WO2013080726A1 - 光学式変位センサ - Google Patents
光学式変位センサ Download PDFInfo
- Publication number
- WO2013080726A1 WO2013080726A1 PCT/JP2012/077964 JP2012077964W WO2013080726A1 WO 2013080726 A1 WO2013080726 A1 WO 2013080726A1 JP 2012077964 W JP2012077964 W JP 2012077964W WO 2013080726 A1 WO2013080726 A1 WO 2013080726A1
- Authority
- WO
- WIPO (PCT)
- Prior art keywords
- light
- value
- measurement
- limit value
- allowable range
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
- G01S17/02—Systems using the reflection of electromagnetic waves other than radio waves
- G01S17/06—Systems determining position data of a target
- G01S17/46—Indirect determination of position data
- G01S17/48—Active triangulation systems, i.e. using the transmission and reflection of electromagnetic waves other than radio waves
Definitions
- the present invention provides a light projecting unit that projects light for detection, a light receiving unit that receives reflected light from the measurement target with respect to light from the light projecting unit, and a displacement of the measurement target based on the light receiving state of the light receiving unit.
- the present invention relates to an optical displacement sensor provided with a measurement processing unit that measures and outputs the measurement result.
- An optical displacement sensor based on the principle of triangulation includes a light projecting unit including a light emitting element such as a laser diode and a light receiving unit including a one-dimensional or two-dimensional light receiving element, and measures light from the light projecting unit.
- the coordinates of the peak of the received light amount distribution data generated by the light receiving unit receiving the reflected light from the object are detected, and the coordinates are converted into a displacement amount and output.
- the optical displacement sensor uses a TOF (Time of Fright) method that uses the length of time from light projection to light reception, and uses the phase difference between the light projected and the reflected light received.
- TOF Time of Fright
- a sensor using a phase difference ranging method a sensor using a PN code ranging method that projects light that has been intensity-modulated by a PN code, and performs measurement using the correlation calculation result between the reflected light and the light There is.
- Patent Document 1 discloses that in a triangulation optical displacement sensor, the shutter opening time (exposure time) is adjusted so that the amount of light received by reflected light is always saturated. It is described that the position of the center of the saturated pixel group is detected as the peak position of the amount of received light, and the peak position is converted into height data.
- Patent Document 2 reflected light from an object with respect to light from a light projecting unit is received by a plurality of light receiving elements arranged in at least one direction, and the position of a peak in a received light amount distribution in each light receiving element. It is described that the presence / absence of an object is discriminated by comparing with a predetermined reference position. Further, this Patent Document 2 describes that it is determined that multiple reflection occurs when a plurality of peaks are detected from the received light amount distribution.
- any of the above types of sensors in order to ensure measurement accuracy, it is desirable that only the reflected light from the measurement target area of the sensor is guided to the light receiving unit, but the detection area depends on the sensor usage state and the surrounding environment. There is a possibility that light from the outside enters the light receiving unit and erroneous processing is performed. Examples thereof will be described below with reference to FIGS.
- FIG. 6 shows an example of an application using an optical displacement sensor using the principle of triangulation.
- the purpose of this application is to detect a plate-like workpiece mounted on the pallet 20 and moving downward in two rows at a predetermined height position. Sensors 1 and 1 are provided respectively. In each row, two types of workpieces W1 and W2 having different thicknesses are transported in a random order, so that the end surface of the object (workpieces W1 and W2 and pallet 20) passing through the detection target position by the side sensor 1 and the sensor 1 is measured, and it is determined which of the workpieces W1 and W2 has passed based on the length of time during which the measurement value corresponding to the workpiece is obtained.
- the arrangement of the workpieces W1 and W2 is one row, and a member (mirror body) 30 having high specular reflectivity is placed at a position facing the sensor 1 across the row of workpieces.
- the arrangement of the workpieces W1 and W2 is missing, and the light that has exited the sensor 1 and passed through the missing part of the workpiece W is specularly reflected by the surface of the mirror body 30, and the specularly reflected light enters the sensor 1. is doing.
- the sensor 1 When these noise lights enter the sensor 1, the sensor 1 outputs distance data resulting from an object different from the measurement target. If this distance data does not indicate the distance to the workpieces W1 and W2, there is no possibility of malfunction, but if noise light is incident near the position indicating the distance to the workpieces W1 and W2, A measurement value corresponding to either W1 or W2 may be output, and erroneous processing may be performed.
- Patent Document 2 shows an application similar to the examples of FIGS. 6 to 8, but in this application, when a plurality of peaks are generated from the received light amount distribution, those peaks reflect multiple reflections. Therefore, it is determined that the end face of the workpiece has not been detected (see paragraphs 0073 to 0074 of FIG. 19 and FIG. 19). However, in such processing, erroneous detection occurs when noise light enters near the position indicating the distance to the workpieces W1 and W2 without generating a plurality of peaks.
- the present invention pays attention to the above-mentioned problem, and it is an object to ensure measurement accuracy by preventing erroneous measurement by noise light even when noise light is incident on the light receiving portion.
- the present invention provides a light projecting unit that projects light for measurement, a light receiving unit that receives reflected light from the measurement target with respect to the light from the light projecting unit, and a displacement of the measurement target based on the light receiving state of the light receiving unit And is applied to an optical sensor including a measurement processing unit that outputs a measurement result.
- the measurement processing unit determines whether or not the parameter indicating the degree of change in the amount of received light in the light receiving unit or the parameter indicating the sensitivity adjusted according to the increase or decrease in the amount of received light falls within a predetermined allowable range.
- Control means for preventing the measurement result from being output when it is determined that the measurement result is present.
- the sensitivity is adjusted so that the reflected light from the measurement object can be received at an intensity suitable for measurement. Adjust the sensitivity. Therefore, as in the example of FIG. 6, when measurement is performed using standardized objects (workpieces W1 and W2 and pallet 20) as detection targets, the state of correctly receiving reflected light from these objects continues. It is unlikely that there will be a significant change in the amount of light received during this period.
- the noise light that enters the sensor around various places is considered to be weaker than the reflected light from the workpieces W ⁇ b> 1 and W ⁇ b> 2 and the pallet 20.
- the regular reflection light from the mirror body 300 as in the example of FIG. 8 is considered to be light stronger than the reflection light from the workpieces W1 and W2 and the pallet 20.
- the parameter indicating the degree of change in the amount of received light for example, the amount of change in the peak value of the received light amount distribution obtained by the light receiving elements arranged in one dimension
- the amount of received light Controls so that the measurement result is output when the parameter value indicating the sensitivity adjusted according to the increase / decrease is within the allowable range, and the measurement result is not output when the parameter value is out of the allowable range.
- noise light enters the light receiving unit, a large change occurs in the amount of received light and the sensitivity adjusted based on the amount of received light, so that measurement data due to noise light can be prevented from being output.
- the above-described sensor is configured, for example, to perform measurement when the parameter value is determined to be within the allowable range by the determination unit and output the obtained measurement data.
- the measurement is performed every time light is projected and received, but the output of the measurement result may be stopped when the determination unit determines that the parameter value is out of the allowable range.
- the measurement processing unit receives at least one of an exposure time that determines an operation period of the light projecting unit and the light receiving unit, light emission intensity in the light projecting unit, and light reception gain in the light receiving unit.
- Sensitivity adjustment means for changing the received light amount according to the increase or decrease of the received light amount is further provided.
- the determination means indicates the level of sensitivity adjusted by these three by calculation using the exposure time, light emission intensity, and light reception gain after the processing according to the processing by the sensitivity adjustment means. An evaluation value is calculated, and by comparing the calculated evaluation value with a predetermined upper limit value and lower limit value, it is determined whether or not the evaluation value falls within an allowable range.
- a value is calculated, and it is determined whether or not the evaluation value falls within an allowable range. Therefore, for example, the variation of the evaluation value with respect to the sensitivity adjusted under the condition of receiving the reflected light from the detection area is obtained in advance, and the upper limit value and the lower limit value are set so that this variation range is included in the allowable range. If determined, it is possible to determine with high accuracy whether or not the evaluation value of sensitivity adjusted with the reception of noise light is outside the allowable range, so that it is possible to prevent erroneous measurement results from being output. it can.
- the measurement processing unit repeatedly moves the light projecting unit, the light receiving unit, and the sensitivity adjustment unit to stabilize each value of the amount of received light, exposure time, light emission intensity, and light reception gain, and stable exposure.
- a process of calculating a reference value of the evaluation value by an operation using time, light emission intensity, and light reception gain, and a process of determining an upper limit value and a lower limit value representing an allowable range based on the calculated reference value are executed.
- Setting means can be provided. According to this setting means, the sensitivity is adjusted so that a light reception amount suitable for measurement can be obtained prior to the measurement process, and then the upper limit value and the lower limit value of the allowable range based on the evaluation value of the sensitivity after the adjustment. Can be decided.
- an upper limit value of an allowable range is obtained by an operation of multiplying a reference value obtained by the operation by a predetermined coefficient ⁇ greater than 1, and an operation of multiplying the reference value by an inverse 1 / ⁇ of the coefficient ⁇ .
- the lower limit value of the allowable range can be obtained.
- the determination unit may use a parameter indicating the degree of change in the amount of received light or a parameter indicating the sensitivity adjusted according to the increase or decrease in the amount of received light as an upper limit value and a lower limit value indicating an allowable range. To determine whether the value of the parameter falls within the allowable range.
- the sensor of this embodiment includes input means for inputting data for setting the upper limit value and the lower limit value, and setting means for setting the upper limit value and the lower limit value based on the input data in the determination means. .
- the fluctuation range of the amount of light received when receiving the reflected light from the measurement object is the use of the sensor, such as the material of the object and the distance between the measurement base surface (surface with zero displacement) and the sensor. It varies according to various environmental factors, and the state of sensitivity adjustment varies accordingly.
- the upper limit value and the lower limit value that determine the allowable range used by the determination unit can be set according to the input, the convenience and versatility of the sensor can be improved.
- the present invention even when noise light other than the reflected light from the measurement object is incident on the light receiving unit, it is possible to prevent the measurement result due to the noise light from being output. Can be performed.
- FIG. 1 shows an electrical configuration of an optical displacement sensor to which the present invention is applied.
- the optical displacement sensor 1 (hereinafter simply referred to as “displacement sensor 1” or “sensor 1”) of this embodiment includes a light projecting unit 101 including a light emitting element (laser diode) 11 and a one-dimensional light receiving element 12 ( In this embodiment, a CMOS is used.
- the light projecting unit 101 includes a light projecting control circuit 13 in addition to the light emitting element 11.
- the light receiving unit 102 is provided with a signal processing circuit 14 and an A / D conversion circuit 15 for processing an image signal generated by the light receiving element 12.
- the senor 1 includes a CPU 10, a memory 16, a display unit 17, an operation unit 18, an input / output interface 19, and the like.
- the light projecting unit 101 and the light receiving unit 102 are accommodated in the sensor head 100 shown in FIG. 2, and other configurations are provided in an auxiliary housing (not shown) called an “amplifier unit”.
- an auxiliary housing not shown
- the configuration of the sensor is not limited to this, and for example, it is possible to arrange all the configurations in one housing.
- the CPU 10 executes processing related to measurement processing and sensitivity adjustment based on a program stored in the memory 16.
- the measurement result is displayed on the display unit 17 and is output to the outside via the input / output interface 19.
- the operation unit 18 is used when performing various settings prior to the detection process.
- FIG. 2 schematically shows the configuration of the sensor head 100 and the principle of measurement processing.
- the sensor head 100 of this example is arranged with the optical axis of the light emitting element 11 aligned with the detection target position of the path L of the workpiece W.
- FIG. 5 when a workpiece moving up and down is a measurement target, FIG. 5, the sensor head 100 may be provided on the side of the workpiece path, and the distance between the workpiece end surface and the sensor head 100 may be measured.
- the laser light emitted from the light emitting element 11 is emitted through the light projecting lens 111, is reflected by the object to be detected, and enters the light receiving element 12 through the light receiving lens 122. Therefore, in the received light amount distribution indicated by the one-dimensional reflected light image generated by the light receiving element 12, a peak appears at a position corresponding to the incident position of the reflected light. The position of this peak varies according to the height of the surface of the object that reflects the laser beam.
- the CPU 10 moves the light projecting unit 101 and the light receiving unit 102 at a constant cycle, and adjusts the center of gravity of the maximum peak appearing in the received light amount distribution pattern generated by the light receiving unit 102 according to this cycle.
- the coordinates are measured, and the coordinates are converted into distance data using a conversion table registered in the memory 16.
- the sensitivity is adjusted according to the increase or decrease of the maximum peak of the amount of received light each time light is projected and received so that the measurement can be stably performed.
- the distance data converted from the coordinates of the center of gravity of the maximum peak represents the distance between the sensor head 100 and the object that reflects the laser light from the light projecting unit toward the position of the center of gravity.
- the relationship between each coordinate of the light receiving element 12 and the distance data is registered.
- the conversion target is not limited to the distance, and the height of the object reflecting the laser beam may be derived.
- the workpiece W to be measured has a step as in the example of FIG. 2, the height of the two surfaces sandwiching the step can be identified.
- the peaks appearing in the received light amount distribution pattern are caused by the reflected light from the measurement target area, and the peaks may be caused by the incidence of noise light generated in the surroundings.
- an evaluation value indicating sensitivity adjusted based on the peak is obtained, and this evaluation value is determined in advance. If it is within the allowable range, it performs a measurement process and outputs distance data. On the other hand, when the sensitivity evaluation value deviates from the allowable range, error output is performed without outputting distance data.
- the sensitivity adjustment performed in this embodiment will be described.
- three types of parameters are used: exposure time, intensity of projected laser light (hereinafter referred to as “projected intensity”), and amplification factor of received light amount signal (hereinafter referred to as “received light gain”).
- projected intensity intensity of projected laser light
- receiverd light gain amplification factor of received light amount signal
- the sensitivity is adjusted so that the amount of received light becomes a value in the vicinity of a predetermined target value.
- light projection and reception are repeated with the workpiece W placed in the measurement target area, and each sensitivity parameter is adjusted so that the amount of peak light received by the reflected light from the workpiece W is sufficient. To do.
- This process is executed in a “tuning” process described later. Even after the tuning process is started after the tuning process, the sensitivity parameter is adjusted according to the fluctuation of the maximum peak in the received light amount distribution every time.
- the light projecting period of the light projecting unit 101 and the light receiving period of the light receiving unit 102 are made coincident and the length of these periods is used as the exposure time.
- the light projecting period may be started earlier than the light receiving period, and the light receiving period may be terminated later than the light projecting period.
- the exposure time is the length of time from the start of the light projection period to the end of the light reception period.
- the maximum value is set to 1 and the light intensity is gradually reduced at a predetermined ratio.
- the minimum gain is set to 1 and the gain is increased stepwise at a predetermined ratio.
- the adjustment control data is expressed by a magnification for both the light projecting gain and the light receiving gain.
- the sensitivity is adjusted by adjusting the exposure time in principle. Specifically, when the maximum received light amount is decreased using the maximum received light amount in the received light amount distribution as an index, the exposure time is increased according to the degree of the decrease, and the maximum received light amount is increased. The exposure time is shortened according to the increasing rate. However, the adjustment of the exposure time must be performed in the range from the minimum time required for light projection / light reception to the maximum time according to the purpose of processing.
- the upper limit value of this adjustment range is called “maximum exposure time”
- minimum exposure time the upper limit value of this adjustment range.
- the maximum received light amount is saturated even if the exposure time is set to the minimum exposure time, the maximum received light amount is reduced even if the light projection intensity and the light reception gain are reduced and the exposure time is set to the maximum exposure time. If the intensity is not sufficient, the light projection intensity and light reception gain are increased.
- FIG. 3 shows a specific processing procedure when deriving three types of parameters for sensitivity adjustment. This process is incorporated in the detection process shown in FIG. 4 and repeated.
- the sensitivity parameter is adjusted based on the ratio between the maximum received light amount P (t) detected in the current processing cycle and a predetermined target value of received light amount, and the result of the adjustment is obtained after two stages. Applies to detection processing.
- ST the exposure time
- D the light projection intensity
- G the light receiving gain
- step S101 the CPU 10 sets a value P0 / P (t) obtained by dividing the target value P0 of the received light amount by the current maximum received light amount P (t), and the exposure time ST (t (t) applied to the current processing cycle. ) To calculate the exposure time ST (t + 2) two cycles ahead.
- the CPU 10 compares the exposure time ST (t + 2) obtained by the above calculation with the aforementioned minimum exposure time and maximum exposure time.
- ST (t + 2) falls within the range from the minimum exposure time to the maximum exposure time (both steps S102 and S103 are “NO”)
- the value of this ST (t + 2) is determined and the light is emitted two cycles ahead.
- D (t) and G (t) are set to the intensity D (t + 2) and the light receiving gain G (t + 2), respectively (step S108). That is, the exposure time is adjusted according to the rate of increase / decrease in the maximum received light amount P (t), but the light projection intensity and the light reception gain are set to the same values as those two cycles before.
- step S102 when the exposure time ST (t + 2) is shorter than the minimum exposure time (step S102 is “YES”), the CPU 10 changes the value of ST (t + 2) to the minimum exposure time (step S104). Further, the light projection intensity D (t + 2) and the light reception gain G (t + 2) are set to a magnification lower than the current value in accordance with the degree of deviation from the minimum exposure time of ST (t + 2) before change (step S105).
- step S102 When the exposure time ST (t + 2) is longer than the maximum exposure time (step S102 is “NO” and step S103 is “YES”), the CPU 10 changes the value of ST (t + 2) to the maximum exposure time (step S106). ). Further, the light projection intensity D (t + 2) and the light reception gain G (t + 2) are set to a magnification higher than the current value according to the degree of deviation from the maximum exposure time of ST (t + 2) before change (step S107).
- the exposure time ST (t + 2) is shortened to the minimum exposure time, and the light projection intensity and the light receiving gain are reduced.
- the exposure time ST (t + 2) is raised to the maximum exposure time, and the light projection intensity and the light receiving gain are also raised.
- the sensitivity is adjusted so that the amount of received light becomes the target value P0.
- step S1 the CPU 10 reads out sensitivity parameters ST (t), D (t), and G (t) applied to this cycle from the memory 16, and projects the projector 101 under the sensitivity adjusted by these parameters. Then, the light receiving unit 102 is operated (steps S1 and S2).
- the CPU 10 inputs the reflected light image generated by the light receiving element 12, and has an amplitude equal to or greater than a predetermined value (very small amplitude) from the received light amount distribution indicated by the reflected light image.
- a peak is detected (step S3).
- the peak is detected (“YES” in step S4), the maximum received light amount P (t) of the peak portion is acquired for the maximum peak among the detected peaks (step S5).
- Step S6 is a summary of the processing (steps S101 to S108) shown in FIG.
- the sensitivity parameters ST (t + 2), D (t + 2), G (t + 2) two cycles ahead are determined based on the ratio of the maximum received light amount P (t) acquired in step S5 and the target value P0 of the received light amount. Is derived.
- step S7 an evaluation value R representing the level of sensitivity adjusted by these sensitivity parameters is calculated by multiplying the sensitivity parameters ST (t + 2), D (t + 2), and G (t + 2) obtained by the above processing. calculate.
- step S8 is compared with a predetermined lower limit value R A and an upper limit R B The evaluation value R. If the evaluation value R is included in the range from the lower limit value R A to the upper limit R B (step S8 is "YES"), CPU 10 has the center of gravity of the largest peak containing the occurrence position of the maximum light reception amount P (t)
- step S9 The coordinates g (t) are calculated (step S9). Further, the coordinate g (t) is converted into distance data using the conversion table described above (step S10), and the distance data is output (step S11).
- step S8 is "NO"
- step S9, S10, S11 without performing the error Output step S12 is executed. If the reflected light for the light from the light projecting unit 101 cannot be received for some reason, no peak is detected in the process of step S3, so the determination in step S4 is “NO”, and the process similarly proceeds to step S12. Execute error output with.
- the processing shown in FIG. 4 is started after the sensitivity parameter is adjusted in advance so that the peak of the amount of light received by the reflected light from the workpiece W has the optimum intensity. To do. Therefore, when the maximum peak of the received light amount extracted by the processing in steps S3 and S5 is generated by the reflected light from the object (work W or its supporting surface) in the measurement target area, the reflection is caused. Except immediately after the type of object is changed, the maximum amount of received light P (t) does not change greatly. In addition, the width of fluctuation immediately after the object causing the reflection is changed can be kept within a relatively small range.
- the maximum peak of the amount of light received is formed by the light from the measurement target area, in most cases, it can be handled only by adjusting the exposure time ST, and it is necessary to adjust the light projecting intensity and the light receiving gain. Even in this case, it can be dealt with by adjusting the width.
- the reflected light from the workpiece W does not enter and noise light enters, there is a high possibility that a large change will occur in the maximum peak.
- the amount P (t) becomes considerably low, and the exposure time ST (t + 2) calculated based on the ratio between the target values P0 and P (t) is significantly longer than the maximum exposure time. For this reason, the exposure time ST (t + 2) is changed to the maximum exposure time, and the light projection intensity D and the light reception gain G are significantly increased. Therefore, the evaluation value R based on the integrated value of each sensitivity parameter also becomes a large value.
- the exposure time ST (t + 2) derived with the saturation level being P (t) is In this state, the minimum exposure time is greatly reduced. For this reason, the exposure time ST (t + 2) is changed to the minimum exposure time, and the light projection intensity D and the light reception gain G are greatly reduced. Therefore, the evaluation value R also becomes a small value.
- the range of variation of the evaluation value R is obtained based on the variation of each sensitivity parameter that occurs under the condition where the maximum peak of the amount of received light is formed by the reflected light from the measurement target area. it may be registered in the memory 16 defines the lower limit R a and an upper limit value R B so that this range is included in the allowable range. If executing measurement processing shown in FIG.
- the amount of light due to the noise light is detected as the maximum received light amount P (t), which is adjusted based thereon sensitivity
- the determination in step S8 is “NO”, there is no possibility that erroneous distance data due to noise light is calculated and output. Therefore, it is possible to stably carry out accurate measurement processing.
- the sensitivity parameter of two cycles ahead is derived based on the ratio between the maximum light receiving amount and the target value in each cycle, and the derived sensitivity parameter An evaluation value for determining suitability was obtained, and it was determined whether or not this evaluation value was within an allowable range.
- the sensitivity parameter derived two cycles ahead is a measure for stably executing the sensitivity adjustment even when the detection processing cycle is relatively short, as long as the calculation speed of the CPU 10 can cope with it.
- the sensitivity parameters of the next cycle may be derived, and it may be determined whether or not the evaluation value R based on these sensitivity parameters falls within the allowable range.
- the distance data measured by a single light projecting and receiving light in order to improve the accuracy of the measurement, not the distance data measured by a single light projecting and receiving light, but an operation (moving average operation) for obtaining the average value of the distance data obtained in a plurality of cycles going back from the present time.
- the average value may be output as a measurement result.
- the sensitivity is adjusted and the evaluation value R is calculated every time light is projected and received. If the evaluation value R deviates from the allowable range, the moving average calculation is canceled or the average value output is canceled. It is desirable to do.
- the moving average calculation or output may be resumed, but the distance during which the evaluation value R has deviated from the allowable range. It is desirable to exclude the data from the moving average calculation target.
- the sensor 1 of this embodiment is provided with a function of determining conditions necessary for measurement while repeating light projection and light reception prior to measurement processing.
- the processing by this function is the “tuning” processing described above.
- the tuning process includes a process of adjusting the sensitivity so that the maximum peak of the received light amount is stabilized in the vicinity of the target value P0. Therefore, by performing the tuning process in a state where the model of the workpiece W is arranged in the measurement target area, the peak value of the amount of light received by the reflected light from the workpiece W can be set to a value near the target value P0.
- the senor 1 of this embodiment is provided with a plurality of types of measurement modes having different response times, and default measurement conditions are registered for each of these measurement modes.
- the response time is the length of time it takes for the CPU 10 to output a measurement result for light projection / light reception at a certain point in time, and the cycle of light projection and light reception (hereinafter referred to as “measurement cycle”). Fluctuates depending on the maximum exposure time and the number of times of the above-mentioned moving average calculation.
- the sensitivity parameter set by the tuning process also varies depending on the measurement mode.
- FIG. 5 is a flowchart summarizing up process of registering the lower limit R A and an upper limit R B from this tuning process. Hereinafter, the flow of each process will be described with reference to FIG.
- the user Prior to performing the tuning process, the user performs an operation of selecting one of the measurement modes, places the workpiece W at the detection target position, and instructs the operation unit 18 to start the tuning process. Thereby, the process shown in FIG. 5 is started.
- a default measurement condition corresponding to the selected measurement mode is read.
- the measurement conditions include the maximum magnification of each of the measurement cycle, the minimum exposure time, the maximum exposure time, the light projection intensity, and the light reception gain (the maximum magnification at which adjustment is permitted in the selected measurement mode).
- step S21 the exposure time ST, the light projection intensity D, and the light reception gain G are initially set within the range of the default measurement conditions.
- the default minimum exposure time is set as the exposure time ST, and the light projection intensity D and the light reception gain G are set to 1 time.
- Steps S101 to S108) are repeated (Steps S22 to S25).
- step S26 When the maximum received light amount and each sensitivity parameter are stabilized (steps S23 and S24 are “YES”), the process proceeds to step S26, where the stable exposure time ST is ST0, the stable light projection intensity D is D0, and the stable light reception gain G is G0. And measurement conditions are determined based on these values.
- the measurement conditions determined here also include the measurement cycle, the minimum exposure time, the maximum exposure time, the light projection intensity, and the maximum magnification of the light reception gain. Further, the number of moving average calculation data (an integer of 1 or more) is also added to the measurement conditions.
- a measurement condition table set so that the measurement conditions derived empirically can be read from the exposure time value for each measurement mode is registered.
- the measurement condition applicable to ST0 is read with reference to this measurement condition table by the stable exposure time ST0, and this is registered for measurement.
- the minimum exposure time and the maximum exposure time are determined so as not to deviate from the default exposure time allowable range of the corresponding measurement mode.
- the measurement cycle and the light projection intensity are also set to values below the default value. On the other hand, the light reception gain may exceed the default value.
- the number of moving average calculation data (an integer greater than or equal to 1) is obtained within a range satisfying the response time and maximum exposure time in the corresponding measurement mode, and this is also added to the measurement conditions.
- the reference value R0 of the evaluation value R of the sensitivity parameter is calculated by the multiplication of the stable exposure time ST0, the light projection intensity D0, and the light reception gain G0.
- This reference value R0 indicates a preferable sensitivity.
- step S28 the calculation of multiplying a predetermined coefficient ⁇ ( ⁇ > 0) to the reference value R0, and calculates the upper limit value R B of the evaluation value R. Further, the lower limit value RA of the evaluation value R is calculated by an operation of multiplying the reference value R0 by the inverse 1 / ⁇ of ⁇ . Then, in step S29, and registers the R A and R B in the memory 16, the process ends with a this.
- the evaluation value R based on the sensitivity parameters ST0, D0, G0 when the sensitivity adjustment under the condition where the reflected light from the workpiece W is received is set as the reference value R0, and this reference value is set.
- a sufficiently large value than R0 as the upper limit value R B, sufficiently smaller than the reference value R0 as the lower limit value R a, can be registered, respectively. Therefore, the difference is extremely large amount of light received and the light receiving amount of the reflected light from the work W is as out of the allowable range of the lower limit value R A and an upper limit R B.
- the value of ⁇ used to derive R A and R B can be changed as necessary. For example, after obtaining R A and R B with the default ⁇ value, test measurement is performed, and if malfunction occurs, the value of ⁇ is changed and R A and R B are calculated again. Perform a trial measurement again. When the erroneous measurement due to noise light becomes a state does not occur by repeating this, it is possible to determine the values of R A and R B. However, without using ⁇ and R0, after tuning process, by a method of performing a trial measurement while changing the value of R A and R B, it may determine the value of R A and R B.
- a numerical value to be changed can be input by the operation unit 18.
- an external device such as a personal computer may be connected via the input / output interface 19 shown in FIG. 1, and a numerical value to be changed may be input from the external device.
- the evaluation value R is calculated while adjusting the sensitivity by moving the workpiece W under the same conditions as in normal measurement, and based on the degree of variation in the evaluation value R, RA and it may be determined a value of R B. In this way, the change in sensitivity due to the incidence of light from the support surface of the workpiece W even in consideration can determine the value of R A and R B. Further, if the step or reflectance may be different locations in the workpiece W, that determine the value of R A and R B in consideration of the variation in the amount of light received during one work W passes the detection target position it can.
- each workpiece species determine the value of R A and R B, when registering in the memory 15 in association with the identification information of the combination of the values workpiece Good. In this way, when the workpiece to be measured is changed, the user can set a state suitable for measuring the workpiece by selecting the identification information of the workpiece.
- the sensitivity level of the three types of sensitivity parameters is replaced with a parameter called an evaluation value R, and whether or not the evaluation result R is within the allowable range is output as a measurement result of the workpiece W.
- the evaluation value R the degree of change in the maximum amount of light received each time may be obtained, and it may be determined whether or not the degree of change falls within an allowable range.
- a parameter indicating the degree of change in the maximum received light amount for example, the ratio of the latest maximum received light amount to the maximum received light amount one cycle before or two cycles before or the ratio of the maximum received light amount to the target value can be obtained.
- a light receiving element different from the image sensor 12 may be provided, and determination processing using the amount of received light measured by the light receiving element may be performed. .
