JP6094891B2 - ガラス基板生産管理システム及びガラス基板生産管理方法 - Google Patents
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Description
2 仮想単面
3 単面ガラス板
4 欠陥
A 第1検査手段
B 試算手段
C 第2検査手段
S ガラス基板生産管理システム
A1 検査手段
B1 試算手段
C1 良否判定手段
A2 第1検査工程
B2 試算工程
C2 第2検査工程
D2 良否判定工程
S2 ガラス基板生産管理方法
A3 検査工程
B3 試算工程
C3 良否判定工程
S3 ガラス基板生産管理方法
Claims (10)
- 上流側工程で作製された多面採りガラス基板を、下流側工程で製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割する手順を含むガラス基板生産管理システムであって、
上流側工程で10枚以上の一ロットの多面採りガラス基板から10枚以上が抜き取られた欠陥検査の欠陥データに基づいて、その抜き取られた多面採りガラス基板に存在している欠陥の総個数を検出し、その欠陥の総個数を検査対象とした総面積で除したロット平均欠陥密度を算出する第1検査手段と、
上流側工程における前記一ロットの多面採りガラス基板について、欠陥が存在している多面採りガラス基板を予備的に良品とみなして下流側工程に送ることによる上流側工程の処理者が欠陥が一つでも存在する多面採りガラス基板を廃棄していた場合との比較において受ける利益と、それらの予備的に良品とみなされた多面採りガラス基板に製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割した場合に前記欠陥の存在に起因して不良品が発生したことによる下流側工程の処理者が全ての単面ガラス板が良品であった場合との比較において受ける損失とを、前記ロット平均欠陥密度を使用して、1枚の前記多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の個数を異ならせて複数回に亘って試算し、それらの試算結果に基づいて、前記利益が前記損失を上回っている場合における1枚の前記多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の適切個数である欠陥許容個数を算出する試算手段と、
上流側工程における前記一ロットの多面採りガラス基板の全数を欠陥検査して前記1枚の前記多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の実個数を計数する第2検査手段と、
1枚の前記多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の実個数が前記試算手段で算出された前記欠陥許容個数の範囲内にある前記多面採りガラス基板を、欠陥が全く存在していない多面採りガラス基板に加えて下流側工程に送る良品とし、その他の多面採りガラス基板を、上流側工程で廃棄する不良品とする良否判定手段と、
を備えたことを特徴とするガラス基板生産管理システム。 - 上流側工程で作製された多面採りガラス基板を、下流側工程で製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割する手順を含むガラス基板生産管理システムであって、
上流側工程で10枚以上の一ロットの多面採りガラス基板から10枚以上が抜き取られた欠陥検査の欠陥データに基づいて、その抜き取られた多面採りガラス基板に存在している欠陥の総個数を検出し、その欠陥の総個数を検査対象とした総面積で除したロット平均欠陥密度を算出すると共に、前記一ロットの多面採りガラス基板の全数を欠陥検査して1枚の前記多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の実個数を計数する検査手段と、
上流側工程における前記一ロットの多面採りガラス基板について、欠陥が存在している多面採りガラス基板を予備的に良品とみなして下流側工程に送ることによる上流側工程の処理者が欠陥が一つでも存在する多面採りガラス基板を廃棄していた場合との比較において受ける利益と、それらの予備的に良品とみなされた多面採りガラス基板に製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割した場合に前記欠陥の存在に起因して不良品が発生したことによる下流側工程の処理者が全ての単面ガラス板が良品であった場合との比較において受ける損失とを、前記ロット平均欠陥密度を使用して、1枚の前記多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の個数を異ならせて複数回に亘って試算し、それらの試算結果に基づいて、前記利益が前記損失を上回っている場合における1枚の前記多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の適切個数である欠陥許容個数を算出する試算手段と、
1枚の多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の実個数が、前記試算手段で算出された欠陥許容個数の範囲内にある多面採りガラス基板を、欠陥が全く存在していない多面採りガラス基板に加えて下流側工程に送る良品とし、その他の多面採りガラス基板を、上流側工程で廃棄する不良品とする良否判定手段と、
を備えたことを特徴とするガラス基板生産管理システム。 - 下流側工程で製品関連処理が施される多面採りガラス基板の面を、欠陥が製品関連処理に対して有害となる有害領域と、欠陥が製品関連処理に対して無害となる無害領域とに区分して、無害領域の面積を多面採りガラス基板の面積で除した値を無害領域救済率とし、この無害領域救済率を、前記試算手段で行われる計算に使用することを特徴とする請求項1または2に記載のガラス基板生産管理システム。
- 前記上流側工程の処理者が、フラットパネルディスプレイ用の多面採りガラス基板としてのマザーガラスの製造者であり、前記下流側工程の処理者が、フラットパネルディスプレイのパネルの中間または最終製造者であることを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載のガラス基板生産管理システム。
