WO2012032917A1 - 気体流量測定装置 - Google Patents
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Definitions
- the present invention relates to a gas flow rate measuring device for measuring an intake air flow rate of an engine (internal combustion engine), and more particularly to a gas flow rate measuring device suitable for obtaining not only a gas flow rate but also a gas temperature detection signal.
- One type of device for measuring the intake air flow rate is a heating resistor type gas flow rate measurement device. It is desirable that the output signal of the heating resistance type gas flow measuring device has a small change in the output signal even if the temperature changes, that is, a small temperature-dependent error. In order to reduce this temperature-dependent error, it is necessary to correct the temperature-dependent error of the gas flow rate detection signal from the gas temperature and substrate temperature detection signal.
- an independent temperature sensor such as a thermistor is disposed in the intake air flow path, and a gas temperature dependent error is corrected by digital calculation using this temperature detection signal.
- Thermistors generally used as temperature sensors have the advantage of being inexpensive, but the resistance value is an exponential function of the reciprocal of temperature, so the temperature detection signal becomes non-linear with respect to temperature, and at high and low temperatures. The resolution becomes coarse. Therefore, the measurement accuracy is lowered.
- a resistor and the thermistor are connected in parallel, or a plurality of resistors are connected in parallel and in series, so that the gas temperature signal is linearly output. It is described that it comprises so that it may become. However, in such a combination of resistors by an analog circuit, linearity is not preferable, and the output range becomes narrow, so that convenience is lowered.
- Japanese Patent Application Laid-Open No. 2010-7530 describes that an external device for diagnosing a gas temperature sensor failure with high accuracy is provided in order to diagnose the gas temperature sensor failure with high accuracy. However, if such an external device is provided, an increase in cost cannot be avoided.
- the gas temperature output is nonlinear due to the characteristics of the gas temperature detection element, the accuracy deterioration due to the influence of noise and the resolution of high and low temperatures become rough, and the temperature range that can be used with high accuracy becomes narrow. . Furthermore, even if the gas temperature signal has linearity by combining a plurality of resistors, it is difficult to make it completely straight. Moreover, even if linearity is provided, the output range cannot be utilized to the maximum.
- the diagnostic circuit is used, resulting in an increase in cost.
- an object of the present invention is to provide a highly accurate and reliable gas flow measuring device by expanding the temperature range that can be used with high accuracy by increasing the resolution of high and low temperatures even when the output of the gas temperature is nonlinear. There is to do.
- the gas temperature detection signal is corrected by using a digital circuit so that it becomes a linear output from a non-linear output.
- the high temperature and low temperature resolution can be increased and the temperature range that can be used with high accuracy can be expanded.
- the calculation processing capacity can be reduced by optimizing the correction formula.
- variation in characteristics due to circuit temperature can be corrected, variation in gas temperature detection signal can be reduced.
- the present invention with high accuracy and high reliability, it is possible to make a fault diagnosis of disconnection / short circuit of the gas temperature detection element from the gas temperature output while easily expanding the temperature detection range with high accuracy.
- a gas flow measuring device having a digital circuit can be provided.
- variation in characteristics due to circuit temperature can be corrected, variation in gas temperature detection signal can be reduced.
- FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line AA ′ in FIG. 1.
- the temperature characteristic of the resistance value of the gas temperature detection element 1. 14 shows the output characteristics of the analog-digital converter AD3 14 input voltage in the first embodiment. Error effect due to noise during temperature conversion.
- the circuit diagram of the gas flow measuring device of a 4th embodiment. 14 shows the output characteristics of the analog-digital converter AD3 14 input voltage in the fourth embodiment.
- the circuit diagram of the gas flow measuring apparatus of 6th Embodiment. 14 shows the output characteristics of the analog-to-digital converter AD3 14 input voltage in the sixth embodiment.
- FIG. 1 is a view showing a state in which a gas flow rate measuring device 2 according to the first embodiment of the present invention is mounted on a gas passage body 3.
- FIG. 2 is a view showing an AA ′ cross section of the gas flow measuring device 2 according to the first embodiment.
- FIG. 3 is a diagram showing a schematic configuration of the flow rate detection circuit and the gas temperature detection circuit 22 of the gas flow rate measuring device 2 according to the first embodiment.
- a gas flow measuring device 2 is configured to be attached to a gas passage body 3 that forms an intake passage of an internal combustion engine and to be exposed to a gas flowing through the gas passage. Therefore, the gas temperature detecting element (also called a thermistor or a gas temperature measuring resistor) 1 is provided on the upstream side of the gas flow measuring device 2 so as to be directly exposed to the intake fluid, and the gas flow detecting element 4 is It is provided in the passage 7. Further, the gas flow rate detecting element 4 is attached on the substrate 5, and only the portion where the gas flow rate detecting element 4 is attached is installed in the sub-passage 7. The substrate 5 is also provided with a gas temperature detection circuit 22 shown in FIG. 3 and is isolated from the sub-passage 7.
