JP2005037531A - 光電気複合配線基板 - Google Patents
光電気複合配線基板 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005037531A JP2005037531A JP2003198456A JP2003198456A JP2005037531A JP 2005037531 A JP2005037531 A JP 2005037531A JP 2003198456 A JP2003198456 A JP 2003198456A JP 2003198456 A JP2003198456 A JP 2003198456A JP 2005037531 A JP2005037531 A JP 2005037531A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- substrate
- optical
- optical wiring
- wiring layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Optical Integrated Circuits (AREA)
- Structure Of Printed Boards (AREA)
- Led Device Packages (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
- Photo Coupler, Interrupter, Optical-To-Optical Conversion Devices (AREA)
Abstract
【解決手段】電気信号を伝達する電気配線が設けられた基板2に設けられて光信号を伝達する光配線を有する光配線層4と、電気配線に対して電気的に接続されて光配線が伝達する光信号を光電変換する光電変換素子との間に、基板2と光配線層4との密着性を向上させる中間層11を設けて、基板2に対して光配線層4を確実に固定するとともに、光配線層4が設けられる部分を厚くする。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、単一の基板に対して電気配線と光配線とが設けられた光電気複合配線基板に関する。
【0002】
【従来の技術】
光電気複合配線基板としては、従来より様々な構造が提案されている。
【0003】
その一例として、光電気変換素子が設けられた基板上に、高分子で形成された光導波路を形成する光配線の端部に45度ミラーを設け、発光素子からの光信号を光導波路に結合させたり、光導波路を伝搬してきた光信号を受光素子に結合させたりすることによって、光による高速なデータ通信を行うようにした技術がある(例えば、特許文献1参照)。
【0004】
このような光電気複合配線基板における光結合方法としては、光導波路と光素子とをマイクロレンズを用いて結合することで光結合効率を高めるようにした技術が開示されている(例えば、特許文献2参照)。
【0005】
ここで、従来の光電気複合配線基板の一例として、特許文献1に開示されている光電気複合配線基板について図6を参照して説明する。図6に示す光電気複合配線基板100は、クラッド層の厚い第1の導波路101とクラッド層の薄い第2の導波路102とを有している。各導波路101,102は、クラッド層の間に狭持されるコア層103を有している。この光電気複合配線基板100において、第1の導波路101は直接基板104に設けられており、第2の導波路102は基板104との間に設けられたスペーサ105を介して間接的に基板104に設けられている。特許文献1の技術では、クラッド層の厚さが異なる第1の導波路101と第2の導波路102とにおいて、基板104の厚さ方向における互いのコア層103の高さを、基準面に対して一致(近接)させ、第2の導波路102にあらかじめ結合された光素子の導波光を第1の導波路101の導波光として高い光結合効率で光結合させることができる。
【0006】
これにより、第1の導波路101と第2の導波路102とのコア層103を互いに近接させることができるので、第2の導波路102にあらかじめ結合された光素子の導波光を第1の導波路101の導波光として高い光結合効率で光結合させることができる。
【0007】
【特許文献1】
特開2002−48949公報
【特許文献2】
特開2001−185752公報
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述したような従来の光電気複合配線基板100では、厚いクラッド層を有する第1の導波路101と基板104との間にスペーサ105が設けられていない。このため、基板104に設けられた電気配線によって凹凸が生じていたり、基板104にホコリ等の異物が付着していたり、基板104自体の厚さが不均一であったりして、基板104表面に1〜300μm程度の凹凸または面粗さが存在する場合には、第1の導波路101におけるクラッド層が変形または断線してしまうことがある。このような場合、コア層103がクラッド層の変形に伴って変形または断線してしまい、結果としてコア層103の形状自体が変化したり、導波路101全体の形状が変化してしまったりすることがある。
【0009】
このような光電気複合配線基板100では、光が導波しなかったり、光が導波したとしてもその導波損失が増大してしまったりするという不具合を生じる。
【0010】
また、上述したような従来の光電気複合配線基板100では、結合する複数の導波路101,102におけるコア層103の高さをスペーサ105によって調整しているため、スペーサ105を必要とする導波路102に対応させたスペーサ105を設ける必要がある。
【0011】
スペーサ105を設ける部分に対しては、例えば、パターニングを用いることが可能である。この場合、導波路102の幅や導波路102のピッチは、導波路102自体のパターニング精度ではなく、スペーサ105のパターニング精度に制約されることとなる。このため、スペーサ105自体を導波路と同じ精度でパターニングしなくてはならない。
【0012】
さらに、この第1の導波路101および第2の導波路102は、コア層103およびクラッド層がともに空気中に露出している。このため、導波路101,102におけるコア層部分に結露やホコリ等の異物が付着することによる導波損失または結合損失が増大しやすい傾向にある。
【0013】
また、クラッド層は、機械的な他部品とのわずかな力による接触によって損傷を受けやすい。光導波損失にはクラッド層も大きく影響しているため、導波路101,102を光配線として用いた場合、クラッド層が損傷していると必要レベルの受光感度よりも受光量が低下して、光信号の伝達を十分に行うことができず、結果として光配線の断線状態になってしまう。このようなことから、光電気複合配線基板100を手作業でスロットに挿入したりする場合には、手で支えた箇所で光配線が断線されてしまうことが頻繁に生じることになる。
【0014】
また、基板104としてFR4に代表されるガラスとエポキシ複合材料を用い、この基板104のスルーホールと導波路のスルーホールを設ける際に、例えば、ドリルで加工する等の一般的な基板104の加工方法を用いた場合には、ドリル粉の飛散によってクラッドの損傷が非常に生じやすくなる。
【0015】
ところで、ガラスエポキシ複合材料によって形成された基板104では、水平方向(面方向)の熱膨張係数が20ppm程度である。これに対し、基板104と異なる高分子材料であるエポキシ樹脂やアクリル樹脂等を導波路材料として用いた場合、その水平方向の熱膨張係数は100ppm以上である。すなわち、基板104としてガラスエポキシ複合材料を用いた場合には、基板配線長が100mmであれば、100度の温度差で配線長差は約1mmとなる。
【0016】
このような配線長差を生じるような熱膨張差は、従来の火炎堆積法による石英基板上の石英光導波路を用いる光通信用の光集積回路基板や、ポリイミド基板上のポリイミド光導波路を用いる50mm角以下のマルチチップモジュール(MCM)用の光電気複合配線基板とは全く異なるといえるほど大きな熱膨張差である。
