KR20140097281A

KR20140097281A - 유량 제어 장치

Info

Publication number: KR20140097281A
Application number: KR1020147014909A
Authority: KR
Inventors: 켄이치 마츠무라
Original assignee: 에스엠씨 가부시키 가이샤
Priority date: 2011-11-02
Filing date: 2012-10-24
Publication date: 2014-08-06
Also published as: TW201341672A; DE112012004574T5; CN103917787B; JPWO2013065530A1; US9372485B2; DE112012004574B4; US20140264106A1; TWI542794B; CN103917787A; KR101649883B1; JP6061227B2; WO2013065530A1

Abstract

본 발명은, 유량 제어 장치에 관한 것으로, 이러한 유량 제어 장치(10)는, 압력 유체가 공급, 배출되는 제1 및 제2 포트(12, 14)를 가진 바디(16)와, 상기 바디(16)의 상부에 연결되어 상기 압력 유체의 흐름 상태를 절환하는 한 쌍의 제1 및 제2 전자기 밸브(18, 20)와, 상기 제1 및 제2 전자기 밸브(18, 20)의 절환 작용하에 흐르고 있는 압력 유체의 유량을 증가시키는 개폐 밸브(22)를 구비한다. 그리고, 개폐 밸브(22)의 밸브 닫힘 상태에 있어서, 제1 포트(12)로부터 제2 포트(14)로 압력 유체를 소정 유량으로 흐르도록 한 후, 상기 개폐 밸브(22)를 개방되도록 함으로써, 상기 제1 포트(12)로부터 제2 포트(14)로 흐르는 압력 유체의 유량을 증가시킨다.

Description

유량 제어 장치{FLOW RATE CONTROL DEVICE}

본 발명은, 밸브체의 개폐 작용하에 압력 유체의 흐름 상태 및 유량을 제어할 수 있는 유량 제어 장치에 관한 것이다.

종래로부터, 압력 유체 공급원으로부터 공급되는 압력 유체를 소정 유량으로 제어하고, 2차적으로 접속되는 유체압 기기 등으로 공급하는 유량 제어 장치가 알려져 있다. 이와 같은 유량 제어 장치에서는, 예를 들면, 유럽특허 제2047108호 명세서에 개시된 바와 같이, 흐름 초기에는 스로틀 밸브(throttle valve)를 통하여 압력 유체를 흐르도록 함으로써 유량을 줄이고, 소정 시간이 경과한 후에, 밸브체를 열림 상태로 절환하여 상기 압력 유체의 유량을 증가시키는 소프트 스타트 방식이 채용되고 있다. 이와 같은 구조로 함으로써, 유량 제어 장치의 2차측에 접속되는 유체압 기기에 대하여 대유량의 압력 유체가 급격히 공급되고, 해당 유체압 기기 등의 파손 등을 초래하는 것을 방지하고 있다.

유럽특허 제2047108호

위에서 서술한 것과 같은 소프트 스타트 방식의 유량 제어 장치에서는, 압력 유체의 유량을 제어하는 메인 밸브와, 해당 메인 밸브의 개폐를 제어하는 절환 밸브를 구비하고, 상기 메인 밸브와 상기 절환 밸브를 상호 접속하기 위한 배관이 필요하게 된다. 따라서, 배관을 포함함으로써 유량 제어 장치가 대형화함과 동시에, 부품 갯수가 증가해 버린다. 또한, 유량 제어 장치를 조립할 때 배관을 접속하는 작업이 발생하기 때문에 번잡하다.

본 발명의 일반적인 목적은, 부품 갯수의 삭감 및 소형화를 도모함과 동시에, 남아 있는 압력 유체를 확실하게 배기할 수 있는 유량 제어 장치를 제공하는 것에 있다.

본 발명은, 압력 유체가 공급, 배출되는 한 쌍의 포트와, 2차측에 남아 있는 압력 유체를 배기하는 배기 포트와, 상기 포트, 상기 배기 포트를 접속하여 상기 압력 유체가 흐르는 통로를 가지는 바디와,

일측의 포트로부터 타측의 포트로 흐르는 상기 압력 유체의 유량을 조정하는 조정 기구와,

상기 포트, 상기 통로, 상기 배기 포트의 연통 상태를 절환하는 적어도 둘 이상의 절환 밸브를 구비하며,

상기 조정 기구는, 일측의 포트와 타측의 포트 사이를 흐르는 압력 유체의 유량을 조정하는 스로틀 기구(throttle mechanism)와, 상기 일측의 포트와 타측의 포트의 연통 상태를 자유로이 절환 가능한 개폐 밸브를 가지며, 상기 개폐 밸브의 절환 작용 하에 상기 압력 유체의 유량을 단계적으로 증감시키는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 의하면, 한 쌍의 포트, 통로, 배기 포트의 연통 상태를 절환하는 적어도 둘 이상의 절환 밸브와, 일측의 포트로부터 타측의 포트로 흐르는 압력 유체의 유량을 조정하는 조정 기구를 바디에 대하여 일체적으로 연결함과 동시에, 상기 조정 기구는, 일측의 포트와 타측의 포트 사이를 흐르는 압력 유체의 유량을 조정하는 스로틀 밸브와, 상기 일측의 포트와 타측의 포트의 연통 상태를 자유로이 절환 가능한 개폐 밸브를 구비함으로써, 상기 바디, 조정 기구, 절환 밸브 등을 각각 개별로 설치하여 배관 등에 접속하는 경우와 비교하여, 상기 배관 등이 불필요하게 되므로 부품 갯수 및 조립 공수의 삭감을 도모할 수 있음과 동시에, 유량 제어 장치의 소형화를 도모할 수 있게 된다.

또한, 적어도 둘 이상의 절환 밸브를 설치하고 있으므로, 어떠한 이유에서 어느 일측의 절환 밸브에 문제가 생긴 경우라도, 정상적으로 작동할 수 있는 남은 일측의 절환 밸브를 작동시킴으로써, 2차측의 압력 유체를 확실하게 외부로 배기할 수 있다.

상기의 목적, 특징 및 이점은, 첨부한 도면을 참조하여 설명되는 이하의 실시 형태의 설명으로부터 용이하게 이해할 수 있을 것이다.

