WO2010008091A1 - 光学素子 - Google Patents

Abstract

光学素子は、基体と、基体表面に形成された、凸部または凹部である主構造体および副構造体とを備える。主構造体は、基体表面において複数列のトラックをなすとともに、可視光の波長以下の微細ピッチで周期的に繰り返し配列される。副構造体は、主構造体の大きさよりも小さく、主構造体間、主構造体の配列の空隙部、または主構造体の表面に設けられる。

Description

術分野

本 、 光学 子に関する。 し は、 または 部 らなる構 造 が表面に可視 の 長以下の ピッチで多数 置されてなる光学 子に関する。

来、 ガラス、 プラスチックなど を用 た光学 子にお ては、 光の表面 抑えるため 理が行われて るものがあ る。 この種の表面 理として、 光学 面に微細 な ( スアイ 蛾の目) を形成するものがある ( えば ンタク ト o 43 No (2００5) 3０ 637 ) 。

般に、 光学 面に周期的な 状を設けた場合、 ここを光が 透過するときには回折が発生し、 透過 の 分が大幅に減少する。 し し、 状のピッチが透過する光の波 よ も短 場合には回折 は発生 ず、 そのピッチ などに対応する単一 長の光に対して な反射 果を得るこ ができる。

光を用 て作製した スアイ としては、 微細なテ ト 状の スアイ (ピッチ 3０ 、 深 約4００ ) が開 示 れて る ( えば アド ス トテクノ ジ (株) 、

のな 反射 ( スアイ) 型原盤 、 on ne 、 2 2 2 7 、 イ タ ネッ h p key ech n a co p na o p d ００33 h ) 。 こ スアイ 、 例えば 下のよ にして作製されると考えられる。

まず、 S 上の ジス トに電子 録により タ を形成し、 ジス ト タ を スクにし、 S ッ チ グする。 これにより、 テ ト状を有する微細な (

3００ 、 深さ 4００ ) が 表面に形成され、 S 盤が作製される ( ) 。 この 細な構造 、 正方 子 状または六方 子状に設けられる。

のよ にして作製したS 盤では、 広 波長 を有する光に対 して反射 果を得ることができる。 特に、 に示すよ に、 テ ト状を有する微細な を六方 子状に設けた場合、 可 視 にお て高性能な反射 ( ) を得ることが できる ( 2 参照) 。 なお、 2 、 1 、 1 はそれぞれS 盤の の 、 タ 部の反 を示す。

次に、 作製したS 盤の め きスタ を作製する ( 3 ) 。 このスタン 面には、 4図に示すよ に、 S 盤の 造 は反対の 造が形成される。 次に、 このスタ を用 て、 ボ カ ボネ トの タ ンを転写する。 これによ り、 目的とする光学 ( ) が得られる。 この 子も高性能な 反射 ( ) を得るこ ができる ( 5 参照) 。 なお、 5 、 1 、 。はそれぞれ タ しの 、 タ りの を示す。

し し、 電子 作業時間が長 と 点を有しており 、 工業 的な生産には さな 。 録による タ 成や 光 できる面積は、 電子 ビ ムの 流量 ジス トの ド ズ量で決ま 。 えば、 一番 タ を描 きに ００ のビ ムで カ ック ア の 数 C 2のド ズ量を要求する ジス た場合、 24 しても一辺が 2００ の 方形を 塗り ぶ な 。 また、 角を露 するために 2 5 以上 て しま 、 ０ 下 イスの 光が限界と考えられる。

方、 それほどビ ムが太らな 2 のビ ムで、 S 6０

22のよ な ０ C 度以下で 光できる化学 ジス ト た場合、 間以下で2 角の正方形を描 こと ができる。 なお、 必要ド 量は基 ・ 件などで変わる。 般的 には には ド ズ量が向 て る。

し し、 この製法でも、 小型ディスプ イサイズを するには、 なり長 日数が必要で効率的でな 点がある。 えば、 現在、 一般的 に用 られて る小型ディスプ イの 帯電話 (2・ 5イ チ 5０ 8 X 38 ) の面 するには、 5０ 8 X 3 8

( ) 483・ 9 ( 2０ ) を要する。

業技術 合研究所 ( ) 用工学研究セ タ 、 ス テク ノ ジ チ ムは、 半導体 ザ ( 4 6 ) を用 た可視 ザ クラ ィ 熱 線形 料を組 み合わ た クラ ィ 術をもとにした 置の 発に成 功して る ( えば 政法人 業技術 合研究所、 ノメ タサ イズの 工を可能とする 上 置を開発 、 on ne 、 2 ０ 2 27 、 イ タ ネッ h a s go p a s _ P ess e ease p 2００6 p 2００6０3０6 P 2００6０3０6 h > ) 。

ディスク に高速で記録する 術の 発が進められ て る。 ステック 式会社は共同で、 ディス の ・ ス ト ・大面 術の 性を生 して、 高速に大 積で作製 でき、 か 価格化が可能な ノ メ タサイズの 細構造 ( スアイ ) の 発 置の 発に取り組んで る。 ザ クラ ィ と熱 線形 料を組み合わ た グラ ィ とは、 スポット内に生じた温度分布を利用する方法で ある。 光を物質に照射した場合、 その 質が光を吸収する性質を持 て ると、 光の ネ ギ は熱に変換される。 ズによ て集光された 光は基 上で ウス 布を持 た 度分布となり、 物質が光を吸収し て発熱する 同様な 度分布になる。

したが て、 光を吸収し発熱すると急激に変化する材料を光 質 として ると、 光のスポット 下の 細な 画を実現するこ が可 能となる。 この 法で ォト ジス ト中の微小な領域に、 熱化学反応 質 散によ り物質に体積 化を発生さ 、 クラ ィ を 、 ００ 下の や高アスペク ト 造の 困難であり 再現性にも難がある。 そこで、 新たな材料とプ セス 術が見直され、 ０ 下の アス ク ト 造物を確実に再現できる クラ ィ 術が開発され、 卓上 ノメ タサイズ して 成されて る。

この ノメ タサイ 、 回転系ステ ジ、 ステ ジ、 およびオ ト ォ カス ットで構成され、 ノメ タサイズの 画が実現されて る。 また、 画のための ザ ビ ムおよび 集光 ための 学系には、 波長4０5 の 導体 ザ 開口数 ( ) ０ 8 5の が用 られ、 装置が極めて ン ク に められて る。

6図に、 上記 成を有する装置を用 て作製した ドット タ を示す。 の 、 速 6 S ～3 6 ) で回転さ ながら 色の ス ザ 光を照射し 画して得られたも のである。 また、 上記 ザ 光を 6 Zの ス 波数で 駆動し、 ビ ムスポットの 6分の 下の 5０ のドット タ を 6００ ドット Sの 度で作製できる。 常の 描画 置など の 度が0・ 2 S 度なので、 上記 3０倍も高速で ノ メ タサイ 細構造を作製できることになる。 また、 本 法と半導 体プ セスで利用されるドライ チング 術を融合させて、 直径 ０ ０ 、 深さ 5００ 上の ノホ 造物を光ディスクサイ (

) の 面に作製すること も可能である。 このよ に、 上記 置によ て、 ノメ タサイ の タ を持 イ プ ト用の鋳型を大面積で 高速に安価に作製することが可能にな て る。

また、 7図は、 直径 の S ディスク に光

能を有する微細構造を作製し、 光の反 を低減さ た例である。

造を高速・大面 ・ 価で作製することができるが、 反 射 2 あり 、 造ではな 造にな て る。

造にな て る原因として、 上記 ノホ の () が低 ( ) 、 ノホ 外の 面の ネ 射が大き ためと考えられる。 これに対して、 および に示すよ に、 テ ト状の 造を六方 子状に最 成すると、 果が実現される。 明の

明が解決しよ とする課題

上述したよ に、 電子 録による タ ン 成や 、 電子 ビ ム 流量 ジス トの ド ズ量で決まる。 し し、 2 のビ ムで ００ C 2

C 度以下で 光できる化学

ジス トを した場合でも、 2・ 5イ チの するためには、 2０日 もの 間を要する。 すなわち、 電子 光には、 小型ディス イサイズを するにも、 なり長 日数が必要で効率的でな 点 がある。 また、 たとえ 時間を けて作製した反射 イスにお ても、 従来の の 状では、 反射 能の 界がある。

また、 半導体 ザ ( 4０6 ) を用 た可視 ザ クラフィ と熱 線形 料を組み合わせた クラ ィ 術を もとにした、 ディス の ・ ス ト・大面 術の 性を生 して、 高速に大 積で作製でき、 価格化が可能な ノメ タサ イ の 細構造 ( スアイ ) 、 反射 2 あ 、 造ではな 造である 点がある。

また、 2 タ が空間的に クするよ に、 Fo a ene a o と o a on T ans a on on o e とを同期させ 号を発生し C で 切な ピッチで タ グすることによ り 全な六方 子を形成するこ ができるが、 格子定数 34０ 、 4００ 、 外周 46０ 変化するため、 、 外周では、 格子定数 ( ピッチ) が大き 、 可視 が回折してしま 、 スアイ 果 が得られな なると 点がある。

したが て、 明の 、 生産性が高 、 優れた反射 性を 有する光学 子を提供することにある。 題を解決するための

上 の 題を解決するために、 、

、

表面に形成された、 または である および を備え、

、 表面にお て複数列のトラックをなすと と もに、 の 長以下の ピッチで周期的に繰り返し れ、

、 の き よ り も小さ 光学 子である。

このとき、 の 、 微細な 状である によ て 続するよ に形成することが好まし 。 ここで、 、 子状または 子状、 もし は四方 子状または 子状 に配置され、 この 子配置にお て の 接する部分が によ て 続されるこ が好まし 。

また、 の よ り も高 空間的な 波数 分を持 を形成することが好まし 。 この 合、 副 の 波数

の 波数 分よ り も 2 以上とすることが好まし 、 らに好ま し は4 以上 する。 また、 このとき、 の 波数 、 の 波数の 数次 ならな よ に選択することが好まし 。 を配置する際に、 に空隙が生まれる場合は、 その 埋めるよ 形で、 の 成を行 ことが好まし 。 また、 の 面に を設けてもよ 。 このとき、 の は ～ 5 度であることが好まし 。

また、 および よ り 折率の 材料によ て を 形成することが好まし 。 この 合、 副 を主 の や表 面に形成することが好まし 。

明にお て、 を四方 子状または 子状に周期的 に配置することが好まし 。 ここで、 四方 子とは、 角形状の 子 のことを 。 子とは、 角形状の 子 は異なり、 んだ 角形状の 子のこ を 。

えば、 が直線上に配置されて る場合には、 子と は、 角形状の 子を直線状の ( トラック ) に引き伸ば して ませた四方 子のことを 。 弧状に配列されて 場合には、 子とは、 角形状の 子を 弧状に ませた四 方 子を 。 または、 角形状の 子を直線状の (トラッ ク ) に引き伸 して ませ、 、 円弧状に ませた四方 子 こ を 。

明にお て、 を六方 子状または 子状に周期的 に配置することが好まし 。 ここで、 六方 子とは、 正六角形状の 子 のことを 。 子とは、 正六角形状の 子とは異なり、 んだ 正六角形状の 子のことを 。

