WO2014094738A2 - Arclöschverfahren und leistungsversorgungssystem mit einem leistungswandler - Google Patents

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WO2014094738A2
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Daniel Krausse
Anton Labanc
Christian Thome
Alberto Pena Vidal
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    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32917—Plasma diagnostics
    • H01J37/32935—Monitoring and controlling tubes by information coming from the object and/or discharge
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    • H—ELECTRICITY
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    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
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    • H01J37/32055—Arc discharge
    • H01J37/32064—Circuits specially adapted for controlling the arc discharge
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    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32917—Plasma diagnostics
    • H01J37/3299—Feedback systems

Definitions

  • Plasma operation for generating a plasma in the plasma chamber and performing a plasma processing process using the generated plasma
  • step b. upon detection of an ares in step b. :
  • the invention relates to a power supply system with a power converter, which is connected to the supply of a plasma process with power with a plasma chamber.
  • a plasma is a special one
  • Each gas basically consists of atoms and / or molecules. In a plasma, this gas is largely ionized. This means that by supplying energy the atoms or molecules into positive and negative
  • a plasma is suitable for the machining of workpieces, since the electrically charged particles chemically highly reactive and also by electric fields can be influenced.
  • the charged particles can be accelerated by means of an electric field to an object, where they can dissolve single atoms out of them on impact.
  • the liberated atoms can be removed by gas flow (etching) or deposited on other objects as a coating (production of thin films).
  • Application is such a processing by means of a plasma, especially when extremely thin layers, especially in the range of less atomic layers to be processed. Typical applications are semiconductor technology (coating, etching, etc.), flat screens (similar to semiconductor technology), solar cells (similar
  • a plasma can also be used to excite lasers, in particular gas lasers.
  • a plasma for a gas To generate a plasma from a gas, it must be supplied with energy. This can be done in different ways, for example via light, heat, electrical energy.
  • a plasma for a gas To generate a plasma from a gas, it must be supplied with energy. This can be done in different ways, for example via light, heat, electrical energy.
  • Machining of workpieces is typically fired and maintained in a plasma chamber.
  • This is usually a noble gas, eg. As argon, passed at low pressure in the plasma chamber.
  • Electrodes and / or antennas the gas is exposed to an electric field.
  • a plasma is created or ignited when several conditions are met.
  • a small number of free charge carriers must be present, with the free electrons, which are always available to a very limited extent, usually being used. The free
  • the power supply can be via a DC (DC) - or a
  • Frequencies can be up to the gigahertz range.
  • the object of the present invention is to provide a method for extinguishing ares in a plasma chamber, with which a faster and more reliably erase ares without unduly affecting a plasma processing process. Furthermore, the object of the present invention is to provide a power supply system with which the method according to the invention can be carried out.
  • an Arclösch method for extinguishing Ares in a plasma chamber of a plasma system comprising the method steps: a. Generation of a plasma operating power during a
  • Plasma operation for generating a plasma in the plasma chamber and performing a plasma processing process using the generated plasma
  • step b. upon detection of an ares in step b. :
  • DAC digital-to-analog converter
  • Amplifier path is amplified to at least a part of the plasma power or Arclösch intricate.
  • Power converter in occurring flashovers (Ares) in one Plasma chamber.
  • power can be quickly reconnected after detecting Ares to reduce the impact on the substrate in the plasma process.
  • the power according to the invention can only be reduced to the extent that the flashover is completely extinguished.
  • Plasma performance can only be reduced to the arc extinguishing performance until the flashover is completely extinguished. Then the power can be immediately restored to 100%, i. the full plasma operation power delivered to the plasma chamber. This has the advantage that the complete plasma ignition within the chamber is restored faster compared to prior art methods. Thus, the effects of the rollover and thus the blunting of performance are significantly reduced.
  • One or more other DACs may vary depending on the
  • Monitoring of the plasma system can be controlled with respect to the occurrence of an Ares and the respective analog output signal of the DAC can in a subsequent amplifier path to a part of the
  • Plasma power or the Arclösch assay be strengthened.
  • multiple amplifier paths can be operated in parallel. This means that in a single amplifier path no excessive power must be generated, which has a favorable effect on the cost of the components used in an amplifier path.
  • This object is achieved according to the invention also by a
  • Arclöschvon for deletion of Ares in a plasma chamber of a plasma system, comprising the steps of:
  • Amplifier path supplied and amplified there;
  • step b upon detection of an ares in step b:
  • an arc detection signal can be generated by the withdrawal, by which the digital-to-analog converter (DAC) is controlled directly.
  • DAC digital-to-analog converter
  • Arc detection signal for example, via a logic circuit is passed, in which it is processed.
  • the Arcerkennungssignal is thus
  • the plasma supply system is thereby protected.
  • the use of a time-consuming logic between sensors and a power control, which would lead to a long reaction time and thus to a slow response to an are can be avoided.
  • Such an arc extinguishing method is many times faster than conventional arc extinguishing methods.
  • the arc extinguishing method effectively protects a power converter in the event of flashovers (Ares) in a plasma chamber.
  • One or more other DACs may be triggered upon detection of an ares by the deprivation. For example, in response to detecting an arc, the power can only be reduced to the extent that the flashover is completely extinguished. If the are extinguished, the performance can be restored relatively quickly. If several DAC are provided, several amplifier paths can be provided, which are operated in parallel. This means that in a single amplifier path no excessive power must be generated, which has a favorable effect on the cost of the components used in an amplifier path. Furthermore, by activating several DAC, which are assigned to a plurality of amplifier paths, it is possible to react quickly to the occurrence of an error.
  • the analog output signals from at least two DACs in the respective subsequent amplifier paths can be amplified differently or experience different cycle times through the amplifier paths.
  • the power supplied to the plasma chamber can be set much more flexibly than when using only one amplifier path or when using amplifier paths the exact same
  • a reference signal input of the DAC can be controlled by the rejection.
  • an input voltage or an input current at the reference signal input can be changed.
  • the Reference signal can be used to influence the output signal of the DAC. This is especially a very fast
  • the lead delivered into the plasma chamber can be reduced to extinguish an are.
  • the analogue output signal of a DAC can be adjusted particularly quickly and reliably, in particular, if a series of digital values is supplied to the DAC.
  • the digital values can be stored in a memory, in particular a look-up table.
  • the analog output signal of the associated DAC can be amplified with a constant amplification factor.
  • the amplifiers used in the amplifier path can be kept particularly simple.
  • At least one DAC can be supplied with the same sequence of digital values, regardless of whether or not an are detected.
  • the reaction to the detection of an ares is thus not effected by the supplied sequence of digital values, but can be effected in other ways, which may be faster than that
  • At least one DAC can be another if you withdraw
  • Reference signal to be supplied as in the absence of denial can be used to influence the output signal of the DAC. Driving the DAC with the reference signal can result in a much faster change in the output of the DAC than changing the applied train of digital values. If the same reference signal is supplied to at least one DAC in the plasma operation as in the arcing operation, the change in the analog output signal of the DAC can be effected by a
  • At least one analog output signal of a DAC can be generated by a Direct Digital Synthesis (DDS) device having the DAC.
  • DDS Direct Digital Synthesis
  • Plasma chamber is supplied can be effected by a reference signal input of the DDS block is driven, in particular an input voltage to the reference signal input changed, in particular increased.
  • Plasma chamber supplied power can be changed very quickly.
  • Each DAC can be supplied with its own (individual) sequence of digital values.
  • the generated output signal of the DAC can be adjusted individually.
  • different amplifier paths can be supplied with different analog input signals become.
  • the total power that is supplied to a plasma chamber can be adjusted particularly flexibly.
  • the sequence of digital values can be read from a data store described by a central logic board.
  • the data stores can be look-up tables.
  • the sequence of digital values can be generated by storing a signal data stored in a signal data memory with one in one
  • Amplitude data stored amplitude data is multiplied.
  • the sequence of digital values can be generated by reading out a sequence of signal data stored in a signal data memory with the aid of a counter, this sequence of
  • Signal data values is supplied to a multiplier, and multiplied by this multiplier with an amplitude data read from an amplitude data memory.
  • an analog signal can be an analog voltage.
  • Digital signal are generated, which contains information regarding the
  • Waveform and the amplitude of the analog signal to be generated in the DAC This has particular advantages when several analog signals are generated in parallel, which are then combined by a combiner, so that the signals to be combined can be adapted particularly easily and quickly to each other.
  • Amplifier paths that are driven with an analog signal generated in this way are particularly good for parallel operation of several
  • Amplifier paths suitable.
  • the power generated in this way can easily be combined at the output of the amplifier paths. This results in a very fast and exactly tunable overall performance of a
  • Arc detection can trigger an Arc Management Circuit, which in turn directly or indirectly drives the DAC (s). Due to the arc detection signal generated by the arc detection, the DAC can first be controlled in order to react very quickly to the detected are. Arc management circuitry can complement this fast arc detection by making further decisions to handle the ares.
  • the arc management circuit can affect the amplitude of the analog signal by placing the signal stored in the amplitude data memory
  • Amplitude data value is changed. So the amplitude modulation can be done very fast. In addition, several amplifier paths can be changed so very fast in their output power and
  • the arc management circuit may affect the amplitude of the analog signal by changing the signal data stored in the signal data memory. Even so, the amplitude modulation can be done very quickly. In addition, several amplifier paths can be changed very quickly in their output power and a non-linear amplification and phase shift at different amplitudes of the analog signal of the amplifier can be taken into account.
  • the monitoring of the plasma system can take place with respect to the occurrence of an ares, by a power Pi supplied into the plasma and / or a power Pr reflected by the plasma and / or a current flowing into the plasma and / or a current Plasma applied voltage related signal is detected and from the detected signal by means of the Arcerkennung a Arcerkennungssignal is generated.
  • the detected signal from an analogue Digital converters (ADC) are converted into digitized values, these digitized values can be a logic circuit, in particular a programmable logic module, fed to the
  • programmable logic device evaluates these digitized values and generates the arc detection signal.
  • the speed of arc detection can be significantly increased.
  • a single signal suffices to inform about the existence of an ares and the plasma system e.g. off. Due to the direct connection of the Arcerkennungssignals to the DAC, the Are can be perceived virtually without delay. As a result, virtually a real-time monitoring of signals of the plasma system and a very fast shutdown of the system during rollovers is possible.
  • the generation of the power can be done by a
  • High frequency power in particular with a frequency> 1 MHz is generated and the one or more DAC are controlled so that they (r) generate a signal at this frequency.
  • the detected signal can be sampled by the ADC with a frequency> 1 MHz and the programmable logic module can be clocked with a clock signal of a frequency> 1 MHz.
  • the same clock signal may be supplied to the ADC and the programmable logic device. This will provide the fastest possible signal processing
  • the at least one amplifier path can be supplied with an analog signal generated by a DAC from a digital signal.
  • Analog signal may be in the amplifier path to a
  • High frequency power signal to be amplified the digital signal can be generated by multiplying a signal data value stored in a signal data memory by an amplitude data value stored in an amplitude data memory. This can react very quickly to a withdrawal.
  • sequence of digital values can be generated by reading out a sequence of signal data stored in a signal data memory with the aid of a counter, this sequence of
  • Signal data values is supplied to a multiplier, and multiplied by this multiplier with an amplitude data read from an amplitude data memory.
  • the at least two amplifier paths can each be supplied with an analog signal generated by a DAC from a respective digital signal.
  • the analog signals can in each case an amplifier path to a
  • High frequency power signal to be amplified The digital signals may be generated by storing a signal data stored in a signal data memory with one in an amplitude data memory
  • the amplitude data stored in the amplitude data memory can be changed.
  • the amplifier paths can be changed very quickly in their output power and at the same time remains the synchronization of the amplifier paths
  • the multiplication of the amplitude data values stored in the amplitude data memories by the signal data values stored in the signal data memories can be carried out in a DDS module. This reduces the number of components and the cost.
  • the arc extinguishing performance can be selected so that the detected are extinguished. While it has heretofore been common practice to blank and subsequently turn on the power upon detection of a rollover assuming the flashover has been extinguished, it is possible according to the invention to increase the power delivered to the plasma chamber from the plasma power to the arc power to reduce. However, by continuously supplying an arcing power to the chamber, it is also possible to detect and ensure that the rollover is actually extinguished. Once it is recognized that the are actually extinguished, the Arclösch intricate back to the
  • Plasma operating power can be increased.
  • the reduction of the power allows the plasma process to continue to be operated initially at a low energy level (eg lower deposition rate). After a clear detection of the extinction of the ares, the process can be continued with the original parameters. This reduces the plasma chamber and a matching network to the
  • Power converter reflects energy and thus increases the life of the power converter.
  • the analog output signal of the associated DAC can be used both in plasma mode and in the plasma mode
  • Arclösch delicately amplified with a constant gain.
  • the amplifiers used in the amplifier path can be kept particularly simple. Furthermore, it can be provided that the same gain factor is used in plasma operation and in arcing operation.
  • At least one DAC can be supplied with the same sequence of digital values in plasma operation and in arcing operation.
  • the change from the plasma operating power to the arc extinguishing power is thus not effected by the supplied sequence of digital values but can be effected in other ways, which may be faster than that
  • a different analog output signal can be generated in plasma operation than in arcleaving operation.