도 1은 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 유량 제어 장치의 외관 사시도이다.
도 2는 도 1에 나타낸 유량 제어 장치의 정면도이다.
도 3은 도 2의 III-III선에 따른 단면도이다.
도 4는 도 2의 IV-IV선에 따른 단면도이다.
도 5는 도 3의 V-V선에 따른 단면도이다.
도 6은 도 3의 VI-VI선에 따른 단면도이다.
도 7은 도 3의 VII-VII선에 따른 단면도이다.
도 8은 도 3의 VIII-VIII선에 따른 단면도이다.
도 9는 도 1에 나타낸 유량 제어 장치의 회로도이다.
도 10은 제1 포트에 공급되는 압력 유체의 압력과 제2 포트로부터 배기되는 압력 유체의 압력과의 관계를 나타낸 특성 곡선도이다.
도 11은 본 발명의 제2 실시 형태에 따른 유량 제어 장치의 외관 사시도이다.
도 12는 도 11의 XII-XII선에 따른 단면도이다.
도 13은 도 11의 XIII-XIII선에 따른 단면도이다.
도 14는 도 11의 XIV-XIV선에 따른 단면도이다.
도 15는 도 11에 나타낸 유량 제어 장치의 회로도이다.

이러한 제1 실시 형태에 따른 유량 제어 장치(10)는, 도 1 내지 도 9에 나타낸 바와 같이, 압력 유체가 공급, 배출되는 제1 및 제2 포트(12, 14)를 가진 바디(16)와, 상기 바디(16)의 상부에 연결되어 상기 압력 유체의 흐름 상태를 절환하는 한 쌍의 제1 및 제2 전자기 밸브(18, 20, 절환 밸브)와, 상기 제1 및 제2 전자기 밸브(18, 20)의 절환 작용하에 흐르고 있는 압력 유체의 유량을 증가시키는 개폐 밸브(22, 조정 기구)를 포함한다.

바디(16)는, 예를 들면, 단면이 직사각 형상이며 수평 방향을 따라 길게 형성되며, 그 일단부에 제1 포트(12)가 개방됨과 동시에, 타측 끝면에 제2 포트(14)가 개방되어 있다. 이러한 제1 포트(12)는, 도시하지 않은 압력 유체 공급원에 접속되어 압력 유체가 공급되고, 제2 포트(14)에는, 예를 들면, 도시하지 않은 압력 유체압 기기 등에 접속된다.

또한, 바디(16)의 측면에는, 제1 및 제2 포트(12, 14)와 직교하는 방향으로 개방된 한 쌍의 배기 포트(24a, 24b)가 형성되고(도 2, 도 3 참조), 상기 배기 포트(24a, 24b)에는 도시하지 않은 배관이 접속되어 대기로 개방되어 있다.

한편, 바디(16)의 내부에는, 도 3 및 도 4와 같이, 제1 포트(12)에 연통되는 제1 유로(26)와, 후술할 개폐 밸브(22)의 개폐 상태에 있어서 상기 제1 유로(26)와 연통하는 제2 유로(28)와, 제1 전자기 밸브(18)에 의한 절환 작용하에 상기 제2 유로(28)와 연통하는 제3 유로(30)와, 제2 전자기 밸브(20)에 의한 절환 작용하에 상기 제3 유로(30)와 연통하는 제4 유로(32)가 형성된다.

제1 유로(26)와 제2 유로(28) 사이에는, 해당 제1 유로(26)와 제2 유로(28)를 연통시키는 연통 챔버(34)가 형성되고, 상기 연통 챔버(34)에는, 제1 유로(26)로부터 제2 유로(28)로 흐르는 압력 유체의 유량을 조정할 수 있는 개폐 밸브(22)가 형성된다. 또한, 제3 유로(30)는, 바디(16)의 상부에 접속되는 제1 전자기 밸브(18)의 내부와 연통하고, 제4 유로(32)는, 상기 바디(16)의 상부에 접속되는 제2 전자기 밸브(20)의 내부 및 제2 포트(14)와 연통하고 있다.

제1 및 제2 전자기 밸브(18, 20)는, 도 5, 도 7 및 도 9와 같이, 대략 동일한 형상으로 형성되고, 바디(16)에 대하여 연결되는 하우징(36a, 36b)과, 상기 하우징(36a, 36b)의 내부에 축 방향(화살표 A, B 방향)을 따라 자유로이 위치 변경 가능하게 설치되는 샤프트 밸브(38a, 38b)와, 상기 하우징(36a, 36b)의 단부에 연결되어 상기 샤프트 밸브(38a, 38b)를 축 방향(화살표 A, B 방향)으로 위치 변경시키는 솔레노이드부(40a, 40b)와, 상기 샤프트 밸브(38a, 38b)를 상기 솔레노이드부(40a, 40b)측(화살표 A 방향)을 따라 밀어 붙이는 스프링(42a, 42b)로 이루어진다.

이러한 제1 전자기 밸브(18)와 제2 전자기 밸브(20)는, 도 9와 같이 제1 포트(12)와 제2 포트(14) 사이에 직렬로 배치된다.

그리고, 여기서는, 제1 전자기 밸브(18)의 구성에 관하여 도 6을 참조하면서 설명하고, 제2 전자기 밸브(20)의 구성에 관하여는, 기본적으로 제1 전자기 밸브(18)와 같은 구성이므로, 그 상세한 설명은 생략함과 동시에, 그 참조 부호를 괄호로 붙인 것으로 한다.

제1 전자기 밸브(18)를 구성하는 하우징(36a(36b))은, 축 방향(화살표 A, B 방향)을 따라 관통된 샤프트 홀(44a(44b))이 형성되고, 해당 샤프트 홀(44a(44b))의 내부에 샤프트 밸브(38a(38b))가 자유로이 위치 변경 가능하게 설치된다. 또한, 하우징(36a(36b))에는, 샤프트 홀(44a(44b))과 직교하는 방향으로 연장 형성된 제1 내지 제3 연통로(46a(46b), 48a(48b), 50a(50b))가 형성되며, 상기 제1 연통로(46a)가 바디(16)의 제2 유로(28)와 연통하고, 상기 제2 연통로(48a)가 상기 바디(16)의 제3 유로(30)와 연통함과 동시에, 상기 제3 연통로(50a)가 상기 바디(16)에 있어서 배기 포트(24a)와 연통하고 있다.

그리고, 제1 내지 제3 연통로(46a(46b), 48a(48b), 50a(50b))는, 하우징(36a(36b))의 축 방향(화살표 A, B 방향)을 따라 서로 소정 간격으로 이격하여 형성된다.

샤프트 홀(44a(44b))에는, 샤프트 밸브(38a(38b))의 밸브부(56a(56b))가 안착되는 제1 및 제2 밸브 시트(52a(52b), 54a(54b))가 형성되고, 상기 밸브부(56a(56b))가 상기 제1 밸브 시트(52a(52b))와 제2 밸브 시트(54a(54b)) 사이에 배치된다.

