WO2013136691A1 - 発電装置、およびそれを用いた電気機器 - Google Patents

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WO2013136691A1
WO2013136691A1 PCT/JP2013/001128 JP2013001128W WO2013136691A1 WO 2013136691 A1 WO2013136691 A1 WO 2013136691A1 JP 2013001128 W JP2013001128 W JP 2013001128W WO 2013136691 A1 WO2013136691 A1 WO 2013136691A1
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WO
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power
generator
substrate
electrode
output
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PCT/JP2013/001128
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English (en)
French (fr)
Inventor
内藤 康幸
大西 慶治
Original Assignee
パナソニック株式会社
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02MAPPARATUS FOR CONVERSION BETWEEN AC AND AC, BETWEEN AC AND DC, OR BETWEEN DC AND DC, AND FOR USE WITH MAINS OR SIMILAR POWER SUPPLY SYSTEMS; CONVERSION OF DC OR AC INPUT POWER INTO SURGE OUTPUT POWER; CONTROL OR REGULATION THEREOF
    • H02M7/00Conversion of ac power input into dc power output; Conversion of dc power input into ac power output
    • H02M7/02Conversion of ac power input into dc power output without possibility of reversal
    • H02M7/04Conversion of ac power input into dc power output without possibility of reversal by static converters
    • H02M7/06Conversion of ac power input into dc power output without possibility of reversal by static converters using discharge tubes without control electrode or semiconductor devices without control electrode
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N1/00Electrostatic generators or motors using a solid moving electrostatic charge carrier
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N1/00Electrostatic generators or motors using a solid moving electrostatic charge carrier
    • H02N1/06Influence generators
    • H02N1/08Influence generators with conductive charge carrier, i.e. capacitor machines

Definitions

  • the technical field relates to a power generation apparatus that generates power by receiving vibrations and an electric device using the power generation apparatus.
  • Microelectromechanical elements are applied in many fields such as radio, light, acceleration sensors, biotechnology, and power generation.
  • MEMS elements MEMS: Micro Electro Mechanical Systems
  • an environmental power generator Energy Harvester
  • This environmental power generator is applied to, for example, a power source of a low-power radio device to realize a wireless sensor network that does not require a power cable or a battery.
  • the MEMS technology it is expected that the environmental power generator will be reduced in size.
  • the vibration type generator includes a piezoelectric type, an electromagnetic type and an electrostatic type.
  • the electrostatic vibration generator does not require a piezoelectric material and a magnetic material, and has an advantage that it can be manufactured by a simple method.
  • a power generation device with further improved power generation quality is provided by further improving at least one of reliability and power generation efficiency of the power generation device.
  • the power generation device includes a power generator that generates power by receiving vibration and a power converter (power management circuit) that converts the output of the power generator.
  • the power generator outputs power in the first system and the second system, and the power converter is driven by receiving the output of the second system of the power generator, and outputs the output of the first system of the power generator to another power system. Convert to electricity.
  • the power generator according to the second aspect includes a power generator that generates power by receiving vibration and a power converter that converts the output of the power generator, and the presence or absence of power conversion of the power converter is switched based on the output of the power generator. .
  • the power generation device According to the power generation device according to each aspect, at least one of reliability and power generation efficiency is improved, and thus a power generation device with improved power generation quality is provided.
  • FIG. 9 is a cross-sectional view of another passive switch along the line A-A ′ of FIG. 9.
  • Block diagram of a power generator according to Embodiment 4 Sectional drawing of the generator of Embodiment 4.
  • Block diagram of a power generator according to Embodiment 5 Block diagram of a power generator according to Embodiment 6 Sectional drawing of the generator of Embodiment 6.
  • Block diagram of a power generator according to Embodiment 7 Sectional drawing of the generator of Embodiment 7.
  • Block diagram of a power generator according to Embodiment 8 Block diagram of a power generator according to Embodiment 9
  • the vibration type power generator Since the vibration type power generator generates power using vibration generated in the environment as an energy source, the output may become unstable, and thus the reliability may be lowered. For example, when the vibration is excessive, the voltage generated by the power generation is too high, and the power generation apparatus including the vibration power generator may break down. In addition, if the vibration is too small, the power conversion efficiency is reduced, and in some cases, the power generated by the generator may be less than the power consumed by the power generator, reducing the power stored in the storage battery or the like at the subsequent stage of the power generator. is there. According to each embodiment described below, it is possible to provide a power generation device with improved power generation quality in which at least one of reliability and power generation efficiency is improved and power can be supplied more stably.
  • FIG. 1 is a block diagram of the power generator according to the present embodiment.
  • the power generation apparatus 1000a of this embodiment includes a power generator 100a and a power management circuit 200a.
  • the power management circuit 200a includes an AC / DC conversion circuit 210, a DC / DC conversion circuit 220a, a power detection unit 230a, and a control unit 240a.
  • the generator 100a may be, for example, a vibration generator manufactured by a MEMS (micro electro mechanical element) technology.
  • the power generator 100a includes an electret 101, an electrode 102, and the like.
  • the AC / DC conversion circuit 210 of the power management circuit 200a includes a bridge rectifier circuit 212 formed of four diodes and a smoothing circuit formed of a capacitor 213, and a load resistor 214.
  • the power generator 100a is connected to an AC / DC conversion circuit 210.
  • the AC / DC conversion circuit 210 is connected to the DC / DC conversion circuit 220a.
  • the power detection unit 230a is connected between the AC / DC conversion circuit 210 and the DC / DC conversion circuit 220a.
  • the control unit 240a is connected to the power detection unit 230a and the DC / DC conversion circuit 220a.
  • the DC / DC conversion circuit 220a is connected to an external load (for example, a storage battery) 900.
  • the storage battery 900 is connected to the DC / DC conversion circuit 220a, the power detection unit 230a, the control unit 240a, and an external sensor or the like (no reference) so as to supply power.
  • the power generator 100a generates power by internal vibration generated by an external force and outputs an alternating current.
  • the AC / DC conversion circuit 210 converts the alternating current (voltage) output by the power generator 100a into a direct current (voltage).
  • the DC / DC conversion circuit 220a converts the DC voltage generated by the DC current output by the AC / DC conversion circuit 210 into a DC voltage having another voltage value.
  • the DC / DC conversion circuit 220a supplies power to the external storage battery 900.
  • the power detection unit 230a detects the power of the direct current output by the AC / DC conversion circuit 210.
  • the control unit 240a stores a power lower limit value therein.
  • the “power lower limit value” is a power value serving as a reference for determining execution / stop of the conversion operation of the DC / DC conversion circuit 220a.
  • the power lower limit value may be set to, for example, 1/10 of the maximum value of the input power to the DC / DC conversion circuit 220 that may occur during normal power generation of the power generator 100a.
  • the power lower limit value is set to 10 ⁇ W. That is, when the input power is reduced from 100 ⁇ W to 10 ⁇ W and the power conversion efficiency is reduced from 85% to 70%, the power lower limit is set to be a criterion for stopping the conversion operation of the DC / DC conversion circuit 220a. The value is set.
  • the input power to the DC / DC conversion circuit 220a when the output power of the DC / DC conversion circuit 220a is assumed to be equal to the power consumption of the power management circuit 200a may be set as the power lower limit value.
  • the control unit 240a switches execution / stop of the voltage conversion operation of the DC / DC conversion circuit 220a based on the power value detected by the power detection unit 230a.
  • Storage battery 900 stores the power supplied by the DC / DC conversion circuit 220a. Then, a part of the stored electric power is supplied to the DC / DC conversion circuit 220a, the power detection unit 230a, the control unit 240a, an external sensor, and the like to make these devices operable. Each of the DC / DC conversion circuit 220a, the power detection unit 230a, and the control unit 240a may consume power supplied from the storage battery 900 in order to operate.
  • the power generator 100a includes a vibrating body (movable substrate 110) that vibrates inside.
  • FIG. 2A shows a state where the movable substrate 110 is at the center of vibration.
  • FIG. 2B shows a state in which the movable substrate 110 is at the amplitude end.
  • the power generator 100a includes a lower substrate (first substrate) 111, an upper substrate (second substrate) 109, a movable substrate (movable part, weight, vibrating body) 110, a spring (elastic structure) 112, and a fixed structure. 108, an upper joint 107, a lower joint 106, an electret 101, an electrode 102, and a pad 105.
  • the upper substrate 109 and the lower substrate 111 are spaced apart from the movable substrate 110, the spring 112, and the fixed structure (intermediate substrate) 108 while being opposed to each other in parallel, so that the upper bonding portion 107 and the lower bonding portion 106 are opposed. Fixed by.
  • the fixed structure 108, the movable substrate 110, and the spring 112 are formed, for example, by processing one substrate. Therefore, the fixed structure 108, the movable substrate 110, and the spring 112 are “the intermediate substrate 108 to which the movable substrate 110 is connected by the elastic structure 112” or “the intermediate substrate 108 having the weight 110 movable by the elastic structure 112”. It may be said.
  • the movable substrate 110 is configured to be movable in at least a uniaxial direction (for example, a double arrow direction in FIG. 2) parallel to the upper substrate 109 or the lower substrate 111. Therefore, the movable substrate 110 can vibrate (reciprocate) in a direction parallel to the upper substrate 109 as shown in FIG.
  • the surface of the upper substrate 109 that faces the lower substrate 111 is referred to as the lower surface.
  • a surface of the lower substrate 111 facing the upper substrate 109 is referred to as an upper surface.
  • the upper surface of the lower substrate 111 and the lower surface of the upper substrate 109 correspond to the first substrate surface and the second substrate surface, respectively.
  • a plurality of electrodes 102 are provided on the upper surface of the lower substrate 111.
  • the wiring connecting these electrodes 102 passes through the lower substrate 111 and is connected to the pad 105.
  • the generator 100 a outputs the generated current through the pad 105.
  • a plurality of electrets 101 are provided on the surface of the movable substrate 110 facing the lower substrate 111.
  • the electret 101 is provided so that the lines of electric force passing through the center of the electret 101 are perpendicular to the upper surface of the lower substrate 111.
  • the direction of the electric lines of force may be from the movable substrate 110 to the lower substrate 111 or in the opposite direction.
  • the direction of the electric lines of force is the direction from the movable substrate 110 to the lower substrate 111.
  • the lower substrate 111 and the fixed structure 108 are bonded by the lower bonding portion 106 so that a predetermined gap is provided between the electrode 102 and the first electret 101.
  • the upper substrate 109 and the fixed structure 108 are bonded by the upper bonding portion 107.
  • FIG. 3 is a diagram when the upper surface of the lower substrate 111 is viewed from a direction perpendicular to the upper surface of the lower substrate 111.
  • the electrode 102 is arranged extending in a direction perpendicular to the direction in which the movable substrate 110 can vibrate and parallel to the upper surface of the lower substrate 111.
  • P in FIG. 3 indicates the distance between the center lines of the adjacent electrodes 102.
  • the plurality of electrodes 102 are arranged in parallel to each other and at equal intervals by providing a center line interval P.
  • the width of the electrode 102 (the dimension of the movable substrate 110 in the oscillating direction) is 100 ⁇ m, and the distance P is 200 ⁇ m.
  • the plurality of electrets 101 may be arranged on the surface of the movable substrate 110 on the lower substrate 111 side so as to coincide with the electrode 102 when viewed from a direction perpendicular to the upper surface of the lower substrate 111. That is, the electrets 101 may be the same size as the electrode 102 and may be arranged at equal intervals with a centerline interval P. Note that the width of the electret 101 may be different from the width of the electrode 102. In that case, the electret 101 is arranged so that the center line of the electret 101 overlaps the center line of the electrode 102 and with the same center line interval P.
  • the plurality of electrodes 102 and the plurality of electrets 101 are arranged at equal intervals in the direction in which the movable substrate 110 can vibrate.
  • the movable substrate 110 vibrates following a force (for example, vibration) received from the external environment.
  • the spring constant and the resonance frequency of the elastic structure 112 are optimized so that the maximum amplitude is generated with respect to the vibration frequency of the assumed external environment (for example, vibration during driving of the automobile).
  • the electric lines of force of the electret 101 are directed in the direction from the movable substrate 110 to the lower substrate 111, so that the charge attracted to the electrode 102 increases (power feeding).
  • the smaller the facing area the less charge attracted to the electrode 102, that is, more charge released (discharge). That is, the capacitance value between the electrode 102 and the electret 101 increases as the facing area between the electrode 102 and the electret 101 increases, and the capacitance value decreases as the facing area decreases.
  • the vibration environment in which the power generator 100a is used includes a vibration environment in which continuous and constant vibration occurs and a vibration environment in which a single impact occurs.
  • a single impact is applied to the generator 100a.
  • FIG. 4A shows a time change of force (acceleration) applied to the power generator 100a by the external environment.
  • B shows the time change of the output voltage of the generator 100a according to the applied force.
  • C and (d) will be described later.
  • FIG. 4C shows the time change of the power output by the AC / DC conversion circuit 210 and input to the DC / DC conversion circuit 220a. Pth indicates a power lower limit value.
  • FIG. 4D shows the ON / OFF state of the power conversion operation in the DC / DC conversion circuit 220a.
  • the AC / DC conversion circuit 210 converts the AC voltage (FIG. 4A) output by the power generator 100a into a DC voltage and outputs it.
  • the power detection unit 230a of the power management circuit 200a detects the output power of the AC / DC conversion circuit 210.
  • the voltage level at the output terminal of the AC / DC conversion circuit 210 is proportional to the amplitude of the AC voltage before conversion, and the power of the DC voltage is proportional to the height of the DC voltage. Therefore, the output power of the AC / DC conversion circuit 210 is proportional to the amplitude of the AC voltage output by the power generator 100a (FIG. 4C).
  • the power detection unit 230a detects the amplitude of the AC voltage output by the power generator 100a by detecting the output power of the AC / DC conversion circuit 210.
  • the power detection unit 230a inputs information based on the detected power to the control unit 240a.
  • the control part 240a grasps
  • the control unit 240a determines that the power input to the DC / DC conversion circuit 220a exceeds the power lower limit value, the control unit 240a executes (continues) the conversion operation of the DC / DC conversion circuit 220a (FIG. 4D). "ON state"). Therefore, the DC / DC conversion circuit 220a applies a voltage suitable for the storage battery 900 connected to the subsequent stage, and supplies power to the storage battery 900.
  • the power management circuit 200a converts this electric power into electric power having a current value and a voltage value suitable for the subsequent load (device, storage battery) so that the electric power generated by the vibration energy can be used effectively.
  • power loss accompanying power conversion occurs in the power management circuit 200a. This power loss is caused by power consumption of the power management circuit 200a itself.
  • the power generation output gradually decreases.
  • the power output by the DC / DC conversion circuit 220a decreases.
  • the power output by the DC / DC conversion circuit 220a decreases, a situation occurs in which the power output by the DC / DC conversion circuit 220a becomes less than or equal to the power consumed by the power management circuit 200a.
  • the time during which the power stored in the storage battery 900 is less than or equal to the power consumption of the power management circuit 200a is 30% of the period S (FIG. 4C). That is, 30% of the power consumed by the power conversion operation of the DC / DC conversion circuit 220a does not contribute to the improvement of power generation efficiency, but rather is more than the power output from the power management circuit 200a. Therefore, it is useless for the DC / DC conversion circuit 220a to perform the conversion operation during this 30% period.
  • the power management circuit 200a cannot supply sufficient power to the storage battery 900 in the subsequent stage, but rather the power stored in the storage battery 900 decreases even if there is no power supply to an external sensor or the like. become. This is a problem for the power generation apparatus 1000a that should supply power stably.
  • the control unit 240a stops the conversion operation of the DC / DC conversion circuit 220a when it is determined that the power input to the DC / DC conversion circuit 220a is equal to or lower than the power lower limit value. ("OFF state" in FIG. 4D). Thereby, the power consumption of the DC / DC conversion circuit 220a is made zero. That is, power consumption can be reduced as compared with the case where the DC / DC conversion circuit 220a is continuously operated. In this example, the time during which the power input to the DC / DC conversion circuit 220a is equal to or lower than the power lower limit value is 30% of the period S, compared with the case where the DC / DC conversion circuit 220a is continuously operated. The power consumption can be reduced by 30%.
  • the power generation apparatus 1000a of the present embodiment includes the power generator 100a that generates power by receiving vibration, the AC / DC conversion circuit 210 and the DC / DC conversion circuit 220a that convert the output of the power generator 100a, and the power generator 100a.
  • a power detection unit 230a that detects the output power of the DC / DC converter circuit 220a
  • a control unit 240a that switches whether or not the DC / DC conversion circuit 220a performs power conversion. Based on the power information detected and output by the power detection unit 230a, the control unit 240a determines that the output of the power generation device 1000a is less than or equal to the power consumption of the power generation device 1000a. Stop the power conversion operation.
  • the power generation apparatus 1000a of the present embodiment sets the power consumption of the DC / DC conversion circuit 220a to zero when the output of the power generation apparatus 1000a is less than a predetermined value, for example, less than the power consumption of the power generation apparatus 1000a.
  • a predetermined value for example, less than the power consumption of the power generation apparatus 1000a.
  • a high power (voltage) signal may be input to the power management circuit, and the power management circuit may break down. For example, when a high voltage exceeding a specified value of the DC / DC converter is input to the DC / DC converter.
  • the power generation device at least reduces the occurrence of a failure in the power management circuit due to such a strong impact.
  • the present embodiment has a configuration as shown in FIG.
  • the switch 300 is connected in series between the AC / DC conversion circuit 210 and the DC / DC conversion circuit 220b, and the control unit 240b and the switch 300 are connected.
  • the configuration may be the same as that of the first embodiment.
  • the load 900, the external sensor, and the like are omitted.
  • the power detection unit 230b detects the power output by the AC / DC conversion circuit 210.
  • the controller 240b switches the ON / OFF state of the switch 300 based on the power detected by the power detector 230b.
  • the control unit 240b of the present embodiment stores a power upper limit value.
  • the “power upper limit value” is a value corresponding to the upper limit of power that can be input to the DC / DC conversion circuit 220b.
  • control unit 240b determines that the power output by the AC / DC conversion circuit 210 is lower than the power upper limit value, the control unit 240b turns on the switch 300 and the DC / DC conversion circuit 220b (or maintains the ON state).
  • the DC / DC conversion circuit 220b executes power conversion and output.
  • the control unit 240b switches the switch 300 and the DC / DC conversion circuit 220b to the OFF state. Thereby, the input to the DC / DC conversion circuit 220b is cut off.
  • the control unit 240b switches the switch 300 to the OFF state, The voltage application of 60V to the DC / DC conversion circuit 220b is blocked.
  • the power generation apparatus 1000b of this embodiment includes the power generator 100a that generates power by receiving vibration, the AC / DC conversion circuit 210 and the DC / DC conversion circuit 220b that convert the output of the power generator 100a, and the power generator 100a.
  • control unit 240b determines that the output power of the AC / DC conversion circuit 210 is equal to or higher than the power upper limit value based on the power information output by the power detection unit 230b, the control unit 240b sets the switch 300 to a non-conductive state.
