WO2012045772A1 - Optoelektronisches halbleiterbauelement und verfahren zu seiner herstellung - Google Patents

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WO2012045772A1
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phosphor
optoelectronic semiconductor
ceramic
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Angela Eberhardt
Roland Hüttinger
Reinhold Schmidt
Stefan Kotter
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Osram Ag
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    • H01L33/644—Heat extraction or cooling elements in intimate contact or integrated with parts of the device other than the semiconductor body

Definitions

  • the invention is based on an optoelectronic semiconductor component according to the preamble of claim 1, in particular a conversion LED. It also describes an associated manufacturing process.
  • WO 2006/122524 describes a luminescence conversion LED which uses a phosphor which is embedded in glass.
  • An object of the present invention is, in an optoelectronic semiconductor device according to the preamble of claim 1 an improved solution for the Problem of heat dissipation at the conversion element to ⁇ admit. Another object is to provide for a producible information model.
  • the present invention solves the following problem: improved efficiency and lifetime of the LED by increased heat dissipation of the conversion element by replacement of the organic material (plastic) by glass and ceramic or glass ceramic, which have better thermal conductivity and UV resistance.
  • a modified approach of a separate conversion element which is structured is used: use of a thin transparent or translucent ceramic or glass-ceramic foil as substrate or carrier material.
  • the thickness of the carrier film is in the range> 1 ⁇ to ⁇ 100 ⁇ , preferably ⁇ 3 ⁇ to ⁇ 50 ⁇ , in particular ⁇ 5 ⁇ to ⁇ 20 ⁇ .
  • This film can, for. B. produced by doctor Blade method and then thermally sintered. Subsequently, a thin compact and relatively low-bubble glass layer is laminated to the film. The importance of a low-bubble layer lies in its reduced scattering effect.
  • low-bubble means, in particular, that the proportion of bubbles in the glass layer is at most 10% by volume, preferably at most 5% by volume, particularly preferably at most 1% by volume. Due to the temperature control at the manu This parameter can be set specifically for the glass matrix. The higher the temperature, the less bubbles the glass layer becomes. The sinking of the phosphor is carried out by comparison, at significantly lower temperatures to damage the phosphor to avoid mög ⁇ lichst.
  • the thickness of the glass layer is ⁇ 200 ⁇ , preferably ⁇ 100 ⁇ , in particular ⁇ 50 microns, but at least as high as the largest phosphor particles.
  • This layer can, for. B. by screen printing of glass powder with subsequent glazing or by applying molten glass are applied directly to the film.
  • Al 2 O 3 , YAG, AlN, A10N, SiAlON or a glass ceramic is preferably suitable as the material for the substrate.
  • a material for the glass layer is preferably a low-melting glass, preferably lead-free or lead poor, with a He ⁇ softening temperature ⁇ 500 ° C, preferably 350 to 480 ° C, as described for example in DE 10 2010 009 456.0.
  • this system forms a laminate.
  • the laminate coated with phosphor is then heated to such an extent (in particular, the temperature is at most at the so-called hemisphere point of the glass, in particular special of the Gla ⁇ ses) that the glass only slightly softened at least the softening temperature of at least Tg of the glass, especially before ⁇ Trains t and the light ⁇ material sinks into the glass layer and surrounded it.
  • the advantage of sinking is that only low temperatures are required and thus the phosphor is not damaged. In the case of the glass from DE 10 2010 009 456.0 this is a temperature of at most 350 ° C.
  • Suitable luminescent materials are in principle all known phosphors suitable for LED conversion or mixtures of phosphors, in particular garnets, nitridosilicates, orthosilicates, sions, sialones, calsines, etc.
  • the substrate As a further alternative, it is possible to choose the substrate as a very thin film of ceramic or glass ceramic and then to infiltrate with glass. Compared to the two aforementioned examples, the substrate must be only lightly sintered into the sem ⁇ case, this is the Reduced sintering temperature compared to a "more compact" sintering or shortening the sintering time, ie only so high that the particles of the ceramic are fixed together and many pores remain, so a porous body is formed.
  • the porosity is in the range between 30-70% by volume
  • a thin glass layer thicker than at least 1 ⁇ m and at most 200 ⁇ m thick is applied directly and then heated to a temperature which corresponds at least to the pour point of the glass, preferably at most to the refining temperature of the glass that the glass is very thin liquid and is drawn by capillary action into the porous film which constitutes the substrate.
  • the glass is preferably a low-melting glass, before ⁇ preferably lead-free or bleiarm, with a Softening ⁇ temperature of at most 500 ° C as described for example in DE 10 2010 009 456.0
  • the temperatures for infiltration in this case are at least 400 ° C., preferably at least 500 ° C.
  • the then applied to the substrate phosphor is allowed at relatively low temperatures of at least 50 ° C, preferably at higher temperatures, ie at a temperature which corresponds at most to the hemisphere point of the glass in the substrate, more precisely in the glass contained in the pores, sink.
  • temperatures of at least 50 ° C, preferably at higher temperatures, ie at a temperature which corresponds at most to the hemisphere point of the glass in the substrate, more precisely in the glass contained in the pores, sink.
  • this is a temperature of at most 350 ° C.
  • a thin glass layer, in which the phosphor sinks remains on the surface of the film in a first exemplary embodiment. In this case, the adhesion is much more robust than with a laminate.
  • a glass ⁇ shot at the film surface is not given, the phosphor blend of the substrate is lowered into the surface structure of the glass-ceramic.
  • the conversion element can be attached to the chip either with an inorganic adhesive such as a low melting glass or an inorganic sol-gel as well as with organic adhesive such as silicone or also an organic sol-gel. It can also be used as a "remote phosphor", ie away from the chip.
  • an inorganic adhesive such as a low melting glass or an inorganic sol-gel as well as with organic adhesive such as silicone or also an organic sol-gel. It can also be used as a "remote phosphor", ie away from the chip.
  • the glass of the substrate used, in particular of the laminate, low ⁇ melting and simultaneously serves as an inorganic Kle ⁇ over between the conversion element and chip.
  • Such glass is, for example, in DE 10 2010 009 456.0 ⁇ be written and allows sinking of the phosphor and a bonding chip and conversion element at temperatures ⁇ 350 ° C.
  • the glass in this case faces the chip.
  • the film may be coated on both sides with glass and possibly with phosphor on one or both sides. The application of the glass ge ⁇ z. B. by immersion, so-called. Dipping, the film in the molten glass. Subsequently, the phosphor coating and the sinking of the phosphor into the glass at low temperatures, possibly in two steps.
  • the substrate, in particular laminate can also be a sand ⁇ more, that is, the glass layer with the sunken phosphor is located between two sheets, which consist of the same or of different materials, and one or both sides are coated with glass.
  • the glass material can be chosen differently.
  • the glass a high refractive index (preferably n> 1.8), in particular the refractive index of the glass is similar to the refractive index of the embedded phosphor ⁇ component or components and the phosphor chosen to be similar to the ceramic / glass-ceramic.
  • the ceramic or glass ceramic foil may be facing or facing away from the chip. In the latter case, the ceramic also has a light-scattering effect.
  • the latter depends inter alia on the particle size of the particles contained in the ceramic or glass ceramic and can sometimes be influenced by the temperature treatment ⁇ ment.
  • the particle size is typically ⁇ 60 ⁇ , preferably ⁇ 40 ⁇ , particularly preferably be ⁇ 30 ⁇ . They should be at least 1 nm, more preferably we ⁇ ssens 5 nm, more preferably be at least 10 nm, for many applications is a minimum value of 100 nm suffi ⁇ accordingly.
  • a set of conversion elements, and in particular laminate base produced as a larger part in ei ⁇ nem operation and then cut into smaller pieces, the actual conversion elements.
  • the thickness of the glass layer with the sunken Leucht ⁇ material should preferably be ⁇ 200 ⁇ , preferably ⁇ 100 ⁇ , in particular ⁇ 50 ⁇ .
  • the thickness of the glass layer is at least as high as the largest luminous material particles of the phosphor powder used, and in particular ⁇ sondere at least twice as thick.
  • Suitable glass matrix are, for example, phosphate glasses and borate glasses, in particular alkali phosphate glasses, aluminum phosphate glasses, zinc phosphate glasses, phosphotellurite glasses, bismuth borate glasses, zinc borate glasses and zinc bismuth borate glasses.
  • ZnO-Bi 2 03 B-2 03 also in conjunction with Si0 2 and / or alkali and / or alkaline earth oxide and / or Al 2 03 such as ZnO-Bi 2 0 3 -B 2 0 3 -Si0 2 or ZnO Bi 2 O 3 -B 2 O 3 -BaO-SrO-SiO 2 ; ZnO-B 2 0 3i also in conjunction with Si0 2 and / or alkali and / or alkaline earth metal oxide and / or A1 2 0 3 such as ZnO-B 2 0 3 - Si0 2 ;
  • Bi 2 03-B 2 03 also in conjunction with Si0 2 and / or Alkakl and / or alkaline earth oxide and / or Al 2 O 3 such as Bi 2 03-B 2 0 Si0 2 .
  • the carrier film may consist of a ceramic such as Al 2 O 3 , YAG, AlN, A10N, SiAlON, etc. or a glass ceramic.
  • the thickness of the carrier film is preferably in the range of ⁇ 100 ⁇ , preferably ⁇ 50 ⁇ , in particular ⁇ 20 ⁇ . But it should be at least 1 ⁇ , better 3 ⁇ , preferably min ⁇ least 5 ⁇ thick.
  • the crystals contained in the glass ceramic can be excited to fluorescence even by exciting the primary emission of the chip and thus contributing to the conversion.
  • a well-known example is YAG: Ce.
  • the ceramic film contains a phosphor such.
  • B. YAG: Ce or it consists partially or completely of this.
  • a thin, low-bubble glass layer is laminated to the ceramic film, whereupon a separate phosphor is applied. This sinks by a subsequent slight warming in the glass.
  • the applied separate phosphor can usually be another phosphor whose emission lies in a different spectral range than that of the yellow-emitting YAG: Ce.
  • the separate phosphor is a red emitting phosphor, which produces warm white light with a blue emitting chip and the yellow emitting ceramic. By selecting the proportion of white ⁇ further phosphor, the color of the LED can be controlled.
  • an identical or similar phosphor as the phosphor already introduced in the ceramic of the substrate additionally in the glass layer is brought to compensate, for example, a chip-based Farbort ⁇ fluctuation (drift).
  • a chip-based Farbort ⁇ fluctuation drift
  • oxidic particles such as, for example, Al 2 O 3 , TiO 2 , ZrC> 2 may also be added to the phosphor as a scattering agent.
  • two ceramics which already contain the phosphor are thinly coated with glass.
  • the glassy layer ei ⁇ nes of the two ceramic plates is then coated with phosphor, which sinks into this after a temperature treatment.
  • Following the glassy surfaces of the two ceramic plates are placed on each other and glued together in a further temperature step.
  • the color location of the two ceramic plates differs from that of the sunken phosphor.
  • only one ceramic plate is thinly coated with glass and then glued at a temperature treatment with the other ceramic plate.
  • the ceramic film As a substrate with glass on both sides, so that it is also possible to apply phosphor on both sides with the same or different emission.
  • a glass ceramic as a substrate.
  • the conversion element consists of a combination of glass and substrate, namely ceramic or glass ceramic, wherein a phosphor is embedded in glass.
  • the glass matrix can u. U. simultaneously serve as an adhesive for the composite of chip and conversion element.
  • the glass used should be compact, ie melted and low in bubbles.
  • the substrate, whether ceramic or glass ceramic can also serve as a light-scattering element and is at least translucent.
  • the substrate, whether ceramic or glass ceramic can also contain or consist of phosphor itself.
  • the optoelectronic semiconductor component may be an LED or else a laser.
  • An optoelectronic semiconductor device with a light source, a housing and electrical An circuits ⁇ , wherein the light source comprises a chip on ⁇ , the primary radiation in the UV or blue emitted whose peak wavelength is 300 to 490 nm, in particular in the area, where the primary radiation partially or is completely converted by a front thereof ⁇ mounted conversion element in radiation of a different wavelength, characterized in ⁇ net that the conversion element has a translucent or transparent substrate is made of Kera ⁇ mik or glass-ceramic, wherein the sub ⁇ strat applied to a glass matrix is, in which a phosphor is embedded.
  • the optoelectronic semiconductor device according to claim 1. ⁇ , characterized in that the Glasmat ⁇ rix is applied as a layer on the substrate.
  • the optoelectronic semiconductor device according to claim 1. ⁇ , characterized in that the substrate has pores into which the glass matrix is at least partially introduced.
  • the optoelectronic semiconductor device according to claim 1. ⁇ , characterized in that the substrate and the glass matrix form a laminate.
  • the optoelectronic semiconductor device according to claim 1. ⁇ , characterized in that the Glasmat ⁇ rix simultaneously serves as an adhesive for a composite of chip and conversion element or for a combination of two conversion elements.
  • the optoelectronic semiconductor device according to claim 1. ⁇ , characterized in that the Glasmat ⁇ rix free of bubbles or substantially free of bubbles.
  • the optoelectronic semiconductor device according to claim 1. ⁇ , characterized in that the substrate itself is partly or fully fluorescent.
  • the optoelectronic semiconductor device according to claim 1. ⁇ , characterized in that the substrate is acted upon on both sides with a glass matrix.
  • a method according to claim 10 characterized in that in the second step, a glass layer is laminated, in particular either by Siebdru ⁇ ck glassy powder with subsequent glazing or by mounting molten glass directly onto the substrate.
  • a glass layer is laminated, which is already provided with phosphor, in particular by screen printing of glassy powder which has been previously mixed with phosphor powder, followed by glazing.
  • Figure 1 shows a conversion LED according to the prior art
  • FIG. 2 shows an LED with a novel converter element
  • Figure 8 shows a substrate with pores and contained therein
  • FIG. 1 shows as a semiconductor component a conversion LED 1 which uses a chip 2 of the type InGaN as the primary radiation source. It has a housing 3 with a boar ⁇ rd 4, on which the chip is seated, and a reflector 5. The chip is preceded by a conversion element 6, which partly konver ⁇ the blue radiation by means of a phosphor, such as YAG: Ce, in longer wavelength radiation ⁇ advantage.
  • the conversion element 6 is platelet-shaped according to the prior art and has a silicone bed in which phosphor powder is dispersed. The electrical connections are not shown, they correspond übli ⁇ cher technology.
  • FIG. 2 shows a first exemplary embodiment according to the invention.
  • the conversion element 6 used is a substrate 7 made of Al 2 O 3, which is translucent and is shaped as a foil in the manner of a platelet.
  • a thin glass layer 8 is applied, in the sense of a matrix. In this phosphor particles are distributed, which are sunk into the glass matrix and are completely covered by this.
  • Glass layer 8 and substrate 7 form a laminate, wherein the side of the substrate on which the glass matrix is applied, the chip 2 faces, or is also facing away.
  • the conversion element is attached by means of known ⁇ adhesive on the chip (not provided DAR).
  • FIG. 3 shows an embodiment of an LED 1, in which the film of ceramic or glass ceramic, which acts as a substrate 7, is sintered only briefly at low temperature. That's why she has many open pores. The glass matrix fills these pores. By using an excess of glass, a thin layer 11 of glass also remains on the surface of the substrate. The phosphor is dispersed in the glass matrix both in the region of the thin layer 11 and in the region of the pores.
  • FIG. 8 shows a similar configuration in detail without layer 11. There, the substrate 7 with open pores 12 is shown. Into the pores, the glass matrix 10 is sucked in. Phosphor grains 13 are dispersed in the glass matrix.
  • FIG. 4 schematically shows an exemplary embodiment of an LED 1, in which the substrate 7 is connected via a conventional adhesive layer (not shown separately) to the InGaN chip 2, which emits blue (peak at approximately 440 to 450 nm).
  • the glass matrix 8 with the phosphor immersed therein is fastened on the side of the substrate 7 facing away from the chip.
  • the Kle ⁇ be Mrs conventional is usually silicone. It is used when re ⁇ tively temperature-sensitive chips are used. For less temperature sensitive chips, an adhesive layer of high refractive index glass is more advantageous. Because then the heat dissipation is better and the Lichtauskopp ⁇ ment is higher. This increases efficiency.
  • FIG. 5 schematically shows an exemplary embodiment of an LED 1 in which a double structure of the conversion element 6, 16 is used.
  • a first layer 8 with glass matrix and first phosphor preferably a red-emitting phosphor such as a nitridosilicate M2Si5N8: Eu
  • first substrate 7 which in turn is connected to a second glass matrix 8
  • second Substrate 7 is connected.
  • the glass matrix 8 acts in each case as an adhesive.
  • Particularly suitable phosphors are YAG: Ce or another garnet, orthosilicate or sione, nitridosilicate, sialon, calsine, etc.
  • FIG. 6 shows an embodiment of an LED 1, which is a conversion element 6 spaced upstream of the chip 2 before ⁇ connected.
  • the side wall 5 of the hous ⁇ ses which acts as a reflector, for example by the inner wall is suitably coated, at its end the conversion element 6.
  • the glass matrix 8 acts as an adhesive to the side wall, the substrate 7 is remote from the chip.
  • the conversion element 6 closes the opening of the reflector.
  • FIG. 7 shows an exemplary embodiment of an LED 1 in which a conversion element 6 has a sandwich structure. It uses a UV emitting chip 2 with about 380 nm peak wavelength.
  • a first glass matrix 8 adheres directly to the chip 2, in which a first phosphor is dispersed, for example a red, UV-excitable light source.
  • Embodiments of a converter for the conversion of the UV component into blue light are z.
  • An embodiment of a Kon ⁇ converter for the conversion of the UV component in yellow light is z , B. (Sri- x - y Ce x Li y ) 2 Si 5 N 8 .
  • x and y are each in the range of 0.1 to 0.01.
  • Exemplary embodiments of a converter for the conversion of the UV component into red light are z.

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Abstract

Das optoelektronisches Halbleiterbauelement verwendet einen Leuchtstoff, der auf einem Konversionselement aufgebracht ist. Das Konversionselement weist ein Substrat aus Keramik auf, das mit einer Glasmatrix beaufschlagt ist.

Description

Titel: Optoelektronisches Halbleiterbauelement und Ver¬ fahren zu seiner Herstellung
Technisches Gebiet
Die Erfindung geht aus von einem optoelektronischen Halbleiterbauelement gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1, insbesondere eine Konversions-LED. Sie beschreibt auch ein zugehöriges Herstellverfahren.
Stand der Technik Die US 5 998 925 offenbart eine typische weiße LED. Dabei wird typisch der Leuchtstoff in Silikon suspendiert und dann auf den Chip aufgebracht, meist wird sie siebge¬ druckt. Die Schichten sind ca. 30 μπι dick. Silikon besitzt eine schlechte Wärmeleitfähigkeit, die dazu führt, dass sich der Leuchtstoff im Betrieb stärker erwärmt und dadurch ineffizienter wird. Derzeit wird das Konversions¬ element mit einem organischen Kleber auf dem Chip befestigt.
Die WO 2006/122524 beschreibt eine Lumineszenzkonversi- ons-LED, die einen Leuchtstoff verwendet, der in Glas eingebettet ist.
Darstellung der Erfindung
Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, bei einem optoelektronisches Halbleiterbauelement gemäß dem Ober¬ begriff des Anspruchs 1 eine verbesserte Lösung für das Problem der Wärmeabfuhr beim Konversionselement an¬ zugeben. Eine weitere Aufgabe ist es, dafür ein Herstell¬ verfahren anzugeben.
Diese Aufgabe wird gelöst durch die kennzeichnenden Merk- male des Anspruchs 1.
Besonders vorteilhafte Ausgestaltungen finden sich in den abhängigen Ansprüchen.
Die vorliegende Erfindung löst das folgende Problem: verbesserte Effizienz und Lebensdauer der LED durch stärkere Wärmeabfuhr des Konversionselements durch Ersatz des organischen Materials (Kunststoff) durch Glas und Keramik oder Glaskeramik, welche eine bessere Wärmeleitfähigkeit und UV-Beständigkeit besitzen.
Erfindungsgemäß wird ein modifizierter Ansatz eines separaten Konversionselements, das strukturiert ist, verwendet: Einsatz einer dünnen transparenten oder transluzenten Keramik- oder Glaskeramikfolie als Substrat oder Trägermaterial. Die Dicke der Trägerfolie liegt im Bereich > 1 μπι bis < 100 μπι, vorzugsweise ^ 3 μπι bis < 50 μπι, insbesondere ^ 5 μπι bis < 20 μπι. Diese Folie kann z. B. durch Doktor-Blade-Verfahren hergestellt und anschließend thermisch versintert werden. Im Anschluss wird auf die Folie eine dünne kompakte und relativ blasenarme Glasschicht laminiert. Die Bedeutung einer blasenarmen Schicht liegt in ihrer reduzierten Streuwirkung. Der Begriff blasenarm bedeutet insbesondere, dass der Anteil der Blasen in der Glasschicht höchstens 10 vol.-%, bevorzugt höchstens 5 vol.-%, besonders bevorzugt höchstens 1 vol.- % ausmacht. Durch die Temperaturführung bei der Herstel- lung der Glasmatrix kann dieser Parameter gezielt eingestellt werden. Je höher die Temperatur desto blasenärmer wird die Glasschicht. Das Einsinken des Leuchtstoffs wird im Vergleich dazu bei deutlich niedrigeren Temperaturen durchgeführt um eine Schädigung des Leuchtstoffs mög¬ lichst zu vermeiden.
Je blasenärmer die Glasschicht, desto dünner kann die Glasschicht gewählt werden. Dies verbessert die Homogeni¬ tät der Abstrahlung, also die Änderung des Farborts über den Winkel. Je geringer die Dicke der Glasschicht, desto mehr wird die unerwünschte seitliche Abstrahlung redu¬ ziert .
Die Dicke der Glasschicht ist < 200 μπι, vorzugsweise < 100 μπι, insbesondere < 50 um, aber mindestens so hoch wie die größten Leuchtstoffpartikel. Diese Schicht kann z. B. durch Siebdruck von Glaspulver mit anschließender Verglasung oder durch Aufziehen von geschmolzenem Glas direkt auf die Folie aufgebracht werden. Als Material für das Substrat eignet sich bevorzugt AI2O3, YAG, A1N, A10N, SiAlON oder eine Glaskeramik. Als Material für die Glasschicht eignet sich bevorzugt ein niedrigschmelzendes Glas, vorzugsweise bleifrei oder bleiarm, mit einer Er¬ weichungstemperatur < 500°C, bevorzugt 350 bis 480°C, wie beispielsweise in DE 10 2010 009 456.0 beschrieben. Be- vorzugt bildet dieses System ein Laminat.
Im Anschluss wird ein Leuchtstoff durch z. B. Siebdruck oder Sprühverfahren auf die Glasschicht des Laminats auf¬ gebracht. Das mit Leuchtstoff beschichtete Laminat wird dann soweit erwärmt (insbesondere liegt dabei die Tempe- ratur höchstens beim sog. Halbkugelpunkt des Glases, ins- besondere bei mindestens Tg des Glases, besonders bevor¬ zugt bei mindestens der Erweichungstemperatur des Gla¬ ses), dass das Glas nur leicht erweicht und der Leucht¬ stoff in die Glasschicht einsinkt und davon umschlossen wird. Der Vorteil des Einsinkens ist, dass hierfür nur niedrige Temperaturen erforderlich sind und dadurch der Leuchtstoff nicht geschädigt wird. Im Falle des Glases aus DE 10 2010 009 456.0 ist dies eine Temperatur von höchstens 350°C. Als Leuchtstoff eignen sich grundsätz- lieh alle bekannten für die LED-Konversion geeigneten Leuchtstoffe oder Mischungen von Leuchtstoffen wie insbesondere Granate, Nitridosilikate, Orthosilikate, Sione, Sialone, Calsine etc.
Eine Alternative ist die Aufbringung einer Pulvermischung aus Glaspulver und Leuchtstoff auf die versinterte Folie, dem Substrat. Hierzu sind im Vergleich zum Einsinken aber deutlich höhere Temperaturen erforderlich, insbesondere eine Temperatur, die mindestens dem Fließpunkt des Glases und bevorzugt höchstens der Läutertemperatur des Glases entspricht, um eine blasenarme Schicht zu erzeugen, da dass Glas hierzu sehr niederviskos sein muss, so dass die eingeschlossene Luft entweichen kann und die Leuchtstoff¬ partikel außerdem viskositätserhöhend wirken. Eventuell sind Zusatzprozesse wie z. B. Vakuum während des Versin- terns notwendig. Im Falle des Glases aus DE 10 2010 009 456.0 wäre dies bei Temperaturen von mindestens 400°C.
Als weitere Alternative ist es möglich, das Substrat als sehr dünne Folie aus Keramik oder Glaskeramik zu wählen und dann mit Glas zu infiltrieren. Im Vergleich zu beiden eingangs genannten Beispielen, muss das Substrat in die¬ sem Fall nur leicht versintert werden, hierzu wird die Sintertemperatur gegenüber einem „kompakteren" Sintern erniedrigt oder die Sinterzeit verkürzt; d. h. nur so hoch gewählt, dass die Partikel der Keramik miteinander fixiert sind und viele Poren verbleiben, also ein poröser Körper entsteht. Die Porosität liegt im Bereich zwischen 30-70 Volumen-%, bevorzugt bei mindestens 50%. Im An- schluss wird eine dünne, mindestens 1 μπι und höchstens 200 μπι dicke Glasschicht direkt aufgebracht und dann auf eine Temperatur erwärmt, die mindestens dem Fließpunkt des Glases, bevorzugt höchstens der Läutertemperatur des Glases, entspricht, so dass das Glas sehr dünnflüssig wird und durch Kapillarwirkung in die poröse Folie, die das Substrat darstellt, gezogen wird. Dadurch wird das eigentliche Substrat gebildet. Bei dem Glas handelt es sich vorzugsweise um ein niedrigschmelzendes Glas, vor¬ zugsweise bleifrei oder bleiarm, mit einer Erweichungs¬ temperatur von höchstens 500°C wie beispielsweise in DE 10 2010 009 456.0 beschrieben. Die Temperaturen zum Infiltrieren liegen in diesem Fall bei mindestens 400°C, vorzugsweise mindestens 500°C.
Dabei kann gezielt ein Glasüberschuss auf die Folie auf¬ gebracht werden, damit auf der Oberfläche der Folie eine dünne Glasschicht verbleibt.
Den dann auf das Substrat aufgebrachten Leuchtstoff lässt man bei relativ niedrigen Temperaturen von mindestens 50°C, bevorzugt bei höheren Temperaturen, d.h. bei einer Temperatur, die höchstens dem Halbkugelpunkt des Glases entspricht, in das Substrat, genauer in das in den Poren enthaltene Glas, einsinken. Im Falle des Glases aus DE 10 2010 009 456.0 ist dies eine Temperatur von höchstens 350°C. Bei einem Glasüberschuss verbleibt in einem ersten Aus¬ führungsbeispiel auf der Oberfläche der Folie eine dünne Glasschicht, in die der Leuchtstoff einsinkt. In diesem Fall ist die Haftung wesentlich robuster als bei einem Laminat .
Ist bei einem zweiten Ausführungsbeispiel ein Glasüber¬ schuss an der Folienoberfläche nicht gegeben, sinkt der Leuchtstoff in die Oberflächenstruktur der Glas-Keramik- Mischung des Substrats ein.
Das Konversionselement kann entweder mit einem anorganischen Kleber wie einem niedrigschmelzenden Glas oder einem anorganischen Sol-Gel als auch mit organischem Kleber wie Silikon oder auch einem organischen Sol-Gel auf dem Chip befestigt werden. Ebenfalls kann es als „remote phosphor", also mit Abstand zum Chip, eingesetzt werden.
In einer besonderen Ausgestaltung ist das eingesetzte Glas des Substrats, insbesondere des Laminats, niedrig¬ schmelzend und dient gleichzeitig als anorganischer Kle¬ ber zwischen Konversionselement und Chip. Ein derartiges Glas ist beispielsweise in der DE 10 2010 009 456.0 be¬ schrieben und ermöglicht ein Einsinken des Leuchtstoffs und ein Verkleben von Chip und Konversionselement bei Temperaturen < 350°C. Das Glas ist in diesem Fall dem Chip zugewandt . In einer weiteren Ausgestaltung kann die Folie beidseitig mit Glas und ggf. mit Leuchtstoff auf einer oder beiden Seiten beschichtet sein. Das Aufbringen des Glases ge¬ schieht z. B. durch Eintauchen, sog. Dippen, der Folie in die Glasschmelze. Anschließend erfolgt die Leuchtstoffbe- schichtung sowie das Einsinken des Leuchtstoffs in das Glas bei niedrigen Temperaturen, ggf. in zwei Schritten.
Das Substrat, insbesondere Laminat, kann auch ein Sand¬ wich sein, d. h. die Glasschicht mit dem eingesunkenen Leuchtstoff befindet sich zwischen zwei Folien, die aus dem gleichen oder aus verschiedenen Materialien bestehen und ein- oder beidseitig mit Glas beschichtet sind. Das Glasmaterial kann dabei verschieden gewählt sein.
Vorzugsweise ist das Glas hochbrechend (vorzugsweise n>1.8), insbesondere ist der Brechungsindex des Glases ähnlich dem Brechungsindex der eingebetteten Leuchtstoff¬ komponente oder der Leuchtstoffkomponenten und ähnlich dem der Keramik/Glaskeramik gewählt.
Die Keramik- oder Glaskeramikfolie kann dem Chip zu- oder abgewandt sein. In letzterem Fall hat die Keramik auch eine lichtstreuende Wirkung. Letztere hängt u. a. von der Korngröße der in der Keramik oder Glaskeramik enthaltenen Partikel ab und kann mitunter durch die Temperaturbehand¬ lung beeinflusst werden. Die Korngröße liegt typischer- weise bei < 60 μπι, bevorzugt bei < 40 μπι, besonders be¬ vorzugt < 30 μπι. Sie sollte wenigstens 1 nm, besser we¬ nigstens 5 nm, noch besser wenigstens 10 nm betragen, für viele Anwendungen ist ein Mindestwert von 100 nm ausrei¬ chend . Vorzugsweise wird ein Bündel von Konversionselementen, insbesondere auf Laminat-Basis, als größeres Teil in ei¬ nem Arbeitsgang hergestellt und erst dann in kleinere Teile, den eigentlichen Konversionselementen, geschnitten . Die Dicke der Glasschicht mit dem eingesunkenen Leucht¬ stoff sollte bevorzugt < 200 μπι sein, vorzugsweise < 100 μπι, insbesondere < 50 μπι. Bevorzugt ist die Dicke der Glasschicht mindestens so hoch wie die größten Leucht- stoffpartikel des verwendeten Leuchtstoffpulvers, insbe¬ sondere mindestens doppelt so dick.
Als Glasmatrix eignen sich beispielsweise Phosphatgläser und Boratgläser, insbesondere Alkaliphosphatgläser, Aluminiumphosphatgläser, Zinkphosphatgläser, Phospotelluritgläser, Bismuthboratgläser, Zinkboratgläser und Zink-Bismuth-Boratgläser.
Darunter fallen Zusammensetzungen aus den Systemen: R20-ZnO-Al203-B203- P205 (R20 = Alkalioxid);
R20-Te02-P205 (R20 = Alkali- und/oder Silberoxid), auch in Verbindung mit ZnO und/oder Nb205 wie z.B. Ag20-Te02-P205 ZnO-Nb205;
ZnO-Bi203-B203 , auch in Verbindung mit Si02 und/oder Alkali- und/oder Erdalkalioxid und/oder Al203 wie z.B. ZnO-Bi203-B203-Si02 oder ZnO-Bi203-B203-BaO-SrO-Si02 ; ZnO-B203i auch in Verbindung mit Si02 und/oder Alkali- und/oder Erdalkalioxid und/oder A1203 wie z.B. ZnO-B203- Si02;
Bi203-B203 , auch in Verbindung mit Si02 und/oder Alkakl und/oder Erdalkalioxid und/oder Al203 wie z.B. Bi203-B20 Si02.
Bleiboratgläser sind im Prinzip zwar geeignet, werden jedoch nicht bevorzugt, da sie nicht RoHS-konform sind. Die Trägerfolie kann aus einer Keramik wie z.B. AI2O3, YAG, A1N, A10N, SiAlON usw. oder einer Glaskeramik bestehen. Die Dicke der Trägerfolie liegt bevorzugt im Bereich < 100 μπι, vorzugsweise < 50 μπι, insbesondere < 20 μπι. Sie sollte aber mindestens 1 μπι, besser 3 μπι, bevorzugt min¬ destens 5 μπι dick sein.
In einer weiteren Aus führungs form können die in der Glaskeramik enthaltenen Kristalle selbst durch Anregung der primären Emission des Chips zur Fluoreszenz angeregt wer- den und so zur Konversion mit beitragen. Ein bekanntes Beispiel ist YAG : Ce .
In einer besonders bevorzugten Ausgestaltung enthält die Keramikfolie einen Leuchtstoff wie z. B. YAG:Ce, bzw. sie besteht teilweise oder vollständig aus diesem. Im An- schluss wird auf die Keramikfolie eine dünne blasenarme Glasschicht laminiert, worauf ein separater Leuchtstoff aufgebracht wird. Dieser sinkt durch eine nachfolgende leichte Erwärmung in das Glas ein. Bei dem aufgebrachten separaten Leuchtstoff kann es sich in aller Regel um eine anderen Leuchtstoff handeln, dessen Emission in einem anderen Spektralbereich liegt als der des gelb emittierenden YAG:Ce. Z.B. ist der separate Leuchtstoff ein Rot emittierender Leuchtstoff, wodurch mit einem blau emittierenden Chip und der gelb emittierenden Keramik warm- weißes Licht erzeugt wird. Durch Wahl des Anteil des wei¬ teren Leuchtstoffs kann der Farbort der LED gesteuert werden .
Auch ist es möglich, dass ein gleicher oder ähnlicher Leuchtstoff wie der in der Keramik des Substrats bereits eingebrachte Leuchtstoff zusätzlich in die Glasschicht emgebracht wird, um z.B. eine chipbedingte Farbort¬ schwankung (Drift) auszugleichen. Es können auch mehrere LeuchtstoffSorten in der glasigen Schicht des Konversionselements enthalten sein. Diese müssen dabei nicht un¬ bedingt gleichmäßig verteilt sein, sie können auch lokal verschieden eingebracht sein. Ferner können dem Leuchtstoff auch oxidische Partikel wie z.B. AI2O3, Ti02,ZrC>2 als Streumittel zugesetzt sein.
In einer weiteren Ausgestaltung werden zwei Keramiken, die den Leuchtstoff bereits beinhalten (Keramikkonverter) , dünn mit Glas beschichtet. Die glasige Schicht ei¬ nes der beiden Keramikplättchen wird dann mit Leuchtstoff beschichtet, der nach einer Temperaturbehandlung in diese einsinkt. Im Anschluss werden die glasigen Oberflächen der beiden Keramikplättchen aufeinander gelegt und in einem weiteren Temperaturschritt miteinander verklebt. In der Regel unterscheidet sich dabei der Farbort der beiden Keramikplättchen von dem des eingesunkenen Leuchtstoffes.
In einer besonderen Ausgestaltung des Vorgängerbeispiels wird nur ein Keramikplättchen dünn mit Glas beschichtet und dann bei einer Temperaturbehandlung mit dem anderen Keramikplättchen verklebt.
Ferner ist es möglich, die Keramikfolie als Substrat beidseitig dünn mit Glas zu beschichten, so dass auch beidseitig Leuchtstoff mit gleicher oder verschiedener Emission aufgebracht sein kann. Ähnliches ist auch mit einer Glaskeramik als Substrat möglich. Ausführungsformen, die aus Kombinationen der verschiedenen Varianten wie oben beschrieben bestehen, sind ebenfalls möglich. Wesentlich ist, daß das Konversionselement aus einer Kombination von Glas und Substrat, nämlich Keramik oder Glaskeramik, besteht, wobei ein Leuchtstoff in Glas eingebettet ist. Die Glasmatrix kann u. U. gleichzeitig als Kleber für den Verbund von Chip und Konversionselement dienen. Das verwendete Glas sollte kompakt gewählt sein, d.h. aufgeschmolzen und blasenarm. Das Substrat, ob Keramik oder Glaskeramik, kann auch als lichtstreuendes Element dienen und ist zumindest transluzent. Das Substrat, ob Keramik oder Glaskeramik, kann auch selbst Leuchtstoff enthalten oder aus diesem bestehen .
Das optoelektronische Halbleiterbauelement kann eine LED oder auch ein Laser sein.
Wesentliche Merkmale der Erfindung in Form einer nume¬ rierten Aufzählung sind:
1. Optoelektronisches Halbleiterbauelement mit einer Lichtquelle, einem Gehäuse und elektrischen An¬ schlüssen, wobei die Lichtquelle einen Chip auf¬ weist, der primäre Strahlung im UV oder Blauen emittiert, deren Peakwellenlänge insbesondere im Bereich 300 bis 490 nm liegt, wobei die primäre Strahlung teilweise oder vollständig durch ein davor ange¬ brachtes Konversionselement in Strahlung anderer Wellenlänge umgewandelt wird, dadurch gekennzeich¬ net, dass das Konversionselement ein transluzentes oder transparentes Substrat aufweist, das aus Kera¬ mik oder Glaskeramik gefertigt ist, wobei das Sub¬ strat mit einer Glasmatrix beaufschlagt ist, in die ein Leuchtstoff eingebettet ist. Optoelektronisches Halbleiterbauelement nach An¬ spruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Glasmat¬ rix auf dem Substrat als Schicht aufgebracht ist.
Optoelektronisches Halbleiterbauelement nach An¬ spruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat Poren aufweist, in die die Glasmatrix zumindest teilweise eingebracht ist. Optoelektronisches Halbleiterbauelement nach An¬ spruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat und die Glasmatrix ein Laminat bilden.
Optoelektronisches Halbleiterbauelement nach An¬ spruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Glasmat¬ rix gleichzeitig als Kleber für einen Verbund von Chip und Konversionselement oder für einen Verbund zweier Konversionselemente dient.
Optoelektronisches Halbleiterbauelement nach An¬ spruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Glasmat¬ rix blasenarm oder im wesentlichen frei von Blasen ist .
Optoelektronisches Halbleiterbauelement nach An¬ spruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat selbst teilweise oder vollständig fluoreszierend ist .
Optoelektronisches Halbleiterbauelement nach An¬ spruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat auf beiden Seiten mit einer Glasmatrix beaufschlagt ist . Optoelektronisches Halbleiterbauelement nach An¬ spruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Konversi¬ onselement mittels eines Klebers auf dem Chip befes¬ tigt ist oder beabstandet vom Chip angebracht ist. . Verfahren zur Herstellung eines Konversionselements für ein optoelektronisches Halbleiterbauele¬ ment nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass in einem ersten Schritt ein Substrat bereitgestellt wird, das aus Keramik oder Glaskeramik hergestellt ist, dann in einem zweiten Schritt Glas auf das Substrat aufgetragen wird, insbesondere als Glaspulver oder geschmolzenes Glas, wobei entweder Leuchtstoff zusammen mit dem Glas aufgetragen wird, oder Leuchtstoff nachträglich in das Glas eingebracht wird. . Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass im zweiten Schritt eine Glasschicht laminiert wird, insbesondere entweder durch Siebdru¬ cken von glasigem Pulver mit anschließender Vergla- sung oder durch Aufziehen von geschmolzenem Glas direkt auf das Substrat. . Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass das der Leuchtstoff anschließend durch Siebdrucken oder ein Sprühverfahren auf die Glasschicht aufgebracht wird und dann das Konversi¬ onselement soweit erwärmt wird, dass das Glas leicht erwärmt wird, so dass der Leuchtstoff in das Glas einsinkt und davon umschlossen wird. 13. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass im zweiten Schritt eine Glasschicht laminiert wird, die bereits mit Leuchtstoff versehen ist, insbesondere durch Siebdrucken von glasigem Pulver, das mit Leuchtstoffpulver vorher vermischt worden ist, mit anschließender Verglasung.
14. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass im zweiten Schritt eine Glasmatrix durch Infiltrieren erzeugt wird, wobei das Substrat vorher so leicht gesintert worden ist, dass es große
Poren enthält, die groß genug sind um Glas aufzuneh¬ men, wobei das Glas so ausreichend dünnflüssig ge¬ macht wird, dass es durch Kapillarwirkung in die Po¬ ren des Substrats hineingezogen wird.
Kurze Beschreibung der Zeichnungen Im Folgenden soll die Erfindung anhand von mehreren Ausführungsbeispielen näher erläutert werden. Die Figuren zeigen :
Figur 1 eine Konversions-LED gemäß dem Stand der Technik;
Figur 2 eine LED mit neuartigem Konverterelement;
Figur 3-7 je ein weiteres Ausführungsbeispiel für eine
LED mit neuartigem Konverterelement;
Figur 8 ein Substrat mit Poren und darin enthaltener
Glasmatrix, die Leuchtstoffpartikel enthält. Bevorzugte Ausführung der Erfindung
Figur 1 zeigt als Halbleiterbauelement eine Konversions- LED 1, die als primäre Strahlungsquelle einen Chip 2 vom Typ InGaN verwendet. Sie hat ein Gehäuse 3 mit einem Boa¬ rd 4, auf dem der Chip sitzt, und einem Reflektor 5. Dem Chip ist ein Konversionselement 6 vorgeschaltet, das teilweise die blaue Strahlung mittels eines Leuchtstoffs, beispielweise YAG:Ce, in längerwellige Strahlung konver¬ tiert. Das Konversionselement 6 ist gemäß dem Stand der Technik plättchenförmig und weist ein Silikonbett auf, in dem Leuchtstoffpulver dispergiert ist. Die elektrischen Anschlüsse sind nicht dargestellt, sie entsprechen übli¬ cher Technik.
Figur 2 zeigt ein erstes erfindungsgemäßes Ausführungs¬ beispiel. Dabei wird als Konversionselement 6 ein Sub- strat 7 aus A1203 verwendet, das transluzent ist und plättchenartig als Folie geformt ist. Auf das Substrat 7 ist eine dünne Glasschicht 8 aufgebracht, im Sinne einer Matrix. In dieser sind Leuchtstoffpartikel verteilt, die in die Glasmatrix eingesunken sind und von dieser voll- ständig bedeckt sind. Glasschicht 8 und Substrat 7 bilden ein Laminat, wobei die Seite des Substrats, auf der die Glasmatrix aufgetragen ist, dem Chip 2 zugewandt ist, oder auch abgewandt ist. Das Konversionselement ist mit¬ tels bekannter Kleber auf dem Chip angebracht (nicht dar- gestellt) .
Figur 3 zeigt ein Ausführungsbeispiel einer LED 1, bei der die Folie aus Keramik oder Glaskeramik, die als Substrat 7 wirkt, nur kurz bei niedriger Temperatur angesintert ist. Deshalb hat sie viele offenen Poren. Die Glas- matrix füllt diese Poren aus. Durch Verwendung eines Überschusses an Glas verbleibt außerdem eine dünne Schicht 11 aus Glas auf der Oberfläche des Substrats. Der Leuchtstoff ist in der Glasmatrix sowohl im Bereich der dünnen Schicht 11 als auch im Bereich der Poren disper- giert. Eine ähnliche Konfiguration zeigt Figur 8 im De¬ tail ohne Schicht 11. Dort ist das Substrat 7 mit offenen Poren 12 gezeigt. In die Poren ist die Glasmatrix 10 eingesogen. In der Glasmatrix sind Leuchtstoffkörner 13 dispergiert.
Figur 4 zeigt schematisch ein Ausführungsbeispiel einer LED 1, bei der das Substrat 7 über eine konventionelle Klebeschicht (nicht extra dargestellt) mit dem Chip 2 vom Typ InGaN, der blau emittiert (Peak bei etwa 440 bis 450 nm) , verbunden ist. Die Glasmatrix 8 mit dem darin eingesunkenen Leuchtstoff ist auf der vom Chip abgewandten Seite des Substrats 7 befestigt. Die konventionelle Kle¬ beschicht ist meist Silikon. Sie wird verwendet, wenn re¬ lativ temperaturempfindliche Chips verwendet werden. Bei weniger temperaturempfindlichen Chips ist eine Klebeschicht aus hochbrechendem Glas vorteilhafter. Denn dann ist die Wärmeableitung besser und auch die Lichtauskopp¬ lung ist höher. Damit wird die Effizienz gesteigert.
Aus diesem Grund ist eine eigenständige technische Lö- sung, die vorgestellten hochbrechenden Gläser allein als Kleber (insbesondere in Richtung zum Chip oder zum Gehäuse) zu verwenden, also ohne Einbettung eines Leucht¬ stoffs. In diesem Fall wird der Leuchtstoff allein in das keramische Substrat eingebracht bzw. mehrere Leuchtstoff- haltige keramische Substrate können über einen derartigen Kleber miteinander verbunden werden.
Figur 5 zeigt schematisch ein Ausführungsbeispiel einer LED 1, bei der eine doppelte Struktur des Konversionsele- ments 6, 16 verwendet wird. Vom blau emittierenden Chip aus gesehen folgt auf eine erste Schicht 8 mit Glasmatrix und erstem Leuchtstoff, bevorzugt ein rot emittierender Leuchtstoff wie ein Nitridosilikat M2Si5N8:Eu, ein erstes Substrat 7, das wiederum mit einer zweiten Glasmatrix 8 verbunden ist, die wiederum mit einem zweiten Substrat 7 verbunden ist. Dabei wirkt die Glasmatrix 8 jeweils selbst als Kleber.
Geeignete Leuchtstoffe sind insbesondere YAG:Ce oder ein anderer Granat, Orthosilikat oder Sion, Nitridosilikat, Sialon, Calsin, etc..
Figur 6 zeigt ein Ausführungsbeispiel für eine LED 1, der ein Konversionselement 6 beabstandet vor den Chip 2 vor¬ geschaltet ist. Dabei trägt die Seitenwand 5 des Gehäu¬ ses, die als Reflektor wirkt, indem beispielsweise die Innenwand geeignet beschichtet ist, an ihrem Ende das Konversionselement 6. Wieder wirkt die Glasmatrix 8 auch als Kleber zur Seitenwand hin, das Substrat 7 ist vom Chip abgewandt. Das Konversionselement 6 verschließt die Öffnung des Reflektors. Figur 7 zeigt ein Ausführungsbeispiel für eine LED 1, bei der ein Konversionselement 6 sandwichartig aufgebaut. Es verwendet einen UV-emittierenden Chip 2 mit etwa 380 nm Peakwellenlänge . Eine erste Glasmatrix 8 klebt direkt auf dem Chip 2, in ihr ist ein erster Leuchtstoff disper- giert, beispielsweise ein roter, UV-anregbarer Leucht- stoff wie das Calsin CaAlSiN3:Eu. Vor der ersten Glasmat¬ rix sitzt ein Substrat 7 aus einer Mischung von YAG und YAG:Ce, das gelb emittiert. Ein zusätzlicher blau emittierender Leuchtstoff wie BAM:Eu ist in einer zweiten Glasmatrix 8 dispergiert, die außen vor dem Substrat 7 angebracht ist.
Ausführungsbeispiele eines Konverters für die Konversion des UV-Anteils in blaues Licht sind z. B. hocheffiziente Leuchtstoffe vom Typ (Bao. Euo.6) MgAli0Oi7, ( Sr0, 96Eu0, 0 ) lo ( PO ) 6CI2 · Ein Ausführungsbeispiel eines Kon¬ verters für die Konversion des UV-Anteils in gelbes Licht ist z. B. ( Sri-x-yCexLiy) 2Si5N8. Insbesondere liegt hier x und y jeweils im Bereich 0,1 bis 0,01. Besonders geeignet ist ein Leuchtstoff ( Sri-x-yCexLiy) 2Si5N8i bei dem x=y. Aus- führungsbeispiele eines Konverters für die Konversion des UV-Anteils in rotes Licht sind z. B. Nitridosilikate, Calsine oder Sione des Typs MSi202N2:Eu, die für sich ge¬ nommen gut bekannt sind.

Claims

Ansprüche
1. Optoelektronisches Halbleiterbauelement mit einer Lichtquelle, einem Gehäuse und elektrischen An¬ schlüssen, wobei die Lichtquelle einen Chip auf¬ weist, der primäre Strahlung im UV oder Blauen emit- tiert, deren Peakwellenlänge insbesondere im Bereich
300 bis 490 nm liegt, wobei die primäre Strahlung teilweise oder vollständig durch ein davor ange¬ brachtes Konversionselement in Strahlung anderer Wellenlänge umgewandelt wird, dadurch gekennzeich- net, dass das Konversionselement ein transluzentes oder transparentes Substrat aufweist, das aus Kera¬ mik oder Glaskeramik gefertigt ist, wobei das Sub¬ strat mit einer Glasmatrix beaufschlagt ist, in die ein Leuchtstoff eingebettet ist.
Optoelektronisches Halbleiterbauelement nach An spruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Glasmat rix auf dem Substrat als Schicht aufgebracht ist.
Optoelektronisches Halbleiterbauelement nach An¬ spruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat Poren aufweist, in die die Glasmatrix zumindest teilweise eingebracht ist.
Optoelektronisches Halbleiterbauelement nach An¬ spruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat und die Glasmatrix ein Laminat bilden.
5. Optoelektronisches Halbleiterbauelement nach An¬ spruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Glasmat¬ rix gleichzeitig als Kleber für einen Verbund von Chip und Konversionselement oder für einen Verbund zweier Konversionselemente dient.
Optoelektronisches Halbleiterbauelement nach An¬ spruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Glasmat¬ rix blasenarm oder im wesentlichen frei von Blasen ist .
7. Optoelektronisches Halbleiterbauelement nach An¬ spruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat selbst teilweise oder vollständig fluoreszierend ist.
Optoelektronisches Halbleiterbauelement nach An¬ spruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat auf beiden Seiten mit einer Glasmatrix beaufschlagt ist .
9. Optoelektronisches Halbleiterbauelement nach An¬ spruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Konversi¬ onselement mittels eines Klebers auf dem Chip befes¬ tigt ist oder beabstandet vom Chip angebracht ist.
10. Verfahren zur Herstellung eines Konversionselements für ein optoelektronisches Halbleiterbauele¬ ment nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass in einem ersten Schritt ein Substrat bereitgestellt wird, das aus Keramik oder Glaskeramik hergestellt ist, dann in einem zweiten Schritt Glas auf das Substrat aufgetragen wird, insbesondere als Glaspulver oder geschmolzenes Glas, wobei entweder Leuchtstoff zusammen mit dem Glas aufgetragen wird, oder Leuchtstoff nachträglich in das Glas eingebracht wird.
Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass im zweiten Schritt eine Glasschicht laminiert wird, insbesondere entweder durch Siebdru¬ cken von glasigem Pulver mit anschließender Verglasung oder durch Aufziehen von geschmolzenem Glas direkt auf das Substrat.
12. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekenn- zeichnet, dass das der Leuchtstoff anschließend durch Siebdrucken oder ein Sprühverfahren auf die Glasschicht aufgebracht wird und dann das Konversi¬ onselement soweit erwärmt wird, dass das Glas leicht erwärmt wird, so dass der Leuchtstoff in das Glas einsinkt und davon umschlossen wird.
Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass im zweiten Schritt eine Glasschicht laminiert wird, die bereits mit Leuchtstoff versehen ist, insbesondere durch Siebdrucken von glasigem Pulver, das mit Leuchtstoffpulver vorher vermischt worden ist, mit anschließender Verglasung.
14. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass im zweiten Schritt eine Glasmatrix durch Infiltrieren erzeugt wird, wobei das Substrat vorher so gesintert worden ist, dass es große Poren enthält, wobei das Glas so ausreichend dünnflüssig gemacht wird, dass es durch Kapillarwirkung in die Poren des Substrats hineingezogen wird.
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