그리고, 샤프트 밸브(38a)가 축 방향(화살표 A 방향)으로 위치 변경하여, 그 밸브부(56a)가 제1 밸브 시트(52a)에 안착됨으로써, 제1 및 제2 연통로(46a, 48a)를 통한 제2 유로(28)와 제3 유로(30)의 연통을 차단한다. 한편, 샤프트 밸브(38a)가 상기와는 반대 방향(화살표 B 방향)으로 위치 변경함으로써, 그 밸브부(56a)가 제2 밸브 시트(54a)에 안착하고, 제2 및 제3 연통로(48a, 50a)를 통한 제3 유로(30)와 배기 포트(24a) 사이의 연통을 차단한다.

또한, 샤프트 밸브(38a(38b))는, 그 일단부와 하우징(36a(36b)) 사이에 스프링(42a(42b))가 장착되고, 상기 샤프트 밸브(38a(38b))를 솔레노이드부(40a(40b))측(화살표 A 방향)을 향하여 밀어붙인다. 따라서, 샤프트 밸브(38a(38b))의 밸브부(56a(56b))가 제1 밸브 시트(52a(52b))에 대하여 안착된다.

솔레노이드부(40a(40b))는, 도시하지 않은 컨트롤러로부터의 제어 신호를 코일(미도시)로 입력함으로써 여자(勵磁)하고, 바디(16)의 제1 유로(26)와 연통된 파일럿 공급 포트(58a(58b))에 공급되는 파일럿 에어를 제1 피스톤 챔버(60a(60b))에 자유로이 위치 변경 가능하게 설치된 제1 피스톤(62a(62b))가 파일럿 에어에 의하여 하우징(36a(36b))측(화살표 B 방향)으로 밀어 눌려져 위치 변경한다.

제1 피스톤(62a(62b))은, 하우징(36a(36b))에 설치된 샤프트 밸브(38a(38b))의 타단부에 맞닿아 접하도록 설치되고, 상기 제1 피스톤(62a(62b))이 위치 변경함으로써 상기 샤프트 밸브(38a(38b))가 스프링(42a(42b))의 탄성 반발력에 저항하여밀어 눌려진다. 따라서, 밸브부(56a(56b))가 제1 밸브 시트(52a(52b))로부터 이격하고, 제2 밸브 시트(54a(54b))에 안착하도록 위치 변경한다.

또한, 제2 전자기 밸브(20)를 구성하는 하우징(36b)에는, 제1 전자기 밸브(18)와 같은 형성태로 제1 내지 제3 연통로(46b 48b, 50b)가 형성되고, 상기 제1 연통로(46b)가 바디(16)의 제3 유로(30)와 연통하며, 상기 제2 연통로(48b)가 상기 바디(16)의 제4 유로(32)와 연통함과 동시에, 상기 제3 연통로(50b)가 상기 바디(16)에 있어서 배기 포트(24b)와 연통하고 있다. 그리고, 제1 및 제2 전자기 밸브(18, 20)는 상술한 바와 같이 3방 밸브이다.

개폐 밸브(22)는, 도 3과 같이, 제1 포트(12)의 연장 형성 방향과 직교하도록 설치되고, 바디(16)의 측면에 개방된 개구부를 통하여 해당 바디(16)의 내부에 삽입된다. 그리고, 개구부는, 각각 제1 및 제2 커버 부재(64, 66)에 의하여 폐쇄된다.

이러한 개폐 밸브(22)는, 압력 유체의 공급 작용하에 축 방향(화살표 C, D 방향)을 따라 위치 변경하는 제2 피스톤(68)과, 상기 제2 피스톤(68)과 맞닿아 접하여 일체적으로 위치 변경하는 푸시 로드(70)와, 상기 푸시 로드(70)의 단부에 장착되고, 바디(16)에 있어서 제1 유로(26)와 제2 유로(28)의 연통 상태를 절환하는 밸브체(72)와, 상기 밸브체(72)를 밸브 시트부(74)측(화살표 C 방향)을 향하여 밀어붙이는 리턴 스프링(76)을 가진다.

제2 피스톤(68)은, 제2 피스톤 챔버(80)에 설치되고, 그 외주면에는 링 형상의 피스톤 패킹(78)이 장착된다. 그리고, 제2 피스톤 챔버(80)는, 그 외주측에서 제4 유로(32)와 연통하고, 상기 제4 유로(32)로부터 제2 피스톤 챔버(80)로 압력 유체가 공급됨으로써, 상기 제2 피스톤(68)이 밸브체(72)측(화살표 D 방향)을 향하여 밀어붙여진다.

푸시 로드(70)는, 그 일단부가 제2 피스톤(68)의 끝면에 맞닿아 접하고, 상기 푸시 로드(70)의 타단부에는, 홀더(82)를 통하여 링 형상의 밸브체(72)가 맞닿아 접한다. 그리고, 밸브체(72)는, 예를 들면, 고무 등의 탄성재료로 이루어져 형성되며, 푸시 로드(70)의 타단부에 있어서 외주측에 배치된다.

또한, 홀더(82)의 외측 둘레부에는, 바디(16)에 설치된 스프링 홀더(84) 사이에 리턴 스프링(76)이 장착된다. 그리고, 리턴 스프링(76)은, 홀더(82)를 통하여 밸브체(72)를 상기 바디(16)에 형성된 링 형상의 밸브 시트부(74)측(화살표 C 방향)을 향하여 밀어붙이고 있다. 밸브 시트부(74)측은, 제1 유로(26)와 제2 유로(28)의 경계에 형성된다.

또한, 개폐 밸브(22)의 부근에는, 제1 유로(26)와 제2 유로(28) 사이를 흐르는 압력 유체의 유량을 조정할 수 있는 스로틀 기구(86, throttle mechanism)가 설치된다. 이러한 스로틀 기구(86)는, 바디(16)의 측면에 연결된 니들 홀더(88)와, 상기 니들 홀더(88)에 나사 결합되는 니들 밸브(90, 스로틀 밸브)를 구비하며, 상기 니들 밸브(90)는 푸시 로드(70)와 직교하도록 설치된다. 이러한 니들 밸브(90)는 나사 결합시킴으로써 축 방향을 따라 자유로이 전진 후퇴 가능하게 설치되며, 테이퍼 형상으로 형성된 선단부와 니들 홀더(88)와의 간격을 조정함으로써, 상기 간격을 통하여 제1 유로(26)로부터 제2 유로(28)로 흐르는 압력 유체의 유량을 조정한다.

본 발명의 제1 실시 형태에 따른 유량 제어 장치(10)는, 기본적으로는 이상과 같이 구성된 것이며, 다음에 그 동작 및 작용 효과에 관하여 설명한다. 그리고, 제1 및 제2 포트(12, 14), 배기 포트(24a, 24b)에 대하여 각각 배관(미도시)을 접속함과 동시에, 상기 제1 포트(12)에 대하여 도시하지 않은 압력 유체 공급원으로부터 압력 유체를 공급해둔다.

또한, 유량 제어 장치(10)에 있어서, 개폐 밸브(22)의 밸브체(72)가 밸브 시트부(74)에 안착하여 제1 유로(26)와 제2 유로(28)의 연통이 차단되고, 제1 및 제2 전자기 밸브(18, 20)가 비통전 상태에 있으며, 제2 내지 제4 유로(28, 30, 32)의 연통이 차단되어 있는 상태를 초기 상태로 하여 설명한다. 이 경우, 제1 포트(12)로부터 제1 유로(26)로 공급되고 있는 압력 유체는, 스로틀 기구(86)에 의하여 소정 유량으로 교축된 후에 제2 유로(28)로 흐르고 있다.

도 3, 도 6 및 도 7과 같은 초기 상태에 있어서, 우선, 도 6에 나타낸 제1 전자기 밸브(18)의 솔레노이드부(40a)에 대하여 통전함으로써, 제1 피스톤 챔버(60a)에 파일럿 에어가 공급되고, 그에 수반하여 제1 피스톤(62a)이 위치 변경하여 샤프트 밸브(38a)가 일체적으로 상기 솔레노이드부(40a)로부터 이격하는 방향(화살표 B 방향)으로 위치 변경한다. 이것에 의하여, 밸브부(56a)가 스프링(42a)의 탄성 반발력에 저항하여 제1 밸브 시트(52a)로부터 이격한다. 그리고, 밸브부(56a)가 제2 밸브 시트(54a)에 안착함으로써 제1 연통로(46a)와 제2 연통로(48a)가 연통하고, 제2 유로(28)에 공급되고 있는 압력 유체가 제3 유로(30)로 흐른다. 이 경우, 제2 전자기 밸브(20)는 통전이 이루어지지 않고 있는 비통전 상태에 있다.

다음으로, 제1 전자기 밸브(18)에 대하여 통전하면서, 제2 전자기 밸브(20)의 솔레노이드부(40b)에 대하여도 통전한다. 이렇게 함으로써, 제2 전자기 밸브(20)의 제1 피스톤 챔버(60b)에 파일럿 에어가 공급되며, 그것에 수반하여 제1 피스톤(62b)이 위치 변경하여 샤프트 밸브(38b)가 일체적으로 상기 솔레노이드부(40b)로부터 이격하는 방향(화살표 B 방향)으로 위치 변경한다. 그 결과, 제2 전자기 밸브(20)의 밸브부(56b)가 제1 밸브 시트(52b)로부터 이격하여 제1 연통로(46b)와 제 연통로(48b)가 연통하고, 제3 유로(30)에 공급되고 있는 압력 유체가 제4 유로(32)로 흐른 후, 제2 포트(14)로부터 배출된다.

이 경우, 도 10과 같이, 제1 포트(12)에 공급되는 압력 유체의 압력(P1)에 대하여 제2 포트(14)로부터 배출되는 압력 유체의 압력(P2)은 약 절반 이하가 된다(

). 즉, 제1 포트(12)에 공급되는 압력 유체는, 스로틀 기구(86)를 통하여 제2 유로(28)측이 되는 하류로 흐름으로써 압력(유량)이 미리 대략 절반(

)으로 교축되고 있다.

다음으로, 제4 유로(32)에 공급된 압력 유체가 제2 피스톤 챔버(80)로 유입됨으로써, 개폐 밸브(22)에 있어서 제2 피스톤(68)이 푸시 로드(70)측(화살표 D 방향)으로 위치 변경하고, 해당 푸시 로드(70)를 밸브 시트부(74)측(화살표 D 방향)으로 밀어 누름으로써 밸브체(72)가 상기 밸브 시트부(74)로부터 이격한 밸브 열림 상태가 된다. 따라서, 제1 유로(26)에 공급되고 있는 압력 유체는 푸시 로드(70)가 설치된 연통 챔버(34)를 통하여 제2 유로(28)로 흐른다.

즉, 스로틀 기구(86)의 조정 작용 하에 제1 유로(26)로부터 제2 유로(28)로 흐르고 있던 압력 유체에 더하여, 개폐 밸브(22)의 밸르 열림 작동에 의하여 연통 챔버(34)를 통하여 상기 제1 유로(26)로부터 상기 제2 유로(28)로 동시에 상기 압력 유체가 흐르게 된다. 따라서, 제1 포트(12)로부터 제2 포트(14)로 흐르는 압력 유체의 압력이 서서히 증가하기 시작하고(

), 최종적으로, 상기 제1 포트(12)의 압력과 제2 포트(14)의 압력이 균등하게 된다(도 10 중, P1=P2).

위에서 서술한 유량 제어 장치(10)에서는, 도 10의 특성 곡선으로부터 이해할 수 있듯이, 초기 상태에 있어서 개폐 밸브(22)를 밸브 닫힘 상태로 해둠으로써, 제1 포트(12)로부터 제2 포트(14)로 흐르는 압력 유체의 유량을 스로틀 기구(86)에 의하여 교축하고, 해당 초기 상태로부터 소정 시간이 경과한 후에, 상기 개폐 밸브(22)를 밸브 열림 상태로 하여 상기 제1 포트(12)로부터 제2 포트(14)로 흐르는 압력 유체의 유량을 증가시키는 것이 가능하게 된다(소프트 스타트). 이와 같은 구성으로 함으로써, 제1 포트(12)에 대하여 공급된 압력 유체가 제2 포트(14)에 접속된 유체압 기기 등에 대하여 급격하고, 대유량으로 공급되는 것이 회피되며, 상기 유체압 기기의 파손 등이 확실하게 방지된다.

한편, 바디(16)의 내부에 남아있는 압력 유체를 배기하는 경우에는, 우선, 제1 전자기 밸브(18)로 통전함과 동시에, 제2 전자기 밸브(20)로의 통전을 정지함으로써, 해당 제2 전자기 밸브(20)의 솔레노이드부(40b)가 비여자상태가 되며, 이에 수반하여, 샤프트 밸브(38b)에 대한 상기 솔레노이드부(40b)로부터 이격하는 방향으로 밀어 누르는 힘이 소멸한다. 따라서, 샤프트 밸브(38b)는, 도 7에 도시된 바와 같이, 스프링(42b)의 탄성 반발력에 의하여 솔레노이드부(40b)측(화살표 A 방향)으로 밀어 눌려져, 그 밸브부(56b)가 제1 밸브 시트(52b)에 안착하고, 제3 유로(30)와 제4 유로(32)의 연통이 차단된다. 따라서, 2차측(하류측)의 압력 유체는, 제4 유로(32)를 통하여 타측의 배기 포트(24b)로부터 외부로 배기된다.