えば、 が直線上に配置されて る場合には、 子と は、 正六角形状の 子を直線状の (トラック ) に引き伸ば して ま た六方 子のことを 。 弧状に配列されて る場合には、 子とは、 正六角形状の 子を 弧状に ま た六 方 子を 。 または、 正六角形状の 子を直線状の (トラッ ク ) に引き伸ばして ま 、 、 円弧状に ませた六方 子のこ とを 。

明にお て、 の 、 形状、 または円形状で あるこ が好まし 。 ここで、 には、 数学的に定義される完全な のみならず、 多少の みが付与された ( 卵形など) も含ま れる。 円には、 数学的に定義される完全な円 ( ) のみならず、 多少 の みが付与された円も含まれる。

明にお て、 6 となる方位 は、 6０ X ( 、 ～6の ) の 位のことを意味する。 また、 ほぼ6 となる方 。 位 は、 (6０ X ) ( 、 ～6の 数、 は、

。 。 。

6 、 好まし は 3 8 6 ) の 位を意味する。

明にお て、 4 なる方位とは、 9０ X ( 、 ～4の ) の 位のことを意味する。 また、 ほぼ4 となる とは、 (9 X ) ( 、 4の 数、 6は、 。

0 。 ) の 位を意味する。

明では、 複数列のトラックをなすと と もに、 可視 の 長以下の ピッチで周期的に繰り返されるよ に を基 表面に配 ると と もに、 の きさよ り も小さ を基 表面に形成 して るので、 従来よ り も高性能な反射 性をも た光学 子を得 ることができる。 明の

上 明したよ に、 明によれば、 生産性が高 、 優れた反射 性を有する光学 子を実現できる。 面の 単な説明

、 は、 従来の S 盤の 成を示す である。 2図は、 従来の S 盤の の を示すグラ である 3図は、 従来の S 盤の め きスタ の 成を示す 略図 である。

4図は、 3図に示した め きスタ を拡大して 真で ある。

5図は、 従来の 子の の を示すグラ である 6図は、 従来の 置を用 て作製した ドット タ ンを示す 真である。

7図は、 直径 の S ディスク に光 能を 有する微細構造を作製し、 光の反 を低減させた例を示すクラフで 。

8 は、 明の 態に係る光学 子の 成の 例を 面図、 第8 は、 8 に示した光学 子の 部を拡大 して表す 面図、 第8 Cは、 8 Bのトラック 3、 ・ ・ ・ における 面図、 第8 は、 8 Bのトラック 2 4、 ・ ・ ・ における 面図である。

9図は、 8 に示した光学 子の 部を拡大して表す で ある。

０ 、 ０ は、 の 置 例を示す 略図であ る。

は、 スタの 成の 例を示す 、 第

は、 に示した スタの 部を拡大して表す 面図であ る。

2図は、 露光 置の 成の 例を示す 略図である。

3 ～ 3 Cは、 明の 態に係る光学 子 の 法の 例を説明するための である。

4 ～ 4 Cは、 明の 態に係る光学 子 の 法の 例を説明するための である。

5 は、 明の 2の 態に係る光学 子の 成の 例 を示す 面図、 第 5 は、 5 に示した光学 子の 部 を拡大して表す 面図、 第 5 Cは、 5 Bのトラック 、3、 ・ ・ ・における 面図、 第 5 は、 5 のトラック 2 4、 ・ ・ ・における 面図である。

6 は、 デイスク スタの 成の 例を示す 、 第 6 Bは、 6 に示したディスク スタの 部を拡大して表す 面図 である。

7図は、 露光 置の 成の 例を示す 略図である。

8 は、 明の 3の 態に係る光学 子の 成の を示す 面図、 第 8 は、 8 に示した光学 子の 部 を拡大して表す 面図、 第 8 Cは、 8 の ラック 、 3、 ・ ・ ・における 面図、 第 8 は、 8 Bのトラック 2 4、 ・ ・ ・における 面図である。

g は、 明の 4の 態に係る光学 子の 成の 例 を示す 面図、 第 g は、 g Aに示した光学 子の 部 を拡大して表す 面図、 第 g Cは、 g Bの ラック 、 3、 ・ ・ ・における 面図、 第 g は、 g Bのトラック 2 4、 ・ ・ ・における 面図である。

2０ は、 明の 5の 態に係る光学 子の 成の 例 を示す 面図、 第2０ は、 2０ に示した光学 子の 部 を拡大して表す 面図、 第2０ Cは、 2０ のトラック 、 3、 ・ ・ ・における 面図、 第2０ は、 2０ Bの ラック 2 4、 ・ ・ ・における 面図である。

2 図は、 実施 の 子の S 真である。

22図は、 実施 3の 子の 性を示すグラフである。 2 3図は、 実施 2の 子 S 真である。

24 、 24 は、 実施 4の 子のS 真である 2 5図は、 実施 5の 子の S 真である。

26 は、 実施 5の 子の 、 26 は、 2 6 に示した 像の断面プ ァイ を示す。

27図は、 試験 ョ 果を示すグラフである。 28図は、 試験 2の ョ 果を示すグラフである。 29図は、 試験 3 ョ 果を示すグラ である。 3０図は、 試験 4のシ ョ 果を示すグラフである。 3 図は、 試験 5の ョ 果を示すグラフである。 明を実施するための 良の

下、 本 明の 態に て 面を参照しながら 明する。 なお 下の 態の 図にお ては、 同一または対応する部分には同一の 号を付す。

( )

( ) 子の

8 は、 明の 態に係る光学 子の 成の 例を 示す 面図である。 8 Bは、 8 に示した光学 子の を拡大して表す 面図である。 8 Cは、 8 のトラック

3、 ・ ・ ・における 面図である。 8 は、 8 Bのトラック 2 4、 ・ ・ ・における 面図である。

この は、 ディスプ イ、 ク ト クス、 光通信 ( ァイ ) 、 太陽電池、 照明 置など の イスに適用して なものであり 、 例えば、 可視 の を有する光の反 止に好適 な反射 板に適用 能である。 また、 人射光の 角に応 じた を有する光学フィ およびこの ィ を用 た ッ クライ ト 置に適用 能である。

は、 2 、 この 2の 面に形成された、 であ 3および 4とを備える。 この 、 2 を 8図の 向に透過する光に て、 3とその 囲の 気 の 面における反射を防止する機能を有して る。 ここで、 可視 の 長以下とは、 4００ 下の 長を示す。

下、 光学 を構成する 2、 3、 および f 4 に て 明する。

( ) 2は、 透明性を有する である。 2の 料としては、 例えば、 ボ カ ボネ ト ( C) ポ チ ンテ タ ト (P ) などの 明性合成樹脂、 ガラスなどを主成分 するものが挙げら れるが、 特にこれら 料に限定されるものではな 。 2の 状と しては、 例えば、 ィ ム 、 ト 、 プ ト 、 ック状を挙 げることができるが、 特にこれらの 状に限定されるものではな 。

2の 、 ディスプ イ、 ク ト クス、 光通信、 太陽電池 置など 定の 能が必要と される各種 イスの 体部分や、 これらの イスに取り付けられる トまたは ィ 状の反 品の 状などに合わせて選択 定することが好ま

( )

3は、 底面が長軸と短軸をも 形、 長円形または の 体構造で、 が曲面である 錐形状、 もし は、 底面が長軸と短 軸をも 形、 長円形または の 体構造で、 が平坦である 形状であることが好まし 。 このよ な形状にする場合、 主 3の 面の 向が トラックの 方向 (X ) となるよ に、 3を 表面に形成することが好まし 。 なお、 本明細書中に お て、 トラックの 方向をトラック 向 する場合もある。

3は、 例えば、 2の 面に である 3が可視 の 長と同 度のピッチで周期的に多数 置されて る。

の 3 、 2の 面にお て複数列のトラック 2 3 ・ ・ ・ ( 称して トラック と も 。 ) をなすよ な 配置 態を有する。 ここで、 トラック とは、 3が列をなして 状に連な た部分のことを 。 また、 向 は、 2の にお て、 トラックの 方向 (X ) に する方向 (Y ) ことを 。

。 明細書にお て、 配置ピッチP 、 配置ピッチP 2、 および 、 チP 3は以下のピッチを意味する。

ピッチP トラックの 方向 (X ) に配列された

3の ピッチ

ピッチP 2 トラックの 方向に対して 0 向に配列された 3の ピッチ

ピッチP 3 トラックの ピッチ

3は、 隣接する 2 のトラック 間にお て、 ピッチ 位置に配置されて る。 体的には、 隣接する 2 のトラック 間に お て、 方の ラック ( えば に配列された 3の

( ピッチずれた位置) に、 他方のトラック ( えば 2) の 3が配置されて る。 その 果、 第8 に示すよ に、 隣接する 3列のトラック ( ～ 3) 間にお て a ～a 7の に主

3の 心が 置する六方 タ または タ を形成 するよ に 3が配置されて る。 ここで、 タ とは、 正六方 タ 異なり、 トラックの 方向 (X ) に 引き伸ばされ んだ タ を意味する。

3が タ を形成するよ に配置されて る 合には、 8 Bに示すよ に、 同一トラック ( えば ) 内におけ る 3の ピッチP ( a ～a 2 距離) は、 隣接する 2 トラック ( えば および 2) 間における 3の ピッ チ、 すなわちトラックの 方向に対して 8 向における 3の ピッチP 2 ( a ～a 7 a 2～a 7 距離) よ り も長 な て る。 このよ に 3を配置することで、 3の 度の なる向上を図れるよ になる。 3 ( ) は特に限定されず、 透過さ る光の波 域に応じて 定され、 例えば2 3 6 ～45０ 度の 囲に 設定される。 3の スペク ト ( ピッチP) は、 0・ 8 ～ 46の 囲に設定することが好まし 、 よ り好まし は ０ ～ ・ 28の 囲である。 0・ 8 である と反射 およ び 性が低下する傾向にあり 、 ・ 46を超えると光学 の にお て 性が低下し、 プ カの 取れな なる 傾向がある らである。

また、 3の スペク ト比は、 反射 性をよ り向上さ る観点 らする と、 0・ 94～ ・ 46の 囲に設定することが好まし 。 ま た、 3の ス ク ト比は、 透過 性をよ り向上さ る観点 ら すると、 0・ 8 ～ ・ 28の 囲に設定することが好まし 。

なお、 明にお て スペク 比は、 以下の ( ) によ り 義さ れる。

スペク ト P ・ ・ ・ ( )

、 3の 、 P ピッチ ( ) ここで、 平均 ピッチPは以下の (2) によ り 義される。

ピッチP ( P 2 P 2) 3 ・ ・ ・ ( 2) 、 P トラックの 方向の ピッチ (トラック 方向 ) 、 P 2 トラックの 方向に対して 0 ( 、 0 6０

。 。

、 ここで、 6は、 好まし は0 6 、 よ り好まし は 3 。

6。 ) の ピッチ (０ )

また、 3の は、 3の 向の さ する。

3のトラック 方向の は、 向の さよ り も小さ 。 、 3 以外の 分、 または 3のトラック 方向 外の 分における高さは 向の さ とほぼ同一である。 このため、 3の さを 向の さで代表する。 、 3が で ある場合、 上記 ( ) における 3の は、 3の とする。

3は する 状のも に限らず、 2の 面に形成 した で構成されて てもよ 。 3の は特に限定されず えば42 度、 具体的には 236 ～45０ である。 な お、 3を 状とした場合には、 3の さ となる。

このよ 3は、 反射 止 能を考えると深さ ( ) 向に 対する 折率 化が、 滑ら に変化して ることが好まし 。 たとえば 面で 成した または 形状では、 深さ 向に対して zの 次で屈折率が変化し、 滑ら に屈折率を変えることができる。 ま た、 この き、 3の 上部の 状が先鋭でな ため、 実用上の 耐久性として、 十分なものが得られる。 3の 状が、 円錐形状 や 角錐形状のものは、 深さ 向に対してzの 屈折率が変化する が、 この 、 3の 上部の 状が先鋭となり 久性が悪化 し、 また、 長波長側での を悪化させる方向であるため、 z )が 放物 の 化 錐曲面 の 化との 間で変化するよ 折率 プ ァイ であることが好まし 。 のよ 錐形状や 形状で、 4を設けたものは、 このよ なだら な 折率 ァイ を達成することができるため、 十分な 久性を併せ持ち、 優 れた反射 性を得ることができる。

8図では、 3は、 それぞれ 一の 状を有して るが、 3の はこれに限定されるものではな 、 表面に 2 以上 の形状の 3が形成されて てもよ 。 また、 3は、 2 一体的に形成されて てもよ 。

なお、 3の スペク ト比は全て同一である場合に限らず、 3が一定の ( えば スペク ト ・ 8 3 ・ 46 度の ) をも よ に構成されて てもよ 。 布を有する 3を設けることで、 反射 性の を低減することができる したが て、 優れた反射 性を有する光学 実現することが できる。

ここで、 高さ 布とは、 2 以上の高 ( ) を有する 3 が 2 面に設けられて ることを意味する。 すなわち、 基準とな る高さを有する 3と、 この 3とは異なる高さを有する

3とが 2の 面に設けられて ることを意味する。 準と は異なる高さを有する 3は、 例えば 2の 面に周期的また は 期的 (ラ ダム) に設けられて る。 その の 向としては 例えば ラックの 方向、 向などが挙げられる。

( )

4は、 3よ り も低 高さを有する構造 、 例え である。 また、 4の さは、 屈折率を考慮した 、 用 る波長の 4 度以下であれば 止の 能に寄与し、 例えば、 ～ 5０ 度である。 4の 料としては 例えば、 2および 3の 料と同一の 料を用 ること もで きるが、 2および 3よ り 折率の 材料を用 るこ が まし 。 をよ り低減することができる らである。 また、 上述 の 、 主として 3 4が凸の場合を述 たが、 逆の場合であ ても まわな 、 3 4が んだ 状態であ てもよ 。 さらには、 3 4の

の 係が、 さ さまにな て るよ にしてもよ 。 体的には、 3が である場合には、 4がそれとは反対に であり 3が である場合には、 4がそれとは反対に あるよ にしてもよ 。

4は、 例えば 3間に設けられる。 体的には、 は 3の に設けられ、 この に設けられた 4によ り 3間が接続されることが好まし 。 このよ にすることで、 3の を向上 ることができる。 また、

4の 間的 波数 、 3の 期 ら 算される周 波数 分より高 ことが好まし 。 体的には、 4の 間的 波数 、 3の 期 ら 算される周波数 分の 2 以上で あることが好まし 、 4 以上であるこ がさらに好まし 。 このよ

4の 波数 、 3の 波数 分の 数倍 とならな こ が好まし 。

4は、 4の 成しやすさの 点 ら、 8 に示 したよ に、 錐形状または 形状などの 3が 接す る ● の 置に配置されることが好まし 。 このよ に配置す 場合、 副 4は、 3の てに形成する、 もし は

2などのトラック 方向のみに形成するよ にしてもよ 。 3が六方 タ または タ に周期的に配 置されて る場合には、 例えば、 3が 6 となる方位で 接する。 この 合、 隣接 4が設けられ、 この 4に よ り 3間が接続されるこ が好まし 。 また、 充填 を向上さ せる観点 ら、 8 に示した、 3間の空 2 aに

4を形成することが好まし 、 3の と空隙M の 方に 4を形成するよ にしてもよ 。 なお、 4を形成 する 、 上述の例に特に限定されるものではな 、 3の 面 体に 4を形成するよ にしてもよ 。

また、 反射 および 性の 上の観点 らすると、 4 の 面に、 微小な および の な と も 、 例えば 小な 4 aを形成することが好まし 。

また、 反射 能が良好で波長 が少な 光学 を得るには、

4の 小な または 、 3の よ り も短 、 周波の 間的 波数 分を有するよ に形成されることが好まし 。 えば、 9図に示したよ に、 微小な とを有する、 波打 た微小な 4 aであることが好まし 。 小な aは、 例え 、 後述する光学 子の 程におけるR (Reac ve on E ch g) など チ グの 件や、 原盤の 料を適 択することにより 成することができる。 体的には、 原盤の 料としては、 イ ツク スガラスを用 ることが好まし 。

述の例では、 4を設ける場合を説明したが、 た えば、 錐形状や 形状を用 、 3の する部分にお て、 3 4 度以下の 部の 分が、 周期よ り も大き 状であるよ な構造を用 ても まわな ( ０ 、 ０