【0017】
このようなことから、従来の光電気複合配線基板100では、製作プロセス上の熱サイクルまたは電子回路からの発熱によって基板104と導波路101,102とが剥離したり反ったりして、光導波損失の増大が生じやすい。
【0018】
このため、光配線の光伝搬損失の低下,機械的強度の向上や性能の長期安定性確保が実現できない。
【0019】
本発明の目的は、光電気複合配線基板の機械的強度を向上し、基板に対する光配線層の密着不良による光配線の変形に起因する光導波損失の増大を抑制して、光導波性能の安定性を長期間に亘って確保することである。
【0020】
【課題を解決するための手段】
請求項1記載の発明の光電気複合配線基板は、電気信号を伝達する電気配線が設けられた基板と、前記基板に設けられて光信号を伝達する光配線を有する光配線層と、前記電気配線に対して電気的に接続されて前記光配線が伝達する光信号を光電変換する光電変換素子と、前記基板と前記光配線との間に設けられて前記基板と前記光配線層との密着性を向上させる中間層と、を具備する。
【0021】
したがって、基板に対して光配線層を確実に固定するとともに、光配線層が設けられる部分を厚くすることができる
請求項2記載の発明の光電気複合配線基板は、電気信号を伝達する電気配線が設けられた基板と、前記基板に設けられて光信号を伝達する光配線を有する光配線層と、前記電気配線に対して電気的に接続されて前記光配線が伝達する光信号を光電変換する光電変換素子と、前記光配線層に対して前記基板とは反対側に設けられて前記光配線層を保護する保護層と、を具備する。
【0022】
したがって、外部からの衝撃等から光配線層を保護するとともに、光配線層が設けられる部分を厚くすることができる。
【0023】
請求項3記載の発明の光電気複合配線基板は、電気信号を伝達する電気配線が設けられた基板と、前記基板に設けられて光信号を伝達する光配線を有する光配線層と、前記電気配線に対して電気的に接続されて前記光配線が伝達する光信号を光電変換する光電変換素子と、前記基板と前記光配線との間に設けられて前記基板と前記光配線層との密着性を向上させる中間層と、前記光配線層に対して前記基板とは反対側に設けられて前記光配線層を保護する保護層と、を具備する。
【0024】
したがって、基板に対して光配線層を確実に固定し、外部からの衝撃等から光配線層を保護するとともに、光配線層が設けられる部分を厚くすることができる。
【0025】
請求項4記載の発明は、請求項1または3記載の光電気複合配線基板において、前記中間層は、少なくとも前記光配線層側の面が平坦化されている。
【0026】
したがって、光配線によって導波する光の光導波損失をより低減することができる。
【0027】
請求項5記載の発明は、請求項1または3記載の光電気複合配線基板において、前記中間層は、それぞれ機能の異なる材料によって形成された複数の層によって構成されている多層構造を有する。
【0028】
ここで、例えば、基板への光配線層の密着性の向上と基板と光配線層との熱膨張率差の緩和という異なる複数の機能を一層の中間層に付与するためには、この中間層を形成する材料が限定されたりコストアップしたりすることが懸念される。
【0029】
したがって、複数の機能を有する中間層を容易に実現することができる。
【0030】
請求項6記載の発明は、請求項1または3記載の光電気複合配線基板において、前記中間層は、粘弾性材料によって形成されている。
【0031】
したがって、光配線層と基板との熱膨張差によって発生する応力を中間層によって吸収することができる。
【0032】
請求項7記載の発明は、請求項1または3記載の光電気複合配線基板において、前記中間層は、ガラス布またはガラス不織布と高分子材料との複合材料によって形成されている。
【0033】
したがって、例えば、ガラス−エポキシ複合材料、ガラス−ポリイミド複合材料あるいはガラス−ポリフェノールオキシド複合材料等、基板を形成する材料として通常用いられる材料との熱膨張率差を、中間層を形成する材料の選定によって小さくすることができる。
【0034】
請求項8記載の発明は、請求項1または3記載の光電気複合配線基板において、前記光配線層は、高分子材料によって形成されたコアとこのコアの外側に設けられて前記コアよりも屈折率の高い高分子材料によって形成されたクラッド層とを備え、前記中間層は、前記クラッド層の熱膨張係数と同じに設定された熱膨張係数を有する。
【0035】
したがって、基板の熱膨張係数と光配線層全体での実効的な熱膨張係数とを一致させることができない場合にも、基板と光配線層との熱膨張差による歪みを緩和することができる。
【0036】
請求項9記載の発明は、請求項1または3記載の光電気複合配線基板において、前記光配線層は、高分子材料によって形成されたコアとこのコアの外側に設けられて前記コアよりも屈折率の高い高分子材料によって形成されたクラッド層とを備え、前記中間層は、前記基板の熱膨張係数と前記クラッド層の熱膨張係数と間に設定された熱膨張係数を有する。
【0037】
したがって、基板の熱膨張係数と光配線層全体での実効的な熱膨張係数とを一致させることができない場合にも、基板と光配線層との熱膨張差による歪みを緩和することができる。
【0038】
請求項10記載の発明は、請求項2または3記載の光電気複合配線基板において、前記保護層は、前記基板の熱膨張係数と同じ熱膨張係数を有する。
【0039】
したがって、本発明の光電気複合配線基板に対して熱が加えられた場合に、基板を形成する材料と光配線層を形成する材料との熱膨張率差によって変形あるいは破損しようとする光配線層に対して、基板と保護層とによって上下方向(各層の積層方向の両側)から同様に膨張する力を加えることができる。
【0040】
請求項11記載の発明は、請求項2または3記載の光電気複合配線基板において、前記保護層は、それぞれ機能の異なる材料によって形成された複数の層によって構成されている多層構造を有する。
【0041】
ここで、例えば、光配線層に対する外部衝撃からの保護と基板と光配線層との熱膨張率差による光配線層の変形抑制という異なる複数の機能を一層の保護層に付与するためには、この保護層を形成する材料が限定されたりコストアップしたりすることが懸念される。
【0042】
したがって、複数の機能を有する保護層を容易に実現することができる。
【0043】
請求項12記載の発明は、請求項2または3記載の光電気複合配線基板において、前記保護層は、粘弾性材料によって形成されている。
【0044】
したがって、例えば、光配線層を含む基板を手や工具で挟んだ場合にも、挟まれたことによって発生する応力をこの粘弾性体部分によって吸収することができる。
【0045】
請求項13記載の発明は、請求項2または3記載の光電気複合配線基板において、前記保護層は、ガラス布またはガラス不織布と高分子材料との複合材料によって形成されている。
【0046】
したがって、例えば、ガラス−エポキシ複合材料、ガラス−ポリイミド複合材料あるいはガラス−ポリフェノールオキシド複合材料等、基板を形成する材料として通常用いられる材料との熱膨張率差を、保護層を形成する材料の選定によって小さくすることができる。
【0047】
請求項14記載の発明は、請求項1ないし13のいずれか一に記載の光電気複合配線基板において、前記光電変換素子と前記光配線とは、前記基板を間にして反対側に設けられている。
【0048】
ここで、光電変換素子を基板に実装する際には、ハンダリフロー工程等によって、基板が高熱に熱せられる。
【0049】
したがって、基板に対して光電変換素子を実装する工程と、基板に対して光配線を実装する工程とを別プロセスによって行い、基板に対して光電変換素子を実装した後に光配線を実装することができる。また、基板に対して光電変換素子を実装する工程によって基板が加熱される温度よりも低いガラス転移点を有する材料であっても光配線層を形成する材料として用いることができる。
【0050】
【発明の実施の形態】
