WO2013002064A1 - リニアアクチュエータ - Google Patents

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WO2013002064A1
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石橋康一郎
高梨精二
佐藤太平
佐藤俊夫
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Smc株式会社
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Definitions

  • the present invention relates to a linear actuator that reciprocates a slide table along the axial direction of a cylinder body.
  • a linear actuator such as a fluid pressure cylinder is used as a means for conveying a workpiece or the like under the action of supplying a pressure fluid.
  • a linear actuator such as a fluid pressure cylinder
  • the applicant of the present invention can linearly reciprocate the slide table along the cylinder body to convey the workpiece placed on the slide table.
  • linear actuators such as those described above have been required to be simplified in configuration and reduced in manufacturing cost.
  • a general object of the present invention is to provide a linear actuator that can be simplified in configuration and can be manufactured at low cost.
  • the present invention relates to a linear actuator that reciprocates a slide table along the axial direction of the cylinder body.
  • a guide block attached to the cylinder body and formed with a circulation groove through which a plurality of rolling elements circulate, and a cover member provided at an end of the guide block, the slide table being arranged in the axial direction of the cylinder body
  • a holding means that is mounted on the guide block, holds the rolling element in the circulation groove so as to be freely circulated, and holds the cover member with respect to the guide block;
  • the circulation groove is formed to open in the longitudinal direction in the guide block, and the holding means is detachably provided to the guide block.
  • the guide mechanism constituting the linear actuator includes a circulation groove opened along the longitudinal direction of the guide block, and a plurality of rolling elements circulating in the circulation groove are held by the holding means.
  • the holding means holds a plurality of rolling elements in a circulating manner with respect to the circulation groove of the guide block and holds a cover member provided at an end of the guide block.
  • the cover member can be easily assembled by using the holding means and the structure can be simplified as compared with the case where the cover member is assembled to the guide block with a bolt or the like.
  • FIG. 1 is an external perspective view of a linear actuator according to a first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is an exploded perspective view of the linear actuator shown in FIG.
  • FIG. 3 is an exploded perspective view of the linear actuator of FIG. 2 viewed from another direction.
  • 4 is an overall longitudinal sectional view of the linear actuator of FIG.
  • FIG. 5 is a sectional view taken along line VV in FIG. 6 is a cross-sectional view taken along line VI-VI in FIG. 7 is a cross-sectional view taken along line VII-VII in FIG.
  • FIG. 8 is an external perspective view of a guide mechanism constituting the linear actuator of FIG.
  • FIG. 9 is an external perspective view of the guide mechanism of FIG. 8 viewed from another direction.
  • FIG. 1 is an external perspective view of a linear actuator according to a first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is an exploded perspective view of the linear actuator shown in FIG.
  • FIG. 3 is an exploded perspective view of the linear actuator of FIG. 2 viewed
  • FIG. 10 is an exploded perspective view of the guide mechanism shown in FIG.
  • FIG. 11 is an external perspective view of a linear actuator according to the second embodiment of the present invention.
  • 12 is a cross-sectional view taken along line XII-XII in FIG.
  • FIG. 13 is an exploded perspective view of a linear actuator according to the third embodiment of the present invention.
  • FIG. 14 is an external perspective view of a guide mechanism constituting the linear actuator of FIG.
  • FIG. 15 is an external perspective view of the guide mechanism of FIG. 14 viewed from another direction.
  • FIG. 16 is an exploded perspective view of the guide mechanism shown in FIG.
  • FIG. 17 is an external perspective view of a ball clip used in the guide mechanism of FIG. 18 is a cross-sectional view taken along line XVIII-XVIII in FIG.
  • FIG. 19 is a longitudinal sectional view showing a direction orthogonal to the longitudinal direction of the linear actuator of FIG.
  • FIG. 20 is an external perspective view showing a ball clip according to a
  • the linear actuator 10 is provided on a cylinder body 12 and an upper portion of the cylinder body 12, and reciprocates linearly along the longitudinal direction (arrows A and B directions).
  • a slide table 14 a guide mechanism 16 interposed between the cylinder body 12 and the slide table 14 to guide the slide table 14 along the longitudinal direction (arrows A and B directions), and the slide table 14 And a stopper mechanism 18 capable of adjusting the amount of displacement.
  • the cylinder body 12 is rectangular in cross section and is formed with a predetermined length along the longitudinal direction (arrows A and B directions).
  • a concave portion 20 is formed in a substantially arcuate shape in a substantially arcuate cross section. (See FIG. 2).
  • the recess 20 extends along the longitudinal direction (the directions of arrows A and B), and a set of bolt holes 24 through which the connecting bolts 22 that connect the cylinder body 12 and the guide mechanism 16 are inserted. Yes.
  • first and second ports 26 and 28 through which pressure fluid is supplied and discharged are formed so as to be orthogonal to the longitudinal direction of the cylinder body 12 (arrows A and B directions). These are communicated with a pair of through holes 30a and 30b which will be described later.
  • sensor mounting grooves 32a and 32b are formed on both side surfaces of the cylinder body 12 along the longitudinal direction (arrows A and B directions), and sensors not shown are mounted.
  • a pair of bolt holes 24 are formed in the lower surface of the cylinder body 12 at the center in the width direction on the axis, and the connecting bolts 22 are inserted from below.
  • the connecting bolts 22 are connected to each other by protruding from the upper surface of the cylinder body 12 and screwed to the guide block 76 of the guide mechanism 16.
  • a pair of through-holes 30a and 30b penetrating along the longitudinal direction (arrow A and B directions) are formed inside the cylinder body 12, and one through-hole 30a and the other through-hole 30b are predetermined. They are arranged in parallel and spaced apart from each other.
  • the through holes 30a and 30b are respectively provided with a cylinder mechanism 42 including a piston 38 having a seal ring 34 and a magnet 36 mounted on the outer peripheral surface thereof and a piston rod 40 connected to the piston 38.
  • the cylinder mechanism 42 includes a pair of pistons 38 and a piston rod 40 that are respectively provided in a pair of through holes 30a and 30b.
  • one end of the through holes 30a and 30b is closed by a cap 44, and the other end of the through holes 30a and 30b is airtight by a rod holder 46 held via a retaining ring. Blocked.
  • one through hole 30a communicates with the first and second ports 26 and 28, respectively, and the other through hole 30b passes through a set of connection passages 48 formed between the one through hole 30a. Communicate with each other. That is, the pressure fluid supplied to the first and second ports 26 and 28 is introduced into one through hole 30 a and then introduced into the other through hole 30 b through the connection passage 48.
  • the connection passage 48 is formed so as to be orthogonal to the extending direction of the through holes 30a and 30b (directions of arrows A and B).
  • the slide table 14 includes a table main body 50 and an end plate 52 connected to the other end of the table main body 50, and the end plate 52 is connected to the table main body 50 so as to be orthogonal to the table main body 50.
  • the table main body 50 includes a base portion 54 extending at a predetermined thickness along the longitudinal direction (arrows A and B directions), and a pair of guides extending downward so as to be orthogonal to both side portions of the base portion 54. It consists of walls 56a and 56b.
  • a first ball guide groove 60 for guiding a ball (rolling element) 58 of the guide mechanism 16 to be described later is formed on the inner surfaces of the guide walls 56a and 56b.
  • the first ball guide groove 60 is formed to be recessed in a substantially semicircular cross section.
  • a holder portion 64 of the stopper mechanism 18 described later is fixed to one end portion of the table body 50 by a pair of bolts 62a.
  • the end plate 52 is fixed to the other end of the table body 50 by another pair of bolts 62b.
  • workpiece holding holes 66 are formed in the base portion 54 so as to be spaced apart from each other by a predetermined distance.
  • the workpiece holding holes 66 are formed on the slide table 14. Used to fix (not shown).
  • the end plate 52 is fixed to the other end of the table main body 50 and is provided so as to face the end surface of the cylinder main body 12, and the end of the piston rod 40 inserted through the pair of rod holes 68 is fixed. . Thereby, the slide table 14 including the end plate 52 is displaced along the longitudinal direction (arrow A and B direction) of the cylinder body 12 together with the piston rod 40.
  • a damper 70 is mounted at a substantially central portion of the end plate 52 through a damper mounting hole.
  • the damper 70 is made of, for example, an elastic material such as rubber, and its end portion protrudes from the end surface of the end plate 52.
  • the damper 70 abuts against the end surface of the cylinder body 12 together with the displacement action of the slide table 14.
  • the stopper mechanism 18 includes a holder portion 64 provided on the lower surface of one end portion of the table body 50, a stopper bolt 72 that is screwed to the holder portion 64, and a lock nut 74 that restricts the forward and backward movement of the stopper bolt 72. And is provided so as to face the end surface of the guide mechanism 16 provided in the cylinder body 12.
  • the holder part 64 is formed in a block shape, and is fixed to the base part 54 of the table body 50 constituting the slide table 14 with two bolts 62a. The center portion of the holder portion 64 is screwed to the stopper bolt 72 through a screw hole.
  • the stopper bolt 72 is made of, for example, a shaft-shaped stud bolt with a screw engraved on the outer peripheral surface, and is screwed into the screw hole of the holder portion 64, and a lock nut 74 is protruded from the end surface of the holder portion 64. Screwed together.
  • the stopper bolt 72 is screwed around the holder portion 64, the stopper bolt 72 is displaced along the axial direction (arrows A and B directions) so as to approach and separate from the guide mechanism 16, and a lock nut.
  • the forward / backward movement of the stopper bolt 72 is regulated by screwing 74.
  • the guide mechanism 16 includes a wide and flat guide block 76, a pair of cover blocks (cover members) 78a and 78b provided at both ends of the guide block 76, and the guide A plurality of balls 58 that circulate along the longitudinal direction of the block 76, and a pair of ball clips (holding members) 82 a and 82 b that hold the balls 58 in the ball circulation groove 80 of the guide block 76.
  • the guide mechanism 16 includes a pair of cover clips (another holding members) 84a and 84b for holding the cover blocks 78a and 78b with respect to the guide block 76, and two pairs attached to the cover blocks 78a and 78b. Cover plates 86a and 86b.
  • the guide block 76 is made of, for example, a metal material such as stainless steel or carbon steel, and second ball guide grooves 88 are formed along the longitudinal direction (arrows A and B directions) on both side surfaces thereof, and the bottom surface thereof.
  • a pair of ball circulation grooves 80 into which the balls 58 are loaded is formed along the longitudinal direction (the directions of arrows A and B). That is, the second ball guide groove 88 and the ball circulation groove 80 are formed substantially in parallel.
  • the second ball guide groove 88 is formed in a semicircular cross section like the first ball guide groove 60.
  • the second ball guide groove 88 is formed at a position facing the first ball guide groove 60, and the ball circulation groove 80 is formed on the upper surface of the cylinder body 12. It is formed to face.
  • a projecting portion 90 extending in the longitudinal direction at the center thereof and bulging upward is formed.
  • the projecting portion 90 is formed in a trapezoidal shape that is slightly narrower upward.
  • the cover blocks 78a and 78b are made of, for example, a resin material such as nylon, and include a main body 92 and a notch 94 cut out at a substantially center in the width direction of the main body 92.
  • the main body 92 is formed by being divided into two in the width direction with the notch 94 as the center, and one end surface that contacts the guide block 76 is formed in a flat shape, and the other end surface opposite to the one end surface is formed. It is formed in a stepped shape.
  • an arc portion 96 that bulges in a cross-section arc shape downward is formed at the approximate center in the width direction of the main body portion 92, and the arc mechanism 96 is connected to the upper portion of the cylinder body 12 with the guide mechanism 16. At that time, it is inserted into the recess 20.
  • a pair of return guides 98 for reversing the circulation direction of the ball 58 are provided on one end surface of the main body 92 through the mounting holes 100, respectively.
  • the return guide 98 is formed in a semicircular cross section and includes a groove-shaped guide portion 102 on which the ball 58 rolls on the outer peripheral surface.
  • the ball circulation groove 80 and the second ball guide groove 88 are continuously connected by the return guide 98, and the ball 58 is first and second from the ball circulation groove 80 via the guide portion 102 in the return guide 98.
  • the ball guide grooves 60 and 88 are continuously rotated by changing the direction by 180 °.
  • a pair of holding holes 104a and 104b are formed on the other side surface of the main body 92 with the notch 94 as a center and spaced apart from each other at an equal interval, and on the outer side in the width direction with respect to the holding holes 104a and 104b.
  • the positioning pins 106a and 106b projecting in the longitudinal direction are formed.
  • the holding holes 104a and 104b are formed with a predetermined depth toward one end surface of the main body 92.
  • the other end surface of the main body 92 is formed such that a portion having the positioning pins 106a and 106b protrudes in a direction away from the one end surface with respect to a portion where the holding holes 104a and 104b are formed.
  • the other end surface of the main body portion 92 is formed in a stepped shape that protrudes by a predetermined height in the direction in which the outer side in the width direction is separated from the one end surface with respect to the vicinity of the center portion adjacent to the notch portion 94.
  • a clip groove 108 into which a part of the ball clips 82a and 82b is inserted is formed in the main body 92 at the side of the holding holes 104a and 104b.
  • the clip groove 108 is formed in a substantially L-shaped cross section so as to continue from the other end surface of the main body portion 92 to the lower surface, and one end portion thereof communicates with the ball circulation groove 80, and the other end portion includes the main body portion 92.
  • a clip hole (not shown) recessed toward the one end surface is formed.
  • the clip groove 108 is formed with a width dimension corresponding to the thickness of ball clips 82a and 82b described later.
  • the ball clips 82a and 82b are made of, for example, a wire made of a metal material such as stainless steel, and the first straight portion 112 formed on a straight line and a pair formed at both ends of the first straight portion 112.
  • First bent portions 114a and 114b are formed so as to be substantially orthogonal to the first straight portion 112. Note that one first bent portion 114a and the other first bent portion 114b are bent in the same direction with respect to the first linear portion 112 and are formed to be substantially parallel to each other.
  • first bent portions 114a and 114b are respectively formed with engaging portions 116 that are bent at substantially right angles from the end portions and extend in directions approaching each other.
  • the engaging portion 116 is formed substantially in parallel with the first straight portion 112 and is formed with a predetermined length with respect to the first bent portions 114a and 114b.
  • the ball clips 82a and 82b have a distance between the first bent portion 114a and the other first bent portion 114b in the longitudinal direction (arrow A, B direction) so that the pair of cover blocks 78a,
  • the length 78b and the guide block 76 are formed so as to be approximately equal to or slightly smaller than the length along the longitudinal direction (arrows A and B directions).
  • the ball clips 82 a and 82 b are mounted so that the first straight portion 112 is on the lower surface side of the guide block 76 and inserted into the ball circulation groove 80. Specifically, the first straight portion 112 is disposed in the ball circulation groove 80 at the center side of the guide block 76 and at a position close to the lower surface of the guide block 76 (see FIG. 7).
  • the first linear portion 112 is held in contact with the outer peripheral surface of the ball 58 in the ball circulation groove 80, and the ball 58 is dropped in a direction away from the ball circulation groove 80. It is held in the ball circulation groove 80 in a prevented state.
  • the first straight portion 112 guides the plurality of balls 58 in the ball circulation groove 80 so as to be circulated along the longitudinal direction (arrow A, B direction) of the guide block 76.
  • the ball clips 82a and 82b have a pair of cover blocks 78a and 78b provided on both end surfaces of the guide block 76, respectively, and both end portions of the first straight portion 112 and the first bent portions 114a and 114b are While being inserted into the clip grooves 108 of the cover blocks 78a and 78b, the engaging portions 116 are respectively inserted into the clip holes.
  • the ball clips 82a and 82b are held with respect to the guide block 76 and the cover blocks 78a and 78b, and at the same time, the pair of cover blocks 78a and 78b sandwich the guide block 76 with the ball clips 82a and 82b. Since they are biased in the direction of being pulled together, they are held in contact with the guide block 76.
  • the ball clips 82 a and 82 b have both a function of holding the plurality of balls 58 with respect to the guide block 76 and a function of holding the pair of cover blocks 78 a and 78 b at both ends of the guide block 76. Yes.
  • the cover clips 84a and 84b are made of, for example, a wire made of a metal material such as stainless steel, and a pair of second straight portions 118 formed on a straight line and both ends of the second straight portions 118 are formed.
  • the cover clips 84a and 84b are formed of, for example, a thicker wire than the ball clips 82a and 82b.
  • the second bent portions 120a and 120b are formed so as to be substantially orthogonal to the second linear portion 118, and in the vicinity of the end portion, the extending direction of the second linear portion 118 (arrows A and B). A bulging portion 122 bulging in the direction). Note that one second bent portion 120a and the other second bent portion 120b are bent in the same direction with respect to the second straight portion 118 and are formed to be substantially parallel to each other.
  • the bulging portion 122 is formed, for example, in an arc shape in cross section, and bulges in a direction in which the bulging portion 122 in one second bent portion 120a and the bulged portion 122 in the other second bent portion 120b approach each other. I'm out.
  • cover clips 84a and 84b have a pair of cover blocks 78a, 78a, a separation distance along the longitudinal direction (arrow A, B direction) between the one second bent portion 120a and the other second bent portion 120b.
  • 78b and the guide block 76 are formed so as to be substantially the same as or slightly smaller than the length along the longitudinal direction.
  • the cover plates 86a and 86b are formed, for example, by press-molding a plate made of a metal material, and a pair of the cover plates 86a and 86b are attached to the other side surfaces of the main body 92 in the one and the other cover blocks 78a and 78b.
  • the cover plates 86a and 86b are formed in a stepped shape corresponding to the other side surfaces of the cover blocks 78a and 78b, an insertion portion 124 formed at one end thereof and inserted into the holding holes 104a and 104b, and the insertion portion 124.
  • a pin hole 126 formed at the other end of the cover plates 86a and 86b on the outer side in the width direction is provided.
  • the insertion portion 124 is formed in a hemispherical shape on one side surface in the thickness direction of the cover plates 86a and 86b, and the inside on the other side surface is recessed in a concave shape.
  • the cover plates 86a and 86b are attached to the cover blocks 78a and 78b, the cover plates 86a and 86b are brought into contact with the other end surfaces of the cover blocks 78a and 78b, and the positioning pins 106a and 106b are inserted into the pin holes 126. And the insertion portion 124 is inserted into the holding holes 104a and 104b.
  • the pair of cover plates 86 a and 86 b are mounted in a state of being positioned with respect to the other end surface of the guide block 76.
  • the guide block 76 is mounted from above the guide block 76 with a pair of cover blocks 78a and 78b being mounted on both end faces.
  • the second straight portions 118 of the cover clips 84 a and 84 b are disposed so as to contact the upper surface of the guide block 76 and to contact the protrusion 90, and the bulging portion 122 is disposed on the other side of the insertion portion 124. It is inserted and engaged with each of the recesses on the side.
  • the cover plates 86a and 86b abut against the cover blocks 78a and 78b, and the cover plates 86a and 86b, the cover blocks 78a and 78b,
  • the guide block 76 is held by the pair of cover clips 84a and 84b so as not to be relatively displaced in the longitudinal direction (the directions of arrows A and B).
  • the cover clips 84a and 84b hold the cover plates 86a and 86b, the cover blocks 78a and 78b, and the guide block 76 in a state where they are connected in the longitudinal direction of the guide block 76 (arrows A and B directions). .
  • the cover clips 84 a and 84 b are arranged so that the second straight portion 118 is exposed above the guide block 76, while the ball clips 82 a and 82 b have the first straight portion 112 having the guide block 76. It arrange
  • the linear actuator 10 according to the first embodiment of the present invention is basically configured as described above. Next, assembly of the guide mechanism 16 constituting the linear actuator 10 will be described.
  • cover blocks 78a and 78b are respectively attached to both end faces of the guide block 76. Make contact.
  • the ball 58 loaded in the second ball guide groove 88 is held so as not to fall off from the guide block 76 by a jig or the like (not shown).
  • the first bent portions 114a, 114b is inserted into the clip groove 108, and the engaging portion 116 is inserted into the clip hole. Accordingly, the plurality of balls 58 are held by the first straight portions 112 of the ball clips 82a and 82b in the ball circulation groove 80, and the balls 58 are not dropped from the ball circulation groove 80 opened.
  • the pair of cover blocks 78a and 78b has the engaging portions 116 of the pair of ball clips 82a and 82b engaged with the clip holes and the first bent portions 114a and 114b inserted into the clip grooves 108.
  • each is pressed toward the guide block 76 side. Therefore, the cover blocks 78a and 78b are held against both end faces of the guide block 76 by the ball clips 82a and 82b.
  • one cover block 78a and the other cover block 78b are pulled in a direction in which they approach each other by the ball clips 82a and 82b.
  • cover plates 86a and 86b are attached to the pair of cover blocks 78a and 78b, respectively.
  • the pair of cover clips 84a and 84b are brought close to the guide block 76 and the cover blocks 78a and 78b from the side opposite to the ball clips 82a and 82b, and the second linear portion 118 is brought into contact with the vicinity of the projection 90.
  • the bulging portion 122 is inserted into the insertion portion 124 of the cover plates 86a and 86b.
  • the cover plates 86a and 86b are held by the both ends of the pair of cover clips 84a and 84b in a state of being attached to the cover blocks 78a and 78b, respectively, and inserted into the clip groove 108 and the clip hole by the cover plates 86a and 86b. Both ends of the ball clips 82a and 82b thus formed are covered and held. Further, the cover plates 86a and 86b, the cover blocks 78a and 78b, and the guide block 76 are fixed integrally.
  • the cover plates 86a and 86b are in contact with the cover blocks 78a and 78b, and the cover blocks 78a and 78b are in contact with the end face of the guide block 76, so that the cover plates 86a and 86b, the cover blocks 78a and 78b, and
  • the guide block 76 is connected and integrally held by the pair of cover clips 84a and 84b so as not to be relatively displaced in the longitudinal direction (arrows A and B directions).
  • the guide mechanism 16 constituting the linear actuator 10
  • a plurality of balls 58 are held circulated with respect to the guide block 76 by using the pair of ball clips 82 a and 82 b.
  • the pair of cover blocks 78a and 78b brought into contact with both ends of the guide block 76 can be easily fixed by the pair of cover clips 84a and 84b.
  • the guide mechanism 16 including the guide block 76, the cover blocks 78a, 78b, and the like can be easily assembled and simplified in configuration as compared with a case where the guide mechanisms 16 are assembled to each other using, for example, bolts. it can. Therefore, the number of manufacturing steps can be reduced in the linear actuator 10 including the guide mechanism 16.
  • the guide block 76 is formed with a ball circulation groove 80 that opens downward, and the ball 58 is circulated through the ball circulation groove 80. For this reason, it is possible to reduce the number of processing steps and the processing cost as compared with the case of forming the through hole. As a result, the manufacturing cost of the linear actuator 10 can be reduced.
  • the ball clips 82a and 82b have elasticity, the ball clips 82a and 82b are deformed so as to follow the outer peripheral surfaces of the plurality of balls 58 while being attached to the guide block 76 and the cover blocks 78a and 78b. It is possible to hold the ball 58 in a circulatory state.
  • the ball clips 82a and 82b are securely and simply positioned by being mounted in the clip grooves 108 formed in the cover blocks 78a and 78b, the ball clips 82a and 82b are always attached to the plurality of balls 58. Thus, the ball 58 can be stably held.
  • cover clips 84a and 84b are prevented from dropping off from the cover plates 86a and 86b when the bulging portions 122 are inserted and engaged with the insertion portions 124 of the cover plates 86a and 86b. .
  • the cover plates 86a and 86b, the cover blocks 78a and 78b, and the guide block 76 can be reliably and stably connected by the cover clips 84a and 84b.
  • the pair of cover blocks 78a and 78b are held with respect to the guide block 76 by the pair of ball clips 82a and 82b, and at the same time, the pair of cover clips 84a and 84b formed of a thicker wire than the ball clips 82a and 82b. Since the cover blocks 78a and 78b are held, the cover blocks 78a and 78b can be securely and firmly fixed to both end faces of the guide block 76.
  • the ball circulation groove 80 into which the ball 58 is loaded is provided so as to open to the lower surface facing the cylinder body 12, the ball 58 is held by the ball clips 82a and 82b.
  • the ball clips 82 a and 82 b are held by contacting the upper surface of the cylinder body 12. Therefore, it is possible to reliably hold the ball 58 together with the upper surface of the cylinder body 12 without setting the strength of the ball clips 82a and 82b large.
  • a pressure fluid is introduced into the first port 26 from a pressure fluid supply source (not shown).
  • the second port 28 is opened to the atmosphere under the operation of a switching valve (not shown).
  • the pressure fluid supplied to the first port 26 is supplied to one through hole 30a and is supplied to the other through hole 30b through the connection passage 48, and the piston 38 is moved to the rod holder 46 side (in the direction of arrow A). Press toward. Thereby, the slide table 14 is displaced in a direction away from the cylinder body 12 together with the piston rod 40 connected to the piston 38.
  • the ball 58 constituting the guide mechanism 16 rolls along the ball circulation path along with the displacement of the slide table 14, whereby the slide table 14 is guided along the axial direction by the guide mechanism 16.
  • the stopper mechanism 18 loosens the lock nut 74 and allows the stopper bolt 72 to move forward and backward, and then adjusts the amount of protrusion from the end surface of the holder portion 64 by screwing the stopper bolt 72 to thereby slide the stopper table 72.
  • the amount of displacement of 14 can be adjusted.
  • the ball clips 82a and 82b for holding the plurality of balls 58 and the pair of cover blocks 78a and 78b, and the cover blocks 78a and 78b and the cover plates 86a and 86b are held.
  • the cover clips 84a and 84b are provided respectively.
  • the present invention is not limited to this configuration.
  • the ball clips 82a and 282b are used only without the cover plates 86a and 86b and the cover clips 84a and 84b.
  • the cover blocks 78a and 78b may be held together with the ball 58. In this case, the number of parts of the guide mechanism 16 and the number of assembly steps can be reduced.
  • FIGS. a linear actuator 150 according to a second embodiment is shown in FIGS.
  • the same components as those of the linear actuator 10 according to the first embodiment described above are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.
  • lubricating oil such as grease is applied to the balls 58 of the ball circulation groove 80 in the cylinder body 12 and the guide mechanism 16.
  • a lubricating oil supply unit 152 that can be supplied is provided.
  • the lubricating oil supply unit 152 is formed, for example, on the upper surface of the cylinder body 12, and extends in a direction orthogonal to the longitudinal direction (arrows A and B directions) of the cylinder body 12, and the first supply groove 154
  • the feed groove 154 communicates with the second feed groove 156 formed on the lower surface of the guide block 76 constituting the guide mechanism 16.
  • first supply grooves 154 are provided, arranged at a predetermined interval along the longitudinal direction (arrow A, B direction) of the cylinder body 12, and the recesses of the cylinder body 12. 20 are formed on both sides of the center.
  • the first supply groove 154 is formed to be depressed by a predetermined depth with respect to the upper surface of the cylinder body 12 and extends from both side surfaces of the cylinder body 12 to a position facing the ball circulation groove 80 of the guide block 76. .
  • a plurality of second supply grooves 156 are provided in the same manner as the first supply groove 154, and extend perpendicular to the longitudinal direction (arrow A, B direction) of the guide block 76, and the guide mechanism 16 is assembled to the cylinder body 12.
  • the first supply groove 154 is formed in a straight line.
  • the second supply groove 156 extends from both side surfaces of the guide block 76 to the pair of ball circulation grooves 80 and is formed so that the end thereof faces the ball 58 loaded in the ball circulation groove 80.
  • the lubricating oil is supplied from the end of the first supply groove 154 with a lubricating oil supply means (for example, a grease injection tool) (not shown), whereby the lubricating oil is guided along the first supply groove 154. And a part of the lubricating oil is guided from the first supply groove 154 to the second supply groove 156. Thereby, the lubricating oil is supplied into the ball circulation groove 80 and lubricates the plurality of balls 58.
  • a lubricating oil supply means for example, a grease injection tool
  • the plurality of balls 58 can be easily and reliably lubricated, and the balls 58 can be smoothly circulated to smoothly slide the slide table 14. Further, the durability of the ball 58 can be improved.
  • the linear actuator 150 can be simply performed via the lubricating oil supply unit 152 without being disassembled, so that the maintenance performance of the linear actuator 150 can be improved.
  • the ball circulation groove 80 into which the ball 58 is loaded is open on the lower surface side facing the cylinder body 12, so that the first supply groove 154 is provided on the upper surface side of the cylinder body 12.
  • the ball circulation groove 80 it becomes possible to easily supply the lubricating oil to the ball circulation groove 80.
  • the guide mechanism 16 having the above-described configuration has a cylinder mechanism 42 that is displaced by the pressure fluid supplied to the cylinder body 12, like the linear actuators 10 and 150 according to the first and second embodiments.
  • the present invention is not limited to the case where it is used for a fluid pressure cylinder that drives the slide table 14 via the cylinder mechanism 42 and the guide mechanism 16.
  • the above-described guide mechanism 16 may be provided and applied to an electric actuator that displaces the slide table 14 along the cylinder body 12 by a drive source such as a motor.
  • FIGS. a linear actuator 200 according to a third embodiment is shown in FIGS.
  • the same components as those of the linear actuator 10 according to the first embodiment described above are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.
  • the linear actuator 200 includes a pair of straight portions 204a and 204b and ball clips 202a and 202b that can hold the ball 58, and uses a guide mechanism 206 that eliminates the cover plates 86a and 86b. This is different from the linear actuator 10 according to the first embodiment.
  • the guide mechanism 206 includes a wide and flat guide block 76, a pair of cover blocks 208a and 208b provided at both ends of the guide block 76, and the guide block 76.
  • a plurality of balls 58 that circulate along the longitudinal direction, a pair of ball clips 202 a and 202 b that hold the balls 58 in the ball circulation groove 80 of the guide block 76, and the cover blocks 208 a and 208 b to the guide block 76.
  • a pair of cover clips 84a and 84b to be held.
  • the ball clips 202a and 202b are made of a wire material made of a metal material such as stainless steel, for example, and are formed on a straight line and a pair of straight portions 204a formed substantially in parallel. 204b, a connecting portion 210 for connecting one end portions of the straight portions 204a and 204b, and bent portions 212a and 212b formed at the other end portions of the straight portions 204a and 204b.
  • the straight portions 204a and 204b are provided, for example, at substantially the same interval as the width dimension of the ball circulation groove 80, and the length along the longitudinal direction (arrow A and B direction) is a pair of cover blocks 208a. , 208b and the guide block 76 are formed so as to be approximately equal to or slightly smaller than the length along the longitudinal direction (direction of arrows A and B).
  • the connecting portion 210 is formed in a substantially U-shaped cross section so as to connect one end portion of one straight portion 204a and one end portion of the other straight portion 204b, and is orthogonal to the longitudinal direction of the straight portions 204a and 204b. Formed as follows.
  • the bent portions 212a and 212b are formed by being bent so that the end portion is on one end portion side (arrow A direction) with respect to the other end portions of the linear portions 204a and 204b.
  • One bent portion 212a and the other bent portion 212b are formed so as to be substantially parallel to each other.
  • the ball clips 202a and 202b are formed, for example, by bending a single wire by press molding or the like.
  • the cover blocks 208a and 208b are respectively provided at one end and the other end of the guide block 76, and the main clip has a first clip groove at a position aligned with the ball circulation groove 80 of the guide block 76. 214 is formed, and a pair of second clip grooves 216 with which the cover clips 84 a and 84 b are engaged are formed at a position on the arc portion side with respect to the first clip groove 214.
  • the first clip groove 214 is formed so as to be recessed toward the guide block 76 side with respect to the end surfaces of the cover blocks 208a and 208b, and inclined so that the upper part thereof faces the guide block 76 side. That is, as shown in FIG. 18, the first clip groove 214 is formed so as to be inclined at a predetermined angle from the lower end portion toward the upper end portion toward the guide block 76 side.
  • the first clip groove 214 is spaced upward at a predetermined interval and extends upward, and a convex portion 218 with which the connection portion 210 of the ball clips 202a and 202b is engaged is provided therebetween.
  • the convex portion 218 has an upper end formed in a semicircular shape, and protrudes toward the end face of the cover blocks 208 a and 208 b at a predetermined height with respect to the first clip groove 214.
  • the second clip groove 216 is formed so that the upper part thereof is inclined in a direction away from the first clip groove 214, and the second bent portions 120a and 120b of the cover clips 84a and 84b are inserted and engaged respectively.
  • the guide block 76 When mounting the ball clips 202a and 202b and the cover clips 84a and 84b in the guide mechanism 206, first, the guide block 76 is placed so that the ball circulation groove 80 faces upward, and the ball circulation groove 80 is placed in the ball circulation groove 80. With the plurality of balls 58 loaded, the straight portions 204a and 204b of the ball clips 202a and 202b are placed on the opening 220 of the ball circulation groove 80 so as to contact the outer peripheral surface of the balls 58 (see FIG. 19). ).
  • cover blocks 208a and 208b are disposed at both ends of the guide block 76, and the second bent portions 120a and 120b of the cover clips 84a and 84b are engaged with the second clip grooves 216, respectively.
  • the cover blocks 208a and 208b are held at both ends of the guide block 76.
  • the connecting portions 210 of the ball clips 202a and 202b are engaged with the convex portions 218 of one cover block 208a, and the bent portions 212a and 212b are engaged.
  • the ball clips 202a and 202b are held by the pair of cover blocks 208a and 208b via the connecting portion 210 and the bent portions 212a and 212b, and the plurality of balls 58 are placed in the ball circulation groove 80 by the straight portions 204a and 204b.
  • the pair of ball clips 202a and 202b and the cover clips 84a and 84b are assembled to the guide mechanism 206.
  • the cover plates 86a and 86b used in the linear actuator 10 according to the first embodiment described above are not necessary, the number of parts is reduced. It is possible to reduce the size and weight, and to reduce the number of assembling steps, the productivity can be improved and the manufacturing cost can be reduced.
  • the ball 58 loaded in the ball circulation groove 80 of the guide block 76 can be held movably along the traveling direction of the ball 58 by the pair of linear portions 204a and 204b, the ball 58 can be reliably held. , Can be reliably prevented from falling off the ball circulation groove 80. Further, by holding the ball 58 with a pair of straight portions 204a and 204b, for example, compared with the case where the ball 58 is held with respect to the ball circulation groove 80 by one straight portion, the ball 58 slides. Since the resistance can be reduced, the ball 58 can be rolled more smoothly along the ball circulation groove 80 when the slide table 14 is moved.
  • the ball 58 in the ball circulation groove 80 can be securely held by the ball clips 202a and 202b, the opening 220 of the ball circulation groove 80 can be formed large.
  • the ball circulation groove 80 is provided. The productivity in the case of forming the guide block 76 by drawing or forging can be improved.
  • the above-described ball clips 202a and 202b are not limited to the case where the ball clips 202a and 202b are formed as shown in FIG. 17, and like the ball clip 230 according to the modification shown in FIG. 20, for example, You may make it form by press-molding the board
  • the ball clip 230 has a predetermined width and extends in the longitudinal direction, and is formed at both ends of the ball holding portion 232 that holds the ball 58 and the ball holding portion 232 and is bent at a substantially right angle. Folded portions 234a and 234b are provided.
  • the ball holding portion 232 is formed in, for example, a flat plate shape, and a filling groove 236 filled with lubricating oil such as grease is formed in the central portion thereof.
  • a plurality of filling grooves 236 are provided so as to be separated from each other along the longitudinal direction of the ball holding portion 232, and are formed to be recessed with a predetermined depth with respect to the surface of the ball holding portion 232.
  • the bent portions 234a and 234b are formed in a frame shape in which an upper end portion is formed in a semicircular cross section and an engagement hole 238 is formed in the center. Note that the bent portions 234 a and 234 b are formed with substantially the same width as the ball holding portion 232.
  • the surface of the ball holding portion 232 that is, the filling, with the ball 58 loaded in the ball circulation groove 80 of the guide block 76.
  • the bent portions 234a and 234b are inserted into the first clip grooves 21216 of the cover blocks 208a and 208b, respectively, and the engagement holes 238 are formed in the convex portions 218. Engage with each other.
  • the ball clip 230 is held by the pair of cover blocks 208a and 208b via the pair of bent portions 234a and 234b, and the plurality of balls 58 are held in the ball circulation groove 80 by the ball holding portion 232.
  • the filling groove 236 filled with the lubricating oil is disposed at a position facing the plurality of balls 58, when the ball 58 rolls along the ball circulation groove 80, the lubricating oil is suitably lubricated. Is made.
  • the manufacturing cost can be reduced and the productivity can be improved.
  • the ball holding portion 232 into a flat plate shape, it is possible to form the filling groove 236 that can be filled with the lubricating oil, and the ball 58 can have a lubricating function.
  • linear actuator according to the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various configurations can be adopted without departing from the gist of the present invention.

Abstract

　本発明は、リニアアクチュエータに関するものであって、ガイド機構（１６）を構成するガイドブロック（７６）には、シリンダ本体（１２）に臨む下面に一対のボール循環溝（８０）が形成され、前記ボール循環溝（８０）には複数のボール（５８）が装填される。このガイドブロック（７６）の両端面には、一対のカバーブロック（７８ａ、７８ｂ）がそれぞれ装着され、アーム状に形成された一対のボールクリップ（８２ａ、８２ｂ）がボール循環溝（８０）に挿入されボール（５８）を保持した状態で、前記カバーブロック（７８ａ、７８ｂ）に係合される。また、カバーブロック（７８ａ、７８ｂ）の端面には、一対のカバープレート（８６ａ、８６ｂ）がそれぞれ装着され、該カバープレート（８６ａ、８６ｂ）を保持するようにアーム状のカバークリップ（８４ａ、８４ｂ）が装着される。これにより、カバープレート（８６ａ、８６ｂ）、カバーブロック（７８ａ、７８ｂ）及びガイドブロック（７６）が一体的に連結される。

Description

リニアアクチュエータ
　本発明は、シリンダ本体の軸線方向に沿ってスライドテーブルを往復動作させるリニアアクチュエータに関する。
　従来から、ワーク等の搬送手段として、例えば、圧力流体の供給作用下に流体圧シリンダ等のリニアアクチュエータが用いられている。本出願人は、特許第３７９５９６８号公報に開示されているように、シリンダ本体に沿ってスライドテーブルを直線状に往復運動させることにより、前記スライドテーブルに載置されたワークを搬送可能なリニアアクチュエータを提案している。上述したようなリニアアクチュエータでは、近年、構成の簡素化及び製造コストの削減が要請されている。
　本発明の一般的な目的は、構成の簡素化を図ると共に、安価に製造することが可能なリニアアクチュエータを提供することにある。
　本発明は、シリンダ本体の軸線方向に沿ってスライドテーブルを往復動作させるリニアアクチュエータにおいて、
　前記シリンダ本体に取り付けられ、複数の転動体が循環する循環溝の形成されたガイドブロックと、前記ガイドブロックの端部に設けられるカバー部材とを有し、前記スライドテーブルを前記シリンダ本体の軸線方向に沿って案内するガイド機構と、
　前記ガイドブロックに装着され、前記循環溝内に前記転動体を循環自在に保持すると共に、前記カバー部材を前記ガイドブロックに対して保持する保持手段と、
　を備え、
　前記循環溝は、前記ガイドブロックにおいて長手方向に沿って開口して形成されると共に、前記保持手段は、前記ガイドブロックに対して着脱自在に設けられることを特徴とする。
　本発明によれば、リニアアクチュエータを構成するガイド機構は、ガイドブロックの長手方向に沿って開口した循環溝を備え、前記循環溝を循環する複数の転動体が保持手段によって保持される。この保持手段は、複数の転動体をガイドブロックの循環溝に対して循環自在に保持すると共に、前記ガイドブロックの端部に設けられるカバー部材を保持している。
　従って、カバー部材を、例えば、ガイドブロックに対してボルト等で組み付ける場合と比較し、保持手段を用いることで簡便に組み付けることができると共に構成の簡素化を図ることができる。
　また、ガイドブロックには、転動体の循環する貫通孔を設ける代わりに、長手方向に沿って開口した循環溝を形成しているため、該貫通孔を形成する場合と比較し、その加工工数及び加工コストの削減を図ることが可能となる。その結果、リニアアクチュエータにおける製造コストが削減され、安価に製造することができる。
図１は、本発明の第１の実施の形態に係るリニアアクチュエータの外観斜視図である。 図２は、図１に示すリニアアクチュエータの分解斜視図である。 図３は、図２のリニアアクチュエータを別の方向から見た分解斜視図である。 図４は、図１のリニアアクチュエータの全体縦断面図である。 図５は、図４のＶ－Ｖ線に沿った断面図である。 図６は、図４のＶＩ－ＶＩ線に沿った断面図である。 図７は、図４のＶＩＩ－ＶＩＩ線に沿った断面図である。 図８は、図１のリニアアクチュエータを構成するガイド機構の外観斜視図である。 図９は、図８のガイド機構を別の方向から見た外観斜視図である。 図１０は、図８に示すガイド機構の分解斜視図である。 図１１は、本発明の第２の実施の形態に係るリニアアクチュエータの外観斜視図である。 図１２は、図１１のＸＩＩ－ＸＩＩ線に沿った断面図である。 図１３は、本発明の第３の実施の形態に係るリニアアクチュエータの分解斜視図である。 図１４は、図１３のリニアアクチュエータを構成するガイド機構の外観斜視図である。 図１５は、図１４のガイド機構を別の方向から見た外観斜視図である。 図１６は、図１４に示すガイド機構の分解斜視図である。 図１７は、図１４のガイド機構に用いられるボールクリップの外観斜視図である。 図１８は、図１４のＸＶＩＩＩ－ＸＶＩＩＩ線に沿った断面図である。 図１９は、図１３のリニアアクチュエータの長手方向と直交方向を示す縦断面図である。 図２０は、変形例に係るボールクリップを示す外観斜視図である。
　このリニアアクチュエータ１０は、図１～図７に示されるように、シリンダ本体１２と、該シリンダ本体１２の上部に設けられ、長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って直線状に往復動作するスライドテーブル１４と、前記シリンダ本体１２とスライドテーブル１４との間に介装され、前記スライドテーブル１４を長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って案内するガイド機構１６と、前記スライドテーブル１４の変位量を調整自在なストッパ機構１８とを含む。
　シリンダ本体１２は、断面長方形状で長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って所定長さで形成され、その上面には、略中央部に断面略円弧状に窪んだ凹部２０が形成される（図２参照）。この凹部２０は、長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って延在すると共に、シリンダ本体１２とガイド機構１６とを連結する連結ボルト２２の挿通される一組のボルト孔２４が貫通している。
　また、シリンダ本体１２の一側面には、圧力流体の供給・排出される第１及び第２ポート２６、２８が該シリンダ本体１２の長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）と直交するように形成され、後述する一対の貫通孔３０ａ、３０ｂと連通している。さらに、シリンダ本体１２の両側面には、長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿ってセンサ取付溝３２ａ、３２ｂがそれぞれ形成され、図示しないセンサが装着される。
　シリンダ本体１２の下面には、軸線上となる幅方向の中央部に一組のボルト孔２４が形成され、下方より連結ボルト２２が挿通される。そして、連結ボルト２２は、その先端部が前記シリンダ本体１２の上面より突出し、ガイド機構１６のガイドブロック７６に螺合されることによって互いに連結される。
　一方、シリンダ本体１２の内部には、長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って貫通した一対の貫通孔３０ａ、３０ｂが形成され、一方の貫通孔３０ａと他方の貫通孔３０ｂとは、所定間隔離間して略平行に並設されている。貫通孔３０ａ、３０ｂには、外周面にシールリング３４及びマグネット３６が外周面に装着されたピストン３８と、前記ピストン３８に連結されたピストンロッド４０とを含むシリンダ機構４２がそれぞれ設けられる。このシリンダ機構４２は、一対のピストン３８及びピストンロッド４０が一対の貫通孔３０ａ、３０ｂにそれぞれ内装され構成される。
　貫通孔３０ａ、３０ｂの一端部は、図５に示されるように、キャップ４４によって閉塞され、前記貫通孔３０ａ、３０ｂの他端部は、止め輪を介して保持されるロッドホルダ４６によって気密に閉塞される。
　さらに、一方の貫通孔３０ａは、第１及び第２ポート２６、２８とそれぞれ連通し、他方の貫通孔３０ｂは、一方の貫通孔３０ａとの間に形成された一組の接続通路４８を介して互いに連通している。すなわち、第１及び第２ポート２６、２８に供給された圧力流体は、一方の貫通孔３０ａへと導入された後、接続通路４８を通じて他方に貫通孔３０ｂにも導入される。この接続通路４８は、貫通孔３０ａ、３０ｂの延在方向（矢印Ａ、Ｂ方向）と直交するように形成されている。
　スライドテーブル１４は、テーブル本体５０と、該テーブル本体５０の他端部に連結されるエンドプレート５２とを備え、前記エンドプレート５２は、前記テーブル本体５０に対して直交するように連結される。
　テーブル本体５０は、長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って所定厚さで延在するベース部５４と、該ベース部５４の両側部から直交するように下方へと延在した一対のガイド壁５６ａ、５６ｂとからなる。そして、ガイド壁５６ａ、５６ｂの内面には、後述するガイド機構１６のボール（転動体）５８が案内される第１ボール案内溝６０が形成される。この第１ボール案内溝６０は、断面略半円状に窪んで形成される。
　また、テーブル本体５０の一端部には、一対のボルト６２ａによって後述するストッパ機構１８のホルダ部６４が固定される。また、テーブル本体５０の他端部には、別の一対のボルト６２ｂによってエンドプレート５２が固定される。
　ベース部５４には、例えば、互いに所定間隔離間して配置された４個のワーク保持用孔部６６が形成され、このワーク保持用孔部６６は、例えば、スライドテーブル１４に載置されたワーク（図示せず）を固定するために用いられる。
　エンドプレート５２は、テーブル本体５０の他端部に固定され、シリンダ本体１２の端面に臨むように設けられると共に、一組のロッド孔６８に挿通されたピストンロッド４０の端部がそれぞれ固定される。これにより、エンドプレート５２を含むスライドテーブル１４が、ピストンロッド４０と共にシリンダ本体１２の長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って変位する。
　また、エンドプレート５２の略中央部には、ダンパ装着孔を介してダンパ７０が装着される。このダンパ７０は、例えば、ゴム等の弾性材料からなり、その端部がエンドプレート５２の端面から突出し、スライドテーブル１４の変位作用下に共に前記ダンパ７０がシリンダ本体１２の端面に当接する。
　ストッパ機構１８は、テーブル本体５０における一端部の下面に設けられるホルダ部６４と、前記ホルダ部６４に対して螺合されるストッパボルト７２と、前記ストッパボルト７２の進退動作を規制するロックナット７４とを有し、シリンダ本体１２に設けられたガイド機構１６の端面に臨むように設けられる。
　ホルダ部６４は、ブロック状に形成され、スライドテーブル１４を構成するテーブル本体５０のベース部５４に対して２本のボルト６２ａで固定される。このホルダ部６４の中心部には、ねじ孔を介してストッパボルト７２に螺合される。
　ストッパボルト７２は、例えば、外周面にねじの刻設された軸状のスタッドボルトからなり、ホルダ部６４のねじ孔に螺合され、ホルダ部６４の端面から突出した部位にはロックナット７４が螺合される。
　そして、ストッパボルト７２をホルダ部６４に対して螺回させることにより、該ストッパボルト７２が軸線方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って変位し、ガイド機構１６に接近・離間させると共に、ロックナット７４を螺回することで前記ストッパボルト７２の進退動作を規制する。
　ガイド機構１６は、図８～図１０に示されるように、幅広扁平状のガイドブロック７６と、該ガイドブロック７６の両端部に設けられる一対のカバーブロック（カバー部材）７８ａ、７８ｂと、前記ガイドブロック７６の長手方向に沿って循環する複数のボール５８と、前記ボール５８を前記ガイドブロック７６のボール循環溝８０に保持する一対のボールクリップ（保持部材）８２ａ、８２ｂとを含む。また、ガイド機構１６は、前記カバーブロック７８ａ、７８ｂを前記ガイドブロック７６に対して保持する一対のカバークリップ（別の保持部材）８４ａ、８４ｂと、前記カバーブロック７８ａ、７８ｂに装着される二対のカバープレート８６ａ、８６ｂとを含む。
　ガイドブロック７６は、例えば、ステンレスや炭素鋼等の金属製材料から形成され、その両側面に長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って第２ボール案内溝８８が形成されると共に、その下面にはボール５８の装填される一対のボール循環溝８０が長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って形成される。すなわち、第２ボール案内溝８８とボール循環溝８０とが略平行に形成される。なお、第２ボール案内溝８８は、第１ボール案内溝６０と同様に断面半円状に形成される。
　そして、ガイド機構１６の上部にスライドテーブル１４が配置された際、第２ボール案内溝８８は、第１ボール案内溝６０と対向する位置に形成され、ボール循環溝８０はシリンダ本体１２の上面に臨むように形成される。
　また、ガイドブロック７６の上面には、その中央部に長手方向に沿って延在し、上方へと膨出した突部９０が形成される。この突部９０は、上方に向かって若干だけ幅狭となる断面台形状に形成される。
　カバーブロック７８ａ、７８ｂは、例えば、ナイロン等の樹脂製材料からなり、本体部９２と、該本体部９２の幅方向略中央で切り欠かれた切欠部９４とを有している。
　本体部９２は、切欠部９４を中心として幅方向左右に２分割して形成されると共に、ガイドブロック７６に当接する一端面が平面状に形成され、該一端面と反対側となる他端面が段付状に形成される。
　また、本体部９２の幅方向略中央には、下方に向かって断面円弧状に膨出した円弧部９６が形成され、前記円弧部９６は、ガイド機構１６がシリンダ本体１２の上部に連結された際、凹部２０に挿入される。
　さらに、本体部９２は、ガイドブロック７６の端面に当接した際、ボール循環溝８０の端部を閉塞すると共に、切欠部９４は、カバーブロック７８ａ、７８ｂの一端面から他端面まで貫通しているため、前記ガイドブロック７６の端面が前記切欠部９４を介して露呈している。そして、スライドテーブル１４の変位作用下にガイドブロック７６の端面に対してストッパ機構１８のストッパボルト７２が当接することにより、スライドテーブル１４の変位が規制される。
　また、本体部９２の一端面には、ボール５８の循環方向を反転させる一組のリターンガイド９８が装着孔１００を介してそれぞれ設けられる。このリターンガイド９８は、断面半円状に形成され外周面にボール５８の転動する溝状のガイド部１０２を備える。そして、リターンガイド９８の装着されたカバーブロック７８ａ、７８ｂがガイドブロック７６の両端面に装着された際、前記リターンガイド９８の一端部がボール循環溝８０に接続され、他端部が第２ボール案内溝８８に接続される。
　すなわち、リターンガイド９８によってボール循環溝８０と第２ボール案内溝８８とが連続的に接続され、ボール５８は、前記リターンガイド９８においてボール循環溝８０からガイド部１０２を介して第１及び第２ボール案内溝６０、８８へと１８０°方向変換して連続的に転動する。
　一方、本体部９２の他側面には、切欠部９４を中心として一対の保持穴１０４ａ、１０４ｂが互いに等間隔離間して形成されると共に、該保持穴１０４ａ、１０４ｂに対して幅方向外側には、長手方向に突出した位置決めピン１０６ａ、１０６ｂがそれぞれ形成される。この保持穴１０４ａ、１０４ｂは、前記本体部９２の一端面側に向かって所定深さで形成される。
　また、本体部９２の他端面は、位置決めピン１０６ａ、１０６ｂを有する部位が、保持穴１０４ａ、１０４ｂの形成される部位に対して一端面から離間する方向に突出して形成される。
　すなわち、本体部９２の他端面は、切欠部９４に隣接した中央部近傍に対して幅方向外側が一端面から離間する方向に所定高さだけ突出した段付状に形成される。
　さらに、本体部９２には、保持穴１０４ａ、１０４ｂの側部にボールクリップ８２ａ、８２ｂの一部が挿入されるクリップ溝１０８が形成される。このクリップ溝１０８は、本体部９２の他端面から下面に連続するように断面略Ｌ字状に形成され、その一端部がボール循環溝８０に連通し、他端部には、本体部９２の一端面側に向かって窪んだクリップ穴（図示せず）が形成される。なお、クリップ溝１０８は、後述するボールクリップ８２ａ、８２ｂの太さに対応した幅寸法で形成される。
　ボールクリップ８２ａ、８２ｂは、例えば、ステンレス等の金属製材料から形成された線材からなり、一直線上に形成された第１直線部１１２と、該第１直線部１１２の両端部に形成された一対の第１折曲部１１４ａ、１１４ｂとを備える。この第１折曲部１１４ａ、１１４ｂは、第１直線部１１２に対して略直交するように形成される。なお、一方の第１折曲部１１４ａと他方の第１折曲部１１４ｂとは、第１直線部１１２に対して同一方向に折曲され、且つ、互いに略平行となるように形成される。
　また、第１折曲部１１４ａ、１１４ｂの端部には、該端部からさらに略直角に折曲して互いに接近する方向に延在した係合部１１６がそれぞれ形成される。この係合部１１６は、第１直線部１１２と略平行に形成され、第１折曲部１１４ａ、１１４ｂに対して所定長さで形成される。
　さらに、ボールクリップ８２ａ、８２ｂは、一方の第１折曲部１１４ａと他方の第１折曲部１１４ｂとの長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿った離間距離が、一対のカバーブロック７８ａ、７８ｂとガイドブロック７６との長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿った長さと略同等若しくは若干だけ小さくなるように形成される。
　そして、ボールクリップ８２ａ、８２ｂは、第１直線部１１２がガイドブロック７６の下面側となるように装着され、ボール循環溝８０の内部に挿入される。詳細には、第１直線部１１２は、ボール循環溝８０においてガイドブロック７６の中心側、且つ、該ガイドブロック７６の下面に近接した部位に配置される（図７参照）。
　すなわち、この第１直線部１１２が、ボール循環溝８０においてボール５８の外周面に当接することによって該ボール５８が保持され、前記ボール５８は、前記ボール循環溝８０から離間する方向への脱落が防止された状態で該ボール循環溝８０に保持される。
　換言すれば、第１直線部１１２は、ボール循環溝８０において複数のボール５８をガイドブロック７６の長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って循環自在にガイドしている。
　また、ボールクリップ８２ａ、８２ｂは、ガイドブロック７６の両端面に一対のカバーブロック７８ａ、７８ｂがそれぞれ設けられた状態で、第１直線部１１２の両端部及び第１折曲部１１４ａ、１１４ｂが前記カバーブロック７８ａ、７８ｂのクリップ溝１０８に挿入されると共に、係合部１１６がクリップ穴にそれぞれ挿入される。これにより、ボールクリップ８２ａ、８２ｂが、ガイドブロック７６及びカバーブロック７８ａ、７８ｂに対して保持されると同時に、一対のカバーブロック７８ａ、７８ｂが、ボールクリップ８２ａ、８２ｂによって前記ガイドブロック７６を挟んで互いに引っ張られる方向に付勢されるため、前記ガイドブロック７６に当接した状態で保持される。
　すなわち、ボールクリップ８２ａ、８２ｂは、複数のボール５８をガイドブロック７６に対して保持する機能と、該ガイドブロック７６の両端部に対して一対のカバーブロック７８ａ、７８ｂを保持する機能とを兼ね備えている。
　カバークリップ８４ａ、８４ｂは、例えば、ステンレス等の金属製材料から形成された線材からなり、一直線上に形成された第２直線部１１８と、該第２直線部１１８の両端部に形成された一対の第２折曲部１２０ａ、１２０ｂとからなる。なお、カバークリップ８４ａ、８４ｂは、例えば、ボールクリップ８２ａ、８２ｂより太い線材で形成される。
　この第２折曲部１２０ａ、１２０ｂは、第２直線部１１８に対して略直交するように形成されると共に、その端部近傍には前記第２直線部１１８の延在方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に膨出した膨出部１２２を備える。なお、一方の第２折曲部１２０ａと他方の第２折曲部１２０ｂとは、第２直線部１１８に対して同一方向に折曲され、互いに略平行となるように形成される。
　膨出部１２２は、例えば、断面円弧状に形成され、一方の第２折曲部１２０ａにおける膨出部１２２と他方の第２折曲部１２０ｂにおける膨出部１２２とが互いに接近する方向に膨出している。
　また、カバークリップ８４ａ、８４ｂは、一方の第２折曲部１２０ａと他方の第２折曲部１２０ｂとの長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿った離間距離が、一対のカバーブロック７８ａ、７８ｂとガイドブロック７６との長手方向に沿った長さと略同等若しくは若干だけ小さくなるように形成される。
　カバープレート８６ａ、８６ｂは、例えば、金属製材料からなるプレートをプレス成形することによって形成され、一方及び他方のカバーブロック７８ａ、７８ｂにおける本体部９２の他側面に対してそれぞれ一対ずつ装着される。
　このカバープレート８６ａ、８６ｂは、カバーブロック７８ａ、７８ｂの他側面に対応した段付状に形成され、その一端部に形成され保持穴１０４ａ、１０４ｂに挿入される挿入部１２４と、該挿入部１２４に対してカバープレート８６ａ、８６ｂの幅方向外側となる他端部に形成されたピン孔１２６とを備える。
　挿入部１２４は、カバープレート８６ａ、８６ｂの厚さ方向において一側面側に半球状に突出し、他側面側となる内部が凹状に窪んで形成される。
　そして、カバープレート８６ａ、８６ｂは、カバーブロック７８ａ、７８ｂに装着される際、該カバープレート８６ａ、８６ｂを前記カバーブロック７８ａ、７８ｂの他端面に当接させ、ピン孔１２６に位置決めピン１０６ａ、１０６ｂを挿入すると共に、挿入部１２４を保持穴１０４ａ、１０４ｂに挿入する。これにより、一対のカバープレート８６ａ、８６ｂが、ガイドブロック７６の他端面に対して位置決めされた状態で装着される。
　また、ガイドブロック７６の両端面に一対のカバーブロック７８ａ、７８ｂが装着された状態で、前記ガイドブロック７６の上方側から装着する。この際、カバークリップ８４ａ、８４ｂの第２直線部１１８が、ガイドブロック７６の上面に当接し、且つ、突部９０に接するように配置されると共に、膨出部１２２が挿入部１２４の他側面側となる窪みにそれぞれ挿入され係合される。
　これにより、カバープレート８６ａ、８６ｂがカバーブロック７８ａ、７８ｂに当接し、該カバーブロック７８ａ、７８ｂがガイドブロック７６の端面に当接した状態で、前記カバープレート８６ａ、８６ｂ、カバーブロック７８ａ、７８ｂ及びガイドブロック７６が、一対のカバークリップ８４ａ、８４ｂによって長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に相対変位することがないように保持される。換言すれば、カバークリップ８４ａ、８４ｂは、カバープレート８６ａ、８６ｂ、カバーブロック７８ａ、７８ｂ及びガイドブロック７６を、前記ガイドブロック７６の長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に連接させた状態で保持する。
　この際、カバークリップ８４ａ、８４ｂは、その第２直線部１１８がガイドブロック７６の上方に露呈するように配置され、一方、ボールクリップ８２ａ、８２ｂは、その第１直線部１１２が前記ガイドブロック７６の下方に露呈するように配置される。
　本発明の第１の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１０は、基本的には以上のように構成されるものであり、次に前記リニアアクチュエータ１０を構成するガイド機構１６の組み付けについて説明する。
　先ず、図１０に示される状態から、ガイドブロック７６のボール循環溝８０及び第２ボール案内溝８８に複数のボール５８を装填した後、前記ガイドブロック７６の両端面にそれぞれカバーブロック７８ａ、７８ｂを当接させる。なお、この場合、第２ボール案内溝８８に装填されたボール５８は、図示しない治具等によってガイドブロック７６から脱落することがないように保持される。
　次に、一対のボールクリップ８２ａ、８２ｂをガイドブロック７６に対して接近させ、その第１直線部１１２をそれぞれ一対のボール循環溝８０内に挿入して配置した後、第１折曲部１１４ａ、１１４ｂをクリップ溝１０８に挿入すると共に係合部１１６をクリップ孔にそれぞれ挿入する。これにより、ボール循環溝８０において複数のボール５８がボールクリップ８２ａ、８２ｂの第１直線部１１２によって保持され、前記ボール５８が開口したボール循環溝８０から脱落することがない。
　また、一対のカバーブロック７８ａ、７８ｂは、一対のボールクリップ８２ａ、８２ｂの係合部１１６がクリップ孔に係合され、且つ、第１折曲部１１４ａ、１１４ｂがクリップ溝１０８に挿入されることで、それぞれガイドブロック７６側に向かって押圧される。そのため、カバーブロック７８ａ、７８ｂが、ボールクリップ８２ａ、８２ｂによってガイドブロック７６の両端面に対して保持される。換言すれば、一方のカバーブロック７８ａと他方のカバーブロック７８ｂとが、ボールクリップ８２ａ、８２ｂによって互いに接近する方向へと引張される。
　最後に、一対のカバーブロック７８ａ、７８ｂに対してそれぞれカバープレート８６ａ、８６ｂを装着する。この場合、先ず、カバープレート８６ａ、８６ｂの挿入部１２４をカバーブロック７８ａ、７８ｂの保持穴１０４ａ、１０４ｂに挿入し、ピン孔１２６に位置決めピン１０６ａ、１０６ｂを挿入することで、前記カバーブロック７８ａ、７８ｂに対して一対のカバープレート８６ａ、８６ｂがそれぞれ位置決めされる。そして、ガイドブロック７６及びカバーブロック７８ａ、７８ｂに対してボールクリップ８２ａ、８２ｂとは反対側から一対のカバークリップ８４ａ、８４ｂを接近させ、第２直線部１１８を突部９０近傍に当接させると共に、膨出部１２２を前記カバープレート８６ａ、８６ｂの挿入部１２４に対して挿入する。
　これにより、一対のカバークリップ８４ａ、８４ｂの両端部によってカバープレート８６ａ、８６ｂがそれぞれカバーブロック７８ａ、７８ｂに装着された状態で保持され、前記カバープレート８６ａ、８６ｂによってクリップ溝１０８及びクリップ孔に挿入されたボールクリップ８２ａ、８２ｂの両端部が覆われ保持される。また、カバープレート８６ａ、８６ｂ、カバーブロック７８ａ、７８ｂ及びガイドブロック７６が一体的に固定される。
　その結果、カバープレート８６ａ、８６ｂがカバーブロック７８ａ、７８ｂに当接し、該カバーブロック７８ａ、７８ｂがガイドブロック７６の端面に当接した状態で、前記カバープレート８６ａ、８６ｂ、カバーブロック７８ａ、７８ｂ及びガイドブロック７６が、一対のカバークリップ８４ａ、８４ｂによって長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に相対変位することがないように連接され一体的に保持される。
　そして、このように組み付けられたガイド機構１６を、連結ボルト２２を介してシリンダ本体１２の上部に固定する。
　以上のように、第１の実施の形態では、リニアアクチュエータ１０を構成するガイド機構１６において、一対のボールクリップ８２ａ、８２ｂを用いることで複数のボール５８をガイドブロック７６に対して循環自在に保持することができると共に、前記ガイドブロック７６の両端部に当接させた一対のカバーブロック７８ａ、７８ｂを一対のカバークリップ８４ａ、８４ｂで簡便に固定することができる。その結果、ガイドブロック７６、カバーブロック７８ａ、７８ｂ等を含むガイド機構１６を、例えば、ボルト等を用いて互いに組み付ける場合と比較し、簡便に組み付けることができると共に、構成の簡素化を図ることができる。そのため、ガイド機構１６を含むリニアアクチュエータ１０において製造工数の削減を図ることができる。
　また、ガイドブロック７６には、ボール５８の循環する貫通孔を設ける代わりに、下方に向かって開口したボール循環溝８０を形成し、該ボール循環溝８０に前記ボール５８を循環させる構成としている。そのため、前記貫通孔を形成する場合と比較し、加工工数及び加工コストの削減を図ることが可能となる。その結果、リニアアクチュエータ１０における製造コストの削減を図ることができる。
　さらに、ボールクリップ８２ａ、８２ｂは、弾性を有しているため、ガイドブロック７６及びカバーブロック７８ａ、７８ｂに装着された状態で、複数のボール５８の外周面に対して追従するように変形させることが可能であり、前記ボール５８を循環可能な状態で確実に保持することが可能である。
　また、ボールクリップ８２ａ、８２ｂは、カバーブロック７８ａ、７８ｂに形成されたクリップ溝１０８に装着されることで確実且つ簡便に位置決めされるため、前記ボールクリップ８２ａ、８２ｂを常に複数のボール５８に対して同じ位置で保持することが可能となり、前記ボール５８を安定的に保持することができる。
　さらに、カバークリップ８４ａ、８４ｂは、その膨出部１２２がカバープレート８６ａ、８６ｂの挿入部１２４に挿入され係合されることで、該カバープレート８６ａ、８６ｂに対する脱落してしまうことが防止される。その結果、カバークリップ８４ａ、８４ｂによってカバープレート８６ａ、８６ｂ、カバーブロック７８ａ、７８ｂ及びガイドブロック７６を確実且つ安定的に連結状態とすることができる。
　さらにまた、一対のカバーブロック７８ａ、７８ｂを、一対のボールクリップ８２ａ、８２ｂでガイドブロック７６に対して保持すると同時に、該ボールクリップ８２ａ、８２ｂより太い線材で形成された一対のカバークリップ８４ａ、８４ｂで前記カバーブロック７８ａ、７８ｂを保持しているため、前記カバーブロック７８ａ、７８ｂを確実且つ強固に前記ガイドブロック７６の両端面に対して固定することができる。
　またさらに、ガイドブロック７６において、ボール５８の装填されるボール循環溝８０が、シリンダ本体１２に臨む下面側に開口するように設けられているため、前記ボール５８は、ボールクリップ８２ａ、８２ｂで保持され、該ボールクリップ８２ａ、８２ｂが前記シリンダ本体１２の上面に当接することで保持される。そのため、ボールクリップ８２ａ、８２ｂの強度を大きく設定しなくとも、前記シリンダ本体１２の上面と共に前記ボール５８を確実に保持することが可能である。
　次に、上述したように組み付けられたガイド機構１６を含むリニアアクチュエータ１０の動作並びに作用効果について簡単に説明する。なお、図４及び図５に示されるように、スライドテーブル１４を構成するエンドプレート５２が、シリンダ本体１２の端面に当接した状態を初期位置として説明する。
　先ず、図示しない圧力流体供給源から圧力流体を第１ポート２６へと導入する。この場合、第２ポート２８は、図示しない切換弁の操作下に大気開放状態としておく。
　この第１ポート２６に供給された圧力流体は、一方の貫通孔３０ａへ供給されると共に、接続通路４８を通じて他方の貫通孔３０ｂへと供給され、ピストン３８をロッドホルダ４６側（矢印Ａ方向）に向かって押圧する。これにより、ピストン３８に連結されたピストンロッド４０と共に、スライドテーブル１４がシリンダ本体１２から離間する方向へと変位する。
　この際、ガイド機構１６を構成するボール５８が、スライドテーブル１４の変位に伴ってボール循環通路に沿って転動することにより、前記スライドテーブル１４が前記ガイド機構１６によって軸線方向に沿って案内される。
　そして、スライドテーブル１４の一端部に設けられたストッパボルト７２の端部が、ガイド機構１６を構成するガイドブロック７６の端面に当接することにより、前記スライドテーブル１４の変位が停止した変位終端位置となる。
　このストッパ機構１８は、ロックナット７４を緩め、ストッパボルト７２の進退動作を可能とした後、該ストッパボルト７２を螺回させてホルダ部６４の端面からの突出量を調整することにより、スライドテーブル１４の変位量を調整することが可能である。
　一方、上述した変位終端位置からスライドテーブル１４を前記とは反対方向に変位させる場合には、第１ポート２６に供給されていた圧力流体を第２ポート２８に対して供給すると共に、前記第１ポート２６を大気開放状態とする。これにより、第２ポート２８から一対の貫通孔３０ａ、３０ｂへと供給された圧力流体によってピストン３８がロッドホルダ４６から離間する方向（矢印Ｂ方向）へと変位し、該ピストン３８と共にピストンロッド４０を介してスライドテーブル１４がシリンダ本体１２に接近する方向へと変位する。そして、スライドテーブル１４を構成するエンドプレート５２に設けられたダンパ７０が、シリンダ本体１２の端面に当接することにより初期位置へと復帰する。
　なお、上述したガイド機構１６では、複数のボール５８及び一対のカバーブロック７８ａ、７８ｂを保持するためのボールクリップ８２ａ、８２ｂと、前記カバーブロック７８ａ、７８ｂ及びカバープレート８６ａ、８６ｂを保持するためのカバークリップ８４ａ、８４ｂとをそれぞれ備える構成としているが、この構成に限定されるものではなく、例えば、カバープレート８６ａ、８６ｂ及びカバークリップ８４ａ、８４ｂを設けることなく、ボールクリップ８２ａ、２８２ｂのみで前記ボール５８と共にカバーブロック７８ａ、７８ｂを保持する構成としてもよい。この場合には、ガイド機構１６の部品点数及び組み付け工数の削減を図ることができる。
　次に、第２の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１５０を図１１及び図１２に示す。なお、上述した第１の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１０と同一の構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明を省略する。
　この第２の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１５０では、図１１及び図１２に示されるように、シリンダ本体１２及びガイド機構１６において、例えば、グリス等の潤滑油をボール循環溝８０のボール５８へと供給可能な潤滑油供給部１５２を備えている点で、第１の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１０と相違している。
　この潤滑油供給部１５２は、例えば、シリンダ本体１２の上面に形成され、該シリンダ本体１２の長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）と直交方向に延在した第１供給溝１５４と、前記第１供給溝１５４と連通し、ガイド機構１６を構成するガイドブロック７６の下面に形成された第２供給溝１５６とからなる。
　この第１供給溝１５４は、例えば、複数（４本）設けられ、シリンダ本体１２の長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って所定間隔離間して配置されると共に、前記シリンダ本体１２の凹部２０を中心とした両側にそれぞれ形成される。そして、第１供給溝１５４は、シリンダ本体１２の上面に対して所定深さだけ窪んで形成され、シリンダ本体１２の両側面からガイドブロック７６のボール循環溝８０に臨む位置まで延在している。
　第２供給溝１５６は、第１供給溝１５４と同様に複数設けられ、ガイドブロック７６の長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）と直交して延在し、ガイド機構１６がシリンダ本体１２に組み付けられた際に、前記第１供給溝１５４と一直線状となるように形成される。また、第２供給溝１５６は、ガイドブロック７６の両側面から一対のボール循環溝８０まで延在し、その端部が前記ボール循環溝８０内に装填されたボール５８と対峙するように形成される。
　そして、図示しない潤滑油供給手段（例えば、グリス注入具）で第１供給溝１５４の端部から潤滑油をそれぞれ給油することにより、前記潤滑油が前記第１供給溝１５４に沿ってガイド機構１６側へと導かれると共に、該潤滑油の一部が前記第１供給溝１５４から第２供給溝１５６へと導かれる。これにより、潤滑油がボール循環溝８０の内部に供給され、複数のボール５８を潤滑する。
　すなわち、潤滑油供給部１５２に潤滑油を定期的に供給することで、簡便且つ確実に複数のボール５８の潤滑を行うことができ、前記ボール５８を円滑に循環させることによりスライドテーブル１４を円滑に変位させることが可能であり、しかも、前記ボール５８の耐久性を向上させることが可能となる。
　また、ボール５８の潤滑を行う際に、リニアアクチュエータ１５０を分解することなく潤滑油供給部１５２を介して簡便に行うことができるため、前記リニアアクチュエータ１５０におけるメンテナンス性の向上を図ることができる。
　さらに、ガイドブロック７６において、ボール５８の装填されるボール循環溝８０が、シリンダ本体１２に臨む下面側に開口しているため、前記シリンダ本体１２の上面側に第１供給溝１５４を設けることで、簡便に潤滑油を前記ボール循環溝８０へと供給することが可能となる。
　さらにまた、上述した構成を有するガイド機構１６は、第１及び第２の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１０、１５０のように、シリンダ本体１２に供給される圧力流体によって変位するシリンダ機構４２を有し、前記シリンダ機構４２及びガイド機構１６を介してスライドテーブル１４を駆動させる流体圧シリンダに用いられる場合に限定されるものではない。例えば、上述したガイド機構１６を備え、モータ等の駆動源によってスライドテーブル１４をシリンダ本体１２に沿って変位させる電動アクチュエータに適用するようにしてもよい。
　次に、第３の実施の形態に係るリニアアクチュエータ２００を図１３～図１９に示す。なお、上述した第１の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１０と同一の構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明を省略する。
　このリニアアクチュエータ２００は、一対の直線部２０４ａ、２０４ｂを有してボール５８を保持可能なボールクリップ２０２ａ、２０２ｂを備え、且つ、カバープレート８６ａ、８６ｂを廃止したガイド機構２０６を用いている点で、第１の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１０と相違している。
　このガイド機構２０６は、図１３～図１６に示されるように、幅広扁平状のガイドブロック７６と、該ガイドブロック７６の両端部に設けられる一対のカバーブロック２０８ａ、２０８ｂと、前記ガイドブロック７６の長手方向に沿って循環する複数のボール５８と、前記ボール５８を前記ガイドブロック７６のボール循環溝８０に保持する一対のボールクリップ２０２ａ、２０２ｂと、前記カバーブロック２０８ａ、２０８ｂを前記ガイドブロック７６に対して保持する一対のカバークリップ８４ａ、８４ｂとを含む。
　ボールクリップ２０２ａ、２０２ｂは、図１７に示されるように、例えば、ステンレス等の金属製材料から形成された線材からなり、一直線上に形成され、且つ、略平行に形成された一対の直線部２０４ａ、２０４ｂと、該直線部２０４ａ、２０４ｂの一端部同士を接続する接続部２１０と、前記直線部２０４ａ、２０４ｂの他端部に形成された折曲部２１２ａ、２１２ｂとを含む。
　直線部２０４ａ、２０４ｂは、例えば、ボール循環溝８０の幅寸法と略同一の間隔で離間して設けられると共に、長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿った長さが、一対のカバーブロック２０８ａ、２０８ｂとガイドブロック７６との長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿った長さと略同等若しくは若干だけ小さくなるように形成される。
　接続部２１０は、一方の直線部２０４ａにおける一端部と、他方の直線部２０４ｂにおける一端部とを接続するように断面略Ｕ字状に形成され、前記直線部２０４ａ、２０４ｂの長手方向と直交するように形成される。
　折曲部２１２ａ、２１２ｂは、直線部２０４ａ、２０４ｂの他端部に対して端部が一端部側（矢印Ａ方向）となるように折曲され形成される。なお、一方の折曲部２１２ａと他方の折曲部２１２ｂとは、互いに略平行となるように形成される。このボールクリップ２０２ａ、２０２ｂは、例えば、単一の線材をプレス成形等によって折り曲げることによって形成される。
　カバーブロック２０８ａ、２０８ｂは、ガイドブロック７６の一端部及び他端部側にそれぞれ設けられ、その本体部には、前記ガイドブロック７６のボール循環溝８０と一直線状となる位置にそれぞれ第１クリップ溝２１４が形成されると共に、前記第１クリップ溝２１４に対して円弧部側となる位置には、カバークリップ８４ａ、８４ｂの係合される一対の第２クリップ溝２１６が形成される。
　第１クリップ溝２１４は、カバーブロック２０８ａ、２０８ｂの端面に対してガイドブロック７６側へと窪み、その上部が前記ガイドブロック７６側に向かうように傾斜して形成される。すなわち、図１８に示されるように、第１クリップ溝２１４は、下端部から上端部に向かってガイドブロック７６側へと所定角度だけ傾斜するように形成される。
　この第１クリップ溝２１４は、所定間隔離間して上方に向かって延在し、その間には、ボールクリップ２０２ａ、２０２ｂの接続部２１０が係合される凸部２１８が設けられる。凸部２１８は、例えば、上端部が半円状に形成され、前記第１クリップ溝２１４に対して所定高さでカバーブロック２０８ａ、２０８ｂの端面側に突出している。
　第２クリップ溝２１６は、その上方が第１クリップ溝２１４から離間する方向に傾斜してそれぞれ形成され、カバークリップ８４ａ、８４ｂの第２折曲部１２０ａ、１２０ｂがそれぞれ挿入され係合される。
　そして、ガイド機構２０６においてボールクリップ２０２ａ、２０２ｂ、カバークリップ８４ａ、８４ｂを装着する際には、先ず、ボール循環溝８０が上方となるようにガイドブロック７６を載置し、該ボール循環溝８０に複数のボール５８を装填した状態で、ボールクリップ２０２ａ、２０２ｂの直線部２０４ａ、２０４ｂを前記ボール５８の外周面に当接するようにボール循環溝８０の開口部２２０へと載置する（図１９参照）。
　次に、ガイドブロック７６の両端部にそれぞれカバーブロック２０８ａ、２０８ｂを配置し、第２クリップ溝２１６にそれぞれカバークリップ８４ａ、８４ｂの第２折曲部１２０ａ、１２０ｂを係合させることにより、一対のカバーブロック２０８ａ、２０８ｂがガイドブロック７６の両端部に保持され、同時に、ボールクリップ２０２ａ、２０２ｂの接続部２１０を、一方のカバーブロック２０８ａにおける凸部２１８に係合させ、折曲部２１２ａ、２１２ｂを、他方のカバーブロック２０８ｂにおける第１クリップ溝２１４へと係合させる。
　これにより、ボールクリップ２０２ａ、２０２ｂが、接続部２１０及び折曲部２１２ａ、２１２ｂを介して一対のカバーブロック２０８ａ、２０８ｂに保持され、直線部２０４ａ、２０４ｂによって複数のボール５８がボール循環溝８０内に保持された状態となり、ガイド機構２０６に対して一対のボールクリップ２０２ａ、２０２ｂ及びカバークリップ８４ａ、８４ｂが組み付けられた状態となる。
　以上のように、第３の実施の形態に係るリニアアクチュエータ２００では、上述した第１の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１０で用いられていたカバープレート８６ａ、８６ｂが不要となるため、部品点数を削減して小型軽量化を図ることができると共に、組付工数の削減を図ることにより、製造性の向上を図ることができ、しかも、製造コストの削減も可能となる。
　また、ガイドブロック７６のボール循環溝８０に装填されるボール５８を、一対の直線部２０４ａ、２０４ｂで該ボール５８の進行方向に沿って移動可能に保持できるため、前記ボール５８を確実に保持でき、前記ボール循環溝８０からの脱落を確実に防止できる。さらに、ボール５８を、一対の直線部２０４ａ、２０４ｂで保持することで、例えば、１本の直線部でボール５８をボール循環溝８０に対して保持する場合と比較し、前記ボール５８の摺動抵抗を低減できるため、スライドテーブル１４を移動させる際に、前記ボール５８をボール循環溝８０に沿ってより一層円滑に転動させることができる。
　さらに、ボールクリップ２０２ａ、２０２ｂによってボール循環溝８０内のボール５８を確実に保持できるため、前記ボール循環溝８０の開口部２２０を大きく形成することが可能となり、例えば、該ボール循環溝８０を有したガイドブロック７６を引抜加工や鍛造等によって形成する場合の製造性を向上させることができる。
　また、上述したボールクリップ２０２ａ、２０２ｂは、図１７に示されるような線材から形成される場合に限定されるものではなく、図２０に示される変形例に係るボールクリップ２３０のように、例えば、金属製材料や樹脂製材料からなる板材をプレス成形することで形成するようにしてもよい。
　このボールクリップ２３０は、所定幅を有して長手方向に延在し、ボール５８を保持するボール保持部２３２と、前記ボール保持部２３２の両端部に形成され、略直角に折曲した一対の折曲部２３４ａ、２３４ｂとを備える。ボール保持部２３２は、例えば、平板状に形成され、その中央部にはグリス等の潤滑油が充填される充填溝２３６が形成される。充填溝２３６は、ボール保持部２３２の長手方向に沿って互いに離間するように複数設けられ、該ボール保持部２３２の表面に対して所定深さで窪んで形成される。
　折曲部２３４ａ、２３４ｂは、その上端部が断面半円状に形成され、中央に係合孔２３８が形成されたフレーム状に形成される。なお、折曲部２３４ａ、２３４ｂは、ボール保持部２３２と略同一の幅寸法で形成される。
　そして、上述したボールクリップ２３０をガイドブロック７６、カバーブロック２０８ａ、２０８ｂに装着する際、前記ガイドブロック７６のボール循環溝８０にボール５８を装填した状態で、ボール保持部２３２の表面、すなわち、充填溝２３６側の面を前記ボール５８に臨むように配置した後、折曲部２３４ａ、２３４ｂをそれぞれカバーブロック２０８ａ、２０８ｂの第１クリップ溝２１４２１６に挿入すると共に、係合孔２３８を凸部２１８に対して係合させる。
　これにより、ボールクリップ２３０が、一対の折曲部２３４ａ、２３４ｂを介して一対のカバーブロック２０８ａ、２０８ｂに保持され、ボール保持部２３２によって複数のボール５８がボール循環溝８０内に保持された状態となり、しかも、潤滑油の充填された充填溝２３６が複数のボール５８に臨む位置に配置されるため、前記ボール循環溝８０に沿ってボール５８が転動する際に、潤滑油によって好適に潤滑がなされる。
　このように、板材をプレス成形することでボールクリップ２３０を形成することにより、製造コストを削減できると共に、製造性を向上させることができる。また、ボール保持部２３２を平板状とすることで、潤滑油を充填可能な充填溝２３６を形成することが可能となり、ボール５８の潤滑機能を持たせることができる。
　なお、本発明に係るリニアアクチュエータは、上述の実施の形態に限らず、本発明の要旨を逸脱することなく、種々の構成を採り得ることはもちろんである。

Claims (12)

  1. 　シリンダ本体（１２）の軸線方向に沿ってスライドテーブル（１４）を往復動作させるリニアアクチュエータ（１０、１５０、２００）において、
    　前記シリンダ本体（１２）に取り付けられ、複数の転動体（５８）が循環する循環溝（８０、８８）の形成されたガイドブロック（７６）と、前記ガイドブロック（７６）の端部に設けられるカバー部材（７８ａ、７８ｂ、２０８ａ、２０８ｂ）とを有し、前記スライドテーブル（１４）を前記シリンダ本体（１２）の軸線方向に沿って案内するガイド機構（１６、２０６）と、
    　前記ガイドブロック（７６）に装着され、前記循環溝（８０）内に前記転動体（５８）を循環自在に保持すると共に、前記カバー部材（７８ａ、７８ｂ、２０８ａ、２０８ｂ）を前記ガイドブロック（７６）に対して保持する保持手段と、
    　を備え、
    　前記循環溝（８０）は、前記ガイドブロック（７６）において長手方向に沿って開口して形成されると共に、前記保持手段は、前記ガイドブロック（７６）に対して着脱自在に設けられることを特徴とするリニアアクチュエータ。
  2. 　請求項１記載のリニアアクチュエータにおいて、
    　前記保持手段は、前記転動体（５８）を保持する保持部材（８２ａ、８２ｂ、２０２ａ、２０２ｂ、２３０）を備え、前記保持部材（８２ａ、８２ｂ、２０２ａ、２０２ｂ、２３０）は、前記循環溝（８０）に沿って延在し前記転動体（５８）を保持する転動体保持部（１１２、２０４ａ、２０４ｂ、２３２）と、前記転動体保持部（１１２、２０４ａ、２０４ｂ、２３２）に対して折曲して前記カバー部材（７８ａ、７８ｂ、２０８ａ、２０８ｂ）を保持するカバー保持部（１１４ａ、１１４ｂ、２１０、２１２ａ、２１２ｂ、２３４ａ、２３４ｂ）とを有することを特徴とするリニアアクチュエータ。
  3. 　請求項２記載のリニアアクチュエータにおいて、
    　前記循環溝（８０）は、前記シリンダ本体（１２）側に向かって開口していることを特徴とするリニアアクチュエータ。
  4. 　請求項２記載のリニアアクチュエータにおいて、
    　前記保持手段は、前記保持部材（８２ａ、８２ｂ、２０２ａ、２０２ｂ、２３０）と共に前記カバー部材（７８ａ、７８ｂ、２０８ａ、２０８ｂ）を前記ガイドブロック（７６）の端部に保持する別の保持部材（８４ａ、８４ｂ）を備えることを特徴とするリニアアクチュエータ。
  5. 　請求項４記載のリニアアクチュエータにおいて、
    　前記別の保持部材（８４ａ、８４ｂ）は、前記ガイドブロック（７６）に沿って延在する直線部（１１８）と、
    　前記直線部（１１８）に対して折曲し、前記カバー部材（７８ａ、７８ｂ、２０８ａ、２０８ｂ）を保持する一組のカバー保持部（１２０ａ、１２０ｂ）とを有することを特徴とするリニアアクチュエータ。
  6. 　請求項１記載のリニアアクチュエータにおいて、
    　前記シリンダ本体（１２）には、前記循環溝（８０）に潤滑油を供給する潤滑油供給部（１５２）が設けられることを特徴とするリニアアクチュエータ。
  7. 　請求項６記載のリニアアクチュエータにおいて、
    　前記潤滑油供給部（１５２）は、前記シリンダ本体（１２）の外部に露呈し、前記循環溝（８０）に臨む部位まで延在する供給溝（１５４、１５６）であることを特徴とするリニアアクチュエータ。
  8. 　請求項２記載のリニアアクチュエータにおいて、
    　前記転動体保持部（２０４ａ、２０４ｂ）は、互いに離間して平行に一対設けられ、前記循環溝（８０）の開口部（２２０）に設けられ、前記循環溝（８０）の延在方向に沿って配置されることを特徴とするリニアアクチュエータ。
  9. 　請求項２記載のリニアアクチュエータにおいて、
    　前記保持部材（８２ａ、８２ｂ、２０２ａ、２０２ｂ）は、線材を折曲させることで形成されることを特徴とするリニアアクチュエータ。
  10. 　請求項２記載のリニアアクチュエータにおいて、
    　前記保持部材（２３０）は、板材をプレス成形することで形成されることを特徴とするリニアアクチュエータ。
  11. 　請求項８記載のリニアアクチュエータにおいて、
    　前記保持部材（２３０）は、前記転動体保持部（２３２）が平面状に形成され、該前記転動体保持部（２３２）には、潤滑油の充填される充填部（２３６）が形成されることを特徴とするリニアアクチュエータ。
  12. 　請求項１１記載のリニアアクチュエータにおいて、
    　前記充填部（２３６）は、前記転動体保持部（２３２）において前記転動体（５８）に臨む位置に設けられることを特徴とするリニアアクチュエータ。
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