WO2014115050A1 - Vorrichtung zur erzeugung eines plasmas und handgerät mit der vorrichtung - Google Patents

Vorrichtung zur erzeugung eines plasmas und handgerät mit der vorrichtung Download PDF

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WO2014115050A1
WO2014115050A1 PCT/IB2014/058115 IB2014058115W WO2014115050A1 WO 2014115050 A1 WO2014115050 A1 WO 2014115050A1 IB 2014058115 W IB2014058115 W IB 2014058115W WO 2014115050 A1 WO2014115050 A1 WO 2014115050A1
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piezoelectric transformer
plasma
piezoelectric
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Stefan Nettesheim
Dariusz Korzec
Dominik Burger
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Reinhausen Plasma Gmbh
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    • H05H2240/10—Testing at atmospheric pressure
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    • H05H2245/00—Applications of plasma devices
    • H05H2245/40—Surface treatments

Definitions

  • the invention relates to a device for generating a plasma.
  • a control circuit is provided for this purpose, which is electrically connected to the excitation of a piezoelectric transformer with this.
  • the invention relates to a hand-held device for the plasma treatment of surfaces.
  • the handset has a housing and a voltage source.
  • German patent DE 10 2008 018 827 B4 discloses a device for producing a plasma with a piezoelectric element.
  • the piezo element is equipped with a primary and a secondary area. In this case, the control of the primary region of the piezoelectric element with low voltage and high frequency occurs.
  • the plasma is ignited by the field superelevation on the surface of the secondary region of the piezoelectric element.
  • the plasma guidance is effected by a counterelectrode lying at ground potential and a gas flow which passes by the piezoelectric element. Due to the gas flow, the plasma exits the device.
  • German Patent Application DE 10 201 1 006 764 A1 discloses a piezoelectric transformer with an input-side piezoelectric transducer, an output-side piezoelectric transducer having at least two phases, at least one first electrically non-conductive layer, which is arranged between the input-side piezoelectric transducer and the output-side piezoelectric transducer and which mechanically couples together the input side piezoelectric transducer and the output side piezoelectric transducer. Furthermore, at least one second electrically non-conductive layer is arranged between the phases of the output-side piezoelectric transducer.
  • US Pat. No. 5,834,882 describes the structure of a piezoelectric multilayer transformer.
  • a first electroactive element is mechanically connected to the second electroactive element through a bonding layer disposed between a first major surface of the first electroactive element and a first major surface of the second electroactive element.
  • the connecting layer has a pretensioning device in order to apply a compressive stress in the longitudinal direction to the first and the second electroactive element.
  • the German patent application DE 10 2009 023 505 A1 discloses a circuit arrangement for a piezoelectric transformer and a method for driving a piezotransformer.
  • the circuit arrangement comprises a driver circuit, a current sensor, a control unit and an oscillator.
  • the circuit arrangement comprises a pulse width modulator.
  • the pulse width modulator is connected between the oscillator and the driver circuit.
  • the oscillator output is connected to an input of the pulse width modulator.
  • a modulator output of the pulse width modulator is connected to the driver signal input.
  • Another modulator output of the pulse width modulator is connected to a further driver signal input of the driver circuit.
  • An output of the control unit is connected to a modulator control input of the pulse width modulator.
  • a secondary-side voltage can be tapped off, e.g. used for flash triggering.
  • German Offenlegungsschrift DE 10 2007 055 014 A1 discloses a method for igniting and maintaining a plasma in a gas space.
  • the piezoelectric material protrudes into a cavity, wherein the piezoelectric material is resonantly vibrated by an external electrical excitation.
  • the cavity contains the gas to be ionized.
  • electrodes are attached to the piezoelectric material.
  • the method is suitable for the realization of a plasma light source.
  • Chinese patent application CN 101259036 A discloses a micro-plasma pen for removing freckles.
  • the pen includes a skin cleaning plasma head, a handle housing, a micro-transducer located in the handle housing, a power controller, and a power module.
  • the stylus can deliver high and variable plasma power, for which an integrated circuit or a semiconductor chip microprocessor is installed in the handle housing, which drives a piezoelectric transformer.
  • European Patent Application EP 2 256 835 A2 discloses a pulse generator for a piezoelectric transformer.
  • a final stage of the amplifier drives the piezoelectric transformer at a desired resonant frequency.
  • Two electrodes are connected to the piezoelectric transformer.
  • the voltage forming on the piezoelectric transformer is sufficient to form a dielectric barrier discharge.
  • the dielectric barrier discharge generator consists of a tube or a shell.
  • the high voltage electrode is seated e.g. in a tube at ground potential.
  • German Patent DE 10 2005 032 890 B4 discloses an apparatus for generating atmospheric pressure plasma by means of at least one piezoelectric transformer.
  • a transformer consists of piezoelectric material which is subdivided in the longitudinal direction into at least one excitation zone and at least one high-voltage zone.
  • the piezoelectric transformer has at least one opening for gas guidance, which is flowed through by a gas stream, wherein plasma can be generated in the opening.
  • the German utility model DE 20 2008 008 908 U1 discloses a device for generating an atmospheric pressure plasma.
  • a gas inlet opening connectable to a gas line and a supply line for a chip Power supply of the device are both connected to a power supply device.
  • Japanese Patent Application JP 2003-297295 discloses a light-emitting element comprising a piezoelectric element.
  • the piezoelectric element is excited by means of an alternating voltage.
  • German Offenlegungsschrift DE 10 2008 063 052 A1 discloses a device for cleaning room air.
  • the device comprises a housing, on which at least one opening for sucking in ambient air and at least one outlet opening for blowing out the cleaned air are provided.
  • a device for generating plasma is arranged in the housing, so that germs or unpleasant odors can be eliminated.
  • Piezoelectric Transformers represent a suitable alternative On the primary side, the driving voltage is coupled in. On the output side (secondary side), the voltage is boosted in the article "High Efficiency Ozone Production by a Compact Ozoniser Using Piezoelectric Tranformer” by Kenji TERANISHI, Susumu SUZUKI and Haruro ITOH. Chiba Institute of Technology, it is disclosed that the piezoelectric transformer is supported in nodes of vibration.
  • the excitation energy is supplied in a first half of the piezoelectric transformer.
  • the second half of the piezoelectric transformer is positioned between two electrodes for barrier discharge.
  • a plasma formation alone at the free end of the piezoelectric transformer is not provided.
  • the invention relates to a device for generating atmospheric pressure plasma by means of at least one piezoelectric transformer.
  • Such a transformer is made of piezoelectric material, which is subdivided in the longitudinal direction in at least one excitation zone and at least one high voltage zone.
  • the piezoelectric transformer has at least one opening for gas guidance, which is flowed through by a gas stream, wherein plasma can be generated in the opening.
  • the polarization directions of the two zones of the transformer are designed such that on the surface of the high-voltage zone itself generates plasma, such as for lamp power supply with corresponding electrodes.
  • the object of the present invention is to provide a device that is simple and inexpensive, so that a plasma is generated at atmospheric pressure using the device.
  • the above object is achieved with a device according to the features of claim 1.
  • Another object of the invention is to propose a hand-held device for the plasma treatment of surfaces at atmospheric pressure, which is inexpensive and simple.
  • the above object is achieved with a handheld device for the plasma treatment of surfaces according to the features of claim 12.
  • the inventive device for generating a plasma is characterized by a control circuit which is electrically connected to the excitation of a piezoelectric transformer with this.
  • the piezoelectric transformer is made up of several individual layers.
  • the piezoelectric transformer consists of a stack of several sheets of dielectric material, wherein in one section of each sheet a conductor or a conductive surface is applied.
  • the portion of the foil with the trace is located in a portion of the first end of the piezoelectric transformer.
  • the individual foils are joined together to form the piezoelectric transformer.
  • the control circuit for driving the piezoelectric transformer is realized on a circuit board.
  • the piezoelectric transformer is subjected to a voltage which excites the piezoelectric transformer according to its resonant frequency.
  • the control circuit also serves to readjust the excitation voltage if the resonance frequency of the piezoelectric transformer changes due to temperature influences or aging processes.
  • the resonant frequency of the piezoelectric transformer may shift by changing the dielectric properties of the environment or by the intensity of the discharge ignited in the gaseous environment.
  • the piezoelectric transformer is supported with a portion of a first end over the board. By the excitation voltage, a high voltage is pronounced at a second free end of the piezoelectric transformer. At the second free end, the plasma ignites at atmospheric pressure.
  • the holder for the piezoelectric transformer supports or guides it in a vibration node.
  • a gap is formed between the board and the piezoelectric transformer so that the piezoelectric transformer and the board are spaced from each other.