本発明の第1の実施の形態について図1を参照して説明する。本実施の形態は、光電気複合配線基板への適用例を示す。
【0051】
図1は、本発明の第1の実施の形態の光電気複合配線基板を模式的に示す断面図である。図1に示すように、本実施の形態の光電気複合配線基板1は、基板2と、集積回路を組み合わせたマルチチップモジュール3とを備えている。
【0052】
基板2の一面側には、図示しない電気配線が設けられている。基板2を形成する材料は、一般用途としての電子基板としては、例えば、FR4に代表されるガラス−エポキシ複合材料、ガラス−ポリイミド複合材料、ガラス−ポリフェノールオキシド複合材料等を挙げることが可能である。実用上、低損失性、製造容易性、材料コスト等の観点から、基板2を形成する材料としては限られている。
【0053】
また、基板2を形成する材料としては、例えば、基幹光通信用途として用いられる石英導波路基板等を用いることも可能である。
【0054】
基板2の一面側には、光配線層4が設けられている。光配線層4は、高分子材料で形成されているコア5と、このコア5を狭持してコア5よりも屈折率が低い高分子材料で形成されている一対のクラッド層6(6a,6b)とによって構成されている。一対のクラッド層6のうち、上クラッド層6aはコア5に対して基板2とは反対側に設けられており、下クラッド層6bはコア5と基板2との間に設けられている。本実施の形態では、光配線層4を構成するコア5および上下クラッド層6a,6bによって光配線(光導波路)が実現されている。公知の技術であるため説明を省略するが、光配線は、光信号を伝達する機能を果たす。本実施の形態のコア5は、長さ50μmの光配線を形成した場合に、波長600〜1600nmの光通信帯の伝搬光に対して、数万というモードによる多モード光伝搬を生じる。
【0055】
このような光配線(光導波路)を形成する一般的な材料としては、例えば、エポキシ材料、アクリル材料、ポリフェノールオキシド材料、ポリイミド材料等を挙げることが可能である。これらの材料の多くは、100ppm以上の熱膨張係数を有している。
【0056】
光配線層4の一端部には、結合素子7が設けられている。結合素子7は、マルチチップモジュール3が備える受光素子8に対して光配線層4が伝達する光信号を高効率で受光させたり、マルチチップモジュール3が備える発光素子9から出力された光信号を光配線層4に高効率で結合させたりするための素子である。
【0057】
マルチチップモジュール3は、基板2の一面側に設けられている。本実施の形態のマルチチップモジュール3は、基板に対して、光配線層4が設けられている側と同じ側に設けられている。詳細は特に図示しないが、このマルチチップモジュール3は、少なくともひとつの光電気変換素子と、この光電気変換素子を駆動する電子集積回路とを含んでおり、光配線層4に対向する側の面には発光素子9と受光素子8とが設けられている。公知の技術であるため説明を省略するが、光電気変換素子は、電圧を印加している半導体等によって形成され、光を照射することで、光子が電子と正孔を形成する、もしくは、電子と正孔との再結合により光子を生成する電子素子である。本実施の形態の光電気変換素子は、フォトダイオードや半導体レーザ等のように、光を照射すると電流が流れる、あるいは、電流を流すと光を発生する電子素子を対象としている。本実施の形態では、発光素子9として面発光レーザが用いられている。なお、発光素子9としては、面発光レーザに限るものではなく、通常の半導体レーザダイオードや発光ダイオードを用いることも可能である。また、本実施の形態では、受光素子8としてフォトダイオードが用いられている。
【0058】
マルチチップモジュール3は、電子集積回路によって、光配線層4を介して伝達されて受光素子8で受光した光信号を電気配線に伝達したり、発光素子9を発光させたりする。
【0059】
マルチチップモジュール3は、基板2に設けられた電気配線に対してハンダバンプ10によって電気的に結合されている。これによってマルチチップモジュール3に対して電力供給がなされる。
【0060】
本実施の形態の光電気複合配線基板1では、光配線層4と基板2との間に、中間層としての密着層11が設けられている。密着層11の厚さとしては,1〜500μmが好ましく、より好ましくは10〜250μmである。密着層11の熱膨張係数としては、クラッド層6と同じ熱膨張係数またはクラッド層6の熱膨張係数と基板2の熱膨張係数との間に設定されていることが好ましい。
【0061】
密着層11は、上クラッド層6aあるいは下クラッド層6bとは異なる材料によって形成された層である。
【0062】
ここで、異なる材料とは、上クラッド層6aおよび下クラッド層6bとは物質的に異なる材料、あるいは、同じ材料であっても性質を特化した材料によって形成されている層であることを意味する。
【0063】
密着層11は、光配線層4の上側または下側のどちらか一方に設けられていてもよいし、両側に設けられていてもよい。この密着層11は、光配線層4の一部に設けるのではなく、同一面内において光配線層4が設けられる領域全域に亘って設けられていることが好ましい。
【0064】
密着層11は、光配線層4が設けられる領域全域に亘ってその平面が平坦化されるように設けられている。密着層11の光配線層4側の面は、基板2における光配線層4側の面の凹凸または面粗さを1/2以下とするように平坦化されていることが好ましい。特に、密着層11の光配線層4側の面は、基板2における光配線層4側の面の凹凸または面粗さを1/10以下とするように平坦化されていることが好ましい。
【0065】
そして、光配線層4が設けられる領域全域に亘ってこのような密着層11を設けることにより、特に、高分子とガラスとから形成される基板2に対して、この基板2と光配線層4との間での熱膨張係数差を光配線層4が設けられる領域全域に亘って小さくすることができる。
【0066】
密着層11を形成する材料としては、密着層11とクラッド層6とを一体化した場合の該層の膨張や熱による反り応力を、基板2の熱膨張または熱による反り応力によって相殺するような材料を選定することが好ましい。
【0067】
なお、本実施の形態では、光配線層4と基板2との間に密着層11を設けるようにしたが、これに限るものではなく、密着層11は、光配線層4の少なくとも一方の側に設けられていればよい。
【0068】
ところで、一般的なガラス−エポキシ材料を用いて基板2を形成した場合、この基板2の熱膨張係数は15−20ppmである。この基板2に対し、光配線層4を形成する高分子材料の熱膨張係数は、基板2の面方向における熱膨張係数が100ppm以上となる。この場合、100度の温度差がある場合、100mmの長さの基板配線では約1mm膨張する。
【0069】
すなわち、基板2を形成する材料と光配線層4を形成する材料との熱膨張係数差が不適切である場合には、反りが生じたり、また、反りが生じないとしても基板2と光配線層4とが剥離したり基板2に実装された受光素子8および発光素子9と光配線層4の結合素子7との間に位置ずれが生じたりして、結果として光配線層4における光配線の断線が生じてしまうことがある。
【0070】
このようなことから、基板2と光配線層4とは、同じ材料もしくは同じ熱膨張係数を有する材料を用いて形成することが好ましい。
【0071】
基板2と光配線層4との実効的な熱膨張係数を略一致させた場合、基板2と光配線層4とが剥離せず反りが生じなければ、受光素子8や発光素子9の位置ずれによる結合損失の増大を防止し,光結合効率を一定値とすることができる。ここで、略一致とは、熱膨張係数の差が好ましくは10ppm以内であり,より好ましくは5ppm以内である。
【0072】
しかしながら、光配線層4を形成する材料は低損失性,製造容易性,材料コスト等の点から、実際に用いることができる材料が限定されてしまう。
【0073】
また、基板2を形成する材料としても、上述したように、基幹光通信用途としては石英導波路基板が用いられているが、一般用途としての電子基板は、例えば、FR4に代表されるガラス−エポキシ複合材料,ガラス−ポリイミド複合材料,ガラス−ポリフェノールオキシド複合材料等に限定されてしまう。
【0074】
これに対し、本実施の形態では、下クラッド層6bに密着した密着層11を、下クラッド層6bとは別個に設けることにより、基板2に設けられる基板2とが別となる部材を厚くすることができ、互いの熱膨張係数の差に関係なく、クラッド層6および光配線層4全体の実効的な強度を増大することができる。これによって、基板2と光配線層4との間の熱膨張係数の差によって光配線層4が反って変形することを低減し、光配線層4の変形による光伝搬損失の増加を抑制することができる。
【0075】
また、密着層11とクラッド層6との一体複合層としての膨張または熱による反り応力を、基板2との熱膨張または熱による反り応力と相殺するように適切に材料選定することにより、基板2とクラッド層6との変形を低減し、これにより光伝搬損失増加を抑制することもできる。
【0076】
なお、基板2と光配線層4との実効的な熱膨張係数を略一致させた場合には、受光素子8および発光素子9の位置ずれによる結合損失の増大を防止し、光結合効率を一定値とすることができるので、数μmオーダで必要な実装された受発光素子の結合に対する信頼性を大きく向上することができる。
【0077】
ここで、熱膨張係数の差が20ppm以内である場合、配線長が100mmであれば基板2と光配線層4との長さのずれが100μmとなるので、250μmピッチで設けている受発光素子のレンズ等の光学素子結合によるクロストークの減少とその光結合効率の確保とが可能となり、さらに5ppm以内の場合には、約50μmのマルチモードの光配線への直接結合の場合においても結合効率に対する信頼性を確保することができる。
【0078】
なお、本実施の形態では、密着層11の熱膨張係数が、クラッド層6と同じまたはクラッド層6の熱膨張係数と基板2の熱膨張係数との間に設定されているため、基板2と光配線層4との実効的な熱膨張係数を略一致させることができない場合にも、基板2と光配線層4との熱膨張差による歪みを緩和することができるので、光配線層4の変形を抑制するこことができる。これによって、光配線層4に加えられる応力を緩和することができ、光配線層4内における光導波効率の損失を抑制することができる。
【0079】
なお、密着層11は、接着剤によって形成されてもよい。密着層11を接着剤によって形成することにより、基板2と光配線層4との密着性を向上させることができる。このとき、接着剤として光硬化剤を用いることにより、その硬度を増大させることも効果的である。これによって、光電気複合配線基板1の機械的強度をより向上させることができる。
【0080】
このような構造とすることにより、クラッド層6の性能劣化の危険性を効果的に回避することができる。
【0081】
また、コアを50μmとする光配線層4を基板2上に直接形成したした場合、波長600〜1600nmの光通信帯の伝搬光に対して、数万というモードによる多モード光伝搬が起こる。
【0082】
ここで、例えば、FR4によって形成された基板2を光電気複合配線基板1における基板2として用いる場合、銅の電気配線やドリル加工によるスルーホール部での変形あるいはガラスエポキシ樹脂のプレス不均一による厚さ不均一等によって、基板自体が表面に複数の種類の凹凸形状を有していたり、基板表面が光学材料としては粗面であったりする。
【0083】
高次モードの伝搬損失は、凹凸により生じたクラッド層の応力歪みや変形あるいは損傷等によってさらに増加する。
【0084】
またさらに、凹凸が50μm以上のホコリ等の異物による場合には,そのホコリによりクラッド層と同時にコア層が極端に変形されるために,光配線の断線も生じる。
【0085】
これに対して、本実施の形態では、密着層11の光配線層4側の面が平坦化されているため、光配線層4における光導波損失の増大を抑制することができる。また、密着層11の光配線層4側の面が平坦化されているため、従来のように、密着層11を高精度にパターンニングをする必要をなくすことができる。
【0086】
次に、本発明の第2の実施の形態について説明する。特に図示しないが、本実施の形態の光電気複合配線基板1は、図1に示す光電気複合配線基板1と同様の構造を有しており、図1における密着層11を形成する材料が第1の実施の形態と異なる。なお、第1の実施の形態と同一部分は同一符号で示し、説明も省略する。以下、同様とする。
【0087】
本実施の形態では、中間層としての密着層11が、粘弾性材料によって形成されている。粘弾性材料の弾性率は、103〜107dyn/cm2の範囲に設定されていることが好ましく、104〜106dyn/cm2の範囲に設定されていることがより好ましい。また、密着層11の厚さとしては、基板2における光配線層4側の面の凹凸または面粗さの2倍以上にすることが好ましく、10倍以上であることがより好ましい。なお、本実施の形態の密着層11における熱膨張係数は、上述の第1の実施の形態の密着層11を形成する材料と同様に設定されている。
【0088】
このように本実施の形態では、粘弾性材料によって形成される密着層11を有しているため、熱膨張係数の調整により光配線層4における実効的な熱膨張係数を変化させることに加えて、光配線層4と基板2との熱膨張差によって発生する応力を粘弾性によって吸収することができる。これにより、基板2や光配線層4の反りや剥離等による光導波損失の増大を防止することができる。
【0089】
また、密着層11を粘弾性材料によって形成することにより、光配線層4を含む基板2を手や工具で挟んだ場合にも、挟まれたことによって発生する応力をこの粘弾性体部分によって吸収することができるので、光配線層4を含む基板2を手や工具で挟んだ場合にも挟まれたことによって発生する応力によって基板2や光配線層4の反りや剥離等による光導波損失の増大を防止することができる。
【0090】
さらに、光配線層4側の面に凹凸がある基板2に対して、粘弾性材料によって形成される密着層11を介して光配線層4を設けることにより、密着層11における粘弾性材料が基板2の凹凸を吸収することができる。これによって、光配線層4の凹凸による変形や応力を低減し、光導波損失の増大を低減することができる。
【0091】
次に、本発明の第3の実施の形態について図2を参照して説明する。
【0092】
図2は、本発明の第3の実施の形態の光電気複合配線基板を模式的に示す断面図である。図2に示すように、本実施の形態の光電気複合配線基板20は、基板2の一面側に光配線層4が直接設けられている。本実施の形態の基板2には、光配線層4が設けられる側に図示しない電気配線が設けられている。
【0093】
光配線層4に対して、基板2とは反対側の面には、保護層としてのオーバーコート層21が設けられている。オーバーコート層21において、光配線層4中を伝達されて受光素子8に向かう光が通過する受発部分と、発光素子9で発光した光が光配線層4に向かう発光部分とには、光に対して透明であって光信号の伝達が可能な材料によって形成された窓22が設けられている。
【0094】
なお、本実施の形態では、オーバーコート層21において、受発部分と発光部分とに対して透明であって光信号の伝達が可能な材料によって形成された窓22を設けるようにしたが、これに限るものではなく、例えば、受発部分と発光部分とにオーバーコート層21を設けずに空間を確保し、光配線層4に対して発光素子9および受光素子8を露出させることによって形成した窓を設けるようにしてもよい。
【0095】
また、本実施の形態では、オーバーコート層21において、受発部分と発光部分とに窓22を設けるようにしたが、これに限るものではなく、例えば、オーバーコート層21自体を光に対して透明であって光信号の伝達が可能な材料によって形成するようにしてもよい。
【0096】
なお、オーバーコート層21は、窓22を形成する材料と同じ材質である必要はない。
【0097】
オーバーコート層21の厚さとしては、1〜500μmが好ましい。特に、オーバーコート層21の厚さとしては、10〜250μmがより好ましい。
【0098】
また、オーバーコート層21を形成する材料は、103〜107dyn/cm2に設定された弾性率を有することが好ましく、104〜106dyn/cm2に設定されていることがより好ましい。
【0099】
このように、オーバーコート層21を設けることにより、光配線層4が設けられる部分を厚くすることができ、光配線層4が設けられる部分の機械的な強度を向上させることができるので、外部の衝撃等から光配線層4を保護することができる。
【0100】
また、オーバーコート層21を設けることにより、基板2へのドリル加工や周囲の埃等による光配線層4の損傷を防止することができる。なお、オーバーコート層21を形成する材料としては、基板2と同じもしくは基板2以上の強度を持つ材料が好ましい。
【0101】
また、オーバーコート層21を設けることにより、光電気複合配線基板20を別部材に対して取り外したり取り付けたりする作業工程で、基板2同士の接触による光配線層4の変形や損傷を防止することができる。また、通常の光電気複合配線基板20の取り扱いに際して必要とされる慎重さを必要とせずに作業ができるので、作業性の向上を図ることができる。さらに、光電気複合配線基板20を素手で扱った場合に、水分や油分によって光配線層4が汚染されたり、触ることによる衝撃等によって光配線層4が損傷したりすることを防止することができる。
【0102】
ところで、250μm程度の厚さの光配線層が基板に直接接着されている場合、基板と光配線層との熱膨張係数の違いから光配線層における上クラッド層と下クラッド層との伸びが異なってコア部分にせん断力が加わることで変形もしくは断線が起こることがある。
【0103】
また、断線が起こらない場合にも、上クラッド層と下クラッド層との変形後の長さの差によって垂直であった端面に傾きが生じる。例えば、基板の熱膨張係数が20ppm程度に対して光配線層の水平方向の熱膨張係数が100ppm以上であり、基板配線長が100mmであると、10度の温度差でも、熱による長さの差は約100μmとなる。ここで、例えば、光配線層の厚さが250μmであれば、tan−1(100/250)=22度の傾きが生じる。光配線層同士の接続,光配線層と図示しない光ファイバとの接続において端面の傾きは,接続損失の大きな原因となる。このような端面の傾きは、光配線層と受光素子および発光素子との光結合での結合損失も増加させる。また、このようなコアとクラッド層との変形によって光配線層の損失増加にもなる。
【0104】
これに対し、本実施の形態のように、例えば、ガラスエポキシ材料等のような基板の熱膨張係数とほぼ同じ熱膨張係数を有する材料を上クラッド層6aに積層することにより、熱膨張係数の違いから生じる基板2の歪みを補償して、加熱による上下への光配線層4の反りを防ぐことができる。
【0105】
本実施の形態では、上述した第1の実施の形態における密着層11による熱膨張計数差の緩和とは異なり、光配線層4に対して、基板2とオーバーコート層21とが上下から同じだけの膨張を与えることにより、光配線層4の上下での光配線層4の歪みを補償することができる。
【0106】
このように、上下での歪による非対称性を抑制することにより、光配線層4の端面における傾きのずれを補償することができる。
【0107】
なお、本実施の形態における熱膨張係数の略一致とは、熱膨張係数の差が好ましくは10ppm以内であり、より好ましくは5ppm以内に設定されていることを意味する。
【0108】
基板2とオーバーコート層21との熱膨張係数を略同一(5ppm)とすることにより、例えば、光配線層4の厚さが250μmであれば、tan−1(5/250)=1度の傾きずれに抑えることができる。
【0109】
通常使われる基板2は、FR4に代表されるガラス−エポキシ複合材料,ガラス−ポリイミド複合材料,ガラス−ポリフェノールオキシド複合材料等の限られた材料であるため、熱膨張係数差を抑えるためには基板2と同質材料であることが好ましい。なお、本実施の形態では、コストや汎用性,加工の容易さから、基板2を形成する材料としてはガラスエポキシ複合材料を用い、オーバーコート層21を形成する材料としては特に好ましいガラスエポキシを用いる。
【0110】
さらに、オーバーコート層21を設けることにより、外部から加えられる衝撃を吸収することができるので、例えば、ドリル等を用いた基板2への加工によって生じるドリル粉やホコリ等による光配線層4の損傷を防止することができる。
【0111】
なお、本実施の形態では、オーバーコート層21を光配線層4の上部に積層するようにしたが、これに限るものではなく、光配線層4全体を封止するようにオーバーコート層21を設けるようにしてもよい。これによって、吸湿によって光配線層4材料の屈折率が変化することによる影響を除外することができ、光配線層4における光導波効率の長期安定性を図ることができる。
【0112】
ところで、フッ素化ポリイミドは、湿度の影響によって、屈折率が10−3オーダ変化し、0.5%の比屈折率差を生じさせる。このため、湿度の影響により設計値の光導波特性とは異なる光導波特性に変化して、光配線層4による光導波効率の信頼性が低下したり、長期間の吸湿によって光配線層4を形成する材料の劣化をもたらしたりする。このように、湿度による部分的な屈折率変化は,光配線層4が導波する光の損失増大の原因となる。
【0113】
これに対し、光配線層4をオーバーコート層21によって均一に覆うことにより、このような特性変化を防ぐことができる。
【0114】
次に、本発明の第4の実施の形態について図3を参照して説明する。図3は,本発明の第4の実施の形態の光電気複合配線基板を模式的に示す断面図である。本実施の形態の光電気複合配線基板30は、図1に示す密着層11と図2に示すオーバーコート層21とを備えている。密着層11とオーバーコート層21との熱膨張係数差は、10ppm以内に設定されている。
【0115】
密着層11およびオーバーコート層21は、光配線層4と異なる材料または別プロセスにより作製された層である。密着層11とオーバーコート層21とは、構成や材料を必ずしも同一とする必要はない。
【0116】
このように、基板2と光配線層4との間に密着層11を設け、光配線層4において基板2とは反対側にオーバーコート層21を設けて、光配線層4を上下で狭持することにより、基板2と光配線層4との熱膨張係数の差に起因する基板2の歪みを、密着層11とオーバーコート層21とによって上下から抑制することができる。
【0117】
また、密着層11とオーバーコート層21の熱膨張係数差を10ppm以内とすることで、光配線層4端部における傾きを抑制し、光配線層4同士の接続損失を抑制することができる。
【0118】
次に、本発明の第5の実施の形態について図4を参照して説明する。図4は,本発明の第5の実施の形態の光電気複合配線基板を模式的に示す断面図である。本実施の形態の光電気複合配線基板40は、それぞれ複数の層によって構成された中間層41および保護層42を備える点が、上述した第3の実施の形態の光電気複合配線基板30とは異なる。
【0119】
図4に示すように、本実施の形態の中間層41は、歪緩和層41aと密着層41bとによって構成されている。
【0120】
また、本実施の形態の保護層42は、オーバーコート層42aと耐吸湿層42bとによって構成されている。
【0121】
なお、本実施の形態では、各々複数の層によって構成される中間層41および保護層42を備える光電気複合配線基板40としたが、これに限るものではなく、中間層41あるいは保護層42のいずれか一方が複数の層によって構成されていてもよい。また、本実施の形態では、各々複数の層によって構成される中間層41および保護層42を備える光電気複合配線基板40としたが、これに限るものではなく、複数の層によって構成される中間層あるいは保護層のいずれか一方を備える光電気複合配線基板であってもよい。
【0122】
オーバーコート層42a、耐吸湿層42b、歪緩和層41aおよび密着層41bを形成する材料や各層の厚さは、それぞれの層の性能に応じて適宜調整し、オーバーコート層42a、耐吸湿層42b、歪緩和層41aおよび密着層41bを形成する材料を必ずしも同一の材料としたり、オーバーコート層42a、耐吸湿層42b、歪緩和層41aおよび密着層41bを必ずしも同一の層厚にしたりする必要はない。
【0123】
このように、中間層41や保護層42をそれぞれ複数の層によって構成することにより、それぞれの効果に最適な材料を選択的に利用できる。また、それぞれの材料に最適なプロセスを選定することができるので、信頼性の高い層を形成することができる。
【0124】
次に、本発明の第6の実施の形態について図5を参照して説明する。図5は,本発明の第6の実施の形態の光電気複合配線基板の実施形態を示す図である。図5に示すように、本実施の形態の光電気複合配線基板50においては、受光素子8および発光素子9を含むマルチチップモジュール3と、光配線層4とが、基板2を間にして互いに反対側に位置するように配置されている。
【0125】
基板2には、光配線層4によって光導波される光信号を受光素子8および発光素子9に結合させるために、光を透過させる貫通孔51が形成されている。
【0126】
光配線層4は、マルチチップモジュール3に対して、基板2の反対側に、基板2に対して直接設けられている。そして、この光配線層4に対して基板2と反対側には、保護層としてのオーバーコート層21が設けられている。
【0127】
なお、本実施の形態では、光配線層4に対して基板2の反対側にオーバーコート層21を設けるようにしたが、これに限るものではなく、基板2に対して光配線層4を密着層を介して設けるようにしてもよい。また、基板2に対して、密着層を介して設けた光配線層4にオーバーコート層を積層してもよい。
【0128】
ところで、基板2に対してマルチチップモジュール3を実装するハンダリフロー工程では、光配線層4が設けられた基板2を300℃まで加熱し、マルチチップモジュール3を実装する必要がある。このハンダリフロー工程においては、従来より、光配線層4を形成する材料と基板2を形成する材料との熱膨張係数差が顕著に表れ、光配線層4における光配線が断線したり光導波損失が増加したりすることがある。
【0129】
これに対し、本実施の形態では、マルチチップモジュール3と光配線層4とを基板2を間にして互いに反対側に配置することで、基板2に対するマルチチップモジュール3の実装と、基板2に対する光配線層4の実装とを別プロセスで行うことができるので、マルチチップモジュール3を基板2に実装するために光配線層4に対して発生する種々の悪影響を除外することができる。これによって、マルチチップモジュール3の基板2への実装後に光配線層4を実装することができ、マルチチップモジュール3を基板2へ実装するための加熱工程による光配線層4の劣化を抑制することができる。
【0130】
ここで、エポキシ材料は、光導波効率が低損失であるが、ガラス転移点が300℃以下であるため、従来では、ハンダリフロー工程に際して加えられる熱によって変形してしまうことが懸念されていた。
【0131】
これに対し、本実施の形態では、基板2に対するマルチチップモジュール3の実装と、基板2に対する光配線層4の実装とを別プロセスで行うことができるので、例えば、エポキシ材料等のように、ガラス転移点が300℃以下である材料を用いて光配線層4を形成することができる。これによって、光導波効率が低損失である等、光配線層4を形成する材料としてより適した材料を用いることができ、低損失光導波路をより効果的に実装することができる。
【0132】
【発明の効果】
請求項1記載の発明の光電気複合配線基板によれば、基板に対して光配線層を確実に固定するとともに、光配線層が設けられる部分を厚くすることができるので、光電気複合配線基板の機械的強度を向上し、基板に対する光配線層の密着不良による光配線の変形に起因する光導波損失の増大を抑制して、光導波性能の安定性を長期間に亘って確保することができる。
【0133】
請求項2記載の発明の光電気複合配線基板によれば、外部からの衝撃等から光配線層を保護するとともに、光配線層が設けられる部分を厚くすることができるので、光電気複合配線基板の機械的強度を向上し、外部からの衝撃による光配線層の変形に起因する光導波損失の増大を抑制して、光導波性能の安定性を長期間に亘って確保することができる。
【0134】
請求項3記載の発明の光電気複合配線基板によれば、基板に対して光配線層を確実に固定し、外部からの衝撃等から光配線層を保護するとともに、光配線層が設けられる部分を厚くすることができるので、光電気複合配線基板の機械的強度を向上し、基板に対する光配線層の密着不良による光配線の変形に起因する光導波損失の増大や外部からの衝撃による光配線層の変形に起因する光導波損失の増大を抑制して、光導波性能の安定性を長期間に亘って確保することができる。
【0135】
請求項4記載の発明によれば、請求項1または3記載の光電気複合配線基板において、光配線によって導波する光の光導波損失をより低減することができる。
【0136】
請求項5記載の発明によれば、請求項1または3記載の光電気複合配線基板において、例えば、基板への光配線層の密着性の向上と基板と光配線層との熱膨張率差の緩和という異なる複数の機能を一層の中間層に付与するためには、この中間層を形成する材料が限定されたりコストアップしたりすることが懸念されるが、それぞれ機能の異なる材料によって形成された複数の層によって構成されている多層構造を有する中間層とすることにより、複数の機能を有する中間層を容易に実現することができるので、光導波損失を抑制し、信頼性の高い光電気複合配線基板を提供することができる。
【0137】
請求項6記載の発明によれば、請求項1または3記載の光電気複合配線基板において、光配線層と基板との熱膨張差によって発生する応力を中間層によって吸収することができるので、基板や光配線層の反りや剥離等による光導波損失の増大を防止することができる。
【0138】
請求項7記載の発明によれば、請求項1または3記載の光電気複合配線基板において、例えば、ガラス−エポキシ複合材料、ガラス−ポリイミド複合材料あるいはガラス−ポリフェノールオキシド複合材料等、基板を形成する材料として通常用いられる材料との熱膨張率差を、中間層を形成する材料の選定によって小さくすることができる。
【0139】
請求項8記載の発明によれば、請求項1または3記載の光電気複合配線基板において、基板の熱膨張係数と光配線層全体での実効的な熱膨張係数とを一致させることができない場合にも、基板と光配線層との熱膨張差による歪みを緩和することができるので、光配線層に加えられる応力を緩和することができ、光配線による光導波効率の損失を抑制することができる。
【0140】
請求項9記載の発明によれば、請求項1または3記載の光電気複合配線基板において、基板の熱膨張係数と光配線層全体での実効的な熱膨張係数とを一致させることができない場合にも、基板と光配線層との熱膨張差による歪みを緩和することができるので、光配線層に加えられる応力を緩和することができ、光配線による光導波効率の損失を抑制することができる。
【0141】
請求項10記載の発明によれば、請求項2または3記載の光電気複合配線基板において、本発明の光電気複合配線基板に対して熱が加えられた場合に、基板を形成する材料と光配線層を形成する材料との熱膨張率差によって変形あるいは破損しようとする光配線層に対して、基板と保護層とによって上下方向(各層の積層方向の両側)から同様に膨張する力を加えることができるので、板を形成する材料に対する熱膨張率差による光配線層の歪みを補償することができる。
【0142】
請求項11記載の発明によれば、請求項2または3記載の光電気複合配線基板において、例えば、光配線層に対する外部衝撃からの保護と基板と光配線層との熱膨張率差による光配線層の変形抑制という異なる複数の機能を一層の保護層に付与するためには、この保護層を形成する材料が限定されたりコストアップしたりすることが懸念されるが、それぞれ機能の異なる材料によって形成された複数の層によって構成されている多層構造を有する保護層とすることにより、複数の機能を有する保護層を容易に実現することができるので、光導波損失を抑制し、信頼性の高い光電気複合配線基板を提供することができる。
【0143】
請求項12記載の発明によれば、請求項2または3記載の光電気複合配線基板において、例えば、光配線層を含む基板を手や工具で挟んだ場合にも、挟まれたことによって発生する応力をこの粘弾性体部分によって吸収することができるので、光配線層を含む基板を手や工具で挟んだ場合にも、挟まれたことによって発生する応力によって基板や光配線層の反りや剥離等による光導波損失の増大を防止することができる。
【0144】
請求項13記載の発明によれば、請求項2または3記載の光電気複合配線基板において、例えば、ガラス−エポキシ複合材料、ガラス−ポリイミド複合材料あるいはガラス−ポリフェノールオキシド複合材料等、基板を形成する材料として通常用いられる材料との熱膨張率差を、保護層を形成する材料の選定によって小さくすることができる。
【0145】
請求項14記載の発明によれば、請求項1ないし13のいずれか一に記載の光電気複合配線基板において、光電変換素子を基板に実装する際には、ハンダリフロー工程等によって、基板が高熱に熱せられるが、基板に対して光電変換素子を実装する工程と、基板に対して光配線を実装する工程とを別プロセスによって行い、基板に対して光電変換素子を実装した後に光配線を実装することができるので、基板に対して光電変換素子を実装することによって光配線層が劣化することを防止することができ、また、基板に対して光電変換素子を実装する工程によって基板が加熱される温度よりも低いガラス転移点を有する材料であっても光配線層を形成する材料として用いることができるので、光導波損失の低い材料をガラス転移点に左右されることなく選択することができ、光導波損失をより確実に低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態の光電気複合配線基板を模式的に示す断面図である。
【図2】本発明の第3の実施の形態の光電気複合配線基板を模式的に示す断面図である。
【図3】本発明の第4の実施の形態の光電気複合配線基板を模式的に示す断面図である。
【図4】本発明の第5の実施の形態の光電気複合配線基板を模式的に示す断面図である。
【図5】本発明の第6の実施の形態の光電気複合配線基板を模式的に示す断面図である。
【図6】従来の光電気複合配線基板の模式的に例示する断面図である。
【符号の説明】
1 光電気複合配線基板
2 基板
4 光配線層
11 中間層
20 光電気複合配線基板
21 保護層
30 光電気複合配線基板
40 光電気複合配線基板
41 中間層
42 保護相
50 光電気複合配線基板
Claims (14)
- 電気信号を伝達する電気配線が設けられた基板と、
前記基板に設けられて光信号を伝達する光配線を有する光配線層と、
前記電気配線に対して電気的に接続されて前記光配線が伝達する光信号を光電変換する光電変換素子と、
前記基板と前記光配線との間に設けられて前記基板と前記光配線層との密着性を向上させる中間層と、
を具備する光電気複合配線基板。 - 電気信号を伝達する電気配線が設けられた基板と、
前記基板に設けられて光信号を伝達する光配線を有する光配線層と、
前記電気配線に対して電気的に接続されて前記光配線が伝達する光信号を光電変換する光電変換素子と、
前記光配線層に対して前記基板とは反対側に設けられて前記光配線層を保護する保護層と、
を具備する光電気複合配線基板。 - 電気信号を伝達する電気配線が設けられた基板と、
前記基板に設けられて光信号を伝達する光配線を有する光配線層と、
前記電気配線に対して電気的に接続されて前記光配線が伝達する光信号を光電変換する光電変換素子と、
前記基板と前記光配線との間に設けられて前記基板と前記光配線層との密着性を向上させる中間層と、
前記光配線層に対して前記基板とは反対側に設けられて前記光配線層を保護する保護層と、
を具備する光電気複合配線基板。 - 前記中間層は、少なくとも前記光配線層側の面が平坦化されている請求項1または3記載の光電気複合配線基板。
- 前記中間層は、それぞれ機能の異なる材料によって形成された複数の層によって構成されている多層構造を有する請求項1または3記載の光電気複合配線基板。
- 前記中間層は、粘弾性材料によって形成されている請求項1または3記載の光電気複合配線基板。
- 前記中間層は、ガラス布またはガラス不織布と高分子材料との複合材料によって形成されている請求項1または3記載の光電気複合配線基板。
- 前記光配線層は、高分子材料によって形成されたコアとこのコアの外側に設けられて前記コアよりも屈折率の高い高分子材料によって形成されたクラッド層とを備え、
前記中間層は、前記クラッド層の熱膨張係数と同じに設定された熱膨張係数を有する請求項1または3記載の光電気複合配線基板。 - 前記光配線層は、高分子材料によって形成されたコアとこのコアの外側に設けられて前記コアよりも屈折率の高い高分子材料によって形成されたクラッド層とを備え、
前記中間層は、前記基板の熱膨張係数と前記クラッド層の熱膨張係数と間に設定された熱膨張係数を有する請求項1または3記載の光電気複合配線基板。 - 前記保護層は、前記基板の熱膨張係数と略同一の熱膨張係数を有する請求項2または3記載の光電気複合配線基板。
- 前記保護層は、それぞれ機能の異なる材料によって形成された複数の層によって構成されている多層構造を有する請求項2または3記載の光電気複合配線基板。
- 前記保護層は、粘弾性材料によって形成されている請求項2または3記載の光電気複合配線基板。
- 前記保護層は、ガラス布またはガラス不織布と高分子材料との複合材料によって形成されている請求項2または3記載の光電気複合配線基板。
- 前記光電変換素子と前記光配線層とは、前記基板を間にして反対側に設けられている請求項1ないし13のいずれか一に記載の光電気複合配線基板。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003198456A JP4231355B2 (ja) | 2003-07-17 | 2003-07-17 | 光電気複合配線基板 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003198456A JP4231355B2 (ja) | 2003-07-17 | 2003-07-17 | 光電気複合配線基板 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005037531A true JP2005037531A (ja) | 2005-02-10 |
JP4231355B2 JP4231355B2 (ja) | 2009-02-25 |
Family
ID=34208236
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003198456A Expired - Fee Related JP4231355B2 (ja) | 2003-07-17 | 2003-07-17 | 光電気複合配線基板 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4231355B2 (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008166798A (ja) * | 2006-12-31 | 2008-07-17 | Rohm & Haas Electronic Materials Llc | 光学的機能を有するプリント回路板の形成方法 |
JP2009088487A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | 印刷回路基板 |
JP2009145867A (ja) * | 2007-11-22 | 2009-07-02 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 光導波路、光導波路モジュールおよび光素子実装基板 |
WO2010023976A1 (ja) * | 2008-08-26 | 2010-03-04 | 住友ベークライト株式会社 | 光導波路、光導波路モジュールおよび光素子実装基板 |
WO2011122652A1 (ja) * | 2010-03-30 | 2011-10-06 | 三洋電機株式会社 | 太陽電池セル及び太陽電池モジュール |
US10877216B2 (en) | 2018-04-20 | 2020-12-29 | Fujitsu Limited | Optical waveguide substrate, method of manufacturing optical waveguide substrate, and method of repairing optical waveguide substrate |
WO2024063015A1 (ja) * | 2022-09-20 | 2024-03-28 | イビデン株式会社 | 配線基板 |
-
2003
- 2003-07-17 JP JP2003198456A patent/JP4231355B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008166798A (ja) * | 2006-12-31 | 2008-07-17 | Rohm & Haas Electronic Materials Llc | 光学的機能を有するプリント回路板の形成方法 |
JP2009088487A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | 印刷回路基板 |
US8159824B2 (en) | 2007-09-28 | 2012-04-17 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Printed circuit board |
JP2009145867A (ja) * | 2007-11-22 | 2009-07-02 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 光導波路、光導波路モジュールおよび光素子実装基板 |
WO2010023976A1 (ja) * | 2008-08-26 | 2010-03-04 | 住友ベークライト株式会社 | 光導波路、光導波路モジュールおよび光素子実装基板 |
WO2011122652A1 (ja) * | 2010-03-30 | 2011-10-06 | 三洋電機株式会社 | 太陽電池セル及び太陽電池モジュール |
US10877216B2 (en) | 2018-04-20 | 2020-12-29 | Fujitsu Limited | Optical waveguide substrate, method of manufacturing optical waveguide substrate, and method of repairing optical waveguide substrate |
WO2024063015A1 (ja) * | 2022-09-20 | 2024-03-28 | イビデン株式会社 | 配線基板 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4231355B2 (ja) | 2009-02-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5102815B2 (ja) | 光電気複合配線モジュールおよびその製造方法 | |
KR101287117B1 (ko) | 광전기 복합 배선 모듈 및 그 제조 방법 | |
US8078017B2 (en) | Method for manufacturing optical interface module and optical interface module | |
JP5439080B2 (ja) | 光i/oアレイモジュール | |
JP4704126B2 (ja) | 光モジュール | |
JP4043477B2 (ja) | 光伝送モジュール及びその製造方法 | |
JP5094860B2 (ja) | 光モジュール | |
JP2006091241A (ja) | 光電気複合配線部品及びこれを用いた電子機器 | |
JP2010286777A (ja) | 光電気配線フィルム及び光電気配線モジュール | |
WO2015002188A1 (ja) | 光モジュール用部材、光モジュールおよび電子機器 | |
JP4231355B2 (ja) | 光電気複合配線基板 | |
JP2012163739A (ja) | 光電変換モジュール、及び、光電変換モジュールの製造方法 | |
JP2013057720A (ja) | 光モジュール | |
JP2004177521A (ja) | 光電気複合回路基板 | |
JP5691368B2 (ja) | 光電気複合基板、回路基板および光電気複合デバイス | |
JP2011215547A (ja) | 送受信モジュール | |
JPWO2009001822A1 (ja) | 光モジュール | |
TW201525553A (zh) | 光電混合基板 | |
WO2012020532A1 (ja) | 光電気複合配線モジュールおよびその製造方法 | |
JP2018010030A (ja) | 光モジュール | |
JP6001327B2 (ja) | 光配線部品、光配線モジュールおよび光配線装置 | |
JP4290065B2 (ja) | 光モジュールおよびその製造方法 | |
KR100864962B1 (ko) | 평판 디스플레이용 연성 광 접속 모듈 및 그 제조 방법 | |
KR100874116B1 (ko) | 광전변환모듈 | |
JP6084024B2 (ja) | 光導波路装置及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20051021 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060621 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20060905 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20071226 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080610 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080808 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080826 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081024 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20081111 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20081205 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111212 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111212 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121212 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131212 Year of fee payment: 5 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |