WO2010032348A1 - 情報記録媒体及びその製造方法 - Google Patents

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WO2010032348A1
WO2010032348A1 PCT/JP2009/002159 JP2009002159W WO2010032348A1 WO 2010032348 A1 WO2010032348 A1 WO 2010032348A1 JP 2009002159 W JP2009002159 W JP 2009002159W WO 2010032348 A1 WO2010032348 A1 WO 2010032348A1
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recording medium
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information recording
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土生田晴比古
山田昇
古宮成
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パナソニック株式会社
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Definitions

  • the present invention relates to an information recording medium capable of recording and reproducing information using optical means such as irradiation with a laser beam (laser light), and particularly records main information such as video and audio,
  • the present invention relates to an information recording medium capable of additionally recording sub information.
  • information recording medium As a large capacity information recording medium (sometimes called “recording medium” or “medium”) that can record and reproduce information at high speed, it is represented by DVD (Digital Versatile / Video Disc) and Blu-ray Disc.
  • Optical information recording media are known. Such an information recording medium records and reproduces information using a difference in reflectance between two different states.
  • information recording media since such information recording media have a great advantage that they can be randomly accessed as needed and have excellent portability, their importance has been increasing in recent years.
  • Conventionally proposed information recording media include rewritable media that can be rewritten many times, write-once media that can be written only once, and read-only media that can only be played.
  • the read-only medium can be manufactured easily and can be provided at low cost because the number of layers constituting the medium can be reduced as compared with a rewritable medium and a write-once medium. Therefore, it is widely used as a medium for distributing digital contents such as music, movies and game software.
  • sub-information such as a serial number of an information recording medium is additionally recorded in addition to main information such as video and audio.
  • This sub information is recorded by, for example, a bar-code-like mark called BCA (Burst Cutting Area), and is processed by burning off the reflective film in the information recording layer with a YAG laser.
  • BCA Bar-code-like mark
  • the present invention has been made to solve the above-described problems, and provides an information recording medium that can record main information such as video and audio and can additionally record sub information at a low cost. Objective.
  • the information recording medium of the first invention is the following (1) and (2).
  • M is at least one element selected from the group consisting of Pd, Au, Pt, Ag, Cu and Ni
  • the reflectance Ra before laser irradiation and the reflectance Rb after laser irradiation of the information recording medium of the first invention satisfy 1.0 ⁇ Rb / Ra ⁇ 1.1.
  • This information recording medium can record main information such as video and audio on the concave and convex marks, and can record sub information on the write-once marks. Therefore, this information recording medium can suppress an increase in cost for manufacturing the information recording medium and is excellent in convenience.
  • the information recording medium of the second invention is the information recording medium of the first invention, wherein the shortest distance between adjacent write-once marks is longer than the longest distance between adjacent concave and convex marks, and the length of the shortest write-once mark The length is longer than the length of the longest uneven mark.
  • the information recording medium of the second invention can stably reproduce the data recorded by the concave and convex marks and the data recorded by the additional recording marks.
  • the information recording medium of the third invention is the information recording medium of the first or second invention, wherein the total number of Te atoms, O atoms and M atoms contained in the recording layer is 100 atomic%.
  • the Te atom content is 10 to 65 atom%, the O atom content is 20 to 75 atom%, and the M atom content is 1 to 30 atom%.
  • the information recording medium of the third invention is suitable for stably reproducing a signal over a long period of time.
  • the information recording medium of the fourth invention is the information recording medium of the first or second invention, wherein the total number of Te atoms, O atoms and M atoms contained in the recording layer is 100 atomic%. Further, the Te atom content is 20 to 50 atom%, the O atom content is 40 to 65 atom%, and the M atom content is 1 to 20 atom%.
  • the information recording medium of the fourth invention is further suitable for reproducing a signal stably over a long period of time.
  • the information recording medium of the fifth invention is the information recording medium of any one of the first to fourth inventions, and is contained in the recording layer when the total number of atoms constituting the recording layer is 100 atomic%
  • the total number of Te atoms, O atoms and M atoms to be formed is 80 atomic% or more.
  • the recording layer may be formed of only Te atoms, O atoms, and M atoms.
  • An information recording medium of a sixth invention is the information recording medium of any one of the first to fifth inventions, wherein the information layer has a dielectric layer adjacent to the recording layer, and the dielectric layer is sulfided More preferably, the main component is at least one selected from the group consisting of a material, a selenide material, an oxide material, a nitride material, a nitride oxide material, a carbide material, and a fluoride material. Since the information recording medium of the sixth invention has such a composition, a signal is transmitted over a long period of time in combination with a recording layer containing a specific element (Te atom, O atom, M atom). Suitable for stable playback.
  • a specific element Te atom, O atom, M atom
  • An information recording medium of a seventh invention is the information recording medium of any one of the first to sixth inventions, wherein the information layer has a dielectric layer adjacent to the recording layer, and the thickness of the dielectric layer is It is 2 nm or more and 100 nm or less. When the thickness of the dielectric layer is within the range, an information recording medium having a reflectivity suitable for stably reproducing a signal is realized.
  • An information recording medium of an eighth invention is the information recording medium of any one of the first to sixth inventions, wherein the information layer has a dielectric layer adjacent to the recording layer, and the thickness of the dielectric layer Is 2 nm or more and 50 nm or less. When the thickness of the dielectric layer is within the range, an information recording medium having a more suitable reflectance for reproducing a signal stably is realized.
  • An information recording medium of a ninth invention is the information recording medium of any one of the first to eighth inventions, wherein the information layer has a reflective layer between the substrate and the recording layer, and the reflective layer is Ag,
  • the main component is at least one selected from the group consisting of Al, Au, Cu, Ni, Cr and Ti.
  • an information recording medium having a preferable reflectance for stably reproducing a signal is realized.
  • An information recording medium according to a tenth invention is the information recording medium according to any one of the first to ninth inventions, wherein the information layer has a reflective layer disposed between the substrate and the recording layer, The thickness of the layer is 5 nm or more and 200 nm or less. When the thickness of the reflective layer is within the range, an information recording medium having a preferable reflectance for reproducing a signal stably is realized.
  • An information recording medium is the information recording medium according to any one of the first to tenth aspects, wherein the recording layer has a thickness of 2 nm to 60 nm. When the thickness of the recording layer is within this range, an information recording medium having a preferable reflectance for reproducing a signal stably is realized.
  • An information recording medium according to a twelfth aspect is the information recording medium according to any one of the first to tenth aspects, wherein the recording layer has a thickness of 2 nm to 40 nm. When the thickness of the recording layer is within this range, an information recording medium having a more preferable reflectance is realized in order to stably reproduce a signal.
  • the manufacturing method of the thirteenth invention is the above-described information recording medium manufacturing method, wherein Te, O and M (M) are formed directly on the substrate or on another layer formed on the substrate. Includes a step of forming a recording layer by a sputtering method using a sputtering target containing at least one element selected from the group consisting of Pd, Au, Pt, Ag, Cu and Ni. This manufacturing method can manufacture an information recording medium that can stably reproduce signals over a long period of time.
  • the manufacturing method of the fourteenth invention is a method for manufacturing the above-described information recording medium, wherein Te and M (M is Pd) directly on the substrate or on another layer formed on the substrate. , At least one element selected from the group consisting of Au, Pt, Ag, Cu, and Ni) in an atmosphere containing a mixed gas of a rare gas and oxygen by a reactive sputtering method. And a step of forming a recording layer.
  • This manufacturing method can manufacture an information recording medium that can stably reproduce signals over a long period of time.
  • the information recording medium of the present invention can record main information such as video and audio, and can additionally record sub information at low cost. Moreover, according to the method for manufacturing an information recording medium of the present invention, an information recording medium having the above effects can be manufactured.
  • a plan view schematically showing the configuration of an information recording medium Schematic diagram showing unevenness data and additional data of information recording medium
  • Sectional drawing which shows the example of 1 structure of an information recording medium Sectional drawing which shows another structural example of an information recording medium Sectional drawing which shows another structural example of an information recording medium
  • FIG. 1 is a plan view showing an example of a disk layout structure of the information recording medium 1.
  • the information recording medium 1 is a circular recording disk.
  • the information recording medium 1 has a lead-in area 4, a data recording area 3, and a lead-out area 2.
  • the lead-in area 4 information relating to the structure of the disc, information necessary for recording the disc, data relating to management information of the recording data, and the like are recorded with concave and convex marks.
  • the lead-out area 2 is an area indicating a data recording end position.
  • Main information of the media by the concave and convex marks is recorded.
  • Main information includes video, audio and other software.
  • information unique to the information recording medium such as a serial number, can be recorded as sub-information by laser irradiation.
  • the sub information is recorded by a write-once mark superimposed on the uneven mark.
  • the sub-information is preferably recorded locally in the lead-in area 4, but can be recorded in an area other than the lead-in area 4 (for example, the data recording area 3).
  • the concavo-convex mark and the write-once mark formed on the information recording medium 1 are examples of the concavo-convex mark and the write-once mark formed on the information recording medium 1
  • the concavo-convex mark 7 and the write-once mark 8 in FIG. 3 are other examples. That is, the concave / convex mark and the additional recording mark formed on the information recording medium 1 may have any of the configurations shown in FIGS. 2 and 3, the radial direction of the information recording medium 1 is shown as D1.
  • the write-once mark 6 is formed by irradiating the uneven mark 5 with a laser beam.
  • the interval between the recordable marks 6 (that is, the distance between the recordable marks 6 adjacent in the circumferential direction of the information recording medium 1) is the interval between the longest marks of the concave and convex marks 5 (that is, the information recording medium 1). Longer than the distance between the longest marks adjacent to each other in the circumferential direction. That is, the shortest distance W1 between the adjacent recordable marks 6 is longer than the longest distance W2 between the adjacent concave and convex marks 5. Further, the length of the write-once mark 6 is longer than the length of the concave / convex mark 5. In FIG.
  • the symbol “6a” is attached to the shortest additional mark 6 and the symbol “5a” is attached to the longest uneven mark 5.
  • the length L1 of the write-once mark 6a is longer than the length L2 of the concave / convex mark 5a.
  • “Length” means the length of the information recording medium 1 in the circumferential direction.
  • the postscript mark 6a and the concave / convex mark 5a are drawn in an overlapping manner, but FIG. 2 is not intended to limit the present invention.
  • the length and interval of the recordable mark are not limited to the form shown in FIG.
  • the write-once mark 8 is formed by irradiating the concave / convex mark 7 with a laser beam, as in the configuration of FIG. 2.
  • the shortest distance between the write-once marks 8 may be shorter than the shortest distance between the concave and convex marks 7.
  • the length of the shortest additional mark 8 may be shorter than the length of the longest uneven mark 7.
  • the additional mark may have any shape of the additional mark 6 and 8.
  • the reflectance of the information recording medium 1 is increased by laser irradiation.
  • An ordinary read-only recording medium has a reflectivity reduced by laser irradiation.
  • the information recording medium 1 preferably has a small amount of increase in reflectance due to laser irradiation. That is, the reflectivity Rb of the information recording medium 1 after laser irradiation is preferably high enough to stably reproduce the main information recorded on the information recording medium 1 as the concave and convex marks.
  • the reflectance Ra before laser irradiation and the reflectance Rb after laser irradiation are: 1.0 ⁇ Rb / Ra ⁇ 1.1 It is preferable that the relational expression is satisfied. This is because when Rb / Ra is within this range, the main information recorded as the concave and convex marks is stably reproduced.
  • a reproducing apparatus that reproduces information recorded on the information recording medium 1 for example, a recording / reproducing apparatus 45 described later
  • the amount of light received by the pickup decreases. The stability of reproduction of main information is reduced.
  • Rb / Ra is within the above-described range, the reproducing apparatus can reproduce main information stably.
  • the reproducing apparatus can reproduce the additional recording mark stably.
  • the modulation degree A of the concave / convex mark and the modulation degree B of the write-once mark are B / A ⁇ 0.1 It is preferable to satisfy. When B / A is within this range, the reproduction accuracy of the signal recorded on the concave / convex mark becomes good.
  • the modulation degree of the write-once mark is sufficiently small with respect to the modulation degree of the concave / convex mark at the time of reproduction, so that deterioration of the reproduction accuracy of the concave / convex mark is suppressed by B / A being in the above range. be able to.
  • the information recording medium 1 is not easily deteriorated by irradiation with a laser beam for signal reproduction, and it is preferable to maintain high signal quality over a long period of time. For example, when the information recording medium 1 is irradiated with a laser beam about 1 million times, it is preferable that the signal quality of the concave and convex marks and the write-once mark does not deteriorate.
  • the information recording medium 9 includes a substrate 10, an information layer 9 a and a transparent layer 15.
  • the information layer 9 a includes a reflective layer 11, a first dielectric layer 12, a recording layer 13, and a second dielectric layer 14.
  • the reflective layer 11, the first dielectric layer 12, the recording layer 13, and the second dielectric layer 14 are laminated in this order from the substrate 10 side.
  • the transparent layer 15 is formed on the information layer 9a.
  • the transparent layer 15 is also called a cover layer or a protective layer.
  • any or all of the reflective layer 11, the first dielectric layer 12, and the second dielectric layer 14 may not be formed. If the number of layers is smaller, the manufacturing cost of the information recording medium 9 is further reduced.
  • a laser beam 16 irradiates the information recording medium 9 from the transparent layer 15 side, whereby signals are recorded and reproduced.
  • the information recording medium 17 includes a substrate 18, a first information layer 23, an intermediate layer 24, a second information layer 26, and a transparent layer 27.
  • the first information layer 23, the intermediate layer 24, the second information layer 26, and the transparent layer 27 are laminated on the substrate 18 in this order.
  • the first information layer 23 includes a reflective layer 19, a first dielectric layer 20, a recording layer 21, and a second dielectric layer 22.
  • the reflective layer 19, the first dielectric layer 20, the recording layer 21, and the second dielectric layer 22 are stacked on the substrate 18 in this order.
  • the intermediate layer 24 is interposed between the two information layers 23 and 26 to optically separate each information layer. Thus, the intermediate layer 24 eliminates unnecessary optical interference.
  • the second information layer 26 is composed of the reflective layer 25.
  • the transparent layer 27 is formed on the second information layer 26.
  • the laser beam 28 irradiates the information recording medium 17 from the transparent layer 27 side, whereby signals are recorded and reproduced.
  • any or all of the reflective layer 19, the first dielectric layer 20, and the second dielectric layer 22 in the first information layer 23 may not be formed. If the number of layers is smaller, the manufacturing cost of the information recording medium 17 is further reduced.
  • the first information layer 23 may be composed of only a reflective layer
  • the second information layer 26 may have a reflective layer, a first dielectric layer, a recording layer, a second dielectric layer, and the like. As shown in FIG.
  • the information recording medium 29 includes a substrate 30, a first information layer 35, a second information layer 38,..., An nth information layer 42 (n is an integer of 3 or more). Prepare. The first information layer 35, the second information layer 38,..., The nth information layer 42 are provided in this order from the substrate 30 side.
  • An intermediate layer (such as “36”, “39”, and “40” in FIG. 6) is interposed between the information layers. These intermediate layers optically separate each information layer, thereby eliminating unnecessary optical interference.
  • a transparent layer 43 is provided on the nth information layer 42.
  • the laser beam 44 irradiates the information recording medium 29 from the transparent layer 43 side, whereby signals are recorded and reproduced.
  • the first information layer 35 has a configuration in which a reflective layer 31, a first dielectric layer 32, a recording layer 33, and a second dielectric layer 34 are sequentially stacked. With this configuration, both high reflectivity and long-term signal reproduction stability can be achieved.
  • the second to nth information layers (eg, “38” and “42” in FIG. 6) are each formed of a reflective layer (eg, “37” and “41” in FIG. 6).
  • any or all of the reflective layer, the first dielectric layer, and the second dielectric layer in the first information layer 35 may not be formed.
  • the first information layer 35 is composed of only a reflective layer, and at least one of the second to nth information layers has a reflective layer, a first dielectric layer, a recording layer, a second dielectric layer, and the like. You may do it. If the number of layers is smaller, the manufacturing cost of the information recording medium 29 is further reduced.
  • a transparent disk-shaped material for example, (1) Polycarbonate resin, polymethyl methacrylate resin, polyolefin resin, norbornene resin, ultraviolet curable resin, or glass; or (2) those appropriately combined with these (materials included in (1) above).
  • the thickness of the substrate is not particularly limited, but may be, for example, about 0.01 mm to 1.5 mm.
  • the thickness of the substrate is preferably in the range of 1.00 mm to 1.20 mm.
  • the thickness of the substrate is within this range, the strength of the information recording medium is maintained.
  • the thickness of the substrate is preferably in the range of 0.50 mm to 0.70 mm.
  • the materials of the transparent layers 15, 27, and 43 are laser beams 16, 28, and 44 (hereinafter, reference numerals may be omitted) to the extent that signals can be recorded and reproduced.
  • the material of the transparent layer has a small light absorption with respect to the wavelength of the laser beam and has a low optical birefringence in a short wavelength region.
  • a transparent material is used, for example, a polycarbonate resin, a polymethyl methacrylate resin, a polyolefin resin, a norbornene resin, an ultraviolet curable resin, or glass; or a combination of these appropriately.
  • the transparent layer can be formed by forming the material described above into a disk shape.
  • the thickness of the transparent layer is not particularly limited, but may be, for example, about 0.01 mm to 1.5 mm.
  • the thickness of the transparent layer is preferably in the range of 0.03 mm to 0.20 mm.
  • the thickness of the transparent layer is within this range, an allowable width with respect to tilt in the information recording medium is increased.
  • the thickness of the transparent layer is preferably in the range of 0.50 mm to 0.70 mm.
  • a transparent material is used in the same manner as the transparent layer.
  • the intermediate layer can be formed by forming the material described above into a disk shape.
  • the thickness of the intermediate layer is formed to be equal to or greater than the focal depth determined by the numerical aperture NA of the objective lens and the wavelength ⁇ of the laser beam.
  • the information layers are arranged at equal intervals, so that when information of one information layer is recorded or reproduced, it is positioned two before the information layer This is because the laser beam can be focused on the layer, so that crosstalk may be increased.
  • the recording layers 13, 21, and 33 are made of a material that can take two or more states having different optical characteristics.
  • the material of the write-once recording layer is preferably one that can change irreversibly between the different states.
  • a material containing Te, O, and M M is at least one element selected from the group consisting of Pd, Au, Pt, Ag, Cu, and Ni
  • Pd, Au, Pt, Ag, Cu, and Ni is used as the material M.
  • a sufficient crystallization speed and high reproduction durability are realized.
  • the element M is preferably an element that combines with Te to form a stable crystalline recording mark.
  • elements include elements that can form a compound or eutectic with Te, such as Pd, Au, Pt, Ag, Cu, and Ni.
  • Te-OM is a composite material in which fine particles of Te, Te-M, and M are uniformly dispersed in TeO 2 immediately after the formation of the recording layer. By receiving laser light irradiation, the crystal grain sizes of Te and Te-M in the composite material are increased. A recording / reproducing apparatus (described later) can detect this difference in optical state as a signal. Therefore, an information recording medium containing Te-OM in the recording layer can realize a function as a so-called write-once recording medium that can be written only once.
  • the preferable composition range of the material of the recording layer is such that the Te atom content is 10 to 65 atom%, the O atom content is 20 to 75 atom%, and the M atom content is 1 to 30 atom%. Atomic% or less.
  • This composition range is preferable will be described below.
  • the Te atom in the recording layer is 10 atomic% or more, an effect that the reflectivity of the write-once mark is difficult to be lowered even when subjected to laser irradiation is realized.
  • the Te atom in the recording layer is 65 atomic% or less, the reflectance of the entire recording layer becomes relatively high, and thus the reflectance of the information recording medium becomes relatively high.
  • the content ratio of Te atoms in the recording layer is more preferably 20 atoms or more and 50 atom% or less.
  • the thermal conductivity of the recording layer becomes relatively low, and the thermal diffusivity in the surface direction of the recording layer becomes small. Therefore, the width of the additional mark can be narrowed. As a result, the reproduction accuracy of the concavo-convex mark on or near the write-once mark is improved.
  • the signal is stably reproduced over a long period of time.
  • the content ratio of O atoms in the recording layer is more preferably 40 atom% or more and 65 atom% or less.
  • the M atom in the recording layer When the M atom in the recording layer is 1 atomic% or more, the signal is stably reproduced over a long period of time. On the other hand, since the M atom in the recording layer is 30 atomic% or less, the thermal conductivity of the recording layer becomes relatively low and the thermal diffusivity in the surface direction of the recording layer becomes small, so that the width of the write-once mark is narrow. Can be. As a result, the reproduction accuracy of the concave and convex marks is improved.
  • the content ratio of M atoms in the recording layer is more preferably 1 atom% or more and 20 atom% or less.
  • the recording layer may contain elements other than Te, O, and M.
  • At least one element selected from S, N, F, B, and C is used for the purpose of adjusting thermal conductivity, adjusting optical constants, improving heat resistance, and improving environmental reliability. It may be added.
  • the addition amount of these additive elements is preferably within 20 atomic% of the entire recording layer. In other words, the total content of Te atoms, O atoms, and M atoms in the recording layer is preferably 80 atomic% or more.
  • the thickness of the recording layer is preferably 2 nm or more and 60 nm or less.
  • the thickness of the recording layer is more preferably 40 nm or less. When the thickness of the recording layer is 40 nm or less, the time required for forming the recording layer is shortened, and the productivity is improved.
  • First dielectric layers 12, 20, and 32, and second dielectric layers 14, 22, and 34 (hereinafter, when not particularly distinguished from each other, the reference numerals are omitted, and simply referred to as “dielectric layers”)
  • the recording material can be protected, and the optical characteristics can be adjusted such that effective light absorption is possible in the information layer.
  • the dielectric layer is preferably composed mainly of at least one selected from the group consisting of sulfide materials, selenide materials, oxide materials, nitride materials, nitride oxide materials, carbide materials, and fluoride materials. . More specifically, as the dielectric layer, (1) Sulfides such as ZnS, (2) Selenides such as ZnSe. (3) Oxides such as SiO 2 , Al 2 O 3 , TiO 2 , Ta 2 O 5 ZrO 2 , Cr 2 O 3 , Nb 2 O 5 , Bi 2 O 3 and Bi 4 Ti 3 O 12 .
  • nitrides such as Ge—N, Si 3 N 4 , AlN, (5) Ge—O—N, Cr—O—N, Si—O—N, Al—O—N, Nb—O—N, Mo—O—N, Ti—O—N, Zr—O—N , Oxynitrides such as Ta-O-N, (6) carbides such as SiC, fluorides such as AlF 3 , CaF 2 , LaF 3 , (7) These (appropriate combinations of the above (1) to (6) (for example, ZnS-SiO2) A material mainly comprising any one of the above is preferably used. These materials may be combined as appropriate.
  • main component means that the content of the substance is 60 atomic% or more, preferably 70 atomic% or more, more preferably 80 atomic%, and still more preferably 90 atomic%. It shows that.
  • the thickness of the dielectric layer is preferably 2 nm or more and 100 nm or less. When the thickness of the dielectric layer is within this range, an information recording medium having a reflectance sufficient to realize stable signal reproduction is realized.
  • the thickness of the dielectric layer is more preferably 50 nm or less. When the thickness of the dielectric layer is 50 nm or less, the time required for forming the dielectric layer is shortened, and the productivity is improved.
  • the thermal effect such as the heat dissipation effect and the effective light absorption in the recording layer, etc.
  • Optical effects and the like are realized.
  • a metal such as Ag, Al, Au, Cu, Ni, Cr, or Ti; or an alloy in which two or more of these metals are combined is preferably used.
  • an Ag alloy or an Al alloy is particularly preferable.
  • As the material for the reflective layer Ag—Pd—Cu, Ag—Ga—Cu, Ag—Bi, Al—Cr, and Al—Ni are particularly preferable from the viewpoints of heat dissipation and moisture resistance.
  • the thickness of the reflective layer is preferably 5 nm or more and 200 nm or less. When the reflective layer is 5 nm or more, the reflective layer is easily formed as a uniform layer. When the reflective layer is a uniform layer, the thermal and optical effects described above are further enhanced.
  • the thickness of the reflective layer is 200 nm or less, the time required for forming the reflective layer is shortened and productivity is improved. Further, when an Ag alloy is used for the reflective layer, the thickness of the reflective layer is more preferably 100 nm or less. It is preferable from the viewpoint of cost that the thickness of the reflective layer is 100 nm or less because it enables a reduction in the amount of Ag, which is an expensive noble metal.
  • the preferable ranges of the refractive index n and the extinction coefficient k of the material used for the reflective layer are less than 2.0 and 2.0 or more, respectively.
  • the configuration of the information recording medium is not limited to the configurations shown in FIGS. 4, 5, and 6.
  • the information recording medium may have a configuration without the reflective layers 11, 19, 25, 31, 37, and 41 in order to avoid an increase in cost, or the first dielectric layers 12, 20, and 32.
  • the second dielectric layers 14, 22, and 34 may be omitted if necessary.
  • the configuration of the information recording medium 17 in FIG. 5 can be changed to a configuration that does not include the first dielectric layer 20.
  • the configuration of the information recording medium 29 in FIG. 6 can be changed to a configuration that does not include the reflective layer 31 in the first information layer 35. Since the information recording medium does not have a dielectric layer and / or a reflective layer, the manufacturing cost of the information recording medium can be kept low.
  • the information recording medium manufacturing method described above may include a step of forming an information layer on a substrate.
  • Examples of the method for forming each layer (thin film) included in the information layer include vapor phase thin film deposition, and more specifically, vacuum deposition, sputtering, ion plating, CVD (Chemical Vapor Deposition). And MBE (Molecular Beam Epitaxy) method.
  • a specific manufacturing method of the information recording media 9, 17, and 29 is as follows.
  • Method for Manufacturing Information Recording Medium 9 >> The method for manufacturing the information recording medium 9 of FIG. 4 includes a step of forming an information layer on the substrate 10.
  • the information recording medium 9 is, for example, the following steps (1) and (2) (1) forming the information layer 9a by sequentially forming the reflective layer 11, the first dielectric layer 12, the recording layer 13, and the second dielectric layer 14 on the substrate 10; (2) forming a transparent layer 15 on the information layer 9a, that is, on the second dielectric layer 14; Can be manufactured by a method including:
  • the information recording medium 17 shown in FIG. 5 includes, for example, the following steps (1) to (4).
  • the information recording medium 29 shown in FIG. 6 includes, for example, the following steps (1) to (3). (1) a step of forming the first information layer 35 on the substrate 30 by the same method as the information layer of the information recording medium 9 of FIG.
  • a method for producing a recording layer by a sputtering method, and target materials used in the production process of the recording layer are Te, O, and M (M is composed of Pd, Au, Pt, Ag, Cu, and Ni). Using at least one element selected from the group) as a main component.
  • the sputtering is performed as reactive sputtering, and the target material is selected from the group consisting of Te and M (M is Pd, Au, Pt, Ag, Cu, and Ni). And a sputtering gas mainly containing a mixed gas of a rare gas and oxygen.
  • Te and M is at least one element selected from the group consisting of Pd, Au, Pt, Ag, Cu and Ni
  • TeO are simultaneously sputtered from different targets.
  • An information recording medium having the characteristics (reflectance and degree of modulation) described in the section can be realized. That is, by any of these methods, an information recording medium that can prevent illegal copying of the recording medium without sacrificing the data recording area and can stably reproduce the signal for a long period of time can be realized.
  • Substrate manufacturing method A specific example of a method for manufacturing a substrate is described below. First, the glass master coated with the photoresist is exposed to a laser or an electron beam based on the authored content data (cutting). Thereafter, by performing a development process, the exposed resist is dissolved in a developer to form concave and convex marks. In this way, a disc master in which the content data is developed with the concave and convex marks is produced.
  • the stamper is formed by plating the surface on which the concave and convex marks are formed, of the two surfaces of the disc master. Then, by using this stamper, a material such as a transparent resin is injection-molded to produce a substrate on which the concave and convex marks are transferred.
  • the step of forming the intermediate layer 24 may be, for example, the following step (1) or (2). (1) A step of forming the intermediate layer 24 by pasting a resin film on which concave and convex marks are formed on the first information layer 23 formed on the substrate 18. (2) A step of forming the intermediate layer 24 on which the concave and convex marks are formed by applying an ultraviolet curable resin on the first information layer 23 and irradiating the ultraviolet curable resin with ultraviolet rays while pressing the stamper. .
  • FIG. 7 shows an outline of a recording / reproducing apparatus 45 as an example of an apparatus used for recording / reproducing of an optical disc. As shown in FIG. 7, the recording / reproducing apparatus 45 guides the optical head (not shown) on which the laser 49 and the objective lens 48 are mounted and the position where the laser beam 47 from the laser 49 is irradiated to a predetermined position.
  • a tracking control device for controlling the irradiation position of the laser beam in the track direction
  • a focusing control device for controlling the irradiation position of the laser beam in the direction perpendicular to the surface of the optical disk 46
  • a laser driving device for modulating the laser power
  • a spindle motor 51 for rotating the optical disk 46.
  • the information recording medium 1 more specifically, the information recording media 9, 17, and 29 are preferably used.
  • the laser beam 47 corresponds to the laser beams 16, 28 and 44.
  • the recording / reproducing device 45 rotates the optical disk 46 by the spindle motor 51 and irradiates the optical disk 46 with a laser beam 47 narrowed down to a minute spot by an optical system member such as a lens 48 to record and reproduce signals. Do.
  • a laser driving device (not shown) adjusts the power level of the laser 49 to be lower than the power level for recording signals.
  • the laser drive device can obtain a sufficient amount of light for reproducing the recording mark from the optical disk 46 by the laser irradiation without affecting the optical state of the recording mark by the laser irradiation. Adjust so that.
  • the recording / reproducing device 45 can reproduce the signal recorded on the optical disk 46.
  • the wavelength of the laser beam used for recording / reproduction is preferably 350 nm or more and 500 nm or less.
  • a laser beam with a wavelength of 405 nm and a lens with NA of 0.85 high density recording of 25 GB per layer can be realized on an information recording medium having a diameter of 12 cm.
  • a laser beam with a wavelength of 405 nm and a lens with NA of 0.65 high-density recording of about 15 GB per layer can be realized on an information recording medium having a diameter of 12 cm.
  • Example 1 In Example 1, when Te—O—Pd was used as the recording material, the composition of the recording layer was (a) reflectance, (B) reproduction durability, (C) The influence of the change in reflectivity due to laser irradiation on the reproduction accuracy of (d) the concave and convex marks was examined. As described below, in Example 1, a plurality of information recording media having different recording layer compositions were prepared as samples and evaluated. The details are shown below. A-1. Sample Preparation The layer structure of the samples manufactured in this example and Example 2 described later was the same as that of the information recording medium 9 shown in FIG. 4 except that the first dielectric layer 12 was not included. Below, the layer contained in each sample is demonstrated using the code
  • a substrate made of polycarbonate resin was used as the substrate 10.
  • the substrate 10 had a diameter of 12 cm and a thickness of 1.1 mm, and had an uneven mark on one surface.
  • an Ag—Bi layer having a thickness of 80 nm is sputtered as the reflective layer 11 using an Ag—Bi (atomic ratio 99.0: 1.0) target. Formed by the method.
  • a Te—O—Pd layer was formed as a recording layer 13 on the reflective layer 11 by a sputtering method using a Te—Pd target.
  • the thickness of the recording layer 13 differs depending on the sample, and was selected according to the composition of the recording layer 13 so as to ensure a reflectivity that enables stable recording and reproduction.
  • a ZnS—SiO 2 layer was formed as the second dielectric layer 14 by sputtering using a ZnS—SiO 2 (molecular number ratio 80:20) target.
  • the thickness of the second dielectric layer 14 also differs depending on the sample, and was selected according to the composition of the recording layer so as to ensure a reflectivity that allows stable recording and reproduction.
  • an ultraviolet curable resin (acrylic resin) transparent to the laser beam was applied by a spin coating method.
  • This ultraviolet curable resin was cured by irradiating ultraviolet rays to form a light transparent layer 15 having a thickness of 100 ⁇ m.
  • a sputtering target having a diameter of about 100 mm and a thickness of about 6 mm was used.
  • the power supply and output used in the formation process of each layer are as follows. For the reflective layer 11, a DC power source is used as the power source and its output is 200 W. For the recording layer 13, a DC power source is used as the power source and its output is 50 W.
  • the second dielectric layer 14 An RF power source was used as the power source, and its output was 400 W.
  • the reflective layer 11 and the ZnS—SiO 2 second dielectric layer 14 were formed in a gas atmosphere of Ar 25 sccm while maintaining the gas pressure at about 0.13 Pa.
  • the recording layer 13 was formed in a mixed gas atmosphere of Ar 25 sccm and oxygen while maintaining the gas pressure at about 0.13 Pa.
  • the recording layer was formed by using a plurality of sputtering targets made of Te and Pd and having different contents from each other so that a recording layer having the composition shown in Table 1 was obtained. It was carried out by changing the supply amount.
  • the reflectance was measured by irradiating the laser beam toward the optical disk 46, measuring the amount of light reflected from the optical disk 46, and calculating the ratio of the reflected light amount to the irradiated laser light amount. .
  • a reflectance of 12% or more it is judged as “ ⁇ ”, and if it is less than 12%, a sufficient reflectance is not obtained, so that it is judged as “x”.
  • the reproduction durability was evaluated by the following procedure. Using the recording / reproducing apparatus 45, first, the average jitter of the concave and convex marks having a mark length of 2T to 8T (T corresponds to one period of a clock of recording data) was measured in advance. Next, the reproduction light was continuously applied to the track measured earlier up to 1 million revolutions in an environment of BD 1 ⁇ speed and reproduction light 0.35 mW. After the reproduction durability test, the jitter value of the same track was measured. Here, when the jitter deterioration was 0.2% or less, it was judged as “ ⁇ ”, and when it was larger than 0.2%, it was judged as “x”.
  • the content of the elements constituting the recording layer of each of samples 1 to 13 was measured by separately preparing a sample for composition analysis. Specifically, no. A plurality of targets having different Te and element M contents used for forming the recording layers of the samples 1 to 13 were prepared, and a thickness of 500 nm was formed on a 1 mm-thick Si substrate using a sputtering apparatus. A film was formed. The film forming conditions are No. The conditions were the same as those employed when forming the recording layers of the respective samples 1 to 13.
  • composition analysis of each film was performed using an X-ray microanalyzer.
  • the material composition shown in the examples is the result of analysis by this method.
  • the above evaluation was performed on the information recording medium manufactured in Example 1. The results are shown in Table 1.
  • the evaluation results of the reflectance of the sample whose recording layer is made of a Te—O—Pd-based material, the reproduction durability, the polarity of the reflectance change by laser irradiation, and the reproduction accuracy of the concave and convex marks are recorded. It varied with the composition of the layers. According to Table 1, when the amount of Te in the recording layer is less than 10 atomic%, there is a practical problem because the reflectivity of the write-once mark is lowered by laser irradiation. Further, in a region where the amount of Te in the recording layer exceeds 65 atomic%, the reflectivity is low, and the amount of reflected light is reduced when dust or the like adheres to the medium, which causes a practical problem.
  • the amount of O in the recording layer is less than 20 atomic%, since the thermal conductivity of the recording layer is high, the thermal diffusivity in the surface direction of the recording layer increases, and the width of the write-once mark increases. As a result, the reproduction accuracy of the concavo-convex mark deteriorates on the write-once mark, which causes a practical problem. Further, when the amount of O in the recording layer is greater than 75 atomic%, there is a practical problem because the signal cannot be stably reproduced over a long period of time.
  • the proportion of Te atoms in the recording layer is 10 atomic% to 65 atomic%, O atoms It is considered that a composition range in which the proportion of N is 20 atomic percent to 75 atomic percent and the proportion of Pd atoms is 1 atomic percent to 30 atomic percent is suitable. This range is shown as an area surrounded by A, B, C, D, E, and F in FIG.
  • the proportion of Te atoms is 20 to 50 atomic percent
  • the proportion of O atoms is 40 to 65 atomic percent
  • the content of M atoms is 1 to 20 atomic percent. It is considered that it is more preferable.
  • This range is shown as a region surrounded by G, H, I, J, K, and L in FIG.
  • Pd is used as the material M
  • similar characteristics can be obtained even when Au, Pt, Ag, Cu, and Ni are used.
  • the ratio of Te atoms is 10 atomic% to 65 atomic%
  • the ratio of O atoms is 20 atomic% to 75 atomic%
  • M atoms M is Pd, Au, Pt
  • the ratio of Ag, Cu, and Ni is 1 atomic% to 30 atomic%, so that it is possible to realize an information recording medium that has main information such as video and audio and can additionally record sub information at low cost. It could be confirmed.
  • Example 2 In Example 2, in order to examine the reproduction stability of the mark, for each information recording medium as a sample, the signal of the additional mark when the ratio of the reflectance Ra before the laser irradiation and the reflectance Rb after the laser irradiation is changed The quality and the reproduction accuracy of the concave and convex marks were evaluated.
  • the information recording medium produced as a sample was the same as the information recording medium 9 shown in FIG. 4 except that it did not include the first dielectric layer 12 as described above. Samples (Nos. 14 to 19) of this example have the same configuration except that the thickness of the second dielectric layer 14 is different.
  • the reflectance Ra before laser irradiation is the reflectance before the additional recording mark is formed on the concave / convex mark
  • the reflectance Rb before laser irradiation is the reflectance after the additional recording mark is formed on the concave / convex mark. is there.
  • the thickness of the second dielectric layer 14 in each sample was adjusted so that the Rb / Ra values shown in Table 2 could be obtained.
  • the reflectance measurement method is as described in the first embodiment.
  • the sample manufacturing method, recording layer composition analysis method, and unevenness mark reproduction accuracy evaluation method are as described in Example 1.
  • the signal quality of the additional mark was evaluated as follows.
  • Table 2 shows the evaluation results of the samples prepared in Example 2.
  • Example 3 the recording layer of the information recording medium having two information layers is composed of a Te—OM-based material (here, Te—O—Pd-based material is used as a representative example). Similarly, the influence of the composition of the recording layer on the reflectance, the reproduction durability, the polarity of the reflectance change caused by laser irradiation, and the reproduction accuracy of the concave and convex marks was examined.
  • the layer structure of the sample manufactured in this example was the same as that of the information recording medium 17 shown in FIG. 5 except that the first dielectric layer 20 was not included.
  • a layer made of polycarbonate resin was used as the substrate 18 for the layers included in each sample.
  • the substrate 18 had a diameter of 12 cm and a thickness of 1.1 mm, and had an uneven mark on one surface.
  • an Ag—Bi (atomic ratio of 99.0: 1.0) target is used as a reflective layer 19 and an Ag—Bi layer having a thickness of 80 nm is sputtered. Formed by the method.
  • a Te—O—Pd layer was formed as a recording layer 21 on the reflective layer 19 by a sputtering method using a Te—Pd target.
  • the thickness of the recording layer 21 was different depending on the sample.
  • the thickness of the recording layer 21 in each sample was selected according to the composition of the recording layer 21 so as to ensure a reflectivity that allows stable recording and reproduction.
  • a ZnS—SiO 2 layer was formed as the second dielectric layer 22 by sputtering using a ZnS—SiO 2 (molecular number ratio 80:20) target.
  • the thickness of the second dielectric layer 22 also varied depending on the sample.
  • the thickness of the second dielectric layer 22 in each sample was selected according to the composition of the recording layer in each sample so as to ensure a reflectivity that enables stable recording and reproduction.
  • An ultraviolet curable resin (acrylic resin) was applied on the surface of the first information layer 23 thus formed by a spin coating method.
  • a pattern in which marks similar to the concave and convex marks formed on the substrate 18 were formed was transferred onto the ultraviolet curable resin to form an intermediate layer 24 having a thickness of about 25 ⁇ m.
  • an Ag—Bi layer having a thickness of 15 nm is formed as a second information layer 26 (reflection layer 25) using an Ag—Bi (atomic ratio 99.0: 1.0) target. And formed by sputtering.
  • an optically transparent layer 27 having a thickness of about 75 ⁇ m was formed using an ultraviolet curable resin (acrylic resin).
  • Each layer was formed using a target having a diameter of about 100 mm and a thickness of about 6 mm.
  • the power supply and output used in the formation process of each layer are as follows.
  • a DC power source is used as the power source, and its output is 200 W.
  • a DC power source is used as the power source, its output is 50 W, and the second dielectric layer 22 is used.
  • the reflective layers 19 and 25 and the second dielectric layer 22 were formed in a gas atmosphere of Ar 25 sccm while maintaining the gas pressure at about 0.13 Pa.
  • the recording layer 21 was formed in a mixed gas atmosphere of Ar25 sccm and oxygen while maintaining the gas pressure at about 0.13 Pa.
  • the recording layer 21 was formed using a plurality of sputtering targets composed of Te and Pd and having different contents from each other so as to obtain a recording layer having the composition shown in Table 3. It was carried out by changing the supply amount. Thus, the production of the sample of Example 3 was completed.
  • Example 1 The analysis method of the recording layer composition, and the evaluation method of the reflectance, the reproduction durability, the polarity of the reflectance change due to the laser irradiation, and the reproduction accuracy of the concavo-convex mark are as described in Example 1.
  • the method for comprehensive evaluation is also as described in the first embodiment.
  • Table 3 shows the evaluation results of the information recording medium manufactured in Example 3.
  • the ratio of Te atoms is 10 atomic% to 65 atomic%
  • the ratio of O atoms is 20 atomic% to 75 atomic%
  • M atoms M is Pd, Au, Pt
  • the proportion of Te atoms is 20 to 50 atomic percent
  • the proportion of O atoms is 40 to 65 atomic percent
  • the content of M atoms is 1 to 20 atomic percent. It was confirmed that it was more preferable.
  • the information recording medium and the manufacturing method thereof according to the present invention are useful for information recording media (such as optical disks) that have main information such as video and audio and can additionally record sub information at a low cost.

Abstract

　情報記録媒体（９）は、凹凸マークが形成された情報層（９ａ）と、情報層（９ａ）に含まれ、レーザ照射によって光学的特性が変化することで、追記マークが形成され、Ｔｅ、Ｏ、及びＭ（ＭはＰｄ、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ、及びＮｉから成る群より選択される少なくとも１つの元素）を含有する記録層（１３）と、を備える。また、この情報記録媒体（９）は、レーザ照射前の反射率Ｒａ及びレーザ照射後の反射率Ｒｂが、１．０　＜　Ｒｂ／Ｒａ　＜　１．１　を満たす。

Description

情報記録媒体及びその製造方法
　本発明は、レーザビーム（レーザ光）の照射等の光学的な手段を用いて情報の記録及び再生が可能な情報記録媒体に関するものであって、特に映像や音声などの主情報を記録し、かつ副情報を追記可能な情報記録媒体に関するものである。
　高速度での情報の記録再生が可能で、容量の大きい情報記録媒体（「記録媒体」または「媒体」と呼ぶことがある）として、ＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ　Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ／Ｖｉｄｅｏ　Ｄｉｓｃ）やＢｌｕ－ｒａｙ　Ｄｉｓｃに代表される光学的情報記録媒体が知られている。このような情報記録媒体は、異なる２つの状態の間での反射率の違いを利用して、情報の記録再生を行なうものである。また、このような情報記録媒体は、必要に応じてランダムアクセスが可能であり、かつ可搬性にも優れるという大きな利点を有しているため、近年、その重要性がますます高まっている。
　従来から提案されている情報記録媒体としては、多数回の書換が可能な書換型媒体、１回のみ書き込みが可能な追記型媒体、及び再生のみが可能な再生専用媒体が挙げられる。再生専用媒体は、一般的に、書換型媒体や追記型媒体と比較して、媒体を構成する層の数を少なく出来るため、製造が容易であり、低コストで提供することが可能である。そのため、音楽、映画、ゲームソフトなどのデジタルコンテンツを配布する媒体として広く用いられている。
　再生専用媒体において、不正コピーを防止するために、映像や音声などの主情報とは別に、情報記録媒体のシリアルナンバー等の副情報を追記することが行なわれている。この副情報は、例えばＢＣＡ（Burst Cutting Area）とよばれるバーコード状のマークにより記録され、情報記録層にある反射膜を、ＹＡＧレーザで焼き切ることによって加工される。
特開２００５－１９６９４０号公報
　しかしながら、副情報を記録するのに高価なＹＡＧレーザが必要であるので、情報記録媒体を作製するコストが高くなるという課題がある。
　本発明は、上記発明の課題を解決するためになされたものであって、映像や音声などの主情報を記録可能であるとともに、低コストで副情報を追記できる情報記録媒体を提供することを目的とする。
　上記目的を達成するため、第１の発明の情報記録媒体は、下記（１）及び（２）
（１）　凹凸マークが形成された情報層と、
（２）　情報層に含まれ、
　レーザ照射によって光学的特性が変化することで、追記マークが形成され、
　Ｔｅ、Ｏ及びＭ（ＭはＰｄ、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ及びＮｉから成る群より選択される少なくとも１つの元素）を含有する記録層と、
を備える。さらに、第１の発明の情報記録媒体のレーザ照射前の反射率Ｒａ及びレーザ照射後の反射率Ｒｂは、１．０　＜　Ｒｂ／Ｒａ　＜　１．１を満たす。

　この情報記録媒体は、映像や音声などの主情報を凹凸マークに記録し、副情報を追記マークに記録することができる。よって、この情報記録媒体は、情報記録媒体を製造するコストの増加を抑えることができると共に、利便性に優れる。
　第２の発明の情報記録媒体は、第１の発明の情報記録媒体であって、隣り合う追記マーク間の最短距離は、隣り合う凹凸マーク間の最長距離よりも長く、最短の追記マークの長さは、最長の凹凸マークの長さよりも長い。第２の発明の情報記録媒体は、凹凸マークによって記録されたデータ及び追記マークによって記録されたデータを安定に再生することができる。
　第３の発明の情報記録媒体は、第１又は第２の発明の情報記録媒体であって、記録層に含まれるＴｅ原子、Ｏ原子及びＭ原子の数の合計を１００原子％としたときに、Ｔｅ原子の含有割合が１０原子以上６５原子％以下、Ｏ原子の含有割合が２０原子％以上７５原子％以下、Ｍ原子の含有割合が１原子％以上３０原子％以下である。第３の発明の情報記録媒体は、信号を、長期間にわたって安定に再生するのに適している。
　第４の発明の情報記録媒体は、第１又は第２の発明の情報記録媒体であって、記録層に含有されるＴｅ原子、Ｏ原子及びＭ原子の数の合計を１００原子％としたときに、Ｔｅ原子の含有割合が２０原子以上５０原子％以下、Ｏ原子の含有割合が４０原子％以上６５原子％以下、Ｍ原子の含有割合が１原子％以上２０原子％以下である。第４の発明の情報記録媒体は、信号を、長期間に渡って安定に再生するのに、さらに適している。
　第５の発明の情報記録媒体は、第１～第４のいずれかの発明の情報記録媒体であって、記録層を構成する原子の数の合計を１００原子％としたとき、記録層に含有されるＴｅ原子、Ｏ原子及びＭ原子の数の合計が、８０原子％以上である。
　Ｔｅ原子、Ｏ原子及びＭ原子の数が合計で８０％以上であると、Ｏ原子、Ｔｅ原子及びＭ原子を含むことによる効果を、より顕著に得ることができる。より好ましくは、Ｔｅ原子、Ｏ原子及びＭ原子の数の合計は、９０原子％以上であり、さらにより好ましくは、９５原子％以上である。あるいは、記録層は、Ｔｅ原子、Ｏ原子及びＭ原子のみで形成されていてよい。
　第６の発明の情報記録媒体は、第１～第５のいずれかの発明の情報記録媒体であって、情報層が、記録層に隣接する誘電体層を有し、誘電体層が、硫化物材料、セレン化物材料、酸化物材料、窒化物材料、窒酸化物材料、炭化物材料及び弗化物材料から成る群より選択される少なくとも１つを主成分とするであることがより好ましい。
　第６の発明の情報記録媒体は、このような組成を有することで、特定の元素（Ｔｅ原子、Ｏ原子、Ｍ原子）を含む記録層との組合せにより、信号を、長期間に渡って、安定に再生するのに適している。
　第７の発明の情報記録媒体は、第１～第６のいずれか発明の情報記録媒体であって、情報層が、記録層に隣接する誘電体層を有し、誘電体層の厚さが２ｎｍ以上１００ｎｍ以下である。誘電体層の厚さがその範囲内にあることで、信号を安定に再生するために好適な反射率を有する情報記録媒体が実現される。
　第８の発明の情報記録媒体は、第１～第６のいずれかの発明の情報記録媒体であって、情報層が、記録層に隣接する誘電体層を有し、誘電体層の厚さが２ｎｍ以上５０ｎｍ以下である。誘電体層の厚さがその範囲内にあることで、信号を安定に再生するためにさらに好適な反射率を有する情報記録媒体が実現される。
　第９の発明の情報記録媒体は、第１～第８のいずれかの発明の情報記録媒体であって、情報層が、基板と記録層の間に反射層を有し、反射層がＡｇ、Ａｌ、Ａｕ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｃｒ及びＴｉからなる群より選択される少なくとも１つを主成分とする。第９の発明の情報記録媒体によれば、信号を安定に再生するために好ましい反射率を有する情報記録媒体が実現される。
　第１０の発明の情報記録媒体は、第１～第９のいずれかの発明の情報記録媒体であって、情報層が、基板と記録層との間に配置された反射層を有し、反射層の厚さが５ｎｍ以上２００ｎｍ以下である。反射層の厚さがその範囲内にあると、信号を安定に再生するために好ましい反射率を有する情報記録媒体が実現される。
　第１１の発明の情報記録媒体は、第１～第１０のいずれかの発明の情報記録媒体であって、記録層の厚さが２ｎｍ以上６０ｎｍ以下である。記録層の厚さがこの範囲内にあると、信号を安定に再生するために好ましい反射率を有する情報記録媒体が実現される。
　第１２の発明の情報記録媒体は、第１～第１０のいずれかの発明の情報記録媒体であって、記録層の厚さが２ｎｍ以上４０ｎｍ以下である。記録層の厚さがこの範囲内にあると、信号を安定に再生するためにより好ましい反射率を有する情報記録媒体が実現される。
　さらに、第１３の発明の製造方法は、上述した情報記録媒体の製造方法であって、基板上に直接に、または基板上に形成された他の層の上に、Ｔｅ、Ｏ及びＭ（ＭはＰｄ、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ及びＮｉから成る群より選択される少なくとも１つの元素）を含有するスパッタリングターゲットを用いて、スパッタリング法により、記録層を形成する工程を含む。この製造方法は、信号を長期間にわたって安定に再生できる情報記録媒体を製造可能である。
　さらに、第１４の発明の製造方法は、上述した情報記録媒体の製造方法であって、基板上に直接に、または基板上に形成された他の層の上に、Ｔｅ及びＭ（ＭはＰｄ、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ及びＮｉから成る群より選択される少なくとも１つの元素）を含有するスパッタリングターゲットを用いて、希ガスと酸素との混合ガスを含む雰囲気中において、反応性スパッタリング法により、記録層を形成する工程を含む。この製造方法は、信号を長期間にわたって安定に再生できる情報記録媒体を製造可能である。
　本発明の情報記録媒体は、映像や音声などの主情報を記録可能であり、さらに、低コストで副情報を追記することができる。
　また、本発明の情報記録媒体の製造方法によれば、上記のような効果を有する情報記録媒体を製造することができる。
情報記録媒体の構成を模式的に示す平面図 情報記録媒体の凹凸データと追記データを示す模式図 情報記録媒体の凹凸データと別の追記データを示す模式図 情報記録媒体の一構成例を示す断面図 情報記録媒体の別の構成例を示す断面図 情報記録媒体のさらに別の構成例を示す断面図 情報記録媒体の記録再生に用いられる記録再生装置の構成の一部を模式的に示す図 Ｔｅ－Ｏ－Ｐｄの３元系組成図
　以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、本発明は以下の実施形態に限定されない。また、以下では、同一の部分または要素には、同一の符号を付して重複する説明を省略する場合がある。
　１．情報記録媒体
　1-1．レイアウト構造
　図１は、情報記録媒体１のディスクレイアウト構造の一例を示す平面図である。
　図１に示すように、情報記録媒体１は、円形の記録ディスクである。情報記録媒体１は、リードイン領域４、データ記録領域３、リードアウト領域２を有している。
　リードイン領域４には、ディスクの構造に関する情報、ディスクの記録時に必要な情報、記録データの管理情報に関するデータなどが凹凸マークにより記録されている。
　リードアウト領域２は、データの記録終了位置を示す領域である。
　データ記録領域３には、凹凸マークによるメディアの主情報が記録されている。主情報としては、映像、音声及びその他のソフトウェアが挙げられる。
　情報記録媒体１では、シリアルナンバー等、情報記録媒体に固有の情報は、副情報として、レーザ照射によって記録可能である。副情報は、凹凸マークに重畳される追記マークにより記録される。副情報は、リードイン領域４において局所的に記録されることが好ましいが、リードイン領域４以外の領域（例えばデータ記録領域３等）に記録することも可能である。　図２の凹凸マーク５及び追記マーク６は、情報記録媒体１に形成される凹凸マーク及び追記マークの一例であり、図３の凹凸マーク７及び追記マーク８は、他の例である。つまり、情報記録媒体１に形成される凹凸マーク及び追記マークは、図２又は図３のいずれの構成であってもよい。図２及び図３では、情報記録媒体１の半径方向をＤ１として示す。
　追記マーク６は、凹凸マーク５の上へのレーザビームの照射によって形成されている。図２に示すように、追記マーク６の間隔（つまり、情報記録媒体１の円周方向において隣り合う追記マーク６同士の距離）は、凹凸マーク５の最長マークの間隔（つまり、情報記録媒体１の円周方向において隣り合う最長マーク同士の距離）よりも長い。すなわち、隣り合う追記マーク６間の最短距離Ｗ１は、隣り合う凹凸マーク５間の最長距離Ｗ２よりも長い。
　また、追記マーク６の長さは、凹凸マーク５の長さよりも長い。図２において、最短の追記マーク６に符号“６ａ”を、最長の凹凸マーク５に符号“５ａ”を付す。図２に示すように、追記マーク６ａの長さＬ１は、凹凸マーク５ａの長さＬ２よりも長い。「長さ」とは、情報記録媒体１の円周方向における長さを意味する。説明の便宜上、図２では、追記マーク６ａと凹凸マーク５ａとが重ねて描かれているが、図２は本発明を限定するものではない。
　このように、間隔Ｗ１が間隔Ｗ２よりも長く、かつ長さＬ１が長さＬ２よりも長いことで、凹凸マーク５によって記録されたデータ、及び追記マーク６によって記録されたデータは、例えば、記録再生装置４５（後述）により、安定に再生される。
　ただし、追記マークの長さ及び間隔は、図２の形態には限定されない。例えば、図３の構成において、追記マーク８は、図２の構成と同様に、凹凸マーク７の上へのレーザビームの照射よって形成されている。図３に示すように、追記マーク８間の最短距離は、凹凸マーク７間の最短距離よりも短くてもよい。また、最短の追記マーク８の長さは、最長の凹凸マーク７の長さよりも短くてもよい。
　本明細書で、単に「追記マーク」と称する場合は、その追記マークは、追記マーク６及び８のいずれの形状であってもよい。
　1-2．反射率
　情報記録媒体１は、レーザ照射によって反射率が増加することが好ましい。通常の再生専用記録媒体は、レーザ照射によって反射率が低減する。これに対して、レーザ照射によって反射率が向上する記録媒体であれば、不正な複製を防止できる。
　また、情報記録媒体１は、レーザ照射による反射率の増加量が微量であることが好ましい。つまり、情報記録媒体１のレーザ照射後の反射率Ｒｂは、凹凸マークとして情報記録媒体１に記録された主情報が安定的に再生される程度に、高いことが好ましい。
　具体的には、情報記録媒体１において、レーザ照射前の反射率Ｒａとレーザ照射後の反射率Ｒｂは、
　　１．０＜Ｒｂ／Ｒａ＜１．１
の関係式を満たすことが好ましい。なぜなら、Ｒｂ／Ｒａがこの範囲にあることによって、凹凸マークとして記録された主情報が、安定に再生されるからである。例えば、情報記録媒体１に記録された情報を再生する再生装置（例えば、後述の記録再生装置４５）において、ピックアップの表面にゴミが付着した場合には、ピックアップが受光する光量が低下するので、主情報の再生の安定性が低下する。これに対して、Ｒｂ／Ｒａが上述の範囲内にあることによって、再生装置は、主情報を安定的に再生することができる。
　なお、反射率の関係式がＲｂ／Ｒａ≧１．１を満たすような場合にも、再生装置は、追記マークを安定に再生することができる。
　1-3．変調度
　情報記録媒体１において、凹凸マークの変調度Ａ及び追記マークの変調度Ｂは、
　　Ｂ／Ａ＜０．１
を満たすことが好ましい。Ｂ／Ａがこの範囲内にあることで、凹凸マークに記録された信号の再生精度が、良好となる。つまり、再生信号において、再生時の凹凸マークの変調度に対して、追記マークの変調度は十分小さいため、Ｂ／Ａが上記範囲内にあることで、凹凸マークの再生精度の悪化を抑制することができる。
　また、情報記録媒体１は、信号再生のためのレーザビームの照射によって劣化しにくく、長期間にわたって高い信号品質を維持することが好ましい。情報記録媒体１は、例えば、レーザビームを１００万回程度照射された場合に、凹凸マークや追記マークの信号品質が劣化しないことが好ましい。
　1-4．層構造
　上記1-2.及び1-3.欄の特性を満たす情報記録媒体１の構成の詳細について、以下に述べる。図４～図６に示す情報記録媒体９、１７及び２９は、情報記録媒体１の具体例である。
　図４に示すように、情報記録媒体９は、基板１０、情報層９ａ及び透明層１５を備える。情報層９ａは、反射層１１、第１の誘電体層１２、記録層１３、及び第２の誘電体層１４を備える。反射層１１、第１の誘電体層１２、記録層１３、及び第２の誘電体層１４は、基板１０側からこの順に積層されている。透明層１５は、情報層９ａの上に形成されている。透明層１５は、カバー層または保護層とも呼ばれる。
　情報記録媒体９において、反射層１１、第１の誘電体層１２及び第２の誘電体層１４のいずれか又は全部は、形成されていなくてもよい。層の数がより少なければ、情報記録媒体９の製造コストはより低減される。レーザビーム１６が、この情報記録媒体９を、透明層１５の側から照射することで、信号が記録再生される。
　また、図５に示すように、情報記録媒体１７は、基板１８、第１の情報層２３、中間層２４、第２の情報層２６、及び透明層２７を備える。第１の情報層２３、中間層２４、第２の情報層２６及び透明層２７は、基板１８上に、この順に積層されている。
　第１の情報層２３は、反射層１９、第１の誘電体層２０、記録層２１及び第２の誘電体層２２を備える。反射層１９、第１の誘電体層２０、記録層２１及び第２の誘電体層２２は、基板１８上にこの順に積層されている。第１の情報層２３は、この構成により、高い反射率と、長期間にわたる信号の再生安定性とを両立することができる。
　中間層２４は、２つの情報層２３と２６との間に介在することで、各情報層を光学的に分離する。こうして、中間層２４は、不要な光学干渉を排除する。
　第２の情報層２６は、反射層２５からなる。
　透明層２７は、第２の情報層２６の上に形成されている。レーザビーム２８が、この情報記録媒体１７を、透明層２７の側から照射することで、信号が記録再生される。
　情報記録媒体１７において、第１の情報層２３における反射層１９、第１の誘電体層２０及び第２の誘電体層２２のいずれか又は全部は、形成されていなくてもよい。層の数がより少なければ、情報記録媒体１７の製造コストはより低減される。また、第１の情報層２３が反射層のみからなり、第２の情報層２６が反射層、第１の誘電体層、記録層、第２の誘電体層などを有していてもよい。
　また、図６に示すように、情報記録媒体２９は、基板３０、第１の情報層３５、第２の情報層３８、・・・第ｎの情報層４２（ｎは３以上の整数）を備える。第１の情報層３５、第２の情報層３８、・・・第ｎの情報層４２は、基板３０側からこの順に設けられている。
　各情報層の間には中間層（図６の“３６”、“３９”、及び“４０”等）が介在する。これらの中間層は、各情報層を光学的に分離することで、不要な光学干渉を排除する。
　また、情報記録媒体２９において、第ｎの情報層４２上には、透明層４３が設けられている。レーザ光４４が、情報記録媒体２９を、透明層４３の側から照射することで、信号が記録再生される。
　第１の情報層３５は、反射層３１、第１の誘電体層３２、記録層３３、第２の誘電体層３４が順次積層された構成からなる。この構成により、高い反射率と、長期間にわたる信号の再生安定性とが両立される。
　第２～第ｎの情報層（図６の“３８”及び“４２”等）は、それぞれ、反射層（図６の“３７”及び“４１”等）からなる。
　情報記録媒体２９において、第１の情報層３５における反射層、第１の誘電体層、第２の誘電体層のいずれか又は全部は、形成されていなくてもよい。また、第１の情報層３５が反射層のみからなり、第２～第ｎの情報層の少なくとも１つが、反射層、第１の誘電体層、記録層、第２の誘電体層などを有していてもよい。層の数がより少なければ、情報記録媒体２９の製造コストはより低減される、
　基板１０、１８及び３０（以下、符号を省略することがある）の材料としては、透明な円盤状の材料、例えば、
（１）ポリカーボネイト樹脂、ポリメチルメタクリレート樹脂、ポリオレフィン樹脂、ノルボルネン系樹脂、紫外線硬化性樹脂、若しくはガラス；又は
（２）これら（上記（１）に含まれる材料）を適宜組み合わせたもの
等が用いられる。
　基板には、予め凹凸マークが形成されている。
　また、基板の厚さは、特に限定されないが、例えば、０．０１ｍｍ～１．５ｍｍ程度であってもよい。対物レンズの開口数が０．７５～０．９５の範囲である場合、基板の厚さは１．００ｍｍ～１．２０ｍｍの範囲であることが好ましい。基板の厚さがこの範囲内であることで、情報記録媒体の強度が保たれる。対物レンズの開口数が０．５５～０．７５の範囲である場合、基板の厚さは０．５０ｍｍ～０．７０ｍｍの範囲であることが好ましい。
　透明層１５、２７及び４３（以下、符号を省略することがある）の材料は、信号の記録及び再生が可能な程度にレーザビーム１６、２８及び４４（以下、符号を省略することがある）を透過するものであればよい。すなわち、透明層の材料は、レーザビームの波長に対して光吸収が小さく、短波長域において光学的に複屈折率が小さいことが好ましい。透明層の材料としては、透明な材料が用いられ、例えば、ポリカーボネイト樹脂、ポリメチルメタクリレート樹脂、ポリオレフィン樹脂、ノルボルネン系樹脂、紫外線硬化性樹脂、又はガラス；あるいはこれらを適宜組み合わせたもの等が用いられる。透明層は、以上に述べた材料が、円盤状に形成されることで形成可能である。
　また、透明層の厚さは、特に限定されないが、例えば、０．０１ｍｍ～１．５ｍｍ程度であってもよい。また、対物レンズの開口数が０．７５～０．９５の範囲である場合、透明層の厚さは、０．０３ｍｍ～０．２０ｍｍの範囲であることが好ましい。透明層の厚さがこの範囲にあることで、情報記録媒体におけるチルトに対する許容幅が大きくなる。対物レンズの開口数が０．５５～０．７５の範囲である場合、透明層の厚さは、０．５０ｍｍ～０．７０ｍｍの範囲であることが好ましい。
　中間層２４、３６、３９及び４０（以下、符号を省略することがある）の材料としては、透明層と同様に、透明な材料が用いられ、例えば、ポリカーボネイト樹脂、ポリメチルメタクリレート樹脂、ポリオレフィン樹脂、ノルボルネン系樹脂、紫外線硬化性樹脂、若しくはガラス；又はこれらを適宜組み合わせたもの等が、用いられる。中間層は、以上に述べた材料が、円盤状に形成されることで形成可能である。
　中間層の厚さは、対物レンズの開口数ＮＡとレーザ光の波長λとにより決定される焦点深度以上の厚さに形成される。中間層の厚さがこのように設定されていることで、第１の情報層２３及び３５、並びに第２の情報層２６、３８、及びその他の情報層（例えば第ｎの情報層４２）のいずれか１つに記録された情報が記録又は再生されるときに、他の情報層からのクロストークが小さく抑えられる。また、全ての情報層は、レーザ光が集光可能な範囲に収まる厚さに形成される。３層以上の情報層が積層される場合は、それぞれの情報層同士の間の中間層の厚さは互いに異なることが好ましい。なぜなら、複数の中間層が同じ厚さの場合、各情報層が等間隔に配置されるので、１つの情報層の情報が記録又は再生されるときに、その情報層の２つ手前に位置する層でレーザ光が焦点を結びうるため、クロストークが大きくなる可能性があるためである。
　中間層にも、凹凸マークが、情報層の位置する側に、予め形成されていることが好ましい。
　記録層１３、２１、及び３３（以下、符号を省略することがある）は、光学特性が異なる２つ以上の状態間をとりうる材料より構成される。追記型の記録層の材料は、この異なる状態間を非可逆的に変化しうるものが好ましい。
　記録層の材料としては、例えば、Ｔｅ、Ｏ、及びＭ（ＭはＰｄ、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ、及びＮｉから成る群より選択される少なくとも１つの元素）を含有するものが、用いられる。特に、材料Ｍとして、Ｐｄ、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ、及びＮｉから成る群より選択される少なくとも１つの元素が用いられることにより、十分な結晶化速度及び高い再生耐久性が実現される。
　元素Ｍは、Ｔｅと結合して安定な結晶状態の記録マークを形成する元素が好ましい。このような元素として、例えばＰｄ、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ、及びＮｉなど、Ｔｅと化合物または共晶を形成しうる元素が挙げられる。また、さらなる特性改善のため、記録層には、これら以外の元素が添加されていてもよい。
　Ｔｅ－Ｏ－Ｍは、記録層の形成直後では、ＴｅＯ2中にＴｅ、Ｔｅ－Ｍ及びＭの微粒子が一様に分散された状態の複合材料である。レーザ光の照射を受けることによって、この複合材料中のＴｅ及びＴｅ－Ｍの結晶粒径が、大きくなる。記録再生装置（後述）は、この光学状態の違いを信号として検出することができる。よって、記録層にＴｅ－Ｏ－Ｍを含む情報記録媒体は、１回のみ書き込み可能な、いわゆるライトワンス型記録媒体としての機能を実現することができる。
　記録層の材料の好ましい組成範囲は、Ｔｅ原子の含有割合が１０原子以上６５原子％以下、Ｏ原子の含有割合が２０原子％以上７５原子％以下、Ｍ原子の含有割合が１原子％以上３０原子％以下である。この組成範囲が好ましい理由を以下に述べる。
　記録層中のＴｅ原子が１０原子％以上であることで、レーザ照射を受けても追記マークの反射率が下がりにくいという効果が実現される。一方、記録層中のＴｅ原子が６５原子％以下であることで、記録層全体の反射率が比較的高くなるので、情報記録媒体の反射率も比較的高くなる。その結果、情報記録媒体上にゴミなどが付着した場合にも、情報記録媒体からの反射光量が、信号再生に充分な大きさとなる。記録層におけるＴｅ原子の含有割合は、さらに好ましくは、２０原子以上５０原子％以下である。
　記録層中のＯ原子が２０原子％以上であることで、記録層の熱伝導率が比較的低くなり、記録層の面方向における熱拡散率が小さくなる。よって、追記マークの幅が狭くなり得る。その結果、追記マーク上、または追記マークの近傍にある凹凸マークの再生精度が、向上する。一方、記録層中のＯ原子が７５原子％以下であることで、信号が長期間にわたって安定に再生される。記録層におけるＯ原子の含有割合は、さらに好ましくは、４０原子％以上６５原子％以下である。
　記録層中のＭ原子が１原子％以上であることで、信号が長期間にわたって安定に再生される。一方、記録層中のＭ原子が３０原子％以下であることで、記録層の熱伝導率が比較的低くなり、記録層の面方向における熱拡散率が小さくなるので、追記マークの幅が狭くなり得る。その結果、凹凸マークの再生精度が向上する。記録層におけるＭ原子の含有割合は、さらに好ましくは、１原子％以上２０原子％以下である。
　記録層には、Ｔｅ、Ｏ、及びＭ以外の元素が含まれていてもよい。例えば、熱伝導率の調整、光学定数の調整、耐熱性の向上及び環境信頼性の向上等の少なくとも１つを目的として、Ｓ、Ｎ、Ｆ、Ｂ及びＣから選ばれる少なくとも１種の元素が添加されていてもよい。これらの添加元素の添加量は、記録層全体の２０原子％以内とされることが好ましい。言い換えると、記録層におけるＴｅ原子、Ｏ原子、及びＭ原子の含有量の合計は、８０原子％以上であることが好ましい。
　記録層の厚さは、２ｎｍ以上６０ｎｍ以下が好ましい。記録層の厚さが２ｎｍ以上であることで、反射率の変化量が充分に大きくなる。また、記録層の厚さが６０ｎｍ以下であることで、反射率が比較的高くなり、情報記録媒体上にゴミなどが付着した場合にも、情報記録媒体からの反射光量が、信号再生に充分な大きさとなる。記録層の厚さは、４０ｎｍ以下であることがより好ましい。記録層の厚さが４０ｎｍ以下であることで、記録層の形成に要する時間が短縮され、生産性が向上する。
　第１の誘電体層１２、２０、及び３２、並びに第２の誘電体層１４、２２、及び３４（以下、互いを特に区別しないときは、符号を省略し、単に「誘電体層」と称することがある）を設けることで、記録材料を保護することができ、また、情報層での効果的な光吸収を可能にするといった光学特性の調節を行うことができる。
　誘電体層は、硫化物材料、セレン化物材料、酸化物材料、窒化物材料、窒酸化物材料、炭化物材料及び弗化物材料から成る群より選択される少なくとも１つを主成分とすることが好ましい。
　より具体的には、誘電体層としては、
（１）ＺｎＳ等の硫化物、
（２）ＺｎＳｅ等のセレン化物。
（３）ＳｉＯ2、Ａｌ2Ｏ3、ＴｉＯ2、Ｔａ2Ｏ5ＺｒＯ2、Ｃｒ2Ｏ3、Ｎｂ2Ｏ5、Ｂｉ2Ｏ3、Ｂｉ4Ｔｉ3Ｏ12等の酸化物。
（４）Ｇｅ-Ｎ、Ｓｉ3Ｎ4、ＡｌＮ等の窒化物、
（５）Ｇｅ-Ｏ-Ｎ、Ｃｒ-Ｏ-Ｎ、Ｓｉ-Ｏ-Ｎ、Ａｌ-Ｏ-Ｎ、Ｎｂ-Ｏ-Ｎ、Ｍｏ-Ｏ-Ｎ、Ｔｉ-Ｏ-Ｎ、Ｚｒ-Ｏ-Ｎ、Ｔａ-Ｏ-Ｎ等の窒酸化物、
（６）ＳｉＣ等の炭化物、ＡｌＦ3、ＣａＦ2、ＬａＦ3等の弗化物、
（７）これら（上記（１）～（６）の適当な組み合わせ（例えば、ＺｎＳ－ＳｉＯ２等）
のいずれかを主成分とする材料が、好ましく用いられる。また、これらの材料は適宜組み合わせられてもよい。
　なお、本明細書において、「主成分とする」とは、その物質の含有割合が、６０原子％以上、好ましくは７０原子％以上、より好ましくは８０原子％、さらに好ましくは９０原子％であることを示す。
　誘電体層の厚さは、２ｎｍ以上１００ｎｍ以下であることが好ましい。誘電体層の厚さがこの範囲内にあることで、安定な信号再生を実現するために十分な反射率を有する情報記録媒体が、実現される。また、誘電体層の厚さは、５０ｎｍ以下であることがより好ましい。誘電体層の厚さが５０ｎｍ以下であることで、誘電体層の形成に要する時間が短縮され、生産性が向上する。
　反射層１１、１９、２５、３１、３７、及び４１（以下、符号を省略することがある）を設けることで、放熱効果等の熱的効果、及び記録層での効果的な光吸収等の光学的効果等が実現される。
　反射層の材料としては、Ａｇ、Ａｌ、Ａｕ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｃｒ、若しくはＴｉ等の金属；又はこれらのうちの２種以上の金属が組み合わせられた合金が好ましく用いられる。反射層の材料としては、特にＡｇ合金又はＡｌ合金が好ましい。反射層の材料として、特に放熱性、耐湿性の観点からは、Ａｇ－Ｐｄ－Ｃｕ、Ａｇ－Ｇａ－Ｃｕ、Ａｇ－Ｂｉ、Ａｌ－Ｃｒ、及びＡｌ－Ｎｉが好ましい。
　反射層の厚さは、５ｎｍ以上２００ｎｍ以下であることが好ましい。反射層が５ｎｍ以上であることで、反射層が均一な層として形成されやすくなる。反射層が均一な層であることで、上述の熱的、光学的な効果がより高められる。反射層の厚さが２００ｎｍ以下であることで、反射層の形成に要する時間が短縮され、生産性が向上する。また、反射層にＡｇ合金を用いた場合には、反射層の厚さは１００ｎｍ以下であることがより好ましい。反射層の厚さが１００ｎｍ以下であることは、高価な貴金属であるＡｇの使用量の低減を可能にするので、コストの観点から好ましい。
　反射層に用いる材料の屈折率ｎ及び消衰係数ｋの好ましい範囲は、それぞれ２．０未満及び２．０以上である。
　なお、情報記録媒体の構成は、図４、図５及び図６に示した構成に限定されるものではない。例えば、情報記録媒体は、コストアップを避けるために、反射層１１、１９、２５、３１、３７及び４１を備えない構成であってもよいし、第１の誘電体層１２、２０、及び３２、又は第２の誘電体層１４、２２、及び３４を必要に応じて備えない構成であってもよい。
　例えば、図５の情報記録媒体１７の構成を、第１の誘電体層２０を備えない構成に変更することができる。また、図６の情報記録媒体２９の構成を、第１の情報層３５中の反射層３１を備えない構成に変更することもできる。情報記録媒体が誘電体層及び／又は反射層を有さないことによって、その情報記録媒体の製造コストは、低く抑えられる。
　２．情報記録媒体の製造方法
　以上に述べた情報記録媒体の製造方法は、基板上に情報層を形成する工程を含めばよい。
　情報層に含まれる各層（薄膜）の形成方法としては、例えば、気相薄膜堆積法が挙げられ、より具体的には、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、ＣＶＤ（Chemical　Vapor　Deposition）法、及びＭＢＥ（Molecular　Beam　Epitaxy）法等が挙げられる。
　情報記録媒体９、１７、及び２９の具体的な製造方法は、以下の通りである。
　≪情報記録媒体９の製造方法≫
　図４の情報記録媒体９の製造方法は、基板１０の上に、情報層を形成する工程を含む。情報記録媒体９は、例えば、下記工程（１）及び（２）
（１）基板１０上に、反射層１１、第１の誘電体層１２、記録層１３、第２の誘電体層１４を順次形成することで、情報層９ａを形成する工程と；
（２）情報層９ａの上、すなわち第２の誘電体層１４の上に、透明層１５を形成する工程と；
を含む方法によって、製造可能である。
　透明層１５の形成方法としては、
（ｉ）第２の誘電体層１４まで作製した情報記録媒体と、接着樹脂を片面に有する基材とを貼り合わせることによって形成する方法、
（ｉｉ）第２の誘電体層１４まで作製した情報記録媒体とシート状の基材とをＵＶ樹脂によって貼り合わせることにより形成する方法、または、
（ｉｉｉ）第２の誘電体層１４まで作製した情報記録媒体上に紫外線硬化樹脂を滴下して、紫外線により硬化させることによって形成する方法
等が挙げられる。
　≪情報記録媒体１７の製造方法≫
　図５の情報記録媒体１７は、例えば、下記工程（１）～（４）
（１）基板１８上に、第１の情報層２３を、図４の情報記録媒体９の情報層９ａと同様の方法によって形成する工程と；
（２）中間層２４を情報層２３上に形成する工程と；
（３）第２の情報層２６（すなわち反射層２５）を中間層２４上に形成する工程と；
（４）第２の情報層２６上に透明層２７を情報記録媒体９の透明層１５と同様の方法によって形成する工程と；
を含む製造方法によって、製造可能である。
　≪情報記録媒体２９の製造方法≫
　図６の情報記録媒体２９は、例えば、下記工程（１）～（３）
（１）基板３０上に、第１の情報層３５を、図４の情報記録媒体９の情報層と同様の方法によって形成する工程と；
（２）中間層を第ｋの情報層（ｋは１以上（ｎ－１）以下の整数）上に形成する工程及び第（ｋ＋１）の情報層（すなわち反射層）をこの中間層上に形成する工程を交互に繰り返すことで、第２～ｎの情報層及び各情報層間に配置された中間層を形成する工程と；
（３）第ｎの情報層４２上に透明層４３を形成する工程と；
を含む製造方法によって、製造可能である。
　≪記録層の形成方法≫
　上記記録層の形成には、例えば、以下の（１）～（３）のいずれかの方法を用いることができる。
　（１）記録層をスパッタリング法により作製する方法であって、記録層の作製工程で用いるターゲット材料として、Ｔｅ、Ｏ、及びＭ（ＭはＰｄ、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ、及びＮｉから成る群より選択される少なくとも１つの元素）を主成分とする材料を用いる方法。
　（２）上記（１）の方法であって、スパッタリング法として、反応性スパッタリングを行い、ターゲット材料は、Ｔｅ及びＭ（ＭはＰｄ、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ、及びＮｉから成る群より選択される少なくとも１つの元素）を主成分とし、スパッタリングガスは希ガスと酸素との混合ガスを主成分とする方法。
　（３）上記（１）又は（２）の方法であって、Ｔｅ及びＭ（ＭはＰｄ、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ、及びＮｉから成る群より選択される少なくとも１つの元素）とＴｅＯ2とを、異なるターゲットから同時にスパッタリングする方法。
　これらいずれかの方法で記録層を形成することによって、上記1-2．欄及び1-3．欄で述べたような特性（反射率及び変調度）を有する情報記録媒体を実現することができる。すなわち、これらいずれかの方法により、データ用の記録領域を犠牲にしないで記録媒体の不正コピーを防止でき、長期間にわたって信号を安定に再生できる情報記録媒体を実現できる。
　≪基板の作製方法≫
　基板の作製方法の具体例を以下に述べる。
　まず、フォトレジストが塗布されたガラス原盤を、オーサリングされたコンテンツデータに基づくレーザまたは電子ビームに露光する（カッティング）。その後、現像工程を行うことで、露光されたレジストを現像液に溶解させて、凹凸マークを形成する。こうして、凹凸マークによってコンテンツデータが現像されたディスク原盤を作製する。
　次に、このディスク原盤の２つの面のうち、凹凸マークが形成されている側の面をメッキすることで、スタンパを形成する。
　そして、このスタンパを用いて透明樹脂等の材料を射出成形することにより、凹凸マークを転写した基板を作製する。
　≪中間層の形成工程≫
　情報記録媒体１７の製造方法において、中間層２４を形成する工程は、例えば、下記工程（１）又は（２）であってもよい。
（１）基板１８上に形成された第１の情報層２３上に、凹凸マークが形成された樹脂膜を張り付けることで中間層２４を形成する工程。
（２）第１の情報層２３上に紫外線硬化性樹脂を塗布して、この紫外線硬化性樹脂にスタンパを押し付けながら紫外線を照射することによって、凹凸マークが形成された中間層２４を形成する工程。
　情報記録媒体２９における複数の中間層の形成工程も、同様である。
　３．情報記録媒体の記録再生装置及び記録再生方法
　図７に、光ディスクの記録再生に用いられる装置の一例である記録再生装置４５の概略を示す。
　図７に示すように、記録再生装置４５は、レーザ４９及び対物レンズ４８を搭載した光学ヘッド（図示省略）と、レーザ４９からのレーザビーム４７を照射する位置を、所定の位置へと導くための駆動装置（図示省略）と、トラック方向におけるレーザ光の照射位置を制御するトラッキング制御装置（図示省略）と、光ディスク４６の表面に垂直な方向におけるレーザ光の照射位置を制御するフォーカシング制御装置（図示省略）と、レーザパワーを変調するためのレーザ駆動装置（図示省略）と、光ディスク４６を回転させるためのスピンドルモータ５１と、を備える。
　光ディスク４６としては、情報記録媒体１が、より具体的には、情報記録媒体９、１７、及び２９が、好適に用いられる。また、レーザビーム４７は、レーザビーム１６，２８，及び４４に相当する。
　記録再生装置４５は、光ディスク４６をスピンドルモータ５１により回転させると共に、レンズ４８等の光学系部材により微小スポットに絞り込まれたレーザビーム４７を、光ディスク４６に照射することにより、信号の記録及び再生を行う。
　信号の再生時には、レーザ駆動装置（図示省略）が、レーザ４９のパワーレベルを、信号の記録を行うパワーレベルよりも低く調整する。また、レーザ駆動装置は、レーザ４９のパワーレベルを、レーザ照射によって記録マークの光学的な状態が影響を受けず、かつレーザ照射によって光ディスク４６から記録マークの再生のために十分な光量が得られるように、調整する。こうして得られる光ディスク４６からの反射光を、光検出器５０で読みとることによって、記録再生装置４５は、光ディスク４６に記録された信号の再生を行うことができる。
　記録再生に用いるレーザ光の波長は、３５０ｎｍ以上５００ｎｍ以下であることが好ましい。波長４０５ｎｍのレーザ光とＮＡ０．８５のレンズを用いることによって、直径１２ｃｍからなる情報記録媒体において１層当たり２５ＧＢの高密度記録を実現できる。波長４０５ｎｍのレーザ光とＮＡ０．６５のレンズを用いることによって、直径１２ｃｍからなる情報記録媒体において１層当たり１５ＧＢ程度の高密度記録を実現できる。
　次に、実施例について説明する。
　Ａ．実施例１
　実施例１では、記録材料としてＴｅ－Ｏ－Ｐｄを用いた場合に、記録層の組成が
（ａ）反射率、
（ｂ）再生耐久性、
（ｃ）レーザ照射による反射率変化の極性及び
（ｄ）凹凸マークの再生精度
に及ぼす影響を調べた。以下に述べるように、実施例１では、記録層の組成がそれぞれ異なる複数の情報記録媒体をサンプルとして作製し、評価した。以下にその詳細を示す。
　A-1．サンプルの作製
　本実施例及び後述の実施例２で製造したサンプルの層構成は、第１の誘電体層１２を含まない以外は、図４に示す情報記録媒体９と同様であった。以下では、各サンプルに含まれる層を、図４の符号を用いて説明する。
　基板１０としては、ポリカーボネイト樹脂からなる基板を用いた。基板１０は１２ｃｍの直径、及び１．１ｍｍの厚さを有し、一方の表面に凹凸マークを有していた。
　基板１０の凹凸マークが形成された側の表面上に、Ａｇ－Ｂｉ（原子比９９．０：１．０）ターゲットを用いて、反射層１１として、厚さ８０ｎｍのＡｇ－Ｂｉ層を、スパッタリング法により形成した。
　次に、反射層１１の上に、Ｔｅ－Ｐｄターゲットを用いて、記録層１３として、Ｔｅ－Ｏ－Ｐｄ層を、スパッタリング法により形成した。記録層１３の厚さは、サンプルによって異なっており、記録層１３の組成に応じて記録再生を安定に行うことができる反射率が確保されるように、選択した。
　次に、ＺｎＳ－ＳｉＯ2（分子数比８０：２０）ターゲットを用いて、第２の誘電体層１４として、ＺｎＳ－ＳｉＯ２層を、スパッタリング法により形成した。第２の誘電体層１４の厚さもサンプルにより異なっており、記録層の組成に応じて記録再生を安定に行うことができる反射率が確保されるように選択した。
　第２の誘電体層１４の表面上に、レーザ光に対して透明な紫外線硬化樹脂（アクリル系樹脂）を、スピンコート法により塗布した。この紫外線硬化樹脂を、紫外線を照射して硬化させ、厚さ１００μｍの光透明層１５を形成した。
　各層の形成においては、いずれも、直径１００ｍｍ、厚さ６ｍｍ程度のスパッタリングターゲットを用いた。各層の形成工程で使用した電源及び出力は、以下の通りである。反射層１１については、電源としてＤＣ電源を使用し、その出力を２００Ｗとし、記録層１３については、電源としてＤＣ電源を使用し、その出力を５０Ｗとし、第２の誘電体層１４については、電源としてＲＦ電源を使用し、その出力を４００Ｗとした。また、反射層１１及びＺｎＳ－ＳｉＯ2第２の誘電体層１４の形成は、Ａｒ　２５ｓｃｃｍのガス雰囲気中で、ガス圧を約０．１３Ｐａに保って実施した。記録層１３の形成は、Ａｒ　２５ｓｃｃｍ及び酸素との混合ガス雰囲気中で、ガス圧を約０．１３Ｐａに保って実施した。また、各サンプルについて、記録層の形成は、表１に示す組成の記録層が得られるように、ＴｅとＰｄからなり、かつそれらの含有率が互いに異なる複数のスパッタリングターゲットを用い、かつ酸素の供給量を変化させて、実施された。
　以上の工程によって、組成の異なる記録層を有する情報記録媒体である１３種類のサンプル（Ｎｏ．１～１３）を作製した。以上で、実施例１のサンプルの作製が完了した。
　A-2．評価
　次に、サンプルの評価手法について説明する。
　図７に示す一般的な記録再生装置４５において、光ディスク４６として、Ｎｏ．１～１３のサンプルを用い、以下の評価を行った。
　レーザ４９として、波長４０５ｎｍの半導体レーザを使用し、対物レンズ４８として、開口数０．８５の対物レンズを使用した。光ディスク４６（Ｎｏ．１～１３のサンプル）を回転させる線速度は、４．９２ｍ／ｓ（３６Ｍｂｐｓ、ＢＤ１倍速相当）とした。
　［ａ．反射率の評価］
　反射率は、以下の手順で評価した。上記の記録再生装置を用いて、レーザビームを光ディスク４６に向けて照射し、光ディスク４６から反射する光量を測定し、照射したレーザ光量に対する反射光量の比率を算出することで、反射率を測定した。ここで、１２％以上の反射率が得られれば「○」、１２％未満の場合には十分な反射率が得られていないことから「×」と判定した。
　［ｂ．再生耐久性の評価］
　再生耐久性は以下の手順で評価した。上記の記録再生装置４５を用いて、まず、マーク長２Ｔから８Ｔ（Ｔは記録データのクロックの１周期に相当）からなる凹凸マークの平均ジッタを、予め測定した。次に、先ほど測定したトラックに、ＢＤ１倍速、再生光０．３５ｍＷの環境下において、１００万回転まで連続で再生光を照射し続けた。再生耐久試験後、同トラックのジッタ値を測定した。ここでジッタの劣化が０．２％以下の場合は「○」、０．２％より大きい場合は「×」と判定した。さらに、ジッタの劣化が０．１％以下の場合は「◎」と判定した。
　［ｃ．反射率変化の極性の評価］
　反射率変化の極性は以下の基準で評価した。レーザ照射によって追記マークを記録した時、記録後の反射率が記録前に比べて上がった場合には「○」、下がった場合には「×」と判定した。
　［ｄ．凹凸マークの再生精度の評価］
　凹凸マークの再生精度は以下の手順で評価した。上記の記録再生装置を用いて、まず、予め形成されている凹凸マークの平均ジッタを測定した。
　次に、凹凸マークの上に、レーザ照射により追記マークを形成し、凹凸マークの平均ジッタを測定した。
　ここで、追記マークの形成前後における凹凸マークのジッタの劣化が０．２％以下の場合は「○」、０．２％より大きい場合は「×」と判定した。
　［ｅ．記録層中の各原子の含有率の測定］
　次に、記録層中の各原子の含有率の測定方法を説明する。Ｎｏ．１～１３の各サンプルの記録層を構成する元素の含有率は、組成分析用のサンプルを別途に作成して、測定した。具体的には、Ｎｏ．１～１３のサンプルの記録層の形成に用いた、Ｔｅと元素Ｍの含有率が異なる複数のターゲットを用意し、スパッタリング装置を使用して、厚さ１ｍｍのＳｉ基板上に、厚さが５００ｎｍの膜を形成した。膜の形成条件は、Ｎｏ．１～１３の各サンプルの記録層を形成するときに採用した条件と同じとした。
　次に、Ｘ線マイクロアナライザーを用いて、各膜の組成分析を実施した。実施例において示す材料組成は、本方法により分析した結果である。
　［ｆ．総合評価］
　以上に述べた、反射率、再生耐久性、反射率変化の極性、及び凹凸マークの再生精度の評価結果に、１つでも「×」が含まれていたサンプルについては「×」、全て「○」であったサンプルについては「○」、再生耐久性の評価結果が「◎」であり、それ以外の評価結果が「○」であったサンプルについては「◎」と判定して、総合評価を行った。
　実施例１で作製した情報記録媒体について、以上の評価を行った。結果を表１に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
 　表１に示されるように、記録層がＴｅ－Ｏ－Ｐｄ系材料からなるサンプルの反射率、再生耐久性、レーザ照射による反射率変化の極性、及び凹凸マークの再生精度の評価結果は、記録層の組成によって異なっていた。表１によると、記録層中のＴｅ量が１０原子％未満の範囲では、レーザ照射により追記マークの反射率が下がるため、実用上問題がある。また、記録層中のＴｅ量が６５原子％を超える領域では、反射率が低くなり、媒体上にゴミなどが付着した際に反射光量が低下するため、実用上問題がある。
　記録層中のＯ量が２０原子％未満である場合、記録層の熱伝導率が高いため、記録層の面方向における熱拡散率が大きくなり、追記マークの幅が広くなる。その結果、追記マーク上において、凹凸マークの再生精度が悪化するので、実用上問題がある。また、記録層中のＯ量が７５原子％より大きい場合は、信号を長期間に渡って安定に再生できないため、実用上問題がある。
　記録層中のＰｄ量が１原子％未満である場合、信号を長期間に渡って安定に再生できないため、実用上問題がある。また、Ｐｄ量が３０原子％を超える領域では、記録層の熱伝導率が高いため、記録層の面方向における熱拡散率が大きくなり、追記マークの幅が広くなる。その結果、凹凸マークの再生精度が悪化するので、実用上問題がある。
　Ｎｏ．１及びＮｏ．１３のサンプルは、再生耐久性において特に優れており、総合評価は「◎」となった。
　したがって、反射率、再生耐久性、レーザ照射による反射率変化の極性及び凹凸マークの再生精度を考慮に入れると、記録層中で、Ｔｅ原子の割合が１０原子％以上６５原子％以下、Ｏ原子の割合が２０原子％以上７５原子％以下、Ｐｄ原子の割合が１原子％以上３０原子％以下の組成範囲が適していると考えられる。この範囲は図８において、Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆで囲まれた領域として示されている。
　また、同じ観点から、記録層において、Ｔｅ原子の割合が２０原子以上５０原子％以下、Ｏ原子の割合が４０原子％以上６５原子％以下、Ｍ原子の含有が１原子％以上２０原子％以下であることがさらに好ましいと考えられる。この範囲は、図８において、Ｇ、Ｈ、Ｉ、Ｊ、Ｋ、及びＬで囲まれた領域として示されている。
　ここでは、材料ＭとしてＰｄを用いた場合の例について述べたが、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ、及びＮｉを用いた場合でも同様の特性が得られることも確認した。
　本実施例によれば、記録層において、Ｔｅ原子の割合が１０原子％以上６５原子％以下、Ｏ原子の割合が２０原子％以上７５原子％以下、Ｍ原子（ＭはＰｄ、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ、及びＮｉ）の割合が１原子％以上３０原子％以下であることにより、映像や音声などの主情報を有し、さらに低コストで副情報を追記できる情報記録媒体を実現できることを確認できた。
　また、同じ観点から、記録層において、Ｔｅ原子の割合が２０原子以上５０原子％以下、Ｏ原子の割合が４０原子％以上６５原子％以下、Ｍ原子の含有が１原子％以上２０原子％以下であることがさらに好ましいことが確認できた。
　Ｂ．実施例２
　実施例２では、マークの再生安定性を調べるため、サンプルである各情報記録媒体について、レーザ照射前の反射率Ｒａとレーザ照射後の反射率Ｒｂの比を変化させた際の追記マークの信号品質、及び凹凸マークの再生精度を評価した。
　本実施例で、サンプルとして作製した情報記録媒体は、上述したように、第１の誘電体層１２を含まない以外は、図４に示す情報記録媒体９と同様であった。本実施例のサンプル（Ｎｏ．１４～１９）は、第２の誘電体層１４の厚さが異なる以外は、同様の構成である。
　なお、レーザ照射前の反射率Ｒａは、凹凸マーク上に追記マークを形成する前の反射率であり、レーザ照射前の反射率Ｒｂは、凹凸マーク上に追記マークを形成した後の反射率である。各サンプルにおける第２の誘電体層１４の厚さは、表２に示すＲｂ／Ｒａ値を得ることができるように調整された。反射率の測定方法については、実施例１で述べた通りである。
　サンプルの製造方法、記録層組成の分析方法、及び凹凸マークの再生精度の評価方法は、実施例１において説明した通りである。本実施例で用いた記録層の組成は、Ｔｅ：Ｏ：Ｐｄ＝４０：５０：１０［ａｔ％］であった。
　追記マークの信号品質については、以下のように評価した。
　［追記マークの信号品質の評価］
　実施例１で使用した記録再生装置を用いて、追記マークの平均ジッタを測定した。測定の結果、平均ジッタが１０％未満であれば「○」、１０％以上であれば「×」と判定した。
　実施例２で作製したサンプルの評価結果を表２に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
 　表２に示されるように、Ｒｂ／Ｒａ＞１．０の範囲で追記マークの信号品質が良好であることがわかった。また、Ｒｂ／Ｒａ＜１．１の範囲で凹凸マークの再生精度が良好であることがわかった。
　本実施例によれば、レーザ照射前の反射率Ｒａとレーザ照射後の反射率Ｒｂについて、１．０＜Ｒｂ／Ｒａ＜１．１の関係式を満たすことにより、情報記録媒体の追記マーク及び凹凸マークが安定に再生され得ることを確認できた。
　Ｃ．実施例３
　実施例３では、２つの情報層を有する情報記録媒体の記録層を、Ｔｅ－Ｏ－Ｍ系材料（ここでは代表例としてＴｅ－Ｏ－Ｐｄ系材料を使用）で構成し、実施例１と同様に、記録層の組成が、反射率、再生耐久性、レーザ照射による反射率変化の極性、及び凹凸マークの再生精度に及ぼす影響を調べた。
　本実施例で作製したサンプルの層構成は、第１の誘電体層２０を含まない以外は、図５に示す情報記録媒体１７と同様であった。以下では、各サンプルに含まれる層を、基板１８としては、ポリカーボネイト樹脂からなる基板を用いた。基板１８は１２ｃｍの直径、及び１．１ｍｍの厚さを有し、一方の表面に凹凸マークを有していた。
　基板１８の凹凸マークが形成された側の表面上に、Ａｇ－Ｂｉ（原子比９９．０：１．０）ターゲットを用いて、反射層１９として、厚さ８０ｎｍのＡｇ－Ｂｉ層を、スパッタリング法により形成した。
　次に、反射層１９の上に、Ｔｅ－Ｐｄターゲットを用いて、記録層２１として、Ｔｅ－Ｏ－Ｐｄ層を、スパッタリング法により形成した。記録層２１の厚さは、サンプルによって異なっていた。各サンプルにおける記録層２１の厚さは、記録層２１の組成に応じて、記録再生を安定に行うことができる反射率が確保されるように、選択された。
　次に、ＺｎＳ－ＳｉＯ2（分子数比８０：２０）ターゲットを用いて、第２の誘電体層２２として、ＺｎＳ－ＳｉＯ２層を、スパッタリング法により形成した。第２の誘電体層２２の厚さも、サンプルにより異なっていた。各サンプルにおける第２の誘電体層２２の厚さは、各サンプルにおける記録層の組成に応じて、記録再生を安定に行うことができる反射率が確保されるように、選択された。
　こうして形成された第１の情報層２３の表面上に、紫外線硬化性樹脂（アクリル系樹脂）をスピンコート法により塗布した。次いで、基板１８に形成された凹凸マークと同様のマークが形成されたパターンを、この紫外線硬化性樹脂上に転写し、厚さ約２５μｍの中間層２４を形成した。
　この中間層２４の表面上に、第２の情報層２６（反射層２５）として、Ａｇ－Ｂｉ（原子比９９．０：１．０）ターゲットを用いて、厚さ１５ｎｍのＡｇ－Ｂｉ層を、スパッタリング法により形成した。この第２の情報層２６の表面上に、紫外線硬化性樹脂（アクリル系樹脂）を用いて、厚さ約７５μｍの光透明層２７を形成した。
　各層の形成は、いずれも、直径１００ｍｍ、厚さ６ｍｍ程度のターゲットを用いて行った。各層の形成工程で使用した電源及び出力は、以下の通りである。反射層１９、２５については、電源としてＤＣ電源を使用し、その出力を２００Ｗとし、記録層２１については、電源としてＤＣ電源を使用し、その出力を５０Ｗとし、第２の誘電体層２２については、電源としてＲＦ電源を使用し、その出力を４００Ｗとした。また、反射層１９及び２５並びに第２の誘電体層２２の形成は、Ａｒ　２５ｓｃｃｍのガス雰囲気中で、ガス圧を約０．１３Ｐａに保って実施した。記録層２１の形成は、Ａｒ２５　ｓｃｃｍ及び酸素との混合ガス雰囲気中で、ガス圧を約０．１３Ｐａに保って実施した。
　また、各サンプルについて、記録層２１の形成は、表３に示す組成の記録層が得られるように、ＴｅとＰｄからなり、かつそれらの含有率が互いに異なる複数のスパッタリングターゲットを用い、かつ酸素の供給量を変化させて、実施された。以上で、実施例３のサンプルの作製が完了した。
　記録層組成の分析方法、並びに反射率、再生耐久性、レーザ照射による反射率変化の極性、及び凹凸マークの再生精度の評価方法は、実施例１において説明した通りである。また、総合評価の方法も、実施例１において説明した通りである。実施例３で作製した情報記録媒体の評価結果を、表３に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000003
 　表３に示されるように、第１の情報層の記録層に、Ｔｅ－Ｏ－Ｐｄ系記録材料を用いると、実施例１と同様に、良好な反射率、再生耐久性、レーザ照射による反射率変化の極性、及び凹凸マークの再生精度が得られることがわかった。
　特に、実施例１のＮｏ．１及びＮｏ．１３のサンプルと同じ組成の記録層を有するサンプル（Ｎｏ．２０及び３２）は、再生耐久性に特に優れており、総合評価は「◎」となった。
　ここでは、材料ＭとしてＰｄを用いた場合の例について述べたが、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ、及びＮｉを用いた場合でも同様の特性が得られることも確認した。
　本実施例によれば、記録層において、Ｔｅ原子の割合が１０原子％以上６５原子％以下、Ｏ原子の割合が２０原子％以上７５原子％以下、Ｍ原子（ＭはＰｄ、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ、及びＮｉ）の割合が１原子％以上３０原子％以下であることにより、映像や音声などの主情報を有し、さらに低コストで副情報を追記できる情報記録媒体を実現できることを確認できた。
　また、同じ観点から、記録層において、Ｔｅ原子の割合が２０原子以上５０原子％以下、Ｏ原子の割合が４０原子％以上６５原子％以下、Ｍ原子の含有が１原子％以上２０原子％以下であることがさらに好ましいことが確認できた。
　本発明の情報記録媒体とその製造方法は、映像や音声などの主情報を有し、さらに低コストで副情報を追記できる情報記録媒体（光ディスク等）に有用である。
　１，９，１７，２９，４６　　情報記録媒体
　２　　リードアウト領域
　３　　データ記録領域
　４　　リードイン領域
　５，７　　凹凸マーク
　６，８　　追記マーク
　１０，１８，３０　　基板
　１１，１９，２５，３１，３７，４１　　反射層
　１２，２０，３２　　第１の誘電体層
　１３，２１，３３　　記録層
　１４，２２，３４　　第２の誘電体層
　１５，２７，４３　　光透明層
　２４，３６，３９，４０　　中間層
　１６，２８，４４，４７　　レーザビーム
　２３，３５　　第１の情報層
　２６，３８　　第２の情報層
　４２　　第ｎの情報層
　４５　　記録再生装置
　４８　　対物レンズ
　４９　　レーザ
　５０　　光検出器
　５１　　スピンドルモータ

Claims (14)

  1. 　下記（１）及び（２）
    （１）　凹凸マークが形成された情報層と、
    （２）　前記情報層に含まれ、
    　レーザ照射によって光学的特性が変化することで、追記マークが形成され、
    　Ｔｅ、Ｏ、及びＭ（ＭはＰｄ、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ及びＮｉから成る群より選択される少なくとも１つの元素）を含有する記録層と、
    を備えると共に、
    　レーザ照射前の反射率Ｒａ及びレーザ照射後の反射率Ｒｂが、
    　１．０　＜　Ｒｂ／Ｒａ　＜　１．１
    を満たす
    情報記録媒体。
  2. 　隣り合う前記追記マーク間の最短距離は、隣り合う前記凹凸マーク間の最長距離よりも長く、
    　最短の前記追記マークの長さは、最長の前記凹凸マークの長さよりも長い
    請求項１に記載の情報記録媒体。
  3. 　前記記録層に含まれるＴｅ原子、Ｏ原子及びＭ原子の数の合計を１００原子％としたときに、
    　Ｔｅ原子の含有割合が１０原子以上６５原子％以下、
    　Ｏ原子の含有割合が２０原子％以上７５原子％以下、
    　Ｍ原子の含有割合が１原子％以上３０原子％以下
    である
    請求項１又は２に記載の情報記録媒体。
  4. 　前記記録層に含有されるＴｅ原子、Ｏ原子及びＭ原子の数の合計を１００原子％としたときに、
    　Ｔｅ原子の含有割合が２０原子以上５０原子％以下、
    　Ｏ原子の含有割合が４０原子％以上６５原子％以下、
    　Ｍ原子の含有割合が１原子％以上２０原子％以下
    である
    請求項１又は２に記載の情報記録媒体。
  5. 　前記記録層を構成する原子の数の合計を１００原子％としたときに、
    　前記記録層に含有されるＴｅ原子、Ｏ原子及びＭ原子の数の合計が、８０原子％以上である
    請求項１～４のいずれかに記載の情報記録媒体。
  6. 　前記情報層は、前記記録層に隣接する誘電体層を有し、
    　前記誘電体層が、硫化物材料、セレン化物材料、酸化物材料、窒化物材料、窒酸化物材料、炭化物材料及び弗化物材料から成る群より選択される少なくとも１つを主成分とする、
    請求項１～５のいずれかに記載の情報記録媒体。
  7. 　前記情報層は、前記記録層に隣接する誘電体層を有し、
    　前記誘電体層の厚さが２ｎｍ以上１００ｎｍ以下である
    請求項１～６のいずれかに記載の情報記録媒体。
  8. 　前記情報層は、前記記録層に隣接する誘電体層を有し、
    　前記誘電体層の厚さが２ｎｍ以上５０ｎｍ以下である
    請求項１～６のいずれかに記載の情報記録媒体。
  9. 　前記情報層は、前記基板と前記記録層との間に配置された反射層を有し、
    　前記反射層は、Ａｇ、Ａｌ、Ａｕ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｃｒ及びＴｉからなる群より選択される少なくとも１つを主成分とする
    請求項１～８のいずれかに記載の情報記録媒体。
  10. 　前記情報層は、前記基板と前記記録層との間に配置された反射層を有し、
    　前記反射層の厚さが５ｎｍ以上２００ｎｍ以下である
    請求項１～９のいずれかに記載の情報記録媒体。
  11. 　前記記録層の厚さが２ｎｍ以上６０ｎｍ以下である
    請求項１～１０のいずれかに記載の情報記録媒体。
  12. 　前記記録層の厚さが２ｎｍ以上４０ｎｍ以下である
    請求項１～１０のいずれかに記載の情報記録媒体。
  13. 　請求項１～１２のいずれか１項に記載の情報記録媒体の製造方法であって、
    　前記基板上に直接に、または前記基板上に形成された他の層の上に、
    　Ｔｅ、Ｏ及びＭ（ＭはＰｄ、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ及びＮｉから成る群より選択される少なくとも１つの元素）を含有するスパッタリングターゲットを用いて、
    　スパッタリング法により、
    前記記録層を形成する工程
    を含む情報記録媒体の製造方法。
  14. 　請求項１～１２のいずれか１項に記載の情報記録媒体の製造方法であって、
    　前記基板上に直接に、または前記基板上に形成された他の層の上に、
    　Ｔｅ及びＭ（ＭはＰｄ、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ及びＮｉから成る群より選択される少なくとも１つの元素）を含有するスパッタリングターゲットを用いて、
    　希ガスと酸素との混合ガスを含む雰囲気中において、
    　反応性スパッタリング法により、
    前記記録層を形成する工程
    を含む情報記録媒体の製造方法。
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