WO2010023976A1 - 光導波路、光導波路モジュールおよび光素子実装基板 - Google Patents

Abstract

ミラー面の汚損がなく、反射損失も低く、さらには変形時の破損拠点にもなりにくい、新規なミラー構造を有する光導波路を提供する。　本発明の光導波路は、光路方向を定めるコア部と、該コア部より屈折率が低いクラッド部とを含むコア層および該コア層の両面に積層されたクラッド層を含む光導波路であって、該コア部の光路方向に沿った所定の位置に、該光導波路へ入射する光または該光導波路から出射する光の光路を変換するミラー面を画定する中空ミラー構造体を設けたことを特徴とする。

Description

導波路・ 導波路モジ および 術分野

本 ・ 導波路、 光導波路モジ ー および

に関する。

年、 電子機器は、 ますますその 型化および 性能 の 求が 高まって る。 中でも、 信号の 速化に対応するために 電子

を光信号によって 続することによる、 電子機器内における信号 の 速化が検討されて る。 信号による 続を行 ため、 線と電気配線を備えた ・ が用 られる。

、 コア クラッ ド とで構成される光導波路を有し、 光導波路 のコア部を光が伝送することにより 信号が伝達される。

・ を備えた電子機器では、 上に複数の 品が搭 される。 ある電子 品の 出力 号が光 子によって 信号に変換され、 その 信号を光導波路に伝 させる。 いで、 された光信号を別の光 子によって電気 号に戻し、 その 号を別の電 品に接続する。 来、 光・ にお て は、 リ ジッ ド に光導波路が形成され 光導波路がリ ジッ ド と 体化されている。 えば、 リ ジッ ド 上に、 子と電子 品とを 、 電気 、 これらの より を貫通して 反対 面に形成された電気配線を介して伝送させ、 また光信号は、 に形成された光導波路より させ、 その 導波路から絶縁 を貫通させ 子の に伝送される えば、 2 ０ ０ 2 8 2 ０ 4 9 ) 。 このよ な ・ では 、 子が基 上に搭 されるため、 光導波路を伝 する光を基 に対して 直方向に曲げるためのミ ラ 面が光導波路内に設けられ る ( えば、 2 ０ ０ 2 8 2 ０ 4 9 報、 特 ０ 3 ０ ０ 9 6 および 2 ０ ０ 6 9 8 7 9 8 。 明の 示

しかしながら、 従来の 導波路に設けられるミ ラ 面は、 ク ラッ ド層の上からダイシング 工 ホッ トエンボス 工、 レ ザ 等で 成されるため、 クラッ ド層の 部が完全に欠 してコア部の ミ ラ 面が周囲 囲気に暴露される。 囲気に されたミ ラ 面は挨や塵の付着による 損を りやす ため、 その 口部を樹脂 で埋 する必要がある。 しかし、 コア部のミ ラ 面が樹脂 に接すると、 空気に接している場合と比 てミ ラ 面にお けるコア との 折率 が小さ くなり、 その 率が低下す る。 また、 従来のミ ラ 面を画定するための 、 光導波路に ノッ を入れた形状となるため、 光導波路が変形するとそのミ ラ の 分で破損しやすいとい 問題もある。 際、 複数 コア部を狭い間隔で多 した光導波路では、 ミ ラ が並 されることにより ノッ 果が顕著となり、 光導波路がミ ラ の 分で 易に れてしまう ことがある。

したがって 、 挨や塵の付着による 損を ることなく 、 またミ ラ 面による反射損失が極力 えられ、 さ らには変形 の 点にもなりにく い、 新規なミ ラ 造を有する光導波路を提 供することを目的とする。 また 、 新規なミ ラ 、 複数 コア部が交差する交差 波路や、 さ らにそのよ な交差 波路を多層化したものと組み合わせた、 線の および が高 コンパタ な光導波路シ トを簡便に提供することも目 的とする。 さ らに 、 そのような光導波路を具備した光導波 路モジ および を提供することも目的とする。

の 、 下記 ～ を構成とする 明によっ て 成される。

向を定めるコア部を、 コア より 折率が低 ク ラッ ド層で してなる光導波路であって、 コア部の光 向に 沿った所定の 置に、 導波路 射する または 導波路か ら する光の光 を変換するミ ラ 面を画定する中空ミ ラ

を設けたことを特徴とする光導波路。

2 ミ ラ の さが コア部の厚さと同一または それより大である、 上記 に記載の 導波路。

3 ) ミ ラ が設けられた 定の 置を含む 光 内の 定の とは別の位置に追加の ミ ラ を設 けた、 上記 ( または 2 Z 載の 導波路。

(4) ミ ラ ミ ラー面が 向に対して4０ ～ 。

5 ０ の 度をなして る、 2 ( ～ ( 3 ) のいずれか 項 に記載の 導波路。

5 向が、 ミ ラ 面によって、 導波路が 定す る平面に対してほぼ 線方向に変換される、 上記 ～ 4 ) の いずれか 項に記載の 導波路。

6 ) 導波路が、 複数 コア部を狭い間隔で多 した 光導波路であり かつ、 ミ ラ コア 独立し て されて る、 上記 ～ ( 5 ) の ずれか 項に記載の 導波路。

( 7 ) 導波路が 複数 コア部を狭い間隔で多 した 光導波路であり、 かつ、 ミ ラ コア部の 2 以上 にまたがる共通の ミ ラ が設置されている、 上記 ～ 5 の ずれか 項に記載の 導波路。

8 導波路が、 コア部が分岐した分岐 導波路であり、 分岐した コア部の任意の 置に中空ミ ラ が設置されて る、 上記 ～ 5 の ずれか 項に記載の 導波路。

( 9 向が ミ ラ 面によって、 導波路が 定す る平面内で変換される 2 ～ (4 の ずれか 項に記載 の 導波路。

導波路が、 複数 コア部が交差する交差 波路 であり、 かつ、 ミ ラ コア部の交 域の なく とも一つに設置されて る、 上記 9 に記載の 導波路。

( ミ ラ つの 域にお て 2 向に分岐するよ に設置されて る 上記 ( ) に記載の 導波路。

ミ ラ 、 つの 域におい て 3 向に分岐するよ に設置されて る、 2 に記載の 導波路。

( 波路が、 コア部が ラッ ドを介して上下に 2 上重畳している多層化交差 波路であり、 かつ、 上下のコア 部を光 続するように配置された中空ミ ラ が所定の 置に 設置されている。 ( ～ のいずれか 項に記載の 導波路。

( ) 波路が、 域の に前記コア よ り も屈折率が低い低 域を設けた タラッ ド 造を有す る、 2 ～ のいずれか 項に記載の 導波路。

導波路が、 向を定めるコア コア よ り 折率が低 クラッ ド とを含むコア および コア層の両面に された ラッ ド層を含む、 上記 ( ～ ( ) の ずれか 項に記載の 導波路。

( コア および クラッ ド層が高分子 料から 成され て る、 上記 ( に記載の 導波路。

分子 料が付加重合 ノルボルネンを主体とする を含む、 上記 ) に記載の 導波路。

～ ( 8 ) および ( ～ の ずれ か 項に記載の 導波路と発光 および または 子とを含 む 導波路モジ であって、 ミ ラ

および または 子とが、 子から した光が ミ ラ ミ ラ 面を介して 導波路 しかつ または 導波路から した光が ミ ラ ミ ラ 面を介し て 射するよ に位置 わせされていることを特徴と する光導波路モジ ル。

( に記載の 導波路モジ 電気回路 とを含む 。

2 ０) 導波路モジ が、 および または 子の 気回路 の との間に電気 を提供する ためのレセプタ 造を有する・ に記載の

。

明によると、 光導波路のコア 内にミ ラ 面を画定する中空 ミ ラ を設けたことにより、 ミ ラ 面が周囲 囲気に暴露さ れることがなく 、 挨や塵の付着によるミ ラ 面の汚 解消される 。 また、 ミ ラ 面が空気と接していることにより コア との 折率 が十分に確保され、 ミ ラ 面での 射損失が極めて小さ くなる。 さ らにミ ラ 造が中空ミ ラ であることにより、 光導波路 に ノッ 状が付与されず、 光導波路の 械的 度が向上する 。 この 械的 度の 上は、 複数 コア部を狭 間隔で多 してミ ラ が並 された光導波路の 合に、 特に顕著となる 。 また 明によると、 新規なミ ラ を交差 波路または 多層化交差 波路と組み合わせたことにより、 従来の ファイ を 設した光導波路シ トより も 線の および自由良が 高く コ ンパタ な光導波路シ トをより簡便に提供することができ る。 面の 単な説明

は 光導波路の 造を模式的に示す部分 である。 2は、 光導波路におけるミ ラ 面を画定する 造の 例を 模式的に示す 断面図である。

3は、 光導波路におけるミ ラ 面を画定する 明による中空 ミ ラ の 例を模式的に示す 断面図である。

4は、 明による別の態様による中空ミ ラ を模式的 に示す 断面図である。

5は、 明による複数 コア部を多 した光導波路を 模式的に示す 面図である。

6は、 明によるコア部が分岐した光導波路を模式的に示す 面図である。

7 は、 明による 向が平面内でほぼ 角に変換される 光導波路を模式的に示す 面図である。

8 は、 明 よる中空ミ ラ を具備した交差 波路 を模式的に示す 面図である。

9 は 明による の 種分岐 様を模式的に示す 面図 である。

０は 明による ミ ラ を具備した多層化交差 型 波路を模式的に示す部分 である。

は、 混信 タラッ ド 造を有する交差 波路の 例を 模式的に示す 面図である。

2は、 混信 ク ラッ ド 造の 造に適した方法の の 部を模式的に示す 面図 A ) および 断面図 ) である。

3は、 明による中空ミ ラ を交差 波路の 域に設けるのに適した方法の 程の 部を模式的に示す 面図で ある。

4は、 明による光導波路の 造に適した方法

) の の 部を模式的に示す 断面図である。

5は、 明による光導波路の 造に適した方法

) の の 部を模式的に示す 断面図である。

6は、 明による光導波路と発光 および または 子とを含む 導波路モジ ル 導波路の 例を模式的に示す 断面図である。

7は、 明による光導波路モジ 電気回路 とを 含む の 例を模式的に示す 断面図である。

8は、 レセプタ 造を有する 明による

の 例を模式的に示す 断面図である。

9は、 コア部の長さの 化に伴 失の 化を示す ヤ トである。 明を実施するための 良の

下、 本 明による光導波路、 光導波路モジ および

について、 面に示す 適な実施 様を適 しな がら 細に説明する。

に、 明による光導波路の 成を示す。 A ) は 向を定めるコア 2 を、 コア より 折率が低いク ラッ ド タラッ ド 3、 下部タ ラッ ド 4 で してなる光導 波路 を示す部分 である。 に示した光導波路 は ・ えば 2 ０ ０ ０ 9 9 8 2 7 に記載されて るように、 所 定のバタ ンで されたコア 2 を有する下部タラッ ド 4の 面に、 例えばスピンコ ト法により上部タラッ ド 3 を形成するこ とによって製造することができる。 明による光導波路の 成の 様として、 ) に、 向を定めるコア 2 と、 コア より 折率が低 クラッド 3 とを含むコア および コア層の両面に積層されたクラッ ド ( クラッ ド 3、 下部ク ラッ ド 4) を含む 導波路 の を示す。 下 図 B Z したタイプの 導波路にお て 明を実施するための 良の 態を詳細に説明するが、 明の 、 このよ なタイプ の 導波路に限定されるものではない。

2は、 光導波路におけるミ ラ 面を画定する 造の 例を 示す である。 2は、 例えば B) において B B [ って切断したよ に 光導波路 ０を、 向を定めるコア 2 に沿って切断した横断面を示して る。 導波路 ０は、 向 。

に対して 45 の 度をなすミ ラ 面を画定するミ ラ 4を含む。 このミ ラ 面によって、 光導波路 ０の 外から 上部タ ラッ ド を 過して 導波路 ０のコア 2 射す る光、 または光導波路 ０のコア 2から上部タラッ ド を 過して 導波路 ０の 出 する光、 の Pが 光導波 路 ０が 定する平面に対してほぼ 線方向に変換される。 2に 示したミ ラ 4は、 下部クラッ ド 3の 部を完全に 下方向に貫通して) させることにより 成されている。

造の別の例として、 上部クラッド の 部をも 分的または 全に欠 させることにより 成されたミ ラ 在する なし 。 2に示したよ に、 クラッ ド層の 部が完全に欠 してコア 2のミ ラ 面が周囲 囲気に暴露されたままであると 、 ミ ラ 面は挨や塵の付着による 損を りやす ため、 般にミ ラ 1 は で埋 された中実 となって る。 しかし、 ミ ラ 面が樹脂 に接すると、 空気 折率 接して る場合と比 てミ ラ 面におけるコア との 折率 が小さくなり、 その 率が低下する。 また、 タラッ ド層 の 部が完全に欠 した構造は、 光導波路に ノッ を入れた形 状となるため、 光導波路が変形するとそのミ ラ に応力が集 中し、 光導波路が破損しやすくなる。

3は、 光導波路におけるミ ラ 面を画定する 明による中空 ミ ラ の 例を示す である。 3は、 2 同様に、 光導波路 2 を、 向を定めるコア 2 2に沿って切断した横 断面を示している。 導波路 2 ０は、 向に対して、 好ましく は4 ０～ 0。 の 度、 より好ましく は 4 。

5 の 度、 をなすミ ラ 面を画定する ミ ラ 24を含む。 このミ ラ 面によ って、 光導波路 2 ０の 外から上部タラッ ド 2 を 過して 導 波路 2 ０のコア 2 2 射する光、 または光導波路 2 ０のコア

2から上部クラッ ド 2 を 過して 導波路 2 ０の 出 する光、 の が、 光導波路 2 ０が 定する平面に対してほぼ 線方向に変換される。 向が上部タラッ ド層を貫通するよ に 線方向に変換される限りにおいて・ 明による中空ミ ラ の 状に制限はない。 えば、 明による中空ミ ラ 、 コア部に沿った横断面が 3 に示したよ な二等辺三角形 である 、 直角 角形であってもよい。 また、 中空ミ ラ の さは、 般に 3 ０～ 8 ０ の 囲内にあればよく 、 また 3 したよ にコア 2 2 を含むコア層の厚さとほぼ同 である 、 コア層の厚さより大きくてもよい。 明による中空ミ ラ

の さがコア層の厚さより大き 場合としては、 4 A) Z し たよう に中空ミ ラ 34が上部クラッ ド 3 、 コア 3 2 および クラッ ド 3 3の 3層にまたがる態様、 図4 ) に示 したように中空ミ ラ 44が上部タラ 4 およびコア 4 2の 2層にまたがる態様、 ならびに 4 C ) に示したように 中空ミ ラ 54がコア 5 2および クラッ ド 5 3の 2 層にまたがる態様が挙げられ、 いずれの 明に包含される 3および 4に示したように、 明による中空ミ ラ

2 4 34 44 54は、 タラ 2 2 3 3 3 3 4 43 5 5 3で完全に密閉されて るため、 コア 2 2 3 2 4 5 のミ ラ 面が周囲 囲気からの挨や塵の付着に よって されることがない。 また、 明による中空ミ ラ

2 4 3 4 44 5 4の 空気 折率 で満たされ て るため、 ミ ラ 面におけるコア 2 2 3 2 42 5 2 との 折率 が十分大きくなり、 反射損失が抑えられる。 さ らに、 明による中空ミ ラ 24 34 44 5 4は、 光導波路に 状を付与しないため、 光導波路の 械的 度が顕著に 向上する。

際の 導波路にお ては、 5 A) Z したよ に・ コア 6 2 を い間隔で多 して中空ミ ラ 64がコ ア 独立して前置される場合がある。 このような場合でも、 明による中空ミ ラ 果を発揮しな ため、 光導波路が中空ミ ラ の 分で 易に れることはない。 ま た、 5 B) Z したように 2 以上のコア 7 2にまたがる 通の ミ ラ 7 4を形成させてもよ 。 このような共通 の ミ ラ 74の 、 特にダイシング ホッ トエ ンボス 採用する場合に 複数のミ ラ 面を一度に形成する こ とができるので、 製造プロセス上のメ リッ トがある。

明による光導波路は、 6 に示したように、 コア 8 2が分 岐した分岐 導波路であってもよ 。 この 合、 分岐した コア 部の任意の 置に中空ミ ラ 84を設けることができる。

導波路 であり、 明にお ては、 例えば、 2 ０ ０ 4 2 7 9 6 3 7 および 2 ０ ０ 6 2 9 3 7 報に記載の のもの 2 ０ ０ 6 3 3 ０ 4 3 6 報に記載の のもの、 およびこれらの み合わせを使用する ことができる。 導波路の 法につ ては、 上記 公開 報を参照された 。

明による光導波路は、 同 光 内の なる 2つの 置に中空 ミ ラ を一つずつ けることにより、 光導波路の 外から上 部タラッ ド層を透過して 導波路のコア 射した光を 方の ミ ラ によって 直方向に曲げてコア部を伝 させ、 後の光を他方の ミ ラ によって 直方向に曲げて 導波路のコア部から上部クラッ ド層を透過して 導波路の 出 させる レ ザ VC SE として応用することがで きる。 明による光導波路を用いることにより、 電子 を光 信号によって 続することができ、 よって電子機器内における信号 の 速化を実現することができる。

、 7 Z したような、 Pが、 光導波路 9 ０が 定する平面内で変換される光導波路に応用することもできる。 導 波路が 定する平面内で光 を げるためには、 コア部を曲げた上 述の 導波路を使用することもできる。 しかし、 コア部の曲 率 には一定の ) があるため、 ミ ラ を使用 することにより 導波路 バイスの 層の 型化を達成することが でき 。 なお、 7 には、 Pがほぼ 角方向に変換される態 様を示したが、 Pの 度に制限はなく 、 ０～ ０度の 範囲内で 意に設定できることは容易に理解されよう。

さ らに 、 8 Z したような、 複数 コア 9 2が交 差する交差 波路 9 ０に応用することもできる。 8に示した交 差 波路 9 ０では、 コア 9 2が に配置されている。 し かし、 コア 9 2の 、 8 したよ な には限 。

られな 。 特に、 コア 9 2の 9 ０ ( ) より大きく または小さ くすることにより、 光の混 率を任意に変更すること ができる。 波路 9 ０のコア 9 2の 域の なく とも 一つに中空ミ ラ 94を 置する ことにより、 また は 2 以上の光 Pをそれぞれ 意の 換できる

( 変換 ) 導波路を提供することができる。 このよう に交差 波路と本 明による中空ミ ラ とを組み合わせた タス 導波路は、 曲率 制限があるコア または ファ イ を 設した従来の 導波路シ トに比 、 線の お よび自由 が高く コンパク トな光導波路シ トをより簡便に提供す ることができる。

波路 9 ０のコア 9 2の 域においては、 9 A ) に示したよ に、 つの Pを 向にのみ 換するよ に 中空ミ ラ 94を設置することができる。 また、 9 B) に示したように 一つの を伝 してきた光の 部が反射される ように中空ミ ラ 94を設置する ことにより、 つの

Pを、 直進 向を含む 2 向に分岐することもできる。 さ らに 9 C ) Z したよ に つの を伝 してきた光の 部を 向に反射する中空ミ ラ 94と、 その 余の光を別 向に 反射する追加の ミ ラ 94とを設置することにより、 つの Pを、 直進 向を含まな 2 向に分岐することもでき る。 9 B) に示した 様と 9 C ) Z した 様との 合せ として、 9 ) に示したように、 つの を伝 してきた光 の 部を一方向に反射する中空ミ ラ 94と、 その 余の元 の 部を別 向に反射する追加の ミ ラ 94とを設置す ることにより、 一つの Pを 直進 向を含む 3 向に分岐す ることもできる。

数の 波路を上下に重ね合わせることにより を三次 元化することも可能である。 そのような 層化交差 波路の 例 を図 ０ に模式的に示す。 ０ ) は、 コア 9 2が クラ 9 5を介して上下に重畳している多層 ( 2 ) 交差 波路 を示す部分 である。 した 2 化交差 波路は、 向を定めるコア 9 2 と コア より 折率が低 ク ラッ ド 9 6 とを含むコア層を 2 。 コア には、 コア 9 2の 下方 向の 信を防止するに十分な厚さの タ ラッ ド 9 5が配置される 。 体的にほ、 クラッ ド 9 5の さは、 少なく とも 、 好 ましくは 2 上に設定す きである。 コア層の最上部と最下部 には、 それぞれ上部クラッ ド 9 3 下部クラッ ド 9 7が配置さ れる。 コア層は、 8 に示したような交差 波路を構成する。 すなわち、 コア層にお て、 コア 9 2の 域の なく とも 一つに中空ミ ラ が適 置されることにより、 または 2 以上の光 Pが平面内で 意の 換される。 P を三次元化するために、 3に示したような中空ミ ラ 、 上下のコア部を光 続するよ に所定の 置に設置することができ る。 ０ B) に、 上下のコア 9 2 を 続するよ に設置さ れた 2つの ミ ラ 94の 例を示す。 この 合、 方の ミ ラ 94で法線方向に変換された光は、 タラッ ド 9 5を貫通する。 下部にある別のコア 9 2 してき た光は、 別の中 ミ ラ 94で更に法線方向に変換されてそ のコア 9 2 を伝播することができる。 クラッ ド 9 5を貫通す る際の光 失を減らすため、 タラッ ド 9 5の さは・ ０

下、 好ましくは 5 下にすることが望まれる。 した多層 化交差 波路はコア層が 2枚であるが、 コア層の積 に制限は なく 用途に応じて自由に設計することができる。 このように多層 化された タス 導波路と本 明による中空ミ ラ を組 み合わせることにより、 線の および自由 が一層 光導 波路シ トを提供する ことができる。

8～ ０に示したよ な交差 波路には、 ある を伝播 してきた光の 部が、 交差 域にお て、 交差する別の光 進入 する 信の 題や、 交差する別の光 の 面を 過して散乱する 失の 題がある。 かかる問題を軽減、 解消する方法として 交差 波路の 域の コア より も屈折率が低い低 域を設けた タラッ ド 造を採用することが知られている。 そのような混信 ク ラッ ド 造を有する交差 波路の 例を図 に示す。 に示したよ に、 交差 域の コア よ り も屈折率が低い低 域を設けた タラッ ド コ ア 9 2を交差 9 2 後において 断することにより 成 することができ、 この 合、 低 域の 折率は周囲の ラッ ド しくなる。 コア 9 2 を 断する間隔 ( 域の ) は 失を減らすため、 可能な限り小さ 方がよく 、 例えば ０ 下、 好ましくは 5 下にすることが望まれる。 方 交差 9 2 面で光を反射するためには 域が 定の幅を することが必要であるため、 交差 9 2 域との 折率 にもよるが・ 域の幅は少なく とも 、 好ましく は 2 は 上に設定す きである。 また 域の幅が 定で あれば・ コア部の幅が狭 ほど 少なくなる。 このような混信 タ ラッ ド 造を設けることによ り、 コア 9 2の 面で反射を 繰り返して Pを伝播してく る光は・ 様に交差 9 2

面で反射されることが可能となる。 なお、 に示した交差 波路 9 ０は、 コア 9 2の 造が直 であるが 混信

。 タ ラッ ド 造を設けることにより、 コア 9 2の 9 ０ ( ) より大きく または小さ く しても 変わらな 。

記の タラッ ド 、 光導波路を製造するに際して適 当な オ ト スタを用 て 成させると便利である。 えば、 後述 する にお てコア層を形成するに際して 2 A) Z したような スク 口部 9 9 有する オ ト スタ 、 コア部の交 域の に所定の幅の ラッ ド部を形成させる ことにより、 コア と同時に混信 クラッド 造を形成させるこ とができる。 2 B) に示したよ に、 このような オ ト ス クを介して紫外光を照射すると、 スタ 口部 9 9

コア 9 2 9 となり、 紫外光を受けた 域がクラッ ド 9 6 ) となる。

タラッ ド 、 上述のようなバタ ング 外にも 、 コア部の交 域の 後をエキシ レ ザ 等で切削 、 切除さ れた部分に屈折率 、 例えばグリセリ ン ( 折率 ・ 4 6 ) 充填する方法によって 成することもできる。 域の 折 率は、 コア部の屈折率よ り低いことが必要であり、 特に ラッ ド部 の屈折率と同等であることが好ましい。 方、 低 域の 折率 が低すぎると、 フレネル ( 折率の いによる反射) が起こる ため、 好ましくな 。 また、 屈折率の 法として、 温度で屈折 率が変化する現象である ( O や 電圧を す ると 折率が変化する現象である電気光学 E O ) を利用 することもできる。

明によるミ ラ 面を画定する中空ミ ラ 、 光導波路 のコア部の 部を欠 させることによって作製することができる。 コア部の 部の には、 例えば 8 3 8 3 8 6 報に 記載されて るようなレ ザ 工法、 例えば ０ 3 ０ ０ 9 6 報に記載されているようなダイシング 工法、 例えば 2 ０ ０ 6 9 8 7 9 8 報に記載されて るような ンボス 工法、 等を採用することができる。

レ ザ 工法を用 た中空ミ ラ の 法につ て 単に説明すると、 光導波路のコア部の 部に、 レ ザ を照射し、 コア部に対するレ ザ の 域を相対的に変化させることによ り、 コア部の中 ミ ラ を形成する部位 のレ ザ の 間を部分的に変化させて、 レ ザ のコア部の深 向に対する を調整しつつコア部の構 料を除去して中空ミ ラ

を形成することができる。 このように、 レ ザ の により ミ ラ 面を形成することができるので、 任意の 置に、 任意のパタ ン で中空ミ ラ を容易に形成する ことができる。 レ ザ とし ては、 例えば、 A 等のエキシ レ ザ 、 YAGレ ザ 、 C O レ ザ 等が挙げられる。 レ ザ の ネルギ は、 コア部の構 料に依存するが、 ０ ０～ ０ ０ ０ J c 2 の 囲が好ましく 、 特に 2 5 ０～ 7 ０ ０mJ の 囲が 好まし 。 ネルギ が上記 囲内であると、 短時間でコア部 の構 料を除去することができる。 レ ザ の 波数は、 コ ア部の構 料に依存するが、 5 ０～ 3 ０ ０ z の 囲が好ましく 、 特に 5 ０～ 2 ０ ０ z の 囲が好まし 。 波数が上記 囲内で あると、 特に傾斜面 (ミ ラ ) の に優れる。 また、 コア部 にレ ザ を照射するサイズは、 形成する中空ミ ラ の き さに依存するが、 8 ０～ 2 ０ ０ は X 8 ０～ 2 ０ ０ であること が好ましく 、 特に ０～ ０は X ０ ０～ である ことが好まし 。 これにより、 微細な中空ミ ラ を形成する ことができる。

7 または 8 に示したような、 光導波路 9 ０が 定する平面内 で光 Pを変換させるための ミ ラ の 合には 光導 波路のコア部の 部にレ ザーを照射し、 コア部に対するレ ザー の 域を相対的に変化させることにより、 コア部の構 料を 除去して中空ミ ラ を形成することができる。 この 合、 レ ザ のコア部の深 向に対する を変化させる必要はない 。 8 に示したような交差 波路 9 ０におけるコア 9 2の 域に中空ミ ラ 94を形成する方法の 例を図 3に示す 。 3 A に示したよう に、 コア 9 2の 域の 角にレ ーザ 9 8を定める。 で、 レ ザ 9 8が、 3 A) の 印が示すように交差 域の 角線上を移動するように 、 光導波路 9 ０ レ ザ とを相対 動させる。 レ ザ の 類、 照射 ネルギ および 波数は、 上述のとおりである。 レ ザ

9 8においてコア部の構 料が 去されることにより、 3 B) に示したよ な中空ミ ラー 94が形成される。 導波路のコア部の 部を欠 させるに際しては、 上述の 工を 、 コア部を含むコア 独に対して施しても、 またコア層の片面に クラッ ド層を圧着させた 層位の コア 側から施してもよい。 ミ ラ 面が形成されたコア層に、 さらにクラッ ド層を積層させること により、 明による中空ミ ラ を含む 導波路が完成する 。 層化交差 波路を形成する場合には、 最上部と最下部がクラ ッ ド となるよう t ? 上のコア 3 上のクラッ ド層を交互に 積層すればよ 。 下、 図 4および 5を参照しながら、 明による光導波路の 造に適した方法 ( ) につ て説明す る。

まず、 4に示したように、 紫外 域に第 の 大波長を 有する の 発生 を含有する フイルム ０を提供 する。 で、 例えば オ ト スタ ０ を用 て、 コアフィルム ０ ０の 部に、 の 大波長を含む 長の

外光を照射することにより、 コアフイルム ０の ( ク ラッ ド ０ 2 コア ) との間に屈折率 を生じさせてコア ０を形成する。 オ ト スク ０に代 えて、 の 大波長を含む 長のレ ザ ( なし) で フイルム ０ ０ を選択的に照射することにより コア ０ を形成してもよ 。 られたコア ０のコア に、 上述 の 工法により、 ミ ラ 面を画定する中空ミ ラ を形成する ことができる。

で、 5に示したように、 コア の なく とも片面 ( 5では両面) Z、 大波長とは異なる 2の 大波長を有する 2の 発生 を含有する ラッ ドフィルム 2 ０ ０を、 例えば 合わせにより接触させる。 で、 コア ０ ラッ ドフイルム 2 ０ ０とを相互に熱 着させるこ とにより コア ０ ラッ ドフイルム 2 ０ ０ とからなる

2 3 ０ を得る。 いで、 例えば カッ トフイルタ

を用 て 積層 2 3 ０の 面に 2の 大波長を含むが の 大波長は含まない波長の 2の 外光を照射するこ とにより、 クラッ ドフイルム 2 ０ ０を ラッ ド 2 転化 させると共に、 コア クラッ ド 2 との間の密着性を 向上させる。

では、 コアフィルム ０ に含まれる 発 生 、 ク ラッ ドフィルム 2 ００ まれる 2の 発生 とが、 紫外光における 大波長において異なる点が重要である 。 すなわち、 上記 の の 面に照射される 2の 外 光に対して、 発生 実質的に感応せず、 2の 発 生 のみが実質的に感応するように、 の 発生 と第 2の 発生 とが 外光の 大波長にお て異なる ことが必要であ る。

こ こで、 2の 大波長を含むが 大波長は含ま な 波長の 2の 外光を照射するに際し、 波長カッ トフイルタ 2 2 ０ を用いることが便利である。 カッ トフイルタ は、 規定 の より 波長の光を遮蔽 、 より長 波長の光のみ を させる。 このような波長カッ トフィルタ を用 る場合、 第 の 大波長は 2の 大波長より も必然的に短くなる。 えば、 3 ０ ０ の カッ トフイルタ を用いる場合、 第 の 発生 大波長が 3 ０ ０ より いものを選択 し、 かつ、 2の 発生 2の 大波長が 3 ０ ０ mよ り長 ものを選択すればよ 。 もちろん、 、 このような 波長カッ トフイルタ を用いる態様に限定されるものではない。 2の 外光の 際して 発生 が実質的に感応し ない限り、 大波長が第 2の 大波長より長 場合 もあり得る。

2の 外光の 際して 発生 実質的に感 応しな ため、 コア ０のコア ０ に残留する の 発生剤から酸が発生してコア ０の 成時に生じた 折率 小または消失することはな 。 すなわち、 積層体 の 2の 外 光の によってコア層の導波路構造が損なわれることはな 。 方、 タラッ ドフイルム 2 ０ ０は、 コア 3 する 着に際して紫外光照射前の が低 状態にあるため、 着工 程をより低温・ で実施することができる。 着工程の ・ 、 コア部に設けた中空ミ ラ れにく くなる点 で、 非常に有意義である。 また、 タラッ ドフィルム 2 ０ ０に含 まれる 2の 発生 、 着工程 の 体 の 2の 外 光の 際して初めて酸を放出するため、 前から ラッ ドフィルム 2 ０ ０における重合性 が反応することはな 。

コア ０を形成するための アフィルム ０ としては 、 の 外光の により、 ある はさ らに加熱することにより 折率が変化する材料であれば、 術分野にお て られ ているいずれの 料を採用してもよい。 えば、 の 外光の により活性化して酸を放出する 発生 、

鎖から分岐 、 活性化した 発生 が放出する酸の作用に よ り、 分子構造の なく とも一部が主鎖から離脱し得る ( ペンダン トグル ) を有するポリ とを含有する材料を 使用することができる。

の 発生 としては、 例えば、 テトラキス (ペンタフルオ ) やへ フルオ アンチモン の 、 テト ラキス (ペンタフルオロフ ) ガリ ウム 塩、 アルミ ン 塩類 、 アンチモン 塩類、 他の 塩類、 ガリウム 塩類、 力 ボラ ン類、 カルボラン類 が挙げられる。 このような 発 生 の としては、 例えば ニ タランベリ の R O S A社から入手 能な R O O R 、 以下 様である。 P O O A OR 2 ０ 74 7 8 2 3 3 7 2 2 、 日本国東京の インキ製 式会社から入手 能な 3 7 2 R メチル (2 2 ) 2 ルフォ ウ ムテトラキス ペンタフルオロフ ニ ) ボレ ト CAS

9 3 9 5 7 5 4 9 、 日本国東京のみどり 式会社 から入手 能な MP ０ 3 C S 8 7 7 ０ 9 4 9 ) 、 日本国東京の インキ製 式会社から人手 能な G 3 7 CAS 9 3 9 5 7 5 3 8 、 日本国東京の 式会社から人手 能な B P S P PB ト リス (4 e ) ルフォニ ウムテトラキス (ペンタペンタフルオロフ ) ボレ ト 等 が挙げられる。

の 発生 として、 R O OR S P O O A OR 2 ０ 7 4を用いる場合、 第 の 外光の 射手段 として、 高圧水銀ランプまたはメタル ライ ドランプが好適に用 られる。 これにより、 コアフィルム ０ ０に対して、 3 ０ ０ 満の 分なエネルギ の 外光を供給することができ、 R O O R S P O O A OR 2 ０ 7 4を よく 分解して、 上記の酸を発生させることができる。

を有する上記ポリ としては、 透明性が十分に高く 明であり ) かつ、 の 発生 が放出する 、 好まし くはプロ トンの 用により離脱 が離脱 ) して、 その 折 率が変化 ましくは ) するものが用 られる。 とし ては、 その 子構造 、 O 造、 S アリ ル およ び O S 造の ちの なく とも つを有するものが好まし い。 かかる 、 、 好ましくはプロ トンの 用により比較 的容易に 脱する。 このうち、 離脱によ りポリ の 折率を低下 させる として、 S および o S

造の なく とも 方が好ましい。 このようなポリ としては、 例えば、 ノルボルネン系 テン系 の フィ ン系 脂、 アタ リル系 脂、 メタク リル系 脂、 ポリカ ボネ ト、 ポリスチレン、 エポキシ 脂、 ポリ アミ ド 、 ポリ 、 ポリベンゾ ゾ ル等が挙げられ、 これらのう ちの または 2 以上を組み合わせて ポリ アロイ、 ポリ ブレンド 合物) 、 共重合体など) ることができる。 これ らの中でも、 特に、 ノルボルネン系 ノルボルネン系ポリ を主とするものが好まし 。 ポリ として ルボルネン系ポリ を用いることにより、 優れた 能や 熱性を有するコア ０を得ることができる。 また、 ノルボルネン系ポリ は、 高い 性を有するため、 吸水による 生じ コア ０ を得ることができる。

ノルボルネン系ポリ としては、 単独の り返し 位を有する もの モポリ ) 、 2 上の ルボルネン系 り返し 位を 有するもの ( ポリ ) のいずれであってもよ 。 このような ルボルネン系ポリ としては、 例えば、 ノルボルネン モ ノ を付加 ) 合して得られる ルボルネン モノ の ( ) 合体 2 ) ノルボルネン モノ エチレン

フィン類との 重合体、 ( 3 ) ノルボルネン モノ と 非 エン、 および 要に応じて他の ノ との 重合体 のような付加重合体、 4) ノルボルネン モノマ の ) 合体、 および 要に応じて ) 合体を水素 加した樹脂、 5 ) ノルボルネン モノ エチレン フィン類との 重合体、 および 要に応じて ( ) 合体を水素 加した 脂、 ( 6 ) ノルボルネン モノ と非 エン、 または他の ノ との 重合体、 および 要に応じて ) 合体を 水素 加したポリ のような 合体が挙げられる。 これらの 合体としては、 ランダム 重合体、 ブロック 重合体、 交互 重 合体 が挙げられる。

これらの ルボルネン系ポリ は、 例えば、 開策メタ シス ROMP) ROMP 水素化反応との み合わせ、 ラジカル または チオンによる重合、 カチオン パラジウム 合開始 を用 いた重合、 これ以外の 合開始 えば、 ニッケ 他の遷 属の 合開始 ) を用 た重合 、 公 のす ての 合方法で得る ことができる。

これらの中でも、 ノルボルネン系ポリ としては、 ノルボルネ モノ 同士の ( 合体であって、 下記

B) で表される少なく とも 個の繰り返し 位を有するものが好ま しい。 このものは、 ノルボルネン系ポリ に共通する高い 明性 および を有することに加え、 熱性が最も高くなる点から特 に好ましい。

かかる ルボルネン系ポリ は、 例えば、 後述する ルボルネ モノ 述する ルボルネン系モノ 、 架橋 ノルボ ルネン系モノ ) を用いることにより好適に合成される。

なお、 比較的 折率を有するポリ を得るためには、 分子 構造 ( ) 窒素原子、 素原子や 素原子 を有する ノ を 般的に選択して、 ポリ が合成 ( さ れる。 方、 比較的低い 折率を有するポリ を得るためには、 分子構造 アルキル 、 フッ 原子、 エ テル テル ) 、 シロキサン 有する ノ を一般的に選択して、 ポ リ が合成 される。

較的言 折率を有する ルボルネン系ポリ としては、 ア ラルキルノルボルネンの り返し 位を含むものが好まし 。 かか る ルボルネン系ポリ は、 特に高 折率を有する。 アラルキ ルノルボルネンの り返し 位が有するアラルキル アリ ルア ルキル としては、 例えば、 ベンジル 、 チル 、 ルプロピ 、 チル 、 チル チル 、 ルプロピ 、 フルオ チル 、 フルオ ルプロピ が挙げられるが、 ベンジル チル基が特に好ましい。 かかる繰り返し 位を有する ルボルネン系ポリ は 極めて高 い 折率を有するものであることから好まし 。

また、 ノルボルネン系ポリ は、 アルキルノルボルネンの り 返し 位を含むものが好ましい。 アルキルノルボルネンの り返し 位を含む ルボルネン系ポリ は 柔軟性が高いため、 かかる ルボルネン系ポリ を用いることにより、 光導波路に高い レ キシビリテイ ( ) を付与することができる。 アルキルノルボ ルネンの り返し 位が有するアルキル としては、 例えば、 プロ ピ ・ チル 、 ペンチル 、 、 チル 、 オクチ ル 、 が挙げられるが、 基が特に好 ましい。 なお、 これらのアルキル基は、 または分岐代のいず れであってもよ 。

ルノルボルネンの り返し 位を含むことにより、 ノルボ ルネン系ポリ 体の 折率が低下するのを防止し、 かつ、 高 軟性を保持することができる。 また、 かかる ルボルネン系ポリ は、 前述したような波長 特に、 8 5 ０ 近の の光に対する が優れることから好まし 。 このような ルボルネン系ポリ の まし 体例としては、 ルノルボ ルネンの モポリ 、 ルノルボルネンの モポリ 、 ベンジルノルボルネンの モポリ 、 ルノルボルネン ルノルボルネン の ポリ 、 ルノルボル ネン ルノルボルネン の ポリ 等が挙げられるが、 こ れらに限定されるものではな 。 特に、 離脱 の により 折 率が低下するポリ としては メチルノルボルネン トキシシランの モポリ や、 ルノルボルネン

メチルノルボルネン トキシシラン の ポリ が好適 用 られる。

また、 コア を形成するための フイルム ０ ０は 上記ポリ 、 かつ、 上記ポリ 異なる 折率を有 する ノ および カタリス トをさ らに含有することもできる 。 この 合、 第 の 発生 、 の 外光を照射した際にさ らに アニオンを放出し、 アニオンの 用により プ ロカタリス トの 性化 度が低下し、 さ らに 性化 す ることにより プロカタリス トを活性化させて モノ を重合さ せることができる。

このよ な ノ 、 の 外光の 域において反応し て反応物を形成し、 この 応物の 在により、 コア ０ Zおい て 域と未 域とにお て 屈折率 を生じさせ るよう な 合物である。 この 応物としては、 モノ ポリ ト リックス ) 中で重合して 成されたポリ 合体) 、 ポリ 士を する 造、 および、 ポリマ に重合してポリ 分岐した分岐 ブランチポリ (ペンダン トグル プ) のうちの なく とも つが挙げられる。

こ こで、 コア お て、 照射 域の 折率が高くなるこ とが望まれる場合には、 比較的低 折率を有するポリ と、 こ のポリ に対して高 折率を有する ノ とが組み合わせて 使用され、 照射 域の 折率が低くなることが望まれる場合には、 比較的 折率を有するポリ と、 このポリ に対して低 折率を有する ノ とが組み合わせて使用される。 なお、 屈折 率が または とは、 屈折率の を意味するもの ではなく 、 ある材料 士の 対的な関係を意味する。 そして、 モノ の ( 応物の によ り 、 コア にお て 域の 折率が低下する場合、 当 分がクラッ ド ０ 2 となり、 照射 域の 折率が上昇する場合、 当 分がコア となる このよ な ノ としては、 重合 能な部位を有する化合物で あればよく 、 特に限定されな が、 例えば ノルボルネン系モノ 、 アク リル メタク リル ) モノ ・ エポ ノ 、 スチレン系モノ 等が挙げられ、 これらのうちの または 2 以上を組み合わせて いることができる。 これらの中でも、 モノ としては、 ノルボルネン系モノ を用いるのが好ましい。 ノ ルボルネン系モノ を用 ることにより、 能に優れ、 か つ 熱性および 軟性に優れるコア ０ 導波路 ) が 得られる。 ノルボルネン系モノ とは、 下記 Aで示される ルボルネン 格を少なく とも ノ を総称し、 例えば 、 下記 Cで表される化合物が挙げられる。

C

、 aは、 単結合または二重 合を表し、 R ～R 4 は、 そ れぞれ 立して、 水素原子、 置換もしくは 換の 化水素 、 ま たは官能 を表し、 は、 0～ の 数を表す。 ただし、 aが 二重 合の 合 R およびR 2 のいずれか一方、 R 3 およびR。 の ずれか 方は存在しな 。

換の 化水素 ハイ ド ルビル ) としては、 例えば、 または分岐 の 素数 ～ ０ C ～C のアルキル 、 直 または分岐 の 素数 2～ ０ C ～C の

、 直 または分岐 の 素数 2～ ０ C ～C の アルキ 、 炭素数4～ 2 C 4 ～C ) の アルキル 、 炭素数4～ 2 C 4 ～C ) の 、 炭素 数 6～ 2 C 6 ～C のアリ ル 、 炭素数 7～ 24 C 7 ～C ) のアラルキル (アリ ルアルキル ) 等が挙げられ、 その 、 R およびR 2 R 3 およびR4 が、 それぞれ 素数 ～ ０ C ～ ０ のアルキ 基であってもよい。

アルキル基の具体例としては メチル 、 エチル プロピ 、 イソプロピ 、 チル 、 イソ チル 、 s e C チル 、 e チル ペンチル ネオペンチル 、 、 チル 、 オタチル 、 および 基が挙げられるが 、 これらに限定されるわけではない。 アル 基の具体例として は、 ビニ 、 アリル 、 ブテ および 基が 挙げられるが、 これらに限定されるわけではな 。 アルキ 基の 具体例としては、 エチ 、 プロピ 、 2 プロピ

、 および 2 基が挙げられるが、 これら に限定されるわけではない。 アルキル基の具体例としては シク ロペンチル 、 シクロ およびシク ロオ チル基が挙 げられるが、 これらに限定されるわけではない。 アリ ル基の具体 例としては、 、 チル およびアン トラセ

a c e ) 基が挙げられるが、 これらに限定されるわけ ではな 。 アラルキル a a 基の具体例としては、 ベ ンジル および チル フ e

) 基が挙げられるが、 これらに限定されるわけではない。 また、 ア ルキ ( a e ) 基の具体例としては、 メ チ e e ) および

e e ) 基が挙げられるが、 これらに限定される わけではな 。

換された炭化水素 としては、 前記の 化水素 が有する水素 原子の 部または全部が ロゲン 子で 換されたもの、 すなわち 、 イ ド カルビル a O o c a b ) 、 ロハイ ド カルビル e a O d o c a b 基であるか ハロカルビル e a o c a

) 基のようなハロゲン 炭化水素 が挙げられる。 これらの ロゲ ン 炭化水素 において、 水素原子に置換するハロゲン 子として は、 塩素原子、 フッ および臭素から選択きれる少なく とも 種が 好ましく 、 フツ 原子がより好ましい。 この ち ロゲン された炭化水素 ( ロハイ ド カルビル 、 ロ ルビ ル ) の 体例としては、 例えば、 フルオ 、 フルオ メチル ト リ フルオ メチル ) 、 パ フルオロ チル 、 パ フルオロプロピ 、 パ フルオ チル 、 パ フルオ が挙げられる。 なお、 ハロゲン アルキル基には、 炭素数 ～ ０のもの 外に、 炭素数 ～ 2 ０のものも好適に用 いることができる。 すなわち、 ロゲン アルキル基には、 部分的 または完全に ロゲン され または分岐 をなし、 般 z 2 z 表される基を選択する ことができる。 こ こで、 X 、 それぞれ 立して、 ロゲン 子または水素原子 を表し、 Zは、 ～ 2 ０の 数を表す。 また、 置換された炭化水素 としては、 ロゲン 子の 、 直 または分岐代の 素数 ～ 5 C ～C のアルキル または アルキル 、 アリ ル およびシク アルキル基で更に置換された、 シクロアルキル 、 ア リ ル およびアラルキル (アラアルキル ) 等が挙げられる。 また、 官能 としては、 例えば、 C ) C C 2 ) S (M e ) 3 C ) C C 3 C C C ) C C ) 2 C ) C C ) 3 C C C 3 2 C ) C ) C ) C ) C 、 ) C ) R 5 C ) R 5 C ) C ) R 5 ( C ) C ) R 5 C ) C

O R 5 C ) S R 5 ) C ) S OR 5 ) 3 C ) S R 5 ) 3 および C ) C ) 等が挙げられる。 こ こで、 前記 に おいて、 それぞれ、 は、 ０～ ０の 数を示し、 R 5 は それぞ 立して、 水素原子、 直 または分岐代の 素数 ～ 2 ０ C ～ アルキル 、 直 または分岐代の 素数 ～ 2 ０ C ～ のハロゲン化もしくは ロゲン アルキル 、 直 または分岐代の 素数 2～ ０ C 2 ～C ０ の

、 直 または分岐代の 素数 2～ ０ C 2 ～C 0 のア ルキ 、 炭素数 5～ 2 C ～C のシク ロアルキル 、 炭素数 6～ 4 C ～C 。 のアリ ル 、 炭素数 6～ 4 ( C ～C 4 ) の ロゲン化もしくは ハロゲン アリ ル または 素数 7～ 24 C ～C 2 4 のアラルキル基を表す。 な お、 R 5 で示される 化水素 、 R ～R 4 で示されるものと同 一の 化水素 を示す。 R ～R で示すよ に、 R 5 で示される 化水素 、 ハロゲン または ハロゲン されて てもよ 。 えば、 R5 が 素数 ～ 2 ０ C ～ 2 ０ の ロゲン ま たは ハロゲン アルキル基である場合、 R 5 は、 般 C z A 2 Z で表される。 こ こで、 zおよびX は、 それぞ れ、 上記の 義と同じであり、 X の なく とも つは、 ロゲ ン えば、 素原子、 塩素原子またはフッ 原子) である。 こ こで、 ハロゲン アルキル とは、 前記 において、 す てのX がハロゲン 子である基であり、 その 体例としては 、 ト リ フルオ メチル 、 ト リ ク ロロメチル 、 、 C， 3 が挙げられるが、 これらに限定されるわけではない。

ハロゲン アリ ル基の具体例としては、 ペンタク ロロフ 、 ペンタフルオ 基が挙げられるが、 これらに限定さ れるわけではない。 また、 R 6 としては、 例えば、 C C ) 3 S C ) 7

3 C R ) C

C R 7 OC C 3 3 および 4の が挙げら れる。

ここで、 R7 は、 水素原子、 ある は または分岐 の 素 数 ～ 5 C ～C のアルキル基を表す。 アルキル としては メチル 、 エチル 、 プロピ 、 プロピ 、 チル 、 チル 、 、 ペンチル 、 ペンチル 、 ネオペ ンチル基が挙げられる。 なお 上記 4で表される環状 では、 造から延びる単結合と酸 との間でエステル 合が形成され る。 R 6の 体例としては、 例えば、 メチル

ンル 、 イソボルニ ( S ObO ) 、 2 メチルー 2 ボルニ 、 メチル 2 ダ ンチル 、 テトラ ド ロフラニ ( e a o f a ) 、 テトラ イル ( e a o a o ) 、 3 オタ ヘキサ イル 3 O o c c e a o 、 バロン ク トニ e a o c a c o ) 1 トキシ チル 、 トキシ チル が挙げられる。 また 他の R 6 としては、 例えば、 下記 5で表 される シクロプロピ メチル C ) 、 メチルシク ロプ ロピ メチル ( mC 等が挙げられる。

( p) また、 モノ には、 上記の ノ に代えて、 または 上記の ノ とともに モノ ) を用いることもできる 。 この モノ 、 後述する 前 の 、 架橋 応を生じ る化合物である。 モノ を用いることにより、 次のような利点がある。 すなわち、 架橋 モノ 、 より く重 合するので、 コア ０の (プロセス) に要する時間を短縮 することができる。 また、 架橋 モノ 、 加熱しても 発し難 くいので、 気圧の 抑えることができる。 さ らに・

ノ 、 熱性に優れるため、 コア の 熱性を向上させ ることができる。

このうち、 架橋 ノルボルネン系モノ 、 前記 Aで表 される ルボルネン系 ノルボルネン系 ) を含む 合 物である。 ノルボルネン系モノマ としては、 連続

( f s e c c c S s e s ) の化合物と、 連結 ( e c c c S s e s ) の化合物とがある。

の 合物 の ノルボルネン系モノ ) として は、 下記 合物が挙げられる。

、 Yは、 メチレン ( C ) 基を表し、 は、 ０～ 5 の 数を表わす。 ただし、 が である場合、 Yは、 単結合である 。 なお、 簡略化のため、 ノルボルナジエン ( o b o a e e は、 連続 に含まれ、 重合性ノルボルネン系 合を含むものと考えることとする。 この の 合物の 体例としては、 下記 合物が挙げられるが、 これらに限定されるわ けではない。

方、 連結 の 合物 の ノルボルネ モノ としては、 下記 合物が挙げられる。

、 aは、 それぞれ 立して、 単結合または二重 合を表し 、 は、 それぞれ 立して、 ０～ 5の 数を表し、 R gは、 それぞ れ 立して二価の 化水素 、 二価のエ テル または二価のシリ ル基を表す。 また、 は、 ０ または である。 ここで、 二価の

とは、 ルボルネン 造に結合し得る結合 2 する 基のことを言う。 価の 化水素 ハイ ド カルビル ) の 体 例としては、 般 C で表されるアルキレン 、 好ましくは ～ ０の 数を表す。 ) と、 二価の

(アリ ル ) とが挙げられる。 価のアルキレン としては、 または分岐 の 素数 ～ ０ C ～C ) のアルキレン 基が好ましく 、 例えば、 メチレン 、 エチレン 、 プロピレン 、 チレン 、 ペンチレン 、 キシレン 、 チレン 、 オクチ レン 、 レン 、 シレン基が挙げられる。 なお、 分岐アルキ レン基は、 の 素原子が、 または分岐 アルキル基で 換されたものである。 方、 二価の としては、 二価の 、 二価の チル基が好ましい。 また 二価のエ テル基 は、 R 0 0 表される基である。 こ こで、 R 0 は、 それぞれ 立して、 R g 同じものを表す。 この

の 合物の 体例としては、 下記 9、 化 f 化 2 3で表される化合物の 化 4、 化 5で表されるフッ 化合物 (フッ ノルボル モノ が挙げられ るが、 これらに限定されるわけではない。

０で表される化合物は メチルビス 2 2・ プト 2 5 トキシ シランであり、 またの 名では メチルビス ノルボルネン シラン ( S X される。 呼ばれる。

、 は ０～4の 数を表す。

 リ ル

、 および は、 それぞれ、 ～4の 数を表す。

種の ノルボルネン系モノ の中でも、 特に、 メチル ビス ノルボルネン トキシ) シラン ( S X が好まし 。 S Xは、 アルキルノルボルネンの り返し および またはアラル キルノルボルネンの り返し 位を含む ルボルネン系ポリ に 対して十分に低い 折率を有する。 このため、 後述する 外 光を照射する 域の 折率を確実に低く して、 クラッ ド ０ 2 とすることができる。 また、 コア ク ラッ ド ０ 2 と の間における 折率 を大きくすることができ、 コア ０の ( ) の 上を図ることができる。 なお、 以上のような ノ 、 単独または任意に組み合わせて いるよ にしてもよ い。

プロカタリス トは、 前記の ノ の 応、 架橋 ) を開始させ る物質であり、 外光の により活性化 した 発生 の 用によ り 、 活性化 度が変化する物質で ある。

この カタリス ト 前 ともい ) としては、 の 外光の 伴って活性化 度が変 または ) するもの であれば、 いかなる化合物を用いてもよ が、 特に、 の 外光 の 伴って活性化 度が低下するものが好ましい。 これにより 、 比較的低温による加熱処理でコア ０を形成することができ 、 他の層に不要な熱が加わって、 光導波路の ) が 下するのを防止することができる。

このような カタリス トとしては、 下記 および ( b で表わされる化合物の なく とも 方を含む とする もの が好適に用 られる。

R) P Q) a) E R) Q) B)

( )

a それぞれ、 R) 3 は、 5族の中性 ドナ を表し、 Eは、 周期律 の 5族から選択される元 素を表し、 Rは、 水素原子 またはその 位体の ) または 化 水素 を含む 位を表し、 Qは、 キシレ ト、 カルボ ンレー トおよび カルボキシレ トから選択される ニオン を表す。 また、 、 Bは ルイス 基を表し、 WCA は、 アニオンを表し aは、 ～ 3の 数を表し、 bは 0 ～ 2の 数を表し、 aと bとの 、 ～ 3であり、 および は、 パラジウムカチオン アニオンとの 荷のバランスをと る数を表す。

aに従う典型的な カタリス トとしては、 P AC P P ) P OA c ) P C )

P CM e ) 2 P C 3 2 O c ) P C ) 2 C C ) 2 P C 3 2 P C C ) P C ) 3 2 が挙げられるが 、 これらに限定されるわけではな 。 ここで、 C は、 シク ロペン チル c o e ) 基を表し、 C は、 シク ロ

基を表す。

また、 で表される カタリス トとしては、 および が 、 それぞれ および 2の 数から選択される化合物が好ましい。 のような式 に従う典型的な カタリス トとしては、 P

2 P C 挙げられる。 こ こで、 C は、

基を表し、 A Cは、 アセチル基を表す。

これらの カタリス トは、 モノ よく反応 (ノルボル ネン系モノ の 合、 付加重合 応によって効率よく重合

することができる。

また、 活性化 度が低下した状態 ) において、 プ ロカタリス トとしては、 その 性化 度が本来の 性化 度より も 1 ０～ 8 ０で ( ましくは、 ０～ 5 ０ ) くなるもの が好まし 。 これにより、 コア ラッ ド 2 との間 の屈折率 を確実に生じさせることができる。 かかる カタリス トとしては、 P ( A c ) P ( P ) 3 およびP A C ) 2 P ( C ) のうちの なく とも 方を含む とする) ものが好適である。 なお、 以下では P d ( A C ) 2 P P 3 2 を P 545 と、 また P d AC ) P C 2 を P 7 8 5 すことがある。

コアフィルム ０の 成に際しては、 上記ポリマ 、 の 発生 その 所要の を含むコア を調製する。 コア の 製に用いる としては、 例えば、 ルエー テル、 ソプロピルエ テル・ 2 トキシエタン

E) 、 4 キサン、 テトラ ドロフラン ) 、 テト ラ ラン ( P) アニソ ル・ エチレングリ コールジ メチルエ テル ( グリム) 、 エチレングリ コ ルエ ルエ テ ル ルビ ト ル) 等のエ テル系 メチルセロ 、 エチ ルセロ 、 ルセロ ルブ等の ルブ系 、 ヘキサ ン ペンタン、 プタン、 シク ロヘキサン等の脂肪族 化水素

トルエン キシレン、 ベンゼン、 メシチレン等の芳 化水 、 ピリ ジン、 ピラジン、 フラン、 ピロ ル、 オフ ン メチル ドン等の芳 化合物 、 メチ ルホルムアミ ド 、 メチルア アミ ド M A) 等のアミ ド系 、 ロメタン、 ホルム、 2 ク ロロ タン等の ロゲン 合物 、 、 メチ ル、 エチル等のエステル系 、 メチルスル M So 、 スルホラン等の硫黄化合物 の 、 また は、 これらを含む が挙げられる。

また、 必要に応じて、 コア に増感 を添加してもよい。

、 の 外光に対する 発生 の 度を増大し て、 その または分解) に要する時間やエネルギ を減 少させる機能や、 その 性化に適する波長に第 外光の 長を 変化させる機能を有するものである。 このよ な増感 としては、 発生 の 度や増感 の 収のピ タ に応じて 択 され、 特に限定されな が、 例えば、 9 ， ０ ジブトキシアン ト ラセン ( 7 6 2 7 5 4 4 ) のようなアン トラ セン類、 キサン トン類、 アン トラキノ ン類、 フ ナン トレン類、 タ リセン類 ベンツ レン類、 フルオ セン類 f o a e e S ) 、 ルブレン類、 レン類、 インダンス リ ン類、 キ サンテン 9 オン類 o a e g O e S 等が挙げられ、 これらを単独または 合物として られる。

の 体例としては、 2 ソプロピ g キサンテン 9 オン、 4 ソプロピル g キサンテン 9 オン ロロ 4 プロポ キサン トン、 フ ジン ( e o a e ) またはこれらの 合物が挙げられる。 なお、 9 ０ ジブトキシアントラセン ( は、 日本国神 奈川県の 式会社から人手が可能である。 コア 中の増感 の 有量は、 特に限定されな が、 ０・ ０

上であるのが好ましく 、 0・ 5 上であるのがより好ましく 、 上であるのがさ らに好まし 。 なお、 上限 5 下であるのが好まし 。

さ らに、 必要に応じて、 コア に酸化 を添加しても よ 。 これにより、 望ましくな フ リ ラジカルの 生や、 ポリ の 化を防止することができる。 その 果、 得られたコア ０の 性の 上を図ることができる。 この としては 、 ニ ヨ タ タリ タウンの C b a S e c a C e C a S社から人手 能な C b a 、 以下 様 である。 ) R G OX 、 以下 様である。 ) ０ 7 6およびC b a R GA O S 、 以下 様である

8が好適に用 られる。 また、 他の酸化 として・ えば、 C b a 、 以下 様である。

2 9 C b a o 3 3 ０ C a a o ０ ０ C a C a o 、 以下 様 である。 ) 7 9 ０ C a a o ) 3 4 C b a o x 3 2 5等を用いることもでき る。

コア は、 後述する および 期の に応じて、 粘 度 ) が好ましくは ０ ０～ ０ ０ ０ ０ C P 度、 より好まし くは ０～ 5 ０ ０ ０ C P 度、 さ らに好ましくは 2 ０ ０～ 3 5 ０ ０ C P 度になるように を調節することにより調製する ことができる。

記のコア を支持基 上に 布することにより アフィ ルム ０ ０ を形成することができる。 持基 としては、 例え ば、 シリ コン 、 二酸化ケイ 、 ガラス 、 石英 、 リエチレンテレフタレ ト ) フィルム等が用いられる。 としては 例えば、 ドクタ ブレ ド 、 スピンコ ト 、 デ ィ ッピング 、 テ ブルコ ト 、 スプレ 、 アプリケ タ 、 カ テンコ ト 、 ダイコ ト の 法が挙げられるが、 これ らに限定はされな 。 の さに特に限定はな が、 乾燥前の状 態で 5～ 2 ０ ０ 度、 好ましく は 5～ 2 5 は 度、 より 好ましくは 2 5～ ０ ０ 度とすればよい。

で の 除去 ( 、 すなわち、 乾燥するこ とにより アフィルム 料 ０ ０を得る ことができる。

) の 法としては、 例えば、 加熱、 大気圧または減圧 での 置 、 不 ガス等の噴き付け ブロ ) 等の方法が挙げられるが、 例 えばホッ トプレ トを用 た加熱による方法が好ましい。 これによ り、 比較的容易かつ 時間での 可能となる。 する場合 、 加熱 、 2 5～ 6 ０C 度であるのが好ましく 、 3 ０～4 5 で 度であるのがより好まし 。 また、 加熱 、 5～ 6 ０ 程度であるのが好ましく 、 5～ 3 ０ 程度であるのがより好まし い。

られた アフィルム ０ ０は、 上記 持基板から 離する ことなく 外光を選択的に照射することができる。 の 外光を選択的に照射する方法として、 開口 ) が形成された ス ク スキング) 2 ０を用意し、 この スク ０を介して、 コ アフィルム ０ ０に対して 外光を照射することができ る。 4tZ 例では の 外光の 域がクラッ ド ０ 2 となる。 したがって、 スタ 2 ０ には、 形成す きクラッ ド ０ 2のパタ ン 等価な開口 ) が形成されている。 この 、 照射する の 外光が透過する を形成するものであ る。 スタ 2 ０は、 ) されたもの ( えばプレ ー ト状のもの でも、 コアフィルム ０上に例えば

により 成されたものでもよ 。 スタ 2 ０として好 まし ものの としては、 石英ガラス で作製された フォ ト スタ、 ステンシル スク、 気相 ( 着、 スパッタリ ング等 Zより 成された金属 が挙げられるが、 これらの中 でもフォ ト スク ステンシル スクを用いるのが特に好ましい。 細なパタ ンを く 形成することができるとともに、 ンド リ ングがし 、 生産性の 上に有利であるからである。

る 外光は、 の 発生 に対して 化学的な反 応 ( ) を生じさせ るものであればよい。 特に、 外光 は、 用 た 発生 の 類、 また増感 を含有する場合に は増感 の によって 択され、 波長 2 ０ ０～4 5 ０ の 囲にピ ク 長を有するものを使用することが好まし 。 また 、 の 外光の 、 0・ ～ g J C 2 度であるのが 好ましく 、 0・ 2～ 6 J 度であるのがより好ましく 、 0 2～ 3 J 度であるのがさ らに好まし 。 これにより、 の 発生 を確実に活性化させることができる。

スク 2 ０を介して、 の 外光を アフィルム ０ に照射すると、 の 外光が 射された照射 域内に存在する 、 の 外光の 用により ) または分解して、 カチオン プロ トンまたは他の陽イオン) と、 アニオン (W CA) とを遊離 ( ) する。 そして、 カチオンは、 離脱 その ものを 鎖から離脱させるか、 または、 離脱 の 子構造の 中 から 断する フォ トブリ チ) 。 これにより、 照射 域では、 より も完全な状態の 基の数が減少し、 の 折率 より低 第 2の 折率 と低下する。 なお、 このとき、 94０の 折率は、 の 折率が維持される。 このようにして、 照射 域と未 域との間に屈折率 2の 折率 の 折率) が生じて、 コア ０ ) クラッ ド ０ 2

とが形成される。 なお、 この 合、 第 の 外光の 、 0 ～ g J 度であるのが好ましく 、 0 3～ 6 J 度であるのがより好ましく 、 0・ 6～ 6 J

度であるのがさ らに好まし 。 これにより、 離脱 を確実に活性 化させることができる。

で、 必要に応じて、 コアフィルム ０に対して 熱処 理を施す。 熱処理により、 ポリ から離脱 ) された

、 例えば、 照射 域から除去され、 ある はポリ 内にお て再配列または する。 さ らに、 このとき、 タラッ ド 2 ( ) Z 存する の 部がさ らに ) する と考えられる。 したがって、 このような 熱処理を施すことにより 、 コア ０ クラッ ド 2 との間の屈折率 をより大きく することができる。 この 熱処理における加熱 、 特に限定さ れな が、 7 ０～ 9 5 C 度であるのが好ましく 、 8 5～ ０ C 度であるのがより好ましい。 また、 加熱 、 照射 域から 離脱 ) された を十分に 去し得るに設定され、 特に 限定されな が、 0・ 5～ 3 間程度であるのが好ましく 、 0・ 5 ～ 2 間程度であるのがより好ましい。 また 要に応じて、 または複数回の 熱処理 えば、 ０～ 2 ０ ０ oC X ～ 8 間 程度 の 程を追加することもできる。 なお、 例えば、 加熱処理を 施す前の状態で、 コア ０ ク ラッ ド 2 との間に十分な 折率 が得られている場合 には、 このよ な 程を す ることができる。 上の工程を経て、 コア ク ラッ ド ０ 2 とを含むコア ０が形成される。 その 、 コア ０ を 持基板から 離する。

ましい態様では、 コア ０ クラッ ド ０ 2とが、 と主鎖から分岐 、 分子構造の なく とも一部が主鎖から離脱し得 る とを有する ルボルネン系ポリ を 料として構成 され、 コア ０ ク ラ ツ 2 とは、 に結合した状態 の 基の数が異なることにより 、 それらの 折率が異なって る。

コアフィルム ０が、 上記ポリ 、 かつ、 上記 ポリ 異なる 折率を有する ノ および カタリス トを さ らに含有する場合には、 スタ ０を介して、 の 外光を アフィルム t 射すると、 の 外光が 射された 照射 域内に存在する 発生 、 の 外光の 用に より または分解して、 カチオン プロ トンまたは他の陽イオン ) と、 アニオン ( W C A ) とを遊離 ) する。 そして これらの チオン アニオンは、 照射 域内に存在する カタリス トの 子構造に変 ) を生じさせ、 これを活性

( 在的 性状態) Z 化させる。 こ こで、 活性 (ま たは潜在的 性状態 の カタリス トとは、 本来の 性化 度よ り活性化 度が低下しているが 温度上昇がな と、 すなわち、 室 温 度では、 照射 域内にお て ノ の 応を生じさせること ができない状態にある 前 のことを言 。 したがって、 の 外光照射 においても、 例えば C 度で、 コアフィルム

０を保管すれば、 モノ の 応を生じさせることなく 、 その 態を維持することができる。 このため、 外光照射 アフィルム ０ ０ を 意しておき、 これらに 括して 熱処理を施すことにより、 コア ０を得ることができる点で 利便性が高い。 なお、 の 外光として、 レ ザ 光のよ に指向性の 光 を用 る場合には スク ０の 用を してもよ 。

で、 コアフィルム ０に対して 熱処理 ( の 熱 処理) を施す。 これにより、 照射 域内では、 活性 態の カタリス トが活性化して ( 性状態となって 、 モノ の

が生じる。 そして・ ノ の 応が進行す ると、 照射 域内における ノ 度が徐 に低下する。 これに より、 照射 域と未 域との間には、 モノ 度に差が生じ 、 これを解消す く 域から ノ が拡散して 域 に集まってく る。 その 果、 照射 域では、 モノ やその 応物 合体、 架橋 造や ) が増加し、 域の 折率に ノ 来の 造が大きく影響を及ぼすようになり、 の 折率 より低い第 2の 折率 と低下する。 なお、 モノ の 合体とし ては、 主に付加 ( ) 合体が生成する。 方、 未 域では、 域から照射 域に ノ が拡散することにより、 モノ が減少するため 域の 折率にポリ の 響が大きく現 れるよ になり、 の 折率より高い第 3の 折率 と上昇する 。 このようにして、 照射 域と未 域との間に屈折率 ( 2 の 折率 3の 折率) が生じて、 コア ０ ) ラッ ド ０ 2 とが形成される。

この 熱処理における 、 特に限定されないが 3 ０～ 8 ０ 度であるのが好ましく 、 4 ０～ 6 ０C 度であるのがより 好ましい。 また、 加熱 、 照射 域内における ノ の 応 がほぼ完了するよ に設定するのが好ましく 、 具体的には、 0 ～ 2 間程度であるのが好ましく 、 0・ ～ 間程度であるのが より好ましい。

で コアフィルム 0 0 して 2の 熱処理を施す 。 これにより、 域および または照射 域に残存する カタリス トを、 直接または 発生 の 性化を伴って、 活 性化させる 性状態とする) ことにより、 域に残存する ノ を反応させる。 このよう に、 域に残存する ノ を反応 させることにより、 得られるコア ０ およびクラッ ド ０ 2 の 定化を図ることができる。

この 2の 熱処理における加熱 、 プロカタリス トまたは 発生 を活性化し得る 度であればよく 特に限定され な が、 7 ０～ 0 0 度であるのが好ましく 、 8 ０～ 9 ０ 度であるのがより好ましい。 また、 加熱 、 ０・ 5～ 2 間程 度であるのが好ましく 、 0・ 5～ 間程度であるのがより好まし 。

で、 コアフィルム ０に対して 3の 熱処理を施す 。 これにより、 得られるコア ０ じる内部 力の 減や、 コア ０ およびクラッ ド ０ 2の なる安定化を図ることが できる。

この 3の 熱処理における加熱 、 2の 熱処理におけ る加熱 度より 2 ０ 上高く設定するのが好ましく 、 具体的には 9 ０～ ０で 度であるのが好ましく 、 ０～ 6 ０ 度 であるのがより好ましい。 また、 加熱 、 ０・ 5～ 2 間程度 であるのが好ましく 、 0・ 5～ 間程度であるのがより好まし 。 上の工程を経て、 コア ０ クラッ ド 2 とを含むコ ア ０が形成される。 その 、 コア を支持基板から する。

タラッ ド 2 を形成するためのクラッ ドフィルム 2 ０ ０ としては、 例えば、 アク リル系 脂、 メタタ リル系 脂、 ポリカ ボネ ト、 ポリスチレン、 エポキシ 脂、 ポリ アミ ド ポリ 、 ポリベンゾ ゾ ル、 ベンゾシクロ テン系 ルボル ネン系 の フィ ン系 が挙げられ、 これらのうち の または 2 以上を組み合わせて ポリ アロイ、 ポリ ブレン ド ( 合物) 、 共重合体、 複合体 ) など) るこ とができる。 これらのうち、 特に耐熱性に優れると う点で、 エポ キシ 脂、 ポリ 、 ポリベンゾ ゾ ル、 ベンゾシク ロ テン系 ルボルネン系 の フィ ン系 脂、 また はそれらを含むもの とするもの を用いるのが好ましく 、 特に 、 ノルボルネン系 ノルボルネン系ポリ ) を主とするもの が好まし 。

ノルボルネン系ポリ は、 極めて 熱性が高 ため、 これをク ラッ ド 2 の 料として使用する光導波路 24０では、 光 導波路 24０に導体 なし) を形成する際、 を如 して配線を形成する際、 光学 子を実装する に加熱されたとし ても、 タラッ ド 2 ０が 化して、 変形するのを防止することが できる。 また、 ノルボルネン系ポリ は、 高い 性を有するた め、 吸水による 生じ クラッ ド 2 を得ること ができる。 さ らに、 ノルボルネン系ポリ またはその 料である ルボルネン系モノ 、 比較的安価であり、 人手が容易である ことからも好まし 。

クラッ ド 2 の 料として、 ノルボルネン系ポリ を主と するものを用いると、 コア の 料として好適に用いら れる材料と同種となるため、 コア との 着性がさ らに高い ものとなり タラッ ド 2 コア ０との間での 離 を防止することができる。 このよ なことから、 久性に優れた光 導波路 2 4 ０が得られる。

このよ な ルボルネン系ポリ としては えば、 ( ルボルネン モノ を付加 ) 合して得られる ルボルネン モノ の ( 合体、 ( 2 ノルボルネン モノ エチレン フィ ン類との 重合体、 ( 3 ノルボルネ モノ と非 エン、 および 要に応じて他の ノ と の 重合体のような付加重合体、 4) ノルボルネン モノ の ) 合体、 および 要に応じて ( ) 合体を水素 加した樹脂、 5 ノルボルネン モノ エチレン

フィ ン類との 重合体、 および 要に応じて ( ) 合体 を水素 加した樹脂、 ( 6 ノルボルネン モノ と非 エ ン、 または他の ノ との 重合体、 および 要に応じて ) 合体を水素 加したポリ のよ な 合体が挙げら れる。 これらの 合体としては、 ランダム 重合体、 ブロック 重 合体、 交互 重合体 が挙げられる。

これらの ルボルネン系ポリ は、 例えば、 メタ シス ROMP) ROMP 水素化反応との み合わせ、 ラジカル または チオンによる重合、 カチオン バラジウム 合開始 を用 た重合、 これ以外の 合開始 えば、 ニッケ 他の遷 属の 合開始 を用いた重合 、 公 のす ての 合方法で得る ことができる。 これらの中でも、 ノルボルネン系ポリ としては 、 付加 ) 合体が好まし 。 このものは 透明性、 熱性およ び に富むことからも好ましい。 特に ノルボルネン系ポリ は、 重合性 を含む を有する ルボルネンの り返し 位 や、 アリ ル基を含む を有する ルボンネンの り返し 位 を含むものが好まし 。

