WO2013065433A1 - 樹脂組成物 - Google Patents
樹脂組成物 Download PDFInfo
- Publication number
- WO2013065433A1 WO2013065433A1 PCT/JP2012/075303 JP2012075303W WO2013065433A1 WO 2013065433 A1 WO2013065433 A1 WO 2013065433A1 JP 2012075303 W JP2012075303 W JP 2012075303W WO 2013065433 A1 WO2013065433 A1 WO 2013065433A1
- Authority
- WO
- WIPO (PCT)
- Prior art keywords
- resin composition
- component
- mass
- curing
- parts
- Prior art date
Links
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 title claims abstract description 93
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 claims abstract description 32
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 claims abstract description 32
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims abstract description 17
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 11
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 29
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims description 10
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 10
- 239000000945 filler Substances 0.000 claims description 9
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 claims description 8
- 239000008393 encapsulating agent Substances 0.000 claims description 7
- GVJHHUAWPYXKBD-IEOSBIPESA-N α-tocopherol Chemical compound OC1=C(C)C(C)=C2O[C@@](CCC[C@H](C)CCC[C@H](C)CCCC(C)C)(C)CCC2=C1C GVJHHUAWPYXKBD-IEOSBIPESA-N 0.000 claims description 7
- WGVKWNUPNGFDFJ-DQCZWYHMSA-N β-tocopherol Chemical compound OC1=CC(C)=C2O[C@@](CCC[C@H](C)CCC[C@H](C)CCCC(C)C)(C)CCC2=C1C WGVKWNUPNGFDFJ-DQCZWYHMSA-N 0.000 claims description 7
- 235000004835 α-tocopherol Nutrition 0.000 claims description 5
- 239000002076 α-tocopherol Substances 0.000 claims description 5
- WIGCFUFOHFEKBI-UHFFFAOYSA-N gamma-tocopherol Natural products CC(C)CCCC(C)CCCC(C)CCCC1CCC2C(C)C(O)C(C)C(C)C2O1 WIGCFUFOHFEKBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- QUEDXNHFTDJVIY-DQCZWYHMSA-N γ-tocopherol Chemical compound OC1=C(C)C(C)=C2O[C@@](CCC[C@H](C)CCC[C@H](C)CCCC(C)C)(C)CCC2=C1 QUEDXNHFTDJVIY-DQCZWYHMSA-N 0.000 claims description 4
- OTXNTMVVOOBZCV-WAZJVIJMSA-N γ-tocotrienol Chemical compound OC1=C(C)C(C)=C2O[C@@](CC/C=C(C)/CC/C=C(C)/CCC=C(C)C)(C)CCC2=C1 OTXNTMVVOOBZCV-WAZJVIJMSA-N 0.000 claims description 4
- ODADKLYLWWCHNB-LDYBVBFYSA-N δ-tocotrienol Chemical compound OC1=CC(C)=C2O[C@@](CC/C=C(C)/CC/C=C(C)/CCC=C(C)C)(C)CCC2=C1 ODADKLYLWWCHNB-LDYBVBFYSA-N 0.000 claims description 4
- RZFHLOLGZPDCHJ-KTWAZNHYSA-N 2,5,7,8-tetramethyl-2-[(3e,7e)-4,8,12-trimethyltrideca-3,7,11-trienyl]-3,4-dihydrochromen-6-ol Chemical compound OC1=C(C)C(C)=C2OC(CC/C=C(C)/CC/C=C(C)/CCC=C(C)C)(C)CCC2=C1C RZFHLOLGZPDCHJ-KTWAZNHYSA-N 0.000 claims description 3
- GZIFEOYASATJEH-UHFFFAOYSA-N D-delta tocopherol Natural products OC1=CC(C)=C2OC(CCCC(C)CCCC(C)CCCC(C)C)(C)CCC2=C1 GZIFEOYASATJEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000007822 coupling agent Substances 0.000 claims description 3
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 claims description 3
- 239000005060 rubber Substances 0.000 claims description 3
- GZIFEOYASATJEH-VHFRWLAGSA-N δ-tocopherol Chemical compound OC1=CC(C)=C2O[C@@](CCC[C@H](C)CCC[C@H](C)CCCC(C)C)(C)CCC2=C1 GZIFEOYASATJEH-VHFRWLAGSA-N 0.000 claims description 3
- 230000005012 migration Effects 0.000 abstract description 34
- 238000013508 migration Methods 0.000 abstract description 34
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract description 23
- 238000003860 storage Methods 0.000 abstract description 14
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 7
- 230000008719 thickening Effects 0.000 abstract description 6
- DFUSDJMZWQVQSF-XLGIIRLISA-N (2r)-2-methyl-2-[(4r,8r)-4,8,12-trimethyltridecyl]-3,4-dihydrochromen-6-ol Chemical class OC1=CC=C2O[C@@](CCC[C@H](C)CCC[C@H](C)CCCC(C)C)(C)CCC2=C1 DFUSDJMZWQVQSF-XLGIIRLISA-N 0.000 abstract description 3
- 229930003802 tocotrienol Natural products 0.000 abstract description 2
- 239000011731 tocotrienol Substances 0.000 abstract description 2
- 235000019148 tocotrienols Nutrition 0.000 abstract description 2
- GJJVAFUKOBZPCB-ZGRPYONQSA-N (r)-3,4-dihydro-2-methyl-2-(4,8,12-trimethyl-3,7,11-tridecatrienyl)-2h-1-benzopyran-6-ol Chemical class OC1=CC=C2OC(CC/C=C(C)/CC/C=C(C)/CCC=C(C)C)(C)CCC2=C1 GJJVAFUKOBZPCB-ZGRPYONQSA-N 0.000 abstract 1
- 229940068778 tocotrienols Drugs 0.000 abstract 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 20
- 239000000047 product Substances 0.000 description 19
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 18
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 17
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 14
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 10
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 10
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 10
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 9
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 8
- PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N bisphenol F Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1CC1=CC=C(O)C=C1 PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 8
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 8
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- -1 methylnadic acid anhydride Chemical class 0.000 description 7
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 150000008065 acid anhydrides Chemical class 0.000 description 6
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 6
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 5
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 5
- 239000004594 Masterbatch (MB) Substances 0.000 description 4
- UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N Naphthalene Chemical compound C1=CC=CC2=CC=CC=C21 UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- DHXVGJBLRPWPCS-UHFFFAOYSA-N Tetrahydropyran Chemical group C1CCOCC1 DHXVGJBLRPWPCS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 4
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 4
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 4
- CDAWCLOXVUBKRW-UHFFFAOYSA-N 2-aminophenol Chemical compound NC1=CC=CC=C1O CDAWCLOXVUBKRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 3
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 3
- RZFHLOLGZPDCHJ-DLQZEEBKSA-N alpha-Tocotrienol Natural products Oc1c(C)c(C)c2O[C@@](CC/C=C(/CC/C=C(\CC/C=C(\C)/C)/C)\C)(C)CCc2c1C RZFHLOLGZPDCHJ-DLQZEEBKSA-N 0.000 description 3
- 150000001565 benzotriazoles Chemical class 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N disiloxane Chemical class [SiH3]O[SiH3] KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 3
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 3
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 3
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 3
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 3
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 3
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 3
- KMOUUZVZFBCRAM-OLQVQODUSA-N (3as,7ar)-3a,4,7,7a-tetrahydro-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1C=CC[C@@H]2C(=O)OC(=O)[C@@H]21 KMOUUZVZFBCRAM-OLQVQODUSA-N 0.000 description 2
- QCBSYPYHCJMQGB-UHFFFAOYSA-N 2-ethyl-1,3,5-triazine Chemical compound CCC1=NC=NC=N1 QCBSYPYHCJMQGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OTXNTMVVOOBZCV-UHFFFAOYSA-N 2R-gamma-tocotrienol Natural products OC1=C(C)C(C)=C2OC(CCC=C(C)CCC=C(C)CCC=C(C)C)(C)CCC2=C1 OTXNTMVVOOBZCV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- TYOXIFXYEIILLY-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-2-phenyl-1h-imidazole Chemical compound N1C(C)=CN=C1C1=CC=CC=C1 TYOXIFXYEIILLY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GOYGTBXFJBGGLI-UHFFFAOYSA-N 7a-but-1-enyl-3a-methyl-4,5-dihydro-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1=CCCC2(C)C(=O)OC(=O)C21C=CCC GOYGTBXFJBGGLI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N Butadiene Chemical compound C=CC=C KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000005062 Polybutadiene Substances 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- 229940087168 alpha tocopherol Drugs 0.000 description 2
- 229940064063 alpha tocotrienol Drugs 0.000 description 2
- 150000008064 anhydrides Chemical class 0.000 description 2
- 150000004982 aromatic amines Chemical class 0.000 description 2
- QRUDEWIWKLJBPS-UHFFFAOYSA-N benzotriazole Chemical compound C1=CC=C2N[N][N]C2=C1 QRUDEWIWKLJBPS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012964 benzotriazole Substances 0.000 description 2
- 229940066595 beta tocopherol Drugs 0.000 description 2
- 150000001721 carbon Chemical group 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 2