  • the piezoelectric transformer itself is cuboid, wherein a length and a width of the piezoelectric transformer is larger than a thickness of the piezoelectric transformer.
  • the multiple layers of the piezoelectric transformer are oriented such that they are substantially perpendicular to the side surfaces of the piezoelectric transformer are determined by the length and the thickness of the piezoelectric transformer.
  • an electrical connection for the excitation voltage is provided in each case.
  • the electrical connection is preferably mounted in a vibration node of the piezoelectric transformer.
  • the holder for the piezoelectric transformer is also provided in the node of the piezoelectric transformer. In the event that a separate electrical connection for the excitation voltage to the terminal pad is performed, it is sufficient that the holder is made of elastic material. If the excitation energy for the piezoelectric transformer is supplied via the holder, the material of the holder is elastic and electrically conductive.
  • a stream of working gas is formed so as to be directed toward the second free end of the piezoelectric transformer at least from the first end of the board-mounted piezoelectric transformer.
  • the flow of working gas serves to form the plasma and to cool the piezoelectric transformer, the highest thermal power dissipation occurring in the vibration nodes.
  • a fan is provided to assist the flow of working gas through the piezoelectric transformer to the second free end.
  • a resonant frequency excited piezoelectric transformer In a resonant frequency excited piezoelectric transformer, at least two nodes of vibration are formed, both of which are spaced from the first end and the second free end, respectively.
  • an electrical connection is guided in each case to one side surface of the piezoelectric transformer on the circuit board.
  • the terminal is connected to a terminal pad provided in a node on each side surface of the piezoelectric transformer.
  • the terminal pad is attached to the node that is closer to the first end as the second free end.
  • a temperature sensor is provided at this vibration node of the piezoelectric transformer, so that the temperature of the piezoelectric transformer can be monitored, so that a shutdown is made when the temperature exceeds a certain threshold.
  • circuit board and the piezoelectric transformer form a structural unit.
  • This structural unit can then be used as a whole in a housing or installed.
  • a handheld device for plasma treatment of surfaces has at least one housing and a voltage source. With the plasma emitted by the hand-held device, it is possible to clean a surface and to improve the adhesive properties of paint or adhesive.
  • a circuit board with a control circuit for exciting a piezoelectric transformer is arranged, wherein the piezoelectric transformer is mounted with a first end on the board and thus forms a structural unit with this.
  • a second free end of the piezoelectric transformer is aligned with an opening in the housing.
  • a high voltage is expressed, so that the plasma is formed at atmospheric pressure.
  • a battery and / or a connection for a standard power supply are provided.
  • the housing carries a fan, with which an air flow over the piezoelectric transformer and towards the opening in the housing can be generated.
  • the fan may be formed as an axial fan depending on the structural conditions of the housing.
  • the handset may be provided with an additional gas connection. Via the gas connection, another working gas than air can be supplied to the second free end of the piezoelectric transformer. That ⁇ s how it is conceivable that the coming of the gas connection working gas is mixed with the ambient air.
  • an atmospheric pressure plasma can be generated by means of at least one piezoelectric transformer.
  • the piezoelectric transformer is made of piezoelectric material which is subdivided longitudinally into at least one excitation zone and at least one high voltage zone, wherein the excitation zone terminal pads, to which an AC voltage is applied and wherein in the excitation zone mechanical vibrations are generated in the high voltage zone Create electrical fields.
  • the present invention can be integrated into a handheld device. The handset is easy to transport and can thus reach any desired location without any special effort. Likewise, the energy supply is simple, which also positively supports the variability in terms of possible applications.
  • the volume of plasma generated per unit time is maximized by geometric structures for local field enhancement.
  • the volume of the plasma generated per unit time is maximized.
  • the structuring is in direct positive connection with the high voltage side of the piezocrystal.
  • the structuring is designed as a separate component which is directly electrically connected to the high-voltage side of the piezocrystal.
  • the piezoelectric crystal piezoelectric transformer
  • a working gas process gas
  • Figure 1 is a schematic view of the basic principle of the device according to the invention, with which a plasma can be generated at atmospheric pressure;
  • Figure 2 is a perspective sectional view, wherein the inventive
  • Figure 3 is a side view of the device according to the invention in the housing
  • Figure 4 is a perspective view of an embodiment of the housing in which the device according to the invention is housed;
  • Figure 5 is a plan view of the device according to the invention.
  • Figure 6 is a side view of the device according to the invention.
  • Figure 7 is a side view of the piezoelectric transformer showing the layer structure;
  • Figure 8 is a plan view of the individual layers of the piezoelectric
  • FIGS. 9a-9b show schematic views of the different possibilities for mounting the piezoelectric transformer
  • Figure 10 is a view of the different physical states as
  • Figure 11 shows a possible embodiment of a hand-held device enclosing the device according to the invention
  • Figure 12 shows another embodiment of a hand-held device enclosing the device according to the invention.
  • FIG. 1 shows a schematic view of the basic principle of the device 1 according to the invention, with which a plasma can be generated at atmospheric pressure.
  • a piezoelectric transformer 5 is arranged in a housing 30, a piezoelectric transformer 5 is arranged. A second free end 8 of the piezoelectric transformer 5 is directed toward an opening 32 of the housing 30.
  • the housing 30 is associated with a fan 17 which generates a stream 15 of a working gas, which is guided to the opening 32 of the housing 30.
  • the flow 15 of the working gas is passed through the control circuit 3 and the piezoelectric transformer 5 and serves essentially for cooling the piezoelectric transformer 5.
  • the arrangement of the fan 17 shown in Figure 1 should not be construed as limiting the invention. It is obvious to a person skilled in the art that the fan 17 can be attached anywhere on the housing 30.
  • a terminal pad 20 through which the piezoelectric transformer 5 is supplied with such a voltage, so that the piezoelectric transformer 5 vibrates at a resonant frequency.
  • the pad 20 is closer to the first end 6 of the piezoelectric transformer 5 than to the second free end 8.
  • the excited piezoelectric transformer 5 forms two nodes 14 of vibration.
  • the connection pads 20 are mounted in the vibration node 14, the nä- her to the first end 6 of the piezoelectric transformer 5 is located.
  • the piezoelectric transformer 5 is dimensioned such that at a fundamental mode along the length of the piezoelectric transformer 5, two vibration nodes 14 (see Figure 9) form.
  • the piezoelectric transformer 5 is mounted on a circuit board 7, on which a control circuit 3 is realized, which in turn is made up of a plurality of electronic components 4, wherein for the sake of clarity, only a part of the electronic components 4 is shown.
  • the piezoelectric transformer 5 may according to a first embodiment with a portion 6B of the first end 6 of the board 7 are opposite and is, as described later, held spaced therefrom.
  • the housing 30 has the opening 32 in which the second free end 8 of the piezoelectric transformer 5 ends. At the second free end 8 of the piezoelectric transformer 5 is a high voltage, so that a plasma P (see Figure 5) is formed at atmospheric pressure.
  • FIG. 3 shows a side view of the device 1 according to the invention in the housing 30.
  • the piezoelectric transformer 5 and the circuit board 7 carrying the control circuit 3, which is constructed from a plurality of electronic components 4, form , a structural unit.
  • the device 1 according to the invention can be pre-produced as the structural unit and then installed in the housing 30 provided for this purpose.
  • a free gap 18 between the board 7 and the piezoelectric transformer 5 can be seen.
  • FIG. 4 shows a perspective view of an embodiment of the housing 30.
  • the housing 30 accommodates the device 1 according to the invention. In the illustration of the device 1 according to the invention shown here, only the second free end 8 of the piezoelectric transformer 5 is visible, which terminates in the opening 32 of the housing 30.
  • FIG. 1 A schematic plan view of the device 1 according to the invention is shown in FIG.
  • the device 1 of the invention is a structural unit of the piezoelectric transformer 5 and the board 7.
  • the board 7 realized with a variety of electronic components 4, a control circuit 3. With the control circuit 3, it is possible stimulate piezoelectric transformer 5 with its resonant frequency.
  • the inventive device 1 can be connected to an external power supply, which is a conventional standard power supply (not shown), which is connected via a cable 21 with the device 1 according to the invention.
  • the device according to the invention can be provided with a battery. A combination of battery and standard power supply is also conceivable.
  • the drive voltage is applied by the control circuit 3 of the board 7 via a respective electrical connection 12 to a respective side face 10 of the piezoelectric transformer 5.
  • the fan 17 associated with the device 1 according to the invention generates a flow 15 of working gas with which the plasma P is ignited and maintained at the second free end 8.
