JP7171535B2 - 表面形状測定装置 - Google Patents
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Description
なお、図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。また、同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
なお、本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には、同一の符号を付して詳細な説明を適宜省略する。
図1に示すように、表面形状測定装置10は、表面座標変換部14と、単列/並列切替部17と、表面座標分割部18と、凹凸形状演算部15と、を備える。また、好ましくは、表面形状測定装置10は、分割異常判定部19をさらに備える。
図2(b)は、並列搬送される被測定物体の表面形状の測定系を例示する正面図である。
図2(c)は、並列搬送される被測定物体の表面形状の測定系を例示する側面図である。
図2(a)~図2(c)に示すように、スリット状光光源2A,2Bおよび表面撮像部3は、被測定物体1a,1bの表面のななめ上方に設けられている。スリット状光光源2A,2Bは、この例では、被測定物体1a,1bの長手方向の一方の縁の側に設けられ、表面撮像部3は、スリット状光光源2A,2Bが設けられているのとは反対の縁の側に設けられている。スリット状光光源2A,2Bおよび表面撮像部3は、被測定物体1a,1bの同じ縁の側に設けられていてもよい。
表面座標変換部14は、表面撮像部3の出力に接続されている(図1)。表面座標変換部14は、表面撮像部3によって撮像されたスリット状光のライン2AL,2BLの画像データにもとづいて、高さマップ情報A,Bのデータをそれぞれ生成する。高さマップ情報とは、パスラインPに平行な平面(たとえばXY平面)の座標(XY座標)を有する、XY座標に垂直な方向の座標(たとえばZ座標)のデータをいう。
図3(b)は、並列搬送された被測定物体の1ライン分の高さ座標のデータを例示する模式図である。
図3(c)は、図3(b)のE部の拡大図である。
上述したとおり、複数のラインからなる画像データや高さマップ情報は、スリット状光光源2A,2Bのそれぞれによる2種類のデータにもとづいて生成等されるが、冗長な説明を避けるため、以下では、スリット状光光源2Aによるライン2ALにもとづく画像データや高さマップ情報Aの処理について説明する。スリット状光光源2BによるラインBLにもとづく画像データや高さマップ情報Bの処理についても同様である。
図4の上の図には、画像分割前の2枚分の被測定物体1a,1bを含む画像データ102の状態が示されており、図4の下の図には、分割ラインによって分割された画像データ102a,102bの状態が模式的に示されている。画像データ102aは、被測定物体1aに対応し、画像データ102bは、被測定物体1bに対応する。
図5には、2つの被測定物体を含む画像データを分割処理した結果、妥当でない分割画像が生成された場合の例を示している。
図5に示すように、被測定物体1aの画像データ102aは、妥当でない高さ座標のデータを含む高さマップ情報201aのデータを有している。妥当でない高さ座標のデータとは、高さマップ情報201aにおいて、被測定物体1aの尾端付近に相当する範囲の分割ラインの高さ座標のデータが、立下り座標検出のためのしきい値よりも十分大きい値を有している場合である。
図6は、実施形態の表面形状測定装置の動作を説明するためのフローチャートの例である。
図6に示すように、ステップS1において、表面座標変換部14は、表面撮像部3によって撮像されたライン2AL,2BLのデータを角度θ1を用いて、直交座標のデータに変換する。
実施形態の表面形状測定装置10は、表面座標分割部18を備える。表面座標分割部18は、被測定物体1a,1bが並列搬送された場合に、表面座標変換部14によって生成された高さマップ情報A,Bにもとづいて、分割点を抽出し、画像データの分割ラインを設定することができる。そのため、並列搬送されていても、表面撮像部3によって取得された画像データでは、1枚の鋼板を含むのか2枚の鋼板を含むのか判別できない場合であっても、2枚の鋼板の画像データ(高さマップ情報)を生成することができる。
Claims (9)
- 第1方向および前記第1方向に直交する第2方向を含むパスライン上に載置された1つの被測定物体または2つの被測定物体が搬送される前記第1方向に直交する2つの離隔した平面内にそれぞれ設けられ互いの光軸が平行になるように前記1つの被測定物体または前記2つの被測定物体のななめ上方に配置された2つのスリット状光光源から前記1つの被測定物体または前記2つの被測定物体の表面にそれぞれ照射される第1ラインおよび第2ラインを所定の周期で順次撮像する撮像部であって、前記1つの被測定物体または前記2つの被測定物体のななめ上方かつ前記平面から角度をなす位置に配置された前記撮像部によって取得されたななめ画像データを、前記2つのスリット状光光源からの照射線上で撮像したような画像データに変換し、前記画像データを前記第1ラインにもとづいて、前記第1方向および前記第2方向に直交する第3方向の座標の第1高さデータを含む第1高さマップ情報を生成し、前記画像データを前記第2ラインにもとづいて前記第3方向の座標の第2高さデータを含む第2高さマップ情報を生成する表面座標変換部と、