- the function of detecting the presence / absence of the workpiece W while discriminating the degree of change in the evaluation value R and the amount of received light does not necessarily need to be always enabled. For example, when an operation for switching between enabling and disabling the function is accepted by the operation unit 18 and an operation for disabling the function is performed, steps S9 and S10 are always performed without executing steps S7 and S8 in FIG. , S11 may be executed. This switching is not limited to the one performed according to the operation by the operation unit 18, but may be performed according to the input of the switching signal from the external device.
- the above function may be disabled and the above function may be enabled when a predetermined condition such as the number of occurrences of errors exceeds an allowable value is satisfied. If there is a possibility that noise light may be incident depending on the time of day (such as sunlight entering through a window), the above function will be used at regular time intervals or at a set time based on an internal timer. The function may be disabled again after a predetermined time has elapsed.
- the senor 1 of the above embodiment applies the principle of triangulation, but the type of sensor is not limited to this, and a sensor that measures displacement by other methods is also used for arithmetic processing. Determine whether the change in the amount of received light or the change in the sensitivity parameter adjusted according to the change in the amount of received light falls within the allowable range, and execute the operation when it is determined that it falls within the allowable range Thus, it becomes possible to detect the detection object with high accuracy without being affected by noise light.
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
Abstract
計測用の光を投光する投光部(101)と、投光された光に対する計測対象物からの反射光を受光する受光部(102)と、受光部の受光状態に基づき計測対象物の変位を計測する計測処理部とを具備するセンサ(1)に適用される発明である。ノイズ光の入射により誤った計測が行われるのを防ぐために、当該センサの計測処理部には、受光量の変化の度合いを示すパラメータまたは受光量の増減に応じて調整される感度を示すパラメータの値があらかじめ定めた許容範囲に入るか否かを判別する判別手段と、判別対象のパラメータの値が許容範囲に入っていると判別されたときは計測結果が出力され、判別対象のパラメータの値が許容範囲を逸脱していると判別されたときは計測結果が出力されないようにする制御手段とが設けられる。
Description
本発明は、検出用の光を投光する投光部と、投光部からの光に対する計測対象物からの反射光を受光する受光部と、受光部の受光状態に基づき計測対象物の変位を計測してその計測結果を出力する計測処理部とを備える光学式変位センサに関する。
三角測距の原理に基づく光学式変位センサは、レーザダイオード等の発光素子を含む投光部と、1次元または2次元の受光素子を含む受光部とを備え、投光部からの光に対する計測対象物からの反射光を受光部が受光することにより生成される受光量分布データのピークの座標を検出し、この座標を変位量に換算して出力する。
このほか、光学式変位センサには、投光から受光までの時間の長さを用いるTOF(Time of Fright)方式を適用したセンサ、投光した光と受光した反射光との位相差を利用する位相差測距方式を適用したセンサ、PN符号により強度変調を施した光を投光し、その光と反射光との相関演算結果を用いた計測を行うPNコード測距方式を適用したセンサなどがある。
いずれのタイプの光学式変位センサでも、安定した計測を行うには、計測対象物の反射率や反射の状態が変動しても、一定レベル以上の受光量が維持できるように、感度をこまめに調整する必要がある。この点に関して、たとえば特許文献1には、三角測距式の光学式変位センサにおいて、反射光による受光量が常に飽和するようにシャッタの開時間(露光時間)などを調整し、受光量データ中の飽和画素群の中心の位置を受光量のピーク位置として検出し、そのピーク位置を高さデータに換算することが記載されている。
上記の変位を計測する原理を応用して、あらかじめ定めた基準の距離に物体があるか否かを判別するセンサもある。たとえば、特許文献2には、少なくとも一方向に配列された複数の受光素子によって、投光部からの光に対する物体からの反射光を受光し、各受光素子における受光量分布の中のピークの位置をあらかじめ定めた基準位置と照合することにより、物体の有無を判別することが記載されている。また、この特許文献2には、受光量分布から複数のピークが検出されたことをもって、多重反射が生じていると判別することが記載されている。
上記いずれのタイプのセンサでも、計測の精度を確保するには、センサの計測対象エリアからの反射光のみが受光部に導かれるのが望ましいが、センサの使用状態や周囲の環境によって、検出エリア外からの光が受光部に入射し、誤った処理が行われるおそれがある。その例を、以下、図6~図8を参照して説明する。
図6は、三角測距の原理を利用した光学式変位センサを利用したアプリケーションの例を示す。このアプリケーションでは、パレット20に搭載され、かつ2列に配列されて下方に移動する板状のワークを所定の高さ位置で検出することを目的とするもので、各列の検出対象位置の側方にそれぞれセンサ1,1が配備されている。各列ともに、厚みが異なる2種類のワークW1,W2がランダムな順序で搬送されるので、側方のセンサ1によって検出対象位置を通過する物体(ワークW1,W2およびパレット20)の端面とセンサ1との間の距離を計測し、ワークに対応する計測値が得られている間の時間の長さに基づき、ワークW1,W2のいずれが通過したかを判別する。
図7および図8は、上記のアプリケーションにおいて生じる誤検出の例を示す。図7の例では、図中の右側の列でワークの欠落が生じ、センサ1から斜め上方向に進行した光が欠落箇所の上方のパレット20、隣の列のワークW2,欠落箇所の下方のワークW1などで反射した後に、これらの反射を経た光(迷光)がセンサ1に入光している。
図7の例では、ワークW1,W2の配列は一列であり、このワークの列を挟んでセンサ1に対向する位置に、鏡面反射性の高い部材(鏡体)30が置かれている。この例では、ワークW1,W2の配列に欠落が生じ、センサ1から出てワークWの欠落箇所を通過した光が鏡体30の表面で正反射し、その正反射光がセンサ1に入光している。
なお、図7,図8の例では、ワークW1,W2の配列に欠落が出た場合を想定しているが、ワークが欠落していない場合でも、検出対象位置にワークが到達していない状態下で同様のノイズ光がセンサに入光する可能性がある。また、周囲で突発的に発生した光がセンサに入射する場合もある。検出の場所が窓に近い場合には、時間帯によっては窓から差し込んだ日光がセンサに入射する可能性もある。
これらのノイズ光がセンサ1に入光すると、センサ1からは、計測対象物とは異なる物体に起因する距離データが出力される。この距離データがワークW1,W2までの距離を示すものでない場合には、誤動作が生じるおそれはないが、ノイズ光がワークW1,W2までの距離を示す位置の付近に入射した場合には、ワークW1,W2のいずれかに相当する計測値が出力されて、誤った処理が行われるおそれがある。
特許文献2には、図6~8の例に類似するアプリケーションが示されているが、このアプリケーションでは、受光量分布から複数のピークが生じた場合に、それらのピークは多重反射を反映したものであり、ワークの端面は検出されていないと判断する(特許文献2の段落0073~0074,図19を参照。)。しかし、このような処理では、複数のピークが生じることなく、ワークW1,W2までの距離を示す位置付近にノイズ光が入射した場合には、誤検出が生じてしまう。
物体の変位を計測する目的で使用するセンサにおいて上記のようなノイズ光を受光した場合にも、同様に、ノイズ光に対する誤った計測が実施されると、計測精度を確保できない状態になる。
本発明は上記の問題に着目し、受光部にノイズ光が入射した場合でも、そのノイズ光による誤った計測が行われることがないようにして、計測の精度を確保することを課題とする。
本発明は、計測用の光を投光する投光部と、投光部からの光に対する計測対象物からの反射光を受光する受光部と、受光部の受光状態に基づき計測対象物の変位を計測して計測結果を出力する計測処理部とを具備する光学式センサに適用される。本発明による計測処理部は、受光部における受光量の変化の度合いを示すパラメータまたは受光量の増減に応じて調整される感度を示すパラメータの値があらかじめ定めた許容範囲に入るか否かを判別する判別手段と、この判別手段により判別対象のパラメータの値が許容範囲に入っていると判別されたときは計測結果が出力され、判別手段により判別対象のパラメータの値が許容範囲を逸脱していると判別されたときは計測結果が出力されないようにする制御手段とを具備する。
この種のセンサにおいては、一般に、計測を開始するに先立ち、計測対象物からの反射光を計測に適した強度で受光できるように感度を調整し、処理中も、適宜、受光量に基づいて感度を調整する。したがって、図6の例のように、規格化された物体(ワークW1,W2およびパレット20)を検出対象として計測を行う場合に、これらの物体からの反射光を正しく受光する状態が続いている間の受光量に大きな変化が生じるとは考えにくい。
一方、図7の例のように、様々な場所を廻ってセンサに入るノイズ光は、ワークW1,W2やパレット20からの反射光より弱い光になると考えられる。また、図8の例のような鏡体300からの正反射光は、ワークW1,W2やパレット20からの反射光よりも強い光になると考えられる。
このように、センサの計測エリアからの反射光の強度と計測エリア外からのノイズ光の強度との間には、大きな差が生じる可能性が高い。この点に着目して、本発明では、受光量の変化の度合いを示すパラメータ(たとえば、一次元に配列された受光素子により得た受光量分布のピークの値の変化量)、または受光量の増減に応じて調整される感度を示すパラメータの値が許容範囲に入っているときは計測結果が出力され、上記パラメータの値が許容範囲を逸脱しているときは計測結果が出力されないように制御する。そうすると、ノイズ光が受光部に入射した場合には、その受光量や受光量に基づき調整される感度に大きな変化が生じるので、ノイズ光による計測データが出力されるのを防ぐことができる。
上記のセンサでは、たとえば、判別手段によってパラメータの値が許容範囲に入っていると判別されたときに計測を行って、得られた計測データを出力するように構成される。または、投光・受光の都度、計測を行うが、判別手段によりパラメータの値が許容範囲を逸脱していると判別されたときに、計測結果の出力を中止するようにしてもよい。
上記のセンサの一実施形態では、計測処理部は、投光部および受光部の動作期間を決める露光時間、投光部における発光強度、および受光部における受光ゲインのうちの少なくとも1つを、受光部により得られた受光量の増減に応じて変更する感度調整手段をさらに備える。また、判別手段は、感度調整手段による処理が行われたことに応じて、この処理後の露光時間と発光強度と受光ゲインとを用いた演算によりこれら三者により調整される感度の高低を示す評価値を算出し、算出された評価値をあらかじめ定められた上限値および下限値と比較することにより、当該評価値が許容範囲に入るか否かを判別する。
上記の実施形態によれば、露光時間、発光強度、受光ゲインという3種類の感度パラメータのうちの1以上が変更される都度、その変更後の各感度パラメータにより調整される感度の高低を示す評価値が算出され、この評価値が許容範囲に入るか否かの判別が行われる。したがって、たとえば、あらかじめ、検出エリアからの反射光を受光している状態下で調整される感度に対する評価値のばらつきを求め、このばらつきの範囲が許容範囲に含まれるように上限値および下限値を定めれば、ノイズ光の受光に伴い調整された感度の評価値が許容範囲外であるか否かを高い確度で判別することができるので、誤った計測結果が出力されるのを防ぐことができる。
上記の実施形態では、計測処理部に、投光部および受光部ならびに感度調整手段を繰り返し動かして、受光量、露光時間、発光強度、および受光ゲインの各値を安定させる処理と、安定した露光時間と発光強度と受光ゲインとを用いた演算により上記評価値の基準値を算出する処理と、算出された基準値に基づき許容範囲を表す上限値および下限値を決定する処理とを、実行する設定手段を設けることができる。この設定手段によれば、計測処理に先立ち、計測に適した受光量が得られるように感度を調整した後に、その調整後の感度の評価値を基準にして、許容範囲の上限値および下限値を決めることができる。
設定手段の一実施形態では、演算により求めた基準値に1より大きい所定の係数αを乗算する演算により許容範囲の上限値を求めると共に、基準値に係数αの逆数1/αを乗算する演算により許容範囲の下限値を求めることができる。またこの係数αの値を入力する入力手段を設けることにより、誤った処理が行われない状態になるまで許容範囲を調整したり、計測対象物の変更に応じて許容範囲も変更することが可能になる。
上記センサの他の実施形態では、判別手段は、受光量の変化の度合いを示すパラメータまたは受光量の増減に応じて調整される感度を示すパラメータの値を、許容範囲を表す上限値および下限値と比較することにより、当該パラメータの値が許容範囲に入るか否かを判別する。さらに、この実施形態のセンサは、上限値および下限値を設定するためのデータを入力する入力手段と、入力されたデータに基づく上限値および下限値を判別手段に設定する設定手段とを具備する。
計測対象物からの反射光を受光している場合に生じる受光量の変動範囲は、対象物の材質、計測のベース面(変位が0の面)とセンサとの間の距離など、センサの使用環境上の様々な要素に応じて変動し、それに応じて感度調整の状態も変動する。上記の実施形態では、判別手段が使用する許容範囲を決める上限値および下限値を、入力に応じて設定することができるので、センサの利便性や汎用性を高めることができる。
本発明によれば、計測対象物からの反射光以外のノイズ光が受光部に入射した場合でも、そのノイズ光に起因する計測結果が出力されるのを防ぐことができるので、計測を安定して行うことが可能になる。
図1は、本発明が適用される光学式変位センサの電気構成を示す。
この実施例の光学式変位センサ1(以下、単に「変位センサ1」または「センサ1」という。)は、発光素子(レーザダイオード)11を含む投光部101や、一次元の受光素子12(この実施例ではCMOSを使用する。)を含む受光部102を有する。投光部101には、発光素子11のほか、投光制御回路13が含まれる。受光部102には、受光素子12のほか、この受光素子12により生成された画像信号を処理するための信号処理回路14やA/D変換回路15が設けられる。
この実施例の光学式変位センサ1(以下、単に「変位センサ1」または「センサ1」という。)は、発光素子(レーザダイオード)11を含む投光部101や、一次元の受光素子12(この実施例ではCMOSを使用する。)を含む受光部102を有する。投光部101には、発光素子11のほか、投光制御回路13が含まれる。受光部102には、受光素子12のほか、この受光素子12により生成された画像信号を処理するための信号処理回路14やA/D変換回路15が設けられる。
このほか、センサ1には、CPU10,メモリ16,表示部17,操作部18,入出力インターフェース19などが設けられる。投光部101および受光部102は、図2に示すセンサヘッド100に収容され、その他の構成は、「アンプ部」と呼ばれる補助筐体(図示せず。)に設けられる。ただし、センサの構成はこれに限らず、たとえば、全ての構成を1つの筐体に配備することも可能である。
CPU10は、メモリ16に格納されたプログラムに基づき、計測処理や感度調整に関わる処理を実行する。計測結果は、表示部17に表示されるほか、入出力インターフェース19を介して外部に出力される。操作部18は、検出処理に先立つ種々の設定を行う場合に用いられる。
図2は、センサヘッド100の構成および計測処理の原理を模式的に示す。
この例のセンサヘッド100は、発光素子11の光軸をワークWの経路Lの検出対象位置に合わせた状態にして配備されるが、上下動するワークを計測対象とする場合には、図6に示したように、ワークの経路の側方にセンサヘッド100を配備して、ワークの端面とセンサヘッド100との距離を計測してもよい。
この例のセンサヘッド100は、発光素子11の光軸をワークWの経路Lの検出対象位置に合わせた状態にして配備されるが、上下動するワークを計測対象とする場合には、図6に示したように、ワークの経路の側方にセンサヘッド100を配備して、ワークの端面とセンサヘッド100との距離を計測してもよい。
発光素子11から出射されたレーザ光は、投光レンズ111を介して出射された後に検出対象の物体で反射し、受光用レンズ122を介して受光素子12に入射する。よって、受光素子12により生成される一次元の反射光像が示す受光量分布には、反射光の入射位置に対応する箇所にピークが現れる。このピークの位置は、レーザ光を反射した物体の表面の高さに応じて変動する。
上記の原理に基づき、CPU10は、投光部101および受光部102を一定の周期で動かしながら、この周期に合わせて、受光部102により生成される受光量分布パターンに現れた最大ピークの重心の座標を計測し、メモリ16に登録されている変換テーブルを用いてこの座標を距離データに変換する。また、計測を安定して実施できるように、投光および受光の都度、受光量の最大ピークの増減に応じて感度を調整する。
なお、最大ピークの重心の座標から変換される距離データは、投光部からのレーザ光を当該重心の位置に向けて反射させた物体とセンサヘッド100との距離を表すもので、変換テーブルには、受光素子12の各座標と距離データとの関係が登録されている。ただし、変換の対象は距離に限らず、レーザ光を反射させた物体の高さが導出されるようにしてもよい。
なお、最大ピークの重心の座標から変換される距離データは、投光部からのレーザ光を当該重心の位置に向けて反射させた物体とセンサヘッド100との距離を表すもので、変換テーブルには、受光素子12の各座標と距離データとの関係が登録されている。ただし、変換の対象は距離に限らず、レーザ光を反射させた物体の高さが導出されるようにしてもよい。
上記の計測処理によれば、たとえば計測対象エリアにワークWが入っていない状態と計測対象エリアにワークWが入っている状態とを見分けることができる。また、図2の例のように計測対象のワークWに段差がある場合には、その段部を挟む2つの面の高低を識別することもできる。
しかしながら、受光量分布パターンに現れるピークの全てが計測対象エリアからの反射光により生じるとは限らず、周囲で生じたノイズ光の入射によってピークが生じる場合もある。
この点に鑑み、この実施例では、受光量パターン中のピークの位置を検出して計測を行う前に、そのピークに基づき調整される感度を示す評価値を求め、この評価値があらかじめ定めた許容範囲に入っている場合には計測処理を行って距離データを出力する。一方、感度の評価値が許容範囲から逸脱している場合には、距離データを出力せずにエラー出力を行うようにしている。
ここで、この実施例で実施される感度調整について説明する。
この実施例では、露光時間、投光されるレーザ光の強度(以下、「投光強度」という。)、受光量信号の増幅率(以下、「受光ゲイン」という。)の3種類のパラメータを調整することによって、受光量があらかじめ定めた目標値付近の値になるように感度を調整する。また、計測の開始に先立ち、ワークWを計測対象エリアに配置した状態で投光および受光を繰り返し、ワークWからの反射光によるピークの受光量が十分な強度になるように各感度パラメータを調整する。この処理は後記する「チューニング」処理において実行される。
チューニング処理の後、計測処理が開始された後も、毎回の受光量分布中の最大ピークのゆらぎに応じて感度パラメータが調整される。
この実施例では、露光時間、投光されるレーザ光の強度(以下、「投光強度」という。)、受光量信号の増幅率(以下、「受光ゲイン」という。)の3種類のパラメータを調整することによって、受光量があらかじめ定めた目標値付近の値になるように感度を調整する。また、計測の開始に先立ち、ワークWを計測対象エリアに配置した状態で投光および受光を繰り返し、ワークWからの反射光によるピークの受光量が十分な強度になるように各感度パラメータを調整する。この処理は後記する「チューニング」処理において実行される。
チューニング処理の後、計測処理が開始された後も、毎回の受光量分布中の最大ピークのゆらぎに応じて感度パラメータが調整される。
なお、この実施例では、投光部101の投光期間と受光部102の受光期間とを一致させて、これらの期間の長さを露光時間とするが、各期間は必ずしも一致させる必要はない。たとえば投光期間を受光期間より早く開始し、受光期間を投光期間より遅く終了しても良い。その場合には、投光期間が開始されてから受光期間が終了するまでの時間長さが露光時間となる。
投光強度の調整に関しては、最大値を1倍として、所定の比率で段階的に投光強度を小さくする。また受光ゲインに関しては、最小のゲインを1倍として、所定の比率で段階的にゲインを上げる。この実施例では、投光ゲインおよび受光ゲインともに、調整用の制御データを倍率で表すようにしている。
感度の調整は、原則として露光時間の調整により行われる。具体的には、受光量分布中の最大受光量を指標にして、最大受光量が減少した場合には、その減少の度合いに応じて露光時間を長くし、最大受光量が上昇した場合には、その上昇率に応じて露光時間を短くする。ただし、この露光時間の調整は、投光・受光に必要な最小限度の時間から処理の目的等に応じた最大時間までの範囲で行う必要がある。以下、この調整範囲の上限値を「最大露光時間」と呼び、下限値を「最小露光時間」と呼ぶ。この実施例では、露光時間を最小露光時間に設定しても最大受光量が飽和する場合には、投光強度や受光ゲインを下げ、露光時間を最大露光時間に設定しても最大受光量が十分な強度にならない場合には、投光強度や受光ゲインを上げる。
図3は、感度調整のための3種類のパラメータを導出する場合の具体的な処理の手順を示す。この処理は、次の図4に示す検出処理に組み込まれ、繰り返し実行される。また、この実施例では、現在の処理サイクルで検出した最大受光量P(t)とあらかじめ定めた受光量の目標値との比率に基づき感度パラメータを調整し、その調整の結果を、2段階後の検出処理に適用する。
以下、露光時間をST,投光強度をD,受光ゲインをGとして、フローチャートを参照しながら説明する。なお、各感度パラメータに関しては、現在の処理サイクルで適用された値(前々回の処理サイクルで求めた値)をST(t),D(t),G(t)とし、2段階後の処理サイクルに適用される値をST(t+2),D(t+2),G(t+2)とする。
まずステップS101において、CPU10は、受光量の目標値P0を現時点での最大受光量P(t)により除算した値P0/P(t)を、現在の処理サイクルに適用された露光時間ST(t)に掛ける演算によって、2サイクル先の露光時間ST(t+2)を算出する。
次に、CPU10は、上記の演算により求めた露光時間ST(t+2)を前出の最小露光時間および最大露光時間と比較する。ST(t+2)が最小露光時間から最大露光時間までの範囲に入る場合(ステップS102,S103がともに「NO」)には、このST(t+2)の値を確定すると共に、2サイクル先の投光強度D(t+2)および受光ゲインG(t+2)にそれぞれD(t),G(t)をセットする(ステップS108)。
すなわち、露光時間は最大受光量P(t)の増減の割合に応じて調整されるが、投光強度や受光ゲインの値は2サイクル前と同じ値に設定される。
すなわち、露光時間は最大受光量P(t)の増減の割合に応じて調整されるが、投光強度や受光ゲインの値は2サイクル前と同じ値に設定される。
一方、露光時間ST(t+2)が最小露光時間より小さい場合(ステップS102が「YES」)には、CPU10は、ST(t+2)の値を最小露光時間に変更する(ステップS104)。また、投光強度D(t+2)や受光ゲインG(t+2)を、変更前のST(t+2)の最小露光時間に対する逸脱の度合いに応じて、現在値より低い倍率に設定する(ステップS105)。
露光時間ST(t+2)が最大露光時間より大きい場合(ステップS102が「NO」でステップS103が「YES」)には、CPU10は、ST(t+2)の値を最大露光時間に変更する(ステップS106)。また、投光強度D(t+2)や受光ゲインG(t+2)を、変更前のST(t+2)の最大露光時間に対する逸脱の度合いに応じて、現在値より高い倍率に設定する(ステップS107)。
上記の処理によれば、最大受光量P(t)が大幅に上昇した場合には、露光時間ST(t+2)が最小露光時間まで短縮されると共に、投光強度や受光ゲインが引き下げられる。一方、最大受光量P(t)が大幅に低下した場合には、露光時間ST(t+2)が最大露光時間まで引き上げられると共に、投光強度や受光ゲインも引き上げられる。いずれの場合にも、2サイクル後に再びP(t)と同じ強度の光を受光した場合には、その受光量が目標値P0になるように感度が調整される。
最大受光量P(t)の上昇幅または減少幅が大きくなるほど、投光強度や受光ゲインの倍率の変動幅も大きくなる。
最大受光量P(t)の上昇幅または減少幅が大きくなるほど、投光強度や受光ゲインの倍率の変動幅も大きくなる。
つぎに図4を参照して、1サイクル分の計測処理の手順を説明する。
ステップS1で、CPU10は、本サイクルに適用される感度パラメータST(t),D(t),G(t)をメモリ16から読み出し、これらのパラメータにより調整された感度の下で投光部101および受光部102を動作させる(ステップS1,S2)。
ステップS1で、CPU10は、本サイクルに適用される感度パラメータST(t),D(t),G(t)をメモリ16から読み出し、これらのパラメータにより調整された感度の下で投光部101および受光部102を動作させる(ステップS1,S2)。
つぎに、CPU10は、受光素子12により生成された反射光像を入力し、この反射光像が示す受光量分布の中から、あらかじめ定めた値(ごく小さな振幅とする。)以上の振幅を持つピークを検出する(ステップS3)。ピークが検出されると(ステップS4が「YES」)、検出されたピークのうちの最大のピークを対象として、そのピーク部分の最大受光量P(t)を取得する(ステップS5)。
ステップS6は、先の図3に示した処理(ステップS101~S108)をまとめたものである。この処理により、ステップS5で取得した最大受光量P(t)および受光量の目標値P0の比率などに基づき、2サイクル先の各感度パラメータST(t+2),D(t+2),G(t+2)が導出される。
ステップS7では、上記の処理により求めた各感度パラメータST(t+2),D(t+2),G(t+2)を掛け合わせる演算により、これらの感度パラメータにより調整される感度の高低を表す評価値Rを算出する。ステップS8ではこの評価値Rをあらかじめ定めた下限値RAおよび上限値RBと比較する。評価値Rが下限値RAから上限値RBまでの範囲に含まれる場合(ステップS8が「YES」)には、CPU10は、最大受光量P(t)の出現位置を含む最大ピークの重心の座標g(t)を算出する(ステップS9)。さらに、先に述べた変換テーブルを用いて座標g(t)を距離データに換算し(ステップS10)、この距離データを出力する(ステップS11)。
一方、上記の評価値Rが下限値RAより小さいか、評価値Rが上限値RBより大きい場合(ステップS8が「NO」)には、ステップS9,S10,S11を行うことなく、エラー出力(ステップS12)を実行する。また何らかの原因で投光部101からの光に対する反射光を受光できなかった場合には、ステップS3の処理でピークが検出されないため、ステップS4の判定が「NO」となり、同様にステップS12に進んでエラー出力を実行する。
この実施例では、ワークWを安定して計測するために、事前にワークWからの反射光による受光量のピークが最適な強度になるように感度パラメータを調整してから図4の処理を開始する。よって、ステップS3やS5の処理により抽出された受光量の最大ピークが、計測対象エリア内の物体(ワークWまたはその支持面)からの反射光により生成されている場合は、その反射を生じさせる物体の種類が替わった直後を除き、最大受光量P(t)に大きな変化が生じることはない。また反射を生じさせる物体が替わった直後の変動の幅も比較的小さな範囲に留めることができる。したがって、計測対象エリアからの光により受光量の最大ピークが形成されている場合には、殆どの場合は露光時間STの調整のみで対応でき、投光強度や受光ゲインの調整が必要になった場合でも、小幅の調整で対応することができる。
しかし、ワークWからの反射光が入光せずに、ノイズ光が入光した場合には、最大ピークに大きな変化が生じる可能性が高くなる。たとえば、先に述べた図7の例のように、センサ1の主要な光路から離れて進行した弱い光が複数の場所で反射してセンサ1に戻る場合には、そのノイズ光によるピークの受光量P(t)はかなり低くなり、目標値P0とP(t)の比率により算出された露光時間ST(t+2)は最大露光時間を大幅に上回る状態となる。このため、露光時間ST(t+2)は最大露光時間に変更され、投光強度Dや受光ゲインGが大幅に高められる。よって、各感度パラメータの積算値による評価値Rも大きな値になる。
また図8の例のように、強度の高い正反射光が入光すると、最大ピークが飽和する可能性があるから、その飽和レベルをP(t)として導出される露光時間ST(t+2)は、最小露光時間を大幅に下回る状態となる。このため、露光時間ST(t+2)は最小露光時間に変更され、投光強度Dや受光ゲインGが大幅に引き下げられる。よって評価値Rも小さな値になる。
評価値Rの許容範囲については、たとえば、計測対象エリアからの反射光により受光量の最大ピークが形成されている状態下で生じる各感度パラメータのばらつきに基づいて評価値Rのばらつきの範囲を求め、この範囲が許容範囲に含まれるように上記の下限値RAおよび上限値RBを定めてメモリ16に登録すればよい。登録された下限値RAおよび上限値RBを用いて図4に示した計測処理を実行すれば、ノイズ光による受光量が最大受光量P(t)として検出され、それに基づき調整された感度パラメータが大きな変化を示したとしても、ステップS8の判定が「NO」となるため、ノイズ光による誤った距離データが算出されて出力されるおそれがない。よって、精度の良い計測処理を安定して実施することが可能になる。
上記のとおり、この実施例では、投光および受光を繰り返しながら、毎回のサイクルにおける最大受光量と目標値との比率に基づいて2サイクル先の感度パラメータを導出すると共に、導出された感度パラメータの適否を判別するための評価値を求め、この評価値が許容範囲に入るか否かを判別した。ただし、2サイクル先の感度パラメータを導出したのは、検出処理のサイクルが比較的短い場合でも、感度の調整を安定して実行するための措置であり、CPU10の演算速度が対応できるのであれば、次のサイクルの感度パラメータを導出し、それらの感度パラメータによる評価値Rが許容範囲に入るか否かを判別してもよい。
また図4に示した処理では、露光時間の変化の度合いが下限値RAおよび上限値RBが示す許容範囲から逸脱した場合には、計測処理が実施されないようにしているが、これに限らず、計測処理を常に実行し、評価値Rが許容範囲から逸脱した場合に計測データの出力を中止するようにしてもよい。
また、計測の精度を高めるために、1回の投光および受光により計測された距離データではなく、現時点から遡る複数のサイクルで求めた距離データの平均値を求める演算(移動平均演算)を行い、この平均値を計測結果として出力してもよい。この場合にも、投光および受光の都度、感度の調整および評価値Rの算出を行い、評価値Rが許容範囲を逸脱した場合には、移動平均演算を中止、または平均値の出力を中止するのが望ましい。また評価値Rが許容範囲を逸脱した後に許容範囲以内の値に復帰した場合には、移動平均演算や出力を再開しても良いが、評価値Rが許容範囲を逸脱していた間の距離データは、移動平均演算の対象から除外するのが望ましい。
つぎに、この実施例のセンサ1には、計測処理に先立ち、投光および受光を繰り返しながら計測に必要な条件を決定する機能が設けられる。この機能による処理が先に述べた「チューニング」処理である。
チューニング処理には、受光量の最大ピークが前出の目標値P0付近で安定するように感度を調整する処理が含まれる。したがって、ワークWのモデルを計測対象エリアに配置した状態でチューニング処理を行うことにより、ワークWからの反射光による受光量のピーク値を目標値P0付近の値にすることができる。
チューニング処理には、受光量の最大ピークが前出の目標値P0付近で安定するように感度を調整する処理が含まれる。したがって、ワークWのモデルを計測対象エリアに配置した状態でチューニング処理を行うことにより、ワークWからの反射光による受光量のピーク値を目標値P0付近の値にすることができる。
