WO2010148569A1 - 发光玻璃元件、其制造方法及其发光方法 - Google Patents

发光玻璃元件、其制造方法及其发光方法 Download PDF

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light glass
light
glass
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周明杰
马文波
刘玉刚
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海洋王照明科技股份有限公司
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    • Y10T428/263—Coating layer not in excess of 5 mils thick or equivalent
    • Y10T428/264—Up to 3 mils
    • Y10T428/265—1 mil or less

Definitions

  • the materials of the work include: Nano-Hugh and glass, etc.
  • the glass In terms of glass, the glass is transparent, hard and well-qualified and light, and the glass is more easily processed into various shapes or sizes of devices or illuminations. light source. 3]
  • the radiation device in the vacuum micro-field, the radiation device usually uses light glass to force it in the field of illumination and field.
  • the working principle of the device is the phase array under vacuum (Fede ssve
  • a ays F s is applied to the optical material formed on the upward direction.
  • the operating temperature of the device (40 ° C 80 ° C), the same ( ⁇ s), , meet the green requirements.
  • materials such as rest, light glass, and film can be used as light-emitting materials in the radiation device, but they all have low efficiency. A large limiting device is used especially in the field of illumination.
  • the light glass element includes a light glass, and the surface of the glass has a gold gold and gold gleam glass.
  • Each light glass, the light glass, contains the following oxides of the general formula a O. bYO. cS . P O where force gold element a
  • This gold glass on the light glass can be used to form the surface at the interface of the lower glass, and the surface of the glass is the same as that of the rest surface, etc.
  • the efficiency of the glass is greatly improved, that is, the self-radiation of the light glass.
  • the enhancement greatly enhances the efficiency of the light glass and the efficiency of the light-emitting material is low. Therefore, in the method of the light glass element, it is only necessary to form a surface such as a gold glazing glass to enhance the reliability of the light glass and improve the reliability.
  • Each method of the one-step light glass component only needs to form a gold anneal on the light glass to obtain the desired light glass component, so that each has a potential for cost reduction. 17] will be in the group and this step
  • 21] 4 is a light glass component of gold, light glass, light, light, light, light, acceleration, 5 V
  • the light glass element 10 of the present invention includes a light glass 13 and a gold 14 on the surface of the light glass.
  • Gold 14 has gold micro gold and you have micro.
  • One step is to be non-periodic, that is, by the rules of the Golden Hugh.
  • Light glass Hugh 13 contains the following oxides of the general formula a O. bYO. cS. dP O where the force gold elements a, b, c, d each take a 25 60 b 1 30 c 20 70 d . 001 10.
  • the oxide containing the increased oxide in the light glass 13 has a sufficient effect in the light glass.
  • Light glass Hugh 13 has good light transmission properties.
  • gold 14 may be made of a well-qualified gold such as gold which is not easily oxidized, or may be formed of at least gold which is commonly used in gold, aluminum, aluminum, nickel, nickel, iron, nickel Very, at least gold in aluminum is formed.
  • the gold gods in gold 14 can be their gold or alloy.
  • the alloy may be an alloy of gold or more.
  • gold 14 may be a very aluminum alloy or a gold alloy, which has a weight fraction of 70% or more.
  • the thickness of gold 14 is 0.5 nm 200 nm and 1 nm 100 nm.
  • the light glass element 10 can be used in ultra high brightness and high speed optical devices such as displays, light sources or large products. Take
  • the phase of the array is applied to accelerate the formation
  • the gold 14 16 has a slight gold 13 light glass rest 13 to form a surface, etc.
  • the surface is equal to the rest surface, etc.
  • the efficiency of the glass is greatly improved, that is, the self-radiation of the light glass is enhanced and the light is greatly enhanced.
  • the efficiency of the glass rest is low and the efficiency of the light-emitting material is low.
  • the surface of the glass 13 forms a gold-gold glass. The uniformity of the surface can be improved evenly.
  • the flow of the method for manufacturing a light glass component of the present invention includes the following steps
  • the force gold elements a, b, c, d each take a 25 60 b 1 30 c 20 70 d .001 10
  • S03 will light the glass and anneal the gold under vacuum to make the gold into gold and form the desired light glass component.
  • the former similar gold 14 may be formed of gold which is well characterized, such as gold which is not easily oxidized, or may be formed of at least gold which is commonly used in gold, aluminum, aluminum, nickel, nickel, aluminum, nickel By gold, Very, at least gold in aluminum is formed.
  • the thickness of gold 14 is applied at a dose of 0.5 nm, 200 nm, and a force of 1 nm and 100 nm. Gold applies a, a, and at least.
  • step 502 gold is formed by the gold or the surface of the light glass.
  • Step S03 Hour as follows: Form a gold on the surface of the light glass at 5 C ⁇ 650 C vacuum fire her fire with 5 kun 5 small ⁇ natural to room temperature. The fire temperature is 10 °C ⁇ 50. C fire with the same force force 15 Kun 3 small.
  • the light glass element 10 has the front and the other.
  • the phase array is applied to form 16 at 16 under the first penetration of gold 14 and the friend's light glass is 13 at the surface of the interface of the gold 14 light glass 13
  • the efficiency of the rest of the glass is greatly improved, that is, the self-radiation of the light glass is enhanced, and the efficiency of the light glass is greatly enhanced.
  • PaS o SP is a tens of thousands of interfaces along the gold and interface. Gold surface surface, etc. (S acepaS o poa o s SPPs)
  • the nature, mode, and harmony will be significantly changed.
  • the SPPs do not limit the light waves in the size and control of the magnetic radiation that is manipulated into the microwave band. Therefore, the performance of SPPs is increased, the optical density of the glass is increased, and the self-radiation is enhanced, and the surface of the glass can be used.
  • the size x c , the upper method of the surface is 3 a2 . 9.8YO. 60S 2e
  • 2P2 light glass (the numbers before the oxides are the same below). Reusing each gold with a surface thickness of 2 nanometers, it will be annealed at a temperature of 300 C under a vacuum of less than x Pa, and then it will reach room temperature.
  • the light glass component of Yu Sheng's original light is the light shown in 4, 11 gold, glass, light, light
  • the light glass of the light glass element can be seen. Because of the same surface of the gold glass, the light glass component of the gold glass is 300 nm to 700 nm. The strength of the gold glass is 2. 2 times makes the light performance greatly improved. The following light and light are similar to each other. The light glass components also have similar strength effects.
  • Light glass each of which has a surface thickness of 200 nanometers, will be annealed at a temperature of 50 C under a vacuum of less than x Pa.
  • the light glass element of the present invention is obtained at room temperature.
  • the light glass is used for each of the gold nano-surfaces having a thickness of 100 nm.
  • the glass is annealed at a vacuum of less than x Pa at a temperature of 650 C and then cooled to room temperature to obtain a light glass element of the present invention.
  • the light glass is used for each of the thickness of 1 nm on the surface of the glass.
  • the vacuum will be annealed at a vacuum of less than x Pa at a temperature of 10 C.
  • the light glass element of the present invention is obtained at room temperature.
  • the use of gold at a surface thickness of 5 nm will be 450 at a vacuum of less than x Pa.
  • the temperature of C anneals her 15 to the room temperature to obtain the light glass component of the present.
  • the light glass is used for each of the glass thicknesses of 20 nm on the surface of the glass.
  • the vacuum glass is tempered at a vacuum of less than x Pa to obtain the light glass element in the room at room temperature.
  • the light glass is used at a thickness of 10 nm on the surface of the glass to be 15 under vacuum with a vacuum of less than x Pa.
  • the temperature of C is annealed to the room temperature to obtain the light glass component of the present.
  • the light glass is used for each of the thicknesses of 50 nm on the surface of the glass to be 20 under vacuum with a vacuum of less than x Pa.
  • the temperature of C anneals her 2.5 hours to room temperature to obtain the light glass component of the present. 61] 10
  • the light glass is used at a thickness of 150 nm on its surface and will be 350 at a vacuum of less than x Pa.
  • the temperature of C is annealed to her 0.5 hrs to room temperature to obtain the glazing element of the present invention.
  • the light glass is used at a thickness of 120 nm on its surface and will be 250 under vacuum with a vacuum of less than x Pa.
  • the temperature of C anneals her 2 to the room temperature to obtain the light glass component.