  • the power generation apparatus 1000b cuts off the input to the DC / DC conversion circuit 220b when the output of the power generator 100a becomes excessive. As a result, failure of the DC / DC conversion circuit 220b caused by excessive power generation output of the power generator 100a can be prevented, so that the reliability of the power generation apparatus 1000b is improved.
  • the power management circuit 200b allows the control unit 240b to operate the DC / DC conversion circuit when the input power to the DC / DC conversion circuit 220b is equal to or lower than the power lower limit value. You may have the structure of stopping 220b.
  • the power management circuit 200b can more efficiently supply power to the external device, and thus the reliability of the power generation apparatus 1000b is further improved.
  • Embodiment 3> Hereinafter, a third embodiment will be described.
  • control unit 240b switches the switch 300.
  • the switch itself passively switches off / supply of power to the DC / DC conversion circuit according to the input to the DC / DC conversion circuit.
  • the present embodiment has a configuration as shown in FIG.
  • the configuration of this embodiment is different from that of the second embodiment as shown in FIG. 5 except that the power detection unit 230b and the control unit 240b are not provided, and that the passive switch 310 is provided instead of the switch 300. May be the same as in the second embodiment.
  • the passive switch 310 is connected in series between the AC / DC conversion circuit 210 and the DC / DC conversion circuit 220c.
  • the passive switch 310 switches between conduction and non-conduction in accordance with the input voltage. When the input voltage is high, the passive switch 310 is conductive, and when the input voltage is low, the passive switch 310 is nonconductive.
  • the passive switch 310 is, for example, an electrostatic drive type switch formed by MEMS technology. Details of the passive switch 310 will be described below.
  • FIG. 8 is a cross-sectional view taken along line A-A ′ of FIG.
  • the passive switch 310 includes a substrate 316, an insulating layer 315, a movable electrode 311, an output electrode 313, an input electrode 314, and a drive electrode 312.
  • the insulating layer 315 is an interlayer insulating film bonded between the substrate 316 and the drive electrode 312, the output electrode 313, and the input electrode 314.
  • One end of the movable electrode 311 is joined to the input electrode 314 and the other end is a cantilever electrode formed at a predetermined interval from the output electrode 313.
  • the hollow cross-linked end is formed and arranged so that it can contact the output electrode 313 by bending.
  • the double arrows in FIG. 8 indicate this curvature.
  • the drive electrode 312 is joined to the insulating layer 315 in the space between the movable electrode 311 and the insulating layer 315.
  • the drive electrode 312 is electrically grounded.
  • the output electrode 313 is bonded to the insulating layer 315.
  • the input electrode 314, the output electrode 313, and the drive electrode 312 are disposed so as to be electrically insulated from each other.
  • the passive switch 310 configured as described above is connected in series between the AC / DC conversion circuit 210 and the DC / DC conversion circuit 220c.
  • the power generator 100a generates power and outputs power, and this power is converted by the AC / DC conversion circuit 210 and the DC / DC conversion circuit 220c.
  • the / DC conversion circuit 220c outputs power to the subsequent load (storage battery) 900.
  • the passive switch 310 cuts off or permits input to the DC / DC conversion circuit 220c according to the power (voltage) output from the AC / DC conversion circuit 210. A specific operation of the passive switch 310 will be described below.
  • the passive switch 310 switches between conduction and non-conduction at a predetermined voltage lower limit value.
  • the “voltage lower limit value” is the output voltage of the AC / DC conversion circuit 210 when the output power of the power management circuit 200c becomes equal to the power consumption of the power management circuit 200c, as in the power lower limit value of the first embodiment.
  • the corresponding value can be used.
  • the lower limit voltage is defined by the size, material, arrangement, etc. of each part constituting the passive switch 310.
  • the potential difference between the movable electrode 311 and the drive electrode 312 exceeds a predetermined value, and the movable electrode 311 curved by electrostatic force is output. It comes into contact with the electrode 313 and is electrically connected. That is, the input electrode 314 and the output electrode 313 are electrically connected.
  • the power output by the AC / DC conversion circuit 210 is input to the DC / DC conversion circuit 220c.
  • the DC / DC conversion circuit 220 converts the input power and outputs the converted power to the storage battery 900 at the subsequent stage. That is, a charging operation is performed.
  • the power conversion operation in the DC / DC conversion circuit 220c is stopped. That is, when the power output from the DC / DC conversion circuit 220c is equal to or lower than the power consumption of the power management circuit 200c as a result of the power conversion operation in the DC / DC conversion circuit 220c, the passive switch 310 is turned off. Thus, the DC / DC conversion circuit 220c does not execute the conversion operation.
  • an electrostatic force acting between the movable electrode 311 and the drive electrode 312 is generated if a potential difference occurs between the movable electrode 311 and the drive electrode 312.
  • the potential of the movable electrode 311 may be lower than the potential of the drive electrode 312, and in this case, an electrostatic force that attracts the movable electrode 311 and the drive electrode 312 is generated.
  • the present embodiment only the case where the potential of the movable electrode 311 is higher than the potential of the drive electrode 312 is assumed.
  • a configuration using an electrostatic force generated when the potential of the movable electrode 311 is lower than the potential of the drive electrode 312 may be used.
  • the power generation apparatus 1000c of the present embodiment includes the power generator 100a that generates power by receiving vibration, the AC / DC conversion circuit 210 and the DC / DC conversion circuit 220c that convert the output of the power generator 100a, and the AC / DC. And a passive switch 310 that switches the presence / absence of power conversion in the DC / DC conversion circuit 220c according to the voltage output by the conversion circuit 210.
  • the power generation apparatus 1000c of this embodiment sets the power consumption of the DC / DC conversion circuit 220c to zero when, for example, the output of the power generation apparatus 1000c becomes less than the power consumption of the power generation apparatus 1000c.
  • the power generation apparatus 1000c can supply power more efficiently, and thus the reliability of the power generation apparatus 1000c is further improved.
  • the power generation apparatus 1000c of the present embodiment includes the passive switch 310, it is not necessary to include a power detection unit and a control unit as compared with the previous embodiment, and thus the circuit scale can be further reduced.
  • a configuration including a passive switch 310b as shown in FIG. 9 may be used.
  • the passive switch 310b blocks the input of the voltage to the DC / DC conversion circuit 220c.
  • the passive switch 310b will be described with reference to FIG.
  • FIG. 10 is a cross-sectional view taken along line A-A ′ of FIG.
  • the configuration of the passive switch 310b is the same as that of the passive switch 310 as shown in FIG. 8 except that the shape of the output electrode 313b is different.
  • the movable electrode 311b is formed such that it can be bent by an electrostatic force generated between the movable electrode 311b and the drive electrode 312b.
  • the double arrows in FIG. 10 indicate this curvature.
  • the movable electrode 311b does not bend, contacts the output electrode 313b, and the movable electrode 311b is electrically connected to the output electrode 313b.
  • the “voltage upper limit value” corresponds to the upper limit value of the voltage that can be input to the DC / DC conversion circuit 220c.
  • the movable electrode 311b When the voltage lower than the voltage upper limit value is input to the input electrode 314b, the movable electrode 311b is connected to the output electrode 313b, so that the input electrode 314b and the output electrode 313b are conducted. Therefore, the charging operation for the storage battery 900 is performed.
  • the movable electrode 311b when a voltage higher than the voltage upper limit value is input to the input electrode 314b, the movable electrode 311b is curved and the connection between the movable electrode 311b and the output electrode 313b is disconnected, so that the input electrode 314b and the output electrode 313b are not conductive. It becomes a state. Therefore, the input to the DC / DC conversion circuit 220c is cut off.
  • the passive switch 310b can prevent a failure due to an excessive voltage input to the DC / DC conversion circuit 220c, the reliability of the power generation apparatus 1000c is further improved.
  • the above-described passive switch 310 and passive switch 310b may be connected in series.
  • the power generation apparatus 1000c can cope with both stop of the power conversion operation of the DC / DC conversion circuit 220c during low power generation and protection of the DC / DC conversion circuit 220c during high power generation.
  • Embodiment 4> Hereinafter, a fourth embodiment will be described.
  • Embodiments 1 to 3 detect the power output by the AC / DC conversion circuit 210 in order to grasp the output of the power generator 100a.
  • the vibration amplitude of the movable substrate 110 in the power generator 100a is detected.
  • This embodiment has a configuration as shown in FIG. Compared with the configuration of the first embodiment as shown in FIG. 5, the configuration of the present embodiment is different in the configuration of the generator 100d, and includes an amplitude detection unit 250d instead of the power detection unit 230a. Other configurations may be the same as those in the first embodiment.
  • the configuration of the power generator 100d will be described with reference to FIG.
  • the power generator 100d includes an amplitude detection electrode 113.
  • the amplitude detection electrode 113 is installed in place of the electrode 102 at a position where the electrode 102 should be originally disposed.
  • the amplitude detection electrode 113 is formed to be electrically insulated from the electrode 102.
  • the amplitude detection electrode 113 may be one or plural. However, it is advantageous that the number of amplitude detection electrodes 113 is small so that as many electrodes 102 for power generation as possible can be arranged. More preferably, one amplitude detection electrode 113 is provided. Further, the amplitude detection electrode 113 may be the end of the plurality of electrodes 102 or may be in the row of the electrodes 102. However, in order to simplify the layout of the wiring drawn from the electrode 102 and the amplitude detection electrode 113, a configuration in which the amplitude detection electrode 113 is arranged at the end is convenient.
  • the wiring drawn out from the amplitude detection electrode 113 is electrically insulated from the wiring to the AC / DC conversion circuit 210 and connected to the amplitude detection unit 250d.
  • the amplitude detector 250d is connected to the controller 240d.
  • Other configurations may be the same as those in the first embodiment.
  • the power generator 100d generates power and outputs power, and this power is converted by the AC / DC conversion circuit 210 and the DC / DC conversion circuit 220d.
  • the / DC conversion circuit 220d outputs power to the subsequent load 900.
  • the amplitude detection electrode 113 provided in the power generator 100d outputs an alternating current in the same manner as the electrode 102 outputs an alternating current.
  • the phase of the envelope of the alternating current output from the amplitude detection electrode 113 is equal to the phase of vibration attenuation of the movable substrate 110 in the power generator 100d. That is, the increase or decrease in the amplitude of the alternating current output from the amplitude detection electrode 113 corresponds well with the vibration intensity of the movable substrate 110.
  • the amplitude detector 250d detects the vibration amplitude of the movable substrate 110 through the alternating current output by the power generator 100d.
  • the amplitude detection unit 250d inputs amplitude information to the control unit 240d according to the detected amplitude.
  • the output power from the generator 100d to the amplitude detector 250d is proportional to the output power from the generator 100d to the AC / DC conversion circuit 210. Therefore, detection of the vibration amplitude of the movable substrate 110 by the amplitude detection unit 250d corresponds to detection of output power from the power generator 100d to the AC / DC conversion circuit 210.
  • the control unit 240d switches execution / stop of the conversion operation of the DC / DC conversion circuit 220d based on the amplitude information input by the amplitude detection unit 250d, similarly to the control unit 240a of the first embodiment.
  • the amplitude (power) of the alternating current output from the amplitude detection electrode 113 of the present embodiment may be smaller than the amplitude (power) of the alternating current output to the AC / DC conversion circuit 210. Therefore, it is possible to increase the power output to the AC / DC conversion circuit 210 as much as possible. That is, the current output to the AC / DC conversion circuit 210 can be increased.
  • the alternating current for power supply output to the AC / DC conversion circuit 210 and the alternating current for control output to the amplitude detector 250d are generated by vibration of one common movable substrate 110. Therefore, the alternating current for power supply and the alternating current for control have the same vibration phase and proportional vibration amplitude.
  • the power generation device 1000d includes the power generator 100a that generates power by receiving vibration, the AC / DC conversion circuit 210 and the DC / DC conversion circuit 220d that convert the output of the power generator 100a, and the power generator 100d.
  • An amplitude detection unit 250d that detects the vibration amplitude of the internal movable electrode 110 and a control unit 240d that switches presence / absence of power conversion of the DC / DC conversion circuit 220d are provided.
  • the control unit 240d determines that the output of the power generation device 1000d is less than or equal to the power consumption of the power generation device 1000d, for example, and performs the power conversion operation of the DC / DC conversion circuit 220d. To stop.
  • the power generation apparatus 1000d of the present embodiment can reduce the power consumption of the DC / DC conversion circuit 220d to zero when the output of the power generation apparatus 1000d becomes less than the power consumption of the power generation apparatus 1000d, for example. As a result, power can be supplied more efficiently, and the reliability of the power generation apparatus 1000d is further improved.
  • Embodiment 5 The fifth embodiment will be described below.
  • the fifth embodiment has a configuration in which a switch 300e is added to the power generation apparatus 1000d of the fourth embodiment as shown in FIG.
  • the switch 300e is connected in series between the AC / DC conversion circuit 210 and the DC / DC conversion circuit 220e.
  • Some embodiments include a configuration for reducing the occurrence of a failure in a DC / DC conversion circuit.
  • an excessive voltage input to the circuit may be cut off. In that case, an upper limit value of the input voltage suitable for the circuit is defined.
  • the movable substrate 110 of the power generators 100a and 100d is joined to the upper joint 107 and the lower joint 106 via the spring 112 and the solid structure 108, whereby the upper substrate 109 and the lower substrate are joined. 111 and spaced apart.
  • the movable substrate 110 may be fixed by another method. Any method that does not inhibit the vibration of the movable substrate 110 may be used.
  • the movable substrate 110 may be supported by electrostatic force or magnetic force.
  • an electret for supporting the movable substrate 110 is installed on the upper substrate 109 and the lower substrate 111, and the movable substrate 110 is fixed by an electrostatic force between the electret and the electret 101 installed on the movable substrate 110. May be.
  • Embodiments 1 to 5 it is assumed that the movable substrate 110 of the power generator vibrates in the direction indicated by the double arrow in FIG. However, this does not exclude vibrations in directions other than the double arrows.
  • Embodiments 6 and 7 provide a power generation device with improved power generation efficiency while minimizing an increase in circuit scale.
  • FIG. 14 is a block diagram of the power generator according to the present embodiment.
  • the power generation device 1000f of the present embodiment includes a power generator 100f and a power conversion unit (power management circuit) 200f.
  • the power management circuit 200f includes a power supply AC / DC conversion circuit 210a, a control AC / DC conversion circuit 210b, and a DC / DC conversion circuit 220f.
  • the generator 100f is a vibration type generator manufactured by MEMS (micro electromechanical) technology.
  • the generator 100f includes a first electrode 102, a second electrode 104A, and the like connected to two systems of outputs.
  • a power supply AC / DC conversion circuit 210a and a control AC / DC conversion circuit 210b of the power conversion unit (power management circuit) 200f are respectively a bridge rectifier circuit 212a (212b) and a capacitor 213a (four diodes). 213b) and a load resistor 214a (214b).
  • the DC / DC conversion circuit 220f includes a power supply circuit 221 of the DC / DC conversion circuit 220f itself.
  • the power generator 100f is connected to the power supply AC / DC conversion circuit 210a by a wiring connected to the first electrode 102, and is connected to the control AC / DC conversion circuit 210b by a wiring connected to the second electrode 104A. .
  • the power supply AC / DC conversion circuit 210a is connected to a signal input terminal of the DC / DC conversion circuit 220f.
  • the control AC / DC conversion circuit 210b is connected to the power supply circuit 221 via the power supply connection terminal of the DC / DC conversion circuit 220f.
  • the output of the DC / DC conversion circuit 220f that is, the output of the power management circuit 200f is connected to supply power to a storage battery or the like at the subsequent stage.
  • the generator 100f generates power by internal vibration generated by an external force and outputs an alternating current (electric power).
  • the power supply AC / DC conversion circuit 210a and the control AC / DC conversion circuit 210b convert the AC power output by the power generator 100f into DC power.
  • the DC / DC conversion circuit 220f converts the DC power output by the AC / DC conversion circuit 210a for power supply into DC power of another voltage.
  • the DC / DC conversion circuit 220f supplies power to a device (storage battery or the like) connected to the subsequent stage.
  • the voltage conversion operation of the DC / DC conversion circuit 220f is powered by electric power supplied from the control AC / DC conversion circuit 210b.
  • the voltage conversion operation of the DC / DC conversion circuit 220f is switched between execution / stop according to the relationship between the voltage of the output power of the control AC / DC conversion circuit 210b and a predetermined voltage lower limit value.
  • the “voltage lower limit value” corresponds to the lower limit value of the drive voltage of the DC / DC conversion circuit 220f.
  • the voltage lower limit value is changed from the control AC / DC conversion circuit 210b to the DC / DC conversion circuit when it is desired to stop the DC / DC conversion circuit 220f from the viewpoint of improving the power generation efficiency of the power generation apparatus 1000f as a whole. Conveniently set to correspond to the input voltage to 220f. Details of the voltage lower limit will be described later.
  • the DC / DC conversion circuit 220f of the present embodiment is operated by the power generated by the power generator 100f.
  • the power generator 100f includes a movable substrate 110 that vibrates inside.
  • FIG. 15A shows a state where the movable substrate 110 is at the center of vibration.
  • FIG. 15B shows a state where the movable substrate 110 is at a position shifted from the center of vibration.
  • the power generator 100f includes a lower substrate (first substrate) 111, an upper substrate (second substrate) 109, a movable substrate (movable part, weight, vibrating body) 110, a spring (elastic structure) 112, and a fixed structure. 108, an upper joint 107, a lower joint 106, a plurality of first electrets 101, a plurality of second electrets 103, a plurality of first electrodes 102, a plurality of second electrodes 104A, and a first pad. 105 and a second pad 113A.
  • the upper substrate 109 and the lower substrate 111 are arranged to face each other in parallel.
  • the upper substrate 109 and the lower substrate 111 are provided with a predetermined distance from the movable substrate 110, the spring 112, and the fixed structure (intermediate substrate) 108, and are fixed by the upper joint 107 and the lower joint 106.
  • the fixed structure 108, the movable substrate 110, and the spring 112 are formed by processing a single substrate. Therefore, the fixed structure 108, the movable substrate 110, and the spring 112 are “the intermediate substrate 108 to which the movable substrate 110 is connected by the elastic structure 112” or “the intermediate substrate 108 having the weight 110 movable by the elastic structure 112”. It may be said.
  • the movable substrate 110 is configured to be movable in at least a uniaxial direction (for example, a double arrow direction in FIG. 15) parallel to the upper substrate 109 or the lower substrate 111. Accordingly, the movable substrate 110 can vibrate (reciprocate) in a direction parallel to the upper substrate 109 as shown in FIG. 15B following the force (vibration) applied from the outside.
  • a uniaxial direction for example, a double arrow direction in FIG. 15
  • the movable substrate 110 can vibrate (reciprocate) in a direction parallel to the upper substrate 109 as shown in FIG. 15B following the force (vibration) applied from the outside.
  • the surface of the upper substrate 109 that faces the lower substrate 111 is referred to as the lower surface.
  • a surface of the lower substrate 111 facing the upper substrate 109 is referred to as an upper surface.
  • a plurality of first electrodes 102 are provided on the upper surface of the lower substrate 111.
  • the wiring for connecting these electrodes 102 passes through the lower substrate 111 and is connected to the first pad 105.
  • a plurality of second electrodes 104 ⁇ / b> A are provided on the lower surface of the upper substrate 109.
  • the wiring connecting the second electrodes 104A passes through the upper substrate 111 and is connected to the second pad 113A.
  • the first pad 105 and the second pad 113A are electrically insulated from each other.
  • the power generator 100f outputs the generated power through each of the first pad 105 and the second pad 113A.
  • a plurality of first electrets 101 are provided on the surface of the movable substrate 109 on the side facing the lower substrate 111. Each first electret 101 is provided such that the electric lines of force are perpendicular to the lower surface of the lower substrate 111 and the direction of the electric lines of force is the direction from the movable substrate 110 toward the lower substrate 111. Similarly, a plurality of second electrets 103 are provided on the surface of the movable substrate 110 on the side facing the upper substrate 109. Each second electret 103 is provided such that the direction of the electric lines of force is opposite to the direction of the electric lines of force of the first electret 101.
  • the electrets 101 and 103 are conveniently provided so that their electric lines of force are opposite to each other. This is because, as will be described later, the phases of the alternating currents generated by the vibrating motions of the electrets 101 and 103 become equal. However, the electric lines of electrets 101 and 103 may be provided so as to face the same direction. Details will be described later.
  • the lower substrate 111 and the fixed structure 108 are bonded by the lower bonding portion 106 so that a predetermined gap is provided between the first electrode 102 and the first electret 101.
  • the upper substrate 109 and the fixed structure 108 are bonded by the upper bonding portion 107 so that a predetermined gap is provided between the second electrode 104A and the second electret 103.
  • FIG. 3 is a diagram when the upper surface of the lower substrate 111 is viewed from a direction perpendicular to the upper surface of the lower substrate 111. 3 indicates the direction in which the movable substrate 110 can vibrate.
  • the first electrode 102 is extended in a direction perpendicular to the direction in which the movable substrate 110 can vibrate and parallel to the upper surface of the lower substrate 111.
  • P in FIG. 3 indicates the distance between the center lines of the adjacent first electrodes 102.
  • the plurality of first electrodes 102 are arranged in parallel to each other and at equal intervals by providing a center line interval P.
  • the width of the first electrode 102 (the dimension with respect to the direction in which the movable substrate 110 can vibrate) is 100 ⁇ m, and the distance P is 200 ⁇ m.
  • the plurality of first electrets 101 are arranged on the surface of the movable substrate 110 on the lower substrate 111 side so as to coincide with the first electrode 102 when viewed from a direction perpendicular to the upper surface of the lower substrate 111. That is, the first electrets 101 are the same size as the first electrodes 102 and are arranged at the same center line interval as the distance P between the center lines of the first electrodes 102. Note that the width of the first electret 101 may be different from the width of the first electrode 102. In this case, the first electret 101 is arranged so that the center line of the first electret 101 overlaps the center line of the first electrode 102 and with the same center line interval P.
  • the second electret 103 and the second electrode 104A may be arranged in the same manner as the first electret 101 and the first electrode 102. However, the second electret 103 is disposed on the surface of the movable substrate 110 on the upper substrate 109 side, and the second electrode 104A is disposed on the lower surface of the upper substrate 110. Further, the number of second electrets 103 and second electrodes 104A may be smaller than the number of first electrets 101 and first electrodes 102. In that case, the second electret 103 and the second electrode 104A may be arranged at a center line interval different from the center line interval P, respectively.
  • the position of the second electret 103 is conveniently arranged so that the center line of the second electret 103 coincides with the center line of the second electrode 104A when the movable substrate 110 is viewed from the vertical direction. is there.
  • the position of the second electret 103 may have a deviation of 10% or less of the width of the second electrode 104A.
  • the deviation is 10% of 100 ⁇ m, which is 10 ⁇ m or less.
  • the second electrode 104A and the second electret 103 may be relatively displaced within this range.
  • the movable substrate 110 vibrates following a force (for example, vibration) received from the external environment.
  • the spring constant and the resonance frequency of the elastic structure 112 are optimized so that the maximum amplitude is generated with respect to the vibration frequency of the assumed external environment (for example, vibration during driving of the automobile).
  • the electric lines of force of the first electret 101 are directed in the direction from the movable substrate 110 to the lower substrate 111, so that the charge attracted to the first electrode 102 is increased. Increases (power supply). Conversely, the smaller the facing area, the less charge attracted to the first electrode 102, that is, more charge released (discharge). That is, the capacitance value between the first electret 101 and the first electrode 102 increases as the opposing area between the first electret 101 and the first electrode 102 increases, and the capacitance value decreases as the opposing area decreases.
  • the AC powers output from the first pad 105 and the second pad 113A are different in magnitude, but the transition of fluctuation is the same. That is, when the AC power from the first pad 105 increases, the AC power from the second pad 113A increases. The same applies when decreasing.
  • Each AC power fluctuates synchronously with each other.
  • the electric lines of force of the first electret 101 and the second electret 103 are provided so as to face in the same direction, the directions of the currents output from the first pad 105 and the second pad 113A are opposite to each other.
  • the transition of each AC power fluctuation is the same.
  • the vibration environment in which the power generator 100f is used includes a vibration environment in which continuous and constant vibration occurs and a vibration environment in which a single impact occurs.
  • a single impact is applied to the generator 100f.
  • FIG. 16A shows a time change of force (acceleration) applied to the power generator 100f by the external environment.
  • B shows the time change of the output voltage of the generator 100f according to the applied force.
  • C and (d) will be described later.
  • the power conversion efficiency of the DC / DC conversion circuit 220f varies based on the level of the output voltage of the power supply AC / DC conversion circuit 210a. Therefore, for example, it is possible to calculate in advance the output voltage of the control AC / DC conversion circuit 210b such that the output power of the DC / DC conversion circuit 220f is equal to the power consumption of the DC / DC conversion circuit 220f.
  • the generator is set so that the output voltage of the control AC / DC conversion circuit 210b becomes the voltage lower limit value.
  • the second electrode 104A and the second electret 103 of 100f are configured and arranged.
  • the voltage lower limit value is, for example, 3V of the driving voltage of the DC / DC conversion circuit 220f.
  • the voltage lower limit value may be set corresponding to 1/10 of the maximum value of input power to the DC / DC conversion circuit 220f that can occur during normal power generation of the power generator 100f. .
  • the maximum input value to the normal DC / DC conversion circuit 220f is 100 ⁇ W.
  • Each unit is configured such that the output voltage of the circuit 210 becomes the voltage lower limit value.
  • FIG. 16C shows the time change of the output voltage of the AC / DC conversion circuit 210b.
  • Vth represents a voltage lower limit value.
  • FIG. 16D shows the ON / OFF state of the voltage conversion operation in the DC / DC conversion circuit 220f.
  • the control AC / DC conversion circuit 210b converts the AC voltage (FIG. 16B) output from the power generator 100f through the second pad 113A into a DC voltage to convert the DC / DC conversion circuit 220f. Output to the power supply circuit 221.
  • the height of the voltage at the output terminal of the control AC / DC conversion circuit 210b is proportional to the magnitude of the AC power before the conversion (FIG. 16C). If the output voltage of the control AC / DC conversion circuit 210b exceeds the voltage lower limit value, the DC / DC conversion circuit 220f performs a power conversion operation ("ON state" in FIG. 16D).
  • the AC / DC conversion circuit 210a for power supply converts AC power output through the first pad 105 by the power generator 100f into DC power and outputs the DC power to the DC / DC conversion circuit 220f. If a voltage exceeding the voltage lower limit value is applied to the power supply circuit 221 of the DC / DC conversion circuit 220f, the DC / DC conversion circuit 220f uses the output power of the power supply AC / DC conversion circuit 210a as the power of another voltage. And supplied to a storage battery or the like in the subsequent stage.
  • the generated power of the generator 100f may decrease.
  • FIG. 16 (a) a case where a single impact is applied to the generator 100f every S for a certain period is considered.
  • the time during which the power output from the power management circuit 200f is less than or equal to the power consumption of the power management circuit 200f is 30% of the period S (FIG. 16C). That is, in the period S, 30% of the power consumed by the power conversion operation of the power management circuit 200f does not contribute to the improvement of power generation efficiency.
  • the 30% after the period S more power than that output from the power management circuit 200f is consumed by the power management circuit 200f. As a result, the power generation efficiency of the power generation apparatus 1000f is reduced.
  • the DC / DC conversion circuit 220f when the input power to the DC / DC conversion circuit 220f is 1/10 or less than the maximum value in the normal state (or the output power of the power management circuit 200f is power management). Since the input voltage to the power supply circuit 221 of the DC / DC conversion circuit 220f is equal to or lower than the voltage lower limit value, the DC / DC conversion circuit 220f is not driven and the voltage is passively applied. The conversion operation is stopped.
  • the power generation apparatus 1000f of the present embodiment includes the power generator 100f that generates power by receiving vibration, and the power converter (power management circuit) 200f that converts the output of the power generator 100f.
  • the power generator 100f outputs power from the first electrode 102 and the second electrode 104A, and the power management circuit 200f is driven by receiving the output from the second electrode 104A of the power generator 100f, and the first electrode 102 of the power generator is driven. The output from is converted to another power.
  • the DC / DC conversion circuit 220f of the power management circuit 200f is passively stopped due to the reduction of the driving power. Thereby, it is possible to improve the power generation efficiency of the power generation apparatus 1000f as a whole.
  • a separate circuit configuration for controlling the DC / DC conversion circuit 220f is not required, an increase in the circuit scale can be minimized as compared with a power generator that requires a separate control circuit for the DC / DC conversion circuit 220f. It is possible.
  • Embodiment 7 The seventh embodiment will be described below.
  • This embodiment has a configuration as shown in FIG.
  • the generator 100g of this embodiment differs from the generator 100f of Embodiment 6 in the arrangement of the second electrode 104B, the second pad 113B, and the second electret 103.
  • Other configurations may be the same as those in the sixth embodiment.
  • the plurality of second electrodes 104B are provided on the upper surface of the lower substrate 111 between the plurality of first electrodes 102.
  • the first electrode 102 and the second electrode 104B are electrically insulated from each other.
  • Adjacent first electrodes 102 are arranged at equal intervals with a center line interval P provided.
  • the adjacent second electrodes 104B are also arranged at equal intervals with a centerline interval P provided.
  • the wiring connecting the second electrodes 104B passes through the lower substrate 111 and is connected to the second pad 113B.
  • FIG. 18A shows a state in which the movable substrate 110 is at the center of vibration. In this state, the facing area between the first electret 101 and the first electrode 102 is maximized, and the facing area between the first electret 101 and the second electrode 104B is minimized.
  • FIG. 18B the movable substrate 110 is displaced from the center of vibration, the facing area between the first electret 101 and the first electrode 102 is minimized, and the facing area between the first electret 101 and the second electrode 104B is small. Indicates the maximum state. When the movable substrate 110 vibrates, the state shown in FIG. 18A and the state shown in FIG. 18B are alternately repeated.
  • the power generator 100g individually outputs AC power to the power supply AC / DC conversion circuit 210a and the control AC / DC conversion circuit 210b.
  • the AC currents output to the power supply AC / DC conversion circuit 210a and the control AC / DC conversion circuit 210b are out of phase with each other, but are not related to the control of the DC / DC conversion circuit 220f. Also in the present embodiment, the execution / stop of the DC / DC conversion circuit 220f can be switched as in the sixth embodiment.
  • the upper substrate 109 and the lower substrate 111 are distinguished from each other.
  • this name is for convenience and may be configured upside down.
  • the first pad 105 is provided on the substrate on which the first electrode 102 is provided, and the second pad is provided on the substrate on which the second electrodes 104A and 104B are provided.
  • the generator was one structure.
  • a configuration is also conceivable in which two generators are juxtaposed and one output is input to the power supply AC / DC conversion circuit 210a and the other output is input to the control AC / DC conversion circuit 210b.
  • the transition of fluctuations in the AC power for power supply and the AC power for control is not necessarily the same. That is, there may occur a situation in which the amplitude of the AC power for control decreases while the amplitude of the AC power for power supply increases.
  • a configuration in which such a situation can occur is often not suitable for performing control for switching execution / stop of the DC / DC conversion circuit 220f based on the power generated by the generator. Therefore, as in the above-described embodiment, it is effective to take two outputs for power supply and control from one generator.
  • the power generation apparatus 1000g of the present embodiment can improve the power generation efficiency of the power generation apparatus 1000g as a whole, as in the sixth embodiment. Since such an operation can be executed without adding a dedicated control circuit, an increase in circuit scale can be minimized.
  • Each embodiment has a configuration in which the DC / DC conversion circuit 220f is stopped when the generators 100f and 100g generate low power.
  • the power conversion unit (power management circuit) 200f includes a circuit other than the DC / DC conversion circuit 220f and power is consumed for driving the circuit, the circuit is stopped. Also good. In that case, a value suitable for the drive voltage of the circuit is set as the voltage lower limit value.
  • the movable substrate 110 of the power generator 100f, 100g is joined to the upper joint portion 107 and the lower joint portion 106 via the spring 112 and the solid structure 108, whereby the upper substrate 109 and the lower substrate 111 are connected. Arranged at intervals.
  • the movable substrate 110 may be fixed by another method. Any method that does not inhibit the vibration of the movable substrate 110 may be used.
  • the movable substrate 110 may be supported by electrostatic force or magnetic force.
  • an electret for supporting the movable substrate 110 is installed on the upper substrate 109 and the lower substrate 111, and the movable substrate is generated by an electrostatic force between the support electret and the electrets 101 and 103 installed on the movable substrate 110. 110 may be fixed.
  • the movable substrate 110 in the power generators 100f and 100g vibrates in a direction as indicated by a double arrow in FIG.
  • this does not exclude vibrations in directions other than the double arrows.
  • an electrical device that can further suppress the power consumption of the storage battery can be provided.
  • Embodiments 8 to 10 provide a power generation apparatus that suppresses power loss due to the MPPT circuit as much as possible and further improves the power generation efficiency of the entire power generation apparatus.
  • FIG. 19 is a block diagram of the power generator according to this embodiment.
  • the power generation apparatus 1000h includes a power generator 100f, a power conversion unit (power management circuit) 200h, a control AC / DC conversion circuit 210b, and an MPPT circuit 230h.
  • the power management circuit 200h includes a power supply AC / DC conversion circuit 210a and a DC / DC conversion circuit 220h.
  • the generator 100f is a vibration type generator manufactured by MEMS (micro electromechanical) technology.
  • the generator 100f includes a first electrode 102, a second electrode 104A, and the like connected to two systems of outputs.
  • the power supply AC / DC conversion circuit 210a and the control AC / DC conversion circuit 210b of the power conversion unit (power management circuit) 200h are respectively a bridge rectifier circuit 212a (212b) and a capacitor 213a (four diodes). 213b) and a load resistor 214a (214b).
  • the power generator 100f is connected to the power supply AC / DC conversion circuit 210a by a wiring connected to the first electrode 102, and is connected to the control AC / DC conversion circuit 210b by a wiring connected to the second electrode 104A. .
  • the power supply AC / DC conversion circuit 210a is connected to a signal input terminal of the DC / DC conversion circuit 220h.
  • the control AC / DC conversion circuit 210b is connected to the MPPT circuit 230h.
  • the MPPT circuit 230h is connected to the power management circuit 200h. As a result, the MPPT circuit 230h and the control terminal of the DC / DC conversion circuit 220h are connected.
  • the output of the DC / DC conversion circuit 220h that is, the output of the power conversion unit (power management circuit) 200h is connected to the load in order to supply power to a subsequent load (such as a storage battery).
  • the power generator 100f may have the configuration shown in FIG.
  • the DC / DC conversion circuit 220h converts the DC power output by the AC / DC conversion circuit 210a for power supply into DC power of another voltage and outputs it.
  • the MPPT circuit 230h stores information related to output characteristics (for example, voltage-current characteristics) of the power generator 100f.
  • the MPPT circuit refers to this information and controls the DC / DC conversion circuit 220h based on the output of the control AC / DC conversion circuit 210b so that the output power of the DC / DC conversion circuit 220h is maximized.
  • the control AC / DC conversion circuit 210b converts the AC power output through the second pad 113A of the power generator 100f into DC power and outputs the DC power.
  • the MPPT circuit 230h is configured to maximize the output power of the DC / DC conversion circuit 220h based on the output of the control AC / DC conversion circuit 210b and the information on the voltage-current characteristics of the output of the generator 100f (that is, The DC / DC conversion circuit 220h is controlled so that the energy conversion efficiency of the power generation apparatus as a whole is maximized.
  • the MPPT circuit 230h can supply at least part of the input from the control AC / DC conversion circuit 210b to the DC / DC conversion circuit 220h as driving power for the DC / DC conversion circuit 220h.
  • the DC / DC conversion circuit 220h of the power management circuit 200h (power conversion unit) is controlled by the MPPT circuit 230h under the output of the control AC / DC conversion circuit 210b supplied via the MPPT circuit 230h. Can be driven.
  • the power supply AC / DC conversion circuit 210a converts the AC power output through the first pad 105 of the power generator 100f into DC power and outputs the DC power.
  • the DC / DC conversion circuit 220h converts the output power of the power supply AC / DC conversion circuit 210a based on the control of the MPPT circuit 230h, and outputs it to the subsequent load (storage battery or the like).
  • the power generation device 1000h includes the power generator 100f that generates power by receiving vibration, the power conversion unit (power management circuit) 200h that converts the output of the power generator 100f, and the power management circuit. And an MPPT circuit 230h for controlling 200h.
  • the power generator outputs power from the first electrode 102 and the second electrode 104A
  • the power management circuit 200h converts the output from the first electrode 102 of the power generator 100f into another power
  • the MPPT circuit 230h Based on the output from the second electrode 104A of the device 100f, the power management circuit 200h is controlled.
  • This embodiment has a configuration as shown in FIG.
  • the generator 100g according to the present embodiment is different in the arrangement of the second electrode 104B, the second pad 113B, and the second electret 103 from the generator 100f according to the eighth embodiment.
  • Other configurations may be the same as those in the eighth embodiment.
  • the power generator 100g may have the configuration shown in FIG.
  • the configuration and power generation operation of the power generator 100g have already been described with reference to FIG. Therefore, explanation is omitted here.
  • the operation of the MPPT circuit may be the same as that in the eighth embodiment. Therefore, explanation is omitted here.
  • the alternating currents output to the power supply AC / DC conversion circuit 210a and the control AC / DC conversion circuit 210b have phases opposite to each other.
  • the output power of the DC conversion circuit 220h can be maximized (that is, the energy conversion efficiency of the entire power generation device can be maximized).
  • Embodiment 10> The tenth embodiment will be described below.
  • the power generator 100d of the present embodiment includes an amplitude detection electrode 113 instead of the second electret 103, the second electrode 104B, and the second pad 113B. Further, instead of the control AC / DC conversion circuit 210b of the eighth embodiment, an amplitude detection unit 250d and a control unit 240j are provided. Other configurations may be the same as those in the eighth embodiment.
  • the power generator 100d may have the configuration shown in FIG.
  • the configuration and power generation operation of the power generator 100g have already been described. Therefore, detailed description is omitted here.
  • the wiring drawn from the amplitude detection electrode 113 is electrically insulated from the wiring to the power supply AC / DC conversion circuit 210a and connected to the amplitude detection unit 250d.
  • the amplitude detector 250d is connected to the controller 240j.
  • the control unit 240j is connected to the MPPT circuit 230j, and the MPPT circuit 230j is connected to the power conversion unit (power management circuit) 200h through a path different from the power supply AC / DC conversion circuit 210a.
  • the MPPT circuit 230j and the control terminal of the DC / DC conversion circuit 220h are connected.
  • the power generator 100d generates power and outputs electric power.
  • the electric power supply AC / DC conversion circuit 210a and the DC / DC conversion circuit 220h convert the electric power to generate DC / DC.
  • the conversion circuit 220h supplies power to a subsequent load (storage battery or the like).
  • the MPPT circuit 230j controls the DC / DC conversion circuit 220h so that the output power of the DC / DC conversion circuit 220h is maximized (that is, the energy conversion efficiency of the entire power generation apparatus 1000j is maximized).
  • the amplitude detection electrode 113 provided in the generator 100d outputs AC power (voltage) in the same manner as the first electrode 102 outputs AC power (voltage).
  • the transition of the fluctuation of the AC power output from the amplitude detection electrode 113 corresponds well to the transition of the vibration amplitude of the movable substrate 110 of the power generator 100d.
  • the amplitude detector 250d detects the vibration amplitude of the movable substrate 110 based on the AC power output from the power generator 100d through the amplitude detection electrode 113.
  • the amplitude detection unit 250d inputs amplitude information to the control unit 240j according to the detected amplitude.
  • the control unit 240j calculates the output of the power supply AC / DC conversion circuit 210a based on the amplitude information, and inputs the calculation result to the MPPT circuit 230j.
  • the MPPT circuit 230j controls the DC / DC conversion circuit 220h of the power management circuit 200h as described above based on the calculation result of the control unit 240j.
  • the power generation apparatus 1000j of the present embodiment includes a generator 100d that generates power by receiving vibration, a power conversion unit (power management circuit) 200h that converts the output of the generator 100a, and vibrations of the movable electrode 110 inside the generator 100d.
  • An amplitude detector 250d for detecting the amplitude and an MPPT circuit 230j for controlling the power management circuit 200h are provided.
  • the control unit 240j calculates the output of the power supply AC / DC conversion circuit 210a based on the amplitude information output by the amplitude detection unit 250d, and inputs the calculation result to the MPPT circuit 230j.
  • the MPPT circuit 230j controls the power management circuit 200h based on the calculation result.
  • the MPPT circuits 230h and 230j control the DC / DC conversion circuit 220h so that the output power of the DC / DC conversion circuit 220h is maximized.
  • the MPPT circuits 230h and 230j control the circuit so that the energy of the entire power generation apparatus Conversion efficiency may be maximized.
  • the movable substrate 110 of the power generators 100f, 100g, and 100d is joined to the upper joint 107 and the lower joint 106 via the spring 112 and the solid structure 108, whereby the upper substrate 109 and the lower substrate 111 are spaced from each other.
  • the movable substrate 110 may be fixed by another method. Any method that does not inhibit the vibration of the movable substrate 110 may be used.
  • the movable substrate 110 may be supported by electrostatic force or magnetic force.
  • an electret for supporting the movable substrate 110 is installed on the upper substrate 109 and the lower substrate 111, and the movable substrate is generated by an electrostatic force between the support electret and the electrets 101 and 103 installed on the movable substrate 110. 110 may be fixed.
  • the movable substrate 110 in the generators 100f, 100g, and 100d is assumed to vibrate in the direction indicated by the double arrow in FIG. 15, for example. However, this does not exclude vibrations in directions other than the double arrows.
  • any of the power generation apparatuses 1000h, 1000i, and 1000j with improved power generation efficiency according to the eighth to tenth embodiments is incorporated into the electric device, so that an electric device that can be used for a longer time can be provided.
  • Embodiments 1 to 10 disclose the concept of the power generation device as described below.
  • a generator for generating electric power by receiving vibration and a power converter (power management circuit) for converting the output of the generator are provided.
  • the power generator outputs power in the first system and the second system, and the power converter is driven by receiving the output of the second system of the power generator, and outputs the output of the first system of the power generator to another power system.
  • a power generation device characterized by converting into electric power.
  • the power generator may include a first substrate, a second substrate, and a movable substrate disposed between the first substrate and the second substrate and movable within the power generator.
  • a plurality of first electrodes connected to the first system are installed on the surface of one of the first substrate and the second substrate facing the movable substrate, and the movable substrate on the side facing the first electrode
  • a plurality of first electrets are arranged on the surface of the substrate, and a plurality of second electrodes connected to the second system are installed on the other surface of the first substrate and the second substrate facing the movable substrate.
  • a plurality of second electrets may be arranged on the surface of the movable substrate facing the second electrode.
  • the power generator may include a first substrate and a movable substrate that is disposed to face the first substrate and is movable.
  • a plurality of first electrodes connected to the first system and a plurality of second electrodes connected to the second system are alternately arranged on the surface of the first substrate facing the movable substrate.
  • a plurality of electrets may be disposed on the surface of the movable substrate facing the first and second electrodes.
  • the first electrode and the second electrode of the power generator may be insulated from each other, and the power generator may output power from each of the first electrode and the second electrode.
  • the power conversion unit may include a DC / DC conversion circuit that converts a DC voltage into another DC voltage.
  • the DC / DC conversion circuit may be driven by receiving the output of the second system of the generator.
  • the power conversion unit may include an AC / DC conversion circuit that converts an AC voltage into a DC voltage, and a DC / DC conversion circuit that converts a DC voltage into another DC voltage.
  • the DC / DC conversion circuit may be driven by receiving the output of the second system of the generator.
  • the power generation device further includes an MPPT circuit for controlling the power conversion unit,
  • the power converter may convert the output of the first system of the generator into another power
  • the MPPT circuit may control the power converter based on the output of the second system of the generator.
  • the MPPT circuit may control the power conversion unit so that the output of the power conversion unit is maximized.
  • the power generator may include a first substrate, a second substrate, and a movable substrate disposed between the first substrate and the second substrate and movable within the power generator.
  • a plurality of first electrodes connected to the first system are installed on the surface facing the movable substrate, and the movable substrate on the side facing the first electrode
  • a plurality of electrets are disposed on the surface of the first substrate and the second substrate, and a plurality of second electrodes connected to the second system are installed on the surface opposite to the movable substrate on the other side of the first substrate and the second substrate.
  • a plurality of electrets may be arranged on the surface of the movable substrate facing the two electrodes.
  • the power generator may include a first substrate and a movable substrate that is disposed to face the first substrate and is movable.
  • a plurality of first electrodes connected to the first system and a plurality of second electrodes connected to the second system are alternately arranged on the surface of the first substrate facing the movable substrate,
  • a plurality of electrets may be disposed on the surface of the movable substrate facing the one electrode and the second electrode.
  • the first electrode and the second electrode of the power generator may be insulated, and the power generator may output from each of the first electrode and the second electrode.
  • the power conversion unit may include a DC / DC conversion circuit that converts a DC voltage into another DC voltage.
  • the DC / DC conversion circuit may be controlled by the MPPT circuit.
  • the power conversion unit may include an AC / DC conversion circuit that converts an AC voltage into a DC voltage, and a DC / DC conversion circuit that converts a DC voltage into another DC voltage.
  • the DC / DC conversion circuit may be controlled by the MPPT circuit.
  • An electric device including the above-described power generation device may be provided.
  • a power generation device that includes a power generator that generates power by receiving vibration and a power conversion unit that converts an output of the power generator, and switches whether the power conversion unit performs power conversion based on the output of the power generator.
  • the power generation device described above may further include a detection unit that detects information related to the output of the power generator, and a control unit that switches whether or not the power conversion unit performs power conversion.
  • the control unit may stop the power conversion of the power conversion unit when determining that the output of the power generation device is equal to or lower than the power consumption of the power generation device based on the information.
  • control unit may block the input from the power generator to the power conversion unit when it is determined that the output of the power generator has reached a predetermined value or more based on the information.
  • the information detected by the detection unit may be output power of the generator.
  • the power generator may have a vibrating body that can vibrate.
  • the information detected by the detection unit may be the vibration amplitude of the vibrating body.
  • the aforementioned power generation apparatus may further include an MPPT circuit that controls the power conversion unit, and the MPPT circuit may control the power conversion unit based on the vibration amplitude of the vibrating body detected by the detection unit.
  • the power generator described above may further include a passive switch.
  • the passive switch may cut off or allow input of power from the generator to the power conversion unit according to the magnitude of output power from the generator.
  • the passive switch may include an input electrode, an output electrode, and a movable electrode.
  • the conduction / non-conduction of the input electrode and the output electrode may be switched by bending the movable electrode according to the voltage of the electric power input to the input electrode.
  • the aforementioned power generator may further include a switch.
  • the control unit may control the switch based on the information so that the switch blocks or permits input of power from the power generator to the power conversion unit.
  • the power conversion unit may include a DC / DC conversion unit that converts the input DC voltage into another DC voltage.
  • the control unit may switch presence / absence of voltage conversion of the DC / DC conversion unit based on the information.
  • the power conversion unit converts the AC current output from the generator into a DC current, and converts the DC current output from the AC / DC conversion unit into another DC voltage. And a DC / DC converter that performs the same.
  • the control unit may switch presence / absence of voltage conversion of the DC / DC conversion unit based on the information.
  • the electrical device may include any one of the above-described power generation devices.
  • Power generation apparatus 100 power generator 101: (first) electret 102: (first) electrode 103: second electret 104: second electrode 105: (first) pad 106: lower joint 107: upper joint 108 : Fixed structure 109: Upper substrate (second substrate) 110: Movable substrate (movable part, weight, vibrator) 111: Lower substrate (first substrate) 112: Spring (elastic structure) 113: Amplitude detection electrodes 113A, 113B: Second pad 200: Power management circuit 210: AC / DC conversion circuit 210a: AC / DC conversion circuit for power supply 210b: AC / DC conversion circuit for control 220: DC / DC Conversion circuit 230: Power detection unit 230h, 230j: MPPT circuit 240: Control unit 250: Amplitude detection unit 300: Switch 310: Passive switch 900: Load (storage battery, etc.)

Abstract

発電装置(1000)は、振動を受けて電力を発電する発電器(100)と、発電器(100)の出力を変換する電力変換部(220)とを備える。発電器(100)は第1の系統および第2の系統で電力を出力し、電力変換部(220)は、発電器(100)の第2の系統の出力を受けて駆動され、発電器(100)の第1の系統の出力を別の電力に変換する。

Description

発電装置、およびそれを用いた電気機器
 技術分野は振動を受けて発電する発電装置およびそれを用いた電気機器に関する。
 微小電気機械素子(MEMS素子、MEMS:Micro Electro Mechanical Systems)は、無線、光、加速度センサ、バイオおよび発電など、多くの分野に応用されている。その中で、発電の分野にMEMS技術を応用したデバイスとして、光、熱および振動といった形で環境中に散逸されたエネルギーを集めて活用する環境発電器(Energy Harvester)の開発が進められている。この環境発電器は、例えば低電力無線機の電源に適用されて、電源ケーブルや電池を必要としない無線センサ・ネットワークなどを実現する。また、MEMS技術を環境発電器に適用することにより、環境発電器の小型化が期待される。
 光および熱の散逸量が比較的小さい環境においては、外部環境から加えられる力を利用して、素子を構成する部材の振動によって発電する振動型発電器が有用である。振動型発電器には、圧電式、電磁式および静電式がある。特に静電式振動型発電器は、圧電材料および磁性材料を必要とせず、簡単な方法で製造できるという利点を有する。
 また、このような振動型発電器は発電電力が微小であるので、発電効率のより高い発電装置が望まれる。これに関連する技術として例えば特許文献1に開示された技術がある。
特開2010-246230号公報
 しかしながら、上述のようなタイプの発電装置では、その信頼性や発電効率に改善の余地がある。そこで、発電装置の信頼性および発電効率の少なくともいずれか一方を一層向上させることにより、発電品質がより一層向上された発電装置を提供する。
 第1の態様による発電装置は、振動を受けて電力を発電する発電器と、発電器の出力を変換する電力変換部(パワー・マネージメント回路)とを備える。発電器は第1の系統および第2の系統で電力を出力し、電力変換部は、発電器の第2の系統の出力を受けて駆動され、発電器の第1の系統の出力を別の電力に変換する。
 第2の態様による発電装置は、振動を受けて発電する発電器と、発電器の出力を変換する電力変換部とを備え、発電器の出力に基づいて電力変換部の電力変換の有無が切り替わる。
 各態様による発電装置によれば、信頼性および発電効率の少なくともいずれか一方が向上され、よって、発電品質が向上された発電装置が提供される。
実施形態1による発電装置のブロック図 実施形態1の発電器の断面図 発電器の電極の配置と可動電極の振動方向との関係を説明するための図 発電器の可動基板の振動と発電器の発電との関係を説明するための図 実施形態2による発電装置のブロック図 実施形態3による発電装置のブロック図 受動式スイッチの平面図 図7のA-A’線に沿った受動式スイッチの断面図 別の受動式スイッチの平面図 図9のA-A’線に沿った別の受動式スイッチの断面図 実施形態4による発電装置のブロック図 実施形態4の発電器の断面図 実施形態5による発電装置のブロック図 実施形態6による発電装置のブロック図 実施形態6の発電器の断面図 発電器の可動基板の振動と発電器の発電との関係を説明するための図 実施形態7による発電装置のブロック図 実施形態7の発電器の断面図 実施形態8による発電装置のブロック図 実施形態9による発電装置のブロック図 実施形態10による発電装置のブロック図
 振動型発電器は、環境中に発生した振動をエネルギー源として発電を行うので、出力が不安定になることがあり、よって、信頼性が低くなることがある。例えば、振動が過大な場合には、発電によって生じた電圧が高すぎることによって、該振動型発電器を備える発電装置が故障する恐れもある。また、振動が過小な場合には、電力変換効率が低下し、場合によって発電器の発電電力が発電装置の消費電力を下回り、発電装置の後段の蓄電池等に蓄えられた電力を減少させる恐れもある。以下に示す各実施形態によれば、信頼性および発電効率の少なくともいずれか一方が向上されより安定的に電力を供給できる、発電品質が向上された発電装置の提供が可能となる。
 以下、実施形態について添付の図面を参照して説明する。
<1.実施形態1>
<1-1.構成>
<1-1-1.全体の構成>
 図1は、本実施形態による発電装置のブロック図である。図1で示すように、本実施形態の発電装置1000aは、発電器100aと、パワー・マネージメント回路200aとを備える。パワー・マネージメント回路200aは、AC/DC変換回路210と、DC/DC変換回路220aと、電力検出部230aと、制御部240aとで構成される。発電器100aは、例えば、MEMS(微小電気機械素子)技術によって製造された振動型発電器でよい。発電器100aは、エレクトレット101や、電極102などを含む。パワー・マネージメント回路200aのAC/DC変換回路210は、4つのダイオードによって構成されるブリッジ整流回路212およびキャパシタ213で構成される平滑回路と、負荷抵抗214とを含む。
 発電器100aはAC/DC変換回路210に接続される。AC/DC変換回路210はDC/DC変換回路220aに接続される。電力検出部230aはAC/DC変換回路210とDC/DC変換回路220aの間に接続される。制御部240aは電力検出部230aとDC/DC変換回路220aに接続される。DC/DC変換回路220aは外部の負荷(例えば蓄電池)900に接続される。さらに蓄電池900は、DC/DC変換回路220aと、電力検出部230aと、制御部240aと、外部のセンサ等(符号なし)とに、電力を供給できるように接続される。
 発電器100aは、外力によって生じた内部の振動によって発電し、交流電流を出力する。
 AC/DC変換回路210は、発電器100aによって出力された交流電流(電圧)を直流電流(電圧)に変換する。
 DC/DC変換回路220aは、AC/DC変換回路210によって出力された直流電流によって生じた直流電圧を、別の電圧値の直流電圧に変換する。そしてDC/DC変換回路220aは、外部の蓄電池900に電力を供給する。
 電力検出部230aは、AC/DC変換回路210によって出力された直流電流の電力を検出する。
 制御部240aは内部に電力下限値を記憶している。「電力下限値」は、DC/DC変換回路220aの変換動作の実行/停止を判断する基準となる電力値である。
 電力下限値は、例えば、発電器100aの通常的な発電の中で生じうるDC/DC変換回路220への入力電力の最大値の、1/10に設定されてよい。例えば、通常的なDC/DC変換回路220への入力電力の最大値が100μWである場合、電力下限値は10μWに設定される。つまり、入力電力が100μWから10μWに低下して電力変換効率が85%から70%に低下するような場合に、DC/DC変換回路220aの変換動作を停止させるための規準となるように電力下限値は設定される。
 あるいは、DC/DC変換回路220aの出力電力とパワー・マネージメント回路200aの消費電力とが等しくなると想定されるときのDC/DC変換回路220aへの入力電力が、電力下限値として設定されてもよい。
 制御部240aは、電力検出部230aが検出した電力値に基づいて、DC/DC変換回路220aの電圧変換動作の実行/停止を切り替える。
 蓄電池900は、DC/DC変換回路220aによって供給された電力を蓄える。そして蓄えた電力の一部をDC/DC変換回路220aと、電力検出部230aと、制御部240aと、外部のセンサ等に供給して、これらの装置を動作可能な状態にする。DC/DC変換回路220a、電力検出部230aおよび制御部240aはそれぞれ、動作するために、蓄電池900から供給された電力を消費してよい。
<1-1-2.発電器の構成>
 図2を参照して発電器100aの構造について説明する。後述するように発電器100aは内部で振動する振動体(可動基板110)を備えている。図2(a)は、可動基板110が振動の中心にいる状態を示す。図2(b)は、可動基板110が振幅の端にいる状態を示す。
 発電器100aは下部基板(第1基板)111と、上部基板(第2基板)109と、可動基板(可動部、重り、振動体)110と、バネ(弾性構造体)112と、固定構造体108と、上部接合部107と、下部接合部106と、エレクトレット101と、電極102と、パッド105とを備える。
 上部基板109および下部基板111は、可動基板110とバネ112と固定構造体(中間基板)108とから所定の距離をとりつつ、互いに平行に対向するように、上部接合部107および下部接合部106によって固定される。
 固定構造体108、可動基板110およびバネ112は、例えば、1枚の基板が加工されて形成される。よって、固定構造体108、可動基板110およびバネ112は、「可動基板110が弾性構造体112によって接続されている中間基板108」または「弾性構造体112によって可動な重り110を有する中間基板108」といってもよい。
 可動基板110は、上部基板109または下部基板111と平行な、少なくとも一軸方向(例えば、図2における両矢印方向)に動けるよう構成される。よって可動基板110は、外部から加えられた振動に追従して、図2(b)に示すように、上部基板109と平行な方向に振動(往復運動)することが可能である。
 上部基板109の下部基板111に対向する面を下部表面という。下部基板111の上部基板109に対向する面を上部表面という。下部基板111の上部表面および上部基板109の下部表面が、それぞれ第1基板表面および第2基板表面に相当する。
 下部基板111の上部表面には、複数の電極102が設けられる。これらの電極102を接続する配線は下部基板111内を通って、パッド105に接続される。発電器100aはパッド105を通じて、発電した電流を出力する。また、下部基板111に対向する側の可動基板110表面に、複数のエレクトレット101が設けられる。エレクトレット101は、エレクトレット101の中心を通る電気力線が下部基板111の上部表面に対して垂直になるように設けられる。電気力線の向きは、可動基板110から下部基板111への方向でもよく、その反対方向でもよい。以下では、電気力線の向きは、可動基板110から下部基板111への方向とする。
 電極102と第1のエレクトレット101との間に所定の間隙が設けられるよう、下部基板111と固定構造体108は、下部接合部106により接合される。同様に、上部基板109と固定構造体108は、上部接合部107により接合される。
 図3を参照して電極102およびエレクトレット101の配置について説明する。図3は、下部基板111の上部表面を、下部基板111の上部表面に対して垂直な方向から見たときの図である。
 図3に示すように電極102は、可動基板110の振動可能な方向に対して垂直な方向で、かつ下部基板111の上部表面と平行な方向に、延長して配置される。図3のPは、隣接する電極102の中心線間の距離を示す。複数の電極102は、互いに平行に、かつ中心線間隔Pを設けて等間隔になるように、配置される。例えば、電極102の幅(可動基板110の振動可能方向の寸法)は100μmであり、距離Pは200μmである。
 複数のエレクトレット101は可動基板110の下部基板111側の表面に、下部基板111の上部表面に対して垂直な方向から見たときに電極102と一致するように配置されてよい。つまり、エレクトレット101は電極102と同じ大きさで、かつ中心線間隔Pを設けて等間隔に配置されてよい。なお、エレクトレット101の幅は、電極102の幅と異なってもよい。その場合は、エレクトレット101の中心線が電極102の中心線と重なるように、かつ同じ中心線間隔Pを設けて配置される。
 このように、複数の電極102と複数のエレクトレット101は、可動基板110の振動可能方向に等間隔に配置される。
<1-2.動作>
<1-2-1.発電器の発電動作>
 再び図2を参照して、発電器100aの発電動作について説明する。発電器100aでは、外部環境から受けた力(例えば振動)に追従して可動基板110が振動する。弾性構造体112のバネ定数および共振周波数は、想定される外部環境(例えば、自動車の走行中の振動)の振動周波数に対して最大振幅が発生するよう最適化される。
 可動基板110は振動時、図2(a)が示すような電極102とエレクトレット101の対向面積が最大になる状態と、図2(b)に示すような電極102とエレクトレット101の対向面積が小さくなる状態とを、交互に繰り返す。
 電極102とエレクトレット101の対向面積が大きくなるほど、エレクトレット101の電気力線は可動基板110から下部基板111への方向を向いているので、電極102に引き寄せられる電荷が多くなる(給電)。逆に、対向面積が小さくなるほど、電極102に引き寄せられる電荷が少なくなる、つまり解放される電荷が多くなる(放電)。すなわち、電極102とエレクトレット101の対向面積が大きくなるほど電極102とエレクトレット101間の静電容量値が大きくなり、対向面積が小さくなるほど静電容量値が小さくなる。
 電極102とエレクトレット101の対向面積が大きくなって電極102に電荷が引き寄せられることにより、パッド105からAC/DC変換回路210へ電流が流れる。一方、電極102に引き寄せられていた電荷がこの対向面積の減少によって解放されることにより、AC/DC変換回路210からパッド105へ電流が流れる。このような発電器100aの動作によって、交流電流が発電される。
 次に、外部環境による振動と発電器100aの発電の関係について説明する。発電器100aが使用される振動環境には、連続的で一定の振動が発生する振動環境と、単発的な衝撃が発生する振動環境とがある。図4に示す例では、単発的な衝撃が発電器100aに加えられる。
 図4(a)は、外部環境によって発電器100aに加えられた力(加速度)の時間変化を示す。(b)は、加えられた力に従って発電器100aの出力電圧の時間変化を示す。(c)、(d)については後述する。発電器100aに単発的な衝撃が加えられたとき(図4(a))、発電器100aの可動基板110は自由振動し、時間とともに振動が減衰する。その減衰振動に従って発電器100aの出力は減衰する(図4(b))。
<1-2-2.パワー・マネージメント回路の動作>
(1)正常発電時
 図4を参照して、発電器100aが交流電流を発電したときのパワー・マネージメント回路200aの動作を説明する。図4(c)は、AC/DC変換回路210によって出力され、そしてDC/DC変換回路220aに入力される電力の時間変化を示す。Pthは電力下限値を示す。図4(d)は、DC/DC変換回路220aにおける電力変換動作のON/OFF状態を示す。
 AC/DC変換回路210は、前述のように、発電器100aによって出力された交流電圧(図4(a))を直流電圧に変換し、出力する。パワー・マネージメント回路200aの電力検出部230aは、AC/DC変換回路210の出力電力を検出する。なお、AC/DC変換回路210の出力端における電圧の高さは変換前の交流電圧の振幅に比例し、直流電圧の電力は直流電圧の高さに比例する。よってAC/DC変換回路210の出力電力は、発電器100aによって出力された交流電圧の振幅に比例する(図4(c))。よって、電力検出部230aは、AC/DC変換回路210の出力電力を検出することにより発電器100aによって出力された交流電圧の振幅を検出する。電力検出部230aは、検出した電力に基づく情報を制御部240aに入力する。
 制御部240aは、入力された電力情報に基づいて、DC/DC変換回路220aに入力された電力を把握し、DC/DC変換回路220aの電力変換動作の有無を切り替える。制御部240aは、DC/DC変換回路220aに入力された電力が、電力下限値を上回ったと判断したとき、DC/DC変換回路220aの変換動作を実行させ(つづけ)る(図4(d)における「ON状態」)。よって、DC/DC変換回路220aは後段に接続された蓄電池900にとって好適な電圧を印加して、蓄電池900に電力を供給する。
(2)振動(発電電力)が過小なとき
 一方、発電器100aの発電電力が低下して、DC/DC変換回路220aに入力される電力が低下する場合がある。以下、この場合のパワー・マネージメント回路200aの動作について説明する。パワー・マネージメント回路200aは、振動エネルギーによって発電された電力が有効に使用されるように、この電力を後段の負荷(装置、蓄電池)にとって好適な電流値および電圧値の電力に変換する。しかしパワー・マネージメント回路200aにおいて電力変換に伴う電力損失が生じる。この電力損失は、パワー・マネージメント回路200a自体の電力消費に起因する。
 前述のとおり、発電器100aに加えられた力が単発的な衝撃であった場合、発電出力は徐々に減少していく。出力の低下に伴って、DC/DC変換回路220aによって出力される電力が減少する。DC/DC変換回路220aによって出力される電力が減少すると、やがてDC/DC変換回路220aによって出力される電力が、パワー・マネージメント回路200aによって消費される電力以下になる状況が起こる。
 例えば、図4(a)に示すように、発電器100aに、単発的な衝撃が一定期間S毎に加えられる場合を考える。蓄電池900に蓄えられる電力がパワー・マネージメント回路200aの消費電力以下である時間は、この例では、期間Sの30%である(図4(c))。つまり、DC/DC変換回路220aの電力変換動作によって消費される電力の30%は、発電効率の向上に寄与しないばかりか、むしろパワー・マネージメント回路200aから出力される電力以上になっている。したがって、この30%の期間にDC/DC変換回路220aが変換動作を実行することは無駄である。
 このような状況では、パワー・マネージメント回路200aは後段の蓄電池900に充分な電力を供給できず、むしろ蓄電池900に蓄えられた電力が、外部のセンサ等への電力供給がなくとも、減少することになる。これは、安定的に電力を供給するべき発電装置1000aとしては問題である。
 このような問題を防止するために制御部240aは、DC/DC変換回路220aに入力された電力が、電力下限値以下であると判断したとき、DC/DC変換回路220aの変換動作を停止する(図4(d)における「OFF状態」)。これにより、DC/DC変換回路220aの電力消費をゼロにする。つまり、DC/DC変換回路220aを動作させつづけた場合に比べて、電力消費を削減できる。本例であれば、DC/DC変換回路220aに入力された電力が電力下限値以下になる時間が期間Sの30%であるので、DC/DC変換回路220aを動作させつづけた場合に比べて、消費電力を30%削減できる。
<1-3.本実施形態のまとめ>
 以上のとおり、本実施形態の発電装置1000aは、振動を受けて発電する発電器100aと、発電器100aの出力を変換するAC/DC変換回路210およびDC/DC変換回路220aと、発電器100aの出力電力を検出する電力検出部230aと、DC/DC変換回路220aの電力変換の有無を切り替える制御部240aとを備える。制御部240aは、電力検出部230aによって検出されて出力された電力情報に基づいて、例えば発電装置1000aの出力が発電装置1000aの消費電力以下になったと判断したとき、DC/DC変換回路220aの電力変換動作を停止させる。
 この構成によって本実施形態の発電装置1000aは、発電装置1000aの出力が所定値以下、例えば、発電装置1000aの消費電力以下になったとき、DC/DC変換回路220aの電力消費をゼロにする。これにより、発電装置1000aはより効率良く電力を供給することが可能になるので発電装置1000aの信頼性がより向上する。
<2.実施形態2>
 以下、第2の実施形態について説明する。
 振動型発電器に強い衝撃が加わった場合、出力が急激に増大する。このため、高い電力(電圧)の信号がパワー・マネージメント回路に入力され、パワー・マネージメント回路が故障するおそれがある。例えば、DC/DC変換器に、DC/DC変換器の規定値を超える高い電圧が入力された場合等である。本実施形態の発電装置は、このような強い衝撃に起因するパワー・マネージメント回路の故障の発生を少なくとも低減させる。
<2-1.発電装置の構成および動作>
 本実施形態は、図5に示すような構成を有する。AC/DC変換回路210とDC/DC変換回路220bとの間にスイッチ300が直列に接続され、制御部240bとスイッチ300が接続される。これ以外は、実施形態1の構成と同様でよい。図5においては、負荷900や外部センサ等は省略されている。
 本実施形態において、実施形態1と同様に、AC/DC変換回路210によって出力された電力を、電力検出部230bが検出する。制御部240bは電力検出部230bによって検出された電力に基づいて、スイッチ300のON/OFF状態を切り替える。
 本実施形態の制御部240bは、電力上限値を記憶している。「電力上限値」は、DC/DC変換回路220bに入力できる電力の上限に対応する値である。
 制御部240bは、AC/DC変換回路210によって出力された電力が電力上限値を下回っていると判断した場合、スイッチ300およびDC/DC変換回路220bをON状態にし(あるいはON状態を維持し)、DC/DC変換回路220bに電力の変換および出力を実行させる。
 一方、制御部240bは、AC/DC変換回路210によって出力された電力が電力上限値以上であると判断した場合、スイッチ300およびDC/DC変換回路220bをOFF状態に切り替える。これにより、DC/DC変換回路220bへの入力が遮断される。
 例えば、DC/DC変換回路220bの規定電圧が40Vである場合に、AC/DC変換回路210によって出力された電力の電圧が60Vであったとき、制御部240bはスイッチ300をOFF状態に切り替え、DC/DC変換回路220bへの60Vの電圧印加を阻止する。
<2-2.本実施形態のまとめ>
 以上のとおり、本実施形態の発電装置1000bは、振動を受けて発電する発電器100aと、発電器100aの出力を変換するAC/DC変換回路210およびDC/DC変換回路220bと、発電器100aの出力電力を検出する電力検出部230bと、AC/DC変換回路210およびDC/DC変換回路220bの間に直列に接続されたスイッチ300と、スイッチ300の導通/非導通を切り替える制御部240bとを備える。制御部240bは、電力検出部230bによって出力された電力情報に基づいて、AC/DC変換回路210の出力電力が電力上限値以上であると判断したとき、スイッチ300を非導通状態にする。
 この構成によって本実施形態の発電装置1000bは、発電器100aの出力が過大になった場合に、DC/DC変換回路220bへの入力を遮断する。これにより、発電器100aの過大な発電出力に起因するDC/DC変換回路220bの故障を防止できるので、発電装置1000bの信頼性が向上する。
 なお、本実施形態のパワー・マネージメント回路200bは、実施形態1と同様に、DC/DC変換回路220bへの入力電力が電力下限値以下になった場合に、制御部240bがDC/DC変換回路220bを停止するという構成を有してもよい。これにより、本実施形態によっても、パワー・マネージメント回路200bが外部機器に対しより効率良く電力を供給できるようになりので、発電装置1000bの信頼性がより向上する。
<3.実施形態3>
 以下、第3の実施形態について説明する。
 実施形態2では制御部240bがスイッチ300を切り替える構成であった。本実施形態は、スイッチ自体がDC/DC変換回路への入力に従って、DC/DC変換回路への電力の遮断/供給を受動的に切り替える。
<3-1.発電装置の構成および動作>
 本実施形態は、図6に示すような構成を有する。本実施形態の構成は、図5で示したような実施形態2と比較すると、電力検出部230bおよび制御部240bがないことと、スイッチ300の代わりに受動式スイッチ310が備えられていること以外は、実施形態2と同様でよい。
 受動式スイッチ310は、AC/DC変換回路210とDC/DC変換回路220cとの間に直列に接続される。受動式スイッチ310は、入力された電圧に従って導通/非導通を切り替える。入力電圧が高い場合に受動式スイッチ310は導通し、入力電圧が低い場合に受動式スイッチ310は非導通になる。受動式スイッチ310は、例えば、MEMS技術で形成された静電駆動型のスイッチである。以下、受動式スイッチ310の詳細について説明する。
 図7、図8を参照して、本実施形態の受動式スイッチ310の構成を説明する。図7のA-A’線での断面図が図8である。図7に示すように受動式スイッチ310は、基板316と、絶縁層315と、可動電極311と、出力電極313と、入力電極314と、駆動電極312とによって構成される。
 絶縁層315は、基板316と、駆動電極312および出力電極313および入力電極314との間に接合される層間絶縁膜である。可動電極311は一端を入力電極314に接合され、かつ他端は出力電極313と所定の間隔をあけて形成される片持ち梁状の電極である。中空に架橋された端は、湾曲することによって出力電極313に接触することが可能なように形成および配置される。図8の両矢印はこの湾曲を示す。駆動電極312は、可動電極311と絶縁層315の間の空間内で、絶縁層315に接合される。また、駆動電極312は電気的に接地される。出力電極313は絶縁層315に接合される。これら入力電極314、出力電極313および駆動電極312は、互いに電気的に絶縁して配置される。このように構成された受動式スイッチ310は、AC/DC変換回路210とDC/DC変換回路220cとの間に直列に接続される。
 本実施形態の発電装置1000cにおいて、前述の実施形態と同様に、発電器100aが発電して電力を出力し、この電力をAC/DC変換回路210およびDC/DC変換回路220cが変換し、DC/DC変換回路220cが後段の負荷(蓄電池)900に電力を出力する。このとき、AC/DC変換回路210が出力した電力(電圧)に従って、受動式スイッチ310は、DC/DC変換回路220cへの入力を遮断または許可する。受動式スイッチ310の具体的な動作について以下に説明する。
 受動式スイッチ310は、所定の電圧下限値で導通/非導通が切り替わる。「電圧下限値」は、実施形態1の電力下限値と同様、パワー・マネージメント回路200cの出力電力がパワー・マネージメント回路200cの消費電力と等しくなるときの、AC/DC変換回路210の出力電圧に対応する値でよい。電圧下限値は、受動式スイッチ310を構成する各部の寸法、材質および配置などによって規定される。
 可動電極311と駆動電極312との間に電位差が生じると、可動電極311と駆動電極312との間に静電力が働き、可動電極311は駆動電極312側へ湾曲する。
 受動式スイッチ310の入力電極314に入力された電圧が電圧下限値を上回った場合、可動電極311と駆動電極312との間の電位差が所定値を上回り、静電力によって湾曲した可動電極311は出力電極313と接触するようになり、電気的に接続する。つまり、入力電極314と出力電極313は電気的に導通する。
 このような受動式スイッチ310の動作によって、AC/DC変換回路210によって出力された電力はDC/DC変換回路220cへ入力される。DC/DC変換回路220は、入力された電力を変換して後段の蓄電池900へ出力する。すなわち充電動作が実行される。
 一方、AC/DC変換回路210によって出力された電圧が電圧下限値以下であった場合、可動電極311を湾曲させる静電力が弱まるため、可動電極311と出力電極313との接続が切断される。これにより、AC/DC変換回路210からDC/DC変換回路220cへの入力が遮断される。
 DC/DC変換回路220cへの入力が遮断されることにより、DC/DC変換回路220cでの電力変換動作が停止する。つまり、DC/DC変換回路220cでの電力変換動作の結果DC/DC変換回路220cから出力される電力が、パワー・マネージメント回路200cの消費電力以下になったとき、受動式スイッチ310がOFF状態になることにより、DC/DC変換回路220cは変換動作を実行しない。
 なお、可動電極311と駆動電極312との間に働く静電力は、可動電極311と駆動電極312との間に電位差が生じれば発生する。前述の例では可動電極311の電位が駆動電極312の電位より高い場合を示した。しかし、可動電極311の電位が駆動電極312の電位より低い場合もあり得、その場合にも可動電極311と駆動電極312とが引き合う静電力が発生する。本実施形態では可動電極311の電位が駆動電極312の電位より高い場合のみを想定する。しかし可動電極311の電位が駆動電極312の電位より低い場合に発生する静電力を利用する構成であってもよい。
<3-2.本実施形態のまとめ>
 以上のとおり、本実施形態の発電装置1000cは、振動を受けて発電する発電器100aと、発電器100aの出力を変換するAC/DC変換回路210およびDC/DC変換回路220cと、AC/DC変換回路210によって出力された電圧に従ってDC/DC変換回路220cでの電力変換の有無を切り替える受動式スイッチ310とを備える。
 この構成によって本実施形態の発電装置1000cは、例えば、発電装置1000cの出力が発電装置1000cの消費電力以下になったとき、DC/DC変換回路220cの電力消費をゼロにする。これにより、実施形態1と同様に、発電装置1000cはより効率良く電力を供給することが可能になるので、発電装置1000cの信頼性がより向上する。
 また、本実施形態の発電装置1000cは、受動式スイッチ310を備えることによって、先の実施形態と比較すると電力検出部および制御部を備える必要がないため、回路規模をより縮減できる。
 なお、本実施形態の受動式スイッチ310の変形例として、図9に示すような受動式スイッチ310bを備える構成でもよい。受動式スイッチ310bは、AC/DC変換回路210の出力電圧が所定値以上になった場合に、その電圧のDC/DC変換回路220cへの入力を遮断する。
 図10を参照して受動式スイッチ310bについて説明する。図10は、図9のA-A’線における断面図である。受動式スイッチ310bの構成は、図8で示すような受動式スイッチ310と比較すると、出力電極313bの形状が異なる以外は同様である。可動電極311bは、可動電極311bおよび駆動電極312bの間に発生する静電力によって湾曲できるよう形成される。図10の両矢印はこの湾曲を示す。入力電極314bに印加された電圧が電圧上限値より低い場合、可動電極311bは湾曲せず、出力電極313bと接触して、可動電極311bは出力電極313bと電気的に接続する。一方、入力電極314bに印加された電圧が電圧上限値以上になった場合は、可動電極311bが湾曲して、可動電極311bと出力電極313bとの接続は切断される。「電圧上限値」は、DC/DC変換回路220cに入力可能な電圧の上限値に対応する。
 入力電極314bに電圧上限値を下回る電圧が入力された場合、可動電極311bは出力電極313bと接続されるので、入力電極314bと出力電極313bは導通する。したがって、蓄電池900への充電動作が実行される。一方、入力電極314bに電圧上限値以上の電圧が入力された場合、可動電極311bが湾曲して可動電極311bと出力電極313bの接続は切断されるので、入力電極314bと出力電極313bは非導通状態となる。したがって、DC/DC変換回路220cへの入力が遮断される。
 このように受動式スイッチ310bによって、DC/DC変換回路220cへの過大な電圧入力による故障を防止できるので、発電装置1000cの信頼性がより向上する。
 また、前述の受動式スイッチ310と受動式スイッチ310bを直列接続する構成でもよい。この場合、発電装置1000cは低発電時のDC/DC変換回路220cの電力変換動作の停止と、高発電時のDC/DC変換回路220cの保護との両方に対応できる。
<4.実施形態4>
 以下、第4の実施形態について説明する。
 実施形態1ないし3では発電器100aの出力を把握するために、AC/DC変換回路210によって出力された電力を検出した。本実施形態では発電器100aの出力を把握するために、発電器100aにおける可動基板110の振動振幅を検出する。
<4-1.発電装置の構成および動作>
 本実施形態は、図11に示すような構成を有する。本実施形態の構成は、図5で示したような実施形態1の構成と比較すると、発電器100d内部の構成が異なり、電力検出部230aの代わりに振幅検出部250dを備える。これ以外の構成は、実施形態1と同様でよい。
 図12を参照して発電器100dの構成について説明する。発電器100dは、振幅検出用電極113を備える。振幅検出用電極113は、電極102が本来配置されるべき位置に、電極102の代わりに設置される。振幅検出用電極113は電極102とは電気的に絶縁されて形成される。
 なお、振幅検出用電極113は、1つでもよく、複数でもよい。しかし、発電のための電極102が可能な限り多く配置できるように、振幅検出用電極113は少数である構成が好都合である。より好ましくは、振幅検出用電極113が1つである。また、振幅検出用電極113は複数の電極102に対して一番端でもよく、電極102の列の中でもよい。しかし、電極102および振幅検出用電極113から引き出す配線のレイアウトを簡便にするため、振幅検出用電極113は一番端に配置される構成が好都合である。
 振幅検出用電極113から引き出された配線は、AC/DC変換回路210への配線とは電気的に絶縁されて、振幅検出部250dへ接続される。振幅検出部250dは制御部240dに接続される。これ以外の構成は実施形態1と同様でよい。
 本実施形態の発電装置1000dにおいて、前述の実施形態と同様に、発電器100dが発電して電力を出力し、この電力をAC/DC変換回路210およびDC/DC変換回路220dが変換し、DC/DC変換回路220dが後段の負荷900に電力を出力する。
 このとき、発電器100dに設けられた振幅検出用電極113は、電極102が交流電流を出力するのと同様に、交流電流を出力する。振幅検出用電極113から出力された交流電流の包絡線の位相は、発電器100dにおける可動基板110の振動の減衰の位相に等しい。すなわち、振幅検出用電極113から出力される交流電流の振幅の増減は、可動基板110の振動の強弱とよく対応する。
 振幅検出部250dは、発電器100dによって出力された交流電流を通じて、可動基板110の振動振幅を検出する。振幅検出部250dは、検出した振幅に従って振幅情報を制御部240dへ入力する。
 発電器100dから振幅検出部250dへの出力電力は、発電器100dからAC/DC変換回路210への出力電力と比例する。したがって、振幅検出部250dが可動基板110の振動振幅を検出することは、発電器100dからAC/DC変換回路210への出力電力を検出することに相当する。
 制御部240dは、振幅検出部250dによって入力された振幅情報に基づいて、実施形態1の制御部240aと同様に、DC/DC変換回路220dの変換動作の実行/停止を切り替える。
 なお、本実施形態の振幅検出用電極113から出力される交流電流の振幅(電力)は、AC/DC変換回路210へ出力される交流電流の振幅(電力)よりも小さくてもよい。よってAC/DC変換回路210へ出力される電力を可能な限り多くすることが可能である。つまり、AC/DC変換回路210へ出力する電流をより多くすることが可能である。
 また、AC/DC変換回路210へ出力される電力供給用の交流電流と、振幅検出部250dへ出力される制御用の交流電流とは、共通の1つの可動基板110の振動によって生じる。したがって、電力供給用の交流電流および制御用の交流電流は、振動の位相が等しく、かつ振動振幅が比例する。
 一方、2つの発電器が併置され、一方は電力供給用電力を発電する発電器、他方は制御用電力を発電する発電器も考えられる。しかしこの構成では、電力供給用発電器の振動振幅が増加したのに対して、制御用発電器の振動振幅が減少したという状況が生じうる。このような状況になった場合、制御用発電器によって出力された電流を使用しても、DC/DC変換回路220dを適切に制御できないことが考えられる。この点において、本実施形態の構成はより高精度にDC/DC変換回路220dを制御できるという利点がある。
<4-2.本実施形態のまとめ>
 以上のとおり、本実施形態の発電装置1000dは、振動を受けて発電する発電器100aと、発電器100aの出力を変換するAC/DC変換回路210およびDC/DC変換回路220dと、発電器100d内部の可動電極110の振動振幅を検出する振幅検出部250dと、DC/DC変換回路220dの電力変換の有無を切り替える制御部240dとを備える。制御部240dは、振幅検出部250dによって出力された振幅情報に基づいて、例えば発電装置1000dの出力が発電装置1000dの消費電力以下になったと判断したとき、DC/DC変換回路220dの電力変換動作を停止する。
 この構成によって本実施形態の発電装置1000dは、例えば発電装置1000dの出力が発電装置1000dの消費電力以下になったとき、DC/DC変換回路220dの電力消費をゼロにすることができる。これにより、より効率良く電力を供給できるようになり、発電装置1000dの信頼性がより向上する。
<5.実施形態5>
 以下、第5の実施形態について説明する。
 図13に示すように実施形態5は、図11で示したような実施形態4の発電装置1000dにスイッチ300eを追加した構成である。スイッチ300eは、AC/DC変換回路210とDC/DC変換回路220eとの間に直列に接続される。
 このような構成であっても、図11で示したような実施形態4と同様に、発電器100dの出力電力が低下した場合に、DC/DC変換回路220eを停止させることにより、より効率良く電力を供給できる。また、発電器100dの発電電力が著しく増大した場合に、図5で示したような実施形態2と同様に、スイッチ300eをOFF状態にすることにより、DC/DC変換回路220eの故障の発生を低減させることができる。
<6.変形の例>
 以下、実施形態1~5の変形例について説明する。
 いくつかの実施形態は、DC/DC変換回路の故障の発生を低減させるための構成を備える。なお、DC/DC変換回路以外の別の回路の故障の発生を低減させるためにその回路への過大な電圧の入力を遮断する構成でもよい。その場合は、その回路に適した入力電圧の上限値が規定される。
 実施形態1ないし5において、発電器100a、100dの可動基板110は、バネ112および固体構造体108を介して上部接合部107および下部接合部106と接合されることにより、上部基板109および下部基板111と間隔をあけて配置される。しかし別の方法によって可動基板110は固定されてもよい。可動基板110の振動が阻害されない方法であればよい。例えば、静電力または磁気力によって可動基板110を支持してもよい。また、例えば上部基板109および下部基板111に可動基板110の支持用のエレクトレットを設置し、このエレクトレットと可動基板110上に設置されたエレクトレット101との間の静電力によって、可動基板110を固定してもよい。
 また、実施形態1ないし5において、発電器の可動基板110は、図2の両矢印で示すような方向に振動するとした。しかしこれは、この両矢印以外の方向の振動を除外するものではない。
 また、実施形態1ないし5による発電装置が電気機器に組み込まれることにより、より信頼性の高い電力制御が可能な電気機器を提供できる。
 次に、実施形態6,7について添付の図面を参照して説明する。
 振動型発電器(発電器)によって発電する従来の発電装置では、振動型発電器の出力が低下した場合、電力変換部(パワー・マネージメント回路)のエネルギー変換効率が低下し、発電装置全体としての発電効率が低下する。よって、振動型発電器を備える発電装置においても、このような発電効率の低下を最小限に留めるため、振動型発電器の出力に基づいてパワー・マネージメント回路を最適制御することが望まれる。そこで、実施形態6,7は、回路規模の増大を最小限に留めつつ、発電効率が改善された発電装置を提供する。
<7.実施形態6>
<7-1.構成>
<7-1-1.全体の構成>
 図14は、本実施形態による発電装置のブロック図である。図14で示すように、本実施形態の発電装置1000fは、発電器100fと、電力変換部(パワー・マネージメント回路)200fとを備える。パワー・マネージメント回路200fは、電力供給用AC/DC変換回路210aおよび制御用AC/DC変換回路210bと、DC/DC変換回路220fとを含む。発電器100fは、MEMS(微小電気機械)技術によって製造された振動型発電器である。発電器100fは、出力の2つの系統に接続された第1電極102および第2電極104Aなどを含む。電力変換部(パワー・マネージメント回路)200fの電力供給用AC/DC変換回路210aおよび制御用AC/DC変換回路210bはそれぞれ、4つのダイオードによって構成されるブリッジ整流回路212a(212b)およびキャパシタ213a(213b)で構成される平滑回路と、負荷抵抗214a(214b)とを含む。DC/DC変換回路220fは、DC/DC変換回路220f自体の電源回路221を含む。
 発電器100fは、第1電極102に接続された配線によって電力供給用AC/DC変換回路210aに接続され、第2電極104Aに接続された配線によって制御用AC/DC変換回路210bに接続される。電力供給用AC/DC変換回路210aはDC/DC変換回路220fの信号入力用の端子に接続される。制御用AC/DC変換回路210bはDC/DC変換回路220fの電源接続用の端子を介して電源回路221に接続される。DC/DC変換回路220fの出力すなわちパワー・マネージメント回路200fの出力は、後段の蓄電池等に電力を供給するために接続される。
 発電器100fは外力によって生じた内部の振動によって発電し、交流電流(電力)を出力する。
 電力供給用AC/DC変換回路210aおよび制御用AC/DC変換回路210bは、発電器100fによって出力された交流電力を直流電力に変換する。
 DC/DC変換回路220fは、電力供給用AC/DC変換回路210aによって出力された直流電力を、別の電圧の直流電力に変換する。そしてDC/DC変換回路220fは、後段に接続された機器(蓄電池等)に電力を供給する。このDC/DC変換回路220fの電圧変換動作は、制御用AC/DC変換回路210bから供給される電力を動力とする。DC/DC変換回路220fの電圧変換動作は、制御用AC/DC変換回路210bの出力電力の電圧および所定の電圧下限値との関係に従って、実行/停止が切り替わる。
 「電圧下限値」は、DC/DC変換回路220fの駆動電圧の下限値に対応する。かつ電圧下限値は、発電装置1000f全体としての発電効率を向上させるという観点から、DC/DC変換回路220fを停止させることが望まれるときの制御用AC/DC変換回路210bからDC/DC変換回路220fへの入力電圧に対応するように設定されることが好都合である。電圧下限値の詳細については後述する。
 本実施形態のDC/DC変換回路220fは発電器100fの発電電力によって動作する。
<7-1-2.発電器の構成>
 図15を参照して発電器100fの構造について説明する。後述するように発電器100fは内部で振動する可動基板110を備えている。図15(a)は、可動基板110が振動の中心にある状態を示す。図15(b)は、可動基板110が振動の中心からずれた位置にある状態を示す。
 発電器100fは下部基板(第1基板)111と、上部基板(第2基板)109と、可動基板(可動部、重り、振動体)110と、バネ(弾性構造体)112と、固定構造体108と、上部接合部107と、下部接合部106と、複数の第1エレクトレット101と、複数の第2エレクトレット103と、複数の第1電極102と、複数の第2電極104Aと、第1パッド105と、第2パッド113Aとを備える。
 上部基板109および下部基板111は、互いに平行に対向するように配置される。上部基板109および下部基板111は、可動基板110とバネ112と固定構造体(中間基板)108とから所定の距離を設けられ、上部接合部107および下部接合部106によって固定される。
 固定構造体108、可動基板110およびバネ112は、1枚の基板が加工されて形成される。よって、固定構造体108、可動基板110およびバネ112は、「可動基板110が弾性構造体112によって接続されている中間基板108」または「弾性構造体112によって可動な重り110を有する中間基板108」といってもよい。
 可動基板110は、上部基板109または下部基板111と平行な、少なくとも一軸方向(例えば、図15における両矢印方向)に動けるよう構成される。よって可動基板110は、外部から加えられた力(振動)に追従して、図15(b)に示すように、上部基板109と平行な方向に振動(往復運動)することが可能である。
 上部基板109の下部基板111に対向する面を下部表面という。下部基板111の上部基板109に対向する面を上部表面という。
 下部基板111の上部表面には、複数の第1電極102が設けられる。これらの電極102を接続する配線は下部基板111内を通って、第1パッド105に接続される。また、上部基板109の下部表面には、複数の第2電極104Aが設けられる。これらの第2電極104Aを接続する配線は上部基板111内を通って、第2パッド113Aに接続される。第1パッド105および第2パッド113Aは互いに電気的に絶縁される。発電器100fは、第1パッド105および第2パッド113Aのそれぞれを通じて、発電した電力を出力する。
 下部基板111に対向する側の可動基板109の表面には複数の第1エレクトレット101が設けられる。各第1エレクトレット101は、電気力線が下部基板111の下部表面に対して垂直、かつ、電気力線の向きが可動基板110から下部基板111へ向かう方向となるように設けられる。同様に、上部基板109に対向する側の可動基板110の表面には複数の第2エレクトレット103が設けられる。各第2エレクトレット103は、電気力線の向きが、第1エレクトレット101の電気力線の向きとは逆になるように設けられる。
 エレクトレット101、103は、それぞれの電気力線が互いに逆方向を向くように設けられるのが好都合である。後述するように、それぞれのエレクトレット101、103の振動運動によって生じる交流電流の位相が等しくなるからである。しかし、エレクトレット101、103のそれぞれの電気力線が同じ方向を向くように設けられてもよい。詳細は後述する。
 第1電極102および第1エレクトレット101の間に所定の間隙が設けられるように、下部基板111と固定構造体108は下部接合部106によって接合される。また、第2電極104Aおよび第2エレクトレット103の間に所定の間隙が設けられるように、上部基板109と固定構造体108は上部接合部107によって接合される。
 電極102、104Aおよびエレクトレット101、103の配置について説明する。図3は、下部基板111の上部表面を、下部基板111の上部表面に対して垂直な方向から見たときの図である。図3の両矢印は可動基板110の振動可能な方向を示す。
 図3に示すように第1電極102は、可動基板110の振動可能な方向に対して垂直な方向であり、かつ下部基板111の上部表面と平行な方向に、延長して配置される。図3のPは、隣接する第1電極102の中心線間の距離を示す。複数の第1電極102は、互いに平行に、かつ中心線間隔Pを設けて等間隔になるように、配置される。例えば、第1電極102の幅(可動基板110の振動可能方向に対する寸法)は100μmであり、距離Pは200μmである。
 複数の第1エレクトレット101は可動基板110の下部基板111側の表面に、下部基板111の上部表面に対して垂直な方向から見たときに第1電極102と一致するように配置される。つまり、第1エレクトレット101は第1電極102と同じ大きさで、かつ第1電極102中心線間距離Pと同じ中心線間隔で配置される。なお、第1エレクトレット101の幅は、第1電極102の幅と異なってもよい。その場合第1エレクトレット101は、第1エレクトレット101の中心線が第1電極102の中心線と重なるように、かつ同じ中心線間隔Pを設けて配置される。
 第2エレクトレット103および第2電極104Aは、第1エレクトレット101および第1電極102と同様に配置されればよい。ただし、第2エレクトレット103は可動基板110の上部基板109側の表面に配置され、第2電極104Aは上部基板110の下部表面に配置される。また、第2エレクトレット103および第2電極104Aの数は、第1エレクトレット101および第1電極102の数より少なくてもよい。その場合、第2エレクトレット103および第2電極104Aはそれぞれ、中心線間隔Pと異なる中心線間隔で配置されればよい。
 なお、第2エレクトレット103の位置は、可動基板110を垂直な方向から見たときに、第2エレクトレット103の中心線が第2電極104Aの中心線に一致するように配置されるのが好都合である。しかし第2エレクトレット103の位置は、第2電極104Aの幅の10%以下のずれを有してもよい。つまり本例の場合、100μmの10%の10μm以下のずれである。製造時の加工精度に従って、この範囲内であれば、第2電極104Aと第2エレクトレット103とが相対的にずれてもよい。
<7-2.動作>
<7-2-1.発電器の発電動作>
 再び図15を参照して、発電器100fの発電動作について説明する。発電器100fでは、外部環境から受けた力(例えば振動)に追従して可動基板110が振動する。弾性構造体112のバネ定数および共振周波数は、想定される外部環境(例えば、自動車の走行中の振動)の振動周波数に対して最大振幅が発生するよう最適化される。
 可動基板110は振動時、図15(a)に示すような第1エレクトレット101と第1電極102との対向面積が最大になる状態と、図15(b)に示すような第1エレクトレット101と第1電極102との対向面積が小さくなる状態とを、交互に繰り返す。
 第1エレクトレット101と第1電極102との対向面積が大きくなるほど、第1エレクトレット101の電気力線は可動基板110から下部基板111への方向を向いているので、第1電極102に引き寄せられる電荷が多くなる(給電)。逆に、対向面積が小さくなるほど、第1電極102に引き寄せられる電荷が少なくなる、つまり解放される電荷が多くなる(放電)。すなわち、第1エレクトレット101と第1電極102の対向面積が大きくなるほど第1エレクトレット101と第1電極102間の静電容量値が大きくなり、対向面積が小さくなるほど静電容量値が小さくなる。
 第1エレクトレット101と第1電極102の対向面積が大きくなり第1電極102に電荷が引き寄せられることにより、第1パッド105から電力供給用AC/DC変換回路210aへ電流が流れる。一方、第1電極102に引き寄せられていた電荷がこの対向面積の減少によって解放されることにより、電力供給用AC/DC変換回路210aから第1パッド105へ電流が流れる。また、第2エレクトレット103と第2電極104Aについても同様で、可動基板110の振動に従って、第2パッド113Aを通じて、第2電極104Aと制御用AC/DC変換回路210bとの間で電流が出入りする。このような発電器100fの動作によって、交流電力が発電される。
 このとき、第1パッド105および第2パッド113Aから出力される交流電力は互いに、大きさが異なるが、変動の遷移が同じである。すなわち、第1パッド105からの交流電力が増大するとき、第2パッド113Aからの交流電力が増大する。減少するときも同様である。それぞれの交流電力は互いに同期的に変動する。なお、第1エレクトレット101および第2エレクトレット103それぞれの電気力線が互いに同じ方向を向くように設けられた場合は、第1パッド105および第2パッド113Aから出力される電流の向きは互いに逆になるが、それぞれの交流電力の変動の遷移は同じである。
 次に、外部環境による振動と発電器100fの発電の関係について説明する。発電器100fが使用される振動環境には、連続的で一定の振動が発生する振動環境と、単発的な衝撃が発生する振動環境とがある。図16に示す例では、単発的な衝撃が発電器100fに加えられる。
 図16(a)は、外部環境によって発電器100fに加えられた力(加速度)の時間変化を示す。(b)は、加えられた力に従って発電器100fの出力電圧の時間変化を示す。(c)、(d)については後述する。発電器100fに単発的な衝撃が加えられたとき(図16(a))、発電器100fの可動基板110は自由振動し、時間とともに振動が減衰する。その減衰振動に従って発電器100fの出力は減衰する(図16(b))。
<7-2-2.パワー・マネージメント回路の動作>
(1)正常発電時
 DC/DC変換回路220fの電源回路221の電圧下限値について説明する。前述のとおり、電圧下限値はDC/DC変換回路220fの駆動電圧の下限値に対応する。また、発電器100fから第1パッド105を通じて出力される交流電力と、第2パッド113Aを通じて出力される交流電力とは比例する。また、電力供給用および制御用AC/DC変換回路210a、210bそれぞれに入力される交流電力の大きさに比例した大きさの電圧が、AC/DC変換回路210a、210bのそれぞれから出力される。そして、DC/DC変換回路220fの電力変換効率は、電力供給用AC/DC変換回路210aの出力電圧の高低に基づいて変動する。よって、例えば、DC/DC変換回路220fの出力電力がDC/DC変換回路220fの消費電力に等しくなるような制御用AC/DC変換回路210bの出力電圧を予め算出することが可能である。例えば、電力供給用AC/DC変換回路210aの出力電圧が、この予め算出された電圧になったときに、制御用AC/DC変換回路210bの出力電圧が電圧下限値になるように、発電器100fの第2電極104Aおよび第2エレクトレット103は構成および配置される。電圧下限値は例えば、DC/DC変換回路220fの駆動電圧の3Vである。
 また、電圧下限値は、発電器100fの通常的な発電の中で生じうるDC/DC変換回路220fへの入力電力の最大値の、1/10になるときに対応して設定されてもよい。例えば、通常的なDC/DC変換回路220fへの入力の最大値が100μWである場合を想定する。DC/DC変換回路220fへの入力電力が100μWから10μWに低下して、DC/DC変換回路220fの電力変換効率が例えば85%から70%に低下するような場合に、制御用AC/DC変換回路210の出力電圧が電圧下限値になるように各部は構成される。
 図16を参照して、発電器100fが交流電力を出力したときのパワー・マネージメント回路200fの動作を説明する。図16(c)は、AC/DC変換回路210bの出力電圧の時間変化を示す。Vthは電圧下限値を示す。図16(d)は、DC/DC変換回路220fにおける電圧変換動作のON/OFF状態を示す。
 制御用AC/DC変換回路210bは、前述のとおり、発電器100fによって第2パッド113Aを通じて出力された交流電圧(図16(b))を、直流電圧に変換してDC/DC変換回路220fの電源回路221へ出力する。制御用AC/DC変換回路210bの出力端における電圧の高さは、変換前の交流電力の大きさに比例する(図16(c))。制御用AC/DC変換回路210bの出力電圧が電圧下限値を上回れば、DC/DC変換回路220fは電力変換動作を実行する(図16(d)における「ON状態」)。
 電力供給用AC/DC変換回路210aは、発電器100fによって第1パッド105を通じて出力された交流電力を、直流電力に変換してDC/DC変換回路220fへ出力する。DC/DC変換回路220fの電源回路221に電圧下限値を上回る電圧が印加されていれば、DC/DC変換回路220fは電力供給用AC/DC変換回路210aの出力電力を、別の電圧の電力に変換して、後段の蓄電池等に供給する。
(2)振動(発電電力)が過小なとき
 一方、発電器100fの発電電力が低下する場合がある。例えば、図16(a)のように、単発的な衝撃が、発電器100fに、一定期間S毎に加えられる場合を考える。パワー・マネージメント回路200fから出力される電力が、パワー・マネージメント回路200fの消費電力以下である時間は、この例では、期間Sの30%である(図16(c))。つまり、期間Sにおいて、パワー・マネージメント回路200fの電力変換動作によって消費される電力の30%は、発電効率の向上に寄与しない。場合によっては、期間Sの後ろ30%では、パワー・マネージメント回路200fから出力される以上の電力がパワー・マネージメント回路200fで消費されることになる。これにより、発電装置1000fの発電効率が低下する。
 そこで、本実施形態においては、DC/DC変換回路220fへの入力電力が通常時の最大値に比べて1/10以下になった場合(あるいは、パワー・マネージメント回路200fの出力電力がパワー・マネージメント回路200fの消費電力以下になった場合)、DC/DC変換回路220fの電源回路221への入力電圧が電圧下限値以下になるので、DC/DC変換回路220fは駆動されず、受動的に電圧変換動作が停止される。
<7-3.本実施形態のまとめ>
 以上のとおり、本実施形態の発電装置1000fは、振動を受けて電力を発電する発電器100fと、発電器100fの出力を変換する電力変換部(パワー・マネージメント回路)200fとを備える。発電器100fは第1電極102および第2電極104Aで電力を出力し、パワー・マネージメント回路200fは、発電器100fの第2電極104Aからの出力を受けて駆動され、発電器の第1電極102からの出力を別の電力に変換する。
 この構成によって本実施形態の発電装置1000fは、振動が減衰して発電電力が低下した場合にパワー・マネージメント回路200fのDC/DC変換回路220fが駆動用電力の低下によって受動的に停止される。これにより、発電装置1000f全体としての発電効率を向上することが可能である。また、DC/DC変換回路220fを制御するための回路構成を別途必要としないため、DC/DC変換回路220fの制御回路を別途必要とする発電装置に比べ、回路規模の増大を最小限に留めることが可能である。
<8.実施形態7>
 以下、第7の実施形態について説明する。
<8-1.構成および動作>
 本実施形態は図17に示すような構成を有する。本実施形態の発電器100gは、実施形態6の発電器100fと比べると、第2電極104B、第2パッド113Bおよび第2エレクトレット103の配置が異なる。それ以外の構成は実施形態6と同様でよい。
 図18を参照して本実施形態の発電器100gの構成について説明する。発電器100gにおいて、複数の第2電極104Bは下部基板111の上部表面に、複数の第1電極102の間に設けられる。第1電極102および第2電極104Bは互いに電気的に絶縁される。隣接する第1電極102は、中心線間隔Pを設けて等間隔に配置される。また、隣接する第2電極104Bも中心線間隔Pを設けて等間隔に配置される。これらの第2電極104Bを接続する配線は、下部基板111内を通って、第2パッド113Bに接続される。
 図18(a)は可動基板110が振動の中心にある状態を示す。この状態で、第1エレクトレット101と第1電極102との対向面積が最大になり、かつ第1エレクトレット101と第2電極104Bとの対向面積が最小になる。図18(b)は、可動基板110が振動の中心からずれ、第1エレクトレット101と第1電極102との対向面積が最小になり、かつ第1エレクトレット101と第2電極104Bとの対向面積が最大になる状態を示す。可動基板110は、振動することにより、図18(a)で示すような状態と図18(b)で示すような状態とを交互に繰り返す。
 第1エレクトレット101と第1電極102との対向面積が最大になった状態では(図18(a))、実施形態6と同様に、第1電極102に電荷が引き寄せられることにより、第1パッド105を通じて第1電極102から電力供給用AC/DC変換回路210aに電流が流れ出る。同時に、第2電極104Bに引き寄せられていた電荷が解放されることにより、第2パッド113Bを通じて制御用AC/DC変換回路210bから第2電極104Bに電流が流れ込む。
 一方、第1エレクトレット101と第2電極104Bとの対向面積が最大になった状態では、第2電極104Bに電荷が引き寄せられることにより、第2パッド113Bを通じて第2電極104Bから制御用AC/DC変換回路210bに電流が流れ出る。同時に、第1電極102に引き寄せられていた電荷が解放されることにより、第1パッド105を通じて電力供給用AC/DC変換回路210aから第1電極102に電流が流れ込む。このような動作によって、発電器100gは電力供給用AC/DC変換回路210aおよび制御用AC/DC変換回路210bへ個別に交流電力を出力する。
 電力供給用AC/DC変換回路210aおよび制御用AC/DC変換回路210bのそれぞれに出力される交流電流は互いに位相が逆になるが、DC/DC変換回路220fの制御には関係ない。本実施形態によっても、実施形態6と同様に、DC/DC変換回路220fの実行/停止の切り替えが可能である。
 なお、前述の実施形態では上部基板109と下部基板111という名前で区別した。しかしこの名前は便宜的なものであり、上下を逆にした構成であってもよい。ただし、第1電極102が設けられた方の基板に第1パッド105が設けられ、第2電極104A、104Bが設けられた方の基板に第2パッドが設けられる。
 なお、前述の実施形態では発電器が1つの構成であった。しかし発電器を2つ併置し、一方の出力を電力供給用AC/DC変換回路210aに他方の出力を制御用AC/DC変換回路210bに入力する構成も考えられる。しかし発電器を2つ併置する構成では、電力供給用の交流電力および制御用の交流電力の変動の遷移が必ずしも同じになるとは言えない。つまり、電力供給用の交流電力の振幅が増大したのに対し、制御用の交流電力の振幅は減少するという状況が起こりうる。このような状況が起こりうる構成は、発電器の発電電力に基づいてDC/DC変換回路220fの実行/停止を切り替える制御を行うには適さない場合が多い。よって、前述の実施形態のように、1つの発電器から電力供給用および制御用の2系統の出力を取ることが効果的である。
<8-2.本実施形態のまとめ>
 このように本実施形態の発電装置1000gは、実施形態6と同様に、発電装置1000g全体としての発電効率を向上できる。このような動作を専用の制御回路を付加することなく実行できるので、回路規模の増大は最小限に留めることが可能である。
<9.変形の例>
 以下、上述した実施形態、特に実施形態6,7の変形例について説明する。
 各実施形態は、発電器100f、100gの低発電時にDC/DC変換回路220fを停止する構成であった。電力変換部(パワー・マネージメント回路)200fにDC/DC変換回路220f以外の回路が含まれていて、その回路の駆動のために電力が消費されている場合、その回路を停止する構成であってもよい。その場合は、その回路の駆動電圧に適した値が電圧下限値として設定される。
 各実施形態において、発電器100f、100gの可動基板110は、バネ112および固体構造体108を介して上部接合部107および下部接合部106と接合されることにより、上部基板109および下部基板111と間隔を設けて配置される。しかし別の方法によって可動基板110は固定されてもよい。可動基板110の振動が阻害されない方法であればよい。例えば、静電力または磁気力によって可動基板110を支持してもよい。また、例えば上部基板109および下部基板111に可動基板110の支持用のエレクトレットを設置し、この支持用エレクトレットと可動基板110上に設置されたエレクトレット101、103との間の静電力によって、可動基板110を固定してもよい。
 また、各実施形態において、発電器100f、100g内の可動基板110は、例えば図15の両矢印で示すような方向に振動するとした。しかしこれは、この両矢印以外の方向の振動を除外するものではない。
 また、前述の実施形態の発電装置1000f、1000gのいずれかが電気機器に組み込まれることにより、蓄電池の消費電力をより抑制できる電気機器が提供できる。
 最後に、実施形態8~10について添付の図面を参照して説明する。
 発電器の発電電力を効率良く出力するためにMPPT(Maximum Power Point Tracking)回路を利用する方法がある。MPPT回路は、後段の負荷(蓄電池等)への出力電力が最大になるように、発電器と負荷との間に接続された電力変換部(パワー・マネージメント回路)を制御する。発電装置にMPPT回路を利用した場合、MPPT回路によって発電装置の出力電力は最大化される。しかし、発電器の出力の一部をMPPT回路に入力するため、発電装置全体としての発電効率が悪くなる場合がある。そこで、実施の形態8~10は、MPPT回路による電力損失を可能な限り抑制し、発電装置全体としての発電効率がより向上された発電装置を提供する。
<10.実施形態8>
<10-1.構成>
<10-1-1.全体の構成>
 図19は、本実施形態による発電装置のブロック図である。図19で示すように、本実施形態の発電装置1000hは、発電器100fと、電力変換部(パワー・マネージメント回路)200hと、制御用AC/DC変換回路210bと、MPPT回路230hとを備える。パワー・マネージメント回路200hは、電力供給用AC/DC変換回路210aとDC/DC変換回路220hとを含む。発電器100fは、MEMS(微小電気機械)技術によって製造された振動型発電器である。発電器100fは、出力の2つの系統に接続された第1電極102および第2電極104Aなどを含む。電力変換部(パワー・マネージメント回路)200hの電力供給用AC/DC変換回路210aおよび制御用AC/DC変換回路210bはそれぞれ、4つのダイオードによって構成されるブリッジ整流回路212a(212b)およびキャパシタ213a(213b)で構成される平滑回路と、負荷抵抗214a(214b)とを含む。
 発電器100fは、第1電極102に接続された配線によって電力供給用AC/DC変換回路210aに接続され、第2電極104Aに接続された配線によって制御用AC/DC変換回路210bに接続される。電力供給用AC/DC変換回路210aはDC/DC変換回路220hの信号入力用の端子に接続される。制御用AC/DC変換回路210bはMPPT回路230hに接続される。MPPT回路230hはパワー・マネージメント回路200hに接続される。これにより、MPPT回路230hとDC/DC変換回路220hの制御用の端子とが接続される。DC/DC変換回路220hの出力すなわち電力変換部(パワー・マネージメント回路)200hの出力は、後段の負荷(蓄電池等)に電力を供給するために当該負荷に接続される。
 発電器100fは、図15に示す構成を有せばよい。
 DC/DC変換回路220hは、電力供給用AC/DC変換回路210aによって出力された直流電力を、別の電圧の直流電力に変換して出力する。
 MPPT回路230hには、発電器100fの出力特性(例えば、電圧‐電流特性)に関する情報が格納されている。MPPT回路は、この情報を参照し、制御用AC/DC変換回路210bの出力に基づいて、DC/DC変換回路220hの出力電力が最大になるようにDC/DC変換回路220hを制御する。
<10-1-2.発電器の構成>
 発電器100fの構成は、すでに図15、図3等を参照して説明されている。そのためここでは説明を省略する。
<10-2.動作>
<10-2-1.発電器の発電動作>
