WO2013166839A1 - 双面图形化透明导电膜及其制备方法 - Google Patents

双面图形化透明导电膜及其制备方法 Download PDF

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Abstract

一种双面图形化透明导电膜及其制备方法,该双面图形化透明导电膜包括上表面导电层(12)和下表面导电层(12),该上表面导电层是图形化的沟槽网络,该下表面层是全表面的沟槽网络,该上表面导电层的沟槽中均填充有导电材料(13),该下表面导电层的沟槽中间断填充导电材料(13)。该双面图形化透明导电膜具有高分辨率、高透过率和方阻独立可调的优点,并且可以省去一张PET的成本。该制备方法对于单张柔性基材的双面压印不需要对准,具有方法简单和成本低的优点。

Description

发明名称
双面图形化透明导电膜及其制备方法 技术领域
本发明涉及透明导电膜及其制备技术领域, 特别是指一种双面图形化透 明导电膜及其制备方法。 背景技术
透明导电膜是具有良好导电性, 和在可见光波段具有高透光率的一种薄 膜。 目前透明导电膜已广泛应用于平板显示、 光伏器件、 触控面板和电磁屏 蔽等领域, 具有极其广阔的市场空间。
ITO 一直主导着透明导电膜的市场。 但是在诸如触摸屏等大多数实际应 用中, 往往需要曝光、 显像、 蚀刻及清洗等多道工序对透明导电膜进行图形 化。相较而言, 使用印刷法或者银盐法直接在基材的指定区域形成金属网格, 可以省去图形化的工艺过程, 具有低污染、 低成本等诸多优点。 日本公司大 日本印刷、 富士胶片和郡士, 以及德国公司 PolylC都分别使用印刷方法获得 了性能优异的图形化透明导电薄膜。 其中 PolylC 所获得的图形分辨率为 15um, 表面方阻 0.4-lQ/sq, 透光率大于 80%。
一种基于埋入式图形化金属网格类的透明导电膜, 其中 PET基底的透明 导电膜透过率大于 87%, 玻璃基底的透明导电膜透过率大于 90%; 方阻均小 于 ΙΟΩ/sq; 特别是金属线条的分辨率小于 3μιη。 但是目前很多触摸屏厂商为 了进一歩降低成本和减薄触控模组,更加重视双面图形化透明导电膜的研发。 现有的埋入式图形化透明导电膜的沟槽是基于压印技术形成的。 因此制 备双面图形化透明导电膜就必须解决大幅面卷对卷双面对准压印的技术。 然 而这技术目前尚不成熟。
有鉴于此, 一种用以回避双面压印所面临的对准问题的双面图形化透明 导电膜的出现就很有必要了。 发明内容
本发明提出一种双面图形化透明导电膜及其制备方法, 解决了现有技术 中 卷对卷压印过程中需要双面对准的技术问题。
本发明的技术方案是这样实现的:
一种双面图形化透明导电膜, 包括上表面导电层和下表面导电层, 所述 双面图形化透明导电膜的上表面导电层是图形化的沟槽网络, 所述的下表面 导电层是全表面的沟槽网络; 所述的上表面导电层的沟槽中均填充有导电材 料; 所述的下表面导电层沟槽中间断填充导电材料。
进一歩的, 所述的沟槽网络是以多边形沟槽为基本单元的沟槽组合, 其 中所述基本单元的形状至少包括正方形、 矩形、 圆形、 等六边形、 等三边形 中的一种或几种的复用。
作为优选的技术方案, 所述的下表面导电层沟槽中间断填充导电材料是 使用图形化技术将下表面沟槽网络中的导电材料间断出现。
作为优选的技术方案, 所述双面图形化透明导电膜的上表面导电层的沟 槽网络至少有两种网格密度。
作为优选的技术方案, 所述的网格密度中至少有一种网格的相对透过率 大于 90%; 至少有一种相对透过率小于 80%。
作为优选的技术方案, 所述双面图形化透明导电膜的下表面导电层沟槽 网络的相对透过率大于 90%。
一种双面图形化透明导电膜的制备方法, 包括以下歩骤:
1 ) 基于压印技术在中间层上表面制作图形化的沟槽网络;
2) 基于压印技术在中间层下表面制作全表面的沟槽网络;
3 ) 分别在中间层的上表面和下表面沟槽中填充导电材料;
4)根据上表面的对准标记, 将下表面填充导电材料的无图案沟槽网络图 形化。
作为优选的技术方案, 所述压印技术为热压印或紫外压印。
作为优选的技术方案, 所述上表面的对准标记是上表面网格密度较大的 区域作为下表面导电膜图形化的对准标记; 所述的网格密度至少有一种网格 的相对透过率大于 90%, 至少有一种相对透过率小于 80%。
作为优选的技术方案, 所述的下表面填充导电材料的无图案沟槽网络图 形化是在下表面贴附负性干膜, 将上表面的对准标记和菲林膜的对准标记对 准, 用紫外光对负性干膜曝光; 然后在显影液中显影, 被曝光的区域会在显 影过程中保留下来, 没有被曝光的区域会被清除, 被覆盖的导电材料将裸露 出来, 将所述双面透明导电膜浸泡在导电材料腐蚀液中, 裸露的导电材料将 被清除; 最后将上述结果再浸泡在去胶液中去胶, 负性干膜被去除, 导电材 料裸露出来。
作为优选的技术方案, 所述填充导电材料的方法为刮涂或喷墨打印。 有益效果 (1) 本发明所提供的双面图形化透明导电膜具有高分辨率,透过率和方阻 独立可调等诸多优点; 这种透明导电膜可以省去一张 PET的成本;
(2)本发明的制备方法对于单张柔性基材的双面压印不需要对准, 方法简 单, 成本低, 适合于工业化生产。 附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案, 下面将对实 施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍, 显而易见地, 下面 描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例, 对于本领域普通技术人员来讲, 在不付出创造性劳动性的前提下, 还可以根据这些附图获得其他的附图。
图 1为本发明的双面图形化透明导电膜示意图;
图 2为本发明的双面图形化透明导电膜下表面图形化示意图。 具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图, 对本发明实施例中的技术方案进行 清楚、 完整地描述, 显然, 所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例, 而 不是全部的实施例。 基于本发明中的实施例, 本领域普通技术人员在没有作 出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例, 都属于本发明保护的范围。
实施例 1
如图 2中 (F)所示, 一种双面图形化透明导电膜, 包括上表面导电层和 下表面导电层,双面图形化透明导电膜的上表面导电层是图形化的沟槽网络, 下表面导电层是全表面的沟槽网络;上表面导电层的沟槽中均填充导电材料; 下表面导电层沟槽中间断填充导电材料。 双面图形化透明导电膜的上表面导电层的沟槽网络有两种网格密度; 其 中一种网格的相对透过率 90%; 另一种相对透过率 80%。 双面图形化透明导 电膜的下表面导电层沟槽网络的相对透过率 90%。
如图 1中 (A)所示, 首先在基材 PET 11的两个表面涂布 UV压印胶 12, PET 11的厚度为 125um, 两个表面均有增粘层处理, UV压印胶厚度 4um, 型号为德渊 H450。 然后如图 1中 (B)所示使用压印技术在上表面的 12形成图 形化的沟槽网络, 在下表面的 12 形成全表面无图形的沟槽网络, 沟槽深度 2um, 宽度 2um。 接着如图 1中 (C)所示, 使用刮涂技术分别将上下表面的沟 槽均填充纳米银墨水并烧结。 银墨水固含量 35%, 烧结温度 150°C。 如图 1 中 (D)所示, 根据上表面的对准标记, 使用图形化技术将下表面沟槽网络中的 银图形化。
其中下表面的图形化工艺是业界已经非常成熟的工艺, 在此不必累述。 如需展开, 则以下示例作为介绍。
如图 2 中 (A) 所示, 下表面是填充好导电材料图形化的沟槽网络, 上 表面是填充好导电材料全表面沟槽网络。
如图 2 中 (B)所示, 在前述的下表面贴附一层负性干膜 21, 型号为杜邦 1505。 如图 2中 (C)所示, 然后将上表面的对准标记和菲林膜 23的对准标记 对准, 用紫外光 22对负性干膜 21曝光。 如图 2中 (D)所示被曝光的区域会在 显影过程中保留下来, 而没有被曝光的区域会被清除, 于是原本被 21覆盖的 银就会裸露出来。显影液是质量百分比 1%的 NaC03溶液。如图 2中 (E)所示, 将所述双面透明导电膜浸泡在银腐蚀液中, 裸露的银将被清除。 如图 2中 (F) 所示, 最后将上述结果再浸泡在去胶液中, 所有的负性干膜都被去除, 被保 护的银也裸露出来。 去胶液是质量百分比 2%的 NaC03溶液。 以上实施例中双面图形化透明导电膜的中间层材料并不局限于实施例中 所说的材料, 它还可以是玻璃、 石英、 聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、 聚碳酸 酯 (PC) 等; 实施例中所说的下表面图形化的技术并不局限于所举的操作方 法, 只要能达到下表面图形化的技术都将落入本发明的保护范围; 实施例中 所说的压印技术包括热压印或紫外压印; 实施例中所说的填充导电材料的方 法包括刮涂和喷墨打印; 本发明中所说的导电材料并不局限于银, 也可以是 石墨、 高分子导电材料等。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已, 并不用以限制本发明, 凡在本 发明的精神和原则之内, 所作的任何修改、 等同替换、 改进等, 均应包含在 本发明的保护范围之内。

Claims

权利要求书
1、 一种双面图形化透明导电膜, 包括上表面导电层和下表面导电层, 其 特征在于,所述双面图形化透明导电膜的上表面导电层是图形化的沟槽网络, 所述的下表面导电层是全表面的沟槽网络; 所述的上表面导电层的沟槽中均 填充有导电材料; 所述的下表面导电层沟槽中间断填充导电材料。
2、 如权利要求 1所述的双面图形化透明导电膜, 其特征在于, 所述的下 表面导电层沟槽中间断填充导电材料是使用图形化技术将下表面沟槽网络中 的导电材料间断出现。
3、 如权利要求 1所述的双面图形化透明导电膜, 其特征在于, 所述双面 图形化透明导电膜的上表面导电层的沟槽网络至少有两种网格密度。
4、 如权利要求 3所述的双面图形化透明导电膜, 其特征在于, 所述的网 格密度中至少有一种网格的相对透过率大于 90%; 至少有一种相对透过率小 于 80%。
5、 如权利要求 1或 4所述的双面图形化透明导电膜, 其特征在于: 所述 双面图形化透明导电膜的下表面导电层沟槽网络的相对透过率大于 90%。
6、 一种双面图形化透明导电膜的制备方法, 其特征在于包括以下歩骤:
1 ) 基于压印技术在中间层上表面制作图形化的沟槽网络;
2) 基于压印技术在中间层下表面制作全表面的沟槽网络;
3 ) 分别在中间层的上表面和下表面沟槽中填充导电材料;
4) 根据上表面的对准标记, 将下表面填充导电材料的无图案沟槽网络 图形化。
7、 如权利要求 6 所述的双面图形化透明导电膜的制备方法, 其特征在 于: 所述压印技术为热压印或紫外压印。
8、 如权利要求 6 所述的双面图形化透明导电膜的制备方法, 其特征在 于: 所述上表面的对准标记是上表面网格密度较大的区域作为下表面导电膜 图形化的对准标记;所述的网格密度至少有一种网格的相对透过率大于 90%, 至少有一种相对透过率小于 80%。
9、 如权利要求 6 所述的双面图形化透明导电膜的制备方法, 其特征在 于: 所述的下表面填充导电材料的无图案沟槽网络图形化是在下表面贴附负 性干膜, 将上表面的对准标记和菲林膜的对准标记对准, 用紫外光对负性干 膜曝光; 然后在显影液中显影, 被曝光的区域会在显影过程中保留下来, 没 有被曝光的区域会被清除, 被覆盖的导电材料将裸露出来, 将所述双面透明 导电膜浸泡在导电材料腐蚀液中, 裸露的导电材料将被清除; 最后将上述结 果再浸泡在去胶液中去胶, 负性干膜被去除, 导电材料裸露出来。
10、 如权利要求 6或 7所述的双面图形化透明导电膜的制备方法, 其特 征在于: 所述填充导电材料的方法为刮涂或喷墨打印。
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US14/000,186 US9532449B2 (en) 2012-05-09 2012-12-20 Double-sided patterned transparent conductive film and method for manufacturing the same
KR1020137029976A KR101552974B1 (ko) 2012-05-09 2012-12-20 양면 패턴된 투명 전도성 필름 및 이의 제조 방법
JP2014513907A JP5833747B2 (ja) 2012-05-09 2012-12-20 両面パターン化透明導電膜及びその製造方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102708946B (zh) * 2012-05-09 2015-01-07 南昌欧菲光科技有限公司 双面图形化透明导电膜及其制备方法
CN102930922B (zh) * 2012-10-25 2015-07-08 南昌欧菲光科技有限公司 一种具有各向异性导电的透明导电膜
CN103426500B (zh) * 2013-02-04 2016-03-09 南昌欧菲光科技有限公司 双层透明导电膜及其制备方法
US9313896B2 (en) 2013-02-04 2016-04-12 Nanchang O-Film Tech. Co., Ltd. Double-layered transparent conductive film and manufacturing method thereof
CN103426502B (zh) * 2013-02-05 2016-08-03 南昌欧菲光科技有限公司 图形化透明导电膜
CN103106953B (zh) * 2013-02-06 2014-11-26 南昌欧菲光科技有限公司 导电膜及其制备方法以及包含该导电膜的触摸屏
CN103187119B (zh) * 2013-02-06 2014-08-06 南昌欧菲光科技有限公司 导电膜及其制备方法以及包含该导电膜的触摸屏
CN103176650B (zh) * 2013-03-01 2016-09-28 南昌欧菲光科技有限公司 导电玻璃基板及其制作方法
CN103165226B (zh) * 2013-03-28 2015-04-08 南昌欧菲光科技有限公司 透明导电膜及其制备方法
CN104375710B (zh) * 2014-12-04 2018-01-09 合肥鑫晟光电科技有限公司 一种金属网格、触摸屏和显示装置
US11143794B2 (en) 2015-07-08 2021-10-12 Shine Optoelectronics (Kunshan) Co., Ltd Optical film
CN106324716B (zh) * 2015-07-08 2021-06-29 昇印光电(昆山)股份有限公司 双面结构光学薄膜及其制作方法
WO2017005206A1 (zh) 2015-07-08 2017-01-12 昇印光电(昆山)股份有限公司 光学薄膜
CN105430928A (zh) * 2015-12-29 2016-03-23 广东欧珀移动通信有限公司 柔性电路板的电镀方法、柔性电路板和移动终端
CN106648237A (zh) * 2016-12-22 2017-05-10 信利光电股份有限公司 一种石墨烯触摸屏及其制备方法
CN107396543A (zh) * 2017-07-13 2017-11-24 苏州维业达触控科技有限公司 双面压印导电膜的制作方法及双面压印导电膜、电路板和触控模组
CN108319400A (zh) * 2018-03-20 2018-07-24 江西蓝沛泰和新材料有限公司 一种单层双面导电膜结构、制作工艺及触控屏
CN109743872A (zh) * 2018-11-06 2019-05-10 睿惢思工业科技(苏州)有限公司 一种电磁屏蔽膜的制备方法
USD938985S1 (en) 2018-12-20 2021-12-21 Samsung Electronics Co., Ltd. Display screen or portion thereof with transitional graphical user interface
CN109614008B (zh) * 2018-12-28 2022-04-12 业成科技(成都)有限公司 双面图案化的方法及触控面板的制造方法
CN113314266B (zh) * 2020-02-26 2022-08-12 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种高电导效率的自然仿生学脉网状电极制备方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW201017716A (en) * 2008-10-27 2010-05-01 Tpk Touch Solutions Inc Manufacturing method of double-sided pattern structure for touch circuit
CN201780569U (zh) * 2010-06-08 2011-03-30 柯建信 电容式双面透明导电膜及其所应用的触控面板
JP2011129272A (ja) * 2009-12-15 2011-06-30 Nissha Printing Co Ltd 両面透明導電膜シートとその製造方法
CN102222538A (zh) * 2011-03-11 2011-10-19 苏州纳格光电科技有限公司 图形化的柔性透明导电薄膜及其制法
CN102708946A (zh) * 2012-05-09 2012-10-03 崔铮 双面图形化透明导电膜及其制备方法

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4948706A (en) * 1987-12-30 1990-08-14 Hoya Corporation Process for producing transparent substrate having thereon transparent conductive pattern elements separated by light-shielding insulating film, and process for producing surface-colored material
JP2001284879A (ja) * 2000-03-28 2001-10-12 Hitachi Chem Co Ltd 電磁波シールド材料、その製法およびその利用
JP5213433B2 (ja) * 2006-12-21 2013-06-19 富士フイルム株式会社 導電膜およびその製造方法
CN101561729B (zh) * 2008-04-15 2011-01-05 宸鸿光电科技股份有限公司 触控电路的透明基板双面导电膜的制法
KR100909265B1 (ko) * 2009-02-23 2009-07-27 (주)이엔에이치테크 정전용량 방식의 터치스크린 패널의 제조방법
JP5548428B2 (ja) * 2009-11-02 2014-07-16 藤森工業株式会社 透明導電性フィルムの製造方法及び透明導電性フィルム
JP5361671B2 (ja) * 2009-11-06 2013-12-04 日本写真印刷株式会社 タッチ入力シートとその製造方法
WO2011065032A1 (ja) * 2009-11-27 2011-06-03 凸版印刷株式会社 透明導電性積層体およびその製造方法ならびに静電容量式タッチパネル
JP5691334B2 (ja) * 2010-09-16 2015-04-01 凸版印刷株式会社 透明導電性積層体の製造方法
CN102063951B (zh) * 2010-11-05 2013-07-03 苏州苏大维格光电科技股份有限公司 一种透明导电膜及其制作方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW201017716A (en) * 2008-10-27 2010-05-01 Tpk Touch Solutions Inc Manufacturing method of double-sided pattern structure for touch circuit
JP2011129272A (ja) * 2009-12-15 2011-06-30 Nissha Printing Co Ltd 両面透明導電膜シートとその製造方法
CN201780569U (zh) * 2010-06-08 2011-03-30 柯建信 电容式双面透明导电膜及其所应用的触控面板
CN102222538A (zh) * 2011-03-11 2011-10-19 苏州纳格光电科技有限公司 图形化的柔性透明导电薄膜及其制法
CN102708946A (zh) * 2012-05-09 2012-10-03 崔铮 双面图形化透明导电膜及其制备方法

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