WO2011096300A1 - 磁気記録媒体の製造装置 - Google Patents

磁気記録媒体の製造装置 Download PDF

Info

Publication number
WO2011096300A1
WO2011096300A1 PCT/JP2011/051346 JP2011051346W WO2011096300A1 WO 2011096300 A1 WO2011096300 A1 WO 2011096300A1 JP 2011051346 W JP2011051346 W JP 2011051346W WO 2011096300 A1 WO2011096300 A1 WO 2011096300A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
magnetic recording
recording medium
support plate
lubricant
liquid
Prior art date
Application number
PCT/JP2011/051346
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
野口　智之
原　克雄
齊藤　将人
優志 木下
Original Assignee
昭和電工株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 昭和電工株式会社 filed Critical 昭和電工株式会社
Priority to CN201180009072.7A priority Critical patent/CN102754153B/zh
Priority to US13/577,600 priority patent/US8834961B2/en
Priority to SG2012059713A priority patent/SG183283A1/en
Publication of WO2011096300A1 publication Critical patent/WO2011096300A1/ja

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
    • G11B5/8408—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers protecting the magnetic layer
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D1/00—Processes for applying liquids or other fluent materials
    • B05D1/18—Processes for applying liquids or other fluent materials performed by dipping

Definitions

  • a disk-shaped magnetic recording medium having a central hole is immersed in a dipping tank containing a liquid lubricant, and then the magnetic recording medium is pulled up from the dipping tank so that a lubricant film is formed on the surface of the magnetic recording medium.
  • the present invention relates to an apparatus for manufacturing a magnetic recording medium to be formed.
  • the CSS (contact activation stop) method is the mainstream of hard disk drives, where the basic operation from starting to stopping of the magnetic head is contact sliding-floating-contact sliding with respect to the magnetic recording medium. Since then, contact sliding of the magnetic head on the magnetic recording medium has been unavoidable.
  • the problem about tribology between the magnetic head and the magnetic recording medium has become a fateful technical problem, and there are many efforts to improve the protective film laminated on the magnetic film of the magnetic recording medium.
  • the wear resistance and sliding resistance on the surface of the medium are a major pillar for improving the reliability of the magnetic recording medium.
  • a protective layer of a magnetic recording medium materials made of various materials have been proposed, but a carbon film is mainly used from the comprehensive viewpoint such as film formability and durability. Further, the hardness, density, dynamic friction coefficient, etc. of the carbon film are very important because they are reflected in the CSS characteristics or corrosion resistance characteristics of the magnetic recording medium.
  • a lubricant film is formed on the surface of the protective layer.
  • the main role of the lubricant film is to prevent the protective layer of the magnetic recording medium from directly contacting the atmosphere, to improve its corrosion resistance, and when the magnetic head slider accidentally contacts the data surface of the magnetic recording medium.
  • the magnetic head slider is prevented from coming into direct contact with the protective layer, and the frictional force of the magnetic head slider sliding on the magnetic recording medium is remarkably reduced.
  • the lubricant film formed on the surface of the magnetic recording medium is strictly controlled in sub-nm units, and a method for forming the lubricant film includes a dipping bath containing a liquid lubricant.
  • a so-called dipping method in which a lubricant film is uniformly formed on the surface of the magnetic recording medium by immersing the magnetic recording medium in the immersion tank and then lifting the magnetic recording medium from the immersion tank has been widely used.
  • a batch processing method is generally adopted from the viewpoint of mass productivity, and a plurality of magnetic recording media are immersed in an immersion tank in a state where they are arranged, and processed in a lump.
  • the magnetic recording medium immersed in the immersion tank is supported in a suspended state by a hanger inserted through its central hole, and when this hanger is pulled up from the immersion tank containing the liquid lubricant, The liquid surface of the liquid lubricant is disturbed (swayed).
  • the hanger comes out of the liquid surface, the droplets (liquid pool) attached to the hanger bounce or sag, causing unevenness in the film thickness distribution of the lubricant film formed on the surface of the magnetic recording medium. It tends to occur.
  • the present invention has been proposed in view of such conventional circumstances, and provides a magnetic recording medium manufacturing apparatus that can form a lubricant film with a uniform thickness on the surface of the magnetic recording medium.
  • the purpose is to do.
  • the present invention provides the following means. (1) After immersing a disk-shaped magnetic recording medium having a central hole in a dipping tank containing a liquid lubricant, a lubricant film is formed on the surface of the magnetic recording medium by lifting the magnetic recording medium from the dipping tank.
  • An apparatus for manufacturing a magnetic recording medium A hanger mechanism that is inserted through the central hole of the magnetic recording medium and supports the magnetic recording medium in a suspended state; An elevating mechanism for elevating / lowering one of the hanger mechanism and the immersion tank with respect to the other;
  • the hanger mechanism has a support plate whose upper end is in contact with the inner peripheral portion of the magnetic recording medium, and a wave preventing plate arranged in parallel with the support plate outside the support plate, An upper end portion of the wave preventing plate is positioned below the upper end portion of the support plate to form a gap between the inner peripheral portion of the magnetic recording medium and the inner peripheral portion of the magnetic recording medium.
  • the hanger mechanism includes a pair of support plates whose upper end portions are in contact with the inner peripheral portion of the magnetic recording medium, and a pair of wave-proofing lines arranged in parallel with the support plates on the outside of the pair of support plates.
  • the apparatus for manufacturing a magnetic recording medium according to item (1) further comprising a plate.
  • a method for manufacturing a magnetic recording medium characterized in that the structure is located above the liquid level height.
  • the wave-proof plate is provided for the fluctuation of the liquid level that occurs at the moment when the liquid lubricant is cut by the support plate. Can be kept low.
  • the lubricant film is uniformly formed on the surface of the magnetic recording medium while preventing the occurrence of linear coating unevenness in the film thickness distribution of the lubricant film formed on the surface of the magnetic recording medium. Since it can be formed with a film thickness, it is possible to provide a magnetic recording medium suitable for lowering the flying height of the magnetic head and excellent in wear resistance and environmental resistance.
  • FIG. 1 is a side view showing an example of a dipping apparatus to which the present invention is applied.
  • FIG. 2 is a sectional view of the hanger mechanism taken along line X-X ′ shown in FIG.
  • FIG. 3 is a plan view of a main part when the hanger mechanism shown in FIG. 1 is viewed from above.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view of the hanger mechanism along the line Y-Y ′ shown in FIG. 3.
  • FIG. 5 is a side view showing a simulation result comparing the liquid surface state of the liquid lubricant when the magnetic recording medium is pulled up from the immersion tank, and showing a state before a liquid pool is formed.
  • FIG. 1 is a side view showing an example of a dipping apparatus to which the present invention is applied.
  • FIG. 2 is a sectional view of the hanger mechanism taken along line X-X ′ shown in FIG.
  • FIG. 3 is a plan view of a main part when the hanger mechanism shown in FIG. 1 is
  • FIG. 6 is a side view showing a simulation result comparing the liquid surface state of the liquid lubricant when the magnetic recording medium is pulled up from the immersion tank, and showing a state in which a liquid pool is formed.
  • FIG. 7 is a side view showing a simulation result comparing the liquid level of the liquid lubricant when the magnetic recording medium is pulled up from the immersion tank, and showing a state where the liquid pool is cut off.
  • FIG. 8 is a characteristic diagram showing a simulation of measuring the liquid level of the liquid lubricant when the magnetic recording medium is pulled up from the immersion tank.
  • FIG. 9 is an enlarged characteristic diagram showing the vicinity of the liquid breakage point in the graph shown in FIG.
  • FIG. 10 is a cross-sectional view showing an example of a magnetic recording medium.
  • FIG. 11 is a perspective view showing an example of a magnetic recording / reproducing apparatus.
  • Magnetic recording medium manufacturing equipment An apparatus for manufacturing a magnetic recording medium to which the present invention is applied, for example, as shown in FIG. 1, after immersing a disk-shaped magnetic recording medium 100 having a central hole 100a in an immersion tank 1 containing a liquid lubricant L, This is a so-called dipping device in which a lubricant film is formed on the surface of the magnetic recording medium 100 by pulling up the magnetic recording medium 100 from the immersion tank 1.
  • the dipping device is inserted through the center hole 100 a of the magnetic recording medium 100 and supports the magnetic recording medium 100 in a suspended state.
  • the hanger mechanism 2 and the raising / lowering mechanism 3 which raises / lowers either one of this hanger mechanism 2 and the immersion tank 1 with respect to the other are provided.
  • the hanger mechanism 2 has a pair of support plates 4a and 4b provided in parallel with each other and extending in the horizontal direction.
  • a plurality of V-shaped groove portions 5 with which the inner peripheral portion of the magnetic recording medium 100 is engaged are provided at the upper end portions of the pair of support plates 4a and 4b.
  • the plurality of magnetic recording media 100 are supported in a state of being arranged in parallel in the longitudinal direction. Further, the magnetic recording medium 100 can be stably held by contacting the inner peripheral portion of the magnetic recording medium 100 with such a groove 5.
  • a slit 6 is provided at the bottom of the groove 5 to cut out the pair of support plates 4a and 4b vertically downward.
  • the slit 6 is for promptly guiding the liquid lubricant L accumulated between the groove 5 and the inner periphery of the magnetic recording medium 100 engaged with the groove 5 downward. It is cut out in a straight line (or V shape) with a width narrower than the thickness of 100.
