WO2015029847A1 - ガラス基板生産管理システム及びガラス基板生産管理方法 - Google Patents

ガラス基板生産管理システム及びガラス基板生産管理方法 Download PDF

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WO2015029847A1
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glass substrate
defects
sided glass
sided
production management
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慎司 大東
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日本電気硝子株式会社
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    • C03B33/02—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
    • C03B33/023—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor the sheet or ribbon being in a horizontal position
    • C03B33/037—Controlling or regulating
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Definitions

  • the present invention relates to a glass substrate production management system and a glass substrate production management method. More specifically, a multi-sided glass substrate having a plurality of virtual single surfaces produced in an upstream process is subjected to product-related processing in a downstream process.
  • the present invention relates to a glass substrate production management system and a glass substrate production management method including a procedure for dividing the glass substrate into a plurality of single-sided glass plates.
  • glass substrates and organic ELs used in flat panel displays such as plasma displays, liquid crystal displays, field emission displays (including surface emission displays), electroluminescence displays, and organic EL displays.
  • FPDs flat panel displays
  • a glass substrate used for lighting, a glass substrate used for tempered glass that is a constituent element of a touch panel, a panel of a solar cell, or a glass substrate used for other electronic devices is a so-called multiple surface for the purpose of improving productivity. The actual situation is that the use as a glass substrate is promoted.
  • the mother glass is sequentially produced one by one as the most upstream process, and the mother glass is cut into a plurality of single-sided glass as the downstream process. It is divided into a plurality of single-sided glass plates after being divided into plates, or subjected to product-related processing such as formation of films and circuit patterns corresponding to a plurality of display screens on the surface of the mother glass.
  • Patent Document 1 a multi-sided glass substrate having a defect at a specific location is wasted in the process from the upstream process to the downstream process by handling it as a non-defective product. Is disclosed.
  • each multi-surface glass substrate is not wasteful so that all of the multi-surface glass substrates for four surfaces are not wasted due to a defect of one surface.
  • Defect information such as the position, type and size of the defect is transmitted from the upstream processer to the downstream processer. It is discarded as a glass plate.
  • Patent Document 1 needs to study and install a method for transmitting defect information from a processor in an upstream process to a processor in a downstream process, and to do so. Therefore, the complexity of inventory management and the complexity of product production planning become remarkable, and there is a problem that actual operation becomes difficult.
  • the technique disclosed in this document simply discards the single-sided glass plate that has been subjected to product-related processing in the downstream process, based on the defect information transmitted from the upstream process to the downstream process. Therefore, it is not clear whether or not the processor in the downstream process suffers a significant loss, and as a result, the processor in the downstream process suffers a very large loss. Yes.
  • the present invention has been made in view of the above circumstances, makes it unnecessary to transmit individual defect information of a multi-sided glass substrate from an upstream process to a downstream process, and simplifies the inspection of defects to improve work efficiency. It is an object of the present invention to provide a glass substrate production management system and a glass substrate production management method that take into account the total profit and loss of a processor in an upstream process and a processor in a downstream process.
  • the first aspect of the present invention created to solve the above problems is a procedure for dividing a multi-sided glass substrate produced in an upstream process into a plurality of single-sided glass plates by performing product-related processing in a downstream process.
  • a glass substrate production management system comprising 10 or more multi-surface glass substrates extracted from a single lot of 10 or more lots in the upstream process, and the multi-surface glass extracted based on the defect data of the defect inspection.
  • the benefits received by the processor of the upstream process by preliminarily considering the multi-sided glass substrate with defects as a non-defective product and sending it to the downstream side process, and the reserve
  • a processor in a downstream process due to the occurrence of a defective product due to the presence of the defect
  • the loss received, using the lot average defect density, the number of the defects present in a single multi-sided glass substrate was varied several times, based on the results of those trials, Trial calculation means for calculating an allowable number of defects, which is an appropriate number of the defects existing in one multi-sided glass substrate when the profit exceeds the loss, and the one lot of multi-sided glass in the
  • the “benefits received by the processor in the upstream process” in the above-mentioned calculation means are the profits that can be obtained in comparison with the conventional system in which the multi-sided glass substrate in which even one defect exists is discarded.
  • “loss received by the processor in the downstream process” means that in the conventional system, the multi-faced glass substrate sent from the upstream process to the downstream process is caused by the upstream process on the entire surface. This is a loss that occurs in comparison with the fact that all the single-sided glass plates obtained by performing product-related treatment and dividing them were non-defective.
  • the “product-related process” is a process for forming a film, a circuit pattern, or the like corresponding to a display screen on the surface of a multi-sided glass substrate.
  • a processor in the upstream process uses a molding apparatus or the like to sequentially produce a multi-faced glass substrate such as a rectangle, and the production of a multi-faced glass substrate of 10 or more lots is completed.
  • the first inspection means counts the number of defects present on the entire surface of each multi-faced glass based on the defect inspection defect data, A lot average defect density of a group of multi-surface glass substrates divided by the total area inspected is calculated.
  • the trial calculation means sequentially changes the number of the defects present in one multi-sided glass substrate, and the benefits received by the processor of the upstream process over a plurality of times, and the downstream process
  • an allowable number of defects which is an appropriate number of the defects present in one multi-sided glass substrate when the above-mentioned profit exceeds the above-mentioned loss
  • the permissible number of defects is calculated from the unit price per multi-surface glass substrate in the upstream process and the lot average defect density, and the number of the defects existing on the multi-surface glass substrate is one. From the yield (non-defective product rate) of the multi-sided glass substrate, the benefit received by the processor in the upstream process is revealed.
  • the defect is calculated from the unit price per single-surface glass plate and lot average defect density when product-related processing is performed on the multi-surface glass substrate in the downstream process and divided into a plurality of single-surface glass plates, and the defect
  • the multi-sided glass substrate including the virtual single side where the present exists being sent to the downstream process corresponding to the allowable number of defects
  • the single-sided glass plate after the division in the downstream process contains defects.
  • the loss experienced by the processor in the downstream process is determined from the failure rate.
  • the pass / fail judgment means actually In the case where the actual number of defects present in one multi-sided glass substrate is the allowable number of defects calculated by the trial calculation means, it is regarded as a good product together with the multi-sided glass substrate having no defects at all. It is sent to the downstream process, and other multi-sided glass substrates are discarded as defective products in the upstream process. As a result, the profit received by the processor in the upstream process and the loss received by the processor in the lower process become a total profit, so if this profit is distributed between the two, both can make a profit. .
  • the upstream process By performing the operation as described above, it is possible to judge the quality of the multi-sided glass substrate only in the upstream process in a state where the edge from the downstream process is cut, and accordingly, the upstream process Since it is no longer necessary to transmit defect information from the processor in the side process to the processor in the downstream process, it is advantageous in terms of equipment, inventory management, production planning, etc., and actual operations can be performed easily. It becomes. In addition, it is not necessary to carefully inspect defects in the upstream process, and the defect inspection work is greatly simplified, thereby improving work efficiency. In addition, considering the total profit and loss between the upstream processer and the downstream processer, it is determined whether the multi-sided glass substrate is a non-defective product or a defective product. No adverse effects occur such as only the person who is in the process or only the person who is in the downstream inversion process receives an undue loss.
  • the second aspect of the present invention which was created to solve the above-described problems, divides a multi-sided glass substrate produced in the upstream process into a plurality of single-sided glass plates by performing product-related processing in the downstream process.
  • a glass substrate production management system including a procedure for performing multiple sampling operations on the basis of defect data of defect inspection in which 10 or more substrates are extracted from one or more lots of multi-surface glass substrates in an upstream process.
  • the inspection means for inspecting the defect and counting the actual number of the defects present in the one-sided multi-sided glass substrate, and the one-lot multi-sided glass substrate in the upstream process,
  • the benefits received by the upstream processer by preliminarily considering the existing multi-sided glass substrate as a non-defective product and sending it to the downstream side process, and the product on the multi-sided glass substrate that was preliminarily regarded as a non-defective product
  • the lot average defect density the loss received by the processor in the downstream process due to the occurrence of a defective product due to the presence of the defect when the related process is performed and divided into a plurality of single-sided glass plates Then, the number of the defects present in a single multi-sided glass substrate is varied several times, and one sheet when the profit exceeds the loss based
  • a trial calculation means for calculating an allowable number of defects that is an appropriate number of the defects present in the multi-faced glass substrate, and an actual number of the defects present in one multi-faced glass substrate counted by the inspection means.
  • a multi-sided glass substrate that is within the range of the allowable number of defects calculated by the trial calculation means is a good product that is sent to a downstream process in addition to a multi-sided glass substrate that does not have any defects, and other multi-sided glass substrates are used.
  • a non-defective / non-defective determining means for rejecting in the upstream process.
  • This second aspect of the present invention differs from the above-mentioned first aspect of the present invention in that a single inspection means is used to calculate a lot average defect density, and there are defects in the total number of multi-sided glass substrates in one lot. This is the point that the actual number of defects existing on one multi-sided glass substrate is counted at the same time. Since the other configuration is the same, description of the operation or effect thereof is omitted here.
  • the surface of the multi-sided glass substrate on which product-related processing is performed in the downstream process a harmful area where defects are harmful to product-related processing, and defects are product-related processing.
  • the harmless area relief rate is determined by dividing the harmless area into harmless areas and dividing the area of the harmless area by the area of the glass substrate, and calculating the harmless area relief rate by the calculation means.
  • the processor in the upstream process is a manufacturer of mother glass as a multi-sided glass substrate for a flat panel display
  • the processor in the downstream process is a middle panel of a flat panel display. It may be the final manufacturer.
  • the processor of the upstream process sequentially manufactures the rectangular mother glass by the downdraw method or the float method, etc., and performs the above-described operation, the defect of the mother glass that is finally handled as a non-defective product will be obtained. The number can be estimated. Then, the panel manufacturer performs a normal inspection and eliminates defective products, so that the mother glass manufacturer and the panel manufacturer gain a profit when the profits and losses of both are totaled. .
  • the processor in the upstream process is a manufacturer of mother glass as a multi-sided glass substrate for a flat panel display, and the processor in the downstream process simply cuts from the mother glass of the flat panel display.
  • the manufacturer who processes into a surface glass plate may be sufficient.
  • the calculation by the trial calculation means and the determination by the quality determination means are preferably performed by a computer.
  • the third aspect of the present invention devised to solve the above problems is a procedure for dividing a multi-sided glass substrate produced in an upstream process into a plurality of single-sided glass plates by performing product-related processing in a downstream process.
  • Glass substrate production management method including, on the basis of defect data of defect inspection in which at least 10 sheets are extracted from one or more lots of multiple-surface glass substrates in an upstream process, A first inspection step of detecting a total number of defects present on the substrate and calculating a lot average defect density obtained by dividing the total number of defects by a total area to be inspected;
  • the benefits received by the processor of the upstream process by preliminarily considering the multi-sided glass substrate with defects as a good product and sending it to the downstream side process, and preliminarily
  • a processor in the downstream process receives a defective product due to
  • a second inspection step in which a defect inspection is performed to count the actual number of defects present in one multi-sided glass substrate, and the actual number of defects present in one multi-sided glass substrate is the trial calculation means.
  • a multi-sided glass substrate that is within the calculated allowable number of defects is a non-defective multi-sided glass substrate that is sent to the downstream process in addition to a non-defective multi-sided glass substrate, and the other multi-sided glass substrate is an upstream process.
  • the third aspect of the present invention relates to the glass substrate production management method, but the substantial operation or effect is the same as that of the glass substrate production management system according to the first aspect of the present invention. Then, the explanation is omitted.
  • the fourth aspect of the present invention devised to solve the above problems is a procedure for dividing a multi-sided glass substrate produced in the upstream process into a plurality of single-sided glass plates by performing product-related processing in the downstream process.
  • Glass substrate production management method including, on the basis of defect data of defect inspection in which at least 10 sheets are extracted from one or more lots of multiple-surface glass substrates in an upstream process, The total number of defects present on the substrate is detected, the average defect density is calculated by dividing the total number of defects by the total area to be inspected, and the total number of multi-sided glass substrates in the one lot is determined as a defect.
  • the trial calculation step of calculating the allowable number of defects of the defects present in the multi-faced glass substrate, and the actual number of the defects present in one multi-faced glass substrate counted in the inspection step are the trial calculation means.
  • a multi-sided glass substrate that is within the calculated allowable number of defects is a non-defective multi-sided glass substrate that is sent to the downstream process in addition to a non-defective multi-sided glass substrate, and the other multi-sided glass substrate is an upstream process. And a pass / fail judgment step for making a defective product discarded.
  • the fourth aspect of the present invention relates to the glass substrate production management method, but the substantial operation or effect is the same as that of the glass substrate production management system according to the second aspect of the present invention. Then, the explanation is omitted.
  • the surface of the multi-sided glass substrate on which the product-related processing is performed in the downstream side process a harmful area where the defect is harmful to the product-related processing, Dividing the defect into harmless areas that are harmless to product-related processing, taking the area of the harmless area and dividing it by the area of the glass substrate as the harmless area relief rate.
  • the processor of the upstream process is a manufacturer of mother glass as a multi-sided glass substrate for a flat panel display, and the downstream process
  • the processor may be an intermediate or final manufacturer of a panel of a flat panel display, or the upstream processor may be a multi-sided glass substrate for a flat panel display.
  • the manufacturer of the mother glass, and the processor in the downstream process may cut the mother glass of the flat panel display and process it into a single-sided glass plate.
  • the process and the pass / fail determination process may be executed by a computer.
  • the present invention it becomes unnecessary to transmit the defect information of the multi-sided glass substrate from the upstream process to the downstream process, and the defect inspection is simplified and the work efficiency is improved.
  • a glass substrate production management system and a glass substrate production management method that take into account the total profit and loss of the processor of the upstream process and the processor of the downstream process are realized.
  • FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing a main configuration of a glass substrate production management system (hereinafter simply referred to as a production management system) according to an embodiment of the present invention
  • FIG. 2 is a flowchart showing a procedure of the production management system.
  • FIGS. 3 to 7 are schematic diagrams showing the implementation status of the production management system.
  • the multi-sided glass substrate 1 has a rectangular shape, and an area excluding the edges of four sides is virtually divided into eight virtual single surfaces 2.
  • the multi-sided glass substrate 1 is formed by a downdraw method or a float method in an upstream process and cut into a predetermined size (for example, a horizontal dimension of 1400 to 2600 mm and a vertical dimension of 1600 to 2800 mm).
  • FIG. 3B shows a state in which processing such as formation of a film or a circuit pattern is performed on all virtual single surfaces 2 of the multi-faced glass substrate 1 in a downstream process, and FIG. In the downstream process, each processed virtual single surface 2 is divided from each single-sided glass plate 3.
  • This production management system S is based on the first inspection means A performed by extracting from the multi-sided glass substrate 1 of 10 or more lots in the upstream process, and the trial calculation performed based on the detection result by the first inspection means A.
  • the result of this quality determination means D is reflected in a downstream process. Therefore, all the processes for one lot of the multi-sided glass substrate 1 are performed in the upstream process.
  • the first inspection means A is based on the defect data of the defect inspection in which 10 or more sheets are extracted from one lot of the multi-surface glass substrate 1 and the total number of defects existing in the multi-surface glass substrate 1 extracted. The number of defects is detected, and the average defect density obtained by dividing the total number of defects by the total area to be inspected is calculated.
  • the defect here means a defect that causes a problem in the downstream process.
  • the trial calculation means B first treats a lot of multi-sided glass substrate 1 as an upstream side process by preliminarily considering the multi-sided glass substrate 1 having defects as a non-defective product and sending it to the downstream side process. Seeking the profits that will receive. This calculation is based on the unit price per multi-sided glass substrate in the upstream process and the lot average defect density, and the number of defects existing on one multi-sided glass substrate is the provisional defect allowable number. It is obtained from the yield (non-defective product rate) of a certain multi-sided glass substrate.
  • a product-related process (a process of forming a film, a circuit pattern, or the like corresponding to a display screen on the surface of the multi-sided glass substrate 1) is performed on the multi-sided glass substrate 1 that is preliminarily regarded as a non-defective product.
  • segments into the single-sided glass plate 3 of this is calculated
  • the trial calculation means B makes a trial calculation several times to obtain the above-mentioned profit and the above-mentioned loss by varying the number of the defects present in the single multi-sided glass substrate. Based on the trial calculation results, the above-mentioned profit exceeds the above-mentioned loss (more preferably, the profit is the maximum within the trial calculation range). Calculate the number.
  • the calculation by the trial calculation means B is performed by a computer.
  • the second inspection means C performs a defect inspection on the total number of the multi-sided glass substrates 1 of the one lot, and compares them with virtual lines defining each virtual single side 2 of the multi-sided glass substrate 1. The permissible number of defects present in the multi-surface glass substrate is counted by actual measurement.
  • the pass / fail judgment means D determines that the actual number of the defects present in one multi-faced glass substrate in which the defects actually measured by the second inspection means C are present from one lot of the multi-faced glass substrate 1.
  • the multi-sided glass substrate 1 which is the true allowable number of the defects present in one multi-sided glass substrate calculated by the trial calculation means B is added to the multi-sided glass substrate 1 having no defects at all. A non-defective product to be sent to the downstream process. And let other multi-sided glass substrate 1 be inferior goods discarded in an upstream process.
  • the determination by the quality determination means D is performed by a computer.
  • Step S1 corresponds to the first detection means A, and here, for a multi-sided glass substrate 1 of 10 or more lots formed by a downdraw method or a float method and subjected to a predetermined processing, About the multi-surface glass substrate 1 from which 10 or more are extracted, defects are inspected, the total number of defects is counted, and a lot average defect density is calculated by dividing it by the total inspection area.
  • an optical automatic defect detection device is used in the first inspection means A (the same applies to the second inspection means C).
  • each virtual single face 2 of the multi-sided glass substrate 1 is defined. The virtual line need not be known in advance.
  • step S2 when it is assumed that the inspected multi-sided glass substrate 1 is regarded as a non-defective product in the downstream process, the number i of the defects existing in the single multi-sided glass substrate 1 is changed from 0 to 1. We decide by moving up one by one in order.
  • step S3 the cumulative profit received by the processor in the upstream process and the cumulative loss received by the processor in the downstream process are respectively compared for all cases i that are sequentially raised.
  • the accumulation mentioned here represents the accumulated value of profit and the accumulated value of loss calculated by sequentially incrementing i from 0 to 1.
  • the calculation of profit is based on the unit price per multi-sided glass substrate in the upstream side process and the lot average defect density, and the number of defects present on one multi-sided glass substrate 1 is the allowable number of defects. It is calculated
  • FIG. The loss is calculated from the unit price per single-sided glass plate 3 and lot average defect density when product-related processing is performed on the multi-sided glass substrate in the downstream process and divided into multiple single-sided glass plates.
  • the defect corresponding to the allowable number of defects is sent to the downstream process and is obtained from the yield that is contained in the single-sided glass plate 3 and becomes defective. In each case, to obtain the yield from the lot average defect density, it may be obtained probabilistically by an equation using a binomial cumulative distribution function.
  • step S4 if the accumulated profit exceeds the accumulated loss, the process proceeds to step S5. If not, the process proceeds to step S7.
  • step S5 if i is the largest cumulative profit compared to the previous trial calculation results in a series of trial calculations in which i is incremented from 0 to one, the process proceeds to step S6, and compared with the previous trial calculation results. If it is not the maximum accumulated profit, the process proceeds to step S8.
  • step S6 the value of i at that time is set as a provisional allowable number of defects (appropriate number of defects present in one multi-sided glass substrate), and the process proceeds to step S7.
  • step S7 it is determined whether the yield of the upstream process is 100% or more (has reached 100%).
  • step S8 the provisional allowable number of faces at that time is set as the final allowable number of faces (true allowable number of faces), and the process proceeds to step S9.
  • Step S9 corresponds to the second inspection means C, but here the total number of the defects present in one multi-sided glass substrate 1 is counted for the total number of multi-sided glass substrates 1 in one lot, Proceed to step S10.
  • Step S10 corresponds to the pass / fail judgment means D, but here, the non-defective product and the defective product are selected from the actual number of the defects present in the single-sided multi-sided glass substrate 1 and the true allowable number of defects. .
  • the case where the actual number of the defects present in one multi-sided glass substrate 1 is only one is regarded as a non-defective product, or there are cases where the number is two or three. It is determined whether the product is regarded as a non-defective product, and 100% inspection is performed based on the result.
  • the above-mentioned profits and losses are obtained by performing product-related processing on the multi-sided glass substrate 1 having no defects as shown in FIGS. 3 (a), (b), and (c).
  • the benefits and losses in the present invention are zero.
  • the price equivalent of all the multi-sided glass substrates 1 considered as defective products will be lost.
  • this is regarded as a loss. Therefore, in the present invention for comparison with the conventional system, the profit is determined by assuming that the loss is zero in such a case.
  • one multi-faced glass substrate 1 shown in FIG. 4A has one defect 4 on one virtual single face 2, and one piece shown in FIG. 5A.
  • one defect 4 is present on each of the two virtual single sides 2, and in one multi-sided glass substrate 1 shown in FIG.
  • One defect 4 exists on each of the surfaces 2, and one single-sided glass substrate 1 shown in FIG. 7A has one defect 4 on each of the four virtual single surfaces 2.
  • the first inspection means A simply detects the total number of defects 4 (10 in this example), and divides this total number by the total area of the multi-faced glass substrate 1 for four sheets.
  • the lot average defect density is calculated.
  • the process of trial calculation by the trial calculation means B based on this lot average defect density, as shown in FIG.
  • the multi-sided glass substrate 1 is sent as a non-defective product from the upstream process to the downstream process.
  • the harmless area relief rate ( ⁇ ) used in this calculation means that there is a defect that becomes defective in the upstream process from design information such as a circuit pattern formed on the glass substrate in the downstream process, for example.
  • design information such as a circuit pattern formed on the glass substrate in the downstream process, for example.
  • the area ratio is replaced as a probability from the design information of the circuit pattern.
  • the cumulative profit is the maximum (96 yen) when the allowable number of virtual faces is 1 among 8 virtual single faces, so in one lot of multi-sided glass substrate 1, one multi-sided glass
  • the actual number of defects present on the substrate is sent from the upstream process to the downstream process together with the defect that does not exist at all.
  • ⁇ is 0% and Cbs is 10,000 yen
  • the accumulated profit is all zero or less, so in the multi-surface glass substrate 1 of one lot, only the one having no defects is upstream. It is sent from the process to the downstream process.
  • the harmless area relief rate ( ⁇ ) will be described in detail.
  • the circuit pattern Pa when it is planned that a plurality of linear circuit patterns Pa (regions with rough cross-hatching) are arranged in parallel on the multi-sided glass substrate 1, the circuit pattern Pa If there is a defect or a defect exists in a region Ba (region with fine cross-hatching) where the circuit pattern Pa is close, a disconnection or a short circuit may occur. Therefore, the region composed of Pa and Ba is defined as a harmful region where the existence of defects is not allowed, and the other region Ca (region hatched with parallel diagonal lines) is defined as a harmless region.
  • a value obtained by dividing the area of Ca by the area of the entire area (effective area) of the multi-sided glass substrate 1 is defined as a harmless area relief rate ( ⁇ ).
  • the defect information is transmitted from the processor in the upstream process to the processor in the downstream process. This is advantageous in terms of equipment, inventory management, production planning, and the like, and allows actual operations to be easily performed. Further, in the defect inspection, it is only necessary to detect the total number of defects for obtaining the lot average defect density and the number of defects 4 existing on one multi-sided glass substrate 1, and careful defects in the upstream process. This eliminates the need to inspect the defect, greatly simplifies the defect inspection operation, and improves the work efficiency.
  • the multi-sided glass substrate 1 is configured to determine whether it is a non-defective product or a defective product. Defects such as only the processor or only the processor of the downstream process suffering an undue loss will not occur.
  • the processor in the upstream process is a manufacturer of mother glass as a multi-sided glass substrate for flat panel displays, and the processor in the downstream process is an intermediate or final manufacturer of flat panel display panels.
  • the processor of the upstream process is a manufacturer of mother glass as a multi-sided glass substrate for flat panel displays, and the processor of the downstream process cuts from the mother glass of the flat panel display. Or a manufacturer who processes the glass into a single-sided glass plate.
  • the first detection means A, the trial calculation means B, the second inspection means C, and the non-defective product determination means D in the above embodiment may be performed continuously almost simultaneously. That is, an optical automatic defect detection apparatus in which an inspection object flows continuously is used.
  • a single inspection means A1 inspects with both purposes.
  • the non-defective product determination means C1 is immediately performed based on the result, and finally the inspection object is selected.
  • the detection of the lot average defect density by the detection means A1 may use a moving average according to the input of 10 or more consecutive inspection objects.
  • the plurality of virtual single surfaces configured in one multi-sided glass substrate are basically the same size, but may be different sizes.
  • the present invention is applied as the glass substrate production management system S.
  • the first inspection step A2 the trial calculation step B2, 2 inspection process C2 and pass / fail judgment process D2 may be provided
  • FIG. 11 similarly as glass substrate production management method S3, single inspection process A3, trial calculation process B3, and pass / fail judgment You may make it provide the process C3.
  • the process substantially the same as the above-mentioned glass substrate production management system S is performed regardless of whether all processes are performed by a computer.
  • the binomial cumulative distribution function is used to calculate the allowance between the profit received by the processor in the upstream process and the loss received by the processor in the downstream process.
  • the distribution is adopted on the premise that the distribution is binomial, and other distribution functions corresponding to the premise may be used.
  • the present invention is not limited to such a calculation method, as long as it is a method capable of calculating the profit received by the processor of the upstream process and the loss received by the processor of the downstream process, Other calculation techniques may be used.

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Abstract

　上流側工程で１０枚以上の一ロットの多面採りガラス基板１から１０枚以上を抜き取られて検査された欠陥データに基づいて、ロット平均欠陥密度を算出する第１検査手段Ａと、上流側工程の処理者が受ける利益と下流側工程の処理者が受ける損失とを、１枚の多面採りガラス基板に存在する欠陥４の個数を異ならせて複数回に宣って試算し、それらの試算結果に基づいて、利益が損失を上回っている場合における１枚の多面採りガラス基板１に存在する欠陥４の欠陥許容個数を算出する試算手段Ｂと、一ロットの多面採りガラス基板１の全数を検査して１枚の多面採りガラス基板１に存在する欠陥４の個数を計数する第２検査手段Ｃと、多面採りガラス基板１の良否を判定する良否判定手段Ｄとを備える。

Description

ガラス基板生産管理システム及びガラス基板生産管理方法
　本発明は、ガラス基板生産管理システム及びガラス基板生産管理方法に係り、詳しくは、上流側工程で作製された複数の仮想単面を有する多面採りガラス基板を、下流側工程で製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割する手順を含むガラス基板生産管理システム及びガラス基板生産管理方法に関する。
　周知のように、プラズマディスプレイ、液晶ディスプレイ、フィールドエミッションディスプレイ（サーフェイスエミッションディスプレイを含む）、エレクトロルミネッセンスディスプレイ、及び有機ＥＬディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ（以下、ＦＰＤともいう）に用いられるガラス基板、有機ＥＬ照明に用いられるガラス基板、タッチパネルの構成要素である強化ガラス等に用いられるガラス基板、太陽電池のパネル、或いはその他の電子デバイスに用いられるガラス基板は、生産性の向上等を目的として、いわゆる多面採りガラス基板としての使用が推進されているのが実情である。
　この種の多面採りガラス基板においては、最も上流側の処理として、マザーガラスを一枚ずつ順次作製することが行われ、その下流側の処理としては、マザーガラスを切断して複数の単面ガラス板に分割したり、或いはマザーガラスの表面に例えば複数のディスプレイ画面に対応する膜や回路パターンの形成等の製品関連処理を施した後に複数の単面ガラス板に分割することが行われる。
　その場合、従来においては、多面採りガラス基板における複数の仮想単面の如何なる位置にも欠陥が存在しないことが要求されていたことから、多面採りガラス基板の大型化に伴って、製品歩留まりが大きく低下し、コストの高騰を余儀なくされるという問題を有していた。
　このような問題に対処するため、例えば特許文献１によれば、特定の箇所に欠陥を有する多面採りガラス基板については、良品として取り扱うことにより、上流側工程から下流側工程に至る過程での無駄を省略することが開示されている。
　具体的には、例えば仮想単面が４面存在する場合に、そのうちの１面の欠陥のために４面分の多面採りガラス基板全部が無駄にならないように、個々の多面採りガラス基板毎の欠陥の位置、種類及び大きさなどの欠陥情報を、上流側工程の処理者から下流側工程の処理者に伝達し、悪質な欠陥が存在している仮想単面を、切断後に不良の単面ガラス板として廃棄している。
特許第４３４７０６７号公報
　しかしながら、上述の特許文献１に開示された手法は、欠陥情報を上流側工程の処理者から下流側工程の処理者に伝達するための方法の検討や設備が必要になると共に、それを行うことによる在庫管理の複雑化や製品の生産計画立案の煩雑化が顕著となり、現実の運用が困難になるという問題を有している。
　加えて、同文献に開示された手法は、単に上流側工程から下流側工程に伝達された欠陥情報に基づいて、下流側工程で製品関連処理が施された単面ガラス板を廃棄しているに過ぎないため、下流側工程での処理者が著しい損失を受けているか否かが判明せず、結果的には、下流側工程の処理者が極めて大きな損失を受けるという問題をも有している。
　本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、多面採りガラス基板の個々の欠陥情報を上流側工程から下流側工程に伝達することを不要とし、且つ欠陥の検査を簡略化して作業能率の向上を図ると共に、上流側工程の処理者と下流側工程の処理者とのトータル的な損益をも考慮したガラス基板生産管理システム及びガラス基板生産管理方法を提供することを課題とする。
　上記課題を解決するために創案された第１の本発明は、上流側工程で作製された多面採りガラス基板を、下流側工程で製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割する手順を含むガラス基板生産管理システムであって、上流側工程で１０枚以上の一ロットの多面採りガラス基板から１０枚以上が抜き取られた欠陥検査の欠陥データに基づいて、その抜き取られた多面採りガラス基板に存在している欠陥の総個数を検出し、その欠陥の総個数を検査対象とした総面積で除したロット平均欠陥密度を算出する第１検査手段と、上流側工程における前記一ロットの多面採りガラス基板について、欠陥が存在している多面採りガラス基板を予備的に良品とみなして下流側工程に送ることによる上流側工程の処理者が受ける利益と、それらの予備的に良品とみなされた多面採りガラス基板に製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割した場合に前記欠陥の存在に起因して不良品が発生したことによる下流側工程の処理者が受ける損失とを、前記ロット平均欠陥密度を使用して、１枚の前記多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の個数を異ならせて複数回に亘って試算し、それらの試算結果に基づいて、前記利益が前記損失を上回っている場合における１枚の前記多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の適切個数である欠陥許容個数を算出する試算手段と、上流側工程における前記一ロットの多面採りガラス基板の全数を欠陥検査して１枚の前記多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の実個数を計数する第２検査手段と、１枚の前記多面採りガラス基板に存在する欠陥の実個数が前記試算手段で算出された欠陥許容個数の範囲内にある多面採りガラス基板を、欠陥が全く存在していない多面採りガラス基板に加えて下流側工程に送る良品とし、その他の多面採りガラス基板を、上流側工程で廃棄する不良品とする良否判定手段と、を備えたことに特徴づけられる。
　ここで、上記の試算手段における「上流側工程の処理者が受ける利益」とは、欠陥が一つでも存在する多面採りガラス基板を廃棄していた従来システムとの比較において取得できる利益である。また、上記の試算手段における「下流側工程の処理者が受ける損失」とは、従来システムであれば、上流側工程から下流側工程に送られる多面採りガラス基板は、全面に上流側工程に起因する欠陥が存在していなかったことから、それらに製品関連処理を施して分割して得られた全ての単面ガラス板が良品であった事との比較において生じる損失である。なお、「製品関連処理」とは、多面採りガラス基板の表面に例えばディスプレイ画面に対応する膜や回路パターン等を形成する処理のことである。
　このような構成によれば、上流側工程の処理者が成形装置等を使用して矩形等の多面採りガラス基板を順次製作し、１０枚以上の一ロットの多面採りガラス基振の製作が完了した時点または製作していく過程において、第１の検査手段が、欠陥検査の欠陥データに基づいて、各多面採りガラスの全面に存在している欠陥の個数を計数し、それらの総個数を、検査した総面積で除した一群の多面採りガラス基板のロット平均欠陥密度を算出する。次に、試算手段が、１枚の多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の個数を順次異ならせて予備的に複数回に亘って、上流側工程の処理者が受ける利益と、下流側工程の処理者が受ける損失とを試算して、上記の利益が上記の損失を上回っている場合の１枚の多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の適切個数である欠陥許容個数を算出する。この算出に際しては、上流側工程での多面採りガラス基板の一枚あたりの単価と、ロット平均欠陥密度から計算され且つ１枚の多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の個数が欠陥許容個数にある多面採りガラス基板の収率（良品率）とから、上流側工程の処理者が受ける利益が判明する。また、下流側工程で多面採りガラス基板に製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割した場合の単面ガラス板の一枚あたりの単価と、ロット平均欠陥密度から計算され且つ前記欠陥が存在している仮想単面を含む多面採りガラス基板が欠陥許容個数に対応して下流側工程にまで送られた結果、下流側工程での分割後の単面ガラス板に欠陥が含まれて不良になる率とから、下流側工程の処理者が受ける損失が判明する。この後においては、第２の検査手段が、前記一ロットの多面採りガラス基板の全数について、１枚の多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の実個数を計数した後、良否判定手段が、実際に１枚の多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の実個数が、試算手段で算出された欠陥許容個数である場合には、全く欠陥が存在していない多面採りガラス基板と共に、良品とみなして下流側工程に送り、その他の多面採りガラス基板は不良品として上流側工程で廃棄する。この結果、上流側工程の処理者が受ける利益と下琉側工程の処理者が受ける損失とは、トータルで利益となるため、この利益を両者で分配すれば、両者共に利益をあげることができる。以上のような動作が行われることにより、下流側工程とは縁が切れた状態で、上流側工程でのみ、多面採りガラス基板の良否の判断を行うことが可能となり、これに伴って、上流側工程の処理者から下流側工程の処理者に欠陥情報を伝達する必要がなくなるため、設備面、在庫管理面、及び生産計画立案面等で有利となり、現実の運用を簡単に行うことが可能となる。しかも、上流側工程での入念な欠陥の検査を行う必要がなくなり、欠陥の検査作業が極めて簡素化されて、作業能率の向上が図られる。加えて、上流側工程の処理者と下流側工程の処理者とのトータル的な損益を考慮して、多面採りガラス基板が良品か不良品かを決定する構成であるため、上流側工程の処理者のみまたは下流倒工程の処理者のみが不当な損失を受ける等の弊害も生じなくなる。