  • the size of the x c surface of the 33 7YO 58S 2e0.7 O light glass is used on each surface of the thickness of 40 nanometers of gold and nickel will be less than vacuum
  • the size of the xc surface of the 45 8YO 48SO2e .5P O light glass is used in each of the surface thickness of 80 nanometers of gold is very aluminum, of which the weight of gold and aluminum are 80% and 20% respectively, but the vacuum will be less than x Pa Under vacuum, 380.
  • the temperature of C anneals her 2 to the room temperature to obtain the light glass component.
  • the light glass is used in gold, gold and aluminum each having a surface thickness of 35 nm.
  • the weight of gold and aluminum in gold is 80% and 20%, respectively.
  • the vacuum will be annealed at a temperature of 70 C under a vacuum of less than x Pa.
  • the light glass element is then obtained at room temperature.
  • the light glass is used for each of the gold and gold aluminum having a surface thickness of 60 nm, wherein the weight of gold and aluminum in the gold is 90% and 10%, respectively, and then the temperature is annealed at 600 ° C under a vacuum of less than x Pa vacuum. . The light glass element in the room temperature is then obtained.
  • 13 gold, 14 gold, 14 can be formed at the interface of the 16th light glass, and the surface is formed on the surface of the rest, such as the rest surface, etc.
  • the efficiency is greatly improved, that is, the self-radiation of the light glass is enhanced to greatly enhance the efficiency of the light glass. Therefore, in the method of the light glass element, only the gold 13 16 gold 14 light glass is used to form the surface and the like, so as to enhance the reliability of the light glass.
  • each method of the light glass component it is only necessary to form a gold 14 in the light glass, and then anneal her to obtain the desired light glass component 10, so that each of the cost reduction prospects can be especially used in ultra high brightness. And high-speed optical devices such as the display. 79]
  • the above-mentioned powers are preferred and are not intended to limit any modifications, equivalent substitutions, etc. made within the spirit and principles of this document.

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Abstract

本发明涉及一种发光玻璃元件，其包括发光玻璃基体，该发光玻璃基体的表面设有一金属层，该金属层具金属显微结构。发光玻璃基体包含如下化学通式的复合氧化物：aM2O•bY2O3•cSiO2•dPr2O3 ，其中M为碱金属元素，a、b、c、d为摩尔份数，各自取值范围为：a为25~60，b为1~30，c为20~70，d为0.001~10。本发明还提供该发光玻璃元件制造方法及其发光方法。本发明的发光玻璃基体有金属层，能增强发光玻璃基体的发光效率，可用在超高亮度和高速运作的发光器件上。

Description

光玻璃元件 其制造方法及其 方法
木領域
本 于 光材料 水領域 涉及 玻璃 休作力 光材料的 光玻 璃元件、 其制造 及其 。
背景 木
□ 的作力 休的材料包括 、 納米 休及玻璃等 相 于 休和 而言 玻璃 有透明、 堅硬及良好化 定性和光 而且玻璃更容 易被加工成各 大小形狀的 各 形狀或尺寸的 示器件或照明光源。 3] 例如 在真空微 于 領域中 射器件通常利用 光玻璃作力 休 其 在照明及 領域 周的 前景
引起 內外研究 的 。 射器件工作原理是 在真空 下 相 陣列 (Fede ssve
a ays F s) 施加 向 形成 的 于 向 上 的 光材料而 。 射器件的工作溫度 (40。C 80°C) 、 同 (< s) 、 、 符合綠色 要求。 另外 休、 光玻 璃、 薄膜等材料都可以在 射器件中作力 光材料使用 但它們都存在 效率低 一本 大限制 射器件的 用 特別是在照明領域 的 。
的公升
木同
4] 有 于此 本 提供 有良好的透光性、 高均勻 、 效率高、 定 性好、 的 光玻璃元件 以及 各 、 成本低的 光玻璃 元件制造 。
5] 本 提供 操作 、 方便可靠、 大大增強 光材料 效率的 光玻 璃元件 。
木 方案 6] 光玻璃元件 其包括 光玻璃 休 光玻璃 休的表面 有一金 金 金 微 光玻璃 休包含如下化孝通式的 合氧化物
7] a O•bYO C。d 2
8] 其中 力贓金 元素 a、 b、 c、 d 各自取 a 25 60 b 1 30 c 20 70 d .001~10
9] 光玻璃元件制造方法 其包括如下步驟
10] 各 光玻璃 休 光玻璃 休包含如下化孝通式的 合氧化物 a O．bYO．cS ． P O 其中 力贓金 元素 a
、 b、 c、 d 各自取 a 25 60 b 1 30 c 20 70 d .001 10
11] 在所 光玻璃 休的表面形成一金 及
12] 將 光玻璃 休及金 在真空下 退火她 使 金 形成金 微 即 即形成所需的 光玻璃元件。
13] 以及 光玻璃元件的 方法 其包括如下步驟
14] 按照上 制造方法 得 光玻璃元件 及
15] 金 在 下金 光玻璃 休之同形成表 面等萬于休 使 光玻璃 休 。
有益效果
16] 本 在 光玻璃 休上 有 微 的金 金 能在 下 光玻璃 休之同的界面形成表面等萬于休 通 表面等萬于休 使 光玻璃 休的內 于效率大大提高 即 光玻璃的自 輻射增強 而大大增強 光玻璃 休的 效率 而解 光材料 效率低 。 因而 在 光玻璃元件的 方法中 只需 金 金 光玻璃 休之同形成表面等萬于休 以增強 光玻璃 休 效率 提高 可靠性。 一步 本 的 光玻璃元件 各方法只需要在 光玻 璃 休上形成一 金 然 退火她 即可 得所需 光玻璃元件 而使得 各 、 降低成本 有 的生 前景。 17] 將 合 團及 本 一步 中
18] 1是本 的 光玻璃元件 示意
19] 2是本 的 光玻璃元件 各方法流程
20] 3是本 的 光玻璃元件的 方法流程
21] 4是 1的 光玻璃元件 金 的 光玻璃 比的 光光 其中 光光 余 于 的加速 5 V
本 的 方式
22] 本 的目的、 水方案及 更加清楚明白 以下 合 團及
本 一步 。 理解 此她 的 休 用 以解釋本 不用于限定本 。
23] 1 本 的 光玻璃元件10 其包括 光玻璃 休13以 及 于 光玻璃 休13表面的金 14。 金 14 有金 微 金 微 有 也你 微 。 一步 金 微 是非周期性的 即由 規則排列的金 休 。
24] 光玻璃 休13包含如下化孝通式的 合氧化物 a O．bYO．cS 。dP O 其中 力贓金 元素 a、 b、 c、 d 各自取 a 25 60 b 1 30 c 20 70 d ．001 10。 在 光玻璃 休13中包含增的氧化物 的氧化物在 的 光玻璃中 充分 效果。 光玻璃 休13 有良好的透光性能。
25] 其中 金 14可以是由化 定性良好的金 例如不易氧化 的金 另外也可以是常用的金 金、 很、 鋁、 、 、 、 鎳、 、 、 、 、 、 中的至少 金 形成的 更 由金、 很、 鋁中的至少 金 形成的。 金 14中的金 物神可以是它們的 金 或者 合金 。 合 金 可以是上 金 或 以上的合金 例如 金 14可以是很鋁合金 或金鋁合金 其中很或金的重量分數 70%以上。 金 14的厚度 0．5納米 200納米 更 1納米 100納米。
26] 金 a、 、 中的至少 。 27] 光玻璃元件10作力 元件 可 于超高亮度和高速 的 光 器件上 例如 示器、 射光源或大型 等 品中。 以
示器 相 陣列施加 向 形成加速
的 于 即 金 14 16 有 微 的金 13 光玻 璃 休13之同形成表面等萬于休 通 表面等萬于休 使 光玻璃 休13 的內 于效率大大提高 即 光玻璃的自 輻射增強 而大大增強 光玻 璃 休的 效率 而解 光材料 效率低 。 另外 由于是 光玻璃 休13表面形成一 金 金 光玻璃 休13之同形成均 勻界面 可以提高 的均勻 。
28] 1和2 明本 的 光玻璃元件制造方法的流程 制造方 法包括如下步驟
29] S 各 光玻璃 休 光玻璃 休13 上 成及含量 即包含如下 化孝通式的 合氧化物
30] a O•bYO cS dP O
其中 力贓金 元素 a、 b、 c、 d 各自取 a 25 60 b 1 30 c 20 70 d .001 10
31] S02 在 光玻璃 休的表面形成一金 以及
32] S03 將 光玻璃 休及金 在真空下 退火她 使 金 形 成金 微 即 即形成所需的 光玻璃元件。
33] 其中 光玻璃 休13的 各方法 休 以分析 的 金 、 5 99.99 %的YO、 P O 力主要原料 按照 光玻璃 休化孝通 a O
" ．bYO．cS 2edP 中各 分之同的摩 比例 你 相 的原料 在120 °C~ 50 °C 混 合熔融 ~5 即至室溫 再 于 中 在600 C~ 10 C下退火1 20 得 光玻璃 休。 另外 可 一步將 玻璃 休 切割、 加 工成一定的尺寸 由此 得所需的 光玻璃 休。
34] 前面 的 相 似 金 14可以是由化 定性良好的金 例如不 易氧化 的金 另外也可以是常用的金 金、 很、 鋁、 、 、 、 鎳、 、 、 、 、 、 中的至少 金 形成的 更 由金、 很、 鋁中的至少 金 形成的。 金 14的厚度 施力0．5納米 200納米 更 施力1納米 100納米。 金 施力 a、 、 中的至少 。
35 在步驟502中 金 是通 將金 或 在 光玻璃 休表面而形成 的。 步驟S03 休如下 在 光玻璃 休表面形成一金 在5 C~650 C 真空 火她 火 同 5 坤 5小吋 然 自然 即至室溫。 其中 火溫度 施力10 °C~50 。C 火 同仇施力15 坤 3小吋。
36 1和3 明本 的 光玻璃元件 的流程
包括如下步驟
37 S 按照前 制造 得 光玻璃元件10
38 S12 金 14 16 在 16 下 金 光玻 璃 休13 同形成表面等萬于休 光玻璃 休13 。
39] 光玻璃元件10 有前面 各 及 等特 。 在 中 例如 于 示器或照明光源 在真空 下 相 陣列施加 向 形成 16 在 16的 下 于 首先穿透金 14 而 友友光玻璃 休13 在 中 金 14 光玻璃 休13的界面上 表面等萬于休 光玻璃 休的內 于效率大大提高 即 光玻璃的自 輻射增強 而大大增強 光玻璃 休的 效率。
40] 表面等萬于休 (S aCe
PaS o SP) 是一 沿金 和 界面 的 振幅 萬 界面的 萬而 。 金 表面 表面等萬于休 (S acepaS o poa o s SPPs)
的性 、 、 模式、 合 等都將 重大的 化。 SPPs 的 不 限制光波在並 尺寸 中 而且 和操控 到微波波段的 磁輻射 的 操控。 因此 本 利 用 SPPs的 性能 增大 光玻璃 休的光 密度和增強其自 輻射 而且 可利用表面等萬于休的 合 光玻璃 休
合共振 而大大提高 光玻璃 休的內 于效率 提高 光玻璃 休的 效率。
41] 以下 多 例稅 光玻璃元件的不同 成及其制各方法 以及 其性能等方面。
42] 1
43] 大小 x c 、 表面 的上 各方法制得3 a2 ．9．8YO．60S 2e
2P2 光玻璃 休 (各氧化物前的數字表示 以下同 ) 再利 用 各在其表面 厚度 2納米的金 很 然 將 于真空 小 于 x Pa的真空 下 以300 C 溫度退火她 小 然 即至室溫 得到本 1中的 光玻璃元件。
44] 于 生的 本 的 光玻璃元件 生如 4所示的 光光 中 11 金 很 玻璃的 光光 12力本
得 光玻璃元件的 光光 4中可以看到 由于金 玻璃之同 表面等萬于休 相 于 金 光玻璃 本 的 光玻璃元件 300納米到700納米的 強度是 金 光玻璃 強度的2． 2倍 使 光性能得到 大提高。 以下各 的 光光 都勻 相 似 各 光玻璃元件也 有 似的 強度效果 在下面不再 。
45] 2
46] 大小 x c 、 表面 的上 各方法制得的25 a2O． 5YO．45S ．5P 2 光玻璃 休 利用 各在其表面 厚度 0．5納米的金 金 然 將 于真空 小于 x Pa的真空 下 以20 。C的溫度退火她 然 即至室溫 得到本 中的 光玻璃元件。
47] 3
48] 大小 x c 表面 的27 a2 e YO e7 S e
2 .0 P O
光玻璃 休 利用 各在其表面 厚度 200納米的金 鋁 然 將 于真空 小于 x Pa的真空 下 以50 C 溫度退火她
然 即至室溫 得到本 中的 光玻璃元件。
49] 4
50] 大小 x c 2 表面 的32 5 O e65S 2e . P O 光玻璃 休 利用 于 各在其表面 厚度 100納米的金 然 將 于真空 小于 x Pa的真空 下 以650 C 溫度退火她 5 然 即至室溫 得到本 中的 光玻璃元件。
51] 5
52] 大小 x c 、 表面 的35 a2O． YO．5 SOe2P2O
光玻璃 休 利用 于 各在其表面 厚度 1納米的金 然 將 于真空 小于 x Pa的真空 下 以10 C 溫度退火她
然 即至室溫 得到本 中的 光玻璃元件。
53] 6
54] 大小 x c 、 表面 的38 a2O． 2YO．43S 。0．5P O 光玻璃
休 利用 于 各在其表面 厚度 5納米的金 然 將 于 真空 小于 x Pa的真空 下 以450。C的溫度退火她 15 然 即 至室溫 得到本 中的 光玻璃元件。
55] 7
56] 大小 x c 、 表面 的28 a2 ． YO．68S 2e2P2
光玻璃 休 利用 于 各在其表面 厚度 20納米的金 然 將 于真空 小于 x Pa的真空 下 以 溫度退火她 然 即至室溫 得到本 中的 光玻璃元件。
57] 8
大小 x c 表面 的35 2 O 55S 2e6P O
光玻璃 休 利用 于 各在其表面 厚度 10納米的金 然 將 于真空 小于 x Pa的真空 下 以15 。C的溫度退火她 然 即至室溫 得到本 中的 光玻璃元件。
59] 9
大小 x c 表面 的4 2 22YO 40SO2e8P O
光玻璃 休 利用 于 各在其表面 厚度 50納米的金 然 將 于真空 小于 x Pa的真空 下 以20 。C的溫度退火她 2．5 小 然 即至室溫 得到本 中的 光玻璃元件。 61] 10
62] 大小 x c 、 表面 的5 2 5YO．30SO2eg.5P O
光玻璃 休 利用 于 各在其表面 厚度 150納米的金 然 將 于真空 小于 x Pa的真空 下 以350。C的溫度退火她 0．5 小 然 即至室溫 得到本 明中的 光玻璃元件。
63] 11
64] 大小 x c 表面 的6 2 ．30YO 40S 2e P O
光玻璃 休 利用 于 各在其表面 厚度 120納米的金 然 將 于真空 小于 x Pa的真空 下 以250。C的溫度退火她 2 然 即至室溫 得到 中的 光玻璃元件。
65] 12
大小 x c 表面 的33 7YO 58S 2e0.7 O 光玻璃 休 利用 于 各在其表面 厚度 40納米的金 鎳 然 將 于真空 小于 x
Pa的真空 下 以80。C的溫度退火她 4 然 即至室溫 得到 中的 光玻璃元件。
67] 13
大小 x c 表面 的26 4YO 69S 2e .gP O 光玻璃 休 利用 于 各在其表面 厚度 180納米的金 然 將 于真空 小于 x Pa的真空 下 以400°C 溫度退火她 然 即至室溫 得到 中的 光玻璃元件。
69] 14
大小 x c 表面 的45 8YO 48SO2e .5P O 光玻璃 休 利用 于 各在其表面 厚度 80納米的金 很鋁 其中 金 中的很和鋁的重量 數分別 80%和20% 然 將 于真空 小于 x Pa的真空 下 以380。C的溫度退火她 2 然 即至室 溫 得到 中的 光玻璃元件。
71] 15 72] 大小 x c 2 表面 的36 O 16YO e52S e4P O 光玻璃 休 利用 于 各在其表面 厚度 15納米的金 很鋁 其中 金 中的很和鋁的重量 數分別 90%和10% 然 將 于真空 小于 x Pa的真空 下 以180 C 溫度退火她 3． 然 即至室 溫 得到 中的 光玻璃元件。
73] 16
74] 大小 x c 2 表面 的55 3YO e62S e7P O
光玻璃 休 利用 于 各在其表面 厚度 35納米的金 金鋁 其中 金 中的金和鋁的重量 數分別 80%和20% 然 將 于真空 小于 x Pa的真空 下 以70 C 溫度退火她 1． 然 即至室溫 得到 中的 光玻璃元件。
75] 17
76] 大小 x c 2 表面 的58 6YO e35S egP O
光玻璃 休 利用 于 各在其表面 厚度 60納米的金 金鋁 其中 金 中的金和鋁的重量 數分別 90%和10% 然 將 于真空 小于 x Pa的真空 下 以600°C 溫度退火她 4． 然 即至室 溫 得到 中的 光玻璃元件。
77] 在以上 的各 中 在 光玻璃 休13 有 微 的 金 14 金 14能在 16下 光玻璃 休13之同的界面形成表 面等萬于休 通 表面等萬于休 使 光玻璃 休的內 于效率 大大提 高 即 光玻璃的自 輻射增強 而大大增強 光玻璃 休的 效率。 因而 在 光玻璃元件的 方法中 只需 金 13 16 金 14 光玻璃 休13之同形成表面等萬于休 以增強 光玻璃 休16 效 率 提高 可靠性。
78] 在本 的 光玻璃元件 各方法中 只需要在 光玻璃 休13 形成 一 金 14 然 退火她 即可 得所需 光玻璃元件10 而使得 各 、 降低成本 有 的生 前景 尤其可用在超高亮度和 高速 的 光器件上 如 示器。 79] 以上 力本 的較佳 而已 不用以限制本 凡在本 的 精神和原則之內所作的任何修改、 等同替換和 等 包含在本 的保 之內。

Claims

要求
1 光玻璃元件 其包括 光玻璃 休 其特 在于 所述 光玻璃 休的表面 有一金 金 有金
微 光玻璃 休包含如下化孝通式的 合氧化物
a O•bYO cSO dP O
其中 力贓金 元素 a、 b、 c、 d 各自取 a 25 6 b 1 30 c 20 70 d .001~10
2 要求1 的 光玻璃元件 其特 在于 金 a、 、 中的至少 。
3 如 要求1 的 光玻璃元件 其特 在于 金 的金 金、 很、 鋁、 、 、 、 鎳、 、 、 、 、 、 中的至少 。
4 如 要求3所述的 光玻璃元件 其特 在于 所述金 的金 金、 很、 鋁中的至少 。
5 如 要求1 的 光玻璃元件 其特 在于 金 的厚度 0．5 納米至200納米。
6 光玻璃元件制造方法 其包括如下步驟
各 光玻璃 休 光玻璃 休包含如下化孝通式的 合氧化物 a O•bYO cS dP O 其中 力贓金 元素 a
、 b、 c、 d 各自取 a 25 60 b 1 30 c 20 70 d .001 10
在所 光玻璃 休的表面形成一金 及
將所述 光玻璃 休及金 在真空下 退火她 使所述金 形成 金 微 即 即形成所需的 光玻璃元件。
7 如 要求6 的 光玻璃元件制造方法 其特 在于 光玻璃 休的 各步驟如下 取得各自 的 金 、 SO、 YO和P O
原料 在120 C~ 50 。C溫度下混合熔融 即 再 于 中 在6 0 C~ 0 。C溫度下退火 得 光玻璃 休。 8] 要求6 的 光玻璃元件制造方法 其特 在于 金 是通 將金 或 在 光玻璃 休表面而形成的。
9] 要求6 的 光玻璃元件制造方法 其特 在于 真空退火她 是在50°C~650°C下 退火 同 5 坤 5小吋。
10] 光玻璃元件的 方法 其包括如下步驟
按照 要求6 9任一 的制造方法 得 光玻璃元件
金 在 下金 光玻璃 休之同形 成表面等萬于休 使 光玻璃 休 。
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