- NIHNNTQXNPWCJQ-UHFFFAOYSA-N fluorene Chemical compound C1=CC=C2CC3=CC=CC=C3C2=C1 NIHNNTQXNPWCJQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 description 2
- 239000004850 liquid epoxy resins (LERs) Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000003094 microcapsule Substances 0.000 description 2
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 2
- 229920002857 polybutadiene Polymers 0.000 description 2
- 229960000984 tocofersolan Drugs 0.000 description 2
- 150000003918 triazines Chemical class 0.000 description 2
- IMNIMPAHZVJRPE-UHFFFAOYSA-N triethylenediamine Chemical compound C1CN2CCN1CC2 IMNIMPAHZVJRPE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000005591 trimellitate group Chemical group 0.000 description 2
- BPSIOYPQMFLKFR-UHFFFAOYSA-N trimethoxy-[3-(oxiran-2-ylmethoxy)propyl]silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOCC1CO1 BPSIOYPQMFLKFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RIOQSEWOXXDEQQ-UHFFFAOYSA-N triphenylphosphine Chemical compound C1=CC=CC=C1P(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 RIOQSEWOXXDEQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RZFHLOLGZPDCHJ-XZXLULOTSA-N α-Tocotrienol Chemical compound OC1=C(C)C(C)=C2O[C@@](CC/C=C(C)/CC/C=C(C)/CCC=C(C)C)(C)CCC2=C1C RZFHLOLGZPDCHJ-XZXLULOTSA-N 0.000 description 2
- 235000019145 α-tocotrienol Nutrition 0.000 description 2
- 239000011730 α-tocotrienol Substances 0.000 description 2
- 235000007680 β-tocopherol Nutrition 0.000 description 2
- 239000011590 β-tocopherol Substances 0.000 description 2
- MUTGBJKUEZFXGO-OLQVQODUSA-N (3as,7ar)-3a,4,5,6,7,7a-hexahydro-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1CCC[C@@H]2C(=O)OC(=O)[C@@H]21 MUTGBJKUEZFXGO-OLQVQODUSA-N 0.000 description 1
- LTQBNYCMVZQRSD-UHFFFAOYSA-N (4-ethenylphenyl)-trimethoxysilane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)C1=CC=C(C=C)C=C1 LTQBNYCMVZQRSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FGYKUFVNYVMTAM-UHFFFAOYSA-N (R)-2,5,8-trimethyl-2-(4,8,12-trimethyl-trideca-3t,7t,11-trienyl)-chroman-6-ol Natural products OC1=CC(C)=C2OC(CCC=C(C)CCC=C(C)CCC=C(C)C)(C)CCC2=C1C FGYKUFVNYVMTAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YQMXOIAIYXXXEE-UHFFFAOYSA-N 1-benzylpyrrolidin-3-ol Chemical compound C1C(O)CCN1CC1=CC=CC=C1 YQMXOIAIYXXXEE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FALRKNHUBBKYCC-UHFFFAOYSA-N 2-(chloromethyl)pyridine-3-carbonitrile Chemical compound ClCC1=NC=CC=C1C#N FALRKNHUBBKYCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MEVBAGCIOOTPLF-UHFFFAOYSA-N 2-[[5-(oxiran-2-ylmethoxy)naphthalen-2-yl]oxymethyl]oxirane Chemical compound C1OC1COC(C=C1C=CC=2)=CC=C1C=2OCC1CO1 MEVBAGCIOOTPLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YTWBFUCJVWKCCK-UHFFFAOYSA-N 2-heptadecyl-1h-imidazole Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC1=NC=CN1 YTWBFUCJVWKCCK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LXBGSDVWAMZHDD-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-1h-imidazole Chemical compound CC1=NC=CN1 LXBGSDVWAMZHDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GJJVAFUKOBZPCB-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-2-(4,8,12-trimethyltrideca-3,7,11-trienyl)-3,4-dihydrochromen-6-ol Chemical compound OC1=CC=C2OC(CCC=C(C)CCC=C(C)CCC=C(C)C)(C)CCC2=C1 GJJVAFUKOBZPCB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 2-methylphenol;3-methylphenol;4-methylphenol Chemical compound CC1=CC=C(O)C=C1.CC1=CC=CC(O)=C1.CC1=CC=CC=C1O QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZCUJYXPAKHMBAZ-UHFFFAOYSA-N 2-phenyl-1h-imidazole Chemical compound C1=CNC(C=2C=CC=CC=2)=N1 ZCUJYXPAKHMBAZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LLEASVZEQBICSN-UHFFFAOYSA-N 2-undecyl-1h-imidazole Chemical compound CCCCCCCCCCCC1=NC=CN1 LLEASVZEQBICSN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ODADKLYLWWCHNB-UHFFFAOYSA-N 2R-delta-tocotrienol Natural products OC1=CC(C)=C2OC(CCC=C(C)CCC=C(C)CCC=C(C)C)(C)CCC2=C1 ODADKLYLWWCHNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WVRNUXJQQFPNMN-VAWYXSNFSA-N 3-[(e)-dodec-1-enyl]oxolane-2,5-dione Chemical group CCCCCCCCCC\C=C\C1CC(=O)OC1=O WVRNUXJQQFPNMN-VAWYXSNFSA-N 0.000 description 1
- RDNPPYMJRALIIH-UHFFFAOYSA-N 3-methylcyclohex-3-ene-1,1,2,2-tetracarboxylic acid Chemical compound CC1=CCCC(C(O)=O)(C(O)=O)C1(C(O)=O)C(O)=O RDNPPYMJRALIIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LVNLBBGBASVLLI-UHFFFAOYSA-N 3-triethoxysilylpropylurea Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)CCCNC(N)=O LVNLBBGBASVLLI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SJECZPVISLOESU-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropan-1-amine Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCN SJECZPVISLOESU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UUEWCQRISZBELL-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropane-1-thiol Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCS UUEWCQRISZBELL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KBQVDAIIQCXKPI-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropyl prop-2-enoate Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOC(=O)C=C KBQVDAIIQCXKPI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DRPJWBIHQOHLND-UHFFFAOYSA-N 4-[dimethoxy(methyl)silyl]oxybutyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CO[Si](C)(OC)OCCCCOC(=O)C(C)=C DRPJWBIHQOHLND-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VQVIHDPBMFABCQ-UHFFFAOYSA-N 5-(1,3-dioxo-2-benzofuran-5-carbonyl)-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1=C2C(=O)OC(=O)C2=CC(C(C=2C=C3C(=O)OC(=O)C3=CC=2)=O)=C1 VQVIHDPBMFABCQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ULKLGIFJWFIQFF-UHFFFAOYSA-N 5K8XI641G3 Chemical compound CCC1=NC=C(C)N1 ULKLGIFJWFIQFF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MWSKJDNQKGCKPA-UHFFFAOYSA-N 6-methyl-3a,4,5,7a-tetrahydro-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1CC(C)=CC2C(=O)OC(=O)C12 MWSKJDNQKGCKPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M Acetate Chemical group CC([O-])=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910002012 Aerosil® Inorganic materials 0.000 description 1
- 0 CCC(C)(C)C(C)=CCCC(C)(CC)C(*)(CC1)Oc(c(*)c2*)c1c(*)c2O Chemical compound CCC(C)(C)C(C)=CCCC(C)(CC)C(*)(CC1)Oc(c(*)c2*)c1c(*)c2O 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 1
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 101000752241 Homo sapiens Rho guanine nucleotide exchange factor 4 Proteins 0.000 description 1
- LGRFSURHDFAFJT-UHFFFAOYSA-N Phthalic anhydride Natural products C1=CC=C2C(=O)OC(=O)C2=C1 LGRFSURHDFAFJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002732 Polyanhydride Polymers 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 102100021709 Rho guanine nucleotide exchange factor 4 Human genes 0.000 description 1
- 208000034189 Sclerosis Diseases 0.000 description 1
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N Triethanolamine Chemical compound OCCN(CCO)CCO GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920006311 Urethane elastomer Polymers 0.000 description 1
- GTDPSWPPOUPBNX-UHFFFAOYSA-N ac1mqpva Chemical compound CC12C(=O)OC(=O)C1(C)C1(C)C2(C)C(=O)OC1=O GTDPSWPPOUPBNX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006230 acetylene black Substances 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000800 acrylic rubber Polymers 0.000 description 1
- 125000002723 alicyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 description 1
- 125000003342 alkenyl group Chemical group 0.000 description 1
- 239000002518 antifoaming agent Substances 0.000 description 1
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 1
- 230000003078 antioxidant effect Effects 0.000 description 1
- 235000006708 antioxidants Nutrition 0.000 description 1
- IVRMZWNICZWHMI-UHFFFAOYSA-N azide group Chemical group [N-]=[N+]=[N-] IVRMZWNICZWHMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000751 azo group Chemical group [*]N=N[*] 0.000 description 1
- 238000010923 batch production Methods 0.000 description 1
- 239000000440 bentonite Substances 0.000 description 1
- 229910000278 bentonite Inorganic materials 0.000 description 1
- SVPXDRXYRYOSEX-UHFFFAOYSA-N bentoquatam Chemical compound O.O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O SVPXDRXYRYOSEX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FGYKUFVNYVMTAM-YMCDKREISA-N beta-Tocotrienol Natural products Oc1c(C)c2c(c(C)c1)O[C@@](CC/C=C(\CC/C=C(\CC/C=C(\C)/C)/C)/C)(C)CC2 FGYKUFVNYVMTAM-YMCDKREISA-N 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- JHIWVOJDXOSYLW-UHFFFAOYSA-N butyl 2,2-difluorocyclopropane-1-carboxylate Chemical compound CCCCOC(=O)C1CC1(F)F JHIWVOJDXOSYLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000008119 colloidal silica Substances 0.000 description 1
