WO2016102370A1 - Metallstrahlröntgenröhre - Google Patents
Metallstrahlröntgenröhre Download PDFInfo
- Publication number
- WO2016102370A1 WO2016102370A1 PCT/EP2015/080504 EP2015080504W WO2016102370A1 WO 2016102370 A1 WO2016102370 A1 WO 2016102370A1 EP 2015080504 W EP2015080504 W EP 2015080504W WO 2016102370 A1 WO2016102370 A1 WO 2016102370A1
- Authority
- WO
- WIPO (PCT)
- Prior art keywords
- component
- metal
- cathode
- electron beam
- ray tube
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J35/00—X-ray tubes
- H01J35/02—Details
- H01J35/04—Electrodes ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
- H01J35/06—Cathodes
- H01J35/065—Field emission, photo emission or secondary emission cathodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J35/00—X-ray tubes
- H01J35/02—Details
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J35/00—X-ray tubes
- H01J35/02—Details
- H01J35/04—Electrodes ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
- H01J35/08—Anodes; Anti cathodes
- H01J35/12—Cooling non-rotary anodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2235/00—X-ray tubes
- H01J2235/06—Cathode assembly
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2235/00—X-ray tubes
- H01J2235/06—Cathode assembly
- H01J2235/062—Cold cathodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2235/00—X-ray tubes
- H01J2235/08—Targets (anodes) and X-ray converters
- H01J2235/081—Target material
- H01J2235/082—Fluids, e.g. liquids, gases
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2235/00—X-ray tubes
- H01J2235/08—Targets (anodes) and X-ray converters
- H01J2235/086—Target geometry
Definitions
- the invention relates to a metal-ray X-ray tube according to the preamble of claim 1.
- Object of the present invention is to provide a metal beam X-ray tube, which is less genröhren than conventional fixed or rotating anode tubes or previous Metallstrahlrönt ⁇ the problem of power density at the impact point of the electron beam hit on the anode component.
- the metal beam X-ray tube in a vacuum chamber in addition to a cathode component for extracting an electric ⁇ nenstrahls also a provision for extracting the extracting the electron beam from the cathode component.
- the metal-ray X-ray tube has an anode component formed with a liquid metal beam as a target for the emitted electron beam of the cathode component and a provision for accelerating the emitted from the cathode component electron beam within a vacuum path in the direction and target anode component.
- the metal beam X-ray tube according to the invention a thin jet of metal as an anode component through which the electrons impinging on the anode component Elect ⁇ Ronen beam are only partly braked.
- the metal beam X-ray tube according to the invention a knife cut ⁇ cathode as the cathode component with a pointing with a slight inclination downwards in the direction of liquid metal jet of the anode cathode component cutting edge.
- a metal-ray X-ray tube in which the fast, electrostatically or electrodynamically accelerated primary electrons in a first vacuum path are only partially decelerated in a thin, relatively electron-transparent target medium.
- a knife-edge cathode which, according to the invention, produces an electron flat jet with thickness matching the metal beam diameter so that a sufficiently large proportion of the electrons issuing from the cathode strike the metal beam.
- a metal-ray X-ray tube is obtained, which no longer has the disadvantages mentioned above.
- the light generation efficiency is increased in a particularly advantageous manner.
- To increase efficiency additionally contributes to a metal beam of the anode component, which is embedded in a second, relatively well electron-permeable and heat-absorbing material or dissolved therein.
- the dissolution can be carried out, for example, in the form of an alloy or a mixture.
- the metal beam can have the cylinder shape with a diameter in the order of magnitude of the electron beam diameter, for example 10 to 100 ⁇ m, which is easy to realize, yet with sufficient electron-permeability.
- the mixture or the alloy should have a low melting point in order to enable liquid jet formation.
- the improved energy absorption capacity of the anode material redu ⁇ decorates the necessary A nodenst rahl york
- the sole FIGURE shows a metal-ray X-ray tube 1, which has a vacuum space 2.
- a cathode component 3 is arranged in the vacuum space 2.
- the cathode component 3 is used for extracting an electron beam 4.
- a precaution 5 for extracting the extracting the electron beam 4 is provided by the Kathodenkompo ⁇ component.
- an anode component 7 formed with a liquid metal jet 6 is provided in the vacuum space 2.
- the metal stream 6 is the destination for the emitted electron beam 4 of the cathode component 3.
- a provision 8 is used for accelerating the emitted from the cathode component 3 electron beam 4, at least within a vacuum line 9 in the direction and with target Anodenkompo ⁇ component. 7
- the metal beam 6 is realized as far as thin metal beam, as the electrons of the electron beam 4 are only partially decelerated by the metal beam 6.
- the cathode component 3 has a cathode knife edge 10, so that the cathode component 3 can also be referred to as a knife edge cathode.
- the cathode knife blade 10 is aligned with a slight downward slope in the direction of liquid metal jet 6 of the anode component 7. After the anode component 7, there is a further vacuum gap 11 for the not yet completely decelerated electrons of the electron beam 4.
- the vacuum system 11 serves to brake the approximately to the anode component 7 only partially braked Elect ⁇ Ronen at least to a stop.
- this comple ⁇ zend a Energy Weg forungsvorlotung 12th Not specifically recognizable in the figure is that the metal ⁇ beam 6 of the anode component 7 embedded at least in a single second, relatively well electron-permeable and heat-absorbing material 13 or dissolved therein.
- a knife-edge cathode is used, which is slightly inclined against any existing magnetic field lines.
- a chemical element of atomic number 30 to 92 is used, for example barium, lanthanum, cerium, bismuth, tungsten and so on and at least one heat-absorbing, relatively electron and X-ray transparent component, for example, a chemical element with atomic number ⁇ 20, for example lithium.
- the metal beam 6 is injected, for example by means of a Injek ⁇ tors in the electron beam 4, so as to form 14 bremsstrahlung and characteristic radiation in the interaction zone.
- the transmitted and scattered electrons are decelerated in an electrostatic collector by a counter-E field with energy recovery and collected at low speed.
- Light-melting metal alloys tend to have a high vapor pressure at elevated temperatures, favoring the deposition of conductive surface layers on, for example, insulators. It is therefore advantageous for a minimal, for interaction with the electric ⁇ nenstrahl 4 to guide the metal beam 6 necessary length through the discharge space and to then enter into a wall cooled condensation and collection container.
Landscapes
- X-Ray Techniques (AREA)
Abstract
Es wird eine Metallstrahlröntgenröhre vorgeschlagen, die weniger als konventionelle Röhren vom Problem der Leistungsdichte im Auftreffpunkt des Elektronenstrahls auf der Anodenkomponente betroffen sind. Die Metallstrahlröntgenröhre stellt hierzu als Anodenkomponente (7) einen soweit dünnen Metallstrahl (6) zur Verfügung, dass durch diesen Metallstrahl (6) ein darauf auftreffender Elektronenstrahl (4) nur teilweise abgebremst wird. Desweiteren ist als Kathodenkomponente (3) eine Messerschneidekathode vorgesehen mit einer mit einer geringen Neigung abwärts in Richtung flüssiger Metallstrahl (6) der Anodenkomponente (7) zeigenden Kathodenschneide (10).
Description
Beschreibung
Metallstrahlröntgenröhre Die Erfindung betrifft eine Metallstrahlröntgenröhre gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
Bei bisher bekannten Fest- oder Drehanodenröhren oder auch Metallstrahlröntgenröhren besteht das Problem der Leistungs- dichte im Auftreffpunkt des Elektronenstrahls auf der Anoden¬ komponente. Es entstehen dort zu hohe Verlustleistungen für gegebene Lichtstärken und Brennfleck-Leuchtdichten. Außerdem stellen starke Hintergrund-Magnetfelder, beispielsweise hervorgerufen im Zusammenhang mit Magnetresonanztomographen, ein Problem dar. In solchen starken Magnetfeldern ist es unmöglich, den Elektronenstrahl elektrostatisch zu fokussieren.
Bei Rotationsanodenröhren und bei Metallstrahlröntgenröhren wird die Aufrechterhaltung des festen bzw. flüssigen Aggre- gatzustandes des Anodenmaterials im Brennpunkt des Elektro¬ nenstrahls bekanntermaßen dadurch gelöst, dass das Material der Drehanode oder des Metallstrahls im Brennpunkt des Elektronenstrahls genügend schnell durch den Brennfleck transportiert wird. Dabei werden die Elektronen bis zum Stillstand abgebremst, obwohl nur hochenergetische Elektro¬ nen die gewünschte kurzwellige Röntgenstrahlung hervorru¬ fen . Die vollständige Abbremsung ist bezüglich der Brennfleck-Leistungsdeposition und auch der Effizienz ein ungünstiger Prozess.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Metallstrahlröntgenröhre vorzuschlagen, die weniger als konventionelle Fest- oder Drehanodenröhren oder bisherige Metallstrahlrönt¬ genröhren vom Problem der Leistungsdichte im Auftreffpunkt des Elektronenstrahls auf der Anodenkomponente betroffen ist.
Diese Aufgabe wird ausgehend von einer Metallstrahlröntgenröhre der eingangs genannten Art erfindungsgemäß gelöst durch
eine Metallstrahlröntgenröhre, die die Merkmale im kennzeich¬ nenden Teil des Anspruchs 1 aufweist.
Danach weist die Metallstrahlröntgenröhre in einem Vakuumraum neben einer Kathodenkomponente zum Extrahieren eines Elektro¬ nenstrahls auch eine Vorkehrung zum Extrahieren des Extrahierens des Elektronenstrahls von der Kathodenkomponente auf. Außerdem weist die Metallstrahlröntgenröhre eine mit einem flüssigen Metallstrahl gebildete Anodenkomponente als Ziel für den ausgesendeten Elektronenstrahl der Kathodenkomponente und eine Vorkehrung zum Beschleunigen des von der Kathodenkomponente ausgesendeten Elektronenstrahls innerhalb einer Vakuumstrecke in Richtung und mit Ziel Anodenkomponente auf. Dazu weist die Metallstrahlröntgenröhre erfindungsgemäß einen dünnen Metallstrahl als Anodenkomponente auf, durch den die Elektronen des auf der Anodenkomponente auftreffenden Elekt¬ ronenstrahls nur teilweise abgebremst sind. Außerdem weist die Metallstrahlröntgenröhre erfindungsgemäß eine Messer¬ schneidekathode als Kathodenkomponente auf mit einer mit ei- ner geringen Neigung abwärts in Richtung flüssiger Metallstrahl der Anodenkomponente zeigenden Kathodenschneide.
Damit wird eine Metallstrahlröntgenröhre vorgeschlagen, bei der die schnellen, in einer ersten Vakuumstrecke elektrosta- tisch oder elektrodynamisch beschleunigten primären Elektronen in einem dünnen, relativ elektronentransparenten Zielmedium nur teilweise abgebremst werden.
Hierbei besteht aber noch das Problem, dass das dünne lich- terzeugende Anodenmaterial nur sehr wenig Energie absorbie¬ ren kann. Im Endeffekt besteht zunächst im Wesentlichen die gleiche Leistungsgrenze wie bei einem dicken Anodenmateri¬ al. Es sind physikalisch sehr dünne Anodenmaterialien erforderlich, beispielsweise in der Stärke von 0,1 bis 10 ym.
Andererseits sind Flüssigmetallstrahlen nur sehr schwierig in einer anderen als runder Form zu realisieren. Damit ist der Brennfleckdurchmesser ebenfalls auf eine sehr geringe
Größe beschränkt.
Weiter macht die Anwesenheit eines starken, homogenen Hintergrundmagnetfelds, beispielsweise beim Einsatz in einem Magnetresonanztomographen, es unmöglich, die Elektronen elektrostatisch zu fokussieren.
Es wird daher in Kombination mit dem entsprechend dünnen Metallstrahl der Anodenkomponente eine Messerschneidenkathode verwendet, die er- findungsgemäß einen Elektronen-Flachstrahl mit zum Metallstrahldurchmesser passender Dicke erzeugt, so dass ein ausreichend großer Anteil der aus der Kathode austretenden Elektronen den Metallstrahl trifft. In Summe wird eine Metallstrahlröntgenröhre erhalten, die die eingangs genannten Nachteile nicht mehr aufweist.
Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand von Unteransprüchen.
Danach ist nach der Anodenkomponente eine weitere Vakuumstre¬ cke für die noch nicht ganz abgebremsten Elektronen des
Elektronenstrahls vorgesehen, in der eine Abbremsung der Elektronen wenigstens annähernd bis zum Stillstand erfolgt.
Erfolgt dieses Abbremsen der Elektronen zusammen mit einer Energierückgewinnungsvorkehrung, wird in einer ganz besonders vorteilhaften Weise die Lichterzeugungseffizienz gesteigert. Zur Effizienzsteigerung trägt zusätzlich bei ein Metallstrahl der Anodenkomponente, der in einem zweiten, relativ gut elektronendurchlässigen und wärmeabsorbierenden Material eingebettet oder auch darin aufgelöst ist. Die Auflösung kann beispielsweise in Form einer Legierung oder eines Gemisches erfolgen. Dies ermöglicht im Gegensatz zu bisherigen Metallstrahlröntgenröhren physikalisch relativ dicke, aber elektronenoptisch dünne Anoden mit großem spe-
zifischem Energieaufnahmevermögen. Insgesamt kann der Metallstrahl die einfach zu realisierende Zylinderform mit Durchmesser in der Größenordnung des Elektronenstrahldurchmes- sers, z.B. 10 bis 100 ym aufweisen bei dennoch elektronenki- netisch ausreichender Durchlässigkeit. Das Gemisch oder die Legierung sollte erfindungsgemäß einen geringen Schmelzpunkt haben, um die Flüssigstrahlbildung zu ermöglichen. Das verbesserte Energieaufnahmevermögen des Anodenmaterials redu¬ ziert die notwendige A n o d e n s t rahlgeschwindigkeit
und/oder ermöglicht eine höhere Leistungsdeposition und da¬ mit Leuchtdichte des Brennflecks.
Nachfolgend wird die Erfindung anhand einer Zeichnung näher erläutert .
Die einzige Figur zeigt eine Metallstrahlröntgenröhre 1, die einen Vakuumraum 2 aufweist. In dem Vakuumraum 2 ist eine Kathodenkomponente 3 angeordnet. Die Kathodenkomponente 3 dient zum Extrahieren eines Elektronenstrahls 4. Desweiteren ist in dem Vakuumraum 2 eine Vorkehrung 5 zum Extrahieren des Extrahierens des Elektronenstrahls 4 von der Kathodenkompo¬ nente 3 vorgesehen. Weiter ist in dem Vakuumraum 2 eine mit einem flüssigen Metallstrahl 6 gebildete Anodenkomponente 7 vorgesehen. Der Metallstrahl 6 ist das Ziel für den ausgesen- deten Elektronenstrahl 4 der Kathodenkomponente 3. Eine Vorkehrung 8 dient zum Beschleunigen des von der Kathodenkomponente 3 ausgesendeten Elektronenstrahls 4 zumindest innerhalb einer Vakuumstrecke 9 in Richtung und mit Ziel Anodenkompo¬ nente 7.
Der Metallstrahl 6 ist als soweit dünner Metallstrahl realisiert, als die Elektronen des Elektronenstrahls 4 durch den Metallstrahl 6 nur teilweise abgebremst werden. Die Kathodenkomponente 3 weist eine Kathodenmesserschneide 10 auf, so dass die Kathodenkomponente 3 auch als Messerschneidekathode bezeichnet werden kann. Die Kathodenmesserschneide 10 ist mit einer geringen Neigung abwärts in Richtung flüssiger Metallstrahl 6 der Anodenkomponente 7 ausgerichtet.
Nach der Anodenkomponente 7 ist eine weitere Vakuumstrecke 11 für die noch nicht ganz abgebremsten Elektronen des Elektronenstrahls 4 vorhanden. Die Vakuumstrecke 11 dient dazu, die nach der Anodenkomponente 7 nur teilweise abgebremsten Elekt¬ ronen wenigstens annähernd bis zum Stillstand abzubremsen. Das Ausführungsbeispiel gemäß der Figur weist hierfür ergän¬ zend eine Energierückgewinnungsvorkehrung 12 auf. Nicht speziell erkennbar in der Figur ist, dass der Metall¬ strahl 6 der Anodenkomponente 7 wenigstens in einem einzigen zweiten, relativ gut elektronendurchlässigen und wärmeabsorbierenden Material 13 eingebettet oder darin aufgelöst ist. Erfindungsgemäß findet eine Messerschneidekathode Anwendung, die leicht gegen gegebenenfalls vorhandene Magnetfeldlinien geneigt ist. Zusätzlich findet beim Ausführungsbeispiel nach der Figur eine Legierung bzw. ein Gemisch aus mindestens zwei Komponenten als röntgenstrahlerzeugendes Anodenmaterial Ver- wendung und weiter eine Energierückgewinnungsvorkehrung 12, die das aus dem Metallstrahl 6 der Anodenkomponente 7 austre¬ tende Elektronenbündel mit einem elektrostatischen Kollektor auffängt. Als Material 13 für den Metallstrahl 6 der Anodenkomponente 7 ist beispielsweise ein chemisches Element der Ordnungszahl 30 bis 92 verwendet, zum Beispiel Barium, Lanthan, Cer, Wismut, Wolfram und so weiter und mindestens einer wärmeabsorbierenden, relativ elektronen- und röntgentranspa- renten Komponente, beispielsweise einem chemischen Element mit Ordnungszahl < 20, zum Beispiel Lithium.
Der Metallstrahl 6 wird beispielsweise mittels eines Injek¬ tors in den Elektronenstrahl 4 eingeschossen, so dass in der Interaktionszone 14 Bremsstrahlung und charakteristische Strahlung entsteht. Die transmittierten und gestreuten Elekt- ronen werden in einem elektrostatischen Kollektor durch ein Gegen-E-Feld unter Energierückgewinnung abgebremst und bei geringer Geschwindigkeit aufgefangen.
Leichtschmelzende Metalllegierungen tendieren bei erhöhten Temperaturen zu einem hohen Dampfdruck, was die Ablagerung von leitfähigen Oberflächenschichten zum Beispiel auf Isolatoren begünstigt. Es ist daher vorteilhaft, den Metallstrahl 6 nur für eine minimale, für die Interaktion mit dem Elektro¬ nenstrahl 4 notwendige Länge durch den Entladungsraum zu führen und danach in einen wandgekühlten Kondensations- und Auffangbehälter eintreten zu lassen.
Claims
1. Metallstrahlröntgenröhre, aufweisend in einem Vakuumraum eine Kathodenkomponente zum Extrahieren eines Elektronen- Strahls, eine Vorkehrung zum Extrahieren des Extrahierens des Elektronenstrahls von der Kathodenkomponente, eine mit einem flüssigen Metallstrahl gebildeten Anodenkomponente als Ziel für den ausgesendeten Elektronenstrahl der Kathodenkomponente und eine Vorkehrung zum Beschleunigen des von der Kathoden- komponente ausgesendeten Elektronenstrahls innerhalb einer
Vakuumstrecke in Richtung und mit Ziel Anodenkomponente, da¬ durch gekennzeichnet, dass ein dünner Metallstrahl (6) als Anodenkomponente (7) vorgesehen ist, durch den die Elektronen des darauf auftreffenden Elektronenstrahls (4) nur teilweise abgebremst sind, und dass eine Messerschneidekathode als Ka¬ thodenkomponente (3) vorgesehen ist mit einer mit einer ge¬ ringen Neigung abwärts in Richtung flüssiger Metallstrahl (6) der Anodenkomponente (7) zeigenden Kathodenschneide (10).
2. Metallstrahlröntgenröhre nach Anspruch 1, dadurch ge¬ kennzeichnet, dass nach der Anodenkomponente (7) eine weite¬ re Vakuumstrecke (11) für die noch nicht ganz abgebremsten Elektronen des Elektronenstrahls (4) vorgesehen sind, in der die Elektronen wenigstens annähernd bis zum Stillstand abge- bremst sind.
3. Metallstrahlröntgenröhre nach Anspruch 2, dadurch ge¬ kennzeichnet, dass das Abbremsen der Elektronen wenigstens annähernd bis zum Stillstand mit einer Energierückgewinnungs- Vorkehrung (12) verbunden ist.
4. Metallstrahlröntgenröhre nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Metallstrahl (6) der Anodenkomponente (7) wenigstens in einem einzigen zwei- ten, relativ gut elektronendurchlässigen und wärmeabsorbierenden Material (13) eingebettet oder darin aufgelöst ist.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201580070208.3A CN107004552B (zh) | 2014-12-22 | 2015-12-18 | 金属射流x射线管 |
EP15820839.7A EP3213337B1 (de) | 2014-12-22 | 2015-12-18 | Metallstrahlröntgenröhre |
US15/538,431 US10586673B2 (en) | 2014-12-22 | 2015-12-18 | Metal jet x-ray tube |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102014226813.3A DE102014226813A1 (de) | 2014-12-22 | 2014-12-22 | Metallstrahlröntgenröhre |
DE102014226813.3 | 2014-12-22 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
WO2016102370A1 true WO2016102370A1 (de) | 2016-06-30 |
Family
ID=55072621
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
PCT/EP2015/080504 WO2016102370A1 (de) | 2014-12-22 | 2015-12-18 | Metallstrahlröntgenröhre |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10586673B2 (de) |
EP (1) | EP3213337B1 (de) |
CN (1) | CN107004552B (de) |
DE (1) | DE102014226813A1 (de) |
WO (1) | WO2016102370A1 (de) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3214635A1 (de) * | 2016-03-01 | 2017-09-06 | Excillum AB | Flüssig-target-röntgenquelle mit strahlmischwerkzeug |
US10748736B2 (en) * | 2017-10-18 | 2020-08-18 | Kla-Tencor Corporation | Liquid metal rotating anode X-ray source for semiconductor metrology |
EP3671802A1 (de) | 2018-12-20 | 2020-06-24 | Excillum AB | Elektronenstrahlauffänger mit schrägem aufprallabschnitt |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2339225A1 (de) * | 1972-09-18 | 1974-03-28 | Bendix Corp | Feldemissions-roentgenstrahlroehre |
US4953191A (en) * | 1989-07-24 | 1990-08-28 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | High intensity x-ray source using liquid gallium target |
US5052034A (en) * | 1989-10-30 | 1991-09-24 | Siemens Aktiengesellschaft | X-ray generator |
US20130301805A1 (en) * | 2010-12-22 | 2013-11-14 | Excillum Ab | Aligning and focusing an electron beam in an x-ray source |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SE510133C2 (sv) * | 1996-04-25 | 1999-04-19 | Jettec Ab | Laser-plasma röntgenkälla utnyttjande vätskor som strålmål |
DE60143527D1 (de) * | 2000-07-28 | 2011-01-05 | Jettec Ab | Verfahren und vorrichtung zur erzeugung von röntgenstrahlung |
JP3866063B2 (ja) | 2001-07-31 | 2007-01-10 | 独立行政法人科学技術振興機構 | X線発生方法及びその装置 |
DE102004015590B4 (de) | 2004-03-30 | 2008-10-09 | GE Homeland Protection, Inc., Newark | Anodenmodul für eine Flüssigmetallanoden-Röntgenquelle sowie Röntgenstrahler mit einem Anodenmodul |
DE102008026938A1 (de) * | 2008-06-05 | 2009-12-17 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Strahlungsquelle und Verfahren zum Erzeugen von Röntgenstrahlung |
US7929667B1 (en) * | 2008-10-02 | 2011-04-19 | Kla-Tencor Corporation | High brightness X-ray metrology |
EP2415065A1 (de) * | 2009-04-03 | 2012-02-08 | Excillum AB | Zuführung eines flüssigmetallziels bei der erzeugung von röntgenstrahlen |
US8908833B2 (en) * | 2010-12-28 | 2014-12-09 | Rigaku Corporation | X-ray generator |
DE102013209447A1 (de) | 2013-05-22 | 2014-11-27 | Siemens Aktiengesellschaft | Röntgenquelle und Verfahren zur Erzeugung von Röntgenstrahlung |
-
2014
- 2014-12-22 DE DE102014226813.3A patent/DE102014226813A1/de not_active Withdrawn
-
2015
- 2015-12-18 WO PCT/EP2015/080504 patent/WO2016102370A1/de active Application Filing
- 2015-12-18 EP EP15820839.7A patent/EP3213337B1/de active Active
- 2015-12-18 US US15/538,431 patent/US10586673B2/en active Active
- 2015-12-18 CN CN201580070208.3A patent/CN107004552B/zh active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2339225A1 (de) * | 1972-09-18 | 1974-03-28 | Bendix Corp | Feldemissions-roentgenstrahlroehre |
US4953191A (en) * | 1989-07-24 | 1990-08-28 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | High intensity x-ray source using liquid gallium target |
US5052034A (en) * | 1989-10-30 | 1991-09-24 | Siemens Aktiengesellschaft | X-ray generator |
US20130301805A1 (en) * | 2010-12-22 | 2013-11-14 | Excillum Ab | Aligning and focusing an electron beam in an x-ray source |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102014226813A1 (de) | 2016-06-23 |
CN107004552B (zh) | 2018-12-18 |
US20170345611A1 (en) | 2017-11-30 |
EP3213337B1 (de) | 2020-10-07 |
EP3213337A1 (de) | 2017-09-06 |
CN107004552A (zh) | 2017-08-01 |
US10586673B2 (en) | 2020-03-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE69125591T2 (de) | Röntgen-röhre | |
WO1996029723A1 (de) | Mikrofocus-röntgeneinrichtung | |
EP1783809A2 (de) | Nanofocus-Röntgenröhre | |
EP0777255A1 (de) | Röntgenröhre, insbesondere Mikrofokusröntgenröhre | |
DE102006024435A1 (de) | Röntgenstrahler | |
EP2987391A1 (de) | Röntgenquelle und verfahren zur erzeugung von röntgenstrahlung | |
EP3213337B1 (de) | Metallstrahlröntgenröhre | |
DE1190112B (de) | Vorrichtung zur Erzeugung eines Elektronenstrahlbuendels hoher Stromstaerke und Verfahren zum Erhitzen und Schmelzen mittels einer solchen Vorrichtung | |
WO2005096341A1 (de) | Anodenmodul für eine flüssigmetallanoden-röntgenquelle sowie röntgenstrahler mit einem anodenmodul | |
DE2813964A1 (de) | Gammastrahlen-bestrahlungskopf | |
DE1919451B2 (de) | Elektronenstrahlkanone zur erzeugung eines elektronenstrahls hoher leistung | |
WO2015052039A1 (de) | Röntgenquelle und verfahren zur erzeugung von röntgenstrahlung | |
EP3629361A1 (de) | Röntgenanode, röntgenstrahler und verfahren zur herstellung einer röntgenanode | |
DE2341503A1 (de) | Elektronenstrahlroehre | |
DE102012103974A1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung zumindest eines Röntgenstrahlen abgebenden Brennflecks | |
DE102010022595B4 (de) | Röntgenröhre mit Rückstreuelektronenfänger | |
DE102014226814B4 (de) | Metallstrahlröntgenröhre | |
DE102012216977B4 (de) | Vorrichtung zur Erzeugung von Röntgenstrahlung | |
EP2301042A2 (de) | Röntgentarget und ein verfahren zur erzeugung von röntgenstrahlen | |
EP2885807B1 (de) | Vorrichtung mit anode zur erzeugung von röntgenstrahlung | |
DE1764062A1 (de) | Hochvakuumpumpe | |
EP2549520B1 (de) | Teilchenstrahlgenerator mit verbessertem Vakuum | |
AT260382B (de) | Axialsymmetrisches Elektronenstrahlerzeugungssystem | |
DE619621C (de) | Roentgenroehre mit durchlochter Hohlanode | |
DE10021716B4 (de) | Drehkolbenröhre |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
121 | Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application |
Ref document number: 15820839 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |
|
REEP | Request for entry into the european phase |
Ref document number: 2015820839 Country of ref document: EP |
|
WWE | Wipo information: entry into national phase |
Ref document number: 15538431 Country of ref document: US |
|
NENP | Non-entry into the national phase |
Ref country code: DE |