JP3133608B2 - 熱式空気流量検出装置 - Google Patents
熱式空気流量検出装置Info
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば自動車用エンジ
ン等の吸入空気流量を検出するのに好適に用いられる熱
式空気流量検出装置に関する。
ン等の吸入空気流量を検出するのに好適に用いられる熱
式空気流量検出装置に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、自動車用エンジン等では、エン
ジン本体の燃焼室内で燃料と吸入空気との混合気を燃焼
させ、その燃焼圧からエンジンの回転出力を取出すよう
にしており、燃料の噴射量を演算する上で吸入空気流量
を検出することが重要なファクターとなっている。
ジン本体の燃焼室内で燃料と吸入空気との混合気を燃焼
させ、その燃焼圧からエンジンの回転出力を取出すよう
にしており、燃料の噴射量を演算する上で吸入空気流量
を検出することが重要なファクターとなっている。
【0003】そこで、図7および図8に従来技術の熱式
空気流量検出装置を示す。
空気流量検出装置を示す。
【0004】図において、1は吸気管2の途中に設けら
れた熱式空気流量検出装置を示し、該熱式空気流量検出
装置1は、エンジン本体の燃焼室(図示せず)に向けて
矢示A方向に流通する吸入空気の流量を検出すべく、吸
気管2の途中に取付穴2Aを介して配設されている。
れた熱式空気流量検出装置を示し、該熱式空気流量検出
装置1は、エンジン本体の燃焼室(図示せず)に向けて
矢示A方向に流通する吸入空気の流量を検出すべく、吸
気管2の途中に取付穴2Aを介して配設されている。
【0005】3は熱式空気流量検出装置1の本体部を構
成する流量計本体を示し、該流量計本体3はインサート
モールド等の手段により図8に示すように成形され、巻
線状をなす後述の基準抵抗14を巻回すべく段付き円柱
状に形成された巻線部4と、該巻線部4の基端側に位置
して略円板状に形成され、後述の端子ピン8A〜8Dが
一体的に設けられた端子部5と、巻線部4の先端側から
吸気管2の径方向に延設され、吸気管2の中心部で後述
の発熱抵抗9および温度補償抵抗11を位置決めする検
出ホルダ6と、吸気管2の外側に位置して端子部5が接
続された後述の回路ケーシング7とから大略構成されて
いる。
成する流量計本体を示し、該流量計本体3はインサート
モールド等の手段により図8に示すように成形され、巻
線状をなす後述の基準抵抗14を巻回すべく段付き円柱
状に形成された巻線部4と、該巻線部4の基端側に位置
して略円板状に形成され、後述の端子ピン8A〜8Dが
一体的に設けられた端子部5と、巻線部4の先端側から
吸気管2の径方向に延設され、吸気管2の中心部で後述
の発熱抵抗9および温度補償抵抗11を位置決めする検
出ホルダ6と、吸気管2の外側に位置して端子部5が接
続された後述の回路ケーシング7とから大略構成されて
いる。
【0006】7は吸気管2の取付穴2Aを閉塞するよう
に該吸気管2の外周側に設けられた回路ケーシングを示
し、該回路ケーシング7は絶縁性の樹脂材料等によって
形成され、その底部側には吸気管2の取付穴2Aに嵌合
する嵌合部7Aが一体的に設けられている。そして、該
回路ケーシング7は、例えばセラミック材料等からなる
絶縁基板上に流量調整抵抗および差動増幅器(いずれも
図示せず)等を実装した状態で、これらを内蔵するよう
になっている。
に該吸気管2の外周側に設けられた回路ケーシングを示
し、該回路ケーシング7は絶縁性の樹脂材料等によって
形成され、その底部側には吸気管2の取付穴2Aに嵌合
する嵌合部7Aが一体的に設けられている。そして、該
回路ケーシング7は、例えばセラミック材料等からなる
絶縁基板上に流量調整抵抗および差動増幅器(いずれも
図示せず)等を実装した状態で、これらを内蔵するよう
になっている。
【0007】8A,8B,8C,8Dは流量計本体3の
端子部5から軸方向に突出した4本の端子ピン(全体と
して各端子ピン8という)を示し、該各端子ピン8は流
量計本体3の巻線部4および検出ホルダ6内に埋設され
た例えば4本の端子板(図示せず)に一体化して設けら
れ、回路ケーシング7のコネクタ部(図示せず)に着脱
可能に接続されるものである。
端子部5から軸方向に突出した4本の端子ピン(全体と
して各端子ピン8という)を示し、該各端子ピン8は流
量計本体3の巻線部4および検出ホルダ6内に埋設され
た例えば4本の端子板(図示せず)に一体化して設けら
れ、回路ケーシング7のコネクタ部(図示せず)に着脱
可能に接続されるものである。
【0008】9は流量計本体3の検出ホルダ6にターミ
ナル10A,10Bを介して設けられたホットフィルム
型の発熱抵抗を示し、該発熱抵抗9は温度変化に敏感に
反応して抵抗値が変化する白金等の感温性材料からな
り、例えば酸化アルミニウム(以下、「アルミナ」とい
う)等のセラミック材料からなる絶縁性の筒体に白金線
を巻回したり、白金膜を蒸着したりして形成される小径
の発熱抵抗素子によって構成されている。そして、該発
熱抵抗9はバッテリ(図示せず)からの通電により、例
えば240℃前,後の温度をもって発熱した状態とな
り、吸気管2内を矢示A方向に流れる吸入空気によって
冷却されるときには、この吸入空気の流量に応じて抵抗
値が変化し流量の検出信号を出力させるものである。
ナル10A,10Bを介して設けられたホットフィルム
型の発熱抵抗を示し、該発熱抵抗9は温度変化に敏感に
反応して抵抗値が変化する白金等の感温性材料からな
り、例えば酸化アルミニウム(以下、「アルミナ」とい
う)等のセラミック材料からなる絶縁性の筒体に白金線
を巻回したり、白金膜を蒸着したりして形成される小径
の発熱抵抗素子によって構成されている。そして、該発
熱抵抗9はバッテリ(図示せず)からの通電により、例
えば240℃前,後の温度をもって発熱した状態とな
り、吸気管2内を矢示A方向に流れる吸入空気によって
冷却されるときには、この吸入空気の流量に応じて抵抗
値が変化し流量の検出信号を出力させるものである。
【0009】11は発熱抵抗9の上流側に位置して流量
計本体3の検出ホルダ6に設けられた温度補償抵抗を示
し、該温度補償抵抗11は例えばアルミナ等のセラミッ
ク材料からなる絶縁基板上にスパッタリング等の手段を
用いて白金膜を着膜形成することにより形成され、白金
膜の両端は前記検出ホルダ6に立設されたターミナル1
2A,12B間に接続されている。
計本体3の検出ホルダ6に設けられた温度補償抵抗を示
し、該温度補償抵抗11は例えばアルミナ等のセラミッ
ク材料からなる絶縁基板上にスパッタリング等の手段を
用いて白金膜を着膜形成することにより形成され、白金
膜の両端は前記検出ホルダ6に立設されたターミナル1
2A,12B間に接続されている。
【0010】13は流量計本体3の検出ホルダ6上に装
着される保護カバーを示し、該保護カバー13は検出ホ
ルダ6上に発熱抵抗9および温度補償抵抗11を実装し
た後に、図8中に矢印で示す如く検出ホルダ6に被着さ
れ、発熱抵抗9および温度補償抵抗11を保護すると共
に、吸入空気の流通を許すようになっている。なお、図
7中では発熱抵抗9および温度補償抵抗11を明示すべ
く、保護カバー13を検出ホルダ6から取外した状態で
示している。
着される保護カバーを示し、該保護カバー13は検出ホ
ルダ6上に発熱抵抗9および温度補償抵抗11を実装し
た後に、図8中に矢印で示す如く検出ホルダ6に被着さ
れ、発熱抵抗9および温度補償抵抗11を保護すると共
に、吸入空気の流通を許すようになっている。なお、図
7中では発熱抵抗9および温度補償抵抗11を明示すべ
く、保護カバー13を検出ホルダ6から取外した状態で
示している。
【0011】さらに、14は流量計本体3の巻線部4に
巻回された巻線抵抗からなる基準抵抗を示し、該基準抵
抗14はその両端が、巻線部4に立設されたターミナル
15A,15Bに接続され、前記発熱抵抗9に直列接続
されている。ここで、前記各端子ピン8のうち、端子ピ
ン8Aはターミナル15Aに前記端子板を介して接続さ
れ、端子ピン8Bは他の端子板を介してターミナル15
B,10Aに接続されている。また、端子ピン8Cは別
の端子板を介してターミナル10B,12Bに接続さ
れ、端子ピン8Dはターミナル12Aにさらに別の端子
板を介して接続されている。
巻回された巻線抵抗からなる基準抵抗を示し、該基準抵
抗14はその両端が、巻線部4に立設されたターミナル
15A,15Bに接続され、前記発熱抵抗9に直列接続
されている。ここで、前記各端子ピン8のうち、端子ピ
ン8Aはターミナル15Aに前記端子板を介して接続さ
れ、端子ピン8Bは他の端子板を介してターミナル15
B,10Aに接続されている。また、端子ピン8Cは別
の端子板を介してターミナル10B,12Bに接続さ
れ、端子ピン8Dはターミナル12Aにさらに別の端子
板を介して接続されている。
【0012】このように構成される従来技術の熱式空気
流量検出装置1は、自動車用エンジン等の吸入空気流量
を検出するときに、流量計本体3の端子部5を各端子ピ
ン8を介して回路ケーシング7のコネクタ部に接続した
状態で、流量計本体3の検出ホルダ6等を吸気管2内に
取付穴2Aを介して挿入し、該取付穴2Aに吸気管2の
外周側から回路ケーシング7を取付けることによって、
検出ホルダ6に設けた発熱抵抗9および温度補償抵抗1
1を吸気管2の中心部に配設する。
流量検出装置1は、自動車用エンジン等の吸入空気流量
を検出するときに、流量計本体3の端子部5を各端子ピ
ン8を介して回路ケーシング7のコネクタ部に接続した
状態で、流量計本体3の検出ホルダ6等を吸気管2内に
取付穴2Aを介して挿入し、該取付穴2Aに吸気管2の
外周側から回路ケーシング7を取付けることによって、
検出ホルダ6に設けた発熱抵抗9および温度補償抵抗1
1を吸気管2の中心部に配設する。
【0013】この場合、発熱抵抗9を基準抵抗14に直
列接続すると共に、温度補償抵抗11を回路ケーシング
7内の流量調整抵抗に直列接続することによって、これ
らの発熱抵抗9、基準抵抗14、温度補償抵抗11およ
び流量調整抵抗からブリッジ回路を構成し、これらに外
部から通電を行うことにより発熱抵抗9を240℃前,
後の温度をもって発熱させる。
列接続すると共に、温度補償抵抗11を回路ケーシング
7内の流量調整抵抗に直列接続することによって、これ
らの発熱抵抗9、基準抵抗14、温度補償抵抗11およ
び流量調整抵抗からブリッジ回路を構成し、これらに外
部から通電を行うことにより発熱抵抗9を240℃前,
後の温度をもって発熱させる。
【0014】そして、この状態で吸気管2内をエンジン
本体の燃焼室に向けて矢示A方向に吸入空気が流通する
ときには、この吸入空気の流れにより発熱抵抗9が冷却
されて該発熱抵抗9の抵抗値が変化するから、該発熱抵
抗9に直列接続された基準抵抗14の両端電圧に基づい
て吸入空気の流量に対応した検出信号を出力電圧の変化
として検出する。
本体の燃焼室に向けて矢示A方向に吸入空気が流通する
ときには、この吸入空気の流れにより発熱抵抗9が冷却
されて該発熱抵抗9の抵抗値が変化するから、該発熱抵
抗9に直列接続された基準抵抗14の両端電圧に基づい
て吸入空気の流量に対応した検出信号を出力電圧の変化
として検出する。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来技術では、吸気管2内を流れる吸入空気の流れで発熱
抵抗9が冷却されるのを利用して、該発熱抵抗9の抵抗
値変化に基づき吸入空気流量を検出する構成であるか
ら、該発熱抵抗9は図7中の矢示A方向(順方向)に流
れる吸入空気流によって冷却されると共に、矢示B方向
(逆方向)に流れる空気流によっても冷却されてしま
い、この逆方向の空気流により吸入空気流量を誤検出す
るという問題がある。
来技術では、吸気管2内を流れる吸入空気の流れで発熱