- the gas temperature detected by the gas temperature detection element 1 is converted into a voltage signal by the gas temperature detection circuit 22 on the substrate 5 and input to the analog-digital converter AD3 14.
- the integrated circuit 21 is provided with a temperature sensor (substrate temperature sensor) 12 in the integrated circuit for detecting a substrate temperature for detecting a temperature corresponding to the substrate 5. Thereby, each temperature of gas temperature and the gas flow measuring device 2 is detectable.
- the gas temperature detection circuit 22 is configured by connecting the gas temperature detection element 1 and the fixed resistor 9 arranged in the intake passage in series, and the gas temperature detection circuit 22 has an output of a regulator (reference power source) 23. Constant voltage is supplied. At this time, the characteristic of the gas temperature detecting element 1 is a logarithmic function as shown in FIG.
- the partial pressure value of the regulator 23 output voltage by the gas temperature detection element 1 and the fixed resistor 9 is taken into the digital circuit as a gas temperature detection signal.
- This input voltage has nonlinear characteristics as shown in FIG. Therefore, as in the prior art, the partial pressure value is a non-linear characteristic as it is, and therefore the resolution is rough at high and low temperatures, so the accuracy is lowered.
- the non-linear characteristic as shown in FIG. 6 when noise is superimposed on the output during the temperature conversion in the engine control unit ECU 27, the average value of the output and the post-temperature conversion due to the non-linearity of the sensor. This shifts the average value of noise and increases the noise when converted to temperature. Therefore, the accuracy of the temperature signal handled by the engine control unit ECU 27 cannot be ensured.
- the characteristic correction of the gas temperature signal is performed.
- the divided value of the output voltage of the regulator 23 by the gas temperature detecting element 1 and the fixed resistor 9 is converted from an analog value to a digital value by the analog-digital converter AD314.
- the converted digital value is subjected to correction calculation processing by the digital signal processing DSP 10 based on constants stored in advance in the PROM 15, and corrected to output characteristics as shown in FIG. Specifically, it is corrected to a linear output characteristic that rises to the right in the guaranteed temperature range (having a predetermined maximum output and minimum output and a predetermined temperature range).
- k t0 to k t5 are stored in the PROM 15 in advance.
- the digital value corrected in this way is converted into an analog signal using a digital-analog converter DA2 18 and output as a voltage signal.
- a digital-analog converter DA2 18 when analog conversion is performed using a free running counter FRC2 19 that converts a digital signal into a frequency signal, the gas temperature signal is output as a frequency signal.
- the selection of the digital-analog converter DA2 18 and the free running counter FRC2 19 can be selected by setting the multiplexer MUX2 25.
- the first embodiment it is possible to carry out using not only the axial component but also a semiconductor such as a chip thermistor.
- a semiconductor such as a chip thermistor.
- the temperature range that can be used with high accuracy is increased by increasing the resolution of high and low temperatures. be able to.
- this makes it possible to perform a fault diagnosis of a disconnection / short circuit of the gas temperature detection element without providing a diagnostic circuit by providing a constant output at extremely high and very low temperatures.
- the calculation processing capacity can be reduced by optimizing the correction formula.
- variation in characteristics due to circuit temperature can be corrected, variation in gas temperature detection signal can be reduced.
- the structure of the sub-passage is a shape parallel to the main passage 6 as in the sub-passage 7 shown in FIG. 2.
- the sub-passage has a spiral shape like the sub-passage 7 shown in FIG.
- the gas entering from the inlet 28 may pass through the gas flow rate detecting element 4 along the sub passage 7 and exit from the sub passage outlet 29.
- a sub-passage such as a U-shape or an ⁇ -shape.
- the gas temperature detection element 1 detects the intake gas temperature, and the digital circuit is used for high accuracy.
- the correction it is possible to prevent an increase in cost by simplifying the calculation in the digital circuit and minimizing the amount of data stored in the PROM 15. Therefore, in the gas temperature signal digital circuit, the number of computations can be minimized by using the formula (2) instead of the correction processing formula (1) in the first embodiment in order to reduce the computation processing load. It is.
- the digital signal (corrected value) input to the analog-digital converter AD314 is X
- the corrected value is Y
- the correction coefficients used for correction are k t0 to k t5 .
- k t0 to k t5 are stored in the PROM 15 in advance.
- Equation (2) can greatly reduce the number of computations compared to Equation (1), and the correction accuracy is equivalent to Equation (1), and can be corrected to the adjusted output shown in FIG.
- correction can be made using an arbitrary function other than the above correction equations (1) and (2). This is because, when the voltage supplied from the regulator 23 is divided, when the fixed resistor 9 is installed in series or in parallel, depending on the combination of a plurality of resistors, it is input to the analog-digital converter AD3 14 Different voltage characteristics. The optimum correction formula for performing these corrections also differs depending on the characteristics of the voltage input to the analog-digital converter AD314. However, if the order of the function used for correction is increased, the amount of calculation processing increases and the PROM capacity increases, leading to an increase in cost. Further, if the order of the function used for correction is small, it is difficult to correct the characteristic after adjustment shown in FIG. 7, and sufficient accuracy cannot be ensured. Therefore, the correction for outputting the gas temperature signal with high accuracy is possible by using an optimal and arbitrary function for correcting the non-linear characteristic before adjustment shown in FIG. 7 to the characteristic after adjustment.
- the gas temperature detection element 1 detects the intake gas temperature, and the digital circuit is used for high accuracy.
- the gas temperature signal can be corrected using the table shown in FIG.
- a table representing the correlation between the digital value X input to the analog-to-digital converter AD3 14 as an input and the conversion amount Y up to the target output voltage of the intake air temperature is a plurality of data (input is x1 to xn n And the conversion amount is n from y1 to yn).
- the converted output T is calculated by adding the conversion amount Y calculated by the table to the input X.
- the number n of data in the table is large, the correction accuracy is improved, but the data capacity written in the PROM 15 is increased and the cost is increased. Conversely, if the number of data n is small, the amount of data written into the PROM 15 is small, so that an increase in cost can be prevented, but the correction accuracy decreases. Therefore, the number of data n used in the table needs to be set to the optimum number of data from the temperature range to be used. By using this table, it is possible to reduce the amount of calculation processing compared to the correction method using a function.
- the circuit on the substrate 5 shown in FIG. 8 is equivalent to the circuit shown in the first embodiment.
- the gas temperature detecting element 1 and the fixed resistor 9 are connected in series, and a constant voltage output from the regulator 23 is supplied to the gas temperature detecting circuit 22.
- the input voltage of the analog-digital converter AD3 14 which is a divided value of the output voltage of the regulator 23 by the gas temperature detection element 1 and the fixed resistor 9 is taken into the digital circuit as a gas temperature detection signal.
- the gas temperature detecting element 1 is connected to the output side of the regulator 23 and the fixed resistor 9 is connected to the GND side.
- the fixed resistor 9 is connected to the output side of the regulator 23 and the GND side is connected to the GND side.
- the gas temperature detection element 1 is connected.
- the voltage input to the analog-digital converter AD3 14 which is a gas temperature output is non-linear but has a characteristic of rising to the right as shown in FIG.
- the target output characteristic after adjustment is the same as that of the first embodiment, but the target output characteristic after adjustment is due to the fact that the input voltage of the analog-digital converter AD3 14 has increased to the right. And the difference between the output before adjustment and the output become smaller. Therefore, since the correction amount can be reduced, the load in the arithmetic processing can be reduced, and the overflow in the arithmetic processing can be reduced, so that the arithmetic error and the carry error can be reduced. .
- the gas temperature detection element 1 and the fixed resistor 9 are connected in series, and a constant voltage output from the regulator 23 is supplied to the gas temperature detection circuit 22. Then, the input voltage of the analog-digital converter AD3 14 which is a divided value of the output voltage of the regulator 23 by the gas temperature detecting element 1 and the fixed resistor 9 is taken into the digital circuit as the gas temperature. That is, in the fifth embodiment, a potential difference generated at both ends of the gas temperature detection element 1 is used as an output signal.
- the fixed resistor 9 is not on the substrate 5 but in the integrated circuit 21. Although the characteristics are the same as those of the first embodiment, the cost can be reduced by providing the fixed resistor 9 inside the integrated circuit 21 instead of on the substrate 5.
- the input voltage of the analog-digital converter AD3 14 is read as a gas temperature signal using the constant current source 26 instead of the fixed resistor 9, and digital correction is performed.
- the characteristic of the input voltage of the analog-digital converter AD3 14 at this time is a logarithmic function characteristic as shown in FIG.
- the input voltage of the analog-to-digital converter AD3 14 which is the gas temperature signal before adjustment is converted into an output after adjustment by digital correction.
- the current flowing through the gas temperature detection element 1 changes according to the resistance value of the gas temperature detection element 1, and the influence of self-heating of the gas temperature detection element 1 increases. 26, the current flowing through the gas temperature detecting element 1 can be made constant, and even if the resistance value of the gas temperature detecting element 1 changes, the current flowing through the gas temperature detecting element 1 does not change. It is possible to reduce the influence of.
- the gas temperature detection element 1 detects the intake gas temperature, and in the digital circuit for higher accuracy
- the temperature characteristic influence of the detection circuit is corrected.
- the temperature information of the substrate 5 can be obtained by the temperature sensor 12 in the integrated circuit in the integrated circuit 21 mounted on the substrate 5. Further, correction is performed in the digital signal processing DSP 10 using the expression (3).
- the digital signal (value to be corrected) input to the analog-digital converter AD314 is X
- the output of the temperature sensor 12 in the integrated circuit (temperature of the substrate 5) is T
- the corrected value is Y
- the correction is performed.
