WO2010061546A1 - 分岐装置 - Google Patents

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branch
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村山晋
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株式会社Ihi
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    • B65G13/08—Roller-ways of curved form; with branch-offs
    • B65G13/10—Switching arrangements
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G35/00—Mechanical conveyors not otherwise provided for
    • B65G35/06—Mechanical conveyors not otherwise provided for comprising a load-carrier moving along a path, e.g. a closed path, and adapted to be engaged by any one of a series of traction elements spaced along the path
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/76—Fixed or adjustable ploughs or transverse scrapers
    • B65G47/766—Adjustable ploughs or transverse scrapers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette

Definitions

  • the present invention relates to a branching device.
  • This application claims priority based on Japanese Patent Application No. 2008-305279 filed in Japan on November 28, 2008, the contents of which are incorporated herein by reference.
  • a turntable is known as a branching device that switches the transport direction of a transported object along a transport path such as a roller conveyor to the branch transport path side (see Patent Document 1).
  • the turntable needs to be swung in a state where a transported object is placed on the turntable when the transport container transported on the transport path is switched to the branch transport path side. For this reason, at the time of turning of the turntable, the progress (conveyance) of the subsequent transported object is stopped and stagnated on the transport path, so that the transport efficiency is lowered.
  • the present invention has been made in view of the above-described circumstances, and an object of the present invention is to provide a branching device that can smoothly and reliably change the transfer direction without stagnation of the flow of the transport container.
  • the branching apparatus employs the following means in order to solve the above problems.
  • the present invention is a branch device for a transport path for transporting a transport container that contains a transport object, and includes a first guide portion disposed on both sides in the width direction perpendicular to the transport direction on the top surface of the transport container, A second guide portion disposed on both sides in the width direction orthogonal to the transport direction of the lower surface, and disposed along both sides in the width direction of the transport direction excluding the intersection of the first transport path and the second transport path in the transport path.
  • a plurality of transport rollers that support and transport the lower surface of the transport container, and guides that are disposed along both sides of the transport path in the width direction of the transport direction excluding the intersecting portion and abut against the second guide portion
  • a switching guide which is horizontally movably disposed above the intersection and having a second switching guide rails comprising a.
  • the guide rail may be disposed on the outer side in the width direction of the transport path in the transport direction than the transport roller.
  • the transport roller may be disposed on the outer side in the width direction of the transport path in the transport direction than the guide rail.
  • the first guide portion may have a guide roller having a rotation shaft extending in the vertical direction.
  • the second guide portion may have a guide roller having a rotation shaft extending in the vertical direction.
  • the first guide portion may be a side surface of a flat flange.
  • the second guide portion may be a side surface portion of the transport container.
  • the present invention it is possible to easily and reliably switch the transport direction (straight and branch) of the transport container simply by moving the position of the switching guide. Further, even when a plurality of transport containers are continuously transported, the plurality of transport containers can be continuously straightened or branched without being temporarily stopped.
  • FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of a branching apparatus according to the first embodiment.
  • FIG. 2 is a perspective view of a transport container used in the branching apparatus according to the first embodiment.
  • the transfer container 10 is, for example, a container that transfers a plurality of disc-shaped semiconductor wafers D (transferred objects) arranged and accommodated in a plurality of stages.
  • the transfer container 10 includes a storage case 12 in which a plurality of locking grooves for locking both sides of the semiconductor wafer D are formed on the inner sidewalls on both sides, and a lid body 14 that seals and closes the opening 13 of the storage case 12. It is configured.
  • the transfer container 10 containing a plurality of semiconductor wafers D is transferred in the direction of the arrow along a main transfer path S or a branch transfer path B described later with the closed opening 13 facing sideways.
  • a pair of first guide rollers G ⁇ b> 1 and G ⁇ b> 2 can be rotated at predetermined intervals in the front and rear directions in the transport direction on both sides of a rectangular flange 15 extending in the width direction held at a constant height by a support column. It is supported by.
  • a pair of second guide rollers G3 and G4 are also supported on the lower surface E of the transport container 10 on both sides in the transport direction at the same positions as the first guide rollers G1 and G2, and are rotatable at predetermined intervals in the front and rear directions in the transport direction. (See FIGS. 3A, 3B, 4A and 4B).
  • Each of these guide rollers G1, G2, G3, and G4 includes a rotation axis RA (see FIG. 3B) extending in the vertical direction, and rotates around the rotation axis.
  • the first guide rollers G1 and G2 may be the side surfaces of the flange 15 having a flat plate shape instead of the rollers.
  • the second guide rollers G3 and G4 may not be rollers, but may be side surfaces of the transport container 10 (the lower side surface 141 of the lid body 14 or the lower back surface 121 of the housing case 12 near the guide roller G4). That is, in the first embodiment, when there is no guide roller G1, G2, or G3, G4, the side surface of the flange 15 and the side surface portion of the transport container 10 function in the same manner as the guide rollers G1 to G4.