抵抗9が冷却されるのを利用して、該発熱抵抗9の抵抗
値変化に基づき吸入空気流量を検出する構成であるか
ら、該発熱抵抗9は図7中の矢示A方向(順方向)に流
れる吸入空気流によって冷却されると共に、矢示B方向
(逆方向)に流れる空気流によっても冷却されてしま
い、この逆方向の空気流により吸入空気流量を誤検出す
るという問題がある。
【0016】即ち、多気筒のシリンダを備えたエンジン
本体では、各シリンダ内でそれぞれピストンが往復動す
るに応じて各吸気弁(図示せず)が開弁する毎に、吸入
空気が各シリンダ内に向けて矢示A方向(順方向)に吸
込まれるから、吸気管2内を流れる空気の流速は各吸気
弁の開,閉弁に応じて図4に例示する如く増減を繰返し
脈動するようになる。
本体では、各シリンダ内でそれぞれピストンが往復動す
るに応じて各吸気弁(図示せず)が開弁する毎に、吸入
空気が各シリンダ内に向けて矢示A方向(順方向)に吸
込まれるから、吸気管2内を流れる空気の流速は各吸気
弁の開,閉弁に応じて図4に例示する如く増減を繰返し
脈動するようになる。
【0017】特に、エンジンの回転数が低速域から中速
域等に達して吸,排気量が増大してくると、吸気弁と排
気弁(図示せず)とがオーバラップし、排気の一部が吸
気弁の開弁に伴って吸気管2内に吹返すことがあるた
め、このときに吸気管2内では図4に示す時間t1 ,t
2 間のように流速が負(マイナス)となって、矢示B方
向(逆方向)に流れる空気流が発生し、吸入空気流量を
誤検出するという問題が生じる。
域等に達して吸,排気量が増大してくると、吸気弁と排
気弁(図示せず)とがオーバラップし、排気の一部が吸
気弁の開弁に伴って吸気管2内に吹返すことがあるた
め、このときに吸気管2内では図4に示す時間t1 ,t
2 間のように流速が負(マイナス)となって、矢示B方
向(逆方向)に流れる空気流が発生し、吸入空気流量を
誤検出するという問題が生じる。
【0018】本発明は上述した従来技術の問題に鑑みな
されたもので、本発明は逆方向の空気流により吸入空気
流量を誤検出するのを防止でき、流量の検出精度を大幅
に向上できるようにした熱式空気流量検出装置を提供す
ることを目的としている。
されたもので、本発明は逆方向の空気流により吸入空気
流量を誤検出するのを防止でき、流量の検出精度を大幅
に向上できるようにした熱式空気流量検出装置を提供す
ることを目的としている。
【0019】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は、基端側が吸気管に取付けられた流量計本
体と、前記吸気管内に位置して該流量計本体に設けら
れ、前記吸気管内を流れる吸入空気によって冷却される
ときの抵抗値の変化を空気の流量として検出する流量検
出用の発熱抵抗とを備えてなる熱式空気流量検出装置に
適用される。
に、本発明は、基端側が吸気管に取付けられた流量計本
体と、前記吸気管内に位置して該流量計本体に設けら
れ、前記吸気管内を流れる吸入空気によって冷却される
ときの抵抗値の変化を空気の流量として検出する流量検
出用の発熱抵抗とを備えてなる熱式空気流量検出装置に
適用される。
【0020】そして、請求項1の発明が採用する構成の
特徴は、前記流量検出用の発熱抵抗を、前記流量計本体
に取付けられた絶縁基板上に着膜形成され、該絶縁基板
の少なくとも長さ方向に膜状に延びた発熱抵抗体によっ
て構成し、前記絶縁基板上には、前記吸入空気の流れ方
向に対し該発熱抵抗体の前,後に離間して形成され、前
記吸入空気の流れ方向に応じてそれぞれ冷却されるとき
の抵抗値の変化を空気の流れ方向として検出する第1,
第2の感温抵抗体を設け、前記発熱抵抗体は、前記絶縁
基板の長さ方向中間部に位置して幅方向に延びた中間抵
抗部と、該中間抵抗部の両端側から前記絶縁基板の長さ
方向に互いに逆向きに延びた第1,第2の延長抵抗部と
から形成し、前記第1の感温抵抗体は該第1の延長抵抗
部と中間抵抗部との間に位置して該第1の延長抵抗部と
平行に形成し、かつ前記第2の感温抵抗体は前記第2の
延長抵抗部と中間抵抗部との間に位置して該第2の延長
抵抗部と平行に形成したことにある。
特徴は、前記流量検出用の発熱抵抗を、前記流量計本体
に取付けられた絶縁基板上に着膜形成され、該絶縁基板
の少なくとも長さ方向に膜状に延びた発熱抵抗体によっ
て構成し、前記絶縁基板上には、前記吸入空気の流れ方
向に対し該発熱抵抗体の前,後に離間して形成され、前
記吸入空気の流れ方向に応じてそれぞれ冷却されるとき
の抵抗値の変化を空気の流れ方向として検出する第1,
第2の感温抵抗体を設け、前記発熱抵抗体は、前記絶縁
基板の長さ方向中間部に位置して幅方向に延びた中間抵
抗部と、該中間抵抗部の両端側から前記絶縁基板の長さ
方向に互いに逆向きに延びた第1,第2の延長抵抗部と
から形成し、前記第1の感温抵抗体は該第1の延長抵抗
部と中間抵抗部との間に位置して該第1の延長抵抗部と
平行に形成し、かつ前記第2の感温抵抗体は前記第2の
延長抵抗部と中間抵抗部との間に位置して該第2の延長
抵抗部と平行に形成したことにある。
【0021】請求項2の発明では、前記絶縁基板を、先
端側が自由端となって、前記発熱抵抗体および第1,第
2の感温抵抗体が着膜形成される主基板部と、該主基板
部の基端側に位置して前記流量計本体に取付けられ、前
記発熱抵抗体を流量計本体から離間させるための副基板
部と、該副基板部と主基板部との間に位置し、前記絶縁
基板の幅方向一側から他側に向けて延び、発熱抵抗体か
らの熱が該副基板部に伝わるのを抑えるスリットとから
構成し、前記副基板部には該副基板部を加熱する補助ヒ
ータを設けてなる構成としている。
端側が自由端となって、前記発熱抵抗体および第1,第
2の感温抵抗体が着膜形成される主基板部と、該主基板
部の基端側に位置して前記流量計本体に取付けられ、前
記発熱抵抗体を流量計本体から離間させるための副基板
部と、該副基板部と主基板部との間に位置し、前記絶縁
基板の幅方向一側から他側に向けて延び、発熱抵抗体か
らの熱が該副基板部に伝わるのを抑えるスリットとから
構成し、前記副基板部には該副基板部を加熱する補助ヒ
ータを設けてなる構成としている。
【0022】請求項3の発明では、前記絶縁基板を、基
端側が前記流量計本体に取付けられる固定端となり先端
側が自由端となった第1,第2の基板部から構成し、該
第1,第2の基板部間には先端側から基端側に向けて延
びる第1のスリットを形成すると共に、前記第2の基板
部には前記吸入空気の温度変化を補償する温度補償抵抗
を着膜形成し、かつ前記第1の基板部には、先端側が自
由端となって前記発熱抵抗体および第1,第2の感温抵
抗体が着膜形成される主基板部と、該主基板部の基端側
に位置して前記流量計本体に取付けられ、前記発熱抵抗
体を流量計本体から離間させるための副基板部と、該副
基板部と主基板部との間に位置し、前記第1の基板部の
幅方向一側から他側に向けて延び、前記発熱抵抗体から
の熱が該副基板部に伝わるのを抑える第2のスリットと
を設け、前記副基板部には該副基板部を加熱する補助ヒ
ータを設ける構成としている。
端側が前記流量計本体に取付けられる固定端となり先端
側が自由端となった第1,第2の基板部から構成し、該
第1,第2の基板部間には先端側から基端側に向けて延
びる第1のスリットを形成すると共に、前記第2の基板
部には前記吸入空気の温度変化を補償する温度補償抵抗
を着膜形成し、かつ前記第1の基板部には、先端側が自
由端となって前記発熱抵抗体および第1,第2の感温抵
抗体が着膜形成される主基板部と、該主基板部の基端側
に位置して前記流量計本体に取付けられ、前記発熱抵抗
体を流量計本体から離間させるための副基板部と、該副
基板部と主基板部との間に位置し、前記第1の基板部の
幅方向一側から他側に向けて延び、前記発熱抵抗体から
の熱が該副基板部に伝わるのを抑える第2のスリットと
を設け、前記副基板部には該副基板部を加熱する補助ヒ
ータを設ける構成としている。
【0023】請求項4の発明では、前記第1,第2の感
温抵抗体は、互いに並列に接続され、他の抵抗と共にブ
リッジ回路からなる流れ方向検出手段を構成し、該流れ
方向検出手段は、前記第1の感温抵抗体と第2の感温抵
抗体の抵抗値を比較することにより、空気の流れ方向に
対応した流れ方向検出信号を出力する構成としている。
温抵抗体は、互いに並列に接続され、他の抵抗と共にブ
リッジ回路からなる流れ方向検出手段を構成し、該流れ
方向検出手段は、前記第1の感温抵抗体と第2の感温抵
抗体の抵抗値を比較することにより、空気の流れ方向に
対応した流れ方向検出信号を出力する構成としている。
【0024】請求項5の発明では、前記発熱抵抗体は流
量検出信号を出力するブリッジ回路を構成し、さらに該
ブリッジ回路から出力される流量検出信号と前記流れ方
向検出手段によって検出される流れ方向検出信号とに基
づいて、前記空気の流れ方向が順方向のときには前記流
量検出信号をそのまま出力し、逆方向のときには前記流
量検出信号を反転させて出力する流量信号出力手段を備
える構成としている。
量検出信号を出力するブリッジ回路を構成し、さらに該
ブリッジ回路から出力される流量検出信号と前記流れ方
向検出手段によって検出される流れ方向検出信号とに基
づいて、前記空気の流れ方向が順方向のときには前記流
量検出信号をそのまま出力し、逆方向のときには前記流
量検出信号を反転させて出力する流量信号出力手段を備
える構成としている。
【0025】さらに、請求項6の発明では、前記第1,
第2の感温抵抗体は外部からの電圧印加により互いに均
等な温度で発熱させる構成としている。
第2の感温抵抗体は外部からの電圧印加により互いに均
等な温度で発熱させる構成としている。
【0026】
【作用】上記構成により、請求項1の発明では、吸気管
内を流れる吸入空気によって発熱抵抗体が冷却され、そ
の抵抗値が変化するため、このときの抵抗値変化によっ
て吸入空気の流量を検出することができる。また、吸入
空気の流れ方向に対し、発熱抵抗体の前,後に離間して
絶縁基板上に形成した第1,第2の感温抵抗体は、前記
吸入空気の流れ方向に応じてそれぞれ抵抗値が変化する
から、第1の感温抵抗体が第2の感温抵抗体よりも抵抗
値が小さいときには、例えば吸入空気の流れ方向を順方
向として検出でき、第2の感温抵抗体が第1の感温抵抗
体よりも抵抗値が小さいときには、空気の流れ方向を逆
方向として検出できる。さらに、絶縁基板の限られた表
面スペースを有効に利用して発熱抵抗体および第1,第
2の感温抵抗体をコンパクトに形成でき、発熱抵抗体の
表面積(実装面積)を可能な限り大きくすることができ
る。
内を流れる吸入空気によって発熱抵抗体が冷却され、そ
の抵抗値が変化するため、このときの抵抗値変化によっ
て吸入空気の流量を検出することができる。また、吸入
空気の流れ方向に対し、発熱抵抗体の前,後に離間して
絶縁基板上に形成した第1,第2の感温抵抗体は、前記
吸入空気の流れ方向に応じてそれぞれ抵抗値が変化する
から、第1の感温抵抗体が第2の感温抵抗体よりも抵抗
値が小さいときには、例えば吸入空気の流れ方向を順方
向として検出でき、第2の感温抵抗体が第1の感温抵抗
体よりも抵抗値が小さいときには、空気の流れ方向を逆
方向として検出できる。さらに、絶縁基板の限られた表
面スペースを有効に利用して発熱抵抗体および第1,第
2の感温抵抗体をコンパクトに形成でき、発熱抵抗体の
表面積(実装面積)を可能な限り大きくすることができ
る。
【0027】請求項2の発明では、単一の絶縁基板上に
発熱抵抗体、第1,第2の感温抵抗体と共に補助ヒータ
を着膜形成でき、部品点数を削減することができる。そ
して、補助ヒータを着膜形成する副基板部と前記発熱抵
抗体および第1,第2の感温抵抗体を着膜形成する主基
板部との間にスリットを形成することにより、例えば発
熱抵抗体で加熱される主基板部から副基板部に熱が逃げ
るのを防止でき、主基板部を早期に温度上昇させること
ができると共に、副基板部を補助ヒータによって早期に
加熱でき、主基板部から流量計本体側に熱が逃げるのを
抑えることができる。
発熱抵抗体、第1,第2の感温抵抗体と共に補助ヒータ
を着膜形成でき、部品点数を削減することができる。そ
して、補助ヒータを着膜形成する副基板部と前記発熱抵
抗体および第1,第2の感温抵抗体を着膜形成する主基
板部との間にスリットを形成することにより、例えば発
熱抵抗体で加熱される主基板部から副基板部に熱が逃げ
るのを防止でき、主基板部を早期に温度上昇させること
ができると共に、副基板部を補助ヒータによって早期に
加熱でき、主基板部から流量計本体側に熱が逃げるのを
抑えることができる。
【0028】請求項3の発明では、単一の絶縁基板上に
発熱抵抗体、第1,第2の感温抵抗体、補助ヒータおよ
び温度補償抵抗を着膜形成でき、部品点数を削減するこ
とができる。そして、温度補償抵抗を着膜形成する第2
の基板部と、前記発熱抵抗体、第1,第2の感温抵抗体
および補助ヒータを着膜形成する第1の基板部との間に
第1のスリットを形成することにより、例えば発熱抵抗
体で加熱される第1の基板部から第2の基板部に熱が逃
げるのを防止でき、第1の基板部を早期に温度上昇させ
ることができる。さらに、前記第1の基板部は、補助ヒ
ータを着膜形成する副基板部と前記発熱抵抗体および第
1,第2の感温抵抗体を着膜形成する主基板部との間に
第2のスリットを形成することにより、例えば発熱抵抗
体で加熱される主基板部から副基板部に熱が逃げるのを
防止でき、主基板部を早期に温度上昇させることができ
る。
発熱抵抗体、第1,第2の感温抵抗体、補助ヒータおよ
び温度補償抵抗を着膜形成でき、部品点数を削減するこ
とができる。そして、温度補償抵抗を着膜形成する第2
の基板部と、前記発熱抵抗体、第1,第2の感温抵抗体
および補助ヒータを着膜形成する第1の基板部との間に
第1のスリットを形成することにより、例えば発熱抵抗
体で加熱される第1の基板部から第2の基板部に熱が逃
げるのを防止でき、第1の基板部を早期に温度上昇させ
ることができる。さらに、前記第1の基板部は、補助ヒ
ータを着膜形成する副基板部と前記発熱抵抗体および第
1,第2の感温抵抗体を着膜形成する主基板部との間に
第2のスリットを形成することにより、例えば発熱抵抗
体で加熱される主基板部から副基板部に熱が逃げるのを
防止でき、主基板部を早期に温度上昇させることができ
る。
【0029】請求項4の発明では、前記第1の感温抵抗
体と第2の感温抵抗体とを並列に接続することによりブ
リッジ回路からなる流れ方向検出手段を構成しているの
で、第1の感温抵抗体と第2の感温抵抗体との抵抗値を
比較することによって、第1の感温抵抗体の方が抵抗値
が大きい場合には、例えば順方向の空気流であると判定
でき、第2の感温抵抗体の方が大きい場合には、逆方向
の空気流として判定できる。
体と第2の感温抵抗体とを並列に接続することによりブ
リッジ回路からなる流れ方向検出手段を構成しているの
で、第1の感温抵抗体と第2の感温抵抗体との抵抗値を
比較することによって、第1の感温抵抗体の方が抵抗値
が大きい場合には、例えば順方向の空気流であると判定
でき、第2の感温抵抗体の方が大きい場合には、逆方向
の空気流として判定できる。
【0030】請求項5の発明では、発熱抵抗体により流
量検出信号を出力するブリッジ回路を形成し、該ブリッ
ジ回路中の発熱抵抗体の抵抗値変化を流量検出信号とし
て取出すと共に、前記第1,第2の感温抵抗体の抵抗値
の差を比較する流れ方向検出手段により吸入空気の流れ
方向を検出し、該吸入空気の流れ方向が順方向のときに
は前記流量検出信号をそのまま正の電圧信号として出力
し、逆方向のときには反転させて負の電圧信号として出
力することができる。
量検出信号を出力するブリッジ回路を形成し、該ブリッ
ジ回路中の発熱抵抗体の抵抗値変化を流量検出信号とし
て取出すと共に、前記第1,第2の感温抵抗体の抵抗値
の差を比較する流れ方向検出手段により吸入空気の流れ
方向を検出し、該吸入空気の流れ方向が順方向のときに
は前記流量検出信号をそのまま正の電圧信号として出力
し、逆方向のときには反転させて負の電圧信号として出
力することができる。
【0031】さらに、請求項6の発明では、第1,第2
の感温抵抗体を外部からの電圧印加により互いに均等な
温度で発熱させることができる。
の感温抵抗体を外部からの電圧印加により互いに均等な
温度で発熱させることができる。
【0032】
【実施例】以下、本発明の実施例を図1ないし図6に基
づき説明する。なお、実施例では前述した従来技術と同
一の構成要素に同一の符号を付し、その説明を省略する
ものとする。
づき説明する。なお、実施例では前述した従来技術と同
一の構成要素に同一の符号を付し、その説明を省略する
ものとする。
【0033】先ず、図1ないし図4に本発明による第1
の実施例を示す。
の実施例を示す。
【0034】図中、21は本実施例による熱式空気流量
検出装置、22は該熱式空気流量検出装置21の本体部
を構成する流量計本体を示し、該流量計本体22は従来
技術で述べた流量計本体3とほぼ同様に、抵抗値R1 を
有する基準抵抗23が巻回される巻線部24と、該巻線
部24の基端側に位置し、複数の端子ピン(図示せず)
が一体的に設けられた端子部25と、巻線部24の先端
側から吸気管2の径方向に延設された検出ホルダ26
と、後述する回路ケーシング27とから大略構成されて
いる。
検出装置、22は該熱式空気流量検出装置21の本体部
を構成する流量計本体を示し、該流量計本体22は従来
技術で述べた流量計本体3とほぼ同様に、抵抗値R1 を
有する基準抵抗23が巻回される巻線部24と、該巻線
部24の基端側に位置し、複数の端子ピン(図示せず)
が一体的に設けられた端子部25と、巻線部24の先端
側から吸気管2の径方向に延設された検出ホルダ26
と、後述する回路ケーシング27とから大略構成されて
いる。
【0035】しかし、前記流量計本体22には検出ホル
ダ26の基端側に後述の絶縁基板29を着脱可能に取付
けられるためのスロット(図示せず)が形成され、該検
出ホルダ26は図1中に示す如く吸気管2の中心部に、
絶縁基板29を介して後述の発熱抵抗体31等を位置決
めする構成となっている。なお、検出ホルダ26には従
来技術で述べた保護カバー13と同様の保護カバー(図
示せず)が取付けられるようになっている。
ダ26の基端側に後述の絶縁基板29を着脱可能に取付
けられるためのスロット(図示せず)が形成され、該検
出ホルダ26は図1中に示す如く吸気管2の中心部に、
絶縁基板29を介して後述の発熱抵抗体31等を位置決
めする構成となっている。なお、検出ホルダ26には従
来技術で述べた保護カバー13と同様の保護カバー(図
示せず)が取付けられるようになっている。
【0036】27は吸気管2の取付穴2Aを閉塞するよ
うに該吸気管2の外周側に設けられた回路ケーシングを
示し、該回路ケーシング27は従来技術で述べた回路ケ
ーシング7とほぼ同様に形成され、吸気管2の取付穴2
Aに嵌合する嵌合部27Aを有しているものの、該回路
ケーシング27は、例えばセラミック材料等からなる絶
縁基板(図示せず)上に後述の流量調整抵抗38および
差動増幅器等を実装した状態で、これらを内蔵するよう
になっている。なお、28A,28Bは前記基準抵抗2
3の巻線が接続されるターミナルである。
うに該吸気管2の外周側に設けられた回路ケーシングを
示し、該回路ケーシング27は従来技術で述べた回路ケ
ーシング7とほぼ同様に形成され、吸気管2の取付穴2
Aに嵌合する嵌合部27Aを有しているものの、該回路
ケーシング27は、例えばセラミック材料等からなる絶
縁基板(図示せず)上に後述の流量調整抵抗38および
差動増幅器等を実装した状態で、これらを内蔵するよう
になっている。なお、28A,28Bは前記基準抵抗2
3の巻線が接続されるターミナルである。
【0037】29は検出ホルダ26に取付けられる絶縁
基板を示し、該絶縁基板29は、図2に示すように、ガ
ラス,アルミナ,窒化アルミニウム等の絶縁材料によ
り、長さ寸法が15〜20mm前後、幅寸法が3〜7mm前
後となった長方形の平板状に形成されている。また、該
絶縁基板29は、基端側が検出ホルダ26のスロットに
着脱可能に取付けられる固定端となり、先端側が自由端
となっている。
基板を示し、該絶縁基板29は、図2に示すように、ガ
ラス,アルミナ,窒化アルミニウム等の絶縁材料によ
り、長さ寸法が15〜20mm前後、幅寸法が3〜7mm前
後となった長方形の平板状に形成されている。また、該
絶縁基板29は、基端側が検出ホルダ26のスロットに
着脱可能に取付けられる固定端となり、先端側が自由端
となっている。
【0038】ここで、前記絶縁基板29は図2に示す如
く、先端側に位置して後述する発熱抵抗体31と第1,
第2の感温抵抗体32,33が着膜形成された主基板部
29Aと、該主基板部29Aの基端側に位置して前記検
出ホルダ26に取付けられ、前記発熱抵抗体31を検出
ホルダ26から離間させると共に、補助ヒータ34が着
膜形成された副基板部29Bとからなり、該副基板部2
9Bと主基板部29Aとの間には、幅方向一側から他側
(吸入空気が流れる矢示A方向)に向けてスリット30
が形成されている。
く、先端側に位置して後述する発熱抵抗体31と第1,
第2の感温抵抗体32,33が着膜形成された主基板部
29Aと、該主基板部29Aの基端側に位置して前記検
出ホルダ26に取付けられ、前記発熱抵抗体31を検出
ホルダ26から離間させると共に、補助ヒータ34が着
膜形成された副基板部29Bとからなり、該副基板部2
9Bと主基板部29Aとの間には、幅方向一側から他側
(吸入空気が流れる矢示A方向)に向けてスリット30
が形成されている。
【0039】31は絶縁基板29の主基板部29A上に
形成された発熱抵抗を構成する発熱抵抗体を示し、該発
熱抵抗体31はプリント印刷またはスパッタリング等の
手段を用いて主基板部29A上に白金膜を着膜させるこ
とにより、抵抗値RH を有するように形成され、主基板
部29Aの長さ方向中間部に位置して幅方向に延びた中
間抵抗部31Aと、該中間抵抗部31Aの両端側から主
基板部29Aの長さ方向に互いに逆向きに延びた第1,
第2の延長抵抗部31B,31Cとから構成されてい
る。
形成された発熱抵抗を構成する発熱抵抗体を示し、該発
熱抵抗体31はプリント印刷またはスパッタリング等の
手段を用いて主基板部29A上に白金膜を着膜させるこ
とにより、抵抗値RH を有するように形成され、主基板
部29Aの長さ方向中間部に位置して幅方向に延びた中
間抵抗部31Aと、該中間抵抗部31Aの両端側から主
基板部29Aの長さ方向に互いに逆向きに延びた第1,
第2の延長抵抗部31B,31Cとから構成されてい
る。
【0040】ここで、前記発熱抵抗体31の中間抵抗部
31Aおよび延長抵抗部31B,31Cは全体としてク
ランク形状をなすことによって、主基板部29A上に発
熱抵抗体31および後述の感温抵抗体32,33をコン
パクトに形成すると共に、発熱抵抗体31の表面積(実
装面積)を可及的に増大させ、例えば吸気管2内を流れ
る吸入空気との接触面積を大きくできるようにしてい
る。
31Aおよび延長抵抗部31B,31Cは全体としてク
ランク形状をなすことによって、主基板部29A上に発
熱抵抗体31および後述の感温抵抗体32,33をコン
パクトに形成すると共に、発熱抵抗体31の表面積(実
装面積)を可及的に増大させ、例えば吸気管2内を流れ
る吸入空気との接触面積を大きくできるようにしてい
る。
【0041】また、前記発熱抵抗体31は、後述する電
流制御用トランジスタ44によって電流値が制御され、
温度を一定温度(例えば約240℃)に保つように加熱
されている。
流制御用トランジスタ44によって電流値が制御され、
温度を一定温度(例えば約240℃)に保つように加熱
されている。
【0042】32,33は発熱抵抗体31と共に主基板
部29A上に形成された第1,第2の感温抵抗体を示
し、該第1,第2の感温抵抗体32,33は抵抗値RT
1,RT2をそれぞれ有するように、前記絶縁基板上に白
金等の感温性材料をプリント印刷またはスパッタリング
等の手段で着膜させることによって形成され、例えば吸
気管2内を矢示A方向に流れる吸入空気の流れ方向(主
基板部29Aの幅方向)に対し発熱抵抗体31の前,後
に離間して主基板部29A上に配設されている。
部29A上に形成された第1,第2の感温抵抗体を示
し、該第1,第2の感温抵抗体32,33は抵抗値RT
1,RT2をそれぞれ有するように、前記絶縁基板上に白
金等の感温性材料をプリント印刷またはスパッタリング
等の手段で着膜させることによって形成され、例えば吸
気管2内を矢示A方向に流れる吸入空気の流れ方向(主
基板部29Aの幅方向)に対し発熱抵抗体31の前,後
に離間して主基板部29A上に配設されている。
【0043】ここで、前記第1の感温抵抗体32は、前
記発熱抵抗体31の中間抵抗部31Aと第1の延長抵抗
部31Bとの間に位置し、該延長抵抗部31Bと平行に
延びるように長方形状に形成されている。また、第2の
感温抵抗体33は、中間抵抗部31Aと第2の延長抵抗
部31Cとの間に位置し、該延長抵抗部31Cと平行に
延びるように長方形状に形成されている。そして、感温
抵抗体32,33は主基板部29A上で実質的に均一な
面積をもって形成され、通常時には図3に示すようにサ
ブ電源VS から電流が印加され、発熱抵抗体31よりも
低い温度で発熱しているから、該感温抵抗体32,33
は、流れる空気によって効果的に冷却され、抵抗値の減
少として空気の流れ方向を感度良く検出することができ
る。
記発熱抵抗体31の中間抵抗部31Aと第1の延長抵抗
部31Bとの間に位置し、該延長抵抗部31Bと平行に
延びるように長方形状に形成されている。また、第2の
感温抵抗体33は、中間抵抗部31Aと第2の延長抵抗
部31Cとの間に位置し、該延長抵抗部31Cと平行に
延びるように長方形状に形成されている。そして、感温
抵抗体32,33は主基板部29A上で実質的に均一な
面積をもって形成され、通常時には図3に示すようにサ
ブ電源VS から電流が印加され、発熱抵抗体31よりも
低い温度で発熱しているから、該感温抵抗体32,33
は、流れる空気によって効果的に冷却され、抵抗値の減
少として空気の流れ方向を感度良く検出することができ
る。
【0044】さらに、前記第1の感温抵抗体32は吸入
空気の順方向の流れ(矢示A方向)に対して上流側に位
置し、第2の感温抵抗体33は下流側に位置し、かつ感
温抵抗体32,33の間には発熱抵抗体31が位置して
いる。これにより、吸入空気が順方向の矢示A方向の流
れの場合には、第1の感温抵抗体32が冷やされ、第2
の感温抵抗体33が発熱抵抗体31からの熱を受けるこ
とによって、第1の感温抵抗体32の抵抗値RT1は小さ
くなり、第2の感温抵抗体33の抵抗値RT2は実質的に
変化しない。
空気の順方向の流れ(矢示A方向)に対して上流側に位
置し、第2の感温抵抗体33は下流側に位置し、かつ感
温抵抗体32,33の間には発熱抵抗体31が位置して
いる。これにより、吸入空気が順方向の矢示A方向の流
れの場合には、第1の感温抵抗体32が冷やされ、第2
の感温抵抗体33が発熱抵抗体31からの熱を受けるこ
とによって、第1の感温抵抗体32の抵抗値RT1は小さ
くなり、第2の感温抵抗体33の抵抗値RT2は実質的に
変化しない。
【0045】一方、吸気管2内を流れる吸入空気の流れ
が逆方向の矢示B方向となった場合には、第2の感温抵
抗体33が冷やされ、第1の感温抵抗体32が発熱抵抗
体31からの熱を受けることによって、第2の感温抵抗
体33の抵抗値RT2は小さくなり、第1の感温抵抗体3
2の抵抗値RT1は実質的に変化しない。この結果、第1
の感温抵抗体32の抵抗値RT1と第2の感温抵抗体33
の抵抗値RT2とを比較することにより、吸入空気の流れ
方向が順方向であるか、逆方向であるかを判別するよう
になっている。
が逆方向の矢示B方向となった場合には、第2の感温抵
抗体33が冷やされ、第1の感温抵抗体32が発熱抵抗
体31からの熱を受けることによって、第2の感温抵抗
体33の抵抗値RT2は小さくなり、第1の感温抵抗体3
2の抵抗値RT1は実質的に変化しない。この結果、第1
の感温抵抗体32の抵抗値RT1と第2の感温抵抗体33
の抵抗値RT2とを比較することにより、吸入空気の流れ
方向が順方向であるか、逆方向であるかを判別するよう
になっている。
【0046】34は補助ヒータを示し、該補助ヒータ3
4は、前記絶縁基板29の副基板部29B上に位置し
て、前述した発熱抵抗体31、感温抵抗体32,33と
同様にプリント印刷またはスパッタリング等の手段によ
り、白金等の感温性材料を抵抗値RHSとなる膜状に形成
されている。また、該補助ヒータ34は絶縁基板29の
副基板部29Bを加熱することにより、主基板部29A
(発熱抵抗体31)からの熱が副基板部29Bを介して
検出ホルダ26に逃げるのを防止するようになってい
る。さらに、主基板部29Aと副基板部29Bとの間に
はスリット30が形成されているから、補助ヒータ34
からの熱によって第1の感温抵抗体32が加熱されるの
を防止し、該感温抵抗体32はサブ電源VS の印加によ
ってのみ発熱するのを補償している。一方、補助ヒータ
34は、電流制御用トランジスタ44のエミッタとアー
スとの間に接続されているから、該電流制御用トランジ
スタ44の電流制御によって印加電流は制御されてい
る。
4は、前記絶縁基板29の副基板部29B上に位置し
て、前述した発熱抵抗体31、感温抵抗体32,33と
同様にプリント印刷またはスパッタリング等の手段によ
り、白金等の感温性材料を抵抗値RHSとなる膜状に形成
されている。また、該補助ヒータ34は絶縁基板29の
副基板部29Bを加熱することにより、主基板部29A
(発熱抵抗体31)からの熱が副基板部29Bを介して
検出ホルダ26に逃げるのを防止するようになってい
る。さらに、主基板部29Aと副基板部29Bとの間に
はスリット30が形成されているから、補助ヒータ34
からの熱によって第1の感温抵抗体32が加熱されるの
を防止し、該感温抵抗体32はサブ電源VS の印加によ
ってのみ発熱するのを補償している。一方、補助ヒータ
34は、電流制御用トランジスタ44のエミッタとアー
スとの間に接続されているから、該電流制御用トランジ
スタ44の電流制御によって印加電流は制御されてい
る。
【0047】35,35,…は絶縁基板29の基端側に
位置して形成された例えば6個の電極を示し、該各電極
35は絶縁基板29の幅方向に所定間隔をもって列設さ
れ、絶縁基板29の基端側を前記検出ホルダ26のスロ
ット内に差込むことにより、該検出ホルダ26側の各タ
ーミナル(図示せず)に接続される。そして、該各電極
35を介して絶縁基板29上に形成された発熱抵抗体3
1、第1,第2の感温抵抗体32,33および補助ヒー
タ34等を回路ケーシング27内に設けられた各電子部
品と接続し、図3に示す流量検出用の処理回路を構成し
ている。
位置して形成された例えば6個の電極を示し、該各電極
35は絶縁基板29の幅方向に所定間隔をもって列設さ
れ、絶縁基板29の基端側を前記検出ホルダ26のスロ
ット内に差込むことにより、該検出ホルダ26側の各タ
ーミナル(図示せず)に接続される。そして、該各電極
35を介して絶縁基板29上に形成された発熱抵抗体3
1、第1,第2の感温抵抗体32,33および補助ヒー
タ34等を回路ケーシング27内に設けられた各電子部
品と接続し、図3に示す流量検出用の処理回路を構成し
ている。
【0048】次に、図3は本実施例による流量検出用の
処理回路を示す。
処理回路を示す。
【0049】図3において、36は流量検出信号を出力
する一方のブリッジ回路を示し、該ブリッジ回路36
は、発熱抵抗体31、温度補償抵抗37、基準抵抗23
および抵抗値R2 を有する流量調整抵抗38からなり、
それぞれ対向する辺の抵抗値の積が等しくなるブリッジ
として構成され、発熱抵抗体31と温度補償抵抗37と
の接続点aは後述する電流制御用トランジスタ44のエ
ミッタ側と補助ヒータ34に接続され、基準抵抗23と
流量調整抵抗38との接続点bはアースに接続されてい
る。
する一方のブリッジ回路を示し、該ブリッジ回路36
は、発熱抵抗体31、温度補償抵抗37、基準抵抗23
および抵抗値R2 を有する流量調整抵抗38からなり、
それぞれ対向する辺の抵抗値の積が等しくなるブリッジ
として構成され、発熱抵抗体31と温度補償抵抗37と
の接続点aは後述する電流制御用トランジスタ44のエ
ミッタ側と補助ヒータ34に接続され、基準抵抗23と
流量調整抵抗38との接続点bはアースに接続されてい
る。
【0050】一方、前記ブリッジ回路36においては、
発熱抵抗体31と基準抵抗23、温度補償抵抗37と流
量調整抵抗38はそれぞれ直列接続され、それぞれの接
続点c,dは差動増幅回路39の入力端子に接続される
と共に、接続点cは後述する反転回路45と選択回路4
6に接続されている。
発熱抵抗体31と基準抵抗23、温度補償抵抗37と流
量調整抵抗38はそれぞれ直列接続され、それぞれの接
続点c,dは差動増幅回路39の入力端子に接続される
と共に、接続点cは後述する反転回路45と選択回路4
6に接続されている。
【0051】ここで、前記温度補償抵抗37は、発熱抵
抗体31の近傍に位置して検出ホルダ26に設けられ、
かつ該温度補償抵抗37は吸入空気の流れによる影響を
受けず、吸入空気の温度によってのみ抵抗値RK が変化
するものである。
抗体31の近傍に位置して検出ホルダ26に設けられ、
かつ該温度補償抵抗37は吸入空気の流れによる影響を
受けず、吸入空気の温度によってのみ抵抗値RK が変化
するものである。
【0052】このように構成されるブリッジ回路36で
は、該ブリッジ回路36が平衡状態にあるときには、差
動増幅回路39からの出力は零となると共に、接続点c
からは平衡状態にあるときの基準抵抗23の両端電圧が
反転回路45と選択回路46に出力される。一方、ブリ
ッジ回路36の平衡が崩れたとき、即ち吸入空気によっ
て発熱抵抗体31が冷却されたときには、該発熱抵抗体
31の抵抗値RH が小さくなっているから、差動増幅回
路39からは、電流制御用トランジスタ44のベースに
電流制御電圧が出力される。これにより、電流制御用ト
ランジスタ44はブリッジ回路36に印加する電流を制
御して冷やされた発熱抵抗体31を一定温度にして該ブ
リッジ回路36を平衡状態に戻す。このとき、ブリッジ
回路36の接続点cから出力される増加した電流値は、
基準抵抗23の両端電圧として検出され、この電圧を反
転回路45と選択回路46に出力する。
は、該ブリッジ回路36が平衡状態にあるときには、差
動増幅回路39からの出力は零となると共に、接続点c
からは平衡状態にあるときの基準抵抗23の両端電圧が
反転回路45と選択回路46に出力される。一方、ブリ
ッジ回路36の平衡が崩れたとき、即ち吸入空気によっ
て発熱抵抗体31が冷却されたときには、該発熱抵抗体
31の抵抗値RH が小さくなっているから、差動増幅回
路39からは、電流制御用トランジスタ44のベースに
電流制御電圧が出力される。これにより、電流制御用ト
ランジスタ44はブリッジ回路36に印加する電流を制
御して冷やされた発熱抵抗体31を一定温度にして該ブ
リッジ回路36を平衡状態に戻す。このとき、ブリッジ
回路36の接続点cから出力される増加した電流値は、
基準抵抗23の両端電圧として検出され、この電圧を反
転回路45と選択回路46に出力する。
【0053】40は後述する比較回路43と共に吸入空
気の流れ方向検出手段を構成する他方のブリッジ回路を
示し、該ブリッジ回路40は、第1,第2の感温抵抗体
32,33と基準抵抗41,42からなり、それぞれ対
応する辺の抵抗値が等しくなるブリッジとして構成さ
れ、第1,第2の感温抵抗体32,33の接続点eはサ
ブ電源VS (例えば、3V)に接続され、基準抵抗4
1,42の接続点fはアースに接続されている。
気の流れ方向検出手段を構成する他方のブリッジ回路を
示し、該ブリッジ回路40は、第1,第2の感温抵抗体
32,33と基準抵抗41,42からなり、それぞれ対
応する辺の抵抗値が等しくなるブリッジとして構成さ
れ、第1,第2の感温抵抗体32,33の接続点eはサ
ブ電源VS (例えば、3V)に接続され、基準抵抗4
1,42の接続点fはアースに接続されている。
【0054】一方、前記ブリッジ回路40においては、
第1の感温抵抗体32と基準抵抗41、第2の感温抵抗
体33と基準抵抗42はそれぞれ直列接続され、それぞ
れの接続点g,hは比較回路43の入力端子に接続され
ているから、第1の感温抵抗体32と第2の感温抵抗体
33とは並列接続になっている。そして、当該ブリッジ
回路40が平衡状態にあるとき、即ち吸入空気が流れて
いないときには感温抵抗体32,33の抵抗値には差が
ないから、比較回路43からの出力は零となる。また、
ブリッジ回路40の平衡が崩れたとき、即ち空気流によ
ってどちらか一方の感温抵抗体32,33の抵抗値が変
化した場合には、ブリッジ回路40の接続点g−hから
は抵抗値の差(RT1−RT2)が電圧として比較回路43
に入力され、この抵抗値の差に基づいて吸入空気の流れ
方向を示す信号(以下、「流れ方向検出信号」という)
を選択回路46に出力する。
第1の感温抵抗体32と基準抵抗41、第2の感温抵抗
体33と基準抵抗42はそれぞれ直列接続され、それぞ
れの接続点g,hは比較回路43の入力端子に接続され
ているから、第1の感温抵抗体32と第2の感温抵抗体
33とは並列接続になっている。そして、当該ブリッジ
回路40が平衡状態にあるとき、即ち吸入空気が流れて
いないときには感温抵抗体32,33の抵抗値には差が
ないから、比較回路43からの出力は零となる。また、
ブリッジ回路40の平衡が崩れたとき、即ち空気流によ
ってどちらか一方の感温抵抗体32,33の抵抗値が変
化した場合には、ブリッジ回路40の接続点g−hから
は抵抗値の差(RT1−RT2)が電圧として比較回路43
に入力され、この抵抗値の差に基づいて吸入空気の流れ
方向を示す信号(以下、「流れ方向検出信号」という)
を選択回路46に出力する。
【0055】ここで、図4に吸入空気の流速と流れ方向
検出信号の関係を示すと、吸入空気の流れの方向がA方
向(順方向)のときには、比較回路43から出力される
流れ方向検出信号は所定電圧値V0 となる信号を出力
し、空気の流れ方向がA方向からB方向(逆方向)に変
わったときには、電圧値零となる流れ方向検出信号を出
力をする。
検出信号の関係を示すと、吸入空気の流れの方向がA方
向(順方向)のときには、比較回路43から出力される
流れ方向検出信号は所定電圧値V0 となる信号を出力
し、空気の流れ方向がA方向からB方向(逆方向)に変
わったときには、電圧値零となる流れ方向検出信号を出
力をする。
【0056】44は電流制御用トランジスタを示し、該
電流制御用トランジスタ44は、コレクタ側がバッテリ
電圧VB に接続され、ベース側が前記差動増幅回路39
からの出力側に接続され、エミッタ側が前記ブリッジ回
路36の接続点aおよび補助ヒータ34に接続されてい
る。そして、該電流制御用トランジスタ44は、前記差
動増幅回路39からの出力(電流制御電圧)でベース電
流が変化するに応じてエミッタ電流を制御する。これに
より、電流制御用トランジスタ44はブリッジ回路36
に印加される電流値を制御して発熱抵抗体31の温度を
一定温度に保つフィードバック制御を行っている。
電流制御用トランジスタ44は、コレクタ側がバッテリ
電圧VB に接続され、ベース側が前記差動増幅回路39
からの出力側に接続され、エミッタ側が前記ブリッジ回
路36の接続点aおよび補助ヒータ34に接続されてい
る。そして、該電流制御用トランジスタ44は、前記差
動増幅回路39からの出力(電流制御電圧)でベース電
流が変化するに応じてエミッタ電流を制御する。これに
より、電流制御用トランジスタ44はブリッジ回路36
に印加される電流値を制御して発熱抵抗体31の温度を
一定温度に保つフィードバック制御を行っている。
【0057】45はブリッジ回路36の接続点cと選択
回路46との間に接続された反転回路を示し、該反転回
路45はブリッジ回路36からの流量検出信号を反転さ
せて選択回路46に出力するようになっている。
回路46との間に接続された反転回路を示し、該反転回
路45はブリッジ回路36からの流量検出信号を反転さ
せて選択回路46に出力するようになっている。
【0058】46は反転回路45と共に流量信号出力手
段を構成する選択回路を示し、該選択回路46は比較回
路43を介して出力されるブリッジ回路40からの流れ
方向検出信号(図4参照)に基づいて、例えば順方向の
場合にはブリッジ回路36からの流量検出信号を出力信
号Vout として出力端子47から図示しないコントロー
ルユニットに出力し、逆方向の場合には反転回路45か
らの信号を出力信号Vout として出力端子47からコン
トロールユニットに出力する。
段を構成する選択回路を示し、該選択回路46は比較回
路43を介して出力されるブリッジ回路40からの流れ
方向検出信号(図4参照)に基づいて、例えば順方向の
場合にはブリッジ回路36からの流量検出信号を出力信
号Vout として出力端子47から図示しないコントロー
ルユニットに出力し、逆方向の場合には反転回路45か
らの信号を出力信号Vout として出力端子47からコン
トロールユニットに出力する。
【0059】本実施例による熱式空気流量検出装置21
は上述の如き構成を有するもので、次に吸入空気の流量
検出動作について説明する。
は上述の如き構成を有するもので、次に吸入空気の流量
検出動作について説明する。
【0060】ここで、吸入空気の流れが、矢示A方向
(順方向)の場合には、絶縁基板29上の上流側に位置
した第1の感温抵抗体32がこの空気の流れによって冷
やされ、下流側に位置した第2の感温抵抗体33は発熱
抵抗体31からの熱を受ける。この結果、ブリッジ回路
40の平衡は崩れ、比較回路43からは電圧値V0 とな
る順方向の流れ方向検出信号が出力される。
(順方向)の場合には、絶縁基板29上の上流側に位置
した第1の感温抵抗体32がこの空気の流れによって冷
やされ、下流側に位置した第2の感温抵抗体33は発熱
抵抗体31からの熱を受ける。この結果、ブリッジ回路
40の平衡は崩れ、比較回路43からは電圧値V0 とな
る順方向の流れ方向検出信号が出力される。
【0061】また、吸入空気の流れによって発熱抵抗体
31が冷却され、この冷却によって発熱抵抗体31の抵
抗値RH が減少するが、差動増幅回路39と電流制御用
トランジスタ44により該発熱抵抗体31を一定温度に
するために、当該ブリッジ回路36に印加される電流値
を増加させ、この増加した電流値を基準抵抗23でその
両端電圧として検出する。この結果、該ブリッジ回路3
6からは反転回路45と選択回路46に正の流量検出信
号が出力される。なお、前記反転回路45に入力された
正の流量検出信号は反転した負の流量検出信号として選
択回路46に出力される。
31が冷却され、この冷却によって発熱抵抗体31の抵
抗値RH が減少するが、差動増幅回路39と電流制御用
トランジスタ44により該発熱抵抗体31を一定温度に
するために、当該ブリッジ回路36に印加される電流値
を増加させ、この増加した電流値を基準抵抗23でその
両端電圧として検出する。この結果、該ブリッジ回路3
6からは反転回路45と選択回路46に正の流量検出信
号が出力される。なお、前記反転回路45に入力された
正の流量検出信号は反転した負の流量検出信号として選
択回路46に出力される。
【0062】そして、選択回路46では、比較回路43
からの流れ方向検出信号に基づいてブリッジ回路36か
ら入力された正の流量検出信号と反転回路45から入力
された負の流量検出信号との選択を行い、この場合に
は、流れ方向検出信号が順方向であるから、正の流量検
出信号を選択して出力端子47からコントロールユニッ
トに向けて正の流量検出信号を出力信号Vout として出
力する。
からの流れ方向検出信号に基づいてブリッジ回路36か
ら入力された正の流量検出信号と反転回路45から入力
された負の流量検出信号との選択を行い、この場合に
は、流れ方向検出信号が順方向であるから、正の流量検
出信号を選択して出力端子47からコントロールユニッ
トに向けて正の流量検出信号を出力信号Vout として出
力する。
【0063】なお、差動増幅回路39から出力された信
号に基づいて電流制御用トランジスタ44のベース電流
は制御されているから、発熱抵抗体31を一定温度にす
るためのフィードバック制御を行っている。
号に基づいて電流制御用トランジスタ44のベース電流
は制御されているから、発熱抵抗体31を一定温度にす
るためのフィードバック制御を行っている。
【0064】一方、空気の流れが、矢示B方向(逆方
向)の場合には、絶縁基板29上の下流側に位置した第
2の感温抵抗体33がこの空気の流れによって冷やさ
れ、上流側に位置した第1の感温抵抗体32は発熱抵抗
体31からの熱を受ける。この結果、ブリッジ回路40
の平衡は崩れ、比較回路43からは電圧値零となる逆方
向の流れ方向検出信号が出力される。
向)の場合には、絶縁基板29上の下流側に位置した第
2の感温抵抗体33がこの空気の流れによって冷やさ
れ、上流側に位置した第1の感温抵抗体32は発熱抵抗
体31からの熱を受ける。この結果、ブリッジ回路40
の平衡は崩れ、比較回路43からは電圧値零となる逆方
向の流れ方向検出信号が出力される。
【0065】そして、前述したように、吸入空気の流れ
によって発熱抵抗体31は冷却されるから、発熱抵抗体
31の抵抗値が小さくなり、ブリッジ回路36の平衡が
崩れる。この結果、該ブリッジ回路36からは正の流量
検出信号が選択回路46に出力される共に、反転回路4
5を介して逆方向の流量検出信号も選択回路46に出力
され、該選択回路46では、比較回路43からの逆方向
の流れ方向検出信号に基づいて負の流量検出信号を選択
し、この負の流量検出信号を出力信号Vout として出力
端子47からコントロールユニットに出力する。
によって発熱抵抗体31は冷却されるから、発熱抵抗体
31の抵抗値が小さくなり、ブリッジ回路36の平衡が
崩れる。この結果、該ブリッジ回路36からは正の流量
検出信号が選択回路46に出力される共に、反転回路4
5を介して逆方向の流量検出信号も選択回路46に出力
され、該選択回路46では、比較回路43からの逆方向
の流れ方向検出信号に基づいて負の流量検出信号を選択
し、この負の流量検出信号を出力信号Vout として出力
端子47からコントロールユニットに出力する。
【0066】かくして、コントロールユニットでは、こ
の出力信号Vout に基づいて正確な吸入空気の流量を検
出することができ、正確な空燃比制御を行い、エンジン
性能を向上できる。
の出力信号Vout に基づいて正確な吸入空気の流量を検
出することができ、正確な空燃比制御を行い、エンジン
性能を向上できる。
【0067】然るに、本実施例による熱式空気流量検出
装置21においては、絶縁基板29上に、発熱抵抗体3
1を形成すると共に、該発熱抵抗体31の前,後に第
1,第2の感温抵抗体32,33を形成するようにした
から、該第1,第2の感温抵抗体32,33によって空
気の流れ方向を検出することができ、発熱抵抗体31の
抵抗値の変化から吸入空気の流量を検出することができ
る。これにより、吸入空気の流量を検出すると共に、そ
の方向も正確に検出することができる。
装置21においては、絶縁基板29上に、発熱抵抗体3
1を形成すると共に、該発熱抵抗体31の前,後に第
1,第2の感温抵抗体32,33を形成するようにした
から、該第1,第2の感温抵抗体32,33によって空
気の流れ方向を検出することができ、発熱抵抗体31の
抵抗値の変化から吸入空気の流量を検出することができ
る。これにより、吸入空気の流量を検出すると共に、そ
の方向も正確に検出することができる。
【0068】また、絶縁基板29に形成された発熱抵抗
体31を、中間抵抗部31Aと、該中間抵抗部31Aか
ら長さ方向に互いに逆向きに延びる第1,第2の延長抵
抗部31C,31Cとにより形成すると共に、該第1,
第2の延長抵抗部31C,31Cと平行に第1,第2の
感温抵抗体32,33を前記絶縁基板29上に着膜形成
したから、限られた表面スペースを有効に利用して発熱
抵抗体31および第1,第2の感温抵抗体32,33を
コンパクトに形成でき、発熱抵抗体31の表面積(実装
面積)を可能な限り大きくすることができる。そして、
吸気管2内の空気流に対する発熱抵抗体31および感温
抵抗体32,33の接触面積を大きくすることができ、
これらの抵抗値RH ,RT1,RT2を空気流に敏感に反応
して変化させることができると共に、単一の絶縁基板2
9に複数の抵抗体31,32,33を形成したから、部
品点数の削減を図ることができる。
体31を、中間抵抗部31Aと、該中間抵抗部31Aか
ら長さ方向に互いに逆向きに延びる第1,第2の延長抵
抗部31C,31Cとにより形成すると共に、該第1,
第2の延長抵抗部31C,31Cと平行に第1,第2の
感温抵抗体32,33を前記絶縁基板29上に着膜形成
したから、限られた表面スペースを有効に利用して発熱
抵抗体31および第1,第2の感温抵抗体32,33を
コンパクトに形成でき、発熱抵抗体31の表面積(実装
面積)を可能な限り大きくすることができる。そして、
吸気管2内の空気流に対する発熱抵抗体31および感温
抵抗体32,33の接触面積を大きくすることができ、
これらの抵抗値RH ,RT1,RT2を空気流に敏感に反応
して変化させることができると共に、単一の絶縁基板2
9に複数の抵抗体31,32,33を形成したから、部
品点数の削減を図ることができる。
【0069】さらに、補助ヒータ34を絶縁基板29の
副基板部29Bに形成し、該補助ヒータ34によって絶
縁基板29の副基板部29Bを加熱するようにしたか
ら、発熱抵抗体31が絶縁基板29を加熱するのを補助
することができる。これにより、該副基板部29Bを介
して主基板部29Aの熱が流量計本体22に逃げるのを
防止でき、エンジン始動時に発熱抵抗体31を所定温度
まで上昇させるのに要するヒートアップ時間を極めて短
くすることができる。
副基板部29Bに形成し、該補助ヒータ34によって絶
縁基板29の副基板部29Bを加熱するようにしたか
ら、発熱抵抗体31が絶縁基板29を加熱するのを補助
することができる。これにより、該副基板部29Bを介
して主基板部29Aの熱が流量計本体22に逃げるのを
防止でき、エンジン始動時に発熱抵抗体31を所定温度
まで上昇させるのに要するヒートアップ時間を極めて短
くすることができる。
【0070】さらにまた、絶縁基板29の主基板部29
Aと副基板部29Bとの間にはスリット30を形成し、
かつ該スリット30は補助ヒータ34の熱が第1の感温
抵抗体32に影響しないように形成しているから、該補
助ヒータ34の熱影響が第1の感温抵抗体32に及ぶの
を効果的に防止でき、吸入空気の流れ方向をブリッジ回
路40によって正確に検出することができる。
Aと副基板部29Bとの間にはスリット30を形成し、
かつ該スリット30は補助ヒータ34の熱が第1の感温
抵抗体32に影響しないように形成しているから、該補
助ヒータ34の熱影響が第1の感温抵抗体32に及ぶの
を効果的に防止でき、吸入空気の流れ方向をブリッジ回
路40によって正確に検出することができる。
【0071】一方、第1,第2の感温抵抗体32,33
をサブ電源VS によって発熱させているから、空気の流
れによる感温抵抗体32,33の冷却を高精度に検出で
き、空気の流れ方向の検出を感度良く行うことができ
る。
をサブ電源VS によって発熱させているから、空気の流
れによる感温抵抗体32,33の冷却を高精度に検出で
き、空気の流れ方向の検出を感度良く行うことができ
る。
【0072】次に、図5および図6に本発明による第2
の実施例を示すに、本実施例の特徴は、単一の絶縁基板
上に発熱抵抗体、第1,第2の感温抵抗体、補助ヒータ
および温度補償抵抗を着膜形成したことにある。なお、
前述した第1の実施例と同一の構成要素に同一の符号を
付し、その説明を省略するものとする。
の実施例を示すに、本実施例の特徴は、単一の絶縁基板
上に発熱抵抗体、第1,第2の感温抵抗体、補助ヒータ
および温度補償抵抗を着膜形成したことにある。なお、
前述した第1の実施例と同一の構成要素に同一の符号を
付し、その説明を省略するものとする。
【0073】図中、51は本実施例による絶縁基板を示
し、該絶縁基板51は、ガラス,アルミナ,窒化アルミ
ニウム等の絶縁材料によって長方形の平板状に形成さ
れ、基端側が検出ホルダ26に取付けられる固定端とな
り、先端側が自由端となった第1,第2の基板部51
A,51Bとからなり、該第1,第2の基板部51A,
51Bの間には先端側から基端側に向けて延びる第1の
スリット52が形成されている。なお、前記第2の基板
部51Bは吸入空気の順方向(矢示A方向)の流れに対
して第1の基板部51Aよりも上流側に位置し、第2の
基板部51B上には後述の温度補償抵抗体58が形成さ
れている。
し、該絶縁基板51は、ガラス,アルミナ,窒化アルミ
ニウム等の絶縁材料によって長方形の平板状に形成さ
れ、基端側が検出ホルダ26に取付けられる固定端とな
り、先端側が自由端となった第1,第2の基板部51
A,51Bとからなり、該第1,第2の基板部51A,
51Bの間には先端側から基端側に向けて延びる第1の
スリット52が形成されている。なお、前記第2の基板
部51Bは吸入空気の順方向(矢示A方向)の流れに対
して第1の基板部51Aよりも上流側に位置し、第2の
基板部51B上には後述の温度補償抵抗体58が形成さ
れている。
【0074】また、前記第1の基板部51Aは、先端側
が自由端側となって長方形状をなす主基板部51A1
と、該主基板部51A1 の基端側に位置して前記検出ホ
ルダ26に取付けられる副基板部51A2 とからなり、
該副基板部51A2 と主基板部51A1 との間には、幅
方向一側から他側(矢示A方向)に向けて第1のスリッ
ト52と連通する第2のスリット53が形成されてい
る。なお、前記第1のスリット52と第2のスリット5
3とは図5に示すように必ずしも連通しなくてもよい。
が自由端側となって長方形状をなす主基板部51A1
と、該主基板部51A1 の基端側に位置して前記検出ホ
ルダ26に取付けられる副基板部51A2 とからなり、
該副基板部51A2 と主基板部51A1 との間には、幅
方向一側から他側(矢示A方向)に向けて第1のスリッ
ト52と連通する第2のスリット53が形成されてい
る。なお、前記第1のスリット52と第2のスリット5
3とは図5に示すように必ずしも連通しなくてもよい。
【0075】54は発熱抵抗体を示し、該発熱抵抗体5
4は抵抗値RH を有するように、前記絶縁基板51の主
基板部51A1 上に白金等の感温性材料をプリント印刷
またはスパッタリング等の手段によって着膜形成され、
第1の実施例による発熱抵抗体31と同様に、中間抵抗
部54Aと、該中間抵抗部54Aの両端側から前記絶縁
基板51の長さ方向に互いに逆向きに延びた第1,第2
の延長抵抗部54B,54Cとからなり、前述した発熱
抵抗体31と同様に、第1の実施例で述べた電流制御用
トランジスタ44によって電流値を制御することによ
り、一定温度(例えば約240℃)をもって発熱するよ
うになっている。
4は抵抗値RH を有するように、前記絶縁基板51の主
基板部51A1 上に白金等の感温性材料をプリント印刷
またはスパッタリング等の手段によって着膜形成され、
第1の実施例による発熱抵抗体31と同様に、中間抵抗
部54Aと、該中間抵抗部54Aの両端側から前記絶縁
基板51の長さ方向に互いに逆向きに延びた第1,第2
の延長抵抗部54B,54Cとからなり、前述した発熱
抵抗体31と同様に、第1の実施例で述べた電流制御用
トランジスタ44によって電流値を制御することによ
り、一定温度(例えば約240℃)をもって発熱するよ
うになっている。
【0076】55,56は第1,第2の感温抵抗体を示
し、該第1,第2の感温抵抗体55,56は抵抗値RT
1,RT2をそれぞれ有するように、前記絶縁基板51の
主基板部51A1 上に白金等の感温性材料をプリント印
刷またはスパッタリング等の手段によって着膜形成され
ている。また、該第1の感温抵抗体55は、前記発熱抵
抗体54の第1の延長抵抗部54Bと中間抵抗部54A
との間に位置して、該延長抵抗部54Bと平行となるよ
うに形成され、前記第2の感温抵抗体56は、前記発熱
抵抗体54の第2の延長抵抗部54Cと中間抵抗部54
Aとの間に位置して、該第2の延長抵抗部54Cと平行
となるように形成されている。さらに、前記発熱抵抗体
54に対し、第1の感温抵抗体55は吸入空気の順方向
の流れ(矢示A方向)に対して上流側に位置し、第2の
感温抵抗体56は下流側に位置するようになっている。
し、該第1,第2の感温抵抗体55,56は抵抗値RT
1,RT2をそれぞれ有するように、前記絶縁基板51の
主基板部51A1 上に白金等の感温性材料をプリント印
刷またはスパッタリング等の手段によって着膜形成され
ている。また、該第1の感温抵抗体55は、前記発熱抵
抗体54の第1の延長抵抗部54Bと中間抵抗部54A
との間に位置して、該延長抵抗部54Bと平行となるよ
うに形成され、前記第2の感温抵抗体56は、前記発熱
抵抗体54の第2の延長抵抗部54Cと中間抵抗部54
Aとの間に位置して、該第2の延長抵抗部54Cと平行
となるように形成されている。さらに、前記発熱抵抗体
54に対し、第1の感温抵抗体55は吸入空気の順方向
の流れ(矢示A方向)に対して上流側に位置し、第2の
感温抵抗体56は下流側に位置するようになっている。
【0077】57は補助ヒータを示し、該補助ヒータ5
7は、前記絶縁基板51の副基板部51A2 上に位置し
て、前述した発熱抵抗体54、第1,第2の感温抵抗体
55,56と同様に白金等の感温性材料をプリント印刷
またはスパッタリング等の手段で抵抗値RHSとなる膜状
に形成している。また、該補助ヒータ57は絶縁基板5
1の副基板部51A2 を加熱することにより、主基板部
51A1 (発熱抵抗体54)からの熱が副基板部51A
2 を介して検出ホルダ26に逃げるのを防止している。
さらに、主基板部51A1 と副基板部51A2 との間に
はスリット53を形成しているから、補助ヒータ57か
らの熱によって第1の感温抵抗体55が加熱されるのを
防止している。
7は、前記絶縁基板51の副基板部51A2 上に位置し
て、前述した発熱抵抗体54、第1,第2の感温抵抗体
55,56と同様に白金等の感温性材料をプリント印刷
またはスパッタリング等の手段で抵抗値RHSとなる膜状
に形成している。また、該補助ヒータ57は絶縁基板5
1の副基板部51A2 を加熱することにより、主基板部
51A1 (発熱抵抗体54)からの熱が副基板部51A
2 を介して検出ホルダ26に逃げるのを防止している。
さらに、主基板部51A1 と副基板部51A2 との間に
はスリット53を形成しているから、補助ヒータ57か
らの熱によって第1の感温抵抗体55が加熱されるのを
防止している。
【0078】58は温度補償抵抗としての温度補償抵抗
体を示し、該温度補償抵抗体58は前記第2の基板部5
1B上に形成され、プリント印刷またはスパッタリング
等の手段を用いて白金膜を着膜させることにより形成さ
れている。そして、該温度補償抵抗体58は発熱抵抗体
54よりも大きい抵抗値RK を有し、吸入空気の流れに
よる影響は受けず、温度変化のみを検出するようになっ
ている。
体を示し、該温度補償抵抗体58は前記第2の基板部5
1B上に形成され、プリント印刷またはスパッタリング
等の手段を用いて白金膜を着膜させることにより形成さ
れている。そして、該温度補償抵抗体58は発熱抵抗体
54よりも大きい抵抗値RK を有し、吸入空気の流れに
よる影響は受けず、温度変化のみを検出するようになっ
ている。
【0079】59,59,…は絶縁基板51の基端側に
位置して形成された例えば7個の電極を示し、該各電極
59は絶縁基板51の幅方向に所定間隔をもって列設さ
れ、絶縁基板51の基端側を前記検出ホルダ26のスロ
ット内に差込むことにより、該検出ホルダ26側の各タ
ーミナル(図示せず)に接続される。
位置して形成された例えば7個の電極を示し、該各電極
59は絶縁基板51の幅方向に所定間隔をもって列設さ
れ、絶縁基板51の基端側を前記検出ホルダ26のスロ
ット内に差込むことにより、該検出ホルダ26側の各タ
ーミナル(図示せず)に接続される。
【0080】このように、第2の実施例における絶縁基
板51を前述した第1の実施例による流量計本体22に
取付けることにより、前述した第1の実施例による流量
検出処理回路とほぼ同様の図6に示すような、流量を検
出するブリッジ回路36′および空気の流れ方向を検出
するブリッジ回路40′を有する流量検出用の処理回路
を構成している。
板51を前述した第1の実施例による流量計本体22に
取付けることにより、前述した第1の実施例による流量
検出処理回路とほぼ同様の図6に示すような、流量を検
出するブリッジ回路36′および空気の流れ方向を検出
するブリッジ回路40′を有する流量検出用の処理回路
を構成している。
【0081】このように構成される本実施例の熱式流量
検出装置においても、前記第1の実施例と同様に、吸入
空気の流量および流れ方向を検出することができる。
検出装置においても、前記第1の実施例と同様に、吸入
空気の流量および流れ方向を検出することができる。
【0082】即ち、絶縁基板51上の発熱抵抗体54が
吸入空気によって冷やされ、該発熱抵抗体54の抵抗値
が減少してブリッジ回路36′からは流量検出信号を出
力すると共に、反転回路45からの負の流量検出信号を
選択回路46に出力する。
吸入空気によって冷やされ、該発熱抵抗体54の抵抗値
が減少してブリッジ回路36′からは流量検出信号を出
力すると共に、反転回路45からの負の流量検出信号を
選択回路46に出力する。
【0083】一方、ブリッジ回路40′では、第1,第
2の感温抵抗体55,56の抵抗値の差によって吸入空
気の流れる方向が順方向であるか逆方向であるかを判別
し、比較回路43を介してこの信号を選択回路46に出
力する。これにより、選択回路46では、ブリッジ回路
40′(比較回路43)からの流れ方向検出信号に基づ
いて、正または負の流量検出信号を選択し、出力信号V
out としてコントロールユニットに出力する。この結
果、該コントロールユニットでは、このように流れ方向
も検出された吸入空気量に基づいて正確な空燃比制御を
行う。
2の感温抵抗体55,56の抵抗値の差によって吸入空
気の流れる方向が順方向であるか逆方向であるかを判別
し、比較回路43を介してこの信号を選択回路46に出
力する。これにより、選択回路46では、ブリッジ回路
40′(比較回路43)からの流れ方向検出信号に基づ
いて、正または負の流量検出信号を選択し、出力信号V
out としてコントロールユニットに出力する。この結
果、該コントロールユニットでは、このように流れ方向
も検出された吸入空気量に基づいて正確な空燃比制御を
行う。
【0084】また、本実施例においては、単一な絶縁基
板51上に発熱抵抗体54、第1,第2の感温抵抗体5
5,56、補助ヒータ57および温度補償抵抗体58を
着膜形成しているから、第1の実施例よりも部品点数を
削減することができる。
板51上に発熱抵抗体54、第1,第2の感温抵抗体5
5,56、補助ヒータ57および温度補償抵抗体58を
着膜形成しているから、第1の実施例よりも部品点数を
削減することができる。
【0085】さらに、温度補償抵抗体58を着膜形成す
る第2の基板部51Bと、発熱抵抗体54、第1,第2
の感温抵抗体55,56および補助ヒータ57を着膜形
成する第1の基板部51Aとの間に第1のスリット52
を形成することにより、例えば発熱抵抗体54で加熱さ
れる第1の基板部51Aから第2の基板部51Bに熱が
逃げるのを防止でき、第1の基板部51Aを早期に温度
上昇させることができ、ヒートアップ時間を短くでき
る。
る第2の基板部51Bと、発熱抵抗体54、第1,第2
の感温抵抗体55,56および補助ヒータ57を着膜形
成する第1の基板部51Aとの間に第1のスリット52
を形成することにより、例えば発熱抵抗体54で加熱さ
れる第1の基板部51Aから第2の基板部51Bに熱が
逃げるのを防止でき、第1の基板部51Aを早期に温度
上昇させることができ、ヒートアップ時間を短くでき
る。
【0086】さらにまた、前記第1の基板部51Aは、
補助ヒータ57を着膜形成する副基板部51A2 と、発
熱抵抗体54および感温抵抗体55,56を着膜形成す
る主基板部51A1 との間に第2のスリット53を形成
することにより、例えば発熱抵抗体54で加熱される主
基板部51A1 から副基板部51A2 に熱が逃げるのを
防止でき、主基板部51A1 を早期に温度上昇させるこ
とができる。
補助ヒータ57を着膜形成する副基板部51A2 と、発
熱抵抗体54および感温抵抗体55,56を着膜形成す
る主基板部51A1 との間に第2のスリット53を形成
することにより、例えば発熱抵抗体54で加熱される主
基板部51A1 から副基板部51A2 に熱が逃げるのを
防止でき、主基板部51A1 を早期に温度上昇させるこ
とができる。
【0087】一方、第1の感温抵抗体55と補助ヒータ
57との間には第2のスリット53が位置するように形
成されているから、補助ヒータ57の熱影響が第1の感
温抵抗体55に及ぶのを効果的に防止でき、吸入空気の
流れ方向をブリッジ回路40′によって正確に検出する
ことができる。
57との間には第2のスリット53が位置するように形
成されているから、補助ヒータ57の熱影響が第1の感
温抵抗体55に及ぶのを効果的に防止でき、吸入空気の
流れ方向をブリッジ回路40′によって正確に検出する
ことができる。
【0088】なお、前記各実施例では、第1の感温抵抗
体32(55)を吸入空気の流れ方向に対して上流側
に、第2の感温抵抗体33(56)を下流側に設けるよ
うにしたが、本発明はこれに限らず、第1の感温抵抗体
32(55)を下流側に、第2の感温抵抗体33(5
6)を上流側に位置させてもよく、この場合、比較回路
43からの流れ方向検出信号を反転させて選択回路46
に出力すればよい。
体32(55)を吸入空気の流れ方向に対して上流側
に、第2の感温抵抗体33(56)を下流側に設けるよ
うにしたが、本発明はこれに限らず、第1の感温抵抗体
32(55)を下流側に、第2の感温抵抗体33(5
6)を上流側に位置させてもよく、この場合、比較回路
43からの流れ方向検出信号を反転させて選択回路46
に出力すればよい。
【0089】また、前記各実施例では、流量計本体22
の巻線部24に巻回した基準抵抗23を吸気管2内に突
出させて設けるものとして述べたが、本発明はこれに限
らず、例えば吸気管2の外周に設ける回路ケーシング2
7内に基準抵抗23を流量調整抵抗38等と共に配設す
る構成としてもよい。
の巻線部24に巻回した基準抵抗23を吸気管2内に突
出させて設けるものとして述べたが、本発明はこれに限
らず、例えば吸気管2の外周に設ける回路ケーシング2
7内に基準抵抗23を流量調整抵抗38等と共に配設す
る構成としてもよい。
【0090】さらに、前記各実施例では、流量検出信号
を出力するブリッジ回路36(36′)を、発熱抵抗体
31(54)、温度補償抵抗37(温度補償抵抗体5
8)、基準抵抗23および流量調整抵抗38から形成し
たが、本発明はこれに限らず、温度補償抵抗37(温度
補償抵抗体58)、流量調整抵抗38として固定抵抗を
用いてブリッジ回路36(36′)を形成してもよい。
を出力するブリッジ回路36(36′)を、発熱抵抗体
31(54)、温度補償抵抗37(温度補償抵抗体5
8)、基準抵抗23および流量調整抵抗38から形成し
たが、本発明はこれに限らず、温度補償抵抗37(温度
補償抵抗体58)、流量調整抵抗38として固定抵抗を
用いてブリッジ回路36(36′)を形成してもよい。
【0091】
【発明の効果】以上詳述した如く、請求項1の発明で
は、絶縁基板上に、吸入空気の流れ方向に対し、発熱抵
抗体の前,後に離間して第1,第2の感温抵抗体を形成
し、該第1,第2の感温抵抗体を空気の流れ方向に従っ
て冷却することによりそれぞれの抵抗値を変化させる構
成としたから、吸気管内を流れる吸入空気によって発熱
抵抗体が冷やされるときの抵抗値変化により吸入空気の
流量を検出できると共に、第1の感温抵抗体が第2の感
温抵抗体よりも抵抗値が小さいときには、例えば空気の
流れ方向を順方向として検出でき、第2の感温抵抗体が
第1の感温抵抗体よりも抵抗値が小さいときには、空気
の流れを逆方向として検出できる。従って、吸気管内を
流れる吸入空気に逆流が発生した場合でも、逆方向の空
気流により吸入空気流量を誤検出するのを防止でき、流
量の検出精度を大幅に向上できる。また、発熱抵抗体を
中間抵抗部と第1,第2の延長抵抗部とから形成し、前
記第1の感温抵抗体は該第1の延長抵抗部と中間抵抗部
との間に位置して該第1の延長抵抗部と平行に形成し、
かつ前記第2の感温抵抗体は前記第2の延長抵抗部と中
間抵抗部との間に位置して該第2の延長抵抗部と平行に
形成することにより、絶縁基板の限られた表面スペース
を有効に利用して発熱抵抗体および第1,第2の感温抵
抗体をコンパクトに着膜形成できる。そして、発熱抵抗
体の表面積(実装面積)を可能な限り大きくすることが
でき、該発熱抵抗体による流量検出の感度を向上させる
ことができる。
は、絶縁基板上に、吸入空気の流れ方向に対し、発熱抵
抗体の前,後に離間して第1,第2の感温抵抗体を形成
し、該第1,第2の感温抵抗体を空気の流れ方向に従っ
て冷却することによりそれぞれの抵抗値を変化させる構
成としたから、吸気管内を流れる吸入空気によって発熱
抵抗体が冷やされるときの抵抗値変化により吸入空気の
流量を検出できると共に、第1の感温抵抗体が第2の感
温抵抗体よりも抵抗値が小さいときには、例えば空気の
流れ方向を順方向として検出でき、第2の感温抵抗体が
第1の感温抵抗体よりも抵抗値が小さいときには、空気
の流れを逆方向として検出できる。従って、吸気管内を
流れる吸入空気に逆流が発生した場合でも、逆方向の空
気流により吸入空気流量を誤検出するのを防止でき、流
量の検出精度を大幅に向上できる。また、発熱抵抗体を
中間抵抗部と第1,第2の延長抵抗部とから形成し、前
記第1の感温抵抗体は該第1の延長抵抗部と中間抵抗部
との間に位置して該第1の延長抵抗部と平行に形成し、
かつ前記第2の感温抵抗体は前記第2の延長抵抗部と中
間抵抗部との間に位置して該第2の延長抵抗部と平行に
形成することにより、絶縁基板の限られた表面スペース
を有効に利用して発熱抵抗体および第1,第2の感温抵
抗体をコンパクトに着膜形成できる。そして、発熱抵抗
体の表面積(実装面積)を可能な限り大きくすることが
でき、該発熱抵抗体による流量検出の感度を向上させる
ことができる。
【0092】請求項2の発明では、単一の絶縁基板上に
発熱抵抗体、第1,第2の感温抵抗体と共に補助ヒータ
を着膜形成し、部品点数を削減することができると共
に、補助ヒータを着膜形成する副基板部と前記発熱抵抗
体および第1,第2の感温抵抗体を着膜形成する主基板
部との間にスリットを形成することにより、例えば発熱
抵抗体で加熱される主基板部から副基板部に熱が逃げる
のを防止でき、主基板部を早期に温度上昇させることが
できると共に、ヒートアップ性能を向上でき、エンジン
の始動時における流量検出精度および応答性を効果的に
高めることができる。
発熱抵抗体、第1,第2の感温抵抗体と共に補助ヒータ
を着膜形成し、部品点数を削減することができると共
に、補助ヒータを着膜形成する副基板部と前記発熱抵抗
体および第1,第2の感温抵抗体を着膜形成する主基板
部との間にスリットを形成することにより、例えば発熱
抵抗体で加熱される主基板部から副基板部に熱が逃げる
のを防止でき、主基板部を早期に温度上昇させることが
できると共に、ヒートアップ性能を向上でき、エンジン
の始動時における流量検出精度および応答性を効果的に
高めることができる。
【0093】請求項3の発明では、単一の絶縁基板上に
発熱抵抗体、第1,第2の感温抵抗体、補助ヒータおよ
び温度補償抵抗を着膜形成でき、部品点数を削減するこ
とができる。また、温度補償抵抗を着膜形成する第2の
基板部と、前記発熱抵抗体、第1,第2の感温抵抗体お
よび補助ヒータを着膜形成する第1の基板部との間に第
1のスリットを形成することにより、例えば発熱抵抗体
で加熱される第1の基板部から第2の基板部に熱が逃げ
るのを防止でき、第1の基板部を早期に温度上昇させる
ことができる。さらに、前記第1の基板部には、補助ヒ
ータを着膜形成する副基板部と、前記発熱抵抗体および
第1,第2の感温抵抗体を着膜形成する主基板部との間
に第2のスリットを形成することにより、例えば発熱抵
抗体で加熱される主基板部から副基板部に熱が逃げるの
を防止でき、主基板部を早期に温度上昇させることがで
き、始動時の検出感度を向上できる。
発熱抵抗体、第1,第2の感温抵抗体、補助ヒータおよ
び温度補償抵抗を着膜形成でき、部品点数を削減するこ
とができる。また、温度補償抵抗を着膜形成する第2の
基板部と、前記発熱抵抗体、第1,第2の感温抵抗体お
よび補助ヒータを着膜形成する第1の基板部との間に第
1のスリットを形成することにより、例えば発熱抵抗体
で加熱される第1の基板部から第2の基板部に熱が逃げ
るのを防止でき、第1の基板部を早期に温度上昇させる
ことができる。さらに、前記第1の基板部には、補助ヒ
ータを着膜形成する副基板部と、前記発熱抵抗体および
第1,第2の感温抵抗体を着膜形成する主基板部との間
に第2のスリットを形成することにより、例えば発熱抵
抗体で加熱される主基板部から副基板部に熱が逃げるの
を防止でき、主基板部を早期に温度上昇させることがで
き、始動時の検出感度を向上できる。
【0094】請求項4の発明では、流れ方向検出手段を
第1,第2の感温抵抗体を並列に接続することにより構
成し、第1,第2の感温抵抗体の抵抗値を比較すること
で流れ方向を判別するようにしたから、第1の感温抵抗
体が第2の感温抵抗よりも大きいときには、例えば順方
向の空気流と判定でき、第2の感温抵抗体が第1の感温
抵抗よりも大きいときには、逆方向の空気流であると判
定することができる。
第1,第2の感温抵抗体を並列に接続することにより構
成し、第1,第2の感温抵抗体の抵抗値を比較すること
で流れ方向を判別するようにしたから、第1の感温抵抗
体が第2の感温抵抗よりも大きいときには、例えば順方
向の空気流と判定でき、第2の感温抵抗体が第1の感温
抵抗よりも大きいときには、逆方向の空気流であると判
定することができる。
【0095】請求項5の発明では、発熱抵抗体を含んで
ブリッジ回路を形成し、該ブリッジ回路中の発熱抵抗体
の抵抗値変化を流量検出信号として取出すと共に、前記
第1,第2の感温抵抗体の抵抗値の差に基づいて吸入空
気の流れ方向を検出し、該吸入空気の流れ方向が順方向
のときには前記流量検出信号をそのまま正の電圧信号と
して出力でき、逆方向のときには反転させて負の電圧信
号として出力することができる。そして、吸入空気の方
向と流量を正確に検出して空燃比等の制御を正確に行わ
せることができる。
ブリッジ回路を形成し、該ブリッジ回路中の発熱抵抗体
の抵抗値変化を流量検出信号として取出すと共に、前記
第1,第2の感温抵抗体の抵抗値の差に基づいて吸入空
気の流れ方向を検出し、該吸入空気の流れ方向が順方向
のときには前記流量検出信号をそのまま正の電圧信号と
して出力でき、逆方向のときには反転させて負の電圧信
号として出力することができる。そして、吸入空気の方
向と流量を正確に検出して空燃比等の制御を正確に行わ
せることができる。
【0096】さらに、請求項6の発明では、第1,第2
の感温抵抗体を外部からの電圧印加により互いに均等な
温度で発熱させることにより、空気流に従ってそれぞれ
の抵抗値を大きく変化させることができ、吸入空気の流
れ方向を確実に検出できる。従って、吸気管内を流れる
吸入空気に逆流が発生した場合でも、逆方向の空気流に
より吸入空気流量を誤検出するのを防止でき、流量の検
出精度を大幅に向上できる。
の感温抵抗体を外部からの電圧印加により互いに均等な
温度で発熱させることにより、空気流に従ってそれぞれ
の抵抗値を大きく変化させることができ、吸入空気の流
れ方向を確実に検出できる。従って、吸気管内を流れる
吸入空気に逆流が発生した場合でも、逆方向の空気流に
より吸入空気流量を誤検出するのを防止でき、流量の検
出精度を大幅に向上できる。
【図1】第1の実施例による熱式空気流量検出装置を吸
気管に取付けた状態を示す縦断面図である。
気管に取付けた状態を示す縦断面図である。
【図2】絶縁基板上に形成された発熱抵抗体、第1,第
2の感温抵抗体および補助ヒータを示す平面図である。
2の感温抵抗体および補助ヒータを示す平面図である。
【図3】第1の実施例による熱式空気流量検出装置の回
路構成を示す回路図である。
路構成を示す回路図である。
【図4】吸入空気の流速と流れ方向検出信号との関係を
示す特性線図である。
示す特性線図である。
【図5】第2の実施例による絶縁基板上に形成された発
熱抵抗体、第1,第2の感温抵抗体、補助ヒータおよび
温度補償抵抗を示す平面図である。
熱抵抗体、第1,第2の感温抵抗体、補助ヒータおよび
温度補償抵抗を示す平面図である。
【図6】第2の実施例による熱式空気流量検出装置の回
路構成を示す回路図である。
路構成を示す回路図である。
【図7】従来技術による熱式空気流量検出装置を吸気管
に取付けた状態を示す縦断面図である。
に取付けた状態を示す縦断面図である。
【図8】従来技術による流量計本体および発熱抵抗等を
示す斜視図である。
示す斜視図である。
21 熱式空気流量検出装置 22 流量計本体 23 基準抵抗 29 絶縁基板 29A,51A1 主基板部 29B,51A2 副基板部 30 スリット 31,54 発熱抵抗体 31A,54A 中間抵抗部 31B,31C,54B,54C 第1,第2の延長抵
抗部 32,55 第1の感温抵抗体 33,56 第2の感温抵抗体 34,57 補助ヒータ 36,36′ ブリッジ回路 37 温度補償抵抗 38 流量調整抵抗 39 差動増幅回路 40,40′ ブリッジ回路(流れ方向検出手段) 43 比較回路 45 反転回路 46 選択回路(流量信号出力手段) 51A 第1の基板部 51B 第2の基板部 58 温度補償抵抗体(温度補償抵抗)
抗部 32,55 第1の感温抵抗体 33,56 第2の感温抵抗体 34,57 補助ヒータ 36,36′ ブリッジ回路 37 温度補償抵抗 38 流量調整抵抗 39 差動増幅回路 40,40′ ブリッジ回路(流れ方向検出手段) 43 比較回路 45 反転回路 46 選択回路(流量信号出力手段) 51A 第1の基板部 51B 第2の基板部 58 温度補償抵抗体(温度補償抵抗)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01F 1/68 - 1/699
Claims (6)
- 【請求項1】 基端側が吸気管に取付けられた流量計本
体と、前記吸気管内に位置して該流量計本体に設けら
れ、前記吸気管内を流れる吸入空気によって冷却される
ときの抵抗値の変化を空気の流量として検出する流量検
出用の発熱抵抗とを備えてなる熱式空気流量検出装置に
おいて、 前記流量検出用の発熱抵抗は、前記流量計本体に取付け
られた絶縁基板上に着膜形成され、該絶縁基板の少なく
とも長さ方向に膜状に延びた発熱抵抗体によって構成
し、前 記絶縁基板上には、前記吸入空気の流れ方向に対し該
発熱抵抗体の前,後に離間して形成され、前記吸入空気
の流れ方向に応じてそれぞれ冷却されるときの抵抗値の
変化を空気の流れ方向として検出する第1,第2の感温
抵抗体を設け、前記発熱抵抗体は、前記絶縁基板の長さ方向中間部に位
置して幅方向に延びた中間抵抗部と、該中間抵抗部の両
端側から前記絶縁基板の長さ方向に互いに逆向きに延び
た第1,第2の延長抵抗部とから形成し、 前記第1の感温抵抗体は該第1の延長抵抗部と中間抵抗
部との間に位置して該第1の延長抵抗部と平行に形成
し、 かつ前記第2の感温抵抗体は前記第2の延長抵抗部と中
間抵抗部との間に位置して該第2の延長抵抗部と平行に
形成 したことを特徴とする熱式空気流量検出装置。 - 【請求項2】 前記絶縁基板は、先端側が自由端となっ
て、前記発熱抵抗体および第1,第2の感温抵抗体が着
膜形成される主基板部と、該主基板部の基端側に位置し
て前記流量計本体に取付けられ、前記発熱抵抗体を流量
計本体から離間させるための副基板部と、該副基板部と
主基板部との間に位置し、前記絶縁基板の幅方向一側か
ら他側に向けて延び、発熱抵抗体からの熱が該副基板部
に伝わるのを抑えるスリットとから構成し、前記副基板
部には該副基板部を加熱する補助ヒータを設けてなる請
求項1記載の熱式空気流量検出装置。 - 【請求項3】 前記絶縁基板は、基端側が前記流量計本
体に取付けられる固定端となり先端側が自由端となった
第1,第2の基板部から構成し、該第1,第2の基板部
間には先端側から基端側に向けて延びる第1のスリット
を形成すると共に、前記第2の基板部には前記吸入空気
の温度変化を補償する温度補償抵抗を着膜形成し、かつ
前記第1の基板部には、先端側が自由端となって前記発
熱抵抗体および第1,第2の感温抵抗体が着膜形成され
る主基板部と、該主基板部の基端側に位置して前記流量
計本体に取付けられ、前記発熱抵抗体を流量計本体から
離間させるための副基板部と、該副基板部と主基板部と
の間に位置し、前記第1の基板部の幅方向一側から他側
に向けて延び、前記発熱抵抗体からの熱が該副基板部に
伝わるのを抑える第2のスリットとを設け、前記副基板
部には該副基板部を加熱する補助ヒータを設ける構成と
してなる請求項1記載の熱式空気流量検出装置。 - 【請求項4】 前記第1,第2の感温抵抗体は、互いに
並列に接続され、他の抵抗と共にブリッジ回路からなる
流れ方向検出手段を構成し、該流れ方向検出手段は、前
記第1の感温抵抗体と第2の感温抵抗体の抵抗値を比較
することにより、空気の流れ方向に対応した流れ方向検
出信号を出力する構成としてなる請求項1,2または3
記載の熱式空気流量検出装置。 - 【請求項5】 前記発熱抵抗体は流量検出信号を出力す
るブリッジ回路を構成し、さらに該ブリッジ回路から出
力される流量検出信号と前記流れ方向検出手段によって
検出される流れ方向検出信号とに基づいて、前記空気の
流れ方向が順方向のときには前記流量検出信号をそのま
ま出力し、逆方向のときには前記流量検出信号を反転さ
せて出力する流量信号出力手段を備える構成としてなる
請求項4記載の熱式空気流量検出装置。 - 【請求項6】 前記第1,第2の感温抵抗体は外部から
の電圧印加により互いに均等な温度で発熱させる構成と
してなる請求項1,2,3,4または5記載の熱式空気
流量検出装置。
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