이 경우, 개폐 밸브(22)는, 제4 유로(32)로부터 제2 피스톤 챔버(80)로 공급되는 압력 유체의 압력이 저하하기 때문에, 제2 피스톤(68)의 푸시 로드(70)측을 향하여 밀어 누르는 힘이 작아지고, 리턴 스프링(76)의 탄성 반발력을 이기지 못한다. 따라서, 푸시 로드(70)가 제2 피스톤(68)측(화살표 C 방향)으로 위치 변경하고, 밸브체(72)가 밸브 시트부(74)에 안착한다(도 3, 도 8 참조). 그 결과, 연통 챔버(34)를 통한 제1 유로(26)와 제2 유로(28)의 연통이 차단된다.

다음으로, 제1 전자기 밸브(18)로의 통전을 정지하고, 제2 전자기 밸브(20)로 통전된 상태로 함으로써, 상기 제1 전자기 밸브(18)의 솔레노이드부(40a)가 비여자상태가 되며, 이에 수반하여, 샤프트 밸브(38a)에 대한 상기 솔레노이드부(40a)로부터 이격하는 방향으로 밀어누르는 힘이 소멸된다. 따라서, 제1 전자기 밸브(18)의 샤프트 밸브(38a)는, 도 6과 같이, 스프링(42a)의 탄성 반발력에 의하여 솔레노이드부(40a)측(화살표 A 방향)으로 밀어눌려져, 그 밸브부(56a)가 제1 밸브 시트(52a)에 안착하고, 제2 유로(28)와 제3 유로(30)의 연통이 차단된다. 그 결과, 2차측(하류측)의 압력 유체가, 제3 및 제4 유로(30, 32)를 통하여 일측의 배기 포트(24a)로부터 외부로 배기된다.

그리고, 제1 및 제 전자기 밸브(18, 20)로의 통전을 모두 정지한 상태로 함으로써, 상기 제1 및 제2 전자기 밸브(18, 20)의 솔레노이드부(40a, 40b)가 각각 비여자상태가 되며, 그것에 수반하여, 샤프트 밸브(38a, 38b)에 대한 상기 솔레노이드부(40a, 40b)로부터 이격하는 방향으로 밀어누르는 힘이 소멸한다. 따라서, 제1 및 제2 전자기 밸브(18, 20)의 샤프트 밸브(38a, 38b)는, 그 밸브부(56a, 56b)가 각각 제1 밸브 시트(52a, 52b)에 대하여 안착되고, 제2 유로(28)와 제3 유로(30)의 연통, 상기 제3 유로(30)와 제4 유로(32)의 연통이 각각 차단된다.

그 결과, 2차측(하류측)의 압력 유체는, 제3 유로(30)에 남아있는 압력 유체가, 일측의 배기 포트(24a)로부터 외부로 배기됨과 동시에, 제4 유로(32)로부터 하류측에 남아 있는 압력 유체는, 상기 제4 유로(32)로부터 타측의 배기 포트(24b)를 거쳐 외부로 배기된다.

즉, 제1 및 제2 전자기 밸브(18, 20)의 적어도 어느 일측의 통전을 정지시킴으로써, 2차측의 압력 유체를 바디(16)의 외부로 배기할 수 있다. 바꿔말하면, 제1 및 제2 전자기 밸브(18, 20)의 어느 일측에 문제가 일어나 동작할 수 없는 경우라도, 해당 문제가 발생하지 않는 정상인 제1 또는 제2 전자기 밸브(18, 20)를 동작시킴으로써, 2차측의 압력 유체를 확실하게 외부로 배기할 수 있다.

이상과 같이, 제1 실시 형태에서는, 바디(16)에 대하여 개폐 밸브(22)와 제1 및 제2 전자기 밸브(18, 20)를 일체적으로 연결하고 있으므로, 상기 바디(16), 개폐 밸브(22), 제1 및 제2 전자기 밸브(18, 20)를 각각 별개로 설치하여, 배관 등을 통하여 서로 접속하는 구성과 비교하여, 상기 배관 등이 필요없기 때문에 부품 갯수 및 조립 공수의 삭감을 도모할 수 있음과 동시에, 유량 제어 장치(10)의 소형화를 도모할 수 있다.

또한, 유량 제어 장치(10)의 관리를 행할 때, 제1 및 제2 커버부재(64, 66)를 분리함으로써 간편하게 푸시 로드(70), 밸브체(72) 및 제2 피스톤(68)을 교환할 수 있으므로, 관리성을 양호하게 할 수 잇다.

그리고, 제1 포트(12)에 공급되는 압력 유체가, 최초에 개폐 밸브(22)를 밸브 닫힘 상태로 해둠으로써, 상기 제2 포트(14)로부터 2차측에 접속된 유체압 기기 등에 대하여 급격하게 공급되어버리는 것을 회피할 수 있으며, 제2 포트(14)로 흐르는 압력 유체가, 소정 시간이 경과한 후에, 상기 압력 유체의 유량(압력)을 상기 개폐 밸브(22)의 밸브 열림 동작에 의하여 증가시켜 공급함으로써, 상기 유체압 기기 등의 파손을 확실하게 방지할 수 있다.

그리고 또한, 제1 및 제2 전자기 밸브(18, 20)라는 2개의 전자기 밸브를 설치하고 있으므로, 어떠한 이유에서 어느 일측의 전자기 밸브에 문제가 일어난 경우라도, 정상적으로 동작할 수 있는 남은 일측의 전자기 밸브를 작동시킴으로써, 2차측에 남아 있는 압력 유체를 확실하게 외부로 배기할 수 있게 된다.

그리고 또한, 제1 및 제2 전자기 밸브(18, 20)에 공급되는 파일럿 에어는, 개폐 밸브(22)의 상류측이 되는 1차측으로부터 공급되고 있으므로, 상기 개폐 밸브(22)의 개폐 동작에 영향을 받는 일이 없이, 상기 제1 및 제2 전자기 밸브(18, 20)를 작동시킬 수 있다.

또한, 개폐 밸브(22)를, 제1 및 제2 전자기 밸브(18, 20)의 상류측(1차측)에 설치함으로써, 어떠한 이유로 상기 개폐 밸브(22)를 밸브 닫힘 상태로 할 수 없는 등의 동작 불량이 일어난 경우라도, 상기 제1 및 제2 전자기 밸브(18, 20)를 절환함으로써, 바디(16)의 내부에 남아있는 압력 유체를 적절히 배기 포트(24a, 24b)로부터 외부로 배출할 수 있게 된다.