　また、上記課題を解決するために創案された第２の本発明は、上流側工程で作製された多面採りガラス基板を、下流側工程で製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割する手順を含むガラス基板生産管理システムであって、上流側工程で１０枚以上の一ロットの多面採りガラス基板から１０枚以上が抜き取られた欠陥検査の欠陥データに基づいて、その抜き取られた多面採りガラス基板に存在している欠陥の総個数を検出し、その欠陥の総個数を検査対象とした総面積で除したロット平均欠陥密度を算出すると共に、前記一ロットの多面採りガラス基板の全数を欠陥検査して１面の前記多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の実個数を計数する検査手段と、上流側工程における前記一ロットの多面採りガラス基板について、欠陥が存在している多面採りガラス基板を予備的に良品とみなして下流側工程に送ることによる上流側工程の処理者が受ける利益と、それらの予備的に良品とみなされた多面採りガラス基板に製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割した場合に前記欠陥の存在に起因して不良品が発生したことによる下流側工程の処理者が受ける損失とを、前記ロット平均欠陥密度を使用して、１枚の多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の個数を異ならせて複数回に亘って試算し、それらの試算結果に基づいて、前記利益が前記損失を上回っている場合における１枚の多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の適切個数である欠陥許容個数を算出する試算手段と、前記検査手段により計数された１枚の多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の実個数が、前記試算手段で算出された欠陥許容個数の範囲内にある多面採りガラス基板を、欠陥が全く存在していない多面採りガラス基板に加えて下流側工程に送る良品とし、その他の多面採りガラス基板を、上流側工程で廃棄する不良品とする良否判定手段と、を備えたことに特徴づけられる。
　この第２の本発明が、上述の第１の本発明と相違するところは、単一の検査手段で、ロット平均欠陥密度の算出と、一ロットの多面採りガラス基板の全数についての欠陥が存在している１枚の多面採りガラス基板に存在する欠陥の実個数の計数とを同時期に行うようにした点である。その他の構成は同一であるので、その動作或いは作用効果の説明は、ここでは省略する。
　上記第１及び第２の本発明において、下流側工程で製品関連処理が施される多面採りガラス基板の面を、欠陥が製品関連処理に対して有害となる有害領域と、欠陥が製品関連処理に対して無害となる無害領域とに区分して、無害領域の面積を多面採りガラス基板の面積で除した値を無害領域救済率とし、この無害領域救済率を、前記試算手段で行われる計算に使用することができる。
　このようにすれば、仮想単面に欠陥が存在していても、その欠陥が無害領域にあれば、下流側工程で不良とならないため、実情に合致することになって、試算手段での計算精度が高くなる。
　以上の構成において、前記上流側工程の処理者が、フラットパネルディスプレイ用の多面採りガラス基板としてのマザーガラスの製造者であり、前記下流側工程の処理者が、フラットパネルディスプレイのパネルの中間や最終の製造者であってもよい。
　このようにすれば、上流側工程の処理者がダウンドロー法やフロート法等により矩形のマザーガラスを順次製作し、既述の動作を行えば、最終的に良品として取り扱うマザーガラスについての欠陥の個数を推定できることになる。そして、パネルの製造者は、通常の検査を行って不良品を排除することにより、マザーガラスの製造者とパネルの製造者とについては、両者の損益をトータルした場合に利得が出ることになる。
　また、前記上流側工程の処理者が、フラットパネルディスプレイ用の多面採りガラス基板としてのマザーガラスの製造者であり、前記下流側工程の処理者が、フラットパネルディスプレイのマザーガラスから切断して単面ガラス板に加工する製造者であってもよい。
　このようにした場合であっても、直上述の場合と同様の利点を得ることができる。
　そして、前記試算手段での算出と、前記良否判定手段での判定とは、コンピュータで行うことが好ましい。
　このようにすれば、複雑且つ必要な計算などの自動化が図られ、迅速な処理を行うことが可能なシステムが実現する。
　上記課題を解決するために創案された第３の本発明は、上流側工程で作製された多面採りガラス基板を、下流側工程で製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割する手順を含むガラス基板生産管理方法であって、上流側工程で１０枚以上の一ロットの多面採りガラス基板から１０枚以上が抜き取られた欠陥検査の欠陥データに基づいて、その抜き取られた多面採りガラス基板に存在している欠陥の総個数を検出し、その欠陥の総個数を検査対象とした総面積で除したロット平均欠陥密度を算出する第１検査工程と、上流側工程における前記一ロットの多面採りガラス基板について、欠陥が存在している多面採りガラス基板を予備的に良品とみなして下流側工程に送ることによる上流側工程の処理者が受ける利益と、それらの予備的に良品とみなされた多面採りガラス基板に製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割した場合に前記欠陥の存在に起因して不良品が発生したことによる下流側工程の処理者が受ける損失とを、前記ロット平均欠陥密度を使用して、１枚の多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の個数を異ならせて複数回に亘って試算し、それらの試算結果に基づいて、前記利益が前記損失を上回っている場合における１枚の多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の適切個数である欠陥許容個数を算出する試算工程と、上流側工程における前記一ロットの多面採りガラス基板の全数を欠陥検査して１枚の多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の実個数を計数する第２検査工程と、１枚の多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の実個数が前記試算手段で算出された欠陥許容個数の範囲内にある多面採りガラス基板を、欠陥が全く存在していない多面採りガラス基板に加えて下流側工程に送る良品とし、その他の多面採りガラス基板を、上流側工程で廃棄する不良品とする良否判定工程と、を備えたことに特徴づけられる。
　この第３の本発明は、ガラス基板生産管理方法に係るものであるが、実質的な動作或いは作用効果は、上述の第１の本発明に係るガラス基板生産管理システムと同一であるので、ここではその説明を省略する。
　上記課題を解決するために創案された第４の本発明は、上流側工程で作製された多面採りガラス基板を、下流側工程で製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割する手順を含むガラス基板生産管理方法であって、上流側工程で１０枚以上の一ロットの多面採りガラス基板から１０枚以上が抜き取られた欠陥検査の欠陥データに基づいて、その抜き取られた多面採りガラス基板に存在している欠陥の総個数を検出し、その欠陥の総個数を検査対象とした総面積で除したロット平均欠陥密度を算出すると共に、前記一ロットの多面採りガラス基板の全数を欠陥検査して１枚の前記多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の実個数を計数する検査工程と、上流側工程における前記一ロットの多面採りガラス基板について、欠陥が存在している多面採りガラス基板を予備的に良品とみなして下流側工程に送ることによる上流側工程の処理者が受ける利益と、それらの予備的に良品とみなされた多面採りガラス基板に製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割した場合に前記欠陥の存在に起因して不良品が発生したことによる下流側工程の処理者が受ける損失とを、前記ロット平均欠陥密度を使用して、１枚の前記多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の実個数を異ならせて複数回に亘って試算し、それらの試算結果に基づいて、前記利益が前記損失を上回っている場合における１枚の前記多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の欠陥許容個数を算出する試算工程と、前記検査工程で計数された１枚の前記多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の実個数が、前記試算手段で算出された欠陥許容個数の範囲内にある多面採りガラス基板を、欠陥が全く存在していない多面採りガラス基板に加えて下流側工程に送る良品とし、その他の多面採りガラス基板を、上流側工程で廃棄する不良品とする良否判定工程と、を備えたことに特徴づけられる。
　この第４の本発明は、ガラス基板生産管理方法に係るものであるが、実質的な動作或いは作用効果は、上述の第２の本発明に係るガラス基板生産管理システムと同一であるので、ここではその説明を省略する。
　この場合、上述の第３及び第４の本発明においても、下流側工程で製品関連処理が施される多面採りガラス基板の面を、欠陥が製品関連処理に対して有害となる有害領域と、欠陥が製品関連処理に対して無害となる無害領域とに区分して、無害領域の面積を多面採りガラス基板の面積で除した値を無害領域救済率とし、この無害領域救済率を、前記試算手段（試算工程）で行われる計算に使用することができ、また、前記上流側工程の処理者が、フラットパネルディスプレイ用の多面採りガラス基板としてのマザーガラスの製造者であり、前記下流側工程の処理者が、フラットパネルディスプレイのパネルの中間や最終の製造者であってもよく、もしくは、前記上流側工程の処理者が、フラットパネルディスプレイ用の多面採りガラス基板としてのマザーガラスの製造者であり、前記下流側工程の処理者が、フラットパネルディスプレイのマザーガラスから切断して単面ガラス板に加工する製造者であってもよく、さらには、前記試算工程と良否判定工程とがコンピュータにより実行されるものであってもよい。
　以上のように本発明によれば、多面採りガラス基板の欠陥情報を上流側工程から下流側工程に伝達することが不要となり、且つ欠陥の検査が簡略化されて作業能率の向上が図られると共に、上流側工程の処理者と下流側工程の処理者のトータル的な損益をも考慮したガラス基板生産管理システム及びガラス基板生産管理方法が実現する。