合性 を含む を有する ルボルネンの り返し 位を含 むことにより、 クラッ ド 2 お て、 ノルボルネン系ポリ の なく とも一部のものの 合性 士を、 直接または して 橋させることができる。 また、 重合性 の 類 架橋 の 類、 コア ０ に用いるポリ の によっては、 この ルボルネン系ポリ コア に用 るポリ とを 橋さ せることもできる。 言すれば、 かかる ルボルネン系ポリ は 、 その なく とも一部のものが重合性 にお て して るのが 好まし 。 その 果、 タラッ ド 2 体の 度や、 タラッ ド 2 コア との 着性の なる向上を図ることができる このような重合性 を含む ルボルネンの り返し 位としては 、 エポキシ基を含む を有する ルボルネンの り返し 位、 (メタ) アク リル基を含む を有する ルボルネンの り返し 位、 および、 アルコ シリル基を含む を有する ルボル ネンの り返し 位がの ちの なく とも 種が好適である。 これ らの 合性 、 各種 合性基の中でも、 反応性が高いことから好 まし 。 また、 このよ な重合性 を含む ルボルネンの り返し 位を、 2 以上 ものを用 れば、 架橋 度をさ らに向上させ ることができ、 前記 果がより となる。

方、 アリ ル基を含む を有する ルボンネンの り返し 位を含むことにより、 アリ ル基は、 性が極めて高 ため、 クラ ツ 2 ０の 水による をより確実に防止するこ とができる。 また、 アリ ル基は、 ) に優れ、 前述 したようなコア 用いられるポリ との が高 た め、 タ ラ 2 コア との間での 離をより確 実に防止することができ、 より 久性に優れた光導波路 2 4 ０が得 られる。

さ らに ノルボルネン系ポリ は、 アルキルノルボルネンの り返し 位を含むものが好ましい。 なお、 アルキル基は、 たは分岐代の ずれであってもよ 。 アルキルノルボルネンの り 返し 位を含むことにより、 ノルボルネン系ポリ は、 柔軟性が 高くなるため、 タ ラッ ド 2 に高 レキシビリテイ

を付与することができる。

また、 アルキルノルボルネンの り返し 位を含 ノルボルネン 系ポリ は、 前述したような波長 特に、 8 5 ０ 近の 波 ) の光に対する が優れることからも好まし 。

なお、 タ ラッ ド 2 に用 る ルボルネン系ポリ は、 比 較的 折率の ものが好適であるのに対して、 アリ ル基を含む を有する ルボルネンの り返し 位を含むと、 一般に屈折 率が高くなる傾向を示すが、 アルキルノルボルネンの り返し 位 を含むことにより、 屈折率の 防止することもできる。

このよ なことから、 クラッ ド 2 に用 る ルボルネン系 ポリ としては、 下記 6～ 9や、 化 2 3で表されるものが 好適である。

、 Rは、 炭素数 ～ ０のアルキル基を表し、 aは、 ０～ 3の 数を表し、 bは、 ～ 3の 数を表し P が 2 ０ 下で ある。 6で表される ルボルネン系ポリマ の中でも、 特 に、 Rが 素数4～ ０のアルキル基であり、 aおよびbがそれぞ である化合物、 例えば、 ルボルネ メチルグリ シジルエ テルノルボルネ の ポリ 、 ルノルボル メチ ルグリ シジルエ テルノルボル の ポリ 、 ルノルボ ル メチルグリ シジルエ テルノルボルネ の ポリ 等 が好まし 。

、 Rは、 炭素数 ～ ０のアルキル基を表し、 R は、 水 素原子またはメチル基を表し、 aは、 ０～ 3の 数を表し が 2 ０ 下である。 7で表される ルボルネン系ポリ の中でも 特に、 Rが 素数4～ ０のアルキル基であり 、 aが である化合物、 例えば、 ルボルネン アク リル 2 5 ルボルネ ) メチル の ポリ 、 ルノルボルネン タ リル 2 5 ルボルネ ) メチル の ポリ 、 ルノルボルネン タ リル 2 5 ルボルネ ) メチル の ポリ 等が好まし 。

、 Rは、 炭素数 ～ ０のアルキル基を表し、 Xは、 それ ぞれ 立して、 炭素数 ～ 3のアルキル基を表し、 aは、 ０～ 3の 数を表し、 P が 2 ０ 下である。 2 ０で表される ル ボルネン系ポリ の申でも、 特に、 Rが 素数4～ ０のアルキ ル基であり、 aが または 2、 Xがメチル または チル基である 化合物 例えば、 ルボル ルボルネ ルト リ ト キシシラン の ポリ 、 ルノルボルネ ルボルネ ルト リ トキシシラン の ポリ 、 ルノルボルネ ルボルネ ルト リ トキシシラン の ポリ 、 ルボル ト リエトキシシリルノルボル の ポリ 、 ルノルボル ト リエトキシシリルノルボルネ の ポリ 、 ルノルボルネ ト リエトキシシリルノルボルネ の ポリ 、 ルボル トキシシリルノルボル の ポリ 、 ルノルボル トキシシリルノルボ ル の ポリ 、 ルノルボル トキシシリル ノルボルネ の ポリ 等が好ましい。

、 Rは、 炭素数 ～ ０のアルキル基を表し、 および A2 は、 それぞれ 立して、 2 2～ 24で表される を 表すが、 同時に同一の であることはな 。 また、 P

が 2 ０ 下である。

、 aは ０～ 3の 数を表し bは ～ 3の 数を表す

、 R は、 水素原子またはメチル基を表し aは ０～ 3 の 数を表す。

、 Xは、 それぞれ 立して、 炭素数 ～ 3のアルキル基を 表し、 aは、 ０～ 3の 数を表す。 9で表される ルボル ネ ポリ としては、 例えば、 ルボルネ 、 ルノル ボルネ または ルノルボル の ずれかと、 アク リル 2 ( 5 ルボルネ ) メチル 、 ノルボルネ ルト リ ト キシシラン、 ト リエトキシシリルノルボルネンまたは トキシ ルノルボルネ の ずれかとのタ ポリ 、 ルボル 、 ルノルボル または ルノルボルネ のいずれかと アタ リル 2 5 ルボルネ ) メチル 、 メチルグリ シジ ルエ テルノルボルネ のタ ポリ 、 ルボルネン、 ルノルボルネ または ルノルボル のいずれかと、 メチル グリ シジルエ テルノルボル 、 ノルボルネ ルト リ ト キシシラン、 ト リエトキシシリルノルボルネンまたは トキシ ルノルボルネ の ずれかとのタ ポリ 等が挙げられる。

、 Rは、 炭素数 ～ ０のアルキル基を表し、 R 2 は、 水 素原子、 メチル または チル基を表し、 A は、 アリ ル基を表 し、 X は、 酸素原子または チレン基を表し、 X2 は、 炭素原子 またはシリ コン 子を表し、 aは、 ０～ 3の 数を表し、 cは、 ～ 3の 数を表し、 P が 2 ０ 下である。 2 3で表され る ルボルネン系ポリ の中でも、 特に、 Rが 素数4～ ０の アルキル基であり、 X が 素原子、 X シリ コン 子、 A が 、 R 2 がメチル 、 aが 、 cが 2である化合物、 例え ば、 ルボルネン メチルノルボルネン トキシシラ ン の ポリ 、 ルノルボルネン メチルノル ボルネン トキシシラン の ポリ 、 ルノルボルネン

メチルノルボルネン トキシシラン の ポリ 等や、 Rが 素数4～ ０のアルキル基であり・ X が チレン ・ X2 が 素原子、 A が 、 R 2 が水素原子、 aが 、 cが である化合物、 例えば、 ルボルネン ルノルボル ネン の ポリ 、 ルノルボルネン ルノル ボルネン の ポリ 、 ルノルボルネン ルノ ルボルネン の ポリ 等が好ましい。 また、 または

は、 2 ０ 下であればよいが、 5 下であるのが好ましく 、 ０・ ～ ０ 度がよ り好ましい。 これにより、 複数 ルボ ルネンの り返し 位を含む 果が如何なく発揮される。

上のよ な ルボルネン系ポリ は 前述した特性に加えて 、 比較的低い 折率のものであり、 かかる ルボルネン系ポリ を 料としてクラッ ド 2 を構成することにより、 光導波路 24０の 能をよ り向上させる ことができる。

なお、 ノルボルネン系ポリ が、 メタ) タ リル基を含む を有する ルボルネンの り返し 位を含む場合、 (メタ) タ リル 、 加熱により比較的容易に させること ができるが、 タ ラ ドフィルム 、 ラジカル を混合す ることによ り、 メタ アク リル 士の 応を促進すること ができる。

ラジカル としては、 例えば、 2 2 トキシ 2 エタン オン、 ビス ( ペロキ 3 3 5 ト リメチル ヘキサン等が好適に用いられ る。

また、 ノルボルネン系ポリ が、 エポキシ基を含 を有 する ルボルネンの り返し 位や、 アルコ シリル基を含む を有する ルボルネンの り返し 位を含む場合、 これらの 合性 士を直接 橋させるためには、 クラッ ドフイルム

、 前述した 発生 を混合しておき、 この 質の 用により、 エ ポキシ アルコ シリル基を架橋させればよい。

方、 エポキシ 士、 メタ) タ リル 士やアルコ シ リル 士を を介して 橋させるためには、 さ らに、 タ ラッ ドフイルム 、 架橋 として、 合性 に対応する重合性 を少なく とも つを有する化合物を混合するようにすればよい。

キシ基を有する としては、 例えば、 3 グリ シ シ プロピルト リ トキシシラン GP S ) 、 シリ コ ンエ キシ が好適に用 られる。 メタ) タ リル基を有する と しては、 例えば、 3 シプロ ピルトリ トキシシラン ト リ シタ 5 2 6

・ 2・ ・ デカンジメタノ ルジアク リ レ ト、 ト リ プロピレングリ コ ルジアク リ レ ト等が好適に用 られる。 アルコ シリル基を有する としては、 例えば、 3 グリ シ シプロピルト リ トキシシラン、 3 アミ ノプロピル ト リ トキシシランのよ なシランカップリ ング が好適に用い られる。

また、 ク ラッ ドフイルム 2 ０ ０中に、 各種の を添加 するようにしてもよ 。 えば、 タラッ ドフイルム 2 ０ ０ 中には 前記コアフィルム ０で げた ノ および カタ リ ス トを混合してもよ 。 これにより、 クラッ ド 2 中 にお て、 モノ を反応させて、 クラッ ド 2 の 折率を変 化させることができる。 特に、 モノ としては、 架橋 モノ を含むものを用いると、 タ ラッ ド 2 にお て、 ノルボルネン 系ポリ の なく とも 部のものを、 架橋 モノ を介して 橋させることができる。 また、 架橋 の 類、 コア ０ に用 るポリ の によっては、 この ルボルネン系ポリ コ ア ０に用いるポリ とを 橋させることもできる。

その他の添 としては、 前述したような が挙げられ る。 を混合することによ り、 タラッ ドフイルム 2 ０ ０ ノルボルネン系ポリ ) の 化による 化を防止することが できる。

クラッ ドフイルム 2 ０ ０に含まれる 2の 発生 として は 紫外光における 大波長 ( 2の 大波長) が の 発生 の 大波長とは異なるものが用いられる。 の 大波長より 2の 大波長の方が長 ことが好まし く 、 特に第 の 大波長が 3 ０ ０ であり、 かつ 2 の 大波長が 3 ０ ０ 上であることがより好まし 。

このような 2の 発生 としては、 例えば、 テ トラキス ペ ンタフルオロフ ) やへ フルオ アンチモン の 、 テトラキス (ペンタフルオロフ ) ガリウム 塩、 アル ミ ン 塩類、 アンチモン 塩類、 他の 塩類、 ガリウム 、 ボラン類、 カルボラン類 が挙げられる。 このような 2の 発生 の としては、 例えば、 日本国 東京の インキ製 式会社から入手 能な AG 3 8 2 、 日本国東京のみどり 学工業 式会社より入手 能な A

5 8 5 3 4 2 6 2 7 ) 等が挙げられる 2の 発生 として G 3 8 2 を用 る場合、 第 2の 外光の 射手段として・ 圧水銀ランプまたはメタル ライ ドラ ンプが好適に用 られる。 これにより、 タ ラッ ドフィルム 2 ０ ０ に対して、 3 ０ ０ 上の十分なエネルギ の 外光を供給す ることができ、 G 3 8 2 を よく分解して、 上記の酸を発 生させることができる。

タ ラッ ドフィルム 2 ０ ０の 成に際しては、 上記ポリ 、 2の 発生 その 所要の を含むクラッ ド を調 製する。 クラッ ド の 製に用いる としては、 上述のコ ア の 製に用 る 同一のものが挙げられる。 また、 必要に応じて、 タラ に、 2の 外光に対する 2の 発生 の 度を増大して、 その 性化 または分解) に要 する時間やエネルギ を減少させる機能や、 その 性化に適する波 長に第 2の 外光の 長を変化させる機能を有する増感 を添加し てもよ 。 このよ な増感 としては、 上述のコア に添加 される増感 と同 のものが挙げられる。 さ らに、 必要に応じて、 クラ ツ に、 望ましくないフリ ラジカルの 生や、 ポリ の 化を防止する を添加してもよい。 このよ な としては、 上述のコア に添加される

と同一のものが挙げられる。

タラッ ド は、 後述する および 期の に応じて 、 粘度 ( ) が好ましくは ０ ０～ ０ ０ ０ ０ C P 度、 より ましくは 5 ０～ 5 ０ ０ ０ C P 度、 さ らに好ましくは 2 ０ ０～ 3 5 ０ ０ C P 度になるように を調節することによ り調製 することができる。

記のク ラ ツ を支持基 上に 布することにより クラ ッ ドフィルム 2 ０ ０ を形成することができる。 持基 として は、 例えば シリ コン 、 二酸化ケイ 、 ガラス 、 石英 、 ポリエチレンテレフタレート ( フィルム等が用いら れる。 としては、 例えば、 ドクタ ブレ ド 、 ス ピンコ ト 、 ディ ッピング 、 テ ブルコ ト 、 スプレ 、 アプリケ タ 、 カ テンコ ト 、 ダイコ ト の 法が挙げられる が、 これらに限定はされない。 の さに特に限定はないが、 乾 燥前の状態で 5～ 2 ０ ０ 度、 好ましくは ０～ ０ ０

度、 より好ましくは 5～ 6 5 L 度とすればよ 。

いで、 の 除去 ( ) 、 すなわち、 乾燥するこ とによりクラ ツ ドフィルム 2 ０ ０を得ることができる。

( ) の 法としては、 例えば、 加熱、 大気圧または減圧 での 置、 不 ガス等の噴き付け ブロ ) 等の方法が挙げられるが 、 例えばホッ トプレ トを用いた加熱による方法が好ましい。 これ により、 比較的容易かつ 時間での 可能となる。 する 場合、 加熱 、 2 5～ 6 ０C 度であるのが好ましく 、 3 ０～

5 度であるのがより好ましい。 また 加熱 、 5～ 6 ０ 程度であるのが好ましく 、 5～ 3 ０ 程度であるのがより好 まし 。

られたクラッ ドフィルム 2 ０ ０は、 上記 持基板から 離 され、 その コア の または両面に接触させて相互に熱 着させる。 着には、 例えば ミネ タを 利に用いることが できる。 によると 着されるクラ ツ ドフィルム 2 ０ ０は 外光 射の の 状態にあるため、 コア部に設けた 中空ミ ラ されな よ な ・ 圧にお て 着工 程を実施することができる。 着の 度としては、 般に 8 ０～ 3 0 好ましくは ０ ０～ 2 の 囲に設定すればよ 。 着の 力としては、 般に 0・ ～ ０MP a、 好ましくは 0 ～4M aの 囲に設定すればよ 。 なお、 着に際して、 タラッ ドフィルム 2 ０ ０に含まれる 2の 発生剤から酸が 放出されることはない。

の 着工程に際しては、 必要に応じて、 減圧 囲気または 真空を適用することにより、 積層 クラッ ドフィルム 2 ０ ０ コア の間に連行されて残留し得る空気 の 体成分を最 小限に抑えることが、 接触 におけるボイ ドの 生を抑え、 平坦 の な 2 3 ０ を得る上で好まし 。 この 合、 中空ミ ラ の 部も減圧 気または真空となるが タラッ ド層の陥 、 中空ミ ラ が変形しな 限り、 問題はな 。 囲気ま たは真空は、 クラッ ドフィルム 2 ０ ０ コア ０の

、 もしくは ラッ ドフィルム 2 ０ ０ コア ０の 着 時に、 またはこれらの 方に、 適用することができる。 囲気 または真空の 、 真空 ミネ ト、 真空プレス等を採用するこ とにより可能である。

で、 積層 2 3 ０の 面に、 例えば カッ トフィルター 2 2 ０を用 て、 2の 大波長を含むが 大波長は 含まな 波長の 2の 外光を照射することにより、 クラッ ドフィ ルム 2 ０ ０をクラッ ド 2 転化させると共に、 コア

０ クラッ ド 2 との間の密着性を向上させる。 えば、 の 大波長が 3 ０ ０ であり 、 2の 大波長が 3 ０ ０ 上である場合、 波長 3 ０ ０ m 上の第 2の 外光を 2 3 ０の 面に照射することができる。 2の 外光の により、 クラッ ドフィルム 2 ０ ０に含まれる 2の 発 生剤から酸が放出される。 方、 コア ０に含まれる

発生 2の 外光には実質的に感応しな ため、 コア ０ の 折率が変化または低下 ラッ ド ) することはない。 2 の 発生剤から放出された酸は、 クラッドフイルム 2 ０ ０の ポリ の 合性 を介した 応を する。 えば、 構 成ポリ が キシ基を含有する場合、 第 2の 発生剤から放 出された酸により の チオン 合が開始し、 タラッ ドフイ ルム 2 ０ ０の 部に 造が形成され、 タラッ ド 2 の 度が向上する。 また、 隣接するコア ０の ポリ に 応に関与し得る重合性 ( 、 エポキシ が含まれる場 合、 上記カチオン 合がコア ０ Zも及び、 クラッ ド 2

コア との間に 造が形成され、 それらの間の密着性 が向上する。

2の 外光の 、 ０～ ０ ０ ０ J 2

C 度である のが好ましく 、 ０～ 5 ０ ０ J 2

C 度であるのがより好まし く 、 ０～ 3 ０ ０ J 2 度であるのがさ らに好まし 。 これ により、 2の 発生 を確実に活性化させることができる。 その 、 必要に応じて、 積層 2 3 ０に対して 熱処理を施して ラッ ド 2 ０の 応を完了させる。 この 熱処理は、 加圧 することなくバッチ オ ブン ) で複数の 2 3 ０ を 同時に処理することが可能であるため、 光導波路 24０の 産性が 向上する。 、 特に限定されないが、 ０ ０～ 8 ０C 度であるのが好ましく 、 ０～ 5 ０ 度であるのがより好ま しい。 また、 加熱 ・ ) 応を十分に停止し得るよ に設定され、 特に限定されな が、 3 ０～ 2 ０ 程度であるの が好ましく 、 4 5～ 9 ０ 程度であるのがより好まし 。

6に、 上述の 導波路と発光 および または 子と を含む 導波路モジ ル 3 5 ０を示す。 6 に示したよ に、 明による光導波路モジ ル 3 5０は、 上部タ ラッ ド 3 5 、 コア 3 5 2、 下部クラッ ド 3 5 3および ミ ラ 3 54を含む 導波路と、 導波路に支持部 3 5 7 によって された発光 および または 3 5 5とを含む。 明に よる中空ミ ラ ミ ラ 面によって、 発光 3 5 5の

3 5 6から上部クラッド 3 5 を 過して 導波路のコア 3 5 2 射する光、 または光導波路のコア 3 5 2から上部タラッ ド 3 5 を 過して 3 5 5の 3 5 6 する光 、 の Pが 直方向に変換される。 このような光導波路モジ における発光 および または 子については、 2 ０ ０ 5 3 2 5 6 ０ 報、 特 2 ０ ０ 4 9 3 6 ０ および 9 4 8 6 2 報を参照されたい。

7に、 上述の 導波路モジ 電気回路 とを含む

3 6 ０を示す。 7 に示したように、 明による 3 6 ０は、 光導波路モジ ルA 電気回路 B とを含む。 7に示したように、 光導波路モジ ルAは、 上部 タ ラッ ド 3 6 、 コア 3 6 2、 下部クラッ ド 3 6 3および ミ ラ 3 64を含む 導波路と、 導波路に金属 起部 3 6 7および電極パッ ド 3 6 8 を介して された発光 および または 3 6 5とを含む。 気回路 Bに形成された 3 6 9は、 金属 起部 3 6 7および電極パッ ド 3 6 8を介し て発光 および または 3 6 5 電気 に接続されてい る ( なし) 。 3 6 ０の 作としては、 例えば

3 6 9が発光 3 6 5 号を出力すると、 その 号を発光 3 6 5が光信号に変換し、 その 信号を発光 3 6 6から する。 された光信号は、 上部クラッ ド 3 6 を 過し、 中空ミ ラ 3 64のミ ラ 面によって Pが 直方向に変換されて 導波路のコア 3 6 2 射する。 その 、 人射した光信号はコア 3 6 2内を伝 、 別の中 ミ ラ

3 64 なし のミ ラ 面によって Pが 直方向に 変換され、 上部クラッ ド 3 6 を 過して別の受 3 6 5の

3 6 6 射する。 3 6 5に人射した光信号は、 電 気 号に変換されて別の導 3 6 9 なし に入力される 。 このよ にして、 2つの 路の間で光信号が高速 送される 。 このような の 細につ ては 例えば、 2 ０ ０ ０ 9 9 8 2 7 報を参照された 。

8 A) ～ (C ) に、 上述の において、 光導 波路モジ が、 発光 および または 子の 電気 回路 の との間に電気 を提供するためのレセプター 造 を有するもの 3 7 ０を示す。 このようなレセプタ 造を設けたこ とにより、 実装 度が高く 、 光の伝 低減され、 さ らには 子の と光導波路のコア との 離が短くなるため、 光の 伝 率が向上し、 の 化にも 与する。 8 ( ) に示した 様では、 光導波路モジ は、 上部クラッ ド 3 7 、 コア 3 7 2、 下部タラッ ド 3 7 3および ミ ラ

3 74を含む 導波路と、 導波路に金属 起部 3 7 7 を介 して された発光 および または 3 7 5とを含む。 導波路には、 金属 起部 3 7 7 を受容するに十分な大きさのレセ プタ が形成されている。 気回路 に形成さ れた 3 7 9は、 レセプタ に受容された金属 起部 3 7 7 を介して、 発光 および または 3 7 5 電気 に接続されている。 8 A) に示した 様では、 光導波路モジ 電気回路 とが導電 3 7 8 により接合されてい る。 8 B) に示した 、 レセプタ 、 体部の さを確保するために導体ポス ト 3 8 ０を部分的に設けた点で、 8 A) に示した 様と異なる。 さ らに、 8 C に示した 、 ポス ト 3 8 ０がレセプタ の 部に形成されて おり 、 発光 および または 3 7 5が金属 起部を有し な 点で、 8 A) Z した 様と異なる。 8 A ～ ( C ) Z した 3 7 ０の 作につ ては、 先に 7 を参照して説明した 3 6 ０の 作と同様である 。 このようなレセプタ を具備した の 細に ついては、 本件 願人による 2 ０ ０ 6 4 9 7 4 3

8 5 3 ０ 出願、 発明の 、 板 及び ) を参照されたい。

以下、 本 明をより具体的に説明するための を提供する。 ・ ラ を有するコア層の調

へ ルノルボルネン ( B) メチルノルボル ネン トキシシラン P B) 系 ポリマ の

B 2 2 ０ 94 8 3 3 ) 9 6 3 、 ０ P B CA S 3 7 6 6 34 34 3 ) 4０ 3 7 、 ０ 6 、 キセン 4・ 54 、 0・ ０ 54 ) およびトルエン 5 ０ ) を、 ド ライボックス内の 5 ０ ０m シ ラムボトルに入れて混合し、 さ らにオイルバスにおいて 8 ０ 加熱しながら して溶液とした 。 この P 446 ０ 4 X ０ 2 7 2 ０ X ０ 6 ) および メチルア ニウムテトラキス ( ペンタフルオロフ ボレ ト ( A ABA) 2 3 ０ X ０ 2 、 2 5

・ 8 8 を、 それぞれ ク ロ ロメタン ０・ の 態で 加した。 の 合物を 、 グネチッタスタ で 8 ０ にお て 2 した。 その 合物 トルエン ) をより大きなビ カ に移し変え、 こ れに であるメタノ ル ) を すると、 繊維 の

が沈 した。 して集めて 6 ０Cのオ ブン内で 真空 させたところ、 乾燥 g ０ 3 8 ) の

が得られた。 の ゲル トグラフィ G ポリスチレン で測定したところ、 質量 均分子 M ) ０ および数 均分子 M

6 ０ ０ であった。 MRで測定し、 下記 で表される B P B系 ポリ ０・ 3 2 、 ０・ 6 8、 5 ) であることを した。 この ポリ の 折率をプリズムカツプリ ング法で測定したところ、 波長 6 3 3 t おいて、 Eモ ドが ・ 5 6 9 5、 そして Mモ ドが 5 6 8 であった。

コア の ノ

イ ライ ト 、 上 B B系 ポリ を チレンに溶解して ０ ポリ ( 3 ０ を調 製した。 これとは別に・ ガラス瓶に・ B

０ 3 、 0・ 24 ) およびビス ノルボルネン トキシ メ チルシラン C 3 7 6 6 ０ 9 8 7 9 ) 7・ 9 7 、 0・ ０ 2 6 ) を入れ、 さ らに 2 類の

C a a o ０ 7 6 ０ 5 ) および a f o s 6 8 ０ 2 5 ) を加えて ノ 酸化

液を得た。 記の ポリ 3 ０ ０ に、 上記の ノ 酸 化 3 ０ と PC 3 2 A c ) 2 P 7 8 5 ) 4 g 5 X ０ 4 6 2 g X ０ 7 、 メチ レンクロライ ド 0・ ) と、 吸収 大波長 2 2 ０ mの

発生 R O OR ) P O O

A OR 2 ０ 7 4 CA S 7 8 2 3 3 7 2 2 ) 2 5 5 X ０ 3 、 2・ 5 6 、 メチレンタ ロライ ド 0・ ) とを加えて に溶解させた後、 細孔 ０ のフィルタ で してコア を調製した。

コア 導波路 フィルム の

2 5 ０ のポリエチレンテレフタレ ト ( ) フィル の上に、 コア ０ を注ぎ これを タタ ブレ ドで ほぼ 定の さになるように広げてコア の 形成させ た ( 前の厚 7 0 ) 。 この フィル 共に トプレ ト上に配置して 5 ０ で4 5 間加熱することにより ト ルエンを 発させて厚さ 5 ０ の 得た。 この

、 ク ラッ ド部に対応する所定の パタ ンを有する オ ト ス クを通して、 高圧水銀ランプまたはメタル ライ ドランプを用いて 3 ０ ０ または 3 6 5 下の 外光を照射し た ( 5 ０ ０ J c 2 ) 。 の オ ブンに入れ 、 最初に 5 ０でで 3 ０ 間、 続 て 8 5でで 3 ０ 間、 その 5 ０ Cで 6 ０ 間の 熱処理を施した。 初の 5 ０ で ０ 間加熱 した時点で、 の 波路バタ ンを で確認することができ た。 処理 、 フィル から 離してコア

導波路 フイルム) とした。

エキシ レ ザ の

コア層に、 3 に示したような中空ミ ラ を形成する のに先立ち、 エキシ レ ザ A L r c n k 、

X 3 ０ ０ ) を 下のよ に調整した。 キシ レ ザ 置に設けられたチヤ ンバ 内の圧力を、 ０ ミ リバ ル 下になるまで排気した後、 上記チヤンバ 内に プレミック ガス ( 4 3 ０ 7 、 ネオンガス

) を 6 5０ ０ミ リバ ルになるまで充填した。 キシ レ ザ 置において、 レ ザ 光は、 レンズを介して集光された後、 X の が加工されたステンレス スクを通る ことでさ らに縮小 影されて最終的に照射 リ アが実質

０ ０ になるように調整した。 波数 ０ ０ zでエキシ レ ザ を発振させ、 スタを通り ) 終的に加工面に到達した レ ザ 光の出力をパワ メ タ O P R J a a 式 会社製、 P E 5 ０ ) で測定したところ、 3・ 5 Wで あった。

ミ ラ エノ

コア 導波路 フイルム) 5 ０ 、 コア 5 0 ) のミ ラ 工面とは反対側の面を、 粘着性を有する基 盤 マジック レジン ト ヨ コ ポレ ショ ン 式会社製) 付けた。 その 盤を、 エキシ レ ザ 置の ステ ジ上 に配置し 基盤の 定面を吸引して 定した。 で 3 波路 のコア部の長手方向と微動ステ ジの 動方向とが一致するように ステ ジを回転させてアライメン トを調整した後、 レ ザ

リ ア の 心がコア部の中心にく るように調 整した。 で、 コア部のミ ラ 位に、 アシス トガ として e を 2・ ０ 分で流しながら、 微動ステ ジを 向に 6 秒で 5 ０ 動させ、 その間に周波数 ０ ０ zの レ ザ を照射した。 、 コア層をコア部に沿って切断し、 そ の 面を観察したところ、 コア層が 定する平面に対して 4 5度の 傾 形成されていた。 また、 その 斜面 ミ ラ ) を走査 子顕微鏡 ( SEM) で観察したところ、 ミ ラ 面に 積した

( 化したレ ザ はほとんど められず ミ ラ 面は非 常に平滑であった。

2・ ク ラ ツ ドフィルム 料の

ルノルボルネン e B メチルグリ シジルエ テルノ ルボルネン (AGE B) 系 ポリ の

e B CAS 2 2 ０ 94 8 5 5 ) 6 4 、 ０ ０ 7 AGE B CA S 3 8 8 7 5 8 ) 5 4 、 ０・ ０ 3 ) およびトルエン ( ０ ) を ドライ タス内の 5 ０ ０ シ ラムボ トルに れて混合 し、 さ らにオイルバスにおいて 8 ０oCに加熱しながら して溶液 とした。 この 6

、 トルエン) C6 5 2 ０ 6 9 、 0・ ０ ０ ) の トルエン (5 ) を添加した 。 の 合物を グネチッタスタ うで室温において4

した。 その 合物に、 トルエン ０ ) を加えて しく した。 その 合物 ( トルエン ) をより大きなビ カ に移し変え、 これに であるメタノ ル を する と、 繊維 の が沈 した。 して集めて 6 ０ Cのオ ブン内で真空 させたところ、 乾燥 ０ ０ 8 7 ) の が得られた。 の G C

、 ポリスチレン ) で測定したところ、 M 7 5 ０ 0およびM 3 ０ ０ であった。 MRで測 定し、 下記 で表される e A B ポリ

０・ 7 7、 ０・ 2 3、 ０ であることを した。 この ポリ の 折率をプリズムカップリ ング法で測定したとこ ろ、 波長 6 3 3 Zお て Eモ ドが ・ 5 3、 そして Mモ ドが ・ 5 であった。

クラッ ド の ノ

イ ライ ト 、 上記 ポリ ０ を脱水 トルエンに溶解 して 2 ０ ポリマ 5 ０ ) を調製した。 この 、 2 類の C ba a o ０ 7 6 ０ ０ および a f o s 6 8 ０ ０ ０ 2 5 ) ) 大波長 3 3 5 の 2の 発生 イ ンキ製

AG 3 8 2、 0・ 2 ) とを加えて 一に溶解させた後 細孔 ０・ 2 のフィルタ で して ラッ ド を調製した ラッ ドフィルム 料の 台の上に配置した ０ の フィル の上に、 タラッ ド ０ を注ぎ、 ドクタ ブレ ドでほぼ一定の さになるよ に広げて ラッ ド の 形成させた ( 前の厚 3 ０ ) 。 この フィル 共に に入 れて 5 ０Cで 5 間加熱することにより トルエンを 発させて厚 さ 2 ０ の 得た。 その 、 乾燥 フィル から 離してクラッ ドフィルム 料とした。

3 ・ 3 導波路の

ミ ラ を有する上記コア きさ 2 ０ X2 ０ C の に上記タラッ ドフィルム ( きさ 2 5 X 2 5 C を ずつ した。 この 3 積層 、 ０ に設定された

投入して 0・ 2M aの 、 5 間熱 着させた。 そ の 3 積層 ・ に戻し、 これと高圧水銀ランプとの 3 ００ 下の 長を遮蔽する波長カッ トフィルタ として厚 さ ０ ０ の フィル を配置した。 いで、 高圧水銀ラン プから カッ トフィルターを通して 2の 外光を照射した

０ ０ J 。 3 積層 、 放置する こと なく ちに ０ ) に入れ、 5 0 で 3 ０ 間加 熱することにより、 クラ ツ ドフィルム 料の ) およびコア の 着力強化を完了させた。 その 、 平均 4 5 は の ( ) と 3 積層体の間に両面テ プ を 入して口 ミネ トによって両者を接合し、 下記の 価を 行った。

4・ られた 3 導波路の につ て、 レ ザ ダイオ ド から発生させた光を、 ファイバ を通してコア部の 端から人力 、 端からの 力を測定し、 コア部の長さを数 階の さにカッ トして、 さにつ て 力を測定するカッ トバッタ法で測定し た。 さのコア部での 、 下記 で表される。

B ０ O P P ０

、 P は、 P L 、 P 2、 P の さのコア部の他 で の 定された出力であり、 P ０は・ ファイバ をコア部の 端に 結合する前の光ファイバ の における の 力である。 次に、 、 9のよ にプロッ トされる。 このデ タ の 、 下記 によって表わされる。 、 は、 失を示し、 bは、 結合

1 を示す。 の 導波路の 0・ ０ 6 B C であった。

ミ ラ

られた 3 導波路のミ ラ 部の損 について、 レ ザ ダイ オ ドまたは レ ザ (VC S E ) から発生させた光を、 ファイバ を通してコア部の 端から人力し、 ミ ラ で反 射して ラッ ド層を通り抜けてきた光の出力を測定し、 下記 で表 される 失を求めた。

B) ０ o P P０ )

、 P は傾斜 上部で測定された出力であり、 P ０は、 ファイバ をコア部の 端に結合する前の光ファイバ の にお ける の 力である。 られた 失から直線部分の および ファイバ コア との での 失を差し引いて、 ミ ラ 部の損失を算出した。 の 導波路のミ ラ 部の損 ０ 5 B C であった。

ラ 部の平 られた 3 導波路のミ ラ 部の平 につ て、 レ ザ 微鏡 オリ ンパス XE O S 3 ０ ０ を用い 、 3 導波路のミ ラ 面がほぼ 平になるように設置してミ ラー 面の 起物の 大高さを直接 定した。 の 導波路のミ ラ 部の平 ０ ０ であった。

引っ張り強度

られた 3 導波路を J S 7 2 7 定の の 状に切り出すに際し、 試験 の 央に相当する最も狭 平行部にミ ラ 部が配置されるようにした。 この の 引っ張り 験機 ( ・ アンド ・デイ 式会社製 っ張り 験機テンシ S M 5 ０ ) の ヤック部に 、 そしてク ロスヘッ ド 度 を 分に保ちながら試験機を作動させて、 試験 が破 する ときの 度を測定した。 導波路の っ張り強度は 5 ０ ０ C 上であった。

ア

3 導波路のミ ラ ミ ラ ) を形成する際に、 エキシ レ ザ によって されてミ ラ 部に付着した微細な ミア) の ( を で観察した。

の 導波路にお ては スミ はほとんど れなかった。 コア ( 導波路 フイルム) Zミ ラ 工を施さなかっ たことを除き、 実施 同様にして 3 導波路を一括 造した 。 いで この 3 導波路に対して、 実施 同様に調整され たエキシ レ ザ を用いて、 以下のよ にミ ラ 工を施した。

3 導波路の 側の フィルム P E S を 離し そ のミ ラ 工面とは反対側の面を 粘着性を有する基盤 ジック レジン ト ヨ コ ポレ ショ ン 式会社製) Z 付けた。 その 盤を、 エキシ レ ザ 置の ステ ジ上に配置し、 基 盤の 定面を吸引して 定した。 で、 3 波路のコア部の長 手方向と微動ステ ジの 動方向とが一致するようにステ ジを回 転させてアライメ ン トを調整した後、 レ ザ リ ア ０ X ０ ０ ) の 心がコア部の中心にく るように調整した。

で、 コア部のミ ラ 位に、 アシス トガ として e を 2 ０ 分で流しながら 微動ステ ジを 向に 6 秒 で ０ 動させ、 その間に周波数 ０ ０ zのレ ザ を照 射した。 、 3 導波路をコア部に沿って切断し、 その 面 を観察したところ、 下部クラッ ド層からコア層に渡り、 3 導波 路が 定する平面に対して4 5度の傾 形成されていた。 また、 その 斜面 (ミ ラ ) を走査 子顕微鏡 S E で観察した ところ、 ミ ラ 面に 積した 化したレ ザ ) の 実施 より広くなったが、 ミ ラ 面は平滑であった。

同様に、 失、 ミ ラ 失、 ミ ラ 部の平 、 引っ張り強度および ミア を測定した。 これらの 果を 、 上記 の 果と共に、 にまとめた。

からわかるように、 ミ ラ の性 失、 ミ ラ 失 平滑 Z しては 比較 の間に有意な差はな 。 方、 光導波路の 械的 度を代表する引っ張り強度につ ては、 実施 は比較 の ０ 以上の値を示した。 また、 スミア

に関しては、 実施 より比較 の方が多くなった。 これは、 コア層のみを すればよい実施 比 比較 ではコア のみならずクラッド層をも しなければならな ためである。 の ミア 子の きさは ０ ０ 下であるためそれ自体 に大きな影響を及ぼすものではな が、 ス ミア が多くなる と、 ス ミア 子同士が 集してミ ラ 面を傷つけ、 その ミ ラ 失を悪化させるおそれがある。 その 、 当然のことながら、 実施 のミ ラ 面はクラッ ド層で密閉されて るため 周囲 囲気に 暴露されて る のミ ラ と比 て外部からの挨や塵の付 着による 損を りにく 。 さ らに、 ミ ラ メ リッ トとし て、 比較 では上部クラッ ド層をも一定の パ 角で する ために比較的 きな スタ (コア幅の 2 以上) を要するのに対し 、 実施 ではコア層のみを すればよ ため 較的 さ ス タ (コア幅の ・ f 上) を使用することができる。

2

コア ( 導波路 フイルム の および ミ ラ 下のよ に変更したことを除き、 実施 同様にして 、 混信 タラッド 造を有する交差 波路 3 導波路を 製造した。

タラッ ド 造を有する交差 波路コア層の作 2 5 ０ のポリエチレンテレフタレ ト ) フイル ムの上に、 コア ０ を注ぎ、 これを ドクタ ブレ ドで ほぼ 定の さになるよ に広げてコア の 形成させ た ( 前の厚 7 ０ m) 。 この フイルム 共にホ ッ トプレ ト上に配置して Cで4 5 間加熱することにより ト ルエンを 発させて厚さ 5 ０ の 得た。 この

、 A) Z したよ なコア部に対応する所定の パタ ン (コア 5 ０ コア 数 2 2 アピッ チ 2 5 2 5 m ) と、 クラッ ド および 域に対応する所定の パタ ン 域幅 5 x ) を有するフォ ト スクを通して・ 圧水銀ランプまたはメタル ラ イ ドランプを用いて 3 ０ ０ または 3 6 5 下の の 外光を照射した ( 5 ０ ０ J c 2 ) 。 の オ ブンに 、 最初に 5 ０でで 3 ０ 間、 続 て 8 5 で 3 ０ 間、 その 5 ０ で 6 ０ 間の 熱処理を施した。 初の 5 で ０ 間加熱した時点で、 の 波路パタ ンを で 確認することができた。 熱処理 、 フィル から 離して、 混信 クラッ ド 造を有する交差 波路コア とした ミ ラ

コア ( タラッ ド 造を有する交差 波路コア ) 、 コア 5 ０ m) のミ ラ 工面とは反対側の 面を、 粘着性を有する基盤 ジッ レジン ト ヨ コ ポレ ショ ン 式会社製) 付けた。 その 盤を、 エキシ レ ザ 置の ステ ジ上に配置し、 基盤の 定面を吸引して 定し た。 で、 3 波路のコア部の長手方向と微動ステ ジの 動 方向とが 致するようにステ ジを回転させてアライメン トを調整 した後、 レ ザ リ ア ０ X 7 ０ ) の 心がコア部の 交 域の 心にく るよ に調整した。 いで、 コア部のミ ラ

位に、 アシス トガ として e を 2・ ０ 分で流しなが ら、 微動ステ ジをコア部の交 域の 角線上に 5 秒で 7 ０ 動させ、 その間に周波数 ０ ０ zのレ ザ を照射した 。 、 その を走査 子顕微鏡 (SEM) で観察したと ころ、 切削 積した 化したレ ザ ) はほと んど められず、 切削 非常に平滑であった。

同様に、 失、 ミ ラ 失、 ミ ラ 部の平 、 っ張り強度および ミア を測定したところ・ 2の クラッ ド 造を有する交差 波路 3 導波路は、 い ずれの 性にお ても実施 の 導波路と同等の 性を示した。

Claims

求 の ・ 向を定めるコア部を・ コア より 折率が低 ラ ッ ド層で してなる光導波路であって、 コア部の光 向に沿 った所定の 置に、 導波路 射する または 導波路から する光の光 を変換するミ ラ 面を画定する中空ミ ラ

を設けたことを特徴とする光導波路。

2 ・ ミ ラ の さが コア部の厚さと同一またはそ れより大である、 請求 に記載の 導波路。

3 ・ ミ ラ が設けられた 定の 置を含む 光 内の 定の とは別の位置に追加の ミ ラ を設け た、 請求 または 2 に記載の 導波路。

4・ ミ ラ ミ ラ 面が 向に対して4 ０～ 。

5 ０ の 度をなして る、 請求 ～ 3の ずれか 項に記載の 導波路。 ・ 向が、 ミ ラ 面によって、 導波路が 定する 平面に対してほぼ 線方向に変換される、 請求 ～ 4のいずれか 項に記載の 導波路。

6・ 導波路が、 複数 コア部を狭い間隔で多 した光 導波路であり、 かつ、 ミ ラ コア 独立して されて る、 請求 ～ 5のいずれか 項に記載の 導波路。 7・ 導波路が、 複数 コア部を狭 間隔で多 した光 導波路であり、 かつ、 ミ ラ コア部の 2 以上に またがる共通の ミ ラー が設置されている、 請求 ～ 5 のいずれか 項に記載の 導波路。

8・ 導波路が、 コア部が分岐した分岐 導波路であり、 分 岐した コア部の任意の 置に中空ミ ラ が設置されている 、 請求 ～ 5のいずれか 項に記載の 導波路。

9 ・ 向が、 ミ ラー面によって、 導波路が 定する 平面内で変換される、 請求 ～4のいずれか 項に記載の 導波 路。

1 導波路が、 複数 コア部が交差する交差 波路であ り、 かつ、 ミ ラ コア部の交 域の なくとも 一つに設置されている、 請求 9 に記載の 導波路。

1 ミ ラ 、 つの 域にお て 2 向に分岐するように設置されて る、 請求 ０に記載の 導波 路。

・ ミ ラ 、 つの 域にお て 3 向に分岐するように設置されて る、 請求 ０に記載の 導波 路。

㍑・ 波路が、 コア部が ラッ ドを介して上下に 2 上重畳している多層化交差 波路であり、 かつ、 上下のコア部を 光 続するよ に配置された中空ミ ラ が所定の 置に設置 されて る、 請求 ０～ 2のいずれか 項に記載の 導波路。

・ 波路が、 域の に前記コア より も 屈折率が低 低 域を設けた クラッ ド 造を有する、 請求 ０～ 3のいずれか 項に記載の 導波路。

1 ・ 導波路が、 向を定めるコア 、 コア より 折率が低いクラッ ド とを含むコア および コア層の両面に積層 された ラッ ド層を含む、 請求 ～ 4の ずれか 項に記載の 導波路。

1 ・ コア および タラッ ド層が高分子 料から 成されてい る、 請求 5 に記載の 導波路。

・ 分子 料が付加重合 ノルボルネンを主体とする 請求 6 に記載の 導波路。

・ ～ 8および 5～ 7の ずれか 項に記載の 導 波路と発光 および または 子とを含む 導波路モジ

であって、 ミ ラ および または 子とが、 子から した光が ミ ラ ミ ラ 面を介して 導波路 射しかつ または 導波路から した光が ミ ラ ミ ラ 面を介して 射 するように位置 わせされて ることを特徴とする光導波路モジ ル。

・ 8 に記載の 導波路モジ 電気回路 とを 含む 。

・ 導波路モジ が、 および または 子の 気回路 の との間に電気 を提供するため のレセプタ 造を有する、 請求 9に記載の 。