  • the plasma P exits through the opening 32 of the housing in which the device 1 according to the invention is located. The ignition and the maintenance of the plasma P takes place at atmospheric pressure.
  • the side view of the device 1 according to the invention is shown in FIG.
  • the control circuit 3 is provided with a plurality of electrical see components 4 realized.
  • the piezoelectric transformer 5 is arranged with the area 6B of the first end 6 freely above the board 7.
  • the connection pad 20 for the electrical connection 12 from the circuit board 7 is attached on each of the side surfaces 10 of the piezoelectric transformer 5.
  • the electrical connection pads 20 are attached to both side surfaces 10 of the piezoelectric transformer 5 and to the vibration node 14 (see FIG. 9) thereof.
  • the mechanical support or guidance of the piezoelectric transformer 5 takes place in the vibration node 14.
  • the holder or guide of the piezoelectric transformer 5 is thus such that a gap 18 is present between the circuit board 7 and the piezoelectric transformer 5.
  • the device 1 With the device 1 according to the invention, it is at the second free end 8 of the piezoelectric transformer 5 to generate a high voltage when in the two Auschlußpads 20, a low voltage of z. B. 12V AC voltage (12V peak-to-peak) is applied.
  • the board 7 is associated with a fan 17, which ensures the required for cooling the piezoelectric transformer 5 air flow.
  • the terminal pad 20 may be associated with a temperature sensor 24 which determines the temperature in the region of the terminal pad 20.
  • the signals of the temperature sensor 24 can be performed via a connection 1 1 to the board 7. As is clear in the description of FIG. 11, the thermal power loss is greatest in the region of the connection pad 20 (position of the vibration node 14).
  • the piezoelectric transformer 5 has a width B and a thickness D.
  • FIG. 7 schematically shows a side view of the piezoelectric transformer 5, which illustrates the layer structure of the piezoelectric transformer 5.
  • the piezoelectric transformer 5 is at least in part over its length L of several layers Si, S 2 , ..., SN, which are substantially perpendicular to the length L and the thickness D of the piezoelectric transformer 5 defined side surface 10.
  • the piezoelectric transformer 5 consists of a stack of a plurality of films of dielectric material, wherein in a portion of each film, a conductor track is applied. In a sintering process, the individual foils are joined together to form the piezoelectric transformer.
  • the electrical contacting of the individual layers Si, S2, ... , SN is shown in FIG.
  • a pad 20 is provided on each of the side surfaces 10, which extends over the entire thickness D of the piezoelectric transformer 5.
  • Each of the layers Si, S2, ... , SN is provided with an L-shaped conductor layer 27.
  • the L-shaped conductor layers 27 are arranged in the layer system such that one of the two connection pads 20 is alternately contacted, resulting in a parallel connection of the individual layers Si, S2,... , SN results.
  • the terminal pads 20 are mounted on both side surfaces 10 of the piezoelectric transformer 5 in its node.
  • FIGS. 9a and 9b Various embodiments of the holder or guide of the piezoelectric transformer 5 are disclosed in FIGS. 9a and 9b.
  • Figure 9a shows the holder 25 of the piezoelectric transformer 5 according to the through-hole technology (THT)
  • the holder 25 according to this embodiment consists of two pins which form the passage for the shower plug assembly, in which the piezoelectric transformer 5 is inserted and held.
  • the type of mounting of the piezoelectric transformer 5 shown in FIG. 9b is that of a surface-mounted device (SMD).
  • SMD surface-mounted device
  • the electrical connections 12 are mounted directly on the board (not shown here) by means of solderable connection surfaces.
  • the electrical connections 12 hold the piezoelectric transformer 5 at its connection pads 20 by means of corresponding elements which the Form holder 25.
  • the holder 25 consists according to the embodiment shown in Figure 9b of sheet-like elements. It is advantageous if the material of the holder 25 is made of elastic and electrically conductive. 10 shows a view of the different physical states as a function of the length of the piezoelectric transformer 5.
  • the excitation of the piezoelectric transformer 5 in the region of its resonance frequency leads to the formation of a vibration mode 13, which forms two vibration nodes 14 in the piezoelectric transformer 5.
  • the connection pads 20 are positioned at that vibration node 14 which is closer to the first end 6 of the piezoelectric transformer 5. Due to the vibration of the piezoelectric transformer 5, a thermal power loss 40 is formed, which is greatest at the vibration node 14 in the region of the first end 6 of the piezoelectric transformer 5.
  • the E field profile 41 is such that a maximum is formed there.
  • the flow rate 42 of the working gas is greatest at the vibration node 14 in the region of the first end 6. From the vibration node 14, in the region of the second free end 6, the flow velocity 42 increases to the second free end 8.
  • FIG. 11 shows a possible embodiment of a handheld device 100 which encloses the device 1 according to the invention.
  • the handset 100 is wireless and is powered by a battery 101 (usually 12V) for exciting the piezoelectric transformer 5 with energy.
  • a gas connection 102 can be provided, via which the handset 100 is supplied with a working gas which is not air.
  • a fan 17 is provided, which acts in the direction of an axis A of the device 1 according to the invention. The fan 17 ensures that within the handset 100, the working gas (usually ambient air) is transported to the second free end of the piezoelectric transformer 5. The flowing working gas also ensures ne cooling of the piezoelectric transformer 5 and thus a removal of the thermal power loss.
  • the handset 100 has a housing 30 in which the device 1 is received as a component.
  • FIG. 12 is a further embodiment of a handheld device 100 which encloses the device 1 according to the invention.
  • the handset 100 is formed with a connection 103 for a cable of a standard power supply.
  • an additional gas connection 102 may be provided, via which the hand-held device 100 is supplied with a working gas (except ambient air).
  • the handset 100 has a cylindrical shape, so that in the interior of the housing 30 also a fan (not shown here) offers, which urges the working gas in the direction of the opening 32 of the housing 30 and second free end 8 of the piezoelectric transformer 5.
  • handset 100 Although only two embodiments of handset 100 are disclosed in the present description, it should not be construed as limiting the invention. It will be understood by those skilled in the art that the housing 30 of the handset 100 may take on different forms. The only inconvenience is that an opening 32 is formed in the housing 30, so that the plasma P can escape at atmospheric pressure.

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Abstract

Es ist eine Vorrichtung (1) zur Erzeugung eines Plasmas (P) mit einer Steuerschaltung (3), die zur Anregung eines piezoelektrischen Transformators (5) mit diesem elektrisch verbunden ist, offenbart. Ebenso ist ein Handgerät (100) offenbart, das die Vorrichtung (1) verwendet. Der piezoelektrische Transformator (5) ist aus mehreren Schichten (S1, S2,…, SN) aufgebaut. Auf einer Platine (7) ist die Steuerschaltung (3) realisiert und der piezoelektrische Transformator (5) ist mit einem Bereich (6B) eines ersten Endes (6) über der Platine (7) gehaltert. An einem zweiten freien Ende (8) des piezoelektrischen Transformators (5) liegt eine Hochspannung an, wobei das Plasma (P) bei Atmosphärendruck erzeugt wird.

Description

VORRICHTUNG ZUR ERZEUGUNG EINES PLASMAS UND HANDGERÄT
MIT DER VORRICHTUNG
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Erzeugung eines Plasmas. Im Besonderen ist hierzu eine Steuerschaltung vorgesehen, die zur Anregung eines piezoelektrischen Transformators mit diesem elektrisch verbunden ist.
Ferner betrifft die Erfindung ein Handgerät zur Plasmabehandlung von Oberflächen. Das Handgerät weist ein Gehäuse und eine Spannungsquelle auf. Aus der deutschen Patentschrift DE 10 2008 018 827 B4 ist eine Vorrichtung zur Erzeugung eines Plasmas mit einem Piezoelement offenbart. Das Piezo- element ist mit einem Primär- und Sekundärbereich ausgestattet. Dabei erfolgt die Ansteuerung des Primärbereichs des Piezoelementes mit Niederspannung und Hochfrequenz. In der Folge wird das Plasma durch die Feldüberhöhung auf der Fläche des Sekundärbereichs des Piezoelements gezündet. Erfindungsgemäß erfolgt die Plasmaführung durch eine auf Erdpotential liegende Gegenelektrode und eine Gasströmung, die am Piezoelement vorbeistreicht. Durch die Gasströmung tritt das Plasma aus der Vorrichtung aus.
