WO2013185840A1 - Röntgenstrahlungsquelle und deren verwendung und verfahren zum erzeugen von röntgenstrahlung - Google Patents

Röntgenstrahlungsquelle und deren verwendung und verfahren zum erzeugen von röntgenstrahlung Download PDF

Info

Publication number
WO2013185840A1
WO2013185840A1 PCT/EP2012/061479 EP2012061479W WO2013185840A1 WO 2013185840 A1 WO2013185840 A1 WO 2013185840A1 EP 2012061479 W EP2012061479 W EP 2012061479W WO 2013185840 A1 WO2013185840 A1 WO 2013185840A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
housing
ray source
target
ray
radiation
Prior art date
Application number
PCT/EP2012/061479
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Oliver Heid
Timothy Hughes
Jennifer SIRTL
Original Assignee
Siemens Aktiengesellschaft
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens Aktiengesellschaft filed Critical Siemens Aktiengesellschaft
Priority to KR1020157001103A priority Critical patent/KR101866173B1/ko
Priority to CN201280073960.XA priority patent/CN104364876B/zh
Priority to PCT/EP2012/061479 priority patent/WO2013185840A1/de
Priority to JP2015516488A priority patent/JP5976208B2/ja
Priority to EP12729942.8A priority patent/EP2837016B1/de
Priority to US14/407,504 priority patent/US9659738B2/en
Priority to RU2015100936A priority patent/RU2015100936A/ru
Publication of WO2013185840A1 publication Critical patent/WO2013185840A1/de

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J35/00—X-ray tubes
    • H01J35/02—Details
    • H01J35/04—Electrodes ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
    • H01J35/08—Anodes; Anti cathodes
    • H01J35/112—Non-rotating anodes
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05G—X-RAY TECHNIQUE
    • H05G2/00—Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
    • H05G2/001—Production of X-ray radiation generated from plasma
    • H05G2/003—Production of X-ray radiation generated from plasma the plasma being generated from a material in a liquid or gas state
    • H05G2/005—Production of X-ray radiation generated from plasma the plasma being generated from a material in a liquid or gas state containing a metal as principal radiation generating component
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J35/00—X-ray tubes
    • H01J35/02—Details
    • H01J35/16—Vessels; Containers; Shields associated therewith
    • H01J35/18—Windows
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2235/00—X-ray tubes
    • H01J2235/08—Targets (anodes) and X-ray converters
    • H01J2235/081—Target material
    • H01J2235/082—Fluids, e.g. liquids, gases
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2235/00—X-ray tubes
    • H01J2235/18—Windows, e.g. for X-ray transmission

Definitions

  • the invention relates to an X-ray source with a housing in which a target is provided which can emit X-ray radiation when bombarded with an electron beam.
  • the invention relates to a method for generating X-radiation in which a housing of a
  • the invention also relates to a use of a monochromatic X-ray radiation emitting X-ray source.
  • an X-ray source for example, by an arrangement of electrodes in a housing.
  • An electron beam is generated in the housing by an electrode which has a potential of 0 V ⁇ .
  • an anode is arranged ⁇ that comes as a target for the electron beam to the input sentence. This is at 100 kV.
  • Behind the anode is still a collector, which is at a potential of 10 kV.
  • the anode which serves as a target, can be designed as a thin-walled Gebil ⁇ de.
  • these may comprise a Basisplat ⁇ te of boron, which has a thickness between 10 and ym 200th
  • a thin layer of tungsten with a layer thickness of 0.1 to 5 ⁇ m, which is used as a target.
  • the very thin tungsten layer is exposed to high stress by the electron beam.
  • DE 103 42 239 A1 describes a device for producing, for example, soft X-radiation with an electrically operated discharge.
  • a laser beam is used to evaporate a supplied medium.
  • a molten metal can for example be used, which is applied to the outer surface of two Elect ⁇ clear.
  • the steam is with the help of
  • Electrodes ignited a plasma and coupled out the X-radiation.
  • the object of the invention is to improve the above-angege bene ⁇ X-ray source such that a relatively long service life of the X-ray source is possible without that the target must be replaced. It is another object of the invention to provide a method for operating said X-ray source. Finally, it is an object of the invention to find a use for such an X-ray source.
  • an acting anode plasma can be generated in the form of a ioni ⁇ overbased metal vapor in the housing, to produce the metal vapor, a target material, and a vaporizer device provided in the housing.
  • the target material can be solid or liquid.
  • the evaporator device this is evaporated, so that a metal vapor is formed in the housing.
  • X-rays can be generated by bombardment with an electron beam.
  • the object is also achieved by the above-described method for generating X-radiation, wherein a metal vapor is generated as the target in an evaporator device, wherein a target material is provided for generating the metal vapor.
  • the function of this method has already been explained above.
  • the object of emitting by the use of a mo ⁇ still roma ticianren X-radiation X-ray source according to one of claims 1 to 8 is used for fluoroscopy th of a body, which forms differentiable contrast at the wavelength of X-rays used, ge ⁇ dissolves.
  • the body may be a technical body, such as a component connection, to be inspected for errors in the connection. It is also possible that a human or animal body is examined.
  • the wavelength of the monochromatic Rönt ⁇ -radiation suitably to be selected so that contrasts form.
  • the use of monochromatic X-rays compared to X-rays with a wavelength spectrum has the advantage that sharper
  • the housing has an evaporation chamber for a metal to be vaporized, which is connected via an opening, in particular ⁇ a nozzle, with a residual volume of the housing ver ⁇ prevented.
  • This construction has the advantage that the metal vapor can be metered comparatively accurately via the nozzle. Even the shape of the cloud can be influenced for example via the SI ⁇ senform.
  • the evaporation chamber is advantageously separated from the residual volume of the housing. This facilitates, for example, cleaning measures that are necessary in parts of the housing due to the fact that the metal vapor can deposit on the chamber walls.
  • an electrode for ignition of an arc between the electrode and the target ⁇ material is provided as the evaporator device.
  • This evaporator device is located in the housing, in which also the resulting metal ⁇ vapor through the electron beam to emit X-ray Radiation should be stimulated. It should be mentioned as an advantage that such a housing unit is simple in construction. This can be easily replaceable in, for example, upon the occurrence of Verun ⁇ Cleaners by depositing metal vapor.
  • a simple electrode as an electron emitter.
  • the excitation of the plasma-shaped target is effected by a high-current discharge starting from the electrode.
  • a window is arranged, which is transparent to the X-radiation to be generated. Through this window, the resulting X-ray radiation can advantageously be decoupled from the housing and fed to a planned use.
  • the metal vapor consists of a light metal or several light metals, in particular aluminum.
  • the metals and their alloys are to be referred to, whose density is below 5 g / cm 3 .
  • this definition applies to the following light metals: all alkali metals, all alkaline earth metals except radium, as well as scandium, yttrium, titanium and aluminum.
  • Other advantageous material groups for forming the metal vapor are tungsten, molybdenum and the group of lanthanides. Essential in the selection of the Targetmateri ⁇ as is the emission spectrum of the K-shell. This is advantageously coordinated with the application. Specifically, this is the element lanthanum, the 14 elements following the lanthanum in the periodic table.
  • metal vapor also has the advantage that can be produced by exciting the target with the electron beam advantageously a monochromatic X-ray. It is X-rays, with only egg ⁇ ner wavelength, which has the advantage that crizoswei- seize radiographs sharper with monochromatic X-rays. Therefore, it is also an alternative solution of the invention to use this monochromatic X-ray for transilluminating a body, which must be such that appear at the wavelength of the monochromatic X-ray radiation used in the figure contrasts of the body.
  • the body may be a technical entity (technical or inanimate body) such.
  • Another Mög ⁇ friendliness is the absorption of X-ray images of a menschli ⁇ or animal body.
  • Figure 1 shows an embodiment of the X-ray source according to the invention in a schematic section with separate evaporation chamber and a housing for receiving the metal vapor and
  • FIG. 2 shows a further embodiment of the erfindungsge MAESSEN ⁇ X-ray source, in which the evaporation ⁇ evaporation of the target material and the recording of the cloud in the same housing body occurs, in schematic section.
  • FIG. 1 shows an X-ray source in which a housing 11 is made available in which a metal vapor vapor cloud 12 can be generated as a target for X-radiation 21.
  • a housing 11 is made available in which a metal vapor vapor cloud 12 can be generated as a target for X-radiation 21.
  • a liquid target material 14 is vaporized by an electric arc 15.
  • the target material can by the energy input of the arc 15 before be liquefied evaporating.
  • electrodes 16 and a voltage source 17 are provided in order to ignite the arc 15, electrodes 16 and a voltage source 17 are provided.
  • the evaporator device 18 formed by the evaporation chamber 13 is completed by a nozzle 19, which is formed in the partition wall between a generating space 20 for a monochromatic X-ray 21 formed by the housing 11 and the evaporation chamber 13.
  • the housing 11 is separated from the evaporation chamber 13 by an electrically insulating layer 22.
  • an electron gun 24 is provided ⁇ , wherein the electron beam enters into the housing 11 23rd
  • the electron beam interacts with the gaseous target and is electrostatically decelerated and collected by a collector 28.
  • a window 29 there is a window 29 through which the resulting Rönt ⁇ -radiation 21 can be coupled out of the housing.
  • the electron gun 24 has a cathode 30 which is at a potential of 0V. This emits the electron ⁇ beam 23, which is focused by a lens 31, is coupled out of the electron gun.
  • the driving force here for ⁇ is a potential which is established by the fact that the ionized, gaseous target is placed at a potential of +100 to +300 kV.
  • the collector 28 is located on a poten tial ⁇ between +40 and +120 kV.
  • FIG. 2 shows an alternative embodiment of the x-ray radiation source.
  • the housing 11 used here has only one housing space 33 which assumes both the function of the evaporator device 18 and the function of the generating space 20 according to FIG.
  • At the bottom of the housing 11 is the target material 14, which is also melted and vaporized by the electrodes 16 by means of the arc 15.
  • the electrodes 16 are electrically insulated from the residual housing as in FIG. 1 with insulators 34.
  • the electrodes 16 according to FIG. 2 are supplied by an AC voltage source 35, wherein the arc is stabilized by a ballast 36.
  • the Stabili ⁇ tion of the arc is required, so that the Cloud used as a tar get ⁇ is continuously replenished with evaporating target material.
  • a metering device such as the nozzle 19 according to FIG. 1 is missing in the embodiment according to FIG. 2.
  • the generation of the X-ray beam 21 takes place in the same way as described with reference to FIG. This is also shown in more detail in FIG.
  • a lanthanum atom with its nucleus 56 is shown.
  • the K shell 37 of the atom is shown, on which an electron 38 is located. This is excited by excitation of the electron beam and raised to a higher shell 39. If it jumps back to-it emits monochromatic X-Ray ⁇ lung 21st
  • a plurality of housings to be provided with different target materials 14 in order to be able to quickly convert the X-ray radiation source for the generation of monochromatic X-radiation of other wavelengths.
  • a conversion is of course also possible in the structure according to FIG.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • X-Ray Techniques (AREA)

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Röntgenstrahlungsquelle mit einem Gehäuse (11), in dem erfindungsgemäß ein Target in Form einer ionisierten Wolke (12) aus Metalldampf vorgesehen ist. Diese kann über einen Elektronenstrahl (23) zur Aussendung monochromatischer Röntgenstrahlung (21) angeregt werden. Dabei entsteht vorteilhaft durch die geringe Atomdichte lediglich wenig Bremsstrahlung (26). Weiterhin vorteilhaft gegenüber festen Targetmaterialien ist die Robustheit des Plasmas gegenüber dem unvermeidbaren thermischen Energieeintrags. Die Wolke (12) kann jederzeit mit Targetmaterial (14) aufgefüllt werden, welches über einen Lichtbogen (15) verdampft werden kann. Die Erfindung betrifft außerdem ein Verfahren zum Erzeugen von Röntgenstrahlung mit der oben angegebenen Röntgenstrahlungsquelle. Außerdem betrifft die Erfindung eine Verwendung einer monochromatischen Röntgenstrahlung aussendenden Röntgenstrahlungsquelle zum Durchleuchten eines Körpers.

Description

Beschreibung
Röntgenstrahlungsquelle und deren Verwendung und Verfahren zum Erzeugen von Röntgenstrahlung
Die Erfindung betrifft eine Röntgenstrahlungsquelle mit einem Gehäuse, in dem ein Target vorgesehen ist, welches unter Be- schuss mit einem Elektronenstrahl Röntgenstrahlung aussenden kann. Außerdem betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Er- zeugen von Röntgenstrahlung, bei dem in einem Gehäuse einer
Röntgenstrahlungsquelle ein Target mit einem Elektronenstrahl beschossen wird. Zuletzt betrifft die Erfindung auch eine Verwendung einer monochromatischen Röntgenstrahlung aussendenden Röntgenstrahlungsquelle.
Eine Röntgenstrahlungsquelle, deren Verwendung und ein Ver¬ fahren zum Erzeugen von Röntgenstrahlung der eingangs angegebenen Art ist beispielsweise in der US 2008/0144774 AI be¬ kannt. Danach kann eine Röntgenstrahlungsquelle beispielswei- se durch eine Anordnung von Elektroden in einem Gehäuse realisiert werden. Ein Elektronenstrahl wird in dem Gehäuse durch eine Elektrode erzeugt, die ein Potential von 0 V auf¬ weist. Dieser Elektrode gegenüberliegend ist eine Anode ange¬ ordnet, die als Target für die Elektronenstrahlung zum Ein- satz kommt. Diese liegt auf 100 kV. Hinter der Anode befindet sich weiterhin ein Kollektor, der auf einem Potential von 10 kV liegt. Trifft der Elektronenstrahl auf die Anode, so wird Röntgenstrahlung freigesetzt, die durch ein geeignetes Fens¬ ter (transparent für die Röntgenstrahlung) aus dem Gehäuse ausgekoppelt und einer Verwendung zugeführt werden kann.
Die Anode, die als Target dient, kann als dünnwandiges Gebil¬ de ausgeführt sein. Beispielsweise kann diese eine Basisplat¬ te aus Bor aufweisen, die eine Dicke zwischen 10 und 200 ym hat. Auf diese wird eine dünne Schicht Wolfram mit einer Schichtdicke von 0,1 bis 5 ym aufgebracht, die als Target verwendet wird. Allerdings wird die sehr dünne Wolframschicht einer hohen Belastung durch den Elektrodenstrahl ausgesetzt. Außerdem ist gemäß der DE 103 42 239 AI eine Vorrichtung zur Erzeugung von beispielsweise weicher Röntgenstrahlung mit einer elektrisch betriebenen Entladung beschrieben. Hier wird ein Laserstrahl zur Verdampfung eines zugeführten Mediums verwendet. Als Medium kann beispielsweise eine Metallschmelze zum Einsatz kommen, die auf der Außenoberfläche zweier Elekt¬ roden aufgetragen wird. In dem Dampf wird mit Hilfe der
Elektroden ein Plasma gezündet und die Röntgenstrahlung aus- gekoppelt.
Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, die eingangs angege¬ bene Röntgenstrahlungsquelle derart zu verbessern, dass eine vergleichsweise lange Betriebsdauer der Röntgenstrahlungs- quelle möglich ist, ohne dass das Target ausgewechselt werden muss. Weiterhin ist es Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren zum Betrieb der genannten Röntgenstrahlungsquelle anzugeben. Zuletzt ist es Aufgabe der Erfindung eine Verwendung für eine solche Röntgenstrahlungsquelle aufzufinden.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass als Target ein als Anode fungierendes Plasma in Form eines ioni¬ sierten Metalldampfes in dem Gehäuse erzeugbar ist, wobei zur Erzeugung des Metalldampfes ein Targetmaterial und eine Ver- dampfervorrichtung in dem Gehäuse vorgesehen sind. Das Targetmaterial kann fest oder flüssig sein. Durch die Verdampfervorrichtung wird dieses verdampft, so dass in dem Gehäuse ein Metalldampf entsteht. In dem Metalldampf, welcher in dem Gehäuse einer Hochspannung ausgesetzt werden kann, kann durch Beschuss mit einem Elektronenstrahl Röntgenstrahlung erzeugt werden .
Weiterhin wird die Aufgabe auch durch das eingangs angegebene Verfahren zum Erzeugen von Röntgenstrahlung gelöst, wobei als Target in einer Verdampfervorrichtung ein Metalldampf erzeugt wird, wobei zur Erzeugung des Metalldampfes ein Targetmaterial vorgesehen ist. Die Funktion dieses Verfahrens ist bereits vorstehend erläutert worden. Zuletzt wird die Aufgabe auch durch die Verwendung einer mo¬ nochromatischeren Röntgenstrahlung aussendenden Röntgenstrahlungsquelle nach einem der Ansprüche 1 bis 8 zum Durchleuch- ten eines Körpers, der bei der Wellenlänge der verwendeten Röntgenstrahlung differenzierbare Kontraste ausbildet, ge¬ löst. Der Körper kann ein technischer Körper wie beispielsweise eine Bauteilverbindung sein, die auf Fehler in der Verbindung hin untersucht werden soll. Möglich ist es auch, dass ein menschlicher oder tierischer Körper untersucht wird. In jedem Falle muss die Wellenlänge der monochromatischen Rönt¬ genstrahlung in geeigneter Weise ausgewählt werden, damit sich Kontraste ausbilden. Die Verwendung monochromatischer Röntgenstrahlung im Vergleich zu Röntgenstrahlung mit einem Wellenlängenspektrum hat den Vorteil, dass sich schärfere
Bilder erzeugen lassen, die genauere Aussagen über den untersuchten Gegenstand erlauben.
Gemäß einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass das Gehäuse eine Verdampfungskammer für ein zu verdampfendes Metall aufweist, die über eine Öffnung, ins¬ besondere eine Düse, mit einem Restvolumen des Gehäuses ver¬ bunden ist. Dieser Aufbau hat den Vorteil, dass über die Düse der Metalldampf vergleichsweise genau dosiert werden kann. Auch kann die Gestalt der Wolke beispielsweise über die Dü¬ senform beeinflusst werden. Zuletzt ist die Verdampfungskammer vorteilhaft von dem Restvolumen des Gehäuses getrennt. Dies erleichtert beispielsweise Reinigungsmaßnahmen, die in Teilen des Gehäuses aufgrund der Tatsache notwendig werden, dass sich der Metalldampf an den Kammerwänden abscheiden kann .
Gemäß einer anderen Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass als Verdampfer-Vorrichtung eine Elektrode zur Zün- dung eines Lichtbogens zwischen der Elektrode und dem Target¬ material vorgesehen ist. Diese Verdampfer-Vorrichtung befindet sich in dem Gehäuse, in dem auch der entstandene Metall¬ dampf durch den Elektronenstrahl zur Aussendung von Röntgen- Strahlung angeregt werden soll. Hierbei ist als Vorteil zu nennen, dass eine solche Gehäuseeinheit einfach im Aufbau ist. Diese kann beispielsweise bei dem Auftreten von Verun¬ reinigungen durch Abscheidung von Metalldampf einfach ausge- wechselt werden.
Im einfachsten Fall reicht es auch aus, als Elektronenemitter eine einfache Elektrode vorzusehen. Die Anregung des plasma- förmigen Targets erfolgt durch eine Hochstromentladung ausge- hend von der Elektrode.
Es ist vorteilhaft, dass in der Wand des Gehäuses ein Fenster angeordnet ist, welches transparent für die zu erzeugenden Röntgenstrahlung ist. Durch dieses Fenster kann vorteilhaft die entstehende Röntgenstrahlung aus dem Gehäuse ausgekoppelt werden und einer geplanten Verwendung zugeführt werden.
Gemäß einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass der Metalldampf aus einem Leichtmetall oder mehreren Leichtmetallen, insbesondere Aluminium besteht. Als Leichtmetalle im Sinne der Anmeldung sollen die Metalle und deren Legierungen bezeichnet werden, deren Dichte unterhalb von 5 g/cm3 liegt. Im Einzelnen trifft diese Definition auf folgende Leichtmetalle zu: alle Alkalimetalle, alle Erdalka- limetalle außer Radium, außerdem Scandium, Yttrium, Titan und Aluminium. Andere vorteilhafte Werkstoffgruppen zur Ausbildung des Metalldampfes sind Wolfram, Molybdän und die Gruppe der Lanthanoide. Essentiell bei der Auswahl des Targetmateri¬ als ist das Emmissionsspektrum der K-Schale. Dieses ist vor- teilhaft mit der Applikation abgestimmt. Im Einzelnen handelt es sich dabei um das Element Lanthan die 14 im Periodensystem auf das Lanthan folgenden Elemente.
Die Verwendung von Metalldampf hat außerdem den Vorteil, dass sich durch Anregung des Targets mit dem Elektronenstrahl vorteilhaft eine monochromatische Röntgenstrahlung erzeugen lässt. Dabei handelt es sich um Röntgenstrahlung, mit nur ei¬ ner Wellenlänge, was den Vorteil hat, dass sich beispielswei- se Röntgenbilder mit monochromatischer Röntgenstrahlung schärfer abbilden lassen. Deswegen ist es auch eine alternative Lösung der Erfindung, diese monochromatische Röntgenstrahlung zum Durchleuchten eines Körpers zu verwenden, wobei dieser so beschaffen sein muss, dass bei der Wellenlänge der verwendeten monochromatischen Röntgenstrahlung auf der Abbildung Kontraste des Körpers erscheinen. Bei dem Körper kann es sich um ein technisches Gebilde (technischer oder unbelebter Körper) wie z. B. eine Bauteilverbindung handeln, die auf Lufteinflüsse hin untersucht werden muss. Eine andere Mög¬ lichkeit ist die Aufnahme von Röntgenbildern eines menschli¬ chen oder tierischen Körpers.
Weitere Einzelheiten der Erfindung werden nachfolgend anhand der Zeichnung beschrieben. Gleiche oder sich entsprechende Zeichnungselemente sind jeweils mit den gleichen Bezugszei- chen versehen und werden nur insoweit mehrfach erläutert, wie sich Unterschiede zwischen den einzelnen Figuren ergeben. Es zeigen :
Figur 1 ein Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Röntgenstrahlungsquelle im schematischen Schnitt mit gesonderter Verdampfungskammer und einem Gehäuse zur Aufnahme des Metalldampfes und
Figur 2 ein weiteres Ausführungsbeispiel der erfindungsge¬ mäßen Röntgenstrahlungsquelle, in der die Verdamp¬ fung des Targetmaterials und die Aufnahme der Wolke in demselben Gehäusekörper geschieht, im schematischen Schnitt.
In Figur 1 ist eine Röntgenstrahlungsquelle dargestellt, bei der ein Gehäuse 11 zur Verfügung gestellt wird, in dem eine Wolke 12 aus Metalldampf als Target für Röntgenstrahlung 21 erzeugt werden kann. Neben diesem Gehäuse 12 gibt es eine Verdampfungskammer 13, in der ein flüssiges Targetmaterial 14 durch einen Lichtbogen 15 verdampft wird. Das Targetmaterial kann durch den Energieeintrag des Lichtbogens 15 schon vor dem Verdampfen verflüssigt werden. Um den Lichtbogen 15 zünden zu können, sind Elektroden 16 und eine Spannungsquelle 17 vorgesehen. Die durch die Verdampfungskammer 13 gebildete Verdampfervorrichtung 18 wird durch eine Düse 19 komplet- tiert, wobei diese in der Trennwand zwischen einem durch das Gehäuse 11 gebildeten Erzeugungsraum 20 für einen monochromatischen Röntgenstrahl 21 und der Verdampfungskammer 13 ausgebildet ist. Das Gehäuse 11 ist von der Verdampfungskammer 13 durch eine elektrisch isolierende Schicht 22 getrennt.
Zur Erzeugung eines Elektronenstrahls 23 ist eine Elektronen¬ kanone 24 vorgesehen, wobei der Elektronenstrahl 23 in das Gehäuse 11 hineingelangt. Der Elektronenstrahl tritt in eine Wechselwirkung mit dem gasförmigen Target und wird von einem Kollektor 28 elektrostatisch gebremst und aufgefangen. Zuletzt gibt es ein Fenster 29, durch das die entstehende Rönt¬ genstrahlung 21 aus dem Gehäuse 11 ausgekoppelt werden kann.
Die Elektronenkanone 24 weist eine Kathode 30 auf, die auf einem Potential von 0 V liegt. Diese sendet den Elektronen¬ strahl 23 aus, der durch eine Linse 31 fokussiert, aus der Elektronenkanone ausgekoppelt wird. Die treibende Kraft hier¬ für ist ein Potential, was dadurch aufgebaut wird, dass das ionisierte, gasförmige Target auf ein Potential von +100 bis +300 kV gelegt wird. Der Kollektor 28 liegt auf einem Poten¬ tial zwischen +40 und +120 kV.
In Figur 2 ist eine alternative Ausgestaltung der Röntgenstrahlungsquelle dargestellt. Das hier zum Einsatz kommende Gehäuse 11 weist lediglich einen Gehäuseraum 33 auf, der sowohl die Funktion der Verdampfervorrichtung 18 als auch die Funktion des Erzeugungsraums 20 gemäß Figur 1 übernimmt. Am Boden des Gehäuses 11 befindet sich das Targetmaterial 14, das ebenfalls durch die Elektroden 16 mittels des Lichtbogens 15 geschmolzen und verdampft wird. Die Elektroden 16 sind wie in Figur 1 mit Isolatoren 34 vom Restgehäuse elektrisch isoliert. Die Elektroden 16 gemäß Figur 2 werden durch eine Wechselspannungsquelle 35 versorgt, wobei der Lichtbogen durch ein Vorschaltgerät 36 stabilisiert wird. Die Stabili¬ sierung des Lichtbogens ist erforderlich, damit die als Tar¬ get eingesetzte Wolke kontinuierlich mit verdampfendem Targetmaterial aufgefüllt wird. Eine Dosiervorrichtung wie die Düse 19 gemäß Figur 1 fehlt nämlich bei der Ausgestaltung gemäß Figur 2.
Die Erzeugung des Röntgenstrahls 21 erfolgt allerdings in gleicher Weise wie zu Figur 1 beschrieben. Dies ist in Figur 1 auch näher dargestellt. Hier ist exemplarisch ein Lanthanatom mit seinem Kern 56 dargestellt. Weiterhin ist die K- Schale 37 des Atoms dargestellt, auf der sich ein Elektron 38 befindet. Dieses wird durch Anregung des Elektronenstrahls angeregt und auf eine höhere Schale 39 angehoben. Wenn es zu- rückspringt, emittiert es die monochromatische Röntgenstrah¬ lung 21.
Als Elektronenemitter kommt gemäß Figur 2 keine Elektronenka¬ none 24, sondern eine einfache Elektrode 40 zum Einsatz, wo- bei diese, wie bereits zu Figur 1 beschrieben, auf einem Po¬ tential von 0 V liegt. Sowohl die Elektrode 40 als auch der Kollektor 28 sind in einem Außengehäuse 41 angeordnet, wel¬ ches ein zusätzliches Fenster 42 aufweist, über das die Rönt¬ genstrahlung 21 ausgekoppelt werden kann. Das Gehäuse 11 wird in das Außengehäuse 41 einfach eingesetzt. Vorteilhaft können mehrere der Gehäuse 11 vorgehalten werden, um beispielsweise einen schnellen Austausch zu ermöglichen, wenn das Gehäuse 11 gereinigt werden muss oder das Targetmaterial 14 verbraucht wurde. Außerdem ist es vorteilhaft auch möglich, dass mehrere Gehäuse mit verschiedenen Targetmaterialien 14 vorgehalten werden können, um die Röntgenstrahlungsquelle schnell für die Erzeugung von monochromatischer Röntgenstrahlung anderer Wellenlängen umrüsten zu können. Grundsätzlich ist eine solche Umrüstung selbstverständlich auch bei dem Aufbau gemäß Figur 1 möglich.

Claims

Patentansprüche
1. Röntgenstrahlungsquelle mit einem Gehäuse (11), in dem ein Target (12) vorgesehen ist, welches unter Beschuss mit einem Elektronenstrahl (23) Röntgenstrahlung aussenden kann, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t ,
dass als Target (12) ein ionisierter Metalldampf in dem Gehäuse erzeugbar ist, wobei zur Erzeugung des Metalldampfes ein Targetmaterial (14) und eine Verdampfer-Vorrichtung (18) in dem Gehäuse (11) vorgesehen sind.
2. Röntgenstrahlungsquelle nach Anspruch 1,
d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t ,
dass das Gehäuse eine Verdampfungskammer (13) für ein zu ver- dampfendes Metall aufweist, die über eine Öffnung, insbeson¬ dere eine Düse (19), mit einem Restvolumen des Gehäuses (11) verbunden ist.
3. Röntgenstrahlungsquelle nach Anspruch 1 oder 2,
d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t ,
dass als Verdampfer-Vorrichtung (18) eine Elektrode (16) zur Zündung eines Lichtbogens zwischen der Elektrode (16) und dem Targetmaterial (14) vorgesehen ist.
4. Röntgenstrahlungsquelle nach einem der vorangehenden Ansprüche,
d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t ,
dass das Gehäuse (11) ein erstes Fenster (25) in der Wand aufweist, welches für den Elektronenstrahl (23) transparent ist.
5. Röntgenstrahlungsquelle nach einem der vorangehenden Ansprüche,
d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t ,
dass in der Wand des Gehäuses (11) ein Fenster (29) angeord¬ net ist, welches transparent für die zu erzeugende Röntgen¬ strahlung ist.
6. Röntgenstrahlungsquelle nach einem der vorangehenden Ansprüche,
d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t ,
dass das Targetmaterial aus ein Leichtmetall, insbesondere Aluminium besteht.
7. Röntgenstrahlungsquelle nach einem der Ansprüche 1 bis 5, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t ,
dass das Targetmaterial aus einem Lanthanoid, Wolfram, Molyb- dän oder einer Legierung mindestens zweier der genannten Metalle besteht.
8. Verfahren zum Erzeugen von Röntgenstrahlung, bei dem in dem Gehäuse (11) einer Röntgenstrahlungsquelle ein Target (12) mit einem Elektronenstrahl (23) beschossen wird und Röntgenstrahlung aussendet,
d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t ,
dass als Target (12) in einer Verdampfer-Vorrichtung (18) in dem Gehäuse (11) ein Metalldampf erzeugt wird, wobei zur Er- zeugung des Metalldampfes ein Targetmaterial (14) vorgesehen ist .
9. Verfahren nach Anspruch 8,
d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t ,
dass mit dem Target monochromatische Röntgenstrahlung erzeugt wird .
10. Verwendung einer monochromatische Röntgenstrahlung aussendenden Röntgenstrahlungquelle nach einem der Ansprüche 1 bis 8 zum Durchleuchten eines Körpers, der bei der Wellenlänge der verwendeten Röntgenstrahlung differenzierbare Kontraste ausbildet.
PCT/EP2012/061479 2012-06-15 2012-06-15 Röntgenstrahlungsquelle und deren verwendung und verfahren zum erzeugen von röntgenstrahlung WO2013185840A1 (de)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020157001103A KR101866173B1 (ko) 2012-06-15 2012-06-15 Ｘ­선 소스，ｘ­선 소스의 사용 그리고 ｘ­선들을 생성하기 위한 방법
CN201280073960.XA CN104364876B (zh) 2012-06-15 2012-06-15 X射线辐射源及其应用和用于产生x射线辐射的方法
PCT/EP2012/061479 WO2013185840A1 (de) 2012-06-15 2012-06-15 Röntgenstrahlungsquelle und deren verwendung und verfahren zum erzeugen von röntgenstrahlung
JP2015516488A JP5976208B2 (ja) 2012-06-15 2012-06-15 Ｘ線源、ｘ線源の使用およびｘ線を発生させる方法
EP12729942.8A EP2837016B1 (de) 2012-06-15 2012-06-15 Röntgenstrahlungsquelle und deren verwendung und verfahren zum erzeugen von röntgenstrahlung
US14/407,504 US9659738B2 (en) 2012-06-15 2012-06-15 X-ray source and the use thereof and method for producing X-rays
RU2015100936A RU2015100936A (ru) 2012-06-15 2012-06-15 Источник рентгеновского излучения и его применение и способ генерации рентгеновского излучения

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/EP2012/061479 WO2013185840A1 (de) 2012-06-15 2012-06-15 Röntgenstrahlungsquelle und deren verwendung und verfahren zum erzeugen von röntgenstrahlung

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2013185840A1 true WO2013185840A1 (de) 2013-12-19

Family

ID=46384358

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/EP2012/061479 WO2013185840A1 (de) 2012-06-15 2012-06-15 Röntgenstrahlungsquelle und deren verwendung und verfahren zum erzeugen von röntgenstrahlung

Country Status (7)

Country Link
US (1) US9659738B2 (de)
EP (1) EP2837016B1 (de)
JP (1) JP5976208B2 (de)
KR (1) KR101866173B1 (de)
CN (1) CN104364876B (de)
RU (1) RU2015100936A (de)
WO (1) WO2013185840A1 (de)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8331534B2 (en) 2009-04-16 2012-12-11 Silver Eric H Monochromatic X-ray methods and apparatus
DE102015215690A1 (de) * 2015-08-18 2017-03-09 Siemens Healthcare Gmbh Emitteranordnung
EP3385976A1 (de) * 2017-04-05 2018-10-10 Excillum AB Dampfüberwachung
US10532223B2 (en) 2017-05-19 2020-01-14 Imagine Scientific, Inc. Monochromatic X-ray imaging systems and methods
EP3493239A1 (de) 2017-12-01 2019-06-05 Excillum AB Röntgenquelle und verfahren zum erzeugen von röntgenstrahlung
US10818467B2 (en) 2018-02-09 2020-10-27 Imagine Scientific, Inc. Monochromatic x-ray imaging systems and methods
CA3129632A1 (en) 2018-02-09 2019-08-15 Imagine Scientific, Inc. Monochromatic x-ray imaging systems and methods
WO2020056281A1 (en) 2018-09-14 2020-03-19 Imagine Scientific, Inc. Monochromatic x-ray component systems and methods
EP3751594B1 (de) * 2019-06-11 2024-08-28 Siemens Healthineers AG Röntgenröhre
WO2023039774A1 (en) * 2021-09-16 2023-03-23 Shenzhen Xpectvision Technology Co., Ltd. Imaging methods using multiple radiation beams

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1028449A1 (de) * 1999-02-12 2000-08-16 Philips Corporate Intellectual Property GmbH Röntgenröhre
DE10342239A1 (de) 2003-09-11 2005-06-16 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren und Vorrichtung zum Erzeugen von Extrem-Ultraviolettstrahlung oder weicher Röntgenstrahlung
US20080144774A1 (en) 2003-04-25 2008-06-19 Crx Limited X-Ray Tubes

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63168942A (ja) 1986-12-27 1988-07-12 Hitachi Ltd プラズマｘ線源
JP3734019B2 (ja) 2001-04-10 2006-01-11 独立行政法人科学技術振興機構 プラズマｘ線管
EP2415065A1 (de) * 2009-04-03 2012-02-08 Excillum AB Zuführung eines flüssigmetallziels bei der erzeugung von röntgenstrahlen
US8331534B2 (en) * 2009-04-16 2012-12-11 Silver Eric H Monochromatic X-ray methods and apparatus
RU2484549C2 (ru) 2010-10-25 2013-06-10 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" Лазерно-плазменный генератор многозарядных ионов

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1028449A1 (de) * 1999-02-12 2000-08-16 Philips Corporate Intellectual Property GmbH Röntgenröhre
US20080144774A1 (en) 2003-04-25 2008-06-19 Crx Limited X-Ray Tubes
DE10342239A1 (de) 2003-09-11 2005-06-16 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren und Vorrichtung zum Erzeugen von Extrem-Ultraviolettstrahlung oder weicher Röntgenstrahlung

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
BEARDEN J A ET AL: "design of a mercury vapor target x-ray tube", REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS, AIP, MELVILLE, NY, US, vol. 35, no. 12, 1 December 1964 (1964-12-01), pages 1681 - 1683, XP002133830, ISSN: 0034-6748, DOI: 10.1063/1.1719255 *

Also Published As

Publication number Publication date
KR20150023025A (ko) 2015-03-04
RU2015100936A (ru) 2016-08-10
JP2015523686A (ja) 2015-08-13
EP2837016B1 (de) 2016-08-17
JP5976208B2 (ja) 2016-08-23
KR101866173B1 (ko) 2018-06-11
CN104364876B (zh) 2017-05-17
EP2837016A1 (de) 2015-02-18
US20150170868A1 (en) 2015-06-18
CN104364876A (zh) 2015-02-18
US9659738B2 (en) 2017-05-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2837016B1 (de) Röntgenstrahlungsquelle und deren verwendung und verfahren zum erzeugen von röntgenstrahlung
DE2120401C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Trennung von zwei Isotopen eines Stoffes
WO2014187586A1 (de) Röntgenquelle und verfahren zur erzeugung von röntgenstrahlung
DE1937482C3 (de) Mikrostrahlsonde
EP2585622A1 (de) Arc-verdampfungsquelle mit definiertem elektrischem feld
DE726142C (de) Verfahren und Einrichtung zur Phasenmodulation
EP2839499A1 (de) Funkenstrecke
DE4230047C1 (de) Röntgenröhre
WO2017211627A1 (de) Magnetfreie erzeugung von ionenpulsen
DE2310061A1 (de) Roentgenroehre
EP2834831A1 (de) Röntgenstrahlungsquelle, verfahren zum erzeugen von röntgenstrahlung sowie verwendung einer monochromatischen röntgenstrahlung aussendenden röntgenstrahlungsquelle
WO2016102370A1 (de) Metallstrahlröntgenröhre
DE1589416A1 (de) Spcktrale Strahlungsquelle
DE4322104A1 (de) Detektor für Flugzeit-Massenspektrometer mit geringen Flugzeitfehlern bei gleichzeitig großer Öffnung
Ganeev et al. Graphene-containing plasma: a medium for the coherent extreme ultraviolet light generation
DE102010022595A1 (de) Röntgenröhre mit Rückstreuelektronenfänger
DE102004025997A1 (de) Einrichtung zur Erzeugung und Emission von XUV-Strahlung
DE2349437A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur isotopenabtrennung durch selektive ionisation
WO2013185823A1 (de) Röntgenstrahlungsquelle und deren verwendung und verfahren zum erzeugen von röntgenstrahlung
DE748185C (de) Verfahren zur Erzeugung kurzzeitiger Roentgenblitze
DE102014226814B4 (de) Metallstrahlröntgenröhre
EP2883236A1 (de) Vorrichtung zur erzeugung von röntgenstrahlung
WO2010020490A2 (de) Röntgenquelle
DE1108337B (de) Elektronenstrahlerzeugungssystem mit kalter Kathode
DE102010035315A1 (de) Verfahren zum langzeitstabilen plasmaaktivierten Vakuumbedampfen

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 12729942

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

REEP Request for entry into the european phase

Ref document number: 2012729942

Country of ref document: EP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2012729942

Country of ref document: EP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 14407504

Country of ref document: US

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2015516488

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 20157001103

Country of ref document: KR

Kind code of ref document: A

Ref document number: 2015100936

Country of ref document: RU

Kind code of ref document: A