  • the hanger mechanism 2 has wave preventing plates 7a and 7b arranged in parallel with the pair of support plates 4a and 4b outside the pair of support plates 4a and 4b.
  • the pair of wave preventing plates 7a and 7b are provided outside the pair of support plates 4a and 4b so as to extend in the horizontal direction in parallel with each other.
  • the upper end portions of the wave preventing plates 7 a and 7 b are positioned below the upper end portions of the support plates 4 a and 4 b, and a gap S is formed between the inner ends of the magnetic recording medium 100.
  • the lower ends of the support plates 4 a and 4 b and the wave preventing plates 7 a and 7 b are located above a horizontal line passing through the center of the magnetic recording medium 100.
  • the lifting mechanism 3 is not particularly limited as long as it is a mechanism capable of immersing the magnetic recording medium 100 in the immersion tank 1 containing the liquid lubricant L and pulling up the magnetic recording medium 100 from the immersion tank 1.
  • a support pole 8 that cantilever-supports the base end sides of the support plates 4a and 4b and the wave preventing plates 7a and 7b, a nut portion 9 attached to the support pole 8, and the nut portion 9
  • the lead screw 10 is engaged with a drive motor 11 that rotationally drives the lead screw 10, and the drive motor 11 rotates the lead screw 10 while the nut portion 9 is engaged with the lead screw 10.
  • the pair of support plates 4a and 4b can be moved up and down with respect to the immersion tank 1. You have me.
  • the dipping apparatus having the above structure, when the magnetic recording medium 100 immersed in the liquid lubricant L in the immersion tank 1 is pulled up from the immersion tank 1, the liquid surface of the liquid lubricant L is supported by the support plates 4a and 4b.
  • the wave preventing plates 7a and 7b By providing the wave preventing plates 7a and 7b, the fluctuation of the liquid level that occurs at the moment when the wave is cut can be suppressed to a low level.
  • the liquid lubricant L is pulled by pulling the magnetic recording medium 100 immersed in the liquid lubricant L in the immersion tank 1 from the immersion tank 1 at a constant speed.
  • the liquid level t moves downward along the surface of the magnetic recording medium 100.
  • the magnetic recording medium 100 immersed in the liquid lubricant L in the immersion tank 1 is pulled up from the immersion tank 1 at a constant speed.
  • the liquid level t of the liquid lubricant L moves downward along the surface of the magnetic recording medium 100.
  • the support is
  • the liquid level t of the liquid lubricant L divided by the upper end of the plate 4a forms a liquid pool d in the gap S ′ between the inner peripheral portion of the magnetic recording medium 100 and the support plate 4a and the wave preventing plate 7a.
  • This liquid pool d is generated by the surface tension of the liquid lubricant L, and is pulled by the liquid surface t of the liquid lubricant L moving downward, and the thickness gradually decreases.
  • a magnetic recording medium 100 having an outer diameter of 65 mm, an inner diameter of 20 mm, and a thickness of 0.8 mm is placed on a support plate 4a (4b) having a thickness of 0.2 mm and a height of 7 mm at intervals of 6.35 mm.
  • a slit 6 having a width of 0.3 mm and a depth of 3 mm is provided at a contact position between the inner peripheral portion of the magnetic recording medium and the support plate 4a (4b).
  • the distance between the support plate and the wave preventing plate is 2 mm, and the gap S between the inner peripheral portion of the magnetic recording medium 100 and the upper end portion of the wave preventing plate 7a (7b) is 0.
  • the analysis model was the same as that of the conventional dipping apparatus except that the setting was 58 mm.
  • the surface tension coefficient was set to 1/10 of water and the contact angle was set to 60 °, and the case where the liquid level t dropped at a speed of 3 mm / second was analyzed.
  • the dipping apparatus of the present invention has a fluctuation (disturbance) of the liquid level t that occurs at the moment when the liquid level t of the liquid lubricant L is cut as compared with the conventional dipping apparatus. It can be kept low.
  • the graph shown in FIG. 9 is an enlarged view of the vicinity of the liquid breakage point of the graph shown in FIG.
  • the surface of the magnetic recording medium is lubricated while preventing the occurrence of linear coating unevenness in the film thickness distribution of the lubricant film formed on the surface of the magnetic recording medium 100. It is possible to form the agent film with a uniform film thickness. By using such a dipping device, it is possible to manufacture a magnetic recording medium suitable for lowering the flying height of the magnetic head and having excellent wear resistance and environmental resistance.
  • Magnetic recording medium Next, a specific configuration of the magnetic recording medium manufactured by using the dipping apparatus of the present invention will be described in detail by taking, for example, a discrete magnetic recording medium 30 shown in FIG. Note that the magnetic recording medium 30 exemplified in the following description is only an example, and the magnetic recording medium manufactured by applying the present invention is not necessarily limited to such a configuration. It is possible to carry out by appropriately changing within a range not changing.
  • the magnetic recording medium 30 has a soft magnetic layer 32, an intermediate layer 33, a recording magnetic layer 34 having a magnetic recording pattern 34a, and a protective layer 35 on both surfaces of a nonmagnetic substrate 31. It has a structure in which layers are sequentially stacked, and further has a structure in which a lubricant film 36 is formed on the outermost surface.
  • the soft magnetic layer 32, the intermediate layer 33, and the recording magnetic layer 34 constitute a magnetic layer 37. In FIG. 10, only one surface of the nonmagnetic substrate 31 is illustrated.
  • the nonmagnetic substrate 31 examples include an Al alloy substrate mainly composed of Al, such as an Al—Mg alloy, a glass substrate such as soda glass, aluminosilicate glass, or crystallized glass, a silicon substrate, a titanium substrate, a ceramic substrate, Various substrates such as a resin substrate can be mentioned, and among them, an Al alloy substrate, a glass substrate, and a silicon substrate are preferably used. Further, the average surface roughness (Ra) of the nonmagnetic substrate 31 is preferably 1 nm or less, more preferably 0.5 nm or less, and further preferably 0.1 nm or less.
  • the soft magnetic layer 32 increases the component of the magnetic flux generated from the magnetic head in the direction perpendicular to the substrate surface, and further strengthens the direction of magnetization of the perpendicular magnetic layer on which information is recorded in a direction perpendicular to the nonmagnetic substrate. It is provided for fixing. This effect becomes more conspicuous particularly when a single pole head for perpendicular recording is used as a magnetic head for recording and reproduction.
  • the soft magnetic layer 32 for example, a soft magnetic material containing Fe, Ni, Co, or the like can be used.
  • soft magnetic materials include CoFe alloys (CoFeTaZr, CoFeZrNb, etc.), FeCo alloys (FeCo, FeCoV, etc.), FeNi alloys (FeNi, FeNiMo, FeNiCr, FeNiSi, etc.), and FeAl alloys.
  • Alloys FeAl, FeAlSi, FeAlSiCr, FeAlSiTiRu, FeAlO, etc.
  • FeCr alloys FeCr, FeCrTi, FeCrCu, etc.
  • FeTa alloys FeTa, FeTaC, FeTaN, etc.
  • FeMg alloys FeMgO, etc.
  • Examples thereof include FeZr alloys (FeZrN, etc.), FeC alloys, FeN alloys, FeSi alloys, FeP alloys, FeNb alloys, FeHf alloys, FeB alloys, and the like.
  • the intermediate layer 33 can improve the recording / reproducing characteristics by refining the crystal grains of the magnetic layer.
  • a material is not particularly limited, but a material having an hcp structure, an fcc structure, or an amorphous structure is preferable.
  • Ru-based alloys, Ni-based alloys, Co-based alloys, Pt-based alloys, and Cu-based alloys are preferable, and these alloys may be multilayered.
  • Ni-based alloy it is made of at least one material selected from NiW alloy, NiTa alloy, NiNb alloy, NiTi alloy, NiZr alloy, NiMn alloy, and NiFe alloy containing 33 to 96 at% Ni. Is preferred. Further, it may be a nonmagnetic material containing 33 to 96 at% Ni and containing at least one or more of Sc, Y, Ti, Zr, Hf, Nb, Ta, and C. In this case, the Ni content is preferably in the range of 33 at% to 96 at% in order to maintain the effect as the intermediate layer 33 and to have a range without magnetism.
  • the thickness of the intermediate layer 33 is preferably 5 to 40 nm, more preferably 8 to 30 nm as a total thickness in the case of a multilayer.
  • the perpendicular orientation of the direct magnetic layer is particularly high, and the distance between the magnetic head and the soft magnetic layer during recording can be reduced. Recording / reproducing characteristics can be improved without lowering.
  • the recording magnetic layer 34 may be a horizontal magnetic layer for an in-plane magnetic recording medium or a perpendicular magnetic layer for a perpendicular magnetic recording medium, but a perpendicular magnetic layer is preferable in order to realize a higher recording density.
  • the recording magnetic layer 34 is preferably formed mainly from an alloy containing Co as a main component.
  • a CoCrPt-based, CoCrPtB-based, CoCrPtTa-based magnetic layer, SiO 2 , Cr 2 O 3, or the like may be used.
  • a magnetic layer having a granular structure to which an oxide is added can be used.
  • a perpendicular magnetic recording medium it is made of, for example, soft magnetic FeCo alloy (FeCoB, FeCoSiB, FeCoZr, FeCoZrB, FeCoZrBCu, etc.), FeTa alloy (FeTaN, FeTaC, etc.), Co alloy (CoTaZr, CoZrNB, CoB, etc.), etc. available soft magnetic layer 32, an intermediate layer 33 made of Ru or the like, a material obtained by laminating a recording magnetic layer 34 made of 60Co-15Cr-15Pt alloy or 70Co-5Cr-15Pt-10SiO 2 alloy. Further, an orientation control film made of Pt, Pd, NiCr, NiFeCr or the like may be laminated between the soft magnetic layer 32 and the intermediate layer 33.
  • soft magnetic FeCo alloy FeCoB, FeCoSiB, FeCoZr, FeCoZrB, FeCoZrBCu, etc.
  • FeTa alloy FeTaN, FeTaC, etc.
  • a nonmagnetic CrMo underlayer and a ferromagnetic CoCrPtTa magnetic layer can be used as the magnetic layer 37.
  • the thickness of the recording magnetic layer 34 is 3 nm or more and 20 nm or less, preferably 5 nm or more and 15 nm or less, and may be formed so as to obtain sufficient head input / output according to the type of magnetic alloy used and the laminated structure.
  • the recording magnetic layer 34 needs to have a film thickness of a certain level or more in order to obtain an output of a certain level or more during reproduction.
  • various parameters indicating the recording / reproduction characteristics usually deteriorate as the output increases. Therefore, it is necessary to set an optimum film thickness.
  • the magnetic layer 37 is usually formed as a thin film by sputtering.
  • the granular magnetic recording layer 34 includes at least Co and Cr as magnetic particles, and at least Si oxide, Cr oxide, Ti oxide, W oxide, Co oxide, Ta oxide at the grain boundary portion of the magnetic particles. And those containing at least one or more selected from Ru and Ru oxides. Specifically, for example, CoCrPt—Si oxide, CoCrPt—Cr oxide, CoCrPt—W oxide, CoCrPt—Co oxide, CoCrPt—Cr oxide—W oxide, CoCrPt—Cr oxide—Ru oxide , CoRuPt—Cr oxide—Si oxide, CoCrPtRu—Cr oxide—Si oxide, and the like.
  • the average particle size of the magnetic crystal particles having a granular structure is preferably 1 nm or more and 12 nm or less.
  • the total amount of oxides present in the magnetic layer is preferably 3 to 15 mol%.
  • Examples of the magnetic layer not having a granular structure include a layer using a magnetic alloy containing Co and Cr, and preferably containing Pt.
  • the magnetic recording pattern 34 a formed in the recording magnetic layer 34 has a region whose magnetic characteristics are modified (for example, a nonmagnetic region or a recording magnetic layer 34 has a coercive force of about 80%. This is a so-called discrete type magnetic recording medium that is magnetically separated by the lowered region 38).
  • the width L1 of the magnetic recording pattern 34a in the recording magnetic layer 34 is set to 200 nm or less, and the width L2 of the modified region 38 is set to 100 nm or less. Is preferred.
  • the protective layer 35 may be made of a material usually used in a magnetic recording medium. Examples of such a material include carbon (C), hydrogenated carbon (HXC), nitrogenated carbon (CN), and alumocarbon. Examples thereof include carbonaceous materials such as silicon carbide (SiC), SiO 2 , Zr 2 O 3 , and TiN.
  • the protective layer 35 may be a laminate of two or more layers. If the thickness of the protective layer 35 exceeds 10 nm, the distance between the magnetic head and the magnetic layer 37 increases, and sufficient input / output characteristics cannot be obtained.
  • the lubricant film 36 is formed by applying a lubricant composed of a fluorine-based lubricant such as perfluoropolyether, fluorinated alcohol, or fluorinated carboxylic acid, a hydrocarbon-based lubricant, or a mixture thereof on the protective layer 35.
  • a lubricant composed of a fluorine-based lubricant such as perfluoropolyether, fluorinated alcohol, or fluorinated carboxylic acid, a hydrocarbon-based lubricant, or a mixture thereof.
  • the film thickness of the lubricant film 36 is usually about 1 to 4 nm.
  • a chemically stable, low friction and low adsorptive agent is preferably used as the unrefined lubricant for generating the lubricant.
  • a fluorine resin lubricant such as a perfluoropolyether lubricant containing a compound having a perfluoropolyether structure.
  • perfluoropolyether lubricant one kind of perfluoropolyether lubricant may be used, a lubricant combining a cyclic triphosphazene lubricant and a perfluoropolyether lubricant, A lubricant in which a perfluoropolyether compound having a phosphazene ring as a group and a perfluoropolyether compound having a hydroxyl group as a terminal group may be used.
  • Examples of the lubricant containing a compound having a perfluoropolyether structure include Fomblin Z-DOL and Fomblin Z-TETRAOL (trade name) manufactured by Solvay Solexis.
  • Examples of the cyclic triphosphazene lubricant include X-1p (trade name) manufactured by Dow Chemical.
  • Examples of the perfluoropolyether compound having a phosphazene ring at the terminal group include MORESCO PHOSPHAROLA 20H-2000 (trade name) manufactured by Matsumura Oil Research Institute (MORESCO).
  • the lubricant thus obtained is dissolved in a solvent to obtain a coating solution (liquid lubricant) having a concentration suitable for the coating method.
  • a solvent used here, a fluorine-based solvent or the like is used in the same manner as the solvent for diluting the lubricant described above.
  • the coating step is performed by a dipping method (dip coating method) using the dipping apparatus of the present invention shown in FIG.
  • the above-described coating solution liquid lubricant L
  • the nonmagnetic substrate on which the layers up to the protective layer are formed is immersed in the immersion tank 1, and then the immersion tank
  • the nonmagnetic substrate is pulled up from 1 at a predetermined speed to form a lubricant film having a uniform thickness on the surface of the nonmagnetic substrate on the protective layer.
  • a magnetic recording / reproducing apparatus to which the present invention is applied includes, for example, as shown in FIG. 11, the magnetic recording medium 30, a rotational drive unit 51 that rotationally drives the magnetic recording medium 30, and a recording operation on the magnetic recording medium 30.
  • a magnetic head 52 that performs a reproducing operation, a head drive unit 53 that moves the magnetic head 52 in the radial direction of the magnetic recording medium 30, and a signal input to the magnetic head 52 and an output signal from the magnetic head 52 are reproduced.
  • a recording / reproducing signal processing system 54 includes, for example, as shown in FIG. 11, the magnetic recording medium 30, a rotational drive unit 51 that rotationally drives the magnetic recording medium 30, and a recording operation on the magnetic recording medium 30.
  • a recording / reproducing signal processing system 54 includes,
  • this magnetic recording / reproducing apparatus by using the discrete track type magnetic recording medium 30, it is possible to eliminate writing blur when performing magnetic recording on the magnetic recording medium 30 and to obtain a high surface recording density. That is, by using the magnetic recording medium 30, a magnetic recording / reproducing apparatus having a high recording density can be configured.
  • the reproducing head width is made narrower than the recording head width in order to eliminate the influence of the magnetization transition region at the track edge portion. What was supported can be operated with both of them approximately the same width. As a result, sufficient reproduction output and high SNR can be obtained.
  • the reproducing unit of the magnetic head 52 by configuring the reproducing unit of the magnetic head 52 with a GMR head or a TMR head, a sufficient signal intensity can be obtained even at a high recording density, and a magnetic recording / reproducing apparatus having a high recording density can be realized. it can. Further, when the flying height of the magnetic head 52 is within the range of 0.005 ⁇ m to 0.020 ⁇ m and the flying height is lower than the conventional height, the output is improved and a high device SNR is obtained, and the large capacity and the high reliability are obtained.
  • the magnetic recording / reproducing apparatus can be provided.
  • the recording density can be further improved.
  • the track density is 100 k tracks / inch or more
  • the linear recording density is 1000 k bits / inch or more
  • the recording density is 100 G bits or more per square inch.
  • a sufficient SNR can also be obtained when recording / reproducing.
  • the present invention can be widely applied to a magnetic recording medium having a magnetically separated magnetic recording pattern MP.
  • a magnetic recording medium having a magnetic recording pattern the magnetic recording pattern is 1 bit. Examples thereof include so-called patterned media arranged with a certain regularity, media with magnetic recording patterns arranged in a track shape, and other magnetic recording media including servo signal patterns.
  • the present invention is preferably applied to a so-called discrete type magnetic recording medium in which magnetically separated magnetic recording patterns are magnetic recording tracks and servo signal patterns, from the viewpoint of simplicity in manufacturing.
  • the glass substrate used here is composed of Li 2 Si 2 O 5 , Al 2 O 3 —K 2 O, Al 2 O 3 —K 2 O, MgO—P 2 O 5 , Sb 2 O 3 —ZnO.
  • the crystallized glass is made of a material having an outer diameter of 65 mm, an inner diameter of 20 mm, a thickness of 0.8 mm, and an average surface roughness (Ra) of 2 angstroms.
  • this glass substrate was subjected to a DC sputtering method using a FeCoB film with a thickness of 60 nm as a soft magnetic layer, a Ru film with a thickness of 10 nm as an intermediate layer, and a 70 Co-5Cr-15Pt— with a thickness of 15 nm as a recording magnetic layer.
  • a 10SiO 2 alloy film, a 70Co-5Cr-15Pt alloy film having a thickness of 14 nm, and a CVD carbon film as a protective film were laminated in this order in a thickness of 5 nm.
  • Example 1 In Example 1, a lubricant was applied to the magnetic recording medium produced as described above. Specifically, a coating solution in which a lubricant was dissolved in a solvent was applied by a dipping method using a dipping device to form a 1.5 nm lubricant film on the surface of the protective layer of the magnetic recording medium.
  • the same device as the dipping device of the present invention shown in FIGS. 1 to 4 was used. Specifically, a pair of support plates having a length of 200 mm, a thickness of 0.2 mm, and a height of 10 mm are provided in parallel at intervals of 5 mm, and a magnetic recording medium is disposed at intervals of 6.35 mm in the V-shaped groove portions of the pair of support plates. Thus, 25 sheets were arranged side by side, and a slit having a width of 0.3 mm and a depth of 0.5 mm was provided at a contact position between the inner peripheral portion of the magnetic recording medium and the support plate. In addition, a wave preventing plate arranged in parallel with the pair of support plates is provided outside the pair of support plates.
  • This wave-breaking plate has a length of 200 mm, a thickness of 0.3 mm, a height of 6 mm, and a distance from the support plate of 3 mm.
  • the upper end portion of the wave preventing plate is positioned below the upper end portion of the support plate, and the liquid when the liquid pool accumulated in the gap between the inner peripheral portion of the magnetic recording medium and the support plate breaks down. It was located above the surface height by 0.5 mm.
  • Fomblin® Z-TETRAOL which is a compound having a perfluoropolyether structure
  • Vertrel XF (trade name) manufactured by Mitsui Dupont Fluoro Chemical Co. was used as a solvent for dissolving the lubricant.
  • the concentration of the lubricant in the coating solution was 0.3% by mass, the pulling speed of the magnetic recording medium was 3 mm / second, and the coating film thickness was 15 mm.
  • Comparative Example 1 In Comparative Example 1, a lubricant was applied to the magnetic recording medium in the same manner as in Example 1 except that the wave preventing plate was not provided in the dipping device.
  • a disk-shaped magnetic recording medium having a central hole is immersed in a dipping tank containing a liquid lubricant, and then the magnetic recording medium is pulled up from the dipping tank so that a lubricant film is formed on the surface of the magnetic recording medium.
  • the present invention can be applied to an apparatus for manufacturing a magnetic recording medium to be formed.

Landscapes

  • Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
  • Magnetic Record Carriers (AREA)

Abstract

　磁気記録媒体の表面に潤滑剤膜を均一の膜厚で形成することを可能とした磁気記録媒体の製造装置が提供される。そのような磁気記録媒体の製造装置は、磁気記録媒体(１００)の中心孔(１００ａ)に挿通されて当該磁気記録媒体(１００)を吊り下げた状態で支持するハンガー機構(２)と、ハンガー機構(２)と浸漬槽(１)との何れか一方を他方に対して昇降操作する昇降機構(３)とを備え、ハンガー機構(２)は、その上端部が磁気記録媒体(１００)の内周部と当接される支持プレート(４ａ，４ｂ)と、支持プレート(４ａ，４ｂ)の上端部よりも下方に位置する上端部と磁気記録媒体(１００)の内周部との間に間隙を設けて支持プレート(４ａ，４ｂ)と対向配置された防波プレート(７ａ，７ｂ)とを有する。

Description

磁気記録媒体の製造装置
　本発明は、中心孔を有する円盤状の磁気記録媒体を液体潤滑剤の入った浸漬槽に浸漬した後、この浸漬槽から磁気記録媒体を引き上げることによって、磁気記録媒体の表面に潤滑剤膜を形成する磁気記録媒体の製造装置に関する。
 本願は、２０１０年２月８日に、日本に出願された特願２０１０－０２５９９７号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
　近年、ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）等に用いられる磁気記録媒体の分野では、記録密度の向上が著しく、最近では記録密度が１年間で１．５倍程度と、驚異的な速度で伸び続けている。このような記録密度の向上を支える技術は多岐にわたるが、キーテクノロジーの一つとして、磁気ヘッドと磁気記録媒体との間における摺動特性の制御技術を挙げることができる。
　例えば、ウインチェスター様式と呼ばれる、磁気ヘッドの起動から停止までの基本動作を磁気記録媒体に対して接触摺動－浮上－接触摺動としたＣＳＳ（接触起動停止）方式がハードディスクドライブの主流となって以来、磁気記録媒体上での磁気ヘッドの接触摺動は避けることのできないものとなっている。
　このため、磁気ヘッドと磁気記録媒体との間のトライボロジーに関する問題は、宿命的な技術課題となって現在に至っており、磁気記録媒体の磁性膜上に積層される保護膜を改善する努力が営々と続けられていると共に、この媒体表面における耐摩耗性及び耐摺動性が、磁気記録媒体の信頼性向上の大きな柱となっている。
　磁気記録媒体の保護層としては、様々な材質からなるものが提案されているが、成膜性や耐久性等の総合的な見地から、主に炭素膜が採用されている。また、この炭素膜の硬度、密度、動摩擦係数等は、磁気記録媒体のＣＳＳ特性、あるいは耐コロージョン特性に如実に反映されるため、非常に重要である。
　しかしながら、保護層を設けただけでは、磁気記録媒体の耐久性が劣るため、この保護層の表面に潤滑剤膜を形成している。この潤滑剤膜の主な役割は、磁気記録媒体の保護層等が大気に直接触れることを防ぎ、その耐食性を高めること、並びに、磁気ヘッドスライダが偶発的に磁気記録媒体のデータ面接触した際に、磁気ヘッドスライダが保護層と直接接触するのを防止すると共に、磁気記録媒体上を摺動する磁気ヘッドスライダの摩擦力を著しく低減させることにある。
　ここで、磁気記録媒体の表面に形成される潤滑剤膜は、サブｎｍ単位で膜厚を厳密に管理するようにしており、その潤滑膜の形成方法としては、液体潤滑剤の入った浸漬槽に磁気記録媒体を浸漬した後、この浸漬槽から磁気記録媒体を引き上げることによって、磁気記録媒体の表面に潤滑剤膜を均一の膜厚で形成する、いわゆるディッピング法が従来より広く用いられている（例えば、特許文献１を参照。）。また、このディッピング法では、量産性の面から一般にバッチ処理方式が採られており、磁気記録媒体を複数並べた状態で浸漬槽に浸漬し、一括して処理するようにしている。
特開平６－１５０３０７号公報
　ところで、上述したディッピング法を用いた潤滑膜の塗布方法では、浸漬槽から磁気記録媒体を引き上げる際に、液体潤滑剤の液面を揺らさないように一定の速度で引き上げることが重要となる。これは、液体潤滑剤の液面が揺れてしまうと、磁気記録媒体の表面に形成される潤滑剤膜の膜厚分布に線状の塗布ムラが生じてしまうためである。
　具体的に、浸漬槽に浸漬された磁気記録媒体は、その中心孔に挿通されたハンガーによって吊り下げた状態で支持されており、このハンガーを液体潤滑剤の入った浸漬槽から引き上げる際に、液体潤滑剤の液面に乱れ（揺れ）が生じることになる。特に、ハンガーが液面から出る瞬間に、ハンガーに付着した液滴（液溜まり）が弾けたり、垂れ落ちたりするため、磁気記録媒体の表面に形成される潤滑剤膜の膜厚分布にムラが生じ易くなる。
　上述した特許文献１に記載の発明では、このような問題を解決するために、磁気記録媒体の内周部と当接するハンガーの上端部に鋭角なエッジを形成し、液溜まりの発生を防止することが行われている。しかしながら、この場合も、エッジによって液体潤滑剤の液面が切れる瞬間に、エッジに生じた僅かな液溜まりが弾け、液体潤滑剤の液面に揺れが生じてしまうため、磁気記録媒体の表面に形成される潤滑剤膜の膜厚分布にムラが生じることになる。
　本発明は、このような従来の事情に鑑みて提案されたものであり、磁気記録媒体の表面に潤滑剤膜を均一の膜厚で形成することを可能とした磁気記録媒体の製造装置を提供することを目的とする。
　上記目的を達成するために、本発明は、以下の手段を提供する。
（１）　中心孔を有する円盤状の磁気記録媒体を液体潤滑剤の入った浸漬槽に浸漬した後、この浸漬槽から磁気記録媒体を引き上げることによって、磁気記録媒体の表面に潤滑剤膜を形成する磁気記録媒体の製造装置であって、
　前記磁気記録媒体の中心孔に挿通されて当該磁気記録媒体を吊り下げた状態で支持するハンガー機構と、
　前記ハンガー機構と前記浸漬槽との何れか一方を他方に対して昇降操作する昇降機構とを備え、
　前記ハンガー機構は、その上端部が前記磁気記録媒体の内周部と当接される支持プレートと、前記支持プレートの外側において当該支持プレートと平行に並ぶ防波プレートとを有し、
　前記防波プレートの上端部は、前記支持プレートの上端部よりも下方に位置して、前記磁気記録媒体の内周部との間に間隙を形成すると共に、前記磁気記録媒体の内周部と前記支持プレートとの間の隙間に溜まった液溜まりが液切れするときの液面高さよりも上方に位置することを特徴とする磁気記録媒体の製造装置。
（２）　前記ハンガー機構は、その上端部が前記磁気記録媒体の内周部と当接される一対の支持プレートと、前記一対の支持プレートの外側において当該支持プレートと平行に並ぶ一対の防波プレートとを有することを特徴とする前項（１）に記載の磁気記録媒体の製造装置。
（３）　前記支持プレートの上端部には、前記磁気記録媒体の内周部が係合される溝部が設けられていることを特徴とする前項（１）又は（２）に記載の磁気記録媒体の製造装置。
（４） 前記溝部の底部には、前記支持プレートを鉛直下向きに切り欠くスリットが設けられていることを特徴とする前項（３）に記載の磁気記録媒体の製造装置。
（５）　前記ハンガー機構は、前記磁気記録媒体を複数並べた状態で支持することを特徴とする前項（１）～（４）の何れか一項に記載の磁気記録媒体の製造装置。
（６）　中心孔を有する円盤状の磁気記録媒体の中心孔にハンガー機構を挿通されて吊り下げた状態で支持しながら当該磁気記録媒体を液体潤滑剤の入った浸漬槽に浸漬した後、この浸漬槽から磁気記録媒体を引き上げることによって、磁気記録媒体の表面に潤滑剤膜を形成する磁気記録媒体の製造方法であって、前記ハンガー機構を、その上端部が前記磁気記録媒体の内周部と当接される支持プレートと、前記支持プレートの外側において当該支持プレートと平行に並ぶ防波プレートとを有する構造とし、前記防波プレートの上端部は、前記支持プレートの上端部よりも下方に位置して、前記磁気記録媒体の内周部との間に間隙を形成すると共に、前記磁気記録媒体の内周部と前記支持プレートとの間の隙間に溜まった液溜まりが液切れするときの液面高さよりも上方に位置する構造とすることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
　以上のように、本発明では、磁気記録媒体を液体潤滑剤の入った浸漬槽から引き上げる際に、支持プレートによって液体潤滑剤の液面が切れる瞬間に生じる液面の揺れを防波プレートを設けることによって低く抑えることができる。
　したがって、本発明によれば、磁気記録媒体の表面に形成される潤滑剤膜の膜厚分布に線状の塗布ムラが生じることを防ぎつつ、この磁気記録媒体の表面に潤滑剤膜を均一の膜厚で形成することが可能なことから、磁気ヘッドの低浮上化に適し、耐摩耗性及び耐環境性に優れた磁気記録媒体を提供することが可能となる。
図１は、本発明を適用したディッピング装置の一例を示す側面図である。 図２は、図１に示す線分Ｘ－Ｘ’によるハンガー機構の断面図である。 図３は、図１に示すハンガー機構を上方から見た要部平面図である。 図４は、図３中に示す線分Ｙ－Ｙ’によるハンガー機構の断面図である。 図５は、磁気記録媒体を浸漬槽から引き上げる際の液体潤滑剤の液面の状態を比較したシミュレーション結果を示し、液溜まりが形成される前の状態を示す側面図である。 図６は、磁気記録媒体を浸漬槽から引き上げる際の液体潤滑剤の液面の状態を比較したシミュレーション結果を示し、液溜まりが形成された状態を示す側面図である。 図７は、磁気記録媒体を浸漬槽から引き上げる際の液体潤滑剤の液面の状態を比較したシミュレーション結果を示し、液溜まりが切れた状態を示す側面図である。 図８は、磁気記録媒体を浸漬槽から引き上げる際の液体潤滑剤の液面の高さを測定したシミュレーションを示す特性図である。 図９は、図８に示すグラフの液切れポイント付近を拡大して示す特性図である。 図１０は、磁気記録媒体の一例を示す断面図である。 図１１は、磁気記録再生装置の一例を示す斜視図である。
　以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
（磁気記録媒体の製造装置）
　本発明を適用した磁気記録媒体の製造装置は、例えば図１に示すように、中心孔１００ａを有する円盤状の磁気記録媒体１００を液体潤滑剤Ｌの入った浸漬槽１に浸漬した後、この浸漬槽１から磁気記録媒体１００を引き上げることによって、磁気記録媒体１００の表面に潤滑剤膜を形成する、いわゆるディッピング装置である。
　具体的に、このディッピング装置は、図１、図２、図３及び図４に示すように、磁気記録媒体１００の中心孔１００ａに挿通されて当該磁気記録媒体１００を吊り下げた状態で支持するハンガー機構２と、このハンガー機構２と浸漬槽１との何れか一方を他方に対して昇降操作する昇降機構３とを備えている。
　ハンガー機構２は、互いに平行な状態で水平方向に延長して設けられた一対の支持プレート４ａ，４ｂを有している。また、これら一対の支持プレート４ａ，４ｂの上端部には、磁気記録媒体１００の内周部が係合されるＶ字状の溝部５が一定の間隔で複数並んで設けられている。これにより、複数の磁気記録媒体１００を長手方向に平行に並べた状態で支持する。また、このような溝部５に磁気記録媒体１００の内周部が当接されることによって、磁気記録媒体１００を安定的に保持することが可能である。
　さらに、溝部５の底部には、一対の支持プレート４ａ，４ｂを鉛直下向きに切り欠くスリット６が設けられている。このスリット６は、溝部５とこの溝部５に係合された磁気記録媒体１００の内周部との間に溜まった液体潤滑剤Ｌを速やかに下方へと導くためのものであり、磁気記録媒体１００の厚みよりも狭い幅で直線状（又はＶ字状であってもよい。）に切り欠き形成されている。
　ハンガー機構２は、一対の支持プレート４ａ，４ｂの外側において、これら一対の支持プレート４ａ，４ｂと平行に並ぶ防波プレート７ａ，７ｂを有している。一対の防波プレート７ａ，７ｂは、一対の支持プレート４ａ，４ｂの外側において、互いに平行な状態で水平方向に延長して設けられている。また、防波プレート７ａ，７ｂの上端部は、支持プレート４ａ，４ｂの上端部よりも下方に位置して、磁気記録媒体１００の内周部との間に間隙Ｓを形成している。また、これら支持プレート４ａ，４ｂ及び防波プレート７ａ，７ｂの下端部は、磁気記録媒体１００の中心を通る水平線よりも上方に位置している。
　昇降機構３は、磁気記録媒体１００を液体潤滑剤Ｌの入った浸漬槽１に浸漬したり、この浸漬槽１から磁気記録媒体１００を引き上げたりすることが可能な機構であれば、特に限定されるものではなく、例えば支持プレート４ａ，４ｂ及び防波プレート７ａ，７ｂの基端側を片持ち支持する支持ポール８と、この支持ポール８に取り付けられたナット部９と、このナット部９と噛合されるリードスクリュー１０と、このリードスクリュー１０を回転駆動する駆動モータ１１とを有して、駆動モータ１１がリードスクリュー１０を回転駆動しながら、このリードスクリュー１０と噛合されたナット部９と共に支持ポール８を上下方向に移動操作することによって、一対の支持プレート４ａ，４ｂを浸漬槽１に対して昇降操作することが可能となっている。
　以上のような構造を有するディッピング装置では、浸漬槽１内の液体潤滑剤Ｌに浸漬された磁気記録媒体１００を浸漬槽１から引き上げる際に、支持プレート４ａ，４ｂによって液体潤滑剤Ｌの液面が切れる瞬間に生じる液面の揺れを防波プレート７ａ，７ｂを設けることによって低く抑えることができる。
　具体的に、上記防波プレート７ａ，７ｂが設けられた本発明のディッピング装置と、防波プレート７ａ，７ｂが設けられていない従来のディッピング装置について、磁気記録媒体１００を浸漬槽１から引き上げる際の液体潤滑剤Ｌの液面の状態を比較したシミュレーション結果を図５～図７に示す。
　なお、図５～図７に示すシミュレーション結果のうち、（ａ）は従来のディッピング装置の場合であり、（ｂ）は本発明のディッピング装置の場合である。また、何れも磁気記録媒体１００の内周部と支持プレート４ａとの当接位置付近を拡大して示すものとする。
　従来のディッピング装置では、図５（ａ）に示すように、浸漬槽１内の液体潤滑剤Ｌに浸漬された磁気記録媒体１００を浸漬槽１から一定の速度で引き上げることによって、液体潤滑剤Ｌの液面ｔが磁気記録媒体１００の表面に沿って下方へと移動する。
　そして、図６（ａ）に示すように、支持プレート４ａの上端部と磁気記録媒体１００の内周部との当接位置が液体潤滑剤Ｌの液面ｔよりも上方に出たとき、支持プレート４ａの上端部によって分断された液体潤滑剤Ｌの液面ｔが、磁気記録媒体１００の内周部と支持プレート４ａとの間の隙間Ｓ’に液溜まりｄ’を形成しながら、下方へと移動することになる。この液溜まりｄ’は、液体潤滑剤Ｌの表面張力により生じたものであり、下方へと移動する液体潤滑剤Ｌの液面ｔに引っ張られて、その厚みが徐々に薄くなる。
　そして、図７（ａ）に示すように、液溜まりｄ’が切れた瞬間、この液溜まりｄを形成していた残液ｚ’が、液体潤滑剤Ｌの液面ｔに引っ張られて、磁気記録媒体１００の内周部に沿って液体潤滑剤Ｌの液面ｔまで移動する。このとき、残液ｚの移動に伴う液面ｔとの落差に応じた波動が液体潤滑剤Ｌの液面ｔへと伝わり、この液体潤滑剤Ｌの液面ｔに揺れ（乱れ）を生じさせることになる。
　これに対して、本発明のディッピング装置では、図５（ｂ）に示すように、浸漬槽１内の液体潤滑剤Ｌに浸漬された磁気記録媒体１００を浸漬槽１から一定の速度で引き上げることによって、液体潤滑剤Ｌの液面ｔが磁気記録媒体１００の表面に沿って下方へと移動する。
　そして、図６（ｂ）に示すように、支持プレート４ａの上端部と磁気記録媒体１００の内周部との当接位置が液体潤滑剤Ｌの液面ｔよりも上方に出たとき、支持プレート４ａの上端部によって分断された液体潤滑剤Ｌの液面ｔが、磁気記録媒体１００の内周部と支持プレート４ａ及び防波プレート７ａとの間の隙間Ｓ’に液溜まりｄを形成しながら、下方へと移動することになる。この液溜まりｄは、液体潤滑剤Ｌの表面張力により生じたものであり、下方へと移動する液体潤滑剤Ｌの液面ｔに引っ張られて、その厚みが徐々に薄くなる。
　そして、図７（ｂ）に示すように、液溜まりｄが切れた瞬間、この液溜まりｄを形成していた残液ｚが、液体潤滑剤Ｌの液面ｔに引っ張られて、磁気記録媒体１００の内周部に沿って液体潤滑剤Ｌの液面ｔまで移動する。このとき、残液ｚの移動に伴う液面ｔとの落差に応じた波動が液体潤滑剤Ｌの液面ｔへと伝わるのを、その上端部が液面ｔよりも僅かに上方に位置する防波プレート７ａが遮ることにより、液体潤滑剤Ｌの液面ｔが切れる瞬間に生じる液面ｔの揺れ（乱れ）を低く抑えることが可能である。
　また、本発明のディッピング装置と従来のディッピング装置について、磁気記録媒体１００を浸漬槽１から引き上げる際の液体潤滑剤Ｌの液面の高さを測定したシミュレーション結果を図８及び図９に示す。
　なお、本シミュレーションでは、従来のディッピング装置については、外径６５ｍｍ、内径２０ｍｍ、厚み０．８ｍｍの磁気記録媒体１００を厚み０．２ｍｍ、高さ７ｍｍの支持プレート４ａ（４ｂ）に６．３５ｍｍ間隔で並べて配置し、この磁気記録媒体の内周部と支持プレート４ａ（４ｂ）との当接位置に幅０．３ｍｍ、深さ３ｍｍのスリット６を設けた解析モデルとした。一方、本発明のディッピング装置については、支持プレートと防波プレートとの間隔を２ｍｍ、磁気記録媒体１００の内周部と防波プレート７ａ（７ｂ）の上端部との間の間隙Ｓを０．５８ｍｍに設定する以外は、従来のディッピング装置と同様の解析モデルとした。また、液体潤滑剤については、表面張力係数を水の１／１０、接触角を６０゜に設定し、３ｍｍ／秒の速度で液面ｔが降下する場合を解析した。
　その結果、図８及び図９に示すように、本発明のディッピング装置は、従来のディッピング装置に比べて、液体潤滑剤Ｌの液面ｔが切れる瞬間に生じる液面ｔの揺れ（乱れ）を低く抑えることが可能である。なお、図９に示すグラフは、図８に示すグラフの液切れポイント付近を拡大して示したものである。
　以上のように、本発明のディッピング装置では、磁気記録媒体１００の表面に形成される潤滑剤膜の膜厚分布に線状の塗布ムラが生じることを防ぎつつ、この磁気記録媒体の表面に潤滑剤膜を均一の膜厚で形成することが可能である。そして、このようなディッピング装置を用いることによって、磁気ヘッドの低浮上化に適し、耐摩耗性及び耐環境性に優れた磁気記録媒体を製造することが可能である。
（磁気記録媒体）
　次に、本発明のディッピング装置を用いて製造される磁気記録媒体の具体的な構成について、例えば図１０に示すディスクリート型の磁気記録媒体３０を例に挙げて詳細に説明する。
　なお、以下の説明において例示される磁気記録媒体３０はほんの一例であり、本発明を適用して製造される磁気記録媒体は、そのような構成に必ずしも限定されるものではなく、本発明の要旨を変更しない範囲で適宜変更して実施することが可能である。
　この磁気記録媒体３０は、図１０に示すように、非磁性基板３１の両面に、軟磁性層３２と、中間層３３と、磁気記録パターン３４ａを有する記録磁性層３４と、保護層３５とが順次積層された構造を有し、更に最表面に潤滑剤膜３６が形成された構造を有している。また、軟磁性層３２、中間層３３及び記録磁性層３４によって磁性層３７が構成されている。なお、図１０においては、非磁性基板３１の片面のみを図示するものとする。
　非磁性基板３１としては、例えば、Ａｌ－Ｍｇ合金などのＡｌを主成分としたＡｌ合金基板、ソーダガラスやアルミノシリケート系ガラス、結晶化ガラスなどのガラス基板、シリコン基板、チタン基板、セラミックス基板、樹脂基板等の各種基板を挙げることができるが、その中でも、Ａｌ合金基板や、ガラス基板、シリコン基板を用いることが好ましい。また、非磁性基板３１の平均表面粗さ（Ｒａ）は、１ｎｍ以下であることが好ましく、より好ましくは０．５ｎｍ以下であり、さらに好ましくは０．１ｎｍ以下である。
　軟磁性層３２は、磁気ヘッドから発生する磁束の基板面に対する垂直方向成分を大きくするために、また情報が記録される垂直磁性層の磁化の方向をより強固に非磁性基板と垂直な方向に固定するために設けられている。この作用は、特に記録再生用の磁気ヘッドとして垂直記録用の単磁極ヘッドを用いる場合に、より顕著なものとなる。
　軟磁性層３２としては、例えば、Ｆｅや、Ｎｉ、Ｃｏなどを含む軟磁性材料を用いることができる。具体的な軟磁性材料としては、例えば、ＣｏＦｅ系合金（ＣｏＦｅＴａＺｒ、ＣｏＦｅＺｒＮｂなど。）、ＦｅＣｏ系合金（ＦｅＣｏ、ＦｅＣｏＶなど。）、ＦｅＮｉ系合金（ＦｅＮｉ、ＦｅＮｉＭｏ、ＦｅＮｉＣｒ、ＦｅＮｉＳｉなど。）、ＦｅＡｌ系合金（ＦｅＡｌ、ＦｅＡｌＳｉ、ＦｅＡｌＳｉＣｒ、ＦｅＡｌＳｉＴｉＲｕ、ＦｅＡｌＯなど。）、ＦｅＣｒ系合金（ＦｅＣｒ、ＦｅＣｒＴｉ、ＦｅＣｒＣｕなど。）、ＦｅＴａ系合金（ＦｅＴａ、ＦｅＴａＣ、ＦｅＴａＮなど。）、ＦｅＭｇ系合金（ＦｅＭｇＯなど。）、ＦｅＺｒ系合金（ＦｅＺｒＮなど。）、ＦｅＣ系合金、ＦｅＮ系合金、ＦｅＳｉ系合金、ＦｅＰ系合金、ＦｅＮｂ系合金、ＦｅＨｆ系合金、ＦｅＢ系合金などを挙げることができる。
　中間層３３は、磁性層の結晶粒を微細化して、記録再生特性を改善することができる。
このような材料としては、特に限定されるものではないが、ｈｃｐ構造、ｆｃｃ構造、アモルファス構造を有するものが好ましい。特に、Ｒｕ系合金、Ｎｉ系合金、Ｃｏ系合金、Ｐｔ系合金、Ｃｕ系合金が好ましく、またこれらの合金を多層化してもよい。例えば、基板側からＮｉ系合金とＲｕ系合金との多層構造、Ｃｏ系合金とＲｕ系合金との多層構造、Ｐｔ系合金とＲｕ系合金との多層構造を採用することが好ましい。
　例えば、Ｎｉ系合金であれば、Ｎｉを３３～９６ａｔ％含む、ＮｉＷ合金、ＮｉＴａ合金、ＮｉＮｂ合金、ＮｉＴｉ合金、ＮｉＺｒ合金、ＮｉＭｎ合金、ＮｉＦｅ合金の中から選ばれる少なくとも１種類の材料からなることが好ましい。また、Ｎｉを３３～９６ａｔ％含み、Ｓｃ、Ｙ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃのうち少なくとも１種又は２種以上を含む非磁性材料であってもよい。この場合、中間層３３としての効果を維持し、磁性を持たない範囲とするため、Ｎｉの含有量は３３ａｔ％～９６ａｔ％の範囲とすることが好ましい。
　中間層３３の厚みは、多層の場合は合計の厚みで、５～４０ｎｍとすることが好ましく、より好ましくは８～３０ｎｍである。中間層３３の厚みが上記範囲にあるとき、直磁性層の垂直配向性が特に高くなり、且つ記録時における磁気ヘッドと軟磁性層との距離を小さくすることができるため、再生信号の分解能を低下させることなく記録再生特性を高めることができる。
　記録磁性層３４は、面内磁気記録媒体用の水平磁性層でも、垂直磁気記録媒体用の垂直磁性層でもかまわないが、より高い記録密度を実現するためには垂直磁性層が好ましい。
また、記録磁性層３４は、主としてＣｏを主成分とする合金から形成することが好ましく、例えば、ＣｏＣｒＰｔ系、ＣｏＣｒＰｔＢ系、ＣｏＣｒＰｔＴａ系の磁性層や、これらにＳｉＯ２や、Ｃｒ２Ｏ３等の酸化物を加えたグラニュラ構造の磁性層を用いることができる。
　垂直磁気記録媒体の場合には、例えば軟磁性のＦｅＣｏ合金（ＦｅＣｏＢ、ＦｅＣｏＳｉＢ、ＦｅＣｏＺｒ、ＦｅＣｏＺｒＢ、ＦｅＣｏＺｒＢＣｕなど）、ＦｅＴａ合金（ＦｅＴａＮ、ＦｅＴａＣなど）、Ｃｏ合金（ＣｏＴａＺｒ、ＣｏＺｒＮＢ、ＣｏＢなど）等からなる軟磁性層３２と、Ｒｕ等からなる中間層３３と、６０Ｃｏ－１５Ｃｒ－１５Ｐｔ合金や７０Ｃｏ－５Ｃｒ－１５Ｐｔ－１０ＳｉＯ２合金からなる記録磁性層３４とを積層したものを利用できる。また、軟磁性層３２と中間層３３との間にＰｔ、Ｐｄ、ＮｉＣｒ、ＮｉＦｅＣｒなどからなる配向制御膜を積層してもよい。
　一方、面内磁気記録媒体の場合には、磁性層３７として、非磁性のＣｒＭｏ下地層と強磁性のＣｏＣｒＰｔＴａ磁性層とを積層したものを利用できる。
　記録磁性層３４の厚みは、３ｎｍ以上２０ｎｍ以下、好ましくは５ｎｍ以上１５ｎｍ以下とし、使用する磁性合金の種類と積層構造に合わせて、十分なヘッド出入力が得られるように形成すればよい。また、記録磁性層３４は、再生の際に一定以上の出力を得るのにある程度以上の膜厚が必要であり、一方で記録再生特性を表す諸パラメーターは出力の上昇とともに劣化するのが通例であるため、最適な膜厚に設定する必要がある。磁性層３７は、通常はスパッタ法により薄膜として形成する。
　グラニュラ構造の記録磁性層３４としては、少なくとも磁性粒子としてＣｏとＣｒを含み、磁性粒子の粒界部に少なくともＳｉ酸化物、Ｃｒ酸化物、Ｔｉ酸化物、Ｗ酸化物、Ｃｏ酸化物、Ｔａ酸化物、Ｒｕ酸化物の中から選ばれる少なくとも１種又は２種以上を含むものが好ましい。具体的には、例えば、ＣｏＣｒＰｔ－Ｓｉ酸化物、ＣｏＣｒＰｔ－Ｃｒ酸化物、ＣｏＣｒＰｔ－Ｗ酸化物、ＣｏＣｒＰｔ－Ｃｏ酸化物、ＣｏＣｒＰｔ－Ｃｒ酸化物－Ｗ酸化物、ＣｏＣｒＰｔ－Ｃｒ酸化物－Ｒｕ酸化物、ＣｏＲｕＰｔ－Ｃｒ酸化物－Ｓｉ酸化物、ＣｏＣｒＰｔＲｕ－Ｃｒ酸化物－Ｓｉ酸化物などを挙げることができる。
　グラニュラ構造を有する磁性結晶粒子の平均粒径は、１ｎｍ以上、１２ｎｍ以下であることが好ましい。また磁性層中に存在する酸化物の総量は、３～１５モル％であることが好ましい。また、グラニュラ構造ではない磁性層としては、ＣｏとＣｒを含み、好ましくはＰｔを含む磁性合金を用いた層が例示できる。
　また、この磁気記録媒体３０は、記録磁性層３４に形成された磁気記録パターン３４ａが磁気特性が改質された領域（例えば、非磁性領域又は記録磁性層３４に対して８０％程度保磁力が低下した領域）３８によって磁気的に分離されてなる、いわゆるディスクリート型の磁気記録媒体である。
　また、ディスクリート型の磁気記録媒体３０は、その記録密度を高めるために、記録磁性層３４のうち、磁気記録パターン３４ａの幅Ｌ１を２００ｎｍ以下、改質領域３８の幅Ｌ２を１００ｎｍ以下とすることが好ましい。また、この磁気記録媒体３０のトラックピッチＰ（＝Ｌ１＋Ｌ２）は、３００ｎｍ以下とすることが好ましく、記録密度を高めるためにはできるだけ狭くすることが好ましい。
　保護層３５には、磁気記録媒体において通常使用される材料を用いればよく、そのような材料として、例えば、炭素（Ｃ）、水素化炭素（ＨＸＣ）、窒素化炭素（ＣＮ）、アルモファスカーボン、炭化珪素（ＳｉＣ）等の炭素質材料や、ＳｉＯ２、Ｚｒ２Ｏ３、ＴｉＮなどを挙げることができる。また、保護層３５は、２層以上積層したものであってもよい。保護層３５の厚みは、１０ｎｍを越えると、磁気ヘッドと磁性層３７との距離が大きくなり、十分な入出力特性が得られなくなるため、１０ｎｍ未満とすることが好ましい。
　潤滑剤膜３６は、例えば、パーフルオロポリエーテル、フッ素化アルコール、フッ素化カルボン酸などのフッ素系潤滑剤や、炭化水素系潤滑剤、これらの混合物等からなる潤滑剤を保護層３５上に塗布することにより形成することができる。また、潤滑剤膜３６の膜厚は、通常は１～４ｎｍ程度である。
　また、潤滑剤を生成する未精製潤滑剤としては、化学的に安定で、低摩擦で、低吸着性を有するものが好適に用いられる。具体的には、パーフルオロポリエーテル構造を有する化合物を含むパーフルオロポリエーテル系潤滑剤などのフッ素樹脂系潤滑剤を用いることが好ましい。
　パーフルオロポリエーテル系潤滑剤としては、１種類のパーフルオロポリエーテル系潤滑剤を用いてもよいし、環状トリフォスファゼン系潤滑剤とパーフルオロポリエーテル系潤滑剤を組み合わせた潤滑剤や、末端基にホスファゼン環を有するパーフルオロポリエーテル化合物と末端基に水酸基を有するパーフルオロポリエーテル化合物をと組み合わせた潤滑剤を用いてもよい。
　パーフルオロポリエーテル構造を有する化合物を含む潤滑剤としては、例えばＳｏｌｖａｙ　Ｓｏｌｅｘｉｓ社製のＦｏｍｂｌｉｎ　Ｚ－ＤＯＬ、Ｆｏｍｂｌｉｎ　Ｚ－ＴＥＴＲＡＯＬ（商品名）等が挙げられる。また、環状トリフォスファゼン系潤滑剤としては、ＤｏｗＣｈｅｍｉｃａｌ社製のＸ－１ｐ（商品名）などが挙げられる。また、末端基にホスファゼン環を有するパーフルオロポリエーテル化合物としては、松村石油研究所（ＭＯＲＥＳＣＯ）社製のＭＯＲＥＳＣＯ　ＰＨＯＳＰＨＡＲＯＬＡ２０Ｈ－２０００（商品名）などが挙げられる。
　続いて、このようにして得られた潤滑剤を溶媒に溶解し、塗布方法に適した濃度を有する塗布溶液（液体潤滑剤）とする。ここで用いる溶媒としては、上述した潤滑剤を希釈する溶剤と同じく、フッ素系溶媒などが用いられる。
　その後、このようにして得られた塗布溶液を保護層上に塗布する。塗布工程には、上記図１に示す本発明のディッピング装置を用いて、ディッピング法（ディップコート法）により行う。ディップコート法は、上述した塗布溶液（液体潤滑剤Ｌ）をディッピング装置の浸漬槽１に入れ、この浸漬槽１に保護層までの各層が形成された非磁性基板を浸漬し、その後、浸漬槽１から非磁性基板を所定の速度で引き上げて非磁性基板の保護層上の表面に均一な膜厚の潤滑剤膜を形成する方法である。
（磁気記録再生装置）
　次に、本発明を適用した磁気記録再生装置（ＨＤＤ）について説明する。
　本発明を適用した磁気記録再生装置は、例えば図１１に示すように、上記磁気記録媒体３０と、上記磁気記録媒体３０を回転駆動する回転駆動部５１と、上記磁気記録媒体３０に対する記録動作と再生動作とを行う磁気ヘッド５２と、磁気ヘッド５２を上記磁気記録媒体３０の径方向に移動させるヘッド駆動部５３と、磁気ヘッド５２への信号入力と磁気ヘッド５２から出力信号の再生とを行うための記録再生信号処理系５４とを備えている。
　この磁気記録再生装置では、上記ディスクリートトラック型の磁気記録媒体３０を用いることにより、この磁気記録媒体３０に磁気記録を行う際の書きにじみをなくし、高い面記録密度を得ることが可能である。すなわち、上記磁気記録媒体３０を用いることで記録密度の高い磁気記録再生装置を構成することが可能となる。また、上記磁気記録媒体３０の記録トラックを磁気的に不連続に加工したことによって、従来はトラックエッジ部の磁化遷移領域の影響を排除するために再生ヘッド幅を記録ヘッド幅よりも狭くして対応していたものを、両者をほぼ同じ幅にして動作させることができる。これにより十分な再生出力と高いＳＮＲを得ることができるようになる。
　さらに、磁気ヘッド５２の再生部をＧＭＲヘッド又はＴＭＲヘッドで構成することにより、高記録密度においても十分な信号強度を得ることができ、高記録密度を持った磁気記録再生装置を実現することができる。また、この磁気ヘッド５２の浮上量を０．００５μｍ～０．０２０μｍの範囲内とし、従来より低い高さで浮上させると、出力が向上して高い装置ＳＮＲが得られ、大容量で高信頼性の磁気記録再生装置を提供することができる。
　さらに、最尤復号法による信号処理回路を組み合わせるとさらに記録密度を向上でき、例えば、トラック密度１００ｋトラック／インチ以上、線記録密度１０００ｋビット／インチ以上、１平方インチ当たり１００Ｇビット以上の記録密度で記録・再生する場合にも十分なＳＮＲが得られる。
　なお、本発明は、磁気的に分離された磁気記録パターンＭＰを有する磁気記録媒体に対して幅広く適用することが可能であり、磁気記録パターンを有する磁気記録媒体としては、磁気記録パターンが１ビットごとに一定の規則性をもって配置された、いわゆるパターンドメディアや、磁気記録パターンがトラック状に配置されたメディア、その他、サーボ信号パターン等を含む磁気記録媒体を挙げることができる。本発明は、この中でも磁気的に分離された磁気記録パターンが磁気記録トラック及びサーボ信号パターンである、いわゆるディスクリート型の磁気記録媒体に適用することが、その製造における簡便性から好ましい。
　以下、実施例により本発明の効果をより明らかなものとする。なお、本発明は、以下の実施例に限定されるものではなく、その要旨を変更しない範囲で適宜変更して実施することができる。
（磁気記録媒体の製造）
　本実施例では、先ず、ＨＤ用ガラス基板をセットした真空チャンバを予め１．０×１０－５Ｐａ以下に真空排気した。ここで使用したガラス基板は、Ｌｉ２Ｓｉ２Ｏ５、Ａｌ２Ｏ３－Ｋ２Ｏ、Ａｌ２Ｏ３－Ｋ２Ｏ、ＭｇＯ－Ｐ２Ｏ５、Ｓｂ２Ｏ３－ＺｎＯを構成成分とする結晶化ガラスを材質とし、外径が６５ｍｍ、内径が２０ｍｍ、厚み０．８ｍｍ、平均表面粗さ（Ｒａ）が２オングストロームである。
　次に、このガラス基板にＤＣスパッタリング法を用いて、軟磁性層として層厚６０ｎｍのＦｅＣｏＢ膜、中間層として層厚１０ｎｍのＲｕ膜と、記録磁性層として層厚１５ｎｍの７０Ｃｏ－５Ｃｒ－１５Ｐｔ－１０ＳｉＯ２合金膜、層厚１４ｎｍの７０Ｃｏ－５Ｃｒ－１５Ｐｔ合金膜と、保護膜としてＣＶＤカーボン膜を５ｎｍこの順で積層した。
（実施例１）
　実施例１では、以上のように作製された磁気記録媒体について潤滑剤を塗布した。具体的には、潤滑剤が溶剤に溶解された塗布溶液を、ディッピング装置を用いてディップ法で塗布し、磁気記録媒体の保護層の表面に１．５ｎｍの潤滑剤膜を形成した。
　ディッピング装置としては、上記図１～図４に示す本発明のディッピング装置と同様の装置を使用した。具体的には、長さ２００ｍｍ、厚み０．２ｍｍ、高さ１０ｍｍの一対の支持プレートを５ｍｍ間隔で平行に設け、これら一対の支持プレートのＶ字状の溝部に磁気記録媒体を６．３５ｍｍ間隔で、２５枚並べて配置し、この磁気記録媒体の内周部と支持プレートとの当接位置に幅０．３ｍｍ、深さ０．５ｍｍのスリットを設けた。また、一対の支持プレートの外側に、これら一対の支持プレートと平行に並ぶ防波プレートを設けた。この防波プレートは、長さ２００ｍｍ、厚みが０．３ｍｍ、高さが６ｍｍ、支持プレートとの間隔が３ｍｍである。また、防波プレートの上端部は、支持プレートの上端部よりも下方に位置して、磁気記録媒体の内周部と支持プレートとの間の隙間に溜まった液溜まりが液切れするときの液面高さよりも０．５ｍｍだけ上方に位置させた。
　潤滑剤としては、パーフルオロポリエーテル構造を有する化合物であるＦｏｍｂｌｉｎ Ｚ－ＴＥＴＲＡＯＬを使用した。また、潤滑剤を溶解するための溶剤として、三井デュポンフロロケミカル社製のバートレルＸＦ（商品名）を用いた。塗布溶液中における潤滑剤の濃度は何れも０．３質量％とし、磁気記録媒体の引き上げ速度は、３ｍｍ／秒とし、塗布膜厚は１５Åとした。
（比較例１）
　比較例１では、上記ディッピング装置において防波プレートを設けなかった以外は、実施例１と同様に磁気記録媒体に潤滑剤を塗布した。
（磁気記録媒体の評価）
　以上のように作製された実施例１及び比較例２の磁気記録媒体の潤滑剤膜の膜厚分布を測定した。膜厚分布の測定には、光学式表面検査装置、ＫＬＡ－Ｔｅｎｃｏｒ社（米国）製、Ｃａｎｄｅｌａ　６１００（商品名）を使用した。
　その結果、比較例１の磁気記録媒体では、支持プレートの当接位置から直線状に潤滑剤膜の塗布ムラによる縞模様が観察された。これに対して、実施例１の磁気記録媒体では、潤滑剤膜の塗布ムラによる縞模様は一切観察されなかった。なお、比較例１で観察された縞模様による潤滑剤膜の膜厚変動は±２Åであった。
　本発明は、中心孔を有する円盤状の磁気記録媒体を液体潤滑剤の入った浸漬槽に浸漬した後、この浸漬槽から磁気記録媒体を引き上げることによって、磁気記録媒体の表面に潤滑剤膜を形成する磁気記録媒体の製造装置に適用できる。
　１…浸漬槽
　２…ハンガー機構
　３…昇降機構
　４ａ，４ｂ…支持プレート
　５…溝部
　６…スリット
　７ａ，７ｂ…防波プレート
　８…支持ポール
　９…ナット部
　１０…リードスクリュー
　１１…駆動モータ
　３０…磁気記録媒体
　３１…非磁性基板
　３２…軟磁性層
　３３…中間層
　３４…記録磁性層
　３４ａ…磁気記録パターン
　３５…保護層
　３６…潤滑膜
　３７…磁性層
　３８…改質領域
　５１…回転駆動部
　５２…磁気ヘッド
　５３…ヘッド駆動部
　５４…記録再生信号処理系

Claims (6)

  1. 　中心孔を有する円盤状の磁気記録媒体を液体潤滑剤の入った浸漬槽に浸漬した後、この浸漬槽から磁気記録媒体を引き上げることによって、磁気記録媒体の表面に潤滑剤膜を形成する磁気記録媒体の製造装置であって、
    　前記磁気記録媒体の中心孔に挿通されて当該磁気記録媒体を吊り下げた状態で支持するハンガー機構と、
    　前記ハンガー機構と前記浸漬槽との何れか一方を他方に対して昇降操作する昇降機構とを備え、
    　前記ハンガー機構は、その上端部が前記磁気記録媒体の内周部と当接される支持プレートと、前記支持プレートの外側において当該支持プレートと平行に並ぶ防波プレートとを有し、
    　前記防波プレートの上端部は、前記支持プレートの上端部よりも下方に位置して、前記磁気記録媒体の内周部との間に間隙を形成すると共に、前記磁気記録媒体の内周部と前記支持プレートとの間の隙間に溜まった液溜まりが液切れするときの液面高さよりも上方に位置することを特徴とする磁気記録媒体の製造装置。
  2. 　前記ハンガー機構は、その上端部が前記磁気記録媒体の内周部と当接される一対の支持プレートと、前記一対の支持プレートの外側において当該支持プレートと平行に並ぶ一対の防波プレートとを有することを特徴とする請求項１に記載の磁気記録媒体の製造装置。
  3. 　前記支持プレートの上端部には、前記磁気記録媒体の内周部が係合される溝部が設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載の磁気記録媒体の製造装置。
  4. 　前記溝部の底部には、前記支持プレートを鉛直下向きに切り欠くスリットが設けられていることを特徴とする請求項３に記載の磁気記録媒体の製造装置。
  5. 　前記ハンガー機構は、前記磁気記録媒体を複数並べた状態で支持することを特徴とする請求項１または２に記載の磁気記録媒体の製造装置。
  6. 　中心孔を有する円盤状の磁気記録媒体の中心孔にハンガー機構を挿通されて吊り下げた状態で支持しながら当該磁気記録媒体を液体潤滑剤の入った浸漬槽に浸漬した後、この浸漬槽から磁気記録媒体を引き上げることによって、磁気記録媒体の表面に潤滑剤膜を形成する磁気記録媒体の製造方法であって、前記ハンガー機構を、その上端部が前記磁気記録媒体の内周部と当接される支持プレートと、前記支持プレートの外側において当該支持プレートと平行に並ぶ防波プレートとを有する構造とし、前記防波プレートの上端部は、前記支持プレートの上端部よりも下方に位置して、前記磁気記録媒体の内周部との間に間隙を形成すると共に、前記磁気記録媒体の内周部と前記支持プレートとの間の隙間に溜まった液溜まりが液切れするときの液面高さよりも上方に位置する構造とすることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
PCT/JP2011/051346 2010-02-08 2011-01-25 磁気記録媒体の製造装置 WO2011096300A1 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201180009072.7A CN102754153B (zh) 2010-02-08 2011-01-25 磁记录介质的制造装置
US13/577,600 US8834961B2 (en) 2010-02-08 2011-01-25 Magnetic recording medium manufacturing apparatus
SG2012059713A SG183283A1 (en) 2010-02-08 2011-01-25 Magnetic recording medium manufacturing apparatus

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010-025997 2010-02-08
JP2010025997A JP5470076B2 (ja) 2010-02-08 2010-02-08 磁気記録媒体の製造装置及び製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2011096300A1 true WO2011096300A1 (ja) 2011-08-11

Family

ID=44355301

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2011/051346 WO2011096300A1 (ja) 2010-02-08 2011-01-25 磁気記録媒体の製造装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US8834961B2 (ja)
JP (1) JP5470076B2 (ja)
CN (1) CN102754153B (ja)
SG (1) SG183283A1 (ja)
WO (1) WO2011096300A1 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6076214B2 (ja) * 2013-07-09 2017-02-08 昭和電工株式会社 磁気記録媒体、磁気記録再生装置、磁気記録方法及び磁気再生方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08281190A (ja) * 1995-04-12 1996-10-29 Mitsubishi Chem Corp 磁気ディスクの保持具
JPH11138088A (ja) * 1997-11-10 1999-05-25 Mitsubishi Chemical Corp 樹脂製基板製品への潤滑剤の塗布方法

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06150307A (ja) 1992-11-12 1994-05-31 Fuji Electric Co Ltd 液体潤滑剤塗布工程で用いる磁気ディスクの保持具
JP4534906B2 (ja) * 2005-08-22 2010-09-01 富士電機デバイステクノロジー株式会社 磁気記録媒体およびその製造方法
JP4623652B2 (ja) * 2005-09-29 2011-02-02 ダブリュディ・メディア・シンガポール・プライベートリミテッド 磁気記録ディスクの製造方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08281190A (ja) * 1995-04-12 1996-10-29 Mitsubishi Chem Corp 磁気ディスクの保持具
JPH11138088A (ja) * 1997-11-10 1999-05-25 Mitsubishi Chemical Corp 樹脂製基板製品への潤滑剤の塗布方法

Also Published As

Publication number Publication date
US8834961B2 (en) 2014-09-16
CN102754153B (zh) 2015-10-21
US20120308721A1 (en) 2012-12-06
JP2011165261A (ja) 2011-08-25
CN102754153A (zh) 2012-10-24
SG183283A1 (en) 2012-09-27
JP5470076B2 (ja) 2014-04-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2011253597A (ja) 垂直磁気記録媒体及びその製造方法
JP5250838B2 (ja) 磁気記録媒体の製造方法及び磁気記録媒体、並びに磁気記録再生装置
JP5466521B2 (ja) 磁気記録媒体の製造装置
JP6767251B2 (ja) 磁気記録媒体の製造方法
JP5470076B2 (ja) 磁気記録媒体の製造装置及び製造方法
JP6989427B2 (ja) 磁気記録媒体および磁気記録再生装置
JP2015032336A (ja) 磁気記録媒体の製造方法、磁気記録媒体及び磁気記録再生装置
JP6767256B2 (ja) 磁気記録媒体の製造方法
JP2014056622A (ja) 垂直磁気記録媒体
JP2011231347A (ja) 無電解めっき装置及び磁気回転伝動機構
JP2011014204A (ja) 磁気記録媒体、磁気記録媒体の製造方法及び磁気記録再生装置
US8398870B2 (en) Method for manufacturing perpendicular magnetic recording medium
JP5115854B2 (ja) 磁気ディスクの製造方法
JP2006048860A (ja) 磁気記録媒体および磁気記録装置
JP6566907B2 (ja) 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置
JP6523832B2 (ja) 磁気記録媒体の製造方法
JP5115853B2 (ja) 磁気記録媒体およびその製造方法
JP2011231348A (ja) 無電解めっき装置
JP5497320B2 (ja) 磁気ディスクの製造方法
JP2006228423A (ja) 磁気ディスク及びその製造方法
JP2006190361A (ja) 垂直磁気記録媒体およびその製造方法
JP2009116975A (ja) 垂直磁気記録媒体およびその製造方法
JP2010086566A (ja) 磁気記録媒体の評価方法および磁気記録媒体
JP2009238325A (ja) 垂直磁気記録媒体の製造方法および垂直磁気記録媒体
JP2007128652A (ja) 磁気ディスク及びその製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 201180009072.7

Country of ref document: CN

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 11739649

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 13577600

Country of ref document: US

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 11739649

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1