  • a Arclösch bronze can be set in a particularly simple manner in Arclösch memori.
  • At least one DAC can in plasma operation another
  • Reference signal can be used to influence the output signal of the DAC. Driving the DAC with the reference signal can result in a much faster change in the output of the DAC than changing the applied train of digital values.
  • analog output signal of the DAC be done by a
  • the same plasma operating reference signal is supplied to all DACs during plasma operation. Furthermore, all the DACs in arcing operation can be supplied with the same arcing operation reference signal. The change from a plasma operating power to a Arclösch intricate can therefore be done particularly simply by the fact that the DAC another reference signal is supplied.
  • Plasma chamber is fed back. Such a predefined time may be longer than the time actually required to extinguish the ares. On the other hand, if it is monitored whether the are is extinguished, immediately after clearing the ares, the plasma duty can be returned to the plasma chamber. Thus, the
  • Interruption time of the plasma process are kept to a minimum.
  • the plasma operating power may be transitioned to an arcing power that is> 0 watts.
  • the power supply is not completely blanked but always a certain power of the plasma chamber supplied, even in Arclösch memori.
  • the number or height of the steps of the stepped transition or the slope of the ramped transition may be adjustable.
  • Arclöschaku be selected depending on the performed plasma process.
  • At least one analog output signal of a DAC can be generated by a Direct Digital Synthesis (DDS) device having the DAC.
  • DDS Direct Digital Synthesis
  • a particularly fast generation of an analog output signal can be effected.
  • the transition from the plasma operating power to the arc extinguishing power can be effected by driving a reference signal input of the DDS module, in particular an input voltage at the
  • Plasma chamber supplied power can be changed very quickly.
  • Each DAC can be supplied with its own (individual) sequence of digital values.
  • the generated output signal of the DAC can be adjusted individually.
  • different amplifier paths can be supplied with different analog input signals.
  • the total power that is supplied to a plasma chamber can be adjusted particularly flexibly.
  • the sequence of digital values can be read from a data store described by a central logic board.
  • the data stores can be look-up tables.
  • the scope of the invention also includes
  • Plasma process with high-frequency power with a plasma chamber is connectable, wherein the power converter has a first amplifier path to which an analog signal generated by a DAC is supplied, wherein the DAC is at least indirectly connected to an arc detection.
  • the arc detection can immediately give a signal to a DAC.
  • an arc detection is connected to the DAC via a further module, for example a control module.
  • a particularly fast response to the detection of an ares can be effected by the fact that the arc detection is directly connected to the DAC and thus directly influences the output signal generated by the DAC.
  • the DAC can have a digital signal input and a
  • Reference signal input have. Furthermore, a drive circuit may be provided which generates at least one input signal for an input of a DAC as a function of an arc detection signal determined by the arc detection.
  • the arc detection, the reference signal, which is supplied to the reference signal input change.
  • Output signal can be influenced.
  • a reduction of the plasma operating power to the Arclösch tedious can be done very quickly.
  • the power converter can have a plurality of amplifier paths, to each of which a DAC is assigned, which supplies the respective amplifier path to an analog signal.
  • a power signal can be generated in parallel in several amplifier paths. In the amplifier paths, the same power signal can be generated or different power signals can be generated.
  • the at least one amplifier path can be supplied with an analog signal generated by a DAC from a digital signal. It can the DAC in particular be preceded by a logic circuit unit for generating the DAC supplied to the digital signal.
  • the logic circuit unit can have one or more of the following units:
  • an amplitude data memory in which amplitude data values for influencing the amplitudes of the analog signals are stored
  • the at least two amplifier paths may each be supplied with an analog signal generated from a digital signal by a respective DAC.
  • each DAC may be preceded by a logic circuit unit for generating the digital signals supplied to the DAC.
  • the logic circuit unit may in particular comprise one or more of the following units:
  • an amplitude data memory in which amplitude data values for influencing the amplitudes of the analog signals are stored
  • the units can be integrated in a DDS.
  • the arc detection can be so with the logic circuit unit
  • the units can be integrated in a DDS module. This reduces the number of components and the cost.
  • the amplifier paths may be connected to a coupler or combiner for coupling the power generated in the amplifier paths to a total power.
  • Amplifier paths are each a relatively low power generated, which are then coupled via a combiner. The am
  • the combiner can be designed for coupling the power generated in the amplifier paths without compensation impedances for input signals of unequal strength and / or phase. This results in a particularly simple and inexpensive construction of the
  • the amplifier paths may comprise transistors in LDMOS technology.
  • LDMOS transistors are characterized by an extremely high current carrying capacity. However, they have the disadvantage that they can only be operated at relatively low voltages, which would not be sufficient for the services required in industrial plasma generation.
  • the advantage of a power converter with multiple amplifier paths and a simple combiner is that in each path, only a small voltage with high current applied to the amplifying transistor (in particular LDMOS transistor) can, so a signal with low impedance can be generated.
  • the drive circuit may be formed as an FPGA, which is connected to a DAC of the amplifier paths or integrated into such.
  • a drive circuit designed as an FPGA can work very fast.
  • the FPGA may be driven by a digital signal processor (DSP). This also results in a particularly fast signal processing and correspondingly fast response to the detection of an Ares in the plasma chamber.
  • DSP digital signal processor
  • Plasma power is connectable to a plasma chamber, wherein the power converter has a first amplifier path to which an analog signal generated by a DAC is supplied, wherein the DAC is connected to a rejection.
  • the DAC is connected to a rejection.
  • the output signal generated by the DAC can be directly influenced.
  • a signal line may be looped from denial to the DAC by a logic board.
  • the logic board can be used to control the DAC in is-free operation. The "laying" of an extra line can be avoided if the signal line through the
  • Logic module is looped.
  • a transmission of Arc detection signal via a signal line, which has been looped through a logic module, is still understood in the context of the invention as a direct connection of the Arcerkennung with the DAC, since the Arcerkennungssignal in the logic board no further
  • the measuring device may be designed to supply current, voltage and / or power, in particular forward and reverse power, ie. to capture reflected power.
  • the measuring device can be equipped with embedded digitization and processing of the measured signals. By additional logic devices, the generation of the Arcerkennungssignals can be done directly there.
  • the measuring device may have a directional coupler.
  • Directional coupler can be designed to detect power
  • the measuring device may have a current transformer.
  • the Current transformer can be designed for example as a Rogowsky coil.
  • the Rogowsky coil can be made in flat construction.
  • the measuring device can have an ADC.
  • the measuring device and the ADC can be arranged on a printed circuit board.
  • the measuring device can be designed in a planar design.
  • a filter may be arranged between the ADC and the measuring device. Also the filter can be on the same circuit board
  • the measuring device can have a logic circuit for generating the arc detection signal.
  • the logic circuit can be a programmable logic circuit (PLD). This has the advantage that the Logic circuit by a user changeable, in particular programmable.
  • the programmable logic circuit can be designed, for example, as so-called FPGA (Field Programmable Gate Array).
  • FPGA Field Programmable Gate Array
  • This logic board can be located on the same circuit board as the meter and the ADC. In particular, ADC and logic circuit can be implemented in one block.
  • the clock generation can also be done on this board. Alternatively, a clock can be generated externally. The clock generation may be synchronous with the frequency of the power signal.
  • the frequency of the clock signal can be> 1 MHz.
  • an arc management circuit which is connected to the Arcerkennung and at least one DAC.
  • the fact that the arc management circuit is connected to the arc detection it learns when an Are was detected. If the arc detection can directly drive the DAC and thus lead to a power reduction, the arc management circuit can take over the further data processing and, in particular, detect whether an ace has gone out or not and, depending thereon, also control the DAC.
  • the DAC can have a digital signal input and a
  • Reference signal input, and the arc management circuit can be determined in dependence on the determined by the Arcerkennung
  • Arc detect signal generate at least one input signal for an input of the DAC.
  • the arc management circuit may change the reference signal supplied to the reference signal input.
  • Output signal can be influenced.
  • the power converter can have a plurality of amplifier paths, to each of which a DAC is assigned, which supplies an analog signal to the respective amplifier path.
  • a power signal can be generated in parallel in several amplifier paths. In the amplifier paths, the same power signal can be generated or different power signals can be generated.
  • the parallel arrangement of amplifier paths results in a particularly compact design for high output powers. Such a power converter is particularly well tuned.
  • the amplifier paths may be combined with a combiner to combine the power generated in the amplifier paths into a total power.
  • a combiner to combine the power generated in the amplifier paths into a total power.
  • the power converter can thereby in
  • the combiner can be designed to combine the power generated in the amplifier paths without compensation impedances for input signals of unequal strength and / or phase angle.
  • Combiner is particularly energy efficient and cost effective.
  • such a combiner can be built very compact and with few components.
  • the amplifier paths may comprise transistors in LDMOS technology.
  • LDMOS stands for "laterally diffused metal oxide
  • LDMOS transistors can be used particularly advantageously if reflected power is to be expected to a considerable extent, as is the case, for example, in the supply of plasma processes.
  • the advantage of the LDMOS transistors is that much higher reflected powers can be absorbed by the transistors.
  • the drive circuit may be formed as an FPGA, which is connected to a DAC of the amplifier paths, or be integrated into such.
  • a drive circuit designed as an FPGA can work very fast.
  • the FPGA may be driven by a digital signal processor (DSP). This also results in a particularly fast
  • the FPGA may include the arc management circuit.
  • the power converter may generate high frequency power with a frequency> 1 MHz, and the analog signal supplied by the DAC to the amplifier path may be a signal having that frequency.
  • FIG. 1 in a highly schematic representation of a plasma system
  • FIG. 2 is a block diagram of a power supply system
  • FIG. 3 shows a block diagram of a DDS module
  • Fig. 4 is a diagram showing the course of a reference signal
  • FIG. 5 shows a block diagram of a power supply system
  • FIG. 1 shows a plasma system 1, which is a
  • Power supply system 2 includes.
  • the power supply system 2 in turn has a power converter 3 which is connected to a
  • Voltage supply network 4 may be connected.
  • the power generated at the output of the power converter 3 is a via
  • Impedanzanpassungsnetztechnik 5 given to a plasma chamber 6, where a plasma is generated, by means of which a plasma processing in the plasma chamber 6 can be performed.
  • a workpiece can be etched or a layer of material can be applied to a substrate.
  • FIG. 2 shows a highly schematic illustration
  • the power supply system 20 includes a power converter 30 that generates output power corresponding to a load, such as a plasma process or a power plant
  • the amplifier paths 31-36 are provided.
  • the amplifier paths 31 - 36 are largely identical. Therefore, only the amplifier path 31 will be described below.
  • the amplifier paths 31-36 have a plurality of amplifiers 37, 38 suitable for amplifying an analog signal. At the end of the amplifier paths 31-36 is one each
  • Amplifier 39 is provided with at least one LDMOS transistor whose output is connected directly or indirectly, for example via an impedance matching element and / or filter, to a combiner 40.
  • the combiner 40 couples the individual powers of the amplifier paths 31-36 into a total power.
  • amplifier paths 31-36 are largely identical does not necessarily mean that they have the same gain. Component dispersion and circuit design tolerances can result in significant differences in the phase and / or amplitude of the RF power signals generated in amplifier paths 31-36 with identical input signal.
  • the amplifier paths 31-36 are each preceded by a DAC 41, to which a logic circuit unit 42 is assigned.
  • the DAC 41 receives from the logic circuit unit 42 sequences of digital values, from which the DAC 41 generates an analog output signal which is fed to an amplifier path 31-36, optionally after filtering by an optional filter 55.
  • the DAC 41 and the logic circuit unit 42 may be integrated in a so-called direct digital synthesis (DDS) device 43, also called:
  • DDS direct digital synthesis
  • Each of the amplifier paths 31-36 is a separate DDS module 43 and correspondingly a DAC 41 and a
  • the DDS module 43 is described in FIG.
  • the logic circuit unit 42 has here:
  • an amplitude data memory 62 in which amplitude data values for influencing the amplitudes of the analog signals are stored
  • a multiplier 63 for multiplying the signal data values with the amplitude data values and 4. a counter 64, which ensures that in a predetermined clock signal data values are read from the signal data memory 61 and supplied to the multiplier.
  • Both the signal data memory 61 and the amplitude data memory 62 can be designed as so-called look-up tables (LUT).
  • the DAC 41 further has a reference signal input 44, which may be preceded by a drive circuit 45 in order to generate a reference signal.
  • the drive circuit 45 can still in
  • the digital logic circuit may be implemented as a Field Programmable Gate Array (FPGA).
  • the drive circuit 45 may be formed as an FPGA or be part of an FPGA.
  • the output signal ie the generated analog signal of the DAC 41
  • the DDS module 43 is preceded by the digital logic circuit 46, which in particular likewise has a memory 47 designed as a look-up table (LUT).
  • LUT look-up table
  • amplitude data values can be stored, which are from the memory 47 in the
  • Amplitude data memory 62 can be written. In addition, data for phase correction can also be stored.
  • the values which are stored in the memory 47 serve to compensate for differences in the amplifier paths 31-36 or in downstream combiners 40. They can be transferred to the logic circuit unit 42, in particular the amplitude data memory 62.