그리고, 제1 및 제2 전자기 밸브(18, 20)는, 바디(16)의 상부에 일체적으로 연결되고, 상기 바디(16)의 내부와 연통하고 있으므로, 상기 제1 및 제2 전자기 밸브(18, 20)와 상기 바디(16)를 배관 등으로 접속하는 것과 같은 번잡한 작업이 불필요하게 된다. 그 결과, 유량 제어 장치(10)의 조립성을 향상할 수 있다.

다음으로, 제2 실시 형태에 따른 유량 제어 장치(100)를 도 11 내지 도 15에 나타낸다. 그리고, 위에서 서술한 제1 실시 형태에 따른 유량 제어 장치(10)와 동일한 구성 요소에는 동일한 참조부호를 붙이고, 그 상세한 설명을 생략한다.

이러한 제2 실시 형태에 따른 유량 제어 장치(100)에서는, 스로틀 기구(102) 및 절환 기구(104)를 가진 조정 유닛(106)을 구비하고, 상기 조정 유닛(106)이 바디(16)에 대하여 자유로이 탈착 가능하게 설치되어 있다는 점에서, 제1 실시 형태에 따른 유량 제어 장치(10)와 서로 다르다.

이러한 유량 제어 장치(100)는, 도 11 내지 도 14와 같이, 제1 및 제2 포트(12, 14)를 가진 바디(16)의 상부에, 제1 및 제2 전자기 밸브(18, 20)와 병렬로 조정 유닛(106)가 연결된다. 이러한 조정 유닛(106)은, 제1 전자기 밸브(18)에 인접한 제1 포트(12)측에 설치되고, 단면이 직사각 형상으로 형성된 하우징(108)과, 해당 하우징(108)의 내부에 자유로이 위치 변경 가능하게 형성되는 개폐 밸브(110)를 포함하는 절환 기구(104)와, 상기 하우징(108)의 상부에 설치되는 스로틀 기구(102)를 구비한다.

이러한 절환 기구(104)는, 예를 들면, 3방 밸브로 이루어지고, 하우징(108)의 내부에는, 길이 방향(화살표 C, D 방향)을 따라 관통된 샤프트 홀(112)이 형성되고, 해당 샤프트 홀(112)에는 후술할 개폐 밸브(110)가 자유로이 위치 변경 가능하게 수납된다. 또한, 하우징(108)의 양단부에는, 각각 제1 및 제2 엔드 커버(114, 116)가 장착되어 상기 샤프트 홀(112)이 차단된다.

또한, 하우징(108)에는, 샤프트 홀(112)과 직교하도록 하측을 향하여 관통된 한 쌍의 제1 연통로(118a, 118b)과 제2 연통로(120)가 형성되며, 상기 제1 연통로(118a, 118b)가 각각 상기 샤프트 홀(112)의 축 방향을 따라 일단부 및 타단부측에 배치되고, 상기 제2 연통로(120)가 상기 축 방향의 대략 중앙부가 되는 위치에 배치된다. 그리고, 제1 및 제2 연통로(118a, 118b, 120)는, 그 상부가 샤프트 홀(112)과 연통하고, 하부가 바디(16)의 제1 및 제2 유로(26, 28)에 각각 연통하고 있다.

제1 엔드 커버(114)의 내부에는, 샤프트 홀(112)에 대면하도록 제2 피스톤(122)이 자유로이 위치 변경 가능하게 수납되고, 해당 제2 피스톤(122)의 단부가 개폐 밸브(110)의 단부에 맞닿아 접하고 있다. 그리고, 제1 엔드 커버(114)의 내부에 형성된 제2 피스톤 챔버(124)에 압력 유체가 공급됨으로써, 상기 제2 피스톤(122)이 개폐 밸브(110)측(화살표 C 방향)을 향하여 밀어붙여져, 이에 수반하여, 상기 개폐 밸브(110)가 제1 엔드 커버(114)로부터 이격하는 방향(화살표 C 방향)을 따라 밀어 눌려진다. 그리고, 제2 피스톤 챔버(124)는, 바디(16)에 형성된 제4 유로(32)와 연통하고 있다.

한편, 제2 엔드 커버(116)의 내부에는, 샤프트 홀(112)과 대면하도록 스프링 홀더(126)가 형성되고, 해당 스프링 홀더(126)와 개폐 밸브(110) 사이에 리턴 스프링(128)이 설치되어 있다. 이러한 리턴 스프링(128)은, 예를 들면, 코일 스프링으로 이루어지고, 그 탄성 반발력은 개폐 밸브(110)를 제1 엔드 커버(114)측(화살표 D 방향)을 향하여 밀어 누르도록 밀어 붙여진다. 그리고, 제2 엔드 커버(116)의 내부는, 제1 연통로(118b)와 연통하고 있다.

개폐 밸브(110)는, 축 방향(화살표 C, D 방향)을 따라 일단부 및 타단부가 각각 샤프트 홀(112)에 장착된 가이드체(130a, 130b)에 의하여 자유로이 위치 변경 가능하게 지지되고, 해당 축 방향을 따라 대략 중앙부에 형성된 밸브부(132)가 상기 가이드체(130a, 130b)에 형성된 제1 밸브 시트부(134), 제2 밸브 시트부(136)에 안착됨으로써, 하우징(108)에 형성된 한 쌍의 제1 연통로(118a, 118b)의 어느 일측과 제2 연통로(120)의 연통 상태를 절환하고 있다.

즉, 개폐 밸브(110)의 위치 변경 작용하에 제2 연통로(120)와 제1 연통로(118a, 118b)의 어느 일측과의 연통 상태를 절환할 수 있는 3방 밸브로서 기능한다.

스로틀 기구(102)는, 하우징(108)에 있어서 개폐 밸브(110)의 타단부측(화살표 C 방향)에 설치되고, 해당 하우징(108)의 상면에 연결된 나들 홀더(138)와, 상기 니들 홀더(138)에 나사 결합되는 니들 밸브(140, 스로틀 밸브)를 구비하며, 상기 니들 밸브(140)는 개폐 밸브(110)와 직교하도록 설치된다. 이러한 니들 밸브(140)는 나사 회전시킴으로써 축 방향을 따라 자유로이 전진, 후퇴 가능하게 설치되고, 테이퍼 형상으로 형성된 선단부와 니들 홀더(138) 사이의 간격을 조정함으로써, 상기 간격을 통하여 제1 연통로(118b)로부터 제2 연통로(120)로 흐르는 압력 유체의 유량을 조정한다. 그리고, 스로틀 기구(102)를 구성하는 니들 홀더(138) 및 니들 밸브(140)의 일부가, 하우징(108)의 상면에 대하여 소정 높이로 돌출하도록 설치된다.