) 。 すなわち、 4を設ける わりに、 隣接する 3 の 士を重ね合わせる構造としてよ 。 また、 このときの

3の としては、 8 に示したよ な 形状のものであること が好まし 。 このよ にすることで、 接合 所を 6 所に増やして 率を上げることができる。 また、 構造 の 上部 ら 向に進むに 従 て、 滑ら に屈折率プ フアイ を変化させることができる。

なお、 隣接する 3の 士を重ね合わ 、 か 、 2の 面に 4を形成するよ にしてもよ 。

( 2) スタの

図は、 上述の 成を有する光学 子を作製するための

スタの 成の 例を示す。 図に示すよ に、 スタ は、 柱状 2の 面に である 3が可視 の 長と同 度のピッチで多数 置された構成を有して る。 3は、 面に である 3を形成するためのも である。 また、 するが、 円柱状の 2の 面には、 3よ り も である が形成されて る。 この 、 面に である 4を形成するためのものである。 4は、 例 えば、 錐形状または 形状などの 3が 接する ● の 置に配置されることが好まし 。

2の 、 例えばガラスを用 ることができるが、 この に特に限定されるものでははな 。 述する 置を用 2 タ が空間的に ク 、 トラック毎に極性反転 オ ッタ 号と記録 置の ト を同期させ 号を発生し、 C で 切な ピッチで タ グするこ によ り、 六方 タ または タ を記録することができる。 性反転 オ ッタ 号の 波数 の を適切に設定することによ り、 所 望の 域に空間 波数が一様な タ を形成する。

( 3 ) 子の

、 2 ～ 4図を参照しながら、 上述 成を有する光学 子の 法の 例に て説明する。

の 態に係る光学 子の 、 原盤に ジス ト層を形 成する ジス ト 程、 置を用 て ジス ト層に スアイ タ の 像を形成する 光工程、 潜像が形成された ジス 層を現像する現像 程、 プラズ チ グを用 て スタを製 作する ッチ グ 程、 紫外線 によ り複製 を製作する複製 とを備える。

( 置の ) まず、 2図を参照して、 スアイ タ の 光工程に用 る 置の 成に て説明する。 この

光学ディスク 置を として構成されて る。

ザ 2 は、 記録 体としての 2の 面に着 された ジス を するための であり、 例えば 266 の ザ 5を発振するものである。 ザ 2 ら された ザ 5は、 平行ビ ム まま直進し、 電気光学 ( O E ec o ca od a o ) 22 する。 気光学 22を 過した ザ 5は、 ラ 23で反射され、 変調 学系25に導 れる。

ラ 2 は、 偏光ビ ムスプ ッタで構成されており、 一方の 分を反射し 方の 分を 過する機能をも 。 ラ 23を 過 した偏光 ォトダイオ ド24で され、 その 信号に基 て電気光学 22が制御されて ザ 5の 相変調が行われ 。

学系 25にお て、 ザ 5は、 集光 ンズ26によ り ガラス (S O ) など らなる音響 ( O cous p c odu a o ) 27に集光される。 ザ 5は、 音響 2 7 によ り強度変調され 散した後、 ンズ28によ て平行ビ ム され 。 学系 2 5 ら された ザ 5は、 ラ 3 によ て反射され、 移動 テ ブ 32 水平 行に導かれる。

テ 32は、 ビ ム キス ダ3 3、 および対物 ズ34を備えて る。 テ ブ 3 2に導 れた ザ 5 は、 ビ ム キス ダ 33によ り所望のビ ム 状に整形 れた後、 ンズ34を介して、 原盤 2上の ジス 射される。

2は、 スピ ド モ タ 35に接続 れたタ ンテ ブ 3 6の上に されて る。 そして、 原盤 2を回転させると と もに、 ザ 5を原盤 2の 向に移動させながら、 ジス ト ザ 5を間欠的に照射するこ によ り、 ジス ト層の露光工程が行われる 形成された 、 例えば、 円周 向に長軸を有する 形になる。

ザ 5の 、 移動 テ 32の R 向 の 動 によ て行われる。

、 8 Bに示した六方 子または 子の2 タ に対応する潜像を ジス ト層に形成するための 御機構3 7を備 えて る。 御機構3 7は、 オ ッタ 29 ドライ 3０とを備え 。 オ ッタ 29は、 極性反転部を備え、 この 性反転部が、 ジ ス ト層に対する ザ 5の タイ グを制御する。 ドライ 3０は、 極性反転部の 力を受けて、 音響 2 7を制御する。 この 置では、 2 タ が空間的に クする よ に トラック毎に極性反転 オ ッタ 号 記録 置の

を同期させ 号を発生し、 音響 2 7により強度変調し て る。 速度一定 (C V) で 切な回転 切な変調 波数と 切な ピッチで タ グすることによ り 、 六方 子または

タ を記録するこ ができる。

下、 本 明の 態に係る光学 子の 法の 程に て 明する。

( ジス ト )

まず、 3 に示すよ に、 円柱状の 2を準備する。 この 2は、 例えばガラス 盤である。 次に、 3 に示すよ に 原盤 2 面に ジス ト 4を形成する。 ジス ト 4の 料と しては、 例えば ジス ト、 および ジス の ずれを用 てもよ 。 ジス ト しては、 例えば ラック系 ジス ジス トを用 ることができる。 また、 無機 ジス トとして は、 例えば、 または2 以上の遷 属 らなる金属 化物を用 るこ ができる。

( 光工程)

次に、 3 Cに示すよ に、 上述した 置を用 て、 原盤 2を回転させると共に、 ザ ( ビ ム) 5を ジス ト 4に照射する。 このとき、 ザ 5を原盤 2の 向に移動させながら、 ザ 5を間欠的に照射することで、 ジス ト 4を全面にわた て する。 これによ り 、 ザ 5 の 跡に応じた 6が、 可視 波長と同 度のピッチで ジス ト 4の 面にわた て 成される。

( )

次に、 原盤 2を回転さ ながら、 ジス ト 4 に現像液を して、 4 に示すよ に、 ジス 4を現像 理する。

するよ に、 ジス ト 4をポジ型の ジス トによ り 成した場合に は、 ザ 5で した 、 と比較して現像液に 対する 度が増すので、 潜像 ( ) 6に応じた タ ンが ジス ト 4に形成される。

( ッチ グ )

次に、 原盤 2の上に形成された ジス 4の タ ン ( ジス ト タ ) を スク として、 原盤 2の 面を ッチ グ 理する。 これによ り、 4 Bに示すよ に、 トラックの 方向に長軸 向 をも 錐形状または 形状の 部、 すなわち 3を 得るこ ができる。 ッチ グ 、 例えばドライ ッチングによ 行われる。 このとき、 ッチ グ 理 グ 理を交互に行 ことによ り、 例えば、 体代の 3の タ を形成するこ ができると と もに、 ジス ト 4の 3 以上の深 ( 3 上) のガラス スタ を作製でき、 3の アスペク ト を図るこ とができる。 上によ り 、 六方 タ または タ を有する スタ が得られる。

( )

次に、 スタ 外線 脂を塗布したアク ト などを密着させ、 紫外線を照射し 化さ ながら 離する。 これにより

4 Cに示すよ に、 目的とする光学 が作製される。

この 態によれば、 可視 の 長以下の ピッチで周期 的に繰り返され、 、 複数列のトラックをなす に、 3を 表面に形成する と もに、 3の きさよ り も小さ

4を 表面に形成して るので、 生産性が高 、 優れた反射 性を有する光学 を実現できる。

( 2) 2の

(2 子の

5 は、 明の 2の 態に係る光学 子の 成の 例 を示す 面図である。 5 は、 5 に示した光学 子 の 部を拡大して表す 面図である。 5 Cは、 5 のトラ 、 3、 ・ ・ ・における 面図である。 5 は、 5 のトラック 2 4、 ・ ・ ・における 面図である。

2の 態に係る光学 子 は、 トラック が 弧状の 状を有 し、 3が 弧状に配置されて る。 5 に示すよ に、 隣接する 3列のトラック ( ～ 3) 間にお て a ～a 7の に 主 3の 心が 置する タ を形成するよ に

3が配置されて る。 ここで、 タ ン は、 正六方 タ は異なり、 トラック の 弧状に沿 て んだ タ ンを意味する。 ある は、 正六方 タ とは異なり、 トラッ ク の 弧状に沿 て 、 、 トラックの 方向 (X ) に引 き伸ば れ んだ タ を意味する。

述した以外の の 、 の 態と同様であるの で説明を する。

(2 2) ディスク スタの

6図は、 上述の 成を有する光学 子を作製するためのディスク スタの 成の 例を示す。 6図に示すよ に、 ディスク スタ 4 は、 円盤 の 42の 面に である 43が可視 の と同 度のピッチで多数 置 れた構成を有して る。 42 は、 例えば、 同心 またはス イラ 状のトラック上に配置されて る。

述した以外のディスク スタ 4 の 、 態の スタ 同様であるので説明を する。

(2 3) 子の 法

第 7図は、 上述の 成を有するディスク スタを作製するための 置の 成の 例を示す 略図である。

テ 32は、 ビ ム キス ダ3 3、 ラ 3 8およ び対物 34を備えて る。 テ 32に導 れた

3は、 ビ ム キス ダ3 3によ り所望 ビ ム 状に整形 された後、 ラ 3 および対物 ズ34を介して、 円盤 の 4 2 ジス ト 射される。 42は、 スピ ド タ 3 5に 接続されたタ テ ( ) の上に載 されて る。 そして、 原盤42を回転させると と もに、 ザ 5を原盤42の 転半径 向に移動させながら、 原盤42 の ジス ト ザ 光を間欠的 に照射するこ によ り、 ジス ト層の露光工程が行われる。 成された 、 円周 向に長軸を有する 形になる。 ザ 5 、 移動 テ 32の R 向 の 動によ て行われる。

1 7図に示した 置にお ては、 ジス ト層に対して 6図 に示した六方 子または 子の 2 タ ン らなる潜像を形 するための 御機構3 7を備えて る。 御機構3 7は、 ジス ト層 に対する ザ 5の タイ グを制御する 性反転部と、 こ の 性反転部の 力を受けて、 27を制御するドライ 3０を備 えて る。

御機構3 7は、 潜像の2 タ が空間的に クするよ に 。 トラック毎に、 O 27による ザ 5の 度変調と、 ド タ 35の 転速度と、 移動 テ ブ 32の 度 をそれぞれ さ る。 42は、 角速度一定 (C ) で回転 御される。 そして、 スピ ド タ 3 5による原盤42の 切な回転 、 O 27による ザ 度の 切な 波数 調と、 移動 テ ブ 3 2による ザ 5の 切な ピッチ で タ グを行 。 これによ り、 ジス 層に対して六方 タ ン、 または タ の 像が形成される。

えば、 円周 向の ピッチP を 3 3０ 、 円周 6 ( 。 ) の ピッチP 2を 3００ にするには、 ピッチは25 にすればよ 。 なお、 P を 3 5 P 2を 2 7 5 にするには、 送り ピッチは226 にすればよ 。 また、 P を 3 ０ P 2を 2 6 5 にするには、 送り ピッチは 2