- the correction coefficients used for are k t0 to k t5 , k ts and k tz .
- k t0 to k t5 , k ts , and k tz are stored in the PROM 15 in advance.
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Abstract
気体温度検出素子の特性が非線形であるときでも、高温および低温の分解能を上げ高精度で使用できる温度範囲を拡大し、より高精度かつ信頼性の高い気体流量測定装置を提供する。気体流路中に配置される複数の抵抗体と、複数の抵抗体に流れる電流又はこの電流に応じて発生する電圧を検出することにより気体流路中に流れる気体流量に応じた気体流量検出信号を出力する気体流量検出回路と、気体流路中の気体温度を検出するための気体温度検出素子1と、を有し、気体流量検出回路は、気体温度検出素子から出力される信号を所定の最大出力と最小出力を持ち、かつ、所定の温度範囲で線形となるように出力信号を変換する信号変換手段を備えている。
Description
本発明は、エンジン(内燃機関)の吸入空気流量測定用の気体流量測定装置に関わり、特に、気体流量のみならず、気体温度検出信号も得るのに好適な気体流量測定装置に関する。
自動車用エンジンにおいては、燃料噴射量を制御するために吸入空気流量を測定する必要がある。この吸入空気流量を測定する装置の一種に、発熱抵抗体式気体流量測定装置がある。この発熱抵抗式気体流量測定装置の出力信号は、温度が変化したとしても出力信号の変化が小さい、すなわち、温度依存誤差が小さいことが望ましい。この温度依存誤差を小さくするために、気体温度,基板温度検出信号から、気体流量検出信号の温度依存誤差を補正する必要がある。
このうち、気体温度の依存誤差の補正は、特開平11-37815号公報に記載されている技術がある。これは、吸入空気流路内にサーミスタなどの独立した温度センサを配置し、この温度検出信号を用いてデジタル演算により気体温度依存誤差の補正をするものである。一般的に温度センサとして用いられるサーミスタは安価であるというメリットを有するが、抵抗値は温度の逆数の指数関数であるため、温度検出信号が温度に対し非線形となってしまい、高温および低温での分解能が粗くなってしまう。そのため、測定精度が低くなってしまう。
また、サーミスタの代わりにその出力特性を直線性が良好なPt(白金)抵抗体を用いることも可能であるが、高価であるため、装置価格が上昇してしまう。
特開2003-75266号公報には、気体温度検出精度を向上させるために、抵抗とサーミスタを並列接続、あるいは、複数の抵抗を並列および直列に接続することで気体温度信号を直線的な出力になるように構成することが記載されている。しかし、このようなアナログ回路による抵抗の組み合わせの構成では直線性が好ましくなく、出力レンジも狭くなるため利便性が低くなってしまう。
特開2010-7530号公報には、気体温度センサの故障を高精度に診断するために、外部に気体温度センサの故障を高精度に診断するための装置を設けることが記載されている。しかし、このような外部装置を設けるとコスト上昇を避けることはできない。
上記した従来の技術にあたっては、気体温度検出信号を得るために、複数の抵抗体から構成される回路を設置したり、外部に故障診断を行うための装置を設けるため、調整工数が増えるおそれがあった。
また、気体温度検出素子の特性により、気体温度の出力が非線形であると、ノイズの影響による精度悪化や高温および低温の分解能が粗くなってしまい、高精度で使用できる温度範囲が狭くなってしまう。さらに、複数の抵抗体の組み合わせによって、気体温度信号に直線性を持たせても、完全に直線にすることは難しい。また、直線性を持たせても、出力レンジを最大に利用することができない。
さらに、気体温度検出素子が断線、あるいは短絡などの故障状態にあるとき、診断回路を用いるため、コスト上昇を招くこととなってしまう。
そこで、本発明の目的は、気体温度の出力が非線形であるときでも、高温および低温の分解能を上げ高精度で使用できる温度範囲を拡大しより高精度かつ信頼性の高い気体流量測定装置を提供することにある。
上記課題を解決するためには、気体温度検出信号をデジタル回路を用いて非線形出力であったものをリニア出力となるように補正する。これにより、高温および低温の分解能を上げ高精度で使用できる温度範囲を拡大することができる。また、極高温および極低温においては、一定の出力となるようにすることで、診断回路を設けることなく気体温度検出素子の断線・短絡の故障診断が可能になる。さらに、補正式の最適化によって演算処理容量を小さくすることが可能である。また、回路の温度による特性ばらつきも補正できるため、気体温度検出信号のばらつきを小さくすることができる。
本発明によれば、容易に温度検出範囲を拡大しつつ高精度でありながら、気体温度出力から気体温度検出素子の断線・短絡の故障診断をすることが可能な高精度かつ高信頼性を持つデジタル回路を有する気体流量測定装置を提供することができる。また、回路の温度による特性ばらつきも補正できるため、気体温度検出信号のばらつきを小さくすることができる。
以下、本発明による気体流量測定装置の一実施の形態について、図面を参照して説明する。
まず、本発明の第1の実施形態について、図1から図7を用いて説明する。図1は、本発明の第1の実施形態である気体流量測定装置2を気体通路ボディ3に実装した状態を示す図である。図2は第1の実施形態である気体流量測定装置2のA-A′断面を示す図である。図3は第1の実施形態である気体流量測定装置2の流量検出回路および気体温度検出回路22の概略構成を示す図である。
図2において、気体流量測定装置2は内燃機関の吸気流路を形成する気体通路ボディ3に取り付けて気体流路を流れる気体にさらす構成である。そのため、気体温度検出素子(サーミスタあるいは気体温度測定抵抗体とも呼ばれる)1は吸気流体に直接さらされるように、気体流量測定装置2の上流側に備えられており、気体流量検出素子4は、副通路7内に備えられている。また、気体流量検出素子4は、基板5上に取り付けられており、気体流量検出素子4が取り付けられた部分のみが副通路7内に設置されている。基板5には、図3に示す気体温度検出回路22も備えられており、副通路7とは隔離されている。気体温度検出素子1で検出した気体温度は、基板5上の気体温度検出回路22により電圧信号に変換されアナログ-デジタル変換器AD3 14に入力される。また、集積回路21内には、基板5相当の温度を検出するための基板温度を検出するために集積回路内の温度センサ(基板温度センサ)12が備え付けられている。これにより、気体温度と気体流量測定装置2のそれぞれの温度を検出することができる。
図3において、気体温度検出回路22は、吸気流路に配置した気体温度検出素子1と固定抵抗9を直列接続して構成されており、気体温度検出回路22にはレギュレータ(基準電源)23出力の定電圧が供給される。このとき、気体温度検出素子1の特性は図4に示すように対数関数の特性を示す。
そして、気体温度検出素子1と固定抵抗9によるレギュレータ23出力電圧の分圧値を気体温度検出信号としてデジタル回路に取り込む。この入力電圧は図5に示すような非線形特性となる。そのため、従来のように、分圧値そのままでは非線形特性であるため、高温および低温において分解能が粗いため精度が低下してしまう。さらに、図6に示すような非線形特性の場合には、エンジンコントロールユニットECU27での温度変換時において、出力にノイズが重畳されると、センサの非線形性のために出力の平均値と温度変換後の平均値がずれてしまい、温度に変換したときのノイズが大きくなってしまう。そのため、エンジンコントロールユニットECU27で扱う温度信号の精度が確保できない。
そこで、気体温度信号の特性補正を行う。まず、気体温度検出素子1と固定抵抗9によるレギュレータ23出力電圧の分圧値をアナログ-デジタル変換器AD3 14によってアナログ値からデジタル値に変換する。この変換されたデジタル値は、あらかじめPROM15内に保存されている定数を元にデジタル信号処理DSP10によって補正演算処理され、図7に示すような出力特性に補正される。具体的には、保証温度範囲(所定の最大出力と最小出力を持ち、かつ、所定の温度範囲)において右上がりのリニアの出力特性に補正される。このとき、アナログ-デジタル変換器AD3 14に入力される電圧のデジタル信号(補正する値)をX、補正後の値をY、補正に用いる各補正係数をkt0~kt5とすると、(1)式に示す補正式を用いることで、図7に示す調整後の出力特性に補正することができる。
Y=kt5X5+kt4X4+kt3X3+kt2X2+4(kt1+0.25)(X/2+kt0)
…(1)
Y=kt5X5+kt4X4+kt3X3+kt2X2+4(kt1+0.25)(X/2+kt0)
…(1)
ここで、kt0~kt5は、あらかじめPROM15内に保存されている。
このように補正されたデジタル値は、デジタル-アナログ変換器DA2 18を用いてアナログ変換され、電圧信号として出力される。一方、デジタル信号を周波数信号に変換するフリーランニングカウンタFRC2 19を用いてアナログ変換すると、気体温度信号は周波数信号として出力される。デジタル-アナログ変換器DA2 18とフリーランニングカウンタFRC2 19の選択はマルチプレクサMUX2 25の設定で選択実施できる。
また、実施形態1においては、アキシャル部品だけでなくチップサーミスタのような半導体を用いても実施することが可能である。この場合、サーミスタを基板5上に設置することで、アキシャル部品を設置するためのリード線の溶接が不要になり、コスト低減が可能である。
このように、デジタル回路を用いて気体温度信号の出力が非線形出力であったものをリニア出力となるように補正することにより、高温および低温の分解能を上げ高精度で使用できる温度範囲を拡大することができる。また、これにより、極高温および極低温においては、一定の出力となるようにすることで、診断回路を設けることなく気体温度検出素子の断線・短絡の故障診断が可能になる。さらに、補正式の最適化によって演算処理容量を小さくすることが可能である。また、回路の温度による特性ばらつきも補正できるため、気体温度検出信号のばらつきを小さくすることができる。
また、実施形態1において、副通路の構造は図2に示す副通路7のように、主通路6に平行な形状であるが、図16に示す副通路7のような渦巻き状で、副通路入り口28から入った気体は副通路7に沿って気体流量検出素子4を通過し、副通路出口29から出ていく構造でもよい。さらには、渦巻き状以外にもコの字形やα形などの副通路でも実施することが可能である。
次に、第2の実施形態について説明する。気体流量を検出することが可能でかつ気体流量検出信号をデジタル回路によって補正を行う気体流量測定装置2において、気体温度検出素子1により吸入気体温度を検出し、高精度化のためにデジタル回路によって補正を行う場合、デジタル回路内の演算を簡略化し、PROM15内の保存データ量を最小にすることで、コスト上昇を防ぐことができる。そのため、気体温度信号のデジタル回路において、演算処理負荷を低減するために、実施形態1における補正処理式(1)に変えて式(2)を用いると、演算回数を最小限にすることが可能である。
Y=16(kt5 *X/2+kt4)
[X(X/2+kt3){X(X/2+kt2)+kt1}+kt0]-X …(2)
Y=16(kt5 *X/2+kt4)
[X(X/2+kt3){X(X/2+kt2)+kt1}+kt0]-X …(2)
ここで、アナログ-デジタル変換器AD3 14に入力されるデジタル信号(補正する値)をX、補正後の値をY、補正に用いる各補正係数をkt0~kt5である。kt0~kt5は、あらかじめPROM15内に保存されている。
(2)式は、(1)式と比べ演算回数を大幅に減らせ、補正精度としては(1)式と同等で、図7に示す調整後の出力に補正することが可能である。
また、上記した補正式(1)および(2)以外にも任意の関数を用いて補正することができる。これは、レギュレータ23から供給される電圧を分圧するときに、固定抵抗9を直列に設置した場合や、並列に設置した場合、複数の抵抗の組み合わせによっては、アナログ-デジタル変換器AD3 14に入力される電圧の特性が異なる。これらの補正を行うための最適な補正式も、アナログ-デジタル変換器AD3 14に入力される電圧の特性によって異なる。但し、補正に用いる関数の次数を大きくすると、演算処理量の増大およびPROM容量が増大し、コスト上昇につながる。また、補正に用いる関数の次数が小さいと、図7に示す調整後の特性に補正することが困難になり十分な精度を確保することができない。そのため、図7に示す調整前の非線形な特性を調整後の特性に補正するための最適でかつ任意の関数を用いることで、気体温度信号を高精度に出力するための補正が可能である。
次に、第3の実施形態について説明する。気体流量を検出することが可能でかつ気体流量検出信号をデジタル回路によって補正を行う気体流量測定装置2において、気体温度検出素子1により吸入気体温度を検出し、高精度化のためにデジタル回路によって補正を行う場合、気体温度信号の補正は図15に示すテーブルを用いて補正することができる。このテーブルは、入力としてアナログ-デジタル変換器AD3 14に入力されるデジタル値Xと吸気温度の目標出力電圧までの変換量Yの相関関係を表すテーブルが複数のデータ(入力はx1~xnまでn個、変換量はy1~ynまでのn個)で構成されている。変換後の出力Tは、入力Xにテーブルによって算出された変換量Yを加えることで算出される。但し、テーブルのデータ数nが多ければ、補正精度が向上するが、PROM15内に書き込むデータ容量が増大してしまいコストが上昇してしまう。逆に、データ数nが少なければ、PROM15内に書き込むデータ容量が小さいため、コスト上昇を防ぐことができるが、補正精度が低下してしまう。そのため、テーブルに用いるデータ数nは、使用する温度範囲から最適なデータ数に設定する必要がある。このテーブルを用いた手法にすることで、関数を用いた補正方法よりも演算処理量を小さくすることが可能である。
次に、第4の実施形態について、図8により説明する。なお、図8に示す基板5上の回路は、第1の実施形態に示す回路と同等である。図8において、気体温度検出素子1と固定抵抗9を直列接続しており、気体温度検出回路22にはレギュレータ23出力の定電圧が供給される。そして、気体温度検出素子1と固定抵抗9によるレギュレータ23出力電圧の分圧値であるアナログ-デジタル変換器AD3 14の入力電圧を気体温度検出信号としてデジタル回路に取り込む。このとき、実施形態1と異なるのが、気体温度検出素子1と固定抵抗9の位置である。実施形態1では、レギュレータ23の出力側に気体温度検出素子1、GND側に固定抵抗9を接続していたのに対して、実施形態5では、レギュレータ23出力側に固定抵抗9、GND側に気体温度検出素子1を接続している。これにより、気体温度出力であるアナログ-デジタル変換器AD3 14に入力される電圧は、非線形ではあるものの図9に示すような右上がりの特性になる。図10に示すように、調整後の目標出力特性は、実施形態1と同等であるが、アナログ-デジタル変換器AD3 14の入力電圧が右上がりの特性になったことで、調整後の目標出力と調整前の出力との差が小さくなる。そのため、補正量も小さくすることができるため、演算処理内での負荷が低減できるとともに、演算処理内のオーバーフローを低減することができるため、演算誤差および桁落ち誤差を低減することが可能である。
次に、第5の実施形態について、図11により説明する。図11において、気体温度検出素子1と固定抵抗9を直列接続しており、気体温度検出回路22へはレギュレータ23出力の定電圧が供給される。そして、気体温度検出素子1と固定抵抗9によるレギュレータ23出力電圧の分圧値であるアナログ-デジタル変換器AD3 14の入力電圧を気体温度としてデジタル回路に取り込む。すなわち、第5の実施形形態では、気体温度検出素子1の両端に生じる電位差を出力信号としている。このとき、固定抵抗9は、基板5上には無く、集積回路21内にある。特性は、第1の実施形態と同等であるが、固定抵抗9を基板5上ではなく集積回路21内部に設けることで、コスト低減が可能である。
次に、第6の実施形態について、図12,図13により説明する。第1の実施形態に対して、固定抵抗9ではなく、定電流源26を用いアナログ-デジタル変換器AD3 14の入力電圧を気体温度信号として読み取り、デジタル補正を行う。このときのアナログ-デジタル変換器AD3 14入力電圧の特性は、図13に示すような対数関数の特性となる。この調整前の気体温度信号であるアナログ-デジタル変換器AD3 14の入力電圧を図14に示すように、デジタル補正によって調整後の出力に変換する。定電圧を供給すると、気体温度検出素子1の抵抗値に応じて気体温度検出素子1に流れる電流が変わってしまい、気体温度検出素子1の自己発熱の影響が大きくなってしまうが、定電流源26を用いることで、気体温度検出素子1に流れる電流を一定にすることが可能となり、気体温度検出素子1の抵抗値が変わっても気体温度検出素子1に流れる電流が変わらないため、自己発熱の影響を小さくすることが可能である。
次に、第7の実施形態について、図3により説明する。気体流量を検出することが可能でかつ気体流量検出信号をデジタル回路によって補正を行う気体流量測定装置2において、気体温度検出素子1により吸入気体温度を検出し、高精度化のためにデジタル回路内のデジタル信号処理DSP10によって補正を行う場合、検出回路の温度特性影響を補正する。基板5に搭載されている集積回路21内の集積回路内の温度センサ12によって基板5の温度情報を得ることができる。さらに、(3)式を用いて、デジタル信号処理DSP10において補正を行う。
Y=kt5X5+kt4X4+kt3X3+kt2X2
+4(ktsT+kt1+0.25)(X/2+ktzT+kt0) …(3)
Y=kt5X5+kt4X4+kt3X3+kt2X2
+4(ktsT+kt1+0.25)(X/2+ktzT+kt0) …(3)
ここで、アナログ-デジタル変換器AD3 14に入力されるデジタル信号(補正する値)をX、集積回路内の温度センサ12の出力(基板5の温度)をT、補正後の値をY、補正に用いる各補正係数をkt0~kt5,kts,ktzである。kt0~kt5,kts,ktzは、あらかじめPROM15内に保存されている。
これにより、気体温度信号を補正するだけでなく、検出回路の温度特性影響も補正できるため、さらなる高精度化が可能である。
1 気体温度検出素子
2 気体流量測定装置
3 気体通路ボディ
4 気体流量検出素子
5 基板
6 主通路
7 副通路
8 空気の流れ
9 固定抵抗
10 デジタル信号処理DSP
11 アナログ-デジタル変換器AD1
12 集積回路内の温度センサ
13 アナログ-デジタル変換器AD2
14 アナログ-デジタル変換器AD3
15 PROM
16 デジタル-アナログ変換器DA1
17 フリーランニングカウンタFRC1
18 デジタル-アナログ変換器DA2
19 フリーランニングカウンタFRC2
20 発信器
21 集積回路
22 気体温度検出回路
23 レギュレータ
24 マルチプレクサMUX1
25 マルチプレクサMUX2
26 定電流源
27 エンジンコントロールユニットECU
28 副通路入り口
29 副通路出口
2 気体流量測定装置
3 気体通路ボディ
4 気体流量検出素子
5 基板
6 主通路
7 副通路
8 空気の流れ
9 固定抵抗
10 デジタル信号処理DSP
11 アナログ-デジタル変換器AD1
12 集積回路内の温度センサ
13 アナログ-デジタル変換器AD2
14 アナログ-デジタル変換器AD3
15 PROM
16 デジタル-アナログ変換器DA1
17 フリーランニングカウンタFRC1
18 デジタル-アナログ変換器DA2
19 フリーランニングカウンタFRC2
20 発信器
21 集積回路
22 気体温度検出回路
23 レギュレータ
24 マルチプレクサMUX1
25 マルチプレクサMUX2
26 定電流源
27 エンジンコントロールユニットECU
28 副通路入り口
29 副通路出口
Claims (8)
- 気体流路中に配置される複数の抵抗体と、
前記複数の抵抗体に流れる電流又はこの電流に応じて発生する電圧を検出することにより前記気体流路中に流れる気体流量に応じた気体流量検出信号を出力する気体流量検出回路と、
前記気体流路中の気体温度を検出するための気体温度検出素子と、を有し、
前記気体流量検出回路は、前記気体温度検出素子から出力される信号を所定の最大出力と最小出力を持ち、かつ、所定の温度範囲で線形となるように出力信号を変換する信号変換手段を備えていることを特徴とする気体流量測定装置。 - 請求項1に記載の気体流量測定装置において、
前記気体温度検出素子は、基準電源に固定抵抗と直列に接続されており、前記基準電源の電源電圧は、上記気体温度検出素子と前記固定抵抗によって分圧され、前記分圧された電圧信号を出力信号とすることを特徴とする気体流量測定装置。 - 請求項2に記載の気体流量測定装置において、
前記固定抵抗は、前記気体流量検出回路が設けられている基板と同一の基板上に設けられたことを特徴とする気体流量測定装置。 - 請求項1に記載の気体流量測定装置において、
前記気体温度検出素子は、定電流源に接続され、前記気体温度検出素子の両端に生じる電位差を出力信号とすることを特徴とする気体流量測定装置。 - 請求項1に記載の気体流量測定装置において、
前記気体温度検出素子は、サーミスタで構成されることを特徴とする気体流量測定装置。 - 請求項1に記載の気体流量測定装置において、
前記信号変換手段で変換される出力信号は、アナログ-デジタル変換器で変換されたデジタル信号であり、
前記アナログ-デジタル変換器は、集積回路に設けられており、
前記集積回路は、前記信号変換手段で変換された出力信号をアナログ信号に変換するデジタル-アナログ変換器を備えていることを特徴とする気体流量測定装置。 - 請求項6に記載の気体流量測定装置において、
前記集積回路には基板の温度を計測する基板温度センサが設けられており、
前記アナログ-デジタル変換器で変換されたデジタル信号および前記基板温度センサの信号に基づいて前記信号変換手段によって出力信号を変換することを特徴とする気体流量測定装置。 - 請求項6に記載の気体流量測定装置において、
前記固定抵抗は、前記集積回路に設けられたことを特徴とする気体流量測定装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US13/817,889 US8844348B2 (en) | 2010-09-08 | 2011-08-19 | Gas flow rate measurement device |
CN201180040855.1A CN103080703B (zh) | 2010-09-08 | 2011-08-19 | 气体流量测量装置 |
EP11823396.4A EP2615431B1 (en) | 2010-09-08 | 2011-08-19 | Gas flow rate measurement device |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010200450A JP5577198B2 (ja) | 2010-09-08 | 2010-09-08 | 気体流量測定装置 |
JP2010-200450 | 2010-09-08 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
WO2012032917A1 true WO2012032917A1 (ja) | 2012-03-15 |
Family
ID=45810520
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
PCT/JP2011/068776 WO2012032917A1 (ja) | 2010-09-08 | 2011-08-19 | 気体流量測定装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8844348B2 (ja) |
EP (1) | EP2615431B1 (ja) |
JP (1) | JP5577198B2 (ja) |
CN (1) | CN103080703B (ja) |
WO (1) | WO2012032917A1 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013064367A (ja) * | 2011-09-20 | 2013-04-11 | Hitachi Automotive Systems Ltd | 空気物理量検出装置 |
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- 2010-09-08 JP JP2010200450A patent/JP5577198B2/ja active Active
-
2011
- 2011-08-19 US US13/817,889 patent/US8844348B2/en active Active
- 2011-08-19 WO PCT/JP2011/068776 patent/WO2012032917A1/ja active Application Filing
- 2011-08-19 EP EP11823396.4A patent/EP2615431B1/en active Active
- 2011-08-19 CN CN201180040855.1A patent/CN103080703B/zh active Active
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Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
See also references of EP2615431A4 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103080703B (zh) | 2016-04-27 |
EP2615431A1 (en) | 2013-07-17 |
CN103080703A (zh) | 2013-05-01 |
EP2615431A4 (en) | 2014-07-23 |
US8844348B2 (en) | 2014-09-30 |
EP2615431B1 (en) | 2019-05-15 |
JP2012058043A (ja) | 2012-03-22 |
JP5577198B2 (ja) | 2014-08-20 |
US20130152699A1 (en) | 2013-06-20 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
WWE | Wipo information: entry into national phase |
Ref document number: 201180040855.1 Country of ref document: CN |
|
121 | Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application |
Ref document number: 11823396 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |
|
WWE | Wipo information: entry into national phase |
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|
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|
NENP | Non-entry into the national phase |
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