- 239000013065 commercial product Substances 0.000 description 1
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 1
- 229930003836 cresol Natural products 0.000 description 1
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 235000010389 delta-tocopherol Nutrition 0.000 description 1
- BTNBMQIHCRIGOU-UHFFFAOYSA-N delta-tocotrienol Natural products CC(=CCCC(=CCCC(=CCCOC1(C)CCc2cc(O)cc(C)c2O1)C)C)C BTNBMQIHCRIGOU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- XXBDWLFCJWSEKW-UHFFFAOYSA-N dimethylbenzylamine Chemical compound CN(C)CC1=CC=CC=C1 XXBDWLFCJWSEKW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002296 dynamic light scattering Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000003487 electrochemical reaction Methods 0.000 description 1
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 description 1
- FGYKUFVNYVMTAM-MUUNZHRXSA-N epsilon-Tocopherol Natural products OC1=CC(C)=C2O[C@@](CCC=C(C)CCC=C(C)CCC=C(C)C)(C)CCC2=C1C FGYKUFVNYVMTAM-MUUNZHRXSA-N 0.000 description 1
- NKSJNEHGWDZZQF-UHFFFAOYSA-N ethenyl(trimethoxy)silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)C=C NKSJNEHGWDZZQF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 238000005187 foaming Methods 0.000 description 1
- 238000009472 formulation Methods 0.000 description 1
- 229910021485 fumed silica Inorganic materials 0.000 description 1
- ANSXAPJVJOKRDJ-UHFFFAOYSA-N furo[3,4-f][2]benzofuran-1,3,5,7-tetrone Chemical compound C1=C2C(=O)OC(=O)C2=CC2=C1C(=O)OC2=O ANSXAPJVJOKRDJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OTXNTMVVOOBZCV-YMCDKREISA-N gamma-Tocotrienol Natural products Oc1c(C)c(C)c2O[C@@](CC/C=C(\CC/C=C(\CC/C=C(\C)/C)/C)/C)(C)CCc2c1 OTXNTMVVOOBZCV-YMCDKREISA-N 0.000 description 1
- 235000010382 gamma-tocopherol Nutrition 0.000 description 1
- VANNPISTIUFMLH-UHFFFAOYSA-N glutaric anhydride Chemical compound O=C1CCCC(=O)O1 VANNPISTIUFMLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000011187 glycerol Nutrition 0.000 description 1
- FLBJFXNAEMSXGL-UHFFFAOYSA-N het anhydride Chemical compound O=C1OC(=O)C2C1C1(Cl)C(Cl)=C(Cl)C2(Cl)C1(Cl)Cl FLBJFXNAEMSXGL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 239000003273 ketjen black Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000004949 mass spectrometry Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 1
- VYKXQOYUCMREIS-UHFFFAOYSA-N methylhexahydrophthalic anhydride Chemical compound C1CCCC2C(=O)OC(=O)C21C VYKXQOYUCMREIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 1
- 239000013034 phenoxy resin Substances 0.000 description 1
- 229920006287 phenoxy resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 229920001195 polyisoprene Polymers 0.000 description 1
- 229920001451 polypropylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 238000004445 quantitative analysis Methods 0.000 description 1
- 239000000565 sealant Substances 0.000 description 1
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 229940014800 succinic anhydride Drugs 0.000 description 1
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 1
- 239000012085 test solution Substances 0.000 description 1
- TUQOTMZNTHZOKS-UHFFFAOYSA-N tributylphosphine Chemical compound CCCCP(CCCC)CCCC TUQOTMZNTHZOKS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FRGPKMWIYVTFIQ-UHFFFAOYSA-N triethoxy(3-isocyanatopropyl)silane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)CCCN=C=O FRGPKMWIYVTFIQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VTHOKNTVYKTUPI-UHFFFAOYSA-N triethoxy-[3-(3-triethoxysilylpropyltetrasulfanyl)propyl]silane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)CCCSSSSCCC[Si](OCC)(OCC)OCC VTHOKNTVYKTUPI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SRPWOOOHEPICQU-UHFFFAOYSA-N trimellitic anhydride Chemical compound OC(=O)C1=CC=C2C(=O)OC(=O)C2=C1 SRPWOOOHEPICQU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IUURMAINMLIZMX-UHFFFAOYSA-N tris(2-nonylphenyl)phosphane Chemical compound CCCCCCCCCC1=CC=CC=C1P(C=1C(=CC=CC=1)CCCCCCCCC)C1=CC=CC=C1CCCCCCCCC IUURMAINMLIZMX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WXAZIUYTQHYBFW-UHFFFAOYSA-N tris(4-methylphenyl)phosphane Chemical compound C1=CC(C)=CC=C1P(C=1C=CC(C)=CC=1)C1=CC=C(C)C=C1 WXAZIUYTQHYBFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DSROZUMNVRXZNO-UHFFFAOYSA-K tris[(1-naphthalen-1-yl-3-phenylnaphthalen-2-yl)oxy]alumane Chemical compound C=1C=CC=CC=1C=1C=C2C=CC=CC2=C(C=2C3=CC=CC=C3C=CC=2)C=1O[Al](OC=1C(=C2C=CC=CC2=CC=1C=1C=CC=CC=1)C=1C2=CC=CC=C2C=CC=1)OC(C(=C1C=CC=CC1=C1)C=2C3=CC=CC=C3C=CC=2)=C1C1=CC=CC=C1 DSROZUMNVRXZNO-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 235000019151 β-tocotrienol Nutrition 0.000 description 1
- 239000011723 β-tocotrienol Substances 0.000 description 1
- FGYKUFVNYVMTAM-WAZJVIJMSA-N β-tocotrienol Chemical compound OC1=CC(C)=C2O[C@@](CC/C=C(C)/CC/C=C(C)/CCC=C(C)C)(C)CCC2=C1C FGYKUFVNYVMTAM-WAZJVIJMSA-N 0.000 description 1
- 239000002478 γ-tocopherol Substances 0.000 description 1
- 235000019150 γ-tocotrienol Nutrition 0.000 description 1
- 239000011722 γ-tocotrienol Substances 0.000 description 1
- 150000003789 δ-tocopherols Chemical class 0.000 description 1
- 235000019144 δ-tocotrienol Nutrition 0.000 description 1
- 239000011729 δ-tocotrienol Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/28—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
- H01L23/29—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the material, e.g. carbon
- H01L23/293—Organic, e.g. plastic
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
- C08G59/00—Polycondensates containing more than one epoxy group per molecule; Macromolecules obtained by polymerising compounds containing more than one epoxy group per molecule using curing agents or catalysts which react with the epoxy groups
- C08G59/18—Macromolecules obtained by polymerising compounds containing more than one epoxy group per molecule using curing agents or catalysts which react with the epoxy groups ; e.g. general methods of curing
- C08G59/40—Macromolecules obtained by polymerising compounds containing more than one epoxy group per molecule using curing agents or catalysts which react with the epoxy groups ; e.g. general methods of curing characterised by the curing agents used
- C08G59/4007—Curing agents not provided for by the groups C08G59/42 - C08G59/66
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
- C08G59/00—Polycondensates containing more than one epoxy group per molecule; Macromolecules obtained by polymerising compounds containing more than one epoxy group per molecule using curing agents or catalysts which react with the epoxy groups
- C08G59/18—Macromolecules obtained by polymerising compounds containing more than one epoxy group per molecule using curing agents or catalysts which react with the epoxy groups ; e.g. general methods of curing
- C08G59/40—Macromolecules obtained by polymerising compounds containing more than one epoxy group per molecule using curing agents or catalysts which react with the epoxy groups ; e.g. general methods of curing characterised by the curing agents used
- C08G59/42—Polycarboxylic acids; Anhydrides, halides or low molecular weight esters thereof
- C08G59/4284—Polycarboxylic acids; Anhydrides, halides or low molecular weight esters thereof together with other curing agents
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
- C08K5/00—Use of organic ingredients
- C08K5/04—Oxygen-containing compounds
- C08K5/15—Heterocyclic compounds having oxygen in the ring
- C08K5/151—Heterocyclic compounds having oxygen in the ring having one oxygen atom in the ring
- C08K5/1545—Six-membered rings
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/50—Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
- H01L21/56—Encapsulations, e.g. encapsulation layers, coatings
- H01L21/563—Encapsulation of active face of flip-chip device, e.g. underfilling or underencapsulation of flip-chip, encapsulation preform on chip or mounting substrate
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/91—Methods for connecting semiconductor or solid state bodies including different methods provided for in two or more of groups H01L2224/80 - H01L2224/90
- H01L2224/92—Specific sequence of method steps
- H01L2224/921—Connecting a surface with connectors of different types
- H01L2224/9212—Sequential connecting processes
- H01L2224/92122—Sequential connecting processes the first connecting process involving a bump connector
- H01L2224/92125—Sequential connecting processes the first connecting process involving a bump connector the second connecting process involving a layer connector
Definitions
- FIG. 1 is a schematic diagram for explaining migration when the electrode is Cu.
- (A) component is preferable in it being a solid epoxy resin, and the solid of what was mentioned as a liquid epoxy resin as a solid epoxy resin is mentioned. From the viewpoint of film moldability, a phenoxy resin is preferable.
- the epoxy equivalent is preferably 80 to 250 g / eq from the viewpoint of viscosity adjustment.
- the component (C) is usually a liquid and suppresses a curing reaction during storage of the resin composition, specifically, a thickening during storage when the resin composition is used in a liquid state, and after curing. Improves migration resistance.
- the reason for improving the migration resistance of the resin composition in which the component (C) is cured is that the oxane ring (tetrahydropyran ring) in the component (C) coordinates to Cu ions such as metallic copper and Cu (OH). It is thought that it is for combining.
- Tocols include 5,7,8-trimethyltocol ( ⁇ -tocopherol), 5,8-dimethyltocol ( ⁇ -tocopherol), 7,8-dimethyltocol ( ⁇ -tocopherol), 8-methyltocol ( ⁇ - Tocopherols include 5,7,8-trimethyltocotrienol ( ⁇ -tocotrienol), 5,8-dimethyltocotrienol ( ⁇ -tocotrienol), 7,8-dimethyltocotrienol ( ⁇ -tocotrienol), 8-methyl Tocotrienol ( ⁇ -tocotrienol) is preferable from the viewpoint of the storage characteristics of the resin composition and the migration resistance of the resin composition after curing.
- component (C) for example, a reagent commercially available from Wako Pure Chemical Industries may be used.
- a component may be individual or may use 2 or more types together.
- the resin composition further contains a filler as component (E).
- a filler as component (E).
- the component (E) include silica such as colloidal silica, hydrophobic silica, fine silica, and nano silica, acrylic beads, glass beads, urethane beads, bentonite, acetylene black, and ketjen black.
- the average particle diameter of the filler as the component (E) is not particularly limited, but is 0.01 to 50 ⁇ m so that the filler can be uniformly distributed in the resin composition. It is preferable when it is dispersed, and it is preferable because of excellent injection properties when the resin composition is used as an underfill material.
- the average particle size of the filler as component (E) is more preferably 0.05 to 30 ⁇ m, and the average particle size of the filler is further preferably 0.1 to 10 ⁇ m.
- Commercially available products include amorphous silica manufactured by Fuso Chemical Industries (product name: SP03B, average particle size: 200 nm, hydrophobic fumed silica manufactured by Nippon Aerosil (product name: R805, average particle size: 20 nm)), etc.
- the average particle size of the filler is measured by a dynamic light scattering nanotrack particle size analyzer, and the component (E) may be used alone or in combination of two or more.
- the component (F) can also be used at room temperature, and examples thereof include polybutadiene, butadiene / acrylonitrile copolymer, polyisoprene, polypropylene oxide, and polydiorganosiloxane having a relatively low average molecular weight.
- polybutadiene butadiene / acrylonitrile copolymer
- polyisoprene polypropylene oxide
- polydiorganosiloxane having a relatively low average molecular weight.
- what has the group which reacts with an epoxy group at the terminal can be used for (F) component, These may be a solid or liquid form.
- Commercially available products include ATBN 1300-16, CTBN1008-SP manufactured by Ube Industries.
- a component may be individual or may use 2 or more types together.
- the resin composition further contains a curing accelerator as component (G), it is preferable because appropriate curability can be obtained, and the curing accelerator is not particularly limited as long as it is an epoxy resin curing accelerator, A well-known thing can be used.
- a curing accelerator for example, an amine hardening accelerator, a phosphorus hardening accelerator, etc. are mentioned.
- Component (G) is preferably greater than 0.1 parts by weight and less than 5 parts by weight, more preferably 0.2-4 parts by weight, and even more preferably 0.3-3 parts per 100 parts by weight of the resin composition. 0.0 part by mass is contained. When it is 0.1 parts by mass or more, the reactivity is good, and when it is 5 parts by mass or less, the moisture resistance reliability is good, and the thickening ratio is stable.
- the resin composition of the present invention can be obtained, for example, by stirring, melting, mixing, and dispersing components (A) to (C) and other additives simultaneously or separately, with heat treatment as necessary. Can do.
- the mixing, stirring, dispersing and the like devices are not particularly limited, and a raikai machine equipped with a stirring and heating device, a three-roll mill, a ball mill, a planetary mixer, a bead mill and the like can be used. . Moreover, you may use combining these apparatuses suitably.
- the resin composition of the present invention preferably has a viscosity at a temperature of 25 ° C. of 50 to 2000 mPa ⁇ s from the viewpoint of injectability.
- the viscosity is measured with an E-type viscometer (model number: TVE-22H) manufactured by Toki Sangyo Co., Ltd.
- the resin composition of the present invention is formed and applied at a desired position on the substrate by a dispenser, printing or the like.
- the resin composition is formed between a substrate such as a flexible wiring substrate and the semiconductor element so that at least a part thereof is in contact with the wiring of the substrate.
- the resin composition of the present invention is preferably cured at 80 to 300 ° C., and curing within 200 seconds is preferable from the viewpoint of improving the productivity when used as a semiconductor encapsulant.
- a desired semiconductor element and substrate can be used, but a combination of a flip chip bonding semiconductor element and a substrate for COF package is preferable.
- the prepared resin composition is sandwiched between a glass plate coated with a release agent and cured into a 350 ⁇ m sheet at 60 ° C. for 60 minutes.
- the flexural modulus is preferably 1.0 to 10.0 GPa, more preferably 2.0 to 8.0 GPa. Tables 3 and 4 show the evaluation results of the flexural modulus.
- FIG. 2 the schematic diagram explaining the evaluation method of the injectability of a resin composition is shown.
- a test piece in which a 20 ⁇ m gap 40 was provided on the substrate 20 and the glass plate 30 was fixed instead of the semiconductor element was produced.
- a glass substrate was used instead of the flexible substrate.
- this test piece is placed on a hot plate set at 110 ° C., and as shown in FIG. 2 (B), the prepared resin composition 10 is applied to one end side of the glass plate 30, and FIG. ), The time until the gap 40 was filled with the resin composition 11 was measured, and the case where the gap 40 was filled in 90 seconds or less was evaluated as “good”.
- Tables 3 and 4 show the evaluation results of injectability.
- the resin composition of the present invention is useful as a semiconductor sealing agent, particularly as a sealing agent for flip chip type semiconductor elements.
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Polymers & Plastics (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
- Epoxy Resins (AREA)
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
Abstract
硬化後の樹脂組成物中でのマイグレーションを防止し、かつ樹脂組成物の保存中の硬化反応を抑制する、具体的には、樹脂組成物を液状で使用する場合の保存中の増粘を抑制することを課題とする。したがって、保存特性に優れ、硬化後には耐マイグレーション性に優れた高信頼性の樹脂組成物を提供することを目的とする。 (A)エポキシ樹脂、(B)硬化剤、及び(C)特定構造のトコール類およびトコトリエノール類等の化合物からなる群より選択される少なくとも1種を含有することを特徴とする、樹脂組成物である。
Description
本発明は、樹脂組成物に関し、特に、フリップチップ型半導体素子の封止に適した樹脂組成物に関する。
一般に、半導体装置は、基板と、基板上に搭載された半導体素子を備えており、半導体素子と基板間を、バンプやボンディングワイヤー等で電気的に接続した後、樹脂組成物で封止し、製造されている。
近年、液晶ドライバIC等の半導体素子の高密度化、高出力化の要求に応えるため、半導体素子を搭載する基板の配線パターンのファインピッチ化が進んでいる。このファインピッチ化、および高出力化に伴う高電圧化により、配線パターン間のマイグレーションが危惧されている。マイグレーションは、配線パターンの金属が、電気化学反応によって溶出し、抵抗値低下が生じる現象である。ここで、配線パターンは、半導体装置作動時に、電極として作用する。図1に、電極がCuである場合のマイグレーションを説明する模式図を示す。マイグレーションは、まず陽極2で、反応式:Cu+(OH-)→Cu(OH)によりCuが溶出し、基板1上を、Cu(OH)が実線矢印の向き、すなわち陰極3方向に移動し、陰極3では、基板1上で、反応式:CuOH+H3O+→Cu+2H2OによりCuが破線矢印向き、すなわち陽極2方向に析出する。通常、配線パターンは、エポキシ樹脂系の樹脂組成物からなる半導体封止剤で封止されているが、エポキシ樹脂に吸水されたH2O由来のOH-やH3O+により、マイグレーションが発生する。さらに、雰囲気中にCl-イオンがあると、マイグレーションは飛躍的に加速される。このCl-イオンは、通常、エポキシ樹脂の不純物として存在する。マイグレーションが起きると、配線パターンの陽極-陰極間の抵抗値が低くなり、マイグレーションが進行すると、陽極と陰極の短絡に至る。なお、Cu(OH)は、正確には、Cu(OH)2の場合と、Cu(OH)+の場合があり、Cu(OH)2の場合には、その濃度差により陰極側に移動し、Cu(OH)+の場合には、電気的に移動する。
このマイグレーションを防止するため、イオン結合剤として、ベンゾトリアゾール類、トリアジン類、およびこれらのイソシアヌル類から選ばれる少なくとも1種の可能物を含む樹脂組成物が報告されている(特許文献1)。
しかしながら、ベンゾトリアゾール類等を、エポキシ樹脂中に分散すると、室温において、エポキシ樹脂とベンゾトリアゾール類の硬化反応が進行し、粘度が著しく増加する。また、ベンゾトリアゾール類は、マイグレーションを防止する効果はあるが、電極部分の銅の腐食を防止できない、という問題がある。
本発明は、硬化後の樹脂組成物中でのマイグレーションを防止し、かつ樹脂組成物の保存中の硬化反応を抑制する、具体的には、樹脂組成物を液状で使用する場合の保存中の増粘を抑制することを課題とする。したがって、保存特性に優れ、硬化後には耐マイグレーション性に優れた高信頼性の樹脂組成物を提供することを目的とする。
本発明は、以下の構成を有することによって上記問題を解決した樹脂組成物に関する。
〔1〕(A)エポキシ樹脂、
(B)硬化剤、ならびに
(C)一般式(1):
〔1〕(A)エポキシ樹脂、
(B)硬化剤、ならびに
(C)一般式(1):
(式中、R1、R2、R3およびR4は、それぞれ独立して、水素または炭素数1~3のアルキル基であり、mは、1~5の整数である)で表される化合物、および一般式(2):
(式中、R5、R6、R7およびR8は、それぞれ独立して、水素または炭素数1~3のアルキル基であり、nは、1~5の整数である)で表される化合物からなる群より選ばれる少なくとも1種
を含有することを特徴とする、樹脂組成物。
〔2〕(C)成分が、5,7,8-トリメチルトコール、5,8-ジメチルトコール、7,8-ジメチルトコール、8-メチルトコール、5,7,8-トリメチルトコトリエノール、5,8-ジメチルトコトリエノール、7,8-ジメチルトコトリエノール、および8-メチルトコトリエノールからなる群より選択される少なくとも1種である、上記〔1〕記載の樹脂組成物。
〔3〕さらに、(D)カップリング剤を含有する、上記〔1〕記載の樹脂組成物。
〔4〕さらに、(E)フィラーを含有する、上記〔1〕記載の樹脂組成物。
〔5〕さらに、(F)ゴム成分を含有する、上記〔1〕記載の樹脂組成物。
〔6〕(C)成分が、樹脂組成物:100質量部に対して、0.01~10質量部である、上記〔1〕記載の樹脂組成物の硬化物。
〔7〕上記〔1〕記載の樹脂組成物を含む、半導体封止剤。
〔8〕上記〔7〕記載の半導体封止剤を用いて封止されたフリップチップ型半導体素子を有する、半導体装置。
を含有することを特徴とする、樹脂組成物。
〔2〕(C)成分が、5,7,8-トリメチルトコール、5,8-ジメチルトコール、7,8-ジメチルトコール、8-メチルトコール、5,7,8-トリメチルトコトリエノール、5,8-ジメチルトコトリエノール、7,8-ジメチルトコトリエノール、および8-メチルトコトリエノールからなる群より選択される少なくとも1種である、上記〔1〕記載の樹脂組成物。
〔3〕さらに、(D)カップリング剤を含有する、上記〔1〕記載の樹脂組成物。
〔4〕さらに、(E)フィラーを含有する、上記〔1〕記載の樹脂組成物。
〔5〕さらに、(F)ゴム成分を含有する、上記〔1〕記載の樹脂組成物。
〔6〕(C)成分が、樹脂組成物:100質量部に対して、0.01~10質量部である、上記〔1〕記載の樹脂組成物の硬化物。
〔7〕上記〔1〕記載の樹脂組成物を含む、半導体封止剤。
〔8〕上記〔7〕記載の半導体封止剤を用いて封止されたフリップチップ型半導体素子を有する、半導体装置。
本発明〔1〕によれば、保存特性に優れ、具体的には、樹脂組成物を液状で使用する場合に保存中の増粘が抑制され、かつ硬化後に耐マイグレーション性に優れる樹脂組成物を提供することができる。
本発明〔7〕によれば、耐マイグレーション性に優れた高信頼性の半導体装置を容易に提供することができる。
本発明の樹脂組成物は、
(A)エポキシ樹脂、
(B)硬化剤、ならびに
(C)一般式(1):
(A)エポキシ樹脂、
(B)硬化剤、ならびに
(C)一般式(1):
(式中、R1、R2、R3およびR4は、それぞれ独立して、水素または炭素数1~3のアルキル基であり、mは、1~5の整数である)で表される化合物、および一般式(2):
(式中、R5、R6、R7およびR8は、それぞれ独立して、水素または炭素数1~3のアルキル基であり、nは、1~5の整数である)で表される化合物からなる群より選ばれる少なくとも1種
を含有することを特徴とする。
を含有することを特徴とする。
(A)成分としては、樹脂組成物をアンダーフィル材として使用する場合には、液状エポキシ樹脂が好ましく、液状ビスフェノールA型エポキシ樹脂、液状ビスフェノールF型エポキシ樹脂、液状ナフタレン型エポキシ樹脂、液状アミノフェノール型エポキシ樹脂、液状水添ビスフェノール型エポキシ樹脂、液状脂環式エポキシ樹脂、液状アルコールエーテル型エポキシ樹脂、液状環状脂肪族型エポキシ樹脂、液状フルオレン型エポキシ樹脂、液状シロキサン系エポキシ樹脂等が挙げられ、液状ビスフェノールA型エポキシ樹脂、液状ビスフェノールF型エポキシ樹脂、液状アミノフェノール型エポキシ樹脂、液状シロキサン系エポキシ樹脂が、硬化性、耐熱性、接着性、耐久性の観点から好ましい。なお、樹脂組成物をフィルム状等の固体で使用する場合には、(A)成分は、固体のエポキシ樹脂であると好ましく、固体のエポキシ樹脂としては、液状エポキシ樹脂として挙げたものの固体が挙げられ、フィルム成型性の観点から、フェノキシ樹脂が好ましい。また、エポキシ当量は、粘度調整の観点から、80~250g/eqが好ましい。市販品としては、新日鐵化学製ビスフェノールF型エポキシ樹脂(品名:YDF8170)、新日鐵化学製ビスフェノールF型エポキシ樹脂(品名:YDF870GS)、三菱化学製アミノフェノール型エポキシ樹脂(グレード:JER630、JER630LSD)、DIC製ナフタレン型エポキシ樹脂(品名:HP-4032D)、モメンティブ・パフォーマンス製シロキサン系エポキシ樹脂(品名:TSL9906)、新日鐵化学株式会社製1,4-シクロヘキサンジメタノールジグリシジルエーテル(品名:ZX1658GS)等が挙げられる。(A)成分は、単独でも2種以上を併用してもよい。
(B)成分は、酸無水物、アミン系硬化剤、フェノール系硬化剤が挙げられる。酸無水物としては、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルナジック酸無水物、水素化メチルナジック酸無水物、トリアルキルテトラヒドロ無水フタル酸、メチルシクロヘキセンテトラカルボン酸二無水物、無水フタル酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、エチレングリコールビスアンヒドロトリメリテート、グリセリンビス(アンヒドロトリメリテート)モノアセテート、ドデセニル無水コハク酸、脂肪族二塩基酸ポリ無水物、クロレンド酸無水物、メチルブテニルテトラヒドロフタル酸無水物、アルキル化テトラヒドロフタル酸無水物、メチルハイミック酸無水物、アルケニル基で置換されたコハク酸無水物、グルタル酸無水物等が挙げられ、メチルブテニルテトラヒドロフタル酸無水物が好ましい。アミン系硬化剤としては、鎖状脂肪族アミン、環状脂肪族アミン、脂肪芳香族アミン、芳香族アミン等が挙げられ、芳香族アミンが好ましい。フェノール系硬化剤としては、フェノールノボラック、クレゾールノボラック等が挙げられ、フェノールノボラックが好ましい。市販品としては、三菱化学製酸無水物(グレード:YH306、YH307)、日本化薬製アミン硬化剤(品名:カヤハードA-A)、明和化成製フェノール硬化剤(品名:MEH8005)等が挙げられる。(B)成分は、単独でも2種以上を併用してもよい。
(C)成分は、通常、液体であり、樹脂組成物の保存時の硬化反応、具体的には、樹脂組成物を液状で使用する場合の保存時の増粘を抑制し、かつ硬化後の耐マイグレーション性を向上させる。(C)成分が硬化した樹脂組成物の耐マイグレーション性を向上させる理由としては、(C)成分中のオキサン環(テトラヒドロピラン環)が、金属銅やCu(OH)等のCuイオンに配位結合するためである、と考えられる。なお、オキサン環は、あまり大きな電子供与性を持たないため、例えば、アゾ基やアジ基を含む環状構造を含む化合物とは異なり、樹脂組成物の保存中の硬化反応による増粘を抑制することができる。また、オキサン環と結合する炭化水素(一般式(1)または一般式(2)のカッコ内)は、(C)成分の液体化に寄与している、と考えられる。
さらに、(C)成分は、液体であるため、(A)成分に所望の量を含有させることができる。詳細に説明すると、一般に、樹脂組成物を製造する場合、(A)成分と(C)成分を混合した後、(B)成分を混合する。ここで、(A)成分に固体の粉体材料を混合する場合には、予め(A)成分と粉体材料を混合してマスターバッチを作製しないと、均一な樹脂組成物を得ることが難しいため、マスターバッチ作製工程が必要になる上に、均一なマスターバッチが得られる(A)成分と粉体材料との比率が限定される。これに対して、(C)成分は、液体であるため、マスターバッチを作製する必要がなく、(A)成分に所望の量を含有させることができる。
(C)成分は、一般式(1):
(式中、R1、R2、R3およびR4は、それぞれ独立して、水素または炭素数1~3のアルキル基、好ましくは水素または炭素数1のアルキル基であり;mは1~5の整数、好ましくは3である)で表される化合物、および一般式(2):
(式中、R5、R6、R7およびR8は、それぞれ独立して、水素または炭素数1~3のアルキル基、好ましくは水素または炭素数1のアルキル基であり;nは、1~5の整数、好ましくは3である)で表される化合物からなる群より選ばれる少なくとも1種であり、トコール類またはトコトリエノール類であると、より好ましい。
トコール類としては、5,7,8-トリメチルトコール(α-トコフェロール)、5,8-ジメチルトコール(β-トコフェロール)、7,8-ジメチルトコール(γ-トコフェロール)、8-メチルトコール(δ-トコフェロール)が、トコトリエノール類としては、5,7,8-トリメチルトコトリエノール(α-トコトリエノール)、5,8-ジメチルトコトリエノール(β-トコトリエノール)、7,8-ジメチルトコトリエノール(γ-トコトリエノール)、8-メチルトコトリエノール(δ-トコトリエノール)が、樹脂組成物の保存特性や硬化後の樹脂組成物の耐マイグレーション性の観点から好ましい。(C)成分としては、例えば、和光純薬工業から市販されている試薬を使用すればよい。(C)成分は、単独でも2種以上を併用してもよい。
樹脂組成物は、良好な反応性、信頼性の観点から、(A)成分のエポキシ当量:1に対して、(B)成分の酸無水当量が、好ましくは0.6~1.2であり、より好ましくは0.65~1.1である。0.6以上であると、反応性、硬化後の樹脂組成物のPCT試験での耐湿信頼性、耐マイグレーション性が良好であり、一方、1.2以下であると、増粘倍率が高くなり過ぎず、ボイドの発生が抑制される。
(C)成分は、樹脂組成物:100質量部に対して、0.01~10質量部含むと好ましく、0.01~5質量部含むと、より好ましい。0.01質量部以上であると、耐リード腐食性が良好であり、10質量部以下であると、樹脂組成物の増粘率の上昇を抑制することができる。
また、(C)成分は、樹脂組成物の硬化物:100質量部に対して、0.01~10質量部含むと好ましく、0.01~5質量部含むと、より好ましい。ここで、樹脂組成物は、硬化時の質量減少が約1~2質量%と少なく、(C)成分の揮発量は非常に小さいため、硬化物中での好ましい(C)成分の含有量は、樹脂組成物中での含有量と同様である。ここで、(C)成分の定量分析は、質量分析法で行う。
樹脂組成物は、さらに、(D)成分であるカップリング剤を含有すると、密着性の観点から好ましく、(D)成分としては、3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3-アミノプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、p-スチリルトリメトキシシラン、3-メタクリロキシプロピルメチルトリメトキシシラン、3-アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3-ウレイドプロピルトリエトキシシラン、3-メルカプトプロピルトリメトキシシラン、ビス(トリエトキシシリルプロピル)テトラスルフィド、3-イソシアネートプロピルトリエトキシシラン等が挙げられ、3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3-アミノプロピルトリメトキシシランが、密着性の観点から好ましい。市販品としては、信越化学工業製KBM403、KBE903、KBE9103等が挙げられる。(D)成分は、単独でも2種以上を併用してもよい。
樹脂組成物は、さらに、(E)成分であるフィラーを含有すると好ましい。(E)成分としては、コロイダルシリカ、疎水性シリカ、微細シリカ、ナノシリカ等のシリカ、アクリルビーズ、ガラスビーズ、ウレタンビーズ、ベントナイト、アセチレンブラック、ケッチェンブラック等が挙げられる。また、(E)成分としてのフィラーの平均粒径(粒状でない場合は、その平均最大径)は、特に限定されないが、0.01~50μmであることが、樹脂組成物中にフィラーを均一に分散させるうえで好ましく、また、樹脂組成物をアンダーフィル材として使用した際の注入性に優れる等の理由から好ましい。0.01μm未満だと、樹脂組成物の粘度が上昇して、アンダーフィル材として使用した際に注入性が悪化するおそれがある。50μm超だと、樹脂組成物中にフィラーを均一に分散させることが困難になるおそれがある。(E)成分としてのフィラーの平均粒径は、0.05~30μmであることがより好ましく、さらに、フィラーの平均粒径が、0.1~10μmであることがさらに好ましい。市販品としては、扶桑化学工業製アモルファスシリカ(製品名:SP03B、平均粒径:200nm、日本アエロジル製疎水性フュームドシリカ(製品名:R805、平均粒径:20nm)等が挙げられる。ここで、フィラーの平均粒径は、動的光散乱式ナノトラック粒度分析計により測定する。(E)成分は、単独でも2種以上を併用してもよい。
樹脂組成物は、さらに、(F)成分であるゴム成分を含有すると、樹脂組成物の硬化物の応力緩和の観点から好ましく、(F)成分としては、アクリルゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、ブタジエンゴムが挙げられる。(F)成分は、固体のものを使用することができる。形態は特に限定されず、例えば、粒子状、粉末状、ペレット状のものを使用することができ、粒子状の場合は、例えば、平均粒径が、10~750nm、好ましくは30~500nm、より好ましくは、50~300nmである。(F)成分は、常温で液状のものも使用することもでき、例えば、平均分子量が比較的低いポリブタジエン、ブタジエン・アクリロニトリルコポリマー、ポリイソプレン、ポリプロピレンオキシド、ポリジオルガノシロキサンが挙げられる。また、(F)成分は、末端にエポキシ基と反応する基を有するものを使用することができ、これらは固体、液状いずれの形態であってもよい。市販品としては、宇部興産製ATBN1300-16、CTBN1008-SP等が挙げられる。(F)成分は、単独でも2種以上を併用してもよい。
樹脂組成物は、さらに、(G)成分である硬化促進剤を含有すると、適切な硬化性が得られるので好ましく、硬化促進剤は、エポキシ樹脂の硬化促進剤であれば、特に限定されず、公知のものを使用することができる。例えば、アミン系硬化促進剤、リン系硬化促進剤等が挙げられる。
アミン系硬化促進剤としては、2-メチルイミダゾール、2-ウンデシルイミダゾール、2-ヘプタデシルイミダゾール、2-エチル-4-メチルイミダゾール、2-フェニルイミダゾール、2-フェニル-4-メチルイミダゾール等のイミダゾール化合物、2,4-ジアミノ-6-〔2’―メチルイミダゾリル-(1’)〕エチル-s-トリアジン等のトリアジン化合物、1,8-ジアザビシクロ[5,4,0]ウンデセン-7(DBU)、トリエチレンジアミン、ベンジルジメチルアミン、トリエタノールアミン等の第三級アミン化合物が挙げられる。中でも、2,4-ジアミノ-6-〔2’―メチルイミダゾリル-(1’)〕エチル-s-トリアジン、2-フェニル-4-メチルイミダゾールが好ましい。また、リン系硬化促進剤としては、トリフェニルホスフィン、トリブチルホスフィン、トリ(p-メチルフェニル)ホスフィン、トリ(ノニルフェニル)ホスフィン等が挙げられる。硬化促進剤は、単独でも2種以上を併用してもよい。なお、(B)成分に酸無水物系硬化剤を使用する場合には、硬化性、保存安定性の点から、アミン系硬化促進剤を使用することが好ましい。
(G)成分は、エポキシ樹脂等でアダクトされたアダクト型であっても、マイクロカプセル型であってもよい。マイクロカプセル型の市販品としては、旭化成イーマテリアルズ製マイクロカプセル化潜在性硬化剤(製品名:HX3088)等が挙げられる。
(D)成分は、樹脂組成物:100質量部に対して、好ましくは0.01~15質量部、より好ましくは0.05~10質量部、更に好ましくは0.1~5質量部含有される。0.05質量部以上であると、密着性が向上し、PCT試験での耐湿信頼性がより良好になり、15質量部以下であると、樹脂組成物の発泡が抑制される。
(E)成分は、樹脂組成物:100質量部に対して、好ましくは0.1~90質量部、より好ましくは0.5~60質量部含有される。0.5~60質量部であると、線膨張係数を下げられ、かつ注入性の悪化をさけることができる。
(F)成分は、樹脂組成物:100質量部に対して、好ましくは0.1~30質量部、より好ましくは0.5~20質量部、さらに好ましくは1~10質量部含有される。0.1質量部以上であると、樹脂組成物の硬化物の応力を緩和し、30質量部以下であると耐湿信頼性が低下しない。
(G)成分は、樹脂組成物:100質量部に対して、好ましくは0.1質量部より多く5質量部未満、より好ましくは0.2~4質量部、さらに好ましくは0.3~3.0質量部含有される。0.1質量部以上であると、反応性が良好であり、5質量部以下であると、耐湿信頼性が良好あり、更に増粘倍率が安定である。
本発明の樹脂組成物には、本発明の目的を損なわない範囲で、更に必要に応じ、カーボンブラックなどの顔料、染料、消泡剤、酸化防止剤、応力緩和剤、その他の添加剤等を配合することができる。
本発明の樹脂組成物は、例えば、(A)成分~(C)成分およびその他添加剤等を同時にまたは別々に、必要により加熱処理を加えながら、撹拌、溶融、混合、分散させることにより得ることができる。これらの混合、撹拌、分散等の装置としては、特に限定されるものではないが、撹拌、加熱装置を備えたライカイ機、3本ロールミル、ボールミル、プラネタリーミキサー、ビーズミル等を使用することができる。また、これら装置を適宜組み合わせて使用してもよい。
本発明の樹脂組成物は、温度:25℃での粘度が50~2000mPa・sであると、注入性の観点から好ましい。ここで、粘度は、東機産業社製E型粘度計(型番:TVE-22H)で測定する。
本発明の樹脂組成物は、ディスペンサー、印刷等で基板の所望の位置に形成・塗布される。ここで、樹脂組成物は、フレキシブル配線基板等の基板と半導体素子との間に、少なくとも一部が基板の配線上に接するように形成する。
本発明の樹脂組成物の硬化は、80~300℃で行うことが好ましく、また、200秒以内で硬化させると、半導体封止剤として用いるときの生産性向上の観点から好ましい。
なお、半導体素子、基板は、所望のものを使用することができるが、フリップチップボンディングの半導体素子とCOFパッケージ用基板の組合せが好ましい。
このように、本発明の樹脂組成物は、半導体封止剤に非常に適しており、この半導体封止剤を用いて封止されたフリップチップ型半導体素子を有する半導体装置は、耐マイグレーション性、および耐リード腐食性に優れ、高信頼性である。
本発明について、実施例により説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。なお、以下の実施例において、部、%はことわりのない限り、質量部、質量%を示す。
〔実施例1~20、比較例1、2〕
表1、表2に示す配合で、樹脂組成物を作製した。作製した樹脂組成物は、すべて液状であった。(C)成分には、和光純薬工業製α-トコフェロールやβ-トコフェロール、α-トコトリエノールを使用した。なお、実施例1~20、比較例1、2において、(B)成分の酸無水当量、アミン当量またはフェノール当量は、(A)成分のエポキシ当量:1に対して、いずれも0.8であった。
表1、表2に示す配合で、樹脂組成物を作製した。作製した樹脂組成物は、すべて液状であった。(C)成分には、和光純薬工業製α-トコフェロールやβ-トコフェロール、α-トコトリエノールを使用した。なお、実施例1~20、比較例1、2において、(B)成分の酸無水当量、アミン当量またはフェノール当量は、(A)成分のエポキシ当量:1に対して、いずれも0.8であった。
〔粘度の評価〕
作製した直後の樹脂組成物の粘度(初期粘度、単位:mPa・s)を、東機産業社製E型粘度計(型番:TVE-22H)で測定した。表3、表4に、初期粘度(表には、粘度と記載した)の測定結果を示す。また、樹脂組成物を24時間または48時間、25℃、相対湿度50%で保管した後の粘度を測定し、(24または48時間後の粘度)/(初期粘度)を粘度上昇率(単位:%)とした。表3、表4に、結果を示す。
作製した直後の樹脂組成物の粘度(初期粘度、単位:mPa・s)を、東機産業社製E型粘度計(型番:TVE-22H)で測定した。表3、表4に、初期粘度(表には、粘度と記載した)の測定結果を示す。また、樹脂組成物を24時間または48時間、25℃、相対湿度50%で保管した後の粘度を測定し、(24または48時間後の粘度)/(初期粘度)を粘度上昇率(単位:%)とした。表3、表4に、結果を示す。
〔吸水率の評価〕
作製した樹脂組成物を150℃、60分で硬化させた試料の初期重量をW0(g)とし、PCT試験槽(121℃±2℃/湿度100%/2atmの槽)中に20時間置いた後、室温まで冷却して得た試験片の重量をW1(g)とし、下記式で、吸水率(単位:%)を求めた。
吸水率=(W1-W0)/W0 × 100 (%)
表3、表4に、吸水率の評価結果を示す。
作製した樹脂組成物を150℃、60分で硬化させた試料の初期重量をW0(g)とし、PCT試験槽(121℃±2℃/湿度100%/2atmの槽)中に20時間置いた後、室温まで冷却して得た試験片の重量をW1(g)とし、下記式で、吸水率(単位:%)を求めた。
吸水率=(W1-W0)/W0 × 100 (%)
表3、表4に、吸水率の評価結果を示す。
〔曲げ弾性率の評価〕
離型剤を塗布したガラス板とガラス板との間に、作製した樹脂組成物を挟み、150℃、60分で350μmのシート状に硬化させ、万能試験機((株)島津製作所製 AG-I)を用いて室温での曲げ弾性率を求めた。なお、n=3で測定し、平均値を用いた。また、試験片の膜厚及び幅は、5点測定し、平均値を計算値に用いた。曲げ弾性率は、好ましくは1.0~10.0GPa、より好ましくは2.0~8.0GPaである。表3、表4に、曲げ弾性率の評価結果を示す。
離型剤を塗布したガラス板とガラス板との間に、作製した樹脂組成物を挟み、150℃、60分で350μmのシート状に硬化させ、万能試験機((株)島津製作所製 AG-I)を用いて室温での曲げ弾性率を求めた。なお、n=3で測定し、平均値を用いた。また、試験片の膜厚及び幅は、5点測定し、平均値を計算値に用いた。曲げ弾性率は、好ましくは1.0~10.0GPa、より好ましくは2.0~8.0GPaである。表3、表4に、曲げ弾性率の評価結果を示す。
〔抽出Clイオン量の評価〕
作製した樹脂組成物を150℃、60分で硬化させて得た試料を、5mm角程度に粉砕した。硬化塗膜:2.5gにイオン交換水25cm3を加え、PCT試験槽(121℃±2℃/湿度100%/2atmの槽)中に20時間置いた後、室温まで冷却して得た抽出液を試験液とした。上記の手順で得られた抽出液のClイオン濃度を、イオンクロマトグラフを用いて測定した。表3、表4に、抽出Clイオン量の評価結果を示す。
作製した樹脂組成物を150℃、60分で硬化させて得た試料を、5mm角程度に粉砕した。硬化塗膜:2.5gにイオン交換水25cm3を加え、PCT試験槽(121℃±2℃/湿度100%/2atmの槽)中に20時間置いた後、室温まで冷却して得た抽出液を試験液とした。上記の手順で得られた抽出液のClイオン濃度を、イオンクロマトグラフを用いて測定した。表3、表4に、抽出Clイオン量の評価結果を示す。
〔注入性の評価〕
図2に、樹脂組成物の注入性の評価方法を説明する模式図を示す。まず、図2(A)に示すように、基板20上に20μmのギャップ40を設けて、半導体素子の代わりにガラス板30を固定した試験片を作製した。但し、基板20としては、フレキシブル基板の代わりにガラス基板を使用した。次に、この試験片を110℃に設定したホットプレート上に置き、図2(B)に示すように、ガラス板30の一端側に、作製した樹脂組成物10を塗布し、図2(C)に示すように、ギャップ40が樹脂組成物11で満たされるまでの時間を測定し、90秒以下で満たされた場合を「良」とした。表3、表4に、注入性の評価結果を示す。
図2に、樹脂組成物の注入性の評価方法を説明する模式図を示す。まず、図2(A)に示すように、基板20上に20μmのギャップ40を設けて、半導体素子の代わりにガラス板30を固定した試験片を作製した。但し、基板20としては、フレキシブル基板の代わりにガラス基板を使用した。次に、この試験片を110℃に設定したホットプレート上に置き、図2(B)に示すように、ガラス板30の一端側に、作製した樹脂組成物10を塗布し、図2(C)に示すように、ギャップ40が樹脂組成物11で満たされるまでの時間を測定し、90秒以下で満たされた場合を「良」とした。表3、表4に、注入性の評価結果を示す。
〔耐マイグレーション性の評価〕
樹脂組成物の耐イオンマイグレーション性を評価するため、高温高湿バイアス試験(THB試験)を実施した。試験方法は、以下のとおりである。スズメッキ(0.2±0.05μm)された銅配線(パターン幅10μm、線間幅15μm、パターンピッチ25μm)を持つポリイミドテープ基材上に、作製した樹脂組成物を20μm厚みで塗布し、150℃で30分間処理し、封止剤を硬化させて試験片を作製した。この試験片についてイオンマイグレーション評価システム(エスペック社製)を用いて、110℃/湿度85%の条件下で、DC60Vの電圧を印加したときの抵抗値の変化を測定し、抵抗値が1.00×107Ωを下回った時点を閾値として、銅配線のマイグレーションを評価した(単位:時間)。抵抗値が閾値を下回らなかったものについては、1000時間を越えた時点で試験終了とした。表3、表4に、耐マイグレーション性の評価結果を示す。図3、図4に、耐マイグレーション性評価後の写真を示す。写真にスケールはついていないが、上記のようにパターン幅10μm、線間幅15μmの銅配線である。図3は実施例4、図4は比較例2の写真である。
樹脂組成物の耐イオンマイグレーション性を評価するため、高温高湿バイアス試験(THB試験)を実施した。試験方法は、以下のとおりである。スズメッキ(0.2±0.05μm)された銅配線(パターン幅10μm、線間幅15μm、パターンピッチ25μm)を持つポリイミドテープ基材上に、作製した樹脂組成物を20μm厚みで塗布し、150℃で30分間処理し、封止剤を硬化させて試験片を作製した。この試験片についてイオンマイグレーション評価システム(エスペック社製)を用いて、110℃/湿度85%の条件下で、DC60Vの電圧を印加したときの抵抗値の変化を測定し、抵抗値が1.00×107Ωを下回った時点を閾値として、銅配線のマイグレーションを評価した(単位:時間)。抵抗値が閾値を下回らなかったものについては、1000時間を越えた時点で試験終了とした。表3、表4に、耐マイグレーション性の評価結果を示す。図3、図4に、耐マイグレーション性評価後の写真を示す。写真にスケールはついていないが、上記のようにパターン幅10μm、線間幅15μmの銅配線である。図3は実施例4、図4は比較例2の写真である。
〔耐リード腐食性の評価〕
上記耐マイグレーション性の評価を行った試験片を、光学顕微鏡オリンパス製(型番:STM6)を用いて、50倍の対物レンズで観察した。配線の腐食が配線幅の1/3に満たないものを「○」、1/3以上のものを「×」とした。
上記耐マイグレーション性の評価を行った試験片を、光学顕微鏡オリンパス製(型番:STM6)を用いて、50倍の対物レンズで観察した。配線の腐食が配線幅の1/3に満たないものを「○」、1/3以上のものを「×」とした。
表3、表4からわかるように、実施例1~20の全てで、粘度上昇率が低く、注入性が良好で、吸水率が低く、耐マイグレーション性、および耐リード腐食性が優れており、曲げ弾性率が所望値であった。また、マイグレーションを促進する塩素量もイオンクロマトグラフの検出限界以下であった。これに対して、(C)成分を含まない比較例1は、耐リード腐食性が良くなかった。(C)成分の代わりに、ベンゾトリアゾールを含む比較例2は、粘度上昇率が高く、耐リード腐食性も良くなかった。実施例4の図3と、比較例2の図4を比較すると、図4ではリードの腐食が進行していた。
