JP3951087B2 - 光学式変位計 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、計測光の照射により光スポットが形成された計測対象物表面を撮像素子を介して撮影し、得られた画像中の光スポット像の位置情報に基づいて目的とする変位を求める光学式変位計に係り、特に、高反射率物体等に対応して計測光の光量が自動制御により極端に絞られた場合にも、計測位置の視認性を良好に維持できるようにした光学式変位計に関する。
【0002】
【従来の技術】
この種の光学式変位計は、計測光の照射により光スポットが形成された計測対象物表面を撮像素子を介して撮影し、得られた画像中の光スポット像の位置情報に基づいて目的とする変位を所定の測距原理を利用して求めるように構成されている。測距原理として代表的なものとしては、三角測距応用の光切断法が挙げられる。
【0003】
計測対象物体上の光スポットから撮像素子への入射光量は、計測対象物の表面反射率や計測対象物との位置関係等に応じて様々である。実際、黒色物体である場合や高反射率物体であっても直接反射光が到来しにくい位置関係にある場合と、白色物体である場合や高反射率物体であって直接反射光が到来する位置関係にある場合とでは、撮像素子への入射光量には約数万倍の差がある。
【0004】
高精度計測のためには、撮像素子からの画像の中に計測光による光スポット像が鮮明に現れることが必要である。撮像素子への計測光入射光量が多すぎると、その部分の映像信号が飽和して、計測光による光スポット像が潰れ計測に必要な特徴は失われる。撮像素子への計測光入射光量が少なすぎると、SNが悪化して、計測光による光スポット像は不鮮明となる。いずれの場合にも、計測精度は著しく低下する。したがって、計測対象物の表面反射率や計測対象物との位置関係等に拘わらず、撮像素子からの映像中の計測光による光スポット像を鮮明に維持する必要がある。
【0005】
特開平10−267648号公報に記載された従来技術では、撮像素子からの画像中の計測光の光スポット像は、デジタルサーボ技術により適正な輝度に制御される。すなわち、撮像素子からの映像信号は一旦画素毎にデジタル化され、その後、それらの中でピークデジタル値が撮像素子への計測光入射光量の『検出値』と推定される。推定された『検出値』は予め設定された撮像素子への計測光入射光量の『目標値』と比較され、それらの『偏差』が求められる。その後、『偏差』が減少する方向へと、発光素子の点灯時間や発光パワーが『操作』される。なお、鈎括弧の語は、サーボ系の技術用語である。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
上述の従来技術においては、サーボ制御技術を用いて投光ゲイン調整要素(発光素子の点灯時間や発光パワー等)を操作することにより、撮像素子への入射光量を適正値に制御するため、検出対象物体が高反射率物体であるような場合には、計測光の光量がサーボ制御により極端に絞られてしまい、計測光の光スポットによる計測位置の目視確認に支障を来す虞がある。
【0007】
この発明は、このような従来の問題点に着目してなされたもので、その目的とするところは、高反射率物体等に対応して計測光の光量が自動制御により極端に絞られた場合にも、計測位置の視認性を良好に維持できるようにした光学式変位計を提供することにある。
【0008】
この発明の他の目的並びに作用効果については、以下の明細書の記載に基づいて、当業者であれば容易に理解されるであろう。
【0009】
【課題を解決するための手段】
この発明の光学式変位計は、周期的にシャッタを開いて計測対象物体を撮影する撮像素子を含む受光手段と、撮像素子のシャッタ開期間に同期して周期的に発光する発光素子からの光を計測対象物体上に投光して計測用光スポットを形成するする投光手段と、受光手段から得られる画像中の光スポット像の位置情報に基づいて目的とする変位を算出する演算手段と、投光手段の投光ゲイン調整要素を操作することにより、撮像素子への入射光量を適正値に制御する制御手段と、を有している。また、光学式変位計には、撮像素子のシャッタ閉期間に同期して、計測対象物体上の計測用光スポットと同位置に投光して視認用光スポットを形成する視認用投光手段が具備されている。
【0010】
このような基本構成によれば、高反射率物体等に対応して計測光の光量がサーボ制御により極端に絞られた場合にも、視認用光スポットの投光は撮像素子のシャッタ閉期間に行われるため、変位計測処理には支障を与えることなく、計測位置の視認性を良好に維持できる。
【0011】
本発明の光学式変位計は、上述の基本構成に加えて、視認用光スポットの光源となる発光素子と計測用光スポットの光源となる発光素子とは同一であり、かついずれの光スポットを形成する場合にも同一波長の可視光を発光する、と言う特徴を有するものである。このような構成によれば、人間の目に感ずる明るさは、両光スポットの照射光量の総和に比例するから、視認用光スポットの照射光量を極端に上げずとも、適切な視認性を得ることができる。また、本発明によれば、視認用光スポットの光源となる発光素子と計測用光スポットの光源となる発光素子とが同一であるので、コスト的にも有利である。
【0012】
実施の形態においては、計測用光スポットの照射光量が増加すれば、視認用光スポットの照射光量は減少し、計測用光スポットの照射光量が減少すれば、視認用光スポットの照射光量は増加するように設定し、あるいは、視認用光スポットの照射光量と計測用光スポットの照射光量との間には相補的関係が設定されている、ことが好ましい。このような構成によれば、人間の目に感ずる明るさは、両光スポットの照射光量の総和に比例するから、計測位置を示す光スポットの明るさは常にほぼ一定となり、違和感を与えない利点がある。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明に係る光学式変位計の実施の一形態を添付図面を参照しながら詳細に説明する。
【0014】
本発明の一実施形態である光学式変位計の電気的構成の全体を示すブロック図が図1に示されている。同図に示されるように、この光学式変位計(一般に、変位センサとも称される)100は、センサヘッド部1とセンサ本体部2とを含んでいる。
【0015】
センサヘッド部1は、計測対象物体3の表面に計測光を照射し、その状態で計測対象物体3の表面を撮影して、計測光の光像を含む計測対象物体表面の映像信号vsを生成する。なお、図中、4は計測光の照射光、5は計測光の反射光である。センサ本体部2は、センサヘッド部1から得られた映像中の計測光による光像位置から、所定の測距原理(例えば三角測量法等)にしたがって、目的とする変位量(移動量や寸法等)を計測し、変位量計測値として出力する。
【0016】
センサヘッド部1の内部構成が図2に詳細に示されている。同図に示されるように、センサヘッド部1の内部には、計測光を計測対象物体3へと照射するための投光系要素(LD駆動回路111、LD112、投光レンズ113)と、計測対象物体3からの反射光を受光するための受光系要素(受光レンズ121、CCD122、増幅回路123、HPF124、P/H回路125、AGC増幅回路126)とが含まれている。
【0017】
投光系要素について説明する。タイミング信号発生回路101は、レーザダイオード(以下、LDと言う)112を発光させるためのLD駆動パルス信号P1を発生する。LD駆動パルス信号P1に応答してLD駆動回路111がLD112をパルス発光させる。また、タイミング信号発生回路はLD駆動回路を介してパルス状レーザ光のピークパワーを制御する。LD112から出射されたパルス状レーザ光は、投光レンズ113を通して、計測対象物体3の表面に計測光(照射光4)として照射される。これにより、計測対象物体3の表面には、計測光の照射による線状或いは点状の光像(光スポット)が形成される。
【0018】
受光系要素について説明する。計測対象物体3で反射した計測光(反射光5)は、受光レンズ121を通して撮像素子であるCCD2次元イメージセンサ(以下、単にCCDと言う)122へと入射される。すなわち、計測対象物体3の表面は、CCD122により撮影されて、計測光の光像を含む映像信号に変換される。なお、撮像素子としては、CCD2次元イメージセンサ122に代えて、CCD一次元イメージセンサ、MOSリニアイメージセンサ等を採用することもできる。
【0019】
CCD122の受光面上における計測光の光像位置が、目的とする変位(例えば、センサヘッド部1と計測対象物体3との距離)に応じて変化するように、LD112、CCD122、投光レンズ113、受光レンズ121の位置関係が決められる。この位置関係の決定には、例えば、三角測距方式応用の光切断法等が利用される。
【0020】
CCD122から出力される映像信号は、各画素毎に増幅回路123で増幅されたのち、ハイパスフィルタ(HPF)124およびピークホールド(P/H)回路125により各画素間に現れるゼロレベル信号のゆらぎが除去されて、各画素信号が正しく受光量を表すようにする。その後、AGC増幅回路126により信号値の大きさを適切に制御され、映像信号vsとしてセンサ本体部2へと送られる。
【0021】
タイミング信号発生回路101より送られるパルス信号P2により、CCD制御回路131を介してシャッタ時間を含むCCD122の駆動態様が制御される。同様にして、パルス信号P3〜P5により、ハイパスフィルタ(HPF)124のフィルタタイミング、ピークホールド回路(P/H)125のピークホールドタイミング、AGC増幅回路126のゲインとその切替タイミングが制御される。
【0022】
計測条件格納部141には、CCDシャッタ時間、LD発光時間、LDピークパワー、AGC増幅回路のゲインからなる計測条件が複数パターン格納されており、センサ本体部2からの受光量制御信号CONTにより最適な計測条件が選択される。
【0023】
センサ本体部2の内部構成が図3に詳細に示されている。同図に示されるように、センサ本体部2の内部には、ハードウェア的に実現された信号処理要素と、マイコン220によりソフトウェア的に実現された信号処理要素とが含まれている。
【0024】
ハードウェア的に実現された信号処理要素には、A/D変換器211と、画像前処理回路212と、濃淡データ選択回路213と、特徴量算出回路214と、濃淡重心算出回路215とが含まれている。これらの回路211〜215は、同期信号生成回路203にて生成される同期信号SYNCにより同期制御される。同期信号生成回路203は、発振器(OSC)202から出力される基準クロックCK1に基づいて、同期信号SYNCを生成する。
【0025】
マイコン220によりソフトウェア的に実現された信号処理要素には、演算処理222と、本発明の要部である受光量制御処理223と、高さ変換処理224と、濃淡データ指定処理225とが含まれている。なお、クロック生成部221は、発振器204からの基準クロックCK2に基づいてマイコン220の各種動作クロックを生成する。
【0026】
D/A変換器205は、計測された変位量をアナログ値に変換して外部へ出力するためのものである。また、検出面指定入力230は、計測対象となる検出面(検出領域)を指定する入力信号を意味している。この検出面指定入力230は例えばオペレータが所定のキー操作等を行うことにより生成される。さらに、電源回路201は、センサヘッド部1並びにセンサ本体部2へと電源PWRを供給する。
【0027】
次に、センサ本体部2の動作を系統的に説明する。センサヘッド部1から到来する映像信号vsは、A/D変換器211によりデジタルデータ(以下、画像データと言う)に変換されたのち、画像前処理回路212へと送られる。
【0028】
画像前処理回路212では、目的とする変位量を正確に計測するために、計測対象物体表面の計測対象箇所以外からの光(以下、迷光と言う)を除去する。迷光としては、例えば、透明体裏面からの反射光、投光ビームの干渉縞からの反射光、センサヘッド内部の投光ビーム漏れ光、投光ビーム以外の外乱光等が挙げられる。
【0029】
具体的には、映像信号vsの1水平ラインごとに次のような処理を行う。画像データから迷光成分を除去して目的とする濃淡データを得るためには、図5に示されるように、画像データと既定の濃淡スレショルドレベルとの差分処理を行えばよい。このとき、濃度値が0以上の濃淡データが既定のノイズスレッシュ個以上連続したときには、それらの濃淡データは有効濃淡データとして計測に使用され、そうでない場合は、迷光として除去される。図6(a)と図6(b)との比較から明らかなように、連続個数B,C,Dは既定のスレッシュ個数を超えているため、それらの濃淡データは有効濃淡データとされる。連続個数A,Eは既定のスレッシュ個数を越えていないため、それらの濃淡データは迷光として除去される。
【0030】
有効濃淡データが複数存在するときには、オペレータが検出面指定入力230を与えると、濃淡データ指定処理225が実行されて、濃淡データの指定が行われ、濃淡データ選択回路213が動作して、指定された濃淡データのみが濃淡データ選択回路213から出力される。有効濃淡データが複数存在する場合の例としては、検出対象物が透明な板であり、その表面からの反射と裏面からの反射があり、さらに透明板の背後にある物体からの反射があるといった場合がある。図6(b)と図6(c)との比較から明らかなように、図6(b)に示される3個の有効濃淡データB,C,Dのうちで、データBが指定されると、図6(c)に示されるように、データBのみが指定濃淡データとして出力される。
【0031】
濃淡重心算出回路215では、濃淡データ選択回路213で選択された指定濃淡データについて、各水平ライン毎の重心値(濃淡重心値)を算出する。図6(c)と図6(d)との比較から明らかなように、指定濃淡データについて、重心値が求められる。
【0032】
特徴量算出回路214では、濃淡データ選択回路213で選択された指定濃淡データについて、各水平ライン毎の指定濃淡データの総和(濃淡総和)、指定濃淡データの最大値(濃淡最大値)、指定濃淡データの最大データ幅(濃淡最大データ幅)、指定濃淡データの飽和画素数(飽和画素数)を特徴量として算出する。ここで、濃淡最大値および濃淡最大データ幅並びに濃淡総和は図6(d)に示されており、飽和画素数は図7に示されている。
【0033】
マイコン220にて実行される演算処理222では、図4に示されるように、全ラインの濃淡重心値の総和の平均(全濃淡重心値平均)、全ラインの濃淡総和の総和の平均(全濃淡総和平均)、全ラインの濃淡最大値の総和の平均(全濃淡最大値平均)、全ラインの濃淡最大データ幅の総和の平均(全濃淡最大データ幅平均)、全ラインの飽和画素数の総和の平均(全飽和画素数平均)が算出される。
【0034】
このとき、全濃淡総和平均、全濃淡最大値平均、全濃淡最大データ幅平均、全飽和画素数平均の代わりに、それぞれが最大となる水平ラインのデータを用いても良い。
【0035】
その後、高さ変換処理224の実行により、全濃淡重心値平均に高さ変換処理を行えば、目的とする変位量である高さデータを得ることができる。こうして得られた高さデータは、D/A変換器205を介してアナログデータに変換され、アナログ信号として外部に出力される。
【0036】
ここで、濃淡重心算出に用いられる画像データが最適でなく、あまりにも大きく信号が飽和していたり、小さすぎて十分な濃淡データが得られないと、演算結果に誤差を生じ、正確な高さデータが得られない。そのため、画像データが演算に最適となるように、CCD122の受光量や受光回路の増幅度をコントロールする。CCD122の受光量は、CCDシャッター時間、LD発光時間、LDピークパワーにより、また、受光回路の増幅度は、AGC増幅回路126のゲインにより制御することができる。
【0037】
CCDシャッター時間を長くすると、受光素子への電荷蓄積時間が長くなるため、その時間に比例して受光量が増加し、画像データの値(画素値)は大きくなる(ただし、LD発光時間>CCDシャッタ時間の場合)。LD発光時間を長くすると、結果的に受光素子への電荷蓄積時間を長くすることになるため、その時間に比例して受光量が増加し、画像データの値(画素値)は大きくなる(ただし、LD発光時間<CCDシャッター時間の場合)。LDピークパワーにCCDの電荷蓄積量は比例するため、ピークパワーの変動に比例して、受光量が増減し、画像データの値も増減する。AGC増幅回路のゲインを増減すると、A/D変換器211へ入力される受光信号量も増減するため、画像データも増減する。
【0038】
受光量制御信号CONTは、CCDシャッタ時間、LD発光時間、LDピークパワーおよびAGC増幅回路126のゲインの組み合わせで決まる総合ゲインを表す整数値の信号である。CONTは、受光量制御処理223において図8のフローチャートの処理を実行することにより、映像信号vsが1画面分処理されるごとに決定されて出力される。制御出力として有効なCONT値の範囲は1〜10000である。後の説明からわかるように、CONT値が10000を超えた場合はCONT値が10000の場合と同じ結果となる。
【0039】
図8のフローチャートに従って受光量制御処理223の内容を説明する。
【0040】
まず、CONT値の初期値として100をセットする(ステップ801)。次に全濃度最大値平均の値によって場合分けしてゲイン倍率を決定する(ステップ802〜806)。このゲイン倍率をCONT値に乗じた値を新たなCONT値として(ステップ807)、このCONT値を出力する(ステップ808)。ゲイン倍率の決定についてより詳しく説明する。全濃度最大値平均は0〜255の範囲の整数値をとる。150〜249が計測にとっての適正範囲であり、最適値は200である。全濃度最大値平均が11から249のときは式(1)によりゲイン倍率を決定する(ステップ802YES、803YES、804)。
【0041】
【数1】
【0042】
全濃度最大値平均が250以上のときは飽和状態とみなす。平均値が250以上あるということは実際に最大値が飽和値の255に達している水平ラインが現れている可能性が高い。このときは式(2)によりゲイン倍率を決定する(ステップ802YES、803NO、805)。図9に式(2)の求め方を示す。
【0043】
【数2】
【0043】
全濃淡最大値平均が10以下のときはノイズ成分が大きく影響するほどに微少な映像信号である。このような微少な映像信号は、センサと対象物が相対移動しているときに計測対象領域の対象物が反射率の高いものから低いものに突然入れ替わったような場合に発生する。式(1)を適用しても数回以内のCONT値更新で適正なCONT値が得られる保証はない。そこでゲイン倍率を100に設定する(ステップ802NO、806)。そうするとステップ807でCONT値は100倍されるので、次に得られる全濃淡値平均は飽和する可能性が高いが、飽和状態から適正範囲へはたいてい1回で更新することができる。CONT値を100倍してもなお全濃度最大平均値が10以下であれば、次のループでCONT値はもう1回100倍される(ステップ806、807)。これによりCONT値は、仮に最初のCONT値が最小値の1であったとしても、有効最大値である10000に達する。このように総合ゲインの制御をきわめて迅速に行うことができる。尚、式(1)の全濃淡最大値平均に代えて、全濃淡総和平均を用いてもよい。この場合には、最適値としても濃淡総和平均の最適値を使用する。
【0044】
センサヘッド部1において、センサ本体部2から与えられたCONT値に基づいて、実際に総合ゲインを実現する要素であるAGC増幅回路のゲイン、LD発光時間、CCDシャッタ時間およびLDピークパワーをどのように決定するかについての考え方を説明する。
【0045】
これらの要素のうち、LD発光時間、CCDシャッタ時間およびLDピークパワーは受光量にかかわる。これらの要素の組み合わせにより、適正な受光量が得られるようにする。計測対象面の反射率が非常に低い場合のように、これらの要素の組み合わせでは適正な受光量に届かない場合には、AGC増幅回路のゲインを大きくして必要な信号レベルが得られるようにする。AGC増幅回路のゲインを大きくすると、信号のノイズ成分も増幅されるので、他の要素の調整で適正な受光量が得られる場合は、AGC増幅回路のゲインは最小の状態にしておくのがよい。
【0046】
一方、計測対象面の反射率が高い場合や反射光の拡散範囲が比較的狭い角度範囲(受光部はこの範囲に含まれる)に集中しているような場合は、LD発光時間、CCDシャッタ時間またはLDピークパワーを小さくしなければならない。しかし、CCDシャッタ時間は素子の動作速度の制約からあまり短い時間にすることができず、また、LDピークパワーはパワーの小さい領域でパワー制御が不安定になりやすい。一方、LD発光時間は容易に短くすることができるので、LD発光時間を調整するのがよい。
【0047】
LD発光時間を調整する場合に、CCDシャッタ時間はLD発光時間の可変範囲の最大値に等しいかそれよりも大きな値の固定時間としておいてもよいが、LDが発光していない期間にシャッタが開いていると外乱光を蓄積するだけであるので、CCDシャッタ時間はLD発光時間の短縮と連動して短縮するのがより好ましい。ただし、CCD素子の動作速度の限界よりも短縮することはできない。
【0048】
LDピークパワーは、LD発光時間を最小にしてもなお受光量が飽和する場合に限って小さくするのがよい。
【0049】
図10は、上記考え方を具現すべく設計された計測条件格納部141の内容を表す。CONT値により5つの区分が設定されており、この区分に応じて、AGC増幅回路のゲイン、LD発光時間、CCDシャッタ時間、LDピークパワーの値が与えられる。この値は規格化されており、実際のゲイン値、時間等はこの値に適当な係数を乗じて求められる。
【0050】
AGC増幅回路のゲインは、区分1〜3のときに1、区分5のときに10である。区分4の(a)と表記されているところは、CONT値/1000の演算結果の値であり、1〜10の範囲の実数値をとる。
【0051】
LD発光時間は、区分1のときに1、区分4または5のときに100である。区分3の(b)および区分2の(c)と表記されているところは、CONT値/10の演算結果の値であり、(b)のところでは10〜100、(c)のところでは1〜10の範囲の実数値をとる。
【0052】
CCDシャッタ時間は、区分1または2のときに10、区分4または5のときに100である。区分3の(b)と表記されているところは、LD発光時間の場合と同じく、CONT値/10の演算結果の値であり、10〜100の範囲の実数値をとる。CCDシャッタ時間の値とLD発光時間の値については同一の時間単位が採用されており、これらの値が等しいときは実際の時間も等しい。LD発光のタイミングはCCDシャッタのタイミングと同期しており、LD発光期間はCCDシャッタ開期間に等しいかこれに含まれる。
【0053】
LDピークパワーは、区分2〜5のときに10である。区分1の(d)と表記されているところは、CONT値そのままである。
【0054】
(a)、(b)、(c)、(d)の部分の値は、計測条件格納部141において実際に毎回演算をして求めてよいし、あらかじめ演算した結果をCONT値に対応させて記憶しておいてもよい。
【0055】
AGC増幅回路のゲインおよびLDピークパワーは可変範囲が10倍のレンジであるのに対し、LD発光時間は可変範囲が100倍のレンジとなっている。しかも、総合ゲインの全可変範囲の中央の部分をLD発光時間の変化が担っている。したがって、計測対象面からの反射が特に強いか弱い場合以外は、LD発光時間の変化によって総合ゲインが調整される。
【0056】
センサの適用状況から、受光量が大きすぎるようになることが想定されず、むしろ反射率が非常に小さい計測対象面に対応しなければならないような場合は、CCDシャッタ時間の変化を中心として総合ゲインを調整する考え方を採用することもできる。LD発光時間を小さくすると、たとえ計測対象面の反射率が高くても、反射光の拡散角度範囲が限られている場合には斜め横方向から見たときに光スポットの視認性が低下することがある。総合ゲインをCCDシャッタ時間の変化によって調整し、LD発光時間を固定すれば、そのような視認性の低下を避けることができる。
【0057】
図11は、この考え方を具現すべく設計された計測条件格納部141の内容を表す。区分については図10と同じである。AGC増幅回路のゲインおよびLDピークパワーについても図10と同じである。図11の時間値のスケールは図10と同じであり、図11の時間値が図10の時間値と同じ場合は実際の時間も等しい。
【0058】
CCDシャッタ時間は、区分1のときに10、区分4または5のときに1000である。区分3の(e)と表記されているところおよび区分4の(f)と表記されているところは、CONT値そのままの値であり、区分3では100〜999、区分4では10〜99の範囲の値をとる。図10の区分と合わせるために区分3と区分4を分けているが、これらは連続した一つの区分と考えてもよい。
【0059】
LD発光時間は、全区分において1000である。この時間はCCDシャッタ時間が1000のときの時間に等しく、発光タイミングはCCDシャッタ開のタイミングに同期している。LD発光時間はCCDシャッタ時間以上であればよく、また、発光時間が長いほど光スポットの視認性がよくなるが、LDの寿命の観点からは必要以上に発光時間を長くしない方がよい。
【0060】
(a)、(d)、(e)、(f)の部分の値は、計測条件格納部141において実際に毎回演算をしてもよいし、あらかじめ演算した結果をCONT値に対応させて記憶しておいてもよい。
【0061】
LD発光時間を変化させる図10の場合でも、計測用のレーザ光とは別に、ダミーでレーザ光を投光することにより、光スポットの視認性の低下を避けることができる。
【0062】
視認用レーザ光の発光タイミングが図12のタイムチャートに示されている。LD発光時間で受光量を調整しても視認性の低下を回避できる。同図に示されるように、視認用レーザ光の投光には2通りの方法が考えられる。
【0063】
第1の方法の投光は、図12(a),(b),(c)に示されるように、レーザ光の発光時間やパワーが減少した分を補うようにして行われる。すなわち、図11(a)と図12(b)とを比較して明らかなように、計測用LDの発光はCCDシャッタの開期間に行われる。これに対して、図11(a)と図12(c)とを比較して明らかなように、視認用LDの発光はCCDシャッタの閉期間に行われる。しかも、図12(b)と図12(c)とを比較して明らかなように、計測用LDの発光期間と視認用LDの発光期間との間には、互いに相補的な関係が設定されている。発光期間の変化方向を示す矢印の向きが異なることがこのことを表現している。換言すれば、計測用LDの発光期間が増加すれば、視認用LDの発光期間は減少し、逆に、計測用LDの発光期間が減少すれば、視認用LDの発光期間は増加する。従って、両LDの発光輝度が同一とすれば、CCDシャッタの1周期でみると、発光総量は常に一定となり、人間の目に見える明るさも一定となる。そうすると、計測ポイントへ照射する光量は一定となり、計測ポイント視認時、人間の目には違和感を感じない。
【0064】
第2の方法の投光は、図12(a),(b),(d)に示されるように、計測用LDの発光期間に拘わらず常に一定時間をもって行われる。すなわち、図12(a)と図12(b)とを比較して明らかなように、計測用LDの発光はCCDシャッタの開期間に行われる。これに対して、図12(a)と図12(d)とを比較して明らかなように、ダ視認用LDの発光はCCDシャッタの閉期間に行われる。しかも、視認用LDの発光期間は、計測用LDの発光期間の変化に拘わらず常に一定とされる。このようにすると、投光の制御が簡単になり、かつ、高反射率物体検出時は、それ以外の場合に比べて投光量が減少するため、反射光による危険度は減少する、という利点がある。高反射率物体検出時に少し暗くなるが、視認用投光が無い場合に比べると、明るく、視認性は確保できる。
【0065】
なお、以上の例では、視認用レーザ光の発光量の変化を発光期間の変更により行ったが、これに代えて、発光パワーの変更により行っても良い。また、計測用LDと視認用LDとの発光期間が重なることはないから、両LDは共通の素子でも別々の素子でも差し支えない。
【0066】
視認用光スポットの形成と計測用光スポットの形成とを同一の発光素子で行う例が図13に、又その場合における発光素子の点灯制御態様が図15(a)に示されている。
【0067】
それらの図に示されるように、この場合には、レーザダイオードLD1(112)は、視認用光スポット形成と計測用光スポット形成のために兼用されており、シャッタ開期間とシャッタ閉期間とにおいて、それぞれ毎周期に一回づつ点灯される。なお、図において、符号6で示されるのは、計測対象物体が載置されるステージである。
【0068】
視認用光スポットの形成と計測用光スポットの形成とを別々の発光素子で行う例が図14に、又その場合における発光素子の点灯制御態様が図15(b)に示されている。
【0069】
それらの図に示されるように、この場合には、レーザダイオードLD1(112)は計測用光スポット形成のために、レーザダイオードLD2(112a)は視認用光スポット形成のために使用される。レーザダイオードLD1(112)はシャッタ開期間に毎周期1回点灯され、レーザダイオードLD2(112a)はシャッタ閉期間に毎周期1回点灯される。
【0070】
【発明の効果】
以上の説明で明らかなように、この発明によれば、高反射率物体等に対応して計測光の光量が自動制御により極端に絞られた場合にも、視認用光スポットの投光は撮像素子のシャッタ閉期間に行われるため、変位計測処理には支障を与えることなく、計測位置の視認性を良好に維持できる。しかも、本発明によれば、視認用光スポットの光源となる発光素子と計測用光スポットの光源となる発光素子とは同一であるため、コスト的に有利であり、さらに、人間の目には、常に両スポットの光量加算値が視認性に貢献するため、視認用光スポットの光量を極端に上げずとも、適正な視認性を得ることができる利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】 光学式変位センサの全体図である。
【図2】 センサヘッド部の内部構成を示す図である。
【図3】 センサ本体部の内部構成を示す図である。
【図4】 図3に示す各ブロックで得られるデータを示す図である。
【図5】 画像データと迷光除去後の濃淡データとの関係を示す説明図である。
【図6】 複数の濃淡データの1つを指定した場合の処理を示す説明図である。
【図7】 濃淡データと飽和画素数との関係を示す説明図である。
【図8】 受光量制御処理223の処理内容を示すフローチャートである。
【図9】 式(2)の求め方を説明するための図である。
【図10】 計測条件格納部の内容を示す図である。
【図11】 計測条件格納部の内容を示す図である。
【図12】 CCDシャッタタイミングと視認用並びに計測用発光タイミングとの関係を示すタイムチャートである。
【図13】 視認用光スポットと計測用光スポットとを同の発光素子で行う例を示す光学系の構成図である。
【図14】 視認用光スポットと計測用光スポットとを別々の発光素子で行う例を示す光学系の構成図である。
【図15】 2つの例のそれぞれについてレーザダイオードの駆動タイミングを示すタイムチャートである。
【符号の説明】
1 センサヘッド部
2 センサ本体部
3 計測対象物体
4 計測光の照射光
5 計測光の反射光
6 ステージ
100 光学式変位計
101 タイミング信号発生回路
111 LD駆動回路
112 LD,LD1(計測用レーザダイオード)
112a LD2(視認用レーザダイオード)
113 投光レンズ(計測用)
113a 投光レンズ(視認用)
121 受光レンズ
122 CCD
123 増幅回路
124 HPF(ハイパスフィルタ)
125 P/H(ピークホールド)回路
126 AGC増幅回路
201 電源回路
202 OSC(発振回路)
203 同期信号生成回路
204 OSC(発振回路)
205 D/A変換器
211 A/D変換器
212 画像前処理回路
213 濃淡データ選択回路
214 特徴量算出回路
215 濃淡重心算出回路
221 クロック生成部
222 演算処理
223 受光量制御処理
224 高さ変換処理
225 濃淡データ指定処理
230 検出面指定入力
Claims (3)
- 周期的にシャッタを開いて計測対象物体を撮影する撮像素子を含む受光手段と、撮像素子のシャッタ開期間に同期して周期的に発光する発光素子からの光を計測対象物体上に投光して計測用光スポットを形成するする投光手段と、受光手段から得られる画像中の光スポット像の位置情報に基づいて目的とする変位を算出する演算手段と、投光手段の投光ゲイン調整要素を操作することにより、撮像素子への入射光量を適正値に制御する制御手段と、を有する光学式変位計であって、
撮像素子のシャッタ閉期間に同期して、計測対象物体上の計測用光スポットと同位置に投光して視認用光スポットを形成する視認用投光手段を備え、
視認用光スポットの光源となる発光素子と計測用光スポットの光源となる発光素子とは同一であり、かついずれの光スポットを形成する場合にも同一波長の可視光を発光する、
ことを特徴とする光学的変位計。 - 計測用光スポットの照射光量が増加すれば、視認用光スポットの照射光量は減少し、計測用光スポットの照射光量が減少すれば、視認用光スポットの照射光量は増加するように設定されている、
ことを特徴とする請求項1に記載の光学的変位計。 - 視認用光スポットの照射光量と計測用光スポットの照射光量との間には相補的関係が設定されている、
ことを特徴とする請求項1に記載の光学式変位計。
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