  • 3A and 3B are branching devices according to the first embodiment of the present invention, and show a state in which the transfer direction of the transport container is switched to the straight traveling direction.
  • 4A and 4B are diagrams illustrating a branching apparatus according to the first embodiment of the present invention, in a state where the transfer direction of the transport container is switched to the branching direction.
  • the main transport path S that transports the transport container 10 in the straight traveling direction and the branch transport path B that transports the transport container 10 in the branch direction from the main transport path S intersect. It is arranged at the site.
  • a plurality of transport rollers R1A and R2A are continuously arranged in the transport direction on both inner side surfaces of the frame 16 of the main transport path S and the branch transport path B.
  • the transport rollers R1A and R2A are composed of a drive roller DR and a free roller FR that can freely rotate, and are in contact with the inner side in the width direction of the second guide rollers G3 and G4 disposed on the lower surface of the transport container 10. It is arranged.
  • the second guide roller G3 on the lower surface of the conveyance container 10 is disposed outside the conveyance rollers R1A and R2A. , G4 are provided along the transfer direction to guide G4 in the transfer direction.
  • the transport roller R2A located on the branch transport path B side of the main transport path S does not exist in the range intersecting with both the transport rollers R3A and R4A of the branch transport path B. Further, the transport roller R3A located on the main transport path S side of the branch transport path B does not exist in a range that intersects with both the transport rollers R1A and R2A of the main transport path S.
  • the branching device 1A includes a switching guide 2A having a substantially triangular shape in top view that moves forward and backward (horizontal movement) in a direction crossing between the main transport path S and the branch transport path B by a drive source (not shown).
  • the switching guide 2A is a linear first switching guide rail SG1 that abuts on a guide roller G2 disposed on the branch conveyance path B side of the first guide rollers G1 and G2 of the conveyance container 10 and guides it along the straight direction.
  • an arcuate second switching guide rail BG1 that contacts the guide roller G1 disposed on the main conveyance path S side of the first guide rollers G1 and G2 and guides it along the branch direction.
  • the first switching guide rail SG1 and the second switching guide rail BG1 are integrally configured so as to be the outer surfaces of the switching guide 2A.
  • the operation of the branching apparatus 1A according to the first embodiment will be described with reference to FIGS. 3A, 3B, 4A, and 4B.
  • the transport container 10 is moved straight on the main transport path S
  • the upper surface of the transport container 10 is moved by moving the switching guide 2A from the main transport path S side to the branch transport path B side as shown in FIG. 3A.
  • the branch path side guide roller G2 is guided to the first switching guide rail SG1.
  • the distance between the centers of the first guide rollers G1 and G1 and G2 and G2 on the upper surface of the transport container 10 is L.
  • the end of the guide rail TG1 at the intersection of the guide rails TG1 of the main transport path S and the branch transport path B is denoted by TG10, and the transport of the transport container 10 of the first switching rail SG1 is performed.
  • SG10 be the end on the rear side.
  • the distance S1 between these end portions TG10 and SG10 is S1 ⁇ L
  • the transport container 10 is smoothly transferred by the other three guide rollers G3, G3, and G2 without colliding with the guide rail SG1.
  • the dimension of the switching guide 2A is set large so that the position of the end SG10 of the first switching rail SG1 substantially coincides with the position of the end TG10 of the guide rail TG1. That's fine.
  • the switching guide 2A is horizontally moved from the branch transfer path B side to the main transfer path S side.
  • the main transport path guide roller G1 is guided by the second switching guide rail BG1. It is obvious that if the distance of the intermittent part B1 in FIG. 4A is B1 ⁇ L, or if the second switching guide rail BG1 is installed large, the same function as described above can be achieved.
  • FIG. 5A and FIG. 5B are diagrams illustrating a branching apparatus according to the second embodiment of the present invention, in a state where the transfer direction of the transport container is switched to the straight traveling direction.
  • 6A, 6B, and 6C are diagrams illustrating a branching device according to the second embodiment of the present invention, in which the transfer direction of the transport container is switched to the branching direction.
  • the transport container 20 containing a plurality of semiconductor wafers D has the same structure as that of the first embodiment.
  • a pair of first guide rollers G11 and G12 are supported on both sides of the rectangular flange 17 held at a constant height so as to be rotatable at predetermined intervals in the front and rear directions.
  • a pair of second guide rollers G13 and G14 are also supported on the lower surface E of the transport container 20 on both sides in the transport direction at the same position as the first guide rollers G11 and G12, and can be rotated at predetermined intervals in the front and rear directions in the transport direction. It is supported by.
  • Each of these guide rollers G11, G12, G13, and G14 includes a rotation axis RA (see FIG. 5B) extending in the vertical direction, and rotates around this rotation axis.
  • the side surface of the flange 15 functions similarly to the guide rollers G11 and G12.
  • a plurality of transport rollers R1B and R2B are continuously disposed on both inner side surfaces of the frame 18 of the main transport path S and the branch transport path B in the transport direction.
  • the transport rollers R1B and R2B are composed of a drive roller DR and a free-rotating free roller FR, and are close to the outside in the width direction of the second guide rollers G13 and G14 disposed on the lower surface of the transport container 20. Arranged.
  • the second guide roller on the lower surface of the conveyance container 20 is located inside the conveyance rollers R1B and R2B.
  • Guide rails TG2 for guiding G13 and G14 in the transfer direction are provided along the transfer direction.
  • the transport roller R2B located on the branch transport path B side of the main transport path S does not exist in the range intersecting with both the transport rollers R3B and R4B of the branch transport path B. Further, the transport roller R3B located on the main transport path S side of the branch transport path B does not exist in a range intersecting with both the transport rollers R1B and R2B of the main transport path S.
  • the branching device 1B includes a switching guide 2B that moves forward and backward in a direction crossing between the main transport path S and the branch transport path B by a drive source (not shown).
  • the switching guide 2B is in contact with the guide roller G12 disposed on the branch path side of the first guide rollers G11 and G12 on the upper surface T of the transport container 20, and guides along the straight traveling direction.
  • an arcuate second switching guide rail BG2 that contacts the guide roller G11 disposed on the main transport path S side of the first guide rollers G11 and G12 and guides it along the branch direction.
  • the first switching guide rail SG2 and the second switching guide rail BG2 are integrally configured so as to be the outer surfaces of the switching guide 2B.
  • the operation of the branching apparatus 1B according to the second embodiment will be described with reference to FIGS. 5A, 5B, 6A, 6B, and 6C.
  • the transport container 20 is moved straight on the main transport path S
  • the upper surface of the transport container 20 is moved by moving the switching guide 2B from the main transport path S side to the branch transport path B side as shown in FIG. 5A.
  • the branch path side guide roller G12 is guided to the first switching guide rail SG2.
  • the switching guide 2B is moved from the branch transfer path B side to the main transfer path S side.
  • the main transport path side guide roller G11 is guided by the second switching guide rail BG2. Note that, at the intersection, the straight and branching guide rails TG2 and TG2 may be extended to the intersecting position as shown in FIG. 6C.
  • the first and second guide rollers disposed before and after the transport direction on the upper surface or the lower surface of the transport container may not be at the same position.
  • the specification which has at least 1 each of the 1st guide roller in the width direction of a conveyance direction may be sufficient.
  • the branching device of the present invention can be applied to a portion where the main transport path and the branch transport path merge.
  • the transport containers can be continuously transported in a straight line or branching direction without being temporarily stopped.
  • 1A, 1B ... branching device S ... main transport path (first transport path), B ... branch transport path (second transport path), R1A, R2A, R1B, R2B, R3A, R4A, R3B, R4B ... transport rollers, TG1, TG2 ... guide rail, D ... conveyed material, 10,20 ... conveying container, T ... top surface, E ... bottom surface, G1, G2, G11, G12 ... first guide roller (first guide part), G3, G4 G13, G14: second guide roller (second guide part), 2A, 2B ... switching guide, SG1, SG2 ... first switching guide rail, BG1, BG2: second switching guide rail, 15 ... flange (guide part), 14 ... lid, 141 ... lower side of the lid (guide part), 12 ... storage case, 121 ... lower back of the storage case

Abstract

本発明は、搬送物（Ｄ）を収容する搬送容器（１０）を搬送する搬送路の分岐装置（１Ａ）に関する。この分岐装置は、搬送容器の上面に配設された第一ガイド部（Ｇ１，Ｇ２）と、搬送容器の下面に配設された第二ガイド部と、第一搬送路（Ｓ）と第二搬送路（Ｂ）の交差部分を除く搬送方向の幅方向両側に沿って配設されて搬送容器を移送する複数の搬送ローラ（Ｒ１Ａ～Ｒ４Ａ）と、上記交差部分を除く搬送方向の幅方向両側に沿って配設されて第二ガイド部に当接して案内するガイドレール（ＴＧ１）と、第一ガイド部に当接して搬送容器を第一搬送路に沿って案内する第一切換ガイドレール（ＳＧ１）及び第一ガイド部に当接して搬送容器を第二搬送路に沿って案内する第二切換ガイドレール（ＢＧ１）を有すると共に交差部分の上方に水平移動可能に配設された切換ガイド（２Ａ）と、を備える。

Description

分岐装置
　本発明は、分岐装置に関する。
　本願は、２００８年１１月２８日に、日本に出願された特願２００８－３０５２７９号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
ローラコンベア等の搬送路に沿って移送される搬送物の移送方向を分岐搬送路側に切換える分岐装置として、ターンテーブルが知られている（特許文献１参照）。
特許第３７４９１７６号公報
 ターンテーブルは、搬送路上で移送される搬送容器を分岐搬送路側に切換える際に、ターンテーブル上に搬送物を載置した状態で、旋回させる必要がある。このため、ターンテーブルの旋回時は、後続する搬送物の進行（搬送）が停止され搬送路上で停滞するので、搬送効率が低下する。
 本発明は、上述した事情に鑑みてなされたもので、搬送容器の流れを停滞させることなく円滑且つ確実に移送方向を変換することができる分岐装置を提供することを目的とする。
 本発明に係る分岐装置では、上記課題を解決するために以下の手段を採用する。
　本発明は、搬送物を収容する搬送容器を搬送する搬送路の分岐装置であって、搬送容器の上面の搬送方向と直交する幅方向両側に配設された第一ガイド部と、搬送容器の下面の搬送方向と直交する幅方向両側に配設された第二ガイド部と、搬送路のうち第一搬送路と第二搬送路の交差部分を除く搬送方向の幅方向両側に沿って配設されて搬送容器の下面を支持して移送する複数の搬送ローラと、搬送路のうち交差部分を除く搬送方向の幅方向両側に沿って配設されて第二ガイド部に当接して案内するガイドレールと、第一ガイド部のうち第二搬送路側に配設されたものに当接して搬送容器を第一搬送路に沿って案内する第一切換ガイドレール及び第一ガイド部のうち第一搬送路側に配設されたものに当接して搬送容器を第二搬送路に沿って案内する第二切換ガイドレールを有すると共に交差部分の上方において水平移動可能に配設された切換ガイドと、を備える。
 また、ガイドレールは、搬送ローラよりも、搬送路の搬送方向の幅方向外側に配設されてもよい。
 また、搬送ローラは、ガイドレールよりも、搬送路の搬送方向の幅方向外側に配設されてもよい。
 また、第一ガイド部には、鉛直方向に延びる回転軸を備えるガイドローラを有してもよい。
 また、第二ガイド部には、鉛直方向に延びる回転軸を備えるガイドローラを有してもよい。
 また、第一ガイド部は、平板状をなすフランジの側面であってもよい。
 また、第二ガイド部は、搬送容器の側面部であってもよい。
　本発明によれば、切換ガイドの位置を移動させるだけで、搬送容器の搬送方向（直進と分岐）を簡単かつ確実に切り替えることができる。また、複数の搬送容器が連続的に搬送されてきた場合であっても、これら複数の搬送容器を一旦停止させることなく、そのまま連続的に直進或いは分岐させることができる。
本発明の第一実施形態に係る分岐装置の概略構成を示す斜視図である。 本発明の第一実施形態に係る分岐装置に使用する搬送容器の斜視図である。 本発明の第一実施形態に係る分岐装置であって、搬送容器の移送方向を直進方向に切換えた状態を示す図である。 本発明の第一実施形態に係る分岐装置であって、搬送容器の移送方向を直進方向に切換えた状態を示す図である。 本発明の第一実施形態に係る分岐装置であって、搬送容器の移送方向を分岐方向に切換えた状態を示す図である。 本発明の第一実施形態に係る分岐装置であって、搬送容器の移送方向を分岐方向に切換えた状態を示す図である。 本発明の第二実施形態に係る分岐装置であって、搬送容器の移送方向を直進方向に切換えた状態を示す図である。 本発明の第二実施形態に係る分岐装置であって、搬送容器の移送方向を直進方向に切換えた状態を示す図である。 本発明の第二実施形態に係る分岐装置であって、搬送容器の移送方向を分岐方向に切換えた状態を示す図である。 本発明の第二実施形態に係る分岐装置であって、搬送容器の移送方向を分岐方向に切換えた状態を示す図である。 本発明の第二実施形態に係る分岐装置であって、搬送容器の移送方向を分岐方向に切換えた状態を示す図である。
　以下、本発明に係る分岐装置の実施形態について図面を参照して説明する。
　図１は、第一実施形態に係る分岐装置の概略構成を示す斜視図である。
　図２は、第一実施形態に係る分岐装置で使用する搬送容器の斜視図である。
　搬送容器１０は、例えば複数の円板状半導体ウェハーＤ（搬送物）を複数段に整列収容して搬送する容器である。この搬送容器１０は、両側内部側壁に半導体ウェハーＤの両側を係止する複数段の係止溝を形成した収容ケース１２と、この収容ケース１２の開口部１３を密封閉塞する蓋体１４とから構成されている。
　複数の半導体ウェハーＤを収容した搬送容器１０は、閉塞された開口部１３を横に向けて後述する主搬送路Ｓまたは分岐搬送路Ｂを矢印方向に移送される。
　搬送容器１０の上面Ｔには、支柱により一定高さに保持された幅方向に延びる矩形状のフランジ１５の両側にそれぞれ一対の第１ガイドローラＧ１，Ｇ２が搬送方向前後に所定間隔で回転自在に支持されている。また、搬送容器１０の下面Ｅにも、搬送方向両側に一対の第２ガイドローラＧ３，Ｇ４が第１ガイドローラＧ１，Ｇ２と同じ位置に支持されており、搬送方向前後に所定間隔で回転自在に支持されている（図３Ａ、図３Ｂ、図４Ａ及び図４Ｂ参照）。これらのガイドローラＧ１，Ｇ２，Ｇ３，Ｇ４は、いずれも鉛直方向に延びる回転軸ＲＡ（図３Ｂ参照）を備え、この回転軸回りに回転する。
　第１ガイドローラＧ１，Ｇ２がローラでなく、平板状をなすフランジ１５の側面であってもよい。また、第２ガイドローラＧ３，Ｇ４がローラでなく、搬送容器１０の側面部（蓋体１４の側面下部１４１若しくはガイドローラＧ４近傍となる収容ケース１２の背面下部１２１）であってもよい。すなわち、第１実施形態において、ガイドローラＧ１，Ｇ２又はＧ３，Ｇ４がない場合は、フランジ１５の側面や搬送容器１０の側面部が上記ガイドローラＧ１～Ｇ４と同様に機能する。
　図３Ａ及び図３Ｂは、本発明の第一実施形態に係る分岐装置であって、搬送容器の移送方向を直進方向に切換えた状態を示す図である。
　図４Ａ及び図４Ｂは、本発明の第一実施形態に係る分岐装置であって、搬送容器の移送方向を分岐方向に切換えた状態を示す図である。
　図３Ａ、図４Ａにおいて、分岐装置１Ａは、搬送容器１０を直進方向に搬送する主搬送路Ｓと、この主搬送路Ｓから搬送容器１０を分岐方向に搬送する分岐搬送路Ｂとが交差する部位に配設されている。
　主搬送路Ｓ並びに分岐搬送路Ｂのフレーム１６の両内側面には、複数の搬送ローラＲ１Ａ，Ｒ２Ａが搬送方向に向けて連続的に配設されている。搬送ローラＲ１Ａ，Ｒ２Ａは、駆動ローラＤＲと自由回転可能なフリーローラＦＲとから構成されており、搬送容器１０の下面に配設される第２ガイドローラＧ３，Ｇ４の幅方向内側に当接するように配設されている。
　また、主搬送路Ｓと分岐搬送路Ｂが交差する分岐領域ＢＡ１（二点鎖線で囲まれる領域）以外の領域において、搬送ローラＲ１Ａ，Ｒ２Ａの外側には搬送容器１０下面の第２ガイドローラＧ３，Ｇ４を移送方向に案内するガイドレールＴＧ１が移送方向に沿って設けられている。
　分岐領域ＢＡ１において、主搬送路Ｓの分岐搬送路Ｂ側に位置する搬送ローラＲ２Ａは、分岐搬送路Ｂの両搬送ローラＲ３Ａ，Ｒ４Ａと交差する範囲には存在しない。また、分岐搬送路Ｂの主搬送路Ｓ側に位置する搬送ローラＲ３Ａは、主搬送路Ｓの両搬送ローラＲ１Ａ，Ｒ２Ａと交差する範囲には存在しない。
　分岐装置１Ａは、不図示の駆動源にて主搬送路Ｓと分岐搬送路Ｂの間を横切る方向に進退移動（水平移動）する、上面視略三角形の切換ガイド２Ａを備えている。
　切換ガイド２Ａは、搬送容器１０の第１ガイドローラＧ１，Ｇ２のうち分岐搬送路Ｂ側に配設したガイドローラＧ２に当接して直進方向に沿って案内する直線状の第１切換ガイドレールＳＧ１と、第１ガイドローラＧ１，Ｇ２のうち主搬送路Ｓ側に配設したガイドローラＧ１に当接して分岐方向に沿って案内する円弧状の第２切換ガイドレールＢＧ１と、を備えている。そして、第１切換ガイドレールＳＧ１と第２切換ガイドレールＢＧ１がそれぞれ切換ガイド２Ａの外側面となるように一体的に構成されている。
　次に、第一実施形態に係る分岐装置１Ａの作用に付き、図３Ａ、図３Ｂ、図４Ａ及び図４Ｂを参照して説明する。
　先ず、搬送容器１０を主搬送路Ｓ上で直進移送する際は、図３Ａに示すように、切換ガイド２Ａを主搬送路Ｓ側から分岐搬送路Ｂ側に移動させることで、搬送容器１０上面Ｔの第１ガイドローラＧ１，Ｇ２のうち、分岐路側ガイドローラＧ２が第１切換ガイドレールＳＧ１に案内される。
　すなわち、図３Ｂに示すように、搬送容器１０が分岐領域ＢＡ１において直進する場合は、搬送容器１０の上面Ｔの分岐路側ガイドローラＧ２が第１切換ガイドレールＳＧ１に案内される。そのため、搬送容器１０の分岐路側への傾倒が防止され、搬送容器１０は水平姿勢を維持した状態で搬送ローラＲ１Ａの駆動力により進行方向に沿って円滑に移送される。
　ここで、図１に示すように搬送容器１０の上面の第１ガイドローラＧ１とＧ１、Ｇ２とＧ２の中心間の距離をともにＬとする。また、図３Ａに示すように、主搬送路Ｓ及び分岐搬送路ＢのガイドレールＴＧ１同士の交差部におけるガイドレールＴＧ１の端部を符号ＴＧ１０とし、第１切替レールＳＧ１の、搬送容器１０の移送方向後方側の端部をＳＧ１０とする。この時、これら端部ＴＧ１０，ＳＧ１０間の距離Ｓ１がＳ１＜Ｌであれば、搬送前後方向に２つのガイドローラＧ２、Ｇ２が存在する場合には、一方のＧ２が間欠部を通過する際にも、搬送容器１０はガイドレールＳＧ１に衝突することなく、他の３つのガイドローラＧ３，Ｇ３，Ｇ２によって円滑に移送される。
　また、ガイドローラＧ２が１つの場合には、第１切替レールＳＧ１の端部ＳＧ１０の位置が、ガイドレールＴＧ１の端部ＴＧ１０の位置にほぼ一致するように、切換ガイド２Ａの寸法を大きく設定すればよい。
　また、図４Ａに示すように、搬送容器１０が主搬送路Ｓから分岐搬送路Ｂに分岐移送する場合は、切換ガイド２Ａを分岐搬送路Ｂ側から主搬送路Ｓ側に水平移動させる。その結果、搬送容器１０上面の第１ガイドローラＧ１，Ｇ２のうち、主搬送路ガイドローラＧ１が第２切換ガイドレールＢＧ１によって案内される。
　なお、図４Ａにおける間欠部Ｂ１の距離がＢ１＜Ｌとなるようにすれば、又は第２切換ガイドレールＢＧ１を大きく設置すれば、前述と同様の機能を果たせることは明らかである。
　すなわち、図４Ｂに示すように、搬送容器１０が分岐領域ＢＡ１において分岐搬送路Ｂ側に分岐する場合は、搬送容器１０の上面Ｔの主搬送路ガイドローラＧ１が第２切換ガイドレールＢＧ１に案内される。そのため、搬送容器１０の主搬送路側への傾倒が防止され、搬送容器１０は水平姿勢を維持した状態で搬送ローラＲ４Ａ側の駆動ローラＤＲにより分岐搬送路Ｂの進行方向に沿って円滑に移送される。
　このように、切換ガイド２Ａを水平に移動させるだけで、搬送容器１０の直進と分岐方向への移動を簡単かつ確実に切り替えることができる。したがって、複数の搬送容器１０が連続的に搬送されてきた場合であっても、これら複数の搬送容器１０を一旦停止させることなく、そのまま連続的に直進或いは分岐方向に移動させることができる。
　次に、本発明の第二実施形態に係る分岐装置に付き、図５Ａ、図５Ｂ、図６Ａ、図６Ｂ及び図６Ｃを参照して説明する。
なお、第一実施形態と同一構成部材については、同一符号を付して説明を省略する。
　図５Ａ、図５Ｂは、本発明の第二実施形態に係る分岐装置であって、搬送容器の移送方向を直進方向に切換えた状態を示す図である。
　図６Ａ、図６Ｂ及び図６Ｃは、本発明の第二実施形態に係る分岐装置であって、搬送容器の移送方向を分岐方向に切換えた状態を示す図である。
　図５Ａ、図５Ｂ、図６Ａ、図６Ｂ及び図６Ｃにおいて、複数の半導体ウェハーＤを収容した搬送容器２０は、容器本体は第一実施形態と同一構成となっている。
　搬送容器２０の上面Ｔには、一定高さに保持された矩形状フランジ１７の両側にそれぞれ一対の第１ガイドローラＧ１１，Ｇ１２が搬送方向前後に所定間隔で回転自在に支持されている。また、搬送容器２０の下面Ｅにも、搬送方向両側に一対の第２ガイドローラＧ１３，Ｇ１４が第１ガイドローラＧ１１，Ｇ１２と同じ位置に支持されており、搬送方向前後に所定間隔で回転自在に支持されている。これらのガイドローラＧ１１，Ｇ１２，Ｇ１３，Ｇ１４は、いずれも鉛直方向に延びる回転軸ＲＡ（図５Ｂ参照）を備え、この回転軸回りに回転する。
　なお、第２実施形態において、ガイドローラＧ１１，Ｇ１２がない場合には、フランジ１５の側面が上記ガイドローラＧ１１，Ｇ１２と同様に機能する。
　一方、主搬送路Ｓ並びに分岐搬送路Ｂのフレーム１８の両内側面には、複数の搬送ローラＲ１Ｂ，Ｒ２Ｂが搬送方向に向けて連続的に配設されている。この搬送ローラＲ１Ｂ，Ｒ２Ｂは、駆動ローラＤＲと自由回転可能なフリーローラＦＲとから構成されており、搬送容器２０の下面に配設される第２ガイドローラＧ１３，Ｇ１４の幅方向外側に近接して配設されている。
　また、主搬送路Ｓと分岐搬送路Ｂが交差する分岐領域ＢＡ２（二点鎖線で囲まれる領域）以外の領域において、搬送ローラＲ１Ｂ，Ｒ２Ｂの内側には搬送容器２０の下面の第２ガイドローラＧ１３，Ｇ１４を移送方向に案内するガイドレールＴＧ２が移送方向に沿って設けられている。
　分岐領域ＢＡ２において、主搬送路Ｓの分岐搬送路Ｂ側に位置する搬送ローラＲ２Ｂは、分岐搬送路Ｂの両搬送ローラＲ３Ｂ，Ｒ４Ｂと交差する範囲には存在しない。また、分岐搬送路Ｂの主搬送路Ｓ側に位置する搬送ローラＲ３Ｂは、主搬送路Ｓの両搬送ローラＲ１Ｂ，Ｒ２Ｂと交差する範囲には存在しない。
　分岐装置１Ｂは、不図示の駆動源にて主搬送路Ｓと分岐搬送路Ｂの間で横切る方向に進退移動する切換ガイド２Ｂを備えている。
　切換ガイド２Ｂは、搬送容器２０の上面Ｔの第１ガイドローラＧ１１，Ｇ１２のうち分岐路側に配設したガイドローラＧ１２に当接して直進方向に沿って案内する直線状の第１切換ガイドレールＳＧ２と、第１ガイドローラＧ１１，Ｇ１２のうち主搬送路Ｓ側に配設したガイドローラＧ１１に当接して分岐方向に沿って案内する円弧状の第２切換ガイドレールＢＧ２と、を備えている。そして、第１切換ガイドレールＳＧ２と第２切換ガイドレールＢＧ２がそれぞれ切換ガイド２Ｂの外側面となるように一体的に構成されている。
　次に、第二実施形態に係る分岐装置１Ｂの作用に付き、図５Ａ、図５Ｂ、図６Ａ、図６Ｂ及び図６Ｃを参照して説明する。
　先ず、搬送容器２０を主搬送路Ｓ上で直進移送する際は、図５Ａに示すように、切換ガイド２Ｂを主搬送路Ｓ側から分岐搬送路Ｂ側に移動させることで、搬送容器２０上面Ｔの第１ガイドローラＧ１１，Ｇ１２の内、分岐路側ガイドローラＧ１２が第１切換ガイドレールＳＧ２に案内される。
　すなわち、図５Ｂに示すように、搬送容器２０が分岐領域ＢＡ２において直進する場合は、搬送容器２０の上面Ｔの分岐路側ガイドローラＧ１２が第１切換ガイドレールＳＧ２に案内される。そのため、搬送容器２０が分岐搬送路Ｂ側へ傾倒するのが防止され、搬送容器１０は水平姿勢を維持した状態で搬送ローラＲ１Ｂの駆動力により進行方向に沿って円滑に移送される。