Die deutsche Offenlegungsschrift DE 10 201 1 006 764 A1 offenbart einen Pie- zotransformator mit einem eingangsseitigen piezoelektrischen Wandler, einem ausgangsseitigen piezoelektrischen Wandler mit mindestens zwei Phasen, mindestens einer ersten elektrisch nicht leitenden Schicht, welche zwischen dem eingangsseitigen piezoelektrischen Wandler und dem ausgangsseitigen piezoelektrischen Wandler angeordnet ist und welche den eingangsseitigen piezoelektrischen Wandler und den ausgangsseitigen piezoelektrischen Wandler mechanisch miteinander koppelt. Ferner ist mindestens eine zweite elektrisch nicht leitende Schicht zwischen den Phasen des ausgangsseitigen piezoelektrischen Wandlers angeordnet. Das US-Patent US 5,834,882 beschreibt den Aufbau eines piezoelektrischen Vielschicht-Transformators. Ein erstes elektroaktives Element ist mechanisch an dem zweiten elektroaktiven Element durch eine Verbindungsschicht, die zwischen einer ersten Hauptfläche des ersten elektroaktiven Elements und ei- ner ersten Hauptfläche des zweiten elektroaktiven Elements angeordnet ist, verbunden. Die Verbindungsschicht weist eine Vorspanneinrichtung auf, um eine Druckspannung in Längsrichtung auf das erste und das zweite elektroakti- ve Element aufzubringen.
Die deutsche Offenlegungsschrift DE 10 2009 023 505 A1 offenbart eine Schal- tungsanordnung für einen Piezotransformator und ein Verfahren zum Ansteuern eines Piezotransformators. Die Schaltungsanordnung umfasst einen Treiberschaltkreis, einen Stromsensor, eine Steuereinheit und einen Oszillator. Weiter umfasst die Schaltungsanordnung einen Pulsweitenmodulator. Der Pulsweitenmodulator ist zwischen dem Oszillator und dem Treiberschaltkreis geschal- tet. Der Oszillatorausgang ist mit einem Eingang des Pulsweitenmodulators verbunden. Ein Modulatorausgang des Pulsweitenmodulators ist mit dem Treibersignaleingang verbunden. Ein weiterer Modulatorausgang des Pulsweitenmodulators ist mit einem weiteren Treibersignaleingang des Treiberschaltkreises verbunden. Ein Ausgang der Steuereinheit ist mit einem Modulatorsteuer- eingang des Pulsweitenmodulators verbunden. Am Piezotransformator kann eine sekundärseitige Spannung abgegriffen werden, die z.B. zur Blitzauslösung dient.
In der deutschen Offenlegungsschrift DE 10 2007 055 014 A1 ist ein Verfahren zur Zündung und Aufrechterhaltung eines Plasmas in einem Gasraum offen- bart. Das piezoelektrische Material ragt in einen Hohlraum hinein, wobei das piezoelektrische Material durch eine äußere elektrische Anregung resonant in Schwingungen versetzt wird. Der Hohlraum enthält das zu ionisierende Gas. Außen sind an dem piezoelektrischen Material Elektroden angebracht. Das Verfahren ist zur Realisierung einer Plasmalichtquelle geeignet. Die chinesische Patentanmeldung CN 101259036 A offenbart einen MikroPlasma-Stift zum Entfernen von Sommersprossen. Der Stift umfasst einen Plasmakopf zur Hautreinigung, ein Griffgehäuse, einen Mikro-Wandler, der im Griffgehäuse angeordnet ist, einen Leistung Controller und ein Leistungsmodul. Der Stift kann eine hohe und variable Plasmaleistung abgeben, wofür eine integrierte Schaltung oder einem Halbleiter-Chip-Mikroprozessor im Griffgehäuse installiert ist, die einen piezoelektrischen Transformator treibt.
Die europäische Patentanmeldung EP 2 256 835 A2 offenbart einen Impulsgenerator für einen piezoelektrischen Transformator. Eine Endstufe des Ver- stärkers treibt den piezoelektrischen Transformator bei einer gewünschten Resonanzfrequenz. Zwei Elektroden sind mit dem piezoelektrischen Transformator verbunden. Die sich am piezoelektrischen Transformator ausbildende Spannung reicht aus um eine dielektrische Barriereentladung auszubilden. Der Generator für die dielektrische Barriereentladung besteht aus einer Röhre oder einer Schale. Die Hochspannungselektrode sitzt z.B. in einer auf Erdpotential liegenden Röhre.
Die deutsche Patentschrift DE 10 2005 032 890 B4 offenbart eine Vorrichtung zur Erzeugung von Atmosphärendruck-Plasma mittels mindestens eines piezoelektrischen Transformators. Ein solcher Transformator besteht aus piezo- elektrischem Material, das in Längsrichtung in mindestens einer Anregungszone und mindestens einer Hochspannungszone unterteilt ist. Gemäß der Erfindung weist der piezoelektrische Transformator mindestens eine Öffnung zur Gasführung auf, die mit einem Gasstrom durchströmt wird, wobei in der Öffnung Plasma erzeugt werden kann. Die deutsche Gebrauchsmusterschrift DE 20 2008 008 908 U1 offenbart eine Vorrichtung zur Erzeugung eines Atmosphärendruck-Plasmas. Eine mit einer Gasleitung verbindbare Gaseintrittsöffnung und eine Zuleitung für eine Span- nungsversorgung der Vorrichtung sind beide mit einer Leistungsversorgungseinrichtung verbunden.
Die japanische Patentanmeldung JP 2003-297295 offenbart ein Licht emittierendes Element, das ein piezoelektrisches Element umfasst. Das piezoelektri- sehe Element wird mittels einer Wechselspannung angeregt.
Die deutsche Offenlegungsschrift DE 10 2008 063 052 A1 offenbart eine Vorrichtung zur Reinigung von Raumluft. Die Vorrichtung umfasst ein Gehäuse, an dem mindestens eine Öffnung zum Ansaugen von Umgebungsluft und mindestens eine Austrittsöffnung zum Ausblasen der gereinigten Luft vorgesehen sind. Dabei ist in dem Gehäuse eine Einrichtung zur Erzeugung von Plasma angeordnet, so dass Keime oder unangenehme Gerüche beseitigt werden können.
Der Artikel„Piezoelektrische Transformatoren - Schaltungen und Anwendungen" vom C. KAUCZOR / T. SCHULTE / H. GROTSTOLLEN; 47. Internationa- les Kolloquium, Technische Universität Ilmenau, 23. - 26. September 2002. Die piezoelektrischen Transformatoren stellen eine geeignete Alternative zu herkömmlichen Transformatoren dar. Auf der Primärseite wird die treibende Spannung eingekoppelt. Auf der Ausgangsseite (Sekundärseite) wird die Spannung verstärkt. Im Artikel„High Efficiency Ozone Production by a Compact Ozoniser Using Piezoelectric Tranformer", von Kenji TERANISHI, Susumu SUZUKI und Haruro ITOH, Chiba Institute of Technology, ist offenbart, dass der piezoelektrische Transformator in Schwingungsknoten gehaltert ist. Die Anregungsenergie wird in einer ersten Hälfte des piezoelektrischen Transformators zugeführt. Die zwei- te Hälfte des piezoelektrischen Transformators ist zwischen zwei Elektroden für die Barriereentladung positioniert. Eine Plasmaausbildung alleine am freien Ende des piezoelektrischen Transformators ist nicht vorgesehen. Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Erzeugung von Atmosphärendruck- Plasma mittels mindestens eines piezoelektrischen Transformators. Ein solcher Transformator besteht aus piezoelektrischem Material, das in Längsrichtung in mindestens einer Anregungszone und mindestens einer Hochspannungszone unterteilt ist. Gemäß der Erfindung weist der piezoelektrische Transformator mindestens eine Öffnung zur Gasführung auf, die mit einem Gasstrom durchströmt wird, wobei in der Öffnung Plasma erzeugt werden kann. Nach einer anderen Ausführungsform der Erfindung sind die Polarisationsrichtungen der beiden Zonen des Transformators derart ausgebildet, dass an der Oberfläche der Hochspannungszone selbst Plasma erzeugt, wie z.B. zur Lampenstromversorgung mit entsprechenden Elektroden.
Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, eine Vorrichtung zu schaffen, die einfach und kostengünstig ist, so dass unter Verwendung der Vorrichtung ein Plasma bei Atmosphärendruck erzeugt wird. Die obige Aufgabe wird mit einer Vorrichtung gemäß den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst.
Eine weitere Aufgabe der Erfindung ist, ein Handgerät zur Plasmabehandlung von Oberflächen bei Atmosphärendruck vorzuschlagen, das kostengünstig und einfach aufgebaut ist. Die obige Aufgabe wird mit einem Handgerät zur Plasmabehandlung von Oberflächen gemäß den Merkmalen des Anspruchs 12 gelöst.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung zur Erzeugung eines Plasmas zeichnet sich durch eine Steuerschaltung aus, die zur Anregung eines piezoelektrischen Transformators mit diesem elektrisch verbunden ist. Der piezoelektrische Transformator ist aus mehreren einzelnen Schichten aufgebaut. Der piezoelektrische Transformators besteht aus einem Stapel von mehreren Folien aus dielektrischem Material, wobei in einem Abschnitt einer jeden Folie eine Leiter- bahn bzw. eine leitfähige Fläche aufgebracht ist. Der Abschnitt der Folie mit der Leiterbahn befindet sich in einem Abschnitt des ersten Endes des piezoelektrischen Transformators. In einem Sinterprozess werden die einzelnen Folien miteinander verbunden und so der piezoelektrische Transformators gebildet. Die Steuerschaltung zum Antreiben des piezoelektrischen Transformators ist auf einer Platine realisiert. In der Regel wird der piezoelektrische Transformator mit einer Spannung beaufschlagt, die den piezoelektrischen Transformator gemäß seiner Resonanzfrequenz anregt. Die Steuerschaltung dient ebenfalls zur Nachregelung der Anregungsspannung, falls sich die Resonanzfrequenz des piezoelektrischen Transformators aufgrund von Temperatureinflüssen oder Alterungsprozessen ändert. Ebenso kann sich die Resonanzfrequenz des piezoelektrischen Transformators durch Änderung der dielektrischen Eigenschaften der Umgebung oder durch die Intensität der in die gasförmige Umgebung gezündeten Entladung verschieben. Der piezoelektrische Transformator ist mit einem Bereich eines ersten Endes über der Platine gehaltert bzw. geführt. Durch die Anregungsspannung wird an einem zweiten freien Ende des piezoelektrischen Transformators eine Hochspannung ausgeprägt. Am zweiten freien Ende zündet dann das Plasma bei Atmosphärendruck. Die Halterung für den piezoelektrischen Transformator haltert bzw. führt diesen in einem Schwin- gungsknoten. Zwischen der Platine und dem piezoelektrischen Transformator ist ein Spalt ausgebildet, so dass der piezoelektrische Transformator und die Platine voneinander beabstandet sind. Mittels dieser Anordnung ist eine mechanische Dämpfung des piezoelektrischen Transformators ausgeschlossen.
Der piezoelektrische Transformator selbst ist quaderförmig, wobei eine Länge und eine Breite des piezoelektrischen Transformators größer als eine Dicke des piezoelektrischen Transformators ist. Die mehreren Schichten des piezoelektrischen Transformators sind dabei derart orientiert, dass sie im Wesentlichen senkrecht zu den Seitenflächen des piezoelektrischen Transformators sind, die durch die Länge und die Dicke des piezoelektrischen Transformators bestimmt sind.
An gegenüberliegenden Seitenflächen des piezoelektrischen Transformators ist jeweils ein elektrischer Anschluss für die Anregungsspannung vorgesehen. Be- vorzugt wird der elektrische Anschluss in einem Schwingungsknoten des piezoelektrischen Transformators angebracht. Die Halterung für den piezoelektrischen Transformator ist ebenfalls im Schwingungsknoten des piezoelektrischen Transformators vorgesehen. Für den Fall, dass ein separater elektrischer Anschluss für die Anregungsspannung zum Anschlußpad geführt wird, reicht es aus, dass die Halterung aus elastischem Material besteht. Falls die Anregungsenergie für den piezoelektrischen Transformator über die Halterung zugeführt wird, ist das Material der Halterung elastisch und elektrisch leitfähig.
Ein Strom eines Arbeitsgases wird derart ausbildet, dass er zumindest von dem ersten Ende des auf der Platine gehalterten piezoelektrischen Transformators zum zweiten freien Ende des piezoelektrischen Transformators hin, gerichtet ist. Der Strom von Arbeitsgas dient zur Ausbildung des Plasmas und zur Kühlung des piezoelektrischen Transformators, wobei in den Schwingungsknoten die höchste thermische Verlustleistung auftritt. Ein Lüfter ist vorgesehen, um den Storm des Arbeitsgases über den piezoelektrischen Transformator zum zweiten freien Ende hin zu unterstützen.
Bei einem mit einer Resonanzfrequenz angeregten, piezoelektrischen Transformator bilden sich mindestens zwei Schwingungsknoten aus, die beide vom ersten Ende bzw. vom zweiten freien Ende beabstandet sind. Gemäß einer Ausführungsform ist auf der Platine jeweils ein elektrischer Anschluss zu je ei- ner Seitenfläche des piezoelektrischen Transformators geführt. Der Anschluss ist mit je einem Anschlußpad verbunden, das in einem Schwingungsknoten an jeder Seitenfläche des piezoelektrischen Transformators vorgesehen ist. Das Anschlußpad ist an demjenigen Schwingungsknoten angebracht, der näher zum ersten Ende als zum zweiten freien Ende hin liegt. Bevorzugt ist an diesem Schwingungsknoten des piezoelektrischen Transformators ein Temperatursensor vorgesehen, damit die Temperatur des piezoelektrischen Transformators überwacht werden kann, so dass eine Abschaltung vorgenommen wird, wenn die Temperatur einen gewissen Schwellwert übersteigt.
Es ist von besonderem Vorteil, wenn die Platine und der piezoelektrische Transformator eine bauliche Einheit bilden. Diese bauliche Einheit kann dann als Ganzes in ein Gehäuse eingesetzt bzw. eingebaut werden.
Ein Handgerät zur Plasmabehandlung von Oberflächen besitzt zumindest ein Gehäuse und eine Spannungsquelle. Mit dem von dem Handgerät abgegebenen Plasma ist es möglich eine Oberfläche zu reinigen und die Hafteigenschaften von Lack oder Klebstoff zu verbessern. Im Gehäuse ist eine Platine mit einer Steuerschaltung zur Anregung eines piezoelektrischen Transformators angeordnet, wobei der piezoelektrische Transformator mit einem ersten Ende auf der Platine gehaltert ist und somit eine bauliche Einheit mit dieser bildet. Ein zweites freies Ende des piezoelektrischen Transformators ist zu einer Öffnung im Gehäuse hin ausgerichtet. An dem zweiten freien Ende des piezoelektrischen Transformators prägt sich eine Hochspannung aus, so dass das Plasma bei Atmosphärendruck ausgebildet wird. Zu Energieversorgung sind ein Akku und/oder ein Anschluss für ein Standard-Netzteil vorgesehen.
Das Gehäuse trägt einen Lüfter, mit dem ein Luftstrom über den piezoelektrischen Transformator und hin zur Öffnung im Gehäuse erzeugbar ist. Der Lüfter, kann in Abhängigkeit von den baulichen Gegebenheiten des Gehäuses als Axiallüfter ausgebildet sein. Das Handgerät kann mit einem zusätzlichen Gasanschluss versehen sein. Über den Gasanschluss kann ein anderes Arbeitsgas als Luft dem zweiten freien Ende des piezoelektrischen Transformators zugeführt werden. Es ist ebenso denkbar, dass das über den Gasanschluss kommende Arbeitsgas mit der Umgebungsluft gemischt wird.
Es ist von besonderem Vorteil, dass mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung ein Atmosphärendruck-Plasma mittels mindestens eines piezoelektrischen Transformators erzeugt werden kann. Der piezoelektrische Transformator besteht aus piezoelektrischem Material, das in Längsrichtung in mindestens eine Anregungszone und mindestens eine Hochspannungszone unterteilt ist, wobei die Anregungszone Anschlußpads aufweist, an die eine Wechselspannung angelegt wird und wobei in der Anregungszone mechanische Schwingungen er- zeugt werden die in der Hochspannungszone den Aufbau elektrischer Felder bewirken. Hinzu kommt, dass sich die gegenwärtige Erfindung in ein Handgerät integrieren lässt. Das Handgerät ist einfach zu transportieren und kann somit ohne besonderen Aufwand zu jedem gewünschten Einsatzort gelangen. Ebenso ist die Energieversorgung einfach gestaltet, was ebenfalls die Variabilität hinsichtlich der Einsatzmöglichkeiten positiv unterstützt.
Gemäß der Erfindung wird das Volumen des pro Zeiteinheit erzeugten Plasmas durch geometrische Strukturen zur lokalen Feldüberhöhung maximiert. Durch eine Strukturierung der Hochspannungsseite des Piezokristalls wird das Volumen des pro Zeiteinheit erzeugten Plasmas maximiert. Die Strukturierung ist in unmittelbaren Formschluss mit der Hochspannungsseite des Piezokristalls. Die Strukturierung ist als gesondertes Bauelement ausgebildet, das mit der Hochspannungsseite des Piezokristalls direkt elektrisch verbunden ist. Im Bereich der Feldüberhöhung wird der Piezokristall (piezoelektrische Transformator) von einem Arbeitsgas (Prozessgas) überströmt. Weitere Vorteile und vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand der nachfolgenden Figuren sowie deren Beschreibungsteile. Es zeigen im Einzelnen:
Figur 1 eine schematische Ansicht des Grundprinzips der erfindungsgemäßen Vorrichtung, mit der ein Plasma bei Atmosphärendruck erzeugt werden kann; Figur 2 eine perspektivische Schnittansicht, wobei die erfindungsgemäße
Vorrichtung von einem Gehäuse umgeben ist;
Figur 3 eine Seitenansicht der erfindungsgemäßen Vorrichtung im Gehäuse;
Figur 4 eine perspektivische Ansicht einer Ausführungsform des Gehäu- ses, in dem die erfindungsgemäße Vorrichtung untergebracht ist;
Figur 5 eine Draufsicht auf die erfindungsgemäße Vorrichtung;
Figur 6 eine Seitenansicht der erfindungsgemäße Vorrichtung;
Figur 7 eine Seitenansicht des piezoelektrischen Transformators zur Darstellung des Schichtaufbaus; Figur 8 eine Draufsicht auf die einzelnen Schichten des piezoelektrischen
Transformators zur Darstellung der Kontaktierung mit dem seitlichen Anschlüssen zur Zuführung der Anregungsenergie;
Figur 9a - 9b schematische Ansichten der unterschiedlichen Möglichkeiten zur Halterung des piezoelektrischen Transformators; Figur 10 eine Ansicht der unterschiedlichen physikalischen Zustände als
Funktion der Länge des piezoelektrischen Transformators;
Figur 11 eine mögliche Ausführungsform eines Handgeräts, das die erfindungsgemäße Vorrichtung umschließt; und Figur 12 eine weitere Ausführungsform eines Handgeräts, das die erfindungsgemäße Vorrichtung umschließt.
Für gleiche oder gleich wirkende Elemente der Erfindung werden identische Bezugszeichen verwendet. Das dargestellte Ausführungsbeispiel stellt lediglich eine Möglichkeit dar, wie eine Vorrichtung zur Erzeugung eines Plasmas und ein Handgerät, in dem die Vorrichtung zur Erzeugung eines Plasmas eingebaut ist, ausgestaltet sein können.
Figur 1 zeigt eine schematische Ansicht des Grundprinzips der erfindungsgemäßen Vorrichtung 1 , mit der ein Plasma bei Atmosphärendruck erzeugt werden kann. In einem Gehäuse 30 ist ein piezoelektrischer Transformator 5 angeordnet. Ein zweites freies Ende 8 des piezoelektrischen Transformators 5 ist zu einer Öffnung 32 des Gehäuses 30 hin gerichtet. Dem Gehäuse 30 ist ein Lüfter 17 zugeordnet, der einen Strom 15 eines Arbeitsgases erzeugt, der zur Öffnung 32 des Gehäuses 30 hin geführt ist. Der Strom15 des Arbeitsgases ist über die Steuerschaltung 3 und den piezoelektrischen Transformator 5 geführt und dient im Wesentlichen zur Kühlung des piezoelektrischen Transformators 5. Die in der Figur 1 gezeigten Anordnung des Lüfters 17 soll nicht als Beschränkung der Erfindung aufgefasst werden. Es ist für einen Fachmann selbstverständlich, dass der Lüfter 17 an jeder beliebigen Stelle des Gehäuses 30 an- gebracht werden kann.
An jeder einer Seitenfläche 10 des piezoelektrischen Transformators 5 ist je ein Anschlußpad 20 vorgesehen, über die der piezoelektrische Transformator 5 mit einer derartigen Spannung beaufschlagt wird, so dass der piezoelektrische Transformators 5 mit einer Resonanzfrequenz schwingt. Das Anschlußpad 20 liegt dabei näher zum ersten Ende 6 des piezoelektrischen Transformators 5 als zum zweiten freien Ende 8. Wie in Figur 1 1 dargestellt ist, bildet der angeregte piezoelektrische Transformator 5 zwei Schwingungsknoten 14 aus. Bevorzugt sind die Anschlußpads 20 in dem Schwingungsknoten 14 angebracht, der nä- her zum ersten Ende 6 des piezoelektrischen Transformators 5 liegt. Bevorzugt ist der piezoelektrischen Transformator 5 derart bemessen, dass sich bei einer Grundmode entlang der Länge des piezoelektrischen Transformators 5 zwei Schwingungsknoten 14 (siehe Figur 9) ausbilden. Figur 2 zeigt eine perspektivische Schnittansicht des Gehäuses 30, das die erfindungsgemäße Vorrichtung 1 umgibt. Der piezoelektrische Transformator 5 ist, auf einer Platine 7 gehaltert, auf der eine Steuerschaltung 3 realisiert ist, die ihrerseits aus mehreren elektronischen Bauelementen 4 aufgebaut ist, wobei der Übersicht halber nur ein Teil der elektronischen Bauelemente 4 dargestellt ist. Der piezoelektrische Transformator 5 kann gemäß einer ersten Ausführungsform mit einem Bereich 6B des ersten Endes 6 der Platine 7 gegenüberliegen und ist, wie später beschrieben wird, von dieser beabstandet gehaltert. Das Gehäuse 30 hat die Öffnung 32 ausgebildet, in der das zweite freie Ende 8 des piezoelektrischen Transformator 5 endet. An dem zweiten freien Ende 8 des piezoelektrischen Transformators 5 liegt eine Hochspannung an, so dass sich ein Plasma P (siehe Figur 5) bei Atmosphärendruck ausbildet. Mit dem Lüfter 17 wird, wie bereits beschrieben, ein Strom 15 an Arbeitsgas erzeugt, so dass sich mit dem Arbeitsgas am zweiten freien Ende 8 des piezoelektrischen Transformators 5 das Plasma P ausbilden kann. Figur 3 zeigt eine Seitenansicht der erfindungsgemäßen Vorrichtung 1 im Gehäuse 30. Wie bereits aus Figur 2 und ebenso aus Figur 3 ersichtlich ist, bilden der piezoelektrische Transformator 5 und die Platine 7, die die Steuerschaltung 3 trägt, die aus mehreren elektronischen Bauelementen 4 aufgebaut ist, eine bauliche Einheit. Somit kann die erfindungsgemäße Vorrichtung 1 als die bauli- che Einheit vorproduziert und dann in das dafür vorgesehene Gehäuse 30 eingebaut werden. In dieser Darstellung ist ein freier Spalt 18 zwischen der Platine 7 und dem piezoelektrische Transformator 5 zu erkennen. ln Figur 4 ist eine perspektivische Ansicht einer Ausführungsform des Gehäuses 30 dargestellt, In dem Gehäuse 30 ist die erfindungsgemäße Vorrichtung 1 untergebracht. In der hier gezeigten Darstellung von der erfindungsgemäßen Vorrichtung 1 ist lediglich das zweite freie Ende 8 des piezoelektrischen Trans- formators 5 zu sehen, das in der Öffnung 32 des Gehäuses 30 endet.
Eine schematische Draufsicht auf die erfindungsgemäße Vorrichtung 1 ist in Figur 5 dargestellt. Wie bereits mehrfach in der vorangehenden Beschreibung erwähnt, ist die erfindungsgemäße Vorrichtung 1 eine bauliche Einheit aus dem piezoelektrischen Transformator 5 und der Platine 7. Die Platine 7 realisiert mit einer Vielzahl von elektronischen Bauelementen 4 eine Steuerschaltung 3. Mit der Steuerschaltung 3 ist es möglich den piezoelektrischen Transformator 5 mit seiner Resonanzfrequenz anzuregen. Die erfindungsgemäße Vorrichtung 1 kann mit einer externen Energieversorgung verbunden werden, die ein herkömmliches Standard-Netzteil (nicht dargestellt) ist, das über ein Kabel 21 mit der erfindungsgemäße Vorrichtung 1 verbunden wird. Ebenso kann die Erfindungsgemäße Vorrichtung mit einem Akku versehen werden. Eine Kombination aus Akku und Standard-Netzteil ist ebenfalls denkbar. Die Ansteuerspannung wird von der Steuerschaltung 3 der Platine 7 über je einen elektrischen An- schluss 12 an je eine Seitenfläche 10 des piezoelektrischen Transformators 5 angelegt. Durch die an den Seitenflächen 10 des piezoelektrischen Transformators 5 anliegenden Anregungsspannung bildet sich am zweiten freien Ende 8 des piezoelektrischen Transformators 5 eine Hochspannung aus. Der der erfindungsgemäßen Vorrichtung 1 zugeordnete Lüfter 17 erzeugt einen Strom 15 aus Arbeitsgas, mit dem das Plasma P am zweiten freien Ende 8 gezündet und aufrecht erhalten wird. Das Plasma P tritt durch die Öffnung 32 des Gehäuses aus, in dem sich die erfindungsgemäße Vorrichtung 1 befindet. Die Zündung und die Aufrechterhaltung des Plasmas P erfolgt bei Atmosphärendruck.
Die Seitenansicht der erfindungsgemäßen Vorrichtung 1 ist in Figur 6 dargestellt. Auf der Platine 7 ist die Steuerschaltung 3 mit einer Vielzahl von elektri- sehen Bauelementen 4 realisiert. Der piezoelektrische Transformator 5 ist mit dem Bereich 6B des ersten Endes 6 frei über der Platine 7 angeordnet. An jeder der Seitenflächen 10 des piezoelektrischen Transformators 5 ist das An- schlußpad 20 für den elektrischen Anschluss 12 von der Platine 7 angebracht. Die elektrischen Anschlußpads 20 sind an beiden Seitenflächen 10 des piezoelektrischen Transformators 5 und im Schwingungsknoten 14 (siehe Figur 9) desselben angebracht. Ebenso erfolgt die mechanische Halterung bzw. Führung des piezoelektrischen Transformators 5 im Schwingungsknoten 14. Die Halterung bzw. Führung des piezoelektrischen Transformators 5 ist also derart, dass zwischen der Platine 7 und dem piezoelektrischen Transformator 5 ein Spalt 18 vorliegt. Mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung 1 ist es am zweiten freien Ende 8 des piezoelektrischen Transformators 5 eine Hochspannung zu erzeugen wenn in den beiden Auschlußpads 20 eine Niederspannung von z. B. 12V Wechselspannung (12V Peak-to-Peak) angelegt wird. Wie bereits mehr- fach erwähnt, ist der Platine 7 ein Lüfter 17 zugeordnet, der für den zur Kühlung des piezoelektrischen Transformators 5 erforderlichen Luftstrom sorgt. Dem Anschlußpad 20 kann ein Temperatursensor 24 zugeordnet sein, der die Temperatur im Bereich des Anschlußpads 20 bestimmt. Die Signale des Temperatursensors 24 können über eine Verbindung 1 1 zur Platine 7 geführt werden. Wie in der Beschreibung zu Figur 1 1 klargestellt ist, ist im Bereich des Anschlußpads 20 (Lage des Schwingungsknotens 14) die thermische Verlustleistung am größten. In Figur 6 ist das Messprinzip des Temperatursensors 2 als ein berührungsloses Messprinzip dargestellt. Es ist ebenfalls denkbar, dass der Temperatursensor 24 im Anschlußpad 20 eingelötet ist. Wie in der Beschrei- bung zu Figur 5 und Figur 6 zu erkennen ist, hat der piezoelektrischen Transformator 5 eine Breite B und eine Dicke D.
In Figur 7 ist eine Seitenansicht des piezoelektrischen Transformators 5 schematisch wiedergegeben, die den Schichtaufbau des piezoelektrischen Transformators 5 verdeutlicht. Der piezoelektrische Transformator 5 ist zumindest zum Teil über seine Länge L aus mehreren Schichten S-i , S2, ...,SN, aufgebaut, die im Wesentlichen senkrecht zur der aus Länge L und der Dicke D des piezoelektrischen Transformators 5 definierten Seitenfläche 10 liegen. Der piezoelektrische Transformators 5 besteht aus einem Stapel von mehreren Folien aus dielektrischem Material, wobei in einem Abschnitt einer jeden Folie eine Leiterbahn aufgebracht ist. In einem Sinterprozess werden die einzelnen Folien miteinander verbunden und so der piezoelektrische Transformators gebildet. Die elektrische Kontaktierung der einzelnen Schichten S-i , S2, .. . ,SN ist in Figur 8 dargestellt. Wie bereits in der vorangehenden Beschreibung erwähnt, ist an jeder der Seitenflächen 10 ein Anschlußpad 20 vorgesehen, das sich über die gesamte Dicke D des piezoelektrischen Transformators 5 erstreckt. Jeder der Schichten S-i , S2, .. . ,SN ist mit einer L-förmigen Leiterschicht 27 versehen. Die L-förmigen Leiterschichten 27 sind im Schichtsystem derart angeordnet, dass alternierend eines der beiden Anschlußpads 20 kontaktiert wird, woraus eine Parallelschaltung der einzelnen Schichten S-i , S2, .. . ,SN resultiert. Wie bereits erwähnt sind die Anschlußpads 20 auf beiden Seitenflächen 10 des piezoelektrischen Transformators 5 in dessen Schwingungsknoten angebracht.
In den Figuren 9a und 9b sind verschiedene Ausführungsformen der Halterung bzw. Führung des piezoelektrischen Transformators 5 offenbart. Figur 9a zeigt die Halterung 25 des piezoelektrischen Transformators 5 gemäß der Durchsteckmontage (through-hole technology, THT) Die Halterung 25 besteht gemäß dieser Ausführungsform aus zwei Stiften die den Durchlass für die Duschsteckmontage bilden, in den der piezoelektrische Transformator 5 eingesteckt und gehalten wird. Die in Figur 9b gezeigte Art der Halterung des piezoelektrischen Transformators 5, ist die eines oberflächenmontierten Bauelements (sur- face-mounted device, SMD). Die elektrischen Anschlüsse 12 werden mittels lötfähiger Anschlussflächen direkt auf der Platine (hier nicht dargestellt ) montiert. Die elektrischen Anschlüsse 12 halten den piezoelektrischen Transformators 5 an dessen Anschlußpads 20 mittels entsprechender Elemente, die die Halterung 25 bilden. Die Halterung 25 besteht gemäß der in Figur 9b gezeigten Ausführungsform aus flächigen Elementen. Es ist von Vorteil wenn das Material der Halterung 25 aus elastisch und elektrisch leitfähig ist. Figur 10 zeigt eine Ansicht der unterschiedlichen physikalischen Zustände als Funktion der Länge des piezoelektrischen Transformators 5. Die Erregung des piezoelektrischen Transformators 5 im Bereich seiner Resonanzfrequenz führt zur Ausbildung einer Schwingungsmode 13, die zwei Schwingungsknoten 14 im piezoelektrischen Transformator 5 ausbildet. Die Anschlußpads 20 sind an demjenigen Schwingungsknoten 14 positioniert, den näher zum ersten Ende 6 des pie- zoelektrischen Transformators 5 liegt. Durch die Schwingung des piezoelektrischen Transformators 5 bildet sich eine thermische Verlustleistung 40 aus, die am Schwingungsknoten 14 im Bereich des ersten Endes 6 des piezoelektrischen Transformators 5 am größten ist. An jedem Schwingungsknoten 14 tritt eine thermische Verlustleistung 40 auf. Am zweiten freien Ende 8 des piezo- elektrischen Transformators 5 ist der E-Feldverlauf 41 derart, dass sich dort ein Maximum ausbildet. Die Strömungsgeschwindigkeit 42 des Arbeitsgases ist am Schwingungsknoten 14 im Bereich des ersten Endes 6 am größten. Ab dem Schwingungsknoten 14, im Bereich des zweiten freien Endes 6, nimmt die Strömungsgeschwindigkeit 42 bis zum zweiten freien Ende 8 zu.
Figur 11 zeigt eine mögliche Ausführungsform eines Handgeräts 100, das die erfindungsgemäße Vorrichtung 1 umschließt. Das Handgerät 100 ist kabellos und wird über einen Akku 101 (in der Regel 12V) zur Anregung des piezoelektrischen Transformators 5 mit Energie versorgt. Zusätzlich kann einer Gasan- schluss 102 vorgesehen sein, über den das Handgerät 100 mit einem Arbeitsgas versorgt wird, das nicht Luft ist. Ferner ist eine Lüfter 17 vorgesehen, der in Richtung einer Achse A der erfindungsgemäßen Vorrichtung 1 wirkt. Der Lüfter 17 sorgt dafür, dass innerhalb des Handgeräts 100 die das Arbeitsgas (in der Regel Umgebungsluft) zum zweiten freien Ende des piezoelektrischen Transformators 5 transportiert wird. Das strömende Arbeitsgas sorgt ebenfalls für ei- ne Kühlung des piezoelektrischen Transformators 5 und somit einem Abtransport der thermischen Verlustleistung. Das Handgerät 100 hat ein Gehäuse 30, in dem die Vorrichtung 1 als Bauteil aufgenommen wird.
Figur 12 ist eine weitere Ausführungsform eines Handgeräts 100, das die erfin- dungsgemäße Vorrichtung 1 umschließt. Das Handgerät 100 ist mit einem An- schluss 103 für ein Kabel eines Standard-Netzteils ausgebildet. Ebenso kann ein zusätzlicher Gasanschluss 102 vorgesehen sein, über den das Handgerät 100 mit einem Arbeitsgas (außer Umgebungsluft) versorgt wird. Das Handgerät 100 hat zylindrische Form, so dass sind im Inneren des Gehäuses 30 ebenfalls eine Lüfter (hier nicht dargestellt) anbietet, der das Arbeitsgas in Richtung der Öffnung 32 des Gehäuses 30 bzw. zu zweiten freien Ende 8 des piezoelektrischen Transformators 5 drängt.
Obwohl in der gegenwärtigen Beschreibung lediglich zwei Ausführungsformen für Handgeräte 100 offenbart sind, soll die nicht als Beschränkung der Erfin- dung aufgefasst werden. Es ist für einen Fachmann selbstverständlich, dass das Gehäuse 30 des Handgeräts 100 unterschiedliche Formen annehmen kann. Einschneidend ist lediglich, dass eine Öffnung 32 im Gehäuse 30 ausgebildet ist, so dass das Plasma P bei Atmosphärendruck austreten kann.
Bezugszeichenliste:
1 Vorrichtung
3 Steuerschaltung
4 elektronische Bauelemente
5 piezoelektrischer Transformator
6 erstes Ende
6B Bereich
7 Platine
8 zweites freies Ende
10 Seitenfläche
1 1 Verbindung
12 elektrischer Anschluss
13 Schwingungsmode
14 Schwingungsknoten
15 Strom eines Arbeitsgases
17 Lüfter
18 Spalt
20 Anschlußpad
21 Kabel von Netzteil
24 Tempersensor
25 Halterung
27 Leiterschicht
28 Umhüllung
30 Gehäuse
32 Öffnung
40 thermische Verlustleistung
41 E-Feldverlauf
42 Strömungsgeschwindgkeit
50 Spannungsquelle
100 Handgerät
101 Akku
102 Gasanschluß
103 Anschluss
A Achse der Vorrichtung
L Länge
B Breite
D Dicke
P Plasma
S-| , S2 SN Schichten

Claims

Patentansprüche:
1. Vorrichtung (1 ) zur Erzeugung eines Plasmas (P) mit einer Steuerschaltung (3), die zur Anregung eines piezoelektrischen Transformators (5) mit diesem elektrisch verbunden ist und einer Platine (7), auf der die Steuerschaltung (3) realisiert ist, wobei der piezoelektrische Transformator (5) mit einem Bereich (6B) eines ersten Endes (6) derart in Bezug zur Platine (7) gehaltert ist und an einem zweiten freien Ende (8) des piezoelektrischen Transformators (5) eine
Hochspannung ausprägbar und das Plasma (P) bei Atmosphärendruck zündbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass der piezoelektrische Transformator (5) aus mehreren Schichten (S^ , S2, ... , SN) aufgebaut ist wobei jede Schicht (S^ , S2, ... , SN) zumindest zum Teil mit einer Leiterschicht (27) versehen ist; und der piezoelektrische Transformator (5) durch einen Spalt (18) von der Platine (7) beabstandet ist.
2. Vorrichtung (1 ) nach Anspruch 1 , wobei der piezoelektrische Transformator (5) quaderförmig ist und eine Länge (L) und eine Breite (B) des piezoelektrischen Transformators (5) größer ist als eine Dicke (D) des piezoelektrischen
Transformators (5).
3. Vorrichtung (1 ) nach Anspruch 1 bis 2, wobei an gegenüberliegenden
Seitenflächen (10) des piezoelektrischen Transformators (5), die durch die Länge (L) und die Dicke (D) des piezoelektrischen Transformators (5) bestimmt sind, jeweils ein elektrisches Anschlusspad (20) für eine Anregungsspannung in einem Schwingungsknoten (14) des piezoelektrischen Transformators (5) angebracht ist.
4. Vorrichtung (1 ) nach Anspruch 3, wobei eine Halterung (25) den
piezoelektrischen Transformator (5) im Schwingungsknoten (14) über der Platine (7) trägt und die Halterung (25) aus elastischem Material ist.
5. Vorrichtung (1 ) nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei ein Strom (15) eines Arbeitsgases derart ausgebildet ist, dass er zumindest von dem ersten Ende (6) des auf der Platine (7) gehalterten piezoelektrischen Transformators (5) zum zweiten freien Ende (8) des piezoelektrischen Transformators (5) hin, gerichtet ist.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, wobei ein Lüfter (17) vorgesehen ist, der den
Storm (15) des Arbeitsgases über den piezoelektrischen Transformator (5) zum zweiten, freien Ende (8) des piezoelektrischen Transformators (5) hin unterstützt.
7. Vorrichtung (1 ) nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei in einem mit einer Resonanzfrequenz angeregten, piezoelektrischen Transformator (5) mindestens zwei Schwingungsknoten (14) ausbildbar sind, die beide von ersten Ende (6) bzw. vom zweiten freien Ende (8) beabstandet sind.
8. Vorrichtung (1 ) nach Anspruch 7, wobei von der Platine (7) jeweils ein
elektrischer Anschluss (12) zu je einer Seitenfläche (10) des piezoelektrischen Transformators (5) geführt ist und mit je einem Anschlußpad (20) verbunden ist, das in einem Schwingungsknoten (14) an jeder Seitenfläche (10) des
piezoelektrischen Transformators (5) vorgesehen ist, wobei der
Schwingungsknoten (14) näher zum ersten Ende (6) als zum zweiten Ende (8) des piezoelektrischen Transformators (5) hin liegt.
9. Vorrichtung (1 ) nach Anspruch 7, wobei mindestens einem Schwingungsknoten (14) des piezoelektrischen Transformators (5) ein Temperatursensor (24) zugeordnet ist.
10. Vorrichtung (1 ) nach Anspruch 7, wobei der elektrische Anschluss (12) die
Halterung (25) für den piezoelektrische Transformator (5) und die Halterung (25) aus einem Material ist, das elastisch und elektrisch leitfähig ist.
11. Vorrichtung (1 ) nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei die Platine (7) und der piezoelektrische Transformator (5) eine bauliche Einheit bilden.
12. Handgerät (100) zur Plasmabehandlung von Oberflächen, mit einem Gehäuse (30), einer Spannungsquelle (50), und einer im Gehäuse (30) vorgesehen Platine (7) mit einer Steuerschaltung (3) zur Anregung eines piezoelektrischen
Transformators (5), wobei der piezoelektrische Transformator (5) mit einem ersten Ende mit einer Halterung (25) über der Platine (7) geführt ist und somit eine bauliche Einheit bildet, und dass ein zweites freies Ende (8) des
piezoelektrischen Transformators (5) zu einer Öffnung (32) im Gehäuse (30) hin ausgerichtet ist, wobei am zweiten freien Ende (8) des piezoelektrischen
Transformators (5) eine Hochspannung ausprägbar und das Plasma (P) bei Atmosphärendruck zündbar ist., dadurch gekennzeichnet, dass der
piezoelektrische Transformator (5) aus mehreren Schichten (Si , S2,..., SN) aufgebaut ist wobei jede Schicht (Si , S2,..., SN) zumindest zum Teil mit einer Leiterschicht (27) versehen ist; und der piezoelektrische Transformator (5) durch einen Spalt (18) von der Platine (7) beabstandet ist.
13. Handgerät (100) nach Anspruch 12, wobei, ein Akku (101 ) und/oder ein
Anschluss (103) für ein Standard-Netzteil vorgesehen sind, womit eine
Energieversorgung des Handgeräts (100) durchführbar ist.
14. Handgerät (100) nach den Ansprüchen 12 bis 13, wobei das Gehäuse (30) einen Lüfter (17) trägt, mit dem ein Luftstrom über den piezoelektrischen Transformator (5) hin zur Öffnung (32) im Gehäuse (30) erzeugbar ist.
15. Handgerät (100) nach den Ansprüchen 12 bis 14, wobei ein zusätzlicher
Gasanschluss (102) vorgesehen ist, über den ein anderes Arbeitsgas als Luft dem zweiten freien Ende (8) des piezoelektrischen Transformators (5) zuführbar ist.
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