WO2013018903A1 - プレート型キャピラリカラム、キャピラリカラムユニット及びそれらを用いたクロマトグラフ - Google Patents

プレート型キャピラリカラム、キャピラリカラムユニット及びそれらを用いたクロマトグラフ Download PDF

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高弘 大塚
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株式会社堀場エステック
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Definitions

  • the present invention relates to a plate-type capillary column used for a chromatograph and a capillary column unit using the same.
  • a capillary column used in a chromatograph is well known, for example, a thin and long glass tube wound in a coil shape.
  • a plate-type capillary column that has grooves formed on the surface of a glass plate and can be molded in a small size has been proposed as an alternative to the large capillary column as described above.
  • a thin tube is wound in a spiral on a virtual plane, and the virtual plane is sandwiched between two flat disks from both sides.
  • the plate-type capillary column of Patent Document 1 is supposed to be used alone, but for example, the plate-type capillary column may be stacked for the purpose of improving resolution and the like by increasing the distance through which the fluid flows. .
  • a groove is formed in a single stroke shape on the surface of one quartz glass, and the groove becomes a capillary in a state where the back surface of another plate-type capillary column is laminated. It is composed of. Then, by stacking, two types of plate capillary columns are manufactured as shown in FIGS. 6 and 7 of Patent Document 2 so that the capillaries of each plate capillary column can communicate and extend.
  • a through-hole is formed in the outer end of the capillary so as to penetrate the front and back surfaces of the plate, and the inner end of the capillary Is formed with a bottomed hole that opens only on the surface of the plate.
  • the shape of the capillary is the same as the first type, but the inner end of the capillary has a bottomed hole that opens only on the surface of the plate, A through-hole penetrating the front and back surfaces of the plate is formed at the outer end of the capillary.
  • the present invention has been made in view of the above-described problems. Even if only one shape is prepared, the capillaries can be extended by stacking each plate-type capillary column to improve the chromatographic resolution.
  • a plate capillary column with expandability capable of realizing a measurement method that has conventionally been difficult to handle with a plate capillary column because a complicated flow path is required, and a capillary using the same An object is to provide a column unit or a chromatograph.
  • the plate-type capillary column of the present invention is connected to a plate having a first face plate portion and a second face plate portion facing each other, a capillary formed inside the plate, and one end portion of the capillary, A first bottomed hole formed to open to the first face plate portion, and a second bottomed hole connected to the other end of the capillary and formed to open to the second face plate portion.
  • the first face plate portion and the second face plate portion are placed on a first virtual circle of the capillary column passing through the second bottomed hole as viewed from a direction perpendicular to the first face plate portion or the second face plate portion.
  • One or a plurality of through holes penetrating therethrough are formed.
  • the capillary formed inside the plate is, for example, formed so that the side surface of the capillary does not open to the outside air, or is sealed so that the side surface does not contact the outside air. Say what is formed.
  • the plate-type capillary column having the same shape And a plurality of the first face plate portions of each plate capillary column are overlapped to communicate the first bottomed holes, or the second face plate portions are overlapped to form the second bottomed hole.
  • the faceplate parts of each plate-type capillary column are alternately placed in opposite directions. Only the length of the capillary can be adjusted freely. Moreover, although the length of the capillary can be freely changed in this way, the shape of the plate capillary column can be limited to one type, so that the manufacturing cost can be greatly reduced. . More specifically, since only one type of plate-type capillary column needs to be manufactured, it is only necessary to always form a capillary having the same shape. For example, a laborious operation such as applying a liquid phase in the capillary The process can be limited to one type, and the manufacturing cost can be reduced.
  • the length of the entire capillary can be easily adjusted by simply stacking each plate-type capillary column in a direction perpendicular to each face plate portion, a heart that requires a complicated flow path is required.
  • a structure for realizing a measurement method such as cutting or backflushing can be easily added to the plate-type capillary column.
  • first face plate part and the second face plate part on a capillary column first virtual circle passing through the second bottomed hole as viewed from a direction perpendicular to the first face plate part or the second face plate part. Since one or a plurality of through-holes penetrating through are formed, a capillary branch for enabling a measuring method such as heart-cut or back-flush that requires a complicated flow path is used by using the through-hole. It is possible to form.
  • the first bottomed hole that is simple in configuration and allows the length of the capillary to be freely changed with only a single capillary column, and that a complicated flow path for heart cutting and backflushing can be configured by stacking.
  • the first bottomed hole is located on the virtual center of the first virtual circle of the capillary column when viewed from the direction perpendicular to the first face plate part or the second face plate part. It is done.
  • the length of the capillary can be easily changed by stacking only by preparing one type of plate-type capillary column, and the complicated flow used for special measurement methods can be used.
  • the first bottomed hole for enabling the passage to be formed is a capillary as viewed from a direction perpendicular to the first face plate part or the second face plate part. Those on the first virtual circle in the column are listed.
  • the plate is bonded to a first plate element having a groove formed on the surface thereof so as to cover the surface of the first plate element. What is comprised from the plate element may be sufficient. In this case, the capillaries can be easily formed inside the plate by covering the groove of the first plate element with the second plate element.
  • the first capillary column first is viewed from a direction perpendicular to the first face plate portion or the second face plate portion. Any one or more through-holes penetrating the first face plate portion and the second face plate portion may be formed on the capillary column second virtual circle that is concentric with the virtual circle.
  • capillary column unit comprising the plate-type capillary column described above and a branch channel plate stacked on the plate-type capillary column, and the branch channel plate Is formed so as to open to the fourth face plate portion, a flat plate having a third face plate portion and a fourth face plate portion facing each other, a third bottomed hole formed to open to the third face plate portion, and The fourth bottomed hole made, the fifth bottomed hole opening in either the third face plate part or the fourth face plate part, the third bottomed hole, the fourth bottomed hole, the first 5 each with a bottom hole
  • Any capillary column unit may be used, wherein the fourth bottomed
  • the branch flow channel plate and the plate-type capillary unit When the branch flow channel plate and the plate-type capillary unit are stacked, it is easy to switch the communication relationship between an arbitrary through hole and a bottomed hole by simply rotating one of the members.
  • the first virtual circle of the branch flow channel plate having the same radius as the first virtual circle of the capillary column when viewed from a direction perpendicular to the third face plate portion or the fourth face plate portion.
  • the fourth bottomed hole and the fifth bottomed hole are formed on the top, and the through hole penetrating the third face plate part and the fourth face plate part is formed on the first flow path plate first virtual circle. Or what is necessary is just to be formed in multiple numbers.
  • the third bottomed hole is on the virtual center of the first virtual circle of the branch flow path plate.
  • the third bottomed hole may be on the first imaginary circle of the branch flow path plate.
  • the branch flow passage plate second is concentric with the first virtual circle of the branch flow passage plate and has the same radius as the second virtual circle of the capillary column.
  • a sixth bottomed hole is provided on the virtual circle so as to open to the third face plate part, and a seventh bottomed hole is provided to open to either the third face plate part or the fourth face plate part. If it is what.
  • a capillary column unit in which a plurality of plate-type capillary columns are stacked, Each plate-type capillary column is in contact with the first face plate part, or the second face plate part is in contact with the second face plate part, and the first bottomed hole
  • a capillary column unit in which the first bottomed hole communicates or is stacked so that the second bottomed hole communicates with the second bottomed hole.
  • capillaries having various lengths can be configured by stacking the plate type capillary columns alternately in opposite directions by preparing only one type of shape. be able to. Therefore, the resolution of the chromatograph can be improved by adjusting the length of the capillary according to the measurement object. Furthermore, the shape and length of the capillaries need not be different for each plate-type capillary column, and can be limited to one type, so that one time-consuming work process such as applying a liquid phase to the capillaries is also possible. The manufacturing cost can be easily reduced.
  • the conceptual schematic diagram which shows the structure of the chromatograph of this invention.
  • the typical perspective view and typical exploded perspective view which show the plate type capillary column in the embodiment of the present invention.
  • the typical sectional view showing the structure near the 1st bottomed hole and the 2nd bottomed hole of the plate type capillary column.
  • the typical perspective view and typical exploded perspective view which show the structure of the branch flow path board used for the capillary column unit in 2nd Embodiment.
  • a gas chromatograph 300 is formed by laminating plate-type capillary columns 100 as shown in FIG. 1, and a capillary column unit 200 in which a liquid phase is applied to at least a part of a capillary to form a stationary phase.
  • a sample gas introduction mechanism 201 for introducing a sample containing one or a plurality of components together with a carrier gas into the internal flow path of the capillary column unit 200, and an outlet of the internal flow path of the capillary column unit 200. It is comprised from the detector 202 which detects each component in gas.
  • the gas chromatograph 300 includes a holding time which is a time taken for the detector 202 to detect each component in the sample after the introduction of the sample gas, and a holding ratio calculated based on the holding time. And an output unit 203 that outputs what kind of substance each component in the sample corresponds to by a relative index or the like.
  • the capillary column unit 200 is configured by laminating a plurality of plate-type capillary columns 100 having the same shape in the thickness direction and communicating capillaries 6 formed inside the plate-type capillary column 100 with each other. .
  • the plate-type capillary column 100 has a square face plate portion and a thin plate shape as a whole.
  • the first face plate portion 1 and the second face plate portion 2 that face each other.
  • Plate P having caps, capillaries 6 formed inside the plate P, bottomed holes 11 and 21 and through holes 7 formed in a direction perpendicular to the face plate portions 1 and 2 of the plate P. It is provided. That is, the capillary 6 is a flow path formed in the plate P, and is formed so as not to open outside except the connected bottomed holes 11 and 21. Therefore, the capillary 6 is formed so as not to come into contact with the outside air except for one end and the other end connected to the bottomed holes 11 and 21. For example, the capillary 6 is covered with other members.
  • the side part is hermetically sealed.
  • the plate P is formed by laminating two thin plates as shown in FIG. 2B, and includes a first plate element P1 having a groove formed on the surface, and the first plate element P1. It comprises the 2nd plate element P2 bonded together so that the surface may be covered.
  • the first plate element P1 is, for example, a thin quartz glass, and has fine grooves formed on the surface by a processing method such as etching.
  • the groove when viewed from a direction perpendicular to the surface, the groove is formed in a spiral shape extending from the center point of the square to one of the four corners of the square.
  • the number of turns of the spiral is shown as about 3 for the sake of easy understanding, but the number of turns may be increased by forming the grooves more precisely.
  • the second plate element P2 made of quartz glass having the same shape as the first plate element P1 is pasted so as to overlap each other, thereby closing the opening side of the groove and having a capillary 6 inside.
  • a column 100 is configured.
  • the first face plate portion 1 corresponding to the lower surface of the plate-type capillary column 100 (the back surface of the first plate element P1) has a first bottomed hole 11 at one end of the capillary 6 at its center. It is formed so as to be connected to the part.
  • the first bottomed hole 11 is formed so as to penetrate only the first plate element P1, and a hole is formed at the center of the second plate element P2.
  • each plate P element is bonded to form a bottomed hole.
  • one end on the center side of the capillary 6 formed so as to draw a spiral is formed so as to intersect the side surface of the first bottomed hole 11.
  • a part of the through-hole 7 penetrating in the thickness direction is formed at the four corners of the first plate element P1 so as to form a virtual square by connecting the respective central axes. That is, a total of five holes are formed in the first plate element P1 so as to penetrate each face plate portion.
  • the back surface of the second plate element P2 is attached to the surface of the first plate element P1, and the surface forms the upper surface of the plate-type capillary column 100.
  • three of the four corners of the second plate element P2 have a part of the through-hole 7 penetrating in the thickness direction with the same arrangement and the same diameter as the first plate element P1. It is formed.
  • one hole formed at the upper left in the drawing view of FIG. 2 is connected to the outer end which is the other end of the spiral capillary 6 as shown in FIG. 3B. It is arranged. As shown in FIG.
  • the first plate element P1 is not formed with a hole in the upper left corner, so the second bottomed hole 21 is formed with the plate elements P1 and P2 being bonded together. It is like that.
  • a part of the other through-hole 7 communicates with a part of the through-hole 7 of the first plate element P1, thereby forming the through-hole 7 of the plate capillary column 100.
  • the first face plate portion 1 or the second face plate portion 2 is viewed from a direction perpendicular to the first face plate portion 1 or the second face plate portion 2.
  • a first bottomed hole 11 is formed at the center of the first face plate portion 1, and the central axis of the second bottomed hole 21 is centered on the central axis of the first bottomed hole 11.
  • Three through-holes 7 are formed on the capillary column first virtual circle C1 having the radius of the connecting straight line.
  • the second bottomed hole 21 and the through hole 7 are arranged so as to be rotationally symmetric with respect to the central axis of the first through hole 7. More specifically, the second bottomed hole 21 and each through hole 7 have a rotational symmetry of 90 degrees about the central axis of the first bottomed hole 11 that is the virtual center of the plate capillary column 100. It is arranged to become. Therefore, when one plate-type capillary column 100 is rotated 90 degrees with respect to the other plate-type capillary column 100, the positions of the second bottomed hole 21 and each through-hole 7 coincide. In the present embodiment, the second bottomed hole 21 and each through hole 7 are arranged so as to be rotationally symmetric with respect to the virtual center.
  • the second bottomed hole 21 and each through-hole 7 are arranged on the capillary column first virtual circle C1. If it is such, if the plate-type capillary column 100 is laminated
  • FIG. 1 An example of use of the capillary column unit 200 in which only the plate-type capillary column 100 configured as described above is stacked in the thickness direction will be described with reference to FIG.
  • the plate-type capillary column 100 has the same shape, it is easy to distinguish between the upper one in the drawing and t for the lower one, and b for the lower one. Is further attached. However, even if the attached symbols are different, the plate type capillary columns 100t and 100b are exactly the same in shape.
  • the first face plate portion 1b faces upward
  • the second face plate portion 2b faces downward
  • the second bottomed hole 21b is placed on the upper left as in the lower plate-type capillary column 100b.
  • the upper plate-type capillary column 100t is configured so that the direction of the face plate portions 1t and 2t is opposite to the lower plate-type capillary column 100b, that is, the first face plate portion 1t is the lower side and the second face plate portion.
  • the second bottomed hole 21t is rotated about the first bottomed hole 11t so that the second bottomed hole 21t is also on the upper left side.
  • the gas flow when the gas chromatograph 300 is configured using such a capillary column unit 200 will be described.
  • the sample gas is introduced into the second bottomed hole 21t of the upper plate-type capillary column 100t by the sample gas introduction mechanism 201 together with the carrier gas, it passes through the capillary 6t in the upper plate-type capillary column 100t, and the first It reaches the bottomed hole 11t. Thereafter, the gas advances to the first bottomed hole 11b of the lower plate-type capillary column 100b that is in communication, passes through the capillary 6b of the lower plate-type capillary column 100b, and goes to the second bottomed hole 21b. And reach.
  • the gas exiting from the second bottomed hole 21 b is detected by the detector 202.
  • the capillary 6 is formed inside the plate P, the first bottomed hole 11 connected to each end of the capillary 6, and the second Since the bottomed holes 21 are separately opened on the opposite surfaces of the first face plate portion 1 and the second face plate portion 2, respectively, the plate-type capillary columns 100 are arranged in the thickness direction so as to contact each other on the same surface.
  • the capillaries 6 can be connected and the length can be adjusted.
  • the orientation of the faceplate part of the plate capillary column 100 is changed.
  • the capillary column unit 200 of the second embodiment includes the plate-type capillary column 100 described in the first embodiment and the branch flow channel plate 101 shown in FIG.
  • the branch channel plate 101 is formed using a plate P having the same shape as the plate capillary column 100.
  • the plate P and the capillary 6 in the plate-type capillary column 100 are described as a flat plate H and a thin tube 8 in the branch flow channel plate 101 for the convenience of explanation so that each member can be easily distinguished.
  • the branch flow path plate 101 is formed so as to open to the third face plate portion 3 and the flat plate H having the third face plate portion 3 and the fourth face plate portion 4 facing each other.
  • the third bottomed hole 31, the fourth bottomed hole 41 formed so as to open in the fourth face plate portion 4, and the third face plate portion 3 or the fourth face plate portion 4 is opened.
  • a fifth bottomed hole 51, and a narrow tube 8 formed in the flat plate H so as to connect the third bottomed hole 31, the fourth bottomed hole 41, and the fifth bottomed hole 51, and It is what has.
  • the branch channel plate 101 also has a square plate shape in the shape of a square plate, and as shown in FIG. 6 (b), two plates are provided in the two thickness directions as in the plate capillary column 100. It is comprised from the flat plate elements H3 and H4 divided
  • the third bottomed hole 31 opened in the third face plate portion 3 that contacts the upper surface in FIG. 6A is formed so as to pass through the center of the flat plate H. It is. And the 4th bottomed hole 41, the 5th bottomed hole 51, and the through-hole 7 are formed in the four corners of the flat plate H so that square shape may be made.
  • the fourth bottomed hole 41 and the fifth bottomed hole 51 are arranged diagonally, and the fifth bottomed hole 51 opens only to the third face plate portion 3. is there.
  • the thin tubes 8 connecting the bottomed holes are formed in a straight line so as to connect the diagonal lines of the flat plate H.
  • the fourth bottomed hole 41 and the fifth bottomed hole 51 are formed on the branch channel plate first virtual circle CD1 having the same axis as the virtual center and the same radius as the capillary column first virtual circle C1, Two through holes penetrating the third face plate portion 3 and the fourth face plate portion 4 are provided on the branch flow path plate first virtual circle CD1. These two through holes 9 are arranged to form a diagonal line different from the diagonal line formed by the fourth bottomed hole 41 and the fifth bottomed hole 51.
  • the third bottom hole 41, the through hole 9, the fifth bottom hole 51, and the through hole 9 are arranged in this order. They are arranged so as to be 90 degrees rotationally symmetric with respect to the bottom hole 31.
  • a sample introduced from one sample introduction port passes through two flow paths provided in parallel separately, and then is led to another detector 202.
  • This is to realize a parallel measurement method.
  • the components in the sample can be easily identified by making the types of stationary phases different in each channel.
  • the capillary column unit 200 used in this parallel measuring method is configured by using one branch channel plate 101 and two plate-type capillary columns 100.
  • the branch channel plate 101 is provided in the uppermost layer.
  • Two plate-type capillary columns 100 are stacked below the branch flow path plate 101.
  • the branch flow channel plate 101 is arranged such that the fourth face plate portion 4 is on the upper side, and the sample gas is introduced from the fourth bottomed hole 41.
  • the third bottomed hole 31 formed in the central portion of the third face plate portion 3 of the branch flow channel plate 101 is a plate-type capillary column in the middle layer. It communicates with the first bottomed hole 11t of 100t.
  • the fifth bottomed hole 51 formed in the corner of the third face plate portion 3 of the branch flow channel plate 101 is configured to communicate with the through hole 7t of the plate capillary column 100t in the middle layer.
  • the through hole 7t of the plate-type capillary column 100t in the middle layer with which the fifth bottomed hole 51 communicates is further formed at the corner of the second face plate portion 2b of the plate-type capillary column 100b in the lowermost layer. It communicates with the bottomed hole 21b.
  • the sample gas introduced from the fourth bottomed hole 41 of the branch channel plate 101 flows through the narrow tube 8 from the third bottomed hole 31 in the center to the middle layer, and the sample gas in the corner. Branches so as to flow from the bottomed hole 51 to the lowermost layer.
  • the sample gas that has entered the middle layer from the third bottomed hole 31 passes through the capillary 6t of the middle layer plate-type capillary column 100t from the central end to the outer end, and reaches the outermost end from the second bottomed hole 21t at the outer end. It flows from the through hole 7b of the lower plate type capillary column 100b to the first detector 202.
  • the sample gas that has flowed from the fifth bottomed hole 51 of the branch channel plate 101 to the lowermost layer passes through the capillary 6b from the outer end to the central end in the lowermost plate capillary column 100b. It flows from the bottomed hole 11b to the second detector 202.
  • the combination of the plate-type capillary column 100 and the branch channel plate 101 allows the sample gas to flow through separate channels at the same time.
  • the chromatographic analysis is performed in parallel through channels having different stationary phase properties. It can be performed.
  • a plate-type capillary column 100b with the portion 2b facing upward may be arranged in this order.
  • the upper plate capillary column 100t and the branch channel plate 101 communicate the first bottomed hole 11t and the third bottomed hole 31, and also communicate the through hole 7t and the fifth bottomed hole 51. It is.
  • the branch channel plate 101 and the lowermost plate-type capillary column 100b have the third bottomed hole 31 and the second bottomed hole 21b communicated with each other.
  • sample gas is introduced from the second bottomed hole 21t of the upper plate-type capillary column 100t, and the pressure-regulating gas whose pressure can be adjusted from the through hole 7t communicating with the fifth bottomed hole 51 of the branch channel. Is to be introduced.
  • the pressure of the pressure adjusting gas is set to be smaller than the pressure of the sample gas, so that the sample gas that has passed through the capillary 6t of the upper plate capillary column 100t as shown in FIG. It flows through the narrow tube 8 only from the third bottomed hole 31 to the fourth bottomed hole 41 side, and flows into the lowermost plate-type capillary column 100b. Then, the sample gas reaches the detector 202 from the first bottomed hole 11b of the lowermost plate-type capillary column 100b.
  • analysis is performed when the first plate-type capillary column 100t is passed, or after passing through the first plate-type capillary column 100t and then passed through another plate-type capillary column 100b.
  • the configuration of a heart-cutting capillary column unit 200 that can select whether to perform or not will be described.
  • the heart-cut capillary column unit 200 is configured such that the length of the capillary 6 can be changed without changing the capillary column unit 200 itself during measurement.
  • the configuration of the branch flow path plate 101 is different from that of parallel or backflush. More specifically, the branched flow path plate 101 has bottomed holes that open to the fourth face plate portion 4 at the four corners other than the third bottomed hole 31 in the third face plate portion 3. That is, the opening direction of the above-mentioned fifth bottomed hole 51 is changed from the third face plate portion 3 to the fourth face plate portion 4 and the bottomed first connection that opens the two through holes 7 to the fourth face plate portion 4.
  • the holes 91 and the second connection holes 92 are changed.
  • the thin tube 8 extending in the diagonal direction of the flat plate H connecting the third bottomed hole 31, the fourth bottomed hole 41, and the fifth bottomed hole 51 is formed in a Z-shape, and the third bottomed hole 31 is formed. And the first connection hole 91, the fifth bottomed hole 51, and the second connection hole 92 are extended.
  • the capillary column unit 200 After using such a branch channel plate 101, the capillary column unit 200 includes a plate-type capillary column 100t with the first face plate portion 1t facing downward from the upper layer, as shown in FIG.
  • the plate-type capillary column 100b with the first face plate portion 1b facing down is arranged in this order.
  • the upper plate-type capillary column 100t has the first face plate portion 1t facing downward, and the first bottomed hole 11t and the third bottomed hole 31 of the branch channel plate 101. And communicate with each other. Further, the branch channel plate 101 allows the fourth bottomed hole 41 and the through hole 7b of the lowermost plate capillary column 100b to communicate with each other, and the fifth bottomed hole 51 and the lowermost plate capillary column 100b.
  • the second bottomed hole 21b is in communication.
  • the configuration is such that the sample gas is introduced from the second bottomed hole 21t of the upper plate-type capillary column 100t, and the first of the branch flow channel plate 101 in the through hole 7b of the lowermost plate-type capillary column 100b.
  • the connection hole 91 and the 2nd connection hole 92 it is comprised so that introduction of the 1st pressure regulation gas and the 2nd pressure regulation gas is possible.
  • the sample gas introduced into the upper plate-type capillary column 100t flows from the first bottomed hole 11t to the third bottomed hole 31 of the branch channel body and enters the narrow tube 8. Go.
  • the sample gas is halved from the third bottomed hole 31 to both the fourth bottomed hole 41 and the fifth bottomed hole 51.
  • the gas that has passed through the third bottomed hole 31 reaches the second detector 202, and the sample gas that has passed through the fifth bottomed hole 51 passes through the bottom plate capillary column 100b. It flows through the inside and reaches the first detector 202 from the first bottomed hole 11b. That is, in this case, component analysis of the sample gas that has passed through one capillary 6 is performed by the second detector 202, and component analysis of the sample gas that has passed through two capillaries 6 is performed by the first detector 202.
  • the analysis form of the sample gas can be changed as appropriate only by adjusting the pressures of the first and second regulated gases. Since such a flow path configuration can be taken, by adjusting the pressure of each pressure-regulating gas during measurement, only one capillary 6 is passed through for one component contained in the sample gas, and yet another for another component. The two capillaries 6 can be passed.
  • a plate-type capillary column 100 includes a plate P having a first face plate portion 1 and a second face plate portion 2 facing each other, and a capillary 6 formed inside the plate P.
  • first bottomed hole 11 connected to one end of the capillary 6 and opened to the first face plate 1, and connected to the other end of the capillary 6, and the second face plate 2 and a second bottomed hole 21 formed so as to open to the first bottomed hole 11 when viewed from a direction perpendicular to the first face plate portion 1 or the second face plate portion 2.
  • one or a plurality of through holes 7 penetrating the first face plate portion 1 and the second face plate portion 2 are formed on the capillary column first virtual circle C1 passing through the second bottomed hole 22.
  • the first bottomed hole 11, the second bottomed hole 22, and the through hole 7 are provided on the same capillary column first virtual circle C 1, and the virtual center of the capillary column first virtual circle C 1 is provided.
  • the method of joining the plate elements P1 and P2 is devised, and compared to the labor of joining so as not to leak, as in the third embodiment.
  • the plate capillary column 100 is easy to manufacture.
  • the shape of the capillary 6 is different from that of the above embodiment as an example.
  • any desired Each capillary 6 can be communicated with the length. That is, the capillary 6 having an arbitrary length can be easily formed simply by preparing one type of plate-type capillary column 100.
  • the branch channel plate 101 has a third bottomed opening that opens only on the upper surface side in the drawing when viewed from a direction perpendicular to the third face plate portion 3 or the fourth face plate portion 4.
  • the hole 31, the fourth bottomed hole 41 that opens only on the lower surface side, the fifth bottomed hole 51 that opens only on the lower surface side, and the through-hole 9 formed so as to penetrate both surfaces are It is formed on the circumference of one virtual circle CD1. And about the thin tube 8, it forms so that the said 4th bottomed hole 41 and the 5th bottomed hole 51 may be connected so that the 3rd bottomed hole 31 may become a corner
  • the capillary column unit 200 of FIG. 11B communicates the second bottomed hole 21t of the upper plate-type capillary column 100t with the third bottomed hole 31 of the branch channel plate 101,
  • the bottomed hole 51 communicates with the first bottomed hole 11b of the lowermost plate-type capillary column 100b.
  • the fourth bottomed hole 41 of the branch channel plate 101 and the through-hole 7b of the lower plate-type capillary column 100b are communicated so that low-pressure or high-pressure gas can be introduced from the through-hole 7b. Accordingly, it is possible to form a complicated flow path necessary for the measurement method such as the backflush described in the above embodiment as shown in FIG. 8 or FIG. .
  • the through hole 7 penetrating the first face plate portion 1 and the second face plate portion 2 was formed only on the first virtual circle C1, but in the fourth embodiment, it is further concentric with the capillary column first virtual circle.
  • a through-hole 7 is also formed on the capillary column second virtual circle C2.
  • the capillary column unit of the fourth embodiment uses a plate-type capillary column 100 in which the first bottomed hole 11 is not provided at the virtual center of the capillary column first virtual circle C1 as in the third embodiment. Even in such a case, a configuration is provided so that a complicated flow path such as a heart cut flow path can be easily formed.
  • the capillary column second virtual circle C2 has a smaller diameter than the capillary column first virtual circle C1, and its circumference Four through holes 7 are formed on the top.
  • the through-hole 7 on the second imaginary circle C2 of the capillary column has a virtual square with the first bottomed hole 11, the second bottomed hole 12, and the through-hole 7 on the first imaginary circle C1 of the capillary column. It is arranged to make.
  • the holes on the capillary column first virtual circle C1 are arranged at the four corners of the square-shaped face plate portion to form the vertices of the virtual square, whereas on the capillary column second virtual circle C2 These holes are arranged so as to form a midpoint on each side of the virtual square. Further, as apparent from FIG. 12A, the holes arranged on the capillary column second virtual circle C2 are also arranged so as to be rotationally symmetric with respect to the virtual center.
  • the branch channel plate 101 also has a bottomed hole and a through hole on the branch channel plate second virtual circle CD2 corresponding to the capillary column second virtual circle C2. A hole is provided.
  • the branch flow channel plate 101 of the fourth embodiment branches as shown in FIG. 12A when viewed from a direction perpendicular to the third face plate portion 3 and the fourth face plate portion 4.
  • a third bottomed hole 31, a fourth bottomed hole 41, a fifth bottomed hole 51, and a through hole 9 are provided on the flow path plate first virtual circle CD1 in the same manner as in the above embodiment.
  • a sixth bottomed hole h1 provided so as to open to the third face plate portion 3 and a seventh existence opening to the third face plate portion 3 are provided.
  • a bottom hole h2 is provided on the branch flow path plate second virtual circle CD2.
  • the sixth bottomed hole h1 forms a midpoint on the upper side of the virtual square
  • the seventh bottomed hole h2 forms a midpoint on the lower side of the virtual square.
  • the narrow tube 8 inside the branch flow channel plate 101 connects the fourth bottomed hole 41 and the sixth bottomed hole h1 that form the upper left vertex of the virtual square, and the fifth bottom that forms the upper right vertex of the virtual square.
  • the bottomed hole 51 is connected to the seventh bottomed hole h2.
  • the narrow tube 8 starts from the third bottomed hole 31 that forms the lower left vertex of the virtual square, branches in the middle, and is connected to the sixth bottomed hole h1 and the seventh bottomed hole h2, respectively. .
  • a heart-cut channel can be formed by stacking the plate-type capillary column 100 and the branch channel plate 101 configured as described above.
  • the heart-cutting channel configuration in the fourth embodiment will be described in detail.
  • the capillary column unit 200 includes a plate-type capillary column 100t with the first face plate portion 1t facing upward from the upper layer, a branch flow channel plate 101 with the third face plate portion 3 facing upward, and a first face plate.
  • the plate-type capillary column 100b with the portion 1b facing upward is arranged in this order.
  • a sample is introduced from the first bottomed hole 11t of the upper plate-type capillary column 100t, and the sample gas passing through the capillary 6t is connected to the second bottomed hole 21t.
  • the sixth bottomed hole h1 of the branch flow channel plate 101 communicates with the through hole 7t that forms the middle point of the upper side of the virtual square in the upper plate-type capillary column 100t.
  • the seventh bottomed hole h2 communicates with a through hole 7t forming the lower middle point of the virtual square in the upper layer plate capillary column 100t.
  • Gas 1 and gas 2 different from the sample are introduced into each through hole 7t, and the sample gas that has passed through the third bottomed hole 31 passes through the thin tube 8 by adjusting the pressure of these gases. Thus, it can be switched whether the fourth bottomed hole 41 or the fifth bottomed hole 51 is reached.
  • the plate-type capillary column 100 of the fourth embodiment is also composed of four plate-type capillary columns 100 as shown in FIG.
  • the capillary 6 having an arbitrary length can be formed by continuing to connect the first bottomed hole 11 and the second bottomed hole 12 while rotating by 90 degrees.
  • the arrangement configuration of the first bottomed hole 11, the second bottomed hole 21, and the through hole 7 arranged on the capillary column first virtual circle C1 in the fourth embodiment is the plate type capillary of the third embodiment.
  • the fact that it is the same as that of the column 100 and that the holes on the second virtual circle C2 of the capillary column need not be used in parallel and backflushing is utilized.
  • branch channel plate 101 corresponding to the plate capillary column 100 of the fourth embodiment will be described.
  • the branch channel plate 101 is not limited to the above-described one, and as shown in FIG. 14B, the fifth bottomed hole 51 is formed so as to form the lower right vertex of the virtual square, and the seventh bottomed hole h2 and the fifth bottomed hole The bottomed hole 51 may be connected by the thin tube 8.
  • each hole on the branch flow path plate second virtual circle CD2 of the branch flow path plate 101 is also arranged at a point other than the position forming a virtual square with each hole on the branch flow path plate first virtual circle CD1. It does not matter.
  • the fifth embodiment is common in that the plate-type capillary column 100 includes a through hole 7 on the capillary column second virtual circle C2, but as shown in FIG. The difference is that the radius of the capillary column second virtual circle C2 is smaller than that of the capillary column first virtual circle C1. Similarly, in the branch flow path plate 101, the radius of the branch flow path plate second virtual circle CD2 is formed smaller than that of the branch flow path plate first virtual circle CD1. It is configured to open only to the fourth face plate portion 4 instead of the three face plate portion 3. Further, the through hole 9 is not provided on the branch flow path plate second virtual circle CD2.
  • the gas 1 can be introduced from the upper plate-type capillary column 100t, and the gas 2 can be introduced from the lower-layer plate-type capillary column 100b.
  • a capillary column unit 200 that realizes a heart-cut channel configuration by stacking in the same way as in FIG. Note that a modification of the fifth embodiment will be described.
  • the holes on the capillary column first virtual circle C1 and the capillary column second virtual circle C2 are not aligned in a straight line, and the other of the capillary column second virtual circle C2
  • the through hole 7 may be formed at the position.
  • the holes may not be arranged in a straight line but may be arranged at other positions on the branch flow path plate second virtual circle CD2.
  • the shape of the capillary of the plate-type capillary column is a spiral shape or the like, but it may be a shape other than that shown in the figure.
  • the number of through holes penetrating each face plate portion is not limited to four, and may be one or more. In short, it may be arranged on a virtual circle with the first bottomed hole as a virtual center or on a virtual circle with a point other than the first bottomed hole as a virtual center. Further, when the first bottomed hole is used as the virtual center, it does not necessarily need to coincide with the center axis of the first bottomed hole.
  • the plate-type capillary column is formed using two plate elements, it may be configured using a plurality of plate elements. That is, the first bottomed hole and the second bottomed hole are formed by forming all the holes with through holes in the plate-type capillary column shown in the embodiment, and further attaching a cover glass from the outside. May be opened only in the first face plate portion and the second face plate portion, respectively.
  • the concept of the bottomed hole in the plate-type capillary column of the present invention is not limited to that originally formed with a bottom, but first, a through hole is formed and then one of the openings is closed. Is included.
  • a capillary with a single plate formed inside may be used.
  • a first laser that can change the irradiation position in the X-axis direction and a second laser that can change the irradiation position in the Y-axis direction It is only necessary to set the energy at which the plate can be processed at the point where each laser intersects, and to excavate the capillary inside the plate while appropriately changing the irradiation position of each laser.
  • a heater plate incorporating a heater may be sandwiched between plate-type capillary columns. If it is such, the temperature in a capillary can be kept at the optimal temperature for exhibiting the function as a capillary column.
  • the gas chromatograph has been described as an example. However, even in the case of a liquid chromatograph, the present invention similarly exhibits the function.
  • the plate A type capillary column is connected to a plate having a first face plate portion and a second face plate portion facing each other, a capillary formed inside the plate, and one end portion of the capillary, and opens to the first face plate portion.
  • the first bottomed hole and the second bottomed hole are opened to different surfaces, and a capillary is formed inside the plate so as to connect each bottomed hole.
  • the capillary is extended to a length suitable for measurement by simply connecting the first bottomed hole and the first bottomed hole of the type capillary column and connecting the second bottomed hole and the second bottomed hole. Can do.
  • the capillary is formed inside the plate, when the capillary is formed by opening on the surface of the plate as in the prior art, the capillary is formed so that the inside of the capillary is kept airtight when stacking. It is not necessary to block the opening of the capillary with an unfinished surface.
  • the plate-type capillary column of the present invention since the plate-type capillary column of the present invention has such characteristics, the orientation of the bottomed hole or the like formed in the plate-type capillary column and connected to the capillary is alternately changed as in the prior art. There is no need to prepare plate-type capillary columns having more than one type of shape, the shape can be limited to only one type, and the manufacturing cost can be reduced.
  • the radius of the first virtual circle of the capillary column is equal to or greater than the radius of the second virtual circle of the capillary column, but this relationship may be reversed, for example. The same applies to the first virtual circle of the branch flow channel plate and the second virtual circle of the branch flow channel plate.
  • the length of the capillary can be freely extended or a complicated flow path configuration can be achieved without facilitating the plate-type capillary column having a large number of shapes.
  • Various measurement methods for chromatographic analysis can be used while suppressing manufacturing costs.

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Abstract

　形状を１種類しか用意しなかったとしても、各プレート型キャピラリカラムを積層することでキャピラリを延長して、クロマトグラフの分解能を向上させることができるとともに、複雑な流路が必要とされる測定方法を実現することができる拡張性を有したプレート型キャピラリカラムを提供するために、互いに対向する第１面板部１と第２面板部２を有するプレートＰと、前記プレートＰの内部に形成されたキャピラリ６と、前記キャピラリ６の一端部と接続され、前記第１面板部１に開口するように形成された第１有底穴１１と、前記キャピラリ６の他端部と接続され、前記第２面板部２に開口するように形成された第２有底穴２１と、を備え、前記第１面板部１又は前記第２面板部２に対して垂直な方向から視て、前記第２有底穴２１を通るキャピラリカラム第１仮想円Ｃ１上に前記第１面板部１及び前記第２面板部２を貫通する貫通穴７を１又は複数形成した。

Description

プレート型キャピラリカラム、キャピラリカラムユニット及びそれらを用いたクロマトグラフ
　本発明は、クロマトグラフに用いられるプレート型キャピラリカラム及びそれを用いたキャピラリカラムユニットに関するものである。
　クロマトグラフに用いられるキャピラリカラムは、例えば、細く長いガラス管をコイル状に巻き回したものがあるがよく知られている。近年、前述したような大型のキャピラリカラムの代替品として、ガラス板の表面に溝を形成してあり、小型に成型可能なプレート型キャピラリカラムが提案されている。
　より具体的には、特許文献１の図１に示されるように、細管をある仮想平面において、らせん状に巻回すとともに、その仮想平面を両側から２枚の平円板で挟みこむことによりプレート型にしたキャピラリカラムがある。そして、このものはらせん状に巻き回された細管の外側端を通るようにプレートの表側から有底穴をあけて形成された試料導入口と、前記細管の内側端を通るようにプレートの表側から有底穴をあけて形成された試料出口と、を備えている。すなわち、特許文献１に記載のプレート型キャピラリカラムは、プレートの面板部について同じ側に開口する有底穴により、試料導入口と試料出口とが形成されている。
　特許文献１のプレート型キャピラリカラムは、単体での使用しか想定されていないが、例えば、流体が流れる距離を長くすることで分解能等を向上させる目的で、プレート型キャピラリカラムを積層する場合がある。
　特許文献２に記載のプレート型キャピラリカラムは、１枚の石英ガラスの表面に溝を一筆書き形状で形成し、別のプレート型キャピラリカラムの裏面が積層された状態で前記溝がキャピラリとなるように構成されたものである。そして、積層することにより、各プレート型キャピラリカラムのキャピラリが連通して延長できるように特許文献２の図６及び図７に示されるように２つのタイプのプレート型キャピラリカラムを製造している。
　より具体的には、特許文献２における第１のタイプのプレート型キャピラリカラムは、キャピラリの外側端にはプレートの表面と裏面を貫通するように貫通孔を形成されているとともに、キャピラリの内側端にはプレートの表面にのみ開口する有底穴が形成されている。一方、第２のタイプのプレート型キャピラリカラムは、キャピラリの形状は第１のタイプと同じであるものの、キャピラリの内側端には、プレートの表面にのみ開口する有底穴が形成されており、キャピラリの外側端には、プレートの表面と裏面を貫通する貫通孔が形成されている。
　つまり、特許文献２に記載のプレート型キャピラリカラムは、形状の異なる２種類のものを用意し、それらを交互に重ね合わせる事で初めて積層によるキャピラリの延長が可能となっている。
　しかしながら、このように形状の異なる２種類のプレート型キャピラリカラムを製造しなくてはならない場合、その分だけ製造コストが押し上げられる要因となってしまう。さらに、特許文献１及び２に記載のプレート型キャピラリカラムでは、従来のガラス管を用いたキャピラリカラムを備えるクロマトグラフにおいて用いられるバックフラッシュ、ハートカット等の複雑な流路を必要とする測定方法に対応することは想定されていない。このため、ガラス管を用いたキャピラリカラムからプレート型キャピラリカラムへと置き換えることは実際には難しい。
特開平５－１８０８２１号公報 特開２００６－９０８１３号公報
　本発明は上述したような問題を鑑みてなされたものであり、形状を１種類しか用意しなかったとしても、各プレート型キャピラリカラムを積層することでキャピラリを延長して、クロマトグラフの分解能を向上させることができるとともに、従来、複雑な流路が必要なためプレート型キャピラリカラムでは対応の難しかった測定方法を実現することができる拡張性を有したプレート型キャピラリカラム、及びそれらを用いたキャピラリカラムユニット又はクロマトグラフを提供することを目的とする。
　すなわち、本発明のプレート型キャピラリカラムは、互いに対向する第１面板部と第２面板部を有するプレートと、前記プレートの内部に形成されたキャピラリと、前記キャピラリの一端部と接続され、前記第１面板部に開口するように形成された第１有底穴と、前記キャピラリの他端部と接続され、前記第２面板部に開口するように形成された第２有底穴と、を備え、前記第１面板部又は前記第２面板部に対して垂直な方向から視て、前記第２有底穴を通るキャピラリカラム第１仮想円上に前記第１面板部及び前記第２面板部を貫通する貫通穴が１又は複数形成されていることを特徴とする。ここで、プレートの内部に形成されたキャピラリとは、例えば前記キャピラリの側面部が外気に対して開口していないように形成されている、あるいは、側面部が外気に接触しないように密閉されて形成されているものを言う。
　このようなものであれば、前記第１有底穴が前記第１面板部に開口し、前記第２有底穴が前記第２面板部に開口しているので、同一形状のプレート型キャピラリカラムを複数用意し、各プレート型キャピラリカラムの前記第１面板部同士を重ね合わせて前記第１有底穴同士を連通させる、又は、前記第２面板部同士を重ね合わせて前記第２有底穴同士を連通させることで、任意の長さのキャピラリを容易に形成することができる。
　言い換えると、同一形状のプレート型キャピラリカラムを複数用意し、各面板部に垂直な方向へと積層していく際に、各プレート型キャピラリカラムの面板部の向きを交互に逆向きにして積層するだけで、キャピラリの長さを自由に調節することができる。しかも、このようにキャピラリの長さを自由に変更できるにもかかわらず、プレート型キャピラリカラムの形状は１種類に限定することができるので、製造上のコストを大幅に低減することも可能となる。より具体的に説明すると、１種類のプレート型キャピラリカラムを製造すればよいので、常に同じ形状をしたキャピラリを形成すればよく、例えばキャピラリ内に液相を塗布する等と言った手間のかかる作業工程を一種類に限定することができ、製造コストを下げることが可能となる。
　さらに、各プレート型キャピラリカラムを各面板部に対して垂直な方向に対して積層するだけで、全体のキャピラリの長さを容易に調節することができるので、複雑な流路を必要とするハートカットやバックフラッシュ等の測定方法を実現するための構造をこのプレート型キャピラリカラムに付加しやすい。
　また、前記第１面板部又は前記第２面板部に対して垂直な方向から視て、前記第２有底穴を通るキャピラリカラム第１仮想円上に前記第１面板部及び前記第２面板部を貫通する貫通穴が１又は複数形成されているので、前記貫通孔を利用して、複雑な流路を必要とするハートカットやバックフラッシュ等の測定方法を可能にするためのキャピラリの分岐を形成する事が可能である。
　簡単な構成であり、単一のキャピラリカラムだけで自由にキャピラリの長さを変更できるとともに、ハートカットやバックフラッシュのための複雑な流路も積層により構成可能となる第１有底穴の具体的な位置としては、前記第１面板部又は前記第２面板部に対して垂直な方向から視て、前記第１有底穴が前記キャピラリカラム第１仮想円の仮想中心上にあるものが挙げられる。
　前述したプレート型キャピラリカラムと同様に、１種類のプレート型キャピラリカラムを用意するだけで、積層することによりキャピラリの長さを容易に変更できるとともに、特殊な測定方法のために用いられる複雑な流路を形成できるようにするための第１有底穴の別の態様としては、前記第１面板部又は前記第２面板部に対して垂直な方向から視て、前記第１有底穴がキャピラリカラム第１仮想円上にあるものが挙げられる。
　各面板部の向きを交互に逆向きにして積層した際に、あるプレート型キャピラリカラムから直上のプレート型キャピラリカラムに流体を導入するとともに、さらに１つのキャピラリカラムをとばして、さらに上にあるプレート型キャピラリカラムへと直接流体を流入させることができるように、別の流路を容易に形成できるようにするには、前記第２有底穴及び各貫通孔が、前記仮想中心を中心として回転対称となるように配置されていればよい。このようなものであれば、第２面板部同士を重ね合わせたプレート型キャピラリカラム同士において、前記第１有底穴を通る各面板部に垂直な中心軸に対して一方のプレート型キャピラリカラムを回転させるだけで、一方のプレート型キャピラリカラムの第２有底穴を、他方のプレート型キャピラリカラムの第２有底穴又は貫通孔のいずれに連通させるかを適宜選択することができる。従って、一方のプレート型キャピラリカラムのキャピラリを積層されたプレート型キャピラリカラムのどの穴に接続していくかを適宜選択できるので、例えば、ハートカットやバックフラッシュ等の測定方法を行うための複雑な流路を簡単に形成することができる。
　前記プレート型キャピラリカラムの内部に容易にキャピラリを構成するには、前記プレートが、表面に溝が形成された第１プレート要素と、前記第１プレート要素の表面を覆うように貼り合わせられる第２プレート要素とから構成されたものであればよい。このようなものであれば、第１プレート要素の溝を第２プレート要素により蓋をすることで、容易に前記キャピラリをプレートの内部に形成する事が可能となる。
　前記プレート型キャピラリカラムを積層した際における流路構成の自由度をさらに高めるには、前記第１面板部又は前記第２面板部に対して垂直な方向から視て、前記第１キャピラリカラム第１仮想円と同心円となるキャピラリカラム第２仮想円上に前記第１面板部及び前記第２面板部を貫通する貫通穴がさらに１又は複数形成されているものであればよい。
　前記キャピラリカラム第２仮想円上に１又は複数の貫通孔をさらに設けた場合でも前記キャピラリとの配置上の干渉が起こりにくく、当該キャピラリの長さをできる限り長く設計しやすくするには、前記第１面板部又は前記第２面板部に対して垂直な方向から視て、前記キャピラリカラム第１仮想円上の第１有底穴、第２有底穴、及び、貫通孔と、前記キャピラリカラム第２仮想円上の貫通孔とが仮想正方形をなすように配置されているものであればよい。このようなものであれば仮想正方形内には貫通孔が存在せず、前記キャピラリを当該仮想正方形内の領域で蛇行させれば貫通孔との配置上の干渉を何ら気にする必要がなく、非常に設計のしやすいものとなる。
　さらに、プレート型キャピラリカラムと異なる形状の板をもう一種類だけ増やすことにより、弁等を用いなくてもより複雑な流路形状を形成可能とし、より並列、ハートカット、バックフラッシュ用の流路を簡単に形成できるようにするには、前述したプレート型キャピラリカラムと、前記プレート型キャピラリカラムに対して積層される分岐流路板と、を備えたキャピラリカラムユニットであり、前記分岐流路板が、互いに対向する第３面板部と第４面板部を有する平板と、前記第３面板部に開口するように形成された第３有底穴と、前記第４面板部に開口するように形成された第４有底穴と、前記第３面板部又は前記第４面板部のいずれか一方に開口する第５有底穴と、前記第３有底穴、前記第４有底穴、前記第５有底穴をそれぞれ接続するように前記平板内に形成された細管と、を有し、前記第２面板部と前記第４面板部とを合わせて、前記プレート型キャピラリカラムと前記分岐流路板とを積層した際に、前記第４有底穴が前記第２有底穴と連通するとともに、前記第５有底穴が前記貫通孔と連通するように配置されていることを特徴とするキャピラリカラムユニットであればよい。
　前記分岐流路板と、前記プレート型キャピラリユニットとを積層した際において、いずれかの部材を回転させるだけで、任意の貫通孔と有底穴との連通関係を切り替えることがしやすいようにするには、前記分岐流路板において、前記第３面板部又は前記第４面板部に対して垂直な方向から視て、前記キャピラリカラム第１仮想円と同半径の分岐流路板第１仮想円上に前記第４有底穴及び第５有底穴が形成されているとともに、前記分岐流路板第１仮想円上に前記第３面板部及び前記第４面板部を貫通する貫通穴が１又は複数形成されているものであればよい。
　外形が同一形状の前記プレート型キャピラリカラムと前記分岐流路板とを積層して複雑な流路を形成する際にその積層の仕方を簡便なものにできる第３有底穴の位置の具体例としては、前記分岐流路板において前記第３面板部又は前記第４面板部に対して垂直な方向から視て、前記第３有底穴が前記分岐流路板第１仮想円の仮想中心上にあるものが挙げられる。
　前記プレート型キャピラリカラムと前記分岐流路板により複雑な流路を形成する際にその積層方法等が容易になる前記第３有底穴の別の配置例としては、前記分岐流路板において前記第３面板部又は前記第４面板部に対して垂直な方向から視て、前記第３有底穴が前記分岐流路板第１仮想円上にあるものが挙げられる。
　ハートカットを行うためのような非常に複雑な流路を前記プレート型キャピラリカラムと前記分岐流路板とで作る場合において、その流路構成を容易にするには、前記分岐流路板において前記第３面板部又は前記第４面板部に対して垂直な方向から視て、前記分岐流路板第１仮想円と同心円となり、前記キャピラリカラム第２仮想円と同半径の分岐流路板第２仮想円上に前記第３面板部に開口するように設けられた第６有底穴と、前記第３面板部又は前記第４面板部のいずれか一方に開口する第７有底穴が設けられているものであればよい。
　特に一種類の部材のみを用意するだけで、キャピラリの長さを調節することができるキャピラリカラムユニットの具体的な実施の態様としては、プレート型キャピラリカラムが複数積層されたキャピラリカラムユニットであり、各プレート型キャピラリカラムが、第１面板部に対して第１面板部が接触する、又は、第２面板部に対して第２面板部が接触するとともに、前記第１有底穴に対しては前記第１有底穴が連通する、又は、前記第２有底穴に対しては前記第２有底穴が連通するように積層されているキャピラリカラムユニットが挙げられる。
　プレート型キャピラリカラム又はキャピラリカラムユニットを用いたクロマトグラフであれば、省スペースでクロマトグラフを形成することができるとともに、少ない部品種類数で、様々な種類のキャピラリカラムユニットを形成することができ、従来からある様々な種類の測定方法を実施する事が可能となる。
　このように本発明のプレート型キャピラリカラムによれば、１種類の形状を用意するだけで、各プレート型キャピラリカラムを交互に逆向きに積層していくことにより様々な長さのキャピラリを構成することができる。従って、測定対象に応じたキャピラリの長さに調節してクロマトグラフの分解能を向上させることができる。さらに、キャピラリの形状や長さ等を個々のプレート型キャピラリカラムで異ならせる必要がなく、１種類に限定することができるので、キャピラリに液相を塗布する等といった手間のかかる作業工程も１種類に限定することができ、製造コストを低減しやすい。また、このようなプレート型キャピラリカラムを用いたキャピラリカラムユニット、ガスクロマトグラフによれば、拡張性を容易に付加することができ、弁等を用いなくても複雑な形状の流路を形成することができ、ハートカットやバックフラッシュと等といった測定方法をプレート型キャピラリカラムを用いて実施する事が可能となる。
本発明のクロマトグラフの構成を示す概念的模式図。 本発明の実施形態におけるプレート型キャピラリカラムを示す模式的斜視図及び模式的分解斜視図。 前記プレート型キャピラリカラムの第１有底穴及び第２有底穴の近傍の構造を示す模式的断面図。 第１実施形態におけるキャピラリカラムユニットの模式的分解斜視図。 第１実施形態におけるキャピラリカラムユニットの流路図及び模式的斜視図。 第１実施形態におけるキャピラリカラムユニットの流路図及び模式的斜視図。 第２実施形態におけるキャピラリカラムユニットに用いられる分岐流路板の構造を示す模式的斜視図及び模式的分解斜視図。 バックフラッシュ用の流路構成を有するキャピラリカラムユニットの測定時の流路図及び模式的斜視図。 バックフラッシュ用の流路構成を有するキャピラリカラムユニットの排出時の流路図及び模式的斜視図。 ハートカット用の流路構成を有するキャピラリカラムユニットの流路図及び模式的斜視図。 本発明の第３実施形態におけるプレート型キャピラリカラムの形状及び流路例を示す模式図。 本発明の第４実施形態におけるプレート型キャピラリカラムの形状及びハートカット用の流路例を示す模式図。 第４実施形態におけるプレート型キャピラリカラムによる各種流路構成例を示す模式図。 第４実施形態における別の分岐流路板の構成例を示す模式図。 本発明の第５実施形態におけるプレート型キャピラリカラムの形状及び流路構成を示す模式図。
３００・・・クロマトグラフ
２００・・・キャピラリカラムユニット
１００・・・プレート型キャピラリカラム
１０１・・・分岐流路板
１　　・・・第１面板部
１１　・・・第１有底穴
２　　・・・第２面板部
２１　・・・第２有底穴
６　　・・・キャピラリ
７　　・・・貫通孔
Ｐ　　・・・プレート
Ｐ１　・・・第１プレート要素
Ｐ２　・・・第２プレート要素
Ｃ１　・・・キャピラリカラム第１仮想円
Ｃ２　・・・キャピラリカラム第２仮想円
１０１・・・分岐流路板
ＣＤ１・・・分岐流路板第１仮想円
ＣＤ２・・・分岐流路板第２仮想円
３　　・・・第３面板部
３１　・・・第３有底穴
４　　・・・第４面板部
４１　・・・第４有底穴
５１　・・・第５有底穴
ｈ１　・・・第６有底穴
ｈ２　・・・第７有底穴
８　　・・・細管
９　　・・・貫通孔
Ｈ　　・・・平板
　本発明の第１実施形態について各図を参照しながら説明する。
　第１実施形態のガスクロマトグラフ３００は、図１に示すようにプレート型キャピラリカラム１００を積層して形成され、キャピラリの少なくとも一部に液相が塗布されて固定相が形成されたキャピラリカラムユニット２００と、１又は複数の成分を含む試料をキャリアガスとともに前記キャピラリカラムユニット２００の内部流路へと導入する試料ガス導入機構２０１と、前記キャピラリカラムユニット２００の内部流路の出口に設けられ、試料ガス中の各成分を検出する検出器２０２とから構成されるものである。そして、このガスクロマトグラフ３００は、前記検出器２０２が、試料ガスが導入されてから試料中の各成分が検出されるまでにかかる時間である保持時間及び、保持時間に基づいて算出される保持比、相対指標等により試料中の各成分がどのような物質に該当するかを出力する出力部２０３をさらに備えたものである。
　前記キャピラリカラムユニット２００は、複数の同形状のプレート型キャピラリカラム１００を厚さ方向に積層するとともに、当該プレート型キャピラリカラム１００の内部に形成されたキャピラリ６同士を連通させて構成したものである。
　前記プレート型キャピラリカラム１００は、図２（ａ）に示すように面板部が正方形状であり、全体として薄板形状をなしたものであり、互いに対向する第１面板部１と第２面板部２を有するプレートＰと、前記プレートＰの内部に形成されたキャピラリ６と、前記プレートＰの各面板部１、２に対して垂直な方向に空けられた有底穴１１，２１及び貫通孔７を備えたものである。すなわち、前記キャピラリ６は、プレートＰ内に形成された流路であって、接続されている各有底穴１１、２１以外では外部に開口しないように形成したものである。従って、前記キャピラリ６は、前記各有底穴１１、２１に接続されている一端部と他端部以外では外気に接触しないように形成されており、例えば、その他の部材により蓋などをすることなく側面部の密閉が保たれるようにしてある。
　前記プレートＰは、図２（ｂ）に示すように２枚の薄板を貼り合わせて形成してあるものであり、表面に溝が形成された第１プレート要素Ｐ１と、前記第１プレート要素Ｐ１の表面を覆うように貼り合わせられる第２プレート要素Ｐ２とから構成したものである。
　前記第１プレート要素Ｐ１は例えば、薄板の石英ガラスであって、エッチング等の加工方法により表面に微細な溝を形成してある。本実施形態では、表面に垂直な方向から視た場合に、正方形の中心点から正方形の四隅の一つへと広がっていくらせん状に溝を形成してある。ここで、図面において、らせんの巻き数は分かりやすさのために３巻き程度で表示しているが、より細密に溝を形成することで巻き数を多くしても構わない。そして、前記第１プレート要素Ｐ１と同じ形状の石英ガラスである第２プレート要素Ｐ２を各々が重なるように貼り付けることにより、前記溝の開口側を塞いで内部にキャピラリ６を有したプレート型キャピラリカラム１００を構成してある。
　さらに、図２（ａ）においてプレート型キャピラリカラム１００の下面（第１プレート要素Ｐ１の裏面）に相当する第１面板部１には、その中心に第１有底穴１１が前記キャピラリ６の一端部と接続されるように形成してある。この第１有底穴１１は、図３（ａ）に示しているように、第１プレート要素Ｐ１のみを貫通するように形成してあるものであり、第２プレート要素Ｐ２の中心には穴を形成しないことにより各プレートＰ要素を貼り合わせた状態で有底穴となるようにしてある。また、図２に示すように、らせんを描くように形成されたキャピラリ６の中心側の一端部が第１有底穴１１の側面に対して交差するように形成してある。加えて、前記第１プレート要素Ｐ１の四隅にも各々の中心軸をつなぐことで仮想正方形をなすように厚さ方向に貫通する貫通孔７の一部が形成してある。つまり、第１プレート要素Ｐ１には各面板部を貫通するように計５つの穴が形成してある。
　一方、前記第２プレート要素Ｐ２の裏面は前記第１プレート要素Ｐ１の表面に貼りあわされるとともに、その表面は前記プレート型キャピラリカラム１００の上面を形成するものである。そして、図２に示すようにこの第２プレート要素Ｐ２の四隅のうち３つには、前記第１プレート要素Ｐ１と同様の配置及び同じ直径で厚さ方向に貫通する貫通孔７の一部が形成してある。また、図２の図面視において左上に形成してある１つの穴は、図３（ｂ）に示しているように前記らせん状のキャピラリ６の他端部である外側端と接続されるように配置してある。前記第１プレート要素Ｐ１には、図２に示すように左上の隅には穴が形成されていないので、各プレート要素Ｐ１、Ｐ２が貼り合わされた状態で第２有底穴２１が形成されるようにしてある。加えて、その他の貫通孔７の一部は、第１プレート要素Ｐ１の貫通孔７の一部と連通することで、プレート型キャピラリカラム１００の貫通孔７を形成するようにしてある。
　従って、第１プレート要素Ｐ１と第２プレート要素Ｐ２を組み合わせたプレート型キャピラリカラム１００の状態においては、図２に示すように第１面板部１又は第２面板部２に対して垂直な方向から視た場合、第１面板部１の中心には第１有底穴１１が形成されており、この第１有底穴１１の中心軸を中心として、前記第２有底穴２１の中心軸を結ぶ直線を半径とするキャピラリカラム第１仮想円Ｃ１上に、３つの貫通孔７が形成されることになる。また、別の見方をすると前記第２有底穴２１及び貫通孔７の面板部に対する配置は、前記第１貫通孔７の中心軸を中心として、回転対称となるように配置してある。より具体的には、前記第２有底穴２１及び各貫通孔７は、プレート型キャピラリカラム１００を仮想中心である前記第１有底穴１１の中心軸を中心として、９０度の回転対称となるように配置してある。従って、一方のプレート型キャピラリカラム１００を他方のプレート型キャピラリカラム１００に対して９０度回転させた場合には、前記第２有底穴２１及び各貫通孔７の位置が合致することになる。なお、本実施形態では、仮想中心を中心として前記第２有底穴２１及び各貫通孔７が、回転対称となるように配置してあるが、場合によっては回転対称に配置しなくてもよい。要するに、前記第２有底穴２１及び各貫通孔７がキャピラリカラム第１仮想円Ｃ１上に配置されていればよい。このようなものであればプレート型キャピラリカラム１００を積層し、仮想中心を中心として回転させれば、第２有底穴２１及び各貫通孔７で連結したい穴同士を連結することができ、所望の流路を簡単に形成することができる。
　このように構成されたプレート型キャピラリカラム１００のみを厚さ方向に積層したキャピラリカラムユニット２００の使用例について図４等を参照しながら説明する。なお、以下の説明においては説明の便宜上、同形状のプレート型キャピラリカラム１００であっても区別がつきやすいように、図面視において上側にあるものについてはｔを、下側にあるものについてはｂをさらに付している。しかしながら、付されている符号が異なっていていても、各プレート型キャピラリカラム１００ｔ、１００ｂは、形状的には全く同じものである。
　図４に示すように、下側のプレート型キャピラリカラム１００ｂのように、第１面板部１ｂを上向き、第２面板部２ｂを下向きにするとともに、第２有底穴２１ｂを左上に配置した状態を基準状態として説明する。下側のプレート型キャピラリカラム１００ｂに対して、上側のプレート型キャピラリカラム１００ｔは、各面板部１ｔ、２ｔの向きを逆向きにする、すなわち、第１面板部１ｔを下側、第２面板部２ｔを上側にするとともに、第２有底穴２１ｔが同じく左上側に来るように第１有底穴１１ｔを中心として回転させてある。これらの各プレート型キャピラリカラム１００ｔ、１００ｂをプレートＰｔ、Ｐｂの辺同士が合致するように積層させることで、図５（ａ）に示す流路概念図、図５（ｂ）に示す斜視図のようなキャピラリカラムユニット２００を形成することができる。
　このようなキャピラリカラムユニット２００を用いてガスクロマトグラフ３００を構成した際の、ガスの流れについて説明する。試料ガス導入機構２０１により、上側のプレート型キャピラリカラム１００ｔの第２有底穴２１ｔ内に試料をキャリアガスとともに導入されると、上側のプレート型キャピラリカラム１００ｔ内のキャピラリ６ｔを通過し、第１有底穴１１ｔに到達する。その後、連通している下側のプレート型キャピラリカラム１００ｂの第１有底穴１１ｂへとガスは進行し、下側のプレート型キャピラリカラム１００ｂのキャピラリ６ｂを通過し、第２有底穴２１ｂへと到達する。そして、この第２有底穴２１ｂから出たガスは、検出器２０２により検出される。
　このように第１実施形態のキャピラリユニット２００を用いれば、プレートＰの内部にキャピラリ６が形成されているとともに、そのキャピラリ６の各端部に接続される第１有底穴１１と、第２有底穴２１がそれぞれ第１面板部１と第２面板部２という逆向きの面にそれぞれ別々に開口しているので、プレート型キャピラリカラム１００同士が同じ面で接触するように厚さ方向に積層していくことでキャピラリ６を連結して長さを調節することができる。言い換えると、キャピラリ６の端部に設けられた第１有底穴１１と第２有底穴２１が互いに異なる面板部に開口するようにしてあるので、プレート型キャピラリカラム１００の面板部の向きを交互に替えながら積層するだけで、キャピラリ６の長さを延長する事が可能となっている。従って、従来のように２種類の形状の異なるプレート型キャピラリカラムを用いなくても１種類のプレート型キャピラリカラム１００を製造しておくだけで、任意の長さのキャピラリ６を構成することが容易にできる。従って、測定対象に応じて適宜、キャピラリ６の長さを設定することができるので、クロマトグラフ３００としての分解能を高めることも容易である。
　次に第２実施形態のキャピラリカラムユニット２００及びクロマトグラフ３００について説明する。なお、以下の説明では、プレート型キャピラリカラム１００については、前記第１実施形態で説明したものを同じものを用いることを前提としている。また、対応する部材には同じ符号を付すこととする。
　第２実施形態のキャピラリカラムユニット２００は、第１実施形態で説明したプレート型キャピラリカラム１００と、図６に示す分岐流路板１０１と、を備えたものである。
　前記分岐流路板１０１は、図６（ａ）に示すように前記プレート型キャピラリカラム１００と同形状のプレートＰを用いて形成してあり、前記プレート型キャピラリカラム１００において、各有底穴又は貫通孔７が形成してある位置には、同様に有底穴又は貫通孔を形成してある。以下では、各部材の区別がつきやすいように説明の便宜上、プレート型キャピラリカラム１００におけるプレートＰ及びキャピラリ６は、分岐流路板１０１においては平板Ｈ及び細管８として記述している。
　前記分岐流路板１０１は、図６（ａ）に示すように互いに対向する第３面板部３と第４面板部４を有する平板Ｈと、前記第３面板部３に開口するように形成された第３有底穴３１と、前記第４面板部４に開口するように形成された第４有底穴４１と、前記第３面板部３又は前記第４面板部４のいずれか一方に開口する第５有底穴５１と、前記第３有底穴３１、前記第４有底穴４１、前記第５有底穴５１をそれぞれ接続するように前記平板Ｈ内に形成された細管８と、を有するものである。
　この分岐流路板１０１も、面板部が正方形状の薄板形状をなすととともに、図６（ｂ）に示すように前記プレート型キャピラリカラム１００と同様に２枚の厚さ方向に対して２枚に分割された平板要素Ｈ３、Ｈ４から構成してある。そして、一方の平板要素Ｈ３の表面に溝を形成し、他方の平板要素Ｈ４を重ね合わせて貼り合して、溝に蓋をすることで、内部に試料ガスやキャリアガスを流すための細管８を形成してある。なお、この細管８内には、液相が塗布されておらず、測定試料は通常の空間を流れるのと同等の速度で流れていくようにしてあり、保持時間等の測定値に大きく影響を与えるものではない。すなわち、クロマトグラフ３００として使用する際に測定される保持時間等の測定値は、前記プレート型キャピラリカラム１００のキャピラリ６により略決定されるように構成してある。
　分岐流路板１０１に設けられている各穴について説明すると、図６（ａ）において上面に当たる第３面板部３に開口する第３有底穴３１は、平板Ｈの中心を通るように形成してある。そして、平板Ｈの四隅には、第４有底穴４１と、第５有底穴５１、貫通孔７が正方形状をなすように形成してある。第２実施形態においては、第４有底穴４１と第５有底穴５１は対角線上に配置してあるとともに、第５有底穴５１は前記第３面板部３にのみ開口するようにしてある。さらに、各有底穴を接続する細管８は、平板Ｈの対角線を結ぶように一直線上に形成してある。
　別の見方をすると、前記第３面板部３又は前記第４面板部４に対して垂直な方向から視て、図６において上面に当たる第３面板部３に開口する第３有底穴３１の中心軸を仮想中心とし、前記キャピラリカラム第１仮想円Ｃ１と同半径の分岐流路板第１仮想円ＣＤ１上に前記第４有底穴４１及び第５有底穴５１が形成されているとともに、前記分岐流路板第１仮想円ＣＤ１上に前記第３面板部３及び前記第４面板部４を貫通する貫通孔が２つ設けてある。これら２つの貫通孔９は、前記第４有底穴４１及び前記第５有底穴５１がなす対角線とは別の対角線をなすように配置してある。より厳密には、分岐流路板第１仮想円ＣＤ１の円周上に沿って、第４有底穴４１、貫通孔９、第５有底穴５１、貫通孔９の順で前記第３有底穴３１を中心とした９０度の回転対称となるように配置してある。
　以下においては、このような分岐流路板１０１を用いたキャピラリカラムユニット２００について、各種測定方法毎に説明する。
　＜並列＞
　図７に示すキャピラリカラムユニット２００の構成は、１つの試料導入口から導入された試料が、並列に設けられた２つの流路を別々に通った後に、それぞれ別の検出器２０２へと導出されるようにした並列の測定方法を実現するためのものである。例えば、各流路における固定相の種類を異ならせておくことにより、試料中の成分の特定を行いやすくすることができる。
　この並列の測定方法に用いられるキャピラリカラムユニット２００は、分岐流路板１０１を１枚と、プレート型キャピラリカラム１００を２枚用いて構成してあり、分岐流路板１０１を最上層に設けるとともに、プレート型キャピラリカラム１００を２枚前記分岐流路板１０１の下側へ積層してある。
　図７において前記分岐流路板１０１は、第４面板部４が上側となるように配置してあり、前記第４有底穴４１から試料ガスが導入されるようにしてある。また、図７（ａ）及び（ｂ）に示すように分岐流路板１０１の前記第３面板部３に中央部に形成されている第３有底穴３１は、中層にあるプレート型キャピラリカラム１００ｔの第１有底穴１１ｔと連通するようにしてある。さらに、分岐流路板１０１の前記第３面板部３の隅に形成されている第５有底穴５１は、中層にあるプレート型キャピラリカラム１００ｔの貫通孔７ｔと連通するようにしてある。この第５有底穴５１が連通する中層にあるプレート型キャピラリカラム１００ｔの貫通孔７ｔは、さらに、最下層にあるプレート型キャピラリカラム１００ｂの第２面板部２ｂの隅に形成されている第２有底穴２１ｂと連通させてある。
　このように構成されたキャピラリカラムユニット２００内における試料ガスの流れについて説明する。
　まず、分岐流路板１０１の第４有底穴４１から導入された試料ガスは、細管８を通って、中央部にある第３有底穴３１から中層へと流れるものと、隅にある第５有底穴５１から最下層へと流れるように分岐する。
　前記第３有底穴３１から中層へと入った試料ガスは、中層のプレート型キャピラリカラム１００ｔのキャピラリ６ｔを中央端から外側端へと通過し、外側端にある第２有底穴２１ｔから最下層のプレート型キャピラリカラム１００ｂの貫通孔７ｂから第１検出器２０２へと流れる。
　一方、分岐流路板１０１の第５有底穴５１から最下層へと流れた試料ガスは、最下層のプレート型キャピラリカラム１００ｂにおいて、キャピラリ６ｂを外側端から中央端へと通過し、第１有底穴１１ｂから第２検出器２０２へと流れる。
　このように、前記プレート型キャピラリカラム１００と前記分岐流路板１０１の組み合わせにより試料ガスを同時に別々の流路で流すことができ、例えば固定相の性質の異なる流路で並列にクロマトグラフによる分析を行うことができる。
　＜バックフラッシュ＞
　次に、キャピラリ６内に貯まった残留成分を排出するためのバックフラッシュを行うことができるキャピラリカラムユニット２００の構成について説明する。バックフラッシュ用の構成の一例としては、図８に示すように上層から第２面板部２ｔを上向きにしたプレート型キャピラリカラム１００ｔ、第３面板部３ｂ上向きにした分岐流路板１０１、第２面板部２ｂを上向きにしたプレート型キャピラリカラム１００ｂの順で配置したものが挙げられる。
　そして、上層のプレート型キャピラリカラム１００ｔと分岐流路板１０１は、第１有底穴１１ｔと第３有底穴３１を連通させてあるとともに、貫通孔７ｔと第５有底穴５１も連通してある。分岐流路板１０１と、最下層のプレート型キャピラリカラム１００ｂは、第３有底穴３１と第２有底穴２１ｂを連通させてある。
　さらに、上層のプレート型キャピラリカラム１００ｔの第２有底穴２１ｔから試料ガスを導入するととともに、分岐流路の第５有底穴５１と連通する貫通孔７ｔからは圧力を調整可能な調圧ガスを導入するようにしてある。
　通常の測定時には、調圧ガスの圧力は試料ガスの圧力よりも小さく設定してあるので、図８に示すように上層のプレート型キャピラリカラム１００ｔのキャピラリ６ｔを通過した試料ガスは、分岐流路の第３有底穴３１から第４有底穴４１側へのみ細管８を通過して、最下層のプレート型キャピラリカラム１００ｂ内へと流れる。そして、最下層のプレート型キャピラリカラム１００ｂの第１有底穴１１ｂから検出器２０２へと試料ガスは到達することになる。
　一方、前記調圧ガスの圧力を高圧にした場合は、試料ガスは検出器２０２まで到達することはなく、図９に示すように分岐流路板１０１の第５有底穴５１から第３有底穴３１へと調圧ガスが流れ、上層のプレート型キャピラリカラム１００ｔ内を調圧ガスが逆流することになる。このため、上層のプレート型キャピラリカラム１００内に貯まっていた残留物等を試料ガス導入口である第２有底穴２１ｔから排出することができる。
　＜ハートカット＞
　最後に、１枚目のプレート型キャピラリカラム１００ｔを通過した時点で分析を行うか、１枚目のプレート型キャピラリカラム１００ｔを通過した後、さらに別のプレート型キャピラリカラム１００ｂを通過したのちに分析を行うかを選択できるハートカット用のキャピラリカラムユニット２００の構成について説明する。言い換えると、このハートカット用のキャピラリカラムユニット２００は、測定時においてキャピラリカラムユニット２００自体を組み替えることなく、キャピラリ６の長さを変更できるように構成したものである。
　このハートカット用のキャピラリカラムユニット２００では、前記分岐流路板１０１の構成を並列やバックフラッシュの場合とは異ならせてある。より具体的には、前記分岐流路板１０１は、第３面板部３における第３有底穴３１以外は、第４面板部４に開口する有底穴をその四隅に形成してある。すなわち、前述の第５有底穴５１の開口方向を第３面板部３から第４面板部４に変更するとともに、２つの貫通孔７を第４面板部４に開口する有底の第１接続穴９１と第２接続穴９２に変更している。そして、第３有底穴３１、第４有底穴４１、第５有底穴５１を結ぶ平板Ｈの対角線方向に延びる細管８は、Ｚ字状に形成されており、第３有底穴３１と第１接続穴９１、第５有底穴５１と第２接続穴９２とを接続するように延伸してある。
　このような分岐流路板１０１を用いた上で、前記キャピラリカラムユニット２００は、図１０に示すように上層から、第１面板部１ｔを下向きにしたプレート型キャピラリカラム１００ｔ、分岐流路板１０１、第１面板部１ｂを下向きにしたプレート型キャピラリカラム１００ｂの順で並べて設けてある。
　上層のプレート型キャピラリカラム１００ｔは、図１０（ａ）に示すように第１面板部１ｔを下向きに配置するとともに、第１有底穴１１ｔと前記分岐流路板１０１の第３有底穴３１とが連通するようにしてある。さらに前記分岐流路板１０１は、第４有底穴４１と最下層のプレート型キャピラリカラム１００ｂの貫通孔７ｂとを連通させるとともに、第５有底穴５１と、最下層のプレート型キャピラリカラム１００ｂの第２有底穴２１ｂとを連通させてある。
　さらに、上層のプレート型キャピラリカラム１００ｔの第２有底穴２１ｔから試料ガスを導入するように構成するとともに、最下層のプレート型キャピラリカラム１００ｂの貫通孔７ｂのうち分岐流路板１０１の第１接続穴９１及び第２接続穴９２に連通するものについては、第１調圧ガスと第２調圧ガスを導入可能に構成してある。
　ガスの流れについて説明すると、上層のプレート型キャピラリカラム１００ｔに導入された試料ガスは、第１有底穴１１ｔから分岐流路体の第３有底穴３１へと流れ、細管８へと入っていく。ここで、第１調圧ガス及び第２調圧ガスの圧力が低い場合には、第３有底穴３１から第４有底穴４１及び第５有底穴５１の両方に半分ずつ試料ガスが流れることになり、第３有底穴３１を通過したガスは、第２検出器２０２へと到達するとともに、第５有底穴５１を通過した試料ガスは、最下層のプレート型キャピラリカラム１００ｂの内部を流れ、第１有底穴１１ｂから第１検出器２０２へと到達する。すなわち、この場合、第２検出器２０２では１つのキャピラリ６を通過した試料ガスの成分分析が行われ、第１検出器２０２では２つのキャピラリ６を通過した試料ガスの成分分析が行われる。
　第１調圧ガスの圧力のみが高い場合には、第４有底穴４１へは試料ガスが流れ込まないので、第５有底穴５１を通過し、２つのキャピラリ６を通過した後、第１検出器２０２に到達する試料ガスのみを成分分析することができる。逆に第２調圧ガスの圧力のみが高い場合には、第５有底穴５１へは試料ガスが流れ込まないので、第４有底穴４１を通過し、１つのキャピラリ６のみを通過した後、第２検出器２０２に到達する試料ガスだけを成分分析することができる。このように、第１調圧ガス、第２調圧ガスの圧力を調節するだけで、適宜試料ガスの分析形態を変更する事が可能となる。このような流路構成を取れるので、各調圧ガスの圧力を測定中に調整することにより、試料ガスに含まれるある成分に関しては１つのキャピラリ６だけを通し、別の成分に関してはさらにもう一つのキャピラリ６を通すことができるようになる。
　さらに、キャピラリカラムユニットの第３実施形態について説明する。
　前記実施形態では、プレートＰに形成された第１有底穴１１を仮想中心として、第２有底穴２１及び貫通孔７を形成してあったが、その他の配置であっても構わない。前記プレート型キャピラリカラム１００の別の態様について図１１に示す。図１１に示すように、第３実施形態のプレート型キャピラリカラム１００は、互いに対向する第１面板部１と第２面板部２を有するプレートＰと、前記プレートＰの内部に形成されたキャピラリ６と、前記キャピラリ６の一端部と接続され、前記第１面板部１に開口するように形成された第１有底穴１１と、前記キャピラリ６の他端部と接続され、前記第２面板部２に開口するように形成された第２有底穴２１と、を備え、前記第１面板部１又は前記第２面板部２に対して垂直な方向から視て、前記第１有底穴１１及び前記第２有底穴２２を通るキャピラリカラム第１仮想円Ｃ１上に前記第１面板部１及び前記第２面板部２を貫通する貫通穴７が１又は複数形成されていることを特徴とする。
　すなわち、プレートＰにおいて、第１有底穴１１及び第２有底穴２２及び貫通孔７が同一のキャピラリカラム第１仮想円Ｃ１上に設けてあり、キャピラリカラム第１仮想円Ｃ１の仮想中心には穴を形成していない。すなわち、第１プレート要素Ｐ１及び第２プレート要素Ｐ２の中央部には貫通孔がなく、周辺部にのみ貫通孔が存在するので、各プレート要素Ｐ１及びＰ２を重ね合わせてプレートＰとするのに周辺部を圧接するだけで容易に気密にして第１有底穴１１、第２有底穴２２からのリークを無くすことができる。逆にいうと、中央部に第１有底穴１１がある場合、各プレート要素Ｐ１及びＰ２の接合の仕方について工夫し、リークがないように接合する手間に比べて、第３実施形態のように中央に各穴がない場合は接合がしやすくなり、プレート型キャピラリカラム１００を製造しやすくなる。また、この実施形態では、キャピラリ６の形状についても前記実施形態とは異なる形状のものを一例として示している。
　このようなプレート型キャピラリカラム１００であっても図１１（ａ）に示すように、プレート型キャピラリカラム１００を仮想中心に対して９０度ずつ回転させたものを積層していくことで、任意の長さに各キャピラリ６を連通させていくことができる。つまり、１種類のプレート型キャピラリカラム１００を用意するだけで任意の長さのキャピラリ６を容易に形成することができる。
　さらに、図１１（ｂ）に示すように前記実施形態とは別の形状の分岐流路板１０１を用意することで、例えば、バックフラッシュ用の複雑な流路をこのようなプレート型キャピラリカラム１００でも形成することができる。より具体的には、前記分岐流路板１０１は、第３面板部３又は第４面板部４に対して垂直な方向から視た場合に、図面視において上面側にのみ開口する第３有底穴３１、下面側にのみ開口する第４有底穴４１、下面側にのみ開口する第５有底穴５１、両面を貫通するように形成された貫通孔９が、同一の分岐流路板第１仮想円ＣＤ１の円周上に形成してある。そして、細管８については、第３有底穴３１が角となるように、前記第４有底穴４１、第５有底穴５１を接続するように形成してある。
　そして、図１１（ｂ）のキャピラリカラムユニット２００は、上層のプレート型キャピラリカラム１００ｔの第２有底穴２１ｔと、分岐流路板１０１の第３有底穴３１とを連通させるとともに、第５有底穴５１と最下層のプレート型キャピラリカラム１００ｂの第１有底穴１１ｂを連通させるようにしてある。さらに、分岐流路板１０１の第４有底穴４１と下層のプレート型キャピラリカラム１００ｂの貫通孔７ｂとを連通させ、低圧又は高圧のガスを前記貫通孔７ｂから導入できるようにしてある。従って、図８又は図９で示したような前記実施形態で説明したバックフラッシュ等の測定方法に必要な複雑な流路を１種類の形状のプレート型キャピラリカラム１００により形成する事が可能である。
　次にキャピラリカラムユニットの第４実施形態について説明する。
　第１実施形態から第３実施形態のプレート型キャピラリカラム１００では、第１面板部１又は第２面板部２に対して垂直な方向から視た場合に、第２有底穴２１を通るキャピラリカラム第１仮想円Ｃ１上にのみ、第１面板部１及び第２面板部２を貫通する貫通孔７が形成されていたが、第４実施形態ではさらに前記キャピラリカラム第１仮想円と同心円となるキャピラリカラム第２仮想円Ｃ２上にも貫通孔７が形成してある。
　すなわち、第４実施形態のキャピラリカラムユニットは、第３実施形態のようにキャピラリカラム第１仮想円Ｃ１の仮想中心に第１有底穴１１が設けられていないプレート型キャピラリカラム１００を用いている場合でも、ハートカット用の流路のような複雑な流路も容易に形成できるようにするための構成を備えたものである。
　より具体的には、図１２（ａ）に示すようにプレート型キャピラリカラム１００において前記キャピラリカラム第２仮想円Ｃ２は前記キャピラリカラム第１仮想円Ｃ１よりも直径の小さいものであり、その円周上に４つの貫通孔７が形成してある。さらに、前記キャピラリカラム第２仮想円Ｃ２上の貫通孔７は前記キャピラリカラム第１仮想円Ｃ１上にある、第１有底穴１１、第２有底穴１２、及び貫通孔７と仮想正方形をなすように配置してある。言い換えると、正方形状に形成されている面板部においてキャピラリカラム第１仮想円Ｃ１上の各穴は四隅に配置されて仮想正方形の頂点をなすのに対して、前記キャピラリカラム第２仮想円Ｃ２上の各穴は、仮想正方形の各辺における中点をなすように配置されている。また、図１２（ａ）から明らかなように前記キャピラリカラム第２仮想円Ｃ２上に配置されている各穴についても仮想中心に対して回転対称となるように配置してある。
　さらに第４実施形態のプレート型キャピラリカラム１００に対応して、分岐流路板１０１についても前記キャピラリカラム第２仮想円Ｃ２に対応する分岐流路板第２仮想円ＣＤ２上に有底穴及び貫通孔を設けてある。
　より具体的には第４実施形態の分岐流路板１０１は、第３面板部３、第４面板部４に対して垂直な方向から視た場合において、図１２（ａ）に示すように分岐流路板第１仮想円ＣＤ１上には前記実施形態と同様に第３有底穴３１、第４有底穴４１、第５有底穴５１、貫通孔９が設けてある。さらに、前記分岐流路板第２仮想円ＣＤ２上には、前記第３面板部３に開口するように設けられた第６有底穴ｈ１と、前記第３面板部３に開口する第７有底穴ｈ２が設けてある。第４実施形態では前記第６有底穴ｈ１は仮想正方形の上辺における中点をなし、前記第７有底穴ｈ２は仮想正方形の下辺の中点をなしている。さらに分岐流路板１０１の内部の細管８は、仮想正方形の左上頂点をなす前記第４有底穴４１と前記第６有底穴ｈ１とを接続し、仮想正方形の右上頂点をなす前記第５有底穴５１と前記第７有底穴ｈ２とを接続してある。さらに、前記細管８は仮想正方形の左下頂点をなす第３有底穴３１から出発して途中で分岐して、前記第６有底穴ｈ１及び前記第７有底穴ｈ２にそれぞれ接続してある。
　このように構成されたプレート型キャピラリカラム１００と分岐流路板１０１とを積層することで、第４実施形態ではハートカット用の流路を形成することができる。以下では第４実施形態におけるハートカット用の流路構成について詳述する。
　図１２（ｂ）に示すように、キャピラリカラムユニット２００は上層から第１面板部１ｔを上向きとしたプレート型キャピラリカラム１００ｔ、第３面板部３を上向きとした分岐流路板１０１、第１面板部１ｂを上向きとしたプレート型キャピラリカラム１００ｂの順で並べて設けてある。
　上層のプレート型キャピラリカラム１００ｔの第１有底穴１１ｔからは試料が導入されるようにしてあり、キャピラリ６ｔを通った試料ガスは第２有底穴２１ｔから連結されている分岐流路板１０１の第３有底穴３１へと流れていく。分岐流路板１０１の第６有底穴ｈ１は、上層のプレート型キャピラリカラム１００ｔにおいて仮想正方形の上辺中点をなす、貫通孔７ｔと連通してある。また、第７有底穴ｈ２は上層のプレート型キャピラリカラム１００ｔにおいて仮想正方形の下辺中点をなす貫通孔７ｔと連通してある。
　各貫通孔７ｔにはそれぞれ試料とは異なるガス１及びガス２が導入してあり、これらのガスの圧力を調整することで、前記第３有底穴３１を通過した試料ガスが細管８を通って、第４有底穴４１又は第５有底穴５１のいずれに到達するかを切り替えることができる。
　前記第６有底穴ｈ１に導入されるガス１の圧力を小さくし、前記第７有底穴ｈ２に導入されるガス２の圧力を大きくした場合、前記第４有底穴４１から下層のプレート型キャピラリカラム１００ｂにおいて連結されている第１有底穴１１ｂへと試料ガスは流れる。その後、試料ガスはキャピラリ６ｂを通過して、第２有底穴２１ｂから第１検出器へと至り、分析が行われる。
　逆に前記第６有底穴ｈ１に導入されるガス１の圧力を大きくし、前記第７有底穴ｈ２に導入されるガス２の圧力を小さくした場合は、前記第５有底穴５１から下層のプレート型キャピラリカラム１００ｂにおいて連結されている貫通孔７ｂへと流れ、第２検出器へと至り分析が行われる。
　このようにガス１及びガス２の圧力を調整することで、試料ガスが１本のキャピラリ６を通過した後に分析を行うか、２本のキャピラリを通過した後に分析を行うかを選択できるハートカットによる分析を実現することができる。
　次に第４実施形態のプレート型キャピラリカラム１００を用いてその他の流路構成も自由に取り得ることを示す。
　図１１や第３実施形態において示したのと同様に第４実施形態のプレート型キャピラリカラム１００についても図１３（ａ）に示すように、４枚のプレート型キャピラリカラム１００を用いて、各々を９０度ずつ回転させながら、第１有底穴１１と第２有底穴１２とを接続し続けていくことにより、任意の長さのキャピラリ６を形成することができる。
　また、図１１及び第３実施形態において示した分岐流路板１０１を用いることにより、図１３（ｂ）に示すようなバックフラッシュ用の流路構成や、図１３（ｃ）に示すような並列用の流路構成を実現することができる。
　これは、第４実施形態におけるキャピラリカラム第１仮想円Ｃ１上に配置されている第１有底穴１１、第２有底穴２１、貫通孔７の配置構成が第３実施形態のプレート型キャピラリカラム１００と同じであることと、並列、バックフラッシュに関してはキャピラリカラム第２仮想円Ｃ２上の穴を用いなくてもよいことを利用している。