前記2つの被測定物体が搬送されてくる場合に、前記第1高さマップ情報にもとづいて前記2つの被測定物体のそれぞれに対応する第1分割高さマップ情報および第2分割高さマップ情報を生成し、前記第2高さマップ情報にもとづいて前記2つの被測定物体のそれぞれに対応する第3分割高さマップ情報および第4分割高さマップ情報を生成する表面座標分割部と、
前記第1分割高さマップ情報および前記第3分割高さマップ情報にもとづいて、前記2つの被測定物体の振動による影響を軽減された第1最終高さマップ情報を演算し、前記第2分割高さマップ情報および前記第4分割高さマップ情報にもとづいて、前記2つの被測定物体の振動による影響を軽減された第2最終高さマップ情報を演算し、前記第1高さマップ情報および前記第2高さマップ情報にもとづいて前記2つの被測定物体の表面の形状を測定する凹凸形状演算部と、
を備え、
前記凹凸形状演算部は、前記1つの被測定物体が搬送されてくる場合には、前記第1高さマップ情報および前記第2高さマップ情報にもとづいて、前記1つの被測定物体の振動による影響を軽減された第3最終マップ情報を演算し、前記第3最終マップ情報にもとづいて前記1つの被測定物体の表面の形状を測定する表面形状測定装置。 - 前記表面座標変換部は、
前記第1ラインを前記第2方向に沿ってサンプリングして前記第2方向の座標に対する前記第3方向の座標のデータを紐づけすることによって、前記第1高さマップ情報を生成し、
前記第2ラインを前記第2方向に沿ってサンプリングして前記第2方向の座標に対する前記第3方向の座標のデータを紐づけすることによって、前記第2高さマップ情報を生成し、
前記表面座標分割部は、
前記第1高さマップ情報を前記第1ラインに沿って走査し、前記第3方向の座標データが第1しきい値よりも小さくなったときに第1立下り座標を検出したものと判定し、
前記第3方向の座標のデータが前記第1しきい値以上となったときに第1立上り座標を検出したものと判定し、
前記第1立下り座標と前記第1立上り座標との中間の座標を、前記2つの被測定物体に対応する第1分割点として抽出し、
前記第2高さマップ情報を前記第2ラインに沿って走査し、前記第3方向の座標データが前記第1しきい値よりも小さくなったときに第2立下り座標を検出したものと判定し、
前記第3方向の座標のデータが前記第1しきい値以上となったときに第2立上り座標を検出したものと判定し、
前記第2立下り座標と前記第2立上り座標との中間の座標を、前記2つの被測定物体に対応する第2分割点として抽出する請求項1記載の表面形状測定装置。 - 前記表面座標分割部は、
前記第1分割点を、前記2つの被測定物体に関して前記第1方向にわたって複数個抽出し、抽出された前記複数の第1分割点にもとづいて第1分割ラインを近似演算し、
前記第2分割点を、前記2つの被測定物体に関して前記第1方向にわたって複数個抽出し、抽出された前記複数の第2分割点にもとづいて第2分割ラインを近似演算する請求項2記載の表面形状測定装置。 - 前記表面座標分割部は、
前記第1分割ラインにもとづいて、前記第1分割高さマップ情報および前記第2分割高さマップ情報を生成し、
前記第2分割ラインにもとづいて、前記第3分割高さマップ情報および前記第4分割高さマップ情報を生成する請求項3記載の表面形状測定装置。 - 前記表面座標分割部または凹凸形状演算部の処理の異常有無を判定する分割異常判定部をさらに備えた請求項4記載の表面形状測定装置。
- 前記分割異常判定部は、
前記表面座標分割部において、
前記第1立下り座標または前記第1立上り座標のうち少なくとも一方の検出ができないとき、または、前記第1立下り座標または前記第1立上り座標のうち少なくとも一方について複数回検出されたときに、分割点抽出異常と判定し、
前記第2立下り座標または前記第2立上り座標のうち少なくとも一方の検出ができないとき、または、前記第2立下り座標または前記第2立上り座標のうち少なくとも一方について複数回検出されたときに、分割点抽出異常と判定する請求項5記載の表面形状測定装置。 - 前記分割異常判定部は、
前記表面座標分割部において、
前記第1分割ラインの近似演算の係数が所定の範囲内からはずれたときに分割ライン異常と判定し、
前記第2分割ラインの近似演算の係数が所定の範囲内からはずれたときに分割ライン異常と判定する請求項5記載の表面形状測定装置。 - 前記分割異常判定部は、
前記第1分割ラインの前記第3方向の座標の値が所定値以上のデータを含むときに分割画像妥当性異常と判定し、
前記第2分割ラインの前記第3方向の座標の値が所定値以上のデータを含むときに分割画像妥当性異常と判定する請求項5記載の表面形状測定装置。 - 前記分割異常判定部は、
前記凹凸形状演算部において、
前記第1分割高さマップ情報および前記第3分割高さマップ情報の同一の前記第1方向の座標および前記第2方向の座標における前記第3方向のそれぞれの座標の値の相違が所定値以上である場合に凹凸演算有効性異常と判定し、
前記第2分割高さマップ情報および前記第4分割高さマップ情報の同一の前記第1方向の座標および前記第2方向の座標における前記第3方向のそれぞれの座標の値の相違が所定値以上である場合に凹凸演算有効性異常と判定する請求項5記載の表面形状測定装置。
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