WO2013065530A1 - 流量制御装置 - Google Patents

流量制御装置 Download PDF

Info

Publication number
WO2013065530A1
WO2013065530A1 PCT/JP2012/077397 JP2012077397W WO2013065530A1 WO 2013065530 A1 WO2013065530 A1 WO 2013065530A1 JP 2012077397 W JP2012077397 W JP 2012077397W WO 2013065530 A1 WO2013065530 A1 WO 2013065530A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
valve
port
control device
flow rate
pressure fluid
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/JP2012/077397
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
松村憲一
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SMC Corp
Original Assignee
SMC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by SMC Corp filed Critical SMC Corp
Priority to CN201280053381.9A priority Critical patent/CN103917787B/zh
Priority to DE112012004574.2T priority patent/DE112012004574B4/de
Priority to KR1020147014909A priority patent/KR101649883B1/ko
Priority to JP2013541714A priority patent/JP6061227B2/ja
Priority to US14/353,416 priority patent/US9372485B2/en
Publication of WO2013065530A1 publication Critical patent/WO2013065530A1/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D7/00—Control of flow
    • G05D7/03—Control of flow with auxiliary non-electric power
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B11/00—Servomotor systems without provision for follow-up action; Circuits therefor
    • F15B11/06—Servomotor systems without provision for follow-up action; Circuits therefor involving features specific to the use of a compressible medium, e.g. air, steam
    • F15B11/068—Servomotor systems without provision for follow-up action; Circuits therefor involving features specific to the use of a compressible medium, e.g. air, steam with valves for gradually putting pneumatic systems under pressure
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K1/00—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces
    • F16K1/32—Details
    • F16K1/52—Means for additional adjustment of the rate of flow
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K17/00—Safety valves; Equalising valves, e.g. pressure relief valves
    • F16K17/20—Excess-flow valves
    • F16K17/22—Excess-flow valves actuated by the difference of pressure between two places in the flow line
    • F16K17/24—Excess-flow valves actuated by the difference of pressure between two places in the flow line acting directly on the cutting-off member
    • F16K17/28—Excess-flow valves actuated by the difference of pressure between two places in the flow line acting directly on the cutting-off member operating in one direction only
    • F16K17/30—Excess-flow valves actuated by the difference of pressure between two places in the flow line acting directly on the cutting-off member operating in one direction only spring-loaded
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/40—Flow control
    • F15B2211/405—Flow control characterised by the type of flow control means or valve
    • F15B2211/40515—Flow control characterised by the type of flow control means or valve with variable throttles or orifices
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/80—Other types of control related to particular problems or conditions
    • F15B2211/85—Control during special operating conditions
    • F15B2211/851—Control during special operating conditions during starting
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/80—Other types of control related to particular problems or conditions
    • F15B2211/85—Control during special operating conditions
    • F15B2211/853—Control during special operating conditions during stopping
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/80—Other types of control related to particular problems or conditions
    • F15B2211/86—Control during or prevention of abnormal conditions
    • F15B2211/863—Control during or prevention of abnormal conditions the abnormal condition being a hydraulic or pneumatic failure
    • F15B2211/8636—Circuit failure, e.g. valve or hose failure
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/80—Other types of control related to particular problems or conditions
    • F15B2211/875—Control measures for coping with failures
    • F15B2211/8757—Control measures for coping with failures using redundant components or assemblies
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/80—Other types of control related to particular problems or conditions
    • F15B2211/885—Control specific to the type of fluid, e.g. specific to magnetorheological fluid
    • F15B2211/8855—Compressible fluids, e.g. specific to pneumatics
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/8593—Systems
    • Y10T137/86493—Multi-way valve unit
    • Y10T137/86574—Supply and exhaust
    • Y10T137/86582—Pilot-actuated
    • Y10T137/86614—Electric

Definitions

  • the present invention relates to a flow rate control device capable of controlling the flow state and flow rate of a pressure fluid under the opening and closing action of a valve body.
  • a flow rate control device that controls a pressure fluid supplied from a pressure fluid supply source to a predetermined flow rate and supplies it to a fluid pressure device or the like connected to a secondary side.
  • a flow rate control device for example, as disclosed in the specification of European Patent No. 2047108, the flow rate is reduced by flowing a pressure fluid through a throttle valve in the initial stage of flow, and after a predetermined time has elapsed, the valve body Is switched to the valve open state to increase the flow rate of the pressure fluid.
  • the soft start type flow rate control apparatus as described above includes a main valve that controls the flow rate of the pressure fluid and a switching valve that controls opening and closing of the main valve, and the main valve and the switching valve are connected to each other. Piping for connection is required. For this reason, including the pipe increases the size of the flow control device and increases the number of parts. Moreover, it is cumbersome because an operation of connecting the piping occurs when the flow control device is assembled.
  • a general object of the present invention is to provide a flow rate control device capable of reducing the number of parts and reducing the size and reliably exhausting the remaining pressure fluid.
  • the present invention includes a set of ports through which pressure fluid is supplied and discharged, an exhaust port for exhausting the pressure fluid remaining on the secondary side, the port, a passage through which the pressure fluid flows by connecting the exhaust port.
  • a body having An adjustment mechanism for adjusting the flow rate of the pressure fluid flowing from one port to the other port; At least two or more switching valves for switching communication states of the port, the passage, and the exhaust port; With The adjusting mechanism includes a throttle valve that adjusts the flow rate of the pressure fluid flowing between one port and the other port, and an on-off valve that can switch a communication state between the one port and the other port. The flow rate of the pressure fluid is increased or decreased stepwise under the switching action of the on-off valve.
  • At least two or more switching valves that switch the communication state of a set of ports, passages, and exhaust ports, and an adjustment mechanism that adjusts the flow rate of the pressure fluid flowing from one port to the other port, A throttle valve that adjusts the flow rate of the pressure fluid that flows between the one port and the other port, and the one port and the other port.
  • FIG. 1 is an external perspective view of a flow control device according to a first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a front view of the flow control device shown in FIG.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line III-III in FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line IV-IV in FIG.
  • FIG. 5 is a sectional view taken along line VV in FIG. 6 is a cross-sectional view taken along line VI-VI in FIG.
  • FIG. 7 is a cross-sectional view taken along line VII-VII in FIG.
  • FIG. 8 is a cross-sectional view taken along line VIII-VIII in FIG.
  • FIG. 9 is a circuit diagram of the flow control device shown in FIG. FIG.
  • FIG. 10 is a characteristic curve diagram showing the relationship between the pressure fluid pressure supplied to the first port and the pressure fluid pressure exhausted from the second port.
  • FIG. 11 is an external perspective view of a flow control device according to the second embodiment of the present invention. 12 is a cross-sectional view taken along line XII-XII in FIG. 13 is a cross-sectional view taken along line XIII-XIII in FIG. 14 is a cross-sectional view taken along line XIV-XIV in FIG.
  • FIG. 15 is a circuit diagram of the flow control device shown in FIG.
  • the flow control device 10 includes a body 16 having first and second ports 12 and 14 through which pressure fluid is supplied and discharged, A pair of first and second solenoid valves (switching valves) 18 and 20 which are connected to the upper portion of the body 16 and switch the flow state of the pressure fluid, and under the switching action of the first and second solenoid valves 18 and 20. And an on-off valve (adjustment mechanism) 22 for increasing the flow rate of the pressure fluid circulating in the air.
  • the body 16 has, for example, a rectangular cross section and is elongated along the horizontal direction.
  • the first port 12 is open at one end of the body 16 and the second port 14 is open at the other end.
  • the first port 12 is connected to a pressure fluid supply source (not shown) to supply pressure fluid
  • the second port 14 is connected to, for example, a fluid pressure device (not shown).
  • a pair of exhaust ports 24a and 24b opened in a direction orthogonal to the first and second ports 12 and 14 are formed on the side surface of the body 16 (see FIGS. 2 and 3), and the exhaust ports 24a and 24b are formed. Is connected to a pipe (not shown) and is open to the atmosphere.
  • the first flow path 26 communicated with the first port 12 and the first flow path 26 in the open state of the on-off valve 22 described later.
  • a second flow path 28 communicating with the second flow path 28 a third flow path 30 communicating with the second flow path 28 under the switching action by the first electromagnetic valve 18, and a third flow path under the switching action by the second electromagnetic valve 20.
  • a fourth flow path 32 communicating with the path 30 is formed.
  • a communication chamber 34 that connects the first channel 26 and the second channel 28 is formed between the first channel 26 and the second channel 28, and the communication chamber 34 has a first flow channel.
  • An on-off valve 22 that can adjust the flow rate of the pressure fluid flowing from the passage 26 to the second passage 28 is provided.
  • the third flow path 30 communicates with the inside of the first electromagnetic valve 18 connected to the upper part of the body 16, and the fourth flow path 32 of the second electromagnetic valve 20 connected to the upper part of the body 16. It communicates with the internal and second port 14.
  • the first and second solenoid valves 18 and 20 are formed in substantially the same shape, and are connected to the body 16, and the housings 36a and 36b.
  • 36b, shaft valves 38a, 38b, which are slidably provided along the axial direction (arrow A, B direction), and the end portions of the housings 36a, 36b are connected to the shaft valves 38a, 38b in the axial direction ( Solenoid parts 40a and 40b displaced in the directions of arrows A and B, and springs 42a and 42b for urging the shaft valves 38a and 38b toward the solenoid parts 40a and 40b (in the direction of arrow A).
  • the first solenoid valve 18 and the second solenoid valve 20 are arranged in series between the first port 12 and the second port 14 as shown in FIG.
  • the configuration of the first electromagnetic valve 18 will be described with reference to FIG. 6, and the configuration of the second electromagnetic valve 20 is basically the same as the configuration of the first electromagnetic valve 18. The description will be omitted and the reference numerals will be given in parentheses.
  • the housing 36a (36b) constituting the first electromagnetic valve 18 is formed with a shaft hole 44a (44b) penetrating along the axial direction (directions of arrows A and B), and the shaft is formed inside the shaft hole 44a (44b).
  • a valve 38a (38b) is provided to be displaceable.
  • the housing 36a (36b) is formed with first to third communication passages 46a (46b), 48a (48b), 50a (50b) extending in a direction orthogonal to the shaft hole 44a (44b),
  • the first communication path 46 a communicates with the second flow path 28 of the body 16, the second communication path 48 a communicates with the third flow path 30 of the body 16, and the third communication path 50 a communicates with the body 16. It communicates with the exhaust port 24a.
  • the first to third communication passages 46a (46b), 48a (48b), 50a (50b) are formed at predetermined intervals along the axial direction (arrow A, B direction) of the housing 36a (36b). Is done.
  • the shaft hole 44a (44b) is formed with first and second valve seats 52a (52b) and 54a (54b) on which the valve portion 56a (56b) of the shaft valve 38a (38b) is seated, and the valve portion 56a ( 56b) is disposed between the first valve seat 52a (52b) and the second valve seat 54a (54b).
  • the shaft valve 38a is displaced in the axial direction (arrow A direction), and the valve portion 56a is seated on the first valve seat 52a, whereby the second flow path 28 through the first and second communication passages 46a and 48a. And the communication with the third flow path 30 are blocked.
  • the shaft valve 38a is displaced in the opposite direction (arrow B direction)
  • the valve portion 56a is seated on the second valve seat 54a, and the third through the second and third communication passages 48a and 50a. The communication between the flow path 30 and the exhaust port 24a is blocked.
  • the shaft valve 38a (38b) is provided with a spring 42a (42b) between one end thereof and the housing 36a (36b), and the shaft valve 38a (38b) is connected to the solenoid unit 40a (40b) side (arrow). A direction). Accordingly, the valve portion 56a (56b) of the shaft valve 38a (38b) is seated on the first valve seat 52a (52b).
  • the solenoid unit 40a (40b) is excited by inputting a control signal from a controller (not shown) to a coil (not shown), and is supplied to a pilot supply port 58a (58b) communicating with the first flow path 26 of the body 16.
  • the pilot air is supplied to the first piston chamber 60a (60b).
  • the 1st piston 62a (62b) provided in the 1st piston chamber 60a (60b) so that displacement was possible is pushed and displaced to the housing 36a (36b) side (arrow B direction) with pilot air.
  • the first piston 62a (62b) is provided in contact with the other end portion of the shaft valve 38a (38b) provided in the housing 36a (36b), and the first piston 62a (62b) is displaced to displace the first piston 62a (62b).
  • the shaft valve 38a (38b) is pressed against the elastic force of the spring 42a (42b). Accordingly, the valve portion 56a (56b) is separated from the first valve seat 52a (52b) and displaced so as to be seated on the second valve seat 54a (54b).
  • first to third communication passages 46 b, 48 b, 50 b are formed in the housing 36 b constituting the second electromagnetic valve 20, and the first communication passage 46 b is the first communication passage 46 b of the body 16.
  • the second communication path 48 b communicates with the fourth flow path 32 of the body 16, and the third communication path 50 b communicates with the exhaust port 24 b in the body 16.
  • the first and second electromagnetic valves 18 and 20 are three-port valves as described above.
  • the on-off valve 22 is provided so as to be orthogonal to the extending direction of the first port 12, and is inserted into the body 16 through an opening opened on the side surface of the body 16. The opening is closed by the first and second cover members 64 and 66, respectively.
  • the on-off valve 22 includes a second piston 68 that is displaced along the axial direction (the directions of the arrows C and D) under the action of supplying a pressure fluid, and a push rod 70 that is in contact with the second piston 68 and is integrally displaced. And a valve body 72 that is attached to the end of the push rod 70 and switches the communication state between the first flow path 26 and the second flow path 28 in the body 16, and the valve body 72 is connected to a valve seat 74 (arrow C). And a return spring 76 biased toward the direction).
  • the second piston 68 is provided in the second piston chamber 80, and an annular piston packing 78 is mounted on the outer peripheral surface thereof.
  • the second piston chamber 80 communicates with the fourth flow path 32 on the outer peripheral side thereof, and pressure fluid is supplied from the fourth flow path 32 to the second piston chamber 80, so that the second piston 68. Is biased toward the valve body 72 (in the direction of arrow D).
  • the valve body 72 is formed of an elastic material such as rubber, for example, and is disposed on the outer peripheral side of the other end portion of the push rod 70.
  • a return spring 76 is interposed between the outer edge portion of the holder 82 and a spring holder 84 provided on the body 16.
  • the return spring 76 urges the valve body 72 through the holder 82 toward the annular valve seat 74 formed on the body 16 (in the direction of arrow C).
  • the valve seat portion 74 is formed at the boundary between the first flow path 26 and the second flow path 28.
  • a throttle mechanism 86 capable of adjusting the flow rate of the pressure fluid flowing between the first flow path 26 and the second flow path 28 is provided.
  • the throttle mechanism 86 includes a needle holder 88 connected to the side surface of the body 16 and a needle valve (throttle valve) 90 screwed to the needle holder 88, and the needle valve 90 is orthogonal to the push rod 70. It is provided as follows.
  • the needle valve 90 is provided so as to be able to advance and retreat along the axial direction by being screwed, and by adjusting the gap between the tapered tip portion and the needle holder 88, the needle valve 90 can be moved through the gap. The flow rate of the pressure fluid flowing from the first flow path 26 to the second flow path 28 is adjusted.
  • the flow control device 10 is basically configured as described above. Next, the operation and effects thereof will be described.
  • a pipe (not shown) is connected to each of the first and second ports 12 and 14 and the exhaust ports 24a and 24b, and pressure fluid is supplied to the first port 12 from a pressure fluid supply source (not shown). Keep supplying.
  • the valve body 72 of the on-off valve 22 is seated on the valve seat 74, the communication between the first flow path 26 and the second flow path 28 is blocked, and the first and second electromagnetic waves A state where the valves 18 and 20 are in a non-energized state and the communication of the second to fourth flow paths 28, 30, and 32 is blocked will be described as an initial state.
  • the pressure fluid supplied from the first port 12 to the first flow path 26 is circulated to the second flow path 28 after being throttled to a predetermined flow rate by the throttle mechanism 86.
  • the solenoid part 40b of the second solenoid valve 20 is energized.
  • pilot air is supplied to the first piston chamber 60b of the second electromagnetic valve 20, and the first piston 62b is displaced accordingly, and the shaft valve 38b is integrally separated from the solenoid part 40b (arrow B).
  • the valve portion 56b of the second electromagnetic valve 20 is separated from the first valve seat 52b, the first communication passage 46b and the second communication passage 48b communicate, and the pressure fluid supplied to the third flow passage 30. Is circulated to the fourth flow path 32 and then discharged from the second port 14.
  • the pressure P2 of the pressure fluid discharged from the second port 14 is about half or less than the pressure P1 of the pressure fluid supplied to the first port 12 (1 / 2P1). > P2). That is, the pressure fluid supplied to the first port 12 circulates downstream through the throttle mechanism 86 toward the second flow path 28 side, so that the pressure (flow rate) is previously reduced to about half (1 / 2P1). Yes.
  • the first flow is made via the communication chamber 34 by the valve opening operation of the on-off valve 22.
  • the pressure fluid that flows from the first port 12 to the second port 14 by keeping the on-off valve 22 closed in the initial state.
  • the flow rate of the pressure fluid flowing from the first port 12 to the second port 14 is increased with the on-off valve 22 opened after a predetermined time has elapsed from the initial state. Is possible (soft start).
  • the solenoid portion 40a of the first solenoid valve 18 is brought into a non-excited state, and accordingly, the shaft The pressing force in the direction away from the solenoid part 40a with respect to the valve 38a is extinguished.
  • the shaft valve 38a of the first electromagnetic valve 18 is pressed toward the solenoid part 40a (in the direction of arrow A) by the elastic force of the spring 42a, and the valve part 56a is in the first state. It sits on the valve seat 52a and the communication between the second flow path 28 and the third flow path 30 is blocked.
  • the pressure fluid on the secondary side (downstream side) is exhausted from the one exhaust port 24 a to the outside through the third and fourth flow paths 30 and 32.
  • the solenoid portions 40a and 40b of the first and second solenoid valves 18 and 20 are in a non-excited state, respectively.
  • the pressing force in the direction away from the solenoid parts 40a, 40b with respect to the shaft valves 38a, 38b disappears.
  • the shaft valves 38a and 38b of the first and second electromagnetic valves 18 and 20 have their valve portions 56a and 56b seated on the first valve seats 52a and 52b, respectively, and the second flow path 28 and the third Communication with the flow path 30 and communication with the third flow path 30 and the fourth flow path 32 are blocked.
  • the pressure fluid remaining on the secondary side (downstream side) of the pressure fluid remaining in the third flow path 30 is exhausted from one exhaust port 24a to the outside, and at the same time downstream from the fourth flow path 32.
  • the remaining pressure fluid is exhausted from the fourth flow path 32 to the outside through the other exhaust port 24b.
  • the secondary pressure fluid can be exhausted to the outside of the body 16.
  • the normal first or second solenoid valve 18 and 20 that does not have the malfunction is operated.
  • the secondary side pressure fluid can be reliably exhausted to the outside.
  • the opening / closing valve 22 and the first and second electromagnetic valves 18 and 20 are integrally connected to the body 16, the body 16, the opening / closing valve 22, Compared with a configuration in which the first and second solenoid valves 18 and 20 are separately provided and connected to each other via a pipe or the like, the pipe or the like is not necessary, so that the number of parts and the number of assembling steps can be reduced. At the same time, the flow control device 10 can be downsized.
  • the pressure fluid supplied to the first port 12 suddenly sets the on-off valve 22 first in a closed state, so that the fluid pressure device or the like connected to the secondary side from the second port 14 is rapidly changed.
  • the pressure fluid flowing to the second port 14 can be prevented from being supplied, and the flow rate (pressure) of the pressure fluid is increased by the valve opening operation of the on-off valve 22 after a predetermined time has passed. By doing so, it is possible to reliably prevent the fluid pressure device or the like from being damaged.
  • the two solenoid valves, the first and second solenoid valves 18 and 20, are provided, even if one of the solenoid valves malfunctions for any reason, the remaining one that can operate normally By operating the solenoid valve, the pressure fluid remaining on the secondary side can be reliably exhausted to the outside.
  • the pilot air supplied to the first and second electromagnetic valves 18 and 20 is supplied from the primary side upstream of the on-off valve 22, it is affected by the opening / closing operation of the on-off valve 22. Instead, the first and second solenoid valves 18 and 20 can be operated.
  • the on-off valve 22 is provided on the upstream side (primary side) of the first and second electromagnetic valves 18 and 20, an operation failure occurs such that the on-off valve 22 cannot be closed for some reason.
  • the pressure fluid remaining inside the body 16 can be suitably discharged from the exhaust ports 24a and 24b to the outside.
  • first and second electromagnetic valves 18 and 20 are integrally connected to the upper portion of the body 16 and communicate with the inside of the body 16, the first and second electromagnetic valves 18 and 20 are connected. And the complicated operation
  • the flow rate control device 100 includes an adjustment unit 106 having a throttle mechanism 102 and a switching mechanism 104, and the adjustment unit 106 is detachably attached to the body 16. This is different from the flow control device 10 according to the first embodiment.
  • the flow control device 100 is adjusted in parallel with the first and second electromagnetic valves 18 and 20 on the upper portion of the body 16 having the first and second ports 12 and 14.
  • Unit 106 is connected.
  • This adjustment unit 106 is provided on the first port 12 side adjacent to the first electromagnetic valve 18, and includes a housing 108 having a rectangular cross section and an on-off valve 110 slidably provided inside the housing 108.
  • a switching mechanism 104 including an aperture mechanism 102 provided on an upper portion of the housing 108.
  • the switching mechanism 104 is composed of, for example, a three-port valve, and a shaft hole 112 penetrating along the longitudinal direction (arrow C, D direction) is formed inside the housing 108.
  • the shaft hole 112 will be described later.
  • the on-off valve 110 is housed in a freely displaceable manner. Further, first and second end covers 114 and 116 are attached to both ends of the housing 108, respectively, and the shaft hole 112 is closed.
  • the housing 108 is formed with a pair of first communication passages 118a and 118b and a second communication passage 120 that penetrate downward toward the shaft hole 112 so that the first communication passages 118a and 118b are formed.
  • the shaft holes 112 are disposed at one end and the other end of the shaft hole 112 in the axial direction, respectively, and the second communication path 120 is disposed at a position that is substantially the center in the axial direction.
  • the first and second communication passages 118 a, 118 b, 120 have upper portions communicating with the shaft holes 112 and lower portions communicating with the first and second flow paths 26, 28 of the body 16, respectively.
  • a second piston 122 is slidably accommodated so as to face the shaft hole 112, and the end of the second piston 122 is in contact with the end of the on-off valve 110. And by supplying pressure fluid to the 2nd piston chamber 124 formed in the inside of the 1st end cover 114, the 2nd piston 122 is urged toward the on-off valve 110 side (arrow C direction), Accordingly, the on-off valve 110 is pressed in a direction away from the first end cover 114 (direction of arrow C).
  • the second piston chamber 124 communicates with the fourth flow path 32 formed in the body 16.
  • a spring holder 126 is provided inside the second end cover 116 so as to face the shaft hole 112, and a return spring 128 is provided between the spring holder 126 and the on-off valve 110.
  • the return spring 128 is formed of, for example, a coil spring, and its elastic force is urged so as to press the on-off valve 110 toward the first end cover 114 side (arrow D direction).
  • the inside of the second end cover 116 communicates with the first communication path 118b.
  • the on-off valve 110 is supported at the one end and the other end along the axial direction (arrows C and D) by the guide bodies 130a and 130b attached to the shaft hole 112 so as to be displaceable, and along the axial direction.
  • the valve portion 132 formed in the substantially central portion is seated on the first valve seat portion 134 and the second valve seat portion 136 formed in the guide bodies 130a and 130b, so that a pair of first portions formed in the housing 108 is formed.
  • the communication state between one of the first communication passages 118a and 118b and the second communication passage 120 is switched.
  • it functions as a three-port valve capable of switching the communication state between the second communication path 120 and one of the first communication paths 118a and 118b under the displacement action of the on-off valve 110.
  • the throttle mechanism 102 is provided on the other end side (in the direction of arrow C) of the on-off valve 110 in the housing 108, a needle holder 138 connected to the upper surface of the housing 108, and a needle valve screwed into the needle holder 138.
  • (Throttle valve) 140, and the needle valve 140 is provided to be orthogonal to the on-off valve 110.
  • This needle valve 140 is provided so as to be able to advance and retreat along the axial direction by being screwed, and by adjusting the gap between the tapered tip portion and the needle holder 138, the needle valve 140 can be moved through the gap.
  • the flow rate of the pressure fluid flowing from the first communication path 118b to the second communication path 120 is adjusted.
  • a part of the needle holder 138 and the needle valve 140 constituting the throttle mechanism 102 are provided so as to protrude at a predetermined height with respect to the upper surface of the housing 108.
  • the flow control device 100 is basically configured as described above. Next, the operation and effects thereof will be described. In addition, about the operation
  • the valve portion 132 of the on-off valve 110 of the adjustment unit 106 is seated on the first valve seat portion 134, and the first flow path 26 through the first communication passage 118a. Communication between the first and second flow paths 28 is interrupted, the first and second solenoid valves 18 and 20 are in a non-energized state, and communication between the second to fourth flow paths 28, 30, and 32 is interrupted.
  • the state that is present will be described as the initial state.
  • the pressure fluid supplied from the first port 12 to the first flow path 26 is throttled to a predetermined flow rate by the throttling mechanism 102 from the first communication path 118 b and then the second fluid passage 120 through the second communication path 120. It is in a state of being distributed to the two flow paths 28.
  • the first solenoid valve 18 is energized, whereby pilot air is supplied to the first piston chamber 60a. Accordingly, the first piston 62a is displaced and the valve portion of the shaft valve 38a is moved to the first position. Separated from the valve seat 52a. The valve portion 56a is seated on the second valve seat 54a so that the first communication passage 46a and the second communication passage 48a communicate with each other, and the pressure fluid supplied to the second flow passage 28 is supplied to the third flow passage 30. Circulate to
  • the pilot air is supplied to the first piston chamber 60b of the second electromagnetic valve 20 by energizing the solenoid portion 40b of the second electromagnetic valve 20 in a state where the energization of the first electromagnetic valve 18 is continued.
  • the first piston 62b is displaced, the valve portion 56b of the shaft valve 38b is separated from the first valve seat 52b, and the first communication path 46b and the second communication path 48b communicate with each other and are supplied to the third flow path 30.
  • the pressurized fluid flows into the fourth flow path 32, it is discharged from the second port 14.
  • the pressure fluid supplied to the fourth flow path 32 flows into the second piston chamber 124 of the adjustment unit 106 as pilot air, so that the second piston 122 moves toward the on-off valve 110 side (arrow C direction). And the on-off valve 110 is moved toward the second valve seat 136 against the pressing force of the return air supplied into the second end cover 116 through the first communication passage 118b and the elastic force of the return spring 128. By pressing the valve portion 132, the valve portion 132 is separated from the first valve seat portion 134.
  • the pressure fluid supplied from the first flow path 26 to the first communication path 118b is directly supplied from the other first communication path 118a to the second communication path 120 through the shaft hole 112, while the throttle mechanism The supply of the pressure fluid that has been supplied to the second communication path 120 through 102 is cut off.
  • the on-off valve 110 constituting the switching mechanism 104 separates the valve portion 132 from the first valve seat portion 134 against the pressing force of the return air and the elastic force of the return spring 128 under the supply of pilot air. Then, by sitting on the second valve seat 136, the communication between the first communication path 118b and the second communication path 120 is blocked, and the other first communication path 118a and the second communication path 120 are disconnected. It has been switched to communicate.
  • the timing of changing the pressure of the pressure fluid supplied from the first port 12 to the second port 14 is supplied to the second piston chamber 124, and the on-off valve 110 is moved to the second valve seat 136 side (direction of arrow C). ),
  • the pressure receiving area of the second piston 122 is set so that the pilot air pressure is switched to approximately half of the return air pressure.
  • the on-off valve 110 of the adjustment unit 106 is in the valve closed state in which it is seated on the first valve seat portion 134, so that the flow from the first port 12 to the second port 14 is reduced by the throttle mechanism 102.
  • the on-off valve By allowing the pressure fluid to flow without passing through the throttle mechanism 102 with the valve 110 opened, the flow rate of the pressure fluid flowing from the first port 12 to the second port 14 can be increased (soft). start).
  • the adjustment unit 106 having the throttle mechanism 102 and the switching mechanism 104 with respect to the body 16 constituting the flow control device 100 is provided, and the adjustment unit 106 is attached to the body 16.
  • the adjustment unit 106 can be easily replaced, the maintainability of the throttle mechanism 102 and the switching mechanism 104 can be improved, and the pressure on the fluid pressure device or the like can be improved. It is possible to realize a soft start that can avoid a sudden supply of fluid.
  • the switching of the supply state of the pressurized fluid by the on-off valve 110 of the switching mechanism 104 can be set in advance by the pressure receiving area of the second piston 122, it is necessary for the operator to perform the switching work each time. It is necessary to replace the return spring 128 that urges the on-off valve 110 toward the first valve seat portion 134 with another return spring having a different elasticity, and the supply state can be switched efficiently and reliably. This is preferable.
  • the opening / closing valve 110 is biased toward the first valve seat portion 134 by the elastic force of the return air and the return spring 128, while the second Although the on-off valve 110 is biased toward the second valve seat 136 under the action of supplying pilot air supplied to the piston chamber 124, the present invention is not limited to such a configuration.
  • the on-off valve 110 may be operated by only the return spring 128 without using air to switch the supply state of the pressure fluid.
  • flow rate control device is not limited to the above-described embodiment, and various configurations can be adopted without departing from the gist of the present invention.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Magnetically Actuated Valves (AREA)
  • Fluid-Driven Valves (AREA)
  • Multiple-Way Valves (AREA)
  • Fluid-Pressure Circuits (AREA)

Abstract

　本発明は、流量制御装置に関するものであり、この流量制御装置（１０）は、圧力流体の供給・排出される第１及び第２ポート（１２、１４）を有したボディ（１６）と、前記ボディ（１６）の上部に連結され前記圧力流体の流通状態を切り換える一組の第１及び第２電磁弁（１８、２０）と、前記第１及び第２電磁弁（１８、２０）の切換作用下に流通している圧力流体の流量を増加させる開閉弁（２２）とを備える。そして、開閉弁（２２）の弁閉状態において、第１ポート（１２）から第２ポート（１４）へと圧力流体を所定流量で流通させた後、前記開閉弁（２２）を弁開させることで、前記第１ポート（１２）から第２ポート（１４）へと流通する圧力流体の流量を増加させる。

Description

流量制御装置
　本発明は、弁体の開閉作用下に圧力流体の流通状態及び流量を制御可能な流量制御装置に関する。
　従来から、圧力流体供給源から供給された圧力流体を所定流量に制御し、二次側に接続された流体圧機器等へと供給する流量制御装置が知られている。このような流量制御装置では、例えば、欧州特許第２０４７１０８号明細書に開示されるように、流通初期には絞り弁を通じて圧力流体を流通させることで流量を絞り、所定時間経過した後に、弁体を弁開状態へと切り換えて前記圧力流体の流量を増加させるソフトスタート式が採用されている。このような構造とすることにより、流量制御装置の二次側に接続された流体圧機器に対して大流量の圧力流体が急激に供給され、該流体圧機器の破損等を招くことを防止している。
　上述したようなソフトスタート式の流量制御装置では、圧力流体の流量を制御するメインバルブと、該メインバルブの開閉を制御する切換バルブとを備えており、前記メインバルブと前記切換バルブとを互いに接続するための配管が必要となる。そのため、配管を含むことで流量制御装置が大型化してしまうと共に、部品点数が増加してしまう。また、流量制御装置を組み付ける際に配管を接続する作業が発生するため煩雑である。
　本発明の一般的な目的は、部品点数の削減及び小型化を図ると共に、残存した圧力流体を確実に排気することが可能な流量制御装置を提供することにある。
　本発明は、圧力流体が供給・排出される一組のポートと、二次側に残存した圧力流体を排気する排気ポートと、前記ポート、前記排気ポートを接続し前記圧力流体が流通する通路とを有するボディと、
　一方のポートから他方のポートへと流通する前記圧力流体の流量を調整する調整機構と、
　前記ポート、前記通路、前記排気ポートの連通状態を切り換える少なくとも２つ以上の切換弁と、
　を備え、
　前記調整機構は、一方のポートと他方のポートとの間を流通する圧力流体の流量を調整する絞り弁と、前記一方のポートと他方のポートとの連通状態を切換自在な開閉弁とを有し、前記開閉弁の切換作用下に前記圧力流体の流量を段階的に増減させることを特徴とする。
　本発明によれば、一組のポート、通路、排気ポートの連通状態を切り換える少なくとも２つ以上の切換弁と、一方のポートから他方のポートへと流通する圧力流体の流量を調整する調整機構とをボディに対して一体的に連結すると共に、前記調整機構が、一方のポートと他方のポートとの間を流通する圧力流体の流量を調整する絞り弁と、前記一方のポートと他方のポートとの連通状態を切換自在な開閉弁とを備えることで、前記ボディ、調整機構、切換弁等をそれぞれ別個に設け配管等で接続する場合と比較し、前記配管等が不要となるため部品点数及び組付工数の削減を図ることができると共に、流量制御装置の小型化を図ることが可能となる。また、少なくとも２つ以上の切換弁を設けているため、何らかの理由でいずれか一方の切換弁に不具合が生じた場合でも、正常に動作可能な残りの一方の切換弁を作動させることで、二次側の圧力流体を確実に外部へと排気することができる。
　上記の目的、特徴及び利点は、添付した図面を参照して説明される以下の実施の形態の説明から容易に諒解されるであろう。
図１は、本発明の第１の実施の形態に係る流量制御装置の外観斜視図である。 図２は、図１に示す流量制御装置の正面図である。 図３は、図２のＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿った断面図である。 図４は、図２のＩＶ－ＩＶ線に沿った断面図である。 図５は、図３のＶ－Ｖ線に沿った断面図である。 図６は、図３のＶＩ－ＶＩ線に沿った断面図である。 図７は、図３のＶＩＩ－ＶＩＩ線に沿った断面図である。 図８は、図３のＶＩＩＩ－ＶＩＩＩ線に沿った断面図である。 図９は、図１に示す流量制御装置の回路図である。 図１０は、第１ポートに供給される圧力流体の圧力と第２ポートから排気される圧力流体の圧力との関係を示す特性曲線図である。 図１１は、本発明の第２の実施の形態に係る流量制御装置の外観斜視図である。 図１２は、図１１のＸＩＩ－ＸＩＩ線に沿った断面図である。 図１３は、図１１のＸＩＩＩ－ＸＩＩＩ線に沿った断面図である。 図１４は、図１１のＸＩＶ－ＸＩＶ線に沿った断面図である。 図１５は、図１１に示す流量制御装置の回路図である。
　この第１の実施の形態に係る流量制御装置１０は、図１～図９に示されるように、圧力流体の供給・排出される第１及び第２ポート１２、１４を有したボディ１６と、前記ボディ１６の上部に連結され前記圧力流体の流通状態を切り換える一組の第１及び第２電磁弁（切換弁）１８、２０と、前記第１及び第２電磁弁１８、２０の切換作用下に流通している圧力流体の流量を増加させる開閉弁（調整機構）２２とを含む。
　ボディ１６は、例えば、断面矩形状で水平方向に沿って長尺に形成され、その一端部に第１ポート１２が開口すると共に、他端面に第２ポート１４が開口している。この第１ポート１２は、図示しない圧力流体供給源に接続されて圧力流体が供給され、第２ポート１４には、例えば、図示しない流体圧機器等に接続される。
　また、ボディ１６の側面には、第１及び第２ポート１２、１４と直交する方向に開口した一対の排気ポート２４ａ、２４ｂが形成され（図２、図３参照）、前記排気ポート２４ａ、２４ｂには図示しない配管が接続され大気開放されている。
　一方、ボディ１６の内部には、図３及び図４に示されるように、第１ポート１２に連通する第１流路２６と、後述する開閉弁２２の弁開状態において前記第１流路２６と連通する第２流路２８と、第１電磁弁１８による切換作用下に前記第２流路２８と連通する第３流路３０と、第２電磁弁２０による切換作用下に前記第３流路３０と連通する第４流路３２とが形成される。
　第１流路２６と第２流路２８との間には、該第１流路２６と第２流路２８とを連通させる連通室３４が形成され、前記連通室３４には、第１流路２６から第２流路２８へと流通する圧力流体の流量を調整可能な開閉弁２２が設けられる。また、第３流路３０は、ボディ１６の上部に接続される第１電磁弁１８の内部と連通し、第４流路３２は、前記ボディ１６の上部に接続される第２電磁弁２０の内部及び第２ポート１４と連通している。
　第１及び第２電磁弁１８、２０は、図５、図７及び図９に示されるように、略同一形状で形成され、ボディ１６に対して連結されるハウジング３６ａ、３６ｂと、前記ハウジング３６ａ、３６ｂの内部に軸方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って変位自在に設けられるシャフト弁３８ａ、３８ｂと、前記ハウジング３６ａ、３６ｂの端部に連結され前記シャフト弁３８ａ、３８ｂを軸方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に変位させるソレノイド部４０ａ、４０ｂと、前記シャフト弁３８ａ、３８ｂを前記ソレノイド部４０ａ、４０ｂ側（矢印Ａ方向）に向かって付勢するスプリング４２ａ、４２ｂとからなる。
　この第１電磁弁１８と第２電磁弁２０とは、図９に示されるように第１ポート１２と第２ポート１４との間で直列に配置される。
　なお、ここでは、第１電磁弁１８の構成について図６を参照しながら説明し、第２電磁弁２０の構成については、基本的に第１電磁弁１８と同様の構成であるため、その詳細な説明は省略すると共に、その参照符号を括弧書きで付すものとする。
　第１電磁弁１８を構成するハウジング３６ａ（３６ｂ）は、軸方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って貫通したシャフト孔４４ａ（４４ｂ）が形成され、該シャフト孔４４ａ（４４ｂ）の内部にシャフト弁３８ａ（３８ｂ）が変位自在に設けられる。また、ハウジング３６ａ（３６ｂ）には、シャフト孔４４ａ（４４ｂ）と直交する方向に延在した第１～第３連通路４６ａ（４６ｂ）、４８ａ（４８ｂ）、５０ａ（５０ｂ）が形成され、前記第１連通路４６ａがボディ１６の第２流路２８と連通し、前記第２連通路４８ａが前記ボディ１６の第３流路３０と連通すると共に、前記第３連通路５０ａが前記ボディ１６における排気ポート２４ａと連通している。
　なお、第１～第３連通路４６ａ（４６ｂ）、４８ａ（４８ｂ）、５０ａ（５０ｂ）は、ハウジング３６ａ（３６ｂ）の軸方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って互いに所定間隔離間して形成される。
　シャフト孔４４ａ（４４ｂ）には、シャフト弁３８ａ（３８ｂ）の弁部５６ａ（５６ｂ）が着座する第１及び第２弁座５２ａ（５２ｂ）、５４ａ（５４ｂ）が形成され、前記弁部５６ａ（５６ｂ）が前記第１弁座５２ａ（５２ｂ）と第２弁座５４ａ（５４ｂ）との間に配置される。
　そして、シャフト弁３８ａが軸方向（矢印Ａ方向）に変位し、その弁部５６ａが第１弁座５２ａに着座することで、第１及び第２連通路４６ａ、４８ａを通じた第２流路２８と第３流路３０との連通を遮断する。一方、シャフト弁３８ａが前記とは反対方向（矢印Ｂ方向）に変位することで、その弁部５６ａが第２弁座５４ａに着座し、第２及び第３連通路４８ａ、５０ａを通じた第３流路３０と排気ポート２４ａとの連通を遮断する。
　また、シャフト弁３８ａ（３８ｂ）は、その一端部とハウジング３６ａ（３６ｂ）との間にスプリング４２ａ（４２ｂ）が介装され、前記シャフト弁３８ａ（３８ｂ）をソレノイド部４０ａ（４０ｂ）側（矢印Ａ方向）に向かって付勢している。これにより、シャフト弁３８ａ（３８ｂ）の弁部５６ａ（５６ｂ）が第１弁座５２ａ（５２ｂ）に対して着座している。
　ソレノイド部４０ａ（４０ｂ）は、図示しないコントローラからの制御信号をコイル（図示せず）へ入力することで励磁し、ボディ１６の第１流路２６と連通したパイロット供給ポート５８ａ（５８ｂ）に供給されるパイロットエアを第１ピストン室６０ａ（６０ｂ）へと供給する。そして、第１ピストン室６０ａ（６０ｂ）に変位自在に設けられた第１ピストン６２ａ（６２ｂ）がパイロットエアによってハウジング３６ａ（３６ｂ）側（矢印Ｂ方向）に押圧されて変位する。
　第１ピストン６２ａ（６２ｂ）は、ハウジング３６ａ（３６ｂ）に設けられたシャフト弁３８ａ（３８ｂ）の他端部に当接するように設けられ、前記第１ピストン６２ａ（６２ｂ）が変位することで前記シャフト弁３８ａ（３８ｂ）がスプリング４２ａ（４２ｂ）の弾発力に抗して押圧される。これにより、弁部５６ａ（５６ｂ）が第１弁座５２ａ（５２ｂ）から離間し、第２弁座５４ａ（５４ｂ）に着座するように変位する。
　また、第２電磁弁２０を構成するハウジング３６ｂには、第１電磁弁１８と同様に第１～第３連通路４６ｂ、４８ｂ、５０ｂが形成され、前記第１連通路４６ｂがボディ１６の第３流路３０と連通し、前記第２連通路４８ｂが前記ボディ１６の第４流路３２と連通すると共に、前記第３連通路５０ｂが前記ボディ１６における排気ポート２４ｂと連通している。なお、第１及び第２電磁弁１８、２０は上述したように３ポート弁である。
　開閉弁２２は、図３に示されるように、第１ポート１２の延在方向と直交するように設けられ、ボディ１６の側面に開口した開口部を通じて該ボディ１６の内部に挿入される。なお、開口部は、それぞれ第１及び第２カバー部材６４、６６によって閉塞される。
　この開閉弁２２は、圧力流体の供給作用下に軸方向（矢印Ｃ、Ｄ方向）に沿って変位する第２ピストン６８と、前記第２ピストン６８と当接して一体的に変位するプッシュロッド７０と、前記プッシュロッド７０の端部に装着され、ボディ１６における第１流路２６と第２流路２８との連通状態を切り換える弁体７２と、前記弁体７２を弁座部７４（矢印Ｃ方向）側に向かって付勢するリターンスプリング７６とを有する。
　第２ピストン６８は、第２ピストン室８０に設けられ、その外周面には環状のピストンパッキン７８が装着される。そして、第２ピストン室８０は、その外周側で第４流路３２と連通し、前記第４流路３２から第２ピストン室８０へと圧力流体が供給されることで、前記第２ピストン６８が弁体７２側（矢印Ｄ方向）に向かって付勢される。
　プッシュロッド７０は、その一端部が第２ピストン６８の端面に当接し、前記プッシュロッド７０の他端部には、ホルダ８２を介してリング状の弁体７２が当接する。なお、弁体７２は、例えば、ゴム等の弾性材料から形成され、プッシュロッド７０の他端部における外周側に配置される。
　また、ホルダ８２の外縁部には、ボディ１６に設けられたスプリングホルダ８４との間にリターンスプリング７６が介装される。そして、リターンスプリング７６は、ホルダ８２を介して弁体７２を前記ボディ１６に形成された環状の弁座部７４側（矢印Ｃ方向）に向かって付勢している。弁座部７４は、第１流路２６と第２流路２８との境界に形成される。
　また、開閉弁２２の近傍には、第１流路２６と第２流路２８との間を流通する圧力流体の流量を調整可能な絞り機構８６が設けられる。この絞り機構８６は、ボディ１６の側面に連結されたニードルホルダ８８と、前記ニードルホルダ８８に螺合されるニードル弁（絞り弁）９０とを備え、前記ニードル弁９０はプッシュロッド７０と直交するように設けられる。このニードル弁９０は螺回させることで軸方向に沿って進退自在に設けられ、テーパ状に形成された先端部とニードルホルダ８８との間の間隙を調整することで、前記間隙を介して第１流路２６から第２流路２８へと流通する圧力流体の流量を調整する。
　本発明の第１の実施の形態に係る流量制御装置１０は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作並びに作用効果について説明する。なお、第１及び第２ポート１２、１４、排気ポート２４ａ、２４ｂに対してそれぞれ配管（図示せず）を接続すると共に、前記第１ポート１２に対して図示しない圧力流体供給源から圧力流体を供給しておく。
　また、流量制御装置１０において、開閉弁２２の弁体７２が弁座部７４に着座して第１流路２６と第２流路２８との連通が遮断され、且つ、第１及び第２電磁弁１８、２０が非通電状態にあり、第２～第４流路２８、３０、３２の連通が遮断している状態を初期状態として説明する。この場合、第１ポート１２から第１流路２６へと供給されている圧力流体は、絞り機構８６によって所定流量に絞られた後に第２流路２８へと流通している。
　この図３、図６及び図７に示されるような初期状態において、先ず、図６に示される第１電磁弁１８のソレノイド部４０ａに対して通電することで、第１ピストン室６０ａにパイロットエアが供給され、それに伴って第１ピストン６２ａが変位してシャフト弁３８ａが一体的に前記ソレノイド部４０ａから離間する方向（矢印Ｂ方向）へと変位する。これにより、弁部５６ａがスプリング４２ａの弾発力に抗して第１弁座５２ａから離間する。そして、弁部５６ａが第２弁座５４ａに着座することで第１連通路４６ａと第２連通路４８ａとが連通し、第２流路２８に供給されている圧力流体が第３流路３０へと流通する。この場合、第２電磁弁２０は通電がなされていない非通電状態にある。
　次に、第１電磁弁１８に対して通電しつつ、第２電磁弁２０のソレノイド部４０ｂに対しても通電する。これにより、第２電磁弁２０の第１ピストン室６０ｂにパイロットエアが供給され、それに伴って第１ピストン６２ｂが変位してシャフト弁３８ｂが一体的に前記ソレノイド部４０ｂから離間する方向（矢印Ｂ方向）へと変位する。その結果、第２電磁弁２０の弁部５６ｂが第１弁座５２ｂから離間して第１連通路４６ｂと第２連通路４８ｂとが連通し、第３流路３０に供給されている圧力流体が第４流路３２へと流通した後、第２ポート１４から排出される。
　この場合、図１０に示されるように、第１ポート１２に供給される圧力流体の圧力Ｐ１に対して第２ポート１４から排出される圧力流体の圧力Ｐ２は約半分以下となる（１／２Ｐ１＞Ｐ２）。すなわち、第１ポート１２に供給される圧力流体は、絞り機構８６を通じて第２流路２８側となる下流へと流通することによって圧力（流量）が予め約半分（１／２Ｐ１）に絞られている。
　次に、第４流路３２に供給された圧力流体が第２ピストン室８０へと流入することで、開閉弁２２における第２ピストン６８がプッシュロッド７０側（矢印Ｄ方向）へと変位し、該プッシュロッド７０を弁座部７４側（矢印Ｄ方向）へと押圧することで弁体７２が前記弁座部７４から離間した弁開状態となる。これにより、第１流路２６に供給されている圧力流体がプッシュロッド７０の設けられた連通室３４を通じて第２流路２８へと流通する。
　すなわち、絞り機構８６の調整作用下に第１流路２６から第２流路２８へと流通していた圧力流体に加え、開閉弁２２の弁開動作によって連通室３４を介して前記第１流路２６から前記第２流路２８へと同時に前記圧力流体が流通することとなる。そのため、第１ポート１２から第２ポート１４へと流通する圧力流体の圧力が徐々に増加し始め（Ｐ２＞１／２Ｐ１）、最終的に、前記第１ポート１２の圧力と第２ポート１４の圧力とが均等となる（図１０中、Ｐ１＝Ｐ２）。
　上述した流量制御装置１０では、図１０の特性曲線から諒解されるように、初期状態において開閉弁２２を弁閉状態としておくことで、第１ポート１２から第２ポート１４へと流通する圧力流体の流量を絞り機構８６によって絞り、該初期状態から所定時間経過した後に、前記開閉弁２２を弁開状態として前記第１ポート１２から第２ポート１４へと流通する圧力流体の流量を増加させることが可能となる（ソフトスタート）。このような構成とすることにより、第１ポート１２に対して供給された圧力流体が第２ポート１４に接続された流体圧機器等に対して急激、且つ、大流量で供給されることが回避され、前記流体圧機器の破損等が確実に防止される。
　一方、ボディ１６の内部に残存した圧力流体を排気する場合には、先ず、第１電磁弁１８へ通電すると共に、第２電磁弁２０への通電を停止することにより、該第２電磁弁２０のソレノイド部４０ｂが非励磁状態となり、それに伴って、シャフト弁３８ｂに対する前記ソレノイド部４０ｂから離間する方向への押圧力が滅勢する。これにより、シャフト弁３８ｂは、図７に示されるように、スプリング４２ｂの弾発力によってソレノイド部４０ｂ側（矢印Ａ方向）へと押圧され、その弁部５６ｂが第１弁座５２ｂに着座し、第３流路３０と第４流路３２との連通が遮断される。これにより、二次側（下流側）の圧力流体が、第４流路３２を通じて他方の排気ポート２４ｂから外部へと排気される。
　この場合、開閉弁２２は、第４流路３２から第２ピストン室８０へと供給される圧力流体の圧力が低下するため、第２ピストン６８のプッシュロッド７０側に向かった押圧力が小さくなり、リターンスプリング７６の弾発力に打ち負ける。そのため、プッシュロッド７０が第２ピストン６８側（矢印Ｃ方向）へと変位し、弁体７２が弁座部７４に着座する（図３、図８参照）。その結果、連通室３４を通じた第１流路２６と第２流路２８との連通が遮断される。
　次に、第１電磁弁１８への通電を停止し、第２電磁弁２０へ通電した状態とすることにより、前記第１電磁弁１８のソレノイド部４０ａが非励磁状態となり、それに伴って、シャフト弁３８ａに対する前記ソレノイド部４０ａから離間する方向への押圧力が滅勢する。これにより、第１電磁弁１８のシャフト弁３８ａは、図６に示されるように、スプリング４２ａの弾発力によってソレノイド部４０ａ側（矢印Ａ方向）へと押圧され、その弁部５６ａが第１弁座５２ａに着座し、第２流路２８と第３流路３０との連通が遮断される。その結果、二次側（下流側）の圧力流体が、第３及び第４流路３０、３２を通じて一方の排気ポート２４ａから外部へと排気される。
　さらに、第１及び第２電磁弁１８、２０への通電をいずれも停止した状態とすることにより、前記第１及び第２電磁弁１８、２０のソレノイド部４０ａ、４０ｂがそれぞれ非励磁状態となり、それに伴って、シャフト弁３８ａ、３８ｂに対する前記ソレノイド部４０ａ、４０ｂから離間する方向への押圧力が滅勢する。これにより、第１及び第２電磁弁１８、２０のシャフト弁３８ａ、３８ｂは、その弁部５６ａ、５６ｂがそれぞれ第１弁座５２ａ、５２ｂに対して着座し、第２流路２８と第３流路３０との連通、前記第３流路３０と第４流路３２との連通がそれぞれ遮断される。
　その結果、二次側（下流側）の圧力流体は、第３流路３０に残存した圧力流体が、一方の排気ポート２４ａから外部へと排気されると同時に、第４流路３２より下流側に残存している圧力流体は、前記第４流路３２から他方の排気ポート２４ｂを経て外部へと排気される。
　すなわち、第１及び第２電磁弁１８、２０の少なくともいずれか一方への通電を停止させることで、二次側の圧力流体をボディ１６の外部へと排気することができる。換言すれば、第１及び第２電磁弁１８、２０のいずれか一方に不具合が生じて動作しない場合でも、該不具合の生じていない正常な第１又は第２電磁弁１８、２０を作動させることで、二次側の圧力流体を確実に外部へと排気することができる。
　以上のように、第１の実施の形態では、ボディ１６に対して開閉弁２２と第１及び第２電磁弁１８、２０を一体的に連結しているため、前記ボディ１６、開閉弁２２、第１及び第２電磁弁１８、２０をそれぞれ別個に設け、配管等を介して互いに接続する構成と比較し、前記配管等が不要となるため部品点数及び組付工数の削減を図ることができると共に、流量制御装置１０の小型化を図ることができる。
　また、流量制御装置１０のメンテナンスを行う際、第１及び第２カバー部材６４、６６を取り外すことで簡便にプッシュロッド７０、弁体７２及び第２ピストン６８を交換することが可能であるため、メンテナンス性を良好とすることができる。
　さらに、第１ポート１２に供給された圧力流体が、最初に開閉弁２２を弁閉状態としておくことで、前記第２ポート１４から二次側に接続された流体圧機器等に対して急激に供給されてしまうことを回避でき、第２ポート１４へと流通する圧力流体が、所定時間が経過した後に、前記圧力流体の流量（圧力）を前記開閉弁２２の弁開動作によって増加させて供給することで、前記流体圧機器等の破損を確実に防止することができる。
　さらにまた、第１及び第２電磁弁１８、２０という２つの電磁弁を設けているため、何らかの理由でいずれか一方の電磁弁に不具合が生じた場合でも、正常に動作可能な残りの一方の電磁弁を作動させることで、二次側に残存している圧力流体を確実に外部へと排気することが可能となる。
　またさらに、第１及び第２電磁弁１８、２０に供給されるパイロットエアは、開閉弁２２の上流側となる一次側から供給されているため、前記開閉弁２２の開閉動作に影響を受けることなく、前記第１及び第２電磁弁１８、２０を作動させることができる。
　また、開閉弁２２を、第１及び第２電磁弁１８、２０の上流側（一次側）に設けることで、何らかの理由で前記開閉弁２２を弁閉状態にできない等の動作不良が生じた場合でも、前記第１及び第２電磁弁１８、２０を切り換えることで、ボディ１６の内部に残存している圧力流体を好適に排気ポート２４ａ、２４ｂから外部へと排出することが可能となる。
　さらに、第１及び第２電磁弁１８、２０は、ボディ１６の上部に一体的に連結され、且つ、前記ボディ１６の内部と連通しているため、前記第１及び第２電磁弁１８、２０と前記ボディ１６とを配管等で接続するという煩雑な作業が不要となる。その結果、流量制御装置１０の組付性を向上できる。
　次に、第２の実施の形態に係る流量制御装置１００を図１１～図１５に示す。なお、上述した第１の実施の形態に係る流量制御装置１０と同一の構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明を省略する。
　この第２の実施の形態に係る流量制御装置１００では、絞り機構１０２及び切換機構１０４を有した調整ユニット１０６を備え、前記調整ユニット１０６がボディ１６に対して着脱自在に設けられている点で、第１の実施の形態に係る流量制御装置１０と相違している。
　この流量制御装置１００は、図１１～図１４に示されるように、第１及び第２ポート１２、１４を有したボディ１６の上部に、第１及び第２電磁弁１８、２０と並列に調整ユニット１０６が連結される。この調整ユニット１０６は、第１電磁弁１８に隣接した第１ポート１２側に設けられ、断面矩形状に形成されたハウジング１０８と、該ハウジング１０８の内部に変位自在に設けられる開閉弁１１０とを含む切換機構１０４と、前記ハウジング１０８の上部に設けられる絞り機構１０２とを備える。
　この切換機構１０４は、例えば、３ポート弁からなり、ハウジング１０８の内部には、長手方向（矢印Ｃ、Ｄ方向）に沿って貫通したシャフト孔１１２が形成され、該シャフト孔１１２には後述する開閉弁１１０が変位自在に収納される。また、ハウジング１０８の両端部には、それぞれ第１及び第２エンドカバー１１４、１１６が装着され前記シャフト孔１１２が閉塞される。
　また、ハウジング１０８には、シャフト孔１１２と直交するように下方に向かって貫通した一組の第１連通路１１８ａ、１１８ｂと第２連通路１２０が形成され、前記第１連通路１１８ａ、１１８ｂがそれぞれ前記シャフト孔１１２の軸方向に沿った一端部及び他端部側に配置され、前記第２連通路１２０が前記軸方向の略中央部となる位置に配置される。そして、第１及び第２連通路１１８ａ、１１８ｂ、１２０は、その上部がシャフト孔１１２と連通し、下部がボディ１６の第１及び第２流路２６、２８にそれぞれ連通している。
　第１エンドカバー１１４の内部には、シャフト孔１１２に臨むように第２ピストン１２２が変位自在に収納され、該第２ピストン１２２の端部が開閉弁１１０の端部に当接している。そして、第１エンドカバー１１４の内部に形成された第２ピストン室１２４に圧力流体が供給されることで、前記第２ピストン１２２が開閉弁１１０側（矢印Ｃ方向）に向かって付勢され、それに伴って、前記開閉弁１１０が第１エンドカバー１１４から離間する方向（矢印Ｃ方向）に向かって押圧される。なお、第２ピストン室１２４は、ボディ１６に形成された第４流路３２と連通している。
　一方、第２エンドカバー１１６の内部には、シャフト孔１１２に臨むようにスプリングホルダ１２６が設けられ、該スプリングホルダ１２６と開閉弁１１０との間にリターンスプリング１２８が設けられている。このリターンスプリング１２８は、例えば、コイルスプリングからなり、その弾発力は開閉弁１１０を第１エンドカバー１１４側（矢印Ｄ方向）に向かって押圧するように付勢される。なお、第２エンドカバー１１６の内部は、第１連通路１１８ｂと連通している。
　開閉弁１１０は、軸方向（矢印Ｃ、Ｄ方向）に沿った一端部及び他端部がそれぞれシャフト孔１１２に装着されたガイド体１３０ａ、１３０ｂによって変位自在に支持され、該軸方向に沿った略中央部に形成された弁部１３２が前記ガイド体１３０ａ、１３０ｂに形成された第１弁座部１３４、第２弁座部１３６に着座することで、ハウジング１０８に形成された一組の第１連通路１１８ａ、１１８ｂのいずれか一方と第２連通路１２０との連通状態を切り換えている。
　すなわち、開閉弁１１０の変位作用下に第２連通路１２０と第１連通路１１８ａ、１１８ｂのいずれか一方との連通状態を切換可能な３ポート弁として機能する。
　絞り機構１０２は、ハウジング１０８において開閉弁１１０の他端部側（矢印Ｃ方向）に設けられ、該ハウジング１０８の上面に連結されたニードルホルダ１３８と、前記ニードルホルダ１３８に螺合されるニードル弁（絞り弁）１４０とを備え、前記ニードル弁１４０は開閉弁１１０と直交するように設けられる。このニードル弁１４０は螺回させることで軸方向に沿って進退自在に設けられ、テーパ状に形成された先端部とニードルホルダ１３８との間の間隙を調整することで、前記間隙を介して第１連通路１１８ｂから第２連通路１２０へと流通する圧力流体の流量を調整する。なお、絞り機構１０２を構成するニードルホルダ１３８及びニードル弁１４０の一部が、ハウジング１０８の上面に対して所定高さで突出するように設けられる。
　本発明の第２の実施の形態に係る流量制御装置１００は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作並びに作用効果について説明する。なお、上述した第１の実施の形態に係る流量制御装置１０と同様の動作については、ここでは詳細な説明を省略する。
　また、図１２に示されるように、流量制御装置１００において、調整ユニット１０６の開閉弁１１０の弁部１３２が第１弁座部１３４に着座し、第１連通路１１８ａを通じた第１流路２６と第２流路２８との連通が遮断され、且つ、第１及び第２電磁弁１８、２０が非通電状態にあり、第２～第４流路２８、３０、３２の連通が遮断している状態を初期状態として説明する。この場合、第１ポート１２から第１流路２６へと供給されている圧力流体は、第１連通路１１８ｂからへと絞り機構１０２によって所定流量に絞られた後に、第２連通路１２０を通じて第２流路２８へと流通している状態にある。
　この初期状態において、第１電磁弁１８に対して通電することで、第１ピストン室６０ａにパイロットエアが供給され、それに伴って第１ピストン６２ａが変位してシャフト弁３８ａの弁部が第１弁座５２ａから離間する。そして、弁部５６ａが第２弁座５４ａに着座することで第１連通路４６ａと第２連通路４８ａとが連通し、第２流路２８に供給されている圧力流体が第３流路３０へと流通する。
　次に、第１電磁弁１８に対する通電を継続した状態で、第２電磁弁２０のソレノイド部４０ｂに対して通電することで、第２電磁弁２０の第１ピストン室６０ｂにパイロットエアが供給され、第１ピストン６２ｂが変位してシャフト弁３８ｂの弁部５６ｂが第１弁座５２ｂから離間して第１連通路４６ｂと第２連通路４８ｂとが連通し、第３流路３０に供給されている圧力流体が第４流路３２へと流通した後、第２ポート１４から排出される。
　この場合、第１ポート１２から第２ポート１４へと流通する圧力流体の流量は、絞り機構１０２によって所定流量に絞られたものであるため、前記第１ポート１２に供給される圧力流体の圧力Ｐ１に対して第２ポート１４から排出される圧力流体の圧力Ｐ２は所定圧力だけ減少したものとなる（Ｐ１＞Ｐ２）。
　次に、第４流路３２に供給された圧力流体が、パイロットエアとして調整ユニット１０６の第２ピストン室１２４へと流入することで、第２ピストン１２２が開閉弁１１０側（矢印Ｃ方向）へと変位し、第１連通路１１８ｂを通じて第２エンドカバー１１６内に供給されるリターンエアの押圧力及びリターンスプリング１２８の弾発力に抗して開閉弁１１０を第２弁座部１３６側へと押圧することで弁部１３２が第１弁座部１３４から離間した弁開状態となる。これにより、第１流路２６から第１連通路１１８ｂに供給されている圧力流体が、他方の第１連通路１１８ａからシャフト孔１１２を通じて直接第２連通路１２０へと供給され、一方、絞り機構１０２を通じて前記第２連通路１２０へと供給されていた圧力流体の供給が遮断される。
　すなわち、切換機構１０４を構成する開閉弁１１０は、パイロットエアの供給作用下にリターンエアの押圧力及びリターンスプリング１２８の弾発力に抗して弁部１３２を第１弁座部１３４から離間させ、第２弁座部１３６へと着座させることで、一方の第１連通路１１８ｂと第２連通路１２０との連通を遮断し、他方の第１連通路１１８ａと前記第２連通路１２０とを連通させるように切り換えている。
　また、第１ポート１２から第２ポート１４へと供給される圧力流体の圧力を変化させるタイミングは、第２ピストン室１２４に供給され、開閉弁１１０を第２弁座部１３６側（矢印Ｃ方向）に向かって付勢するパイロットエアの圧力が、リターンエアの圧力の約半分となった場合に切り換わるように、第２ピストン１２２の受圧面積が設定される。
　これにより、第２ポート１４を通じて外部に排出される圧力流体の流量（圧力）を増加させることが可能となる。すなわち、初期状態において調整ユニット１０６の開閉弁１１０を第１弁座部１３４に着座させた弁閉状態としておくことで、絞り機構１０２によって絞られた流量で第１ポート１２から第２ポート１４へと圧力流体が流通し、該初期状態から第２ピストン室１２４へ供給されるパイロットエアの圧力が第１ポート１２に供給される圧力流体の圧力の約半分以上となった場合に、前記開閉弁１１０を弁開状態として該絞り機構１０２を介さずに圧力流体を流通させることで、前記第１ポート１２から第２ポート１４へと流通する圧力流体の流量を増加させることが可能となる（ソフトスタート）。このような構成とすることにより、第１ポート１２に対して供給された圧力流体が第２ポート１４に接続された流体圧機器等に対して急激、且つ、大流量で供給されることが回避され、前記流体圧機器の破損等が確実に防止される。
　以上のように、第２の実施の形態では、流量制御装置１００を構成するボディ１６に対して絞り機構１０２及び切換機構１０４を有した調整ユニット１０６を備え、前記調整ユニット１０６を前記ボディ１６に対して着脱自在とすることにより、前記調整ユニット１０６の交換を容易に行うことができ、前記絞り機構１０２及び切換機構１０４のメンテナンス性を向上させることが可能となり、しかも、流体圧機器等に対する圧力流体の急激な供給を回避可能なソフトスタートを実現することができる。
　また、切換機構１０４の開閉弁１１０による圧力流体の供給状態の切り換えを、第２ピストン１２２の受圧面積によって予め設定しておくことが可能であるため、作業者がその都度切換え作業を行う必要がなく効率的且つ確実に供給状態の切換えを行うことができると共に、開閉弁１１０を第１弁座部１３４側に付勢するリターンスプリング１２８を弾発力の異なる別のリターンスプリングへと交換する必要がなく好適である。
　また、上述した第２の実施の形態に係る流量制御装置１００では、リターンエア及びリターンスプリング１２８の弾発力によって開閉弁１１０を第１弁座部１３４側へと付勢し、一方、第２ピストン室１２４へ供給されるパイロットエアの供給作用下に前記開閉弁１１０を第２弁座部１３６側へ付勢する構成としているが、このような構成に限定されるものではなく、例えば、リターンエアを利用することなく、リターンスプリング１２８のみで前記開閉弁１１０を作動させて圧力流体の供給状態を切り換えるようにしてもよい。
　なお、本発明に係る流量制御装置は、上述の実施の形態に限らず、本発明の要旨を逸脱することなく、種々の構成を採り得ることはもちろんである。

Claims (11)

  1. 　圧力流体が供給・排出される一組のポート（１２、１４）と、二次側に残存した圧力流体を排気する排気ポート（２４ａ、２４ｂ）と、前記ポート（１２、１４）、前記排気ポート（２４ａ、２４ｂ）を接続し前記圧力流体が流通する通路（２６、２８、３０、３２）とを有するボディ（１６）と、
    　一方のポート（１２）から他方のポート（１４）へと流通する前記圧力流体の流量を調整する調整機構と、
    　前記ポート（１２、１４）、前記通路（２６、２８、３０、３２）、前記排気ポート（２４ａ、２４ｂ）の連通状態を切り換える少なくとも２つ以上の切換弁（１８、２０）と、
    　を備え、
    　前記調整機構は、一方のポート（１２）と他方のポート（１４）との間を流通する圧力流体の流量を調整する絞り機構（８６、１０２）と、前記一方のポート（１２）と他方のポート（１４）との連通状態を切換自在な開閉弁（２２、１１０）とを有し、前記開閉弁（２２、１１０）の切換作用下に前記圧力流体の流量を段階的に増減させることを特徴とする流量制御装置。
  2. 　請求項１記載の流量制御装置において、
    　前記切換弁（１８、２０）は、前記ボディ（１６）に対して着脱自在に設けられることを特徴とする流量制御装置。
  3. 　請求項２記載の流量制御装置において、
    　前記排気ポート（２４ａ、２４ｂ）は、前記切換弁（１８、２０）の数量に応じて同数設けられることを特徴とする流量制御装置。
  4. 　請求項１記載の流量制御装置において、
    　前記切換弁（１８、２０）は、３ポート弁であり、且つ、互いに直列となるように配置されることを特徴とする流量制御装置。
  5. 　請求項１記載の流量制御装置において、
    　前記調整機構は、前記ボディ（１６）に対して着脱自在に設けられることを特徴とする流量制御装置。
  6. 　請求項４記載の流量制御装置において、
    　前記切換弁（１８、２０）は、通電作用下に励磁するソレノイド部（４０ａ、４０ｂ）を有した電磁弁であることを特徴とする流量制御装置。
  7. 　請求項１記載の流量制御装置において、
    　前記絞り機構（８６、１０２）は、軸方向に進退動作するニードル弁（９０、１４０）を有し、前記ニードル弁（９０、１４０）を変位させることで流量を調整することを特徴とする流量制御装置。
  8. 　請求項１記載の流量制御装置において、
    　前記一方のポート（１２）から他方のポート（１４）へと流通する圧力流体の流量は、その流通初期状態において、前記絞り機構（８６、１０２）によって絞られて減少すると共に、前記開閉弁（２２、１１０）を切り換えることで前記流量を増加させることを特徴とする流量制御装置。
  9. 　請求項８記載の流量制御装置において、
    　前記開閉弁（２２、１１０）は、スプリング（７６、１２８）の弾発作用下に前記絞り機構（８６、１０２）を通じた前記一方のポート（１２）と他方のポート（１４）との連通状態が維持され、パイロットエアの供給作用下に弾発力に抗して前記開閉弁（２２、１１０）を変位させることで、該開閉弁（２２、１１０）によって前記一方のポート（１２）と他方のポート（１４）との連通状態が切り換えられることを特徴とする流量制御装置。
  10. 　請求項８記載の流量制御装置において、
    　前記開閉弁（２２、１１０）は、スプリング（７６、１２８）の弾発作用下に前記絞り機構（８６、１０２）を通じた前記一方のポート（１２）と他方のポート（１４）との連通状態が切り換えられることを特徴とする流量制御装置。
  11. 　請求項８記載の流量制御装置において、
    　前記開閉弁（２２、１１０）は、３ポート弁であることを特徴とする流量制御装置。
PCT/JP2012/077397 2011-11-02 2012-10-24 流量制御装置 Ceased WO2013065530A1 (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201280053381.9A CN103917787B (zh) 2011-11-02 2012-10-24 流量控制设备
DE112012004574.2T DE112012004574B4 (de) 2011-11-02 2012-10-24 Strömungsratensteuervorrichtung
KR1020147014909A KR101649883B1 (ko) 2011-11-02 2012-10-24 유량 제어 장치
JP2013541714A JP6061227B2 (ja) 2011-11-02 2012-10-24 流量制御装置
US14/353,416 US9372485B2 (en) 2011-11-02 2012-10-24 Flow rate control device

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011241074 2011-11-02
JP2011-241074 2011-11-02

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2013065530A1 true WO2013065530A1 (ja) 2013-05-10

Family

ID=48191884

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2012/077397 Ceased WO2013065530A1 (ja) 2011-11-02 2012-10-24 流量制御装置

Country Status (7)

Country Link
US (1) US9372485B2 (ja)
JP (1) JP6061227B2 (ja)
KR (1) KR101649883B1 (ja)
CN (1) CN103917787B (ja)
DE (1) DE112012004574B4 (ja)
TW (1) TWI542794B (ja)
WO (1) WO2013065530A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016512868A (ja) * 2013-03-15 2016-05-09 ロス オペレーティング バルブ カンパニーＲｏｓｓ Ｏｐｅｒａｔｉｎｇ Ｖａｌｖｅ Ｃｏｍｐａｎｙ ソフトスタート機能を有する制御信頼性のある空気エネルギー遮断弁

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2540368A (en) * 2015-07-14 2017-01-18 Ge Oil & Gas Uk Ltd Fail-safe hydraulic circuit
JP6684480B2 (ja) * 2017-05-17 2020-04-22 Smc株式会社 シリンダ駆動用マニホールド装置及びシリンダ駆動装置
JP1659524S (ja) * 2019-06-14 2020-05-18
JP1659525S (ja) * 2019-09-03 2020-05-18
JP1659421S (ja) * 2019-09-03 2020-05-18
DE102021123936B3 (de) 2021-09-15 2023-01-26 Aventics Gmbh Sicherheitsventil

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55144202U (ja) * 1979-04-05 1980-10-16
JPS6119207Y2 (ja) * 1980-11-18 1986-06-10
JPH0735106A (ja) * 1993-07-27 1995-02-03 Ckd Corp エアシリンダ駆動制御回路及び流量制御弁
JP3016029U (ja) * 1995-03-08 1995-09-26 川崎重工業株式会社 メンテナンスバルブ
JP2544693Y2 (ja) * 1992-04-30 1997-08-20 エスエムシー株式会社 安全制御装置
JP2565816Y2 (ja) * 1993-07-09 1998-03-25 シーケーディ株式会社 制御弁
JP3530557B2 (ja) * 1993-10-14 2004-05-24 Ｓｍｃ株式会社 スロースタートバルブ

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54101069A (en) 1978-01-27 1979-08-09 Hitachi Metals Ltd Fluid cylinder control circuit
JPS55126107A (en) 1979-03-19 1980-09-29 Toyooki Kogyo Co Ltd Controller for compressed-air operated actuator
JPS55144202A (en) 1979-04-29 1980-11-11 Matsushita Electric Works Ltd Optical fiber switch device
SE418523B (sv) 1979-07-20 1981-06-09 Mecman Ab Ventilanordning for anslutning till en tryckmediekella och kontrollerad tryckmedietillforsel till och tryckuppbyggnad i ett tryckmediesystem
JPS6119207A (ja) 1984-07-05 1986-01-28 Murata Mfg Co Ltd ラインフイルタ
JPH0419207Y2 (ja) 1985-12-27 1992-04-30
JP3016029B2 (ja) 1988-10-31 2000-03-06 理想科学工業株式会社 画像処理装置
JP2683104B2 (ja) 1989-06-12 1997-11-26 キヤノン株式会社 情報記録再生装置
US5067519A (en) * 1990-11-26 1991-11-26 Ross Operating Valve Company Safety valve for fluid systems
JPH086727B2 (ja) * 1991-04-09 1996-01-29 エスエムシー株式会社 スロースタートバルブ
JP2544693B2 (ja) 1992-09-28 1996-10-16 西日本旅客鉄道株式会社 鉄道車両の洗滌装置
US5337788A (en) 1993-10-22 1994-08-16 Robertshaw Controls Company Pneumatic valve with slow start and quick exhaust
JP3153466B2 (ja) * 1995-04-07 2001-04-09 シーケーディ株式会社 スロースタートバルブ
US5669422A (en) 1995-04-07 1997-09-23 Ckd Corporation Slow start valve
DE202004015468U1 (de) * 2004-10-06 2005-01-05 Festo Ag & Co.Kg Softstartvorrichtung für Druckluftsysteme
JP4690827B2 (ja) * 2005-08-26 2011-06-01 株式会社フジキン ガスケット型オリフィス及びこれを用いた圧力式流量制御装置
US20070205384A1 (en) * 2006-03-02 2007-09-06 Smc Kabushiki Kaisha Flow Rate Control Apparatus
EP2047108B1 (de) 2006-12-05 2010-01-06 Festo AG & Co. KG Softstart-ventileinrichtung
EP1930638B1 (de) * 2006-12-05 2011-01-05 FESTO AG & Co. KG Softstart-Ventileinrichtung
WO2009100734A1 (de) * 2008-02-15 2009-08-20 Festo Ag & Co. Kg Softstartvorrichtung für druckluftsysteme und verfahren zum betreiben einer softstartvorrichtung

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55144202U (ja) * 1979-04-05 1980-10-16
JPS6119207Y2 (ja) * 1980-11-18 1986-06-10
JP2544693Y2 (ja) * 1992-04-30 1997-08-20 エスエムシー株式会社 安全制御装置
JP2565816Y2 (ja) * 1993-07-09 1998-03-25 シーケーディ株式会社 制御弁
JPH0735106A (ja) * 1993-07-27 1995-02-03 Ckd Corp エアシリンダ駆動制御回路及び流量制御弁
JP3530557B2 (ja) * 1993-10-14 2004-05-24 Ｓｍｃ株式会社 スロースタートバルブ
JP3016029U (ja) * 1995-03-08 1995-09-26 川崎重工業株式会社 メンテナンスバルブ

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016512868A (ja) * 2013-03-15 2016-05-09 ロス オペレーティング バルブ カンパニーＲｏｓｓ Ｏｐｅｒａｔｉｎｇ Ｖａｌｖｅ Ｃｏｍｐａｎｙ ソフトスタート機能を有する制御信頼性のある空気エネルギー遮断弁

Also Published As

Publication number Publication date
US9372485B2 (en) 2016-06-21
CN103917787A (zh) 2014-07-09
DE112012004574B4 (de) 2018-03-08
DE112012004574T5 (de) 2014-08-14
KR20140097281A (ko) 2014-08-06
KR101649883B1 (ko) 2016-08-22
CN103917787B (zh) 2017-05-24
JPWO2013065530A1 (ja) 2015-04-02
TW201341672A (zh) 2013-10-16
US20140264106A1 (en) 2014-09-18
TWI542794B (zh) 2016-07-21
JP6061227B2 (ja) 2017-01-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6061227B2 (ja) 流量制御装置
JP2002099331A (ja) 流体圧力調整装置
KR20120115111A (ko) 파일럿식 3위치 스위칭 밸브
KR100720070B1 (ko) 유압 회로 및 그 밸브 장치
JP7700528B2 (ja) エジェクタ及びこれを備える真空発生装置
JP2011153709A5 (ja)
CA2957232C (en) Proportional pressure controller with isolation valve assembly
JP5561528B2 (ja) リリーフ圧力変更機能付きリリーフバルブ
JP2017133629A5 (ja)
US20250003502A1 (en) Improved double safety valve
JP6966961B2 (ja) 制御弁
EP2689142B1 (en) Valve
JP2011202706A (ja) 三方電磁弁
WO2003104695A1 (ja) 電磁弁
KR101505016B1 (ko) 복동식 왕복가능 압력 부스터용 자동 압력조절 제어 기구
CN111561573B (zh) 流量控制阀
JP4205499B2 (ja) オールポートクローズ形バルブ
JP2544804Y2 (ja) 方向制御弁装置
JP5791351B2 (ja) 複合電磁切換弁
JPWO2023176686A5 (ja)
JP4504144B2 (ja) 開閉弁及びこの開閉弁を用いた射出制御用油圧装置
KR101216675B1 (ko) 중압집중 배기구조를 갖는 아이에스오 솔레노이드 밸브
JPH0375762B2 (ja)
JP2022137775A (ja) 弁装置とこれを用いた減圧弁
JP2014211207A (ja) 油圧制御バルブおよび油圧制御装置

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 12846422

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2013541714

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 14353416

Country of ref document: US

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 112012004574

Country of ref document: DE

Ref document number: 1120120045742

Country of ref document: DE

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 20147014909

Country of ref document: KR

Kind code of ref document: A

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 12846422

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1