WO2011062055A1

WO2011062055A1 - 黒色耐熱遮光フィルムとその製造方法、および、それを用いた絞り、光量調整モジュール並びに耐熱遮光テープ

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Publication number: WO2011062055A1
Application number: PCT/JP2010/069486
Authority: WO
Inventors: 勝史小野; 中山　徳行
Original assignee: 住友金属鉱山株式会社
Priority date: 2009-11-20
Filing date: 2010-11-02
Publication date: 2011-05-26
Also published as: TW201129469A; US20120251095A1; JP2011128598A; US8757902B2; TWI599481B; JP5614218B2

Abstract

　大気中１５５℃の高温環境下でも高遮光性、表面及び端面での低反射性、低表面光沢性、黒色性を維持することでシャッター羽根や固定絞り、光量調整モジュール用絞り装置の絞り羽根、耐熱遮光テープなどとして使用できる黒色耐熱遮光フィルムとその製造方法を提供する。　１５５℃以上の耐熱性を有する樹脂フィルム（Ａ）の両面に微細凹凸が形成された黒色耐熱遮光フィルムであって、樹脂フィルム（Ａ）が、黒色顔料（Ｂ）及び無機充填材（Ｃ）を含有する黒色フィルムであり、かつ、黒色耐熱遮光フィルムの厚みが２５μｍ以下、両表面の表面粗さ（算術平均高さＲａ）が０．２～２．２μｍであって、さらに、波長３８０～７８０ｎｍにおける光の遮光性の指標である平均光学濃度が３．５以上であることを特徴とする黒色耐熱遮光フィルムなどにより提供する。

Description

黒色耐熱遮光フィルムとその製造方法、および、それを用いた絞り、光量調整モジュール並びに耐熱遮光テープ

　本発明は、黒色耐熱遮光フィルム、および、それを用いた絞り、光量調整モジュール並びに耐熱遮光テープに関し、より詳しくは、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラのレンズシャッターなどのシャッター羽根または絞り羽根や、カメラ付き携帯電話や車載モニターのレンズユニット内の固定絞りや、プロジェクターの光量調整モジュールの絞り羽根などの光学機器部品として用いられ、耐熱性、高遮光性、低反射性、低表面光沢性に優れた黒色耐熱遮光フィルムとその製造方法、及び、それを用いた絞り、光量調整モジュール、並びに耐熱遮光テープに関する。

　近年、デジタルカメラの高速（機械式）シャッターの開発が活発に行われている。その狙いは、シャッタースピードをより高速にして、超高速の被写体をブレ無く撮影し、鮮明な画像を得ることを可能にすることである。一般にシャッターは、シャッター羽根と呼ばれる複数の羽根が回転、移動することで開閉が行われているが、シャッタースピードを高速化するためには、シャッター羽根が瞬間的な動作と停止に対応できるよう、軽量かつ高摺動性であることが必要不可欠である。更に、シャッター羽根は、シャッターが閉じている状態では、フィルムなどの感光材やＣＣＤ、ＣＭＯＳなどの撮像素子の前面を覆って光を遮る役割を果たすために、完全な遮光性を必要とする。しかも、シャッター羽根には、複数枚のシャッター羽根が互いに重なり合って動作する際に、各羽根間の漏れ光の発生を防ぐために羽根表面の反射率が低いこと、すなわち表面色の黒色度が高いことが望まれる。

　デジタルカメラのレンズユニット内に挿入され、一定の光量に絞って光を撮像素子に送る役割の固定絞りについても、絞りの表面で光の反射が生じると迷光となり鮮明な撮像を損なうため、シャッター羽根には、表面の低反射性、すなわち黒色性が高いことが要求される。

　撮影機能を有した携帯電話、すなわちカメラ付携帯電話においても、デジタルカメラ同様、近年、高画素で高画質の撮影が行えるよう、小型の機械式シャッターがレンズユニットに搭載され始めている。また、固定絞りも携帯電話のレンズユニット内に挿入されている。上記の携帯電話に組み込まれる機械式シャッターは、一般のデジタルカメラよりも、省電力で作動することが要求される。そのためシャッター羽根の軽量化が特に強く要求される。
　カメラモジュールやレンズユニットを実装するには、従来、接着剤を用いて個々に部品を製造している。ところが、最近カメラ付き携帯電話では、レンズユニットの組み立てる際、製造コストを低減する目的で、レンズ、固定絞り、シャッターなどの各部材をリフロー工程で行えることが要望されている。そのため、これに用いられるシャッター羽根や固定絞りには、表面の低反射性・黒色性の他に耐熱性が要求されるようになった。
　このリフロー工程は、近年のデジタルカメラ、カメラ付き携帯電話などのカメラモジュールの製造方法において、小型化、低背化、製造工程の簡略化を目標として実用化されつつある。リフロー工程が実用化されることによって、各部品が個々のチップ単位に分離されていないウェハー状態ですべての組み立てを行い、ダイボンディング、半田ボールなどでの回路基板への実装を終了した後、これをチップサイズに個々にダイシングし、完成品を得るという製造方法へと移行していく。なお、ここで使用される部品は、近年半導体チップのパッケージ産業で培われたものであり、ウェハー・レベル・チップサイズ・パッケージ（以下、ＷＬＣＳＰと言う）と呼ばれる。
　このＷＬＣＳＰを用いれば、部品点数も削減でき、カメラモジュールの小型化、低背化に対して有効である。しかし、打ち抜き端面にバリなどがあると、ＷＬＣＳＰ構造のカメラモジュールを組み立てる際、ウェハー同士の積層に支障をきたしてしまう。

　また、ＣＣＤ、ＣＭＯＳなどの撮像素子の前面からの漏れ光以外にもフレキシブルプリント配線基板（以下、ＦＰＣと称する）がより薄くなった場合、撮像素子の裏面にあるＦＰＣ側から入射する光も無視できなくなってしまう。この撮像素子裏面からの入射光によって、ＦＰＣの配線回路が撮像域に写り込み、撮像の品質が劣化してしまうため、ＦＰＣ側からの漏れ光を遮光する必要が生じる。

　また、最近の自動車搭載機器の動向として、バックビューモニターなどのビデオカメラを用いたモニターが搭載される傾向にある。このビデオカメラモニターのレンズユニット内にも、固定絞りが使われているが、同様に迷光防止のため絞りの表面は、低反射性・黒色性であることが要求されている。そして車載用のビデオカメラのレンズユニットには、真夏の炎天下など高温の使用環境下でも機能を損なうことが無いよう、耐熱性が必要であり、固定絞り部材にも耐熱性が要求されている。

　一方、大画面でホームシアターとして鑑賞できる液晶プロジェクターが、最近、一般家庭に普及し始めている。リビングルームといった明るい環境下でも鮮やかなハイコントラスト映像が楽しめるように高画質化が強く要望され、ランプ光源を高出力化することによって、画質の高輝度化が図られている。プロジェクターの光学系には、ランプ光源からの光量を調整する光量調整モジュール用絞り装置（オートアイリス）がレンズ系の内部や側面に用いられている。光量調整モジュールの絞り装置は、シャッターと同様に複数枚の絞り羽根が互いに重なって光を通す開口部の面積を調整する。このような光量調整モジュール用絞り装置の絞り羽根も、シャッター羽根の場合と同様の理由から表面の低反射性と軽量化が要求されている。それと同時に、光量調整モジュール用絞り装置の絞り羽根では、ランプ光の照射による加熱に対する耐熱性も必要となる。すなわち、光照射によって羽根材の低反射性が損なわれてしまうと、迷光が生じて鮮明な映像を写せなくなるからである。

　上述のシャッター羽根や固定絞り、光量調整モジュール用絞り装置の絞り羽根では、遮光板として、要求特性に応じて下記のものが用いられている。
　耐熱性が要求される場合は、遮光板として、ＳＵＳ、ＳＫ材、Ａｌ、Ｔｉ等の金属薄板を基材としたものが一般的である。金属薄板自体を遮光板としたものもあるが、金属光沢を有するため、表面の反射光による迷光の影響を回避したい場合には好ましくない。これに対して金属薄板上に黒色潤滑塗装した遮光板は、低反射性、黒色性を有するが、塗装部が耐熱性に劣るため、高温環境下では一般に使用できない。しかも、加工端面での光の反射を抑えるために、所定の形状に加工後、加工端面を黒染め処理する工程が必要となり、製造コストが高くなるという課題を有している。
　そのため、特許文献１には、アルミニウム合金などの金属製羽根材料の表面に硬質炭素膜を形成した遮光材が開示されている。しかし、硬質炭素膜を表面形成しても低反射特性は実現できず、反射光による迷光の発生は避けられない。上記いずれの場合も、金属薄板を基材に用いた遮光板は、重量が大きいため、シャッター羽根や絞り羽根として使用すると、羽根を駆動する駆動モーターのトルクが大きくなり、消費電力が大きくなってしまう。また、シャッタースピードが上げられない、羽根同士の接触により騒音が発生するなどの問題が有る。

　これに対して、樹脂フィルムを基材として用いた遮光板も提案されている（特許文献２，３参照）。この特許文献２では、表面の反射を低減するためにマット処理加工した樹脂フィルムを使用した遮光板や、微細な多数の凹凸面を形成することで艶消し性を付与したフィルム状の遮光板を提案している。また、特許文献３では、樹脂フィルム上に、艶消し塗料を含有した熱硬化性樹脂を塗膜した遮光フィルムを提案している。しかし、これらは、カーボンブラックなどの黒色顔料を内部に含浸させたポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）などの樹脂フィルムを基材として用い、その基材表面に黒色顔料などを含浸した遮光層を形成することで遮光板に十分な遮光性を付与している。つまり、黒色顔料を含浸させた樹脂フィルムだけなので十分な遮光性を発現することができない。また、前記遮光層に黒色顔料や艶消し剤を含浸させることで表面の反射や表面光沢を低減させているが、遮光板を加工して形成される端面で、光の反射により発生する迷光を防止することはできない。　

　樹脂フィルムを基材として用いた遮光板については、比重が小さく、安価で可とう性があるという利点から、黒色顔料を含浸させたポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）を基材とした遮光板が広範に用いられている。

　しかし、ＰＥＴ材は、耐熱性が１５０℃より低く、引張弾性率などの機械的強度が弱いために、高出力のランプ光が照射されるプロジェクターの光量調整モジュール用絞り部材やリフロー工程に対応した固定絞り部材やシャッター用部材として利用することができない。また、高速シャッターの羽根部とするには、シャッター羽根の高速化に応じてフィルム厚みの低減が必要となるが、黒色微粒子を内部に含浸させて製造された樹脂フィルムの場合は、フィルム厚が薄くなると十分な遮光性を発揮することができない。特に３８μｍ以下になると、光量調整モジュール用絞りや固定絞り、シャッター羽根には使用できない。
　一方、耐熱性に優れた樹脂中に、カーボンブラックなどの黒色顔料を含浸させた樹脂フィルムについては、次のような提案がなされている。例えば、特許文献４には、高耐熱性を有するポリイミド樹脂と、カーボンブラック、アセチレンブラックなどの黒色顔料などを含浸させた導電性ポリイミド組成物が開示され、また、特許文献５、６には、カーボンブラックやグラファイトなどの黒色顔料を含浸させた導電性ポリイミド成型体が開示されている。しかし、特許文献４～６では、フィルムの表面粗さや遮光性、正反射率、表面光沢度などの光学特性について言及がなく、遮光性フィルムとして評価することはできない。

　また、デジタルカメラ、カメラ付携帯電話の小型化、薄肉化が進むとともに、近年、搭載される構成部品にも小型化、薄肉化が求められている。そのため、本出願人は、２００℃以上の耐熱性を有する樹脂フィルム基材（Ａ）と、その片面もしくは両面にスパッタリング法で形成された５０ｎｍ以上の膜厚を有するＮｉ系金属膜（Ｂ）と、その上に、スパッタリング法で形成された、低反射性のＮｉ系酸化物膜（Ｃ）からなり、かつ表面粗さが０．１～０．７μｍ（算術平均高さＲａ）である耐熱遮光フィルムを提案した（特許文献７参照）。これにより、従来よりも遮光性、耐熱性、摺動性、低表面光沢性、導電性に優れた耐熱遮光フィルムとすることができた。
　しかしながら、カメラモジュール内のレンズユニットの構成部品である固定絞り、シャッター羽根には、特に、厚みが２５μｍ以下という要望が非常に強くなっており、フィルムが薄く、耐熱性、高遮光性、低反射性、低表面光沢性、黒色性に優れたシャッター羽根材や固定絞り材が必要不可欠となっている。
　特許文献２、３では厚みが２５～２５０μｍの樹脂フィルムを基材として用いており、フィルム厚み２５μｍ以下が望まれるデジタルカメラやカメラ付き携帯電話向けの固定絞りやシャッター羽根には適さない。一方、特許文献６にはフィルム厚み約２５μｍの実施例があるが、表面を粗雑化しておらず、特許文献４、５では、フィルム厚みについての記載はない。
　さらに、デジタルカメラ、カメラ付き携帯電話に用いられる固定絞りやシャッター羽根、プロジェクターの光量調整モジュール用絞り羽根は、機械加工で所望の形状に加工された遮光板が使用されるが、その加工端面が光の光路上に配置されるため、端面での光の反射が高いとゴーストやフレアなどが発生し、撮像品質が悪くなる。そのため、端面での遮光性、低反射性、低表面光沢性が重要となる。一般に、端面へ入射する光を吸収し、遮光するために黒色顔料を含浸させた樹脂フィルムを基材に用いる場合が多い。しかし、特許文献２、３では、カーボンブラックなどの黒色顔料を含浸させた樹脂フィルムを基材として用いているものの、樹脂フィルムが厚い為に、遮光性を有する黒色顔料を十分に添加でき、端面での光の反射も抑制できるに過ぎない。フィルムがより薄い場合では、フィルム製造時、良好なフィルムが得られる黒色顔料の含有量も少なくなってしまい、絞り表面や端面での遮光性が失われてしまうという問題がある。

　以上説明したように、従来、耐熱性が要求される用途では、樹脂フィルムと比較して重量の大きい金属薄板、すなわち、ＳＵＳ、ＳＫ材、Ａｌ、Ｔｉ等からなる金属薄板を用いざるを得なかった。そのため、羽根を駆動する駆動モーターのトルクや消費電力が大きくなってしまう、あるいはシャッタースピードが上げられず、羽根同士の接触による騒音が発生してしまう、さらには表面および加工端面を黒染め処理するため製造コストが高くなるという問題を抱えている。したがって、遮光板の厚みが２５μｍ以下であって、優れた耐熱性に加え、可視域における十分な遮光性、表面及び加工端面の低反射性、低表面光沢性、軽量性を併せ持つ新たなシャッター羽根や固定絞り、光量調整モジュール用絞り装置の絞り羽根が必要とされていた。

特開平２－１１６８３７号公報特開平１－１２０５０３号公報特開平４－９８０２号公報カナダ特許第７０８８９６号米国特許第５０７８９３６号特開平６－２１２０７５号公報特開２００８－１５８４７９号公報

　本発明では、上記従来技術の問題点に鑑み、大気中１５５℃の高温環境下でも高遮光性、表面及び端面での低反射性、低表面光沢性、黒色性を維持することでシャッター羽根や固定絞り、光量調整モジュール用絞り装置の絞り羽根、耐熱遮光テープなどとして使用できる黒色耐熱遮光フィルムとその製造方法を提供することを目的とする。

　本発明者らは、上述した従来の課題を解決するため鋭意研究を重ねた結果、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリフェニレンサルファイド、ポリエチレンナフタレート、アラミド、ポリエーテルエーテルケトン、又はポリエーテルサルフォンから選ばれた１種以上の耐熱性樹脂に、黒色顔料や無機充填材を含有させることにより、厚みが２５μｍ以下、かつ波長３８０～７８０ｎｍにおける平均光学濃度が３．５以上である黒色耐熱遮光フィルムとした。そして、これを用いることで、１５５℃以上の高温環境下でも変形せず、高遮光性、低反射性、低表面光沢性、明度などの特性が維持でき、更に所望の形状に加工して得られる端面に入射した迷光を黒色顔料により光吸収させ、端面に形成された微細な凹凸で迷光を散乱させることができ、低反射化、低表面光沢度が達成されることを見出し、デジタルカメラ、カメラ付き携帯電話、デジタルビデオカメラ、液晶プロジェクターなどの絞りや羽根部材として利用できることを確認して、本発明を完成するに至った。

　すなわち、本発明の第１の発明によれば、１５５℃以上の耐熱性を有する樹脂フィルム（Ａ）の両面に微細凹凸が形成された黒色耐熱遮光フィルムであって、樹脂フィルム（Ａ）が、耐熱性を有する樹脂に少なくとも黒色顔料（Ｂ）と無機充填材（Ｃ）が含有された黒色フィルムであり、かつ、フィルム両表面の表面粗さ（算術平均高さＲａ）が０．２～２．２μｍであって、さらに、前記耐熱遮光フィルムの厚みが２５μｍ以下、波長３８０～７８０ｎｍにおける光の遮光性の指標である平均光学濃度が３．５以上であることを特徴とする黒色耐熱遮光フィルムが提供される。

　また、本発明の第２の発明によれば、第１の発明において、前記平均光学濃度が４．０以上であることを特徴とする黒色耐熱遮光フィルムが提供される。
　また、本発明の第３の発明によれば、第１または２の発明において、樹脂フィルムの両表面の波長３８０～７８０ｎｍにおける平均正反射率が０．４０％以下であることを特徴とする黒色耐熱遮光フィルムが提供される。
　また、本発明の第４の発明によれば、第１～３のいずれかの発明において、樹脂フィルム（Ａ）が、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリフェニレンサルファイド、ポリエチレンナフタレート、アラミド、ポリエーテルエーテルケトン、又はポリエーテルサルフォンから選ばれた１種以上の樹脂を主成分とするフィルムであることを特徴とする黒色耐熱遮光フィルムが提供される。
　一方、本発明の第５の発明によれば、第１～４のいずれかの発明において、黒色顔料（Ｂ）が、カーボンブラック、アニリンブラック、チタンブラック、無機顔料ヘマタイト、またはペリレンブラックから選ばれた１種以上からなる顔料であることを特徴とする黒色耐熱遮光フィルムが提供される。　
　また、本発明の第６の発明によれば、第１～５のいずれかの発明において、黒色顔料（Ｂ）の含有量が、耐熱性樹脂（固形物１００重量部）に対して、５～２２重量部であることを特徴とする黒色耐熱遮光フィルムが提供される。
　また、本発明の第７の発明によれば、第１～６のいずれかの発明において、無機充填材（Ｃ）が、アルミナ、酸化チタン、シリカ、酸化亜鉛、マグネシアから選ばれた１種以上であることを特徴とする黒色耐熱遮光フィルムが提供される。
　また、本発明の第８の発明によれば、第１～７の発明において、無機充填材（Ｃ）の含有量が耐熱性樹脂（固形物１００部）に対して、２～２５重量部であることを特徴とする黒色耐熱遮光フィルムが提供される。
　また、本発明の第９の発明によれば、第１～８のいずれかの発明において、ＣＩＥ（国際照明委員会）で標準化されている、Ｌ^＊ａ^＊ｂ^＊表色系測定（ＪＩＳＺ８７２９）において、Ｌ^＊（明度）が２５～４０であることを特徴とする黒色耐熱遮光フィルムが提供される。
　また、本発明の第１０の発明によれば、第１～９のいずれかの発明において、各面の表面光沢度が８以下であることを特徴とする黒色耐熱遮光フィルムが提供される。

　一方、本発明の第１１の発明によれば、第１～１０の発明において、１５５℃以上の耐熱性を有する耐熱性樹脂に溶剤とともに、少なくとも黒色顔料（Ｂ）と無機充填材（Ｃ）を含有させて混練し、このスラリーを支持体に塗布し、乾燥して膜厚が５～２５μｍとなった樹脂フィルム（Ａ）を得た後、フィルム両表面の微細凹凸が０．２～２．２μｍの表面粗さ（算術平均高さＲａ）となるようにマット処理加工を行うことを特徴とする黒色耐熱遮光フィルムの製造方法が提供される。

　また、本発明の第１２の発明によれば、第１１の発明において、黒色顔料（Ｂ）の含有量が、耐熱性樹脂（固形物１００部）に対して、５～２２重量部であることを特徴とする黒色耐熱遮光フィルムの製造方法が提供される。
　また、本発明の第１３の発明によれば、第１１の発明において、無機充填材（Ｃ）の含有量が、耐熱性樹脂（固形物１００部）に対して、２～２５重量部であることを特徴とする黒色耐熱遮光フィルムの製造方法が提供される。

　一方、本発明の第１４の発明によれば、第１～１０のいずれかの発明に係る黒色耐熱遮光フィルムを、打ち抜き加工して得られる耐熱性に優れた絞りであって、得られた絞りの端面が低表面光沢性を有していることを特徴とする耐熱性に優れた絞りが提供される。
　また、本発明の第１５の発明によれば、第１４の発明において、黒色耐熱遮光フィルムが、ウェハー・レベル・チップサイズ・パッケージ（ＷＬＣＳＰ）構造のカメラモジュールに利用されることを特徴とする絞りが提供される。
　また、本発明の第１６の発明によれば、第１～１０のいずれかの発明に係る黒色耐熱遮光フィルムを、打ち抜き加工して得られる耐熱性に優れた羽根材であって、得られた絞りの端面が低表面光沢性を有していることを特徴とする耐熱性に優れた羽根材が提供される。
　また、本発明の第１７の発明によれば、第１４，１５の発明の耐熱性に優れた絞り、または、第１６の発明の耐熱性に優れた羽根材のいずれかを具備していることを特徴とする光量調整モジュールが提供される。
　さらに、本発明の第１８の発明によれば、第１～１０のいずれかの発明において、黒色耐熱遮光フィルムの片面、または両面に粘着層を設けてなる耐熱遮光テープが提供される。

　本発明の黒色耐熱遮光フィルムは、算術平均高さＲａが０．２～２．２μｍの表面粗さを有し、１５５℃以上の耐熱性を有する樹脂に、少なくとも黒色顔料と無機充填材が含有され、厚みが２５μｍ以下であって、可視光域（波長３８０～７８０ｎｍ）において低反射性、高遮光性、低表面光沢性を有しているため様々な光学部材に有用である。
　また、耐熱性樹脂が少なくとも黒色顔料と無機充填材を含有しているので、フィルム内部は黒色であり、打ち抜き加工端面の色も黒色となる。さらに黒色顔料による光吸収とともに、無機充填材が分散されているため、無機充填材の表面凹凸性によって、端面での反射、表面光沢を防止することが可能となり、最近のデジタルカメラ、カメラ付き携帯電話、デジタルビデオカメラ、液晶プロジェクターなどの小型化、薄肉化の要望に対応した絞り材として極めて有用である。
　さらに、本発明の黒色耐熱遮光フィルムは、耐熱性が優れているとともに、打ち抜き加工で端面に割れ、クラック、バリなどが発生せず、打ち抜き性に優れている。したがって、打ち抜き性の優れた本発明の黒色耐熱遮光フィルムは、ＷＬＣＳＰ向けの絞り材としても極めて有用である。

　さらに、本発明の黒色耐熱遮光フィルムは、樹脂フィルムのため従来の金属薄板をベースにした遮光板に比べて軽量性に優れている。また、カーボンブラックなどの黒色顔料と無機充填材を含浸したポリイミド、ポリアミドイミドなどの高耐熱性の樹脂フィルムを用いることで、大気中３００℃の高温環境下でも耐熱性を有する軽量な黒色遮光フィルムが実現でき、表面および加工端面の低反射性、低表面光沢性、高遮光性、黒色性も損なわれないことから、液晶プロジェクターの光量調整モジュール用絞り装置の絞り羽根材や、リフロー工程による組み立てに対応できる固定絞り材、シャッター羽根材並びに耐熱遮光テープとして利用することができるため、工業的価値が極めて高い。

　また、本発明の黒色耐熱遮光フィルムは、２５μｍ以下と薄いため更なる軽量化が達成できるだけでなく、十分な遮光性を損なうことがないため、高速シャッターのシャッター羽根にも有効である。よって、駆動モーターの小型化が可能であり、光量調整モジュール用絞り装置や機械式シャッターの小型化が実現するなどのメリットがある。
　さらに、本発明の黒色耐熱遮光フィルムの片面または両面に粘着層を設けた耐熱遮光テープは、ＦＰＣに貼り付けることで、ＣＣＤ、ＣＭＯＳなどの撮像素子の背面から漏れた光を吸収して通過を阻止することができる。そのため、漏れ光の撮像素子への再入射を抑制でき、撮像品質の安定化に寄与できる。

　以下、本発明の黒色耐熱遮光フィルムとその製造方法、及びその用途について説明する。

１．黒色耐熱遮光フィルム
　本発明の黒色耐熱遮光フィルムは、１５５℃以上の耐熱性を有する、厚み２５μｍ以下の樹脂フィルム（Ａ）の両面に、微細な凹凸を形成した黒色耐熱遮光フィルムであって、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエチレンナフタレート、ポリフェニレンサルファイド、アラミド、ポリエーテルエーテルケトン、又はポリエーテルサルフォンから選ばれた１種以上の耐熱性樹脂に、少なくとも黒色顔料（Ｂ）と無機充填材（Ｃ）が含有されている。
　本発明の黒色耐熱遮光フィルムの厚みは、２５μｍ以下である。好ましくは５～２５μｍであり、より好ましくは１０～２０μｍである。５μｍよりも薄いと、ハンドリング性に劣るため、フィルムに傷や折れ目などの表面欠陥が付きやすく、２５μｍより厚いと、小型化、薄肉化が進む絞り装置や光量調整モジュールへの搭載ができなくなるおそれがある。

（１）耐熱性を有する樹脂フィルム（Ａ）
　本発明の黒色耐熱遮光フィルムは、１５５℃以上の耐熱性を有する、耐熱樹脂フィルムであり、樹脂フィルムの基材樹脂は、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエチレンナフタレート、ポリフェニレンサルファイド、アラミド、ポリエーテルエーテルケトン、又はポリエーテルサルフォンから選ばれた１種以上の耐熱性樹脂で構成されている。
　ここで、１５５℃以上の耐熱性を有するフィルムとは、ガラス転移点が１５５℃以上であるフィルムであり、またガラス転移点の存在しない材料については、１５５℃以上の温度にて変質しないことを意味する。
　ポリエチレンナフタレートは、耐熱性が約２００℃であるから、１５５～２００℃の環境下で利用することができ、非常に安価であるため、本発明の用途材料として有用である。また、ポリイミド、ポリアミドイミド、アラミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリフェニレンサルファイド、又はポリエーテルサルフォンは、耐熱性が２００℃以上であり、２００℃を越える環境下でも利用できる。特に、ポリイミド、ポリアミドイミドは耐熱温度が３００℃以上と最も高く、本発明の用途に最適なフィルムである。

（２）黒色顔料（Ｂ）
　また、上記樹脂フィルム（Ａ）は、上記耐熱性樹脂に、黒色顔料が含有されて黒色化していなければならない。黒色以外の着色フィルム表面に黒色塗膜を形成し、外観上黒色化した遮光板では、カメラ付き携帯電話などのカメラモジュールに搭載される固定絞りとして用いると、打ち抜き加工後の端面における反射や表面光沢を抑制する効果が得られない。

　黒色顔料を耐熱性樹脂に含有させる目的は、上述のように、遮光板の表面の黒色化と、打ち抜き加工後の表面および端面での光吸収により遮光することにある。黒色顔料としては、従来公知の材料が使用でき、例えば、カーボンブラック、アニリンブラック、チタンブラック、無機顔料ヘマタイト、ペリレンブラックのうちの１種以上を混合したものが挙げられ、これらの中でも、黒色顔料として特に、カーボンブラック、チタンブラックが好ましい。カーボンブラックとしては、ファーネスブラック、チャンネルブラック、アセチレンブラック等を用いることができる。
　黒色度と着色力の優れたカーボンブラックとしては、一般に一次粒子径が小さいものが適切であり、平均粒子径は、１μｍ以下、特に０．５μｍ以下、さらには０．１μｍ以下であるものが望ましい。平均粒子径が、１μｍより大きいと表面光沢度は低くなるが、遮光性が低下するので好ましくない。ただし、小さくなりすぎて平均粒子径が０．０１μｍ未満になると凝集が大きくなるので好ましくない。チタンブラックは、二酸化チタンの還元により得られ、若干の窒素を含有する黒色顔料である
　均一な色調のフィルムを得るために、例えば、カーボンブラックとして、東海カーボン社製の＃７１００Ｆ、チタンブラックとしてジェムコ社製の１３Ｍ等、チタンブラックとして、例えば三菱マテリアル（株）の市販品が使用できる。また、アニリンブラックとして、アイ・シー・アイ・ジャパン社製のＭＯＮＯＬＩＴＥ　ＢＬＡＣＫ　Ｂ、無機顔料ヘマタイトとして、日本フェロ社製のヘマタイトＶ－７００、さらにペリレンブラックとして、ＢＡＳＦ社製のＰａｌｉｏｇｅｎ　Ｂｌａｃｋ　Ｋ－００８４が挙げられる。
　上記黒色顔料の含有量は、平均粒子径や黒色顔料の種類、樹脂の種類（成分や厚み）などによって異なるが、耐熱性樹脂（固形物１００重量部）に対して５～２２重量部の範囲で適宜調節すれば遮光性に優れた黒色耐熱遮光フィルムが得られる。より好ましい黒色顔料の含有量は、８～１８重量部、特に好ましくは、１０～１５重量部である。黒色顔料の含有量が５重量部未満では、波長３８０～７８０ｎｍにおける平均光学濃度は４．０未満となり、完全遮光性が損なわれ、光透過性が生じてしまう。また、黒色顔料の含有量が２２重量部を超えると、完全遮光性は得られるが、混合物の粘性が非常に高くなり、均一なフィルムを作製することが困難となる。

（３）無機充填材（Ｃ）
　本発明の黒色耐熱遮光フィルムにおいて、無機充填材とは、アルミナ、酸化チタン、シリカ、酸化亜鉛、及び酸化マグネシウムからなる群から選ばれる１種以上である。この無機充填材は、黒色耐熱遮光フィルムの剛性を強化することとともに、艶消しすることを目的として含有され、さらに打ち抜き加工端面で、微細な表面凹凸を生じることにより、光散乱する効果を有している。よって、フィルム表面だけでなく、打ち抜き加工後の端面においても低反射性、低表面光沢度を発現することができる。

　無機充填材の平均粒子径は、１０μｍ以下、特に５μｍ以下、さらには１μｍ以下であるものが望ましい。平均粒子径が、１０μｍより大きいと表面光沢度は低くなるが、遮光性が低下するので好ましくない。ただし、小さくなりすぎて平均粒子径が０．０１μｍ未満になると凝集が大きくなるので好ましくない。
　無機充填材の含有量は、平均粒子径や無機充填材の種類、樹脂の種類（成分や厚み）などによって異なるが、耐熱性樹脂（固形物１００重量部）に対して、２～２５重量部が好ましく、さらに好ましいのは５～２０重量部、特に好ましいのは８～１５重量部である。２重量部未満では、フィルム表面の正反射率が高く、加工端面においては平坦な面が多く形成されるため、正反射、表面光沢度が大きくなり、好ましくない。また、２５重量部を超えると、フィルムの粘性が高くなり、無機充填材の凝集による表面欠陥が発生しやすくなるため、安定的にフィルムを作製することができないため好ましくない。
　また、上記黒色フィルムには、必要により、安定剤、酸化防止剤、可塑剤、防曇剤、滑剤を適宜含有させてもよい。

（４）黒色耐熱遮光フィルムの物性
　本発明の黒色耐熱遮光フィルムは、該黒色フィルムの表面粗さ（算術平均高さＲａ）が０．２～２．２μｍであり、好ましくは０．３～２．１μｍであり、特に０．５～２．０μｍであることが必要である。上記のような表面粗さ（算術平均高さＲａ）を該黒色フィルムに形成することで黒色耐熱遮光フィルムの低反射性、低表面光沢性を実現できるようになる。
　ここで、算術平均高さとは、算術平均粗さとも言われ、粗さ曲線からその平均線の方向に基準長さだけ抜き取り、この抜き取り部分の平均線から測定曲線までの偏差の絶対値を合計して平均した値である。算術平均高さＲａが０．２μｍより小さいと、表面に十分な低反射性や低表面光沢性は得られない。また、算術平均高さＲａが２．２μｍを超えると、フィルム表面の凹凸が大きくなるため、フィルム厚が薄い場合にはマット処理加工によって、フィルムに穴やしわが起こりやすくなり、更にはフィルムが断裂するなどして、フィルムの歩留まりが悪くなるため、好ましくない。
　また、光の遮光性の指標である平均光学濃度が３．５以上であることが必要である。さらに、光の遮光性の指標である平均光学濃度が４．０以上であることが好ましい。また、フィルム表面の波長３８０～７８０ｎｍにおける平均正反射率が０．４０％以下であることを特徴としている。平均正反射率は、０．３８％以下であることが好ましく、０．３５％以下であることがより好ましい。

　また、本発明の黒色耐熱遮光フィルムにおいて、色の明度（以下、Ｌ^＊と表記する）は、２５～４０であることが好ましく、より好ましくは３５以下である。ここで、Ｌ^＊値は、色彩のＣＩＥ（国際照明委員会）表色系で表される明度（白黒度）を表し、ＣＩＥで標準化されている、Ｌ^＊ａ^＊ｂ^＊表色系測定（ＪＩＳＺ８７２９）により、可視光域での分光正反射率から求められ、Ｌ^＊値が小さいほど黒色度が高いことを意味する。Ｌ^＊値は、黒色顔料の含有量で調整できる。黒色耐熱遮光フィルムのＬ^＊値を２５未満とする場合には、黒色顔料の含有量が耐熱性樹脂（固形物１００重量部）に対して、２２重量部を超えてしまうので、フィルムの粘性が高くなり、均一な黒色顔料の分散が得られず、良好なフィルム表面状態が得られなくなり、算術平均高さ、正反射率、平均光学濃度、表面光沢度にばらつきが生じる。また、Ｌ^＊値が４０を超える場合では、黒色顔料の含有量が耐熱性樹脂（固形物１００重量部）に対して５重量部未満となるので、完全遮光性が得られず、波長３８０～７８０ｎｍにおける平均正反射率が０．４０％を超え、さらに表面光沢度が８より高くなってしまうため、好ましくない。

　また、該黒色耐熱遮光フィルムを打ち抜き加工して得られる固定絞りや絞り羽根は、得られる加工端面部の色が黒色であることや無機充填材を含有していることから、端面に入射した迷光は吸収または散乱され、端面での正反射、表面光沢を防止することが可能となり、デジタル撮影機器の固定絞りや機械的シャッター装置の絞り羽根、もしくは、液晶プロジェクターの光量絞り装置の羽根材として用いたときに、光学系内で反射光によって発生する迷光の出現を回避できる。
　ここで、加工端面の表面光沢性は、端面に光が入射した時に、白く見える場合には表面光沢性が高いと判断し、加工端面が黒く見える場合は表面光沢性が低いとしている。端面の表面光沢性の判断は、顕微鏡下で直接、加工端面を目視観察しても良いし、写真などの記録媒体を見て判定してもよい。

２．黒色耐熱遮光フィルムの製造方法
　本発明の黒色耐熱遮光フィルムは、１５５℃以上の耐熱性を有する、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリフェニレンサルファイド、ポリエチレンナフタレート、アラミド、ポリエーテルエーテルケトン、又はポリエーテルサルフォンから選ばれた１種以上の耐熱性樹脂と、少なくとも上記黒色顔料と更に無機充填材を原料として用いて、黒色フィルムに成形したものである。また、上記黒色フィルムには、必要により、安定剤、酸化防止剤、可塑剤、防曇剤、滑剤を適宜含有してもよい。

　上記耐熱性樹脂と黒色顔料、無機充填材の混合は、溶剤を含む耐熱樹脂溶液に、黒色顔料と無機充填材を通常の攪拌混合器、たとえばヘンセルミキサー、又はバンバリーミキサー、ロールミルなどを用いて攪拌混合し、混練して混合溶液を得る。溶剤としては、各種アルコール、テトラヒドロフラン、ジグライムなどのエーテル系溶剤、Ｎ－メチル－２－ピロリドン、Ｎ，Ｎ’－ジメチルアセトアミドなどのアミド系溶剤、シクロヘキサン、メチルエチルケトンなどのケトン系溶剤、γ－ブチロラクトンやテトラメチルウレアなど有機化合物を使用できるが、乾燥条件である室温～２００℃において蒸発しうるものが好ましい。

　次に、得られた上記混合溶液を任意の方法によって支持体上に塗工し、大気中、一定温度で混合溶液を固め、支持体から剥がし、フィルムを生成する。その後の乾燥工程で溶剤を除去することにより、最終的に膜厚が５～２５μｍとなった黒色フィルムが得られる。ここで、支持体としては、ポリエチレンテレフタレートなどのプラスチックフィルム、不織布、ドラムなどが使用され、特に、その表面が粗雑化されたものが好ましい。
　塗工方法としてはダイコーター、ドクターブレードコーター、グラビアコーター、リバースロールコーター、ノズルコーターなど公知の塗布法が用いられるが、特にこれらに限定されない。また、乾燥後、所定のフィルム厚みになるように、任意の支持体への塗布量を適宜調整し、塗布後、常圧または減圧下で加熱処理して残留溶剤を除去する。
　また、乾燥条件は、混合溶液中の溶剤が加熱除去され、かつ厚み分布が均一なフィルムが得られるように、加熱温度を１２０～３００℃とし、加熱時間を３０～１２０分の間で適宜調整すればよい。

　本発明の黒色耐熱遮光フィルムを得るには、次に、この黒色フィルムの両表面に微細な凹凸を形成し、該黒色フィルム両表面に低反射性、低表面光沢性を発現させる。
　具体的には、黒色フィルム両表面を、例えばショット材を使用するマット処理加工で、所定の表面凹凸を形成する。他に、ナノインプリンティング加工も用いることができる。マット処理加工の場合は、ショット材に珪砂、アルミナ、セラミックビーズまたはガラスビーズなどを使用することが一般的であるが、ショット材はこれらに限定されない。ショット材の平均粒子径は、例えば、５０～３００μｍとすることができる。
　マット処理加工の方法として、ショットブラストとエアーブラストと呼ばれる方法が採用される。ショットブラスト法は、高速で回転するブレードにショット材を送り、ショット材を噴射してフィルムに当てる方法であり、フィルムを一定の搬送速度で搬送しながら表面凹凸を形成する。
　ショット材を噴射する装置は、１台であっても複数台であっても構わない。また、エアーブラスト法は、圧縮空気を使用するか、ブロワーファンによってショット材を射出する方法である。本発明では、黒色耐熱遮光フィルムが所定の算術平均高さＲａと表面光沢度を有し、健全なフィルム外観が達成できればよく、その方法はこれらに限定されない。

　黒色耐熱遮光フィルムに形成される表面凹凸の大きさは、マット処理加工中のフィルム搬送速度、搬送回数とショット材の種類、大きさ、射出圧力に依存する。本発明においては、これらの条件を最適化してフィルム表面の算術平均高さＲａ値が０．２～２．２μｍとなるように表面処理を行うことが重要である。ショット材として、例えば平均粒子径１００μｍの珪砂を用いた場合、３～８ｍ／分のフィルム搬送速度、搬送回数１～３回、かつ１０～３０ｋｇ／ｍ^２の射出圧力とすることができる。
　マット処理加工後、フィルムを水で洗浄してショット材を除去した後、乾燥する。洗浄・乾燥条件は特に制限されないが、例えば１～５分水洗し、７０～１２０℃で１～３分乾燥させることが好ましい。フィルム両面をマット処理加工する場合は、片面処理後、フィルムを裏返し、同様の処理を行う。
　マット処理加工においては、黒色耐熱遮光フィルムの表面粗さが、算術平均高さＲａで０．２～２．２μｍとなる条件を採用することが必要である。更に、０．３～２．１μｍ、特に、０．５～２．０μｍの微細凹凸構造となる条件がより好ましい。

３．黒色耐熱遮光フィルムの用途
　本発明の黒色耐熱遮光フィルムは、デジタルカメラ、カメラ付き携帯電話、デジタルビデオカメラの固定絞り、機械式シャッター羽根や、一定の光量のみ通過させる絞り（アイリス）、更には液晶プロジェクターの光量調整モジュール用絞り装置（オートアイリス）の絞り羽根、また、ＣＣＤ、ＣＭＯＳなどの撮像素子裏面へ入射する光を遮光する耐熱遮光テープとして利用できる。

　本発明の黒色耐熱遮光フィルムは、そのまま特定の形状に打ち抜き加工を行って、光量調整モジュール用絞り装置（オートアイリス）の、複数の絞り羽根として用い、それらの絞り羽根を可動させ、絞り開口径を制御して光量の調整を可能とするシャッター機構に適用される。打ち抜き加工した後の加工端面は、端面に光が入射した時に、加工端面が黒く見え表面光沢性が低いものとなる。

　液晶プロジェクターの光量調整モジュール用絞り装置は、使用中、ランプ光の照射熱に常時曝される。そのため、本発明の黒色耐熱遮光フィルムを加工して製造された耐熱性と遮光性に優れた絞り羽根を搭載した光量調整モジュールが有用である。また、レンズユニットを製造する際に、リフロー工程で固定絞りや機械式シャッターを組み立てる場合においても、本発明の黒色耐熱遮光フィルムを加工して得た固定絞りやシャッター羽根を用いると、リフロー工程中の加熱環境下においても遮光性などの特性が変化しないため非常に有用である。
　また、本発明の黒色耐熱遮光フィルムは、２５μｍ以下の薄肉フィルムであり、リフロー工程中の加熱環境下においても遮光性、低反射性、打ち抜き加工端面の低反射性、低表面光沢性などの特性が変化しないため耐熱性に優れており、さらに打ち抜き加工性にも優れている。このため、カメラ付き携帯電話やデジタルカメラなどの小型化、低背化の要求に対応したＷＬＣＳＰ構造のリフローカメラモジュール用の絞り材として極めて有用である。
　このリフロー工程を含む製法では、例えばウェハー（例えば、シリコンなど）面に等間隔でＣＣＤ、ＣＭＯＳなどの撮像素子が実装され、その上に赤外線カットフィルター、レンズ、絞りなどのレンズユニットなどカメラモジュールを構成する主な部品がウェハーの上に実装され、最終的にダイシングなどで個々のカメラモジュールに分離される。
　レンズユニット構成部品の絞りについては、ウェハー状の黒色耐熱遮光フィルムから、金型を使用した打ち抜き加工やレーザー加工によってウェハー内に等間隔に配列したリング状の絞りが多数形成される。カメラ付き携帯電話やデジタルカメラでのカメラモジュール用絞りは、リング状を呈しているため、従来の製法では、カメラモジュール構成部品を個々に、順次組み立てていく場合のように打ち抜き加工時に、リング状の絞りをシートから脱落させ、その後ピックアップする方法が採用されている。これに対して、リフロー工程を含む製法では、不要な部分のみウェハーから脱落させ、ウェハー内で、ある幅をもったリードによって、個々の絞りが連続的につながった形状になるように加工する。このため、得られたウェハー状の絞りを例えば、耐熱レンズが多数形成されたウェハーと組み合わせて、撮像素子が搭載されたウェハー上に同時に実装し、その後、個々のカメラモジュールにダイシングすればよい。
　さらに、車載ビデオカメラモニターのレンズユニット内の固定絞りも、夏場の太陽光による高温環境下に曝されるため、同様の理由から本発明の黒色耐熱遮光フィルムから作製した固定絞りを適用することが有用である。

　また、本発明の黒色耐熱遮光フィルムは、その片面、または両面に粘着層を設けることで耐熱遮光テープまたはシートとすることができる。
　粘着層を形成するための粘着剤は、特に限定されず、従来、粘着シート用として使用されているものの中から温度、湿度などの使用環境に適した粘着材を選択することができる。
　一般的な粘着剤としては、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤、ポリウレタン系粘着剤、ポリエステル系粘着剤、あるいはシリコーン系粘着剤などを用いることができる。特に、携帯電話のレンズユニットをリフロー工程で組み立てる場合では、耐熱性が要求されるので、耐熱性の高いアクリル系粘着剤やシリコーン系粘着剤が好ましい。
　また、黒色耐熱遮光フィルムに粘着層を形成するには、例えばバーコード法、ロールコート法、グラビアコート法、エアドクターコート法、ドクターブレード法、ラミネート法など、従来公知の方法により行うことができる。

　小型化、薄肉化したデジタルカメラ、カメラ付き携帯電話では、搭載される構成部品も小型で、薄肉のものが使用される。前記のとおり、ＣＣＤ、ＣＭＯＳなどの撮像素子や撮像素子が搭載されるＦＰＣが薄肉の場合、撮像素子の前面からの漏れ光やＦＰＣを透過する光によって、ＦＰＣの配線回路が撮像域に写り込み、撮像の品質が劣化してしまう。本発明の黒色耐熱遮光フィルムの片面、または両面に粘着層を設けた耐熱遮光テープは、粘着層によって、ＣＣＤやＣＭＯＳなどの撮像素子の裏面側周辺部に貼り付けることができるから、ＣＣＤ、ＣＭＯＳなどの撮像素子裏面へ入射する光を遮光することができる。

　次に、本発明について、実施例、比較例を用いて具体的に説明する。なお、得られた黒色耐熱遮光フィルムの評価は以下の方法で行った。

（黒色耐熱遮光フィルムの平均正反射率と平行光透過率）
　得られた黒色耐熱遮光フィルムは、波長３８０～７８０ｎｍにおける平均正反射率と平行光透過率を分光光度計（日本分光社製Ｖ－５７０）にて測定し、平行光透過率（Ｔ）から、以下の式に従って、平均光学濃度（ＯＤと記す）を算出した。
　ＯＤ＝ｌｏｇ（１００／Ｔ）
　黒色耐熱遮光フィルムの光の正反射率とは、反射光が反射の法則に従い、入射光の入射角に等しい角度で表面から反射していく光の反射率のことであり、平均正反射率とは、前記波長における正反射率の算術平均値を言う。入射角は５°で測定した。また、平行光透過率とは、黒色被覆膜を透過してくる光線の平行な成分を意味しており、次式で表される。
　　Ｔ（％）＝（Ｉ／Ｉ_０）×１００　
（ここで、Ｔはパーセントで表わした平行光透過率、Ｉ_０は試料に入射した平行照射光強度、Ｉは試料を透過した光のうち前記照射光に対して平行な成分の透過光強度である。）

（黒色耐熱遮光フィルムの表面粗さ）
　得られた黒色耐熱遮光フィルムの表面粗さは、算術平均高さＲａを表面粗さ計（（株）東京精密製、サーフコム５７０Ａ）で測定した。
（黒色耐熱遮光フィルムの表面光沢度、色の明度Ｌ^＊値）
　得られた黒色耐熱遮光フィルムの表面光沢度は、色彩計（ＢＹＫ－Ｇａｒｄｎｅｒ　ＧｍｂＨ社製　商品名スペクトロガイド）にて、光入射角６０°で行った。また、　フィルムの明度を表すＬ^＊値も、ＣＩＥ（国際照明委員会）で標準化されている、Ｌ^＊ａ^＊ｂ^＊表色系測定（ＪＩＳＺ８７２９）に準拠し、表面光沢度と同様に、上記色彩計を用いて、光源Ｄ６５、視野角１０°で測定した。
（加工後の端面反射と表面光沢観察）
　黒色耐熱遮光フィルムをプレス金型で打ち抜き加工し、加工後の端面の反射を観察した。金属顕微鏡（ニコン製ＥＣＬＩＰＳＥ　ＭＥ６００）を用いて、その端面に光をあて、光の反射、表面光沢の程度を観察倍率５０倍で観察した。評価については反射や表面光沢が強い場合には×、弱いもしくは、ない場合には○とした。
（黒色耐熱遮光フィルムの耐熱性）
　黒色耐熱遮光フィルムの耐熱性については、大気オーブンにて、１５５℃、２００℃、２７０℃で３０分の加熱処理を行い、フィルムの平均正反射率、平均光学濃度、表面光沢度、明度変化の有無を評価した。

（実施例１）
　ポリアミドイミド樹脂に溶剤としてメチルエチルケトンを加え、樹脂溶液の固形物１００重量部に対して、黒色顔料としてカーボンブラック（東海カーボン社製、商品名：＃７１００Ｆ、平均粒子径０．０５μｍ）を１２．０重量部、無機充填材としてシリカ（電気化学工業社製、商品名：球状シリカ　ＦＢ－３０２Ｘ、平均粒子径６．２μｍ）を４．０重量部含有し、ローラーミルを用いて混合し、黒色ポリアミドイミド樹脂溶液を作製した。ブレードコーターを用いて、加熱乾燥後のフィルム厚みが２５μｍとなるように、支持体であるポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムの表面に樹脂溶液を塗工し、大気中、室温で固めた。その後、固めた黒色ポリアミドイミド樹脂溶液を支持体から剥がした後、１５０℃で１時間加熱後、さらに２５０℃で６０分間加熱乾燥し、黒色ポリアミドイミドフィルムを作製した。
　上記黒色ポリアミドイミドフィルムをマット処理装置に通紙するために、ポリエチレンテレフタレートフィルム上に固定し、通紙後、ショット材として硅砂（平均粒子径１００μｍ）を用い、５ｍ／分の速度でフィルムを搬送しながら、２０ｋｇ／ｍ^２の硅砂をショットした後、水で３分間水洗し、８０℃で２分間乾燥した。次に、フィルムを裏返し、同様のマット処理加工を施し、表１－１に示すとおり、算術平均高さＲａが０．４２μｍの表面凹凸を形成した。
　表面凹凸を形成後の黒色ポリアミドイミドフィルムは、波長３８０～７８０ｎｍにおける平均正反射率が０．２４％、表面光沢度は５であった。平均光学濃度は４．０以上となり、完全遮光性を有していた。また、フィルムの色の明度を表すＬ^＊値は、３０となり、黒色度が高いことがわかった。
　作製した黒色耐熱遮光フィルムを打ち抜き加工し、その端面を金属顕微鏡で反射の程度を観察したところ、端面の反射や表面光沢は弱く、良好であった。その端面をＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）やＥＰＭＡ（電子線マイクロアナライザ）で調べた結果、端面には微細な凹凸が観察され、その凹凸部にはシリカが存在していることがわかった。この微細な凹凸の形成によって、端面反射や表面光沢が低減されたものと考えられる。
　また、大気中、１５５℃、２００℃、２７０℃で３０分間加熱処理した結果、各温度での波長３８０～７８０ｎｍにおける平均正反射率、平均光学濃度、明度は加熱処理前と比べて変化しなかった。また、表面光沢度、明度も加熱処理前と比べて変化しなかった。
　よって、実施例１の黒色ポリアミドイミドフィルムは、平均光学濃度、平均正反射率、表面光沢度、明度、打ち抜き加工後の端面反射や表面光沢性、耐熱性について良好であり、このような黒色耐熱遮光フィルムは、高温度環境下で使用されるレンズユニット内で使用される固定絞り、シャッター羽根、液晶プロジェクターの絞りなどの部材として利用することができる。

（実施例２～４）
　マット処理加工時のフィルム搬送速度を変え、フィルム両表面の算術平均高さＲａを変えた以外は、実施例１と同様の黒色顔料および無機充填材の種類と含有量、フィルム作製方法で黒色ポリアミドイミドフィルムを作製した。フィルムの算術平均高さＲａは表１－１に示すとおり、０．２０μｍ（実施例２）、１．０２μｍ（実施例３）、２．２０μｍ（実施例４）とした。
　表面凹凸を形成後の黒色ポリアミドイミドフィルムの波長３８０～７８０ｎｍにおける平均正反射率および平均光学濃度、表面光沢度を測定したところ、表１－２に示すとおり、実施例１と同等の結果が得られた。また、フィルムの明度Ｌ^＊値も表１－２に示すとおり、実施例１と同等となり、黒色度が高いことがわかった。
　また、実施例１同様に、打ち抜き加工を行い、その端面を金属顕微鏡で反射の程度を観察したところ、端面反射や表面光沢は実施例１と同様に弱く、良好であった。その端面をＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）やＥＰＭＡ（電子線マイクロアナライザ）で調べた結果、実施例１と同様に、端面には微細な凹凸が観察され、その凹凸部にはシリカが存在していることがわかった。また、１５５℃、２００℃、２７０℃での加熱処理後の平均正反射率、平均光学濃度、フィルムのＬ^＊値は加熱処理前と比べて変化しなかった。
　よって、実施例２～４の黒色ポリアミドイミドフィルムは、平均光学濃度、平均正反射率、表面光沢度、明度、打ち抜き加工後の端面反射や表面光沢性、耐熱性について良好であり、このような黒色耐熱遮光フィルムは、高温度環境下で使用されるレンズユニット内で使用される固定絞り、シャッター羽根、液晶プロジェクターの絞りなどの部材として利用することができる。

（比較例１）
　マット処理加工時のフィルム搬送速度を変え、フィルム両表面の算術平均高さＲａを表１－１に示すとおり、２．３μｍに変えた以外は、実施例１と同様な黒色顔料および無機充填材の種類と含有量でフィルムを作製した。表面凹凸形成後の黒色ポリアミドイミドフィルムの波長３８０～７８０ｎｍにおける平均正反射率および平均光学濃度、表面光沢度、明度Ｌ^＊値を測定したところ、表１－２に示すとおり、実施例１と同等の結果が得られた。しかし、フィルムの算術平均高さＲａを大きくするために、マット処理加工での搬送速度を非常に遅くしたためフィルムに微細な穴が多数発生し、良好なフィルムは得られなかった。
　また、マット処理で穴が形成されなかった部分について、打ち抜き加工を行い、金属顕微鏡で端面反射を観察した結果、端面反射や表面光沢は実施例１と同様に弱く、良好であった。その端面をＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）やＥＰＭＡ（電子線マイクロアナライザ）で調べた結果、端面には微細な凹凸が観察され、その凹凸部にはシリカが存在していることがわかった。
　よって、比較例１の黒色ポリアミドイミドフィルムは、波長３８０～７８０ｎｍにおける平均光学濃度、平均正反射率、表面光沢度、明度、打ち抜き加工後の端面反射や表面光沢性は良好であったが、外観上、良好なフィルムが得られなかったため、レンズユニット内で使用される固定絞り、シャッター羽根、液晶プロジェクターの絞りなどの部材として用いることはできない。

（比較例２）
　マット処理加工時のフィルム搬送速度を変え、フィルム両表面の算術平均高さＲａを０．１μｍに変えた以外は、実施例１と同様な黒色顔料および無機充填材の種類と含有量でフィルムを作製した。表面凹凸形成後の黒色ポリアミドイミドフィルムの波長３８０～７８０ｎｍにおける平均正反射率および平均光学濃度、表面光沢度、明度Ｌ^＊値を測定したところ、表１－２に示すとおり、平均光学濃度とＬ^＊値については実施例１と同等の結果が得られたが、波長３８０～７８０ｎｍにおける平均正反射率は０．７０％、表面光沢度は１０となり、実施例１より高くなった
　１５５℃、２００℃、２７０℃での加熱処理後の平均正反射率、平均光学濃度、明度は加熱処理前と比べて変化しなかった。
　また、打ち抜き加工を行い、金属顕微鏡で端面反射を観察したところ、実施例１と同様に、端面反射や表面光沢は弱く、良好であった。その端面をＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）やＥＰＭＡ（電子線マイクロアナライザ）で調べた結果、端面には微細な凹凸が観察され、その凹凸部にはシリカが存在していることがわかった。よって、比較例２の黒色ポリアミドイミドフィルムは波長３８０～７８０ｎｍにおける平均光学濃度、フィルムの明度、打ち抜き加工後の端面反射や表面光沢性、耐熱性は良好であったが、平均正反射率と表面光沢度が実施例１～４に比べ高いため、フィルム表面での反射光が撮像性に悪影響を及ぼすことになるから、レンズユニット内で使用される固定絞り、シャッター羽根、液晶プロジェクターの絞りなどの部材としては、利用することができない。

（実施例５、６）
　黒色ポリアミドイミドフィルムの厚みを１２．５μｍ（実施例５）、６μｍ（実施例６）に変えた以外は、実施例１と同様の黒色顔料および無機充填材の種類と含有量、フィルム作製方法、マット処理加工で実施した。
　表面凹凸形成後のフィルム両表面の算術平均高さＲａは、表１－１に示すとおり、０．３４μｍ（実施例５）、０．４４μｍ（実施例６）であった。
　表面凹凸形成後の黒色ポリアミドイミドフィルムで、波長３８０～７８０ｎｍにおける平均正反射率および平均光学濃度、表面光沢度を測定したところ、表１－２に示すとおり、実施例１と同等の結果が得られた。また、フィルムの明度Ｌ^＊値も表１－２に示すとおり、実施例１と同等となり、黒色度が高いことがわかった。打ち抜き加工後の端面反射を金属顕微鏡で観察した結果、端面反射や表面光沢は実施例１と同様に弱く、良好であった。その端面をＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）やＥＰＭＡ（電子線マイクロアナライザ）で調べた結果、端面には微細な凹凸が観察され、その凹凸部にはシリカが存在していることがわかった。
　また、１５５℃、２００℃、２７０℃での加熱処理後の平均正反射率、平均光学濃度、フィルムの明度は加熱処理前と比べて変化しなかった。
　よって、実施例５～６の黒色ポリアミドイミドフィルムは、平均光学濃度、平均正反射率、表面光沢度、明度、打ち抜き加工後の端面反射や表面光沢性、耐熱性が良好であるから、このような黒色耐熱遮光フィルムは、高温度環境下で使用されるレンズユニット内で使用される固定絞り、シャッター羽根、液晶プロジェクターの絞りなどの部材として利用することができる。

（比較例３、４）（実施例７～９）
　黒色顔料のカーボンブラックの含有量を４．０重量部（比較例３）、５．０重量部（実施例７）、１５．０重量部（実施例８）、２２．０重量部（実施例９）、２３．０重量部（比較例４）とした以外は、実施例１と同様な無機充填材の種類と含有量、フィルム厚み、フィルム作製方法、マット処理加工とした。
　表面凹凸形成後の黒色ポリアミドイミドフィルム両表面の算術平均高さＲａは、表１－１に示すとおり、０．３５μｍ（比較例３）、０．４６μｍ（実施例７）、０．４６μｍ（実施例８）、０．４６μｍ（実施例９）、０．５７μｍ（比較例４）であった。
　また、波長３８０～７８０ｎｍにおける平均正反射率および平均光学濃度、表面光沢度を測定したところ、比較例４および実施例８、９は、表１－２に示すとおり、実施例１と同等の結果が得られ、フィルムの明度Ｌ^＊値も表１－２に示すとおり、実施例１と同等となり、黒色度が高かった。しかし、比較例３、実施例７では波長３８０～７８０ｎｍにおける平均正反射率は実施例１と同等であったが、平均光学濃度は比較例３では２．９、実施例７では３．５となり、完全遮光性を有していなかった。また、比較例３では明度Ｌ^＊値が実施例１に比べ高くなり、黒色度が低かった。これは、カーボンブラックの含有量が少なかったため、光の遮光性が低かったものと考えられる。一方、比較例４では、カーボンブラック含有量が高いため、カーボンブラックが均一に分散されていない。そのために表面凹凸、平均光学濃度、平均正反射率、表面光沢度など特性が不均一となり、良好なフィルムは得られなかった。
　比較例３、実施例７～９について、フィルムの打ち抜き加工を行い、端面反射の程度を金属顕微鏡で観察した結果、実施例７～９のフィルムについては、端面反射や表面光沢は弱く、良好であった。その端面をＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）やＥＰＭＡ（電子線マイクロアナライザ）で調べた結果、端面には微細な凹凸が観察され、その凹凸部にはシリカが存在していることがわかった。しかし、比較例３のフィルムについては、端面反射や表面光沢が強いことがわかった。ＳＥＭやＥＰＭＡで調べたところ、端面には微細な凹凸があるものの、カーボンブラックの含有量が少なかったため、光の吸収が不十分となり、反射したものと考えられる。
　なお、実施例７～９及び比較例３のフィルムについては、１５５℃、２００℃、２７０℃での加熱処理後の平均正反射率、平均光学濃度、フィルムの明度は加熱処理前と比べて変化しなかった。
　よって、実施例８、９の黒色ポリアミドイミドフィルムは、平均光学濃度、平均正反射率、表面光沢度、明度、打ち抜き加工後の端面反射や表面光沢性、耐熱性について良好であり、このような黒色耐熱遮光フィルムは、高温度環境下、レンズユニット内で使用される固定絞り、シャッター羽根、液晶プロジェクターの絞りなどの部材として利用することができる。実施例７のフィルムについては、平均光学濃度が３．５と若干低かったが、レンズユニットの中で平均光学濃度が４．０以上と完全遮光性が必要とならない部位であれば、限定的に利用することができる。しかし、平均光学濃度が著しく低く、端面反射や表面光沢が強い比較例３や良好なフィルム外観が得られなかった比較例４のフィルムは、固定絞り、シャッター羽根、液晶プロジェクターの絞りなどの部材として利用することができない。

（比較例５）
　フィルム作製過程で黒色顔料を含有しない以外は、実施例１と同様のフィルム厚み、無機充填材の種類と含有量になるようにマット処理加工を実施し、黒色ポリアミドイミドフィルムを作製した。
　表面凹凸形成のフィルム両表面の算術平均高さＲａは表１－１に示すとおり、０．４４μｍであった。得られたポリアミドイミドフィルムの波長３８０～７８０ｎｍにおける平均正反射率は０．４５％、表面光沢度は１０であった。また、平均光学濃度は、０．３となり、光の透過性が非常に高かった。フィルムの明度Ｌ^＊は、５０となり、黒色度は低かった。
　打ち抜き加工後の端面反射の程度を金属顕微鏡で観察した結果、端面反射や表面光沢は強いことがわかった。その端面をＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）やＥＰＭＡ（電子線マイクロアナライザ）で調べた結果、端面には微細な凹凸が観察され、その凹凸部にはシリカが存在していることがわかったが、光を吸収するカーボンブラックが含有されていないために端面反射や表面光沢が強くなったものと考えられる。また、１５５℃、２００℃、２７０℃での加熱処理後の平均正反射率、平均光学濃度、フィルムの明度は加熱処理前と比べて変化しなかった。
　よって、比較例５のポリアミドイミドフィルムは、耐熱性は良好であったが、実施例１の黒色ポリアミドイミドフィルムに比べ、平均光学濃度が低く、平均正反射率と表面光沢度が高く、さらに、黒色度も低い。このためレンズユニット内で使用される固定絞り、シャッター羽根、液晶プロジェクターの絞りなどの部材として利用することができない。

（実施例１０、１１および比較例６、７）
　無機充填材の含有量を２．０重量部（実施例１０）、２５．０重量部（実施例１１）、１．０重量部（比較例６）、２６．０重量部（比較例７）とした以外は、実施例１と同様な黒色顔料の種類と含有量、無機充填材の種類、フィルム厚み、フィルム作製方法、マット処理加工とした。
　表面凹凸形成後の黒色ポリアミドイミドフィルム両表面の算術平均高さＲａは、表１－１に示すとおり、０．４３μｍ（実施例１０）、０．５４μｍ（実施例１１）、０．４４μｍ（比較例６）、０．４４μｍ（比較例７）であった。
　また、得られた黒色ポリアミドイミドフィルムについて、波長３８０～７８０ｎｍにおける平均正反射率および平均光学濃度、表面光沢度、明度Ｌ^＊値を測定したところ、表１－２に示すとおり、実施例１０、１１および比較例７では実施例１と同等の結果が得られた。しかし、比較例６では、艶消し材であるシリカの含有量が少ないため、表１－２に示すとおり、表面光沢度、平均正反射率が実施例１より高くなった。一方、比較例７では、ＳＥＭで断面観察を行ったが、シリカの含有量が多いため、フィルム内での分散が悪く、凝集が見られ、良好なフィルム外観が得られなかった。
　実施例１０、１１および比較例６のフィルムについて打ち抜き加工を行い、その端面について金属顕微鏡で反射の程度を観察したところ、実施例１０、１１のフィルムでは端面反射や表面光沢は弱く、実施例１と同等に良好であり、その端面をＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）やＥＰＭＡ（電子線マイクロアナライザ）で調べた結果、端面には微細な凹凸が観察され、その凹凸部にはシリカが存在していることがわかった。しかし、比較例６では、端面に微細な凹凸はなく、平坦な面が多数見られ、端面反射や表面光沢が強いことがわかった。艶消し効果のあるシリカの含有量が少なすぎたことが原因であった。
　なお、実施例１０、１１及び比較例６のフィルムについては、加熱処理後の平均正反射率、平均光学濃度、フィルムの明度は加熱処理前と比べて変化しなかった。
　よって、実施例１０、１１の黒色ポリアミドイミドフィルムは、平均光学濃度、平均正反射率、表面光沢度、明度、打ち抜き加工後の端面反射や表面光沢性、耐熱性について良好であり、このような黒色耐熱遮光フィルムは、高温度環境下で使用されるレンズユニット内で使用される固定絞り、シャッター羽根、液晶プロジェクターの絞りなどの部材として利用することができる。しかし、比較例６のフィルムでは表面及び端面反射、表面光沢度が高いこと、比較例７のフィルムでは、良好なフィルム外観が得られないことから、絞り用部材として利用することはできない。

（実施例１２）
　無機充填材としてアルミナを用いた以外は、実施例１と同様のフィルムの種類および厚み、黒色顔料の種類および含有量、無機充填材の含有量、フィルム作製方法、マット処理加工で実施した。
　マット処理加工後のフィルム両表面の算術平均高さＲａは、表１－１に示すとおり、０．４６μｍであった。
　表面凹凸形成後の黒色ポリアミドイミドフィルムで、波長３８０～７８０ｎｍにおける平均正反射率および平均光学濃度、表面光沢度を測定したところ、実施１と同等の結果が得られた。また、フィルムの明度Ｌ^＊値も表１－２に示すとおり、実施例１と同等となり、黒色度が高いことがわかった。また、実施例１同様に打ち抜き加工を行い、その端面について金属顕微鏡で反射の程度を観察したところ、端面反射や表面光沢は実施例１と同等に弱く、良好であった。その端面をＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）やＥＰＭＡ（電子線マイクロアナライザ）で調べた結果、端面には微細な凹凸が観察され、その凹凸部にはアルミナが存在していることがわかった。この微細な凹凸の形成によって、端面反射や表面光沢が低減されたものと考えられる。
　また、加熱処理後の平均正反射率、平均光学濃度、フィルムのＬ^＊値は加熱処理前と比べて変化しなかった。
　よって、実施例１２の黒色ポリアミドイミドフィルムは、平均光学濃度、平均正反射率、表面光沢度、明度、打ち抜き加工後の端面反射や表面光沢性、耐熱性について良好であり、このような黒色耐熱遮光フィルムは、高温度環境下、レンズユニット内で使用される固定絞り、シャッター羽根、液晶プロジェクターの絞りなどの部材として利用することができる。

（実施例１３）
　無機充填材として酸化チタン（東邦チタニウム製、グレードＨＴＯ２１０　平均粒径２．３μｍ）を用いた以外は、実施例１と同様のフィルムの種類および厚み、黒色顔料の種類および含有量、無機充填材の含有量、フィルム作製方法、マット処理加工で実施した。
　マット処理加工後のフィルム両表面の算術平均高さＲａは、表１－１に示すとおり、０．４３μｍであった。
　表面凹凸形成後の黒色ポリアミドイミドフィルムで、波長３８０～７８０ｎｍにおける平均正反射率および平均光学濃度、表面光沢度を測定したところ、実施１と同等の結果が得られた。また、フィルムの明度Ｌ^＊値も表１－２に示すとおり、実施例１と同等となり、黒色度が高いことがわかった。また、実施例１と同様に打ち抜き加工を行い、その端面について金属顕微鏡で反射の程度を観察したところ、端面反射や表面光沢は実施例１と同等に弱く、良好であった。その端面をＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）やＥＰＭＡ（電子線マイクロアナライザ）で調べた結果、端面には微細な凹凸が観察され、その凹凸部にはアルミナが存在していることがわかった。この微細な凹凸の形成によって、端面反射や表面光沢が低減されたものと考えられる。
　また、加熱処理後の平均正反射率、平均光学濃度、フィルムのＬ^＊値は加熱処理前と比べて変化しなかった。
　よって、実施例１３の黒色ポリアミドイミドフィルムは、平均光学濃度、平均正反射率、表面光沢度、明度、打ち抜き加工後の端面反射や表面光沢性、耐熱性について良好であり、このような黒色耐熱遮光フィルムは、高温度環境下、レンズユニット内で使用される固定絞り、シャッター羽根、液晶プロジェクターの絞りなどの部材として利用することができる。

（実施例１４）
　黒色顔料としてチタンブラック（ジェムコ製　品名１３Ｍ－Ｃ）を用いた以外は、実施例１と同様のフィルムの種類、厚み、黒色顔料の含有量、無機充填材の種類および含有量、フィルム作製方法、マット処理加工で実施した。
　マット処理加工後のフィルム両表面の算術平均高さＲａは、表１－１に示すとおり、０．４４μｍであった。
　表面凹凸形成後の黒色ポリアミドイミドフィルムで、波長３８０～７８０ｎｍにおける平均正反射率および平均光学濃度、表面光沢度を測定したところ、表１－２に示すように、実施例１と同等の結果が得られた。また、フィルムの明度Ｌ^＊値も表１－２に示すとおり、実施例１と同等となり、黒色度が高いことがわかった。
　また、実施例１同様に打ち抜き加工を行い、金属顕微鏡で端面反射の程度を観察した結果、端面反射や表面光沢は実施例１と同等に弱く、良好であった。その端面をＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）やＥＰＭＡ（電子線マイクロアナライザ）で調べた結果、端面には微細な凹凸が観察され、その凹凸部にはシリカが存在していることがわかった。
　加熱処理後の平均正反射率、平均光学濃度、フィルムのＬ^＊値は加熱処理前と比べて変化しなかった。
　よって、実施例１３の黒色ポリアミドイミドフィルムは、平均光学濃度、平均正反射率、表面光沢度、明度、打ち抜き加工後の端面反射や表面光沢性、耐熱性について良好であり、このような黒色耐熱遮光フィルムは、高温度環境下、レンズユニット内で使用される固定絞り、シャッター羽根、液晶プロジェクターの絞りなどの部材として利用することができる。

（実施例１５）
　黒色顔料としてアニリンブラック（東京色材工業製　Ｎｏ．２スーパーブラック　Ｐｉｇｍｅｎｔ　Ｂｌａｃｋ１）を用いた以外は、実施例１と同様のフィルムの種類、厚み、黒色顔料の含有量、無機充填材の種類および含有量、フィルム作製方法、マット処理加工で実施した。
　マット処理加工後のフィルム両表面の算術平均高さＲａは、表１－１に示すとおり、０．４６μｍであった。
　表面凹凸形成後の黒色ポリアミドイミドフィルムで、波長３８０～７８０ｎｍにおける平均正反射率および平均光学濃度、表面光沢度を測定したところ、表１－２に示すように、実施例１と同等の結果が得られた。また、フィルムの明度Ｌ^＊値も表１－２に示すとおり、実施例１と同等となり、黒色度が高いことがわかった。
　また、実施例１同様に打ち抜き加工を行い、金属顕微鏡で端面反射の程度を観察した結果、端面反射や表面光沢は実施例１と同等に弱く、良好であった。その端面をＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）やＥＰＭＡ（電子線マイクロアナライザ）で調べた結果、端面には微細な凹凸が観察され、その凹凸部にはシリカが存在していることがわかった。
　加熱処理後の平均正反射率、平均光学濃度、フィルムのＬ^＊値は加熱処理前と比べて変化しなかった。
　よって、実施例１５の黒色ポリアミドイミドフィルムは、平均光学濃度、平均正反射率、表面光沢度、明度、打ち抜き加工後の端面反射や表面光沢性、耐熱性について良好であり、このような黒色耐熱遮光フィルムは、高温度環境下、レンズユニット内で使用される固定絞り、シャッター羽根、液晶プロジェクターの絞りなどの部材として利用することができる。

（実施例１６）
　樹脂フィルムの原料をポリアミドイミド樹脂からポリイミド樹脂に変えた以外は、実施例１と同様のフィルム厚み、黒色顔料および無機充填材の種類と含有量、フィルム作製方法、マット処理加工で実施した。
　マット処理加工後のフィルム両表面の算術平均高さＲａは、０．２１μｍであった。
　表面凹凸形成後の黒色ポリイミドフィルムの波長３８０～７８０ｎｍにおける平均正反射率および平均光学濃度、表面光沢度を測定したところ、表２－２に示すとおり、実施例１と同等の結果が得られた。また、フィルムの明度Ｌ^＊値も、表２－２に示すとおり、実施例１と同等となり、黒色度が高いことがわかった。
　また、実施例１同様に打ち抜き加工を行い、その端面について金属顕微鏡で反射の程度を観察したところ、端面反射や表面光沢は実施例１と同等に弱く、良好であった。その端面をＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）やＥＰＭＡ（電子線マイクロアナライザ）で調べた結果、端面には微細な凹凸が観察され、その凹凸部にはシリカが存在していることがわかった。
　また、１５５℃、２００℃、２７０℃での加熱処理後の平均正反射率、平均光学濃度、フィルムの明度Ｌ^＊値は加熱処理前と比べて変化しなかった。
　よって、実施例１６の黒色ポリイミドフィルムは、平均光学濃度、平均正反射率、表面光沢度、明度、打ち抜き加工後の端面反射や表面光沢性、耐熱性について良好であり、このような黒色耐熱遮光フィルムは、高温度環境下、レンズユニット内で使用される固定絞り、シャッター羽根、液晶プロジェクターの絞りなどの部材として利用することができる。

（実施例１７～１９）（比較例８、９）
　マット処理加工での搬送速度を変え、フィルム両表面の算術平均高さＲａを表２－１に示すとおり、０．４１μｍ（実施例１７）、１．０６μｍ（実施例１８）、２．２０μｍ（実施例１９）、２．３０μｍ（比較例８）、０．１０μｍ（比較例９）とした以外は、実施例１６と同様のフィルムの種類、フィルム厚み、黒色顔料および無機充填材の種類と含有量、フィルム作製方法で実施した。
　表面凹凸形成後の黒色ポリイミドフィルムで、波長３８０～７８０ｎｍにおける平均正反射率および平均光学濃度、表面光沢度、明度Ｌ^＊値を測定したところ、実施例１７～１９および比較例８では、表２－２に示すとおり、実施例１６と同等の結果が得られた。しかし、比較例９は平均光学濃度、明度Ｌ^＊値は表２－２に示すとおり、実施例１６と同等であったが、平均正反射率、表面光沢度が実施例１６に比べ高くなった。また、比較例８では、フィルムの算術平均高さＲａを大きくするために、マット処理での搬送速度を非常に遅くしたことでフィルムに微細な穴が多数発生し、良好なフィルムは得られなかった。
　よって、比較例８の黒色ポリイミドフィルムは、波長３８０～７８０ｎｍにおける平均光学濃度、平均正反射率、表面光沢度、フィルムの明度が良好であったが、外観上、良好なフィルムが得られなかった。
　また、実施例１６同様に打ち抜き加工を行い、その端面について金属顕微鏡で反射の程度を観察したところ、実施例１７～１９および比較例８、９では端面反射や表面光沢は実施例１６と同等に弱く、良好であった。その端面をＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）やＥＰＭＡ（電子線マイクロアナライザ）で調べた結果、端面には微細な凹凸が観察され、その凹凸部にはシリカが存在していることがわかった。この微細な凹凸の形成によって、端面反射や表面光沢が低減されたものと考えられる。
　なお、実施例１７～１９、比較例８、９のフィルムについて、加熱処理後の平均正反射率、平均光学濃度、フィルムの明度は加熱処理前と比べて変化しなかった。
　よって、実施例１７～１９の黒色ポリイミドフィルムは、耐熱性、平均光学濃度、平均正反射率、表面光沢度、打ち抜き加工後の端面反射や表面光沢性が良好であるため、レンズユニット内で使用される固定絞り、シャッター羽根、液晶プロジェクターの絞りなどの部材として利用することができる。しかし、良好なフィルムが得られなかった比較例８と平均正反射率、表面光沢度が高かった比較例９は、固定絞り、シャッター羽根、液晶プロジェクターの絞りなどの部材として利用することができない。

（実施例２０、２１）
　黒色ポリイミドフィルムの厚みを１２．５μｍ（実施例２０）、７．５μｍ（実施例２１）に変えた以外は、実施例１６と同様の黒色顔料および無機充填材の種類と含有量、フィルム作製方法、マット処理加工で実施した。
　表面凹凸形成後のフィルム両表面の算術平均高さＲａは表２－１に示すとおり、０．３３μｍ（実施例２０）、０．３６μｍ（実施例２１）であった。
　得られた黒色ポリイミドフィルムの波長３８０～７８０ｎｍにおける平均正反射率および平均光学濃度、表面光沢度を測定したところ、表２－２に示すとおり、実施例１４と同等の結果が得られた。また、フィルムの明度Ｌ^＊値も表２－２に示すとおり、実施例１６と同等となり、黒色度が高いことがわかった。また、実施例１６同様に打ち抜き加工を行い、その端面について金属顕微鏡で反射の程度を観察したところ、端面反射や表面光沢は弱く、良好であった。その端面をＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）やＥＰＭＡ（電子線マイクロアナライザ）で調べた結果、端面には微細な凹凸が観察され、その凹凸部にはシリカが存在していることがわかった。この微細な凹凸の形成によって、端面反射や表面光沢が低減されたものと考えられる。
　加熱処理後の平均正反射率、平均光学濃度、フィルムの明度は加熱処理前と比べて変化しなかった。
　よって、実施例２０，２１の黒色ポリイミドフィルムは、平均光学濃度、平均正反射率、表面光沢度、明度、打ち抜き加工後の端面反射や表面光沢性、耐熱性について良好であり、このような黒色耐熱遮光フィルムは、高温度環境下で使用されるレンズユニット内に設置される固定絞り、シャッター羽根、液晶プロジェクターの絞りなどの部材として利用することができる。

（実施例２２～２４）（比較例１０、１１）
　黒色顔料の含有量を４．０重量部（比較例１０）、５．０重量（実施例２２）、１５．０重量部（実施例２３）、２２．０重量部（実施例２４）、２３．０重量部（比較例１１）とした以外は、実施例１６と同様なフィルムの種類および厚み、黒色顔料の種類、無機充填材の種類と含有量、フィルム作製方法、マット処理加工で実施した。
　表面凹凸形成後の黒色ポリイミドフィルム両表面の算術平均高さＲａは、表２－１に示すとおり、０．５２μｍ（比較例１０）、０．４４μｍ（実施例２２）、０．４４μｍ（実施例２３）、０．３１μｍ（実施例２４）、０．６７μｍ（比較例１１）であった。
　また、得られた黒色ポリイミドフィルムの波長３８０～７８０ｎｍにおける平均正反射率、表面光沢度、明度Ｌ^＊値を測定したところ、比較例１１および実施例２３、２４は、表２－２に示すとおり、実施例１６と同等の結果が得られた。一方、比較例１０、実施例２２の波長３８０～７８０ｎｍにおける平均正反射率は表２－２に示すとおり、実施例１６と同等であったが、平均光学濃度はそれぞれ２．９、３．５となり、完全遮光性を有していないことがわかった。また、比較例１０では明度Ｌ^＊値が実施例１６に比べ高くなり、黒色度が低いことがわかった。
　比較例１０のフィルムではカーボンブラックの含有量が少ないため光の遮光性が低かったものと考えられる。一方、比較例１１のフィルムでは、カーボンブラック含有量が高いため、カーボンブラックの均一な分散がされておらず、表面凹凸、平均光学濃度、平均正反射率、表面光沢度、明度など特性が不均一であり、良好なフィルムは得られなかった。
　また、実施例１６と同様に打ち抜き加工を行い、その端面について金属顕微鏡で反射の程度を観察したところ、実施例２２～２４および比較例１１で作製した黒色ポリイミドフィルムでは、端面反射や表面光沢は実施例１６と同等に弱く、良好であった。しかし、比較例１０のフィルムでは、端面反射や表面光沢は強かった。その端面をＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）やＥＰＭＡ（電子線マイクロアナライザ）で調べた結果、端面には微細な凹凸が観察され、その凹凸部にはシリカが存在していたが、カーボンブラックの含有量が少なすぎたため、端面での光の吸収が不十分となったことが原因と考えられる。なお、比較例１０、実施例２２～２４のフィルムについては、加熱処理後の平均正反射率、表面光沢度、平均光学濃度、フィルムの明度は加熱処理前と比べて変化しなかった。
　よって、実施例２３，２４の黒色ポリイミドフィルムは、平均光学濃度、平均正反射率、表面光沢度、明度、打ち抜き加工後の端面反射や表面光沢性、耐熱性について良好であり、このような黒色耐熱遮光フィルムは、高温度環境下で使用されるレンズユニット内に設置される固定絞り、シャッター羽根、液晶プロジェクターの絞りなどの部材として利用することができる。実施例２２のフィルムについては、平均光学濃度が３．５と若干低かったが、レンズユニットの中で平均光学濃度が４．０以上と完全遮光性が必要とならない部位であれば、限定的に利用をすることができる。しかし、平均光学濃度が著しく低い比較例１０や良好なフィルム外観が得られなかった比較例１１のフィルムは、固定絞り、シャッター羽根、液晶プロジェクターの絞りなどの部材として利用することができない。

（比較例１２）
　フィルム作製過程で黒色顔料を含有しないポリイミドフィルムを作製した以外は、実施例１６と同様のフィルム厚み、無機充填材の種類と含有量、マット処理加工で実施した。
　表面凹凸形成のフィルム両表面の算術平均高さＲａは表２－１に示すとおり、０．４４μｍであった。得られたポリイミドフィルムの波長３８０～７８０ｎｍにおける平均正反射率および表面光沢度を測定したところ、表２－２に示すとおり、実施例１６より高くなった。また、波長３８０～７８０ｎｍにおける平均光学濃度は、０．４となり、実施例１６より小さかった。また、フィルムの明度Ｌ^＊は、５０となり、黒色度は非常に低かった。
　打ち抜き加工後の端面反射の程度を金属顕微鏡で観察した結果、端面反射や表面光沢は実施例１６に比べ強いことがわかった。その端面をＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）やＥＰＭＡ（電子線マイクロアナライザ）で調べた結果、端面には微細な凹凸が観察され、その凹凸部にはシリカが存在していることがわかったが、光を吸収するカーボンブラックを含有していないため端面反射や表面光沢が強くなったものと考えられる。
　また、加熱処理後の平均正反射率、平均光学濃度、フィルムの明度は加熱処理前と比べて変化しなかった。
　よって、比較例１２のポリイミドフィルムは、耐熱性は良好であったが、平均光学濃度が低く、平均正反射率と表面光沢度が高く、さらに、黒色度も低いことから、レンズユニット内で使用される固定絞り、シャッター羽根、液晶プロジェクターの絞りなどの部材として利用することができない。

（実施例２５、２６）（比較例１３、１４）
　無機充填材の含有量を２．０重量部（実施例２５）、２５．０重量部（実施例２６）、１．０重量部（比較例１３）、２６．０重量部（比較例１４）とした以外は、実施例１６と同様な黒色顔料の種類と含有量、無機充填材の種類、フィルム厚み、フィルム作製方法、マット処理加工で実施した。
　表面凹凸形成後の黒色ポリイミドフィルム両表面の算術平均高さＲａは表２－１に示すとおり、０．３８μｍ（実施例２５）、０．４１μｍ（実施例２６）、０．４３μｍ（比較例１３）、０．４４μｍ（比較例１４）であった。
　また、得られた黒色ポリイミドフィルムの波長３８０～７８０ｎｍにおける平均正反射率および平均光学濃度、表面光沢度、明度Ｌ^＊値を測定したところ、表２－２に示すとおり、実施例２５、２６および比較例１４では実施例１６と同等の結果が得られた。しかし、比較例１３では、艶消し材として使用しているシリカの含有量が少ないため、表２－２に示すとおり、平均正反射率、表面光沢度が実施例１４より高くなった。一方、比較例１４のフィルムでは、ＳＥＭで断面観察を行ったが、シリカの含有量が多いため、フィルム内での分散が悪く、凝集が見られ、良好なフィルム外観が得られなかった。
　実施例２５、２６および比較例１３のフィルムについて打ち抜き加工を行い、その端面について金属顕微鏡で反射の程度を観察したところ、実施例２５、２６で作製した黒色ポリイミドフィルムでは、端面反射や表面光沢は弱く、良好であった。しかし、比較例１３のフィルムでは、端面反射や表面光沢は実施例１６に比べ強かった。その端面をＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）やＥＰＭＡ（電子線マイクロアナライザ）で調べた結果、端面には微細な凹凸が観察されず、平坦な面が多数見られた。シリカの含有量が少なかったために微細な凹凸が形成されず、光散乱が不十分となったことが原因と考えられる。
　なお、実施例２５、２６及び比較例１３のフィルムについては、加熱処理後の平均正反射率、平均光学濃度、フィルムの明度は加熱処理前と比べて変化しなかった。
　よって、実施例２５、２６の黒色ポリイミドフィルムは、平均光学濃度、平均正反射率、表面光沢度、明度、打ち抜き加工後の端面反射や表面光沢性、耐熱性について良好であり、このような黒色耐熱遮光フィルムは、高温度環境下、レンズユニット内で使用される固定絞り、シャッター羽根、液晶プロジェクターの絞りなどの部材として利用することができる。しかし、比較例１３のフィルムでは表面及び端面反射、表面光沢度が高いこと、比較例１４のフィルムでは、良好なフィルム外観が得られないことからこと、絞り材として利用することはできない。

（実施例２７）
　無機充填材としてアルミナを用いた以外は、実施例１６と同様のフィルムの種類と厚み、黒色顔料の種類と含有量、フィルム作製方法、マット処理加工で実施した。
　マット処理加工後のフィルム両表面の算術平均高さＲａは、０．４４μｍであった。
　表面凹凸形成後の黒色ポリイミドフィルムの波長３８０～７８０ｎｍにおける平均正反射率および平均光学濃度、表面光沢度を測定したところ、実施例１６と同等の結果が得られた。また、フィルムの明度Ｌ^＊値も、表２－２に示すとおり、実施例１６と同等となり、黒色度が高いことがわかった。
　また、実施例１６のフィルムと同様に打ち抜き加工を行い、その端面について金属顕微鏡で反射の程度を観察したところ、実施例２７で作製した黒色ポリイミドフィルムでは、端面反射や表面光沢は実施例１６と同等に弱く、良好であった。その端面をＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）やＥＰＭＡ（電子線マイクロアナライザ）で調べた結果、端面には微細な凹凸が観察された。
　また、加熱処理後の平均正反射率、平均光学濃度、フィルムの明度Ｌ^＊値は加熱処理前と比べて変化しなかった。
　よって、実施例２７の黒色ポリイミドフィルムは、平均光学濃度、平均正反射率、表面光沢度、明度、打ち抜き加工後の端面の反射性、耐熱性について良好であり、このような黒色耐熱遮光フィルムは、高温度環境下で使用されるレンズユニット内で使用される固定絞り、シャッター羽根、液晶プロジェクターの絞りなどの部材として利用することができる。

（実施例２８）
　無機充填材として酸化チタンを用いた以外は、実施例１６と同様のフィルムの種類と厚み、黒色顔料の種類と含有量、フィルム作製方法、マット処理加工で実施した。
　マット処理加工後のフィルム両表面の算術平均高さＲａは、０．４４μｍであった。
　表面凹凸形成後の黒色ポリイミドフィルムの波長３８０～７８０ｎｍにおける平均正反射率および平均光学濃度、表面光沢度を測定したところ、実施例１６と同等の結果が得られた。また、フィルムの明度Ｌ^＊値も、表２－２に示すとおり、実施例１６と同等となり、黒色度が高いことがわかった。
　また、実施例１６のフィルムと同様に打ち抜き加工を行い、その端面について金属顕微鏡で反射の程度を観察したところ、実施例２８で作製した黒色ポリイミドフィルムでは、端面反射や表面光沢は実施例１６と同等に弱く、良好であった。その端面をＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）やＥＰＭＡ（電子線マイクロアナライザ）で調べた結果、端面には微細な凹凸が観察された。
　また、加熱処理後の平均正反射率、平均光学濃度、フィルムの明度Ｌ^＊値は加熱処理前と比べて変化しなかった。
　よって、実施例２８の黒色ポリイミドフィルムは、平均光学濃度、平均正反射率、表面光沢度、明度、打ち抜き加工後の端面の反射性、耐熱性について良好であり、このような黒色耐熱遮光フィルムは、高温度環境下で使用されるレンズユニット内で使用される固定絞り、シャッター羽根、液晶プロジェクターの絞りなどの部材として利用することができる。

（実施例２９）
　黒色顔料としてチタンブラックを用いた以外は、実施例１６と同様のフィルムの種類と厚み、黒色顔料の含有量、無機充填材の種類と含有量、フィルム作製方法、マット処理加工で実施した。
　マット処理加工後のフィルム両表面の算術平均高さＲａは、表２－１に示すとおり、０．４４μｍであった。
　表面凹凸形成後の黒色ポリイミドフィルムの波長３８０～７８０ｎｍにおける平均正反射率および平均光学濃度、表面光沢度は、表２－２に示すとおり、実施例１６と同等の結果が得られた。また、フィルムの明度Ｌ^＊値も表２－２に示すとおり、実施例１６と同等となり、黒色度が高いことがわかった。
　また、実施例１６のフィルムと同様に打ち抜き加工を行い、その端面について金属顕微鏡で反射の程度を観察したところ、実施例２９で作製した黒色ポリイミドフィルムでは、端面での正反射や表面光沢は実施例１６と同等に弱く、良好であった。その端面をＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）やＥＰＭＡ（電子線マイクロアナライザ）で調べた結果、端面には微細な凹凸が観察された。
　また、加熱処理後の平均正反射率、平均光学濃度、フィルムの明度Ｌ^＊値は加熱処理前と比べて変化しなかった。
　よって、実施例２９の黒色ポリイミドフィルムは、平均光学濃度、平均正反射率、表面光沢度、明度、打ち抜き加工後の端面反射や表面光沢性、耐熱性について良好であり、このような黒色耐熱遮光フィルムは、高温度環境下、レンズユニット内で使用される固定絞り、シャッター羽根、液晶プロジェクターの絞りなどの部材として利用することができる。

（実施例３０）
　黒色顔料としてアニリンブラックを用いた以外は、実施例１６と同様のフィルムの種類と厚み、黒色顔料の含有量、無機充填材の種類と含有量、フィルム作製方法、マット処理加工で実施した。
　マット処理加工後のフィルム両表面の算術平均高さＲａは、表２－１に示すとおり、０．４５μｍであった。
　表面凹凸形成後の黒色ポリイミドフィルムの波長３８０～７８０ｎｍにおける平均正反射率および平均光学濃度、表面光沢度は、表２－２に示すとおり、実施例１６と同等の結果が得られた。また、フィルムの明度Ｌ^＊値も表２－２に示すとおり、実施例１６と同等となり、黒色度が高いことがわかった。
　また、実施例１６のフィルムと同様に打ち抜き加工を行い、その端面について金属顕微鏡で反射の程度を観察したところ、実施例３０で作製した黒色ポリイミドフィルムでは、端面反射や表面光沢は実施例１６と同等に弱く、良好であった。その端面をＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）やＥＰＭＡ（電子線マイクロアナライザ）で調べた結果、端面には微細な凹凸が観察された。
　また、加熱処理後の平均正反射率、平均光学濃度、フィルムの明度Ｌ^＊値は加熱処理前と比べて変化しなかった。
　よって、実施例３０の黒色ポリイミドフィルムは、平均光学濃度、平均正反射率、表面光沢度、明度、打ち抜き加工後の端面反射や表面光沢性、耐熱性について良好であり、このような黒色耐熱遮光フィルムは、高温度環境下で使用されるレンズユニット内に設置される固定絞り、シャッター羽根、液晶プロジェクターの絞りなどの部材として利用することができる。

（実施例３１）
　ポリフェニレンサルファイド樹脂に溶剤としてＮ－メチル－２－ピロリドンを加え、表３－１に示すように、溶液の固形物１００重量部に対して、黒色顔料としてカーボンブラック（平均粒子径０．０５μｍ）を１２．０重量部、無機充填材としてシリカを４．０重量部含有し、ローラーミルを用いて混合し、黒色ポリフェニレンサルファイド樹脂溶液を作製した。ブレードコーターを用いて、加熱乾燥後のフィルム厚みが２５μｍとなるように、支持体上に、作製した樹脂溶液を塗工し、１５０℃で２０分、その後２２０℃で１時間加熱乾燥した後で、支持体から剥離し、黒色ポリフェニレンサルファイドフィルムを作製した。
　フィルム両表面について、ショット材として硅砂（平均粒子径１００μｍ）を用い、まずフィルム片面について、５ｍ／分の速度でフィルムを搬送しながら、２０ｋｇ／ｍ^２の硅砂をショットした後、水で３分間水洗し、８０℃で２分間乾燥した。次に、フィルムを裏返し、片面と同様のマット処理加工を施し、表面凹凸を加工して、算術平均高さＲａが０．２２μｍの表面凹凸を形成した。
　表面凹凸形成後の黒色ポリフェニレンサルファイドフィルムの波長３８０～７８０ｎｍにおける平均正反射率は０．３４％、表面光沢度は６であった。平均光学濃度は４．０以上となり、完全遮光性を有していた。また、フィルムの明度を表すＬ^＊値は、３０となり、黒色度が高いことがわかった。
　作製した黒色耐熱遮光フィルムを打ち抜き加工し、その端面について金属顕微鏡で反射の程度を観察したところ、実施例３１で作製した黒色ポリフェニレンサルファイドフィルムでは、端面反射や表面光沢は弱く、良好であった。その端面をＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）やＥＰＭＡ（電子線マイクロアナライザ）で調べた結果、端面には微細な凹凸が観察され、光の散乱に寄与し、低反射や低表面光沢となったものと考えられる。
　また、大気中、１５５℃、２００℃、２７０℃で３０分間加熱処理した結果、１５５℃、２００℃での波長３８０～７８０ｎｍにおける平均正反射率、平均光学濃度、明度は加熱処理前と比べて変化しなかったが、２７０℃ではフィルムの変形が著しかった。
　よって、実施例３１の黒色ポリフェニレンサルファイドフィルムは、２００℃以下の使用環境下では平均光学濃度、平均正反射率、表面光沢度、明度、打ち抜き加工後の端面反射や表面光沢性、耐熱性について良好であり、このような黒色耐熱遮光フィルムは、２００℃以下で使用されるレンズユニット内に設置される固定絞り、シャッター羽根、液晶プロジェクターの絞りなどの部材として利用することができる。

（実施例３２～３４）（比較例１５、１６）
　マット処理加工で形成されるフィルム両表面の算術平均高さＲａを表３－１に示すとおり、０．３４μｍ（実施例３２）、１．１４μｍ（実施例３３）、２．２０μｍ（実施例３４）、２．３０μｍ（比較例１５）、０．１０μｍ（比較例１６）とした以外は、フィルムの厚み、黒色顔料および無機充填材の種類と含有量、フィルム作製方法、マット処理加工は実施例３１と同様にした。
　表面凹凸形成後の黒色ポリフェニレンサルファイドフィルムの波長３８０～７８０ｎｍにおける平均正反射率および平均光学濃度、表面光沢度、明度Ｌ^＊値を測定したところ、実施例３２～３４および比較例１５では、表３－１、表３－２に示すとおり、実施例３１と同等の結果が得られた。しかし、比較例１６は平均光学濃度、明度Ｌ^＊値は表３－２に示すとおり、実施例３１と同等であったが、平均正反射率、表面光沢度が実施例３１に比べ高くなった。しかし、比較例１５では、フィルムの算術平均高さＲａを大きくするために、マット処理加工での搬送速度を非常に遅くしたことでフィルムに微細な穴が多数発生し、良好なフィルムは得られなかった。
　よって、比較例１５の黒色ポリフェニレンサルファイドフィルムは波長３８０～７８０ｎｍにおける平均光学濃度、平均正反射率、表面光沢度、フィルムの明度が良好であったが、外観上、良好なフィルムが得られなかった。
　よって、比較例１６の黒色ポリフェニレンサルファイドフィルムでは波長３８０～７８０ｎｍにおける平均光学濃度、フィルムの明度が良好であったが、平均正反射率、表面光沢度が高いためレンズユニット内に設置される固定絞り、シャッター羽根、液晶プロジェクターの絞りなどの部材として用いることはできない。
　作製した実施例３２～３４、比較例１５、１６の黒色耐熱遮光フィルムを実施例３１と同様に打ち抜き加工し、その端面について金属顕微鏡で反射の程度を観察したところ、端面反射や表面光沢は実施例３１と同等に弱く、良好であった。その端面をＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）やＥＰＭＡ（電子線マイクロアナライザ）で調べた結果、端面には微細な凹凸が観察され、その凹凸部にはシリカが存在していた。
　なお、実施例３２～３４、比較例１６のフィルムについて大気中、１５５℃、２００℃での加熱処理後の平均正反射率、表面光沢度、平均光学濃度、フィルムの明度は加熱処理前と比べて変化しなかったが、２７０℃での加熱ではフィルムの変形が著しかった。
　よって、実施例３２～３４の黒色ポリフェニレンサルファイドフィルムは、平均光学濃度、平均正反射率、表面光沢度、打ち抜き加工後の端面反射や表面光沢性、明度が良好であるが、２７０℃の耐熱性はないため、ウェハー・レベル・チップサイズ・パッケージ（ＷＬＣＳＰ）構造のカメラモジュール用の絞り部材には使用できないものの、少なくとも使用温度が２００℃までの絞り材、羽根材としては利用できる。
　しかし、良好なフィルムが得られなかった比較例１５の黒色ポリフェニレンサルファイドフィルムは固定絞り、シャッター羽根、液晶プロジェクターの絞りなどの部材として利用することができない。

（実施例３５，３６）
　黒色ポリフェニレンサルファイドフィルムの厚みを１２μｍ（実施例３５）、７μｍ（実施例３６）に変えた以外は、実施例３１と同様の黒色顔料および無機充填材の種類、含有量、フィルム作製方法、マット処理加工とした。フィルム両表面の算術平均高さＲａは表２に示すとおり、０．２７μｍ（実施例３５）、０．３４μｍ（実施例３６）であった。
　得られた黒色ポリフェニレンサルファイドフィルムの波長３８０～７８０ｎｍにおける平均正反射率および平均光学濃度、表面光沢度を測定したところ、実施例３１と同等の結果が得られた。また、フィルムの明度Ｌ^＊値も実施例３１と同等となり、黒色度が高いことがわかった。
　作製した実施例３５、３６の黒色耐熱遮光フィルムを実施例２７と同様に打ち抜き加工し、その端面について金属顕微鏡で反射の程度を観察したところ、端面反射や表面光沢は実施例２７と同等に弱く、良好であった。その端面をＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）やＥＰＭＡ（電子線マイクロアナライザ）で調べた結果、端面には微細な凹凸が観察され、その凹凸部にはシリカが存在していた。
　なお、実施例３５、３６の黒色ポリフェニレンサルファイドフィルムを大気中、１５５℃、２００℃での加熱処理したところ、平均正反射率、表面光沢度、平均光学濃度、フィルムの明度Ｌ^＊値は加熱処理前と比べて変化しなかったが、２７０℃での加熱ではフィルムの変形が著しかった。
　よって、実施例３５、３６の黒色ポリフェニレンサルファイドフィルムは、平均光学濃度、平均正反射率、表面光沢度、明度、打ち抜き加工後の端面反射や表面光沢性が良好であるが、２７０℃での耐熱性はないため、ウェハー・レベル・チップサイズ・パッケージ（ＷＬＣＳＰ）構造のカメラモジュール用の絞り部材には使用できないものの、少なくとも使用温度が２００℃までの絞り材、羽根材としては利用できる。

（実施例３７～３９）（比較例１７、１８）
　黒色顔料のカーボンブラックの含有量を表３－１に示すとおり、４．０重量部（比較例１７）、５．０重量部（実施例３７）、１５．０重量部（実施例３８）、２２．０重量部（実施例３９）、２３．０重量部（比較例１８）とした以外は、実施例３１と同様な厚みの黒色ポリフェニレンサルファイドフィルムを作製した。なお、マット処理加工も実施例３１と同様に実施した。
　表面凹凸形成後の黒色ポリフェニレンサルファイドフィルム両表面の算術平均高さＲａは表３－１に示すとおり、０．３５μｍ（比較例１７）、０．３９μｍ（実施例３７）、０．３９μｍ（実施例３８）、０．４２μｍ（実施例３９）、０．７０μｍ（比較例１８）であった。
　また、得られた黒色ポリフェニレンサルファイドフィルムの波長３８０～７８０ｎｍにおける平均正反射率および平均光学濃度、表面光沢度、明度Ｌ^＊値を測定したところ、実施例３８、３９および比較例１８は、表３－２に示すとおり、実施例３１と同等の結果が得られた。一方、表３－２に示すとおり、比較例１７、実施例３７のフィルムの波長３８０～７８０ｎｍにおける平均正反射率は実施例３１と同等であったが、平均光学濃度はそれぞれ２．８、３．５となり、完全遮光性を有していないことがわかった。また、比較例１７のフィルムでは明度Ｌ^＊値が実施例３１に比べ高くなり、黒色度が低いことがわかった。
　比較例１７のフィルムでは、カーボンブラックの含有量が小さいためカーボンブラックの光吸収が不十分であったため光の遮光性が低かったものと考えられる。一方、比較例１８のフィルムでは、カーボンブラック含有量が高いため、カーボンブラックの均一な分散がされておらず、表面凹凸、平均光学濃度、平均正反射率、表面光沢度、明度など特性が不均一であり、良好なフィルムは得られなかった。
　作製した実施例３７～３９、比較例１８の黒色耐熱遮光フィルムを打ち抜き加工し、その端面について金属顕微鏡で反射の程度を観察したところ、端面反射や表面光沢は見られなかった。その端面をＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）やＥＰＭＡ（電子線マイクロアナライザ）で調べた結果、端面には微細な凹凸が観察され、その凹凸部にはシリカが存在していた。比較例１７については、カーボンブラックの含有量が少ないため、光吸収が不十分となり、端面反射や表面光沢が見られた。
　また、大気中、１５５℃、２００℃での加熱処理後の平均正反射率、平均光学濃度、フィルムの明度は加熱処理前と比べて変化しなかったが、２７０℃での加熱ではフィルムの変形が著しかった。
　よって、実施例３８、３９の黒色ポリフェニレンサルファイドフィルムは、平均光学濃度、平均正反射率、表面光沢度、明度、打ち抜き加工後の端面反射や表面光沢性が良好であるが、２７０℃での耐熱性はないため、ウェハー・レベル・チップサイズ・パッケージ（ＷＬＣＳＰ）構造のカメラモジュール用の絞り部材には使用できないものの、少なくとも使用温度が２００℃までの絞り材、羽根材としては利用できる。
　また、平均光学濃度が３．５と完全遮光性を有していなかった実施例３７については、レンズユニット内で完全遮光性を必要としない部位であれば限定的に利用することができる。
　なお、平均光学濃度が著しく低く、加工後の端面反射や表面光沢の強い比較例１７や良好なフィルム外観が得られなかった比較例１８のフィルムは、固定絞り、シャッター羽根、液晶プロジェクターの絞りなどの部材として利用することができない。

（比較例１９）
　フィルム作製過程で黒色顔料を含有しないでポリフェニレンサルファイドフィルムを作製した以外は、実施例３１と同様のフィルム厚み、無機充填材の種類と含有量、マット処理加工で実施した。
　表面凹凸形成のフィルム両表面の算術平均高さＲａは表３－１に示すとおり、０．３２μｍであった。得られたポリフェニレンサルファイドフィルムの波長３８０～７８０ｎｍにおける平均正反射率、表面光沢度を測定したところ、表３－２に示すとおり、実施例３１より高かった。また、平均光学濃度は、０．３となり、実施例３１より平均光学濃度が小さかった。フィルムの明度Ｌ^＊値は、５１となり、黒色度は非常に低かった。
　打ち抜き加工後の端面反射の程度を実施例２７と同様に金属顕微鏡で観察した結果、端面反射や表面光沢が実施例３１より強いことがわかった。その端面をＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）やＥＰＭＡ（電子線マイクロアナライザ）で調べた結果、端面には微細な凹凸が観察され、その凹凸部にはシリカが存在していることがわかった。これは、光を吸収するカーボンブラックが含有されていないため端面反射や表面光沢が強くなったものと考えられる。
　また、大気中、１５５℃、２００℃、２７０℃で加熱処理を行ったが、１５５℃と２００℃では加熱処理後の平均正反射率、平均光学濃度、フィルムの明度Ｌ^＊値は加熱処理前と比べて変化しなかったが、２７０℃での加熱ではフィルムの変形が著しかった。
　よって、比較例１９のポリフェニレンサルファイドフィルムは、平均光学濃度が低く、平均正反射率と表面光沢度が高く、さらに、黒色度も低いことから、レンズユニット内に設置される固定絞り、シャッター羽根、液晶プロジェクターの絞りなどの部材として利用することができない。

（実施例４０、４１）（比較例２０、２１）
　無機充填材の含有量を２．０重量部（実施例４０）、２５．０重量部（実施例４１）、１．０重量部（比較例２０）、２６．０重量部（比較例２１）とした以外は、実施例３１と同様な黒色顔料の種類と含有量、無機充填材の種類、フィルム厚み、フィルム作製方法、マット処理加工とした。
　表面凹凸形成後の黒色ポリフェニレンサルファイドフィルム両表面の算術平均高さＲａは、表３－１に示すように、０．３６μｍ（実施例４０）、０．４０μｍ（実施例４１）、０．４１（比較例２０）、０．５０（比較例２１）であった。
　また、得られた黒色ポリフェニレンサルファイドフィルムの波長３８０～７８０ｎｍにおける平均正反射率および平均光学濃度、表面光沢度、明度Ｌ^＊値を測定したところ、表３－２に示すとおり、実施例４０、４１および比較例２１では実施例３１と同等の結果が得られた。しかし、比較例２０のフィルムでは、艶消し材として使用しているシリカの含有量が少ないため、表３－２に示すとおり、平均正反射率、表面光沢度が実施例３１より高くなった。一方、比較例２１のフィルムでは、ＳＥＭで断面観察を行ったが、シリカの含有量が多いため、フィルム内での分散が悪く、凝集が見られ、良好なフィルム外観が得られなかった。
　実施例４０、４１、比較例２０のフィルムについて、実施例３１と同様に打ち抜き加工を行い、端面の反射の程度を金属顕微鏡で観察した結果、実施例４０、４１で作製した黒色ポリフェニレンサルファイドフィルムでは、端面反射や表面光沢は実施例２７と同等に弱く、良好であった。しかし、比較例２０のフィルムでは、端面反射や表面光沢は実施例３１より強かった。その端面をＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）やＥＰＭＡ（電子線マイクロアナライザ）で調べた結果、端面には微細な凹凸が観察されず、平坦な面が多数見られた。シリカの含有量が少なかったために微細な凹凸が形成されず、光散乱が不十分となったことが原因と考えられた。
　なお、実施例３６、３７および比較例２０のフィルムについては、大気中、１５５℃、２００℃、２７０℃で加熱処理を行ったが、１５５℃と２００℃では加熱処理後の平均正反射率、平均光学濃度、フィルムの明度Ｌ^＊値は加熱処理前と比べて変化しなかったが、２７０℃での加熱ではフィルムの変形が著しかった。
　よって、実施例４０、４１の黒色ポリフェニレンサルファイドフィルムは、平均光学濃度、平均正反射率、表面光沢度、明度、打ち抜き加工後の端面反射性について良好であり、このような黒色耐熱遮光フィルムは、２００℃以下で使用される固定絞り、シャッター羽根、液晶プロジェクターの絞りなどの部材として利用することができる。しかし、比較例２０のフィルムでは表面及び端面の反射、表面光沢性が高いこと、比較例２１のフィルムでは、良好なフィルム外観が得られないことからこと、絞り材として利用することはできない。

（実施例４２）
　無機充填材としてアルミナを用いた以外は、実施例３１と同様のフィルムの種類、厚み、黒色顔料の種類と含有量、フィルム作製方法、マット処理加工とした。
　マット処理加工後のフィルム両表面の算術平均高さＲａは、表３－１に示すとおり、０．４４μｍであった。
　表面凹凸形成後の黒色ポリフェニレンサルファイドフィルムの波長３８０～７８０ｎｍにおける平均正反射率および平均光学濃度、表面光沢度を測定したところ、実施例３１と同等の結果が得られた。また、フィルムの明度Ｌ^＊値も実施例３１と同等となり、黒色度が高いことがわかった。
　また、実施例３１のフィルムと同様に打ち抜き加工を行い、金属顕微鏡で端面の反射の程度を観察した結果、実施例４３では、端面反射や表面光沢は実施例３１と同等に弱く、良好であった。その端面をＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）やＥＰＭＡ（電子線マイクロアナライザ）で調べた結果、端面には微細な凹凸が観察された。この微細な凹凸が光散乱に寄与し、低反射や低表面光沢になったと考えられた。
　また、大気中、１５５℃、２００℃、２７０℃で加熱処理を行ったが、１５５℃と２００℃では加熱処理後の平均正反射率、平均光学濃度、フィルムの明度Ｌ^＊値は加熱処理前と比べて変化しなかったが、２７０℃での加熱ではフィルムの変形が著しかった。
　よって、実施例４２の黒色ポリフェニレンサルファイドフィルムは、平均光学濃度、平均正反射率、表面光沢度、明度、打ち抜き加工後の端面反射性について良好であり、このような黒色耐熱遮光フィルムは、２００℃以下で使用されるレンズユニット内に設置される固定絞り、シャッター羽根、液晶プロジェクターの絞りなどの部材として利用することができる。

（実施例４３）
　無機充填材として酸化チタンを用いた以外は、実施例３１と同様のフィルムの種類、厚み、黒色顔料の種類と含有量、フィルム作製方法、マット処理加工とした。
　マット処理加工後のフィルム両表面の算術平均高さＲａは、表３－１に示すとおり、０．４４μｍであった。
　表面凹凸形成後の黒色ポリフェニレンサルファイドフィルムの波長３８０～７８０ｎｍにおける平均正反射率および平均光学濃度、表面光沢度を測定したところ、実施例３１と同等の結果が得られた。また、フィルムの明度Ｌ^＊値も実施例３１と同等となり、黒色度が高いことがわかった。
　また、実施例３１のフィルムと同様に打ち抜き加工を行い、金属顕微鏡で端面の反射の程度を観察した結果、実施例４３では、端面反射や表面光沢は実施例３１と同等に弱く、良好であった。その端面をＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）やＥＰＭＡ（電子線マイクロアナライザ）で調べた結果、端面には微細な凹凸が観察された。この微細な凹凸が光散乱に寄与し、低反射や低表面光沢になったと考えられた。
　また、大気中、１５５℃、２００℃、２７０℃で加熱処理を行ったが、１５５℃と２００℃では加熱処理後の平均正反射率、平均光学濃度、フィルムの明度Ｌ^＊値は加熱処理前と比べて変化しなかったが、２７０℃での加熱ではフィルムの変形が著しかった。
　よって、実施例４３の黒色ポリフェニレンサルファイドフィルムは、平均光学濃度、平均正反射率、表面光沢度、明度、打ち抜き加工後の端面反射性について良好であり、このような黒色耐熱遮光フィルムは、２００℃以下で使用されるレンズユニット内に設置される固定絞り、シャッター羽根、液晶プロジェクターの絞りなどの部材として利用することができる。

（実施例４４）
　黒色顔料としてチタンブラックを用いた以外は、実施例３１と同様のフィルムの種類と厚み、黒色顔料の含有量、無機充填材の種類と含有量、フィルム作製方法、マット処理加工で実施した。
　マット処理加工後のフィルム両表面の算術平均高さＲａは、表３－１に示すとおり、０．４４μｍであった。
　表面凹凸形成後の黒色ポリフェニレンサルファイドフィルムの波長３８０～７８０ｎｍにおける平均正反射率および平均光学濃度、表面光沢度を測定したところ、表３－２に示すとおり、実施３１と同等の結果が得られた。また、フィルムのＬ^＊値も実施例３１と同等となり、黒色度が高いことがわかった。
　また、実施例３１のフィルムと同様に打ち抜き加工を行い、金属顕微鏡で端面の反射の程度を観察した結果、端面反射や表面光沢は実施例３１と同等に弱く、良好であった。その端面をＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）やＥＰＭＡ（電子線マイクロアナライザ）で調べた結果、端面には微細な凹凸が観察された。この微細な凹凸が光散乱に寄与し、低反射や低表面光沢になったと考えられた。
　また、大気中、１５５℃、２００℃、２７０℃で加熱処理を行ったが、１５５℃と２００℃では加熱処理後の平均正反射率、平均光学濃度、フィルムの明度Ｌ^＊値は加熱処理前と比べて変化しなかったが、２７０℃での加熱ではフィルムの変形が著しかった。
　よって、実施例４４の黒色ポリフェニレンサルファイドフィルムは、平均光学濃度、平均正反射率、表面光沢度、明度、打ち抜き加工後の端面反射性について良好であり、このような黒色耐熱遮光フィルムは、２００℃以下で使用されるレンズユニット内に設置される固定絞り、シャッター羽根、液晶プロジェクターの絞りなどの部材として利用することができる。

（実施例４５）
　黒色顔料としてアニリンブラックを用いた以外は、実施例３１と同様のフィルムの種類と厚み、黒色顔料の含有量、無機充填材の種類と含有量、フィルム作製方法、マット処理加工で実施した。
　マット処理加工後のフィルム両表面の算術平均高さＲａは、表３－１に示すとおり、０．４３μｍであった。
　表面凹凸形成後の黒色ポリフェニレンサルファイドフィルムの波長３８０～７８０ｎｍにおける平均正反射率および平均光学濃度、表面光沢度を測定したところ、表３－２に示すとおり、実施３１と同等の結果が得られた。また、フィルムのＬ^＊値も実施例３１と同等となり、黒色度が高いことがわかった。
　また、実施例３１のフィルムと同様に打ち抜き加工を行い、金属顕微鏡で端面の反射の程度を観察した結果、端面反射や表面光沢は実施例３１と同等に弱く、良好であった。その端面をＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）やＥＰＭＡ（電子線マイクロアナライザ）で調べた結果、端面には微細な凹凸が観察された。この微細な凹凸が光散乱に寄与し、低反射や低表面光沢になったと考えられた。
　また、大気中、１５５℃、２００℃、２７０℃で加熱処理を行ったが、１５５℃と２００℃では加熱処理後の平均正反射率、平均光学濃度、フィルムの明度Ｌ^＊値は加熱処理前と比べて変化しなかったが、２７０℃での加熱ではフィルムの変形が著しかった。
　よって、実施例４５の黒色ポリフェニレンサルファイドフィルムは、平均光学濃度、平均正反射率、表面光沢度、明度、打ち抜き加工後の端面反射性について良好であり、このような黒色耐熱遮光フィルムは、２００℃以下で使用されるレンズユニット内に設置される固定絞り、シャッター羽根、液晶プロジェクターの絞りなどの部材として利用することができる。

（実施例４６～４８）
　樹脂フィルムの原料をポリアミドイミド樹脂からポリエチレンナフタレート樹脂（実施例４６）、アラミド樹脂（実施例４７）、ポリエーテルサルフォン樹脂（実施例４８）に変えた。実施例４８で溶剤としてＮ－メチル－２－ピロリドンを用いた以外は、フィルム厚み、黒色顔料および無機充填材の種類と含有量、マット処理加工は実施例１と同様に実施した。また、フィルム作製において、支持体から剥離した後の各樹脂溶液の乾燥温度は、１５０℃（実施例４６、４８）で実施し、実施例４７では実施例１と同様に実施した。表面凹凸形成後の黒色耐熱遮光フィルム両表面の算術平均高さＲａは、表３－１に示すとおり、０．４０μｍ（実施例４６）、０．４３μｍ（実施例４７）、０．４２μｍ（実施例４８）であった。
　表面凹凸形成後の黒色耐熱遮光フィルムの波長３８０～７８０ｎｍにおける平均正反射率および平均光学濃度、表面光沢度を測定したところ、実施例１と同等の結果が得られた。また、フィルムの明度を表すＬ^＊値も実施例１と同等となり、黒色度が高いことがわかった。
　また、実施例１のフィルムと同様に打ち抜き加工を行い、金属顕微鏡で端面の反射の程度を観察した結果、実施例４６～４８の黒色耐熱遮光フィルムでは、端面反射や表面光沢は実施例１と同等に弱く、良好であった。その端面をＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）やＥＰＭＡ（電子線マイクロアナライザ）で調べた結果、端面には微細な凹凸が観察された。この微細な凹凸が光散乱に寄与し、低反射や低表面光沢になったと考えられた。
　大気中、１５５℃、２００℃、２７０℃で３０分間加熱処理した結果、実施例４６は２００℃と２７０℃、実施例４８では２７０℃でフィルムが著しく変形した。実施例４７では１５５℃、２００℃、２７０℃で変形はしなかった。
　フィルムが変形しなかった温度までの波長３８０～７８０ｎｍにおける平均正反射率、平均光学濃度は、加熱処理前と比べて変化しなかった。また、明度も加熱処理前と比べて変化しなかった。
　よって、実施例４６の黒色ポリエチレンナフタレートフィルムは少なくとも１５５℃、実施例４７の黒色アラミドフィルムは少なくとも２７０℃、実施例４８の黒色ポリエーテルサルフォンは少なくとも２００℃までの耐熱性があり、平均光学濃度、平均正反射率、表面光沢度、打ち抜き加工後の端面反射性や表面光沢性、明度は良好であったことから、各耐熱温度までで使用されるレンズユニット内に設置される固定絞り、シャッター羽根、液晶プロジェクターの絞りなどの部材として利用することができる。

（実施例４９）
　実施例１で作製した黒色ポリアミドイミドフィルムの両面に、耐熱性の高いアクリル系粘着剤（住友スリーエム社製、商品名：９０７９）を用いた厚さ５０μｍの粘着層を形成し、耐熱遮光テープを作製した。
　大気中、２７０℃での加熱処理後においても波長３８０～７８０ｎｍにおける平均光学濃度が４．０以上の完全遮光性を有した。また、波長３８０～７８０ｎｍにおける平均正反射率が０．２４％と低反射となり、加熱処理前後で平均光学濃度、平均正反射率、表面光沢度の変化はなかった。
　したがって、実施例４３の黒色ポリアミドイミドフィルムはその両面に粘着層を形成しているので、ＣＣＤやＣＭＯＳなどの撮像素子の裏面側周辺部に貼り付けることができるから、撮像素子裏面へ入射する漏れ光を遮断するための黒色耐熱遮光フィルムとして有用である。

（実施例５０，５１）
　実施例１で作製した黒色ポリアミドイミドフィルム（実施例５０）や実施例１６で作製した黒色ポリイミドフィルム（実施例５１）の両面に、微粘着層をもった保護シートをラミネートした。１００ｍｍ角のシートに裁断し、シート内で８０ｍｍφの円内に、各絞りがその外周部でリードによって連結された構造の外径４ｍｍφ、内径２ｍｍφのリング状の絞りを打ち抜き加工で多数作製した。打ち抜き加工では、リング状の絞りに打ち抜き後、８０ｍｍφのウェハー状に打ち抜き加工し、微粘着保護シートを剥離し、絞りが多数形成されたウェハーを得た。
　実施例１と同様に、実施例５０、５１で得られた個々の絞りについて、金属顕微鏡での端面反射の程度を観察した結果、端面反射や表面光沢は実施例１と同等に弱く、良好であった。また、金属顕微鏡で絞り表面の外観を観察したが、クラック、バリなど外観欠陥は見られなかった。
よって、実施例５０で作製した黒色ポリアミドイミドフィルム、実施例５１で作製した黒色ポリイミドフィルムは、ウェハー状で絞り形状に打ち抜くことが可能で、個々の端面の反射や表面光沢は低く、打ち抜きによるクラック、バリがないことから、ＷＬＣＳＰ構造のカメラモジュール用絞り材として非常に有用である。

　本発明の黒色耐熱遮光フィルムは、厚みが２５μｍ以下であって、可視光域（波長３８０～７８０ｎｍ）において低反射性、高遮光性、低表面光沢性を有しているため様々な光学部材に有用である。
　また、耐熱性樹脂が少なくとも黒色顔料と無機充填材を含有しているので、最近のデジタルカメラ、カメラ付き携帯電話、デジタルビデオカメラ、液晶プロジェクターなどの小型化、薄肉化の要望に対応した絞り材として極めて有用である。さらに、打ち抜き性に優れているために、ＷＬＣＳＰ向けの絞り材としても極めて有用である。
　さらに、本発明の黒色耐熱遮光フィルムは、軽量性に優れていることから、液晶プロジェクターの光量調整モジュール用絞り装置の絞り羽根材や、リフロー工程による組み立てに対応できる固定絞り材、シャッター羽根材並びに耐熱遮光テープとして利用することができるため、工業的価値が極めて高い。

Claims

　１５５℃以上の耐熱性を有する樹脂フィルム（Ａ）の両面に微細凹凸が形成された黒色耐熱遮光フィルムであって、
　樹脂フィルム（Ａ）が、黒色顔料（Ｂ）及び無機充填材（Ｃ）を含有する黒色フィルムであり、かつ、黒色耐熱遮光フィルムの厚みが２５μｍ以下、両表面の表面粗さ（算術平均高さＲａ）が０．２～２．２μｍであって、さらに、波長３８０～７８０ｎｍにおける光の遮光性の指標である平均光学濃度が３．５以上であることを特徴とする黒色耐熱遮光フィルム。
　前記平均光学濃度が、４．０以上であることを特徴とする請求項１に記載の黒色耐熱遮光フィルム。
　両表面の波長３８０～７８０ｎｍにおける平均正反射率が、０．４０％以下であることを特徴とする請求項１または２に記載の黒色耐熱遮光フィルム。
　樹脂フィルム（Ａ）が、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリフェニレンサルファイド、ポリエチレンナフタレート、アラミド、ポリエーテルエーテルケトン、又はポリエーテルサルフォンから選ばれた１種以上の耐熱性樹脂を主成分とするフィルムであることを特徴とする請求項１～３のいずれかに記載の黒色耐熱遮光フィルム。
　黒色顔料（Ｂ）が、カーボンブラック、アニリンブラック、チタンブラック、無機顔料ヘマタイト、又はペリレンブラックから選ばれた１種以上からなる顔料であることを特徴とする請求項１～４のいずれかに記載の黒色耐熱遮光フィルム。
　黒色顔料（Ｂ）の含有量が、耐熱性樹脂（固形物１００重量部）に対して、５～２２重量部であることを特徴とする請求項１～５のいずれかに記載の黒色耐熱遮光フィルム。
　無機充填材（Ｃ）が、アルミナ、酸化チタン、シリカ、酸化亜鉛、又はマグネシアから選ばれた１種以上であることを特徴とする請求項１～６のいずれかに記載の黒色耐熱遮光フィルム。
　無機充填材（Ｃ）の含有量が、耐熱性樹脂（固形物１００重量部）に対して、２～２５重量部であることを特徴とする請求項１～７のいずれかに記載の黒色耐熱遮光フィルム。
　ＣＩＥ（国際照明委員会）で標準化されている、Ｌ^＊ａ^＊ｂ^＊表色系測定（ＪＩＳＺ８７２９）において、Ｌ^＊（明度）が２５～４０であることを特徴とする請求項１～８のいずれかに記載の黒色耐熱遮光フィルム。
　各面の表面光沢度が８以下であることを特徴とする請求項１～９のいずれかに記載の黒色耐熱遮光フィルム。
　１５５℃以上の耐熱性を有する耐熱性樹脂に溶剤とともに、少なくとも黒色顔料（Ｂ）と無機充填材（Ｃ）を含有させて混練し、このスラリーを支持体に塗布し、乾燥して膜厚が５～２５μｍとなった樹脂フィルム（Ａ）を得た後、フィルム両表面の微細凹凸が０．２～２．２μｍの表面粗さ（算術平均高さＲａ）となるようにマット処理加工を行うことを特徴とする黒色耐熱遮光フィルムの製造方法。
　黒色顔料（Ｂ）の含有量が、耐熱性樹脂（固形物１００重量部）に対して、５～２２重量部であることを特徴とする請求項１１に記載の黒色耐熱遮光フィルムの製造方法。
　無機充填材（Ｃ）の含有量が、耐熱性樹脂（固形物１００重量部）に対して、２～２５重量部であることを特徴とする請求項１１に記載の黒色耐熱遮光フィルムの製造方法。
　請求項１～１０のいずれかに記載の黒色耐熱遮光フィルムを打ち抜き加工して得られる耐熱性に優れた絞りであって、得られた絞りの端面が低表面光沢性を有していることを特徴とする耐熱性に優れた絞り。
黒色耐熱遮光フィルムが、ウェハー・レベル・チップサイズ・パッケージ（ＷＬＣＳＰ）構造のカメラモジュールに利用されることを特徴とする請求項１４に記載の絞り。
　請求項１～１０のいずれかに記載の黒色耐熱遮光フィルムを打ち抜き加工して得られる耐熱性に優れた羽根材であって、得られた絞りの端面が低表面光沢性を有していることを特徴とする耐熱性に優れた羽根材。
　請求項１４，１５に記載の耐熱性に優れた絞り、または、請求項１６に記載の耐熱性に優れた羽根材のいずれかを具備していることを特徴とする光量調整モジュール。
　請求項１～１０のいずれかに記載の黒色耐熱遮光フィルムの片面、または両面に粘着層を設けてなる耐熱遮光テープ。