本発明によれば、保存特性に優れ、硬化後には耐マイグレーション性に優れた高信頼性の樹脂組成物が提供される。本発明の樹脂組成物は、半導体封止剤として、特に、フリップチップ型半導体素子の封止剤として有用である。
Claims (8)
- (C)成分が、5,7,8-トリメチルトコール、5,8-ジメチルトコール、7,8-ジメチルトコール、8-メチルトコール、5,7,8-トリメチルトコトリエノール、5,8-ジメチルトコトリエノール、7,8-ジメチルトコトリエノール、および8-メチルトコトリエノールからなる群より選択される少なくとも1種である、請求項1記載の樹脂組成物。
- さらに、(D)カップリング剤を含有する、請求項1記載の樹脂組成物。
- さらに、(E)フィラーを含有する、請求項1記載の樹脂組成物。
- さらに、(F)ゴム成分を含有する、請求項1記載の樹脂組成物。
- (C)成分が、樹脂組成物:100質量部に対して、0.01~10質量部である、請求項1記載の樹脂組成物の硬化物。
- 請求項1記載の樹脂組成物を含む、半導体封止剤。
- 請求項7記載の半導体封止剤を用いて封止されたフリップチップ型半導体素子を有する、半導体装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020147007897A KR101927567B1 (ko) | 2011-11-03 | 2012-10-01 | 수지 조성물 |
CN201280044064.0A CN103814056B (zh) | 2011-11-03 | 2012-10-01 | 树脂组合物 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011241766A JP5788765B2 (ja) | 2011-11-03 | 2011-11-03 | 樹脂組成物 |
JP2011-241766 | 2011-11-03 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
WO2013065433A1 true WO2013065433A1 (ja) | 2013-05-10 |
Family
ID=48191791
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
PCT/JP2012/075303 WO2013065433A1 (ja) | 2011-11-03 | 2012-10-01 | 樹脂組成物 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5788765B2 (ja) |
KR (1) | KR101927567B1 (ja) |
CN (1) | CN103814056B (ja) |
TW (1) | TWI543999B (ja) |
WO (1) | WO2013065433A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6103641B2 (ja) * | 2013-07-25 | 2017-03-29 | エステー産業株式会社 | インクカートリッジ及びチップ |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0343435A (ja) * | 1989-07-12 | 1991-02-25 | Mitsui Petrochem Ind Ltd | 食品包装用ポリオレフィン組成物 |
JP2002053760A (ja) * | 2000-08-09 | 2002-02-19 | Asahi Glass Co Ltd | 耐候性に優れた硬化性組成物 |
JP2002240848A (ja) * | 2001-02-13 | 2002-08-28 | Ci Sanplus Kk | 食品包装用ラップフィルム |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000226542A (ja) | 1999-02-08 | 2000-08-15 | Dainippon Ink & Chem Inc | 缶被覆用水性樹脂組成物 |
CA2431495A1 (en) * | 2000-12-21 | 2002-06-27 | Aarhus Oliefabrik A/S | A process for preparing vegetable oil fractions rich in non-tocolic, high-melting, unsaponifiable matter |
JP4463030B2 (ja) * | 2004-07-13 | 2010-05-12 | 日東電工株式会社 | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物およびそれを用いた半導体装置 |
WO2011092278A1 (en) * | 2010-01-29 | 2011-08-04 | Hempel A/S | Epoxy-based primer compositions |
-
2011
- 2011-11-03 JP JP2011241766A patent/JP5788765B2/ja active Active
-
2012
- 2012-10-01 CN CN201280044064.0A patent/CN103814056B/zh active Active
- 2012-10-01 KR KR1020147007897A patent/KR101927567B1/ko active IP Right Grant
- 2012-10-01 WO PCT/JP2012/075303 patent/WO2013065433A1/ja active Application Filing
- 2012-10-24 TW TW101139198A patent/TWI543999B/zh active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0343435A (ja) * | 1989-07-12 | 1991-02-25 | Mitsui Petrochem Ind Ltd | 食品包装用ポリオレフィン組成物 |
JP2002053760A (ja) * | 2000-08-09 | 2002-02-19 | Asahi Glass Co Ltd | 耐候性に優れた硬化性組成物 |
JP2002240848A (ja) * | 2001-02-13 | 2002-08-28 | Ci Sanplus Kk | 食品包装用ラップフィルム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20140099440A (ko) | 2014-08-12 |
TWI543999B (zh) | 2016-08-01 |
KR101927567B1 (ko) | 2018-12-10 |
TW201323474A (zh) | 2013-06-16 |
JP5788765B2 (ja) | 2015-10-07 |
CN103814056A (zh) | 2014-05-21 |
JP2013095883A (ja) | 2013-05-20 |
CN103814056B (zh) | 2019-03-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6789495B2 (ja) | アンダーフィル用樹脂組成物、電子部品装置及び電子部品装置の製造方法 | |
TWI602874B (zh) | 液狀環氧樹脂組成物 | |
JP5593259B2 (ja) | 液状エポキシ樹脂組成物 | |
JP5647769B2 (ja) | Cof封止用樹脂組成物 | |
JP2005105243A (ja) | フリップチップ実装用サイドフィル材及び半導体装置 | |
JP7167912B2 (ja) | 液状封止樹脂組成物、電子部品装置及び電子部品装置の製造方法 | |
JP5886051B2 (ja) | 樹脂組成物 | |
JP5788765B2 (ja) | 樹脂組成物 | |
JPWO2019146617A1 (ja) | 封止用樹脂組成物 | |
JP7454906B2 (ja) | アンダーフィル材、電子部品装置及び電子部品装置の製造方法 | |
JP2008248099A (ja) | 液状半導体封止剤、及びこれを用いて封止した半導体装置 | |
JP2012056979A (ja) | エポキシ樹脂組成物 | |
JP4906152B1 (ja) | 液状樹脂組成物 | |
WO2016059980A1 (ja) | 液状エポキシ樹脂組成物 | |
JP2013118276A (ja) | 半導体装置 | |
JP6071612B2 (ja) | 液状樹脂組成物、フリップチップ実装体およびその製造方法 | |
JP5723665B2 (ja) | 先供給型液状半導体封止樹脂組成物 | |
JP7455017B2 (ja) | アンダーフィル材、電子部品装置及び電子部品装置の製造方法 | |
JP2021014588A (ja) | アンダーフィル用樹脂組成物、電子部品装置及び電子部品装置の製造方法 | |
JP2011202073A (ja) | 先供給型液状半導体封止樹脂組成物 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
121 | Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application |
Ref document number: 12845644 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |
|
ENP | Entry into the national phase |
Ref document number: 20147007897 Country of ref document: KR Kind code of ref document: A |
|
NENP | Non-entry into the national phase |
Ref country code: DE |
|
122 | Ep: pct application non-entry in european phase |
Ref document number: 12845644 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |