JP2010126333A - 分岐装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】搬送容器の流れを停滞させることなく円滑且つ確実に移送方向を変換することができる分岐装置を提供する。
【解決手段】分岐装置は、搬送容器10の下面の搬送方向と直交する幅方向両側に配設されたガイド部と、搬送路S,Bの搬送方向の幅方向両側に沿って配設されて搬送容器10の下面を支持して移送する複数の搬送ローラR1A,R2A,R3A,R4Aと、搬送路のうち第一搬送路Sと第二搬送路Bの交差部分を除く搬送方向の幅方向両側に沿って配設されてガイド部に当接して案内するガイドレールTG1と、交差部分に配置された複数の搬送ローラのうち第一搬送路用搬送ローラと第二搬送路用搬送ローラとを相対的に昇降させて、第一搬送路用搬送ローラと第二搬送路用搬送ローラのいずれか一方により搬送容器10の下面支持して移送させる切換機構と、を備える。
【選択図】図1
【解決手段】分岐装置は、搬送容器10の下面の搬送方向と直交する幅方向両側に配設されたガイド部と、搬送路S,Bの搬送方向の幅方向両側に沿って配設されて搬送容器10の下面を支持して移送する複数の搬送ローラR1A,R2A,R3A,R4Aと、搬送路のうち第一搬送路Sと第二搬送路Bの交差部分を除く搬送方向の幅方向両側に沿って配設されてガイド部に当接して案内するガイドレールTG1と、交差部分に配置された複数の搬送ローラのうち第一搬送路用搬送ローラと第二搬送路用搬送ローラとを相対的に昇降させて、第一搬送路用搬送ローラと第二搬送路用搬送ローラのいずれか一方により搬送容器10の下面支持して移送させる切換機構と、を備える。
【選択図】図1
Description
本発明は、分岐装置に関する。
ローラコンベア等の搬送路に沿って移送される搬送物の移送方向を、分岐搬送路側に切換える分岐装置として、ターンテーブルが知られている(特許文献1参照)。
特許第3749176号公報
ターンテーブルは、搬送路上で移送される搬送容器を分岐搬送路側に切換える際に、ターンテーブル上に搬送物を載置した状態で、旋回させる必要がある。このため、ターンテーブルの旋回時は、後続する搬送物の進行(搬送)が停止され搬送路上で停滞するので、搬送効率が低下する問題を有している。
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたもので、搬送路で移送される搬送容器を分岐・合流する際に、後続する搬送容器の流れを停滞させることなく円滑且つ確実に移送方向を変換することができる分岐装置を提供することを目的とする。
本発明に係る分岐装置では、上記課題を解決するために以下の手段を採用した。
本発明は、搬送物を収容する搬送容器を搬送する搬送路の分岐装置であって、前記搬送容器の下面の搬送方向と直交する幅方向両側に配設されたガイド部と、前記搬送路の搬送方向の幅方向両側に沿って配設されて前記搬送容器の下面を支持して移送する複数の搬送ローラと、前記搬送路のうち第一搬送路と第二搬送路の交差部分を除く搬送方向の幅方向両側に沿って配設されて前記ガイド部に当接して案内するガイドレールと、前記交差部分に配置された前記複数の搬送ローラのうち第一搬送路用搬送ローラと第二搬送路用搬送ローラとを相対的に昇降させて、前記第一搬送路用搬送ローラと第二搬送路用搬送ローラのいずれか一方により前記搬送容器の下面支持して移送させる切換機構と、を備えることを特徴とする。
本発明は、搬送物を収容する搬送容器を搬送する搬送路の分岐装置であって、前記搬送容器の下面の搬送方向と直交する幅方向両側に配設されたガイド部と、前記搬送路の搬送方向の幅方向両側に沿って配設されて前記搬送容器の下面を支持して移送する複数の搬送ローラと、前記搬送路のうち第一搬送路と第二搬送路の交差部分を除く搬送方向の幅方向両側に沿って配設されて前記ガイド部に当接して案内するガイドレールと、前記交差部分に配置された前記複数の搬送ローラのうち第一搬送路用搬送ローラと第二搬送路用搬送ローラとを相対的に昇降させて、前記第一搬送路用搬送ローラと第二搬送路用搬送ローラのいずれか一方により前記搬送容器の下面支持して移送させる切換機構と、を備えることを特徴とする。
また、前記ガイドレールは、前記搬送ローラよりも、前記搬送路の搬送方向の幅方向外側に配設されることを特徴とする。
また、前記搬送ローラは、前記ガイドレールよりも、前記搬送路の搬送方向の幅方向外側に配設されることを特徴とする。
また、前記ガイド部には、鉛直回転軸式のガイドローラを有することを特徴とする。
また、前記ガイド部は、フランジであることを特徴とする。
本発明によれば、切換機構により第一搬送路用搬送ローラと第二搬送路用搬送ローラとを相対的に昇降させることで、搬送容器の搬送方向(直進と分岐)を簡単かつ確実に切り替えることができる。また、複数の搬送容器が連続的に搬送されてきた場合であっても、これら複数の搬送容器を一旦停止させることなく、そのまま連続的に直進或いは分岐させることができる。
以下、本発明に係る分岐装置の第一実施形態について図面を参照して説明する。
図1は、第一実施形態に係る分岐装置の概略構成を下面側から見た斜視図である。
図2は、本発明に係る分岐装置に用いる搬送容器を下面側から見た斜視図である。
図1は、第一実施形態に係る分岐装置の概略構成を下面側から見た斜視図である。
図2は、本発明に係る分岐装置に用いる搬送容器を下面側から見た斜視図である。
搬送容器10は、例えば複数の円板状半導体ウェハーD(搬送物)を複数段に整列収容して搬送する容器であって、この搬送容器10は、両側内部側壁に半導体ウェハーDの両側を係止する複数段の係止溝を形成した収容ケース12と、この収容ケース12の開口部13を密封閉塞する蓋体14とから構成されている。
複数の半導体ウェハーDを収容した搬送容器10は、閉塞された開口部13を横に向けて後述する主搬送路Sまたは分岐搬送路Bを矢印方向に移送されるようになっており、搬送容器10の天面Tは、平坦面で構成され、搬送容器10の下面Eには、移送方向両側に一対のガイドローラG1,G2が移送方向前後に所定間隔で回転自在に支持されている。
もっとも、ガイドローラG1,G2は、ローラ式を用いず、平板式のフランジ15のままとしてもよい。
もっとも、ガイドローラG1,G2は、ローラ式を用いず、平板式のフランジ15のままとしてもよい。
図3は、本発明の第一実施形態に係る分岐装置の概略構成図であって、搬送容器の移送方向を直進方向に切換えた状態を示す図である。
図4は、本発明の第一実施形態に係る分岐装置であって、搬送容器の移送方向を分岐方向に切換えた状態を示す図である。
図4は、本発明の第一実施形態に係る分岐装置であって、搬送容器の移送方向を分岐方向に切換えた状態を示す図である。
図3、図4において、分岐装置1Aは、搬送容器10を直進方向に搬送する主搬送路Sと、この主搬送路Sから搬送容器10を分岐方向に搬送する分岐搬送路Bとが交叉する部位(分岐領域)に配設されている。
主搬送路S並びに分岐搬送路Bの両内側面には、複数の搬送ローラR1A,R2Aが移送方向に向けて連続的に配設されており、搬送ローラR1A,R2Aは、駆動ローラDRと自由回転可能なフリーローラFRとから構成されており、搬送容器10の下面Eに配設されるガイドローラG1,G2の幅方向内側に近接して配設されている。
ガイドローラG1,G2を用いない場合には、フランジ15の側面のいずれかの部位に当接することになる。
ガイドローラG1,G2を用いない場合には、フランジ15の側面のいずれかの部位に当接することになる。
また、主搬送路Sと分岐搬送路Bが交叉する分岐領域以外の領域において、搬送ローラR1A,R2Aの外側には、搬送容器10の下面EのガイドローラG1,G2の外側を移送方向に案内するガイドレールTG1が移送方向に沿って設けられている。
ガイドローラG1,G2を用いない場合には、フランジ15の側面をガイドレールTG1が案内することになる。