　また、図６Ａに示すように、搬送容器２０が主搬送路Ｓから分岐搬送路Ｂに分岐移送する場合は、切換ガイド２Ｂを分岐搬送路Ｂ側から主搬送路Ｓ側に移動させることで、搬送容器１０の上面の第１ガイドローラＧ１１，Ｇ１２のうち、主搬送路側ガイドローラＧ１１が第２切換ガイドレールＢＧ２によって案内される。
　なお、交差部においては、直進用と分岐用のガイドレールＴＧ２，ＴＧ２は、図６Ｃに示すように交差する位置まで延長して敷設してもよい。
　すなわち、図６Ｂに示すように、搬送容器２０が分岐領域ＢＡ２において分岐搬送路Ｂ側に搬送される場合は、搬送容器２０の上面Ｔの主搬送路側ガイドローラＧ１が第２切換ガイドレールＢＧ２に案内される。そのため、搬送容器１０の主搬送路側への傾倒が防止され、搬送容器１０は水平姿勢を維持した状態で搬送ローラＲ４Ｂ側の駆動ローラＤＲにより分岐搬送路Ｂの進行方向に沿って円滑に移送される。
　このように、切換ガイド２Ｂを移動させるだけで、搬送容器２０の直進と分岐方向への移動を簡単かつ確実に切り替えることができる。したがって、複数の搬送容器２０が連続的に搬送されてきた場合であっても、これら複数の搬送容器２０を一旦停止は勿論、減速させることなく、そのまま連続的に直進或いは分岐方向に移動させることができる。
　付随する効果としては、搬送容器を分岐カーブ内側に傾斜させるので、容器内の半導体ウエハ等の物品が遠心力による位置ずれを生じにくいことも挙げられる。
　上述した実施の形態において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
　例えば、前述のように、搬送容器の上面ないし下面の搬送方向前後に配設される第１，第２ガイドローラは、同一位置でなくともよい。また、第１ガイドローラは、搬送方向の幅方向にそれぞれ少なくとも１つある仕様であってもよい。
　また、上述した実施形態では、搬送容器の搬送方向を直進又は分岐する場合について説明したが、本発明の適用分野はこれに限らない。例えば、本発明の分岐装置を、主搬送路と分岐搬送路が合流する部分に適用することもできる。
　本発明によれば、切換ガイドの位置を移動させるだけで、搬送容器の搬送方向（直進と分岐）を簡単かつ確実に切り替えることができる。また、複数の搬送容器が連続的に搬送されてきた場合であっても、これら複数の搬送容器を一旦停止させることなく、そのまま連続的に直進或いは分岐方向に搬送させることができる。
　１Ａ，１Ｂ…分岐装置、　Ｓ…主搬送路（第一搬送路）、　Ｂ…分岐搬送路（第二搬送路）、　Ｒ１Ａ，Ｒ２Ａ，Ｒ１Ｂ，Ｒ２Ｂ，Ｒ３Ａ，Ｒ４Ａ，Ｒ３Ｂ，Ｒ４Ｂ…搬送ローラ、　ＴＧ１，ＴＧ２…ガイドレール、　Ｄ…搬送物、　１０，２０…搬送容器、　Ｔ…上面、　Ｅ…下面、　Ｇ１，Ｇ２，Ｇ１１，Ｇ１２…第１ガイドローラ（第一ガイド部）、　Ｇ３，Ｇ４，Ｇ１３，Ｇ１４…第２ガイドローラ（第二ガイド部）、　２Ａ，２Ｂ…切換ガイド、　ＳＧ１，ＳＧ２…第１切換ガイドレール、　ＢＧ１，ＢＧ２…第２切換ガイドレール、　１５…フランジ（ガイド部）、　１４…蓋体、　１４１…蓋体の側面下方（ガイド部）、　１２…収容ケース、　１２１…収容ケースの背面下方

Claims (7)

  1. 　搬送物を収容する搬送容器を搬送する搬送路の分岐装置であって、
    　前記搬送容器の上面の搬送方向と直交する幅方向両側に配設された第一ガイド部と、
    　前記搬送容器の下面の搬送方向と直交する幅方向両側に配設された第二ガイド部と、
    　前記搬送路のうち第一搬送路と第二搬送路の交差部分を除く搬送方向の幅方向両側に沿って配設されて前記搬送容器の下面を支持して移送する複数の搬送ローラと、
    　前記搬送路のうち前記交差部分を除く搬送方向の幅方向両側に沿って配設されて前記第二ガイド部に当接して案内するガイドレールと、
    　前記第一ガイド部のうち前記第二搬送路側に配設されたものに当接して前記搬送容器を前記第一搬送路に沿って案内する第一切換ガイドレール及び前記第一ガイド部のうち前記第一搬送路側に配設されたものに当接して前記搬送容器を前記第二搬送路に沿って案内する第二切換ガイドレールを有すると共に前記交差部分の上方において水平移動可能に配設された切換ガイドと、
    を備える分岐装置。
  2. 　前記ガイドレールは、前記搬送ローラよりも、前記搬送路の搬送方向の幅方向外側に配設される請求項１に記載の分岐装置。
  3. 　前記搬送ローラは、前記ガイドレールよりも、前記搬送路の搬送方向の幅方向外側に配設される請求項１に記載の分岐装置。
  4. 　前記第一ガイド部には、鉛直方向に延びる回転軸を備えるガイドローラを有する請求項１に記載の分岐装置。
  5. 　前記第二ガイド部には、鉛直方向に延びる回転軸を備えるガイドローラを有する請求項１に記載の分岐装置。
  6. 　前記第二ガイド部は、平板状をなすフランジの側面である請求項２に記載の分岐装置。
  7. 　前記第一ガイド部は、前記搬送容器の側面部である請求項２に記載の分岐装置。
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