JP6001327B2 - 光配線部品、光配線モジュールおよび光配線装置 - Google Patents

光配線部品、光配線モジュールおよび光配線装置 Download PDF

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Description

本発明は、例えばスーパーコンピュータまたはサーバー・ルータ等に用いられる光配線部品等に関するものである。
近年、情報分野における技術発展に伴うIPトラフィックまたは情報処理量の増加によって、大容量かつ高速のデータ伝送が行なわれるようになってきた。それに伴って、電子機器間または電子機器内のモジュールにおける配線の集積化が要求されている。これに伴ってノイズ対策等の課題も顕在化してきた。また、近年、省エネルギー化の流れから、例えばデータセンタに設けられるサーバ等の電子機器における消費電力の低減が求められている。そこで、電子機器内に設けられた複数の素子間の配線部品として従前の電気配線に代えて光配線を有する配線部品が用いられるようになってきた。
光配線部品は、光電変換素子の実装領域を有する絶縁基体と、絶縁基体内において光電変換素子の実装領域の直下位置に設けられた光スルーホールとを含んでいる。
特開2002−189137号公報
従来の光配線部品においては、実装基板の光伝送路との間の空間における光伝送特性が低下する可能性があり、実装基板の光伝送路との間における光伝送特性の向上が求められている。また、光配線部品においては、光スルーホールにおける光損失の低減も求められている。
本発明の一つの態様において、光配線部品は、光配線基板と、中継基板とを備えている。光配線基板は、光電変換素子の実装領域と光電変換素子に電気的に接続される電子素子の実装領域とを含む上面を有している第1の絶縁基体と、光電変換素子の実装領域の直下位置に配置されており第1の絶縁基体内において上下方向に設けられた、第1のスルーホール部が有する第1の光スルーホールとを含んでいる。中継基板は、第2の絶縁基体と、第2の絶縁基体内において上下方向に設けられた、第2のスルーホール部が有する第2の光スルーホールとを含んでおり、第2の光スルーホールが第1の光スルーホールに光学的に結合されるように光配線基板の下に設けられている。第1および第2の光スルーホールは、互いに異なるサイズを有しているとともに一方から他方へ光信号が入射される場合に光信号が入射される方のサイズが大きい。光配線基板および中継基板の間には、第1および第2の光スルーホール部よりも外側の位置に第1の接合部材が設けられている。第1および第2の光スルーホールの間には、少なくともサイズが大きい方の光スルーホールと同じサイズで透光性の第2の接合部材が設けられている。
本発明の他の態様において、光配線モジュールは、上記構成の光配線部品と、光配線部品の光電変換素子の実装領域に実装された光電変換素子とを備えている。
本発明の他の態様において、光配線装置は、上記構成の光配線モジュールと、光配線モジュールが実装された実装基板とを備えており、中継基板の第2の絶縁基体の熱膨張係数が、光配線基板の第1の絶縁基体の熱膨張係数と実装基板の熱膨張係数との間に含まれる。
本発明の一つの態様による光配線部品は、中継基板を備えていることによって、実装基板の光伝送路との間における空間を減少させて、空気による光信号の損失を低減させて、実装基板の光伝送路との間における光伝送特性を向上させることができる。また、本発明の一つの態様による光配線部品は、光配線基板の第1の光スルーホールと中継基板の第2の光スルーホールとが互いに異なるサイズを有しているとともに一方から他方へ光信号が入射される場合に光信号が入射される方のサイズが大きいことによって、サイズの小さな光スルーホールからサイズの大きな光スルーホールへ光を入射させるように用いることで、光配線部品内の光スルーホールにおける光損失の低減を図ることができる。なお、光配線基板と中継基板とを接合する際に多少の位置ずれが生じたとしても、互いにサイズの異なる光スルーホールを有していることによって、この位置ずれによる光伝送特性の低下を低減させることができる。また、第1および第2の光スルーホールの間に少なくともサイズが大きい方の光スルーホールと同じサイズで透光性の第2の接合部材が設けられていることによって、光伝送特性が向上する。
本発明の他の態様による光配線モジュールは、上記構成の光配線部品備えていることによって、光伝送特性が向上るとともに光損失の低減が図られる
本発明の他の態様による光配線装置は、上記構成の光配線モジュールと、光配線モジュールが実装された実装基板とを備えており、中継基板の第2の絶縁基体の熱膨張係数が、光配線基板の第1の絶縁基体の熱膨張係数と実装基板の熱膨張係数との間に含まれていることによって、熱膨張係数の差による光配線装置の変形が低減されて、光配線モジュールおよび実装基板の間における光伝送特性が向上る。
本発明の実施形態における光配線装置を示す分解斜視図である。 図1に示された光配線装置における光配線部品を示す縦断面図である。 図2に示された光配線部品において符号Aによって示された部分の拡大図である。 図3に示された第1および第2の光スルーホールを示す平面図である。 図4に示された第1および第2の光スルーホールの他の例を示す平面図である。 図3に示された第1および第2のスルーホールの他の例を示す縦断面図である。 図6に示された第1および第2の光スルーホールを示す平面図である。 図7に示された第1および第2の光スルーホールの他の例を示す平面図である。 光配線基板および中継基板の第1の接合構造例を示す縦断面図である。 光配線基板および中継基板の第2の接合構造例を示す縦断面図である。 光配線基板および中継基板の第3の接合構造例を示す縦断面図である。 図2に示された光配線部品の他の構造例を示す縦断面図である。
以下、本発明の例示的な実施形態について図面を参照して説明する。
図1および図2に示されているように、本発明の実施形態における光配線モジュールは、光配線部品1と、光配線部品1に実装された光電変換素子2および電子素子3とを含んでいる。図1において、光配線モジュールは、仮想のxyz空間に設けられており、以下便宜的に、図1において上方向とは仮想のz軸の正方向のことをいう。図1に示された例において、光配線モジュールは、実装基板100に実装されている。実装基板100は、光伝送路101およびモジュール実装用パッド102を有している。
光配線部品1は、光配線基板11と、光配線基板11の下に設けられた中継基板12とを含んでいる。
光配線基板11は、絶縁基体11a(以下、第1の絶縁基体11aともいう)と、絶縁基体11
a内に設けられた光スルーホール部11b(以下、第1の光スルーホール部11bともいう)と、絶縁基体11aの下面に設けられた複数の実装用パッド11cとを含んでいる。
絶縁基体11aは、光電変換素子2の実装領域11aと電子素子3の実装領域11aとを含む上面を有している。絶縁基体11aは、例えばアルミナ等のセラミックスから成る。絶縁基体11aの他の例としては、樹脂から成るものがある。図1において、光電変換素子2の実装領域11aおよび電子素子3の実装領域11aが二点鎖線によって仮想的に示されている。絶縁基体11aは、平面視において例えば矩形状を有している平板状のものである。
光スルーホール部11bは、絶縁基体11a内において上下方向に設けられており、平面視において光電変換素子2の実装領域11a内に配置されている。光スルーホール部11bは、列状に配置された複数の光スルーホールを有している。
図3に示されているように、光スルーホール部11bは、コア部11bおよびクラッド部11bを有しており、光スルーホール11b(以下、第1の光スルーホール11bともいう)は、コア部11bおよびクラッド部11bの界面によって構成される。コア部11bおよびクラッド部11bは、例えばガラスまたはポリマー樹脂等から成り、互いに異なる光屈折率を有している。コア部11bは、クラッド部11bによって囲まれており、クラッド部11bよりも大きな光屈折率を有している。
なお、光スルーホール部11bは、所望の波長の光が透過するポリマー樹脂が高反射率部材によってコーティングされた構造であってもよい。この構造の場合、光スルーホール11b は、ポリマー樹脂および高反射率部材の界面によって構成される。
光配線部品1が実装基板100に搭載された際に、光スルーホール部11bは、中継基板12
を介して実装基板100の光伝送路101に光学的に結合される。
複数の実装用パッド11cは、絶縁基体11aの下面に設けられており、例えば半田ボール等によって実装基板100のモジュール実装用パッド102に電気的かつ機械的に接続される。
中継基板12は、絶縁基体12a(以下、第2の絶縁基体12aともいう)と、絶縁基体12a内において上下方向に設けられたスルーホール部12b(以下、第2のスルーホール部12bともいう)とを含んでいる。
絶縁基体12aは、例えばアルミナ等のセラミックスから成る。絶縁基体12aの他の例としては、樹脂から成るものがある。絶縁基体12aは、平面視において例えば矩形状を有しているものである。
光スルーホール部12bは、絶縁基体12a内において上下方向に設けられており、列状に配置された複数の光スルーホールを有している。
図3に示されているように、光スルーホール部12bは、コア部12bおよびクラッド部12bを有しており、光スルーホール12b(以下、第2の光スルーホール12bともいう)は、コア部12bおよびクラッド部12bの界面によって構成される。コア部12bおよびクラッド部12bは、例えばガラスまたはポリマー樹脂等から成り、互いに異なる光屈折率を有している。コア部12bは、クラッド部12bによって囲まれており、クラッド部12bよりも大きな光屈折率を有している。
なお、光スルーホール部12bは、所望の波長の光が透過するポリマー樹脂が高反射率部材によってコーティングされた構造であってもよい。この構造の場合、光スルーホール12b は、ポリマー樹脂および高反射率部材の界面によって構成される。
中継基板12は、第2の光スルーホール12bが第1の光スルーホール11bに光学的に結合されるように光配線基板11の下に設けられている。中継基板12は、エポキシ樹脂またはポリイミド樹脂等の樹脂接合材によって光配線基板11の下面に接合されている。
ここで、第1の光スルーホール11bおよび第2の光スルーホール12bは、互いに異なるサイズを有している。
図4に示されているように、第1の光スルーホール11bおよび第2の光スルーホール12bが、平面視において円形状を有している場合、第1の光スルーホール11bおよび第2の光スルーホール12bのサイズS11およびS12とは、第1の光スルーホール11bおよび第2の光スルーホール12bの直径のことをいう。
図3および図4に示された構造は、第1の光スルーホール11bから第2の光スルーホール12bへ光信号が入射される場合に好ましく、第2の光スルーホール12bのサイズS12が第1の光スルーホール11bのサイズS11よりも大きい。
なお、図5に示されているように、第1の光スルーホール11bおよび第2の光スルーホール12bが、平面視において矩形状を有している場合、第1の光スルーホール11bおよび第2の光スルーホール12bのサイズS11およびS12とは、第1の光スルーホール11bおよび第2の光スルーホール12bの一辺の長さのことをいう。
また、第2の光スルーホール12bから第1の光スルーホール11bへ光信号が入射される場合は、図6に示されているように、第1の光スルーホール11bのサイズが第2の光スルーホール12bのサイズよりも大きいことが好ましい。
図7に示されているように、第1の光スルーホール11bおよび第2の光スルーホール12bが、平面視において円形状を有している場合、第1の光スルーホール11bおよび第2の光スルーホール12bのサイズS11およびS12とは、第1の光スルーホール11bおよび第2の光スルーホール12bの直径のことをいう。
なお、図8に示されているように、第1の光スルーホール11bおよび第2の光スルーホール12bが、平面視において矩形状を有している場合、第1の光スルーホール11bおよび第2の光スルーホール12bのサイズS11およびS12とは、第1の光スルーホール11bおよび第2の光スルーホール12bの一辺の長さのことをいう。
光電変換素子2は、送信機能を有する場合は例えば外部共振器型垂直面発光レーザ(VCSEL:Vertical Cavity Surface Emitting LASER)であり、受信機能を有する場合は例えばフォトダイオード(PD)である。
電子素子3は、送信機能を有する場合は例えばドライバ回路素子であり、受信機能を有する場合は例えばレシーバ回路素子(TIA:Trans Impedance Amplifier)である。
以下、光配線基板11と中継基板12との接合構造についてさらに詳細に説明する。
図9に示されているように、第1の接合構造例において、光配線基板11および中継基板12は接合部材13によって接合されている。接合部材13は、光配線基板11の光スルーホール部11bよりも外側の位置でありかつ中継基板12の光スルーホール部12bよりも外側の位置
に設けられており、光配線基板11の光スルーホール部11bと中継基板12の光スルーホール部12bとの間には空間1aが存在する。
第1の接合構造例において、光配線基板11の光スルーホール部11bと中継基板12の光スルーホール部12bとの間には、光が透過する空間1aが存在していることによって、光配線基板11の光スルーホール部11bから下方へ放射された光は、空間1aを通過して中継基板12の光スルーホール部12bに入射される。
なお、図9に示された第1の接合構造例において、空間1aと示されている部分を真空状態の領域としておいてもよい。この真空状態の領域は、光配線基板11と中継基板12との接合を真空チャンバー内で行うことによって実現される。第1の接合構造例において空間1aと示されている部分が真空状態である場合、光配線基板11と中継基板12との間における光伝送時の光損失が低減される。
図10に示されているように、第2の接合構造例において、光配線基板11および中継基板12は接合部材13および14によって接合されている。接合部材13(第1の接合部材)は、光配線基板11の光スルーホール部11bよりも外側の位置でありかつ中継基板12の光スルーホール部12bよりも外側の位置に設けられており、接合部材14(第2の接合部材)は、光配線基板11の光スルーホール部11bと中継基板12の光スルーホール部12bとの間に設けられている。
接合部材14は、透光性を有するものである。ここで、接合部材14の透光性とは、例えば光配線基板11の光スルーホール部11bから下方へ放射された光のうち少なくとも一部の波長が透過し得ることをいう。
図11に示されているように、第3の接合構造例において、光配線基板11および中継基板12は接合部材13、15および16によって接合されている。接合部材13(第1の接合部材)は、光配線基板11の光スルーホール部11bよりも外側の位置でありかつ中継基板12の光スルーホール部12bよりも外側の位置に設けられている。接合部材15(第2の接合部材)は、光配線基板11のコア部11bと中継基板12のコア部12bとの間に設けられており、接合部材16は、クラッド部11bと中継基板12のクラッド部12bとの間に設けられている。光スルーホール部11bと光スルーホール部12bとの間の光伝送特性を向上させるために、接合部材15は、接合部材16よりも大きい光屈折率を有している。
接合部材15は、透光性を有するものである。ここで、接合部材15の透光性とは、例えば光配線基板11のコア部11bから下方へ放射された光のうち少なくとも一部の波長が透過し得ることをいう。
なお、図9〜図11においては、中継基板12の光スルーホール12bのサイズが光配線基板11の光スルーホール11bのサイズよりも大きく、中継基板12の光スルーホール12bから光配線基板11の光スルーホール11bへ光が伝送されることに適している構造が示されているが、第1〜第3の接合構造例は、図6に示されているような光配線基板11の光スルーホール11bのサイズが中継基板12の光スルーホール12bのサイズよりも大きく、光配線基板11の光スルーホール11bから中継基板12の光スルーホール12bへ光が伝送されることに適している構造においても適用され得る。
本実施形態の光配線部品1は、中継基板12を有していることによって、実装基板100の
光伝送路101との間における空間を減少させることができ、実装基板100の光伝送路101と
の光学的結合の精度を向上させることができる。また、本実施形態の光配線部品1は、光配線基板11の光スルーホール11b と中継基板12の光スルーホール12b とが互いに異なるサイズを有していることによって、サイズの小さな光スルーホールからサイズの大きな光スルーホールへ光を入射させるように用いることが可能となり、光配線部品1内の光スルーホールにおける光損失の低減を図ることができる。
また、図12に示されているように、本実施形態の光配線部品1において、光配線基板11が、中継基板12の厚みに対応する高さを有する脚部11dをさらに含んでいてもよい。中継基板12の厚みに対応する高さとは、光配線部品1と実装基板100との間の光伝送特性を考
慮して、光配線部品1の実装基板100に対する水平精度を向上させるような高さのことを
いい、例えば中継基板12の厚みと同じ高さのことである。なお、光配線基板11は、複数の脚部11dを含んでいてもよい。
光配線モジュールは、例えば半田等の接合部材によって実装基板100のモジュール実装
用パッド102に電気的に接続され、中継基板12は、例えばエポキシ等の樹脂接合部材によ
って実装基板100に接合される。
光配線モジュールおよび実装基板100を含む光配線装置において、中継基板12の第2の
絶縁基体12aの熱膨張係数が、光配線基板11の第1の絶縁基体11aの熱膨張係数と実装基板100の熱膨張係数との間に含まれるものであると、光配線モジュールおよび実装基板100の熱膨張係数の差による光配線装置の変形が低減されて、光配線モジュールおよび実装基板100の間における光伝送特性が向上される。
なお、本実施形態における光配線部品においては、先に中継基板12を実装基板100に
固定しておいてその後に光配線基板11を中継基板12に固定する場合にも、光配線基板11の実装位置に多少の位置ずれが生じても、互いに異なるサイズの光スルーホールを有していることによって良好な光学特性が得られることから、実装位置(アライメント)に関しても光損失の低減が容易になる。
1 光配線部品
11 光配線基板
11a 絶縁基体(第1の絶縁基体)
11a 光電変換素子の実装領域
11a 電子素子の実装領域
11b 光スルーホール部(第1の光スルーホール部)
11b 光スルーホール(第1の光スルーホール)
11d 脚部
12 中継基板
12a 絶縁基体(第2の絶縁基体)
12b 光スルーホール部(第2の光スルーホール部)
12b 光スルーホール(第2の光スルーホール)
13 接合部材(第1の接合部材)
14、15 接合部材(第2の接合部材)
2 光電変換素子
3 電子素子
100 実装基板

Claims (4)

  1. 光電変換素子の実装領域と前記光電変換素子に電気的に接続される電子素子の実装領域とを含む上面を有している第1の絶縁基体と、前記光電変換素子の前記実装領域の直下位置に配置されており前記第1の絶縁基体内において上下方向に設けられた、第1のスルーホール部が有する第1の光スルーホールとを含む光配線基板と、
    第2の絶縁基体と、該第2の絶縁基体内において上下方向に設けられた、第2のスルーホール部が有する第2の光スルーホールとを含んでおり、該第2の光スルーホールが前記第1の光スルーホールに光学的に結合されるように前記光配線基板の下に設けられている中継基板とを備えており、
    前記第1および第2の光スルーホールが、互いに異なるサイズを有しているとともに一方から他方へ光信号が入射される場合に該光信号が入射される方のサイズが大きく、
    前記光配線基板および前記中継基板の間には、前記第1および第2の光スルーホール部よりも外側の位置に第1の接合部材が設けられており、
    前記第1および第2の光スルーホールの間には、少なくともサイズが大きい方の光スルーホールと同じサイズで透光性の第2の接合部材が設けられていることを特徴とする光配線部品。
  2. 前記光配線基板が、前記中継基板の厚みに対応する高さを有する脚部をさらに含んでいることを特徴とする請求項1に記載の光配線部品。
  3. 請求項1に記載された光配線部品と、
    該光配線部品の前記光電変換素子の実装領域に実装された光電変換素子とを備えていることを特徴とする光配線モジュール。
  4. 請求項3に記載された光配線モジュールと、
    該光配線モジュールが実装された実装基板とを備えており、
    前記中継基板の前記第2の絶縁基体の熱膨張係数が、前記光配線基板の前記第1の絶縁基体の熱膨張係数と前記実装基板の熱膨張係数との間に含まれることを特徴とする光配線装置。
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6506064B2 (ja) * 2015-03-25 2019-04-24 株式会社フジクラ 光中継器、及び、光コネクタ装置
US10852493B2 (en) * 2018-08-03 2020-12-01 Lumentum Japan, Inc. Optical subassembly and optical module

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7263248B2 (en) * 2003-02-11 2007-08-28 Avago Technologies Fiber Ip (Singapore) Pte. Ltd. Optical via to pass signals through a printed circuit board
JP4728857B2 (ja) * 2006-03-28 2011-07-20 古河電気工業株式会社 光結合器
JPWO2007114316A1 (ja) * 2006-03-30 2009-08-20 京セラ株式会社 光伝送基板およびその製造方法並びに光電子混載基板
JP5267426B2 (ja) * 2009-11-04 2013-08-21 住友ベークライト株式会社 光素子搭載基板、光電気混載基板および電子機器
JP2011247952A (ja) * 2010-05-24 2011-12-08 Furukawa Electric Co Ltd:The 光モジュール
US9360638B2 (en) * 2010-08-31 2016-06-07 Kyocera Corporation Optical transmission body, method for manufacturing the same, and optical transmission module
JP4937425B2 (ja) * 2010-08-31 2012-05-23 京セラ株式会社 光伝送基板および光伝送モジュールならびに光伝送基板の製造方法

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