JPS61288154A - ガスクロマトグラフイ - Google Patents

ガスクロマトグラフイ

Info

Publication number
JPS61288154A
JPS61288154A JP12939485A JP12939485A JPS61288154A JP S61288154 A JPS61288154 A JP S61288154A JP 12939485 A JP12939485 A JP 12939485A JP 12939485 A JP12939485 A JP 12939485A JP S61288154 A JPS61288154 A JP S61288154A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ceramic
grooves
gas chromatography
substrates
ceramic substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP12939485A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshio Kurita
栗田 良夫
Hideaki Yamagishi
秀章 山岸
Takashi Kawai
高志 河合
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yokogawa Electric Corp
Original Assignee
Yokogawa Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yokogawa Electric Corp filed Critical Yokogawa Electric Corp
Priority to JP12939485A priority Critical patent/JPS61288154A/ja
Publication of JPS61288154A publication Critical patent/JPS61288154A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N30/00Investigating or analysing materials by separation into components using adsorption, absorption or similar phenomena or using ion-exchange, e.g. chromatography or field flow fractionation
    • G01N30/02Column chromatography
    • G01N30/26Conditioning of the fluid carrier; Flow patterns
    • G01N30/28Control of physical parameters of the fluid carrier
    • G01N30/30Control of physical parameters of the fluid carrier of temperature
    • G01N2030/3007Control of physical parameters of the fluid carrier of temperature same temperature for whole column
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N30/00Investigating or analysing materials by separation into components using adsorption, absorption or similar phenomena or using ion-exchange, e.g. chromatography or field flow fractionation
    • G01N30/02Column chromatography
    • G01N30/60Construction of the column
    • G01N30/6095Micromachined or nanomachined, e.g. micro- or nanosize

Landscapes

  • Treatment Of Liquids With Adsorbents In General (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ・ぐ産業上の利用分野〉 本発明はガスクロマトグラフィのカラムの構造に関し、
恒温槽としての加熱部を組込んだ小形軽量のガスクロマ
トグラフィに関する。
〈従来の技術〉 従来用いられているガスクロマトグラフィは大きく分け
ると次の5部分に分けることができる。
(1)流速調節部 (2)  カラム (3)  試料導入部 (4)恒温槽 (5)検出部 これらの部分は全て単品部分を組合せる構成となってい
る。そして、カラムの構造としては■金属バイブに液相
と組合せた充填剤を挿入したもの、 ■ 石英キャピラリの内面に液相をコーティングしたも
の、 等があり、今日では精度1分析の速さ、スペースの点で
有利な■の方向に移行しつつある。
〈発明が解決しようとする問題点〉 しかし、上記従来例においては装置全体が大きくなり簡
単に持運ぶことが難しく、また、金属バイブや石英キャ
ピラリは曲り易いので(キャピラリが曲がるとガスの通
路が塞がる恐れがある)取扱には注意を要するという問
題点があった。
く問題点を解決するための手段〉 本発明は上記問題点に鑑、みてなされたもので、キャピ
ラリと恒温槽を一体として形成して装置の小形化を図り
、キャピラリをセラミックス基板に形成して取扱いの容
易化を図ることを目的とするもので、その構成上の特徴
は、板状のセラミックスヒータと片面または両面に溝を
有づるセラミックス基板をサンドイッチ状にW4層し、
前記セラミックス基板の溝を連通ずる孔を設けたもので
ある。
〈作用〉 セラミックスヒータとセラミックス基板が?j%層され
、セラミックス基板に形成された溝が連通しているので
、小さい体積に高!?度に長い通路を形成することがで
き、その通路を通過する城料ガスは一定の温度に加熱さ
れ、分析成分に分離される。
〈実施例〉 第1図(a)、(b)は本考案の一実施例を示すもので
、(a)は一部を断面で示すガスクロマトグラフィの斜
視図、(b)はセラミックスヒータとセラミックス基板
が積層される前の状態を示す斜視図である。第1図(a
>、(b)において、ia、1.b、1cは例えば厚さ
2mm、−辺が5Qmm程度の正方形のセラミックス基
板であり、図ではそれぞれのセラミックス基板の片面に
渦巻き状の溝2が形成されている。この溝は例えば工ッ
ヂング技術を利用して形成したり、柔軟性のある未焼成
セラミックスの状態の時に可燃性のプラスデックの線を
埋めこんでおき、焼成することによりプラスチックを消
滅させ、そのプラスチックが消滅した空洞を用いるよう
にしてもよい。
3a、3b、3cはセラミックス基板の間にサンドイッ
チ状に配置されたセラミックスヒータである。上記セラ
ミックス基板に形成された溝は第1図(b)に示すよう
に、例えばセラミックス基板1Cの外周近傍イ部から始
まり、渦巻きに沿ってセラミックス基板の中心部まで進
み、このセラミックス基板の上部に配置されたセラミッ
クスヒータ3bの中央部を貫通してセラミックス基板1
bの中心部に連通する。そしてセラミックス基板1bに
形成された渦巻き状の溝を外周方向に向かい口部に達す
る。次に前記口部の上部に位置し、セラミックスヒータ
3aに形成された貫通孔ハを経てセラミックス基板1a
の溝の外周二からセラミックス基板の中心へ向かいホ部
に達する。
このようにしてセラミックス基板とセラミックスヒータ
がサンドイッチ状に積層された状態で溝を一本の溝(以
下、カラムという)として構成することができる。なお
このカラムは実施例に示すような渦巻き状に限ることな
くアレイ状に形成してもよく、要は単位面積により長く
形成できればよい。このカラムの内壁には公知の方法に
より液相がコーティングされる。
48〜4Cはセラミックスヒータ3a〜3dおよびセラ
ミックス基板1a〜1Cを囲むように設【プられた断熱
材兼部品取付は板で、例えばセラミックス板で構成され
ている。この部品取付は板には試料ガス導入管6を介し
て試料ガスを導入する圧電ポンプ7、圧電バルブ8、排
出管10を有するガスセンサ9が一体として固定されて
いる。11a、11bは断熱材としてのセラミックス板
に形成された厚摸で、ガスクロマトグラフィとして必要
な電子回路が形成されている。
上記構成において試料ガスは圧電ポンプ7、圧電バルブ
8を介してカラムの一端に取込まれ、所定の温度に加熱
されながらカラム中を通過する。
このカラム通過中に試料の液層中に存在する時間すなわ
ち、保持時間が試料固有の値となってそれぞれの成分に
分離される。この分離した成分はガスセンサ9により検
出され排出管から排出される。
なお、セラミックスヒータは試料ガスの測定条件に合わ
せて適切なものを使用してもよく、また、ガスクロマト
グラフィの適当な箇所に温度センサを埋め込んでおき、
セラミックスヒータの温度を制御するようにしてもよい
〈発明の効果〉 以上、実施例とともに具体的に説明したように本発明に
よれば、小形軽量のソリッドステートなガ債菅≧登ン実
現することができる。
【図面の簡単な説明】
図は本発明の一実施例を示すもので、(a)は一部を断
面で示すガスクロマトグラフィの斜視図、(b)はセラ
ミックスヒータとセラミックス基板が積層される前の状
態を示す斜視図である。 1a〜1C・・・セラミックス基板、2・・・溝、38
〜3d・・・セラミックスヒータ、4a〜4d・・・部
品取付は板、6・・・試料ガス導入管、7・・・圧電ポ
ンプ、8・・・圧電素子バルブ、9・・・ガスセンザ、
1o・・・排出管。 第1図(υ) 手続補正書(放) 昭和60年10月8日 特許庁長官殿                   
 適1、事件の表示      特願昭60−1293
94号2、発明の名称      ガスクロマトグラフ
ィ3、補正する者 事件との関係     特許出頭人 任   所     東京都武蔵野市中町2丁目9番3
2号名   称     (650)  槙河北辰電機
株式会社4、代理人 住   所     東京都武蔵野市中町2丁目9番3
2号槙河北辰電機株式会社内 〒180置(大代) 0422 (54) 11116
、補正の対傘 明細書の図面の簡単な説明の欄。 7、補正の内容 明細書第6頁第15行目 「図は本発明の・・・」を[第1図<a)、(b)は本
発明の・・・」と補正する。 以上

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 板状のセラミックスヒータと片面または両面に溝を有す
    るセラミックス基板をサンドイッチ状に積層し、前記セ
    ラミックス基板の溝を連通する孔を設けたことを特徴と
    するガスクロマトグラフィ。
JP12939485A 1985-06-14 1985-06-14 ガスクロマトグラフイ Pending JPS61288154A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12939485A JPS61288154A (ja) 1985-06-14 1985-06-14 ガスクロマトグラフイ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12939485A JPS61288154A (ja) 1985-06-14 1985-06-14 ガスクロマトグラフイ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS61288154A true JPS61288154A (ja) 1986-12-18

Family

ID=15008485

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP12939485A Pending JPS61288154A (ja) 1985-06-14 1985-06-14 ガスクロマトグラフイ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS61288154A (ja)

Cited By (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6329761U (ja) * 1986-08-08 1988-02-26
US4935040A (en) * 1989-03-29 1990-06-19 The Perkin-Elmer Corporation Miniature devices useful for gas chromatography
US5114439A (en) * 1989-06-27 1992-05-19 University Of Florida Direct resistive heating and temperature measurement of metal-clad capillary columns in gas chromatography and related separation techniques
US5544276A (en) * 1993-11-30 1996-08-06 Microsensors Technology, Inc. Miniature gas chromatograph with heated gas inlet fitting, heated tubing, and heated microvalve assembly
EP0770871A2 (en) * 1995-10-23 1997-05-02 Hewlett-Packard Company Use of temperature control devices in miniaturized planar column devices and miniaturized total analysis systems
US5720798A (en) * 1996-04-30 1998-02-24 Hewlett-Packard Company Micromachined analyte trap for gas phase streams
JP2000009710A (ja) * 1998-06-05 2000-01-14 Rvm Scient Inc 電気絶縁ガス・クロマトグラフ・アセンブリおよびその製造方法
US6572830B1 (en) 1998-10-09 2003-06-03 Motorola, Inc. Integrated multilayered microfludic devices and methods for making the same
WO2003087807A1 (en) * 2002-04-05 2003-10-23 The Government Of The United States Of America, As Represented By The Secretary, Department Of Health And Human Services Method and apparatus for counterconcurrent chromatography
EP1576365A1 (en) * 2002-12-05 2005-09-21 Capital Biochip Company Ltd Microminiature gas chromatograph column
US7147695B2 (en) * 2002-12-13 2006-12-12 New Jersey Institute Of Technology Microfabricated microconcentrator for sensors and gas chromatography
WO2013018903A1 (ja) * 2011-08-04 2013-02-07 株式会社堀場エステック プレート型キャピラリカラム、キャピラリカラムユニット及びそれらを用いたクロマトグラフ
JP2017181173A (ja) * 2016-03-29 2017-10-05 日本写真印刷株式会社 ガスクロマトグラフ装置
JP2017533412A (ja) * 2014-09-13 2017-11-09 アジレント・テクノロジーズ・インクAgilent Technologies, Inc. ガスクロマトグラフィ(gc)カラムヒータ
JP2017534840A (ja) * 2014-09-05 2017-11-24 イマジン ティーエフ,エルエルシー 微細構造分離フィルタ
EP3191833A4 (en) * 2014-09-13 2018-02-28 Agilent Technologies, Inc. Gas chromatography (gc) column heater
US10401331B2 (en) 2014-09-13 2019-09-03 Agilent Technologies, Inc. Gas chromatography (GC) column heater

Cited By (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6329761U (ja) * 1986-08-08 1988-02-26
JPH0519810Y2 (ja) * 1986-08-08 1993-05-25
US4935040A (en) * 1989-03-29 1990-06-19 The Perkin-Elmer Corporation Miniature devices useful for gas chromatography
US5114439A (en) * 1989-06-27 1992-05-19 University Of Florida Direct resistive heating and temperature measurement of metal-clad capillary columns in gas chromatography and related separation techniques
US5544276A (en) * 1993-11-30 1996-08-06 Microsensors Technology, Inc. Miniature gas chromatograph with heated gas inlet fitting, heated tubing, and heated microvalve assembly
EP0770871A3 (en) * 1995-10-23 1997-11-05 Hewlett-Packard Company Use of temperature control devices in miniaturized planar column devices and miniaturized total analysis systems
EP0770871A2 (en) * 1995-10-23 1997-05-02 Hewlett-Packard Company Use of temperature control devices in miniaturized planar column devices and miniaturized total analysis systems
US5720798A (en) * 1996-04-30 1998-02-24 Hewlett-Packard Company Micromachined analyte trap for gas phase streams
JP2000009710A (ja) * 1998-06-05 2000-01-14 Rvm Scient Inc 電気絶縁ガス・クロマトグラフ・アセンブリおよびその製造方法
US6572830B1 (en) 1998-10-09 2003-06-03 Motorola, Inc. Integrated multilayered microfludic devices and methods for making the same
US7892847B2 (en) 2002-04-05 2011-02-22 The United States Of America As Represented By The Department Of Health And Human Services Method and apparatus for countercurrent chromatography
WO2003087807A1 (en) * 2002-04-05 2003-10-23 The Government Of The United States Of America, As Represented By The Secretary, Department Of Health And Human Services Method and apparatus for counterconcurrent chromatography
EP1576365A1 (en) * 2002-12-05 2005-09-21 Capital Biochip Company Ltd Microminiature gas chromatograph column
EP1576365A4 (en) * 2002-12-05 2010-06-30 Capitalbio Corp GAS CHROMATOGRAPHIC COLUMN MICROMINIATURE
US7147695B2 (en) * 2002-12-13 2006-12-12 New Jersey Institute Of Technology Microfabricated microconcentrator for sensors and gas chromatography
WO2013018903A1 (ja) * 2011-08-04 2013-02-07 株式会社堀場エステック プレート型キャピラリカラム、キャピラリカラムユニット及びそれらを用いたクロマトグラフ
US9354210B2 (en) 2011-08-04 2016-05-31 Horiba Stec, Co., Ltd. Plate-type capillary column, capillary column unit, and chromatograph using same
JP2017534840A (ja) * 2014-09-05 2017-11-24 イマジン ティーエフ,エルエルシー 微細構造分離フィルタ
JP2017533412A (ja) * 2014-09-13 2017-11-09 アジレント・テクノロジーズ・インクAgilent Technologies, Inc. ガスクロマトグラフィ(gc)カラムヒータ
EP3191832A4 (en) * 2014-09-13 2018-02-28 Agilent Technologies, Inc. Gas chromatography (gc) column heater
EP3191833A4 (en) * 2014-09-13 2018-02-28 Agilent Technologies, Inc. Gas chromatography (gc) column heater
US10067101B2 (en) 2014-09-13 2018-09-04 Agilent Technologies Gas chromatography (GC) column heater
US10401331B2 (en) 2014-09-13 2019-09-03 Agilent Technologies, Inc. Gas chromatography (GC) column heater
JP2017181173A (ja) * 2016-03-29 2017-10-05 日本写真印刷株式会社 ガスクロマトグラフ装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS61288154A (ja) ガスクロマトグラフイ
US6114658A (en) Device for the encapsulated reception of a material
US7452126B2 (en) Micromechanical thermal-conductivity sensor having a porous cover
US6772513B1 (en) Method for making electro-fluidic connections in microfluidic devices
WO2002010694A1 (fr) Debitmetre a air de type thermique
JP2009531665A (ja) セラミックベースクロマトグラフィ装置およびこれを作る方法
EP0230104A3 (en) Semiconductor gas sensor having thermally-isolated site
JPS5817421B2 (ja) 半導体圧力センサ
JPH0599347A (ja) 金属性装着取付面へのシリコン板装着取付方法
JP6635886B2 (ja) ガスセンサ
JPS60114387A (ja) 超音波洗浄タンク及びその製造方法
US6666962B2 (en) Electrochemical sensor element with a porous reference gas accumulator
JPWO2006027893A1 (ja) 液中物質検出センサ及びそれを用いた液中物質検出装置
JPH0161176B2 (ja)
JPH04507291A (ja) 内燃機関の燃焼室のための圧力兼熱流センサ
JP2004340758A (ja) 微細流路およびこれを含むマイクロ化学チップ
JPH0943076A (ja) 圧力センサ
WO2018175108A1 (en) Gas sensor
US20200284632A1 (en) Flow sensor
TW374197B (en) Manufacturing process of integrated micro-flow control module
WO2018155119A1 (ja) ガスセンサ
JP2019158461A (ja) ガスセンサ
JP2004093475A (ja) シリコン製マイクロセンサ
JPS6287858A (ja) キヤピラリ−カラム基板
JPS59159573A (ja) 半導体圧力変換器