JPH08304136A - 発熱抵抗式空気流量計 - Google Patents
発熱抵抗式空気流量計Info
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Abstract
流量域に亘って行い流量を高精度に計測できる発熱抵抗
式空気流量計を提供する。 【構成】空気通路30に設置された発熱抵抗体1,感温抵
抗体2と、該発熱抵抗体1に流れた電流を電圧信号に変換
する基準抵抗体4とからなるブリッジ回路を有し空気流
を検出する定温度制御回路102と、増幅率を決める複数
の増幅用抵抗体を有し電圧信号を流量信号として増幅す
る出力増幅回路103とを含み空気流量を計測するものに
おいて、出力増幅回路103は、複数の増幅用抵抗体のう
ち少なくとも1つの増幅用抵抗体50が、他の増幅用抵抗
体13,14,15,16,51の温度係数とは異なり、空気流の温度
変化による増幅率の変化を打ち消す関係にある温度係数
を有する異種抵抗体Rsから選定され、空気流の温度変化
に対し温度補正する補正手段を備えた発熱抵抗式空気流
量計。
Description
に、自動車のエンジン制御に供する発熱抵抗式空気流量
計に関する。
ンに対して、より高精度な燃焼制御が要求され、このた
めに、吸入空気量を高精度に検出できる空気流量計が望
まれている。これに応える従来技術の空気流量計とし
て、特開昭60−100218号公報に開示されたもの
がある。この開示技術によれば、発熱抵抗式空気流量計
の電源回路のツエナーダイオード電流を調整することに
より、吸入空気温度変化に対する計測値の温度補正を行
っている。
では、計測される空気流量の如何に関わらず、流量信号
に対し、吸入空気温度に応じた一定の電圧を変化させる
補正だけであった。したがって、任意の1流量点におけ
る流量信号の温度補正は為されるが、実際には発熱抵抗
体に流れる空気の温度によって空気流量に対応する流量
信号が変化するので、すなわち、流量の吸入空気温度に
よる依存性があるため、全流量域における流量信号の温
度補正は為されず、温度変化に対する精度は不十分であ
った。換言すれば、吸入空気温度変化に対する計測値の
温度補正は、任意の1流量点のみであって、全流量域に
亘って為されておらず、計測精度上に問題があった。
の温度変化に対する温度補正を全流量域に亘って行い、
流量を高精度に計測できる発熱抵抗式空気流量計を提供
することにある。
に設置された発熱抵抗体と感温抵抗体、及び該発熱抵抗
体に流れた電流を電圧信号に変換する基準抵抗体からな
るブリッジ回路を有し空気流を検出する定温度制御回路
と、増幅率を決める複数の増幅用抵抗体を有し前記電圧
信号を流量信号として増幅する出力増幅回路とを含み、
空気流量を計測する発熱抵抗式空気流量計において、前
記出力増幅回路は、複数の前記増幅用抵抗体のうち少な
くとも1つの前記増幅用抵抗体が、他の前記増幅用抵抗
体の温度係数とは異なり、前記空気流の温度変化による
前記増幅率の変化を打ち消す関係にある温度係数を有す
る異種抵抗体から選定され、前記空気流の温度変化に対
し温度補正する補正手段を備えることにより達成され
る。
の基準抵抗体の端子電圧側とアース間に接続する、また
は出力増幅回路の入力段の基準抵抗体の端子電圧側と足
切り電圧側間に接続する、あるいは出力増幅回路の差動
増幅器のフィードバック部位に接続することが望まし
い。
温度変化に対する温度補正を全流量域に亘って行うこと
ができる。すなわち、定温度制御回路の発熱抵抗体に流
れた電流が、基準抵抗体により電圧信号に変換され、該
電圧信号は流量信号として増幅するための出力増幅回路
に送られる。この出力増幅回路の増幅率を決める複数の
増幅用抵抗体のうち、少なくとも1つの増幅用抵抗体
を、他の増幅用抵抗体の温度係数とは異なる温度係数を
有する異種抵抗体で構成することによって、空気温度に
よる増幅率の変化を打ち消す、即ち、温度変化による発
熱抵抗体の熱伝達係数の変化を打ち消すことにより、流
量の吸入空気温度による依存性を無くすことができる。
これにより、全流量域において計測値の温度補正ができ
る。
説明する。
式空気流量計を示す回路構成図である。図2は、図1の
発熱抵抗式空気流量計を実装した場合の流量計測部の断
面を示す図である。図1と図2から、構成と動作につい
て説明する。
空気通路30内に設置され空気流量を計測するための発熱
抵抗体1及び感温抵抗体2と、発熱抵抗体1及び感温抵
抗体2に結線された定温度制御回路102と、出力増幅回
路103と、電源回路101とを含み構成される。そして、定
温度制御回路102において、発熱抵抗体1に流れた電流
を電圧信号に変換するための基準抵抗体4が、発熱抵抗
体1及び感温抵抗体2と組み合わされて、発熱抵抗体1
が空気温度に対して常に所定温度になるようにブリッジ
回路を構成し、所謂熱線式流量計が構成されている。
尚、このような熱線式流量計については広く知られてい
るので、構成と動作の説明は省略する。
吸気管である空気通路30に、発熱抵抗体1や感温抵抗体
2などが配設された発熱抵抗式空気流量計の断面図であ
る。そして、流量計測部100は、発熱抵抗体1や感温抵
抗体2などからなる検出部、定温度制御回路102などが
組み込まれた基板70等を備える発熱抵抗式空気流量計の
本体部分である。
抗体1が一定温度に制御されているとき、基準抵抗体4
に流れる電流Ihは、(数1)式に示されるように、空気通
路30内を流れる空気流量Qに対応して変化する。
ての端子電圧Voは、(数2)式に示されるように、空気流
量Qに対応して変化する。
を構成している、増幅用抵抗体としての抵抗体50と抵
抗体51とにより分圧される。そしてさらに、差動増幅
器11と複数の増幅用抵抗体としての抵抗体13,1
4,15,16とからなる出力増幅回路103によって、
電源回路101で作られた基準電圧Vrefが用いられて、
(数3)式のように増幅されて出力される。尚、電源回
路101は、特開60−100218号公報に示された回
路であり温度補正機能を持っている。したがって、基準
抵抗体4の電流から変換した電圧信号の、流量信号とし
て増幅された出力電圧Voutは、次式で表わせる。
抗値 ここで、(数1)式などにある (A+B√Q)は、熱伝達率
hに相当するものである。そして、一般に、発熱抵抗体
の熱伝達率hは、図3に示すように吸入空気温度Taに
依存することが知られている。ここに、流量の吸入空気
温度による依存性の因がある。
係を表す図である。熱伝達率hは、空気流量√Qと、切
片Aと、勾配Bとの一次関数となり、 切片A(Ta)と勾
配B(Ta)は、その時の吸入空気温度Taをパラメータと
している。
101に温度補正機能を持たせて任意の流量Qaにおいて
温度変化に対する出力変化を0(零)にしても、即ち、温
度補正機能を有する電源回路101のみで任意の1流量点
である流量Qaにおいて、温度変化に対する流量の誤差
(出力変化)を零にしても、次の図4に示すように、他の
流量点において検出の誤差(dQ/Q)を生じ、補正し切
れないことが判る。
である。図の場合は、吸入空気温度Ta=20℃を基準と
し温度補正している。従って、Ta=20℃の場合は、全
流量域において問題ないが、基準から外れて、Ta=−2
0℃ や 80℃となった場合、1つの流量点である流量Q
aにおいてのみ誤差は零となるが、他の流量点において
誤差を生じることを示している。
空気温度に対する依存性についての説明である。そこ
で、吸入空気温度によらず、全流量域において誤差を生
じないようにすることが本発明である。これについて説
明する。
1の傾き(増幅率)を決める複数の増幅用抵抗体のうち、
1つの増幅用抵抗体としての抵抗体50を異種抵抗体R
sとしての異種抵抗体50とし、該異種抵抗体50の温
度係数を残りの増幅用抵抗体の温度係数と異なる値にす
る。すなわち、出力増幅回路103を構成する複数の増幅
用抵抗体のうち、例えば、出力増幅回路103の入力段の
基準抵抗体4の端子電圧側とアース間に接続された抵抗
体50を、他の複数の増幅用抵抗体の温度係数とは異な
る、温度係数α値を有する異種抵抗体50とする。そし
て、出力増幅回路103を構成する残りの抵抗体を、温度
係数β値を有する一般の抵抗体とする。以下の説明で抵
抗体50は、異種抵抗体50または異種抵抗体Rsと呼
称する。
は、(数4)式のように変換することができる。
16R14) b :抵抗比率 b=(R16R13)/(R14R15+R15R16+R16R14) (a,bは温度に関係なく一定になる。) そして、適切なる温度係数α,βおよび抵抗比率 a,bを
選定することにより、熱伝達率hの吸入空気温度Taに
よる依存性を無くし、空気流の温度変化に対し流量信号
として出力される出力電圧Voutを温度補正する補正手
段を備えることができる。
α>>1であれば、(1+αTa)/((1+βTa)+(1+αTa))は、1
/(β/α+1)と近似することができる。すなわち、(数
4)式からTaの項を無くし、吸入空気温度Taによる増幅
率の変化を打ち消すことができる。換言すれば、吸入空
気温度Taの影響を無くすことができる。この結果、吸入
空気温度Taの変化に対する計測値の温度補正が、全流量
域に亘って為されることになる。
抵抗体のうち、少なくとも1つの抵抗体50を、他の複
数の抵抗体の温度係数とは異なる温度係数を有する異種
抵抗体Rsで構成し、基準抵抗体4の電流の、すなわち
該電流から変換した電圧信号(即ち、流量信号)の吸入空
気温度Taによる増幅率の変化を打ち消すよう構成した補
正手段において、1つの抵抗体50を選択したが、(数
4)式から吸入空気温度Taの影響を無くすことができる
ならば、1つの抵抗体に拘泥する必要は無い。
抗式空気流量計を示す回路構成図である。図5は、温度
係数の異なる異種抵抗体Rsを基準抵抗体4の端子電圧
と足切り電圧部に接続した実施例である。すなわち、補
正手段が出力増幅回路の入力段の基準抵抗体の端子電圧
側と足切り電圧側間に接続されたものである。
る。
体13,14,15,16などによって決定されるが、
図5の実施例によれば、R51及びRsにのみから決定され
るようになり、R13,R14,R15,R16の抵抗体自体のバラ
ツキや温度変化による抵抗値の影響を受けないものとす
る、または少なくすることができる。
の発熱抵抗式空気流量計を示す回路構成図である。図6
は、温度係数の異なる異種抵抗体50を差動増幅器11
のフィードバック部位に接続した実施例である。すなわ
ち、補正手段が出力増幅回路の増幅率を決定する差動増
幅器のフィードバック部位に結線されたものである。
のようになる。
けるR33の抵抗値 R19o:0℃におけるR19の抵抗値 R20o:0℃におけるR20の
抵抗値 Rso :0℃におけるR50の抵抗値 なお、抵抗体19,20,32,33,34,35,3
6,37は、増幅用抵抗体である。そして、R34=R35=
R36=R37は、同じの抵抗値を有する。
することにより、Voの熱伝達率の吸気温度による依存
性を補正することができる。なお、図中のプルダウン抵
抗52は、異種抵抗体Rsの降下電圧を小さくできる場
合はなくても良い。
す図である。図1から図6までの異種抵抗体Rsは、一
般に用いられる炭素皮膜抵抗、金属皮膜抵抗、印刷用抵
抗ペーストなどから作られたものであって、温度係数の
異なる抵抗体であった。
sは、感温抵抗体2と構造が同じである抵抗体素子510を
使用したものである。すなわち、抵抗体素子510は、絶
縁体としてのボビン502に白金線501が巻かれ、さらに絶
縁体としてのガラス503が覆われ、該白金線501が導電体
としてのリード505と、支持体504とを介して、差動増幅
器11に接続されているものである。白金線等からなる
抵抗体素子510の温度係数αは、3870ppm/℃であ
る。この値は α>>1であり、かつ、炭素皮膜抵抗や金
属皮膜抵抗などからなる抵抗体13,14等の温度係数
βの100ppm/℃位とは、大きく異なり、0℃におけ
る白金線の抵抗値を適度に設定することにより、Voの
温度依存性を補正できる。すなわち、熱伝達率hの吸入
空気温度Taによる依存性を無くすことができる。
す図である。異種抵抗体50は、サーミスタ520である。
図において、サーミスタ520が発熱抵抗体1や感温抵抗
体2などと一緒に内燃機関の吸気管である空気通路30に
配設された、流量計測部100が示されている。
7)式で表わされる。
サーミスタを選定することにより、Voの温度依存性を
補正することができる。
施例を示す図である。異種抵抗体50は、ICチップ60に
内蔵されたモノリシック抵抗530である。ICチップ60
のモノリシック抵抗530の温度係数は、通常1000ppm/
℃以上あるため、他の増幅用抵抗体と異なった温度係数
を有するものとなる。従って、モノリシック抵抗530の
温度係数を適切に選定することによって、Voの温度依
存性を補正することができる。
入空気を当てることが難しいので、実装する場合に工夫
を加え、補正精度の低下を防ぐ必要がある。そこで、モ
ノリシック抵抗530を含むICチップを、出力増幅回路1
03の基板70と一体に形成し、該基板全体を吸入空気中に
設置する例を図10に示す。
実装した場合の流量計測部の断面を示す図である。図の
ように、該ICチップ60を搭載した基板70全体を、例え
ば内燃機関の吸気管である空気通路30内に配設し、IC
チップ60やモノリシック抵抗530に吸入空気を直接当て
る流量計測部100の例である。これにより、ICチップ6
0及びモノリシック抵抗530は、常に吸入空気温度と同じ
温度になり、補正精度は悪化しないものとなる。
1に示すように温度係数の異なる抵抗体、例えば、異種
抵抗体50、抵抗体素子510またはサーミスタ520は、出
力増幅回路103の基板70と一体に形成されたものが望ま
しいと言える。 図11は、他の実施例の発
熱抵抗式空気流量計を実装した場合の流量計測部の断面
を示す図である。図10とは異なる基板70全体を空気通
路30内に配設した例である。図のように、基板70上に搭
載された異種抵抗体Rsとしての抵抗体素子510またはサ
ーミスタ520を、該基板70と一緒に内燃機関の吸気管で
ある空気通路30内に配設し、抵抗体素子510等に吸入空
気を当てる流量計測部100の例である。図11に示した
実施例でも本発明による温度補正が高精度に行える。
する温度補正が全流量域に亘って行われるので、吸入空
気量を高精度に計測できる効果がある。
を示す回路構成図である。
流量計測部の断面を示す図である。
計を示す回路構成図である。
空気流量計を示す回路構成図である。
である。
の流量計測部の断面を示す図である。
た場合の流量計測部の断面を示す図である。
4…基準抵抗体、5,6,7,10,13,14,1
5,16,19,20,23,24,26,32,3
3,34,35,36,37,51…抵抗体、8,9,
11,18,21,22…差動増幅器、25…ツェナー
ダイオード、27…ダイオード、30…空気通路、50
…異種抵抗体(Rs)、52…プルダウン抵抗、
60…ICチップ、70…基板、100…流量計測部、101
…電源回路、102…定温度制御回路、103…出力増幅回
路、501…白金線、502…ボビン、503…ガラス、504…支
持体、505…リード、510…抵抗体素子、520…サーミス
タ、530…モノリシック抵抗
Claims (8)
- 【請求項1】空気通路に設置された発熱抵抗体と感温抵
抗体、及び該発熱抵抗体に流れた電流を電圧信号に変換
する基準抵抗体からなるブリッジ回路を有し、空気流を
検出する定温度制御回路と、増幅率を決める複数の増幅
用抵抗体を有し前記電圧信号を流量信号として増幅する
出力増幅回路とを含み、空気流量を計測する発熱抵抗式
空気流量計において、 前記出力増幅回路は、複数の前記増幅用抵抗体のうち少
なくとも1つの前記増幅用抵抗体が、他の前記増幅用抵
抗体の温度係数とは異なり、前記空気流の温度変化によ
る前記増幅率の変化を打ち消す関係にある温度係数を有
する異種抵抗体から選定され、前記空気流の温度変化に
対し温度補正する補正手段を備えたことを特徴とする発
熱抵抗式空気流量計。 - 【請求項2】請求項1において、前記補正手段は、前記
出力増幅回路の入力段の前記基準抵抗体の端子電圧側と
アース間に接続されたことを特徴とする発熱抵抗式空気
流量計。 - 【請求項3】請求項1において、前記補正手段は、前記
出力増幅回路の入力段の前記基準抵抗体の端子電圧側と
足切り電圧側間に接続されたことを特徴とする発熱抵抗
式空気流量計。 - 【請求項4】請求項1において、前記補正手段は、前記
出力増幅回路の差動増幅器のフィードバック部位に接続
されたことを特徴とする発熱抵抗式空気流量計。 - 【請求項5】請求項1ないし請求項4において、前記異
種抵抗体は、前記感温抵抗体と同じ構造からなる抵抗体
素子であることを特徴とする発熱抵抗式空気流量計。 - 【請求項6】請求項1ないし請求項4において、前記異
種抵抗体は、サーミスタであることを特徴とする発熱抵
抗式空気流量計。 - 【請求項7】請求項1ないし請求項4において、前記異
種抵抗体は、モノリシック抵抗から形成され、ICチッ
プに内蔵されていること特徴とする発熱抵抗式空気流量
計。 - 【請求項8】請求項1ないし請求項7において、前記異
種抵抗体は、前記出力増幅回路の基板と一体に形成され
たものであることを特徴とする発熱抵抗式空気流量計。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7168312B2 (en) | 2004-06-02 | 2007-01-30 | Hitachi, Ltd. | Heating resistor type air flow meter |
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