  • the digital logic circuit 46 is driven by a digital processor, in particular a digital signal processor (DSP) 48, which communicates with a system controller 49 via a data bus 50.
  • the digital processor, in particular digital signal processor (DSP) 48, the memory 47 and the logic circuit units 42 can be implemented in a logic device 58.
  • the logic component 58 can be designed as a digital logic circuit PLD, in particular FPGA. If even the DAC 41 are integrated, the result is a more compact one
  • the digital processor in particular DSP 48, the memory 47, the DDS modules 43 and also the DACs 41 as well as the filters 55 and the first amplifiers 37 can be realized on a printed circuit board 56.
  • the identical printed circuit board 56 may be for a variety
  • Supply loads (laser, plasma, etc.) can be used.
  • the output power of the combiner 40 is transmitted via a directional coupler 51 to a load, e.g. a plasma process, given.
  • Directional coupler 51 the output power and a reflected power from the load can be detected.
  • the measurement signal conditioning is performed by measuring means 52, which are in communication with the directional coupler 51.
  • the measuring means 52 are in turn connected to the system controller 49.
  • the system controller 49 based on the detected
  • Output power and the detected reflected power are determined, which output power to be generated by the combiner 40.
  • the system controller 49 can control the DSP 48 and this in turn the FPGA 46.
  • the cancellation i. the measuring equipment, directly with the DAC 41, in particular its
  • Reference signal input 44, or the drive circuit 45, are in communication.
  • Stored in the memories 47 are digital values which contain both an amplitude information and a phase and possibly also
  • the power in the output of the combiner 40 can be influenced and changed very quickly.
  • the power supply system 20 shown in a block diagram in FIG. 5 is a slightly different representation of the FIG Power supply system 20 of Fig. 2. The same components are provided with the same reference numerals.
  • the power supply system 20 here also has a power converter 30 having a
  • Output power generated which can be a load, such as a plasma process or a laser excitation, fed.
  • Power converter 30 a plurality of amplifier paths 31, 32 are provided, in which case only two amplifier paths are shown and the amplifier path 32 is constructed largely identical to the amplifier path 31st
  • the output power of the combiner 40 is via a
  • Measuring device 70 which has a directional coupler 51, to a load, for. As a plasma process given.
  • the directional coupler 51 By the directional coupler 51, the output power and a reflected power from the load can be detected.
  • other coupling devices may also be used, for example a transformer device for measuring current and / or a
  • the measuring device 70 which can be regarded as a rejection, furthermore has an ADC 59.
  • the directional coupler 51 and the ADC 59 may be arranged on the same circuit board.
  • the directional coupler 51 may be designed in a planar design.
  • the measuring device 70 furthermore has a logic circuit 53 for generating an arc detection signal, which is fed directly to the DDS 43.
  • the direct feed is indicated by the arrow 54. In particular, this indicates that the line for the arc detection signal can be looped through the digital logic circuit 46 therethrough.
  • the logic circuit 53, the directional coupler 51 and the ADC 59 may be implemented on a printed circuit board.
  • the ADC 59 and the logic circuit 53 may be implemented in one device.
  • an arc management circuit 60 is provided, which is arranged in the exemplary embodiment in the digital logic circuit 46, which may be formed as an FPGA.
  • the arc management circuit since it is located in the logic circuit 46, is also connected to the DDS 43 and the DAC 41, respectively.
  • the arc management circuit 60 may be connected to the logic circuit unit 42 as shown here.
  • the DAC 41 may include a digital signal input adjacent to the reference signal input, which is in communication with the digital logic circuit 46, particularly the arc management circuit 60.
  • the digital logic circuit 46 may have other logic operators, which is indicated by the reference numeral 61.
  • the indicated by the reference numeral 54 line can be understood as a specific line over which a signal can be given very fast to the DAC 41.
  • Measuring device 70 without further logic modules of the digital logic circuit 46 would be involved in the generation of the Arcerkennungssignals. Thus, a single signal suffices to inform the system of the existence of an ares. Due to the direct connection of the Arcerkennungssignals to the DAC 41, the Are can practically without
  • This "ultra-fast arc handling routine" can be supplemented by further logic, for example the arc management circuit 60, which makes higher-level decisions but reacts much more slowly.

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Abstract

Arclöschverfahren zur Löschung von Arcs in einer Plasmakammer (6) eines Plasmasystems (1), umfassend die Verfahrensschritte: a. Erzeugung einer Leistung während eines Plasmabetriebs zur Erzeugung eines Plasmas in der Plasmakammer und zur Durchführung eines Plasmabearbeitungsprozesses unter Verwendung des erzeugten Plasmas, indem mit einem Digital-Analog-Wandler (DAC) (41) ein Analogsignal generiert wird, das einem Verstärkerpfad (31, 32) zugeführt und dort verstärkt wird; b. Überwachung des Plasmasystems hinsichtlich des Auftretens eines Arcs durch eine Aberkennung; c. bei Erkennen eines Arcs im Schritt b. : Ansteuern des DACs durch die Aberkennung, derart, dass ein analoges Ausgangssignal des DACs verändert wird.

Description

-
BESCHREIBUNG
Arclöschverfahren und Leistungsversorgungssystem mit einem Leistungswandler
Die Erfindung betrifft ein Arclöschverfahren zur Löschung von Ares in einer Plasmakammer eines Plasmasystems, umfassend die
Verfahrensschritte: a. Erzeugung einer Plasmabetriebsleistung während eines
Plasmabetriebs zur Erzeugung eines Plasmas in der Plasmakammer und zur Durchführung eines Plasmabearbeitungsprozesses unter Verwendung des erzeugten Plasmas;
b. Überwachung des Plasmasystems hinsichtlich des Auftretens eines Ares;
c. bei Erkennen eines Ares im Schritt b. :
i. Erzeugung einer Arclöschleistung, die geringer ist als die
Plasmabetriebsleistung zur Versorgung der Plasmakammer mit der Arclöschleistung während eines Arclöschbetriebs.
Weiterhin betrifft die Erfindung ein Leistungsversorgungssystem mit einem Leistungswandler, der zur Versorgung eines Plasmaprozesses mit Leistung mit einer Plasmakammer verbindbar ist.
Bei einem Plasma handelt es sich um einen besonderen
Aggregatszustand, der aus einem Gas erzeugt wird. Jedes Gas besteht grundsätzlich aus Atomen und/oder Molekülen. Bei einem Plasma ist dieses Gas zu einem Großteil ionisiert. Dies bedeutet, dass durch Zufuhr von Energie die Atome bzw. Moleküle in positive und negative
Ladungsträger, also in Ionen und Elektronen, aufgespaltet werden. Ein Plasma eignet sich zur Bearbeitung von Werkstücken, da die elektrisch geladenen Teilchen chemisch hochgradig reaktiv und zudem durch elektrische Felder beeinflussbar sind. Die geladenen Teilchen können mittels eines elektrischen Feldes auf ein Objekt beschleunigt werden, wo sie beim Aufprall einzelne Atome daraus herauslösen können. Die herausgelösten Atome können über Gasfluss abtransportiert werden (Ätzen) oder auf anderen Objekten als Beschichtung abgelagert werden (Herstellung von Dünnfilmen). Anwendung findet eine solche Bearbeitung mittels eines Plasmas vor allem dann, wenn extrem dünne Schichten, insbesondere im Bereich weniger Atomlagen, bearbeitet werden sollen. Typische Anwendungen sind Halbleitertechnik (Beschichten, Ätzen, etc.), Flachbildschirme (ähnlich Halbleitertechnik), Solarzellen (ähnlich
Halbleitertechnik), Architekturglasbeschichtung (Wärmeschutz,
Blendschutz, etc.), Speichermedien (CD, DVD, Festplatten), dekorative Schichten (farbige Gläser, etc.) und Werkzeughärtung. Diese
Anwendungen haben hohe Anforderungen an Genauigkeit und
Prozessstabilität. Weiterhin kann ein Plasma auch zur Anregung von Lasern, insbesondere Gaslasern, dienen.
Um aus einem Gas ein Plasma zu generieren, muss ihm Energie zugeführt werden. Das kann auf unterschiedliche Weise, beispielsweise über Licht, Wärme, elektrische Energie, erfolgen. Ein Plasma zur
Bearbeitung von Werkstücken wird typischerweise in einer Plasmakammer gezündet und aufrecht erhalten. Dazu wird in der Regel ein Edelgas, z. B. Argon, mit niedrigem Druck in die Plasmakammer geleitet. Über
Elektroden und/oder Antennen wird das Gas einem elektrischen Feld ausgesetzt. Ein Plasma entsteht bzw. wird gezündet, wenn mehrere Bedingungen erfüllt sind. Zunächst muss eine geringe Anzahl von freien Ladungsträgern vorhanden sein, wobei zumeist die stets in sehr geringem Maß vorhandenen freien Elektronen genutzt werden. Die freien
Ladungsträger werden durch das elektrische Feld so stark beschleunigt, dass sie beim Aufprall auf Atome oder Moleküle des Edelgases weitere Elektronen herauslösen, wodurch positiv geladene Ionen und weitere negativ geladene Elektronen entstehen. Die weiteren freien Ladungsträger werden wiederum beschleunigt und erzeugen beim Aufprall weitere Ionen und Elektronen. Es setzt ein Lawineneffekt ein. Der ständigen Erzeugung von Ionen und Elektronen wirken die Entladungen bei der Kollision dieser Teilchen mit der Wand der Plasmakammer oder anderen Gegenständen sowie die natürliche Rekombination entgegen, d . h., Elektronen werden von Ionen angezogen und rekombinieren zu elektrisch neutralen Atomen bzw. Molekülen. Deshalb muss einem gezündeten Plasma beständig Energie zugeführt werden, um dieses aufrecht zu erhalten.
Die Energiezufuhr kann über eine Gleichstrom (DC)- oder eine
Wechselstrom (AC)-Leistungsversorgung erfolgen. Die bei
Plasmaanregung mit einer AC-Leistungsversorgung vorkommenden
Frequenzen können bis in den Gigahertzbereich hinein liegen.
Im Plasma kann es zu kurzzeitigen und auch länger anhaltenden
Überschlägen, so genannten Ares, kommen, die unerwünscht sind. Wenn ein solcher Are erkannt wird, muss dafür gesorgt werden, dass dieser möglichst rasch erlischt, bzw. sich nicht voll entfaltet.
Es ist bekannt, bei Erkennen eines Are die Energiezufuhr vollständig abzuschalten, um so ein Erlöschen des Ares zu erzwingen. Nachteilig bei dieser Vorgehensweise ist, dass der Plasmaprozess unterbrochen wird und es eine gewisse Zeit dauert, bis nach Erlöschen des Ares das Plasma wieder gezündet ist und die Plasmabearbeitung fortgesetzt werden kann. Außerdem kann häufig nicht mit Sicherheit festgestellt werden, ob ein Are erloschen ist. Es werden daher ausreichend lange Zeiten vorgesehen, in denen in der Regel ein Erlöschen eines Ares erfolgt. Dies führt jedoch zu längeren Unterbrechungen des Plasmabearbeitungsprozesses.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein Verfahren zur Löschung von Ares in einer Plasmakammer bereit zu stellen, mit dem ein schnelleres und zuverlässigeres Löschen von Ares erfolgen kann, ohne dabei einen Plasmabearbeitungsprozess unnötig zu beeinträchtigen. Weiterhin besteht die Aufgabe der vorliegenden Erfindung darin, ein Leistungsversorgungssystem bereit zu stellen, mit dem das erfindungsgemäße Verfahren durchgeführt werden kann.
Gelöst wird diese Aufgabe erfindungsgemäß durch ein Arclöschverfahren zur Löschung von Ares in einer Plasmakammer eines Plasmasystems, umfassend die Verfahrensschritte: a. Erzeugung einer Plasmabetriebsleistung während eines
Plasmabetriebs zur Erzeugung eines Plasmas in der Plasmakammer und zur Durchführung eines Plasmabearbeitungsprozesses unter Verwendung des erzeugten Plasmas;
b. Überwachung des Plasmasystems hinsichtlich des Auftretens eines Ares;
c. bei Erkennen eines Ares im Schritt b. :
i. Erzeugung einer Arclöschleistung, die geringer ist als die Plasmabetriebsleistung zur Versorgung der Plasmakammer mit der Arclöschleistung während eines Arclöschbetriebs, wobei die Plasmabetriebsleistung und die Arclöschleistung zumindest teilweise erzeugt werden, in dem eine Digital-Analog-Wandler (DAC) in Abhängigkeit von der Überwachung des Plasmasystems hinsichtlich des Auftretens eines Ares angesteuert wird und das analoge Ausgangssignal des DAC in einem nachfolgenden
Verstärkerpfad zu zumindest einem Teil der Plasmaleistung oder der Arclöschleistung verstärkt wird.
Ein solches Arclöschverfahren ist um ein Vielfaches schneller als herkömmliche Arclöschverfahren. Es ist auch viel flexibler einstellbar. Das Arclöschverfahren bewirkt einen effektiven Schutz eines
Leistungswandlers bei auftretenden Überschlägen (Ares) in einer Plasmakammer. Außerdem kann ein schnelles Wiedereinschalten der Leistung nach dem Erkennen von Ares zur Reduzierung der Auswirkungen auf das Substrat im Plasmaprozess erfolgen.
Bisher war es üblich, bei Überschlägen in einer Plasmaanwendung die zugeführte Leistung bei Erkennen eines Ares sofort auszutasten. Dies hatte zum Ziel, einerseits den Überschlag in der Kammer zu löschen und die damit in der Kammer befindlichen Substrate zu schützen und
andererseits die aktiven Bauteile in dem Leistungswandler zu schützen. Durch die Verwendung von robusten Halbleitern und eine entsprechend schnelle Steuerung kann die Leistung erfindungsgemäß nur soweit reduziert werden, dass der Überschlag vollständig erlischt. Die
Plasmabetriebsleistung kann auf die Arclöschleistung nur solange reduziert werden, bis der Überschlag vollständig erloschen ist. Anschließend kann die Leistung sofort wieder auf 100% gefahren werden, d.h. die volle Plasmabetriebsleistung an die Plasmakammer geliefert werden. Dies hat den Vorteil, dass die vollständige Plasmazündung innerhalb der Kammer schneller wieder hergestellt wird im Vergleich zu Verfahren des Standes der Technik. Somit werden die Auswirkungen des Überschlags und somit des Austastens der Leistung deutlich reduziert.
Ein oder mehrere weitere DAC können in Abhängigkeit von der
Überwachung des Plasmasystems hinsichtlich des Auftretens eines Ares angesteuert werden und das jeweilige analoge Ausgangssignal der DAC kann in einem nachfolgenden Verstärkerpfad zu einem Teil der
Plasmaleistung oder der Arclöschleistung verstärkt werden. Somit können mehrere Verstärkerpfade parallel betrieben werden. Dies bedeutet, dass in einem einzelnen Verstärkerpfad keine zu große Leistung erzeugt werden muss, was sich günstig auf die Kosten für die in einem Verstärkerpfad verwendeten Bauteile auswirkt. Gelöst wird diese Aufgabe erfindungsgemäß außerdem durch ein
Arclöschverfahren zur Löschung von Ares in einer Plasmakammer eines Plasmasystems, umfassend die Verfahrensschritte:
a. Erzeugung einer Leistung während eines Plasmabetriebs zur
Erzeugung eines Plasmas in der Plasmakammer und zur
Durchführung eines Plasmabearbeitungsprozesses unter
Verwendung des erzeugten Plasmas, indem mit einem Digital- Analog-Wandler ein Analogsignal generiert wird, das einem
Verstärkerpfad zugeführt und dort verstärkt wird;
b. Überwachung des Plasmasystems hinsichtlich des Auftretens eines Ares durch eine Aberkennung;
c. bei Erkennung eines Ares im Schritt b:
Ansteuern des Digital-Analog-Wandlers durch die Aberkennung, derart, dass ein analoges Ausgangssignal des Digital-Analog- Wandlers verändert wird.
Insbesondere kann durch die Aberkennung ein Arcerkennungssignal erzeugt werden, durch welches der Digital-Analog-Wandler (DAC) direkt angesteuert wird . Somit wird keine Zeit dadurch verloren, dass das
Arcerkennungssignal beispielsweise über eine Logikschaltung geleitet wird, in der es verarbeitet wird. Das Arcerkennungssignal wird somit
vorzugsweise dem DAC unmittelbar, ohne zwischengeschaltete Logik, zugeführt. Dadurch ist eine sehr schnelle Reaktion, z.B. Abschaltung, bei erkannten Überschlägen möglich, indem das dem Verstärkerpfad
zugeführte Analogsignal verändert wird. Das Plasmaversorgungssystem wird dadurch geschützt. Die Verwendung einer zeitintensiven Logik zwischen Messaufnehmern und einer Leistungssteuerung, was zu einer langen Reaktionszeit und somit zu einer langsamen Reaktion auf einen Are führen würde, kann vermieden werden. Ein solches Arclöschverfahren ist um ein Vielfaches schneller als herkömmliche Arclöschverfahren. Das Arclöschverfahren bewirkt einen effektiven Schutz eines Leistungswandlers bei auftretenden Überschlägen (Ares) in einer Plasmakammer.
Ein oder mehrere weitere DAC können bei Erkennen eines Ares durch die Aberkennung angesteuert werden. Als Reaktion auf das Erkennen eines Ares kann beispielsweise die Leistung nur so weit reduziert werden, dass der Überschlag vollständig erlischt. Ist der Are erloschen, kann die Leistung relativ schnell wieder hergestellt werden. Wenn mehrere DAC vorgesehen sind, können auch mehrere Verstärkerpfade vorgesehen sein, die parallel betrieben werden. Dies bedeutet, dass in einem einzelnen Verstärkerpfad keine zu große Leistung erzeugt werden muss, was sich günstig auf die Kosten für die in einem Verstärkerpfad verwendeten Bauteile auswirkt. Weiterhin kann durch Ansteuerung mehrerer DAC, die mehreren Verstärkerpfaden zugeordnet sind, schnell auf das Auftreten eines Ares reagiert werden.
Die analogen Ausgangssignale von zumindest zwei DAC in den jeweils nachfolgenden Verstärkerpfaden können unterschiedlich verstärkt werden oder unterschiedliche Durchlaufzeiten durch die Verstärkerpfade erfahren. Somit kann durch Verwendung unterschiedlicher Verstärkerpfade eine Gesamtleistung eingestellt werden, die sich aus der Kopplung oder
Kombination der Ausgangsleistungen der einzelnen Verstärkerpfade ergibt. Dadurch lässt sich die der Plasmakammer zugeführte Leistung sehr viel flexibler einstellen als bei Verwendung nur eines Verstärkerpfads oder bei Verwendung von Verstärkerpfaden die exakt die gleiche
Ausgangsleistung generieren.
Ein Referenzsignaleingang des DAC kann durch die Aberkennung angesteuert werden. Insbesondere kann eine Eingangsspannung oder ein Eingangsstrom an dem Referenzsignaleingang verändert werden. Das Referenzsignal kann dazu verwendet werden, das Ausgangssignal des DAC zu beeinflussen. Dadurch ist insbesondere eine sehr schnelle
Beeinflussung des Ausgangssignals des DAC und somit eine sehr schnelle Veränderung der der Plasmakammer zugeführten Leistung möglich.
Insbesondere kann die in die Plasmakammer gelieferte Leitung reduziert werden, um einen Are zum Erlöschen zu bringen.
Das analoge Ausgangssignal eines DAC kann insbesondere dann besonders schnell und zuverlässig eingestellt werden, wenn dem DAC eine Folge von Digitalwerten zugeführt wird. Dabei können die Digitalwerte in einem Speicher, insbesondere einer Nachschautabelle (Look-Up-Table), abgelegt sein.
In zumindest einem Verstärkerpfad kann das analoge Ausgangssignal des zugeordneten DAC mit einem konstanten Verstärkungsfaktor verstärkt werden. Dadurch können die im Verstärkerpfad verwendeten Verstärker besonders einfach gehalten werden.
Zumindest einem DAC kann dieselbe Folge von Digitalwerten zugeführt werden, unabhängig davon, ob ein Are erkannt wurde oder nicht. Die Reaktion auf das Erkennen eines Ares erfolgt somit nicht durch die zugeführte Folge von Digitalwerten, sondern kann auf andere Art und Weise bewirkt werden, die unter Umständen schneller ist als die
Veränderung des analogen Ausgangssignals des DAC aufgrund einer veränderten Folge von Digitalwerten.
Zumindest einem DAC kann bei Aberkennung ein anderes
Referenzsignal zugeführt werden als bei fehlender Aberkennung. Das Referenzsignal kann dazu verwendet werden, das Ausgangssignal des DAC zu beeinflussen. Die Ansteuerung des DAC mit dem Referenzsignal kann zu einer deutlich schnelleren Änderung des Ausgangssignals des DAC führen als die Veränderung der zugeführten Folge von Digitalwerten. Wenn zumindest einem DAC im Plasmabetrieb dasselbe Referenzsignal zugeführt wird wie im Arclöschbetrieb, kann die Veränderung des analogen Ausgangssignals des DAC dadurch erfolgen, dass eine
veränderte Folge von Digitalwerten zugeführt wird.
Es kann überwacht werden, ob der detektierte Are erloschen ist und bei Detektion des Erlöschens des Ares kann kein Arcerkennungssignal dem DAC zugeführt werden. Es wird somit keine vorbestimmte Zeit
abgewartet, bis die Leistung der Plasmakammer wieder zugeführt wird . Eine solche vordefinierte Zeit ist unter Umständen länger als die Zeit, die tatsächlich zum Erlöschen des Ares benötigt wird. Wird dagegen
überwacht, ob der Are erloschen ist, kann unmittelbar nach Erlöschen des Ares die Leistung der Plasmakammer wieder zugeführt werden. Somit kann die Unterbrechungszeit des Plasmaprozesses minimal gehalten werden.
Zumindest ein analoges Ausgangssignal eines DAC kann durch einen Direct Digital Synthesis-Baustein (DDS-Baustein) erzeugt werden, der den DAC aufweist. Mit einem DDS-Baustein kann eine besonders schnelle Erzeugung eines analogen Ausgangssignals bewirkt werden. Die
Arclöschung und somit die Minimierung der Leistung, die der
Plasmakammer zugeführt wird, kann dadurch bewirkt werden, dass ein Referenzsignaleingang des DDS-Bausteins angesteuert wird, insbesondere eine Eingangsspannung an dem Referenzsignaleingang verändert, insbesondere erhöht wird. Durch eine solche Ansteuerung des DDS- Bausteins kann das analoge Ausgangssignal und somit die der
Plasmakammer zugeführte Leistung besonders schnell verändert werden.
Jedem DAC kann eine eigene (individuelle) Folge von Digitalwerten zugeführt werden. Somit kann das erzeugte Ausgangssignal des DAC individuell eingestellt werden. Insbesondere können unterschiedlichen Verstärkerpfaden unterschiedliche analoge Eingangssignale zugeführt werden. Dadurch lässt sich die Gesamtleistung, die einer Plasmakammer zugeführt wird, besonders flexibel einstellen.
Die Folge von Digitalwerten kann aus einem Datenspeicher ausgelesen werden, der von einer zentralen Logikbaugruppe beschrieben wird. Bei den Datenspeichern kann es sich um sogenannte Nachschautabelle (Look- Up-Tabels) handeln.
Die Folge von Digitalwerten kann erzeugt werden, indem ein in einem Signaldatenspeicher abgelegter Signaldatenwert mit einem in einem
Amplitudendatenspeicher abgelegten Amplitudendatenwert multipliziert wird. Insbesondere kann die Folge von Digitalwerten erzeugt werden, indem mit Hilfe eines Zählers eine Folge von in einem Signaldatenspeicher abgelegten Signaldatenwerten ausgelesen wird, diese Folge von
Signaldatenwerten einem Multiplizierer zugeführt wird, und von diesem Multiplizierer mit einem aus einem Amplitudendatenspeicher ausgelesenen Amplitudendatenwert multipliziert wird. Dabei kann ein Analogsignal eine Analogspannung sein. Somit kann auf einfache Art und Weise ein
Digitalsignal erzeugt werden, welches Informationen bezüglich der
Signalform und der Amplitude des im DAC zu erzeugenden Analogsignals aufweist. Dies hat insbesondere dann Vorteile, wenn parallel mehrere Analogsignale erzeugt werden, die anschließend durch einen Kombinierer kombiniert werden, so dass die zu kombinierenden Signale besonders einfach und schnell aneinander angepasst werden können.
Verstärkerpfade, die mit einem so generierten Analogsignal angesteuert sind, sind besonders gut für einen Parallelbetrieb mehrerer
Verstärkerpfade geeignet. Die so erzeugten Leistungen können einfach am Ausgang der Verstärkerpfade kombiniert werden. Somit ergibt sich eine sehr schnell und genau abstimmbare Gesamtleistung eines
Leistungswandlers. Die Arcerkennung kann eine Arc-Managementschaltung ansteuern, die wiederum direkt oder indirekt den oder die DAC ansteuert. Durch das von der Arcerkennung generierte Arcerkennungssignal kann zunächst der DAC angesteuert werden, um sehr schnell auf den erkannten Are zu reagieren. Durch die Arc-Managementschaltung kann diese schnelle Arcerkennung ergänzt werden, indem weitere Entscheidungen zur Behandlung des Ares getroffen werden.
Die Arc-Managementschaltung kann die Amplitude des Analogsignals beeinflussen, indem der im Amplituden-Datenspeicher abgelegte
Amplituden-Datenwert verändert wird. So kann die Amplitudenmodulation besonders schnell erfolgen. Außerdem können mehrere Verstärkerpfade so sehr schnell in ihrer Ausgangsleistung verändert werden und
gleichzeitig bleibt die Synchronisierung der Verstärkerpfade untereinander unberührt.
Die Arc-Managementschaltung kann die Amplitude des Analogsignals beeinflussen, indem der im Signal-Datenspeicher abgelegte Signal- Datenwert verändert wird . Auch so kann die Amplitudenmodulation besonders schnell erfolgen. Außerdem können mehrere Verstärkerpfade so sehr schnell in ihrer Ausgangsleistung verändert werden und eine nichtlineare Verstärkung und Phasenschiebung bei unterschiedlichen Amplituden des Analogsignals der Verstärker kann mit berücksichtigt werden.
Die Überwachung des Plasmasystems kann hinsichtlich des Auftretens eines Ares erfolgen, indem ein mit der in das Plasma gelieferten Leistung Pi und/oder ein mit der von dem Plasma reflektierten Leistung Pr und/oder mit einem in das Plasma fließenden Strom und/oder einer an das Plasma angelegten Spannung in Beziehung stehendes Signal erfasst wird und aus dem erfassten Signal mittels der Arcerkennung ein Arcerkennungssignal generiert wird. Insbesondere kann das erfasste Signal von einem Analog- Digital-Wandler (ADC) in digitalisierte Werte umgesetzt werden, diese digitalisierten Werte können einer Logikschaltung, insbesondere einem programmierbaren Logikbaustein, zugeführt werden, wobei der
programmierbare Logikbaustein diese digitalisierten Werte auswertet und das Arcerkennungssignal generiert. Mit einer solchen optimierten und spezialisierten Logik kann die Geschwindigkeit der Arcerkennung erheblich gesteigert werden. Weiterhin genügt in diesem Fall ein einziges Signal, um über die Existenz eines Ares zu informieren und das Plasmasystem z.B. abzuschalten. Durch die direkte Anbindung des Arcerkennungssignals an den DAC kann der Are praktisch ohne Verzögerung wahrgenommen werden. Dadurch ist quasi eine Echtzeitüberwachung von Signalen des Plasmasystems und eine sehr schnelle Abschaltung des Systems bei Überschlägen möglich. Die Verwendung einer zeitintensiven Logik
zwischen Messaufnehmern und einer Systemsteuerung führt zu einer langen Reaktionszeit und damit zu einer langsamen Reaktion, was erfindungsgemäß vermieden wird. Durch Verwendung einer spezifischen Leitung zur Übertragung des Arcerkennungssignals kann eine minimale Verzögerung realisiert werden.
Die Erzeugung der Leistung kann erfolgen, indem eine
Hochfrequenzleistung, insbesondere mit einer Frequenz > 1 MHz erzeugt wird und der oder die DAC so angesteuert werden, dass diese(r) ein Signal mit dieser Frequenz erzeugen.
Das erfasste Signal kann von dem ADC mit einer Frequenz > 1 MHz abgetastet werden und der programmierbare Logikbaustein kann mit einem Taktsignal einer Frequenz > 1 MHz getaktet werden. Dem ADC und dem programmierbaren Logikbausein kann dasselbe Taktsignal zugeführt werden. Dadurch wird eine schnellstmögliche Signalverarbeitung
sichergestellt. Dem zumindest einen Verstärkerpfad kann ein von einem DAC aus einem Digitalsignal erzeugtes Analogsignal zugeführt werden. Das
Analogsignal kann in dem Verstärkerpfad zu einem
Hochfrequenzleistungssignal verstärkt werden. Das Digitalsignal kann insbesondere erzeugt werden, indem ein in einem Signal-Datenspeicher abgelegter Signal-Datenwert mit einem in einem Amplituden- Datenspeicher abgelegten Amplituden-Datenwert multipliziert werden. So kann sehr schnell auf eine Aberkennung reagiert werden.
Insbesondere kann die Folge von Digitalwerten erzeugt werden, indem mit Hilfe eines Zählers eine Folge von in einem Signaldatenspeicher abgelegten Signaldatenwerten ausgelesen wird, diese Folge von
Signaldatenwerten einem Multiplizierer zugeführt wird, und von diesem Multiplizierer mit einem aus einem Amplitudendatenspeicher ausgelesenen Amplitudendatenwert multipliziert wird.
Den zumindest zwei Verstärkerpfaden kann jeweils ein von einem DAC aus jeweils einem Digitalsignal erzeugtes Analogsignal zugeführt werden. Die Analogsignale können in jeweils einem Verstärkerpfad zu einem
Hochfrequenzleistungssignal verstärkt werden. Die Digitalsignale können erzeugt werden, indem ein in einem Signal-Datenspeicher abgelegter Signal-Datenwert mit einem in einem Amplituden-Datenspeicher
abgelegten Amplituden-Datenwert multipliziert wird. So kann besonders schnell und flexibel auf eine Aberkennung reagiert werden.
Zum Umschalten von der Erzeugung der Plasmabetriebsleistung zur Erzeugung der Arclöschleistung können die im Amplituden-Datenspeicher abgelegten Amplituden-Datenwerte geändert werden. Damit können die Verstärkerpfade sehr schnell in ihrer Ausgangsleistung verändert werden und gleichzeitig bleibt die Synchronisierung der Verstärkerpfade
untereinander unberührt. Die Multiplikation der in den Amplituden-Datenspeichern abgelegten Amplituden-Datenwerte mit den in den Signal-Datenspeichern abgelegten Signal-Datenwerten kann in einem DDS-Baustein durchgeführt werden. Das reduziert die Anzahl der Bauteile und die Kosten.
Die Arclöschleistung kann so gewählt werden, dass der detektierte Are erlischt. Während es bisher üblich war, bei Erkennen eines Überschlags die Leistung auszutasten und anschließend wieder einzuschalten, in der Annahme, dass der Überschlag erloschen ist, ist es erfindungsgemäß möglich, die Leistung, die in die Plasmakammer geliefert wird, von der Plasmabetriebsleistung auf die Arclöschleistung zu reduzieren. Durch das kontinuierliche Liefern einer Arclöschleistung an die Kammer kann jedoch auch erkannt und sicher gestellt werden, ob und dass der Überschlag auch tatsächlich erloschen ist. Sobald erkannt wird, dass der Are tatsächlich erloschen ist, kann die Arclöschleistung wieder auf die
Plasmabetriebsleistung erhöht werden. Insbesondere bei Prozessen, die bereits bei niedriger Prozessenergie zünden, kann durch die Reduktion der Leistung der Plasmaprozess zunächst auf einem niedrigen Energielevel (z. B. geringere Beschichtungsrate) weiter betrieben werden. Nach sicherem Erkennen des Erlöschens des Ares kann der Prozess wieder mit den ursprünglichen Parametern weiter betrieben werden. Dies reduziert die von der Plasmakammer und einem Anpassungsnetzwerk an den
Leistungswandler reflektierte Energie und erhöht somit die Lebensdauer des Leistungswandlers.
In zumindest einem Verstärkerpfad kann das analoge Ausgangssignal des zugeordneten DAC sowohl im Plasmabetrieb als auch im
Arclöschbetrieb mit einem konstanten Verstärkungsfaktor verstärkt werden. Dadurch können die im Verstärkerpfad verwendeten Verstärker besonders einfach gehalten werden. Weiterhin kann vorgesehen sein, dass im Plasmabetrieb und im Arclöschbetrieb derselbe Verstärkungsfaktor verwendet wird.
Zumindest einem DAC kann im Plasmabetrieb und im Arclöschbetrieb dieselbe Folge von Digitalwerten zugeführt werden. Die Änderung von der Plasmabetriebsleistung auf die Arclöschleistung erfolgt somit nicht durch die zugeführte Folge von Digitalwerten sondern kann auf andere Art und Weise bewirkt werden, die unter Umständen schneller ist als die
Veränderung des analogen Ausgangssignals des DAC aufgrund einer veränderten Folge von Digitalwerten.
Durch zumindest einen DAC kann im Plasmabetrieb ein anderes analoges Ausgangssignal erzeugt werden als im Arclöschbetrieb. Dadurch lässt sich auf besonders einfache Art und Weise im Arclöschbetrieb eine Arclöschleistung einstellen.
Zumindest einem DAC kann im Plasmabetrieb ein anderes
Referenzsignal zugeführt werden als im Arclöschbetrieb. Das
Referenzsignal kann dazu verwendet werden, das Ausgangssignal des DAC zu beeinflussen. Die Ansteuerung des DAC mit dem Referenzsignal kann zu einer deutlich schnelleren Änderung des Ausgangssignals des DAC führen als die Veränderung der zugeführten Folge von Digitalwerten.
Wenn zumindest einem DAC im Plasmabetrieb dasselbe Referenzsignal zugeführt wird wie im Arclöschbetrieb, kann die Veränderung des
analogen Ausgangssignals des DAC dadurch erfolgen, dass eine
veränderte Folge von Digitalwerten zugeführt wird.
Weiterhin kann vorgesehen sein, dass allen DAC im Plasmabetrieb dasselbe Plasmabetriebsreferenzsignal zugeführt wird. Weiterhin kann allen DAC im Arclöschbetrieb dasselbe Arclöschbetriebsreferenzsignal zugeführt werden. Die Änderung von einer Plasmabetriebsleistung zu einer Arclöschleistung kann daher besonders einfach dadurch erfolgen, dass den DAC ein anderes Referenzsignal zugeführt wird.
Es kann überwacht werden, ob der detektierte Are erloschen ist und bei Detektion des Erlöschens des Ares kann die Plasmabetriebsleistung wieder erzeugt und der Plasmakammer zugeführt werden. Es wird somit keine vorbestimmte Zeit abgewartet, bis die Plasmabetriebsleistung der
Plasmakammer wieder zugeführt wird. Eine solche vordefinierte Zeit ist unter Umständen länger als die Zeit, die tatsächlich zum Erlöschen des Ares benötigt wird . Wenn dagegen überwacht wird, ob der Are erloschen ist, kann unmittelbar nach Löschen des Ares die Plasmabetriebsleistung der Plasmakammer wieder zugeführt werden. Somit kann die
Unterbrechungszeit des Plasmaprozesses minimal gehalten werden.
Bei Erkennen eines Ares kann stufenweise oder rampenförmig von der Plasmabetriebsleistung auf die Arclöschleistung übergegangen werden. Zu große Leistungssprünge in der Plasmakammer können dadurch vermieden werden.
Insbesondere kann nach dem Erkennen eines Ares überwacht werden, ob der detektierte Are erloschen ist und bis zur Detektion des Erlöschens des Ares der Arclöschleistung stufenweise oder rampenförmig verringert werden. Somit kann die Arclöschleistung immer weiter aber auch nur dann reduziert werden, wenn der Are noch nicht erloschen ist. Es wird auf diese Art und Weise verhindert, dass die Arclöschleistung zu weit abgesenkt wird .
Bei Erkennen eines Ares kann von der Plasmabetriebsleistung auf eine Arclöschleistung übergegangen werden, die > 0 Watt ist. Somit wird die Leistungszufuhr nicht komplett ausgetastet sondern stets eine gewisse Leistung der Plasmakammer zugeführt, auch im Arclöschbetrieb. Die Anzahl oder Höhe der Stufen des stufenförmigen Übergangs oder die Steilheit des rampenförmigen Übergangs können einstellbar sein.
Somit kann der Übergang von der Plasmabetriebsleistung auf die
Arclöschleistung in Abhängigkeit von dem durchgeführten Plasmaprozess gewählt werden.
Zumindest ein analoges Ausgangssignal eines DAC kann durch einen Direct Digital Synthesis-Baustein (DDS-Baustein) erzeugt werden, der den DAC aufweist. Mit einem DDS-Baustein kann eine besonders schnelle Erzeugung eines analogen Ausgangssignals bewirkt werden. Der Übergang von der Plasmabetriebsleistung zu der Arclöschleistung kann dadurch bewirkt werden, dass ein Referenzsignaleingang des DDS-Bausteins angesteuert wird, insbesondere eine Eingangsspannung an dem
Referenzsignaleingang erhöht wird. Durch eine solche Ansteuerung des DDS-Bausteins kann das analoge Ausgangssignal und somit die der
Plasmakammer zugeführte Leistung besonders schnell verändert werden.
Jedem DAC kann eine eigene (individuelle) Folge von Digitalwerten zugeführt werden. Somit kann das erzeugte Ausgangssignal des DAC individuell eingestellt werden. Insbesondere können unterschiedlichen Verstärkerpfaden unterschiedliche analoge Eingangssignale zugeführt werden. Dadurch lässt sich die Gesamtleistung, die einer Plasmakammer zugeführt wird, besonders flexibel einstellen.
Die Folge von Digitalwerten kann aus einem Datenspeicher ausgelesen werden, der von einer zentralen Logikbaugruppe beschrieben wird. Bei den Datenspeichern kann es sich um sogenannte Look-Up-Tables handeln.
In den Rahmen der Erfindung fällt außerdem ein
Leistungsversorgungssystem mit einem ein Hochfrequenzsignal
erzeugenden Leistungswandler, der zur Versorgung eines
Plasmaprozesses mit Hochfrequenz-Leistung mit einer Plasmakammer verbindbar ist, wobei der Leistungswandler einen ersten Verstärkerpfad aufweist, dem ein von einem DAC erzeugtes Analogsignal zugeführt ist, wobei der DAC zumindest mittelbar mit einer Arcerkennung verbunden ist. Dies bedeutet, dass die Arcerkennung unmittelbar ein Signal an einen DAC geben kann. Alternativ ist es denkbar, dass eine Arcerkennung über einen weiteren Baustein, beispielsweise einen Steuerbaustein mit dem DAC verbunden ist. Eine besonders schnelle Reaktion auf das Erkennen eines Ares kann jedoch dadurch bewirkt werden, dass die Arcerkennung unmittelbar mit dem DAC verbunden ist und somit unmittelbar das vom DAC erzeugte Ausgangssignal beeinflusst.
Der DAC kann einen Digitalsignaleingang und einen
Referenzsignaleingang aufweisen. Ferner kann eine Ansteuerschaltung vorgesehen sein, die in Abhängigkeit von einem durch die Arcerkennung ermittelten Arcerkennungssignals zumindest ein Eingangssignal für einen Eingang eines DAC erzeugt. Insbesondere kann die Arcerkennung das Referenzsignal, welches dem Referenzsignaleingang zugeführt wird, verändern. Selbst bei gleichbleibender Folge von Digitalwerten, die dem DAC zugeführt werden, kann somit das von dem DAC erzeugte
Ausgangssignal beeinflusst werden. Dadurch kann besonders schnell eine Reduktion von der Plasmabetriebsleistung auf die Arclöschleistung erfolgen.
Der Leistungswandler kann mehrere Verstärkerpfade aufweisen, denen jeweils ein DAC zugeordnet ist, der den jeweiligen Verstärkerpfad an ein Analogsignal zuführt. Somit kann parallel in mehreren Verstärkerpfaden ein Leistungssignal erzeugt werden. In den Verstärkerpfaden kann dasselbe Leistungssignal erzeugt werden oder es können unterschiedliche Leistungssignale erzeugt werden.
Dem zumindest einen Verstärkerpfad kann ein von einem DAC aus einem Digitalsignal erzeugtes Analogsignal zugeführt werden. Dabei kann dem DAC insbesondere eine Logikschaltungseinheit zur Erzeugung des dem DAC zugeführten Digitalsignals vorgeschaltet sein. Die
Logikschaltungseinheit kann dabei insbesondere eine oder mehrere der folgenden Einheiten aufweisen:
- einen Signal-Datenspeicher, in dem Signal-Datenwerte zur
Erzeugung einer Analogsignalform abgelegt sind,
- einen Amplituden-Datenspeicher, in dem Amplituden- Datenwerte zur Beeinflussung der Amplituden der Analogsignale abgelegt sind, und
- einen Multiplikator zur Multiplikation der Signal-Datenwerte
mit den Amplituden-Datenwerten.
Auf diese Weise kann sehr schnell auf eine Arcerkennung reagiert werden.
Den zumindest zwei Verstärkerpfaden können jeweils ein von jeweils einem DAC aus einem Digitalsignal erzeugtes Analogsignal zugeführt sein. Dabei können insbesondere jedem DAC eine Logikschaltungseinheit zur Erzeugung der dem DAC zugeführten Digitalsignale vorgeschaltet sein. Dabei kann die Logikschaltungseinheit insbesondere eine oder mehrere der folgenden Einheiten aufweisen :
- einen Signal-Datenspeicher, in dem Signal-Datenwerte zur
Erzeugung einer Analogsignalform abgelegt sind,
- einen Amplituden-Datenspeicher, in dem Amplituden- Datenwerte zur Beeinflussung der Amplituden der Analogsignale abgelegt sind, und
- einen Multiplikator zur Multiplikation der Signal-Datenwerte
mit den Amplituden-Datenwerten.
Auf diese Weise kann sehr schnell auf eine Arcerkennung reagiert werden und die einzelnen Verstärkerpfade arbeiten trotzdem weiter synchron. Die Einheiten können in einem DDS integriert sein. Die Arcerkennung kann derart mit der Logikschaltungseinheit
verbunden sein, dass sie den Amplituden-Datenspeicher beeinflussen kann. Auf diese Weise kann besonders schnell auf eine Arcerkennung reagiert werden und die einzelnen Verstärkerpfade arbeiten trotzdem weiter synchron.
Die Einheiten können in einem DDS-Baustein integriert sein. Das reduziert die Anzahl der Bauteile und die Kosten.
Die Verstärkerpfade können mit einem Koppler oder Kombinierer zur Kopplung der in den Verstärkerpfaden erzeugten Leistungen zu einer Gesamtleistung verbunden sein. Somit kann parallel in mehreren
Verstärkerpfaden jeweils eine relativ geringe Leistung erzeugt werden, die anschließend über einen Kombinierer gekoppelt werden. Die am
Kombinierer ausgegebene Gesamtleistung kann somit besonders flexibel und kostengünstig erzeugt werden.
Der Kombinierer kann zur Kopplung der in den Verstärkerpfaden erzeugten Leistungen ohne Ausgleichsimpedanzen für Eingangssignale ungleicher Stärke und/oder Phasenlage ausgelegt sein. Dadurch ergibt sich ein besonders einfacher und kostengünstiger Aufbau des
Kombinierers.
Die Verstärkerpfade können Transistoren in LDMOS-Technologie aufweisen. LDMOS-Transistoren zeichnen sich durch eine extrem hohe Strombelastbarkeit aus. Sie haben allerdings den Nachteil, dass sie nur bei relativ geringen Spannungen betrieben werden können, was für Leistungen, wie sie bei der industriellen Plasmaerzeugung benötigt werden, nicht ausreichen würde. Der Vorteil eines Leistungswandlers mit mehreren Verstärkerpfaden und einem einfachen Kombinierer besteht darin, dass in jedem Pfad nur eine geringe Spannung mit hohem Strom am verstärkenden Transistor (insbesondere LDMOS-Transistor) anliegen kann, also ein Signal mit geringer Impedanz erzeugt werden kann.
Mehrere solcher Signale können durch den Kombinierer zu der für den Plasmaprozess benötigten Gesamtleistung gekoppelt werden.
Die Ansteuerschaltung kann als FPGA ausgebildet sein, das mit einem DAC der Verstärkerpfade verbunden ist oder in ein solches integriert sein. Eine als FPGA ausgebildete Ansteuerschaltung kann besonders schnell arbeiten.
Das FPGA kann durch einen digitalen Signalprozessor (DSP) angesteuert sein. Auch dadurch ergibt sich eine besonders schnelle Signalverarbeitung und entsprechend schnelle Reaktion auf das Erkennen eines Ares in der Plasmakammer.
In den Rahmen der Erfindung fällt außerdem ein Leistungsversorgungssystem mit einem Leistungswandler, der zur Versorgung eines
Plasmaprozesses mit Leistung mit einer Plasmakammer verbindbar ist, wobei der Leistungswandler einen ersten Verstärkerpfad aufweist, dem ein von einem DAC erzeugtes Analogsignal zugeführt ist, wobei der DAC mit einer Aberkennung verbunden ist. Insbesondere kann der DAC
unmittelbar, d.h. direkt ohne zwischengeschaltete Logik, mit der
Aberkennung verbunden sein. Dies bedeutet, dass die Aberkennung unmittelbar ein Signal an einen DAC geben kann. Eine besonders schnelle Reaktion auf das Erkennen eines Ares kann dadurch bewirkt werden.
Somit kann unmittelbar das vom DAC erzeugte Ausgangssignal beeinflusst werden.
Eine Signalleitung kann von der Aberkennung zu dem DAC durch eine Logikbaugruppe geschleift sein. Die Logikbaugruppe kann dazu dienen, den DAC im arefreien Betrieb anzusteuern. Das„Verlegen" einer extra Leitung kann vermieden werden, wenn die Signalleitung durch die
Logikbaugruppe geschleift wird. Eine Übertragung des Arcerkennungssignals über eine Signalleitung, die durch eine Logikbaugruppe geschleift ist, wird im Sinne der Erfindung dennoch als unmittelbare Verbindung der Arcerkennung mit dem DAC verstanden, da das Arcerkennungssignal in der Logikbaugruppe keine weitere
Verarbeitung und Auswertung erfährt.
Es kann eine Messeinrichtung vorgesehen sein, in die die Arcerkennung integriert ist. Die Messeinrichtung kann dazu ausgelegt sein, Strom, Spannung und/oder Leistung, insbesondere Vorwärts- und Rückwärtsleistung, d .h. reflektierte Leistung zu erfassen. Insbesondere kann die Messeinrichtung mit eingebetteter Digitalisierung und Aufbereitung der gemessenen Signale ausgestattet sein. Durch zusätzliche Logikbauelemente kann die Erzeugung des Arcerkennungssignals direkt dort erfolgen.
Die Messeinrichtung kann einen Richtkoppler aufweisen. Ein
Richtkoppler kann ausgelegt sein zur Erfassung von Leistung,
insbesondere von Vorwärts- und Rückwärtsleistung .
Die Messeinrichtung kann einen Stromwandler aufweisen. Der
Stromwandler kann beispielsweise als Rogowsky-Spule ausgebildet sein. Die Rogowsky-Spule kann in Flachbauweise ausgeführt sein.
Die Messeinrichtung kann einen ADC aufweisen. Insbesondere können die Messeinrichtung und der ADC auf einer Leiterkarte angeordnet sein. Die Messeinrichtung kann in planarer Bauweise ausgeführt sein.
Insbesondere kann ein Filter zwischen dem ADC und der Messeinrichtung angeordnet sein. Auch der Filter kann auf derselben Leiterkarte
angeordnet sein wie der ADC und die Messeinrichtung.
Die Messeinrichtung kann eine Logikschaltung zur Generierung des Arcerkennungssignals aufweisen. Die Logikschaltung kann dabei eine programmierbare Logikschaltung (PLD) sein. Dies hat den Vorteil, dass die Logikschaltung durch einen Anwender veränderbar, insbesondere programmierbar ist. Die programmierbare Logikschaltung kann dabei beispielsweise als sogenanntes FPGA (Field Programmable Gate Array) ausgebildet sein. Diese Logikbaugruppe kann auf derselben Leiterkarte angeordnet sein wie die Messeinrichtung und der ADC. Insbesondere können ADC und Logikschaltung in einem Baustein realisiert sein. Die Takterzeugung kann ebenfalls auf dieser Leiterkarte erfolgen. Alternativ kann ein Takt extern erzeugt werden. Die Takterzeugung kann synchron mit der Frequenz des Leistungssignals erfolgen.
Die Frequenz des Taktsignals kann > 1 MHz sein.
Es kann eine Arc-Managementschaltung vorgesehen sein, die mit der Arcerkennung und zumindest einem DAC verbunden ist. Dadurch, dass die Arc-Managementschaltung mit der Arcerkennung verbunden ist, erfährt sie, wenn ein Are erkannt wurde. Wenn die Arcerkennung direkt den DAC ansteuern kann und somit zu einer Leistungsreduzierung führen kann, kann die Arc-Managementschaltung die weitere Datenverarbeitung übernehmen und insbesondere erfassen, ob ein Are erloschen ist oder nicht, und in Abhängigkeit davon ebenfalls den DAC ansteuern.
Der DAC kann einen Digitalsignaleingang und einen
Referenzsignaleingang aufweisen, und die Arc-Managementschaltung kann in Abhängigkeit von dem durch die Arcerkennung ermittelten
Arcerkennungssignal zumindest ein Eingangssignal für einen Eingang des DAC erzeugen. Insbesondere kann die Arc-Managementschaltung das Referenzsignal, welches dem Referenzsignaleingang zugeführt wird, verändern. Selbst bei gleichbleibender Folge von Digitalwerten, die dem DAC zugeführt werden, kann somit das von dem DAC erzeugte
Ausgangssignal beeinflusst werden. Der Leistungswandler kann mehrere Verstärkerpfade aufweisen, denen jeweils ein DAC zugeordnet ist, der dem jeweiligen Verstärkerpfad ein Analogsignal zuführt. Somit kann parallel in mehreren Verstärkerpfaden ein Leistungssignal erzeugt werden. In den Verstärkerpfaden kann dasselbe Leistungssignal erzeugt werden oder es können unterschiedliche Leistungssignale erzeugt werden. Durch die parallele Anordnung von Verstärkerpfaden ergibt sich eine besonders kompakte Bauweise für hohe Ausgangsleistungen. Ein solcher Leistungswandler ist besonders gut abstimmbar.
Die Verstärkerpfade können mit einem Kombinierer zur Kombination der in den Verstärkerpfaden erzeugten Leistungen zu einer Gesamtleistung verbunden sein. Hierbei können relativ einfache Kombinierer verwendet werden, die günstiger in der Herstellung sind, aber hohe Anforderungen hinsichtlich der Phasenlage, Amplituden und Frequenzen der
Eingangssignale stellen. Der Leistungswandler kann hierdurch in
besonders kompakter Bauweise und kostengünstig aufgebaut werden.
Der Kombinierer kann zur Kombination der in den Verstärkerpfaden erzeugten Leistungen ohne Ausgleichsimpedanzen für Eingangssignale ungleicher Stärke und/oder Phasenlage ausgelegt sein. Ein solcher
Kombinierer ist besonders energiesparend und kostengünstig . Außerdem kann ein solcher Kombinierer sehr kompakt und mit wenigen Bauteilen aufgebaut werden.
Die Verstärkerpfade können Transistoren in LDMOS-Technologie aufweisen. LDMOS steht für„laterally diffused metal oxide
semiconductor". Dies sind MOSFET's, die bisher vor allem im GHz-Bereich Anwendung fanden. Die Verwendung dieser Transistoren im Bereich unter 200 MHz ist bislang noch nicht bekannt. Beim Einsatz in Verstärkern zur Erzeugung einer Leistung, die einem Plasmaprozess zuführbar ist, hat sich überraschenderweise gezeigt, dass sich diese Transistoren in LDMOS- Technologie sehr viel zuverlässiger verhalten als vergleichbare
herkömmliche MOSFET's. Dies kann auf eine sehr viel höhere
Strombelastbarkeit zurückzuführen sein. Insbesondere bei Versuchen mit mehreren Verstärkerpfaden und bei Frequenzen von 3,4 MHz, 13 MHz, 27 MHz, 40 MHz und 162 MHz haben diese Transistortypen eine besonders hohe Zuverlässigkeit gezeigt. Ein weiterer Vorteil dieser Transistortypen gegenüber herkömmlichen MOSFET's besteht darin, dass die identischen Transistoren für die genannten Frequenzen (3,4 MHz, 13 MHz, 27 MHz, 40 MHz und 162 MHz) einsetzbar sind. Damit lassen sich nun in einer sehr ähnlichen oder auch gleichen Topologie Verstärker und
Leistungsversorgungssysteme aufbauen, die bei Frequenzen über mehrere Dekaden im Bereich von 1MHz bis 200 MHz einsetzbar sind. Dies sind Frequenzen, wie sie in Plasmaprozessen und zur Gaslaseranregung oft benutzt werden. Die Frequenz ist durch einfache Veränderung der
Ansteuerung der DACs einstellbar, die Amplitude durch Veränderung der Werte im Digitalspeicher bzw. in Nachschautabellen (Look-Up-Tables). Herkömmliche MOSFET's haben bei diesen Frequenzen betrieben an Plasmaprozessen oftmals Probleme, wenn zu viel in den Plasmaprozess gelieferte Leistung zurückreflektiert wird. Deswegen musste die erzeugte Leistung oft begrenzt werden, um die reflektierte Leistung nicht über eine kritische Grenze ansteigen zu lassen. Damit ließen sich die
Plasmaprozesse nicht immer sicher zünden oder im gewünschten
Leistungsbereich betreiben. Außerdem wurden aufwändige regelbare Impedanzanpassungsschaltungen und Kombinierer vorgesehen, um diese Nachteile zu beheben. LDMOS-Transistoren sind besonders vorteilhaft einsetzbar, wenn mit reflektierter Leistung in erheblichem Maß zu rechnen ist, wie dies beispielsweise bei der Versorgung von Plasmaprozessen der Fall ist. In Verbindung mit dem oben erwähnten Kombinierer besteht der Vorteil der LDMOS-Transistoren darin, dass sehr viel höhere reflektierte Leistungen von den Transistoren aufgenommen werden können. Dadurch werden die Anforderungen an zusätzliche Zwischenleistungsversorgungssysteme und lastgeschaltete Impedanzanpassungsnetzwerke niedriger und es können bei diesen Impedanzanpassungsnetzwerken Kosten für Bauteile und Regelung eingespart werden.
Die Ansteuerschaltung kann als FPGA ausgebildet sein, das mit einem DAC der Verstärkerpfade verbunden ist, oder in ein solches integriert sein. Eine als FPGA ausgebildete Ansteuerschaltung kann besonders schnell arbeiten. Das FPGA kann durch einen digitalen Signalprozessor (DSP) angesteuert sein. Auch dadurch ergibt sich eine besonders schnelle
Signalverarbeitung und entsprechend schnelle Reaktion auf das Erkennen eines Ares in der Plasmakammer. Das FPGA kann die Arc- Managementschaltung aufweisen.
Der Leistungswandler kann Hochfrequenzleistung mit einer Frequenz > 1 MHz erzeugen, und das von dem DAC dem Verstärkerpfad zugeführte Analogsignal kann ein Signal mit dieser Frequenz sein.
Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung eines Ausführungsbeispiels der Erfindung, anhand der Figuren der Zeichnung, die erfindungswesentliche Einzelheiten zeigen, und aus den Ansprüchen. Die einzelnen Merkmale können je einzeln für sich oder zu mehreren in beliebiger Kombination bei einer Variante der Erfindung verwirklicht sein.
Ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung schematisch dargestellt und wird nachfolgend mit Bezug zu den Figuren der Zeichnung näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 in stark schematisierter Darstellung ein Plasmasystem mit
einem Leistungsversorgungssystem;
Fig. 2 in einer Blockdarstellung ein Leistungsversorgungssystem; Fig. 3 in einer Blockdarstellung ein DDS Baustein;
Fig. 4 ein Diagramm, welches den Verlauf eines Referenzsignals
darstellt, wie es beispielsweise beim Erkennen eines Ares erzeugt werden kann.
Fig. 5 in einer Blockdarstellung ein Leistungsversorgungssystem
Die Figur 1 zeigt ein Plasmasystem 1, welches ein
Leistungsversorgungssystem 2 umfasst. Das Leistungsversorgungssystem 2 weist wiederum einen Leistungswandler 3 auf, der an ein
Spannungsversorgungsnetz 4 angeschlossen sein kann. Die am Ausgang des Leistungswandlers 3 erzeugte Leistung wird über ein
Impedanzanpassungsnetzwerk 5 an eine Plasmakammer 6 gegeben, wo ein Plasma erzeugt wird, mithilfe dessen eine Plasmabearbeitung in der Plasmakammer 6 durchgeführt werden kann. Insbesondere kann ein Werkstück geätzt werden oder kann eine Materialschicht auf ein Substrat aufgebracht werden.
Die Figur 2 zeigt in stark schematisierter Darstellung ein
Leistungsversorgungssystem 20. Das Leistungsversorgungssystem 20 weist einen Leistungswandler 30 auf, der eine Ausgangsleistung erzeugt, die einer Last, beispielsweise einem Plasmaprozess oder einer
Laseranregung, zugeführt werden kann. In dem Leistungswandler 30 sind mehrere Verstärkerpfade 31 - 36 vorgesehen. Die Verstärkerpfade 31 - 36 sind weitestgehend identisch aufgebaut. Daher wird nachfolgend nur noch der Verstärkerpfad 31 beschrieben. Die Verstärkerpfade 31 - 36 weisen mehrere Verstärker 37, 38 auf, die geeignet sind, ein Analogsignal zu verstärken. Am Ende der Verstärkerpfade 31 - 36 ist jeweils ein
Verstärker 39 mit zumindest einem LDMOS-Transistor vorgesehen, dessen Ausgang direkt oder indirekt, z.B. über ein Impedanzanpassungsglied und/oder Filter, auf einen Kombinierer 40 geschaltet ist. Insbesondere sind sämtliche Ausgänge sämtlicher Verstärkerpfade 31 - 36, insbesondere in gleicher Weise, auf den Kombinierer 40 geschaltet. Durch den Kombinierer 40 werden die Einzelleistungen der Verstärkerpfade 31 - 36 zu einer Gesamtleistung gekoppelt.
Dass die Verstärkerpfade 31 - 36 weitestgehend identisch aufgebaut sind, bedeutet nicht zwingend, dass sie die gleiche Verstärkung besitzen. Bauteilstreuung und Toleranzen beim Aufbau der Schaltungen können zu erheblichen Differenzen in der Phase und/oder in der Amplitude der in den Verstärkerpfaden 31 - 36 erzeugten Hochfrequenzleistungssignalen bei identischem Eingangssignal führen.
Den Verstärkerpfaden 31 - 36 ist jeweils ein DAC 41 vorgeschaltet, dem eine Logikschaltungseinheit 42 zugeordnet ist. Insbesondere werden dem DAC 41 aus der Logikschaltungseinheit 42 Folgen von Digitalwerten zugeführt, aus denen der DAC 41 ein analoges Ausgangssignal erzeugt, welches einem Verstärkerpfad 31 -36 - gegebenenfalls nach Filterung durch einen optionalen Filter 55 - zugeführt wird. Der DAC 41 und die Logikschaltungseinheit 42 können in einem sogenannten Direkt-Digital- Synthese-Baustein (DDS-Baustein) 43 integriert sein, auch genannt:
Direct-Digital-Synthesizer. Jedem der Verstärkerpfade 31 - 36 ist ein eigener DDS-Baustein 43 und entsprechend ein DAC 41 und eine
Logikschaltungseinheit 42 zugeordnet.
Beispielhaft ist der DDS-Baustein 43 in Figur 3 beschrieben.
Die Logikschaltungseinheit 42 weist hier auf:
1. einen Signal-Datenspeicher 61, in dem Signal-Datenwerte zur
Erzeugung des Analogsignalform abgelegt sind,
2. einen Amplituden-Datenspeicher 62, in dem Amplituden-Datenwerte zur Beeinflussung der Amplituden der Analogsignale abgelegt sind,
3. einen Multiplikator 63 zur Multiplikation der Signal-Datenwerte mit den Amplituden-Datenwerten und 4. einen Zähler 64, der dafür sorgt, dass in einem vorbestimmten Takt Signal-Datenwerte aus dem Signal-Datenspeicher 61 ausgelesen und dem Multiplikator zugeführt werden.
Sowohl der Signal-Datenspeicher 61 als auch der Amplituden- Datenspeicher 62 können als sogenannte Nachschautabellen (Look-Up- Tables, LUT) ausgebildet sein.
Der DAC 41 weist weiterhin einen Referenzsignaleingang 44 auf, dem eine Ansteuerschaltung 45 vorgeschaltet sein kann, um ein Referenzsignal zu erzeugen. Die Ansteuerschaltung 45 kann in der noch zu
beschreibenden digitalen Logikschaltung (Programmable Logic Device, PLD) 46 realisiert werden. Die digitale Logikschaltung kann als eine Feld programmierbare (Logik-)Gatter-Anordnung (Field Programmable Gate Array, FPGA) ausgebildet sein. Ebenso kann die Ansteuerschaltung 45 als FPGA ausgebildet sein oder Bestandteil eines FPGA sein.
Durch das am Referenzsignaleingang 44 eingegebene Referenzsignal kann das Ausgangssignal, also das generierte Analogsignal des DAC 41, beeinflusst werden. Dem DDS-Baustein 43 ist die digitale Logikschaltung 46 vorgeschaltet, welche insbesondere ebenfalls einen als Look-Up-Table (LUT) ausgebildeten Speicher 47 aufweist. In dem Speicher 47 können Amplituden-Datenwerte abgelegt sein, die vom Speicher 47 in den
Amplituden-Datenspeicher 62 geschrieben werden können. Zusätzlich können auch Daten zur Phasenkorrektur abgelegt sein. Die Werte, die im Speicher 47 abgelegt sind, dienen der Kompensierung von Unterschieden in den Verstärkerpfaden 31-36 oder in nachgeschalteten Kombinierern 40. Sie können der Logikschaltungseinheit 42, insbesondere dem Amplituden- Datenspeicher 62, übergeben werden. Die digitale Logikschaltung 46 wird durch einen digitalen Prozessor, insbesondere Digitalen Signalprozessor (DSP) 48 angesteuert, der mit einer Systemsteuerung 49 über einen Datenbus 50 in Verbindung steht. Der digitale Prozessor, insbesondere Digitale Signalprozessor (DSP) 48, der Speicher 47 und die Logikschaltungseinheiten 42 können in einem Logikbauelement 58 realisiert werden. Das Logikbauelement 58 kann als digitale Logikschaltung PLD, insbesondere FPGA, ausgebildet sein. Wenn auch noch die DAC 41 integriert werden, ergibt sich ein kompakter
Logikbaustein 57. Der digitale Prozessor, insbesondere DSP, 48, der Speicher 47, die DDS-Bausteine 43 und auch die DACs 41 sowie die Filter 55 und die ersten Verstärker 37 können auf einer Leiterkarte 56 realisiert werden. Die identische Leiterkarte 56 kann für eine Vielzahl
unterschiedlicher Leistungsversorgungssysteme mit unterschiedlichen Leistungen, unterschiedlichen Frequenzen und unterschiedlichen
Versorgungslasten (Laser, Plasma etc.) eingesetzt werden.
Die Ausgangsleistung des Kombinierers 40 wird über einen Richtkoppler 51 an eine Last, z.B. einen Plasmaprozess, gegeben. Durch den
Richtkoppler 51 kann die ausgegebene Leistung und eine von der Last reflektierte Leistung erfasst werden. Die Messsignalaufbereitung erfolgt mit Messmitteln 52, die mit dem Richtkoppler 51 in Verbindung stehen. Die Messmittel 52 sind wiederum mit der Systemsteuerung 49 verbunden. Somit kann über die Systemsteuerung 49 anhand der erfassten
Ausgangsleistung und der erfassten reflektierten Leistung bestimmt werden, welche Ausgangsleistung vom Kombinierer 40 erzeugt werden soll. Entsprechend dieser Vorgabe kann die Systemsteuerung 49 den DSP 48 und dieser wiederum das FPGA 46 ansteuern.
In den Messmitteln kann eine Aberkennung realisiert sein. Um eine schnelle Reaktion auf einen Are zu erreichen, kann die Aberkennung, d.h. die Messmittel, unmittelbar mit dem DAC 41, insbesondere dessen
Referenzsignaleingang 44, oder der Ansteuerschaltung 45, in Verbindung stehen. In den Speichern 47 sind Digitalwerte abgespeichert, die sowohl eine Amplitudeninformation als auch eine Phasen- und ggf. auch
Frequenzinformation enthalten, so dass am Ausgang des DAC 41 ein Analogsignal mit einer vorgegebenen Amplitude, Frequenz- und
Phasenlage erzeugt werden kann. Dadurch ist es möglich, die
Ausgangssignale der einzelnen Verstärkerpfade 31 - 36 aufeinander abzustimmen, so dass diese im Kombinierer 40 für eine verbesserte Ausgangsleistung gekoppelt werden können. Insbesondere können auf diese Art und Weise sehr einfache Kombinierer 40 ohne Verlust
erzeugende Ausgleichsimpedanzen eingesetzt werden und eine
Verlustleistung gering gehalten werden.
Durch die erfindungsgemäße Art und Weise ein analoges Signal zu erzeugen, kann sehr schnell die Leistung im Ausgang des Kombinierers 40 beeinflusst und verändert werden.
In dem Diagramm der Figur 4 ist eine Spannung, die einem
Eingangssignal am Referenzsignaleingang eines DAC entspricht,
gegenüber der Zeit aufgetragen. Bei der Position tl wird ein Überschlag erkannt. In der Folge wird die Spannung des Referenzsignals erhöht, was durch die Ziffer 12 angedeutet wird. Im gezeigten Fall wird die Spannung des Referenzsignals rampenförmig erhöht. Dies führt dazu, dass das Ausgangssignal des DAC reduziert wird. Anstatt das Referenzsignal rampenförmig zu erhöhen, könnte es auch sprungartig auf einen
Maximalwert erhöht werden, was dazu führen würde, dass sprungartig die Arclöschleistung eingestellt wird . Bei der Position t3 wird das Erlöschen des Ares erkannt. In der Folge wird die Spannung des Referenzsignals reduziert, was durch die Ziffer 14 gezeigt ist. Somit wird die vorher eingestellte Ausgangsleistung des DAC wieder hergestellt.
Das in Fig. 5 in einer Blockdarstellung dargestellte Leistungsversorgungssystem 20 ist eine leicht veränderte Darstellung des Leistungsversorgungssystems 20 aus Fig. 2. Die gleichen Komponenten sind mit denselben Referenzeichen versehen. Das Leistungsversorgungssystem 20 weist auch hier einen Leistungswandler 30 auf, der eine
Ausgangsleistung erzeugt, die einer Last, beispielsweise einem Plasma- prozess oder einer Laseranregung, zugeführt werden kann. In dem
Leistungswandler 30 sind mehrere Verstärkerpfade 31, 32 vorgesehen, wobei hier nur zwei Verstärkerpfade dargestellt sind und der Verstärkerpfad 32 weitestgehend identisch aufgebaut ist wie der Verstärkerpfad 31.
Die Ausgangsleistung des Kombinierers 40 wird über eine
Messeinrichtung 70, die einen Richtkoppler 51 aufweist, an eine Last, z. B. einen Plasmaprozess, gegeben. Durch den Richtkoppler 51 kann die ausgegebene Leistung und eine von der Last reflektierte Leistung erfasst werden. Alternativ zum Richtkoppler kann alternativ oder zusätzlich auch andere Auskoppeleinrichtungen verwendet werden, beispielsweise eine Übertragereinrichtung zur Messung von Strom und/oder ein
Spannungsteiler zur Messung der Spannung.
Die Messeinrichtung 70, die als Aberkennung aufgefasst werden kann, weist weiterhin einen ADC 59 auf. Dabei können der Richtkoppler 51 und der ADC 59 auf derselben Leiterkarte angeordnet sein. Der Richtkoppler 51 kann in planarer Bauweise ausgeführt sein. Die Messeinrichtung 70 weist weiterhin eine Logikschaltung 53 auf zur Generierung eines Arc- erkennungssignals, welches direkt dem DDS 43 zugeführt wird. Die direkte Zuführung ist durch den Pfeil 54 angedeutet. Insbesondere wird dadurch angedeutet, dass die Leitung für das Arcerkennungssignal durch die digitale Logikschaltung 46 hindurch geschleift werden kann. Die Logikschaltung 53, der Richtkoppler 51 und der ADC 59 können auf einer Leiterkarte realisiert sein. Die ADC 59 und die Logikschaltung 53 können in einem Baustein realisiert sein. Weiterhin ist eine Arc-Managementschaltung 60 vorgesehen, die im Ausführungsbeispiel in der digitalen Logikschaltung 46, die als FPGA ausgebildet sein kann, angeordnet ist. Die Arc-Managementschaltung ist, da sie in der Logikschaltung 46 angeordnet ist, ebenfalls mit dem DDS 43 bzw. dem DAC 41 verbunden. Dabei kann die Arc-Managementschaltung 60 wie hier gezeigt mit der Logikschaltungseinheit 42 verbunden sein. Alternativ kann der DAC 41 neben dem Referenzsignaleingang einen Digitalsignaleingang aufweisen, der mit der digitalen Logikschaltung 46, insbesondere der Arc-Managementschaltung 60 in Verbindung steht.
Die digitale Logikschaltung 46 kann noch weitere Logikoperatoren aufweisen, was mit der Bezugsziffer 61 angedeutet ist. Die mit der Bezugsziffer 54 angedeutete Leitung kann als spezifische Leitung aufgefasst werden, über die ein Signal besonders schnell an den DAC 41 gegeben werden kann.
Die Aufbereitung des Arcerkennungssignals erfolgt direkt in der
Messeinrichtung 70, ohne dass weitere Logikbausteine der digitalen Logikschaltung 46 an der Generierung des Arcerkennungssignals beteiligt wären. Es genügt somit ein einziges Signal, um das System über die Existenz eines Ares zu informieren. Durch die direkte Anbindung des Arcerkennungssignals an den DAC 41 kann der Are praktisch ohne
Verzögerung wahrgenommen werden. Diese„Ultra-fast Arc-Handling- Routine" kann durch weitere Logik, beispielsweise die Arc- Managementschaltung 60, ergänzt werden, die übergeordnet weitere Entscheidungen trifft, aber deutlich langsamer reagiert.

Claims

Patentansprüche
1. Arclöschverfahren zur Löschung von Ares in einer Plasmakammer (6) eines Plasmasystems (1), umfassend die Verfahrensschritte: a. Erzeugung einer Leistung während eines Plasmabetriebs zur Erzeugung eines Plasmas in der Plasmakammer (6) und zur Durchführung eines Plasmabearbeitungsprozesses unter
Verwendung des erzeugten Plasmas, indem mit einem Digital- Analog-Wandler (41) ein Analogsignal generiert wird, das einem Verstärkerpfad (31, 32) zugeführt und dort verstärkt wird;
b. Überwachung des Plasmasystems (1) hinsichtlich des Auftretens eines Ares durch eine Arcerkennung;
c. bei Erkennen eines Ares im Schritt b. :
Ansteuern des Digital-Analog-Wandlers (DAC) (41) durch die
Arcerkennung, derart, dass ein analoges Ausgangssignal des DACs (41) verändert wird.
2. Arclöschverfahren nach Anspruch 1, wobei ein oder mehrere Digital- Analog-Wandler (41) bei Erkennen eines Ares durch die
Arcerkennung angesteuert werden.
3. Arclöschverfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
wobei die Arcerkennung eine Arcmanagementschaltung (60) ansteuert, die wiederum direkt oder indirekt den oder die DAC (41) ansteuert.
4. Arclöschverfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
wobei die Überwachung des Plasmasystems (1) hinsichtlich des Auftretens eines Ares erfolgt, indem ein mit der in das Plasma gelieferten Leistung Pi und/oder ein mit der von dem Plasma reflektierten Leistung Pr und/oder mit einem in das Plasma
fließenden Strom und/oder einer an das Plasma angelegten
Spannung in Beziehung stehendes Signal erfasst wird und daraus ein Arcerkennungssignal generiert wird.
5. Arclöschverfahren nach Anspruch 4, wobei das erfasste Signal von einem Analog Digital Wandler (ADC) (59) in digitalisierte Werte umgesetzt wird, diese digitalisierten Werte einer Logikschaltung (53), insbesondere einem programmierbaren Logikbaustein (PLD) zugeführt werden, wobei der PLD diese digitalisierten Werte auswertet und das Arcerkennungssignal erzeugt.
6. Arclöschverfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
wobei die Erzeugung der Leistung erfolgt, indem eine
Hochfrequenzleistung insbesondere mit einer Frequenz größer 1 MHz erzeugt wird und der oder die DAC (41) so angesteuert werden, dass diese(r) ein Signal mit dieser Frequenz erzeugen.
7. Arclöschverfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
wobei das erfasste Signal vom ADC (59) mit einer Frequenz größer 1 MHz abgetastet wird und der PLD mit einem Taktsignal einer Frequenz größer 1 MHz getaktet wird.
8. Arclöschverfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
wobei dem ADC (59) und dem PLD dasselbe Taktsignal zugeführt wird.
9. Arclöschverfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
wobei in Schritt c. eine Arclöschleistung erzeugt wird, die geringer ist als die Plasmabetriebsleistung zur Versorgung der Plasmakammer (6) mit der Arclöschleistung während eines
Arclöschbetriebs,
wobei die Plasmabetriebsleistung und die Arclöschleistung zumindest teilweise erzeugt werden, indem ein Digital-Analog-Wandler (DAC) (41) in Abhängigkeit von der Überwachung des Plasmasystem hinsichtlich des Auftretens eines Ares angesteuert wird und das analoge Ausgangssignal des DAC (41) in einem nachfolgenden Verstärkerpfad (31-36) zu zumindest einem Teil der Plasmaleistung oder der Arclöschleistung verstärkt wird.
10. Arclöschverfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei ein oder mehrere weitere Digital-Analog-Wandler (41) in Abhängigkeit von der Überwachung des Plasmasystem hinsichtlich des Auftretens eines Ares angesteuert werden und das jeweilige analoge Ausgangssignal der Digital-Analog-Wandler (41) in einem nachfolgenden Verstärkerpfad (31-36) zu einem Teil der
Plasmaleistung oder der Arclöschleistung verstärkt wird.
11. Arclöschverfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die analogen Ausgangssignale von zumindest zwei DAC (41) in den jeweils nachfolgenden Verstärkerpfaden (31-36)
unterschiedlich verstärkt werden oder unterschiedliche
Durchlaufzeiten durch die Verstärkerpfade (31-36) erfahren.
12. Arclöschverfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei dem zumindest einen Verstärkerpfad (31-36) ein von einem DAC (41) aus einem Digitalsignal erzeugtes Analogsignal zugeführt und in dem Verstärkerpfad zu einem Hochfrequenzleistungssignal verstärkt wird, wobei das Digitalsignal erzeugt wird, indem ein in einem Signal-Datenspeicher (61) abgelegter Signal-Datenwert mit einem in einem Amplituden-Datenspeicher (62) abgelegten
Amplituden-Datenwert multipliziert wird.
13. Arclöschverfahren nach Anspruch 12, wobei zum Umschalten von der Erzeugung der Plasmabetriebsleistung zur Erzeugung der Arclöschleistung die im Amplituden-Datenspeicher (62) abgelegten Amplituden-Datenwerte geändert werden.
14. Arclöschverfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei zumindest einem DAC (41) im Plasmabetrieb und im
Arclöschbetrieb dieselbe Folge von Digitalwerten zugeführt wird .
15. Arclöschverfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei von zumindest einem DAC (41) im Plasmabetrieb ein anderes analoges Ausgangssignal erzeugt wird als im Arclöschbetrieb.
16. Arclöschverfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei zumindest einem DAC (41) im Plasmabetrieb ein anderes Referenzsignal zugeführt wird als im Arclöschbetrieb.
17. Arclöschverfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei bei Erkennen eines Ares stufenweise oder rampenförmig von der Plasmabetriebsleistung auf die Arclöschleistung übergegangen wird.
18. Leistungsversorgungssystem (20) mit einem ein
Hochfrequenzsignal erzeugenden Leistungswandler (30), der zur Versorgung eines Plasmaprozesses mit Hochfrequenz-Leistung mit einer Plasmakammer (6) verbindbar ist, wobei der Leistungswandler (30) einen ersten Verstärkerpfad (31-36) aufweist, dem ein von einem DAC (41) erzeugtes Analogsignal zugeführt ist, wobei der DAC (41) zumindest mittelbar insbesondere direkt mit einer Arcerkennung verbunden ist.
19. Leistungsversorgungsystem nach Anspruch 18, wobei eine Messeinrichtung (70) vorgesehen ist, in die die Arcerkennung integriert ist, wobei die Messeinrichtung (70) einen ADC (59) aufweist und wobei die Messeinrichtung (70) eine Logikschaltung (53) zur Generierung des Arcerkennungssignals aufweist.
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