WO2014148604A1 - ガラス基板生産管理システム及びガラス基板生産管理方法 - Google Patents

ガラス基板生産管理システム及びガラス基板生産管理方法 Download PDF

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WO2014148604A1
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glass substrate
defects
sided glass
sided
upstream
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慎司 大東
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日本電気硝子株式会社
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    • G06Q10/06—Resources, workflows, human or project management; Enterprise or organisation planning; Enterprise or organisation modelling
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    • C03B33/023—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor the sheet or ribbon being in a horizontal position
    • C03B33/037—Controlling or regulating
    • G—PHYSICS
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    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
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    • G05B19/401—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by control arrangements for measuring, e.g. calibration and initialisation, measuring workpiece for machining purposes
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    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
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    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/35—Nc in input of data, input till input file format
    • G05B2219/35162—Determine workpiece placement, nesting in blank, optimize, minimize loss material
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P40/00—Technologies relating to the processing of minerals
    • Y02P40/50—Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
    • Y02P40/57—Improving the yield, e-g- reduction of reject rates

Definitions

  • the present invention relates to a glass substrate production management system, and more specifically, a multi-sided glass substrate having a plurality of virtual single surfaces produced in an upstream process is subjected to product-related processing in a downstream process and a plurality of single-surface glasses.
  • the present invention relates to a glass substrate production management system including a procedure for dividing into plates.
  • glass substrates and organic ELs used in flat panel displays such as plasma displays, liquid crystal displays, field emission displays (including surface emission displays), electroluminescence displays, and organic EL displays.
  • FPDs flat panel displays
  • a glass substrate used for lighting, a glass substrate used for tempered glass that is a constituent element of a touch panel, a panel of a solar cell, or a glass substrate used for other electronic devices is a so-called multiple surface for the purpose of improving productivity. The actual situation is that the use as a glass substrate is promoted.
  • the mother glass is sequentially produced one by one as the most upstream process, and the mother glass is cut into a plurality of single-sided glass as the downstream process. It is divided into a plurality of single-sided glass plates after being divided into plates, or subjected to product-related processing such as formation of films and circuit patterns corresponding to a plurality of display screens on the surface of the mother glass.
  • Patent Document 1 a multi-sided glass substrate having a defect at a specific location is wasted in the process from the upstream process to the downstream process by handling it as a non-defective product. Is disclosed.
  • each multi-surface glass substrate is not wasteful so that all of the multi-surface glass substrates for four surfaces are not wasted due to a defect of one surface.
  • Defect information such as the position, type and size of the defect is transmitted from the upstream processer to the downstream processer. It is discarded as a glass plate.
  • Patent Document 1 needs to study and install a method for transmitting defect information from a processor in an upstream process to a processor in a downstream process, and to do so. Therefore, the complexity of inventory management and the complexity of product production planning become remarkable, and there is a problem that actual operation becomes difficult.
  • the technique disclosed in this document simply discards the single-sided glass plate that has been subjected to product-related processing in the downstream process, based on the defect information transmitted from the upstream process to the downstream process. Therefore, it is not clear whether or not the processor in the downstream process suffers a significant loss, and as a result, the processor in the downstream process suffers a very large loss. Yes.
  • the present invention has been made in view of the above circumstances, and eliminates the need to transmit individual defect information of a multi-sided glass substrate from an upstream process to a downstream process, and the upstream processers and downstream It is an object of the present invention to provide a glass substrate production management system in consideration of total profit and loss with a processor in a side process.
  • the first aspect of the present invention created to solve the above problems is a procedure for dividing a multi-sided glass substrate produced in an upstream process into a plurality of single-sided glass plates by performing product-related processing in a downstream process.
  • a glass substrate production management system including a defect data relating to a defect in a single lot of multi-sided glass substrate in an upstream process and a defect in the single lot of multi-sided glass substrate in an upstream process.
  • the multi-sided glass substrate is considered as a non-defective product, and the benefits received by the processor in the upstream process by sending it to the downstream side process.
  • the above-mentioned “one lot” means, in a narrow sense, a collection of products manufactured under the same conditions, but is not limited thereto, and in a broad sense, the same kind whose quality is controlled by the same manager. Means a collection of products (same below).
  • the benefit received by the processor in the upstream process and the loss received by the processor in the downstream process are based on the defect data created in the upstream process, and there are defects in the multi-sided glass substrate. It is calculated based on the number of virtual single planes that are being used. Therefore, it is possible to send individual multi-sided glass from the upstream process to the downstream process so that the result that the profit exceeds the loss is obtained. As a result, the profit received by the processor in the upstream process and the loss received by the processor in the lower process can be made a total profit, so if this profit is distributed between the two, both You can make a profit.
  • the upstream processer considering the total profit and loss between the upstream processer and the downstream processer, it is determined whether the multi-sided glass substrate is a good product or a defective product, so the upstream processer Thus, there will be no adverse effects such as only the person in charge of the process or the downstream inversion process receiving an undue loss.
  • the second aspect of the present invention created to solve the above problems is a procedure for dividing a multi-sided glass substrate produced in an upstream process into a plurality of single-sided glass plates by performing product-related processing in a downstream process.
  • defect data obtained by performing defect inspection by extracting 10 or more multi-sided glass substrates from 10 or more lots of multi-sided glass substrates in the upstream process Based on this, the total number of defects present in the extracted multi-surface glass substrate is detected, and the total number of defects is divided by the total area of the multi-surface glass substrate surface to be inspected.
  • the first inspection means for calculating the multi-sided glass substrate of the one lot in the upstream process, and the multi-sided glass substrate in which the defect exists is preliminarily regarded as a non-defective product and sent to the downstream process. And the presence of the defects when the product is processed into a single-sided glass plate by performing product-related processing on a multi-sided glass substrate preliminarily regarded as a non-defective product.
  • the loss received by the processor in the downstream process due to the occurrence of defective products is caused by using the lot average defect density and varying the number of virtual single surfaces on which the defects exist several times. If the profit exceeds the loss based on the result of the trial calculation, the virtual single surface in which the defect exists is regarded as the absence of the defect.
  • Trial calculation means for calculating the allowable number of faces indicating the number of faces in a single multi-sided glass substrate, and the defect exists by inspecting the total number of multi-sided glass substrates of the one lot in the upstream process.
  • Total number of virtual single faces The multi-sided glass substrate in which the second inspection means and the real number of virtual single faces where the defects exist are within the allowable number of faces calculated by the trial calculation means. It is characterized in that it includes a non-defective product which is a non-defective product which is sent to the downstream process in addition to the picked glass substrate, and which is a defective product which is discarded in the upstream process.
  • the “benefits received by the processor in the upstream process” in the above-mentioned calculation means are the profits that can be obtained in comparison with the conventional system in which the multi-sided glass substrate in which even one defect exists is discarded.
  • “loss received by the processor in the downstream process” means that if there is a conventional system, there were no defects due to the upstream process on the entire surface of the multi-faced glass substrate. It is a loss that occurs in comparison with the fact that all single-sided glass plates obtained by performing product-related treatment on them were good.
  • the “product-related process” is a process for forming a film, a circuit pattern, or the like corresponding to a display screen on the surface of a multi-sided glass substrate.
  • the “allowable number of surfaces” means that when a multi-faced glass that has been treated as a defective product due to the presence of one or more defects is allowed as a non-defective product, the multi-faced glass substrate has a defect.
  • the number of virtual single faces hereinafter the same).
  • a processor in the upstream process sequentially manufactured a multi-faced glass substrate such as a rectangle using a molding apparatus or the like, and the production of a multi-faced glass substrate of 10 or more lots was completed.
  • the first inspection means counts the number of defects existing on the entire surface of each multi-faced glass based on the defect data of defect inspection performed by extracting an appropriate number of pieces,
  • the lot average defect density of a group of multi-faced glass substrates is calculated by dividing the total number by the total area of the surface of the inspected multi-face glass substrate.
  • the trial calculation means sequentially changes the number of virtual single surfaces on which the defect exists, and the benefits received by the processor in the upstream process over a plurality of times in advance, and the processor in the downstream process. Is estimated using the above-mentioned lot average defect density.
  • the trial calculation means uses the allowable number of cases in which the above profit exceeds the above loss (if the multi-sided glass that was treated as a defective product in the conventional system is allowed as a non-defective product, the The number of virtual single surfaces having defects on the chamfered glass substrate is calculated.
  • the multi-surface picking is performed based on the unit price per multi-surface glass substrate in the upstream process and the lot average defect density, and the number of virtual single surfaces on which the defect exists is the allowable number of surfaces. From the yield of the glass substrate (non-defective product rate), the benefit received by the processor in the upstream process is clarified.
  • the defect is calculated from the unit price per single-surface glass plate and lot average defect density when product-related processing is performed on the multi-surface glass substrate in the downstream process and divided into a plurality of single-surface glass plates, and the defect
  • the multi-faced glass substrate including the virtual single face where the present is present being sent to the downstream process corresponding to the allowable number of faces
  • the single glass sheet after the division in the downstream process contains defects.
  • the loss experienced by the processor in the downstream process is determined from the failure rate.
  • the pass / fail judgment means actually checks for defects.
  • the existing virtual single surface is the allowable number of surfaces calculated by the trial calculation means, it is considered as a non-defective product and sent to the downstream process together with the multi-surface glass substrate having no defects at all.
  • the collected glass substrate is discarded as a defective product in the upstream process.
  • the profit received by the processor in the upstream process and the loss received by the processor in the lower process become a total profit, so if this profit is distributed between the two, both can make a profit. .
  • the upstream process By performing the operation as described above, it is possible to judge the quality of the multi-sided glass substrate only in the upstream process in a state where the edge from the downstream process is cut, and accordingly, the upstream process Since it is no longer necessary to transmit defect information from the processor in the side process to the processor in the downstream process, it is advantageous in terms of equipment, inventory management, production planning, etc., and actual operations can be performed easily. It becomes.
  • the multi-sided glass substrate is a non-defective product or a defective product. No adverse effects occur such as only the person who is in the process or only the person who is in the downstream inversion process receives an undue loss.
  • the third aspect of the present invention which was created to solve the above-described problems, divides a multi-sided glass substrate produced in the upstream process into a plurality of single-sided glass plates by performing product-related processing in the downstream process.
  • a glass substrate production management system including a procedure for performing a defect inspection by extracting 10 or more multi-sided glass substrates from one or more lots of multi-sided glass substrates in an upstream process. Based on the data, the total number of defects present in the extracted multi-surface glass substrate is detected, and the total number of defects is divided by the total area of the multi-surface glass substrate surface to be inspected.
  • the inspection means for inspecting the total number of the multi-surface glass substrates of the one lot and counting the actual number of virtual single surfaces on which the defect exists, For the multi-faced glass substrate, the benefits received by the processor in the upstream process by preliminarily considering the multi-faced glass substrate with defects as a good product and sending it to the downstream process, and the preliminary good product Loss incurred by the processor in the downstream process due to the occurrence of defective products due to the presence of the defects when product-related processing is performed on a multi-sided glass substrate regarded as being divided into a plurality of single-sided glass plates And using the lot average defect density, the number of virtual single surfaces on which the defect exists is varied over a plurality of times, and the profit is calculated based on the result of the trial calculation.
  • the number of allowable planes indicating the number of virtual single planes on which a single-sided glass substrate is regarded as having no defects when the virtual single planes with the defects exist are considered to be non-defects.
  • the glass substrate it is characterized in that it includes a non-defective product that is sent as a non-defective product to be sent to the downstream process, and other multi-sided glass substrate is a defective product that is discarded in the upstream process.
  • This third aspect of the present invention differs from the above-mentioned second aspect of the present invention in that a single inspection means is used to calculate a lot average defect density, and there are defects in the total number of multi-sided glass substrates in one lot. This is the point that the actual number of virtual single planes being counted is performed at the same time. Since the other configuration is the same, description of the operation or effect thereof is omitted here.
  • the fourth invention of the present invention which was created to solve the above-mentioned problems, divides a multi-sided glass substrate produced in the upstream process into a plurality of single-sided glass plates by performing product-related processing in the downstream process.
  • a glass substrate production management system including a procedure for performing a defect inspection by extracting 10 or more multi-sided glass substrates from one or more lots of multi-sided glass substrates in an upstream process. Based on the data, the total number of defects present in the extracted multi-surface glass substrate is detected, and the total number of defects is divided by the total area of the multi-surface glass substrate surface to be inspected.
  • the inspection means for inspecting the total number of the multi-sided glass substrates of one lot and counting the actual number of virtual single surfaces on which the defects exist, and the size and arrangement of the virtual single surfaces Is determined, and the upstream process by sending the multi-faced glass substrate in which defects are present to the downstream process preliminarily as a non-defective product for the one-lot multi-faced glass substrate in the upstream process.
  • the product is processed into a single-sided glass plate by performing product-related processing on those multi-sided glass substrates that are preliminarily regarded as non-defective products, defective products due to the presence of the defects
  • the tentatively determined virtual single surface is made different in size and arrangement, and is calculated several times. Based on the results of the calculation, the tentatively determined virtual one surface is determined when the profit exceeds the loss.
  • the number of virtual single planes on which a single-sided glass substrate is considered to be a virtual single side where the defects exist is regarded as a non-existent defect is determined. While calculating the allowable number of surfaces shown, using the defect data obtained by the inspection means, the trial calculation means for calculating the actual number of virtual single surface where the defect exists for each glass substrate, A multi-faced glass substrate in which the actual number of virtual single faces on which defects counted by the inspection means are present is within the allowable number of faces calculated by the trial calculation means is taken on multiple faces without any defects.
  • the glass substrate In addition to the glass substrate, it is characterized in that it includes a non-defective product that is sent as a non-defective product to be sent to the downstream process, and other multi-sided glass substrate is a defective product that is discarded in the upstream process.
  • the fourth aspect of the present invention differs from the third aspect of the invention described above in that the calculation of the allowable number of faces in the trial calculation means is performed after determining the size and arrangement of the virtual single face.
  • the actual number of virtual single faces where the defects exist is calculated for each multi-faced glass substrate. This is the point. Since the other configuration is the same, description of the operation or effect thereof is omitted here.
  • the harmless area relief rate is defined as a harmless area relief rate obtained by dividing the area of the harmless area into multiple harmless areas and dividing the area of the harmless area by the area of the glass substrate, and calculating the harmless area relief rate by the calculation means. Can be used.
  • the processor in the upstream process is a manufacturer of mother glass as a multi-sided glass substrate for a flat panel display
  • the processor in the downstream process is a middle panel of a flat panel display. It may be the final manufacturer.
  • the processor in the upstream process sequentially manufactures the rectangular mother glass by the downdraw method or the float method, and performs the above-described operation, there is a defect in the mother glass that is finally handled as a non-defective product.
  • the number of existing virtual single planes can be estimated.
  • the panel manufacturer performs a normal inspection and eliminates defective products, so that the mother glass manufacturer and the panel manufacturer gain a profit when the profits and losses of both are totaled. .
  • the processor in the upstream process is a manufacturer of mother glass as a multi-sided glass substrate for a flat panel display, and the processor in the downstream process simply cuts from the mother glass of the flat panel display.
  • the manufacturer who processes into a surface glass plate may be sufficient.
  • the fifth aspect of the present invention which was created to solve the above problems, is a procedure for dividing a multi-sided glass substrate produced in an upstream process into a plurality of single-sided glass plates by performing product-related processing in a downstream process.
  • a glass substrate production management method including the step of creating defect data relating to defects in a single lot of multi-sided glass substrates in an upstream process, and the presence of defects in the single lot of multi-sided glass substrates in an upstream step
  • the multi-sided glass substrate is considered as a non-defective product, and the benefits received by the processor in the upstream process by sending it to the downstream side process.
  • the loss incurred by the processor in the downstream process due to the occurrence of a defective product due to the presence of the defect when divided into single-sided glass plates is the multi-faced glass. Whether to send each multi-sided glass substrate from the upstream process to the downstream process based on the comparison result between the profit and the loss. It is characterized by determining.
  • the fifth aspect of the present invention relates to the glass substrate production management method, but the substantial operation or effect is the same as that of the glass substrate production management system according to the first aspect of the present invention. Then, the explanation is omitted.
  • the sixth aspect of the present invention devised to solve the above problems is a procedure for dividing a multi-sided glass substrate produced in an upstream process into a plurality of single-sided glass plates by performing product-related processing in a downstream process.
  • the defect data obtained by extracting 10 or more multi-sided glass substrates from a multi-sided glass substrate of 10 or more lots in the upstream process and performing defect inspection Based on this, the total number of defects present in the extracted multi-surface glass substrate is detected, and the total number of defects is divided by the total area of the multi-surface glass substrate surface to be inspected.
  • the first inspection step for calculating the multi-sided glass substrate of the one lot in the upstream side process is preliminarily regarded as a non-defective multi-sided glass substrate with defects and sent to the downstream side process. Due to the existence of the above-mentioned defects when it is divided into a plurality of single-sided glass plates by performing product-related processing on the multi-sided glass substrate preliminarily regarded as non-defective products.
  • the loss received by the processor in the downstream process due to the occurrence of a defective product, and using the lot average defect density, the number of the virtual single surface where the defect exists is different multiple times
  • a virtual single face where the virtual single face where the defect exists is regarded as a non-existent defect when the profit exceeds the loss based on the result of the trial calculation Is a trial calculation process for calculating the number of allowable surfaces indicating how many are in a single multi-sided glass substrate, and the defect exists by inspecting the total number of multi-sided glass substrates in one lot in the upstream process.
  • the actual number of virtual faces The second inspection step and a multi-surface glass substrate in which the actual number of virtual single surfaces on which the defect exists is within the allowable number of surfaces calculated by the trial calculation means, and multi-surface sampling on which no defect exists at all
  • the non-defective product is provided as a non-defective product to be sent to the downstream process
  • the other multi-sided glass substrate is a defective product to be discarded in the upstream process.
  • the sixth aspect of the present invention relates to the glass substrate production management method, but the substantial operation or effect is the same as that of the glass substrate production management system according to the second aspect of the present invention. Then, the explanation is omitted.
  • the seventh aspect of the present invention which was created to solve the above problems, divides a multi-sided glass substrate produced in the upstream process into a plurality of single-sided glass plates by performing product-related processing in the downstream process.
  • a glass substrate production management method including a procedure for performing a defect inspection by extracting 10 or more multi-sided glass substrates from one or more multi-sided glass substrates of 10 or more lots in an upstream process. Based on the data, the total number of defects present in the extracted multi-surface glass substrate is detected, and the total number of defects is divided by the total area of the multi-surface glass substrate surface to be inspected.
  • the benefits received by the processor of the upstream process by preliminarily considering the multi-sided glass substrate with defects as a non-defective product and sending it to the downstream process, and preliminarily regarded as the non-defective product
  • the loss received by the processor in the downstream process due to the occurrence of defective products due to the presence of the defects when product-related processing is performed on the multi-sided glass substrate that has been divided into a plurality of single-sided glass plates
  • the lot average defect density the number of virtual single surfaces on which the defect is present is varied to make a trial calculation several times, and the profit exceeds the loss based on the result of the trial calculation.
  • the number of allowable planes indicating the number of virtual single planes on a single multi-sided glass substrate that considers the virtual single planes with the defects to be non-existent.
  • the non-defective product is provided as a non-defective product to be sent to the downstream process
  • the other multi-sided glass substrate is a defective product to be discarded in the upstream process.
  • the seventh aspect of the present invention relates to a glass substrate production management method, but the substantial operation or effect is the same as that of the above-described glass substrate production management system according to the third aspect of the present invention. Then, the explanation is omitted.
  • the eighth invention of the present invention which was created to solve the above problems, divides a multi-sided glass substrate produced in an upstream process into a plurality of single-sided glass plates by performing product-related processing in the downstream process.
  • a glass substrate production management method including a procedure for performing a defect inspection by extracting 10 or more multi-sided glass substrates from one or more multi-sided glass substrates of 10 or more lots in an upstream process. Based on the data, the total number of defects present in the extracted multi-surface glass substrate is detected, and the total number of defects is divided by the total area of the multi-surface glass substrate surface to be inspected.
  • a defect density is calculated, and an inspection step of performing defect inspection on the total number of the multi-surface glass substrates of the one lot to count the actual number of virtual single surfaces on which the defects exist, and the size and arrangement of the virtual single surfaces
  • the multi-sided glass substrate of the one lot in the upstream side process is preliminarily regarded as a non-defective product and sent to the downstream side process.
  • a product-related process is performed on a multi-sided glass substrate that is preliminarily regarded as a good product and divided into a plurality of single-sided glass plates, defective products are generated due to the existence of the defects.
  • a trial calculation step of calculating the allowable number of surfaces and using the defect data obtained in the inspection step to calculate the actual number of virtual single surfaces where the defects exist for each glass substrate, and the inspection A multi-sided glass substrate in which the actual number of virtual single faces on which defects counted in the process are present is within the allowable number of faces calculated by the trial calculation means, multi-sided glass having no defects at all
  • the non-defective product is provided as a non-defective product to be sent to the downstream process
  • the other multi-sided glass substrate is a defective product to be discarded in the upstream process.
  • the eighth aspect of the present invention relates to the glass substrate production management method, the substantial operation or effect is the same as that of the glass substrate production management system according to the fourth aspect of the present invention. Then, the explanation is omitted.
  • the surface of the multi-sided glass substrate on which the product-related processing is performed in the downstream process is harmful to the defects that are harmful to the product-related processing.
  • the harmless area relief rate is determined by dividing the area into harmless areas where defects are harmless to product-related processing, and taking the area of the harmless area and dividing it by the area of the glass substrate. , And can be used for calculations performed in the trial calculation means (trial calculation step).
  • the processor in the upstream process is a manufacturer of mother glass as a multi-sided glass substrate for a flat panel display
  • the processor in the downstream process may be an intermediate or final manufacturer of the panel of the flat panel display, or the processor in the upstream process is a mother glass as a multi-sided glass substrate for a flat panel display.
  • disconnects from the mother glass of a flat panel display, and processes it into a single-sided glass plate may be sufficient.
  • the present invention it is not necessary to transmit the defect information of the multi-sided glass substrate from the upstream process to the downstream process, and the total of the processor in the upstream process and the processor in the downstream process.
  • Glass substrate production management system that takes into account the overall profit and loss.
  • FIG. 1 is a diagram for explaining a process of actually manufacturing a single-sided glass plate using a glass substrate production management system according to an embodiment of the present invention, and shows a multi-sided glass substrate subjected to manufacturing-related processing.
  • FIG. FIG. 1 is a diagram for explaining a process of actually manufacturing a single-sided glass plate using a glass substrate production management system according to an embodiment of the present invention, and shows a multi-sided glass substrate subjected to manufacturing-related processing.
  • FIG. 1 is a diagram for explaining a process of actually manufacturing a single-sided glass plate using a glass substrate production management system according to an embodiment of the present invention, and a plurality of multi-sided glass substrates subjected to manufacturing-related processing; It is the schematic which shows the state divided
  • FIG. 1 is a diagram for explaining a process of actually manufacturing a single-sided glass plate using a glass substrate production management system according to an embodiment of the present invention, and a plurality of multi-sided glass substrates subjected to manufacturing-related processing; It is the schematic which shows the state divided
  • FIG. 1 is a diagram for explaining a process of actually manufacturing a single-sided glass plate using a glass substrate production management system according to an embodiment of the present invention, and a plurality of multi-sided glass substrates subjected to manufacturing-related processing; It is the schematic which shows the state divided
  • FIG. 1 is a diagram for explaining a process of actually manufacturing a single-sided glass plate using a glass substrate production management system according to an embodiment of the present invention, and a plurality of multi-sided glass substrates subjected to manufacturing-related processing; It is the schematic which shows the state divided
  • FIG. 1 is a diagram for explaining a process of actually manufacturing a single-sided glass plate using a glass substrate production management system according to an embodiment of the present invention, and a plurality of multi-sided glass substrates subjected to manufacturing-related processing; It is the schematic which shows the state divided
  • FIG. 1 is a schematic configuration diagram illustrating a main configuration of a glass substrate production management system (hereinafter simply referred to as a production management system) according to an embodiment of the present invention
  • FIG. 2 is a flowchart illustrating a procedure of the production management system.
  • FIGS. 3 to 7 are schematic diagrams showing the implementation status of the production management system.
  • the multi-sided glass substrate 1 has a rectangular shape, and a region excluding the edges of the four sides is virtually divided into eight virtual single surfaces 2.
  • the multi-sided glass substrate 1 is formed by a downdraw method or a float method in an upstream process and cut into a predetermined size (for example, a horizontal dimension of 1400 to 2600 mm and a vertical dimension of 1600 to 2800 mm).
  • FIG. 3 b shows a state where processing such as formation of a film or a circuit pattern is performed on all virtual single surfaces 2 of the multi-faced glass substrate 1 in the downstream step
  • FIG. 3 c shows the downstream step.
  • Each processed virtual single surface 2 is shown as being divided into single glass plates 3.
  • the production management system S includes a first inspection means A that is obtained by extracting a predetermined number of glass substrates 1 from a multi-sided glass substrate 1 of 10 or more lots in an upstream process, and detection by the first inspection means A. Pass / fail judgment performed based on the trial calculation means B performed based on the result, the second inspection means C performed on the total number of one lot, the calculation result of the trial calculation means B, and the detection result of the second inspection means. Means D. And the result of this quality determination means D is reflected in a downstream process. Therefore, all the processes for one lot of the multi-sided glass substrate 1 are performed in the upstream process.
  • the first inspection means A was extracted based on defect data of defect inspection performed by extracting 10 or more multi-sided glass substrates 1 from 10 or more multi-sided glass substrates 1.
  • the total number of defects present in the multi-sided glass substrate 1 is detected, and the lot average defect density is calculated by dividing the total number of defects by the total area of the surface of the glass substrate 1 to be inspected. is there.
  • the defect here means a defect that causes a problem in the downstream process.
  • the trial calculation means B first treats a lot of multi-sided glass substrate 1 as an upstream side process by preliminarily considering the multi-sided glass substrate 1 having defects as a non-defective product and sending it to the downstream side process. Seeking the profits that will receive. This calculation is based on the unit price per multi-surface glass substrate in the upstream process and the lot average defect density, and the number of virtual single surfaces 2 on which the defects exist is the provisional allowable number of surfaces. It is calculated
  • a product-related process (a process of forming a film, a circuit pattern, or the like corresponding to a display screen on the surface of the multi-sided glass substrate 1) is performed on the multi-sided glass substrate 1 that is preliminarily regarded as a non-defective product.
  • segments into this single-sided glass plate 3 is calculated
  • the defect corresponding to the provisional allowable number of surfaces is sent to the downstream process and is obtained from the yield that is included in the single-sided glass plate 3 and becomes defective.
  • the trial calculation means B makes a trial calculation several times to obtain the above-mentioned profit and the above-mentioned loss by varying the number of virtual single surfaces on which the above defects exist, Based on the above, the true allowable number of virtual single faces on which the defect exists is calculated when the above-mentioned profit exceeds the above-mentioned loss (more preferably, the profit is the maximum within the estimated range). To do.
  • the second inspection means C performs defect inspection on the total number of the multi-sided glass substrates 1 of the one lot, stores the inspection results, and stores the defect data as the stored inspection results on the multi-sided glass substrate 1.
  • the allowable number of virtual single surfaces on which defects are present is counted based on the defect data while collating with virtual lines defining each virtual single surface 2.
  • the trial calculation means B calculates the actual number of virtual single faces in which the defects actually measured by the second inspection means C are present from one lot of the multi-surface glass substrate 1.
  • the multi-sided glass substrate 1 that is the true allowable number of virtual single surfaces having defects is a non-defective product that is sent to the downstream process in addition to the multi-sided glass substrate 1 having no defects. And let other multi-sided glass substrate 1 be inferior goods discarded in an upstream process.
  • Step S1 corresponds to the first detection means A, and here, for 10 or more lots of multi-sided glass substrates 1 formed by a downdraw method, a float method or the like and subjected to predetermined processing, About the multi-surface glass substrate 1 from which 10 or more are extracted, defects are inspected, the total number of defects is counted, and a lot average defect density is calculated by dividing it by the total inspection area.
  • an optical automatic defect detection device is used, but in the first inspection means A, each virtual single surface 2 of the multi-sided glass substrate 1 is partitioned. It is not necessary to know the virtual line in advance.
  • step S2 when it is assumed that the inspected multi-sided glass substrate 1 is regarded as a non-defective product in the downstream process, the number i of virtual single sides 2 having defects in the multi-sided glass substrate 1 is counted from 1. The number is determined one by one in order up to 8 (in some cases, the maximum number less than 8).
  • step S3 the cumulative profit received by the processor in the upstream process is compared with the cumulative loss received by the processor in the downstream process for all cases from 1 to 8.
  • the accumulation here refers to the cumulative value of profit and the cumulative value of loss calculated by sequentially incrementing i from one to one.
  • the calculation of the profit is based on the multi-surface sampling in which the number of virtual single surfaces where the defects are present is calculated from the unit price per multi-surface glass substrate in the upstream process and the lot average defect density, and the number of virtual single surfaces on which the defects exist is the allowable number of surfaces. It is obtained from the yield of the glass substrate 1.
  • the loss is calculated from the unit price per single-sided glass plate 3 and lot average defect density when product-related processing is performed on the multi-sided glass substrate in the downstream process and divided into multiple single-sided glass plates.
  • the yield corresponding to the above-mentioned allowable number of faces is determined from the yield that is sent to the downstream process and included in the single-sided glass plate 3 to become defective. In each case, to obtain the yield from the lot average defect density, it may be obtained probabilistically by an equation using a binomial cumulative distribution function.
  • step S4 if the accumulated profit exceeds the accumulated loss, the process proceeds to step S5. If not, the process proceeds to step S7.
  • step S5 if i is the largest accumulated profit compared to the previous trial calculation results in a series of trial calculations in which i is incremented one by one, the process proceeds to step S6 and compared with the previous trial calculation results. If it is not the maximum accumulated profit, the process proceeds to step S8.
  • step S6 the value of i at that time is set as a temporary allowable number of faces (appropriate number of virtual single faces having defects), and the process proceeds to step S7.
  • step S7 it is determined whether i at that time has reached the number of virtual single surfaces (in the present embodiment, the number of 8 surfaces) configured in one multi-sided glass substrate. Proceed to step S8, and if not reached, return to step S2. In step S8, the provisional allowable number of faces at that time is set as the final allowable number of faces (true allowable number of faces), and the process proceeds to step S9.
  • Step S9 corresponds to the second inspection means C, but here, with respect to the total number of the multi-sided glass substrates 1 of one lot, there is a defect on the basis of the virtual lines that divide each virtual single surface.
  • the actual number of virtual single planes is counted, and the process proceeds to step S10.
  • Step S10 corresponds to the pass / fail judgment means D.
  • the non-defective product and the defective product are determined from the actual number of virtual single surfaces in which defects are present in the multi-sided glass substrate 1 and the true allowable number of surfaces. Select.
  • Completion of the above operation reveals whether the defect has only one virtual single surface 2 as a non-defective product, or whether it has two or three defects as a non-defective product. Then, 100% inspection is selected based on the result.
  • the above-mentioned profits and losses are obtained as shown in FIGS. 3a, 3b, and 3c.
  • the product-related processing is performed on the multi-sided glass substrate 1 having no defects, eight single sides are obtained.
  • the glass plate 3 is divided, there is no profit and loss due to defects on the upstream side and the downstream side, so the profit and loss in the present invention are zero.
  • the price equivalent of all the multi-sided glass substrates 1 that are determined to be defective will be lost. Then, since it was regarded as a loss, in the present invention for comparing with the conventional system, the profit is determined assuming that the loss is zero in such a case.
  • one defect 4 exists in one virtual single side 2, and in the multi-sided glass substrate 1 shown in FIG. One defect 4 is present on each single face 2, and one defect 4 is present on each of the three virtual single faces 2 in the multi-faced glass substrate 1 shown in FIG. 6a, as shown in FIG. 7a. It is assumed that the single-sided glass substrate 1 has one defect 4 on each of the four virtual single surfaces 2.
  • the first inspection means A simply detects the total number of defects 4 (10 in this example), and divides this total number by the total area of the multi-faced glass substrate 1 for four sheets. The lot average defect density is calculated. Then, in the process of trial calculation by the trial calculation means B based on this lot average defect density, as shown in FIG. 4a, the multi-sided glass substrate 1 is a non-defective product before the product-related processing is performed. Comparing the profit obtained by considering the loss with the loss caused by discarding one single-sided glass plate 3 as shown in FIG. 4c after performing product-related processing as shown in FIG. 4b However, when the profit exceeds the loss, the multi-sided glass substrate 1 is sent as a non-defective product from the upstream process to the downstream process.
  • the loss generated by discarding the single-sided glass plate 3 is compared, and it is determined whether or not the profit exceeds the loss.
  • the number of glass substrates is 1, 2, or 3
  • the multi-sided glass substrate 1 in the previous stage where the product-related processing is performed is sent from the upstream process to the downstream process. In the case of more than one, the multi-sided glass substrate 1 in the previous stage where the product-related processing is performed is discarded in the upstream process.
  • the harmless area relief rate ( ⁇ ) used in this calculation means that there is a defect that becomes defective in the upstream process from design information such as a circuit pattern formed on the glass substrate in the downstream process, for example.
  • design information such as a circuit pattern formed on the glass substrate in the downstream process, for example.
  • the area ratio is replaced as a probability from the design information of the circuit pattern.
  • the accumulated profit is the maximum (96 yen), so in one lot of multi-sided glass substrate 1 there is a single virtual single side where a defect exists, but there is no defect at all. It is sent from the upstream process to the downstream process together with what is not.
  • ⁇ is 0% and Cbs is 10,000 yen
  • the accumulated profit is all zero or less, so in the multi-surface glass substrate 1 of one lot, only the one having no defects is upstream. It is sent from the process to the downstream process.
  • the harmless area relief rate ( ⁇ ) will be described in detail.
  • the circuit pattern Pa when it is planned that a plurality of linear circuit patterns Pa (regions with rough cross-hatching) are arranged in parallel on the multi-sided glass substrate 1, the circuit pattern Pa If there is a defect or a defect exists in a region Ba (region with fine cross-hatching) where the circuit pattern Pa is close, a disconnection or a short circuit may occur. Therefore, the region composed of Pa and Ba is defined as a harmful region where the existence of defects is not allowed, and the other region Ca (region hatched with parallel diagonal lines) is defined as a harmless region.
  • a value obtained by dividing the area of Ca by the area of the entire area (effective area) of the multi-sided glass substrate 1 is defined as a harmless area relief rate ( ⁇ ).
  • the defect information is transmitted from the processor in the upstream process to the processor in the downstream process. This is advantageous in terms of equipment, inventory management, production planning, and the like, and allows actual operations to be easily performed. Further, in the defect inspection, it is only necessary to detect the total number of defects for obtaining the lot average defect density and the number of virtual single planes 2 on which the defects 4 for the multi-sided glass substrate 1 are present. This eliminates the need for careful inspection of defects, and the defect inspection work is greatly simplified, thereby improving the work efficiency.
  • the multi-sided glass substrate 1 is configured to determine whether it is a non-defective product or a defective product. Defects such as only the processor or only the processor of the downstream process suffering an undue loss will not occur.
  • the processor in the upstream process is a manufacturer of mother glass as a multi-sided glass substrate for flat panel displays, and the processor in the downstream process is an intermediate or final manufacturer of flat panel display panels.
  • the processor of the upstream process is a manufacturer of mother glass as a multi-sided glass substrate for flat panel displays, and the processor of the downstream process cuts from the mother glass of the flat panel display. Or a manufacturer who processes the glass into a single-sided glass plate.
  • the first detection means A, the trial calculation means B, the second inspection means C, and the non-defective product determination means D in the above embodiment may be performed continuously almost simultaneously. That is, an optical automatic defect detection apparatus in which an inspection object flows continuously is used.
  • a single inspection means A1 inspects with both purposes.
  • the non-defective product determination means C1 is immediately performed based on the result, and finally the inspection object is selected.
  • the detection of the lot average defect density by the detection means A1 may use a moving average according to the input of 10 or more consecutive inspection objects.
  • the second inspection means C compares the function of inspecting the total number of the multi-sided glass substrates 1 of one lot with the virtual lines that define each virtual single side 2 of the multi-sided glass substrate 1 while checking the defects.
  • the latter function is replaced with the expression “calculation” instead of the expression “count”, and is included in the trial calculation means B1 instead of the inspection means A1, and is executed at the end of the trial calculation means B1. Also good. In such a case, it is possible to select a more preferable size and arrangement of the virtual single plane according to the result of the lot average defect density.
  • the plurality of virtual single surfaces configured in one multi-sided glass substrate are basically the same size, but may be different sizes.
  • the present invention is applied as the glass substrate production management system S.
  • the first inspection step A2, the trial calculation step B2, 2 inspection process C2 and pass / fail judgment process D2 may be provided, and as shown in FIG. 11, similarly as glass substrate production management method S3, single inspection process A3, trial calculation process B3, and pass / fail judgment You may make it provide the process C3.
  • the inspection process C3 has a function of inspecting the entire number of the multi-sided glass substrate 1 of one lot and the virtual single side 2 of the multi-sided glass substrate 1 in a virtual manner.
  • the binomial cumulative distribution function is used to calculate the allowance between the profit received by the processor in the upstream process and the loss received by the processor in the downstream process.
  • the distribution is adopted on the premise that the distribution is binomial, and other distribution functions corresponding to the premise may be used.
  • the present invention is not limited to such a calculation method, as long as it is a method capable of calculating the profit received by the processor of the upstream process and the loss received by the processor of the downstream process, Other calculation techniques may be used.

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Abstract

　上流側工程で１０枚以上の一ロットの多面採りガラス基板1 から１０枚以上を抜き取られて検査された欠陥データに基づいて、ロット平均欠陥密度を算出する第１検査手段と、上流側工程の処理者が受ける利益と下流側工程の処理者が受ける損失とを、欠陥が存在している仮想単面の個数を異ならせて複数回に宣って試算し、それらの試算結果に基づいて、利益が損失を上回っている場合における欠陥が存在している仮想単面の許容面数を算出する試算手段と、一ロットの多面採りガラス基板の全数を検査して欠陥が存在している仮想単面の個数を計数する第２検査手段と、多面採りガラス基板の良否を判定する良否判定手段とを備える。

Description

ガラス基板生産管理システム及びガラス基板生産管理方法
　本発明は、ガラス基板生産管理システムに係り、詳しくは、上流側工程で作製された複数の仮想単面を有する多面採りガラス基板を、下流側工程で製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割する手順を含むガラス基板生産管理システムに関する。
　周知のように、プラズマディスプレイ、液晶ディスプレイ、フィールドエミッションディスプレイ（サーフェイスエミッションディスプレイを含む）、エレクトロルミネッセンスディスプレイ、及び有機ＥＬディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ（以下、ＦＰＤともいう）に用いられるガラス基板、有機ＥＬ照明に用いられるガラス基板、タッチパネルの構成要素である強化ガラス等に用いられるガラス基板、太陽電池のパネル、或いはその他の電子デバイスに用いられるガラス基板は、生産性の向上等を目的として、いわゆる多面採りガラス基板としての使用が推進されているのが実情である。
　この種の多面採りガラス基板においては、最も上流側の処理として、マザーガラスを一枚ずつ順次作製することが行われ、その下流側の処理としては、マザーガラスを切断して複数の単面ガラス板に分割したり、或いはマザーガラスの表面に例えば複数のディスプレイ画面に対応する膜や回路パターンの形成等の製品関連処理を施した後に複数の単面ガラス板に分割することが行われる。
　その場合、従来においては、多面採りガラス基板における複数の仮想単面の如何なる位置にも欠陥が存在しないことが要求されていたことから、多面採りガラス基板の大型化に伴って、製品歩留まりが大きく低下し、コストの高騰を余儀なくされるという問題を有していた。
　このような問題に対処するため、例えば特許文献１によれば、特定の箇所に欠陥を有する多面採りガラス基板については、良品として取り扱うことにより、上流側工程から下流側工程に至る過程での無駄を省略することが開示されている。
　具体的には、例えば仮想単面が４面存在する場合に、そのうちの１面の欠陥のために４面分の多面採りガラス基板全部が無駄にならないように、個々の多面採りガラス基板毎の欠陥の位置、種類及び大きさなどの欠陥情報を、上流側工程の処理者から下流側工程の処理者に伝達し、悪質な欠陥が存在している仮想単面を、切断後に不良の単面ガラス板として廃棄している。
特許第４３４７０６７号公報
　しかしながら、上述の特許文献１に開示された手法は、欠陥情報を上流側工程の処理者から下流側工程の処理者に伝達するための方法の検討や設備が必要になると共に、それを行うことによる在庫管理の複雑化や製品の生産計画立案の煩雑化が顕著となり、現実の運用が困難になるという問題を有している。
　加えて、同文献に開示された手法は、単に上流側工程から下流側工程に伝達された欠陥情報に基づいて、下流側工程で製品関連処理が施された単面ガラス板を廃棄しているに過ぎないため、下流側工程での処理者が著しい損失を受けているか否かが判明せず、結果的には、下流側工程の処理者が極めて大きな損失を受けるという問題をも有している。
　本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、多面採りガラス基板の個々の欠陥情報を上流側工程から下流側工程に伝達することを不要にすると共に、上流側工程の処理者と下流側工程の処理者とのトータル的な損益を考慮したガラス基板生産管理システムを提供することを課題とする。
　上記課題を解決するために創案された第１の本発明は、上流側工程で作製された多面採りガラス基板を、下流側工程で製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割する手順を含むガラス基板生産管理システムであって、上流側工程で一ロットの多面採りガラス基板について、欠陥に関する欠陥データを作成すると共に、上流側工程における前記一ロットの多面採りガラス基板について、欠陥が存在している多面採りガラス基板を良品とみなして下流側工程に送ることによる上流側工程の処理者が受ける利益と、それらの良品とみなされた多面採りガラス基板に製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割した場合に前記欠陥の存在に起因して不良品が発生したことによる下流側工程の処理者が受ける損失とを、前記多面採りガラスにおける欠陥が存在している仮想単面の個数に基づいて算出し、前記利益と前記損失との比較結果に基づいて、個々の多面採りガラス基板を上流側工程から下流側工程に送るか否かを判定するように構成したことに特徴づけられる。ここで、上記の「一ロット」とは、狭義には、同一条件で製造された製品の集まりを意味するが、これに限定されず、広義には、同一の管理者により品質管理された同種の製品の集まりを意味する（以下、同様）。
　このような構成によれば、上流側工程の処理者が受ける利益と、下流側工程の処理者が受ける損失は、上流側工程において作成した欠陥データを元に、多面採りガラス基板における欠陥が存在している仮想単面の個数に基づいて算出される。従って、上記利益が上記損失を上回るという結果が得られるように、個々の多面採りガラスを上流側工程から下流側工程に送ることが可能となる。この結果、上流側工程の処理者が受ける利益と下琉側工程の処理者が受ける損失とを、トータルで利益となるようにすることができるため、この利益を両者で分配すれば、両者共に利益をあげることができる。従って、下流側工程とは縁が切れた状態で、上流側工程でのみ、多面採りガラス基板の良否の判断を行うことが可能となり、これに伴って、上流側工程の処理者から下流側工程の処理者に欠陥情報を伝達する必要がなくなるため、設備面、在庫管理面、及び生産計画立案面等で有利となり、現実の運用を簡単に行うことが可能となる。加えて、上流側工程の処理者と下流側工程の処理者とのトータル的な損益を考慮して、多面採りガラス基板が良品か不良品かの決定がなされるため、上流側工程の処理者のみまたは下流倒工程の処理者のみが不当な損失を受ける等の弊害も生じなくなる。
　上記課題を解決するために創案された第２の本発明は、上流側工程で作製された多面採りガラス基板を、下流側工程で製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割する手順を含むガラス基板生産管理システムであって、上流側工程で１０枚以上の一ロットの多面採りガラス基板から、１０枚以上の多面採りガラス基板を抜き取って欠陥検査をして得られた欠陥データに基づいて、その抜き取られた多面採りガラス基板に存在している欠陥の総個数を検出し、その欠陥の総個数を検査対象とした多面採りガラス基板の面の総面積で除したロット平均欠陥密度を算出する第１検査手段と、上流側工程における前記一ロットの多面採りガラス基板について、欠陥が存在している多面採りガラス基板を予備的に良品とみなして下流側工程に送ることによる上流側工程の処理者が受ける利益と、それらの予備的に良品とみなされた多面採りガラス基板に製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割した場合に前記欠陥の存在に起因して不良品が発生したことによる下流側工程の処理者が受ける損失とを、前記ロット平均欠陥密度を使用して、前記欠陥が存在している仮想単面の個数を異ならせて複数回に亘って試算し、それらの試算結果に基づいて、前記利益が前記損失を上回っている場合に、前記欠陥が存在している仮想単面を欠陥が存在していないものと見做す仮想単面が一枚の多面採りガラス基板に何個あるかを示す許容面数を算出する試算手段と、上流側工程における前記一ロットの多面採りガラス基板の全数を欠陥検査して前記欠陥が存在している仮想単面の実個数を計数する第２検査手段と、前記欠陥が存在している仮想単面の実個数が前記試算手段で算出された許容面数の範囲内にある多面採りガラス基板を、欠陥が全く存在していない多面採りガラス基板に加えて下流側工程に送る良品とし、その他の多面採りガラス基板を、上流側工程で廃棄する不良品とする良否判定手段と、を備えたことに特徴づけられる。
　ここで、上記の試算手段における「上流側工程の処理者が受ける利益」とは、欠陥が一つでも存在する多面採りガラス基板を廃棄していた従来システムとの比較において取得できる利益である。また、上記の試算手段における「下流側工程の処理者が受ける損失」とは、従来システムであれば、多面採りガラス基板の全面に上流側工程に起因する欠陥が存在していなかったことから、それらに製品関連処理を施して分割して得られた全ての単面ガラス板が良品であった事との比較において生じる損失である。なお、「製品関連処理」とは、多面採りガラス基板の表面に例えばディスプレイ画面に対応する膜や回路パターン等を形成する処理のことである。さらに、「許容面数」とは、１個以上の欠陥が存在することによって不良品として扱っていた多面採りガラスを仮に良品として許容して扱う場合に、その多面取りガラス基板に欠陥が存在する仮想単面の面数である（以下、同様）。
　このような構成によれば、上流側工程の処理者が成形装置等を使用して矩形等の多面採りガラス基板を順次製作し、１０枚以上の一ロットの多面採りガラス基板の製作が完了した時点または製作していく過程において、第１の検査手段が、適当枚数を抜き取って行う欠陥検査の欠陥データに基づいて、各多面採りガラスの全面に存在している欠陥の個数を計数し、それらの総個数を、検査した多面取りガラス基板の面の総面積で除した一群の多面採りガラス基板のロット平均欠陥密度を算出する。次に、試算手段が、前記欠陥が存在している仮想単面の個数を順次異ならせて予備的に複数回に亘って、上流側工程の処理者が受ける利益と、下流側工程の処理者が受ける損失とを、上述のロット平均欠陥密度を使用して試算する。さらに、試算手段は、上記の利益が上記の損失を上回っている場合の許容面数（従来システムであれば不良品と扱っていた多面採りガラスを仮に良品として許容して扱う場合に、その多面取りガラス基板に欠陥が存在する仮想単面の面数）を算出する。この算出に際しては、上流側工程での多面採りガラス基板の一枚あたりの単価と、ロット平均欠陥密度から計算され且つ前記欠陥が存在している仮想単面の個数が許容面数にある多面採りガラス基板の収率（良品率）とから、上流側工程の処理者が受ける利益が判明する。また、下流側工程で多面採りガラス基板に製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割した場合の単面ガラス板の一枚あたりの単価と、ロット平均欠陥密度から計算され且つ前記欠陥が存在している仮想単面を含む多面採りガラス基板が許容面数に対応して下流側工程にまで送られた結果、下流側工程での分割後の単面ガラス板に欠陥が含まれて不良になる率とから、下流側工程の処理者が受ける損失が判明する。この後においては、第２の検査手段が、前記一ロットの多面採りガラス基板の全数について、欠陥が存在している仮想単面の実個数を計数した後、良否判定手段が、実際に欠陥の存在している仮想単面が、試算手段で算出された許容面数である場合には、全く欠陥が存在していない多面採りガラス基板と共に、良品とみなして下流側工程に送り、その他の多面採りガラス基板は不良品として上流側工程で廃棄する。この結果、上流側工程の処理者が受ける利益と下琉側工程の処理者が受ける損失とは、トータルで利益となるため、この利益を両者で分配すれば、両者共に利益をあげることができる。以上のような動作が行われることにより、下流側工程とは縁が切れた状態で、上流側工程でのみ、多面採りガラス基板の良否の判断を行うことが可能となり、これに伴って、上流側工程の処理者から下流側工程の処理者に欠陥情報を伝達する必要がなくなるため、設備面、在庫管理面、及び生産計画立案面等で有利となり、現実の運用を簡単に行うことが可能となる。加えて、上流側工程の処理者と下流側工程の処理者とのトータル的な損益を考慮して、多面採りガラス基板が良品か不良品かを決定する構成であるため、上流側工程の処理者のみまたは下流倒工程の処理者のみが不当な損失を受ける等の弊害も生じなくなる。
　また、上記課題を解決するために創案された第３の本発明は、上流側工程で作製された多面採りガラス基板を、下流側工程で製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割する手順を含むガラス基板生産管理システムであって、上流側工程で１０枚以上の一ロットの多面採りガラス基板から、１０枚以上の多面採りガラス基板を抜き取って欠陥検査をして得られた欠陥データに基づいて、その抜き取られた多面採りガラス基板に存在している欠陥の総個数を検出し、その欠陥の総個数を検査対象とした多面採りガラス基板の面の総面積で除したロット平均欠陥密度を算出すると共に、前記一ロットの多面採りガラス基板の全数を欠陥検査して前記欠陥が存在している仮想単面の実個数を計数する検査手段と、上流側工程における前記一ロットの多面採りガラス基板について、欠陥が存在している多面採りガラス基板を予備的に良品とみなして下流側工程に送ることによる上流側工程の処理者が受ける利益と、それらの予備的に良品とみなされた多面採りガラス基板に製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割した場合に前記欠陥の存在に起因して不良品が発生したことによる下流側工程の処理者が受ける損失とを、前記ロット平均欠陥密度を使用して、前記欠陥が存在している仮想単面の個数を異ならせて複数回に亘って試算し、それらの試算結果に基づいて、前記利益が前記損失を上回っている場合に、前記欠陥が存在している仮想単面を欠陥が存在していないものと見做す仮想単面が一枚の多面採りガラス基板に何個あるかを示す許容面数を算出する試算手段と、前記検査手段により計数された欠陥が存在している仮想単面の実個数が、前記試算手段で算出された許容面数の範囲内にある多面採りガラス基板を、欠陥が全く存在していない多面採りガラス基板に加えて下流側工程に送る良品とし、その他の多面採りガラス基板を、上流側工程で廃棄する不良品とする良否判定手段と、を備えたことに特徴づけられる。
　この第３の本発明が、上述の第２の本発明と相違するところは、単一の検査手段で、ロット平均欠陥密度の算出と、一ロットの多面採りガラス基板の全数についての欠陥が存在している仮想単面の実個数の計数とを同時期に行うようにした点である。その他の構成は同一であるので、その動作或いは作用効果の説明は、ここでは省略する。
　さらに、上記課題を解決するために創案された第４の本発明は、上流側工程で作製された多面採りガラス基板を、下流側工程で製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割する手順を含むガラス基板生産管理システムであって、上流側工程で１０枚以上の一ロットの多面採りガラス基板から、１０枚以上の多面採りガラス基板を抜き取って欠陥検査をして得られた欠陥データに基づいて、その抜き取られた多面採りガラス基板に存在している欠陥の総個数を検出し、その欠陥の総個数を検査対象とした多面採りガラス基板の面の総面積で除したロット平均欠陥密度を算出すると共に、前記一ロットの多面採りガラス基板の全数を欠陥検査して前記欠陥が存在している仮想単面の実個数を計数する検査手段と、前記仮想単面のサイズと配置とを仮に決定した上で、上流側工程における前記一ロットの多面採りガラス基板について、欠陥が存在している多面採りガラス基板を予備的に良品とみなして下流側工程に送ることによる上流側工程の処理者が受ける利益と、それらの予備的に良品とみなされた多面採りガラス基板に製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割した場合に前記欠陥の存在に起因して不良品が発生したことによる下流側工程の処理者が受ける損失とを、前記ロット平均欠陥密度を使用して、前記欠陥が存在している仮想単面の個数を異ならせて、更には必要に応じて前記仮に決定した仮想単面のサイズと配置とを異ならせて、複数回に亘って試算し、それらの試算結果に基づいて、前記利益が前記損失を上回っている場合に、前記仮に決定した仮想単面のサイズと配置とを本決定した上で、前記欠陥が存在している仮想単面を欠陥が存在していないものと見做す仮想単面が一枚の多面採りガラス基板に何個あるかを示す許容面数を算出すると共に、前記検査手段で得られた欠陥データを利用して、前記欠陥が存在している仮想単面の実個数を多面採りガラス基板毎に算出する試算手段と、前記検査手段により計数された欠陥が存在している仮想単面の実個数が、前記試算手段で算出された許容面数の範囲内にある多面採りガラス基板を、欠陥が全く存在していない多面採りガラス基板に加えて下流側工程に送る良品とし、その他の多面採りガラス基板を、上流側工程で廃棄する不良品とする良否判定手段と、を備えたことに特徴づけられる。
　この第４の本発明が、上述の第３の本発明と相違するところは、前記試算手段での許容面数の算出を、仮想単面のサイズと配置とを決定した上で行うようにした点と、前記試算手段の付加的構成として、前記検査手段で得られた欠陥データを利用して、前記欠陥が存在している仮想単面の実個数を多面取りガラス基板毎に算出するようにした点とである。その他の構成は同一であるので、その動作或いは作用効果の説明は、ここでは省略する。
　上記第２、第３の発明において、下流側工程で製品関連処理が施される多面採りガラス基板の面を、欠陥が製品関連処理に対して有害となる有害領域と、欠陥が製品関連処理に対して無害となる無害領域とに区分して、無害領域の面積を多面採りガラス基板の面積で除した値を無害領域救済率とし、この無害領域救済率を、前記試算手段で行われる計算に使用することができる。
　このようにすれば、仮想単面に欠陥が存在していても、その欠陥が無害領域にあれば、下流側工程で不良とならないため、実情に合致することになって、試算手段での計算精度が高くなる。
　以上の構成において、前記上流側工程の処理者が、フラットパネルディスプレイ用の多面採りガラス基板としてのマザーガラスの製造者であり、前記下流側工程の処理者が、フラットパネルディスプレイのパネルの中間や最終の製造者であってもよい。
　このようにすれば、上流側工程の処理者がダウンドロー法やフロート法等により矩形のマザーガラスを順次製作し、既述の動作を行えば、最終的に良品として取り扱うマザーガラスについての欠陥が存在している仮想単面の個数を推定できることになる。そして、パネルの製造者は、通常の検査を行って不良品を排除することにより、マザーガラスの製造者とパネルの製造者とについては、両者の損益をトータルした場合に利得が出ることになる。
　また、前記上流側工程の処理者が、フラットパネルディスプレイ用の多面採りガラス基板としてのマザーガラスの製造者であり、前記下流側工程の処理者が、フラットパネルディスプレイのマザーガラスから切断して単面ガラス板に加工する製造者であってもよい。
　このようにした場合であっても、直上述の場合と同様の利点を得ることができる。
　上記課題を解決するために創案された第５の本発明は、上流側工程で作製された多面採りガラス基板を、下流側工程で製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割する手順を含むガラス基板生産管理方法であって、上流側工程で一ロットの多面採りガラス基板について、欠陥に関する欠陥データを作成すると共に、上流側工程における前記一ロットの多面採りガラス基板について、欠陥が存在している多面採りガラス基板を良品とみなして下流側工程に送ることによる上流側工程の処理者が受ける利益と、それらの良品とみなされた多面採りガラス基板に製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割した場合に前記欠陥の存在に起因して不良品が発生したことによる下流側工程の処理者が受ける損失とを、前記多面採りガラスにおける欠陥が存在している仮想単面の個数に基づいて算出し、前記利益と前記損失との比較結果に基づいて、個々の多面採りガラス基板を上流側工程から下流側工程に送るか否かを判定することに特徴づけられる。
　この第５の本発明は、ガラス基板生産管理方法に係るものであるが、実質的な動作或いは作用効果は、上述の第１の本発明に係るガラス基板生産管理システムと同一であるので、ここではその説明を省略する。
　上記課題を解決するために創案された第６の本発明は、上流側工程で作製された多面採りガラス基板を、下流側工程で製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割する手順を含むガラス基板生産管理方法であって、上流側工程で１０枚以上の一ロットの多面採りガラス基板から、１０枚以上の多面採りガラス基板を抜き取って欠陥検査をして得られた欠陥データに基づいて、その抜き取られた多面採りガラス基板に存在している欠陥の総個数を検出し、その欠陥の総個数を検査対象とした多面採りガラス基板の面の総面積で除したロット平均欠陥密度を算出する第１検査工程と、上流側工程における前記一ロットの多面採りガラス基板について、欠陥が存在している多面採りガラス基板を予備的に良品とみなして下流側工程に送ることによる上流側工程の処理者が受ける利益と、それらの予備的に良品とみなされた多面採りガラス基板に製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割した場合に前記欠陥の存在に起因して不良品が発生したことによる下流側工程の処理者が受ける損失とを、前記ロット平均欠陥密度を使用して、前記欠陥が存在している仮想単面の個数を異ならせて複数回に亘って試算し、それらの試算結果に基づいて、前記利益が前記損失を上回っている場合に、前記欠陥が存在している仮想単面を欠陥が存在していないものと見做す仮想単面が一枚の多面採りガラス基板に何個あるかを示す許容面数を算出する試算工程と、上流側工程における前記一ロットの多面採りガラス基板の全数を欠陥検査して前記欠陥が存在している仮想単面の実個数を計数する第２検査工程と、前記欠陥が存在している仮想単面の実個数が前記試算手段で算出された許容面数の範囲内にある多面採りガラス基板を、欠陥が全く存在していない多面採りガラス基板に加えて下流側工程に送る良品とし、その他の多面採りガラス基板を、上流側工程で廃棄する不良品とする良否判定工程と、を備えたことに特徴づけられる。
　この第６の本発明は、ガラス基板生産管理方法に係るものであるが、実質的な動作或いは作用効果は、上述の第２の本発明に係るガラス基板生産管理システムと同一であるので、ここではその説明を省略する。
　また、上記課題を解決するために創案された第７の本発明は、上流側工程で作製された多面採りガラス基板を、下流側工程で製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割する手順を含むガラス基板生産管理方法であって、上流側工程で１０枚以上の一ロットの多面採りガラス基板から、１０枚以上の多面採りガラス基板を抜き取って欠陥検査をして得られた欠陥データに基づいて、その抜き取られた多面採りガラス基板に存在している欠陥の総個数を検出し、その欠陥の総個数を検査対象とした多面採りガラス基板の面の総面積で除したロット平均欠陥密度を算出すると共に、前記一ロットの多面採りガラス基板の全数を欠陥検査して前記欠陥が存在している仮想単面の実個数を計数する検査工程と、上流側工程における前記一ロットの多面採りガラス基板について、欠陥が存在している多面採りガラス基板を予備的に良品とみなして下流側工程に送ることによる上流側工程の処理者が受ける利益と、それらの予備的に良品とみなされた多面採りガラス基板に製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割した場合に前記欠陥の存在に起因して不良品が発生したことによる下流側工程の処理者が受ける損失とを、前記ロット平均欠陥密度を使用して、前記欠陥が存在している仮想単面の個数を異ならせて複数回に亘って試算し、それらの試算結果に基づいて、前記利益が前記損失を上回っている場合に、前記欠陥が存在している仮想単面を欠陥が存在していないものと見做す仮想単面が一枚の多面採りガラス基板に何個あるかを示す許容面数を算出する試算工程と、前記検査工程で計数された欠陥が存在している仮想単面の実個数が、前記試算手段で算出された許容面数の範囲内にある多面採りガラス基板を、欠陥が全く存在していない多面採りガラス基板に加えて下流側工程に送る良品とし、その他の多面採りガラス基板を、上流側工程で廃棄する不良品とする良否判定工程と、を備えたことに特徴づけられる。
　この第７の本発明は、ガラス基板生産管理方法に係るものであるが、実質的な動作或いは作用効果は、上述の第３の本発明に係るガラス基板生産管理システムと同一であるので、ここではその説明を省略する。
　また、上記課題を解決するために創案された第８の本発明は、上流側工程で作製された多面採りガラス基板を、下流側工程で製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割する手順を含むガラス基板生産管理方法であって、上流側工程で１０枚以上の一ロットの多面採りガラス基板から、１０枚以上の多面採りガラス基板を抜き取って欠陥検査をして得られた欠陥データに基づいて、その抜き取られた多面採りガラス基板に存在している欠陥の総個数を検出し、その欠陥の総個数を検査対象とした多面採りガラス基板の面の総面積で除したロット平均欠陥密度を算出すると共に、前記一ロットの多面採りガラス基板の全数を欠陥検査して前記欠陥が存在している仮想単面の実個数を計数する検査工程と、前記仮想単面のサイズと配置とを仮に決定した上で、上流側工程における前記一ロットの多面採りガラス基板について、欠陥が存在している多面採りガラス基板を予備的に良品とみなして下流側工程に送ることによる上流側工程の処理者が受ける利益と、それらの予備的に良品とみなされた多面採りガラス基板に製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割した場合に前記欠陥の存在に起因して不良品が発生したことによる下流側工程の処理者が受ける損失とを、前記ロット平均欠陥密度を使用して、前記欠陥が存在している仮想単面の個数を異ならせて、更には必要に応じて前記仮に決定した仮想単面のサイズと配置とを異ならせて、複数回に亘って試算し、それらの試算結果に基づいて、前記利益が前記損失を上回っている場合に、前記仮に決定した仮想単面のサイズと配置とを本決定した上で、前記欠陥が存在している仮想単面を欠陥が存在していないものと見做す仮想単面が一枚の多面採りガラス基板に何個あるかを示す許容面数を算出すると共に、前記検査工程で得られた欠陥データを利用して、前記欠陥が存在している仮想単面の実個数を多面採りガラス基板毎に算出する試算工程と、前記検査工程で計数された欠陥が存在している仮想単面の実個数が、前記試算手段で算出された許容面数の範囲内にある多面採りガラス基板を、欠陥が全く存在していない多面採りガラス基板に加えて下流側工程に送る良品とし、その他の多面採りガラス基板を、上流側工程で廃棄する不良品とする良否判定工程と、を備えたことに特徴づけられる。
　この第８の本発明は、ガラス基板生産管理方法に係るものであるが、実質的な動作或いは作用効果は、上述の第４の本発明に係るガラス基板生産管理システムと同一であるので、ここではその説明を省略する。
　この場合、上述の第６、第７、第８の本発明においても、下流側工程で製品関連処理が施される多面採りガラス基板の面を、欠陥が製品関連処理に対して有害となる有害領域と、欠陥が製品関連処理に対して無害となる無害領域とに区分して、無害領域の面積を多面採りガラス基板の面積で除した値を無害領域救済率とし、この無害領域救済率を、前記試算手段（試算工程）で行われる計算に使用することができる。また、上述の第５、第６、第７、第８の本発明においても、前記上流側工程の処理者が、フラットパネルディスプレイ用の多面採りガラス基板としてのマザーガラスの製造者であり、前記下流側工程の処理者が、フラットパネルディスプレイのパネルの中間や最終の製造者であってもよく、もしくは、前記上流側工程の処理者が、フラットパネルディスプレイ用の多面採りガラス基板としてのマザーガラスの製造者であり、前記下流側工程の処理者が、フラットパネルディスプレイのマザーガラスから切断して単面ガラス板に加工する製造者であってもよい。
　以上のように本発明によれば、多面採りガラス基板の欠陥情報を上流側工程から下流側工程に伝達することが不要となると共に、上流側工程の処理者と下流側工程の処理者のトータル的な損益をも考慮したガラス基板生産管理システムが実現する。
本発明の実施形態に係るガラス基板生産管理システムの主たる構成を示す概略構成図である。 本発明の実施形態に係るガラス基板生産管理システムの手順を示すフローチャートである。 本発明の実施形態に係るガラス基板生産管理システムを使用して、現実に単面ガラス板を製作する過程を説明するためのものであって、多面採りガラス基板を示す概略図である。 本発明の実施形態に係るガラス基板生産管理システムを使用して、現実に単面ガラス板を製作する過程を説明するためのものであって、製造関連処理が施された多面採りガラス基板を示す概略図である。 本発明の実施形態に係るガラス基板生産管理システムを使用して、現実に単面ガラス板を製作する過程を説明するためのものであって、製造関連処理が施された多面採りガラス基板を複数の単面ガラス板に分割した状態を示す概略図である。 本発明の実施形態に係るガラス基板生産管理システムを使用して、現実に単面ガラス板を製作する過程を説明するためのものであって、多面採りガラス基板を示す概略図である。 本発明の実施形態に係るガラス基板生産管理システムを使用して、現実に単面ガラス板を製作する過程を説明するためのものであって、製造関連処理が施された多面採りガラス基板を示す概略図である。 本発明の実施形態に係るガラス基板生産管理システムを使用して、現実に単面ガラス板を製作する過程を説明するためのものであって、製造関連処理が施された多面採りガラス基板を複数の単面ガラス板に分割した状態を示す概略図である。 本発明の実施形態に係るガラス基板生産管理システムを使用して、現実に単面ガラス板を製作する過程を説明するためのものであって、多面採りガラス基板を示す概略図である。 本発明の実施形態に係るガラス基板生産管理システムを使用して、現実に単面ガラス板を製作する過程を説明するためのものであって、製造関連処理が施された多面採りガラス基板を示す概略図である。 本発明の実施形態に係るガラス基板生産管理システムを使用して、現実に単面ガラス板を製作する過程を説明するためのものであって、製造関連処理が施された多面採りガラス基板を複数の単面ガラス板に分割した状態を示す概略図である。 本発明の実施形態に係るガラス基板生産管理システムを使用して、現実に単面ガラス板を製作する過程を説明するためのものであって、多面採りガラス基板を示す概略図である。 本発明の実施形態に係るガラス基板生産管理システムを使用して、現実に単面ガラス板を製作する過程を説明するためのものであって、製造関連処理が施された多面採りガラス基板を示す概略図である。 本発明の実施形態に係るガラス基板生産管理システムを使用して、現実に単面ガラス板を製作する過程を説明するためのものであって、製造関連処理が施された多面採りガラス基板を複数の単面ガラス板に分割した状態を示す概略図である。 本発明の実施形態に係るガラス基板生産管理システムを使用して、現実に単面ガラス板を製作する過程を説明するためのものであって、多面採りガラス基板を示す概略図である。 本発明の実施形態に係るガラス基板生産管理システムを使用して、現実に単面ガラス板を製作する過程を説明するためのものであって、製造関連処理が施された多面採りガラス基板を示す概略図である。 本発明の実施形態に係るガラス基板生産管理システムを使用して、現実に単面ガラス板を製作する過程を説明するためのものであって、製造関連処理が施された多面採りガラス基板を複数の単面ガラス板に分割した状態を示す概略図である。 本発明の実施形態に係るガラス基板生産管理システムで使用する無害領域救済率を説明するための概略平面図である。 本発明の他の実施形態に係るガラス基板生産管理システムの主たる構成を示す概略構成図である。 本発明の実施形態に係るガラス基板生産管理方法の主たる構成を示す概略構成図である。 本発明の他の実施形態に係るガラス基板生産管理方法の主たる構成を示す概略構成図である。
　以下、本発明の実施形態に係るガラス基板生産管理システムについて図面を参照しつつ説明する。
　図1は、本発明の実施形態に係るガラス基板生産管理システム(以下、単に生産管理システムという)の主たる構成を示す概略構成図であり、図２は、その生産管理システムの手順を示すフローチャートであって、図３～図７は、その生産管理システムの実施状況を示す概略図である。
　先ず、便宜上、図３に基づいて、当該生産管理システムの初期状態における主要部の構成を説明する。図３ａに示すように、多面採りガラス基板１は矩形状をなし、４辺の縁部を除外した領域が、８個の仮想単面２に仮想区画されている。この多面採りガラス基板１は、上流側工程で、ダウンドロー法やフロート法で成形されて、所定の大きさ（例えば横寸法が１４００～２６００ｍｍ、縦寸法が１６００～２８００ｍｍ）に切断されている。図３ｂは、下流側工程で、多面採りガラス基板１の全ての仮想単面２に、膜や回路パターンの形成等の処理が施された状態を示し、図３ｃは、当該下流側工程で、処理済みの各仮想単面２が、各単面ガラス板３に分割された状態を示している。
　次に、本実施形態に係る生産管理システムの構成を図１を参照しつつ説明する。この生産管理システムＳは、上流側工程で１０枚以上の一ロットの多面採りガラス基板１から所定枚数のガラス基板１を抜き取って行われる第１検査手段Ａと、この第１検査手段Ａによる検出結果に基づいて行われる試算手段Ｂと、一のロットの全数に対して行われる第２検査手段Ｃと、試算手段Ｂの算出結果と第２検査手段の検出結果とに基づいて行われる良否判定手段Ｄとを有する。そして、この良否判定手段Ｄの結果は、下流側工程に反映される。従って、一ロットの多面採りガラス基板1についての各処理は、全てが上流側工程で行われる。
　上記第１検査手段Ａは、１０枚以上の一ロットの多面採りガラス基板1から、１０枚以上の枚数の多面採りガラス基板１を抜き取って行う欠陥検査の欠陥データに基づいて、その抜き取られた多面採りガラス基板１に存在している欠陥の総個数を検出し、その欠陥の総個数を、検査対象となったガラス基板１の面の総面積で除したロット平均欠陥密度を算出するものである。ここでいう欠陥とは、下流側工程において問題となる程度の欠陥を意味している。
　上記試算手段Ｂは、先ず、一ロットの多面採りガラス基板１について、欠陥が存在している多面採りガラス基板１を予備的に良品とみなして下流側工程に送ることによる上流側工程の処理者が受ける利益を求める。この算出は、上流側工程での多面採りガラス基板の一枚あたりの単価と、ロット平均欠陥密度から計算され且つ前記欠陥が存在している仮想単面２の個数が仮の許容面数にある多面採りガラス基板の収率（良品率）とから求められる。次いで、それらの予備的に良品とみなされた多面採りガラス基板１に製品関連処理（多面採りガラス基板１の表面に例えばディスプレイ画面に対応する膜や回路パターン等を形成する処理）を施して複数の単面ガラス板３に分割した場合に下流側工程の処理者が受ける損失を求める。この算出は、下流側工程で多面採りガラス基板１に製品関連処理を施して複数の単面ガラス板３に分割した場合の単面ガラス板の一枚あたりの単価と、ロット平均欠陥密度から計算され且つ上記の仮の許容面数に対応する欠陥が下流側工程にまで送られて単面ガラス板３に含まれて不良になる収率とから求められる。さらに、試算手段Ｂは、上記の欠陥が存在している仮想単面の個数を異ならせて、上述の利益と上述の損失とを求めることを複数回に亘って試算し、それらの試算結果に基づいて、上述の利益が上述の損失を上回っている場合（より好ましくはその利益が試算範囲内で最大である場合）における前記欠陥が存在している仮想単面の真の許容面数を算出する。
　上記第２検査手段Ｃは、上記一ロットの多面採りガラス基板1の全数を欠陥検査して、その検査結果を記憶させると共に、記憶された検査結果である欠陥データを、多面採りガラス基板１の各仮想単面２を区画している仮想線と照合しながら、欠陥が存在している仮想単面の許容面数を欠陥データに基づいて計数する。
　上記良否判定手段Ｄは、一ロットの多面採りガラス基板１の中から、第２検査手段Ｃで実測された欠陥が存在している仮想単面の実個数が、上記試算手段Ｂで算出された欠陥が存在している仮想単面の真の許容面数である多面採りガラス基板１を、欠陥が全く存在していない多面採りガラス基板１に加えて下流側工程に送る良品とする。そして、その他の多面採りガラス基板１を、上流側工程で廃棄する不良品とする。
　以上の手順を、図２に示すフローチャートのステップＳ１～Ｓ７を参照して、詳しく説明する。このフローチャートは、上流側工程での処理の手順のみを示している。
　ステップＳ１は、第１検出手段Ａに相当し、ここでは、ダウンドロー法やフロート法等で成形されて所定の加工が施された１０枚以上の一ロットの多面採りガラス基板1を対象として、その中から１０枚以上を抜き取った多面採りガラス基板1について、欠陥の検査を行い欠陥の総個数を計数し、それを検査総面積で除したロット平均欠陥密度を算出する。第１検査手段Ａ（第２検査手段Ｃも同様）では、光学式の自動欠陥検出装置が使用されるが、第１検査手段Ａでは、多面採りガラス基板1の各仮想単面２を区画している仮想線が予め判明している必要は無い。
　ステップＳ２では、検査が行われた多面採りガラス基板1を、下流側工程で良品としてみなすと仮定した場合における当該多面採りガラス基板１に欠陥が存在する仮想単面２の個数ｉを１個から８個(場合によっては８個未満の最大個数)まで１個ずつ順に決定していく。そして、ステップＳ３では、それが１個から８個までの全ての場合について、それぞれ、上流側工程の処理者が受ける累積利益と、下流側工程の処理者が受ける累積損失とを比較する。ここで言う累積とは、ｉが１個から１個ずつ順に繰り上がることによって算出される利益の累積値及び損失の累積値を表す。利益の算出は、上流側工程での多面採りガラス基板の一枚あたりの単価と、ロット平均欠陥密度から計算され且つ前記欠陥が存在している仮想単面の個数が許容面数にある多面採りガラス基板１の収率とから求められる。損失の算出は、下流側工程で多面採りガラス基板に製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割した場合の単面ガラス板３の一枚あたりの単価と、ロット平均欠陥密度から計算され且つ上記の許容面数に対応する欠陥が下流側工程にまで送られて単面ガラス板３に含まれて不良になる収率とから求められる。それぞれにおいて、ロット平均欠陥密度から収率を求めるには二項累積分布関数を用いた式で確率的に求めるとよい。
　ステップＳ４では、累積利益が累積損失を上回っている場合に、ステップＳ５に進み、上回っていない場合にはステップＳ７に進む。ステップＳ５では、ｉが１個から１個ずつ順に繰り上がる一連の試算の中で今までの試算結果に比べて最大の累積利益である場合にはステップＳ６へ進み、今までの試算結果に比べて最大の累積利益でない場合はステップＳ８に進む。ステップＳ６では、その時のｉの値を仮の許容面数（欠陥が存在している仮想単面の適切個数）としてステップＳ７に進む。ステップＳ７でその時のｉが１枚の多面採りガラス基板内に構成される仮想単面の面数（本実施形態では８個の面数）に到達しているかを判断して、到達していたらステップＳ８に進み、到達していなかったらステップＳ２に戻る。ステップＳ８では、その時の仮の許容面数を最終的な許容面数（真の許容面数）としステップＳ９に移る。
　ステップＳ９は、第２検査手段Ｃに相当するが、ここでは、一ロットの多面採りガラス基板１の全数について、各仮想単面を区画している仮想線を基準として、欠陥が存在している仮想単面の実個数を計数して、ステップＳ１０へ進む。ステップＳ１０は、良否判定手段Ｄに相当するが、ここでは、多面採りガラス基板１に欠陥が存在している仮想単面の実個数と、真の許容面数とから、良品と不良品との選別を行う。
　以上の動作が完了することにより、欠陥の存在している仮想単面２が１個のみの場合を良品としてみなすか、あるいはそれが２個または３個などの場合をも良品としてみなすかが判明して、その結果に基づいて全数検査選別される。
　更に詳述すると、上述の利益と損失は、図３ａ、図３ｂ、図３ｃに示すように、欠陥が全く存在しない多面採りガラス基板１に、製品関連処理を施した後、８個の単面ガラス板３に分割した場合には、上流側及び下流側共に欠陥に起因する利益及び損失が存在しないから、本発明における利益及び損失は零である。一方、欠陥の存在する仮想単面２が1個でもあれば不良品として廃棄する場合には、その不良品とされた全ての多面採りガラス基板１の価格相当分が損失となるが、従来システムでは、それを損失としていたため、従来システムとの比較を行う本発明では、このような場合を損失が零であるとして利益が決まる。
　そして、一例として、図４ａに示す多面採りガラス基板１には、１個の仮想単面２に１個の欠陥４が存在し、図５ａに示す多面採りガラス基板１には、２個の仮想単面２にそれぞれ１個ずつの欠陥４が存在し、図６ａに示す多面採りガラス基板１には、３個の仮想単面２にそれぞれ１個ずつの欠陥４が存在し、図７ａに示す多面採りガラス基板１には、４個の仮想単面２にそれぞれ１個ずつの欠陥４が存在しているとする。
　この場合に、第１検査手段Ａでは、単に欠陥４の総個数（本例では１０個）だけを検出し、この総個数を、４枚分の多面採りガラス基板１の総面積で除算して、ロット平均欠陥密度を算出する。そして、このロット平均欠陥密度に基づいて、試算手段Ｂで試算をしていく過程においては、図４ａで示すように、製品関連処理が施される前段階で、その多面採りガラス基板１を良品とみなすことにより得られる利益と、図４ｂに示すように、製品関連処理を施した後に、図４ｃに示すように、１個の単面ガラス板３を廃棄することにより発生する損失とを比較し、利益が損失を上回っている場合には、この多面採りガラス基板１は良品として上流側工程から下流側工程に送られる。同様に、図５、図６、図７についても、製品関連処理が施される前段階の多面採りガラス基板１を良品とみなすことにより得られる利益と、製造関連処理を施した後に該当個数の単面ガラス板３を廃棄することにより発生する損失とを比較し、利益が損失を上回っているか否かを判定する。そして、図４、図５、図６に示すものについては、利益が損失を上回っているが、図７に示すものについては、利益が損失を上回っていなかったとすると、欠陥が存在する仮想単面の個数が、１個、２個、３個の場合には、製品関連処理が施される前段階の多面採りガラス基板１が、上流側工程から下流側工程に送られるが、当該個数が４個以上の場合には、製品関連処理が施される前段階の多面採りガラス基板１が、上流側工程で廃棄処分される。
　上述のロット平均欠陥密度から収率を求めるには二項累積分布関数を用いた式で確率的に求めるとよい。それを含む実施形態の計算について以下説明をする。計算には二項累積分布関数を含む下記の［数１］～［数５］の数式を用いる。その数式に使用されるパラメータの定義は下記の表１に掲載されている。また、ここでの実施形態において、これらのパラメータのうち前提条件になるパラメータについては下記の表２に掲載する。そして、それらの入力による計算結果を下記の表３に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000001
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000002
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000003
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000004
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000005
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000006
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000007
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000008
　なお、この計算の中で用いられている無害領域救済率（α）とは、例えば下流工程でガラス基板に形成される回路パターン等の設計情報から前記上流工程で不良となる欠陥が存在しても回路パターンの検査上では不良にならないような複雑に入り組んだ回路パターンに沿った無害領域に対して、回路パターンの設計情報から面積的な割合を確率として置き換えたものである。
　上記の表３によれば、αが０％で且つＣｂｓが３０００円の場合には、仮想単面が８個の中で許容面数が２個である時に、累積利益が最大（２７６円）となっているので、一ロットの多面採りガラス基板１においては、欠陥の存在している仮想単面が１個と２個のものが、欠陥の全く存在していないものと共に上流側工程から下流側工程に送られる。また、αが０％で且つＣｂｓが６０００円の場合と、αが４０％で且つＣｂｓが１００００円の場合とは、両者共に、仮想単面が８個の中で許容面数が１個である時に、累積利益が最大（９６円）となっているので、一ロットの多面採りガラス基板１においては、欠陥の存在している仮想単面が１個のものが、欠陥の全く存在していないものと共に上流側工程から下流側工程に送られる。なお、αが０％で且つＣｂｓが１００００円の場合には、累積利益が全て零以下であるため、一ロットの多面採りガラス基板１においては、欠陥の全く存在していないもののみが上流側工程から下流側工程に送られる。
　ここで、無害領域救済率（α）について詳述する。図８に示すように、多面採りガラス基板１に、直線状の回路パターンＰａ（粗いクロスハッチングが付されている領域）が複数並列に配列されることが予定されている場合に、回路パターンＰａに欠陥が存在したり、回路パターンＰａが近接している領域Ｂａ（細かいクロスハッチングが付されている領域）に欠陥が存在したりすると、断線や短絡などが生じ得る。そこで、このＰａとＢａとからなる領域を、欠陥の存在が許されない有害領域とし、その他の領域Ｃａ（平行斜線からなるハッチングが付された領域）を無害領域とする。そして、Ｃａの面積を、多面採りガラス基板１の全領域（有効面領域）の面積で除算した値を、無害領域救済率（α）とする。ここでの実施形態の計算には、この概念を用いることが好ましい。しかしながら、αを特定できない場合はα＝０を数式に代入して計算すればよい。
　以上の実施形態に係る生産管理システムＳは、上流側工程でのみ、多面採りガラス基板１の良否の判断を行うことができるため、上流側工程の処理者から下流側工程の処理者に欠陥情報を伝達する必要がなくなり、設備面、在庫管理面、及び生産計画立案面等で有利となって、現実の運用を簡単に行うことが可能となる。さらに、欠陥検査では、ロット平均欠陥密度を求めるための欠陥の総個数と、多面採りガラス基板１についての欠陥４が存在している仮想単面2の個数と検出するだけで良く、上流側工程での入念な欠陥の検査を行う必要がなくなり、欠陥の検査作業が極めて簡素化されて、作業能率の向上が図られる。加えて、上流側工程の処理者と下流側工程の処理者とのトータル的な損益を考慮して、多面採りガラス基板１が良品か不良品かを決定する構成であるため、上流側工程の処理者のみまたは下流側工程の処理者のみが不当な損失を受ける等の弊害も生じなくなる。
　なお、上流側工程の処理者は、フラットパネルディスプレイ用の多面採りガラス基板としてのマザーガラスの製造者であり、下流側工程の処理者は、フラットパネルディスプレイのパネルの中間又は最終製造者であってもよく、或いは、上流側工程の処理者が、フラットパネルディスプレイ用の多面採りガラス基板としてのマザーガラスの製造者であり、下流側工程の処理者が、フラットパネルディスプレイのマザーガラスから切断して単面ガラス板に加工する製造者であってもよい。
　なお、以上の実施形態における第１検出手段Ａ、試算手段Ｂ，第２検査手段Ｃ、及び良品判定手段Ｄについては、ほぼ同時に連続的に行ってもよい。すなわち、連続式に被検査物が流れる光学式の自動欠陥検出装置が使用され、その検査処理においては、図９に示すように単一の検査手段Ａ１で両方の目的がかなうような仕様で検査をしながら、その結果をすぐにコンピュータにて試算手段Ｂ１の処理をして、その結果による良品判定手段Ｃ１をすぐに行って、最後に被検査物を選別するような工程を組み上げてもよい。この場合には、検出手段Ａ１でのロット平均欠陥密度の検出は、被検査物の連続する１０枚以上の投入に応じた移動平均を使用すればよい。また、第２検査手段Ｃは、一ロットの多面採りガラス基板１の全数を欠陥検査する機能と、多面採りガラス基板１の各仮想単面２を区画している仮想線と照合しながら、欠陥が存在している仮想単面の許容面数を欠陥データから計数する機能とに分けられる。そのうち、後者の機能を、「計数」という表現ではなく、「算定」という表現に置き換えた上で、検査手段Ａ１に代えて試算手段Ｂ１に含ませ、試算手段Ｂ１の最後に実行するようにしてもよい。そのようにした場合には、ロット平均欠陥密度の結果に応じて、より好ましい仮想単面のサイズと配置とを選択することが可能となる。
　また、１枚の多面採りガラス基板内に構成される複数の仮想単面は、原則は同一サイズであるが、それぞれが異なるサイズであってもよい。
　なお、以上の実施形態では、ガラス基板生産管理システムＳとして本発明を適用したが、図１０に示すように、ガラス基板生産管理方法Ｓ２として、第１検査工程Ａ２と、試算工程Ｂ２と、第２検査工程Ｃ２と、良否判定工程Ｄ２とを備えるようにしてもよく、図１１に示すように、同じくガラス基板生産管理方法Ｓ３として、単一の検査工程Ａ３と、試算工程Ｂ３と、良否判定工程Ｃ３とを備えるようにしてもよい。また、図１１に示す生産管理方法は、検査工程Ｃ３が、一ロットの多面採りガラス基板１の全数を欠陥検査する機能と、多面採りガラス基板１の各仮想単面２を区画している仮想線と照合しながら、欠陥が存在している仮想単面の許容面数を欠陥データから計数する機能とに分けられる。そのうち、後者の機能を、「計数」という表現ではなく、「算定」という表現に置き換えた上で、検査工程Ａ３に代えて試算工程Ｂ３に含ませ、試算工程Ｂ３の最後に実行するようにしてもよい。これらの生産管理方法Ｓ２、Ｓ３によるにしても、全ての処理をコンピュータで行うか否かはともかくとして、上述のガラス基板生産管理システムＳと実質的に同一の処理が行われる。
　ここで、以上の実施形態では、上流側工程の処理者が受ける利益と、下流側工程の処理者が受ける損失との許算を、二項累積分布関数を用いたが、これは欠陥の確率分布が二項分布をするという前提で採用しているものであり、前提に見合った他の分布関数を用いてもよい。本発明は、このような計算手法に限定されるものではなく、上流側工程の処理者が受ける利益と、下流側工程の処理者が受ける損失との計算を行うことができる手法であれば、他の計算手法を使用してもよい。
１　多面採りガラス基桓(マザーガラス)
２　仮想単面
３　単面ガラス板
４　欠陥
Ａ　第１検査手段
Ｂ　試算手段
Ｃ　第２検査手段
Ｓ　ガラス基板生産管理システム
Ａ１　検査手段
Ｂ１　試算手段
Ｃ１　良否判定手段
Ａ２　第１検査工程
Ｂ２　試算工程
Ｃ２　第２検査工程
Ｄ２　良否判定工程
Ｓ２　ガラス基板生産管理方法
Ａ３　検査工程
Ｂ３　試算工程
Ｃ３　良否判定工程
Ｓ３　ガラス基板生産管理方法

Claims (14)

  1. 　上流側工程で作製された多面採りガラス基板を、下流側工程で製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割する手順を含むガラス基板生産管理システムであって、
    　上流側工程で一ロットの多面採りガラス基板について、欠陥に関する欠陥データを作成すると共に、
    　上流側工程における前記一ロットの多面採りガラス基板について、欠陥が存在している多面採りガラス基板を良品とみなして下流側工程に送ることによる上流側工程の処理者が受ける利益と、それらの良品とみなされた多面採りガラス基板に製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割した場合に前記欠陥の存在に起因して不良品が発生したことによる下流側工程の処理者が受ける損失とを、前記多面採りガラスにおける欠陥が存在している仮想単面の個数に基づいて算出し、
    　前記利益と前記損失との比較結果に基づいて、個々の多面採りガラス基板を上流側工程から下流側工程に送るか否かを判定するように構成したことを特徴とするガラス基板生産管理システム。
  2. 　上流側工程で作製された多面採りガラス基板を、下流側工程で製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割する手順を含むガラス基板生産管理システムであって、
    　上流側工程で１０枚以上の一ロットの多面採りガラス基板から、１０枚以上の多面採りガラス基板を抜き取って欠陥検査をして得られた欠陥データに基づいて、その抜き取られた多面採りガラス基板に存在している欠陥の総個数を検出し、その欠陥の総個数を検査対象とした多面採りガラス基板の面の総面積で除したロット平均欠陥密度を算出する第１検査手段と、
    　上流側工程における前記一ロットの多面採りガラス基板について、欠陥が存在している多面採りガラス基板を予備的に良品とみなして下流側工程に送ることによる上流側工程の処理者が受ける利益と、それらの予備的に良品とみなされた多面採りガラス基板に製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割した場合に前記欠陥の存在に起因して不良品が発生したことによる下流側工程の処理者が受ける損失とを、前記ロット平均欠陥密度を使用して、前記欠陥が存在している仮想単面の個数を異ならせて複数回に亘って試算し、それらの試算結果に基づいて、前記利益が前記損失を上回っている場合に、前記欠陥が存在している仮想単面を欠陥が存在していないものと見做す仮想単面が一枚の多面採りガラス基板に何個あるかを示す許容面数を算出する試算手段と、
    　上流側工程における前記一ロットの多面採りガラス基板の全数を欠陥検査して前記欠陥が存在している仮想単面の実個数を計数する第２検査手段と、
    　前記欠陥が存在している仮想単面の実個数が前記試算手段で算出された許容面数の範囲内にある多面採りガラス基板を、欠陥が全く存在していない多面採りガラス基板に加えて下流側工程に送る良品とし、その他の多面採りガラス基板を、上流側工程で廃棄する不良品とする良否判定手段と、
    　を備えたことを特徴とするガラス基板生産管理システム。
  3. 　上流側工程で作製された多面採りガラス基板を、下流側工程で製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割する手順を含むガラス基板生産管理システムであって、
    　上流側工程で１０枚以上の一ロットの多面採りガラス基板から、１０枚以上の多面採りガラス基板を抜き取って欠陥検査をして得られた欠陥データに基づいて、その抜き取られた多面採りガラス基板に存在している欠陥の総個数を検出し、その欠陥の総個数を検査対象とした多面採りガラス基板の面の総面積で除したロット平均欠陥密度を算出すると共に、前記一ロットの多面採りガラス基板の全数を欠陥検査して前記欠陥が存在している仮想単面の実個数を計数する検査手段と、
    　上流側工程における前記一ロットの多面採りガラス基板について、欠陥が存在している多面採りガラス基板を予備的に良品とみなして下流側工程に送ることによる上流側工程の処理者が受ける利益と、それらの予備的に良品とみなされた多面採りガラス基板に製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割した場合に前記欠陥の存在に起因して不良品が発生したことによる下流側工程の処理者が受ける損失とを、前記ロット平均欠陥密度を使用して、前記欠陥が存在している仮想単面の個数を異ならせて複数回に亘って試算し、それらの試算結果に基づいて、前記利益が前記損失を上回っている場合に、前記欠陥が存在している仮想単面を欠陥が存在していないものと見做す仮想単面が一枚の多面採りガラス基板に何個あるかを示す許容面数を算出する試算手段と、
    　前記検査手段により計数された欠陥が存在している仮想単面の実個数が、前記試算手段で算出された許容面数の範囲内にある多面採りガラス基板を、欠陥が全く存在していない多面採りガラス基板に加えて下流側工程に送る良品とし、その他の多面採りガラス基板を、上流側工程で廃棄する不良品とする良否判定手段と、
    　を備えたことを特徴とするガラス基板生産管理システム。
  4. 　上流側工程で作製された多面採りガラス基板を、下流側工程で製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割する手順を含むガラス基板生産管理システムであって、
    　上流側工程で１０枚以上の一ロットの多面採りガラス基板から、１０枚以上の多面採りガラス基板を抜き取って欠陥検査をして得られた欠陥データに基づいて、その抜き取られた多面採りガラス基板に存在している欠陥の総個数を検出し、その欠陥の総個数を検査対象とした多面採りガラス基板の面の総面積で除したロット平均欠陥密度を算出すると共に、前記一ロットの多面採りガラス基板の全数を欠陥検査して前記欠陥が存在している仮想単面の実個数を計数する検査手段と、
    　前記仮想単面のサイズと配置とを仮に決定した上で、上流側工程における前記一ロットの多面採りガラス基板について、欠陥が存在している多面採りガラス基板を予備的に良品とみなして下流側工程に送ることによる上流側工程の処理者が受ける利益と、それらの予備的に良品とみなされた多面採りガラス基板に製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割した場合に前記欠陥の存在に起因して不良品が発生したことによる下流側工程の処理者が受ける損失とを、前記ロット平均欠陥密度を使用して、前記欠陥が存在している仮想単面の個数を異ならせて、更には必要に応じて前記仮に決定した仮想単面のサイズと配置とを異ならせて、複数回に亘って試算し、それらの試算結果に基づいて、前記利益が前記損失を上回っている場合に、前記仮に決定した仮想単面のサイズと配置とを本決定した上で、前記欠陥が存在している仮想単面を欠陥が存在していないものと見做す仮想単面が一枚の多面採りガラス基板に何個あるかを示す許容面数を算出すると共に、前記検査手段で得られた欠陥データを利用して、前記欠陥が存在している仮想単面の実個数を多面採りガラス基板毎に算出する試算手段と、
    　前記検査手段により計数された欠陥が存在している仮想単面の実個数が、前記試算手段で算出された許容面数の範囲内にある多面採りガラス基板を、欠陥が全く存在していない多面採りガラス基板に加えて下流側工程に送る良品とし、その他の多面採りガラス基板を、上流側工程で廃棄する不良品とする良否判定手段と、
    　を備えたことを特徴とするガラス基板生産管理システム。
  5. 　下流側工程で製品関連処理が施される多面採りガラス基板の面を、欠陥が製品関連処理に対して有害となる有害領域と、欠陥が製品関連処理に対して無害となる無害領域とに区分して、無害領域の面積を多面採りガラス基板の面積で除した値を無害領域救済率とし、この無害領域救済率を、前記試算手段で行われる計算に使用することを特徴とする請求項２～４の何れかに記載のガラス基板生産管理システム。
  6. 　前記上流側工程の処理者が、フラットパネルディスプレイ用の多面採りガラス基板としてのマザーガラスの製造者であり、前記下流側工程の処理者が、フラットパネルディスプレイのパネルの中間または最終製造者であることを特徴とする請求項１～５の何れかに記載のガラス基板生産管理システム。
  7. 　前記上流側工程の処理者が、フラットパネルディスプレイ用の多面採りガラス基板としてのマザーガラスの製造者であり、前記下流側工程の処理者が、フラットパネルディスプレイのマザーガラスから切断して単面ガラス板に加工する製造者であることを特徴とする請求項１～５の何れかに記載のガラス基板生産管理システム。
  8. 　上流側工程で作製された多面採りガラス基板を、下流側工程で製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割する手順を含むガラス基板生産管理方法であって、
    　上流側工程で一ロットの多面採りガラス基板について、欠陥に関する欠陥データを作成すると共に、
    　上流側工程における前記一ロットの多面採りガラス基板について、欠陥が存在している多面採りガラス基板を良品とみなして下流側工程に送ることによる上流側工程の処理者が受ける利益と、それらの良品とみなされた多面採りガラス基板に製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割した場合に前記欠陥の存在に起因して不良品が発生したことによる下流側工程の処理者が受ける損失とを、前記多面採りガラスにおける欠陥が存在している仮想単面の個数に基づいて算出し、
    　前記利益と前記損失との比較結果に基づいて、個々の多面採りガラス基板を上流側工程から下流側工程に送るか否かを判定することを特徴とするガラス基板生産管理方法。
  9. 　上流側工程で作製された多面採りガラス基板を、下流側工程で製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割する手順を含むガラス基板生産管理方法であって、
    　上流側工程で１０枚以上の一ロットの多面採りガラス基板から、１０枚以上の多面採りガラス基板を抜き取って欠陥検査をして得られた欠陥データに基づいて、その抜き取られた多面採りガラス基板に存在している欠陥の総個数を検出し、その欠陥の総個数を検査対象とした多面採りガラス基板の面の総面積で除したロット平均欠陥密度を算出する第１検査工程と、
    　上流側工程における前記一ロットの多面採りガラス基板について、欠陥が存在している多面採りガラス基板を予備的に良品とみなして下流側工程に送ることによる上流側工程の処理者が受ける利益と、それらの予備的に良品とみなされた多面採りガラス基板に製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割した場合に前記欠陥の存在に起因して不良品が発生したことによる下流側工程の処理者が受ける損失とを、前記ロット平均欠陥密度を使用して、前記欠陥が存在している仮想単面の個数を異ならせて複数回に亘って試算し、それらの試算結果に基づいて、前記利益が前記損失を上回っている場合に、前記欠陥が存在している仮想単面を欠陥が存在していないものと見做す仮想単面が一枚の多面採りガラス基板に何個あるかを示す許容面数を算出する試算工程と、
    　上流側工程における前記一ロットの多面採りガラス基板の全数を欠陥検査して前記欠陥が存在している仮想単面の実個数を計数する第２検査工程と、
    　前記欠陥が存在している仮想単面の実個数が前記試算手段で算出された許容面数の範囲内にある多面採りガラス基板を、欠陥が全く存在していない多面採りガラス基板に加えて下流側工程に送る良品とし、その他の多面採りガラス基板を、上流側工程で廃棄する不良品とする良否判定工程と、
    　を備えたことを特徴とするガラス基板生産管理方法。
  10. 　上流側工程で作製された多面採りガラス基板を、下流側工程で製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割する手順を含むガラス基板生産管理方法であって、
    　上流側工程で１０枚以上の一ロットの多面採りガラス基板から、１０枚以上の多面採りガラス基板を抜き取って欠陥検査をして得られた欠陥データに基づいて、その抜き取られた多面採りガラス基板に存在している欠陥の総個数を検出し、その欠陥の総個数を検査対象とした多面採りガラス基板の面の総面積で除したロット平均欠陥密度を算出すると共に、前記一ロットの多面採りガラス基板の全数を欠陥検査して前記欠陥が存在している仮想単面の実個数を計数する検査工程と、
    　上流側工程における前記一ロットの多面採りガラス基板について、欠陥が存在している多面採りガラス基板を予備的に良品とみなして下流側工程に送ることによる上流側工程の処理者が受ける利益と、それらの予備的に良品とみなされた多面採りガラス基板に製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割した場合に前記欠陥の存在に起因して不良品が発生したことによる下流側工程の処理者が受ける損失とを、前記ロット平均欠陥密度を使用して、前記欠陥が存在している仮想単面の個数を異ならせて複数回に亘って試算し、それらの試算結果に基づいて、前記利益が前記損失を上回っている場合に、前記欠陥が存在している仮想単面を欠陥が存在していないものと見做す仮想単面が一枚の多面採りガラス基板に何個あるかを示す許容面数を算出する試算工程と、
    　前記検査工程で計数された欠陥が存在している仮想単面の実個数が、前記試算手段で算出された許容面数の範囲内にある多面採りガラス基板を、欠陥が全く存在していない多面採りガラス基板に加えて下流側工程に送る良品とし、その他の多面採りガラス基板を、上流側工程で廃棄する不良品とする良否判定工程と、
    　を備えたことを特徴とするガラス基板生産管理方法。
  11. 　上流側工程で作製された多面採りガラス基板を、下流側工程で製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割する手順を含むガラス基板生産管理方法であって、
    　上流側工程で１０枚以上の一ロットの多面採りガラス基板から、１０枚以上の多面採りガラス基板を抜き取って欠陥検査をして得られた欠陥データに基づいて、その抜き取られた多面採りガラス基板に存在している欠陥の総個数を検出し、その欠陥の総個数を検査対象とした多面採りガラス基板の面の総面積で除したロット平均欠陥密度を算出すると共に、前記一ロットの多面採りガラス基板の全数を欠陥検査して前記欠陥が存在している仮想単面の実個数を計数する検査工程と、
    　前記仮想単面のサイズと配置とを仮に決定した上で、上流側工程における前記一ロットの多面採りガラス基板について、欠陥が存在している多面採りガラス基板を予備的に良品とみなして下流側工程に送ることによる上流側工程の処理者が受ける利益と、それらの予備的に良品とみなされた多面採りガラス基板に製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割した場合に前記欠陥の存在に起因して不良品が発生したことによる下流側工程の処理者が受ける損失とを、前記ロット平均欠陥密度を使用して、前記欠陥が存在している仮想単面の個数を異ならせて、更には必要に応じて前記仮に決定した仮想単面のサイズと配置とを異ならせて、複数回に亘って試算し、それらの試算結果に基づいて、前記利益が前記損失を上回っている場合に、前記仮に決定した仮想単面のサイズと配置とを本決定した上で、前記欠陥が存在している仮想単面を欠陥が存在していないものと見做す仮想単面が一枚の多面採りガラス基板に何個あるかを示す許容面数を算出すると共に、前記検査工程で得られた欠陥データを利用して、前記欠陥が存在している仮想単面の実個数を多面採りガラス基板毎に算出する試算工程と、
    　前記検査工程で計数された欠陥が存在している仮想単面の実個数が、前記試算手段で算出された許容面数の範囲内にある多面採りガラス基板を、欠陥が全く存在していない多面採りガラス基板に加えて下流側工程に送る良品とし、その他の多面採りガラス基板を、上流側工程で廃棄する不良品とする良否判定工程と、
    　を備えたことを特徴とするガラス基板生産管理方法。
  12. 　下流側工程で製品関連処理が施される多面採りガラス基板の面を、欠陥が製品関連処理に対して有害となる有害領域と、欠陥が製品関連処理に対して無害となる無害領域とに区分して、無害領域の面積を多面採りガラス基板の面積で除した値を無害領域救済率とし、この無害領域救済率を、前記試算工程で行われる計算に使用することを特徴とする請求項９～１１の何れかに記載のガラス基板生産管理方法。
  13. 　前記上流側工程の処理者が、フラットパネルディスプレイ用の多面採りガラス基板としてのマザーガラスの製造者であり、前記下流側工程の処理者が、フラットパネルディスプレイのパネルの中間または最終製造者であることを特徴とする請求項８～１２の何れかに記載のガラス基板生産管理方法。
  14. 　前記上流側工程の処理者が、フラットパネルディスプレイ用の多面採りガラス基板としてのマザーガラスの製造者であり、前記下流側工程の処理者が、フラットパネルディスプレイのマザーガラスから切断して単面ガラス板に加工する製造者であることを特徴とする請求項８～１２の何れかに記載のガラス基板生産管理方法。
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