- 前記上流側工程の処理者が、フラットパネルディスプレイ用の多面採りガラス基板としてのマザーガラスの製造者であり、前記下流側工程の処理者が、フラットパネルディスプレイのマザーガラスから切断して単面ガラス板に加工する製造者であることを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載のガラス基板生産管理システム。
- 上流側工程で作製された多面採りガラス基板を、下流側工程で製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割する手順を含むガラス基板生産管理方法であって、
上流側工程で10枚以上の一ロットの多面採りガラス基板から10枚以上が抜き取られた欠陥検査の欠陥データに基づいて、その抜き取られた多面採りガラス基板に存在している欠陥の総個数を検出し、その欠陥の総個数を検査対象とした総面積で除したロット平均欠陥密度を算出する第1検査工程と、
上流側工程における前記一ロットの多面採りガラス基板について、欠陥が存在している多面採りガラス基板を予備的に良品とみなして下流側工程に送ることによる上流側工程の処理者が欠陥が一つでも存在する多面採りガラス基板を廃棄していた場合との比較において受ける利益と、それらの予備的に良品とみなされた多面採りガラス基板に製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割した場合に前記欠陥の存在に起因して不良品が発生したことによる下流側工程の処理者が全ての単面ガラス板が良品であった場合との比較において受ける損失とを、前記ロット平均欠陥密度を使用して、1枚の前記多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の個数を異ならせて複数回に亘って試算し、それらの試算結果に基づいて、前記利益が前記損失を上回っている場合における1枚の前記多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の適切個数である欠陥許容個数を算出する試算工程と、
上流側工程における前記一ロットの多面採りガラス基板の全数を欠陥検査して前記欠陥が存在している1枚の前記多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の実個数を計数する第2検査工程と、
1枚の前記多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の実個数が前記試算工程で算出された欠陥許容個数の範囲内にある多面採りガラス基板を、欠陥が全く存在していない多面採りガラス基板に加えて下流側工程に送る良品とし、その他の多面採りガラス基板を、上流側工程で廃棄する不良品とする良否判定工程と、
を備えたことを特徴とするガラス基板生産管理方法。 - 上流側工程で作製された多面採りガラス基板を、下流側工程で製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割する手順を含むガラス基板生産管理方法であって、
上流側工程で10枚以上の一ロットの多面採りガラス基板から10枚以上が抜き取られた欠陥検査の欠陥データに基づいて、その抜き取られた多面採りガラス基板に存在している欠陥の総個数を検出し、その欠陥の総個数を検査対象とした総面積で除したロット平均欠陥密度を算出すると共に、前記一ロットの多面採りガラス基板の全数を欠陥検査して1枚の前記多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の実個数を計数する検査工程と、
上流側工程における前記一ロットの多面採りガラス基板について、欠陥が存在している多面採りガラス基板を予備的に良品とみなして下流側工程に送ることによる上流側工程の処理者が欠陥が一つでも存在する多面採りガラス基板を廃棄していた場合との比較において受ける利益と、それらの予備的に良品とみなされた多面採りガラス基板に製品関連処理を施して複数の単面ガラス板に分割した場合に前記欠陥の存在に起因して不良品が発生したことによる下流側工程の処理者が全ての単面ガラス板が良品であった場合との比較において受ける損失とを、前記ロット平均欠陥密度を使用して、1枚の前記多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の個数を異ならせて複数回に亘って試算し、それらの試算結果に基づいて、前記利益が前記損失を上回っている場合における1枚の前記多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の適切個数である欠陥許容個数を算出する試算工程と、
1枚の前記多面採りガラス基板に存在する前記欠陥の実個数が、前記試算工程で算出された欠陥許容個数の範囲内にある多面採りガラス基板を、欠陥が全く存在していない多面採りガラス基板に加えて下流側工程に送る良品とし、その他の多面採りガラス基板を、上流側工程で廃棄する不良品とする良否判定工程と、
を備えたことを特徴とするガラス基板生産管理方法。 - 下流側工程で製品関連処理が施される多面採りガラス基板の面を、欠陥が製品関連処理に対して有害となる有害領域と、欠陥が製品関連処理に対して無害となる無害領域とに区分して、無害領域の面積を多面採りガラス基板の面積で除した値を無害領域救済率とし、この無害領域救済率を、前記試算工程で行われる計算に使用することを特徴とする請求項6または7に記載のガラス基板生産管理方法。
- 前記上流側工程の処理者が、フラットパネルディスプレイ用の多面採りガラス基板としてのマザーガラスの製造者であり、前記下流側工程の処理者が、フラットパネルディスプレイのパネルの中間または最終製造者であることを特徴とする請求項6〜8の何れかに記載のガラス基板生産管理方法。
- 前記上流側工程の処理者が、フラットパネルディスプレイ用の多面採りガラス基板としてのマザーガラスの製造者であり、前記下流側工程の処理者が、フラットパネルディスプレイのマザーガラスから切断して単面ガラス板に加工する製造者であることを特徴とする請求項6〜8の何れかに記載のガラス基板生産管理方法。
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