 発電器100fの発電動作は、すでに図15、図16等を参照して説明されている。そのためここでは説明を省略する。
<10-2-2.MPPT回路の動作>
 制御用AC/DC変換回路210bは、発電器100fの第2パッド113Aを通じて出力された交流電力を直流電力に変換して出力する。MPPT回路230hは、制御用AC/DC変換回路210bの出力と発電器100fの出力の電圧‐電流特性に関する情報とに基づいて、DC/DC変換回路220hの出力電力が最大になるように(すなわち発電装置全体としてのエネルギー変換効率が最大になるように)DC/DC変換回路220hを制御する。MPPT回路230hは、制御用AC/DC変換回路210bからの入力の少なくとも一部を、DC/DC変換回路220hの駆動用電力としてDC/DC変換回路220hへ供給することができる。この場合、パワー・マネージメント回路200h(電力変換部)のDC/DC変換回路220hは、MPPT回路230hによる制御の下、MPPT回路230hを介して供給される制御用AC/DC変換回路210bの出力により駆動されることができる。
 一方、電力供給用AC/DC変換回路210aは、発電器100fの第1パッド105を通じて出力された交流電力を直流電力に変換して出力する。DC/DC変換回路220hは、電力供給用AC/DC変換回路210aの出力電力を、MPPT回路230hの制御に基づいて変換して、後段の負荷(蓄電池等)に出力する。
<10-3.本実施形態のまとめ>
 以上のとおり、本実施形態の発電装置1000hは、振動を受けて電力を発電する発電器100fと、発電器100fの出力を変換する電力変換部(パワー・マネージメント回路)200hと、パワー・マネージメント回路200hを制御するMPPT回路230hとを備える。発電器は第1電極102および第2電極104Aで電力を出力し、パワー・マネージメント回路200hは、発電器100fの第1電極102からの出力を別の電力に変換し、MPPT回路230hは、発電器100fの第2電極104Aからの出力に基づいて、パワー・マネージメント回路200hを制御する。
 このように電力供給用の出力とMPPT回路230hへ入力するための出力を互いに分離することにより、供給用電力のMPPT回路230hによる損失が抑制できる。これにより発電装置1000h全体としての発電効率をより高くすることが可能である。
<11.実施形態9>
 以下、第9の実施形態について説明する。
<11-1.構成および動作>
 本実施形態は図20に示すような構成を有する。本実施形態の発電器100gは、実施形態8の発電器100fと比べると、第2電極104B、第2パッド113Bおよび第2エレクトレット103の配置が異なる。それ以外の構成は実施形態8と同様でよい。
 発電器100gは、図18に示す構成を有せばよい。発電器100gの構成および発電動作は、すでに図18等を参照して説明されている。そのためここでは説明を省略する。
 MPPT回路の動作は、実施形態8における動作と同様でよい。そのためここでは説明を省略する。
 なお、本実施形態では、電力供給用AC/DC変換回路210aおよび制御用AC/DC変換回路210bのそれぞれに出力される交流電流は互いに位相が逆になるが、これらの交流電力によってもDC/DC変換回路220hの出力電力を最大化(すなわち発電装置全体としてのエネルギー変換効率を最大化)できる。
<11-2.本実施形態のまとめ>
 本実施形態の発電装置1000iによれば、実施形態8と同様に、電力供給用の出力をMPPT回路230hへ入力するための出力から分離することにより、供給用電力のMPPT回路230hによる損失が抑制できる。これにより発電装置1000i全体としての発電効率をより高くすることが可能である。
<12.実施形態10>
 以下、第10の実施形態について説明する。
 本実施形態は図21に示すような構成を有する。本実施形態の発電器100dは、実施形態8の発電器100fと比べると、第2エレクトレット103、第2電極104Bおよび第2パッド113Bがない代わりに、振幅検出用電極113を備える。また、実施形態8の制御用AC/DC変換回路210bがない代わりに、振幅検出部250dおよび制御部240jを備える。それ以外の構成は実施形態8と同様でよい。
<12-1.発電器の構成と動作>
 発電器100dは、図12に示す構成を有せばよい。発電器100gの構成および発電動作は、すでに説明されている。そのためここでは詳細な説明を省略する。
 振幅検出用電極113から引き出された配線は、電力供給用AC/DC変換回路210aへの配線とは電気的に絶縁されて、振幅検出部250dへ接続される。振幅検出部250dは制御部240jに接続される。制御部240jはMPPT回路230jに接続され、MPPT回路230jは、電力供給用AC/DC変換回路210aとは別の経路で、電力変換部(パワー・マネージメント回路)200hに接続される。これにより、MPPT回路230jとDC/DC変換回路220hの制御用の端子とが接続される。
 本実施形態の発電器100dは、実施形態8と同様に、発電して電力を出力し、この電力を電力供給用AC/DC変換回路210aおよびDC/DC変換回路220hが変換し、DC/DC変換回路220hは後段の負荷(蓄電池等)に電力を供給する。MPPT回路230jは、DC/DC変換回路220hの出力電力が最大(すなわち発電装置1000j全体としてのエネルギー変換効率が最大)になるように、DC/DC変換回路220hを制御する。
 このとき、発電器100dに設けられた振幅検出用電極113は、第1電極102が交流電力(電圧)を出力するのと同様に、交流電力(電圧)を出力する。振幅検出用電極113から出力される交流電力の変動の遷移は、発電器100dの可動基板110の振動振幅の遷移によく対応する。
 振幅検出部250dは、振幅検出用電極113を通じて発電器100dから出力された交流電力に基づいて、可動基板110の振動振幅を検出する。振幅検出部250dは、検出した振幅に従って振幅情報を制御部240jへ入力する。
 制御部240jは、この振幅情報に基づいて電力供給用AC/DC変換回路210aの出力を算出し、算出結果をMPPT回路230jに入力する。
 MPPT回路230jは、制御部240jの算出結果に基づいて前述のように、パワー・マネージメント回路200hのDC/DC変換回路220hを制御する。
<12-2.本実施形態のまとめ>
 本実施形態の発電装置1000jは、振動を受けて発電する発電器100dと、発電器100aの出力を変換する電力変換部(パワー・マネージメント回路)200hと、発電器100d内部の可動電極110の振動振幅を検出する振幅検出部250dと、パワー・マネージメント回路200hを制御するMPPT回路230jとを備える。制御部240jは、振幅検出部250dによって出力された振幅情報に基づいて、電力供給用AC/DC変換回路210aの出力を算出し、算出結果をMPPT回路230jに入力する。MPPT回路230jは、当該算出結果に基づいてパワー・マネージメント回路200hを制御する。
 また、発電器100f、100gと比べると、発電器100d内部の構成を簡素化できるという利点がある。
<13.変形の例>
 以下、上述した実施形態、特に実施形態8~10の変形例について説明する。
 実施形態8~10において、MPPT回路230h,230jがDC/DC変換回路220hの出力電力を最大になるようにDC/DC変換回路220hを制御する構成であった。だがなお、電力変換部(パワー・マネージメント回路)200hにDC/DC変換回路220h以外の回路が含まれている場合、MPPT回路230h,230jがその回路を制御することにより、発電装置全体としてのエネルギー変換効率を最大化してもよい。
 また、実施形態8~10において、発電器100f、100g、100dの可動基板110は、バネ112および固体構造体108を介して上部接合部107および下部接合部106と接合されることにより、上部基板109および下部基板111と間隔を設けて配置される。しかし別の方法によって可動基板110は固定されてもよい。可動基板110の振動が阻害されない方法であればよい。例えば、静電力または磁気力によって可動基板110を支持してもよい。また、例えば上部基板109および下部基板111に可動基板110の支持用のエレクトレットを設置し、この支持用エレクトレットと可動基板110上に設置されたエレクトレット101、103との間の静電力によって、可動基板110を固定してもよい。
 また、実施形態8~10において、発電器内100f、100g、100dの可動基板110は、例えば図15の両矢印で示すような方向に振動するとした。しかしこれは、この両矢印以外の方向の振動を除外するものではない。
 また、実施形態8~10による、発電効率のより向上された発電装置1000h、1000i、1000jのいずれかが電気機器に組み込まれることにより、より長時間の使用が可能な電気機器を提供できる。
<14.まとめ>
 実施形態1~10は、下記のような発電装置の思想を開示する。
 振動を受けて電力を発電する発電器と、発電器の出力を変換する電力変換部(パワー・マネージメント回路)とを備える。発電器は第1の系統および第2の系統で電力を出力し、電力変換部は、発電器の第2の系統の出力を受けて駆動され、発電器の第1の系統の出力を別の電力に変換することを特徴とする、発電装置。
 この構成により、発電器の発電電力が低下した場合に電力変換部が駆動用電力の低下によって受動的に停止される。これにより、発電装置全体としての発電効率を向上することが可能である。
 前述の発電装置において、発電器は、第1基板と、第2基板と、第1基板および第2基板の間に配置され、発電器内部で移動可能な可動基板とを備えてもよい。第1基板および第2基板の一方の、可動基板に対向する側の表面に、第1の系統に接続された複数の第1の電極が設置され、第1の電極に対向する側の可動基板の表面に複数の第1のエレクトレットが配置され、第1基板および第2基板の他方の、可動基板に対向する側の表面に、第2の系統に接続された複数の第2の電極が設置され、第2の電極に対向する側の可動基板の表面に複数の第2のエレクトレットが配置されてもよい。
 前述の発電装置において、発電器は、第1基板と、第1基板に対向して配置され、移動可能な可動基板とを備えてもよい。可動基板に対向する側の第1基板の表面に、第1の系統に接続された複数の第1の電極、および、第2の系統に接続された複数の第2の電極が交互に配置され、第1および第2の電極に対向する側の可動基板の表面に複数のエレクトレットが配置されてもよい。
 前述の発電装置において、発電器の第1の電極および第2の電極は互いに絶縁され、発電器は第1の電極および第2の電極のそれぞれから電力を出力してもよい。
 前述の発電装置において、電力変換部は、直流電圧を別の直流電圧に変換するDC/DC変換回路を含んでもよい。DC/DC変換回路は、発電器の第2の系統の出力を受けて駆動されてもよい。
 前述の発電装置において、電力変換部は、交流電圧を直流電圧に変換するAC/DC変換回路と、直流電圧を別の直流電圧に変換するDC/DC変換回路とを含んでもよい。DC/DC変換回路は、発電器の第2の系統の出力を受けて駆動されてもよい。
 前述の発電装置において、さらに、電力変換部を制御するMPPT回路を備え、
 電力変換部は、発電器の第1の系統の出力を別の電力に変換し、MPPT回路は、発電器の第2の系統の出力に基づいて、電力変換部を制御してもよい。
 前述の発電装置において、MPPT回路は、電力変換部の出力が最大になるように電力変換部を制御してもよい。
 前述の発電装置において、発電器は、第1基板と、第2基板と、第1基板および第2基板の間に配置され、発電器内部で移動可能な可動基板とを備えてもよい。第1基板および第2基板の一方において、可動基板に対向する側の表面に、第1の系統に接続された複数の第1の電極が設置され、第1の電極に対向する側の可動基板の表面に複数のエレクトレットが配置され、第1基板および第2基板の他方において、可動基板に対向する側の表面に、第2の系統に接続された複数の第2の電極が設置され、第2の電極に対向する側の可動基板の表面に複数のエレクトレットが配置されてもよい。
 前述の発電装置において、発電器は、第1基板と、第1基板に対向して配置され、移動可能な可動基板とを備えてもよい。可動基板に対向する側の第1基板の表面に、第1の系統に接続された複数の第1の電極および第2の系統に接続された複数の第2の電極が交互に配置され、第1の電極および第2の電極に対向する側の可動基板の表面に複数のエレクトレットが配置されてもよい。
 前述の発電装置において、発電器の第1の電極と第2の電極とは絶縁され、発電器は第1の電極および第2の電極のそれぞれから出力してもよい。
 前述の発電装置において、電力変換部は、直流電圧を別の直流電圧に変換するDC/DC変換回路を含んでもよい。DC/DC変換回路は、MPPT回路によって制御されてもよい。
 前述の発電装置において、電力変換部は、交流電圧を直流電圧に変換するAC/DC変換回路と、直流電圧を別の直流電圧に変換するDC/DC変換回路とを含んでもよい。DC/DC変換回路は、MPPT回路によって制御されてもよい。
 前述の発電装置を備える電気機器が提供されてもよい。
 さらに、実施形態1~10は、下記のような発電装置の思想も開示する。
 振動を受けて発電する発電器と、発電器の出力を変換する電力変換部とを備え、発電器の出力に基づいて電力変換部の電力変換の有無が切り替わる発電装置。
 この構成により、発電器の出力が過大な場合に電力変換部への入力を遮断することにより、電力変換部の故障を防止できる。また、発電器の出力が過小な場合に電力変換部の電力変換動作を停止することにより、より効率よく電力を供給できる。
 前述の発電装置は、発電器の出力に関する情報を検出する検出部と、電力変換部の電力変換の有無を切り替える制御部とをさらに備えてもよい。制御部は、情報に基づいて、発電装置の出力が発電装置の消費電力以下になったと判断したとき、電力変換部の電力変換を停止してもよい。
 前述の発電装置において、制御部は、情報に基づいて、発電器の出力が所定値以上になったと判断した場合、発電器から電力変換部への入力を遮断してもよい。
 前述の発電装置において、検出部によって検出される情報は、発電器の出力電力であってもよい。
 前述の発電装置において、発電器は振動可能な振動体を有してもよい。検出部によって検出される情報は、振動体の振動振幅であってもよい。
 前述の発電装置において、さらに、電力変換部を制御するMPPT回路を備え、MPPT回路は検出部が検出した振動体の振動振幅に基づいて電力変換部を制御してもよい。
 前述の発電装置がさらに受動式スイッチを備えてもよい。受動式スイッチは、発電器による出力電力の大きさに従って、発電器から電力変換部への電力の入力を、遮断または許可してもよい。
 前述の発電装置において、受動式スイッチは入力電極、出力電極、可動電極を備えてもよい。入力電極に入力された電力の電圧に従って可動電極が湾曲することにより、入力電極および出力電極の導通/非導通を切り替えてもよい。
 前述の発電装置はさらにスイッチを備えてもよい。制御部は、情報に基づいて、発電器から電力変換部への電力の入力をスイッチが遮断または許可するようスイッチを制御してもよい。
 前述の発電装置において、電力変換部は、入力された直流電圧を別の直流電圧に変換するDC/DC変換部を含んでもよい。制御部は情報に基づいて、DC/DC変換部の電圧変換の有無を切り替えてもよい。
 前述の発電装置において、電力変換部は、発電器によって出力された交流電流を直流電流に変換するAC/DC変換部と、AC/DC変換部によって出力された直流電流を別の直流電圧に変換するDC/DC変換部とを含んでもよい。制御部は情報に基づいて、DC/DC変換部の電圧変換の有無を切り替えてもよい。
 電気機器が前述の発電装置のいずれか1つを備えてもよい。
  1000:発電装置
  100:発電器
  101:(第1)エレクトレット
  102:(第1)電極
  103:第2エレクトレット
  104:第2電極
  105:(第1)パッド
  106:下部接合部
  107:上部接合部
  108:固定構造体
  109:上部基板(第2基板)
  110:可動基板(可動部、重り、振動体)
  111:下部基板(第1基板)
  112:バネ(弾性構造体)
  113:振幅検出用電極
  113A,113B:第2パッド
  200:パワー・マネージメント回路
  210:AC/DC変換回路
  210a:電力供給用AC/DC変換回路
  210b:制御用AC/DC変換回路
  220:DC/DC変換回路
  230:電力検出部
  230h,230j:MPPT回路
  240:制御部
  250:振幅検出部
  300:スイッチ
  310:受動式スイッチ
  900:負荷(蓄電池等)

Claims (25)

  1.  振動を受けて電力を発電する発電器と、
     前記発電器の出力を変換する電力変換部と
    を備え、
     前記発電器は第1の系統および第2の系統で電力を出力し、
     前記電力変換部は、前記発電器の前記第2の系統の出力を受けて駆動され、前記発電器の前記第1の系統の出力を別の電力に変換する、
    発電装置。
  2.  前記発電器は、
     第1基板と、
     第2基板と、
     前記第1基板および前記第2基板の間に配置され、前記発電器内部で移動可能な可動基板と
    を備え、
     前記第1基板および前記第2基板の一方の、前記可動基板に対向する側の表面に、前記第1の系統に接続された複数の第1の電極が設置され、
     前記第1の電極に対向する側の前記可動基板の表面に複数の第1のエレクトレットが配置され、
     前記第1基板および前記第2基板の他方の、前記可動基板に対向する側の表面に、前記第2の系統に接続された複数の第2の電極が設置され、
     前記第2の電極に対向する側の前記可動基板の表面に複数の第2のエレクトレットが配置される、
    請求項1記載の発電装置。
  3.  前記発電器は、
     第1基板と、
     前記第1基板に対向して配置され、移動可能な可動基板と
    を備え、
     前記可動基板に対向する側の前記第1基板の表面に、前記第1の系統に接続された複数の第1の電極および前記第2の系統に接続された複数の第2の電極が交互に配置され、
     前記第1および前記第2の電極に対向する側の前記可動基板の表面に複数のエレクトレットが配置される、
    請求項1記載の発電装置。
  4.  前記発電器の前記第1の電極および前記第2の電極は互いに絶縁され、前記発電器は前記第1の電極および前記第2の電極のそれぞれから電力を出力する、
    請求項2または3記載の発電装置。
  5.  前記電力変換部は、直流電圧を別の直流電圧に変換するDC/DC変換回路を含み、
     前記DC/DC変換回路は、前記発電器の前記第2の系統の出力を受けて駆動される、
    請求項1記載の発電装置。
  6.  前記電力変換部は、交流電圧を直流電圧に変換するAC/DC変換回路と、
     直流電圧を別の直流電圧に変換するDC/DC変換回路と
    を含み、
     前記DC/DC変換回路は、前記発電器の前記第2の系統の出力を受けて駆動される、
    請求項1記載の発電装置。
  7.  さらに、前記電力変換部を制御するMPPT回路を備え、
     前記電力変換部は、前記発電器の前記第1の系統の出力を別の電力に変換し、
     前記MPPT回路は、前記発電器の前記第2の系統の出力に基づいて、前記電力変換部を制御する、
    発電装置。
  8.  前記MPPT回路は、前記電力変換部の出力が最大になるように前記電力変換部を制御する、
    請求項7記載の発電装置。
  9.  前記発電器は、
     第1基板と、
     第2基板と、
     前記第1基板および前記第2基板の間に配置され、前記発電器内部で移動可能な可動基板と
    を備え、
     前記第1基板および前記第2基板の一方において、前記可動基板に対向する側の表面に、前記第1の系統に接続された複数の第1の電極が設置され、
     前記第1の電極に対向する側の前記可動基板の表面に複数の第1のエレクトレットが配置され、
     前記第1基板および前記第2基板の他方において、前記可動基板に対向する側の表面に、前記第2の系統に接続された複数の第2の電極が設置され、
     前記第2の電極に対向する側の前記可動基板の表面に複数の第2のエレクトレットが配置される、
    請求項7記載の発電装置。
  10.  前記発電器は、
     基板と、
     前記基板に対向して配置され、移動可能な可動基板と
    を備え、
     前記可動基板に対向する側の前記基板の表面に、前記第1の系統に接続された複数の第1の電極および前記第2の系統に接続された複数の第2の電極が交互に配置され、
     前記第1の電極および前記第2の電極に対向する側の前記可動基板の表面に複数のエレクトレットが配置される、
    請求項7記載の発電装置。
  11.  前記発電器の前記第1の電極と前記第2の電極とは絶縁され、前記発電器は前記第1の電極および前記第2の電極のそれぞれから出力する、
    請求項9または10記載の発電装置。
  12.  前記電力変換部は、
     直流電圧を別の直流電圧に変換するDC/DC変換回路
    を含み、
     前記DC/DC変換回路は、前記MPPT回路によって制御される、
    請求項7記載の発電装置。
  13.  前記電力変換部は、
     交流電圧を直流電圧に変換するAC/DC変換回路と、
     直流電圧を別の直流電圧に変換するDC/DC変換回路と
    を含み、
     前記DC/DC変換回路は、前記MPPT回路によって制御される、
    請求項7記載の発電装置。
  14.  振動を受けて発電する発電器と、
     前記発電器の出力を変換する電力変換部と
    を備え、
     前記発電器の出力に基づいて前記電力変換部の電力変換の有無が切り替わる
    発電装置。
  15.  前記発電器の出力に関する情報を検出する検出部と、
     前記電力変換部の電力変換の有無を切り替える制御部と
    をさらに備え、
     前記制御部は、前記情報に基づいて、前記発電装置の出力が前記発電装置の消費電力以下になったと判断したとき、前記電力変換部の前記電力変換を停止する、
    請求項14記載の発電装置。
  16.  前記制御部は、前記情報に基づいて、前記発電器の出力が所定値以上になったと判断した場合、前記発電器から前記電力変換部への入力を遮断する、
    請求項15記載の発電装置。
  17.  前記検出部によって検出される前記情報は、前記発電器の前記出力電力である、
    請求項15記載の発電装置。
  18.  前記発電器は振動可能な振動体を有し、
     前記検出部によって検出される前記情報は、前記振動体の振動振幅である、
    請求項15記載の発電装置。
  19.  さらに、前記電力変換部を制御するMPPT回路を備え、
     前記MPPT回路は前記検出部が検出した前記振動体の振動振幅に基づいて前記電力変換部を制御する、
    請求項18記載の発電装置。
  20.  さらに受動式スイッチを備え、
     前記受動式スイッチは、前記発電器による出力電力の大きさに従って、前記発電器から前記電力変換部への電力の入力を、遮断または許可する、
    請求項14記載の発電装置。
  21.  前記受動式スイッチは入力電極、出力電極、可動電極を備え、入力電極に入力された電力の電圧に従って可動電極が湾曲することにより、入力電極および出力電極の導通/非導通を切り替える、
    請求項20記載の発電装置。
  22.  さらにスイッチを備え、
     前記制御部は、前記情報に基づいて、前記発電器から前記電力変換部への電力の入力を前記スイッチが遮断または許可するよう前記スイッチを制御する、
    請求項15記載の発電装置。
  23.  前記電力変換部は、
     入力された直流電圧を別の直流電圧に変換するDC/DC変換部
    を含み、
     前記制御部は前記情報に基づいて、前記DC/DC変換部の電圧変換の有無を切り替える、
    請求項15記載の発電装置。
  24.  前記電力変換部は、
     前記発電器によって出力された交流電流を直流電流に変換するAC/DC変換部と、
     前記AC/DC変換部によって出力された直流電流を別の直流電圧に変換するDC/DC変換部と
    を含み、
     前記制御部は前記情報に基づいて、前記DC/DC変換部の電圧変換の有無を切り替える、
    請求項15記載の発電装置。
  25.  請求項1ないし24いずれか1つに記載された発電装置を備える
    電気機器。
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