.
  • the first flow path 792N1 may be bent.
  • the first flow path 792N1 may communicate with the second through hole 783N.
  • the width dimension of the first flow path 792N1 may be smaller than the width dimension of the second flow path 792N2.
  • the length dimension of the first flow path 792N1 may be smaller than the length dimension of the second flow path 792N2.
  • the second flow path 792N2 may be bent.
  • the second flow path 792N2 may be connected to the + X direction side of the three first flow paths 791N1.
  • FIG. 22A schematically shows a configuration of a filter according to a fourth modified example viewed from the + Z direction side.
  • 22B is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. 22A.
  • 22C is a cross-sectional view taken along the line CC of FIG. 22A.
  • the filter 76P may include a first member 77P and a second member 78P as shown in FIGS. 22A, 22B, and 22C.
  • the first member 77P may be formed in a substantially square plate shape.
  • a linear flow path 774P may be formed on the first surface 771P on the ⁇ Z direction side of the first member 77P.
  • the flow path 774P may be provided so that the outer edge of the first member 77P communicates with a through hole 783P described later.
  • the second member 78P may be formed in a substantially disc shape.
  • the outer shape of the second member 78P may be larger than the outer shape of the first member 77P. Accordingly, the second member 78P can be arranged such that a part of the second surface 781P protrudes from the first surface 771P.
  • a protruding portion 789P protruding in the + Z direction side may be provided on a part of the second surface 781P on the + Z direction side in the second member 78P.
  • the second member 78P may be arranged so as to overlap from the ⁇ Z direction side of the first member 77P.
  • the second member 78P may be arranged such that the second surface 781P, which is the upper surface of the protruding portion 789P, covers the flow path 774P.
  • a through hole 783P may be provided in a portion of the second member 78P where the protruding portion 789P is provided.
  • the through hole 783P may be the second through hole of the present disclosure.
  • the end on the + X direction side of the flow path 774P may be the first region 775P.
  • the side space 761P facing the portion of the second surface 781P that protrudes outside the first surface 771P and the outer edge of the first member 77P on the + X direction side includes the first surface 771P and the first surface 771P.
  • the first flow part for flowing the target material through the first region 775P of the flow path 774P can be configured between the first space 776P on the third surface 772P side opposite to the first surface 776P.
  • the end of the flow path 774P on the through hole 783P side may be the second region 778P.
  • the through hole 783P allows the target material to pass between the second surface 781P and the second space 784P on the fourth surface 782P side opposite to the second surface 781P via the second region 778P of the channel 774P.
  • the 2nd distribution part for distributing can be constituted.
  • FIG. 23A schematically shows a configuration of a filter according to a fifth modification viewed from the + Z direction side.
  • FIG. 23B is a sectional view taken along line BB in FIG. 23A.
  • FIG. 23C is a cross-sectional view taken along the line CC of FIG. 23A.
  • the filter 76Q may include a first member 77Q and a second member 78Q.
  • the first member 77Q may be formed in a substantially square plate shape.
  • a linear flow path 774Q may be formed on the first surface 771Q on the ⁇ Z direction side of the first member 77Q.
  • the channel 774Q may be provided from the outer edge on the + X direction side of the first member 77Q to the outer edge on the ⁇ X direction side.
  • the second member 78Q may be formed in a shape substantially the same as the first member 77Q.
  • the second member 78Q may be arranged so as to overlap from the ⁇ Z direction side of the first member 77Q.
  • the second member 78Q may be arranged at a position shifted to the + X direction side with respect to the first member 77Q. Thereby, the second member 78Q can be arranged such that a part of the second surface 781Q protrudes from the first surface 771Q.
  • the first member 77Q can be arranged such that a part of the first surface 771Q protrudes from the second surface 781Q.
  • the second member 78Q may be arranged such that the second surface 781Q covers the flow path 774Q. At this time, the first member 77Q and the second member 78Q may be sandwiched between the seal members 763Q.
  • the end on the + X direction side of the flow path 774Q may be the first region 775Q.
  • the first side space 761Q facing the portion of the second surface 781Q that protrudes outside the first surface 771Q and the outer edge of the first member 77Q on the + X direction side includes the first surface 771Q and the first surface 771Q.
  • a first flow part for flowing the target material between the surface 771Q and the first space 776Q on the opposite third surface 772Q side via the first region 775Q of the flow path 774Q can be configured.
  • the portion corresponding to the outer edge on the ⁇ X direction side of the second member 78Q in the flow path 774Q may be the second region 778Q.
  • the second side space 762Q facing the portion of the first surface 771Q that protrudes outside the second surface 781Q and the outer edge of the second member 78Q on the ⁇ X direction side is the second surface 781Q
  • a second flow portion for flowing the target material between the second surface 781Q and the second space 784Q on the fourth surface 782Q side opposite to the second surface 784Q can be formed through the second region 778Q of the flow path 774Q.
  • FIG. 24A schematically illustrates a configuration of a filter according to a sixth modification when viewed from the + Z direction side.
  • 24B is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. 24A.
  • 24C is a cross-sectional view taken along the line CC of FIG. 24A.
  • the filter 76R may include a first member 77R and a second member 78R.
  • the first member 77R may be formed in a substantially square plate shape.
  • a protrusion 779R that protrudes in the ⁇ Z direction may be provided on a part of the first surface 771R on the + X direction side of the first member 77R.
  • a linear flow path 774R may be formed on the first surface 771R that is the surface on the ⁇ Z direction side of the protrusion 779R.
  • the flow path 774R may be provided from the outer edge on the + X direction side of the first member 77R to the outer edge on the ⁇ X direction side.
  • the second member 78R may be formed in a shape substantially equal to the first member 77R.
  • a protrusion 789R that protrudes toward the + Z direction may be provided on a part of the second surface 781R on the + Z direction side of the second member 78R.
  • the second member 78R may be arranged so as to overlap from the ⁇ Z direction side of the first member 77R.
  • the second member 78R may be arranged at a position shifted to the + X direction side with respect to the first member 77R.
  • the second member 78R may be arranged such that the second surface 781R that is the surface on the + Z direction side of the protruding portion 789R covers the flow path 774R.
  • the first member 77R and the second member 78R may be sandwiched between the seal members 763R.
  • the end on the + X direction side of the flow path 774R may be the first region 775R.
  • the first side space 761R facing the portion of the second surface 781R that protrudes outside the first surface 771R and the outer edge of the first member 77R on the + X direction side includes the first surface 771R and the first surface 771R.
  • a first flow portion for flowing the target material between the surface 771R and the first space 776R on the third surface 772R side opposite to the first space 775R of the flow path 774R can be configured.
  • the end on the ⁇ X direction side of the flow path 774R may be the second region 778R.
  • the second side space 762R facing the portion of the first surface 771R that protrudes outside the second surface 781R and the outer edge of the second member 78R on the ⁇ X direction side has the second surface 781R
  • a second flow part for flowing the target material between the second surface 781R and the second space 784R on the opposite fourth surface 782R side via the second region 778R of the flow path 774R can be configured.
  • FIG. 25 is a cross-sectional view of a filter according to a seventh modification.
  • the filter 76S may include a first member 77S and a second member 78S.
  • the first member 77S may be formed in a substantially disc shape.
  • First through holes 773S may be provided on the + X direction side and the ⁇ X direction side from the center of the first member 77S, respectively.
  • the first through hole 773S may have a substantially rectangular shape.
  • One flow path 774S may be formed on the first surface 771S on the ⁇ Z direction side of the first member 77S.
  • the flow path 774S may be provided so as to connect the first through holes 773S.
  • each flow path 774S on the side of each first through hole 773S may be the first region 775S.
  • the first through hole 773S is interposed between the first surface 771S and the first space 776S on the third surface 772S side opposite to the first surface 771S via the first region 775S of the flow path 774S.
  • circulating a target substance can be comprised.
  • the second member 78S may be formed in a shape that is substantially equal to the first member 77S.
  • the second member 78S may be disposed so as to overlap from the ⁇ Z direction side of the first member 77S.
  • the second member 78S may be arranged such that the second surface 781S covers the flow path 774S.
  • first member 77S and the second member 78S may be sandwiched between the seal members 763S.
  • a substantially rectangular second through hole 783S may be provided in the center of the second member 78S.
  • the second through hole 783S may be provided so as not to be positioned within the opening of the first through hole 773S when the first member 77S is disposed in the second member 78S.
  • the second region 778S of the flow path 774S may be located in the opening of the second through hole 783S.
  • the second through-hole 783S is interposed between the second surface 781S and the second space 784S on the fourth surface 782S side opposite to the second surface 781S via the second region 778S of the flow path 774S.
  • circulating a target substance can be comprised.
  • FIG. 26 is a cross-sectional view of a filter according to an eighth modification.
  • the filter 76T may include a first member 77T and a second member 78S.
  • the first member 77T may be formed in a rectangular plate shape.
  • the outer shape of the first member 77T may be larger than the outer shape of the second through hole 783S of the second member 78S.
  • One flow path 774T may be formed on the first surface 771T on the ⁇ Z direction side of the first member 77T.
  • the channel 774T may be provided from the outer edge on the + X direction side of the first member 77T to the outer edge on the ⁇ X direction side.
  • the second member 78S may be arranged so as to overlap from the ⁇ Z direction side of the first member 77T.
  • the second member 78S may be arranged such that the second surface 781S covers the flow path 774T. At this time, the first member 77T and the second member 78S may be sandwiched between the seal members 763T.
  • the end on the + X direction side and the end on the ⁇ X direction side of the flow path 774T may be the first region 775T.
  • the side space 761T facing the portion of the second surface 781S that protrudes outside the first surface 771T and the outer edge of the first member 77T is the first surface 771T and the side opposite to the first surface 771T.
  • a first flow part for flowing the target material through the first region 775T of the flow path 774T may be formed between the first surface 776T on the third surface 772T side.
  • the second region 778T of the flow path 774T may be located in the opening of the second through hole 783S.
  • the second through hole 783S is interposed between the second surface 781S and the second space 784S on the fourth surface 782S side opposite to the second surface 781S via the second region 778T of the flow path 774T.
  • circulating a target substance can be comprised.
  • the filters 76A, 76B, 76C, 76D, 76E, 76F, 76L, 76M, 76N, 76P, 76Q, 76R, 76S, and 76T may be arranged on the target supply device.
  • a flow path may be provided in both the first member and the second member. You may change the combination of the 1st member and each 2nd member of each embodiment and each modification.
  • Target supply device 8G, 8H, 8J, 8K ...
  • Target generator 76A, 76B, 76C, 76D, 76E, 76F, 76G, 76H, 76J, 76K, 76L, 76M, 76N, 76P, 76Q, 76R, 76S, 76T ... Filter, 77A, 77B, 77C, 77D, 77E, 77F, 77G, 77J, 77K, 77L, 77M, 77N, 77P, 77Q, 77R, 77S, 77T ... First member, 77F1 ... First plate shape Member, 77F2 ...

Landscapes

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Abstract

　フィルタは、第１面に流路が形成された第１部材と、第２面が前記流路を覆うように配置された第２部材とを備え、前記第１部材は、前記第１面と、前記第１面と反対面側の第１空間との間を、前記流路の第１領域を介して、流体を流通させるための第１流通部を備え、前記第２部材は、前記第２面と、前記第２面と反対面側の第２空間との間を、前記流路の前記第１領域とは離間した第２領域を介して、流体を流通させるための第２流通部を備えてもよい。

Description

フィルタ、および、ターゲット供給装置
　本開示は、フィルタ、および、ターゲット供給装置に関する。
　近年、半導体プロセスの微細化に伴って、半導体プロセスの光リソグラフィにおける転写パターンの微細化が急速に進展している。次世代においては、７０ｎｍ～４５ｎｍの微細加工、さらには３２ｎｍ以下の微細加工が要求されるようになる。このため、例えば３２ｎｍ以下の微細加工の要求に応えるべく、波長１３ｎｍ程度の極端紫外光（以下、ＥＵＶ光という場合がある。）を生成するための装置と縮小投影反射光学系とを組み合わせた露光装置の開発が期待されている。
　ＥＵＶ光生成装置としては、ターゲット物質にレーザ光を照射することによって生成されるプラズマを用いたＬＰＰ（Ｌａｓｅｒ　Ｐｒｏｄｕｃｅｄ　Ｐｌａｓｍａ）方式の装置と、放電によって生成されるプラズマを用いたＤＰＰ（Ｄｉｓｃｈａｒｇｅ　Ｐｒｏｄｕｃｅｄ　Ｐｌａｓｍａ）方式の装置と、軌道放射光を用いたＳＲ（Ｓｙｎｃｈｒｏｔｒｏｎ　Ｒａｄｉａｔｉｏｎ）方式の装置との３種類の装置が知られている。
米国特許出願公開第２０１２／０２９２５２７号明細書 米国特許出願公開第２００６／０１９２１５５号明細書 米国特許出願公開第２０１１／０１３９７０７号明細書 米国特許第５８４３７６７号明細書
概要
　本開示の一態様によるフィルタは、第１面に流路が形成された第１部材と、第２面が前記流路を覆うように配置された第２部材とを備え、前記第１部材は、前記第１面と、前記第１面と反対面側の第１空間との間を、前記流路の第１領域を介して、流体を流通させるための第１流通部を備え、前記第２部材は、前記第２面と、前記第２面と反対面側の第２空間との間を、前記流路の前記第１領域とは離間した第２領域を介して、流体を流通させるための第２流通部を備えてもよい。
　本開示の一態様によるターゲット供給装置は、ターゲット物質が出力されるノズル孔が形成されたノズルを有し、内部にターゲット物質を収容するターゲット生成器と、前記ターゲット生成器内に配置され、前記ターゲット物質内の異物が前記ノズル孔を閉塞することを抑制するためのフィルタとを備え、前記フィルタは、第１面に流路が形成された第１部材と、第２面が前記流路を覆うように配置された第２部材とを備え、前記第１部材は、前記第１面と、前記第１面と反対面側の第１空間との間を、前記流路の第１領域を介して、前記ターゲット物質を流通させるための第１流通部を備え、前記第２部材は、前記第２面と、前記第２面と反対面側の第２空間との間を、前記流路の前記第１領域とは離間した第２領域を介して、前記ターゲット物質を流通させるための第２流通部を備えてもよい。
　本開示のいくつかの実施形態を、単なる例として、添付の図面を参照して以下に説明する。
図１は、ＬＰＰ方式のＥＵＶ光生成装置の構成を概略的に示す。 図２は、第１実施形態に係るターゲット供給装置を含むＥＵＶ光生成装置の構成を概略的に示す。 図３は、ターゲット供給装置の構成を概略的に示す。 図４は、第２フィルタを概略的に示す斜視図である。 図５Ａは、第２実施形態に係る第２フィルタを＋Ｚ方向側から見た構成を概略的に示す。 図５Ｂは、図５ＡのＢ－Ｂ線に沿った断面図である。 図５Ｃは、第２フィルタの流路を＋Ｚ方向側から見た構成を概略的に示す。 図６は、第１部材の製造方法を概略的に示す。 図７は、第２部材の製造方法を概略的に示す。 図８Ａは、第３実施形態に係る第２フィルタを＋Ｚ方向側から見た構成を概略的に示す。 図８Ｂは、図８ＡのＢ－Ｂ線に沿った断面図である。 図８Ｃは、第２フィルタの流路を＋Ｚ方向側から見た構成を概略的に示す。 図９Ａは、第５実施形態に係る第２フィルタを＋Ｚ方向側から見た構成を概略的に示す。 図９Ｂは、図９ＡのＢ－Ｂ線に沿った断面図である。 図１０Ａは、第５実施形態に係る第２フィルタを＋Ｚ方向側から見た構成を概略的に示す。 図１０Ｂは、図１０ＡのＢ－Ｂ線に沿った断面図である。 図１１Ａは、第６実施形態に係る第２フィルタを＋Ｚ方向側から見た構成を概略的に示す。 図１１Ｂは、図１１ＡのＢ－Ｂ線に沿った断面図である。 図１１Ｃは、第２フィルタの流路の変形例を概略的に示す。 図１２は、第２フィルタの製造方法を概略的に示す。 図１３Ａは、第７実施形態に係るターゲット供給装置の要部を概略的に示す。 図１３Ｂは、図１３ＡのＢ－Ｂ線に沿った断面図である。 図１４は、第８実施形態に係るターゲット供給装置の要部を概略的に示す。 図１５Ａは、第９実施形態に係るターゲット供給装置の要部を概略的に示す。 図１５Ｂは、図１５ＡのＢ－Ｂ線に沿った断面図である。 図１６は、第１０実施形態に係るターゲット供給装置の要部を概略的に示す。 図１７Ａは、第１変形例に係るフィルタを＋Ｚ方向側から見た構成を概略的に示す。 図１７Ｂは、図１７ＡのＢ－Ｂ線に沿った断面図である。 図１８Ａは、第２変形例に係るフィルタを＋Ｚ方向側から見た構成を概略的に示す。 図１８Ｂは、図１８ＡのＢ－Ｂ線に沿った断面図である。 図１９Ａは、第３変形例に係るフィルタを＋Ｚ方向側から見た構成を概略的に示す。 図１９Ｂは、図１９ＡのＢ－Ｂ線に沿った断面図である。 図１９Ｃは、図１９ＡのＣ－Ｃ線に沿った断面図である。 図２０Ａは、第３変形例に係る他のフィルタを＋Ｚ方向側から見た構成を概略的に示す。 図２０Ｂは、図２０ＡのＢ－Ｂ線に沿った断面図である。 図２１Ａは、第３変形例に係る他のフィルタを＋Ｚ方向側から見た構成を概略的に示す。 図２１Ｂは、第３変形例に係る他のフィルタを＋Ｚ方向側から見た構成を概略的に示す。 図２１Ｃは、第３変形例に係る他のフィルタを＋Ｚ方向側から見た構成を概略的に示す。 図２１Ｄは、第３変形例に係る他のフィルタを＋Ｚ方向側から見た構成を概略的に示す。 図２１Ｅは、第３変形例に係る他のフィルタを＋Ｚ方向側から見た構成を概略的に示す。 図２１Ｆは、第３変形例に係る他のフィルタを＋Ｚ方向側から見た構成を概略的に示す。 図２１Ｇは、第３変形例に係る他のフィルタを＋Ｚ方向側から見た構成を概略的に示す。 図２２Ａは、第４変形例に係るフィルタを＋Ｚ方向側から見た構成を概略的に示す。 図２２Ｂは、図２２ＡのＢ－Ｂ線に沿った断面図である。 図２２Ｃは、図２２ＡのＣ－Ｃ線に沿った断面図である。 図２３Ａは、第５変形例に係るフィルタを＋Ｚ方向側から見た構成を概略的に示す。 図２３Ｂは、図２３ＡのＢ－Ｂ線に沿った断面図である。 図２３Ｃは、図２３ＡのＣ－Ｃ線に沿った断面図である。 図２４Ａは、第６変形例に係るフィルタを＋Ｚ方向側から見た構成を概略的に示す。 図２４Ｂは、図２４ＡのＢ－Ｂ線に沿った断面図である。 図２４Ｃは、図２４ＡのＣ－Ｃ線に沿った断面図である。 図２５は、第７変形例に係るフィルタの断面図である。 図２６は、第８変形例に係るフィルタの断面図である。
実施形態
内容
１．概要
２．ＥＵＶ光生成装置の全体説明
２．１　構成
２．２　動作
３．ターゲット供給装置を含むＥＵＶ光生成装置
３．１　用語の説明
３．２　第１実施形態
３．２．１　概略
３．２．２　構成
３．２．３　動作
３．２．３．１　フィルタの組み込み
３．２．３．２　ターゲット供給装置の動作
３．３　第２実施形態
３．３．１　概略
３．３．２　構成
３．３．３　動作
３．３．３．１　フィルタの製造方法とフィルタの組み込み
３．３．３．２　ターゲット供給装置の動作
３．４　第３実施形態
３．４．１　構成
３．４．２　動作
３．４．２．１　フィルタの製造方法とフィルタの組み込み
３．４．２．２　ターゲット供給装置の動作
３．５　第４実施形態
３．５．１　概略
３．５．２　構成
３．５．３　動作
３．５．３．１　フィルタの製造方法とフィルタの組み込み
３．５．３．２　ターゲット供給装置の動作
３．６　第５実施形態
３．６．１　概略
３．６．２　構成
３．６．３　動作
３．６．３．１　フィルタの製造方法とフィルタの組み込み
３．６．３．２　ターゲット供給装置の動作
３．７　第６実施形態
３．７．１　概略
３．７．２　構成
３．７．３　動作
３．７．３．１　フィルタの製造方法とフィルタの組み込み
３．７．３．２　ターゲット供給装置の動作
３．８　第７実施形態
３．８．１　概略
３．８．２　構成
３．８．３　動作
３．８．３．１　フィルタの組み込み
３．８．３．２　ターゲット供給装置の動作
３．９　第８実施形態
３．９．１　構成
３．９．２　動作
３．９．２．１　フィルタの組み込み
３．９．２．２　ターゲット供給装置の動作
３．１０　第９実施形態
３．１０．１　構成
３．１０．２　動作
３．１１　第１０実施形態
３．１１．１　概略
３．１１．２　構成
３．１１．３　動作
３．１２　変形例
３．１２．１　第１変形例
３．１２．２　第２変形例
３．１２．３　第３変形例
３．１２．４　第４変形例
３．１２．５　第５変形例
３．１２．６　第６変形例
３．１２．７　第７変形例
３．１２．８　第８変形例
３．１２．９　その他の変形例
　以下、本開示の実施形態について、図面を参照しながら詳しく説明する。以下に説明される実施形態は、本開示のいくつかの例を示すものであって、本開示の内容を限定するものではない。また、各実施形態で説明される構成および動作の全てが本開示の構成および動作として必須であるとは限らない。また、図１以外の図面を用いて説明する実施形態において、図１に示す構成要素のうち、本開示の説明に必須でない構成については、図示を省略する場合がある。なお、同一の構成要素には同一の参照符号を付して、重複する説明を省略する。
１．概要
　本開示の実施形態においては、フィルタは、第１面に流路が形成された第１部材と、第２面が流路を覆うように配置された第２部材とを備え、第１部材は、第１面と、第１面と反対面側の第１空間との間を、流路の第１領域を介して、流体を流通させるための第１流通部を備え、第２部材は、第２面と、第２面と反対面側の第２空間との間を、流路の第１領域とは離間した第２領域を介して、流体を流通させるための第２流通部を備えてもよい。
　本開示の実施形態においては、ターゲット供給装置は、ターゲット物質が出力されるノズル孔が形成されたノズルを有し、内部にターゲット物質を収容するターゲット生成器と、ターゲット生成器内に配置され、ターゲット物質内の異物がノズル孔を閉塞することを抑制するためのフィルタとを備え、フィルタは、第１面に流路が形成された第１部材と、第２面が流路を覆うように配置された第２部材とを備え、第１部材は、第１面と、第１面と反対面側の第１空間との間を、流路の第１領域を介して、ターゲット物質を流通させるための第１流通部を備え、第２部材は、第２面と、第２面と反対面側の第２空間との間を、流路の第１領域とは離間した第２領域を介して、ターゲット物質を流通させるための第２流通部を備えてもよい。
２．ＥＵＶ光生成装置の全体説明
２．１　構成
　図１に、例示的なＬＰＰ方式のＥＵＶ光生成システムの構成を概略的に示す。ＥＵＶ光生成装置１は、少なくとも１つのレーザ装置３と共に用いられてもよい。本願においては、ＥＵＶ光生成装置１及びレーザ装置３を含むシステムを、ＥＵＶ光生成システム１１と称する。図１に示し、かつ、以下に詳細に説明するように、ＥＵＶ光生成装置１は、チャンバ２、ターゲット供給装置７を含んでもよい。チャンバ２は、密閉可能であってもよい。ターゲット供給装置７は、例えば、チャンバ２の壁を貫通するように取り付けられてもよい。ターゲット供給装置７から供給されるターゲット物質の材料は、スズ、テルビウム、ガドリニウム、リチウム、キセノン、又は、それらの内のいずれか２つ以上の組合せを含んでもよいが、これらに限定されない。
　チャンバ２の壁には、少なくとも１つの貫通孔が設けられていてもよい。その貫通孔には、ウインドウ２１が設けられてもよく、ウインドウ２１をレーザ装置３から出力されるパルスレーザ光３２が透過してもよい。チャンバ２の内部には、例えば、回転楕円面形状の反射面を有するＥＵＶ集光ミラー２３が配置されてもよい。ＥＵＶ集光ミラー２３は、第１及び第２の焦点を有し得る。ＥＵＶ集光ミラー２３の表面には、例えば、モリブデンとシリコンとが交互に積層された多層反射膜が形成されていてもよい。ＥＵＶ集光ミラー２３は、例えば、その第１の焦点がプラズマ生成領域２５に位置し、その第２の焦点が中間集光点（ＩＦ）２９２に位置するように配置されるのが好ましい。ＥＵＶ集光ミラー２３の中央部には貫通孔２４が設けられていてもよく、貫通孔２４をパルスレーザ光３３が通過してもよい。
　ＥＵＶ光生成装置１は、ＥＵＶ光生成制御部５、ターゲットセンサ４等を含んでもよい。ターゲットセンサ４は、撮像機能を有してもよく、ドロップレット（ターゲット）２７の存在、軌跡、位置、速度等を検出するよう構成されてもよい。
　また、ＥＵＶ光生成装置１は、チャンバ２の内部と露光装置６の内部とを連通させる接続部２９を含んでもよい。接続部２９内部には、アパーチャ２９３が形成された壁２９１が設けられてもよい。壁２９１は、そのアパーチャ２９３がＥＵＶ集光ミラー２３の第２の焦点位置に位置するように配置されてもよい。
　さらに、ＥＵＶ光生成装置１は、レーザ光進行方向制御部３４、レーザ光集光ミラー２２、ドロップレット２７を回収するためのターゲット回収部２８等を含んでもよい。レーザ光進行方向制御部３４は、レーザ光の進行方向を規定するための光学素子と、この光学素子の位置、姿勢等を調整するためのアクチュエータとを備えてもよい。
　２．２　動作
　図１を参照に、レーザ装置３から出力されたパルスレーザ光３１は、レーザ光進行方向制御部３４を経て、パルスレーザ光３２としてウインドウ２１を透過してチャンバ２内に入射してもよい。パルスレーザ光３２は、少なくとも１つのレーザ光経路に沿ってチャンバ２内を進み、レーザ光集光ミラー２２で反射されて、パルスレーザ光３３として少なくとも１つのドロップレット２７に照射されてもよい。
　ターゲット供給装置７は、ドロップレット２７をチャンバ２内部のプラズマ生成領域２５に向けて出力するよう構成されてもよい。ドロップレット２７には、パルスレーザ光３３に含まれる少なくとも１つのパルスが照射されてもよい。パルスレーザ光が照射されたドロップレット２７はプラズマ化し、そのプラズマから放射光２５１が放射され得る。放射光２５１に含まれるＥＵＶ光２５２は、ＥＵＶ集光ミラー２３によって選択的に反射されてもよい。ＥＵＶ集光ミラー２３によって反射されたＥＵＶ光２５２は、中間集光点２９２で集光され、露光装置６に出力されてもよい。なお、１つのドロップレット２７に、パルスレーザ光３３に含まれる複数のパルスが照射されてもよい。
　ＥＵＶ光生成制御部５は、ＥＵＶ光生成システム１１全体の制御を統括するよう構成されてもよい。ＥＵＶ光生成制御部５は、ターゲットセンサ４によって撮像されたドロップレット２７のイメージデータ等を処理するよう構成されてもよい。また、ＥＵＶ光生成制御部５は、例えば、ドロップレット２７が出力されるタイミング、ドロップレット２７の出力方向等を制御するよう構成されてもよい。さらに、ＥＵＶ光生成制御部５は、例えば、レーザ装置３の発振タイミング、パルスレーザ光３２の進行方向、パルスレーザ光３３の集光位置等を制御するよう構成されてもよい。上述の様々な制御は単なる例示に過ぎず、必要に応じて他の制御が追加されてもよい。
３．ターゲット供給装置を含むＥＵＶ光生成装置
３．１　用語の説明
　以下、図１以外の図面を用いた説明において、各図に示したＸＹＺ軸を基準として方向を説明する場合がある。
　なお、この表現は、重力方向１０Ｂとの関係を表すものではない。
３．２　第１実施形態
３．２．１　概略
　本開示の第１実施形態のノズルにおいて、第１流通部は、第１部材を貫通する第１貫通孔により構成されてもよい。
　本開示の第１実施形態のノズルにおいて、第１貫通孔は、第１部材の略中心を貫通するように形成されてもよい。
　本開示の第１実施形態のノズルにおいて、第２流通部は、第２部材を貫通する第２貫通孔により構成されてもよい。
　本開示の第１実施形態のノズルにおいて、流路は、第１面に形成された溝部で構成されてもよい。
３．２．２　構成
　図２は、第１実施形態に係るターゲット供給装置を含むＥＵＶ光生成装置の構成を概略的に示す。図３は、ターゲット供給装置の構成を概略的に示す。図４は、第２フィルタを概略的に示す斜視図である。
　ＥＵＶ光生成装置１Ａは、図２に示すように、チャンバ２と、ターゲット供給装置７Ａとを備えてもよい。ターゲット供給装置７Ａは、ターゲット生成部７０Ａと、ターゲット制御装置７１Ａとを備えてもよい。ターゲット制御装置７１Ａには、レーザ装置３と、ＥＵＶ光生成制御部５Ａとが電気的に接続されてもよい。
　ターゲット生成部７０Ａは、図２および図３に示すように、ターゲット生成器８Ａと、圧力制御部７３Ａと、温度制御部７４Ａと、第１フィルタ７５Ａと、第２フィルタ７６Ａとを備えてもよい。
　ターゲット生成器８Ａは、タンク８１Ａと、ノズル基端部８２Ａと、ノズル先端部８３Ａとを備えてもよい。タンク８１Ａと、ノズル基端部８２Ａと、ノズル先端部８３Ａとは、例えばモリブデンなどのターゲット物質２７０との反応性が低い材料で構成されてもよい。
　タンク８１Ａは、タンク本体８１１Ａと、蓋部８１２Ａとを備えてもよい。
　タンク本体８１１Ａは、－Ｚ方向側の第２面に壁面を備える略円筒状に形成されてもよい。タンク本体８１１Ａの中空部は、収容空間８１０Ａであってもよい。タンク本体８１１Ａの第２面中央には、＋Ｚ方向に向かって略円形に凹む凹部８１３Ａが設けられてもよい。凹部８１３Ａの中央には、収容空間８１０Ａと連通する第１貫通孔８１４Ａが設けられてもよい。
　蓋部８１２Ａは、タンク本体８１１Ａの＋Ｚ方向側の第１面を閉塞する略円板状に形成されてもよい。蓋部８１２Ａは、複数のボルト８１５Ａによってタンク本体８１１Ａの第１面に固定されてもよい。
　ノズル基端部８２Ａは、略円柱状に形成されてもよい。ノズル基端部８２Ａの＋Ｚ方向側の第１面には、タンク本体８１１Ａの凹部８１３Ａの形状に相似する第１凸部８２１Ａが設けられてもよい。ノズル基端部８２Ａは、複数のボルト８２９Ａによってタンク本体８１１Ａの第２面に固定されてもよい。
　ノズル基端部８２Ａの中央には、Ｚ軸方向に貫通する第２貫通孔８２２Ａが設けられてもよい。第２貫通孔８２２Ａは、第１貫通孔８１４Ａに連通してもよい。第２貫通孔８２２Ａにおける＋Ｚ方向側は、収容部８２３Ａであってもよい。収容部８２３Ａには、第１フィルタ７５Ａと、シム７５５Ａとが収容されてもよい。収容部８２３Ａは、第１当接部８２４Ａと、第２当接部８２５Ａとを備えてもよい。
　ノズル基端部８２Ａの－Ｚ方向側の第２面には、第２凸部８２６Ａが設けられてもよい。第２凸部８２６Ａは、－Ｚ方向に向けて略円板状に突出してもよい。第２凸部８２６Ａの中央には、＋Ｚ方向に向けて略円形に凹む凹部８２７Ａが設けられてもよい。凹部８２７Ａ内には、第２貫通孔８２２Ａの開口が存在してもよい。凹部８２７Ａには、第２フィルタ７６Ａが挿入されてもよい。
　ノズル先端部８３Ａは、略円板状に形成されてもよい。ノズル先端部８３Ａの第１面中央には、－Ｚ方向に向かって略円形に凹む凹部８３１Ａが設けられてもよい。凹部８３１Ａには、ノズル基端部８２Ａの第２凸部８２６Ａが嵌合してもよい。このとき、凹部８３１Ａは、第２フィルタ７６Ａと当接してもよい。ノズル先端部８３Ａは、当該ノズル先端部８３Ａを貫通する複数のボルト８３９Ａによって、ノズル基端部８２Ａの第２面に固定されてもよい。
　ノズル先端部８３Ａの中央には、Ｚ軸方向に貫通する第３貫通孔８３２Ａが設けられてもよい。第３貫通孔８３２Ａは、第２貫通孔８２２Ａに連通してもよい。第３貫通孔８３２Ａは、－Ｚ方向に向かうにしたがって径寸法が小さくなる形状であってもよい。第３貫通孔８３２Ａの－Ｚ方向側の端部は、ノズル孔８３３Ａであってもよい。ノズル孔８３３Ａは円形の開口であってよく、その直径は、１μｍ～３μｍであってもよい。ノズル先端部８３Ａは、ノズル孔８３３Ａの形成されたノズルであってよい。以降、ノズル孔の形成された部材を単にノズルと呼称することがある。
　ノズル先端部８３Ａは、ノズル先端部８３Ａとターゲット物質２７０との接触角が９０°以上の材料で構成されるのが好ましい。あるいは、ノズル先端部８３Ａの少なくとも表面が、当該接触角が９０°以上の材料でコーティングされてもよい。例えばターゲット物質２７０がスズの場合、接触角が９０°以上の材料は、ＳｉＣ、ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、モリブデン、タングステンであってもよい。
　タンク８１Ａと、ノズル基端部８２Ａと、ノズル先端部８３Ａとは、電気絶縁材料で構成されてもよい。これらが、電気絶縁材料ではない材料、例えばモリブデンなどの金属材料で構成される場合には、チャンバ２とターゲット生成器８Ａとの間に不図示の電気絶縁材料が配置されてもよい。
　チャンバ２の設置形態によっては、予め設定されるドロップレット２７の出力方向は、例えばノズル孔８３３Ａの中心軸方向であってよく、図３における－Ｚ方向であってよい。予め設定されるドロップレット２７の出力方向を、設定出力方向１０Ａと称する。設定出力方向１０Ａは、必ずしも重力方向１０Ｂと一致するとは限らない。重力方向１０Ｂに対して、斜め方向にドロップレット２７が出力されるよう構成されてもよい。なお、第１実施形態では、設定出力方向１０Ａが重力方向１０Ｂと一致するようにチャンバ２が設置されてもよい。
　圧力制御部７３Ａは、圧力制御器７３２Ａと、圧力センサ７３３Ａとを備えてもよい。圧力制御器７３２Ａは、配管７３４Ａを介して、蓋部８１２Ａの＋Ｚ方向側の第１端部に連結されてもよい。圧力制御器７３２Ａには、配管７３５Ａを介して、不活性ガスボンベ７３１Ａが接続されてもよい。圧力制御器７３２Ａは、ターゲット制御装置７１Ａに電気的に接続されてもよい。圧力制御器７３２Ａは、ターゲット制御装置７１Ａから送信される信号に基づいて、不活性ガスボンベ７３１Ａから供給される不活性ガスの圧力を制御して、ターゲット生成器８Ａ内の圧力を調節するよう構成されてもよい。
　圧力センサ７３３Ａは、配管７３４Ａに設けられてもよい。圧力センサ７３３Ａは、ターゲット制御装置７１Ａに電気的に接続されてもよい。圧力センサ７３３Ａは、配管７３４Ａ内に存在する不活性ガスの圧力を検出して、この検出した圧力に対応する信号をターゲット制御装置７１Ａに送信してもよい。
　温度制御部７４Ａは、タンク８１Ａ内のターゲット物質２７０の温度を制御するよう構成されてもよい。温度制御部７４Ａは、ヒータ７４１Ａと、ヒータ電源７４２Ａと、温度センサ７４３Ａと、温度コントローラ７４４Ａとを備えてもよい。
　ヒータ７４１Ａは、タンク８１Ａのタンク本体８１１Ａの外周面に設けられてもよい。
　ヒータ電源７４２Ａは、温度コントローラ７４４Ａからの信号に基づいて、ヒータ７４１Ａに電力を供給してヒータ７４１Ａを発熱させてもよい。それにより、タンク８１Ａ内のターゲット物質２７０が、タンク８１Ａを介して加熱され得る。
　温度センサ７４３Ａは、タンク８１Ａの外周面におけるノズル基端部８２Ａ側に設けられてもよいし、タンク８１Ａ内に設けられてもよい。温度センサ７４３Ａは、タンク８１Ａにおける主に温度センサ７４３Ａの設置位置およびその近傍の位置の温度を検出して、当該検出した温度に対応する信号を温度コントローラ７４４Ａに送信するよう構成されてもよい。温度センサ７４３Ａの設置位置およびその近傍の位置の温度は、タンク８１Ａ内のターゲット物質２７０の温度を反映した温度となり得る。
　温度コントローラ７４４Ａは、温度センサ７４３Ａからの信号に基づいて、ターゲット物質２７０の温度を所定温度に制御するための信号をヒータ電源７４２Ａに出力するよう構成されてもよい。
　ターゲット物質２７０には、異物としてのパーティクルが含まれることがあってよい。パーティクルは、ターゲット物質２７０と不純物または酸素とが反応することによって生成され得る、またはターゲット物質２７０の原材料に含まれ得る、またはターゲット物質２７０とタンク８１Ａとの物理的な摩耗によって生成され得る。
　第１フィルタ７５Ａは、第１多孔質フィルタ７５１Ａと、第２多孔質フィルタ７５２Ａと、第３多孔質フィルタ７５３Ａとを備えてもよい。第１，第２，第３多孔質フィルタ７５１Ａ，７５２Ａ，７５３Ａは、ターゲット物質２７０に含まれるパーティクルを捕集するために、多孔質の材料で作られてもよい。第１多孔質フィルタ７５１Ａには、口径が例えば２０μｍ程度の無数の貫通細孔が設けられてもよい。第２多孔質フィルタ７５２Ａには、口径が例えば１０μｍ程度の無数の貫通細孔が設けられてもよい。第３多孔質フィルタ７５３Ａには、例えば口径が６μｍ程度の無数の貫通細孔が設けられてもよい。このように、第１多孔質フィルタ７５１Ａ、第２多孔質フィルタ７５２Ａ、第３多孔質フィルタ７５３Ａの貫通細孔のサイズは異なってよい。また、第１，第２，第３多孔質フィルタ７５１Ａ，７５２Ａ，７５３Ａの貫通細孔は、様々な方向に屈曲して各多孔質フィルタを貫通してもよい。
　第１，第２，第３多孔質フィルタ７５１Ａ，７５２Ａ，７５３Ａは略円板状に形成されてもよく、その直径は、第２貫通孔８２２Ａの最大内径より大きくてもよい。第１，第２，第３多孔質フィルタ７５１Ａ，７５２Ａ，７５３Ａは、第２貫通孔８２２Ａ内において、当該第２貫通孔８２２Ａを閉じ、かつＺ軸方向に重なるように収容部８２３Ａに収容されてもよい。このとき、第１多孔質フィルタ７５１Ａが＋Ｚ方向側に位置し、第３多孔質フィルタ７５３Ａが－Ｚ方向側に位置してもよい。このように、ターゲット物質２７０の出力方向に沿って、貫通細孔の小さな多孔質フィルタが配置されるようにしてもよい。
　第１，第２，第３多孔質フィルタ７５１Ａ，７５２Ａ，７５３Ａは、ターゲット物質２７０との反応性が低い材料で形成されてもよい。第１，第２，第３多孔質フィルタ７５１Ａ，７５２Ａ，７５３Ａを構成する材料の線熱膨張係数とターゲット生成器８Ａを構成する材料の線熱膨張係数との差は、ターゲット生成器８Ａを構成する材料の線熱膨張係数の２０％より小さくてもよい。
　ターゲット物質２７０がスズの場合、ターゲット生成器８Ａは、スズとの反応性が低いモリブデンにより形成されてもよい。ターゲット生成器８Ａがモリブデンまたはタングステンにより形成されている場合、第１，第２，第３多孔質フィルタ７５１Ａ，７５２Ａ，７５３Ａは、以下の表１で示す材料のうち、いずれかの材料で形成されてもよい。モリブデンの線熱膨張係数は、５．２×１０－６である。タングステンの線熱膨張係数は、４．６×１０－６である。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
　第１，第２，第３多孔質フィルタ７５１Ａ，７５２Ａ，７５３Ａの材料は、例えば、ＳＰＧテクノ株式会社より提供されるシラス多孔質ガラス（ＳＰＧ）であってよい。ＳＰＧは火山灰シラスを原料とする多孔質ガラスであってもよい。ＳＰＧが材料として使用された場合、第１，第２，第３多孔質フィルタ７５１Ａ，７５２Ａ，７５３Ａは、略円板状に形成されてもよく、例えば、第１，第２，第３多孔質フィルタ７５１Ａ，７５２Ａ，７５３Ａの厚さ寸法であるＺ軸方向の寸法は、約３ｍｍであってもよく、第１，第２，第３多孔質フィルタ７５１Ａ，７５２Ａ，７５３Ａの直径は、約２０ｍｍであってもよい。
　ＳＰＧの組成の比は、以下の表２で示す比であってもよい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
　ＳＰＧが材料として使用された場合、第１，第２，第３多孔質フィルタ７５１Ａ，７５２Ａ，７５３Ａには、口径が６μｍ以上２０μｍ以下であり、かつ、様々な方向に屈曲する無数の貫通細孔が設けられ得る。
　収容部８２３Ａの内部において、第１多孔質フィルタ７５１Ａの＋Ｚ方向側の第１面には、シム７５５Ａが重ねられてもよい。収容部８２３Ａの内部には、例えば、２枚のシム７５５Ａが重ねられてもよい。シム７５５Ａを複数用いる場合は、それらの厚さは同じでも異なっていてもよい。
　シム７５５Ａは、ターゲット物質２７０との反応性が低い材料で形成されてもよい。第１，第２，第３多孔質フィルタ７５１Ａ，７５２Ａ，７５３Ａを構成する材料の線熱膨張係数とシム７５５Ａを構成する材料の線熱膨張係数との差は、シム７５５Ａを構成する材料の線熱膨張係数の２０％より小さくてもよい。例えば、第１，第２，第３多孔質フィルタ７５１Ａ，７５２Ａ，７５３ＡがＳＰＧによって形成されたフィルタであり、ターゲット物質２７０がスズの場合、シム７５５Ａは、モリブデンによって形成されてもよい。シム７５５Ａは、略円環板状に形成されてもよい。
　第２フィルタ７６Ａは、本開示のフィルタであってもよい。第２フィルタ７６Ａは、第１フィルタ７５Ａより－Ｚ方向側において、第３貫通孔８３２Ａを閉じるように設けられてもよい。－Ｚ方向側は、ターゲット物質２７０の出力方向であってよい。第２フィルタ７６Ａは、第３多孔質フィルタ７５３Ａを通過したパーティクルおよび／または第３多孔質フィルタ７５３Ａよりターゲット物質２７０の出力方向下流で発生したパーティクルを捕集してもよい。第２フィルタ７６Ａは、図４に示すように、第１部材７７Ａと、第２部材７８Ａとを備えてもよい。
　第１，第２部材７７Ａ，７８Ａは、ターゲット物質２７０との反応性が低い材料で略円板状に形成されてもよい。ターゲット物質２７０との反応性が低い材料は、ターゲット物質２７０がスズの場合、モリブデンまたはタングステンであってもよいし、表１で示す材料のうち、いずれかの材料であってもよい。例えば、第１，第２部材７７Ａ，７８Ａの厚さ寸法は、約３００μｍであってもよい。
　第１部材７７Ａの中央には、Ｚ軸方向に貫通する略円形の第１貫通孔７７３Ａが設けられてもよい。例えば、第１貫通孔７７３Ａの直径は、６００μｍであってもよい。
　第１部材７７Ａの＋Ｚ方向側の第１面７７１Ａには、流路７７４Ａが形成されてもよい。流路７７４Ａは、複数の溝によって構成されていてもよい。流路７７４Ａは、格子状に形成されてもよいし、放射状に形成されてもよい。図４においては、流路７７４Ａは、第１面７７１Ａに格子状に形成された溝部により構成されてもよい。流路７７４Ａは、第１部材７７Ａの第１面７７１Ａをエッチングすることにより形成されてもよい。流路７７４Ａの深さ寸法である第１面７７１Ａの直交方向の寸法は、第３多孔質フィルタ７５３Ａを通過したパーティクルの寸法より小さくてもよい。例えば、流路７７４Ａの深さ寸法は、３μｍ以下であってもよい。これにより、流路７７４Ａは、パーティクルを捕集し得る。流路７７４Ａは、第１貫通孔７７３Ａまで延びてもよい。流路７７４Ａにおける第１貫通孔７７３Ａ側の端部は、第１領域７７５Ａであってもよい。これにより、第１貫通孔７７３Ａは、第１面７７１Ａと、第１面７７１Ａと反対側の第３面７７２Ａ側の第１空間７７６Ａとの間を、流路７７４Ａの第１領域７７５Ａを介して、流体としてのターゲット物質２７０を流通させるための第１流通部を構成し得る。第１実施形態では、第１貫通孔７７３Ａは、流路７７４Ａの第１領域７７５Ａに流入するターゲット物質２７０を第１空間７７６Ａに流出させるための第１流通部を構成し得る。
　第１部材７７Ａの第１面７７１Ａにおける流路７７４Ａの外側には、平面部７７７Ａが設けられてもよい。平面部７７７Ａは、流路７７４Ａを囲む円環状に設けられてもよい。平面部７７７Ａは、第１面７７１Ａにおけるエッチングされていない領域であってもよい。平面部７７７Ａおよび第３面７７２Ａは、研磨されてもよい。
　第２部材７８Ａは、図４に二点鎖線で示すように、第１部材７７Ａの－Ｚ方向側から重なるように配置されてもよい。第２部材７８Ａは、第２面７８１Ａが第１部材７７Ａの流路７７４Ａの一部を覆うように配置されてもよい。
　第２部材７８Ａには、Ｚ軸方向に貫通する４個の略円形の第２貫通孔７８３Ａが設けられてもよい。例えば、第２貫通孔７８３Ａの直径は、４００μｍであってもよい。第２貫通孔７８３Ａは、第２部材７８Ａの外周方向に沿って略等しい間隔で設けられてもよい。これにより、第２貫通孔７８３Ａは、第２部材７８Ａの中心に対して点対称に設けられ得る。第２貫通孔７８３Ａは、第２部材７８Ａが第１部材に重ねられて配置されたときに、第１貫通孔７７３Ａの開口内に位置しないように設けられてもよい。このとき、第２貫通孔７８３Ａの開口内に、流路７７４Ａの一部が位置してもよい。流路７７４Ａにおける第２貫通孔７８３Ａの開口内に位置する領域は、第１領域とは離間した第２領域７７８Ａであってもよい。これにより、第２貫通孔７８３Ａは、第２面７８１Ａと、第２面７８１Ａと反対側の第４面７８２Ａ側の第２空間７８４Ａとの間を、流路７７４Ａの第２領域７７８Ａを介してターゲット物質２７０を流通させるための第２流通部を構成し得る。第１実施形態では、第２貫通孔７８３Ａは、第２空間７８４Ａに存在するターゲット物質２７０を流路７７４Ａの第２領域７７８Ａに流入させるための第２流通部を構成し得る。第２面７８１Ａおよび第４面７８２Ａは、研磨されてもよい。
　ターゲット制御装置７１Ａは、温度コントローラ７４４Ａに信号を送信して、ターゲット生成器８Ａ内のターゲット物質２７０の温度を制御してもよい。ターゲット制御装置７１Ａは、圧力制御部７３Ａの圧力制御器７３２Ａに信号を送信して、ターゲット生成器８Ａ内の圧力を制御してもよい。
３．２．３　動作
３．２．３．１　フィルタの組み込み
　以下において、第１フィルタ７５Ａと、第２フィルタ７６Ａとをターゲット生成器８Ａに組み込む動作について説明する。フィルタの組み込み動作は、ターゲット生成器８Ａの組み立て時や、ターゲット生成器８Ａのメンテナンス時において実行されてもよい。
　まず、事前に第１貫通孔７７３Ａおよび流路７７４Ａが形成された第１部材７７Ａを製造しておいてもよい。第２貫通孔７８３Ａが形成された第２部材７８Ａを製造しておいてもよい。第１部材７７Ａおよび第２部材７８Ａは、後述する第２実施形態と同様の方法で製造されてもよい。第２部材７８Ａの第２面７８１Ａが第１部材７７Ａの流路７７４Ａを覆うように、第２部材７８Ａと、第１部材７７Ａとを配置してもよい。このとき、第１部材７７Ａと第２部材７８Ａとを拡散接合してもよい。これにより、深さ寸法が３μｍ以下の流路７７４Ａを有する第２フィルタ７６Ａが形成され得る。なお、第１実施形態においては、第１部材と第２部材との拡散接合は必須でなくともよい。
　次に、ノズル基端部８２Ａの凹部８２７Ａに第２フィルタ７６Ａを挿入してもよい。この後、ノズル先端部８３Ａの凹部８３１Ａにノズル基端部８２Ａの第２凸部８２６Ａを挿入し、ボルト８３９Ａをノズル基端部８２Ａに螺合してもよい。
　このようにボルト８３９Ａがノズル基端部８２Ａに螺合することによって、第２フィルタ７６Ａの第１部材７７Ａの第３面７７２Ａとノズル先端部８３Ａとの間、第２フィルタ７６Ａの第２部材７８Ａの第４面７８２Ａとノズル基端部８２Ａとの間がシールされるように、ノズル先端部８３Ａがノズル基端部８２Ａに固定され得る。第２部材７８Ａの４個の第２貫通孔７８３Ａが第２貫通孔８２２Ａの開口内に位置し、第２貫通孔８２２Ａの内部が第２空間７８４Ａとなり得る。第１部材７７Ａの第１貫通孔７７３Ａが第３貫通孔８３２Ａの＋Ｚ方向側の開口内に位置し、第３貫通孔８３２Ａの内部が第１空間７７６Ａとなり得る。
　また、ノズル基端部８２Ａの収容部８２３Ａに、第１フィルタ７５Ａと、シム７５５Ａとを配置してもよい。次に、タンク本体８１１Ａの凹部８１３Ａにノズル基端部８２Ａの第１凸部８２１Ａを嵌合してもよい。その後、ボルト８２９Ａをタンク本体８１１Ａに螺合してもよい。
　以上により、第１フィルタ７５Ａと、第２フィルタ７６Ａとのターゲット生成器８Ａへの組み込みが完了し得る。
３．２．３．２　ターゲット供給装置の動作
　以下において、ターゲット供給装置７Ａの動作について説明する。
　収容空間８１０Ａの内部に固体のターゲット物質２７０が収容されている状態において、ターゲット制御装置７１Ａは、ターゲット生成器８Ａをターゲット物質２７０の融点以上の温度に加熱してもよい。その後、ターゲット制御装置７１Ａは、ターゲット生成器８Ａ内の圧力を第１圧力に調節してもよい。
　この圧力の調節によって、液体のターゲット物質２７０は、第１多孔質フィルタ７５１Ａを通過し得る。ターゲット物質２７０が第１多孔質フィルタ７５１Ａを通過するとき、当該第１多孔質フィルタ７５１Ａは、その貫通細孔の口径よりも大きいパーティクルを捕集し得る。
　第１多孔質フィルタ７５１Ａを通過したターゲット物質２７０は、第２多孔質フィルタ７５２Ａを通過し得る。ターゲット物質２７０が第２多孔質フィルタ７５２Ａを通過するとき、当該第２多孔質フィルタ７５２Ａは、その貫通細孔の口径よりも大きいパーティクルを捕集し得る。
　第２多孔質フィルタ７５２Ａを通過したターゲット物質２７０は、第３多孔質フィルタ７５３Ａを通過し得る。ターゲット物質２７０が第３多孔質フィルタ７５３Ａを通過するとき、当該第３多孔質フィルタ７５３Ａは、その貫通細孔の口径よりも大きいパーティクルを捕集し得る。
　その後、ターゲット物質２７０は、第２フィルタ７６Ａを通過し得る。
　ここで、第２フィルタ７６Ａに到達したターゲット物質２７０には、パーティクルが存在し得る。当該パーティクルは、第１，第２，第３多孔質フィルタ７５１Ａ，７５２Ａ，７５３Ａの形成時あるいはノズル基端部８２Ａへの取り付け時に、第１，第２，第３多孔質フィルタ７５１Ａ，７５２Ａ，７５３Ａに付着した、または第１，第２，第３多孔質フィルタ７５１Ａ，７５２Ａ，７５３Ａで捕集できなかったものであり得る。第２フィルタ７６Ａは、当該パーティクルを捕集し得る。
　第２フィルタ７６Ａに到達したターゲット物質２７０は、第２部材７８Ａの第２貫通孔７８３Ａ内に－Ｚ方向側である矢印７１０Ａの方向から流入し得る。第２貫通孔７８３Ａ内に流入したターゲット物質２７０は、流路７７４Ａを通過し得る。このとき、流路７７４Ａは、当該流路７７４Ａの深さ寸法より大きいパーティクルを捕集し得る。その後、ターゲット物質２７０は、第１貫通孔７７３Ａを通過し、－Ｚ方向側である矢印７１０Ｂの方向へと第２フィルタ７６Ａを通過し、第３貫通孔８３２Ａ内に流入し得る。
　その後、ターゲット制御装置は、ターゲット生成器８Ａ内の圧力を第２圧力に調節して、ターゲット物質２７０をドロップレット２７としてノズル孔８３３Ａから出力してもよい。
　第１実施形態によれば、第２面７８１Ａが第１部材７７Ａの流路７７４Ａを覆うように第２部材７８Ａを配置するだけで、微細なパーティクルを捕集可能な第２フィルタ７６Ａを容易に製造し得る。流路７７４Ａを孔あけ加工して形成する場合と比べて、微細なパーティクルを捕集可能な流路７７４Ａを容易に形成し得る。流路７７４Ａを孔あけ加工して形成する場合と比べて、同じ形状の流路７７４Ａを安定して製造し得る。
　流路７７４Ａの第１領域７７５Ａに流入するターゲット物質２７０を第１空間７７６Ａに流出させるための第１流通部を第１貫通孔７７３Ａで構成したため、第１部材７７Ａを孔あけ加工するだけの簡単な方法で第１流通部を形成し得る。
　第２領域７７８Ａに存在するターゲット物質２７０を流路７７４Ａの第２領域７７８Ａに流入させるための第２流通部を第２貫通孔７８３Ａで構成したため、第２部材７８Ａを孔あけ加工するだけの簡単な方法で第２流通部を形成し得る。
　流路７７４Ａを第１面７７１Ａに形成された溝部で構成しているため、エッチングなどの簡単な方法で流路７７４Ａを形成し得る。
３．３　第２実施形態
３．３．１　概略
　本開示の第２実施形態のフィルタにおいて、第１部材は、圧延によって略板状に形成され、流路は、第１部材の圧延方向と交差する方向に延びるように形成されてもよい。
３．３．２　構成
　図５Ａは、第２実施形態に係る第２フィルタを＋Ｚ方向側から見た構成を概略的に示す。図５Ｂは、図５ＡのＢ－Ｂ線に沿った断面図である。図５Ｃは、第２フィルタの流路を＋Ｚ方向側から見た構成を概略的に示す。
　第２実施形態のターゲット供給装置は、第２フィルタ７６Ｂ以外の構成については、第１実施形態のターゲット供給装置７Ａと同様のものを適用してもよい。
　第２フィルタ７６Ｂは、本開示のフィルタであってもよい。第２フィルタ７６Ｂは、図５Ａおよび図５Ｂに示すように、第１部材７７Ｂと、第２部材７８Ｂとを備えてもよい。
　第１，第２部材７７Ｂ，７８Ｂは、ターゲット物質との反応性が低い材料で略円板状に形成されてもよい。ターゲット物質との反応性が低い材料は、ターゲット物質がスズの場合、モリブデンまたはタングステンであってもよいし、表１で示す材料のうち、いずれかの材料であってもよい。例えば、第１，第２部材７７Ｂ，７８Ｂの厚さ寸法は、約３００μｍであってもよい。また例えば、第１，第２部材７７Ｂ，７８Ｂの直径は、約５ｍｍであってもよい。
　第１部材７７Ｂの中央には、Ｚ軸方向に貫通する略円形の第１貫通孔７７３Ｂが設けられてもよい。例えば、第１貫通孔７７３Ｂの直径は、９００μｍであってもよい。第１部材７７Ｂの＋Ｚ方向側の第１面７７１Ｂには、円形状に窪んだ溝部７７０Ｂが形成されてもよい。例えば、溝部７７０Ｂの直径は、２．１ｍｍであってもよい。また例えば、溝部７７０Ｂの深さ寸法は、３μｍ以下であってもよい。
　溝部７７０Ｂの内部には、複数の第１スペーサ部７７４１Ｂと、複数の第２スペーサ部７７４２Ｂと、複数の第３スペーサ部７７４３Ｂとが設けられてもよい。溝部７７０Ｂと、第１，第２，第３スペーサ部７７４１Ｂ，７７４２Ｂ，７７４３Ｂとは、第１部材７７Ｂの第１面７７１Ｂをエッチングすることにより形成されてもよい。
　第１スペーサ部７７４１Ｂは、第１貫通孔７７３Ｂを中心とした略円環状の領域に設けられてもよい。＋Ｚ方向から見たときの第１スペーサ部７７４１Ｂの形状は、略長方形であってもよい。＋Ｚ方向から見たときの第１スペーサ部７７４１Ｂの延びる方向は、第１部材７７Ｂの圧延方向７６０Ｂと略直交する方向であってもよい。第１スペーサ部７７４１Ｂは、圧延方向７６０Ｂに並ぶように設けられてもよい。第１スペーサ部７７４１Ｂは、第１貫通孔７７３Ｂまで延びてもよい。
　第２スペーサ部７７４２Ｂは、第１スペーサ部７７４１Ｂの＋Ｘ方向側および－Ｘ方向側の領域に設けられてもよい。＋Ｚ方向から見たときの第２スペーサ部７７４２Ｂの形状は、略正方形であってもよい。第２スペーサ部７７４２Ｂは、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に点在してもよい。
　第３スペーサ部７７４３Ｂは、第１スペーサ部７７４１Ｂの＋Ｙ方向側および－Ｙ方向側の領域に設けられてもよい。＋Ｚ方向から見たときの第３スペーサ部７７４３Ｂの形状は、第１貫通孔７７３Ｂ側がＸ軸方向に延びる略直線状であり、第１貫通孔７７３Ｂと反対側が略円弧状であってもよい。
　溝部７７０Ｂにおける互いに隣接する第１スペーサ部７７４１Ｂの間の領域は、圧延方向７６０Ｂと略直交する方向に延びる第１流路７７４Ｂ１を構成し得る。溝部７７０Ｂにおける互いに隣接する第３スペーサ部７７４３Ｂと第１スペーサ部７７４１Ｂとの間の領域は、第１流路７７４Ｂ１を構成し得る。第１流路７７４Ｂ１は、第１貫通孔７７３Ｂの＋Ｘ方向側、－Ｘ方向側、＋Ｙ方向側および－Ｙ方向側に位置し得る。なお、第１流路７７４Ｂ１は、圧延方向７６０Ｂと略直交する方向ではなく、交差する方向に延びてもよい。第１流路７７４Ｂ１が延びる方向と、圧延方向７６０Ｂとのなす角度は、約９０°ではなく、約４５°や約６０°など約０°以外の角度であってもよい。
　溝部７７０Ｂにおける互いに隣接する第２スペーサ部７７４２Ｂの間の領域は、格子状に形成された第２流路７７４Ｂ２を構成し得る。溝部７７０Ｂにおける互いに隣接する第３スペーサ部７７４３Ｂと第２スペーサ部７７４２Ｂの間の領域は、直線状に延びる第２流路７７４Ｂ２を構成し得る。
　溝部７７０Ｂにおける第３スペーサ部７７４３Ｂおよび第２スペーサ部７７４２Ｂより外側の領域は、第３流路７７４Ｂ３を構成し得る。第３流路７７４Ｂ３は、第１貫通孔７７３Ｂと同心状の略円環状に形成され得る。
　第１流路７７４Ｂ１と、第２流路７７４Ｂ２と、第３流路７７４Ｂ３とは、流路７７４Ｂを構成してもよい。
　例えば、第１流路７７４Ｂ１および第２流路７７４Ｂ２の幅寸法は、３０μｍであってもよい。第１流路７７４Ｂ１および第２流路７７４Ｂ２の幅寸法は、異なっていてもよい。また例えば、第３流路７７４Ｂ３の幅寸法は、２００μｍであってもよい。
　第１，第２，第３流路７７４Ｂ１，７７４Ｂ２，７７４Ｂ３の深さ寸法は、溝部７７０Ｂの深さ寸法と同じであってよい。第１，第２，第３流路７７４Ｂ１，７７４Ｂ２，７７４Ｂ３の深さ寸法は、第１面７７１Ｂに直交する方向の寸法であってよい。第１，第２，第３流路７７４Ｂ１，７７４Ｂ２，７７４Ｂ３の深さ寸法は、第３多孔質フィルタ７５３Ａを通過したパーティクルの寸法より小さくなり得る。これにより、流路７７４Ｂは、パーティクルを捕集し得る。
　流路７７４Ｂにおける第１流路７７４Ｂ１の第１貫通孔７７３Ｂ側の端部は、第１領域７７５Ｂであってもよい。これにより、図５Ｂに示すように、第１貫通孔７７３Ｂは、第１面７７１Ｂと、第１面７７１Ｂと反対側の第３面７７２Ｂ側の第１空間７７６Ｂとの間を、流路７７４Ｂの第１領域７７５Ｂを介して流体としてのターゲット物質を流通させるための第１流通部を構成し得る。第２実施形態では、第１貫通孔７７３Ｂは、流路７７４Ｂの第１領域７７５Ｂに流入するターゲット物質を第１空間７７６Ｂに流出させるための第１流通部を構成し得る。
　第１部材７７Ｂの第１面７７１Ｂにおける流路７７４Ｂの外側には、平面部７７７Ｂが設けられてもよい。平面部７７７Ｂは、流路７７４Ｂを囲む円環状に設けられてもよい。平面部７７７Ｂは、第１面７７１Ｂにおけるエッチングされていない領域であってもよい。平面部７７７Ｂおよび第３面７７２Ｂは、研磨されてもよい。
　第２部材７８Ｂは、図５Ａおよび図５Ｂに示すように、第１部材７７Ｂに重なるように配置されてもよい。第２部材７８Ｂは、第２面７８１Ｂが第１部材７７Ｂの流路７７４Ｂを覆うように配置されてもよい。
　第２部材７８Ｂには、Ｚ軸方向に貫通する８個の略円形の第２貫通孔７８３Ｂが設けられてもよい。例えば、第２貫通孔７８３Ｂの直径は、４０μｍであってもよい。第２貫通孔７８３Ｂは、第２部材７８Ｂの外周方向に沿って略等しい間隔で設けられてもよい。これにより、第２貫通孔７８３Ｂは、第２部材７８Ｂの中心に対して点対称に設けられ得る。第２貫通孔７８３Ｂは、第２部材７８Ｂが第１部材７７Ｂに重ねられて配置されたときに、第１貫通孔７７３Ｂの開口内に位置しないように設けられてもよい。このとき、第２貫通孔７８３Ｂの開口内に、流路７７４Ｂの一部が位置してもよい。第２貫通孔７８３Ｂの開口内に位置する流路７７４Ｂの一部は、第２領域７７８Ｂであってもよい。第２領域７７８Ｂは、第３流路７７４Ｂ３を含んでもよい。これにより、第２貫通孔７８３Ｂは、第２面７８１Ｂと、第２面７８１Ｂと反対側の第４面７８２Ｂ側の第２空間７８４Ｂとの間を、流路７７４Ｂの第２領域７７８Ｂを介して、ターゲット物質を流通させるための第２流通部を構成し得る。第２実施形態では、第２貫通孔７８３Ｂは、第２空間７８４Ｂに存在するターゲット物質を流路７７４Ｂの第２領域７７８Ｂに流入させるための第２流通部を構成し得る。第２面７８１Ｂおよび第４面７８２Ｂは、研磨されてもよい。
３．３．３　動作
　次に、フィルタの製造方法、フィルタの組み込み、およびターゲット供給装置の動作について説明する。
　以下において、第１実施形態と同様の動作については、説明を省略する。
３．３．３．１　フィルタの製造方法とフィルタの組み込み
　図６は、第１部材の製造方法を概略的に示す。図７は、第２部材の製造方法を概略的に示す。まず、第１部材７７Ｂの製造方法について説明する。
　図６に示すように、モリブデンで形成されたプレート１００Ｂを準備してもよい。プレート１００Ｂは、バルク状のモリブデンが圧延されることにより形成されてもよい。図６における上下方向が、プレート１００Ｂの圧延方向７６０Ｂと略一致してもよい。例えば、プレート１００Ｂは、１００ｍｍ四方の正方形であってもよい。
　プレート１００Ｂの第１面１０１Ｂに、流路７７４Ｂを形成するためのマスキングを設けてもよい。マスキングは、複数の第１部材７７Ｂの流路７７４Ｂを形成できるように構成されてもよい。ウェットエッチング法により、プレート１００Ｂの第１面１０１Ｂをエッチングしてもよい。これにより、第１面１０１Ｂには、図５Ｃにおける第１流路７７４Ｂ１が形成され、複数の流路７７４Ｂが形成され得る。流路７７４Ｂの略中央には、十字状のマーカ１０２Ｂが形成され得る。
　プレート１００Ｂから複数の第１部材７７Ｂを切り出してもよい。第１部材７７Ｂの略中央に孔あけ加工を施すことで、第１貫通孔７７３Ｂを形成してもよい。このとき、マーカ１０２Ｂを目印にして孔あけ加工を施してもよい。
　第１部材７７Ｂの両面を研磨し、洗浄してもよい。以上により、第１部材７７Ｂの製造が完了し得る。第１部材７７Ｂの両面研磨は、エッチングおよび孔あけ加工に先立って行ってもよい。また、孔あけ加工はエッチングに先立って行ってもよい。
　ここで、流路７７４Ｂの第１流路７７４Ｂ１は、圧延方向７６０Ｂと略直交する方向に延び得る。プレート１００Ｂをウェットエッチング法でエッチングすると、プレート１００Ｂの圧延方向７６０Ｂに依存する組織によってエッチングされた面の面荒れを起こし得る。この面荒れにより、第１流路７７４Ｂ１の底面部には、圧延方向７６０Ｂに沿って延びる微細な溝が形成され得る。第１流路７７４Ｂ１における微細な溝が形成された部分の深さ寸法は、微細な溝が形成されていない部分の深さ寸法より大きくなり得る。
　第１流路７７４Ｂ１が延びる方向が圧延方向７６０Ｂと平行な場合、第１流路７７４Ｂ１が延びる方向に沿って底面部の微細な溝が連続的に形成され得る。これにより、第１流路７７４Ｂ１における微細な溝が形成されていない部分で捕集し得るパーティクルが、微細な溝が形成された部分を通過し、第１貫通孔７７３Ａに流入し得る。
　第１流路７７４Ｂ１が延びる方向が圧延方向７６０Ｂと略直交する場合、または、交差する場合、微細な溝が底面部の幅方向の一方側から他方側に延びるため、第１流路７７４Ｂ１が延びる方向に沿って、底面部の微細な溝が連続的に設けられることを抑制し得る。これにより、第１流路７７４Ｂ１における微細な溝が形成されていない部分で捕集し得るパーティクルが、第１貫通孔７７３Ａに流入することを抑制し得る。
　第２部材７８Ｂの製造方法について説明する。
　まず、図７に示すように、モリブデンで形成されたプレート１１０Ｂを準備してもよい。プレート１１０Ｂは、プレート１００Ｂと同様の方法により形成されてもよい。例えば、プレート１１０Ｂは、１００ｍｍ四方の正方形であってもよい。
　プレート１１０Ｂから複数の第２部材７８Ｂを切り出してもよい。第２部材７８Ｂの複数箇所に、孔あけ加工を施すことで、第２貫通孔７８３Ｂを形成してもよい。
　第２部材７８Ｂの両面を研磨し、洗浄してもよい。以上により、第２部材７８Ｂの製造が完了し得る。
　第２フィルタ７６Ｂの製造方法について説明する。
　第２部材７８Ｂの第２面７８１Ｂが第１部材７７Ｂの流路７７４Ｂを覆うように、第２部材７８Ｂを第１部材７７Ｂ上に配置してもよい。このとき、第１部材７７Ｂと第２部材７８Ｂとを拡散接合してもよい。これにより、深さ寸法が３μｍ以下の流路７７４Ｂを有する第２フィルタ７６Ｂが製造され得る。このとき、第２貫通孔７８３Ｂが第２部材７８Ｂの中心を中心に点対称に設けられているため、第１部材７７Ｂに対する第２部材７８Ｂの配置位置が回転方向にずれても、第２貫通孔７８３Ｂの開口内に第３流路７７４Ｂ３が位置し、ターゲット物質が第２フィルタ７６Ｂを流通し得る。第１，第２面７７１Ｂ，７８１Ｂを研磨しているため、第１面７７１Ｂと第２面７８１Ｂとの隙間が小さくなり得る。なお、第２実施形態においては、第１部材と第２部材との拡散接合は必須でなくともよい。
　次に、第２フィルタ７６Ｂのターゲット生成器８Ａへの組み込みについて説明する。
　ノズル基端部８２Ａとノズル先端部８３Ａとの間に第２フィルタ７６Ｂを取り付けてもよい。
　これにより、第２部材７８Ｂの８個の第２貫通孔７８３Ｂが第２貫通孔８２２Ａの開口内に位置し、第２貫通孔８２２Ａの内部が第２空間７８４Ｂとなり得る。第１部材７７Ｂの第１貫通孔７７３Ｂが第３貫通孔８３２Ａの＋Ｚ方向側の開口内に位置し、第３貫通孔８３２Ａの内部が第１空間７７６Ｂとなり得る。
３．３．３．２　ターゲット供給装置の動作
　ターゲット生成器８Ａがターゲット物質の融点以上の温度に加熱されている状態で、当該ターゲット生成器８Ａ内の圧力が調節されると、パーティクルが第１フィルタ７５Ａで捕集されたターゲット物質が、第２フィルタ７６Ｂを通過し得る。
　第２フィルタ７６Ｂに到達したターゲット物質は、第２部材７８Ｂの第２貫通孔７８３Ｂ内に流入し得る。第２貫通孔７８３Ｂ内に流入したターゲット物質は、流路７７４Ｂを第３流路７７４Ｂ３、第２流路７７４Ｂ２、第１流路７７４Ｂ１の順序で通過し得る。このとき、流路７７４Ｂは、当該流路７７４Ｂの深さ寸法より大きいパーティクルを捕集し得る。第１，第２，第３スペーサ部７７４１Ｂ，７７４２Ｂ，７７４３Ｂの上端が第２面７８１Ｂに当接するため、第４面７８２Ｂに圧力がかかっても、流路７７４Ｂがつぶされることが抑制され得る。その後、ターゲット物質は、第１貫通孔７７３Ｂを通過し、第３貫通孔８３２Ａ内に流入し得る。
　上述のように、第２実施形態によれば、第１流路７７４Ｂ１が延びる方向を圧延方向７６０Ｂと略直交する方向、または、交差する方向に設定しているため、圧延方向７６０Ｂと平行な方向に設定する場合と比べて、微細なパーティクルを捕集し得る。
３．４　第３実施形態
３．４．１　構成
　図８Ａは、第３実施形態に係る第２フィルタを＋Ｚ方向側から見た構成を概略的に示す。図８Ｂは、図８ＡのＢ－Ｂ線に沿った断面図である。図８Ｃは、第２フィルタの流路を＋Ｚ方向側から見た構成を概略的に示す。
　第３実施形態のターゲット供給装置は、第２フィルタ７６Ｃ以外の構成については、第１実施形態のターゲット供給装置７Ａと同様のものを適用してもよい。
　第２フィルタ７６Ｃは、本開示のフィルタであってもよい。第２フィルタ７６Ｃは、図８Ａおよび図８Ｂに示すように、第１部材７７Ｃと、第２部材７８Ｂとを備えてもよい。
　第１部材７７Ｃは、第１部材７７Ｂと同様に、ターゲット物質との反応性が低い材料で略円板状に形成されてもよい。第１部材７７Ｃの厚さ寸法は、例えば約３００μｍであってもよい。第１部材７７Ｃの直径は、例えば約５ｍｍであってもよい。
　第１部材７７Ｃの中央には、上下方向に貫通する略円形の第１貫通孔７７３Ｃが設けられてもよい。第１貫通孔７７３Ｃの直径は、例えば６００μｍであってもよい。第１部材７７Ｃの＋Ｚ方向側の第１面７７１Ｃには、第１溝部７７０Ｃ１と、第２溝部７７０Ｃ２とが形成されてもよい。第１溝部７７０Ｃ１は、例えば直径が２．６ｍｍの円形状であってもよい。第２溝部７７０Ｃ２は、第１溝部７７０Ｃ１の外縁から放射状に延びるように設けられてもよい。第２溝部７７０Ｃ２は、第１溝部７７０Ｃ１の外周方向に沿って略等しい間隔で設けられてもよい。第１，第２溝部７７０Ｃ１，７７０Ｃ２の深さ寸法は、例えば３μｍ以下であってもよい。
　第１溝部７７０Ｃ１の内部には、複数の第１スペーサ部７７４１Ｃと、複数の第２スペーサ部７７４２Ｃとが設けられてもよい。第１，第２溝部７７０Ｃ１，７７０Ｃ２と、第１，第２スペーサ部７７４１Ｃ，７７４２Ｃとは、第１部材７７Ｃの第１面７７１Ｃをエッチングすることにより形成されてもよい。
　第１スペーサ部７７４１Ｃは、第１貫通孔７７３Ｃを中心とした略円環状の領域に設けられてもよい。第１スペーサ部７７４１Ｃは、第１貫通孔７７３Ｃから所定距離離れた位置から放射状に延びるように設けられてもよい。第１スペーサ部７７４１Ｃは、第１貫通孔７７３Ｃの外周方向に沿って略等しい間隔で設けられてもよい。
　第２スペーサ部７７４２Ｃは、第１スペーサ部７７４１Ｃを囲む略円環状の領域に設けられてもよい。第２スペーサ部７７４２Ｃは、第１スペーサ部７７４１Ｃから所定距離離れた位置から放射状に延びるように設けられてもよい。第２スペーサ部７７４２Ｃは、第１貫通孔７７３Ｃの外周方向に沿って略等しい間隔で設けられてもよい。
　第１溝部７７０Ｃ１における第１スペーサ部７７４１Ｃより第１貫通孔７７３Ｃ側の略円環状の領域は、第１流路７７４Ｃ１を構成し得る。第１溝部７７０Ｃ１における互いに隣接する第１スペーサ部７７４１Ｃの間の領域は、放射状の第２流路７７４Ｃ２を構成し得る。第１溝部７７０Ｃ１における互いに隣接する第１スペーサ部７７４１Ｃと第２スペーサ部７７４２Ｃとの間の領域は、略円形状の第３流路７７４Ｃ３を構成し得る。第１溝部７７０Ｃ１における互いに隣接する第２スペーサ部７７４２Ｃの間の領域は、放射状の第４流路７７４Ｃ４を構成し得る。第１溝部７７０Ｃ１における第２スペーサ部７７４２Ｃより外側の略円環状の領域は、第５流路７７４Ｃ５を構成し得る。
　第２溝部７７０Ｃ２と、第１流路７７４Ｃ１と、第２流路７７４Ｃ２と、第３流路７７４Ｃ３と、第４流路７７４Ｃ４と、第５流路７７４Ｃ５とは、流路７７４Ｃを構成してもよい。
　第２溝部７７０Ｃ２の幅寸法は、例えば７０μｍ～１００μｍであってもよい。第１流路７７４Ｃ１の幅寸法は、例えば１５０μｍであってもよい。第２，第３流路７７４Ｃ２，７７４Ｃ３の幅寸法は、例えば１０μｍであってもよい。第４流路７７４Ｃ４の幅寸法は、例えば４０μｍ～６０μｍであってもよい。第５流路７７４Ｃ５の幅寸法は、例えば１００μｍであってもよい。
　第２溝部７７０Ｃ２の深さ寸法と、第１～第５流路７７４Ｃ１～７７４Ｃ５の深さ寸法は、第１溝部７７０Ｃ１の深さ寸法と同じであってよい。第１～第５流路７７４Ｃ１～７７４Ｃ５の深さ寸法は、第３多孔質フィルタ７５３Ａを通過したパーティクルの寸法より小さくなり得る。これにより、流路７７４Ｃは、微細なパーティクルを捕集し得る。
　流路７７４Ｃにおける第１流路７７４Ｃ１は、第１領域７７５Ｃであってもよい。これにより、図８Ｃに示すように、第１貫通孔７７３Ｃは、第１面７７１Ｃと、第１面７７１Ｃと反対側の第３面７７２Ｃ側の第１空間７７６Ｃとの間を、流路７７４Ｃの第１領域７７５Ｃを介して流体としてのターゲット物質を流通させるための第１流通部を構成し得る。第３実施形態では、第１貫通孔７７３Ｃは、流路７７４Ｃの第１領域７７５Ｃに流入するターゲット物質を第１空間７７６Ｃに流出させるための第１流通部を構成し得る。
　第１部材７７Ｃの第１面７７１Ｃにおける流路７７４Ｃの外側には、図８Ｃに示すように、平面部７７７Ｃが設けられてもよい。平面部７７７Ｃは、円環状の部分と、当該円環状の内縁から放射状に延びる部分とで構成されてもよい。平面部７７７Ｃは、第１面７７１Ｃにおけるエッチングされていない領域であってもよい。平面部７７７Ｃおよび第３面７７２Ｃは、研磨されてもよい。
　第２部材７８Ｂの第２貫通孔７８３Ｂは、第２部材７８Ｂが第１部材７７Ｃ上に配置されたときに、第１貫通孔７７３Ｃの開口内に位置しないように設けられてもよい。このとき、第２貫通孔７８３Ｂの開口内に、流路７７４Ｃの一部が位置してもよい。第２貫通孔７８３Ｂの開口内に位置する流路７７４Ｃの一部は、第２領域７７８Ｃであってもよい。第２領域７７８Ｃは、第２溝部７７０Ｃ２、第４，第５流路７７４Ｃ４，７７４Ｃ５の一部を含んでもよい。これにより、第２貫通孔７８３Ｂは、第２面７８１Ｂと、第２面７８１Ｂと反対側の第４面７８２Ｂ側の第２空間７８４Ｂとの間を、流路７７４Ｃの第２領域７７８Ｃを介してターゲット物質を流通させるための第２流通部を構成し得る。第３実施形態では、第２貫通孔７８３Ｂは、第２実施形態と同様の第２流通部を構成し得る。
３．４．２　動作
　次に、フィルタの製造方法、フィルタの組み込みおよびターゲット生成器の動作について説明する。
　以下において、第１実施形態および第２実施形態と同様の動作については、説明を省略する。
３．４．２．１　フィルタの製造方法とフィルタの組み込み
　まず、第１貫通孔７７３Ｃおよび流路７７４Ｃが形成された第１部材７７Ｃと、第２貫通孔７８３Ｂが形成された第２部材７８Ｂを製造してもよい。第１部材７７Ｃは、ウェットエッチング法の代わりにドライエッチング法を用いること以外は、第１部材７７Ｂと同様の方法で製造されてもよい。第２部材７８Ｂの第２面７８１Ｂが第１部材７７Ｃの流路７７４Ｃを覆うように、第２部材７８Ｂを第１部材７７Ｃに重ねて配置してもよい。このとき、第１部材７７Ｃと第２部材７８Ｂとを拡散接合してもよい。これにより、深さ寸法が３μｍ以下の流路７７４Ｃを有する第２フィルタ７６Ｃが形成され得る。このとき、第２貫通孔７８３Ｂが第２部材７８Ｂの中心を中心に点対称に設けられているため、第１部材７７Ｃに対する第２部材７８Ｂの配置位置が回転方向にずれても、第２貫通孔７８３Ｂの開口内に第２溝部７７０Ｃ２、第４，第５流路７７４Ｃ４，７７４Ｃ５の一部が位置し、ターゲット物質が第２フィルタ７６Ｃを流通し得る。第１，第２面７７１Ｃ，７８１Ｂを研磨しているため、第１面７７１Ｃと第２面７８１Ｂとの隙間が小さくなり得る。なお、第３実施形態においては、第１部材と第２部材との拡散接合は必須でなくともよい。
　次に、第２フィルタ７６Ｃのターゲット生成器８Ａへの組み込みについて説明する。ノズル基端部８２Ａとノズル先端部８３Ａとの間に第２フィルタ７６Ｃを取り付けてもよい。
　これにより、第２部材７８Ｂの８個の第２貫通孔７８３Ｂが第２貫通孔８２２Ａの開口内に位置し、第２貫通孔８２２Ａの内部が第２空間７８４Ｂとなり得る。第１部材７７Ｃの第１貫通孔７７３Ｃが第３貫通孔８３２Ａの＋Ｚ方向側の開口内に位置し、第３貫通孔８３２Ａの内部が第１空間７７６Ｃとなり得る。
３．４．２．２　ターゲット供給装置の動作
　ターゲット生成器８Ａがターゲット物質の融点以上の温度に加熱されている状態で、当該ターゲット生成器８Ａ内の圧力が調節されると、パーティクルが第１フィルタ７５Ａで捕集されたターゲット物質が、第２フィルタ７６Ｃを通過し得る。
　第２フィルタ７６Ｃに到達したターゲット物質は、第２部材７８Ｂの第２貫通孔７８３Ｂ内に流入し得る。第２貫通孔７８３Ｂ内に流入したターゲット物質は、流路７７４Ｃを第２溝部７７０Ｃ２、第５流路７７４Ｃ５、第４流路７７４Ｃ４、第３流路７７４Ｃ３、第２流路７７４Ｃ２、第１流路７７４Ｃ１の順序で通過し得る。このとき、流路７７４Ｃは、当該流路７７４Ｃの深さ寸法より大きいパーティクルを捕集し得る。第１，第２スペーサ部７７４１Ｃ，７７４２Ｃの上端が第２面７８１Ｂに当接するため、第４面７８２Ｂに圧力がかかっても、流路７７４Ｃがつぶされることが抑制され得る。その後、ターゲット物質は、第１貫通孔７７３Ｃを通過し、第３貫通孔８３２Ａ内に流入し得る。
３．５　第４実施形態
３．５．１　概略
　本開示の第４実施形態のフィルタにおいて、第１面には、柱状のスペーサが配置され、流路は、互いに隣接するスペーサの間の領域で構成されてもよい。
　本開示の第４実施形態のフィルタにおいて、第１部材は、第１面の一部が第２面からはみ出すように配置され、流路は、第２部材の外縁に対応する位置まで形成され、第２流通部は、第２面からはみ出した第１面の一部と第２部材の外縁とに面する側方空間で構成されてもよい。
３．５．２　構成
　図９Ａは、第４実施形態に係る第２フィルタを＋Ｚ方向側から見た構成を概略的に示す。図９Ｂは、図９ＡのＢ－Ｂ線に沿った断面図である。
　第４実施形態のターゲット供給装置は、第２フィルタ７６Ｄ以外の構成については、第１実施形態のターゲット供給装置７Ａと同様のものを適用してもよい。
　第２フィルタ７６Ｄは、本開示のフィルタであってもよい。第２フィルタ７６Ｄは、図９Ａおよび図９Ｂに示すように、第１部材７７Ｄと、第２部材７８Ｄとを備えてもよい。
　第１，第２部材７７Ｄ，７８Ｄは、ターゲット物質との反応性が低い材料で略円板状に形成されてもよい。第１，第２部材７７Ｄ、７８Ｄの厚さ寸法は、例えば約３００μｍであってもよい。
　第１部材７７Ｄの直径は、例えば約５ｍｍであってもよい。第１部材７７Ｄの中央には、上下方向に貫通する略円形の第１貫通孔７７３Ｄが設けられてもよい。第１部材７７Ｄの＋Ｚ方向側の第１面７７１Ｄには、複数のスペーサ７７４１Ｄが配置されてもよい。スペーサ７７４１Ｄは、柱状であってもよい。スペーサ７７４１Ｄは、第１部材７７Ｄと別体で構成されてもよいし、第１部材７７Ｄと一体的に構成されてもよい。スペーサ７７４１Ｄは、第１貫通孔７７３Ｄを中心とした略円環状の領域に点在してもよい。
　第１部材７７Ｄの第１面７７１Ｄ上の互いに隣接するスペーサ７７４１Ｄの間の領域は、流路７７４Ｄを構成し得る。流路７７４Ｄの幅寸法は、例えば１０μｍ～１５０μｍであってもよい。流路７７４Ｄの深さ寸法は、例えば３μｍ以下であってもよい。これにより、流路７７４Ｄは、微細なパーティクルを捕集し得る。第１面７７１Ｄおよび第３面７７２Ｄは、研磨されてもよい。
　第２部材７８Ｄの直径は、第１部材７７Ｄの直径より小さくてもよい。これにより、第１部材７７Ｄは、第１面７７１Ｄの一部が第２面７８１Ｄからはみ出すように配置され得る。第２部材７８Ｄは、第１部材７７Ｄのスペーサ７７４１Ｄに重ねられて配置されたときに、複数のスペーサ７７４１Ｄが－Ｚ方向側の第２面７８１Ｄに接触するように設けられてもよい。
　流路７７４Ｄにおける第１貫通孔７７３Ｄ側の端部は、第１領域７７５Ｄであってもよい。これにより、図９Ｂに示すように、第１貫通孔７７３Ｄは、第１面７７１Ｄと、第１面７７１Ｄと反対側の第３面７７２Ｄ側の第１空間７７６Ｄとの間を、流路７７４Ｄの第１領域７７５Ｄを介して流体としてのターゲット物質を流通させるための第１流通部を構成し得る。第４実施形態では、第１貫通孔７７３Ｄは、流路７７４Ｄの第１領域７７５Ｄに流入するターゲット物質を第１空間７７６Ｄに流出させるための第１流通部を構成し得る。
　流路７７４Ｄにおける第２部材７８Ｄの外縁側の端部は、第２領域７７８Ｄであってもよい。これにより、第１面７７１Ｄにおける第２面７８１Ｄの外側にはみ出した部分と、第２部材７８Ｄの外縁とに面する側方空間７６２Ｄは、第２面７８１Ｄと、第２面７８１Ｄと反対側の第４面７８２Ｄ側の第２空間７８４Ｄとの間を、流路７７４Ｄの第２領域７７８Ｄを介してターゲット物質を流通させるための第２流通部を構成し得る。第４実施形態では、側方空間７６２Ｄは、第２空間７８４Ｄに存在するターゲット物質を流路７７４Ｄの第２領域７７８Ｄに流入させるための第２流通部を構成し得る。第２面７８１Ｄおよび第４面７８２Ｄは、研磨されてもよい。
３．５．３　動作
　次に、フィルタの製造方法、フィルタの組み込みおよびターゲット生成器の動作について説明する。
　以下において、第１実施形態および第２実施形態と同様の動作については、説明を省略する。
３．５．３．１　フィルタの製造方法とフィルタの組み込み
　まず、第１貫通孔７７３Ｄが形成された第１部材７７Ｄを製造してもよい。第１部材７７Ｄの第１面７７１Ｄにスペーサ７７４１Ｄを配置することで、流路７７４Ｄを形成してもよい。第２部材７８Ｄを製造してもよい。第２部材７８Ｄの第２面７８１Ｄが第１部材７７Ｄの流路７７４Ｄを覆うように、第２部材７８Ｄを第１部材７７Ｄに重ねられて配置してもよい。このとき、第１部材７７Ｄと第２部材７８Ｄとを拡散接合してもよい。これにより、深さ寸法が例えば３μｍ以下の流路７７４Ｄを有する第２フィルタ７６Ｄが形成され得る。
　次に、第２フィルタ７６Ｄのターゲット生成器８Ａへの組み込みについて説明する。ノズル基端部８２Ａとノズル先端部８３Ａの間に第２フィルタ７６Ｄを取り付けてもよい。
　これにより、第２フィルタ７６Ｄの側方空間７６２Ｄが第２貫通孔８２２Ａの開口内に位置し、第２貫通孔８２２Ａの内部が第２空間７８４Ｄとなり得る。第１部材７７Ｄの第１貫通孔７７３Ｄが第３貫通孔８３２Ａの＋Ｚ方向側の開口内に位置し、第３貫通孔８３２Ａの内部が第１空間７７６Ｄとなり得る。
３．５．３．２　ターゲット供給装置の動作
　ターゲット生成器８Ａがターゲット物質の融点以上の温度に加熱されている状態で、当該ターゲット生成器８Ａ内の圧力が調節されると、パーティクルが第１フィルタ７５Ａで捕集されたターゲット物質が、第２フィルタ７６Ｄを通過し得る。
　第２フィルタ７６Ｄに到達したターゲット物質は、側方空間７６２Ｄを介して流路７７４Ｄ内に流入し得る。このとき、流路７７４Ｄは、当該流路７７４Ｄの深さ寸法より大きいパーティクルを捕集し得る。スペーサ７７４１Ｄの上端が第２面７８１Ｄに当接するため、第４面７８２Ｄに圧力がかかっても、流路７７４Ｄがつぶされることが抑制され得る。その後、ターゲット物質は、第１貫通孔７７３Ｄを通過し、第３貫通孔８３２Ａ内に流入し得る。
　第４実施形態によれば、互いに隣接するスペーサ７７４１Ｄの間の領域で流路７７４Ｄを構成したため、第１部材７７Ｄを孔あけ加工することなく流路７７４Ｄを容易に形成し得る。
　第２流通部を、第１面７７１Ｄにおける第２面７８１Ｄの外側にはみ出した部分と、第２部材７８Ｄの外縁とに面する側方空間７６２Ｄで構成したため、第２部材７８Ｄを孔あけ加工することなく第２流通部を容易に形成し得る。
３．６　第５実施形態
３．６．１　概略
　本開示の第５実施形態のフィルタにおいて、第２貫通孔は、第２部材の略中心を貫通するように形成されてもよい。
　本開示の第５実施形態のフィルタにおいて、第２部材は、第２面の一部が第１面からはみ出すように配置され、流路は、第１部材の外縁まで形成され、第１流通部は、第１面からはみ出した第２面の一部と第１部材の外縁とに面する側方空間で構成されてもよい。
３．６．２　構成
　図１０Ａは、第５実施形態に係る第２フィルタを＋Ｚ方向側から見た構成を概略的に示す。図１０Ｂは、図１０ＡのＢ－Ｂ線に沿った断面図である。
　第５実施形態のターゲット供給装置は、第２フィルタ７６Ｅ以外の構成については、第１実施形態のターゲット供給装置７Ａと同様のものを適用してもよい。
　第２フィルタ７６Ｄは、本開示のフィルタであってもよい。第２フィルタ７６Ｅは、図１０Ａおよび図１０Ｂに示すように、第１部材７７Ｅと、第２部材７８Ｅとを備えてもよい。第１部材７７Ｅおよび第２部材７８Ｅは、略円板状に形成されてもよい。
　第１部材７７Ｅの－Ｚ方向側の第１面７７１Ｅには、複数の流路７７４Ｅが形成されてもよい。流路７７４Ｅは、第１面７７１Ｅに形成された溝部で構成されてもよい。流路７７４Ｅは、第１部材７７Ｅの外縁と後述する貫通孔７８３Ｅとを連通するように設けられてもよい。流路７７４Ｅは、放射状に設けられてもよい。流路７７４Ｅの深さ寸法は、例えば３μｍ以下であってもよい。これにより、流路７７４Ｅは、パーティクルを捕集し得る。
　第２部材７８Ｅの直径は、第１部材７７Ｅの直径より大きくてもよい。これにより、第２部材７８Ｅは、第２面７８１Ｅの一部が第１面７７１Ｅからはみ出すように配置され得る。第２部材７８Ｅは、第１部材７７Ｅの下側に重なるように配置されてもよい。第２部材７８Ｅは、第２面７８１Ｅが流路７７４Ｅを覆うように配置されてもよい。第２部材７８Ｅの中央には、略円形の貫通孔７８３Ｅが設けられてもよい。貫通孔７８３Ｅは、本開示の第２貫通孔であってもよい。
　流路７７４Ｅにおける第２部材７８Ｅの外縁側の端部は、第１領域７７５Ｅであってもよい。これにより、第２面７８１Ｅにおける第１面７７１Ｅの外側にはみ出した部分と、第１部材７７Ｅの外縁とに面する側方空間７６１Ｅは、第１面７７１Ｅと、第１面７７１Ｅと反対側の第３面７７２Ｅ側の第１空間７７６Ｅとの間を、流路７７４Ｅの第１領域７７５Ｅを介してターゲット物質を流通させるための第１流通部を構成し得る。第５実施形態では、側方空間７６１Ｅは、第１空間７７６Ｅに存在するターゲット物質を流路７７４Ｅの第１領域７７５Ｅに流入させるための第１流通部を構成し得る。
　流路７７４Ｅにおける貫通孔７８３Ｅ側の端部は、第２領域７７８Ｅであってもよい。これにより、貫通孔７８３Ｅは、第２面７８１Ｅと、第２面７８１Ｅと反対側の第４面７８２Ｅ側の第２空間７８４Ｅとの間を、流路７７４Ｅの第２領域７７８Ｅを介してターゲット物質を流通させるための第２流通部を構成し得る。第５実施形態では、貫通孔７８３Ｅは、流路７７４Ｅの第２領域７７８Ｅに流入するターゲット物質を第２空間７８４Ｅに流出させるための第２流通部を構成し得る。
３．６．３　動作
　次に、フィルタの製造方法、フィルタの組み込み及びターゲット生成器の動作について説明する。
　以下において、第１実施形態および第２実施形態と同様の動作については、説明を省略する。
３．６．３．１　フィルタの製造方法とフィルタの組み込み
　まず、流路７７４Ｅが形成された第１部材７７Ｅを製造してもよい。貫通孔７８３Ｅが形成された第２部材７８Ｅを製造してもよい。第２部材７８Ｅの第２面７８１Ｅが第１部材７７Ｅの流路７７４Ｅを覆うように、第１部材７７Ｅを第２部材７８Ｅに重ねられて配置してもよい。このとき、第１部材７７Ｅと第２部材７８Ｅとを拡散接合してもよい。これにより、深さ寸法が例えば３μｍ以下の流路７７４Ｅを有する第２フィルタ７６Ｅが形成され得る。
　次に、第２フィルタ７６Eのターゲット生成器８Ａへの組み込みについて説明する。ノズル基端部８２Ａとノズル先端部８３Ａの間に第２フィルタ７６Ｅを取り付けてもよい。
　これにより、第２フィルタ７６Ｅの側方空間７６１Ｅが第２貫通孔８２２Ａの開口内に位置し、第２貫通孔８２２Ａの内部が第１空間７７６Ｅとなり得る。第２部材７８Ｅの貫通孔７８３Ｅが第３貫通孔８３２Ａの＋Ｚ方向側の開口内に位置し、第３貫通孔８３２Ａの内部が第２空間７８４Ｅとなり得る。
３．６．３．２　ターゲット供給装置の動作
　ターゲット生成器８Ａがターゲット物質の融点以上の温度に加熱されている状態で、当該ターゲット生成器８Ａ内の圧力が調節されると、パーティクルが第１フィルタ７５Ａで捕集されたターゲット物質が、第２フィルタ７６Ｅを通過し得る。
　第２フィルタ７６Ｅに到達したターゲット物質は、側方空間７６１Ｅを介して流路７７４Ｅ内に流入し得る。このとき、流路７７４Ｅは、当該流路７７４Ｅの深さ寸法より大きいパーティクルを捕集し得る。その後、ターゲット物質は、貫通孔７８３Ｅを通過し、第３貫通孔８３２Ａ内に流入し得る。
　第５実施形態によれば、第１流通部を、第２面７８１Ｅにおける第１面７７１Ｅの外側にはみ出した部分と、第１部材７７Ｅの外縁とに面する側方空間７６１Ｅで構成したため、第１部材７７Ｅを孔あけ加工することなく第１流通部を容易に形成し得る。
３．７　第６実施形態
３．７．１　概略
　本開示の第６実施形態のフィルタにおいて、第１部材は、第１板状部材と、第１板状部材と重ねて配置された第２板状部材とから構成され、流路は、第２板状部材を貫通する第３貫通孔により構成されてもよい。
３．７．２　構成
　図１１Ａは、第６実施形態に係る第２フィルタを＋Ｚ方向側から見た構成を概略的に示す。図１１Ｂは、図１１ＡのＢ－Ｂ線に沿った断面図である。図１１Ｃは、第２フィルタの流路の変形例を概略的に示す。
　第６実施形態のターゲット供給装置は、第２フィルタ７６Ｆ以外の構成については、第１実施形態のターゲット供給装置７Ａと同様のものを適用してもよい。
　第２フィルタ７６Ｆは、本開示のフィルタであってもよい。第２フィルタ７６Ｆは、図１１Ａおよび図１１Ｂに示すように、第１部材７７Ｆと、第２部材７８Ｆとを備えてもよい。
　第１，第２部材７７Ｆ，７８Ｆは、ターゲット物質との反応性が低い材料で略円板状に形成されてもよい。第１，第２部材７７Ｆ，７８Ｆの厚さ寸法は、例えば約３００μｍであってもよい。第１，第２部材７７Ｆ，７８Ｆの直径は、例えば約５ｍｍであってもよい。
　第１部材７７Ｆは、第１板状部材７７Ｆ１と、第２板状部材７７Ｆ２とを備えてもよい。
　第１板状部材７７Ｆ１の厚さ寸法は、第２部材７８Ｆの厚さ寸法より小さくてもよい。第１板状部材７７Ｆ１の中央には、上下方向に貫通する第１貫通孔７７３Ｆが設けられてもよい。
　第２板状部材７７Ｆ２の厚さ寸法は、例えば３μｍ以下であってもよい。第２板状部材７７Ｆ２には、上下方向に貫通するスリット状の例えば８個の第３貫通孔７７４１Ｆが設けられてもよい。第３貫通孔７７４１Ｆは、第２板状部材７７Ｆ２の中心から所定距離離れた位置から放射状に延びるように設けられてもよい。第３貫通孔７７４１Ｆは、第２板状部材７７Ｆ２の外周方向に沿って略等しい間隔で設けられてもよい。これにより、第３貫通孔７７４１Ｆは、第２板状部材７７Ｆ２の中心を中心に点対称に設けられ得る。
　第２板状部材７７Ｆ２は、第１板状部材７７Ｆ１の＋Ｚ方向側の面に配置されてもよい。これにより、第３貫通孔７７４１Ｆは、例えば深さ寸法が３μｍ以下の流路７７４Ｆを構成し得る。流路７７４Ｆは、パーティクルを捕集し得る。
　流路７７４Ｆにおける第２板状部材７７Ｆ２の中央側の端部は、第１領域７７５Ｆであってもよい。これにより、第１貫通孔７７３Ｆは、第１部材７７Ｆの第１面７７１Ｆと、第１面７７１Ｆと反対側の第３面７７２Ｆ側の第１空間７７６Ｆとの間を、流路７７４Ｆの第１領域７７５Ｆを介してターゲット物質を流通させるための第１流通部を構成し得る。第６実施形態では、第１貫通孔７７３Ｆは、流路７７４Ｆの第１領域７７５Ｆに流入するターゲット物質を第１空間７７６Ｆに流出させるための第１流通部を構成し得る。
　第１部材７７Ｆの第１面７７１Ｆにおける流路７７４Ｆの外側には、平面部７７７Ｆが設けられてもよい。
　第２部材７８Ｆは、第１部材７７Ｆの上側に重なるように配置されてもよい。第２部材７８Ｆは、第２面７８１Ｆが第１部材７７Ｆの流路７７４Ｆを覆うように配置されてもよい。
　第２部材７８Ｆには、上下方向に貫通する８個の略円形の第２貫通孔７８３Ｆが設けられてもよい。第２貫通孔７８３Ｆは、第２部材７８Ｆの外周方向に沿って略等しい間隔で設けられてもよい。これにより、第２貫通孔７８３Ｆは、第２部材７８Ｆの中心を中心に点対称に設けられ得る。第２貫通孔７８３Ｆは、第２部材７８Ｆが第１部材７７Ｆ上に配置されたときに、第１貫通孔７７３Ｆの開口内に位置しないように設けられてもよい。このとき、第２貫通孔７８３Ｆの開口内に、流路７７４Ｆの一部が位置してもよい。第２貫通孔７８３Ｆの開口内に位置する流路７７４Ｆの一部は、第２領域７７８Ｆであってもよい。これにより、第２貫通孔７８３Ｆは、第２面７８１Ｆと、第２面７８１Ｆと反対側の第４面７８２Ｆ側の第２空間７８４Ｆとの間を、流路７７４Ｆの第２領域７７８Ｆを介してターゲット物質を流通させるための第２流通部を構成し得る。第６実施形態では、第２貫通孔７８３Ｆは、第２空間７８４Ｆに存在するターゲット物質を流路７７４Ｆの第２領域７７８Ｆに流入させるための第２流通部を構成し得る。
　なお、流路７７４Ｆは、図１１Ｃに示すように、クランク状に形成されてもよい。流路７７４Ｆにおけるコーナ部７７４Ｆ１は、外側に略円形状に突出するように形成されてもよい。これにより、コーナ部７７４Ｆ１においてパーティクルが捕集され、パーティクルによる流路７７４Ｆのつまりが抑制し得る。
３．７．３　動作
　次に、フィルタの製造方法、フィルタの組み込み及びターゲット生成器の動作について説明する。
　以下において、第１実施形態および第２実施形態と同様の動作については、説明を省略する。
３．７．３．１　フィルタの製造方法とフィルタの組み込み
　図１２は、第２フィルタの製造方法を概略的に示す。
　図１２に示すように、モリブデンで形成された第１板状部材７７Ｆ１を準備してもよい。第１板状部材７７Ｆ１は、第２実施形態における第１部材７７Ｆと同様に、複数の第１板状部材７７Ｆ１を得ることが可能な大きさのプレートから切り出されてもよい。なお、後述する第２板状部材７７Ｆ２、第２部材７８Ｆも同様に大きなプレートから切り出されてもよい。第１板状部材７７Ｆ１の略中央に孔あけ加工を施すことで、第１貫通孔７７３Ｆを形成してもよい。
　第１板状部材７７Ｆ１の両面を研磨し、洗浄してもよい。以上により、第１板状部材７７Ｆ１が製造され得る。
　モリブデンで形成された第２板状部材７７Ｆ２を準備してもよい。第２板状部材７７Ｆ２の複数箇所に、孔あけ加工を施すことで、第３貫通孔７７４１Ｆを形成してもよい。
　第２板状部材７７Ｆ２の両面を研磨し、洗浄してもよい。以上により、第２板状部材７７Ｆ２が製造され得る。
　モリブデンで形成された第２部材７８Ｆを準備してもよい。第２部材７８Ｆの複数箇所に、孔あけ加工を施すことで、第２貫通孔７８３Ｆを形成してもよい。
　第２部材７８Ｆの両面を研磨し、洗浄してもよい。以上により、第２部材７８Ｆが製造され得る。
　第２板状部材７７Ｆ２を第１板状部材７７Ｆ１に重ねて配置し、第１部材７７Ｆを形成してもよい。
　第２部材７８Ｆの第２面７８１Ｆが第１部材７７Ｆの流路７７４Ｆを覆うように、第２部材７８Ｆを第１部材７７Ｆに重ねて配置してもよい。このとき、第１部材７７Ｆと第２部材７８Ｆとを拡散接合してもよい。これにより、深さ寸法が３μｍ以下の流路７７４Ｆを有する第２フィルタ７６Ｆが製造され得る。このとき、第２貫通孔７８３Ｆが第２部材７８Ｆの中心を中心に点対称に設けられているため、第１部材７７Ｆに対する第２部材７８Ｆの配置位置が回転方向に多少ずれても、第２貫通孔７８３Ｆの開口内に流路７７４Ｆが位置し、ターゲット物質が第２フィルタ７６Ｆを流通し得る。第１，第２面７７１Ｆ，７８１Ｆを研磨しているため、第１面７７１Ｆと第２面７８１Ｆとの隙間が小さくなり得る。第１板状部材７７Ｆ１と第２板状部材７７Ｆ２との接合面を研磨しているため、第１板状部材７７Ｆ１と第２板状部材７７Ｆ２との隙間が小さくなり得る。なお、第６実施形態においては、第１部材と第２部材との拡散接合は必須でなくともよい。
　次に、第２フィルタ７６Fのターゲット生成器８Ａへの組み込みについて説明する。ノズル基端部８２Ａとノズル先端部８３Ａとの間に第２フィルタ７６Ｆを取り付けてもよい。
　これにより、第２部材７８Ｆの８個の第２貫通孔７８３Ｆが第２貫通孔８２２Ａの開口内に位置し、第２貫通孔８２２Ａの内部が第２空間７８４Ｆとなり得る。第１部材７７Ｆの第１貫通孔７７３Ｆが第３貫通孔８３２Ａの＋Ｚ方向側の開口内に位置し、第３貫通孔８３２Ａの内部が第１空間７７６Ｆとなり得る。
３．７．３．２　ターゲット供給装置の動作
　　ターゲット生成器８Ａがターゲット物質の融点以上の温度に加熱されている状態で、当該ターゲット生成器８Ａ内の圧力が調節されると、パーティクルが第１フィルタ７５Ａで捕集されたターゲット物質が、第２フィルタ７６Ｆを通過し得る。
　第２フィルタ７６Ｆに到達したターゲット物質は、第２部材７８Ｆの第２貫通孔７８３Ｆ内に流入し得る。第２貫通孔７８３Ｆ内に流入したターゲット物質は、流路７７４Ｆを通過し得る。このとき、流路７７４Ｆは、当該流路７７４Ｆの深さ寸法より大きいパーティクルを捕集し得る。その後、ターゲット物質は、第１貫通孔７７３Ｆを通過し、第３貫通孔８３２Ａ内に流入し得る。
　第６実施形態によれば、流路７７４Ｅを、第２板状部材７７Ｆ２を貫通する第３貫通孔７７４１Ｆにより構成しているため、溝部を形成する場合と比べて、流路７７４Ｅを容易に形成し得る。
３．８　第７実施形態
３．８．１　概略
　本開示の第７実施形態のターゲット供給装置において、第２部材は、第１部材に対しターゲット物質の出力方向側に配置され、第２流通部は、第２部材を貫通する第２貫通孔により構成され、第２貫通孔の出力方向側の開口は、ノズル孔を構成してもよい。
３．８．２　構成
　図１３Ａは、第７実施形態に係るターゲット供給装置の要部を概略的に示す。図１３Ｂは、図１３ＡのＢ－Ｂ線に沿った断面図である。
　第７実施形態のターゲット供給装置は、ターゲット生成器８Ｇおよびフィルタ７６Ｇ以外の構成については、第１実施形態のターゲット供給装置７Ａと同様のものを適用してもよい。
　ターゲット生成器８Ｇは、第１フィルタ７５Ａを備えてもよいし、備えなくてもよい。ターゲット生成器８Ｇは、図１３Ａおよび図１３Ｂに示すように、図示しないタンクの先端に設けられたノズル基端部８２Ｇと、ノズル先端部８３Ｇとを備えてもよい。ノズル基端部８２Ｇと、ノズル先端部８３Ｇとは、ターゲット物質との反応性が低い材料で構成されてもよい。
　ノズル基端部８２Ｇの中央には、Ｚ軸方向に貫通する第２貫通孔８２２Ｇが設けられてもよい。第２貫通孔８２２Ｇの内径は、例えば３ｍｍであってもよい。ノズル基端部８２Ｇの先端には、凹部８２７Ｇが設けられてもよい。
　ノズル先端部８３Ｇは、略円筒状に形成されてもよく、平面部分の外形寸法が第２貫通孔８２２Ｇの直径よりも大きく形成されてもよい。ノズル先端部８３Ｇの上面には、凹部８３１Ｇが設けられてもよい。ノズル先端部８３Ｇの中央には、上下方向に貫通する錐状孔８３４Ｇが設けられてもよい。錐状孔８３４Ｇは、－Ｚ方向に向かうに従って径寸法が大きくなる円錐状に形成されてもよい。
　フィルタ７６Ｇは、ノズル基端部８２Ｇの先端において第２貫通孔８２２Ｇを閉じるように設けられてもよい。フィルタ７６Ｇは、第１部材７７Ｇと、第２部材７８Ｇとを備えてもよい。
　第１，第２部材７７Ｇ，７８Ｇは、ターゲット物質との反応性が低い材料で略円板状に形成されてもよい。第１，第２部材７７Ｇ，７８Ｇの直径は、第２貫通孔８２２Ｇの直径より大きくてもよい。
　第１部材７７Ｇには、上下方向に貫通する、例えば８個の略円形の第１貫通孔７７３Ｇが設けられてもよい。第１貫通孔７７３Ｇは、第１部材７７Ｇの外周方向に沿って略等しい間隔で設けられてもよい。これにより、第１貫通孔７７３Ｇは、第１部材７７Ｇの中心に対して点対称に設けられ得る。第１部材７７Ｇの－Ｚ方向側の第１面７７１Ｇには、略円形状の第１流路７７４Ｇ１が設けられてもよい。第１流路７７４Ｇ１は、第１面７７１Ｇの中央に設けられてもよい。第１面７７１Ｇには、第２流路７７４Ｇ２が設けられてもよい。第２流路７７４Ｇ２は、第１流路７７４Ｇ１の外縁から第１貫通孔７７３Ｇに向けて、放射状に延びるように設けられてもよい。第１，第２流路７７４Ｇ１，７７４Ｇ２は、第１面７７１Ｇに形成された溝部により構成されてもよい。第２流路７７４Ｇ２は、第１部材７７Ｇの外周方向に沿って略等しい間隔で設けられてもよい。これにより、第２流路７７４Ｇ２は、第１部材７７Ｇの中心に対して点対称に設けられ得る。第１流路７７４Ｇ１と、第２流路７７４Ｇ２とは、流路７７４Ｇを構成してもよい。第２流路７７４Ｇ２の深さ寸法は、第１流路７７４Ｇ１の深さ寸法より小さくてもよい。第２流路７７４Ｇ２の深さ寸法は、例えば３μｍ以下であってもよい。これにより、流路７７４Ｇは、パーティクルを捕集し得る。
　流路７７４Ｇにおける第１貫通孔７７３Ｇ側の端部は、第１領域７７５Ｇであってもよい。これにより、第１貫通孔７７３Ｇは、第１部材７７Ｇの第１面７７１Ｇと、第１面７７１Ｇと反対側の第３面７７２Ｇ側の第１空間７７６Ｇとの間を、流路７７４Ｇの第１領域７７５Ｇを介して流体としてのターゲット物質を流通させるための第１流通部を構成し得る。第７実施形態では、第１貫通孔７７３Ｇは、第１空間７７６Ｇに存在するターゲット物質を流路７７４Ｇの第１領域７７５Ｇに流入させるための第１流通部を構成し得る。第１面７７１Ｇおよび第３面７７２Ｇは、研磨されてもよい。
　第２部材７８Ｇは、第１部材７７Ｇに重なるように配置されてもよい。第２部材７８Ｇは、＋Ｚ方向側の第２面７８１Ｇが第１部材７７Ｇの流路７７４Ｇを覆うように配置されてもよい。
　第２部材７８Ｇの中央には、Ｚ軸方向に貫通する第２貫通孔７８３Ｇが設けられてもよい。第２貫通孔７８３Ｇは、－Ｚ方向に向かうに従って径寸法が大きくなる円錐状に形成されてもよい。第２貫通孔７８３Ｇの上側の開口は、ノズル孔７８５Ｇを構成してもよい。ノズル孔７８５Ｇの直径は、例えば１μｍ～３μｍであってもよい。第２貫通孔７８３Ｇは、第２部材７８Ｇが第１部材７７Ｇに重ねられて配置されたときに、第１貫通孔７７３Ｇの開口内に位置しないように設けられてもよい。このとき、第２貫通孔７８３Ｇのノズル孔７８５Ｇの開口内に、流路７７４Ｇの一部が位置してもよい。第２貫通孔７８３Ｇの開口内に位置する流路７７４Ｇの一部は、第２領域７７８Ｇであってもよい。これにより、第２貫通孔７８３Ｇは、第２面７８１Ｇと、第２面７８１Ｇと反対側の第４面７８２Ｇ側の第２空間７８４Ｇとの間を、流路７７４Ｇの第２領域７７８Ｇを介してターゲット物質を流通させるための第２流通部を構成し得る。第７実施形態では、第２貫通孔７８３Ｇは、流路７７４Ｇの第２領域７７８Ｇに流入するターゲット物質を第２空間７８４Ｇに流出させるための第２流通部を構成し得る。第２面７８１Ｇおよび第４面７８２Ｇは、研磨されてもよい。
３．８．３　動作
　次に、フィルタの組み込み、およびターゲット供給装置の動作について説明する。
　以下において、第１実施形態および第２実施形態と同様の動作については、説明を省略する。
３．８．３．１　フィルタの組み込み　まず、第１部材７７Ｇの流路７７４Ｇが第２部材７８Ｇの第２面７８１Ｇで覆われるように、第１部材７７Ｇと第２部材７８Ｇとを拡散接合してもよい。これにより、最も浅い部分の深さ寸法が３μｍ以下の流路７７４Ｇを有するフィルタ７６Ｇが形成され得る。第１，第２面７７１Ｇ，７８１Ｇを研磨しているため、第１面７７１Ｇと第２面７８１Ｇとの隙間が小さくなり得る。なお、第７実施形態においては、第１部材と第２部材との拡散接合は必須でなくともよい。
　次に、ノズル先端部８３Ｇの凹部８３１Ｇにフィルタ７６Ｇを挿入し、図示しないボルトによりノズル先端部８３Ｇをノズル基端部８２Ｇに取り付けてもよい。このとき、第１部材７７Ｇが凹部８２７Ｇに挿入されてもよい。第２部材７８Ｇは、第１部材７７Ｇに対し－Ｚ方向側に配置されてもよい。
　これにより、第１部材７７Ｇの８個の第１貫通孔７７３Ｇが第２貫通孔８２２Ｇの開口内に位置し、第２貫通孔８２２Ｇの内部が第１空間７７６Ｇとなり得る。第２部材７８Ｇの第２貫通孔７８３Ｇが錐状孔８３４Ｇの＋Ｚ方向側の開口内に位置し、錐状孔８３４Ｇの内部が第２空間７８４Ｇとなり得る。
３．８．３．２　ターゲット供給装置の動作
　ターゲット生成器８Ｇがターゲット物質の融点以上の温度に加熱されている状態で、当該ターゲット生成器８Ｇ内の圧力が調節されると、ターゲット物質がフィルタ７６Ｇを通過し得る。
　フィルタ７６Ｇに到達したターゲット物質は、第１貫通孔７７３Ｇを介して流路７７４Ｇを通過し得る。このとき、流路７７４Ｇは、当該流路７７４Ｇの深さ寸法より大きいパーティクルを捕集し得る。
　その後、ターゲット制御装置は、ターゲット生成器８Ｇ内の圧力を調節して、ターゲット物質をドロップレット２７としてノズル孔７８５Ｇから出力してもよい。
　第７実施形態によれば、第２貫通孔７８３Ｇにおけるターゲット物質の出力方向側の開口によって、ノズル孔７８５Ｇを構成しているため、フィルタ７６Ｇがパーティクルを捕集する機能と、ノズルの機能とを有し得る。
３．９　第８実施形態
３．９．１　構成
　図１４は、第８実施形態に係るターゲット供給装置の要部を概略的に示す。
　第８実施形態のターゲット供給装置は、ターゲット生成器８Ｈを構成するフィルタ７６Ｈの第２部材７８Ｈ以外の構成については、第７実施形態のターゲット供給装置と同様のものを適用してもよい。
　フィルタ７６Ｈの第２部材７８Ｈは、図１４に示すように、ターゲット物質との反応性が低い材料で略円板状に形成されてもよい。第２部材７８Ｈは、＋Ｚ方向側の第２面７８１Ｈが第１部材７７Ｇの流路７７４Ｇを覆うように配置されてもよい。
　第２部材７８Ｈにおける－Ｚ方向側の第４面７８２Ｈの中央には、円錐台状の突出部７８６Ｈが設けられてもよい。突出部７８６Ｈは、電界を利用してドロップレットを生成する場合、突出部７８６Ｈに電界が集中し易いようにするために設けられてもよい。第２部材７８Ｈの中央には、Ｚ軸方向に貫通する第２貫通孔７８３Ｈが設けられてもよい。第２貫通孔７８３Ｈは、－Ｚ方向に向かうに従って径寸法が小さくなる円錐状に形成されてもよい。第２貫通孔７８３Ｈの－Ｚ方向側の開口であって突出部７８６Ｈの先端部中央の開口は、ノズル孔７８５Ｈを構成してもよい。ノズル孔７８５Ｈの直径は、例えば１μｍ～３μｍであってもよい。第２貫通孔７８３Ｈは、第２部材７８Ｈが第１部材７７Ｇに重ねられて配置されたときに、第１貫通孔７７３Ｇの開口内に位置しないように設けられてもよい。このとき、第２貫通孔７８３Ｈの開口内に、流路７７４Ｇの一部が位置してもよい。第２貫通孔７８３Ｈの開口内に位置する流路７７４Ｇの一部は、第２領域７７８Ｇであってもよい。これにより、第２貫通孔７８３Ｈは、第２面７８１Ｈと、第２面７８１Ｈと反対側の第４面７８２Ｈ側の第２空間７８４Ｈとの間を、流路７７４Ｇの第２領域７７８Ｇを介してターゲット物質を流通させるための第２流通部を構成し得る。第８実施形態では、第２貫通孔７８３Ｈは、流路７７４Ｇの第２領域７７８Ｇに流入するターゲット物質を第２空間７８４Ｈに流出させるための第２流通部を構成し得る。第２面７８１Ｈおよび第４面７８２Ｈは、研磨されてもよい。
３．９．２　動作
　次に、フィルタの組み込みおよびターゲット生成器の動作について説明する。
　以下において、第１実施形態と同様の動作については、説明を省略する。
３．９．２．１　フィルタの組み込み
　まず、第１部材７７Ｇの流路７７４Ｇが第２部材７８Ｈの第２面７８１Ｈで覆われるように、第１部材７７Ｇと第２部材７８Ｈとを拡散接合してもよい。これにより、最も浅い部分の深さ寸法が３μｍ以下の流路７７４Ｇを有するフィルタ７６Ｈが形成され得る。第１，第２面７７１Ｇ，７８１Ｈを研磨しているため、第１面７７１Ｇと第２面７８１Ｈとの隙間が小さくなり得る。
　次に、ノズル基端部８２Ｇとノズル先端部８３Ｇとで挟み込むように、フィルタ７６Ｈを取り付けてもよい。第２部材７８Ｈは、第１部材７７Ｇに対し－Ｚ方向側に配置されてもよい。
　これにより、第２部材７８Ｈの第２貫通孔７８３Ｈが錐状孔８３４Ｇの内部に位置し、錐状孔８３４Ｇの内部が第２空間７８４Ｈとなり得る。
３．９．２．２　ターゲット供給装置の動作
　ターゲット生成器８Ｈがターゲット物質の融点以上の温度に加熱されている状態で、当該ターゲット生成器８Ｈ内の圧力が調節されると、ターゲット物質がフィルタ７６Ｈを通過し得る。
　フィルタ７６Ｈに到達したターゲット物質は、第１貫通孔７７３Ｇを介して流路７７４Ｇを通過し得る。このとき、流路７７４Ｇは、当該流路７７４Ｇの深さ寸法より大きいパーティクルを捕集し得る。
　その後、ターゲット制御装置は、ターゲット生成器８Ｈ内の圧力を調節して、ターゲット物質をドロップレット２７としてノズル孔７８５Ｈから出力してもよい。
３．１０　第９実施形態
３．１０．１　構成
　図１５Ａは、第９実施形態に係るターゲット供給装置の要部を概略的に示す。図１５Ｂは、図１５ＡのＢ－Ｂ線に沿った断面図である。
　第９実施形態のターゲット供給装置は、ターゲット生成器８Ｊを構成するフィルタ７６Ｊ以外の構成については、第７実施形態のターゲット供給装置と同様のものを適用してもよい。
　ターゲット生成器８Ｊは、ノズル基端部８２Ｇと、パイプ８４Ｊとを備えてもよい。パイプ８４Ｊは、ターゲット物質との反応性が低い材料で構成されてもよい。パイプ８４Ｊの貫通孔８４１Ｊの内径は、ノズル基端部８２Ｇの第２貫通孔８２２Ｇの内径と略等しくてもよい。パイプ８４Ｊの＋Ｚ側の端は、ノズル基端部８２Ｇの凹部８２７Ｇに挿入されてもよい。パイプ８４Ｊの＋Ｚ側の端面と、ノズル基端部８２Ｇの凹部８２７Ｇ表面とは、パイプ８４Ｊが凹部８２７Ｇに挿入された際にシール可能に研磨されていてもよい。
　フィルタ７６Ｊは、パイプ８４Ｊの先端において貫通孔８４１Ｊを閉じるように設けられてもよい。フィルタ７６Ｊは、第１部材７７Ｊと、第２部材７８Ｊとを備えてもよい。
　第１，第２部材７７Ｊ，７８Ｊは、ターゲット物質との反応性が低い材料で形成されてもよい。第１，第２部材７７Ｊ，７８Ｊの外形は、貫通孔８４１Ｊの直径より大きくてもよい。
　第１部材７７Ｊには、例えば８個の第１貫通孔７７３Ｇが設けられてもよい。第１部材７７Ｊの－Ｚ方向側の第１面７７１Ｊには、流路７７４Ｊが設けられてもよい。流路７７４Ｊは、第１面７７１Ｊに形成された溝部により構成されてもよい。流路７７４Ｊは、第１面７７１Ｊの中心から第１貫通孔７７３Ｇに向けて、放射状に延びるように設けられてもよい。流路７７４Ｊの深さ寸法は、例えば３μｍ以下であってもよい。これにより、流路７７４Ｊは、パーティクルを捕集し得る。
　流路７７４Ｊにおける第１貫通孔７７３Ｇ側の端部は、第１領域７７５Ｇであってもよい。これにより、第１貫通孔７７３Ｇは、第１部材７７Ｊの第１面７７１Ｊと、第１面７７１Ｊと反対側の第３面７７２Ｊ側の第１空間７７６Ｊとの間を、流路７７４Ｊの第１領域７７５Ｊを介して流体としてのターゲット物質を流通させるための第１流通部を構成し得る。第９実施形態では、第１貫通孔７７３Ｇは、第１空間７７６Ｊに存在するターゲット物質を流路７７４Ｊの第１領域７７５Ｊに流入させるための第１流通部を構成し得る。第１面７７１Ｊおよび第３面７７２Ｊは、研磨されてもよい。
　第２部材７８Ｊは、板状部７８７Ｊと、筒状部７８８Ｊとを備えてもよい。板状部７８７Ｊは、略円板状に形成されてもよい。板状部７８７Ｊの外径は、第１部材７７Ｊの外径よりも大きくてもよい。板状部７８７Ｊにおける－Ｚ方向側の第４面７８２Ｊの中央には、突出部７８６Ｈが設けられてもよい。板状部７８７Ｊの中央には、第２貫通孔７８３Ｈが設けられてもよい。第２貫通孔７８３Ｈの下側の開口は、ノズル孔７８５Ｈを構成してもよい。
　筒状部７８８Ｊは、板状部７８７Ｊの面方向外側の端部に設けられもよい。
　第２部材７８Ｊの内部には、＋Ｚ方向側の第２面７８１Ｊが第１部材７７Ｊの流路７７４Ｊを覆うように、第１部材７７Ｊが配置されてもよい。このとき、第１部材７７Ｊの外周面と筒状部７８８Ｊの内周面とがシールされてもよい。第１面７７１Ｊと第２面７８１Ｊとがシールされてもよい。第２貫通孔７８３Ｈは、第１部材７７Ｊが第２部材７８Ｊ内に配置されたときに、第１貫通孔７７３Ｇの開口内に位置しないように設けられてもよい。このとき、第２貫通孔７８３Ｈの開口内に、流路７７４Ｊの一部が位置してもよい。第２貫通孔７８３Ｈの開口内に位置する流路７７４Ｊの一部は、第２領域７７８Ｊであってもよい。これにより、第２貫通孔７８３Ｈは、第２面７８１Ｊと、第２面７８１Ｊと反対側の第４面７８２Ｊ側の第２空間７８４Ｊとの間を、流路７７４Ｊの第２領域７７８Ｊを介してターゲット物質を流通させるための第２流通部を構成し得る。第９実施形態では、第２貫通孔７８３Ｈは、流路７７４Ｊの第２領域７７８Ｊに流入するターゲット物質を第２空間７８４Ｊに流出させるための第２流通部を構成し得る。第１部材７７Ｊの第３面７７２Ｊ側には、パイプ８４Ｊが配置されてもよい。このとき、パイプ８４Ｊの外周面と筒状部７８８Ｊの内周面とがシールされてもよい。第３面７７２Ｊと、第２面７８１Ｊとは研磨されていてもよい。パイプ８４Ｊの－Ｚ側の端面は研磨されていてもよい。第４面７８２Ｊの内周面は研磨されていてもよい。筒状部７８８Ｊの内周面は研磨されていてもよい。
３．１０．２　動作
　次に、フィルタの組み込みについて説明する。
　以下において、第１実施形態および第２実施形態と同様の動作については、説明を省略する。
　まず、第１部材７７Ｊの流路７７４Ｊが第２部材７８Ｊの第２面７８１Ｊで覆われるように、第１部材７７Ｊを第２部材７８Ｊ内に配置してもよい。これにより、深さ寸法が３μｍ以下の流路７７４Ｊを有するフィルタ７６Ｊが形成され得る。
　次に、パイプ８４Ｊを第２部材７８Ｊ内に配置してもよい。フィルタ７６Ｊの第２部材７８Ｊを図示しないボルトによりノズル基端部８２Ｇに取り付けてもよい。このとき、パイプ８４Ｊが凹部８２７Ｇに挿入されてもよい。第２部材７８Ｊは、第１部材７７Ｊに対し－Ｚ方向側に配置されてもよい。
　これにより、第１部材７７Ｊの８個の第１貫通孔７７３Ｇが貫通孔８４１Ｊの開口内に位置し、貫通孔８４１Ｊの内部が第１空間７７６Ｊとなり得る。第２部材７８Ｊの第２貫通孔７８３Ｈが板状部７８７Ｊの－Ｚ方向側に位置し、当該－Ｚ方向側の位置が第２空間７８４Ｊとなり得る。
３．１１．　第１０実施形態
３．１１．１　概略
　本開示の第１０実施形態のターゲット供給装置において、第１部材は、第２部材に対しターゲット物質の出力方向側に配置され、第１流通部は、第１部材を貫通する第１貫通孔により構成され、第１貫通孔の出力方向側の開口は、ノズル孔を構成してもよい。
３．１１．２　構成
　図１６は、第１０実施形態に係るターゲット供給装置の要部を概略的に示す。
　第１０実施形態のターゲット供給装置は、ターゲット生成器８Ｋを構成するフィルタ７６Ｋ以外の構成については、第７実施形態のターゲット供給装置と同様のものを適用してもよい。
　フィルタ７６Ｋは、図１６に示すように、第１部材７７Ｋと、第２部材７８Ｋとを備えてもよい。第１部材７７Ｋおよび第２部材７８Ｋは、略円板状に形成されてもよい。
　第１部材７７Ｋにおける－Ｚ方向側の第３面７７２Ｋの中央には、円錐台状の突出部７９３Ｋが設けられてもよい。第１部材７７Ｋの中央には、第１貫通孔７７３Ｋが設けられてもよい。第１貫通孔７７３Ｋの－Ｚ方向側の開口であって突出部７９３Ｋの先端部中央は、ノズル孔７９４Ｋを構成してもよい。ノズル孔７９４Ｋの直径は、例えば１μｍ～３μｍであってもよい。
　第１部材７７Ｋの＋Ｚ方向側の第１面７７１Ｋには、例えば８本の流路７７４Ｋが設けられてもよい。流路７７４Ｋは、第１面７７１Ｋに形成された溝部により構成されてもよい。流路７７４Ｋは、図１１Ａに示した流路７７４Ｆと同様に、第１面７７１Ｋの中心から放射状に延びるように設けられてもよい。流路７７４Ｋは、第１部材７７Ｋの外周方向に沿って略等しい間隔で設けられてもよい。流路７７４Ｋの深さ寸法は、例えば３μｍ以下であってもよい。
　流路７７４Ｋにおける第１貫通孔７７３Ｋに連通する部分は、第１領域７７５Ｋであってもよい。これにより、第１貫通孔７７３Ｋは、第１部材７７Ｋの第１面７７１Ｋと、第１面７７１Ｋと反対側の第３面７７２Ｋ側の第１空間７７６Ｋとの間を、流路７７４Ｋの第１領域７７５Ｋを介してターゲット物質を流通させるための第１流通部を構成し得る。第１０実施形態では、第１貫通孔７７３Ｋは、流路７７４Ｋの第１領域７７５Ｋに流入するターゲット物質を第１空間７７６Ｋに流出させるための第１流通部を構成し得る。
　第２部材７８Ｋは、第１部材７７Ｋの上側に重なるように配置されてもよい。第２部材７８Ｋは、第２面７８１Ｋが流路７７４Ｋを覆うように配置されてもよい。
　第２部材７８Ｋには、８個の略円形の第２貫通孔７８３Ｋが設けられてもよい。第２貫通孔７８３Ｋは、第２部材７８Ｋの外周方向に沿って略等しい間隔で設けられてもよい。第２貫通孔７８３Ｋは、第１貫通孔７７３Ｋの開口内に位置しないように設けられてもよい。このとき、第２貫通孔７８３Ｋの開口内に、流路７７４Ｋの端部である第２領域７７８Ｋが位置してもよい。これにより、第２貫通孔７８３Ｋは、第２面７８１Ｋと、第２面７８１Ｋと反対側の第４面７８２Ｋ側の第２空間７８４Ｋとの間を、流路７７４Ｋの第２領域７７８Ｋを介してターゲット物質を流通させるための第２流通部を構成し得る。第１０実施形態では、第２貫通孔７８３Ｋは、第２空間７８４Ｋに存在するターゲット物質を流路７７４Ｋの第２領域７７８Ｋに流入させるための第２流通部を構成し得る。
３．１１．３　動作
　次に、フィルタの組み込みについて説明する。
　以下において、第１実施形態と同様の動作については、説明を省略する。
　まず、第１部材７７Ｋの流路７７４Ｋが第２部材７８Ｋの第２面７８１Ｋで覆われるように、第１部材７７Ｋと第２部材７８Ｋとを拡散接合してもよい。これにより、深さ寸法が３μｍ以下の流路７７４Ｋを有するフィルタ７６Ｋが形成され得る。
　次に、ノズル先端部８３Ｇとノズル基端部８２Ｇとの間にフィルタ７６Ｋを取り付けてもよい。第１部材７７Ｋは、第２部材７８Ｋに対し－Ｚ方向側に配置されてもよい。
　これにより、第２部材７８Ｋの第２貫通孔７８３Ｋが第２貫通孔８２２Ｇの開口内に位置し、第２貫通孔８２２Ｇの内部が第２空間７８４Ｋとなり得る。第１部材７７Ｋの第１貫通孔７７３Ｋが錐状孔８３４Ｇの＋Ｚ方向側の開口内に位置し、錐状孔８３４Ｇの内部が第１空間７７６Ｋとなり得る。
　第１０実施形態によれば、第１貫通孔７７３Ｋにおけるターゲット物質の出力方向側の開口によって、ノズル孔７９４Ｋを構成しているため、フィルタ７６Ｋがパーティクルを捕集する機能と、ノズルの機能とを有し得る。
３．１２　変形例
　なお、フィルタとしては、以下に示すような構成としてもよい。以下の変形例において、第１，第２部材は、ターゲット物質との反応性が低い材料で形成されてもよい。流路の深さ寸法は、例えば３μｍ以下であってもよい。－Ｚ方向は、重力方向１０Ｂと一致してもよい。
３．１２．１　第１変形例
　図１７Ａは、第１変形例に係るフィルタを＋Ｚ方向側から見た構成を概略的に示す。図１７Ｂは、図１７ＡのＢ－Ｂ線に沿った断面図である。
　フィルタ７６Ｌは、図１７Ａおよび図１７Ｂに示すように、第１部材７７Ｌと、第２部材７８Ｌとを備えてもよい。第１部材７７Ｌおよび第２部材７８Ｌは、略円板状に形成されてもよい。
　第１部材７７Ｌには、複数の第１貫通孔７７３Ｌが設けられてもよい。第１貫通孔７７３Ｌは、千鳥状に配置されてもよい。第１部材７７Ｌの－Ｚ方向側の第１面７７１Ｌには、流路７７４Ｌが形成されてもよい。流路７７４Ｌは、第１貫通孔７７３Ｌと、当該第１貫通孔７７３Ｌと隣り合う後述する第２貫通孔７８３Ｌとを連通するように設けられてもよい。流路７７４Ｌにおける第１貫通孔７７３Ｌ側の端部は、第１領域７７５Ｌであってもよい。これにより、第１貫通孔７７３Ｌは、第１面７７１Ｌと、第１面７７１Ｌと反対側の第３面７７２Ｌ側の第１空間７７６Ｌとの間で、流路７７４Ｌの第１領域７７５Ｌを介して、ターゲット物質を流通させるための第１流通部を構成し得る。
　第２部材７８Ｌは、第１部材７７Ｌの－Ｚ方向側から重なるように配置されてもよい。第２部材７８Ｌは、第２面７８１Ｌが流路７７４Ｌを覆うように配置されてもよい。
　第２部材７８Ｌには、複数の第２貫通孔７８３Ｌが設けられてもよい。第２貫通孔７８３Ｌは、互いに隣り合う第１貫通孔７７３Ｌの間に対応する位置に設けられてもよい。第２貫通孔７８３Ｌは、第１部材７７Ｌが第２部材７８Ｌ上に配置されたときに、第１貫通孔７７３Ｌの開口内に位置しないように設けられてもよい。このとき、第２貫通孔７８３Ｌの開口内に、流路７７４Ｌの第２領域７７８Ｌが位置してもよい。これにより、第２貫通孔７８３Ｌは、第２面７８１Ｌと、第２面７８１Ｌと反対側の第４面７８２Ｌ側の第２空間７８４Ｌとの間で、流路７７４Ｌの第２領域７７８Ｌを介して、ターゲット物質を流通させるための第２流通部を構成し得る。
３．１２．２　第２変形例
　図１８Ａは、第２変形例に係るフィルタを＋Ｚ方向側から見た構成を概略的に示す。図１８Ｂは、図１８ＡのＢ－Ｂ線に沿った断面図である。
　フィルタ７６Ｍは、図１８Ａおよび図１８Ｂに示すように、第１部材７７Ｍと、第２部材７８Ｍとを備えてもよい。第１部材７７Ｍおよび第２部材７８Ｍは、略円板状に形成されてもよい。
　第１部材７７Ｍには、例えば８個の第１貫通孔７７３Ｍが設けられてもよい。第１貫通孔７７３Ｍは、第１部材７７Ｍの外周方向に沿って略等しい間隔で設けられてもよい。第１部材７７Ｍの－Ｚ方向側の第１面７７１Ｍには、流路７７４Ｍが形成されてもよい。流路７７４Ｍは、第１貫通孔７７３Ｍと、後述する第２貫通孔７８３Ｍとを連通するように設けられてもよい。流路７７４Ｍにおける第１貫通孔７７３Ｍ側の端部は、第１領域７７５Ｍであってもよい。これにより、第１貫通孔７７３Ｍは、第１面７７１Ｍと、第１面７７１Ｍと反対側の第３面７７２Ｍ側の第１空間７７６Ｍとの間で、流路７７４Ｍの第１領域７７５Ｍを介して、ターゲット物質を流通させるための第１流通部を構成し得る。
　第２部材７８Ｍは、第１部材７７Ｍの－Ｚ方向側から重なるように配置されてもよい。第２部材７８Ｍは、第２面７８１Ｍが流路７７４Ｍを覆うように配置されてもよい。
　第２部材７８Ｍの中央には、第２貫通孔７８３Ｍが設けられてもよい。第２貫通孔７８３Ｍは、第１部材７７Ｍが第２部材７８Ｍ上に配置されたときに、第１貫通孔７７３Ｍの開口内に位置しないように設けられてもよい。このとき、第２貫通孔７８３Ｍの開口内に、流路７７４Ｍの第２領域７７８Ｍが位置してもよい。これにより、第２貫通孔７８３Ｍは、第２面７８１Ｍと、第２面７８１Ｍと反対側の第４面７８２Ｍ側の第２空間７８４Ｍとの間で、流路７７４Ｍの第２領域７７８Ｍを介して、ターゲット物質を流通させるための第２流通部を構成し得る。
３．１２．３．第３変形例
　図１９Ａは、第３変形例に係るフィルタを＋Ｚ方向側から見た構成を概略的に示す。図１９Ｂは、図１９ＡのＢ－Ｂ線に沿った断面図である。図１９Ｃは、図１９ＡのＣ－Ｃ線に沿った断面図である。図２０Ａは、第３変形例に係る他のフィルタを＋Ｚ方向側から見た構成を概略的に示す。図２０Ｂは、図２０ＡのＢ－Ｂ線に沿った断面図である。図２１Ａは、第３変形例に係る他のフィルタを＋Ｚ方向側から見た構成を概略的に示す。図２１Ｂは、第３変形例に係る他のフィルタを＋Ｚ方向側から見た構成を概略的に示す。図２１Ｃは、第３変形例に係る他のフィルタを＋Ｚ方向側から見た構成を概略的に示す。図２１Ｄは、第３変形例に係る他のフィルタを＋Ｚ方向側から見た構成を概略的に示す。図２１Ｅは、第３変形例に係る他のフィルタを＋Ｚ方向側から見た構成を概略的に示す。図２１Ｆは、第３変形例に係る他のフィルタを＋Ｚ方向側から見た構成を概略的に示す。図２１Ｇは、第３変形例に係る他のフィルタを＋Ｚ方向側から見た構成を概略的に示す。
　フィルタ７６Ｎは、図１９Ａ、図１９Ｂおよび図１９Ｃに示すように、第１部材７７Ｎと、第２部材７８Ｎとを備えてもよい。第１部材７７Ｎおよび第２部材７８Ｎは、略円板状に形成されてもよい。
　第１部材７７Ｎの中央より＋Ｘ方向側には、第１貫通孔７７３Ｎが設けられてもよい。第１部材７７Ｎの－Ｚ方向側の第１面７７１Ｎには、１本の流路７７４Ｎが形成されてもよい。流路７７４Ｎは、第１貫通孔７７３Ｎから－Ｘ方向に直線状に延びるように設けられてもよい。流路７７４Ｎにおける第１貫通孔７７３Ｎ側の端部は、第１領域７７５Ｎであってもよい。これにより、第１貫通孔７７３Ｎは、第１面７７１Ｎと、第１面７７１Ｎと反対側の第３面７７２Ｎ側の第１空間７７６Ｎとの間で、流路７７４Ｎの第１領域７７５Ｎを介して、ターゲット物質を流通させるための第１流通部を構成し得る。
　第２部材７８Ｎは、第１部材７７Ｎの－Ｚ方向側から重なるように配置されてもよい。第２部材７８Ｎは、第２面７８１Ｎが流路７７４Ｎを覆うように配置されてもよい。このとき、第１部材７７Ｎと第２部材７８Ｎとは、シール部材７６３Ｎにより挟まれてもよい。
　第２部材７８Ｎの中央より－Ｘ方向側には、第２貫通孔７８３Ｎが設けられてもよい。第２貫通孔７８３Ｎは、第１部材７７Ｎが第２部材７８Ｎ上に配置されたときに、第１貫通孔７７３Ｎの開口内に位置しないように設けられてもよい。このとき、第２貫通孔７８３Ｎの開口内に、流路７７４Ｎの第２領域７７８Ｎが位置してもよい。これにより、第２貫通孔７８３Ｎは、第２面７８１Ｎと、第２面７８１Ｎと反対側の第４面７８２Ｎ側の第２空間７８４Ｎとの間で、流路７７４Ｎの第２領域７７８Ｎを介して、ターゲット物質を流通させるための第２流通部を構成し得る。
　図２０Ａおよび図２０Ｂに示すように、フィルタ７６Ｎにおいて、第１部材７７Ｎに複数本の流路７７４Ｎを設けてもよい。流路７７４Ｎの数は、例えば５本でもよい。５本の流路７７４Ｎは、Ｙ軸方向に並んで形成されてもよい。
　図２１Ａに示すように、フィルタ７６Ｎにおいて、流路７７４Ｎは、第１流路７９０Ｎ１と、第２流路７９０Ｎ２と、第３流路７９０Ｎ３とから構成されてもよい。第１流路７９０Ｎ１は、第２貫通孔７８３Ｎに連通してもよい。第１流路７９０Ｎ１の幅寸法であるＹ軸方向の寸法は、第２流路７９０Ｎ２の幅寸法より小さくてもよい。第１流路７９０Ｎ１の長さ寸法であるＸ軸方向の寸法は、第２流路７９０Ｎ２の長さ寸法より小さくてもよい。第２流路７９０Ｎ２は、第１流路７９０Ｎ１の＋Ｘ方向側につながってもよい。第２流路７９０Ｎ２の幅寸法は、第３流路７９０Ｎ３の幅寸法より小さくてもよい。第２流路７９０Ｎ２の長さ寸法は、第３流路７９０Ｎ３の長さ寸法より小さくてもよい。第３流路７９０Ｎ３は、第２流路７９０Ｎ２の＋Ｘ方向側につながり、かつ、第１貫通孔７７３Ｎに連通してもよい。このように幅寸法を設定することにより、大きいパーティクルを第３流路７９０Ｎ３で捕集でき、第１流路７９０Ｎ１でのつまりが抑制し得る。このように長さ寸法を設定することにより、圧損が低減し得る。
　図２１Ｂに示すように、フィルタ７６Ｎにおいて、流路７７４Ｎは、図２１Ａに示す第１～第３流路７９０Ｎ１～Ｎ３と、第４流路７９０Ｎ４と、第５流路７９０Ｎ５と、第６流路７９０Ｎ６とから構成されてもよい。第４流路７９０Ｎ４は、互いに隣り合う第１流路７９０Ｎ１同士をつなげてもよい。第５流路７９０Ｎ５は、互いに隣り合う第２流路７９０Ｎ２同士をつなげてもよい。第６流路７９０Ｎ６は、互いに隣り合う第３流路７９０Ｎ３同士をつなげてもよい。
　図２１Ｃに示すように、フィルタ７６Ｎにおいて、流路７７４Ｎは、クランク状に屈曲する第１流路７９１Ｎ１から構成されてもよい。第１流路７９１Ｎ１は、第２貫通孔７８３Ｎ側の幅寸法が第１貫通孔７７３Ｎ側の幅寸法より小さくてもよい。このように第１流路７９１Ｎ１の幅寸法を設定することにより、大きいパーティクルを第１流路７９１Ｎ１の第１貫通孔７７３Ｎ側で捕集でき、第２貫通孔７８３Ｎ側でのつまりが抑制し得る。このように第１流路７９１Ｎ１をクランク状に屈曲させることにより、屈曲部分でパーティクルを捕集し得る。
　図２１Ｄに示すように、フィルタ７６Ｎにおいて、流路７７４Ｎは、図２１Ｃに示す第１流路７９１Ｎ１と、第２流路７９１Ｎ２と、第３流路７９１Ｎ３と、第４流路７９１Ｎ４とから構成されてもよい。第２流路７９１Ｎ２は、流路７７４Ｎ側において互いに隣り合う第１流路７９１Ｎ１同士をつなげてもよい。第３流路７９１Ｎ３は、第２流路７９１Ｎ２より第１貫通孔７７３Ｎ側において互いに隣り合う第１流路７９１Ｎ１同士をつなげてもよい。第４流路７９１Ｎ４は、第３流路７９１Ｎ３より第１貫通孔７７３Ｎ側において互いに隣り合う第１流路７９１Ｎ１同士をつなげてもよい。
　図２１Ｅに示すように、フィルタ７６Ｎにおいて、流路７７４Ｎは、Ｙ軸方向に蛇行するように屈曲してもよい。流路７７４Ｎの屈曲部分は、円弧状に曲がってもよい。
　図２１Ｆに示すように、フィルタ７６Ｎにおいて、流路７７４Ｎは、クランク状に屈曲してもよい。流路７７４Ｎの屈曲部分は、略直角に曲がってもよい。
　図２１Ｇに示すように、フィルタ７６Ｎにおいて、流路７７４Ｎは、第１流路７９２Ｎ１と、第２流路７９２Ｎ２とから構成されてもよい。第１流路７９２Ｎ１は、屈曲してもよい。第１流路７９２Ｎ１は、第２貫通孔７８３Ｎに連通してもよい。第１流路７９２Ｎ１の幅寸法は、第２流路７９２Ｎ２の幅寸法より小さくてもよい。第１流路７９２Ｎ１の長さ寸法は、第２流路７９２Ｎ２の長さ寸法より小さくてもよい。第２流路７９２Ｎ２は、屈曲してもよい。第２流路７９２Ｎ２は、３本の第１流路７９１Ｎ１の＋Ｘ方向側につながってもよい。
３．１２．４　第４変形例
　図２２Ａは、第４変形例に係るフィルタを＋Ｚ方向側から見た構成を概略的に示す。図２２Ｂは、図２２ＡのＢ－Ｂ線に沿った断面図である。図２２Ｃは、図２２ＡのＣ－Ｃ線に沿った断面図である。
　フィルタ７６Ｐは、図２２Ａ、図２２Ｂおよび図２２Ｃに示すように、第１部材７７Ｐと、第２部材７８Ｐとを備えてもよい。
　第１部材７７Ｐは、略正方形板状に形成されてもよい。第１部材７７Ｐの－Ｚ方向側の第１面７７１Ｐには、直線状の流路７７４Ｐが形成されてもよい。流路７７４Ｐは、第１部材７７Ｐの外縁と後述する貫通孔７８３Ｐとを連通するように設けられてもよい。
　第２部材７８Ｐは、略円板状に形成されてもよい。第２部材７８Ｐの外形は、第１部材７７Ｐの外形より大きくてもよい。これにより、第２部材７８Ｐは、第２面７８１Ｐの一部が第１面７７１Ｐからはみ出すように配置され得る。第２部材７８Ｐにおける＋Ｚ方向側の第２面７８１Ｐの一部には、＋Ｚ方向側に突出する突出部７８９Ｐが設けられてもよい。第２部材７８Ｐは、第１部材７７Ｐの－Ｚ方向側から重なるように配置されてもよい。第２部材７８Ｐは、突出部７８９Ｐの上面である第２面７８１Ｐが流路７７４Ｐを覆うように配置されてもよい。第２部材７８Ｐの突出部７８９Ｐが設けられた部分には、貫通孔７８３Ｐが設けられてもよい。貫通孔７８３Ｐは、本開示の第２貫通孔であってもよい。
　流路７７４Ｐにおける＋Ｘ方向側の端部は、第１領域７７５Ｐであってもよい。これにより、第２面７８１Ｐにおける第１面７７１Ｐの外側にはみ出した部分と、第１部材７７Ｐの＋Ｘ方向側の外縁とに面する側方空間７６１Ｐは、第１面７７１Ｐと、第１面７７１Ｐと反対側の第３面７７２Ｐ側の第１空間７７６Ｐとの間を、流路７７４Ｐの第１領域７７５Ｐを介してターゲット物質を流通させるための第１流通部を構成し得る。
　流路７７４Ｐにおける貫通孔７８３Ｐ側の端部は、第２領域７７８Ｐであってもよい。これにより、貫通孔７８３Ｐは、第２面７８１Ｐと、第２面７８１Ｐと反対側の第４面７８２Ｐ側の第２空間７８４Ｐとの間を、流路７７４Ｐの第２領域７７８Ｐを介してターゲット物質を流通させるための第２流通部を構成し得る。
３．１２．６　第５変形例
　図２３Ａは、第５変形例に係るフィルタを＋Ｚ方向側から見た構成を概略的に示す。図２３Ｂは、図２３ＡのＢ－Ｂ線に沿った断面図である。図２３Ｃは、図２３ＡのＣ－Ｃ線に沿った断面図である。
　フィルタ７６Ｑは、図２３Ａ、図２３Ｂおよび図２３Ｃに示すように、第１部材７７Ｑと、第２部材７８Ｑとを備えてもよい。
　第１部材７７Ｑは、略正方形板状に形成されてもよい。第１部材７７Ｑの－Ｚ方向側の第１面７７１Ｑには、直線状の流路７７４Ｑが形成されてもよい。流路７７４Ｑは、第１部材７７Ｑの＋Ｘ方向側の外縁から、－Ｘ方向側外縁にかけて設けられてもよい。
　第２部材７８Ｑは、第１部材７７Ｑと略等しい形状に形成されてもよい。第２部材７８Ｑは、第１部材７７Ｑの－Ｚ方向側から重なるように配置されてもよい。第２部材７８Ｑは、第１部材７７Ｑに対して＋Ｘ方向側にずれた位置に配置されてもよい。これにより、第２部材７８Ｑは、第２面７８１Ｑの一部が第１面７７１Ｑからはみ出すように配置され得る。第１部材７７Ｑは、第１面７７１Ｑの一部が第２面７８１Ｑからはみ出すように配置され得る。第２部材７８Ｑは、第２面７８１Ｑが流路７７４Ｑを覆うように配置されてもよい。このとき、第１部材７７Ｑと第２部材７８Ｑとは、シール部材７６３Ｑにより挟まれてもよい。
　流路７７４Ｑにおける＋Ｘ方向側の端部は、第１領域７７５Ｑであってもよい。これにより、第２面７８１Ｑにおける第１面７７１Ｑの外側にはみ出した部分と、第１部材７７Ｑの＋Ｘ方向側の外縁とに面する第１側方空間７６１Ｑは、第１面７７１Ｑと、第１面７７１Ｑと反対側の第３面７７２Ｑ側の第１空間７７６Ｑとの間を、流路７７４Ｑの第１領域７７５Ｑを介してターゲット物質を流通させるための第１流通部を構成し得る。
　流路７７４Ｑにおける第２部材７８Ｑの－Ｘ方向側の外縁に対応する部分は、第２領域７７８Ｑであってもよい。これにより、第１面７７１Ｑにおける第２面７８１Ｑの外側にはみ出した部分と、第２部材７８Ｑの－Ｘ方向側の外縁とに面する第２側方空間７６２Ｑは、第２面７８１Ｑと、第２面７８１Ｑと反対側の第４面７８２Ｑ側の第２空間７８４Ｑとの間を、流路７７４Ｑの第２領域７７８Ｑを介してターゲット物質を流通させるための第２流通部を構成し得る。
３．１２．６　第６変形例
　図２４Ａは、第６変形例に係るフィルタを＋Ｚ方向側から見た構成を概略的に示す。図２４Ｂは、図２４ＡのＢ－Ｂ線に沿った断面図である。図２４Ｃは、図２４ＡのＣ－Ｃ線に沿った断面図である。
　フィルタ７６Ｒは、図２４Ａ、図２４Ｂおよび図２４Ｃに示すように、第１部材７７Ｒと、第２部材７８Ｒとを備えてもよい。
　第１部材７７Ｒは、略正方形板状に形成されてもよい。第１部材７７Ｒにおける＋Ｘ方向側の第１面７７１Ｒの一部には、－Ｚ方向側に突出する突出部７７９Ｒが設けられてもよい。突出部７７９Ｒの－Ｚ方向側の面である第１面７７１Ｒには、直線状の流路７７４Ｒが形成されてもよい。流路７７４Ｒは、第１部材７７Ｒの＋Ｘ方向側の外縁から、－Ｘ方向側外縁にかけて設けられてもよい。
　第２部材７８Ｒは、第１部材７７Ｒと略等しい形状に形成されてもよい。第２部材７８Ｒにおける＋Ｚ方向側の第２面７８１Ｒの一部には、＋Ｚ方向側に突出する突出部７８９Ｒが設けられてもよい。第２部材７８Ｒは、第１部材７７Ｒの－Ｚ方向側から重なるように配置されてもよい。第２部材７８Ｒは、第１部材７７Ｒに対して＋Ｘ方向側にずれた位置に配置されてもよい。第２部材７８Ｒは、突出部７８９Ｒの＋Ｚ方向側の面である第２面７８１Ｒが流路７７４Ｒを覆うように配置されてもよい。このとき、第１部材７７Ｒと第２部材７８Ｒとは、シール部材７６３Ｒにより挟まれてもよい。
　流路７７４Ｒにおける＋Ｘ方向側の端部は、第１領域７７５Ｒであってもよい。これにより、第２面７８１Ｒにおける第１面７７１Ｒの外側にはみ出した部分と、第１部材７７Ｒの＋Ｘ方向側の外縁とに面する第１側方空間７６１Ｒは、第１面７７１Ｒと、第１面７７１Ｒと反対側の第３面７７２Ｒ側の第１空間７７６Ｒとの間を、流路７７４Ｒの第１領域７７５Ｒを介してターゲット物質を流通させるための第１流通部を構成し得る。
　流路７７４Ｒにおける－Ｘ方向側の端部は、第２領域７７８Ｒであってもよい。これにより、第１面７７１Ｒにおける第２面７８１Ｒの外側にはみ出した部分と、第２部材７８Ｒの－Ｘ方向側の外縁とに面する第２側方空間７６２Ｒは、第２面７８１Ｒと、第２面７８１Ｒと反対側の第４面７８２Ｒ側の第２空間７８４Ｒとの間を、流路７７４Ｒの第２領域７７８Ｒを介してターゲット物質を流通させるための第２流通部を構成し得る。
３．１２．８　第７変形例
　図２５は、第７変形例に係るフィルタの断面図である。
　フィルタ７６Ｓは、図２５に示すように、第１部材７７Ｓと、第２部材７８Ｓとを備えてもよい。
　第１部材７７Ｓは、略円板状に形成されてもよい。
　第１部材７７Ｓの中央より＋Ｘ方向側および－Ｘ方向側には、それぞれ第１貫通孔７７３Ｓが設けられてもよい。第１貫通孔７７３Ｓは、略長方形状であってもよい。第１部材７７Ｓの－Ｚ方向側の第１面７７１Ｓには、１本の流路７７４Ｓが形成されてもよい。流路７７４Ｓは、第１貫通孔７７３Ｓ同士をつなぐように設けられてもよい。流路７７４Ｓにおける各第１貫通孔７７３Ｓ側の端部は、第１領域７７５Ｓであってもよい。これにより、第１貫通孔７７３Ｓは、第１面７７１Ｓと、第１面７７１Ｓと反対側の第３面７７２Ｓ側の第１空間７７６Ｓとの間を、流路７７４Ｓの第１領域７７５Ｓを介してターゲット物質を流通させるための第１流通部を構成し得る。
　第２部材７８Ｓは、第１部材７７Ｓと略等しい形状に形成されてもよい。第２部材７８Ｓは、第１部材７７Ｓの－Ｚ方向側から重なるように配置されてもよい。第２部材７８Ｓは、第２面７８１Ｓが流路７７４Ｓを覆うように配置されてもよい。このとき、第１部材７７Ｓと第２部材７８Ｓとは、シール部材７６３Ｓにより挟まれてもよい。
　第２部材７８Ｓの中央には、略長方形状の第２貫通孔７８３Ｓが設けられてもよい。第２貫通孔７８３Ｓは、第１部材７７Ｓが第２部材７８Ｓに配置されたときに、第１貫通孔７７３Ｓの開口内に位置しないように設けられてもよい。このとき、第２貫通孔７８３Ｓの開口内に、流路７７４Ｓの第２領域７７８Ｓが位置してもよい。これにより、第２貫通孔７８３Ｓは、第２面７８１Ｓと、第２面７８１Ｓと反対側の第４面７８２Ｓ側の第２空間７８４Ｓとの間を、流路７７４Ｓの第２領域７７８Ｓを介してターゲット物質を流通させるための第２流通部を構成し得る。
３．１２．８　第８変形例
　図２６は、第８変形例に係るフィルタの断面図である。
　フィルタ７６Ｔは、図２６に示すように、第１部材７７Ｔと、第２部材７８Ｓとを備えてもよい。
　第１部材７７Ｔは、長方形板状に形成されてもよい。第１部材７７Ｔの外形は、第２部材７８Ｓの第２貫通孔７８３Ｓの外形より大きくてもよい。
　第１部材７７Ｔの－Ｚ方向側の第１面７７１Ｔには、１本の流路７７４Ｔが形成されてもよい。流路７７４Ｔは、第１部材７７Ｔの＋Ｘ方向側の外縁から、－Ｘ方向側外縁にかけて設けられてもよい。
　第２部材７８Ｓは、第１部材７７Ｔの－Ｚ方向側から重なるように配置されてもよい。第２部材７８Ｓは、第２面７８１Ｓが流路７７４Ｔを覆うように配置されてもよい。このとき、第１部材７７Ｔと第２部材７８Ｓとは、シール部材７６３Ｔにより挟まれてもよい。
　流路７７４Ｔにおける＋Ｘ方向側の端部および－Ｘ方向側の端部は、第１領域７７５Ｔであってもよい。これにより、第２面７８１Ｓにおける第１面７７１Ｔの外側にはみ出した部分と、第１部材７７Ｔの外縁とに面する側方空間７６１Ｔは、第１面７７１Ｔと、第１面７７１Ｔと反対側の第３面７７２Ｔ側の第１空間７７６Ｔとの間を、流路７７４Ｔの第１領域７７５Ｔを介してターゲット物質を流通させるための第１流通部を構成し得る。
　第２貫通孔７８３Ｓの開口内に、流路７７４Ｔの第２領域７７８Ｔが位置してもよい。これにより、第２貫通孔７８３Ｓは、第２面７８１Ｓと、第２面７８１Ｓと反対側の第４面７８２Ｓ側の第２空間７８４Ｓとの間を、流路７７４Ｔの第２領域７７８Ｔを介してターゲット物質を流通させるための第２流通部を構成し得る。
３．１２．９　その他の変形例
　第１～第６実施形態および各変形例において、各フィルタ７６Ａ，７６Ｂ，７６Ｃ，７６Ｄ，７６Ｅ，７６Ｆ，７６Ｌ，７６Ｍ，７６Ｎ，７６Ｐ，７６Ｑ，７６Ｒ，７６Ｓ，７６Ｔを使用する際に、上下を入れ替えて配置してもよい。ターゲット供給装置に、各フィルタ７６Ａ，７６Ｂ，７６Ｃ，７６Ｄ，７６Ｅ，７６Ｆ，７６Ｌ，７６Ｍ，７６Ｎ，７６Ｐ，７６Ｑ，７６Ｒ，７６Ｓ，７６Ｔを重ねて配置してもよい。
　各実施形態および各変形例において、第１部材と第２部材との両方に流路を設けてもよい。
　各実施形態および各変形例の第１部材と第２部材との組み合わせを変更してもよい。
　上記の説明は、制限ではなく単なる例示を意図したものである。従って、添付の特許請求の範囲を逸脱することなく本開示の実施形態に変更を加えることができることは、当業者には明らかであろう。
　本明細書および添付の特許請求の範囲全体で使用される用語は、「限定的でない」用語と解釈されるべきである。例えば、「含む」または「含まれる」という用語は、「含まれるものとして記載されたものに限定されない」と解釈されるべきである。「有する」という用語は、「有するものとして記載されたものに限定されない」と解釈されるべきである。また、本明細書および添付の特許請求の範囲に記載される修飾句「１つの」は、「少なくとも１つ」または「１またはそれ以上」を意味すると解釈されるべきである。
　７…ターゲット供給装置、８Ｇ，８Ｈ，８Ｊ，８Ｋ…ターゲット生成器、７６Ａ，７６Ｂ，７６Ｃ，７６Ｄ，７６Ｅ，７６Ｆ，７６Ｇ，７６Ｈ，７６Ｊ，７６Ｋ，７６Ｌ，７６Ｍ，７６Ｎ，７６Ｐ，７６Ｑ，７６Ｒ，７６Ｓ，７６Ｔ…フィルタ、７７Ａ，７７Ｂ，７７Ｃ，７７Ｄ，７７Ｅ，７７Ｆ，７７Ｇ，７７Ｊ，７７Ｋ，７７Ｌ，７７Ｍ，７７Ｎ，７７Ｐ，７７Ｑ，７７Ｒ，７７Ｓ，７７Ｔ…第１部材、７７Ｆ１…第１板状部材、７７Ｆ２…第２板状部材、７８Ａ，７８Ｂ，７８Ｄ，７８Ｅ，７８Ｆ，７８Ｇ，７８Ｈ，７８Ｊ，７８Ｋ，７８Ｌ，７８Ｍ，７８Ｎ，７８Ｐ，７８Ｑ，７８Ｒ，７８Ｓ…第２部材、７６０Ｂ…圧延方向、７６１Ｅ，７６１Ｐ，７６１Ｑ，７６１Ｒ，７６１Ｔ，７６２Ｄ，７６２Ｑ，７６２Ｒ…側方空間、７７０Ｂ…溝部、７７０Ｃ１…第１溝部、７７０Ｃ２…第２溝部、７７１Ａ，７７１Ｂ，７７１Ｃ，７７１Ｄ，７７１Ｅ，７７１Ｆ，７７１Ｇ，７７１Ｊ，７７１Ｋ，７７１Ｌ，７７１Ｍ，７７１Ｎ，７７１Ｐ，７７１Ｑ，７７１Ｒ，７７１Ｓ，７７１Ｔ…第１面、７７２Ａ，７７２Ｂ，７７２Ｃ，７７２Ｄ，７７２Ｅ，７７２Ｆ，７７２Ｇ，７７２Ｊ，７７２Ｋ，７７２Ｌ，７７２Ｍ，７７２Ｎ，７７２Ｐ，７７２Ｑ，７７２Ｒ，７７２Ｓ，７７２Ｔ…第３面、７７３Ａ，７７３Ｂ，７７３Ｃ，７７３Ｄ，７７３Ｆ，７７３Ｇ，７７３Ｋ，７７３Ｌ，７７３Ｍ，７７３Ｎ，７７３Ｓ，７７３Ｔ…第１貫通孔、７７４Ａ，７７４Ｂ，７７４Ｃ，７７４Ｄ，７７４Ｅ，７７４Ｆ，７７４Ｇ，７７４Ｊ，７７４Ｋ，７７４Ｌ，７７４Ｍ，７７４Ｎ，７７４Ｐ，７７４Ｑ，７７４Ｒ，７７４Ｓ，７７４Ｔ…流路、７７４１Ｆ…第３貫通孔、７７５Ａ，７７５Ｂ，７７５Ｃ，７７５Ｄ，７７５Ｅ，７７５Ｆ，７７５Ｇ，７７５Ｊ，７７５Ｋ，７７５Ｌ，７７５Ｍ，７７５Ｎ，７７５Ｐ，７７５Ｑ，７７５Ｒ，７７５Ｓ，７７５Ｔ…第１領域、７７６Ａ，７７６Ｂ，７７６Ｃ，７７６Ｄ，７７６Ｅ，７７６Ｆ，７７６Ｇ，７７６Ｊ，７７６Ｋ，７７６Ｌ，７７６Ｍ，７７６Ｎ，７７６Ｐ，７７６Ｑ，７７６Ｒ，７７６Ｓ，７７６Ｔ…第１空間、７７８Ａ，７７８Ｂ，７７８Ｃ，７７８Ｄ，７７８Ｅ，７７８Ｆ，７７８Ｇ，７７８Ｊ，７７８Ｋ，７７８Ｌ，７７８Ｍ，７７８Ｎ，７７８Ｐ，７７８Ｑ，７７８Ｒ，７７８Ｓ，７７８Ｔ…第２領域、７８１Ａ，７８１Ｂ，７８１Ｄ，７８１Ｅ，７８１Ｆ，７８１Ｇ，７８１Ｈ，７８１Ｊ，７８１Ｋ，７８１Ｌ，７８１Ｍ，７８１Ｎ，７８１Ｐ，７８１Ｑ，７８１Ｒ，７８１Ｓ…第２面、７８２Ａ，７８２Ｂ，７８２Ｄ，７８２Ｅ，７８２Ｆ，７８２Ｇ，７８２Ｈ，７８２Ｊ，７８２Ｋ，７８２Ｌ，７８２Ｍ，７８２Ｎ，７８２Ｐ，７８２Ｑ，７８２Ｒ，７８２Ｓ…第４面、７８３Ａ，７８３Ｂ，７８３Ｅ，７８３Ｆ，７８３Ｇ，７８３Ｈ，７８３Ｋ，７８３Ｌ，７８３Ｍ，７８３Ｎ，７８３Ｐ，７８３Ｓ…第２貫通孔、７８４Ａ，７８４Ｂ，７８４Ｄ，７８４Ｅ，７８４Ｆ，７８４Ｇ，７８４Ｈ，７８４Ｊ，７８４Ｋ，７８４Ｌ，７８４Ｍ，７８４Ｎ，７８４Ｐ，７８４Ｑ，７８４Ｒ，７８４Ｓ…第２空間、７８５Ｇ，７８５Ｈ，７９４Ｋ…ノズル孔。

Claims (14)

  1. 　第１面に流路が形成された第１部材と、
    　第２面が前記流路を覆うように配置された第２部材とを備え、
    　前記第１部材は、前記第１面と、前記第１面と反対面側の第１空間との間を、前記流路の第１領域を介して、流体を流通させるための第１流通部を備え、
    　前記第２部材は、前記第２面と、前記第２面と反対面側の第２空間との間を、前記流路の前記第１領域とは離間した第２領域を介して、流体を流通させるための第２流通部を備えるフィルタ。
  2. 　請求項１に記載のフィルタにおいて、
    　前記第１流通部は、前記第１部材を貫通する第１貫通孔により構成されたフィルタ。
  3. 　請求項２に記載のフィルタにおいて、
    　前記第１貫通孔は、前記第１部材の略中心を貫通するように形成されたフィルタ。
  4. 　請求項１に記載のフィルタにおいて、
    　前記第２流通部は、前記第２部材を貫通する第２貫通孔により構成されたフィルタ。
  5. 　請求項４に記載のフィルタにおいて、
    　前記第２貫通孔は、前記第２部材の略中心を貫通するように形成されたフィルタ。
  6. 　請求項１に記載のフィルタにおいて、
    　前記流路は、前記第１面に形成された溝部で構成されたフィルタ。
  7. 　請求項１に記載のフィルタにおいて、
    　前記第１面には、スペーサが配置され、
    　前記流路は、互いに隣接する前記スペーサの間の領域で構成されたフィルタ。
  8. 　請求項１に記載のフィルタにおいて、
    　前記第１部材は、圧延によって略板状に形成され、
    　前記流路は、前記第１部材の圧延方向と交差する方向に延びるように形成されたフィルタ。
  9. 　請求項１に記載のフィルタにおいて、
    　前記第１部材は、第１板状部材と、前記第１板状部材と重ねて配置された第２板状部材とから構成され、
    　前記流路は、前記第２板状部材を貫通する第３貫通孔により構成されたフィルタ。
  10. 　請求項１に記載のフィルタにおいて、
    　前記第２部材は、前記第２面の一部が前記第１面からはみ出すように配置され、
    　前記流路は、前記第１部材の外縁まで形成され、
    　前記第１流通部は、前記第１面からはみ出した前記第２面の前記一部と前記第１部材の前記外縁とに面する側方空間で構成されたフィルタ。
  11. 　請求項１に記載のフィルタにおいて、
    　前記第１部材は、前記第１面の一部が前記第２面からはみ出すように配置され、
    　前記流路は、前記第２部材の外縁に対応する位置まで形成され、
    　前記第２流通部は、前記第２面からはみ出した前記第１面の前記一部と前記第２部材の前記外縁とに面する側方空間で構成されたフィルタ。
  12. 　ターゲット物質が出力されるノズル孔が形成されたノズルを有し、内部にターゲット物質を収容するターゲット生成器と、
    　前記ターゲット生成器内に配置され、前記ターゲット物質内の異物が前記ノズル孔を閉塞することを抑制するためのフィルタとを備え、
    　前記フィルタは、第１面に流路が形成された第１部材と、
    　第２面が前記流路を覆うように配置された第２部材とを備え、
    　前記第１部材は、前記第１面と、前記第１面と反対面側の第１空間との間を、前記流路の第１領域を介して、前記ターゲット物質を流通させるための第１流通部を備え、
    　前記第２部材は、前記第２面と、前記第２面と反対面側の第２空間との間を、前記流路の前記第１領域とは離間した第２領域を介して、前記ターゲット物質を流通させるための第２流通部を備えるターゲット供給装置。
  13. 　請求項１２に記載のターゲット供給装置において、
    　前記第２部材は、前記第１部材に対し前記ターゲット物質の出力方向側に配置され、
    　前記第２流通部は、前記第２部材を貫通する第２貫通孔により構成され、
    　前記第２貫通孔の前記出力方向側の開口は、前記ノズル孔を構成するターゲット供給装置。
  14. 　請求項１２に記載のターゲット供給装置において、
    　前記第１部材は、前記第２部材に対し前記ターゲット物質の出力方向側に配置され、
    　前記第１流通部は、前記第１部材を貫通する第１貫通孔により構成され、
    　前記第１貫通孔の前記出力方向側の開口は、前記ノズル孔を構成するターゲット供給装置。
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