　さらに第４実施形態のプレート型キャピラリカラム１００に対応する分岐流路板１０１の別の実施形態について説明する。
　分岐流路板１０１は前述したものに限られず、図１４（ｂ）に示すように仮想正方形の右下頂点をなすように第５有底穴５１があり、第７有底穴ｈ２と第５有底穴５１とを細管８で接続するようにしたものであっても構わない。
　このような図１４（ａ）に示した分岐流路板１０１を用いても図１２（ｂ）に示したのと同様に各機器を接続することによって、図１４（ｂ）に示すようなハートカット用の流路構成を実現することができる。
　なお、第４実施形態における変形例について説明すると、プレート型キャピラリカラム１００のキャピラリカラム第２仮想円Ｃ２上にある貫通孔７については、必ずしもキャピラリカラム第１仮想円Ｃ１上にある各穴と仮想正方形をなし、その中点上に配置される必要はなく、キャピラリカラム第２仮想円Ｃ２上のその他の点に配置されていても構わない。また、分岐流路板１０１の分岐流路板第２仮想円ＣＤ２上にある各穴についても同様に分岐流路板第１仮想円ＣＤ１上の各穴とともに仮想正方形をなす位置以外の点に配置されていても構わない。
　さらに第５実施形態のプレート型キャピラリカラム１００及び分岐流路板１０１について説明する。
　第５実施形態は第４実施形態と同様にプレート型キャピラリカラム１００がキャピラリカラム第２仮想円Ｃ２上に貫通孔７を備えている点では共通しているが、図１５（ａ）に示すようにキャピラリカラム第２仮想円Ｃ２の半径がキャピラリカラム第１仮想円Ｃ１よりも小さく形成してある点が異なる。また、分岐流路板１０１においても同様に分岐流路板第２仮想円ＣＤ２の半径が分岐流路板第１仮想円ＣＤ１よりも小さく形成してあり、さらに第７有底穴にｈ２ついては第３面板部３ではなく、第４面板部４にのみ開口するように構成してある。また、分岐流路板第２仮想円ＣＤ２上には、貫通孔９を設けていない。
　このようなものであっても、図１５（ｂ）に示すように上層のプレート型キャピラリカラム１００ｔからはガス１を導入し、下層のプレート型キャピラリカラム１００ｂからはガス２を導入しうるように図１２（ｂ）等と同様の考え方で積層することによりハートカット用の流路構成を実現したキャピラリカラムユニット２００とすることができる。
　なお、第５実施形態の変形例について説明すると、キャピラリカラム第１仮想円Ｃ１とキャピラリカラム第２仮想円Ｃ２上の各穴が一直線上に並んでおらず、キャピラリカラム第２仮想円Ｃ２のその他の位置に貫通孔７が形成されていても構わない。分岐流路板１０１についても同様に各穴が一直線上に並んでおらず、分岐流路板第２仮想円ＣＤ２上のその他の位置に配置されているものであっても構わない。
　その他の実施形態について説明する。
　前記実施形態では、プレート型キャピラリカラムのキャピラリの形状はらせん型等であったが、図示した以外の形状であっても構わない。また、各面板部を貫通する貫通孔の個数は４つに限定されるものではなく、１つであっても構わないし、更に複数であっても構わない。要するに、前記第１有底穴を仮想中心とした仮想円上又は前記第１有底穴以外の点を仮想中心とした仮想円上に配置されていればよい。また、第１有底穴を仮想中心とする際には、第１有底穴の中心軸と必ずしも合致している必要は無い。例えば、第１有底穴内にいずれかに仮想中心が設定されていたとしても、各プレート型キャピラリカラムを組み合わせた際に、第２有底穴と貫通孔が連通できるのであれば多少ずれていても構わない。加えて、第１有底穴ではなく別の場所を仮想中心とする仮想円上に前記第１有底穴、第２有底穴、貫通孔が配置されている場合においても、各プレート型キャピラリカラムの仮想中心同士が多少ずれていても積層した際に各穴が多少ずれたとしても連通できる程度であれば問題はない。
　前記プレート型キャピラリカラムは２枚のプレート要素を用いて形成していたが、さらに複数のプレート要素を用いて構成しても構わない。すなわち、前記実施形態で示したプレート型キャピラリカラムについて全ての穴を貫通孔で形成しておき、さらに、その外側から、カバーガラスを貼り付けることにより、第１有底穴と第２有底穴をそれぞれ第１面板部、第２面板部にのみ開口するようにしても構わない。言い換えると本発明のプレート型キャピラリカラムにおける有底穴の概念は、もともと底があるように形成したものだけに限られず、まず、貫通孔を形成しておき、その後一方の開口を塞いだものを含むものである。
　逆に１枚のプレートにより内部にキャピラリを形成したものであっても構わない。例えば、このような１枚のプレートの内部にキャピラリを形成する方法としては、Ｘ軸方向に照射位置を変更可能な第１レーザと、Ｙ軸方向に照射位置を変更可能な第２レーザにより、各レーザが交差する点でプレートを加工可能なエネルギーに設定しておき、各レーザの照射位置を適宜変更しながら、プレートの内部にキャピラリを掘削していけばよい。
　キャピラリカラムユニットとしては、分岐流路板以外に、ヒータを内蔵したヒータ板等をプレート型キャピラリカラムの間に挟むものであってもよい。このようなものであれば、キャピラリカラムとしての機能を発揮するのに最適な温度にキャピラリ内の温度を保つことができる。また、前記各実施形態ではガスクロマトグラフを例として説明を行っていたが、液体クロマトグラフであっても同様に本発明は機能を発揮するものである。
　また、同一形状のプレート型キャピラリカラムだけを用意し、各プレート型キャピラリカラムの面を交互に反転させながら積層していくだけで、任意の長さのキャピラリを形成できるようにするには、前記プレート型キャピラリカラムが、互いに対向する第１面板部と第２面板部を有するプレートと、前記プレートの内部に形成されたキャピラリと、前記キャピラリの一端部と接続され、前記第１面板部に開口するように形成された第１有底穴と、前記キャピラリの他端部と接続され、前記第２面板部に開口するように形成された第２有底穴と、を備えていることを特徴とするものであればよい。このように、第１有底穴と第２有底穴がそれぞれ別の面に開口するようにし、それぞれの有底穴を接続するように前記プレートの内部にキャピラリを形成しておき、各プレート型キャピラリカラムの第１有底穴と第１有底穴を接続し、第２有底穴と第２有底穴とを連結するだけで、キャピラリを延長し、測定に適した長さとすることができる。さらに、前記キャピラリはプレートの内部に形成されているので、従来のようにプレートの表面に開口してキャピラリが形成される場合には、積層する際にキャピラリ内の気密を保てるようにキャピラリが形成されていない面でキャピラリの開口部を塞ぐ必要がない。つまり、本発明のプレート型キャピラリカラムにはこのような特徴があるため、従来技術のようにプレート型キャピラリカラムに形成され、キャピラリに接続される有底穴等の向きを交互に変更し、２種類以上の形状のプレート型キャピラリカラムを用意する必要がなく、形状を１種類のみに限定することができ、製造コストを低減できる。
　前記各実施形態ではキャピラリカラム第１仮想円の半径はキャピラリカラム第２仮想円の半径以上であったが、例えばこの関係が逆転したものであっても構わない。また、分岐流路板第１仮想円及び分岐流路板第２仮想円についても同様である。
　その他、本発明の趣旨に反しない限りにおいて、様々な変形や実施形態の組み合わせを行っても構わない。
　本発明のプレート型キャピラリカラム、キャピラリカラムユニット、クロマトグラフによれば、多数の形状のプレート型キャピラリカラムを容易しなくても、キャピラリの長さを自由に延長したり、複雑な流路構成を実現したりすることができ、製造コストを抑えつつ、様々なクロマトグラフ分析のための測定方法を用いることができる。

Claims (14)

  1. 　互いに対向する第１面板部と第２面板部を有するプレートと、
    　前記プレートの内部に形成されたキャピラリと、
    　前記キャピラリの一端部と接続され、前記第１面板部に開口するように形成された第１有底穴と、
    　前記キャピラリの他端部と接続され、前記第２面板部に開口するように形成された第２有底穴と、を備え、
    　前記第１面板部又は前記第２面板部に対して垂直な方向から視て、前記第２有底穴を通るキャピラリカラム第１仮想円上に前記第１面板部及び前記第２面板部を貫通する貫通穴が１又は複数形成されていることを特徴とするプレート型キャピラリカラム。
  2. 　前記第１面板部又は前記第２面板部に対して垂直な方向から視て、前記第１有底穴が前記キャピラリカラム第１仮想円の仮想中心上にある請求項１記載のプレート型キャピラリカラム。
  3. 　前記第１面板部又は前記第２面板部に対して垂直な方向から視て、前記第１有底穴がキャピラリカラム第１仮想円上にある請求項１記載のプレート型キャピラリカラム。
  4. 　前記第２有底穴及び各貫通孔が、前記仮想中心を中心として回転対称となるように配置されている請求項１記載のプレート型キャピラリカラム。
  5. 　前記プレートが、表面に溝が形成された第１プレート要素と、前記第１プレート要素の表面を覆うように貼り合わせられる第２プレート要素とから構成された請求項１記載のプレート型キャピラリカラム。
  6. 　前記第１面板部又は前記第２面板部に対して垂直な方向から視て、前記第１キャピラリカラム第１仮想円と同心円となるキャピラリカラム第２仮想円上に前記第１面板部及び前記第２面板部を貫通する貫通穴がさらに１又は複数形成されている請求項１記載のプレート型キャピラリカラム。
  7. 　前記第１面板部又は前記第２面板部に対して垂直な方向から視て、前記キャピラリカラム第１仮想円上の第１有底穴、第２有底穴、及び、貫通孔と、前記キャピラリカラム第２仮想円上の貫通孔とが仮想正方形をなすように配置されている請求項６記載のプレート型キャピラリカラム。
  8. 　請求項１に記載のプレート型キャピラリカラムと、
    　前記プレート型キャピラリカラムに対して積層される分岐流路板と、を備えたキャピラリカラムユニットであり、
    　前記分岐流路板が、互いに対向する第３面板部と第４面板部を有する平板と、前記第３面板部に開口するように形成された第３有底穴と、前記第４面板部に開口するように形成された第４有底穴と、前記第３面板部又は前記第４面板部のいずれか一方に開口する第５有底穴と、前記第３有底穴、前記第４有底穴、前記第５有底穴をそれぞれ接続するように前記平板内に形成された細管と、を有し、
    　前記第２面板部と前記第４面板部とを合わせて、前記プレート型キャピラリカラムと前記分岐流路板とを積層した際に、前記第４有底穴が前記第２有底穴と連通するとともに、前記第５有底穴が前記貫通孔と連通するように配置されていることを特徴とするキャピラリカラムユニット。
  9. 　前記分岐流路板において前記第３面板部又は前記第４面板部に対して垂直な方向から視て、前記キャピラリカラム第１仮想円と同半径の分岐流路板第１仮想円上に前記第４有底穴及び第５有底穴が形成されているとともに、前記分岐流路板第１仮想円上に前記第３面板部及び前記第４面板部を貫通する貫通穴が１又は複数形成されている請求項８記載のキャピラリカラムユニット。
  10. 　前記分岐流路板において前記第３面板部又は前記第４面板部に対して垂直な方向から視て、前記第３有底穴が前記分岐流路板第１仮想円の仮想中心上にある請求項９記載のキャピラリカラムユニット。
  11. 　前記分岐流路板において前記第３面板部又は前記第４面板部に対して垂直な方向から視て、前記第３有底穴が前記分岐流路板第１仮想円上にある請求項９記載のキャピラリカラムユニット。
  12. 　前記分岐流路板において前記第３面板部又は前記第４面板部に対して垂直な方向から視て、前記分岐流路板第１仮想円と同心円となり、前記キャピラリカラム第２仮想円と同半径の分岐流路板第２仮想円上に前記第３面板部に開口するように設けられた第６有底穴と、前記第３面板部又は前記第４面板部のいずれか一方に開口する第７有底穴が設けられている請求項１１記載のキャピラリカラムユニット。
  13. 　請求項２に記載のプレート型キャピラリカラムが複数積層されたキャピラリカラムユニットであり、
    　各プレート型キャピラリカラムが、第１面板部に対して第１面板部が接触する、又は、第２面板部に対して第２面板部が接触するとともに、前記第１有底穴に対しては前記第１有底穴が連通する、又は、前記第２有底穴に対しては前記第２有底穴が連通するように積層されているキャピラリカラムユニット。
  14. 　請求項１に記載のプレート型キャピラリカラムを用いたクロマトグラフ。
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