본 발명의 제2 실시 형태에 따른 유량 제어 장치(100)는, 기본적으로 이상과 같이 구성된 것이며, 다음에 그 작동 및 작용 효과에 관하여 설명한다. 그리고, 위에서 서술한 제1 실시 형태에 따른 유량 제어 장치(10)와 같은 형태의 동작에 관하여는, 여기서는 상세한 설명을 생략할 것이다.

또한, 도 12에 나타낸 바와 같이, 유량 제어 장치(100)에 있어서, 조정 유닛(106)의 개폐 밸브(110)의 밸브부(132)가 제1 밸브 시트부(134)에 안착되어, 제1 연통로(118a)를 통한 제1 유로(26)와 제2 유로(28)의 연통이 차단되고, 제1 및 제2 전자기 밸브(18, 20)가 비통전 상태에 있으며, 제2 내지 제4 유로(28, 30, 32)의 연통이 차단되어 있는 상태를 초기 상태로 하여 설명한다. 이 경우, 제1 포트(12)로부터 제1 유로(26)로 공급되고 있는 압력 유체는, 제1 연통로(118b)로부터 스로틀 기구(102)에 의하여 소정 유량으로 교축된 후에, 제2 연통로(120)를 통하여 제2 유로(28)로 흐르고 있는 상태에 있다.

이러한 초기 상태에 있어서, 제1 전자기 밸브(18)에 대하여 통전함으로써, 제1 피스톤 챔버(60a)에 파일럿 에어가 공급되어, 그것에 수반하여 제1 피스톤(62a)이 위치 변경하고 샤프트 밸브(38a)의 밸브부가 제1 밸브 시트(52a)로부터 이격한다. 그리고, 밸브부(56a)가 제2 밸브 시트(54a)에 안착함으로써 제1 연통로(46a)와 제2 연통로(48a)가 연통하고, 제2 유로(28)에 공급되고 있는 압력 유체가 제3 유로(30)로 흐른다.

다음으로, 제1 전자기 밸브(18)에 대한 통전을 차단한 상태에서, 제2 전자기 밸브(20)의 솔레노이드부(40b)에 대하여 통전함으로써, 제2 전자기 밸브(20)의 제1 피스톤 챔버(60b)에 파일럿 에어가 공급되고, 제1 피스톤(62b)이 위치 변경하여 샤프트 밸브(38b)의 밸브부(56b)가 제1 밸브 시트(52b)로부터 이격하여 제1 연통로(46b)와 제2 연통로(48b)가 연통하며, 제3 유로(30)에 공급되고 있는 압력 유체가 제4 유로(32)로 흐른 후, 제2 포트(14)로부터 배출된다.

이 경우, 제1 포트(12)로부터 제2 포트(14)로 흐르는 압력 유체의 유량은, 스로틀 기구(102)에 의하여 소정 유량으로 교축된 것이므로, 상기 제1 포트(12)에 공급되는 압력 유체의 압력(P1)에 대하여 제2 포트(14)로부터 배출되는 압력 유체의 압력(P2)은 소정 압력만큼 감소된 것이 된다(P1>P2).

다음으로, 제4 유로(32)에 공급된 압력 유체가, 파일럿 에어로서 조정 유닛(106)의 제2 피스톤 챔버(124)로 유입됨으로써, 제2 피스톤(122)이 개폐 밸브(110)측(화살표 C 방향)으로 위치 변경하고, 제1 연통로(118b)를 통하여 제2 엔드 커버(116) 내에 공급되는 리턴 에어의 밀어누르는 힘 및 리턴 스프링(128)의 탄성 반발력에 저항하여 개폐 밸브(110)를 제2 밸브 시트부(136)측으로 밀어 누름으로써 밸브부(132)가 제1 밸브 시트부(134)로부터 이격한 밸브 열림 상태가 된다. 따라서, 제1 유로(26)로부터 제1 연통로(118b)로 공급되고 있는 압력 유체가, 타측의 제1 연통로(118a)로부터 샤프트 홀(112)을 통하여 직접 제2 연통로(120)로 공급되는 한편, 스로틀 기구(102)를 통하여 상기 제2 연통로(120)로 공급되고 있던 압력 유체의 공급이 차단된다

즉, 절환 기구(104)를 구성하는 개폐 밸브(110)는, 파일럿 에어의 공급 작용하에 리턴 에어가 밀어누르는 힘 및 리턴 스프링(128)의 탄성 반발력에 저항하여 밸브부(132)를 제1 밸브 시트부(134)로부터 이격시켜, 제2 밸브 시트부(136)로 안착시킴으로써, 일측의 제1 연통로(118b)와 제2 연통로(120)의 연통을 차단하고, 타측의 제1 연통로(118a)와 상기 제2 연통로(120)를 연통시키도록 절환하고 있다.

또한, 제1 포트(12)로부터 제2 포트(14)로 공급되는 압력 유체의 압력을 변화시키는 타이밍은, 제2 피스톤 챔버(124)에 공급되고, 개폐 밸브(110)를 제2 밸브 시트부(136)측(화살표 C 방향)을 향하여 밀어붙이는 파일럿 에어의 압력이, 리턴 에어의 압력의 대략 절반이 되는 경우에 절환하도록, 제2 피스톤(122)의 압력 받이 면적이 설정된다.

따라서, 제2 포트(14)를 통하여 외부로 배출되는 압력 유체의 유량(압력)을 증가시킬 수 있게 된다. 즉, 초기 상태에 있어서 조정 유닛(106)의 개폐 밸브(110)를 제1 밸브 시트부(134)에 안착시킨 밸브 닫힘 상태로 해둠으로써, 스로틀 기구(102)에 의하여 교축된 유량으로 제1 포트(12)로부터 제2 포트(14)로 압력 유체가 흐르고, 해당 초기 상태로부터 제2 피스톤 챔버(124)로 공급되는 파일럿 에어의 압력이 제1 포트(12)에 공급되는 압력 유체 압력의 대략 절반 이상이 되는 경우에, 상기 개폐 밸브(110)를 밸브 열림 상태로 하여 해당 스로틀 기구(102)를 통하지 않고 압력 유체를 흐르도록 함으로써, 상기 제1 포트(12)로부터 제2 포트(14)로 흐르는 압력 유체의 유량을 증가시킬 수 있게 된다(소프트 스타트). 이와 같은 구성으로 함으로써, 제1 포트(12)에 대하여 공급된 압력 유체가 제2 포트(14)에 접속된 유체압 기기에 대하여 급격하고, 대유량으로 공급되는 것이 회피되고, 상기 유체압 기기의 파손 등이 확실하게 방지된다.

이상과 같이, 제2 실시 형태에서는, 유량 제어 장치(100)를 구성하는 바디(16)에 대하여 스로틀 기구(102) 및 절환 기구(104)를 가진 조정 유닛(106)을 구비하고, 상기 조정 유닛(106)을 상기 바디(16)에 대하여 자유로이 탈착 가능하게 함으로써, 상기 조정 유닛(106)의 교환을 용이하게 행할 수 있으며, 상기 스로틀 기구(102) 및 절환 기구(104)의 관리성을 향상시킬 수 있게 되며, 게다가, 유체압 기기 등에 대한 압력 유체의 급격한 공급을 회피할 수 있는 소프트 스타트를 실현할 수 있다.

또한, 절환 기구(104)의 개폐 밸브(110)에 의한 압력 유체의 공급 상태의 절환을, 제2 피스톤(122)의 압력 받이 면적에 의하여 미리 설정해 둘 수 있으므로, 작업자가 그 때마다 절환 작업을 행할 필요가 없이 효율적이고 확실하게 공급 상태의 절환을 행할 수 있음과 동시에, 개폐 밸브(110)를 제1 밸브 시트부(134)측으로 밀어붙이는 리턴 스프링(128)을 탄성 반발력이 다른 별개의 리턴 스프링으로 교환할 필요가 없어 적합하다.

또한, 위에서 서술한 제2 실시 형태에 따른 유량 제어 장치(100)에서는, 리턴 에어 및 리턴 스프링(128)의 탄성 반발력에 의하여 개폐 밸브(110)를 제1 밸브 시트부(134)측으로 밀어붙이는 한편, 제2 피스톤 채버(124)로 공급되는 파일럿 에어의 공급 작용하에 상기 개폐 밸브(110)를 제2 밸브 시트부(136)측으로 밀어붙이는 구성으로 하고 있으나, 이와 같은 구성에 한정되는 것은 아니며, 예를 들면, 리턴 에어를 이용하는 일이 없이, 리턴 스프링(128)만으로 상기 개폐 밸브(110)를 동작시켜 압력 유체의 공급 상태를 절환하도록 하여도 좋다.

그리고, 본 발명에 따른 유량 제어 장치는, 위에서 서술한 형태에 한정되지 않으며, 본 발명의 요지를 일탈하는 일이 없이, 다양한 구성을 채택하여 얻을 수 있음은 물론이다.

Claims

압력 유체가 공급, 배출되는 한 쌍의 포트(12, 14)와, 2차측에 남아 있는 압력 유체를 배기하는 배기 포트(24a, 24b)와, 상기 포트(12, 14), 상기 배기 포트(24a, 24b)를 접속하여 상기 압력 유체가 흐르는 통로(26, 28, 30, 32)를 가지는 바디(16)와,
일측의 포트(12)로부터 타측의 포트(14)로 흐르는 상기 압력 유체의 유량을 조정하는 조정 기구와,
상기 포트(12, 14), 상기 통로(26, 28, 30, 32), 상기 배기 포트(24a, 24b)의 연통 상태를 절환하는 적어도 둘 이상의 절환 밸브(18, 20)를 구비하며,
상기 조정 기구는, 일측의 포트(12)와 타측의 포트(14) 사이를 흐르는 압력 유체의 유량을 조정하는 스로틀 기구(86, 102, throttle mechanism)와, 상기 일측의 포트(12)와 타측의 포트(14)의 연통 상태를 자유로이 절환 가능한 개폐 밸브(22, 110)를 가지며, 상기 개폐 밸브(22, 110)의 절환 작용 하에 상기 압력 유체의 유량을 단계적으로 증감시키는 것을 특징으로 하는 유량 제어 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 절환 밸브(18, 20)는, 상기 바디(16)에 대하여 자유로이 탈착 가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 유량 제어 장치.
청구항 2에 있어서,
상기 배기 포트(24a, 24b)는, 상기 절환 밸브(18, 20)의 수량에 대응하여 같은 수로 설치되는 것을 특징으로 하는 유량 제어 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 절환 밸브(18, 20)는, 3방 밸브이며, 상호 직렬이 되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 유량 제어 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 조정 기구는, 상기 바디(16)에 대하여 자유로이 탈착 가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 유량 제어 장치.
청구항 4에 있어서,
상기 절환 밸브(18, 20)는, 통전 작용하에 여자(勵磁)하는 솔레노이드부(40a, 40b)를 가진 전자기 밸브인 것을 특징으로 하는 유량 제어 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 스로틀 기구(86, 102)는, 축 방향으로 전진 후퇴 동작하는 니들 밸브(90, 140)를 가지며, 상기 니들 밸브(90, 140)를 위치 변경시킴으로써 유량을 조정하는 것을 특징으로 하는 유량 제어 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 일측의 포트(12)로부터 타측의 포트(14)로 흐르는 압력 유체의 유량은, 그 흐름 초기 상태에 있어서, 상기 스로틀 기구(86, 102)에 의하여 교축되어 감소함과 동시에, 상기 개폐 밸브(22, 110)을 절환함으로써 상기 유량을 증가시키는 것을 특징으로 하는 유량 제어 장치.
청구항 8에 있어서,
상기 개폐 밸브(22, 110)는, 스프링(76, 128)의 탄성 반발 작용하에 상기 스로틀 기구(86, 102)를 통한 상기 일측의 포트(12)와 타측의 포트(14)의 연통 상태가 유지되고, 파일럿 에어의 공급 작용하에 탄성 반발력에 저항하여 상기 개폐 밸브(22, 110)를 위치 변경시킴으로써, 해당 개폐 밸브(22, 110)에 의하여 상기 일측의 포트(12)와 타측의 포트(14)의 연통 상태가 절환되는 것을 특징으로 하는 유량 제어 장치.
청구항 8에 있어서,
상기 개폐 밸브(22, 110)는, 스프링(76, 128)의 탄성 반발 작용하에 상기 스로틀 기구(86, 102)를 통한 상기 일측의 포트(12)와 타측의 포트(14)의 연통 상태가 절환되는 것을 특징으로 하는 유량 제어 장치.
청구항 8에 있어서,
상기 개폐 밸브(22, 110)는, 3방 밸브인 것을 특징으로 하는 유량 제어 장치.