なお、図3(b)、図4(b)、図5(b)、図6(b)及び図7(b)では、フランジ15を搬送容器10,20と特に区別して図示していない。
ガイドローラG1,G2を用いない場合には、フランジ15の側面をガイドレールTG1が案内することになる。
なお、図3(b)、図4(b)、図5(b)、図6(b)及び図7(b)では、フランジ15を搬送容器10,20と特に区別して図示していない。
分岐装置1Aは、主搬送路Sから分岐する分岐搬送路Bの両側に、搬送容器10の下面Eの内側を支持して駆動移送する複数の内側分岐ローラCRIと、搬送容器10の下面Eの外側を支持する複数の外側分岐ローラCROと、を備えている。
そして、内側分岐ローラCRI及び外側分岐ローラCROは、切換機構2Aに支持されており、後述する駆動源により昇降移動するようになっている。
そして、内側分岐ローラCRI及び外側分岐ローラCROは、切換機構2Aに支持されており、後述する駆動源により昇降移動するようになっている。
切換機構2Aは、内側分岐ローラCRIが主搬送路Sの搬送ローラR2Aと分岐搬送路Bの搬送ローラR4Aに連続する位置に配置される。また、外側分岐ローラCROが主搬送路Sの搬送ローラR2Aと交叉し、且つ分岐搬送路Bの搬送ローラR3Aに連続するように主搬送路Sの両搬送ローラR1A,R2A間に配設される。
そして、搬送容器10の移送方向を切換える際は、切換機構2Aの昇降移動により、内側分岐ローラCRI及び外側分岐ローラCROを搬送ローラR1A,R2Aに対し相対的に上下移動させて、搬送容器10の下面Eを支持する支持面の高低差を形成するように昇降制御されている。
なお、切換機構2Aの外側分岐ローラCROの側方には、ガイドレールTG3が配置される。
なお、切換機構2Aの外側分岐ローラCROの側方には、ガイドレールTG3が配置される。
図5は、切換機構2Aの構成図である。
図5(a),(b)に示すように、主搬送路Sには複数の搬送ローラR1A,R2Aが回転自在に支持されており、分岐領域における主搬送路側の搬送ローラR1Aは駆動ローラDRで構成され、分岐路側の搬送ローラR2AはフリーローラFRで構成されており、これらは基台F上に同一高さに立設保持されている。
図5(a),(b)に示すように、主搬送路Sには複数の搬送ローラR1A,R2Aが回転自在に支持されており、分岐領域における主搬送路側の搬送ローラR1Aは駆動ローラDRで構成され、分岐路側の搬送ローラR2AはフリーローラFRで構成されており、これらは基台F上に同一高さに立設保持されている。
切換機構2Aは、搬送ローラR1A、R2Aに対し昇降移動するものであって、基台F上に設けた駆動源16(例えばエアシリンダー)により昇降移動する昇降板DPと、この昇降板DP上に所定間隔を持って保持される台形型の基板BPとから構成されており、基板BP上には、複数の内側分岐ローラCRIと複数の外側分岐ローラCROが配設されて一体的に構成されると共に、基板BPには分岐路側の複数の搬送ローラR2Aを上下に挿通することができる複数の挿通孔18が形成されている。
図5(b)に示すように、内側分岐ローラCRIと外側分岐ローラCROの支持面は同一高さ位置にある。
そして、搬送容器10を主搬送路Sに沿って直進させる場合には、内側分岐ローラCRIと外側分岐ローラCROは、搬送ローラR1A,R2Aの支持面に対して、若干低い位置h2に位置する。この状態では、主搬送路S上で移送される搬送容器10は、搬送ローラR1A,R2Aにより支持されて、分岐領域をそのまま直進移送する。
そして、搬送容器10を主搬送路Sに沿って直進させる場合には、内側分岐ローラCRIと外側分岐ローラCROは、搬送ローラR1A,R2Aの支持面に対して、若干低い位置h2に位置する。この状態では、主搬送路S上で移送される搬送容器10は、搬送ローラR1A,R2Aにより支持されて、分岐領域をそのまま直進移送する。
次に、搬送容器10を分岐搬送路Bに分岐させる場合には、駆動源16を作動させて、基板BP上の内側分岐ローラCRIおよび外側分岐ローラCROを全ストロークHだけ上昇させる。これにより、内側分岐ローラCRIおよび外側分岐ローラCROの支持面が搬送ローラR1A,R2Aの支持面に対し若干高い位置h1まで移動する。したがって、主搬送路S上を移送する搬送容器10が分岐領域まで移送されると、搬送容器10は、内側分岐ローラCRIと外側分岐ローラCROにより支持されて、分岐搬送路Bに向けて搬送される。
更に、切換機構2Aの外側分岐ローラCROの側方にガイドレールTG3が配置されているので、搬送容器10の方向変換時に搬送容器10の下面Eに設けたガイドローラG1が案内されるので、分岐搬送路Bを外れることがない。
ガイドローラG1,G2を用いない場合には、フランジ15の側面をガイドレールTG3が案内することになる。
ガイドローラG1,G2を用いない場合には、フランジ15の側面をガイドレールTG3が案内することになる。
なお、2つの外側分岐ローラCROのうち、始端側(図5(b)において左側)の支持面は、終端側(図5(b)において右)に比べてやや低く(h3だけ)設定されている。したがって、搬送容器10は、搬送ローラR2A(の支持面)をスムーズに乗り上げて、分岐搬送路Bに移送される。
このように、第一実施形態に係る分岐装置1Aによれば、分岐ローラCRI,CROを切換機構2Aにより搬送ローラR1A,R2Aに対し相対的に昇降移動することで、搬送容器10の下面Eを支持する駆動ローラを選択することが可能となる。
したがって、搬送容器10の移送方向を容易に切換えることができ、後続移送される搬送容器10を停滞させずに円滑且つ確実に移送することができる。
したがって、搬送容器10の移送方向を容易に切換えることができ、後続移送される搬送容器10を停滞させずに円滑且つ確実に移送することができる。
次に、第一実施形態に係る分岐装置1Bに付き説明する。なお、本実施形態において、第一実施形態と同一部材は同一符号を付してその説明を省略する。
図6は、本発明の第二実施形態に係る分岐装置の概略構成図であって、搬送容器の移送方向を直進方向に切換えた状態を示す図である。
図7は、本発明の第二実施形態に係る分岐装置の概略構成図であって、搬送容器の移送方向を分岐方向に切換えた状態を示す図である。
図6は、本発明の第二実施形態に係る分岐装置の概略構成図であって、搬送容器の移送方向を直進方向に切換えた状態を示す図である。
図7は、本発明の第二実施形態に係る分岐装置の概略構成図であって、搬送容器の移送方向を分岐方向に切換えた状態を示す図である。
図6、図7において、分岐装置1Bは、搬送容器20を直進方向に搬送する主搬送路Sと、この主搬送路Sから搬送容器20を分岐方向に搬送する分岐搬送路Bとが交叉する部位(分岐領域)に配設されている。
主搬送路S並びに分岐搬送路Bの両外側面には、複数の搬送ローラR1B,R2Bが移送方向に向けて連続的に配設されており、搬送ローラR1B,R2Bは、駆動ローラDRと自由回転可能なフリーローラFRとから構成されており、搬送容器20の下面Eに配設されるガイドローラG11,G12の幅方向外側に近接して配設されている。
また、主搬送路Sと分岐搬送路Bが交叉する分岐領域以外の領域において、搬送ローラR1B,R2Bの内側には、搬送容器20の下面EのガイドローラG11,G12の外側を移送方向に案内するガイドレールTG2が移送方向に沿って設けられている。
分岐装置1Bは、主搬送路Sから分岐する分岐搬送路Bの両側に、搬送容器20の下面Eの内側を支持して駆動移送する複数の内側分岐ローラCRIと、搬送容器20の下面Eの外側を支持する複数の外側分岐ローラCROと、を備えている。
そして、内側分岐ローラCRI及び外側分岐ローラCROは、切換機構2Bに支持されており、後述する駆動源により昇降移動するようになっている。
そして、内側分岐ローラCRI及び外側分岐ローラCROは、切換機構2Bに支持されており、後述する駆動源により昇降移動するようになっている。
切換機構2Bでは、内側分岐ローラCRIが主搬送路Sの搬送ローラR2Bと分岐搬送路Bの搬送ローラR4Bに連続する位置に配置される。また、外側分岐ローラCROが主搬送路Sの搬送ローラR2Bと交叉し、且つ分岐搬送路Bの搬送ローラR3Bに連続するように主搬送路Sの両搬送ローラR1B,R2B間に配設される。
そして、搬送容器20の移送方向を切換える際は、切換機構2Bの昇降移動により、内側分岐ローラCRI及び外側分岐ローラCROを搬送ローラR1B,R2Bに対し相対的に上下移動させて、搬送容器20の下面Eを支持する支持面の高低差を形成するように昇降制御されている。
そして、搬送容器20の移送方向を切換える際は、切換機構2Bの昇降移動により、内側分岐ローラCRI及び外側分岐ローラCROを搬送ローラR1B,R2Bに対し相対的に上下移動させて、搬送容器20の下面Eを支持する支持面の高低差を形成するように昇降制御されている。
なお、切換機構2Bには、内側分岐ローラCRI及び外側分岐ローラCROと共に、外側分岐ローラCROの側方にガイドレールTG4が配置され、これらが一体となって昇降移動するようになっている。
図8は、切換機構2Bの構成図である。
図8(a),(b)に示すように、主搬送路Sには複数の搬送ローラR1B,R2Bが回転自在に支持されており、分岐領域における主搬送路側の搬送ローラR1Bは駆動ローラDRで構成され、分岐路側の搬送ローラR2BはフリーローラFRで構成されており、これらは基台F上に同一高さに立設保持されている。
図8(a),(b)に示すように、主搬送路Sには複数の搬送ローラR1B,R2Bが回転自在に支持されており、分岐領域における主搬送路側の搬送ローラR1Bは駆動ローラDRで構成され、分岐路側の搬送ローラR2BはフリーローラFRで構成されており、これらは基台F上に同一高さに立設保持されている。
切換機構2Bは、搬送ローラR1B、R2Bに対し昇降移動するものであって、基台F上に設けた駆動源16(例えばエアシリンダー)により昇降移動する昇降板DPと、この昇降板DP上に所定間隔を持って保持される台形型の基板BPとから構成されており、基板BP上には、複数の内側分岐ローラCRIと複数の外側分岐ローラCROが配置されて一体的に構成されると共に、基板BPには分岐路側の複数の搬送ローラR2Bを上下に挿通することができる複数の挿通孔18が形成されている。
図7(b)に示すように、内側分岐ローラCRIと外側分岐ローラCROの支持面は同一高さ位置にある。
そして、搬送容器20を主搬送路Sに沿って直進させる場合には、内側分岐ローラCRIと外側分岐ローラCROは、搬送ローラR1B,R2Bの支持面に対して若干低い位置h2に位置する。この状態では、主搬送路S上で移送される搬送容器20は、搬送ローラR1B,R2Bにより支持されて、分岐領域をそのまま直進移送する。
そして、搬送容器20を主搬送路Sに沿って直進させる場合には、内側分岐ローラCRIと外側分岐ローラCROは、搬送ローラR1B,R2Bの支持面に対して若干低い位置h2に位置する。この状態では、主搬送路S上で移送される搬送容器20は、搬送ローラR1B,R2Bにより支持されて、分岐領域をそのまま直進移送する。
次に、搬送容器20を分岐搬送路Bに分岐させる場合には、駆動源16を作動させて、基板BP上の内側分岐ローラCRIおよび外側分岐ローラCROを全ストロークHまで上昇させる。これにより、内側分岐ローラCRI及び外側分岐ローラCROの支持面が搬送ローラR1B,R2Bの支持面より若干高い位置h1まで移動する。したがって、主搬送路S上を移送する搬送容器20が分岐領域まで移送されると、搬送容器20は、内側分岐ローラCRIと外側分岐ローラCROにより支持されて、分岐搬送路Bに向けて搬送される。
更に、切換機構2Bの外側分岐ローラCROの側方にガイドレールTG4が配置されているので、搬送容器20の方向変換時に搬送容器20の下面Eに設けたガイドローラG11が案内されるので、分岐搬送路Bを外れることがない。
ガイドローラG1がない場合は、フランジ15の側面が同様に案内される。
ガイドローラG1がない場合は、フランジ15の側面が同様に案内される。
なお、複数の外側分岐ローラCROのうち、始端側(図7(b)において左側)の支持面は、終端側(図7(b)において右)に比べて徐々に低く(h3だけ)設定されている。したがって、搬送容器20は、搬送ローラR2A(の支持面)をスムーズに乗り上げて、分岐搬送路Bに移送される。
このように、第二実施形態に係る分岐装置1Bによれば、第一実施形態に係る分岐装置1Aと同一の効果を得ることができる。
上述した実施の形態において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
例えば、上述した実施形態では、搬送容器の搬送方向を直進又は分岐する場合について説明したが、これに限らない。主搬送路と分岐搬送路が合流する部分に適用することもできる。
また、上述した実施形態では、分岐搬送路用の搬送ローラ(分岐ローラCRI、CRO)を昇降させる場合について説明したが、これに限らない。
分岐ローラCRI、CROを固定して、その周辺に配置された主搬送路用の搬送ローラを昇降させるようにしてもよい。
分岐ローラCRI、CROを固定して、その周辺に配置された主搬送路用の搬送ローラを昇降させるようにしてもよい。
1A,1B…分岐装置、 S…主搬送路(第一搬送路)、 B…分岐搬送路(第二搬送路)、 R1A,R2A,R1B,R2B,R3A,R4A,R3B,R4B…搬送ローラ、 TG1−TG4…ガイドレール、 D…搬送物、 10,20…搬送容器、 15…フランジ(ガイド部)、 E…下面、 G1,G2,G11,G12…ガイドローラ(ガイド部)、 2A,2B…切換機構、 CRI、CRO…分岐ローラ(第二搬送路用搬送ローラ)
Claims (5)
- 搬送物を収容する搬送容器を搬送する搬送路の分岐装置であって、
前記搬送容器の下面の搬送方向と直交する幅方向両側に配設されたガイド部と、
前記搬送路の搬送方向の幅方向両側に沿って配設されて前記搬送容器の下面を支持して移送する複数の搬送ローラと、
前記搬送路のうち第一搬送路と第二搬送路の交差部分を除く搬送方向の幅方向両側に沿って配設されて前記ガイド部に当接して案内するガイドレールと、
前記交差部分に配置された前記複数の搬送ローラのうち第一搬送路用搬送ローラと第二搬送路用搬送ローラとを相対的に昇降させて、前記第一搬送路用搬送ローラと第二搬送路用搬送ローラのいずれか一方により前記搬送容器の下面支持して移送させる切換機構と、
を備えることを特徴とする分岐装置。 - 前記ガイドレールは、前記搬送ローラよりも、前記搬送路の搬送方向の幅方向外側に配設されることを特徴とする請求項1に記載の分岐装置。
- 前記搬送ローラは、前記ガイドレールよりも、前記搬送路の搬送方向の幅方向外側に配設されることを特徴とする請求項1に記載の分岐装置。
- 前記ガイド部には、鉛直回転軸式のガイドローラを有することを特徴とする請求項1から請求項3のうちいずれか一項に記載の分岐装置。
- 前記ガイド部は、フランジであることを特徴とする請求項2に記載の分岐装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108946101A (zh) * | 2017-05-24 | 2018-12-07 | 台达电子工业股份有限公司 | 输送设备 |
-
2008
- 2008-11-28 JP JP2008305170A patent/JP2010126333A/ja active Pending
Cited By (2)
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CN108946101A (zh) * | 2017-05-24 | 2018-12-07 | 台达电子工业股份有限公司 | 输送设备 |
CN108946101B (zh) * | 2017-05-24 | 2020-08-28 | 台达电子工业股份有限公司 | 输送设备 |
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