本発明の実施形態に係るガラス基板生産管理システムの主たる構成を示す概略構成図である。 本発明の実施形態に係るガラス基板生産管理システムの手順を示すフローチャートである。 本発明の実施形態に係るガラス基板生産管理システムを使用して、現実に単面ガラス板を製作する過程を示す概略図である。 本発明の実施形態に係るガラス基板生産管理システムを使用して、現実に単面ガラス板を製作する過程を示す概略図である。 本発明の実施形態に係るガラス基板生産管理システムを使用して、現実に単面ガラス板を製作する過程を示す概略図である。 本発明の実施形態に係るガラス基板生産管理システムを使用して、現実に単面ガラス板を製作する過程を示す概略図である。 本発明の実施形態に係るガラス基板生産管理システムを使用して、現実に単面ガラス板を製作する過程を示す概略図である。 本発明の実施形態に係るガラス基板生産管理システムを使用して、現実に単面ガラス板を製作する過程を示す概略図である。 本発明の実施形態に係るガラス基板生産管理システムを使用して、現実に単面ガラス板を製作する過程を示す概略図である。 本発明の実施形態に係るガラス基板生産管理システムを使用して、現実に単面ガラス板を製作する過程を示す概略図である。 本発明の実施形態に係るガラス基板生産管理システムを使用して、現実に単面ガラス板を製作する過程を示す概略図である。 本発明の実施形態に係るガラス基板生産管理システムを使用して、現実に単面ガラス板を製作する過程を示す概略図である。 本発明の実施形態に係るガラス基板生産管理システムを使用して、現実に単面ガラス板を製作する過程を示す概略図である。 本発明の実施形態に係るガラス基板生産管理システムを使用して、現実に単面ガラス板を製作する過程を示す概略図である。 本発明の実施形態に係るガラス基板生産管理システムを使用して、現実に単面ガラス板を製作する過程を示す概略図である。 本発明の実施形態に係るガラス基板生産管理システムを使用して、現実に単面ガラス板を製作する過程を示す概略図である。 本発明の実施形態に係るガラス基板生産管理システムを使用して、現実に単面ガラス板を製作する過程を示す概略図である。 本発明の実施形態に係るガラス基板生産管理システムで使用する無害領域救済率を説明するための概略平面図である。 本発明の他の実施形態に係るガラス基板生産管理システムの主たる構成を示す概略構成図である。 本発明の実施形態に係るガラス基板生産管理方法の主たる構成を示す概略構成図である。 本発明の他の実施形態に係るガラス基板生産管理方法の主たる構成を示す概略構成図である。
　以下、本発明の実施形態に係るガラス基板の製造方法について図面を参照しつつ説明する。
　図１は、本発明の実施形態に係るガラス基板生産管理システム(以下、単に生産管理システムという)の主たる構成を示す概略構成図であり、図２は、その生産管理システムの手順を示すフローチャートであって、図３～図７は、その生産管理システムの実施状況を示す概略図である。
　先ず、便宜上、図３に基づいて、当該生産管理システムの初期状態における主要部の構成を説明する。図３（ａ）に示すように、多面採りガラス基板１は矩形状をなし、４辺の縁部を除外した領域が、８個の仮想単面２に仮想区画されている。この多面採りガラス基板１は、上流側工程で、ダウンドロー法やフロート法で成形されて、所定の大きさ（例えば横寸法が１４００～２６００ｍｍ、縦寸法が１６００～２８００ｍｍ）に切断されている。図３（ｂ）は、下流側工程で、多面採りガラス基板１の全ての仮想単面２に、膜や回路パターンの形成等の処理が施された状態を示し、図３（ｃ）は、当該下流側工程で、処理済みの各仮想単面２が、各単面ガラス板３と分割された状態を示している。
　次に、本実施形態に係る生産管理システムの構成を図１を参照しつつ説明する。この生産管理システムＳは、上流側工程で１０枚以上の一ロットの多面採りガラス基板１から抜き取りにより行われる第１検査手段Ａと、この第１検査手段Ａによる検出結果に基づいて行われる試算手段Ｂと、一のロットの全数に対して行われる第２検査手段Ｃと、試算手段Ｂの算出結果と第２検査手段の検出結果とに基づいて行われる良否判定手段Ｄとを有する。そして、この良否判定手段Ｄの結果は、下流側工程に反映される。従って、一ロットの多面採りガラス基板1についての各処理は、全てが上流側工程で行われる。
　上記第１検査手段Ａは、一ロットの多面採りガラス基板１から１０枚以上が抜き取られた欠陥検査の欠陥データに基づいて、その抜き取られた多面採りガラス基板１に存在している欠陥の総個数を検出し、その欠陥の総個数を、検査対象となった総面積で除したロット平均欠陥密度を算出するものである。ここでいう欠陥とは、下流側工程において問題となる程度の欠陥を意味している。
　上記試算手段Ｂは、先ず、一ロットの多面採りガラス基板１について、欠陥が存在している多面採りガラス基板１を予備的に良品とみなして下流側工程に送ることによる上流側工程の処理者が受ける利益を求める。この算出は、上流側工程での多面採りガラス基板の一枚あたりの単価と、ロット平均欠陥密度から計算され且つ１枚の多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の個数が仮の欠陥許容個数にある多面採りガラス基板の収率（良品率）とから求められる。次いで、それらの予備的に良品とみなされた多面採りガラス基板１に製品関連処理（多面採りガラス基板１の表面に例えばディスプレイ画面に対応する膜や回路パターン等を形成する処理）を施して複数の単面ガラス板３に分割した場合に下流側工程の処理者が受ける損失を求める。この算出は、下流側工程で多面採りガラス基板１に製品関連処理を施して複数の単面ガラス板３に分割した場合の単面ガラス板の一枚あたりの単価と、ロット平均欠陥密度から計算され且つ上記の仮の欠陥許容個数に対応する欠陥が下流側工程にまで送られて単面ガラス板３に含まれて不良になる収率とから求められる。さらに、試算手段Ｂは、上記の１枚の多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の個数を異ならせて、上述の利益と上述の損失とを求めることを複数回に亘って試算し、それらの試算結果に基づいて、上述の利益が上述の損失を上回っている場合（より好ましくはその利益が試算範囲内で最大である場合）における１枚の多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の欠陥許容個数を算出する。なお、この試算手段Ｂによる算出は、コンピュータで行われる。
　上記第２検査手段Ｃは、上記一ロットの多面採りガラス基板１の全数を欠陥検査して、多面採りガラス基板１の各仮想単面２を区画している仮想線と照合しながら、１枚の多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の欠陥許容個数を実測により計数する。
　上記良否判定手段Ｄは、一ロットの多面採りガラス基板１の中から、第２検査手段Ｃで実測された欠陥が存在している１枚の多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の実個数が、上記試算手段Ｂで算出された１枚の多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の真の許容個数である多面採りガラス基板１を、欠陥が全く存在していない多面採りガラス基板１に加えて下流側工程に送る良品とする。そして、その他の多面採りガラス基板１を、上流側工程で廃棄する不良品とする。なお、この良否判定手段Ｄによる判定は、コンピュータで行われる。
　以上の手順を、図２に示すフローチャートのステップＳ１～Ｓ７を参照して、詳しく説明する。このフローチャートは、上流側工程での処理の手順のみを示している。
　ステップＳ１は、第１検出手段Ａに相当し、ここでは、ダウンドロー法やフロート法等で成形されて所定の加工が施された１０枚以上の一ロットの多面採りガラス基板１を対象として、その中から１０枚以上を抜き取った多面採りガラス基板１について、欠陥の検査を行い欠陥の総個数を計数し、それを検査総面積で除したロット平均欠陥密度を算出する。第１検査手段Ａ（第２検査手段Ｃも同様）では、光学式の自動欠陥検出装置が使用されるが、本発明においては、多面採りガラス基板１の各仮想単面２を区画している仮想線が予め判明している必要は無い。
　ステップＳ２では、検査が行われた多面採りガラス基板１を、下流側工程で良品としてみなすと仮定した場合における当該１枚の多面採りガラス基板１に存在する前記欠陥の個数ｉを０個から１個ずつ順に繰り上げて決定していく。そして、ステップＳ３では、順次繰り上がっていくｉの全ての場合について、それぞれ、上流側工程の処理者が受ける累積利益と、下流側工程の処理者が受ける累積損失とを比較する。ここで言う累積とは、ｉが０個から１個ずつ順に繰り上がることによって算出される利益の累積値及び損失の累積値を表す。利益の算出は、上流側工程での多面採りガラス基板の一枚あたりの単価と、ロット平均欠陥密度から計算され且つ１枚の多面採りガラス基板１に存在する前記欠陥の個数が欠陥許容個数にある多面採りガラス基板１の収率とから求められる。損失の算出は、下流側工程で多面採りガラス基板に製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割した場合の単面ガラス板３の一枚あたりの単価と、ロット平均欠陥密度から計算され且つ上記の欠陥許容個数に対応する欠陥が下流側工程にまで送られて単面ガラス板３に含まれて不良になる収率とから求められる。それぞれにおいて、ロット平均欠陥密度から収率を求めるには二項累積分布関数を用いた式で確率的に求めるとよい。
　ステップＳ４では、累積利益が累積損失を上回っている場合に、ステップＳ５に進み、上回っていない場合にはステップＳ７に進む。ステップＳ５では、ｉが０個から１個ずつ順に繰り上がる一連の試算の中で今までの試算結果に比べて最大の累積利益である場合にはステップＳ６へ進み、今までの試算結果に比べて最大の累積利益でない場合はステップＳ８に進む。ステップＳ６では、その時のｉの値を仮の欠陥許容個数（１枚の多面採りガラス基板に存在する欠陥の適切個数）としてステップＳ７に進む。ステップＳ７で上流側工程の歩留まりが１００％以上（１００％に到達している）かを判断して、１００％以上ならステップＳ８に進み、１００％未満ならばステップＳ２に戻る。ステップＳ８では、その時の仮の許容面数を最終的な許容面数（真の許容面数）としステップＳ９に移る。
　ステップＳ９は、第２検査手段Ｃに相当するが、ここでは、一ロットの多面採りガラス基板１の全数について、１枚の多面採りガラス基板１に存在する前記欠陥の実個数を計数して、ステップＳ１０へ進む。ステップＳ１０は、良否判定手段Ｄに相当するが、ここでは、１枚の多面採りガラス基板１に存在する前記欠陥の実個数と真の欠陥許容個数とから、良品と不良品との選別を行う。
　以上の動作が完了することにより、１枚の多面採りガラス基板１に存在する前記欠陥の実個数が１個のみの場合を良品としてみなすか、あるいはそれが２個または３個などの場合をも良品としてみなすかが判明して、その結果に基づいて全数検査選別される。
　更に詳述すると、上述の利益と損失は、図３（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示すように、欠陥が全く存在しない多面採りガラス基板１に、製品関連処理を施した後、８個の単面ガラス板３に分割した場合には、上流側及び下流側共に欠陥に起因する利益及び損失が存在しないから、本発明における利益及び損失は零である。一方、１枚の多面採りガラス基板１に存在する欠陥が１個でもあれば不良品として廃棄する場合には、その不良品とされた全ての多面採りガラス基板１の価格相当分が損失となるが、従来システムでは、それを損失としていたため、従来システムとの比較を行う本発明では、このような場合を損失が零であるとして利益が決まる。
　そして、一例として、図４（ａ）に示す１枚の多面採りガラス基板１には、１個の仮想単面２に１個の欠陥４が存在し、図５（ａ）に示す１枚の多面採りガラス基板１には、２個の仮想単面２にそれぞれ１個ずつの欠陥４が存在し、図６（ａ）に示す１枚の多面採りガラス基板１には、３個の仮想単面２にそれぞれ１個ずつの欠陥４が存在し、図７（ａ）に示す１枚の多面採りガラス基板１には、４個の仮想単面２にそれぞれ１個ずつの欠陥４が存在しているとする。
　この場合に、第１検査手段Ａでは、単に欠陥４の総個数（本例では１０個）だけを検出し、この総個数を、４枚分の多面採りガラス基板１の総面積で除算して、ロット平均欠陥密度を算出する。そして、このロット平均欠陥密度に基づいて、試算手段Ｂで試算をしていく過程においては、図４（ａ）で示すように、製品関連処理が施される前段階で、その多面採りガラス基板１を良品とみなすことにより得られる利益と、図４（ｂ）に示すように、製品関連処理を施した後に、図４（ｃ）に示すように、１個の単面ガラス板３を廃棄することにより発生する損失とを比較し、利益が損失を上回っている場合には、この多面採りガラス基板１は良品として上流側工程から下流側工程に送られる。同様に、図５、図６、図７についても、製品関連処理が施される前段階の多面採りガラス基板１を良品とみなすことにより得られる利益と、製造関連処理を施した後に該当個数の単面ガラス板３を廃棄することにより発生する損失とを比較し、利益が損失を上回っているか否かを判定する。そして、図４、図５、図６に示すものについては、利益が損失を上回っているが、図７に示すものについては、利益が損失を上回っていなかったとすると、１枚の多面採りガラス基板１に存在する欠陥の個数が、１個、２個、３個の場合には、製品関連処理が施される前段階の多面採りガラス基板１が、上流側工程から下流側工程に送られるが、当該個数が４個以上の場合には、製品関連処理が施される前段階の多面採りガラス基板１が、上流側工程で廃棄処分される。
　上述のロット平均欠陥密度から収率を求めるには二項累積分布関数を用いた式で確率的に求めるとよい。それを含む実施形態の計算について以下説明をする。計算には二項累積分布関数を含む下記の［数１］～［数５］の数式を用いる。その数式に使用されるパラメータの定義は下記の表１に掲載されている。また、ここでの実施形態において、これらのパラメータのうち前提条件になるパラメータについては下記の表２に掲載する。そして、それらの入力による計算結果を下記の表３に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000001
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000002
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000003
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000004
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000005
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000006
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000007
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000008
　なお、この計算の中で用いられている無害領域救済率（α）とは、例えば下流工程でガラス基板に形成される回路パターン等の設計情報から前記上流工程で不良となる欠陥が存在しても回路パターンの検査上では不良にならないような複雑に入り組んだ回路パターンに沿った無害領域に対して、回路パターンの設計情報から面積的な割合を確率として置き換えたものである。
　上記の表３によれば、αが０％で且つＣｂｓが３０００円の場合には、８面採りのガラス基板であって、欠陥許容個数が２個である時に、累積利益が最大（２７０円）となっているので、一ロットの多面採りガラス基板１においては、１枚の多面採りガラス基板に存在する欠陥の実個数が１個と２個のものが、欠陥の全く存在していないものと共に上流側工程から下流側工程に送られる。また、αが０％で且つＣｂｓが６０００円の場合と、αが４０％で且つＣｂｓが１００００円の場合とは、両者共に、８面採りのガラス基板であって、欠陥許容個数が１個仮想単面が８個の中で許容面数が１個である時に、累積利益が最大（９６円）となっているので、一ロットの多面採りガラス基板１においては、１枚の多面採りガラス基板に存在する欠陥の実個数が１個のものが、欠陥の全く存在していないものと共に上流側工程から下流側工程に送られる。なお、αが０％で且つＣｂｓが１００００円の場合には、累積利益が全て零以下であるため、一ロットの多面採りガラス基板１においては、欠陥の全く存在していないもののみが上流側工程から下流側工程に送られる。
　ここで、無害領域救済率（α）について詳述する。図８に示すように、多面採りガラス基板１に、直線状の回路パターンＰａ（粗いクロスハッチングが付されている領域）が複数並列に配列されることが予定されている場合に、回路パターンＰａに欠陥が存在したり、回路パターンＰａが近接している領域Ｂａ（細かいクロスハッチングが付されている領域）に欠陥が存在したりすると、断線や短絡などが生じ得る。そこで、このＰａとＢａとからなる領域を、欠陥の存在が許されない有害領域とし、その他の領域Ｃａ（平行斜線からなるハッチングが付された領域）を無害領域とする。そして、Ｃａの面積を、多面採りガラス基板１の全領域（有効面領域）の面積で除算した値を、無害領域救済率（α）とする。ここでの実施形態の計算には、この概念を用いることが好ましい。しかしながら、αを特定できない場合はα＝０を数式に代入して計算すればよい。
　以上の実施形態に係る生産管理システムＳは、上流側工程でのみ、多面採りガラス基板１の良否の判断を行うことができるため、上流側工程の処理者から下流側工程の処理者に欠陥情報を伝達する必要がなくなり、設備面、在庫管理面、及び生産計画立案面等で有利となって、現実の運用を簡単に行うことが可能となる。さらに、欠陥検査では、ロット平均欠陥密度を求めるための欠陥の総個数と、１枚の多面採りガラス基板１に存在する欠陥４の個数を検出するだけで良く、上流側工程での入念な欠陥の検査を行う必要がなくなり、欠陥の検査作業が極めて簡素化されて、作業能率の向上が図られる。加えて、上流側工程の処理者と下流側工程の処理者とのトータル的な損益を考慮して、多面採りガラス基板１が良品か不良品かを決定する構成であるため、上流側工程の処理者のみまたは下流側工程の処理者のみが不当な損失を受ける等の弊害も生じなくなる。
　なお、上流側工程の処理者は、フラットパネルディスプレイ用の多面採りガラス基板としてのマザーガラスの製造者であり、下流側工程の処理者は、フラットパネルディスプレイのパネルの中間又は最終製造者であってもよく、或いは、上流側工程の処理者が、フラットパネルディスプレイ用の多面採りガラス基板としてのマザーガラスの製造者であり、下流側工程の処理者が、フラットパネルディスプレイのマザーガラスから切断して単面ガラス板に加工する製造者であってもよい。
　なお、以上の実施形態における第１検出手段Ａ、試算手段Ｂ，第２検査手段Ｃ、及び良品判定手段Ｄについては、ほぼ同時に連続的に行ってもよい。すなわち、連続式に被検査物が流れる光学式の自動欠陥検出装置が使用され、その検査処理においては、図９に示すように単一の検査手段Ａ１で両方の目的がかなうような仕様で検査をしながら、その結果をすぐにコンピュータにて試算手段Ｂ１の処理をして、その結果による良品判定手段Ｃ１をすぐに行って、最後に被検査物を選別するような工程を組み上げてもよい。この場合には、検出手段Ａ１でのロット平均欠陥密度の検出は、被検査物の連続する１０枚以上の投入に応じた移動平均を使用すればよい。
　また、１枚の多面採りガラス基板内に構成される複数の仮想単面は、原則は同一サイズであるが、それぞれが異なるサイズであってもよい。
　なお、以上の実施形態では、ガラス基板生産管理システムＳとして本発明を適用したが、図１０に示すように、ガラス基板生産管理方法Ｓ２として、第１検査工程Ａ２と、試算工程Ｂ２と、第２検査工程Ｃ２と、良否判定工程Ｄ２とを備えるようにしてもよく、図１１に示すように、同じくガラス基板生産管理方法Ｓ３として、単一の検査工程Ａ３と、試算工程Ｂ３と、良否判定工程Ｃ３とを備えるようにしてもよい。これらのガラス基板生産管理方法Ｓ２、Ｓ３によるにしても、全ての処理をコンピュータで行うか否かはともかくとして、上述のガラス基板生産管理システムＳと実質的に同一の処理が行われる。
　ここで、以上の実施形態では、上流側工程の処理者が受ける利益と、下流側工程の処理者が受ける損失との許算を、二項累積分布関数を用いたが、これは欠陥の確率分布が二項分布をするという前提で採用しているものであり、前提に見合った他の分布関数を用いてもよい。本発明は、このような計算手法に限定されるものではなく、上流側工程の処理者が受ける利益と、下流側工程の処理者が受ける損失との計算を行うことができる手法であれば、他の計算手法を使用してもよい。
１　多面採りガラス基桓(マザーガラス)
２　仮想単面
３　単面ガラス板
４　欠陥
Ａ　第１検査手段
Ｂ　試算手段
Ｃ　第２検査手段
Ｓ　ガラス基板生産管理システム
Ａ１　検査手段
Ｂ１　試算手段
Ｃ１　良否判定手段
Ａ２　第１検査工程
Ｂ２　試算工程
Ｃ２　第２検査工程
Ｄ２　良否判定工程
Ｓ２　ガラス基板生産管理方法
Ａ３　検査工程
Ｂ３　試算工程
Ｃ３　良否判定工程
Ｓ３　ガラス基板生産管理方法

 
 
 
 

Claims (12)

  1. 　上流側工程で作製された多面採りガラス基板を、下流側工程で製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割する手順を含むガラス基板生産管理システムであって、
    　上流側工程で１０枚以上の一ロットの多面採りガラス基板から１０枚以上が抜き取られた欠陥検査の欠陥データに基づいて、その抜き取られた多面採りガラス基板に存在している欠陥の総個数を検出し、その欠陥の総個数を検査対象とした総面積で除したロット平均欠陥密度を算出する第１検査手段と、
    　上流側工程における前記一ロットの多面採りガラス基板について、欠陥が存在している多面採りガラス基板を予備的に良品とみなして下流側工程に送ることによる上流側工程の処理者が受ける利益と、それらの予備的に良品とみなされた多面採りガラス基板に製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割した場合に前記欠陥の存在に起因して不良品が発生したことによる下流側工程の処理者が受ける損失とを、前記ロット平均欠陥密度を使用して、１枚の前記多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の個数を異ならせて複数回に亘って試算し、それらの試算結果に基づいて、前記利益が前記損失を上回っている場合における１枚の前記多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の適切個数である欠陥許容個数を算出する試算手段と、
    　上流側工程における前記一ロットの多面採りガラス基板の全数を欠陥検査して前記１枚の前記多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の実個数を計数する第２検査手段と、
    　１枚の前記多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の実個数が前記試算手段で算出された前記欠陥許容個数の範囲内にある前記多面採りガラス基板を、欠陥が全く存在していない多面採りガラス基板に加えて下流側工程に送る良品とし、その他の多面採りガラス基板を、上流側工程で廃棄する不良品とする良否判定手段と、
    　を備えたことを特徴とするガラス基板生産管理システム。
  2. 　上流側工程で作製された多面採りガラス基板を、下流側工程で製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割する手順を含むガラス基板生産管理システムであって、
    　上流側工程で１０枚以上の一ロットの多面採りガラス基板から１０枚以上が抜き取られた欠陥検査の欠陥データに基づいて、その抜き取られた多面採りガラス基板に存在している欠陥の総個数を検出し、その欠陥の総個数を検査対象とした総面積で除したロット平均欠陥密度を算出すると共に、前記一ロットの多面採りガラス基板の全数を欠陥検査して１枚の前記多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の実個数を計数する検査手段と、
    　上流側工程における前記一ロットの多面採りガラス基板について、欠陥が存在している多面採りガラス基板を予備的に良品とみなして下流側工程に送ることによる上流側工程の処理者が受ける利益と、それらの予備的に良品とみなされた多面採りガラス基板に製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割した場合に前記欠陥の存在に起因して不良品が発生したことによる下流側工程の処理者が受ける損失とを、前記ロット平均欠陥密度を使用して、１枚の前記多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の個数を異ならせて複数回に亘って試算し、それらの試算結果に基づいて、前記利益が前記損失を上回っている場合における１枚の前記多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の適切個数である欠陥許容個数を算出する試算手段と、
    　１枚の多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の実個数が、前記試算手段で算出された欠陥許容個数の範囲内にある多面採りガラス基板を、欠陥が全く存在していない多面採りガラス基板に加えて下流側工程に送る良品とし、その他の多面採りガラス基板を、上流側工程で廃棄する不良品とする良否判定手段と、
    　を備えたことを特徴とするガラス基板生産管理システム。
  3. 　下流側工程で製品関連処理が施される多面採りガラス基板の面を、欠陥が製品関連処理に対して有害となる有害領域と、欠陥が製品関連処理に対して無害となる無害領域とに区分して、無害領域の面積を多面採りガラス基板の面積で除した値を無害領域救済率とし、この無害領域救済率を、前記試算手段で行われる計算に使用することを特徴とする請求項１または２に記載のガラス基板生産管理システム。
  4. 　前記上流側工程の処理者が、フラットパネルディスプレイ用の多面採りガラス基板としてのマザーガラスの製造者であり、前記下流側工程の処理者が、フラットパネルディスプレイのパネルの中間または最終製造者であることを特徴とする請求項１または２に記載のガラス基板生産管理システム。
  5. 　前記上流側工程の処理者が、フラットパネルディスプレイ用の多面採りガラス基板としてのマザーガラスの製造者であり、前記下流側工程の処理者が、フラットパネルディスプレイのマザーガラスから切断して単面ガラス板に加工する製造者であることを特徴とする請求項１または２に記載のガラス基板生産管理システム。
  6. 　前記試算手段での算出と、前記良否判定手段での判定とを、コンピュータで行うことを特徴とする請求項１または２に記載のガラス基板生産管理システム。
  7. 　上流側工程で作製された多面採りガラス基板を、下流側工程で製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割する手順を含むガラス基板生産管理方法であって、
    　上流側工程で１０枚以上の一ロットの多面採りガラス基板から１０枚以上が抜き取られた欠陥検査の欠陥データに基づいて、その抜き取られた多面採りガラス基板に存在している欠陥の総個数を検出し、その欠陥の総個数を検査対象とした総面積で除したロット平均欠陥密度を算出する第１検査工程と、
    　上流側工程における前記一ロットの多面採りガラス基板について、欠陥が存在している多面採りガラス基板を予備的に良品とみなして下流側工程に送ることによる上流側工程の処理者が受ける利益と、それらの予備的に良品とみなされた多面採りガラス基板に製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割した場合に前記欠陥の存在に起因して不良品が発生したことによる下流側工程の処理者が受ける損失とを、前記ロット平均欠陥密度を使用して、１枚の前記多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の個数を異ならせて複数回に亘って試算し、それらの試算結果に基づいて、前記利益が前記損失を上回っている場合における１枚の前記多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の適切個数である欠陥許容個数を算出する試算工程と、
    　上流側工程における前記一ロットの多面採りガラス基板の全数を欠陥検査して前記欠陥が存在している１枚の前記多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の実個数を計数する第２検査工程と、
    　１枚の前記多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の実個数が前記試算手段で算出された欠陥許容個数の範囲内にある多面採りガラス基板を、欠陥が全く存在していない多面採りガラス基板に加えて下流側工程に送る良品とし、その他の多面採りガラス基板を、上流側工程で廃棄する不良品とする良否判定工程と、
    　を備えたことを特徴とするガラス基板生産管理方法。
  8. 　上流側工程で作製された多面採りガラス基板を、下流側工程で製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割する手順を含むガラス基板生産管理方法であって、
    　上流側工程で１０枚以上の一ロットの多面採りガラス基板から１０枚以上が抜き取られた欠陥検査の欠陥データに基づいて、その抜き取られた多面採りガラス基板に存在している欠陥の総個数を検出し、その欠陥の総個数を検査対象とした総面積で除したロット平均欠陥密度を算出すると共に、前記一ロットの多面採りガラス基板の全数を欠陥検査して１枚の前記多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の実個数を計数する検査工程と、
    　上流側工程における前記一ロットの多面採りガラス基板について、欠陥が存在している多面採りガラス基板を予備的に良品とみなして下流側工程に送ることによる上流側工程の処理者が受ける利益と、それらの予備的に良品とみなされた多面採りガラス基板に製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割した場合に前記欠陥の存在に起因して不良品が発生したことによる下流側工程の処理者が受ける損失とを、前記ロット平均欠陥密度を使用して、１枚の前記多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の個数を異ならせて複数回に亘って試算し、それらの試算結果に基づいて、前記利益が前記損失を上回っている場合における１枚の前記多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の適切個数である欠陥許容個数を算出する試算工程と、
    　１枚の前記多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の実個数が、前記試算手段で算出された欠陥許容個数の範囲内にある多面採りガラス基板を、欠陥が全く存在していない多面採りガラス基板に加えて下流側工程に送る良品とし、その他の多面採りガラス基板を、上流側工程で廃棄する不良品とする良否判定工程と、
    　を備えたことを特徴とするガラス基板生産管理方法。
  9. 　下流側工程で製品関連処理が施される多面採りガラス基板の面を、欠陥が製品関連処理に対して有害となる有害領域と、欠陥が製品関連処理に対して無害となる無害領域とに区分して、無害領域の面積を多面採りガラス基板の面積で除した値を無害領域救済率とし、この無害領域救済率を、前記試算工程で行われる計算に使用することを特徴とする請求項７または８に記載のガラス基板生産管理方法。
  10. 　前記上流側工程の処理者が、フラットパネルディスプレイ用の多面採りガラス基板としてのマザーガラスの製造者であり、前記下流側工程の処理者が、フラットパネルディスプレイのパネルの中間または最終製造者であることを特徴とする請求項７または８に記載のガラス基板生産管理方法。
  11. 　前記上流側工程の処理者が、フラットパネルディスプレイ用の多面採りガラス基板としてのマザーガラスの製造者であり、前記下流側工程の処理者が、フラットパネルディスプレイのマザーガラスから切断して単面ガラス板に加工する製造者であることを特徴とする請求項７または８に記載のガラス基板生産管理方法。
  12. 　前記試算工程と、前記良否判定工程とを、コンピュータで行うことを特徴とする請求項７または８に記載のガラス基板生産管理システム。
PCT/JP2014/071722 2013-08-27 2014-08-20 ガラス基板生産管理システム及びガラス基板生産管理方法 WO2015029847A1 (ja)

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