また、この実施例のセンサ1には、応答時間が異なる複数種の計測モードが設けられており、これらの計測モード毎に、デフォルトの計測条件が登録されている。なお、応答時間とは、ある時点における投光・受光に対しCPU10が計測結果を出力するまでにかかる時間の長さであり、投光および受光を行う周期(以下、「測定周期」という。)、最大露光時間、前出の移動平均演算の回数などにより変動する。上記のチューニング処理で設定される感度パラメータも、計測モードによって異なるものになる。
さらに、この実施例では、チューニング処理により感度を調整した後に、その調整結果に基づいて評価値Rの下限値RAおよび上限値RBを求め、登録することができる。
図5は、このチューニング処理から下限値RAおよび上限値RBを登録する処理までをまとめたフローチャートである。以下、この図5を参照して各処理の流れを説明する。
図5は、このチューニング処理から下限値RAおよび上限値RBを登録する処理までをまとめたフローチャートである。以下、この図5を参照して各処理の流れを説明する。
チューニング処理を行うに先立ち、ユーザは、いずれかの計測モードを選択する操作を行うと共に、検出対象位置にワークWを配置し、操作部18によりチューニング処理の開始を指示する。これにより、図5に示す処理が開始される。
この処理の最初のステップS21では、まず選択された計測モードに対応するデフォルトの計測条件を読み出す。この計測条件には、測定周期、最小露光時間、最大露光時間、投光強度および受光ゲインのそれぞれの最大倍率(選択された計測モードにおいて調整が認められる最大の倍率)が含まれる。
ステップS21では、上記デフォルトの計測条件の範囲内で露光時間ST,投光強度D,受光ゲインGを初期設定する。たとえば、露光時間STにデフォルトの最小露光時間を設定し、投光強度Dおよび受光ゲインGを1倍に設定する。
この後は、最大受光量が目標値P0付近で安定すると共に、各感度パラメータST,D,Gがほぼ一定の値で安定する状態になるまで、投光・受光処理と感度調整処理(図3のステップS101~S108と同様の処理)とを繰り返す(ステップS22~S25)。
最大受光量および各感度パラメータが安定すると(ステップS23,S24が「YES」)、ステップS26に進み、安定した露光時間STをST0、安定した投光強度DをD0、安定した受光ゲインGをG0とし、これらの値に基づき計測条件を決定する。ここで決定される計測条件にも、測定周期、最小露光時間、最大露光時間、投光強度および受光ゲインの最大倍率が含まれる。さらに、前述した移動平均演算のデータ数(1以上の整数)も計測条件に加えられる。
なお、この実施例のセンサ1のメモリ16には、計測モード毎に、経験的に導出された計測条件を露光時間の値により読み出せるように設定された計測条件テーブルが登録されている。ステップS26では、安定した露光時間ST0によりこの計測条件テーブルを参照してST0にあてはまる計測条件を読み出し、これを計測のために登録する。
計測条件テーブルに登録されている計測条件は、いずれも、対応する計測モードのデフォルトの露光時間の許容範囲を逸脱しないように最小露光時間および最大露光時間が定められている。測定周期や投光強度もデフォルト値以下の値になるように設定される。一方、受光ゲインはデフォルト値を上回る場合もある。さらに、対応する計測モード内の応答時間や最大露光時間を満足する範囲で移動平均演算のデータ数(1以上の整数)が求められ、これも計測条件に加えられる。
計測条件テーブルに登録されている計測条件は、いずれも、対応する計測モードのデフォルトの露光時間の許容範囲を逸脱しないように最小露光時間および最大露光時間が定められている。測定周期や投光強度もデフォルト値以下の値になるように設定される。一方、受光ゲインはデフォルト値を上回る場合もある。さらに、対応する計測モード内の応答時間や最大露光時間を満足する範囲で移動平均演算のデータ数(1以上の整数)が求められ、これも計測条件に加えられる。
ステップS26により計測条件が決定すると、つぎのステップS27では、安定した露光時間ST0,投光強度D0,受光ゲインG0を乗算する演算により、感度パラメータの評価値Rの基準値R0を算出する。この基準値R0は、好ましい感度を示すものとなる。
ステップS28では、上記の基準値R0に所定の係数α(α>0)を乗算する演算により、評価値Rの上限値RBを算出する。また、基準値R0にαの逆数1/αを乗算する演算により、評価値Rの下限値RAを算出する。そして、ステップS29において、RAおよびRBをメモリ16に登録し、これをもって処理を終了する。
上記のチューニング処理後に選択された計測モードに移行すると、先の図4に示した手順による計測処理が開始される。チューニング処理により求められた下限値RAおよび上限値RBは、毎回の感度調整の評価値Rを判定する処理(ステップS8)に用いられる。
図5の処理によれば、ワークWからの反射光を受光している状態下での感度調整が終了したときの感度パラメータST0,D0,G0による評価値Rを基準値R0として、この基準値R0より十分に大きい値を上限値RBとし、基準値R0より十分に小さな値を下限値RAとして、それぞれ登録することができる。よって、ワークWからの反射光による受光量との差が極端に大きい受光量は下限値RAおよび上限値RBによる許容範囲から外れるようになる。
RA,RBの導出に用いられるαの値は、必要に応じて変更することができる。たとえば、デフォルトのαの値によりRAおよびRBを求めた後に、試験的な計測を行い、誤動作が生じた場合には、αの値を変更してRAおよびRBを再度算出し、再び試験的な計測を実行する。これを繰り返すことによりノイズ光による誤計測が生じない状態になったとき、RAおよびRBの値を確定することができる。
ただし、αやR0を用いることなく、チューニング処理後に、RAおよびRBの値を変更しながら試験的な計測を行う方法によって、RAおよびRBの値を確定してもよい。
ただし、αやR0を用いることなく、チューニング処理後に、RAおよびRBの値を変更しながら試験的な計測を行う方法によって、RAおよびRBの値を確定してもよい。
αまたはRAおよびRBの値を変更しながら試験的な計測を行う場合には、変更する対象の数値を操作部18により入力することができる。または、図1に示した入出力インターフェース19を介してパーソナルコンピュータなどの外部機器を接続し、この外部機器から変更対象の数値を入力してもよい。この場合には、検出テスト中のセンサの検出信号を外部機器に入力して、検出エラーの有無を確認しながら、入力値を変更することも可能である。
また、移動するワークWを計測する場合には、通常の計測と同じ条件でワークWを移動させて感度調整を行いながら評価値Rを算出し、評価値Rのばらつき度合いに基づいてRAおよびRBの値を決めてもよい。このようにすれば、ワークWの支持面からの光の入射に伴う感度の変化も考慮してRAおよびRBの値を決めることができる。また、ワークWに段差や反射率が異なる箇所がある場合には、1つのワークWが検出対象位置を通過する間の受光量のばらつきを考慮してRAおよびRBの値を決めることができる。
複数種のワークを検出対象とする場合には、ワークの種毎に、RAおよびRBの値を求め、各値の組み合わせをワークの識別情報に紐付けてメモリ15に登録しておくとよい。このようにすれば、計測対象のワークが変更される場合には、ユーザは、該当するワークの識別情報を選択することにより、対象のワークの計測に適した状態を設定することができる。
上記の実施例では、3種類の感度パラメータによる感度の高低を評価値Rというパラメータに置き換えて表し、この評価値Rが許容範囲に入るか否かをワークWの計測結果を出力するか否かの判定条件としたが、評価値Rに代えて、毎回の最大受光量の変化の度合いを求め、この変化の度合いが許容範囲に入るか否かを判別してもよい。なお、最大受光量の変化の度合いを示すパラメータとして、たとえば、1サイクル前または2サイクル前の最大受光量に対する最新の最大受光量の比率や、目標値に対する最大受光量の比率を求めることができる。
また、このように受光量の変化の度合いによる判別を行う場合には、撮像素子12とは別の受光素子を設け、この受光素子により計測された受光量を用いた判別処理を行ってもよい。
また、このように受光量の変化の度合いによる判別を行う場合には、撮像素子12とは別の受光素子を設け、この受光素子により計測された受光量を用いた判別処理を行ってもよい。
評価値Rや受光量の変化の度合いを判別しながらワークWの有無を検出する機能は、必ずしも常時有効にする必要はない。たとえば、操作部18により当該機能の有効と無効とを切り替える操作を受け付けて、無効にする操作が行われた場合には、図4のステップS7,S8を実行することなく、常にステップS9,S10,S11が実行されるようにしてもよい。この切り替えも、操作部18による操作に応じて行うものに限らず、外部機器からの切替信号の入力に応じて行ってもよい。
また、通常は、上記の機能を無効にしておき、エラーの発生回数が許容値を超えたことなど、あらかじめ定めた条件が成立した場合に、上記機能を有効にしてもよい。また、時間帯によってノイズ光が入射する可能性がある場合(窓から差し込む日光など)には、内部のタイマに基づき、一定時間毎に、または定められた時刻になったときに、上記の機能を有効にし、さらに所定時間が経過したら、再び、機能を無効にしてもよい。
また、上記実施例のセンサ1は、三角測距の原理を応用したものであるが、センサの種類はこれに限らず、その他の方式により変位を計測するセンサにおいても、演算処理に使用される受光量の変化の度合い、または受光量の変化に応じて調整される感度パラメータの変化の度合いが許容範囲に入るかどうかを判別し、許容範囲に入ると判断された場合に演算を実行することにより、ノイズ光の影響を受けることなく、検出対象物を精度良く検出することが可能になる。
1 光学式センサ
101 投光部
102 受光部
10 CPU
11 発光素子(レーザダイオード)
12 撮像素子(CMOS)
16 メモリ
18 操作部
101 投光部
102 受光部
10 CPU
11 発光素子(レーザダイオード)
12 撮像素子(CMOS)
16 メモリ
18 操作部
Claims (6)
- 計測用の光を投光する投光部と、投光部からの光に対する計測対象物からの反射光を受光する受光部と、前記受光部の受光状態に基づき前記計測対象物の変位を計測して計測結果を出力する計測処理部とを具備するセンサであって、
前記計測処理部は、前記受光部における受光量の変化の度合いを示すパラメータまたは受光量の増減に応じて調整される感度を示すパラメータの値があらかじめ定めた許容範囲に入るか否かを判別する判別手段と、この判別手段により判別対象のパラメータの値が許容範囲に入っていると判別されたときは前記計測結果が出力され、判別手段により判別対象のパラメータの値が許容範囲を逸脱していると判別されたときは前記計測結果が出力されないようにする制御手段とを具備する、光学式変位センサ。 - 前記計測処理部は、投光部および受光部の動作期間を決める露光時間、投光部における発光強度、および受光部における受光ゲインのうちの少なくとも1つを、前記受光部により得られた受光量の増減に応じて変更する感度調整手段をさらに備え、
前記判別手段は、前記感度調整手段による処理が行われたことに応じて、この処理後の露光時間と発光強度と受光ゲインとを用いた演算によりこれら三者により調整される感度の高低を示す評価値を算出し、この評価値をあらかじめ定められた上限値および下限値と比較することにより、当該評価値が許容範囲に入るか否かを判別する、請求項1に記載された光学式変位センサ。 - 前記計測処理部は、投光部および受光部ならびに感度調整手段を繰り返し動かして、受光量、露光時間、発光強度、および受光ゲインの各値を安定させる処理と、安定した露光時間と発光強度と受光ゲインとを用いた演算により前記評価値の基準値を算出する処理と、算出された基準値に基づき前記許容範囲を表す上限値および下限値を決定する処理とを、実行する設定手段を、さらに具備する請求項2に記載された光学式変位センサ。
- 前記設定手段は、前記上限値および下限値を決定する処理において、前記演算により求めた基準値に1より大きい所定の係数αを乗算する演算により前記許容範囲の上限値を求めると共に、前記基準値に前記係数αの逆数1/αを乗算する演算により前記許容範囲の下限値を求める、請求項3に記載された光学式変位センサ。
- 前記係数αの値を入力する入力手段をさらに具備する請求項4に記載された光学式変位センサ。
- 前記判別手段は、前記受光量の変化の度合いを示すパラメータまたは受光量の増減に応じて調整される感度を示すパラメータの値を、前記許容範囲を表す上限値および下限値と比較することにより、当該パラメータの値が許容範囲に入るか否かを判別し、
前記上限値および下限値を設定するためのデータを入力する入力手段と、入力されたデータに基づく上限値および下限値を前記判別手段に設定する設定手段とを、さらに具備する請求項1に記載された光学式変位センサ。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011262537A JP5903855B2 (ja) | 2011-11-30 | 2011-11-30 | 光学式変位センサ |
JP2011-262537 | 2011-11-30 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
WO2013080726A1 true WO2013080726A1 (ja) | 2013-06-06 |
Family
ID=48535194
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
PCT/JP2012/077964 WO2013080726A1 (ja) | 2011-11-30 | 2012-10-30 | 光学式変位センサ |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5903855B2 (ja) |
TW (1) | TWI500950B (ja) |
WO (1) | WO2013080726A1 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7057655B2 (ja) * | 2017-12-15 | 2022-04-20 | キヤノン株式会社 | 計測装置、リソグラフィ装置、物品の製造方法、および計測方法 |
JP2020003659A (ja) * | 2018-06-28 | 2020-01-09 | オリンパス株式会社 | 拡大観察装置 |
TWI683085B (zh) * | 2018-10-12 | 2020-01-21 | 國立交通大學 | 光學位移感測系統 |
JP7152730B2 (ja) * | 2020-10-28 | 2022-10-13 | 大成建設株式会社 | 吹付厚管理装置およびトンネル施工方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003014417A (ja) * | 2001-06-28 | 2003-01-15 | Omron Corp | 光学式変位センサ |
JP2007101215A (ja) * | 2005-09-30 | 2007-04-19 | Sunx Ltd | 形状測定方法、形状測定システム及び形状測定装置 |
JP2009156790A (ja) * | 2007-12-27 | 2009-07-16 | Sunx Ltd | 変位センサ |
JP2010048606A (ja) * | 2008-08-20 | 2010-03-04 | Sharp Corp | 光学式測距センサおよび電子機器 |
JP2010122127A (ja) * | 2008-11-21 | 2010-06-03 | Sunx Ltd | 光学式変位センサシステム、コンソール、コントローラ、およびプログラム |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000172897A (ja) * | 1998-12-04 | 2000-06-23 | Hitachi Asahi Electronics Co Ltd | 光学式2枚検知装置のセンサ調光方法 |
US7304744B1 (en) * | 1998-12-24 | 2007-12-04 | Sharp Kabushiki Kaisha | Apparatus and method for measuring the thickness of a thin film via the intensity of reflected light |
JP3951087B2 (ja) * | 2000-03-31 | 2007-08-01 | オムロン株式会社 | 光学式変位計 |
SE0103286L (sv) * | 2001-10-03 | 2003-04-04 | Anoto Ab | Optisk sensoranordning och förfarande för att reglera dess exponeringstid |
JP3827557B2 (ja) * | 2001-11-01 | 2006-09-27 | 松下電器産業株式会社 | 光学計測装置、及び光学計測方法 |
JP2008051556A (ja) * | 2006-08-22 | 2008-03-06 | Sii Nanotechnology Inc | 光学式変位検出機構及びそれを用いた表面情報計測装置 |
TW200942814A (en) * | 2008-04-01 | 2009-10-16 | Beyond Innovation Tech Co Ltd | Optical device and calibration method thereof |
CN102003954B (zh) * | 2010-09-25 | 2013-12-25 | 武汉理工大学 | 数字摄影测量光学参数自动配置系统 |
-
2011
- 2011-11-30 JP JP2011262537A patent/JP5903855B2/ja active Active
-
2012
- 2012-10-30 WO PCT/JP2012/077964 patent/WO2013080726A1/ja active Application Filing
- 2012-10-31 TW TW101140266A patent/TWI500950B/zh active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003014417A (ja) * | 2001-06-28 | 2003-01-15 | Omron Corp | 光学式変位センサ |
JP2007101215A (ja) * | 2005-09-30 | 2007-04-19 | Sunx Ltd | 形状測定方法、形状測定システム及び形状測定装置 |
JP2009156790A (ja) * | 2007-12-27 | 2009-07-16 | Sunx Ltd | 変位センサ |
JP2010048606A (ja) * | 2008-08-20 | 2010-03-04 | Sharp Corp | 光学式測距センサおよび電子機器 |
JP2010122127A (ja) * | 2008-11-21 | 2010-06-03 | Sunx Ltd | 光学式変位センサシステム、コンソール、コントローラ、およびプログラム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI500950B (zh) | 2015-09-21 |
JP2013113796A (ja) | 2013-06-10 |
JP5903855B2 (ja) | 2016-04-13 |
TW201321784A (zh) | 2013-06-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11125876B2 (en) | Lidar system and method for ascertaining a system state of a lidar system | |
US9651663B2 (en) | Distance measurement apparatus | |
TWI420081B (zh) | 測距系統及測距方法 | |
EP1607766B1 (en) | Light wave distance measuring method and light wave distance measuring system | |
EP2437029B1 (en) | Distance measuring instrument | |
JP5218494B2 (ja) | 変位センサ | |
JP5711925B2 (ja) | 光測距装置 | |
JP5974561B2 (ja) | 光学式センサおよび感度調整制御のための設定方法 | |
JP5903855B2 (ja) | 光学式変位センサ | |
US10481264B2 (en) | Laser processing device and laser processing system | |
JP5310680B2 (ja) | 変位センサ | |
US9677873B2 (en) | Apparatus, method and computer program for determining a distance to an object using a determined peak width of a self-mixing interference (SMI) signal | |
JP2008089593A (ja) | 測距装置および測距方法 | |
JP5760938B2 (ja) | 光学式センサ | |
JP7329943B2 (ja) | 検出装置及び移動装置 | |
JP2005208027A (ja) | 距離測定装置、光学測定装置及びこれらの距離測定方法 | |
JP4545580B2 (ja) | 面内方向変位計 | |
US20240255639A1 (en) | Measurement method and non-contact displacement detection apparatus thereof | |
JP2010156603A (ja) | 厚さ測定装置及び厚さ測定方法 | |
JP2799492B2 (ja) | 位置または長さの測定装置 | |
JP2023183315A (ja) | 発光装置、光測距装置、及び、画像形成装置 | |
JPH0715374B2 (ja) | 形状検出方法 | |
JPH05100152A (ja) | カメラの測距装置 | |
JP2011038963A (ja) | 斜入射干渉計 | |
JP2011214922A (ja) | 光電センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
121 | Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application |
Ref document number: 12853872 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |
|
NENP | Non-entry into the national phase |
Ref country code: DE |
|
122 | Ep: pct application non-entry in european phase |
Ref document number: 12853872 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |