WO2014058010A1 - 光学組立体の製造方法および組立用レンズの設計方法 - Google Patents

光学組立体の製造方法および組立用レンズの設計方法 Download PDF

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Abstract

光学組立体の製造方法は、第1レンズから第n-1レンズ(ただし、nは1<n≦Nの整数)までをレンズ保持部材に組み立てて、先組み組立体を組み立てる第1の組立工程(S1)と、先組み組立体における第1の光学系の光学特性を測定する光学特性測定工程(S2)と、光学特性の測定結果に基づいて、第1の光学系の光学特性の設計値からのずれ量を求め、少なくとも第nレンズ自体の光学パラメータをその設計値から変更することにより、第nレンズの光学パラメータの補正値を算出する光学パラメータ補正値算出工程(S3)と、補正値に基づいて第nレンズを製造するレンズ製造工程(S4)と、レンズ製造工程(S4)で製造された第nレンズを先組み組立体に組み立てる第2の組立工程(S5)とを備える。

Description

光学組立体の製造方法および組立用レンズの設計方法
 本発明は、光学組立体の製造方法および組立用レンズの設計方法に関する。
 本願は、2012年10月11日に、日本に出願された特願2012-225926号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
 従来、光学機器において光学素子を使用する場合に、複数の光学素子を組み合わせて互いの相対位置を固定した光学組立体が用いられている。このような光学組立体の一例としては、例えば、複数のレンズを保持枠に固定した光学ユニットを挙げることができる。
 近年、光学機器の性能向上が求められており、これに伴って光学組立体の光学特性の要求品質も高度化している。
 光学組立体の光学性能を向上するには、光学組立体に含まれる各光学素子や保持枠の部品精度を向上することが必要であるが、部品精度のみで要求品質に対応しようとすると、加工限界に達したり、加工できるとしても製造コストが増大しすぎたりという問題がある。
 このため、例えば、光学素子や保持枠を形状誤差で層別し組立誤差が良好となるように組み合わせて組み立てたり、光学特性を評価しつつ光学特性が良好となる位置に光学素子の位置を調整して組み立てたりする場合がある。
 例えば、特許文献1には、2つのレンズをスペーサ治具によって仮支持した状態で鏡筒にそれぞれを接着固定し、その後、スペーサ治具を抜き取るレンズ間隔調整方法を用いて、各レンズを鏡筒に組み立てる技術が記載されている。
日本国特開2010-243961号公報
 しかしながら、上記のような従来技術の光学組立体の製造方法には、以下のような問題がある。
 特許文献1に記載の技術では、スペーサ治具を用いてレンズ間の相対位置を決めているため、鏡筒への接着固定が可能であるが、レンズや鏡筒の加工誤差は一定とは限らないため、改善効果には限界があるという問題がある。種々の加工誤差に対応しようとすると、スペーサ治具の種類が膨大となり、それらを管理して正確に組立作業を行う必要があるため、作業性が悪化してしまう。
 また、光学組立体は3以上の光学素子を備えることも多いが、特許文献1に記載の技術では、光学素子の個数が増えると、組立作業がさらに複雑になってしまうという問題もある。
 このため、組立時に光学組立体の透過光のスポットなどを測定し、各光学素子の配置位置を微調整してから、互いの相対位置を固定することも考えられる。
 この場合、精密な調整を行うほど、調整時間がかかり、計測器や調整治具等が占有されてしまうため、生産性が悪くなってしまうという問題がある。
 また、部品コストの低減や光学組立体の小型化を目的として、光学素子を保持枠などに接着固定する場合があるが、多自由度の微調整を行うには、光学組立体の周囲に種々の治具や測定器を配置する必要があるため、光学素子と保持枠等との位置関係を維持して接着固定を行うことが困難になるおそれがある。接着固定ができない場合には、例えば、保持枠に予め調整用の移動機構を設けたりする必要があるため、部品コストが増大したり、小型化ができなくなったりする問題がある。
 本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、組み付け位置の調整を行わなくても良好な光学特性が得られる光学組立体の製造方法および組立用レンズの設計方法を提供することを目的とする。
 上記の課題を解決するために、本発明の第1の態様の光学組立体の製造方法は、予め決められた光学パラメータの設計値に基づいて全体光学系を構成するため、前記全体光学系の基準軸に沿って、第1レンズから第NレンズまでN個(ただし、Nは2以上の整数)のレンズがレンズ保持部材に組み立てられた光学組立体を製造する光学組立体の製造方法であって、前記N個のレンズのうち、第1レンズから第n-1レンズ(ただし、nは1<n≦Nの整数)までを前記レンズ保持部材に組み立てて先組み組立体を組み立てる第1の組立工程と、前記先組み組立体におけるn-1個のレンズを含む第1の光学系、または前記光学パラメータの設計値による第nレンズに相当する仮組み用レンズが前記先組み組立体に仮組みされて形成される第2の光学系の光学特性を測定する光学特性測定工程と、前記光学特性の測定結果に基づいて、前記第1の光学系の光学特性の設計値からのずれ量を求め、少なくとも前記第nレンズ自体の前記光学パラメータをその設計値から変更することにより、前記ずれ量を補正する前記第nレンズの前記光学パラメータの補正値を算出する光学パラメータ補正値算出工程と、前記補正値に基づいて、前記第nレンズを製造するレンズ製造工程と、前記レンズ製造工程で製造された前記第nレンズを前記先組み組立体に組み立てる第2の組立工程とを備え、少なくとも1つのnについて、前記第1の組立工程、前記光学特性測定工程、前記光学パラメータ補正値算出工程、前記レンズ製造工程、および前記第2の組立工程をこの順に行うことにより、前記光学組立体を製造する。
 本発明の第2の態様によれば、上記第1の態様において、上記光学組立体の製造方法では、前記第nレンズ自体の前記光学パラメータは、前記第nレンズの基準軸に直交する方向におけるレンズ面のシフト量、前記基準軸に対するチルト量、前記レンズ面同士の間の面間隔、前記レンズ面の面形状、および前記レンズ面間の屈折率のうちから選ばれた1種類以上の光学パラメータであってもよい。
 本発明の第3の態様によれば、上記第1の態様、または、上記第2の態様において、前記光学パラメータ補正値算出工程で算出する前記光学パラメータの補正値は、前記レンズ保持部材に対する前記第nレンズのレンズ面の配置を変更する前記光学パラメータの補正値を含んでいてもよい。
 本発明の第4の態様によれば、上記第1の態様から上記第3の態様のいずれか一態様において、前記レンズ製造工程では、前記第nレンズにおける前記光学パラメータの設計値に基づいて原形レンズを製造した後、前記原形レンズの少なくともレンズ面を再加工することにより、前記補正値に基づいて前記第nレンズを製造してもよい。
 本発明の第5の態様によれば、上記第4の態様において、上記の少なくともレンズ面を再加工する光学組立体の製造方法の製造方法では、前記原形レンズの前記レンズ面の再加工は、前記原形レンズのレンズ面上に、成形型を用いた樹脂成形によって付加部を形成することにより、前記付加部の表面に前記補正値に基づくレンズ面を創成する加工であってもよい。
 本発明の第6の態様によれば、上記第1の態様から上記第3の態様のいずれか一態様において、前記レンズ製造工程では、前記第nレンズにおける前記光学パラメータの補正値に基づいた形状の第nレンズをレンズ材料から製造してもよい。
 本発明の第7の態様によれば、上記第6の態様において、前記レンズ製造工程では、成形型を用いて前記レンズ材料を成形することにより前記第nレンズを製造してもよい。
 本発明の第8の態様によれば、上記第1の態様から上記第7の態様のいずれか一態様において、前記光学特性測定工程では、前記光学特性のうち、少なくとも非対称成分の大きさを測定し、前記光学パラメータ補正値算出工程では、前記ずれ量として、前記非対称成分の大きさが補正されるように、前記光学パラメータの補正値を算出してもよい。
 本発明の第9の態様によれば、予め決められた光学パラメータの設計値に基づいて全体光学系を構成するため、前記全体光学系の基準軸に沿って、第1レンズから第NレンズまでN個(ただし、Nは2以上の整数)のレンズがレンズ保持部材に組み立てられた光学組立体の製造に用いる組立用レンズの設計方法であって、前記N個のレンズのうち、第1レンズから第n-1レンズ(ただし、nは1<n≦Nの整数)までを前記レンズ保持部材に組み立てて先組み組立体を組み立てる第1の組立工程と、前記先組み組立体におけるn-1個のレンズを含む第1の光学系、または前記光学パラメータの設計値による第nレンズに相当する仮組み用レンズが前記先組み組立体に仮組みされて形成される第2の光学系の光学特性を測定する光学特性測定工程と、前記光学特性の測定結果に基づいて、前記第1の光学系の光学特性の設計値からのずれ量を求め、少なくとも前記第nレンズ自体の前記光学パラメータをその設計値から変更することにより、前記ずれ量を補正する前記第nレンズの前記光学パラメータの補正値を算出する光学パラメータ補正値算出工程と、を備え、前記補正値に基づいて、前記先組み組立体に前記第nレンズとして組み立てる。
 上記の光学組立体の製造方法および組立用レンズの設計方法によれば、光学特性測定工程によって、n-1個のレンズ含む第1の光学系の光学特性の設計値からのずれ量を第1の光学系を含む光学系の光学特性測定によって求めてから、このずれ量を補正する第nレンズの光学パラメータの補正値を算出し、この補正値に基づく第nレンズを製造できる。これにより、組み付け位置の調整を行わなくても良好な光学特性が得られるという効果を奏する。
本発明の第1の実施形態の光学組立体の製造方法で組み立てられた光学組立体の一例を示す断面図である。 図1AのA視図である。 本発明の第1の実施形態の光学組立体の光軸を含む断面における模式的な分解図である。 本発明の第1の実施形態の先組み組立体に組み立てる組立用レンズの一例を示す断面図である。 図3AのB視図である。 本発明の第1の実施形態の光学組立体の製造方法の工程フローを示すフローチャートである。 本発明の第1の実施形態における第1の光学系および第2の光学系の設計値の光路の一例を示す模式的な光路図である。 本発明の第1の実施形態における第1の光学系および第2の光学系の設計値の光路の一例を示す模式的な光路図である。 本発明の第1の実施形態における第1の光学系が製造誤差を含む場合、およびその場合の比較例の第2の光学系の光路の一例を示す模式的な光路図である。 本発明の第1の実施形態における第1の光学系が製造誤差を含む場合、およびその場合の比較例の第2の光学系の光路の一例を示す模式的な光路図である。 本発明の第1の実施形態の光学組立体の製造方法における光学特性測定工程の模式的な工程説明図である。 本発明の第1の実施形態の光学組立体の光路の一例を示す模式的な光路図である。 本発明の第1の実施形態の光学組立体の光路の他例を示す模式的な光路図である。 本発明の第1の実施形態の光学組立体の製造方法のレンズ製造工程に用いる成形装置の模式的な構成図である。 本発明の第1の実施形態の光学組立体の製造方法のレンズ製造工程の模式的な工程説明図である。 本発明の第1の実施形態の光学組立体の製造方法のレンズ製造工程の模式的な工程説明図である。 図11Bに続くレンズ製造工程の模式的な工程説明図である。 本発明の第1の実施形態の第1変形例の光学組立体の製造方法で組み立てられた光学組立体の一例を示す断面図である。 図13Aの模式的な光路図である。 本発明の第1の実施形態の第2変形例の光学組立体の製造方法で組み立てられた光学組立体の一例を示す断面図である。 図14Aの模式的な光路図である。 本発明の第1の実施形態の第4変形例の光学組立体の製造方法の工程フローを示すフローチャートである。 本発明の第2の実施形態の光学組立体の製造方法で組み立てられた光学組立体の一例を示す断面図である。 本発明の第2の実施形態の先組み組立体に組み立てる組立用レンズの一例を示す断面図である。 図17AのC視図である。 本発明の第2の実施形態の光学組立体の製造方法のレンズ製造工程に用いる成形装置の模式的な構成図である。
 以下では、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。すべての図面において、実施形態が異なる場合であっても、同一または相当する部材には同一の符号を付し、共通する説明は省略する。
[第1の実施形態]
 本発明の第1の実施形態の光学組立体の製造方法および組立用レンズの設計方法について説明する。
 図1Aは、本発明の第1の実施形態の光学組立体の製造方法で組み立てられた光学組立体の一例を示す模式的な断面図である。図1Bは、図1AにおけるA視図である。図2は、本発明の第1の実施形態の光学組立体の光軸を含む断面における模式的な分解図である。図3Aは、本発明の第1の実施形態の先組み組立体に組み立てる組立用レンズの一例を示す断面図である。図3Bは、図3AにおけるB視図である。
 本実施形態の光学組立体の製造方法は、予め決められた光学パラメータの設計値に基づいて全体光学系を構成するため、この全体光学系の基準軸に沿って、第1レンズから第NレンズまでN個(ただし、Nは2以上の整数)のレンズがレンズ保持部材に組み立てられた光学組立体を製造する方法であって、第1レンズから第n-1レンズ(ただし、nは1<n≦Nの整数)までを先組み組立体として組み立てて、この先組み組立体に第nレンズを組み立てる工程を含んでいる。
 以下では、先組み組立体における第1レンズから第n-1レンズを含む光学系を第1の光学系、第1の光学系にn個目のレンズを組み立てることによりn個のレンズを含む光学系を第2の光学系と称する。すなわち、単に、第2の光学系と称する場合、n個目のレンズは第nレンズでもよいし第nレンズ以外のレンズでもよい。
 光学組立体のN個のレンズの種類は、特に限定されず、例えば、両凸レンズ、両凹レンズ、平凸レンズ、平凹レンズ、正負のメニスカスレンズ、および接合レンズなどの例を挙げることができる。また、例えば、フレネルレンズなどでもよい。
 また、N個のレンズの各レンズ面の形状の種類も特に限定されず、例えば、球面、非球面、自由曲面、平面等の適宜の面形状を採用することができる。
 ここで、「光学組立体」とは、各光学素子の相対的な位置関係が固定されたひとまとまりの組立体を意味し、光学素子の固定状態は、恒久的な固定状態でもよいし、着脱可能な固定状態でもよい。
 また、光学組立体は、例えば、交換レンズのように、それ自体が製品を構成する形態であってもよいし、製品の一部を構成する交換ユニット等の半製品や、製品の製造工程のみに現れる部分組立体であってもよい。例えば、ズームレンズにおいて移動レンズ群と、固定レンズ群とをそれぞれ別個のレンズ鏡筒に固定する場合、移動レンズ群を含む鏡筒ユニットと、固定レンズ群を含む鏡筒ユニットとは、それぞれ光学組立体を構成している。
 以下では、一例として、光学組立体が、図1A、図1Bに示す光学ユニット1である場合の例で説明する。
 光学ユニット1は、小組立体4(先組み組立体)と、第2レンズ7(第nレンズ、組立用レンズ)とを備える。
 小組立体4は、図2に示すように、第1の光学系である第1レンズ2(第n-1レンズ)がレンズ保持枠3(レンズ保持部材)に固定されている。
 このように、本実施形態では、光学ユニット1が、全体光学系を構成するレンズとして、第1レンズ2と第2レンズ7との2個のレンズを有する場合(N=2)の例になっている。
 第1レンズ2は、本実施形態では、凸面からなる第1レンズ面2aと凸面からなる第2レンズ面2bとを有し、それぞれ外周側にフランジ形状が設けられた両凸レンズである。
 第1レンズ2のフランジ形状の外形は、光軸O2を中心とした直径D2cの円筒面である径方向基準面2cと、第2レンズ面2bの外周と径方向基準面2cとの間に形成された光軸O2に直交する平面である軸方向基準面2dと、第1レンズ面2aの外周と径方向基準面2cとの間に形成された光軸O2に直交する平面である平面部2eとで構成されている。
 第1レンズ2は、合成樹脂成形で作製されたプラスチックレンズでもよいし、ガラスモールド成形やガラス研磨によって作製されたガラス製レンズでもよい。
 ここで、光軸O2は、レンズ設計上の光軸を意味している。これに対して、図2では、製作誤差によって第1レンズ面2aにチルト偏心が発生し、実際には、レンズ設計上の光軸O2に対して、わずかに傾斜した光軸O2’が形成されている様子を誇張して描いている。
 以下では、これに限らず、光学素子や光学面の光軸が、光学素子の設計上または光学素子を含む光学系の設計上の理想位置からずれていることを明示する必要がある場合には、光軸の符号に「’」を付して表記する場合がある。
 レンズ保持枠3は、第1レンズ2および第2レンズ7を内部に保持する略筒状部材であり、例えば、アルミニウム等の金属や合成樹脂などで形成されている。
 レンズ保持枠3の外周面は、図2に示すように、外径d3eの円筒面形状を有する光学ユニット径方向基準面3eからなり、軸方向の両端部は、光学ユニット径方向基準面3eの中心軸線P3に直交する平面が形成されている。軸方向の一端側(図2の下端側)の端面は、光学ユニット1の軸方向の位置決めを行う光学ユニット軸方向基準面3fになっている。
 本実施形態では、中心軸線P3は、全体光学系を配置する基準軸を構成しており、中心軸線P3と光学ユニット軸方向基準面3fとの交点が、全体光学系の基準原点Oを構成している。
 レンズ保持枠3の内部には、第1レンズ2を挿入して固定するため、光学ユニット軸方向基準面3fにおいて開口された穴部が設けられている。この穴部には、第1レンズ2を、レンズ保持枠3の径方向、軸方向にそれぞれ位置決めするため、内径d3b(ただし、d3b>D2c)を有し中心軸線P3と同軸に設けられた円筒面からなる第1レンズ径方向保持面3bと、中心軸線P3に直交する平面からなる第1レンズ軸方向保持面3aとが、それぞれ形成されている。
 第1レンズ軸方向保持面3aは、第1レンズ2に製造誤差、組立誤差がない場合(以下、理想状態と称する)の第1レンズ2を、第1レンズ径方向保持面3bに挿入して、軸方向基準面2dを第1レンズ軸方向保持面3aに当接させたときに、第2レンズ面2bがレンズ設計上の配置位置および配置姿勢に一致するように形成されている。
 第1レンズ軸方向保持面3aの中心には、内径d3g(ただし、d3g<D2c)の貫通孔3gが設けられている。このため、第1レンズ軸方向保持面3aは、内径がd3g、外径がd3bの円環状の平面になっている。
 本実施形態では、レンズ保持枠3に第1レンズ2を組み立てる際には、第1レンズ2の位置調整を行わない。このため、第1レンズ径方向保持面3bの内径d3bと第1レンズ2の径方向基準面2cの外径D2cとの寸法差は、加工能力に負担にならない範囲でなるべく小さい方が好ましい。
 また、レンズ保持枠3の他端側(図2では上端側)には、第2レンズ7を挿入して固定するため、光学ユニット軸方向基準面3fと反対側の端面において開口された穴部が設けられている。この穴部には、第2レンズ7を、レンズ保持枠3の径方向、軸方向にそれぞれ位置決めするため、内径d3c(ただし、d3c>d3g)を有し中心軸線P3と同軸に設けられた円筒面からなる第2レンズ径方向保持面3cと、中心軸線P3に直交する平面からなる第2レンズ軸方向保持面3dとが、それぞれ形成されている。このため、第2レンズ径方向保持面3cは、内径がd3g、外径がd3cの円環状の平面になっている。
 第2レンズ軸方向保持面3dは、理想状態の第2レンズである後述の原形レンズ5を位置決めして、原形レンズ5のレンズ面の配置位置および配置姿勢がレンズ設計上の配置位置および配置姿勢に一致するように形成されている。
 なお、特に図示しないが、レンズ保持枠3の光学ユニット軸方向基準面3fと反対の端面または光学ユニット径方向基準面3eには、第2レンズ7を組み立てる際の中心軸線P3回りの周方向の基準位置を識別するためのマーキングが施されている。
 小組立体4において、第1レンズ2は、レンズ保持枠3の第1レンズ軸方向保持面3a、第1レンズ径方向保持面3bを有する穴部に挿入され、第1レンズ軸方向保持面3a、第1レンズ径方向保持面3bによって、それぞれ第1レンズ2の軸方向、径方向の位置が位置決めされている。ただし、本実施形態では、第1レンズ2は無調整で挿入するため、作業バラツキにより、挿入隙間の範囲において、第1レンズ2の位置、姿勢がばらつく可能性がある。
 また、第1レンズ2は、第1レンズ2の平面部2eの外周部と第1レンズ径方向保持面3bとで構成される隅部に形成された接着部8によって、レンズ保持枠3と固定されている。
 接着部8は、平面視の図示は略すが、本実施形態では、例えば、平面部2eの外周を3等分する位置に離間して形成している。ただし、より強固に固定する必要がある場合には、接着部8の個数をさらに増やしてもよいし、平面部2eの全周にわたって設けてもよい。
 接着部8に好適な接着剤としては、例えば、UV硬化型接着剤、二液性接着剤、熱硬化性接着剤等の例を挙げることができる。
 第2レンズ7は、小組立体4が組み立てられた後、小組立体4に組み立てて、光学ユニット1を構成するレンズであり、第1レンズ2の製造誤差や組立誤差によって小組立体4で発生した設計外の収差を、補正する機能を有するレンズである。
 本実施形態の光学ユニット1は、使用時の光学特性として、特にコマ収差や非点収差(アス)で表される非回転対称な収差成分を抑制することが特に重要となる。
 このため、本実施形態では、第2レンズ7として、図2、図3A、図3Bに示すように、原形レンズ5と付加レンズ部6(付加部)とを備える構成を採用している。
 原形レンズ5は、全体光学系のレンズ設計において、全体光学系の基準軸に沿って、理想状態の第1レンズ2の隣に配置される第2レンズの光学パラメータの設計値に基づいて、製造されたレンズである。
 本実施形態では、一例として、凸面からなる第1レンズ面5aと凹面からなる第2レンズ面5bとを有し、それぞれ外周側にフランジ形状が設けられた負のメニスカスレンズである。
 ここで、第1レンズ面5a、第2レンズ面5bの面形状は特に限定されないが、以下では、一例として、両面とも、軸対称非球面式で表される非球面からなる第1レンズ面5a、第2レンズ面5bとして説明する。このため、第1レンズ面5a、第2レンズ面5bは、それぞれ光軸O5a、O5bを有している。
 原形レンズ5のフランジ形状の外形は、光軸O5を中心とした直径D5cの円筒面である径方向基準面5cと、第2レンズ面5bの外周と径方向基準面2cとの間に形成された光軸O5に直交する平面である軸方向基準面5dと、第1レンズ面5aの外周と径方向基準面5cとの間に形成された光軸O5に直交する平面である平面部5eとで構成されている。
 径方向基準面5cの直径D5cは、第2レンズ径方向保持面3cに摺動可能に嵌合できる寸法とし、組み立て作業に支障がない範囲でできるだけd3cに近い寸法とする。例えば、d3c-D5cが、5μm~15μm程度になるようにする。
 原形レンズ5の外形状は、製造上の形状誤差が含まれる可能性があるが、以下では、特に断らない限り、原形レンズ5の形状誤差による生じる光学特性の劣化は、第1レンズ2の製造誤差、組立誤差により生じる光学特性の劣化に比べて無視できる程度に小さくなっているものとして説明する。
 このような原形レンズ5は、第1レンズ面5a、第2レンズ面5bの面形状がレンズ設計上の非球面形状に等しいとみなすことができる。また、第1レンズ面5aの光軸O5aと、第2レンズ面5bの光軸O5bは、レンズとしての光軸O5に整列しており、原形レンズ5を第2レンズ径方向保持面3c内に挿入した状態では中心軸線P3と略整列している(整列している場合も含む)。
 また、原形レンズ5を第2レンズ径方向保持面3c内に挿入し、軸方向基準面5dをレンズ保持枠3の第2レンズ軸方向保持面3dに当接させて、レンズ保持枠3に組み立てたとき、第1レンズ面5aの配置位置および配置姿勢が、レンズ設計上の配置位置および配置姿勢に略一致する(一致する場合を含む)とみなすことができる。
 原形レンズ5は、合成樹脂成形で作製されたプラスチックレンズでもよいし、ガラスモールド成形やガラス研磨によって作製されたガラス製レンズでもよい。
 付加レンズ部6は、小組立体4における第1レンズ2の製造誤差、組立誤差に起因する第1の光学系の光学特性の設計値からのずれ量を補正するために、原形レンズ5の第2レンズ面5b上に密着して光透過性材料が付加された形状部分である。
 付加レンズ部6の表面には、第2レンズ面5bと同じ面形状を有する第3レンズ面6bが、第2レンズ面5bから離間した位置に形成されている。ただし、本実施形態では、第3レンズ面6bは、平面部5e上には進出していない。
 第2レンズ面5bに対する第3レンズ面6bの配置位置および姿勢は、第1の光学系の光学特性の設計値からのずれ量によって異なる。
 図2に示す例では、第1レンズ2の光軸O2’が理想状態に対して図示紙面内でチルトしているため、第3レンズ面6bは、その光軸O6bが、光軸O5bに対して光軸O2’と反対方向に傾斜した姿勢で形成されている。
 このような付加レンズ部6は、例えば、第2レンズ面5b上に光透過性の硬化性樹脂材料を塗布して、第3レンズ面6bの形状を転写する成形型を用いた成形を行うことにより付加することができる。詳しい製造方法は後述する。
 付加レンズ部6を形成する樹脂材料の硬化時の屈折率、アッベ数は、原形レンズ5の屈折率、アッベ数と同一であってもよいし、異なっていてもよい。
 以下では、一例として、付加レンズ部6の屈折率、アッベ数は、原形レンズ5と同一であるとして説明する。この場合、付加レンズ部6との境界面である第2レンズ面5bでは、屈折が起こらない。
 このため、第2レンズ7は、第1面が第1レンズ面5a、第2面が第2レンズ面5bの光軸O5bに対して偏心した第3レンズ面6bで構成されたメニスカスレンズになっている。この場合、第2レンズ面5bは、レンズ面として機能しないため、第2レンズ面5bに製作誤差があったとしても、付加レンズ部6に覆われている限りは、第2レンズ7の光学特性に影響を与えない。これは、例えば、光学特性として色分散が重要でない場合に、屈折率のみが同一の構成としても同様である。
 このような構成の第2レンズ7は、図1A、図1Bに示すように、第2レンズ7の平面部5eの外周部と第2レンズ径方向保持面3cとで構成される隅部に、接着剤を滴下して硬化させて形成された接着部9によってレンズ保持枠3に対して固定されている。
 本実施形態では、接着部9は、例えば、平面部5eの外周を3等分する位置に離間して形成されている。ただし、より強固に固定する必要がある場合には、接着部9の個数をさらに増やしてもよいし、平面部5eの全周にわたって設けてもよい。
 接着部9に好適な接着剤としては、例えば、UV硬化型接着剤、二液性接着剤、熱硬化性接着剤等の例を挙げることができる。
 次に、光学ユニット1の製造方法について、第2レンズ7の設計方法とともに説明する。
 図4は、本発明の第1の実施形態の光学組立体の製造方法の工程フローを示すフローチャートである。図5A、図5Bは、本発明の第1の実施形態における第1の光学系および第2の光学系の設計値の光路の一例を示す模式的な光路図である。図6A、図5Bは、本発明の第1の実施形態における第1の光学系が製造誤差を含む場合、およびその場合の比較例の第2の光学系の光路の一例を示す模式的な光路図である。図7は、本発明の第1の実施形態の光学組立体の製造方法における光学特性測定工程の模式的な工程説明図である。図8は、本発明の第1の実施形態の光学組立体の光路の一例を示す模式的な光路図である。図9は、本発明の第1の実施形態の光学組立体の光路の他例を示す模式的な光路図である。図10は、本発明の第1の実施形態の光学組立体の製造方法のレンズ製造工程に用いる成形装置の模式的な構成図である。図11A、図11Bは、本発明の第1の実施形態の光学組立体の製造方法のレンズ製造工程の模式的な工程説明図である。図12は、図11Bに続くレンズ製造工程の模式的な工程説明図である。
 光学ユニット1の製造方法は、図4に示すように、第1の組立工程S1、光学特性測定工程S2、光学パラメータ補正値算出工程S3、レンズ製造工程S4、および第2の組立工程S5を備え、これらをこの順に行う。
 第1の組立工程S1は、小組立体4を組み立てる工程である。
 本工程では、まず、第1レンズ2を第2レンズ面2b側から、第1レンズ径方向保持面3bの内側に挿入して、第1レンズ2の軸方向基準面2dと第1レンズ軸方向保持面3aとを当接させる。このとき、挿入後に第1レンズ2の位置調整は行わなくてよい。
 次に、第1レンズ2の平面部2eの外周部と第1レンズ径方向保持面3bとで構成される隅部に、接着剤を滴下して硬化させて接着部8を形成し、第1レンズ2をレンズ保持枠3に対して固定する。
 以上で、小組立体4が組み立てられ、第1の組立工程S1が終了する。
 次に、光学特性測定工程S2を行う。本工程は、小組立体4における第1の光学系の光学特性を測定する工程である。
 本実施形態では、レンズ保持枠3の第1レンズ径方向保持面3b、第2レンズ径方向保持面3cは、レンズ保持枠3の中心軸線P3と同軸に設けられており、光学ユニット1における全体光学系のレンズ設計上の基準軸線O1(全体光学系の基準軸)は、中心軸線P3と一致されている。
 例えば、第1レンズ2に製造誤差がなく、組立誤差もない場合、全体光学系においてレンズ設計上の理想状態の第2レンズは、本実施形態では原形レンズ5になっている。このため、第1レンズ2、原形レンズ5を通る光線は、光線追跡によって求められる理想的な光路に沿って進み、波面収差はレンズ設計の設計値通りとなる。
 例えば、図5Aに示すように、基準軸線O1に沿って平行光束Lを入射すると、小組立体4では、平行光束Lは、第1レンズ面2a、第2レンズ面2bで屈折して、集光光束である光束L2として出射され、基準軸線O1上を進む。
 また、図5Bに示すように、小組立体4にさらに原形レンズ5が組み立てられた場合、光束L2は、第1レンズ面5a、第2レンズ面5bで屈折して発散され、第2の光学系の光学特性を発揮する光束L5として出射され、基準軸線O1上を進む。
 しかし、実際には、第1レンズ2は、製造誤差によって、偏心等が発生している場合がある。
 また、第1の組立工程S1では、第1レンズ2の位置、姿勢は、径方向基準面2cと第2レンズ径方向保持面3cとの間の隙間の範囲で設計上の位置、姿勢からずれる可能性があり、組み付け上の偏心が発生しうる。
 例えば、図6Aに示すように、基準軸線O1に対して何らかの偏心が発生して、第1レンズ2の光軸O2’が基準軸線O1に対して位置ずれおよびチルトずれを起こすと、平行光束Lは、第1レンズ2から出射されると偏心量に応じた波面収差を有し、光軸O2’に沿って斜めに進む光束L2’が形成される。
 この状態の小組立体4に原形レンズ5を組み立てると、原形レンズ5に製造誤差がなくかつ組立誤差がない場合でも、図6Bに示すように、原形レンズ5から出射される光束L5’がスキューし、第1レンズ2の偏心に応じた波面収差を伴う光束L5’として進む。
 このため、所定の像面における光学特性が設計値より劣る。
 本工程では、第1の光学系の光学特性を測定する。測定する第1の光学系の光学特性としては、第2の光学系の光学特性を精度よく推定できる光学特性であれば、特に限定されない。
 例えば、光源位置が特定された複数の点光源や、形状や位置が特定された検査パターンを、第1レンズ2の物体側に配置し、像側で、これらの点像分布や検査パターン画像を取得する、といった測定を挙げることができる。このような測定によれば、取得した画像の設計上の点像分布や検査パターン画像からの偏差を算出することにより、光学特性の変化から第1の光学系の光学特性を変化させた第1の光学系の偏心等の形状誤差や配置誤差を推定することが可能である。
 また、例えば、干渉計等を用いて、第1レンズ2の透過波面の波面収差を測定することも考えられる。
 本実施形態では、一例として、図7に示すようなシャックハルトマンセンサー12を用いた測定装置20によって測定を行う場合の例で説明する。
 測定装置20は、光源ユニット10、波面変換レンズ11、被検体保持部14、シャックハルトマンセンサー12、および補正値解析装置13を備える。
 光源ユニット10は、検査を行うため、均一な波面を有する基準光束L0を生成する。
 波面変換レンズ11は、第1レンズ2の種類に応じて、基準光束L0の波面を変換するためのレンズであり、本実施形態では、正の屈折力を有し、基準光束L0の光軸O0と同軸に配置されている。なお、図7は模式図のため、波面変換レンズ11を単レンズのように図示しているが、複数枚のレンズから構成されていてもよい。
 これにより、基準光束L0から第1レンズ2の焦点位置に集光する球面波を形成し第1レンズ2の透過波面が平面波となるようにすることが可能である。
 被検体保持部14は、小組立体4のレンズ保持枠3の光学ユニット径方向基準面3e、光学ユニット軸方向基準面3fをそれぞれ保持し、小組立体4を波面変換レンズ11の集光位置に対して、光軸O0に沿う方向および光軸O0に直交する方向に位置決めする。
 本実施形態では、レンズ保持枠3の中心軸線P3が光軸O0と同軸となり、レンズ保持枠3に保持された第1レンズ2の設計上の焦点位置が、波面変換レンズ11の集光位置に一致するように位置決めしている。
 シャックハルトマンセンサー12は、マイクロレンズアレイ12a、撮像素子12b、および解析演算部12cを備える波面センサーである。
 シャックハルトマンセンサー12は、後述する光学パラメータ補正値算出工程S3を行う補正値解析装置13と電気的に接続されている。
 シャックハルトマンセンサー12は、マイクロレンズアレイ12aに入射した光束の集光スポットを撮像素子12bで撮像し、この画像データを用いて、解析演算部12cが各集光スポットの集光位置を解析し、波面解析を行う。
 解析演算部12cでは、まず、シャックハルトマンセンサー12から送出された各集光スポットの集光位置から、シャックハルトマンセンサー12のマイクロレンズアレイ12aに理想波面が入射した場合の各集光スポットの理想集光位置との差分を求める。
 次に、これらの差分を、ゼルニケ(Zernike、ツェルニケ)多項式を用いて解析し、ゼルニケ係数と、これらゼルニケ係数から算出されるザイデル収差を算出し、それぞれを補正値解析装置13に送出する。
 測定装置20を用いて行う光学特性測定工程S2では、被検体保持部14に小組立体4を保持させ、光源ユニット10からの基準光束L0を、波面変換レンズ11を介して、波面収差が良好に補正された球面波として第1レンズ2に入射させる。
 基準光束L0は、第1レンズ面2a、第2レンズ面2bによって屈折され、第1レンズ2の製造誤差および配置誤差にしたがって発生する波面収差を含む測定光束L2として出射される。
 シャックハルトマンセンサー12に入射した測定光束L2は、マイクロレンズアレイ12aによって、集光光束に分割され、撮像素子12b上に集光され、撮像素子12bの画像データは、一定のサンプリング時間ごとにリアルタイムに解析演算部12cに送出される。
 解析演算部12cでは、送出された画像データに基づいて、上記のような波面解析を行って、算出されたゼルニケ係数およびザイデル収差を、別途図示略の入力部を通して入力された測定対象の小組立体4の製造番号等の識別情報とともに、補正値解析装置13に送出する。
 以上で、光学特性測定工程S2が終了する。
 次に、光学パラメータ補正値算出工程S3を行う。本工程は、光学特性の測定結果に基づいて、第1の光学系の光学特性の設計値からのずれ量を求め、第2レンズ自体の光学パラメータをその設計値から変更することにより、ずれ量を補正する第2レンズの光学パラメータの補正値を算出する工程である。
 本工程は、本実施形態では、補正値解析装置13を用いて行う。
 補正値解析装置13の装置構成は、CPU、メモリ、入出力インターフェース、外部記憶装置などからなるコンピュータからなり、このコンピュータによって、以下に説明する演算処理を行うプログラムを実行できるようになっている。
 シャックハルトマンセンサー12から送出されたゼルニケ係数およびザイデル収差は、第1レンズ2に形状誤差や配置誤差が生じていることを意味している。また、これらのゼルニケ係数を打ち消すように、第2レンズの光学パラメータを補正すれば、収差発生を抑制することが可能である。
 例えば、図6Aに示すように第1レンズ2が図示反時計回りにチルト偏心を有する小組立体4の場合、スキューする光束L2’が基準軸O1に沿って進むように、原形レンズ5に代えて、第1レンズ2のチルト偏心を相殺する補正機能を有する組立用レンズを配置すればよい。ここで、「相殺する」とは、予め設定された許容値以下に抑制することを意味する。
 このような補正機能を有する組立用レンズは、第1の光学系の光学特性の測定結果から第1の光学系の光学パラメータの設計値からのずれ量を推定し、このずれ量を相殺するための光学パラメータの条件を光学シミュレーションソフトによって求めることができる。
 本実施形態では、このような組立用レンズとして、原形レンズ5の第2レンズ面5bに付加レンズ部6を設けた第2レンズ7を用いる。
 このため、補正値解析装置13は、シャックハルトマンセンサー12から送出されたゼルニケ係数とザイデル収差とに基づいて、これらの収差を相殺する第2レンズ7の第3レンズ面6bの配置位置および配置姿勢を算出する。
 本実施形態では、第1の光学系における収差に関するゼルニケ係数と、第2の光学系においてこれを相殺するための第3レンズ面6bの配置位置および配置姿勢との関係について、光学シミュレーションを行って予め求めておき、この結果を、補正値解析装置13に、例えば、換算式、データベースなどの形で記憶しておく。
 本実施形態では、付加レンズ部6によって創成される第3レンズ面6bによって、原形レンズ5の第2レンズ面5bを置き換えるため、第3レンズ面6bの配置位置、または配置位置および配置姿勢を、第2レンズ面5bの配置位置や配置姿勢から変更することができる。これにより第2レンズ7自体に、例えば、収差の非回転対称成分であるコマ収差、非点収差を発生させることができる。このため、第3レンズ面6bの配置位置および配置姿勢を適宜設定することにより、小組立体4の第1の光学系に発生するコマ収差、非点収差を相殺することが可能になる。
 例えば、第1の光学系のコマ収差は、ゼルニケ係数Z7、Z8によって表されるため、第2の光学系の透過波面におけるゼルニケ係数Z7、Z8を小さくするために、第2レンズ7の第3レンズ面6bの配置位置および配置姿勢を予め光学シミュレーションによって求めておけばよい。
 また、球面収差については、付加レンズ部6の厚さの変更で対応可能な方向の補正が可能となる。
 このようにして、小組立体4に原形レンズ5を理想状態に配置した場合に透過する光束L5’(図6B参照)の波面収差の設計値からのずれ量を補正するための第3レンズ面6bの配置位置および配置姿勢が算出されたら、補正値解析装置13は、算出結果を、小組立体4の識別情報とともに通信回線を通じて後述する付加レンズ部加工装置30に送出する。このとき、補正値解析装置13の操作者が結果を見ることができるように、算出結果を、例えば、図示略の表示部やプリンタ等の表示手段に出力してもよい。
 例えば、図8に示すように、第3レンズ面6bとして、第2レンズ面5bと同一の面形状の非球面を図示時計回りにチルト偏心させるとともに、第2レンズ面5bから離間させ、適宜シフト偏心させた配置位置および配置姿勢に関する情報が出力される。
 第1の光学系がレンズ設計の設計値通りに形成、配置されている場合、レンズ保持枠3に原形レンズ5を組み込めば、原形レンズ5はレンズ設計上の第2のレンズになっているため、設計値通りの第2の光学系が構成される。例えば、第1レンズ面5a、第2レンズ面5bの基準軸線O1に沿う方向の配置位置をz5a、z5b、基準軸線O1に直交する方向のシフト量をδ5a、δ5b、シフト方向をθ5a、θ5b、基準軸線O1に対するチルト量をε5a、ε5b、第1レンズ面5a、第2レンズ面5bの面間隔をd5=z5b-z5aとすると、本実施形態では、これらの光学パラメータが、全体光学系における第2レンズの光学パラメータの設計値である。
 本実施形態の全体光学系は共軸光学系として設計されているため、δ5a、δ5b、θ5a、θ5b、ε5a、ε5bはいずれも0である。
 なお、以下では、特に断らない限り、他のレンズの光学パラメータについても、同様な符号z、δ、θ、ε、dを用い、対応するレンズ面(レンズ)の符号Xを添字として付して表すことにする。すなわち、符号Xを有するレンズ面の基準軸線O1に沿う方向の配置位置をzX、基準軸線O1に直交する方向のシフト量をδX、シフト方向をθX、基準軸線O1に対するチルト量をεX、符号Xを有するレンズの面間隔をdXと表す。
 補正値解析装置13によって、第3レンズ面6bの配置位置z6b、シフト量δ6b、シフト方向θ6b、チルト量ε6b、第2レンズ7の面間隔d7は、下記式(1)~(5)のように算出される。下記式(1)~(5)において、Δz、Δδ、Δθ、Δεは、第1の光学系の波面収差の設計値からのずれ量に応じて決まる光学パラメータの変化量である。
 本実施形態では、z6b、δ6b、θ6b、ε6bは、全体光学系の設計上の第2レンズの光学パラメータに対する補正値を構成している。
z6b=z5b+Δz             ・・・(1)
δ6b=δ5b+Δδ
   =Δδ                 ・・・(2)
θ6b=θ5b+Δθ
   =Δθ                 ・・・(3)
ε6b=ε5b+Δε
   =Δε                 ・・・(4)
d7=d5+Δz               ・・・(5)
 このような光学パラメータで表される第3レンズ面6bを第2レンズ面5b上に創成すると、例えば、図8に示すように、光束L2’は、第3レンズ面6bの屈折作用により、光軸O2’の偏心が相殺され、付加レンズ部6から出射された光束L7’は、基準軸線O1に略平行(平行の場合も含む)に進むようになる。
 なお、光学パラメータの補正値は、第1の光学系の設計値からのずれ量や、このずれ量を相殺する際の光学特性の許容値によっても異なる。例えば、波面収差のうち非対称性成分を補正するには、第3レンズ面6bのチルト量ε6bおよびシフト量δ6bのうちの少なくとも一方を変更することが有効である。
 このため、第1の光学系の偏心の大きさによっては、図9に示すように、Δεを0とし、ΔδとΔzとの組合せにより補正することも可能である。また、図示は省略するが、しないが、Δδを0とし、ΔεとΔzとの組合せにより補正することも可能である。
 また、第1の光学系の収差が許容値以下であって、付加レンズ部6を付加する必要がないと判定した場合には、付加レンズ部6を形成しないとの情報が出力される。
 本実施形態では、付加レンズ部6を形成する場合には、付加レンズ部6の加工情報である第3レンズ面6bの配置位置および配置姿勢に関する情報が、通信回線を通じて後述する付加レンズ部加工装置30に送出される。
 このとき、送出される加工情報は、上記式(1)~(5)に基づいた第3レンズ面6bが形成できる情報であればよい。例えば、配置位置z6bの情報は、原形レンズ5における軸方向基準面5dからの寸法に換算した情報を送出することができる。また、全体光学系の座標系におけるz6a、δ6a、θ6a、ε6a、d7の数値情報を、これらに相当する付加レンズ部加工装置30に固有の座標系の数値情報に換算した情報でもよい。
 以上で、光学パラメータ補正値算出工程S3が終了する。
 次に、レンズ製造工程S4を行う。本工程は、光学パラメータ補正値算出工程S3で算出された光学パラメータの補正値に基づいて、第2レンズ7を製造する工程である。
 本実施形態では、原形レンズ5に付加レンズ部6を形成することにより、第2レンズ7を製造する。
 ただし、本実施形態では、付加レンズ部6を形成しなくてよい場合には、以下の工程を行わず、後述する第2の組立工程では、第2レンズ7の代わりに原形レンズ5を用いて組み立てを行う。
 まず、第2レンズ7を製造する付加レンズ部加工装置30について説明する。
 図10に示すように、付加レンズ部加工装置30は、ベース31上に固定された支持台32に、鉛直軸に沿う基準軸線P30回りに回転可能な回転ステージ33を介して原形レンズ5を保持するレンズ保持部34が設置されている。
 レンズ保持部34は、原形レンズ5の軸方向基準面5dを下方で受けて、径方向基準面5cを側方から支持する位置決め部34aを備える。これにより、原形レンズ5は、その光軸O5が基準軸線P30と同軸となるように第2レンズ面5bが上方に向けた姿勢で保持される。
 レンズ保持部34および回転ステージ33は、原形レンズ5のレンズ有効領域内に下方から光を照射できるように、中心部に開口が設けられており、支持台32を鉛直方向に貫通する開口32aの中心軸と同軸に配置されている。
 開口32aの下方のベース31上には、UV光を照射するUV光源39が配置されている。
 また、ベース31上には、基準軸線P30に沿う方向に移動可能な直動ステージ36を支持する支柱部35が立設されている。
 直動ステージ36の下面には、レンズ保持部34の中心部に対向する位置に、第3レンズ面6bの形状を成形する成形型部38(成形型)が、成形型移動部37を介して配置されている。
 成形型移動部37は、成形型部38を鉛直軸に直交する2軸方向の移動する2軸ステージ37Aと、成形型部38を鉛直軸に対して一方向に傾斜させるゴニオステージ37Bとを備える。
 回転ステージ33、直動ステージ36、および成形型移動部37は、それぞれの動作を制御する制御部40と電気的に接続されている。
 制御部40は図示略の配線により、補正値解析装置13と通信可能に接続されており、補正値解析装置13が算出した光学パラメータの補正値を受信できるようになっている。
 このような構成により、成形型部38の成形面38aは、装置の基準軸線P30に沿う方向の相対移動と、互いに直交しかつ基準軸線P30に対してそれぞれ直交する2軸方向の相対移動が可能である。また、レンズ保持部34に保持された原形レンズ5を回転ステージ33によって回転させつつ、ゴニオステージ37Bを駆動することにより、第2レンズ面5bの光軸O5に対して、任意方向へ相対的に傾動させることが可能である。
 付加レンズ部加工装置30によって、第2レンズ7を製造するには、図11Aに示すように、レンズ保持部34に原形レンズ5を位置合わせして保持させる。このとき、原形レンズ5は、例えば、径方向基準面5cなどにマーキングするなどして、図示略の位置決め部34aの基準位置に対する保持時の相対位置を特定できるようにしておく。
 次に、第2レンズ面5b上に、付加レンズ部6を成形するために必要となる成形材料Mを滴下または塗布する。成形材料Mとしては、一例として、原形レンズ5の硝材と屈折率が等しい紫外線硬化型樹脂を採用している。
 次に、制御部40は、図11Bに示すように、補正値解析装置13から送出された光学パラメータの補正値に基づいて成形型移動部37および回転ステージ33を駆動し、第2レンズ面5bに対する成形型部38のシフト量、シフト方向、およびチルト量を、それぞれ第3レンズ面6bのシフト量δ6b、シフト方向θ6b、およびチルト量ε6bに一致させる。
 次に、制御部40は、直動ステージ36を駆動して、成形型部38を基準軸線P30に沿って移動し、成形面38aと第2レンズ面5bとの間の面間隔が、補正値解析装置13から送出されたΔzになるようにする(図12参照)。
 このような成形型部38の移動に伴って、第2レンズ面5bと成形面38aとの間に挟まれた成形材料Mは、第2レンズ面5bの外周部に向かって隙間なく塗り拡げられ、第2レンズ面5bと成形面38aとの間に、成形材料Mの層状部が形成される。
 この状態で、UV光源39を点灯し、UV光39aを原形レンズ5に向けて照射する。
照射されたUV光39aは、第1レンズ面5a、第2レンズ面5bを透過して、成形材料Mに照射される。これにより、成形材料Mが硬化して、第2レンズ面5bと成形面38aとの間に付加レンズ部6が形成される。成形材料Mが硬化した後、成形型部38を上方に移動させて付加レンズ部6から脱型する。このようにして、第2レンズ7が製造される。
 以上で、レンズ製造工程S4が終了する。
 次に、第2の組立工程S5を行う。本工程は、レンズ製造工程S4で製造された第2レンズ7を小組立体4に組み立てる工程である。
 本実施形態では、図2に示すように第2レンズ7の第1レンズ面5aを小組立体4の第2レンズ面2bに対向させて、第2レンズ径方向保持面3c内に挿入し、軸方向基準面5dと第2レンズ軸方向保持面3dとを当接させる。
 このとき、第2レンズ7の中心軸線P3回りの位置は、レンズ保持枠3に形成された図示略のマークと、原形レンズ5に形成された図示略のマークとを位置合わせすることにより位置決めしておく。これにより、第2レンズ7の付加レンズ部加工装置30における基準軸P30回りの位置と、レンズ保持枠3における中心軸線P3回りの位置とが一致した状態で、第2レンズ7が小組立体4に組み立てられていく。
 本実施形態では、径方向基準面5cの直径D5cと、第2レンズ径方向保持面3cの内径d3cとの寸法差は十分小さいため、挿入後の径方向の位置調整は必要ない。このように第2レンズ7を挿入したら、平面部5eと第2レンズ径方向保持面3cとで構成される隅部に接着剤を塗布し、硬化させて接着部9を形成する。
 これにより、図1A、図1Bに示すように、小組立体4に第2レンズ7が固定され、光学ユニット1が組み立てられる。
 以上で、第2の組立工程S5が終了する。
 ここで、本実施形態の第1の組立工程S1、光学特性測定工程S2、および光学パラメータ補正値算出工程S3は、本実施形態の組立用レンズの設計方法を構成している。
 このようにして組み立てられた光学ユニット1において、第2レンズ7は、小組立体4の光学特性の測定結果に基づいて、原形レンズ5に付加レンズ部6を形成しているため、光学パラメータの設計値からのずれ量に基づく第1の光学系の光学特性の劣化が補正されている。このため、例えば、図8に示すように、第1レンズ2の光軸O2’がチルトずれを起こしている場合にも、第2レンズ7を透過した光束L7’の波面収差が補正される。
 このように、本実施形態の製造方法によれば、組み付け位置の調整を行うことなく簡単な作業によって良好な光学特性が得られる。
 付加レンズ部6を形成するために必要な光学特性は、シャックハルトマンセンサー12によって波面測定を行うことで測定されるため、きわめて迅速に測定することができる。
また、付加レンズ部6は、測定装置20とは別に設けられた付加レンズ部加工装置30によって形成されるため、測定装置20では小組立体4を変えて測定のみを行えばよく、効率的に測定作業を行うことができる。
 このため、光学特性測定工程S2および光学パラメータ補正値算出工程S3と、レンズ製造工程S4とを、異なる小組立体4、第2レンズ7に対しては並行して行うことで、生産性を向上することができる。
[第1変形例]
 次に、本実施形態の第1変形例について説明する。
 図13Aは、本発明の第1の実施形態の第1変形例の光学組立体の製造方法で組み立てられた光学組立体の一例を示す断面図である。図13Bは、第1変形例の光学組立体の模式的な光路図である。
 図13Aに示すように、本変形例の光学組立体の製造方法で製造された光学ユニット41(光学組立体)は、上記第1の実施形態の第2レンズ7に代えて、第2レンズ47(第nレンズ、組立用レンズ)を備える。
 第2レンズ47は、上記第1の実施形態の第2レンズ7の付加レンズ部6を削除し、付加レンズ部46(付加部)を追加している。
 以下、上記第1の実施形態と異なる点を中心に説明する。
 付加レンズ部46は、小組立体4における第1レンズ2の製造誤差、組立誤差に起因する第1の光学系の光学特性の設計値からのずれ量を補正するために、原形レンズ5の第1レンズ面5aおよび軸方向基準面5d上に密着して光透過性材料が付加された形状部分である。
 付加レンズ部46の表面には、第1レンズ面5aと同じ面形状を有し、第1レンズ面5aから離間した位置に形成された第3レンズ面46aと、第3レンズ面46aの外周部において軸方向基準面5dに重なる位置において、軸方向基準面5dから突出して設けられた軸方向位置決め部46dとが形成されている。
 軸方向位置決め部46dは、本変形例では、軸方向基準面5dをレンズ保持枠3の第2レンズ軸方向保持面3dから中心軸線P3に沿って一定距離だけ離間させる形状に設けられる。
 したがって、軸方向位置決め部46dは、軸方向基準面5d全体を覆う一定厚さの層状に形成されていてもよいし、軸方向基準面5dの一部から一定高さだけ突出する複数の突起部として形成されていてもよい。
 第1レンズ面5a対する第3レンズ面46aの配置位置および姿勢と、軸方向位置決め部46dの軸方向基準面5dから突出量とは、第1の光学系の光学特性の設計値からのずれ量に応じて、上記第1の実施形態と同様にして決定される。
 図13A、図13Bに示す例では、第1レンズ2の光軸O2’が理想状態に対して図示紙面内でチルトしているため、第3レンズ面46aは、その光軸O46aが、光軸O5aに対して光軸O2’と反対方向に傾斜した姿勢で形成されている。
 本変形例によれば、付加レンズ部46が軸方向位置決め部46dを有しているため、第1レンズ2の第2レンズ面2bと原形レンズ5の第1レンズ面5aとの間の面間隔を増大させることが可能である。例えば、第3レンズ面46aのチルト量やシフト量が大きくなる結果、付加レンズ部46の第3レンズ面46aの突出量が、全体光学系の設計上の第2レンズ面2bと第1レンズ面5aとの間の面間隔よりも大きくなってしまう場合に、軸方向位置決め部46dの第1レンズ面5aからの突出量を調整することで、第3レンズ面46aと第2レンズ面2bとの干渉を回避することができる。
 このような付加レンズ部46は、例えば、第1レンズ面5aおよび軸方向基準面5d上に光透過性の硬化性樹脂材料を塗布して、第3レンズ面46aの形状を転写する成形型を用いた成形を行うことにより付加することができる。
 付加レンズ部46を形成する樹脂材料の硬化時の屈折率、アッベ数は、原形レンズ5の屈折率、アッベ数と同一であってもよいし、異なっていてもよい。
 以下では、一例として、付加レンズ部46の屈折率、アッベ数は、原形レンズ5と同一であるとして説明する。この場合、付加レンズ部46との境界面である第1レンズ面5aでは、屈折が起こらない。このため、第2レンズ47は、第1面が第1レンズ面5aの光軸O5aに対して偏心した第3レンズ面46a、第2面が第2レンズ面5bで構成されたメニスカスレンズになっている。
 このような構成の光学ユニット41は、上記第1の実施形態と略同様にして、第1の組立工程S1、光学特性測定工程S2、光学パラメータ補正値算出工程S3、レンズ製造工程S4、および第2の組立工程S5をこの順に行うことにより製造することができる。
 なお、本変形例の第1の第1の組立工程S1と光学特性測定工程S2とは、上記第1の実施形態におけるそれらの工程とまったく同様の工程であるため、説明を省略する。
 本変形例の光学パラメータ補正値算出工程S3は、第1の光学系における収差を相殺するために補正値解析装置13によって算出する光学パラメータの補正値が、主として、付加レンズ部46によって創成すべき第3レンズ面46aの配置位置、または配置位置および配置姿勢である点が上記第1の実施形態と異なる。
 第3レンズ面46aを設けることで、第2レンズ47自体に、例えば、収差の非回転対称成分であるコマ収差、非点収差を発生させることができる。このため、第3レンズ面46aの配置位置および配置姿勢を適宜設定することにより、小組立体4の第1の光学系に発生するコマ収差、非点収差を相殺することが可能になる。
 ただし、本変形例では、付加レンズ部46が軸方向位置決め部46dを有するため、中心軸線P3に沿う第2レンズ面5bの配置位置も変化する。
 このため、補正値解析装置13は、第3レンズ面46aの配置位置、または配置位置および配置姿勢を変化させるとともに、第3レンズ面46aが第2レンズ面2bとが干渉しないように軸方向位置決め部46dの突出量、すなわち、第2レンズ面5bの中心軸線P3上の配置位置を変化させて、収差補正の最適化を図る演算を行う。
 このようにして、小組立体4に原形レンズ5を理想状態に配置した場合に透過する光束L5’(図6B参照)の波面収差の設計値からのずれ量を補正するための、第3レンズ面46aの配置位置および配置姿勢と、軸方向位置決め部46dの突出量とが算出されたら、補正値解析装置13は、算出結果を、上記第1の実施形態と同様に、小組立体4の識別情報とともに通信回線を通じて付加レンズ部加工装置30に送出する。
 例えば、図13Bに示すように、第3レンズ面46aとして、第2レンズ面5bと同一の面形状の非球面を図示時計回りにチルト偏心させるとともに、第2レンズ面2bおよび第1レンズ面5aから適宜離間させ、適宜シフト偏心させた配置位置および配置姿勢が出力される。
 例えば、付加レンズ部46を全体光学系の設計上の第2レンズの光学パラメータの補正値として、下記式(6)~(10)のようなz46a、δ46a、θ46a、ε46a、d47に関する情報、または付加レンズ部46を形成しないことが出力される。
z46a=z5a-Δz                      ・・・(6)
δ46a=Δδ                          ・・・(7)
θ46a=Δθ                          ・・・(8)
ε46a=Δε                          ・・・(9)
d47=d5+Δz+Δd                     ・・・(10)
 ここで、Δdは、軸方向基準面5dからの軸方向位置決め部46dの突出量である(図13A参照)。
 なお、図13Aでは、第3レンズ面46aが、軸方向位置決め部46dよりも突出している位置関係を描いているが、これは一例であって、ΔzとΔdとは独立に変えることができる。例えば、Δd>Δzとすることで、第3レンズ面46aをレンズ設計上の位置よりも第2レンズ面2bから離間させることも可能である。
 このような光学パラメータで表される第3レンズ面46a、軸方向位置決め部46dの第1レンズ面5a、軸方向基準面5d上に創成すると、例えば、図13Bに示すように、光束L2’は、第2レンズ47の屈折作用により、光軸O2’の偏心が相殺され、第2レンズ面5bから出射された光束L47’は、基準軸線O1に略平行(平行の場合も含む)に進むようになる。
 付加レンズ部46を形成する場合には、上記第1の実施形態と同様にして、付加レンズ部46の加工情報が、通信回線を通じて付加レンズ部加工装置30に送出される。
 以上で、本変形例の光学パラメータ補正値算出工程S3が終了する。
 次に、本変形例のレンズ製造工程S4を行う。本工程は、原形レンズ5に対して付加レンズ部6に代えて、付加レンズ部46を形成して、第2レンズ47を製造する点のみが上記第1の実施形態のレンズ製造工程S4と異なる。
 このため、図示は省略するが、付加レンズ部加工装置30の成形型部38の成形面38aは、第1レンズ面5aの面形状に変更し、原形レンズ5は、第1レンズ面5aを成形型部38に対向する状態にレンズ保持部34に保持させる。
 これにより第3レンズ面46aは、上記第1の実施形態と同様にして形成できる。
 一方、軸方向位置決め部46dは、成形型部38の外周側に、軸方向位置決め部46dを形成するための高さ調整可能な成形型部を設けておくことにより、第3レンズ面46aと同時に形成することができる。
 ただし、軸方向位置決め部46dは、第3レンズ面46aの成形とは別の成形工程によって形成してもよい。
 また、軸方向位置決め部46dは、予め適宜厚さの層状部または突出部を、例えば、成形、堆積、接合などによって形成した後、この層状部または突起部の厚さを、機械加工やエッチングなどによって調整することによって形成してもよい。
 第3レンズ面46aおよび軸方向位置決め部46dが形成できたら、本変形例のレンズ製造工程S4が終了する。
 次に、本変形例の第2の組立工程S5を行う。本工程は、小組立体4に、第2レンズ7に代えて、第2レンズ47を組み立てる点のみが上記第1の実施形態の第2の組立工程S5と異なる。
 このようにして組み立てられた光学ユニット41において、第2レンズ47は、小組立体4の光学特性の測定結果に基づいて、原形レンズ5に付加レンズ部46を形成しているため、例えば偏心等の設計値からのずれ量に基づく第1の光学系の光学特性の劣化が補正されている。このため、上記第1の実施形態と同様、例えば、図13Bに示すように、第1レンズ2の光軸O2’がチルトずれを起こしている場合にも、第2レンズ47を透過した光束L47’の波面収差が補正される。
 このように、本変形例の製造方法によれば、組み付け位置の調整を行うことなく簡単な作業によって良好な光学特性が得られる。
 特に、本変形例では、第1の光学系に隣接する第3レンズ面46aの配置位置および配置姿勢を変更することができるため、効率的に波面収差を補正することができる。
 また、付加レンズ部46に軸方向位置決め部46dを設けるため、レンズ設計上、第1の光学系の最終面と第2レンズの第1面との間の面間隔が狭い場合でも、第3レンズ面46aが第2レンズ面2bと干渉しない状態位置関係に離すことが可能となるため、第3レンズ面46aのチルト量、シフト量の変更範囲を広くとることができる。
 また、軸方向位置決め部46dを設けるため、第2レンズ面2bと第3レンズ面46aとの間の面間隔と、第3レンズ面46aと第2レンズ面5bとの間の面間隔との変更の自由度が向上する。
 また、軸方向位置決め部46dを設けるため、第3レンズ面46aを設計上の位置からのチルト量のみ、またはシフト量のみを変更することが可能となる。
[第2変形例]
 次に、本実施形態の第2変形例について説明する。
 図14Aは、本発明の第1の実施形態の第2変形例の光学組立体の製造方法で組み立てられた光学組立体の一例を示す断面図である。図14Bは、第2変形例の光学組立体の模式的な光路図である。
 図14Aに示すように、本変形例の光学組立体の製造方法で製造された光学ユニット51(光学組立体)は、上記第1の実施形態の第2レンズ7に代えて、第2レンズ57(第nレンズ、組立用レンズ)を備える。
 第2レンズ57は、上記第1の実施形態の第2レンズ7の付加レンズ部6を削除し、付加レンズ部56A、56B(付加部)を追加している。
 以下、上記第1の実施形態と異なる点を中心に説明する。
 付加レンズ部56A、56Bは、小組立体4における第1レンズ2の製造誤差、組立誤差に起因する第1の光学系の光学特性の設計値からのずれ量を補正するために、光透過性材料が付加された形状部分である。
 付加レンズ部56Aは、原形レンズ5の第1レンズ面5a上に密着して形成され、付加レンズ部56Bは、原形レンズ5の第2レンズ面5b上に密着して形成されている。
 付加レンズ部56Aの表面には、第1レンズ面5aと同じ面形状を有し、第1レンズ面5aから離間した位置に第3レンズ面56aが形成されている。
 付加レンズ部56Bの表面には、第2レンズ面5bと同じ面形状を有し、第2レンズ面5bから離間した位置に第4レンズ面56bが形成されている。
 本変形例では、第3レンズ面56aは軸方向基準面5d上に進出しておらず、第4レンズ面56bは平面部5e上に進出していない。
 第1レンズ面5a対する第3レンズ面56aの配置位置および姿勢と、第2レンズ面5b対する第4レンズ面56bの配置位置および姿勢とは、第1の光学系の光学特性の設計値からのずれ量に応じて、上記第1の実施形態と同様にして決定される。
 図14A、図14Bに示す例では、第1レンズ2の光軸O2’が理想状態に対して図示紙面内でチルトしている。このため、第3レンズ面56aは、その光軸O56aが、光軸O5aに対して光軸O2’と反対方向に傾斜した姿勢で形成されている。また、第4レンズ面56bは、その光軸O56bが、光軸O5bに対して光軸O2’と反対方向に傾斜した姿勢で形成されている。
 このような付加レンズ部56A(56B)は、上記第1の実施形態と同様に、第1レンズ面5a(第2レンズ面5b)上に光透過性の硬化性樹脂材料を塗布して、第3レンズ面56a(第4レンズ面56b)の形状を転写する成形型を用いた成形を行うことにより付加することができる。
 付加レンズ部56A(56B)を形成する樹脂材料の硬化時の屈折率、アッベ数は、原形レンズ5の屈折率、アッベ数と同一であってもよいし、異なっていてもよい。
 以下では、一例として、付加レンズ部56A(56B)の屈折率、アッベ数は、原形レンズ5と同一であるとして説明する。この場合、付加レンズ部56A(56B)との境界面である第1レンズ面5a(第2レンズ面5b)では、屈折が起こらない。このため、第2レンズ57は、第1面が第1レンズ面5aの光軸O5aに対して偏心した第3レンズ面46a、第2面が第2レンズ面5bの光軸O5bに対して偏心した第4レンズ面56bで構成されたメニスカスレンズになっている。
 このような構成の光学ユニット51は、上記第1の実施形態と略同様にして、第1の組立工程S1、光学特性測定工程S2、光学パラメータ補正値算出工程S3、レンズ製造工程S4、および第2の組立工程S5をこの順に行うことにより製造することができる。
 なお、本変形例の第1の第1の組立工程S1と光学特性測定工程S2とは、上記第1の実施形態におけるそれらの工程とまったく同様の工程であるため、説明を省略する。
 本変形例の光学パラメータ補正値算出工程S3は、第1の光学系における収差を相殺するために補正値解析装置13によって算出する光学パラメータの補正値が、主として、付加レンズ部56A、56Bによって創成すべき第3レンズ面56a、第4レンズ面56bの配置位置、または配置位置および配置姿勢である点が上記第1の実施形態と異なる。
 すなわち、上記第1の実施形態、第1変形例では、原形レンズ5に1つのレンズ面を創成して第2レンズを形成したのに対して、本変形例では、原形レンズ5に1つのレンズ面を創成して第2レンズ57を形成する点が異なる。その際、第3レンズ面56a、第4レンズ面56bの配置位置および配置姿勢は、互いに独立に変更することができる。
 このため、第3レンズ面56a、第4レンズ面56bに補正機能を分散させることができるため、上記第1の実施形態や第1変形例に比べて、収差補正の自由度が向上し、第1の光学系の設計値からのずれ量が同じであれば、上記第1の実施形態や第1変形例よりも、良好な収差補正を行うことが可能になる。特に、第2レンズ57自体に、コマ収差、非点収差を発生させやすくなり、小組立体4の第1の光学系に発生するコマ収差、非点収差を相殺することが容易となる。
 また、第1の光学系の設計値からのずれ量が同じであれば、上記第1の実施形態や第1変形例に比べて、各付加厚さを低減することが可能になる。
 このため、補正値解析装置13は、第1の光学系の波面収差の設計値からのずれ量を相殺できるように、第3レンズ面56a、第4レンズ面56bの配置位置、または配置位置および配置姿勢を変化させる。その際、第3レンズ面56aの配置は、第3レンズ面56aと第2レンズ面2bとが干渉しない範囲で変化させて、収差補正の最適化を図る演算を行う。
 算出された光学パラメータの補正値の種類は、上記第1の実施形態、上記第1変形例と同様(ただしΔdを除く)で、具体的な値が異なるのみであるため、説明は省略する。
 このようにして、第3レンズ面56a、第4レンズ面56bの配置位置および配置姿勢が算出されたら、補正値解析装置13は、算出結果を、図示略の表示部やプリンタに出力する。
 例えば、図14Bに示すように、第3レンズ面56a(第4レンズ面56b)として、第1レンズ面5a(第2レンズ面5b)と同一の面形状の非球面を図示時計回りにチルト偏心させるとともに、第1レンズ面5a(第2レンズ面5b)から適宜離間させ、適宜シフト偏心させた配置位置および配置姿勢の情報、または、付加レンズ部56A、56Bを形成しないことが出力される。
 算出された光学パラメータで表される第3レンズ面56a、第4レンズ面56bを、原形レンズ5上に創成すると、例えば、図14Bに示すように、光束L2’は、第2レンズ57の屈折作用により、光軸O2’の偏心が相殺され、第4レンズ面56bから出射された光束L57’は、基準軸線O1に略平行(平行の場合も含む)に進むようになる。
 付加レンズ部56A、56Bを形成する場合には、上記第1の実施形態と同様にして、付加レンズ部56A、56Bの加工情報が、通信回線を通じて付加レンズ部加工装置30に送出される。
 以上で、本変形例の光学パラメータ補正値算出工程S3が終了する。
 次に、本変形例のレンズ製造工程S4を行う。本工程は、原形レンズ5に対して付加レンズ部6に代えて、付加レンズ部56A、56Bを形成して、第2レンズ57を製造する点のみが上記第1の実施形態のレンズ製造工程S4と異なる。
 このため、本工程では、上記第1の実施形態と同様に付加レンズ部加工装置30を用いて、付加レンズ部56Aを形成する工程と、付加レンズ部56Bを形成する工程とを行う。形成順序はどちらが先でもよいが、例えば、第1レンズ面5aに付加レンズ部56Aを形成した後、このレンズをレンズ保持部34上で反転させ、成形型部38の成形面38aを変更して、付加レンズ部56Bを形成する。
 以上で、本変形例のレンズ製造工程S4が終了する。
 次に、本変形例の第2の組立工程S5を行う。本工程は、小組立体4に、第2レンズ7に代えて、第2レンズ57を組み立てる点のみが上記第1の実施形態の第2の組立工程S5と異なる。
 このようにして組み立てられた光学ユニット51において、第2レンズ57は、小組立体4の光学特性の測定結果に基づいて、原形レンズ5に付加レンズ部56A、56Bを形成しているため、例えば偏心等の設計値からのずれ量に基づく第1の光学系の光学特性の劣化が補正されている。このため、上記第1の実施形態と同様、例えば、図14Bに示すように、第1レンズ2の光軸O2’がチルトずれを起こしている場合にも、第2レンズ57を透過した光束L57’の波面収差が補正される。
 このように、本変形例の製造方法によれば、組み付け位置の調整を行うことなく簡単な作業によって良好な光学特性が得られる。
 特に、本変形例では、収差補正の負荷が、第3レンズ面56aと、第4レンズ面56bとに分散される。このため、第3レンズ面56aの突出量を抑制することができるため、レンズ設計上、第1の光学系の最終面と第2レンズの第1面との間の面間隔が狭い場合でも良好な収差補正を行うことが可能である。
[第3変形例]
 次に、本実施形態の第3変形例について説明する。
 本変形例は、上記第1の実施形態と同様に、小組立体4と第2レンズ7とを組み立てて光学ユニット1を製造するが、図4に示すように、上記第1の実施形態の、光学特性測定工程S2、光学パラメータ補正値算出工程S3に代えて、光学特性測定工程S12、光学パラメータ補正値算出工程S13を備える。
 以下、上記第1の実施形態と異なる点を中心に説明する。
 本変形例の光学特性測定工程S12は、小組立体4に対して、光学設計の設計上の配置位置に、第2レンズに相当する仮組みレンズとして原形レンズ5を仮組みした状態で、測定装置20によって第2の光学系の光学特性を測定する点が上記第1の実施形態と異なる。
 原形レンズ5は、付加レンズ部6を付加して小組立体4に実際に組み立てる原形レンズ5でもよいが、測定用に用意された治具レンズでもよい。
 原形レンズ5の仮組みは、レンズ保持枠3の第2レンズ径方向保持面3cの内部に原形レンズ5の軸方向基準面5dを挿入し、軸方向基準面5dを第2レンズ軸方向保持面3dに当接させる。測定中に原形レンズ5が移動しないように、必要に応じて、適宜の治具を用いて、原形レンズ5の位置を固定する。
 また、本変形例では、測定する光学系が変わるため、波面変換レンズ11は、小組立体4および原形レンズ5で構成される第2の光学系の焦点位置に基準光束L0を集光する位置に波面変換レンズ11を配置する。
 本変形例の光学パラメータ補正値算出工程S13は、上記第1の実施形態と同様に、光学特性の測定結果に基づいて、第1の光学系の光学特性の設計値からのずれ量を求め、少なくとも第2レンズ自体の光学パラメータをその設計値から変更することにより、ずれ量を補正する第2レンズの光学パラメータの補正値を算出する工程である。
 ただし、光学特性の測定結果が、第2の光学系の光学特性であるため、測定結果における原形レンズ5の寄与分を除去することにより、上記第1の実施形態のように、第1の光学系の収差を算出する演算処理を行う点が上記第1の実施形態と異なる。
 すなわち、図6Bに示すように、偏心した第1レンズ2に原形レンズ5を仮組みすると、原形レンズ5を透過した光束L5’の波面収差は、第1の光学系の波面収差に、原形レンズ5による設計上の波面収差が加算されるため、光学シミュレーションソフトを用いて、光束L5’の波面収差から、第1の光学系による波面収差を算出することが可能である。
 このように、第1の光学系の波面収差が求まるため、後は、上記第1の実施形態の光学パラメータ補正値算出工程S3と同様にして光学パラメータの補正値を算出する。
 本変形例によれば、光学特性測定工程S12、光学パラメータ補正値算出工程S3が異なるのみで、上記第1の実施形態と同様に、光学ユニット1の組み立てを行うことができる。
 本変形例の第1の組立工程S1、光学特性測定工程S12、および光学パラメータ補正値算出工程S13は、本変形例の組立用レンズの設計方法を構成している。
[第4変形例]
 次に、本実施形態の第4変形例の光学組立体の製造方法について説明する。
 図15は、本発明の第1の実施形態の第4変形例の光学組立体の製造方法の工程フローを示すフローチャートである。
 本変形例の光学組立体の製造方法について、上記第1の実施形態の光学ユニット1を組み立てる場合の例で説明する。
 本変形例は、原形レンズ5の外形状に無視できない製造誤差があっても、光学ユニット1の光学特性を良好に補正できるようにする方法である。このため、本変形例では、原形レンズ5に、小組立体4に組み立てると第1の光学系が設計値通りの光学系であっても、第2の光学系としての光学特性が劣化してしまうような製造誤差が含まれている光学系として説明する。ただし、上記第1の実施形態の付加レンズ部6では、原形レンズ5の径方向基準面5cと第2レンズ径方向保持面3cとの間の隙間によって生じる組立時の偏心バラツキは補正できないため、径方向基準面5cの外径の誤差は、許容範囲内であるとする。
 本変形例の光学ユニット1の製造方法は、図15に示すように、第1の組立工程S21、形状誤差測定工程S22、光学特性測定工程S23、光学パラメータ補正値算出工程S24、レンズ製造工程S25、および第2の組立工程S26を備え、これらをこの順に行う。ただし、形状誤差測定工程S22は、光学パラメータ補正値算出工程S24を開始するまでに終了していればよく、実行タイミングは、第1の組立工程S21と光学特性測定工程S23との間には限定されない。
 以下、上記第1の実施形態と異なる点を中心に説明する。
 第1の組立工程S21は、上記第1の実施形態の第1の組立工程S1と同様な工程である。
 形状誤差測定工程S22は、第2レンズ7の製造に用いる原形レンズ5の形状誤差を測定する工程である。
 すなわち、本工程では、光学ユニット1における光学特性への寄与が大きい形状誤差、例えば、原形レンズ5の第1レンズ面5a、第2レンズ面5bの曲率半径、面間隔、偏心量を測定する。
 これらの測定結果は、原形レンズ5を識別する製造番号などとともに、測定装置20の補正値解析装置13が利用できるようにしておく。例えば、補正値解析装置13の外部記憶装置にこれらの測定結果等を記憶させておく。
 以上で、形状誤差測定工程S22が終了する。
 光学特性測定工程S23は、上記第1の実施形態の光学特性測定工程S2と同様の工程である。
 光学パラメータ補正値算出工程S24は、上記第1の実施形態の光学パラメータ補正値算出工程S3と同様に、光学特性の測定結果に基づいて、第1の光学系の光学特性の設計値からのずれ量を求め、第2レンズ自体の光学パラメータをその設計値から変更することにより、ずれ量を補正する第2レンズの光学パラメータの補正値を算出する工程である。
ただし、光学パラメータの補正値の算出に当たって原形レンズ5の形状誤差の測定値を算入する点が上記第1の実施形態と異なる。
 本工程では、まず、測定された小組立体4の識別情報を参照して、この小組立体4に組み立てる予定の原形レンズ5の形状誤差の情報を外部記憶装置から読み出す。
 次に、補正値解析装置13は、この形状誤差を含んだ原形レンズ5を、光学特性測定工程S23で測定された光学特性を有する小組立体4に組み立てた場合に、付加レンズ部6によって創成すべき第3レンズ面6bに対応する光学パラメータの補正値を算出する。
 具体的には、補正値解析装置13は、第1の光学系の光学特性の測定結果と、第1レンズ面5aの配置位置、配置姿勢、面形状に関する形状誤差とを考慮して、第3レンズ面6bの配置を設定する。その際、第2レンズ面5bの配置位置、配置姿勢、面形状に関する形状誤差を考慮して第3レンズ面6bと第2レンズ面5bとが干渉しない条件の下に、第3レンズ面6bの配置を設定する。
 例えば、原形レンズ5の第1レンズ面5aがその設計上の光軸O5aに対して、チルト偏心していたり、軸方向基準面5dに対する光軸に沿う方向の配置位置がずれていたりする場合、このチルト偏心や光軸に沿う方向の配置位置を算入した上で、第1の光学系の光学特性の設計値からのずれ量を補正するための、第3レンズ面6bの光学パラメータの候補を設定し、第3レンズ面6b透過後の波面収差を算出する。
 このとき、第3レンズ面6bの光学パラメータの候補を任意に設定すると、原形レンズ5の形状誤差によっては、第3レンズ面6bが第2レンズ面5bと干渉する位置関係になるため、第3レンズ面6bが第2レンズ面5bの全体から離間して第2レンズ面5bと干渉しない光学パラメータのみを採用する。
 そして、補正値解析装置13は、この光学パラメータの候補に基づく第3レンズ面6b透過後の波面収差を算出し、その設計値からのずれ量が許容値以下かどうかを判定する。
許容値を超える場合は、第3レンズ面6bの光学パラメータの候補の設定を変えて、同様な計算を繰り返し、波面収差が許容値以下に収束したときに、この光学パラメータを、光学パラメータの補正値として出力する。
 以上で、光学パラメータ補正値算出工程S24が終了する。
 レンズ製造工程S25、第2の組立工程S26は、上記第1の実施形態のレンズ製造工程S4、第2の組立工程S5と同様な工程である。
 このようにして、光学ユニット1を製造することができる。
 本変形例の第1の組立工程S21、形状誤差測定工程S22、光学特性測定工程S23、および光学パラメータ補正値算出工程S24は、本変形例の組立用レンズの設計方法を構成している。
 本変形例によれば、原形レンズ5の形状誤差の実測値に基づいて、第3レンズ面6bの光学パラメータの補正値を算出することができるため、原形レンズ5に形状誤差がある場合にも、良好な光学特性が得られる光学ユニット1を製造することができる。
[第2の実施形態]
 次に、本発明の第2の実施形態の光学組立体の製造方法および組立用レンズの設計方法について説明する。
 図16は、本発明の第2の実施形態の光学組立体の製造方法で組み立てられた光学組立体の一例を示す断面図である。図17Aは、本発明の第2の実施形態の先組み組立体に組み立てる組立用レンズの一例を示す断面図である。図17Bは、図17AにおけるC視図である。
 本実施形態の光学組立体の製造方法は、上記第1の実施形態と、第nレンズの製造方法が異なる。すなわち、第1の実施形態では、第nレンズである組立用レンズを、第nレンズにおける光学パラメータの設計値に基づいて原形レンズを製造した後、この原形レンズの少なくともレンズ面を再加工することにより、補正値に基づいて製造する。これに対して、本実施形態では、第nレンズにおける光学パラメータの補正値に基づいた形状の第nレンズをレンズ材料から製造する。
 以下、上記第1の実施形態と異なる点を中心に説明する。
 以下では、一例として、光学組立体が、図16に示す光学ユニット61である場合の例で説明する。
 光学ユニット61は、上記第1の実施形態における光学ユニット1の第2レンズ7に代えて、第2レンズ67(第nレンズ、組立用レンズ)を備える。
 第2レンズ67は、上記第1の実施形態の原形レンズ5と同一のレンズ材料から製造された単レンズであり、原形レンズ5の第2レンズ面5bに代えて、第2レンズ面67bを備える。
 第2レンズ面67bは、上記第1の実施形態における第3レンズ面6bと同じ面形状、配置位置、配置姿勢を有するレンズ面である。したがって、第2レンズ面67bの光軸O67bは、第1レンズ面5aの光軸O5aに対して、上記第1の実施形態における第3レンズ面6bの光
軸O6bと同様の位置関係にある。
 このため、第2レンズ67は、上記第1の実施形態の第2レンズ7と同一の外形状を有しており、小組立体4に対して、第2レンズ7と同様の位置関係に組み立てられて、接着部9によって、第2レンズ7と同様に固定されている。
 このような構成の光学ユニット61は、図4に示すように、第1の組立工程S31、光学特性測定工程S32、光学パラメータ補正値算出工程S33、レンズ製造工程S34、および第2の組立工程S35をこの順に行うことにより製造することができる。
 第1の組立工程S31、光学特性測定工程S32は、それぞれ、上記第1の実施形態の第1の組立工程S1、光学特性測定工程S2と全く同様の工程である。
 光学パラメータ補正値算出工程S33は、上記第1の実施形態の光学パラメータ補正値算出工程S33と略同様の工程である。すなわち、第2レンズ面67bの光学パラメータがレンズ設計上の第2レンズの第2面の設計値通りでよい場合でも、設計値を光学パラメータの補正値として出力する点と、レンズ製造工程S34の相違に応じて、加工情報の出力先が異なる点とを除いて同様の工程である。
 レンズ製造工程S34は、光学パラメータ補正値算出工程S33で算出された光学パラメータの補正値に基づいて、第2レンズ67を製造する工程である。
 第2レンズ67の製造方法は、単レンズの製造方法であれば、特に限定されず、レンズ材料に応じて適宜の製造方法、例えば、切削研磨加工や、成形型を用いた成形加工などの製造方法を採用することができる。
 以下では、一例として、図18に示す成形装置70を用いたガラスモールド成形の例で説明する。
 成形装置70は、ガラス材料G(レンズ材料)を加熱して軟化させる加熱室71と、軟化したガラス材料Gを成形するため、開口部73aを介して加熱室71に隣接された成形室73とを備える。開口部73aは、シャッタ73bによって開閉可能とされ、シャッタ73bが閉じられた際には成形室73の気密が保たれるようになっている。
 加熱室71は、側面部に、搬送部80に保持されたガラス材料Gを搬入するため、図示略のシャッタによって開閉可能に設けられた搬入口71aが設けられており、内部にはガラス材料Gを加熱するヒータ72を備えている。
 搬送部80は、シャッタ73bが開放された際には、加熱軟化したガラス材料Gを成形室73の内部に搬送できるようになっている。
 成形室73は、図示略の真空ポンプおよび不活性ガス供給源を備え、シャッタ73bが閉じられた際に、室内に低圧の不活性雰囲気を形成できるようになっている。
 成形室73の天井面には、第2レンズ67の第2レンズ面67bの面形状をガラス材料Gに転写するための成形面78bを有する固定型部78B(成形型)が設けられている。
 固定型部78Bの下方には、成形室73の下面に設置された成形型移動部77によって移動可能に支持された可動型部78A(成形型)が配置されている。可動型部78Aは、その上面に、第2レンズ67の第1レンズ面5aの面形状をガラス材料Gに転写するための成形面78aを備えている。
 なお、固定型部78B、可動型部78Aは、図示略のヒータによって温度制御されている。
 成形型移動部77は、第2レンズ面67bの光軸O67bに対応する成形面78bの中心軸線O78bに沿う方向に進退するZ軸ステージ74と、互いに直交しかつ中心軸線O78bにそれぞれ直交する2軸方向に移動可能なXY軸ステージ75と、中心軸線O78bに対して1軸方向に傾動可能とされ、可動型部78Aを保持するゴニオステージ76とが、成形室73の底面からこの順次積載されている。
 成形型移動部77は、制御部79と通信可能に接続され、制御部79からの制御信号に応じて、Z軸ステージ74、XY軸ステージ75、およびゴニオステージ76のそれぞれの移動量が制御されるようになっている。
 制御部79は、補正値解析装置13から送出される加工情報に基づいて、成形面78bに対する成形面78aの相対位置関係が、補正値解析装置13で算出された光学パラメータの補正値に相当する相対位置関係となるように、成形型移動部77の動作を制御する。
 このような構成の成形装置70によって第2レンズ67を製造するには、まず、搬送部80によってガラス材料Gを加熱室71内に搬入し、ガラス材料Gをヒータ72によって軟化するまで加熱する。
 次に、シャッタ73bを開放して、搬送部80を駆動して、低圧の不活性雰囲気とされた成形室73内に軟化したガラス材料Gを搬送し、図18に示すように、成形面78a上に載置する。載置終了後、搬送部80は加熱室71に退避させ、シャッタ73bを閉鎖する。
 このとき、固定型部78B、可動型部78Aは、ガラス材料Gと略同等の温度に昇温しておく。
 次に、制御部79は、補正値解析装置13から送出された加工情報に基づいて、XY軸ステージ75、ゴニオステージ76の駆動量を制御し、中心軸線O78bに交差する方向の成形面78aの位置、および中心軸線O78bに対する傾斜量を、第2レンズ67における光軸O67bに対する第1レンズ面5aの位置および傾斜量に合わせる。
 次に、制御部79は、Z軸ステージ74を中心軸線O78bに沿って上昇させ、成形面78b、78aの間の面間隔が、第2レンズ67の面間隔に等しくなるまで移動し、その位置を保持する。
 これにより、成形面78b、78aの間に挟まれたガラス材料Gが、押圧され、成形面78b、78aの形状に倣って変形する。この状態で、固定型部78B、可動型部78Aを降温させて、ガラス材料Gを冷却する。
 ガラス材料Gが固化するまで、冷却が進んだら、制御部79は、Z軸ステージ74を下降して、固化したガラス材料Gからなる成形品を脱型する。この成形品の表面には、成形面78a、78bの形状がそれぞれ転写され、これより、第2レンズ67の第1レンズ面5aと第2レンズ面67bとが成形されている。
 脱型した成形品は、成形室73の外部に取り出して、図示略の心取り加工機によって、成形された第1レンズ面5aを基準として、心取り加工を行い、軸方向基準面5d、径方向基準面5c、平面部5eの形状を加工する。
 このようにして、第2レンズ67が製造され、レンズ製造工程S34が終了する。
 次に行う第2の組立工程S35は、上記第1の実施形態の第2の組立工程S5と全く同様の工程である。
 このようにして、光学ユニット61が製造することができる。
 本実施形態の第1の組立工程S31、光学特性測定工程S32、および光学パラメータ補正値算出工程S33は、本実施形態の組立用レンズの設計方法を構成している。
 このようにして組み立てられた光学ユニット61において、第2レンズ67は、小組立体4の光学特性の測定結果に基づいて、外形形状が形成されているため、光学パラメータの設計値からのずれ量に基づく第1の光学系の光学特性の劣化が補正されている。このため、上記第1の実施形態と同様にして第2レンズ67を透過した光束の波面収差が補正される。
 このように、本実施形態の製造方法によれば、組み付け位置の調整を行うことなく簡単な作業によって良好な光学特性が得られる。
 なお、上記の各実施形態、各変形例の説明では、一例として、光学組立体を構成するレンズの個数Nが2であり、第1の光学系が、第1レンズ2のみからなる場合の例で説明したが、光学組立体のレンズの個数Nは3以上の適宜数でもよく、第1の光学系は、2個以上のレンズで構成されていてもよい。また、光学組立体には、N個のレンズ以外にレンズ以外の光学素子を含んでいてもよい。
 光学組立体のレンズの個数Nが3以上の光学組立体の場合、本発明の光学組立体の製造方法および組立用レンズの設計方法は、第2レンズから第Nレンズのうちから選択された1以上の第nレンズの組み立て、および設計に適用することができる。
 また、上記の各実施形態、各変形例の説明では、第nレンズの光学パラメータとして、レンズ面のシフト量、チルト量、全体光学系の光軸に沿う方向の配置位置、レンズ面間の面間隔を変更した場合の例で説明したが、全体光学系の設計に用いる他の光学パラメータ、例えば、曲率半径や非球面式、自由曲面式の係数などで表されるレンズ面の面形状、レンズ面間の屈折率、アッベ数などを設計値から変更してもよい。
 このようにすれば、収差補正の自由度が向上するため、より良好な光学特性の補正が可能となる。
 例えば、第1の実施形態において、付加レンズ部6の屈折率を変えてもよい。この場合、第2レンズ面5bでの屈折が生じるため、第2レンズ7は、3つのレンズ面を有する接合レンズと見なすことができ、それぞれの光学パラメータを変更して光学シミュレーションすることにより、波面収差の計算が可能である。
 第2の実施形態においては、第2レンズ67のガラス材料Gの材質を変えることで、屈折率を設計値から変更することができる。
 また、レンズ面の面形状を変更するには、切削加工時の曲面式を変更したり、成形型の成形面を変更したりすればよい。
 また、上記の第1の実施形態、およびその変形例の説明では、付加レンズ部をUV硬化性樹脂で成形した場合の例で説明したが、UV光以外の光硬化性樹脂や、熱硬化性樹脂などで成形してもよい。
 また、上記の第1の実施形態の第3変形例の説明では、仮組み用レンズとして、付加レンズ部6を形成する原形レンズ5または治具レンズを用いる場合の例で説明した。この場合、仮組み状態の光学特性から、第1の光学系の光学特性を精度よく推定するには、仮組み用レンズの光学パラメータが既知であることが重要である。
 このため、仮組み用レンズの形状誤差が無視できることが好ましいが、形状誤差が無視できない場合でも、予め、仮組み用レンズの光学特性や形状誤差を実測し、これらの実測値の条件を光学シミュレーションソフトに入力して、それらの寄与分を除去することで、第1の光学系の光学特性を精度よく推定することができる。
 また、上記の第1の実施形態の第4変形例の説明では、第2レンズ径方向保持面3cと径方向基準面5cとの間の隙間は十分小さいとして説明したが、形状誤差測定工程S22において、径方向基準面5cの外径を実測しておき、第2の組立工程S26において、第2レンズ7を組み立てる際、一定方向に片寄せするようにしてもよい。
 この場合、この組立誤差によるシフト量が既知量となる。
 したがって、光学パラメータ補正値算出工程S24において、この組立誤差のシフト量を算入して、光学パラメータの補正値を算出すれば、第2レンズ径方向保持面3cと径方向基準面5cとの間の隙間が大きくても、良好に光学特性を補正することができる。
 また、上記の各実施形態、および各変形例で説明した構成要素は、本発明の技術的思想の範囲で適宜組み合わせたり、削除したりして実施することができる。
 例えば、第3変形例、第4変形例の製造方法において組立用レンズの構成を、第1変形例、第2変形例の第2レンズ47、57のような構成としてもよい。
 また、例えば、第2変形例の第2レンズ57において、第1変形例の軸方向位置決め部46dを設ける構成としてもよい
 また、例えば、第4変形例の光学特性測定工程S23、光学パラメータ補正値算出工程S24に、第3変形例の光学特性測定工程S12、光学パラメータ補正値算出工程S13の方法を適用してもよい。
 上記の各実施形態における光学組立体の製造方法および組立用レンズの設計方法によれば、光学特性測定工程によって、n-1個のレンズ含む第1の光学系の光学特性の設計値からのずれ量を第1の光学系を含む光学系の光学特性測定によって求めてから、このずれ量を補正する第nレンズの光学パラメータの補正値を算出し、この補正値に基づく第nレンズを製造できる。これにより、組み付け位置の調整を行わなくても良好な光学特性が得られるという効果を奏する。
1、41、51、61 光学ユニット(光学組立体)
2 第1レンズ(第1の光学系、第n-1レンズ)
3 レンズ保持枠(レンズ保持部材)
4 小組立体(先組み組立体)
5 原形レンズ(仮組み用レンズ)
5a 第1レンズ面
5b 第2レンズ面
5c 径方向基準面
5d 軸方向基準面
6、46、56A、56B 付加レンズ部(付加部)
6b、46a、56a 第3レンズ面
7、47、57、67 第2レンズ(第nレンズ、組立用レンズ)
13 補正値解析装置
20 測定装置
30 付加レンズ部加工装置
37、77 成形型移動部
38 成形型部(成形型)
46d 軸方向位置決め部
56b 第4レンズ面
67b 第2レンズ面
70 成形装置
78A 可動型部(成形型)
78B 固定型部(成形型)
G ガラス材料(レンズ材料)
M 成形材料
S1、S21、S31 第1の組立工程
S2、S12、S23、S32 光学特性測定工程
S3、S13、S24、S33 光学パラメータ補正値算出工程
S22 形状誤差測定工程
S4、S25、S34 レンズ製造工程
S5、S26、S35 第2の組立工程
O1 基準軸線(全体光学系の基準軸)
O2、O2’、O5、O5’、O5a、O5b、O6b 光軸
P3 中心軸線
P30 基準軸線
 

Claims (9)

  1.  予め決められた光学パラメータの設計値に基づいて全体光学系を構成するため、前記全体光学系の基準軸に沿って、第1レンズから第NレンズまでN個(ただし、Nは2以上の整数)のレンズがレンズ保持部材に組み立てられた光学組立体を製造する光学組立体の製造方法であって、
     前記N個のレンズのうち、第1レンズから第n-1レンズ(ただし、nは1<n≦Nの整数)までを前記レンズ保持部材に組み立てて先組み組立体を組み立てる第1の組立工程と、
     前記先組み組立体におけるn-1個のレンズを含む第1の光学系、または前記光学パラメータの設計値による第nレンズに相当する仮組み用レンズが前記先組み組立体に仮組みされて形成される第2の光学系の光学特性を測定する光学特性測定工程と、
     前記光学特性の測定結果に基づいて、前記第1の光学系の光学特性の設計値からのずれ量を求め、少なくとも前記第nレンズ自体の前記光学パラメータをその設計値から変更することにより、前記ずれ量を補正する前記第nレンズの前記光学パラメータの補正値を算出する光学パラメータ補正値算出工程と、
     前記補正値に基づいて、前記第nレンズを製造するレンズ製造工程と、
     前記レンズ製造工程で製造された前記第nレンズを前記先組み組立体に組み立てる第2の組立工程とを備え、
     少なくとも1つのnについて、前記第1の組立工程、前記光学特性測定工程、前記光学パラメータ補正値算出工程、前記レンズ製造工程、および前記第2の組立工程をこの順に行うことにより、前記光学組立体を製造する光学組立体の製造方法。
  2.  前記第nレンズ自体の前記光学パラメータは、
     前記第nレンズの基準軸に直交する方向におけるレンズ面のシフト量、前記基準軸に対するチルト量、前記レンズ面同士の間の面間隔、前記レンズ面の面形状、および前記レンズ面間の屈折率のうちから選ばれた1種類以上の光学パラメータである
    請求項1に記載の光学組立体の製造方法。
  3.  前記光学パラメータ補正値算出工程で算出する前記光学パラメータの補正値は、
     前記レンズ保持部材に対する前記第nレンズのレンズ面の配置を変更する前記光学パラメータの補正値を含む
    請求項1または2に記載の光学組立体の製造方法。
  4.  前記レンズ製造工程では、
     前記第nレンズにおける前記光学パラメータの設計値に基づいて原形レンズを製造した後、前記原形レンズの少なくともレンズ面を再加工することにより、前記補正値に基づいて前記第nレンズを製造する
    請求項1~3のいずれか1項に記載の光学組立体の製造方法。
  5.  前記原形レンズのレンズ面の再加工は、前記原形レンズのレンズ面上に、成形型を用いた樹脂成形によって付加部を形成することにより、前記付加部の表面に前記補正値に基づくレンズ面を創成する加工である
    請求項4に記載の光学組立体の製造方法。
  6.  前記レンズ製造工程では、
     前記第nレンズにおける前記光学パラメータの補正値に基づいた形状の第nレンズをレンズ材料から製造する
    請求項1~3のいずれか1項に記載の光学組立体の製造方法。
  7.  前記レンズ製造工程では、
     成形型を用いて前記レンズ材料を成形することにより前記第nレンズを製造する
    請求項6に記載の光学組立体の製造方法。
  8.  前記光学特性測定工程では、
     前記光学特性のうち、少なくとも非対称成分の大きさを測定し、
     前記光学パラメータ補正値算出工程では、
     前記ずれ量として、前記非対称成分の大きさが補正されるように、前記光学パラメータの補正値を算出する
    請求項1~7のいずれか1項に記載の光学組立体の製造方法。
  9.  予め決められた光学パラメータの設計値に基づいて全体光学系を構成するため、前記全体光学系の基準軸に沿って、第1レンズから第NレンズまでN個(ただし、Nは2以上の整数)のレンズがレンズ保持部材に組み立てられた光学組立体の製造に用いる組立用レンズの設計方法であって、
     前記N個のレンズのうち、第1レンズから第n-1レンズ(ただし、nは1<n≦Nの整数)までを前記レンズ保持部材に組み立てて先組み組立体を組み立てる第1の組立工程と、
     前記先組み組立体におけるn-1個のレンズを含む第1の光学系、または前記光学パラメータの設計値による第nレンズに相当する仮組み用レンズが前記先組み組立体に仮組みされて形成される第2の光学系の光学特性を測定する光学特性測定工程と、
     前記光学特性の測定結果に基づいて、前記第1の光学系の光学特性の設計値からのずれ量を求め、少なくとも前記第nレンズ自体の前記光学パラメータをその設計値から変更することにより、前記ずれ量を補正する前記第nレンズの前記光学パラメータの補正値を算出する光学パラメータ補正値算出工程と、を備え、
     前記補正値に基づいて、前記先組み組立体に前記第nレンズとして組み立てる組立用レンズを設計する組立用レンズの設計方法。
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