にすればよ 。

更に、 極性反転部の 号を、 空間 波数 ( 像の タ 度で あり P 33０ P 2 3００ または P 3 5

P 2 2 7 5 、 または P 3００ P 2 26 5 ) 様になるよ に に変化さ る。 より具体的には、 ジス ト層に対 する ザ 5の 期を トラック毎に変化させながら 光を 行 、 トラック にお てP がほぼ3 3０ (ある は3 5 、 3００ ) となるよ に制御機構3 7にお て ザ 5の 波数 調を行 。 、 トラック 置が の 42の 心 ら 遠ざ るに 、 ザ 光の照 期が短 なるよ に変調 御する これによ り、 面にお て空間 波数が一様な タ を形成 することが可能となる。

述した以外の 子 、 の 態と同様である で説明を する。

この 2の 態によれば、 直線状に主 3を配列した場合と 同様に、 透過 および に優れた光学 を得ることができる。 (3 ) 3の

8 は、 明の 3の 態に係る光学 子の 成の を示す 面図である。 8 は、 8 に示した光学 子 部を拡大して表す 面図である。 8 Cは、 8 のトラ ック 3、 ・ ・ ・における 面図である。 8 は、 8 Bの ラック 2 4、 ・ ・ ・における 面図である。

3の 態に係る光学 は、 3が、 隣接する 3列の トラック間にお て四方 タ または タ をなし て る点にお て、 の 態のものとは異な て る。 ここで、 タ ン は、 タ 異なり、 トラックの 方向 (X ) に引き伸ばされ んだ四方 タ を意味する。

3が四方 タ または タ ンに周期的に配 れて る場合には、 例えば、 3が4 となる方位で 接する。 また、 四方 子をよ り引き伸ばし ま ることによ り、 同一 ラックの に対しても隣接 せることが可能 なり、 4 なる方位に加えて同一 ラック 向の2 所でも隣接した 度の 配置がなされる。 この 合、 隣接 4が設けられ、 こ 4によ り 3間が接続されることが好まし 。

接する 2 のトラック 間にお て、 一方のトラック ( えば ) に配 された 3の ( ピッチずれた位置) に、 他方 のトラック ( えば 2) の 3が配置されて る。 その 果、 第 8 に示すよ に、 隣接する 3列のトラック ( ～ 3) 間に お て a ～a 4の に構造 3の 心が 置する四方 タ または タ を形成するよ に 3が配置されて る。

3 さまたは深さは特に限定されず、 例えば、 5 g ～3 2 度である。 トラック に対して 6 向のピッチP 2は、 例えば、 27 5 ～2 9 7 度である。 3の スペク ト ( ピッチP) は、 例えば、 ・ 54～ ・ 3 度であ る。 更に、 3の スペク ト比は全て同一である場合に限らず、

3が一定の 布をも よ に構成されて てもよ 。

ラック内における 3の ピッチP は、 隣接する 2 のトラック間における 3の ピッチP 2よ り も長 ことが まし 。 また、 同一トラック内における 3の ピッチをP 、 隣接する 2 のトラック間における 3の ピッチをP 2 とした き、 比率P P 2が、 ・ 4 P P 2 ・ 5の 係を 満たすことが好まし 。 このよ 数値 囲にすることで、 また は 形状を有する構造 の を向上することができるので、 性を向上することができる。

この 3の 態では、 上述の 態と同様に、 透過 よび に優れた光学 得ることができる。

(4) 4の

g は、 明の 4の 態に係る光学 子の 成の 例 を示す 面図である。 g は、 g に示した光学 の 部を拡大して表す 面図である。 g Cは、 g のトラ 、 3、 ・ ・ ・における 面図である。 g は、 9 の ラック 2 4、 ・ ・ ・における 面図である。

4の 態に係る光学 は、 2の 3が形成され た 上に、 折率 5が形成されて る点にお て、 の とは異な て る。 折率 5は、 2、 3、 および

4を構成する材料より低 折率を有する材料を主成分として る この 折率 4の 料としては、 従来の の 、 例えば ッ の 脂、 または無機 の 折率 料、 例えば 用 るこ ができる。

この 4の 態では、 上述の 態に比 て反射 をさ らに低減することができる。

(5) 5の

2０ は、 明の 5の 態に係る光学 子の 成の 例 を示す 面図である。 2０ は、 2０ に示した光学 の 部を拡大して表す 面図である。 2０ Cは、 2０ のトラ 、 3、 ・ ・ ・における 面図である。 2０ は、 2０ Bの ラック 2 4、 ・ ・ ・における 面図である。

5の 態に係る光学 は、 3および 4 面に微細 6を設けて る点にお て、 の 態とは な て る。 が空隙 2 aを有する場合には、 空隙 2 aに も微細 6を設けることが好まし 。 この 5の 態では、 上述の 態に比 て反射 をさ らに低減することができる。 下、 実施 によ り 明を具体的に説明するが、 はこれらの みに限定されるものではな 。

( )

まず、 6 のガラス 盤を準備し、 このガラス 盤 の 面に以下のよ にして ジス トを した。 すなわち、 ナ で ジス トを に希釈し、 この ジス トをディッ に ガラス 盤の 上に厚さ 3 度に 布することに より 、 ジス トを した。 次に、 記録 体としてのガラス 盤を、 2図に示した 置に搬送し、 ジス トを するこ によ り、 の に連なると と もに、 隣接する 3列のトラック間に お て タ をなす 像が ジス トに タ グされた 体的には、 タ が形成される き 域に対して、 前 記ガラス まで する ワ 0 5０ W の ザ 光を照射し 状の タ を形成した。 なお、 トラック 列の列 向の ジス は 2０ 度、 トラックの 方向の ジス ト さは ０ 度であ た。

次に、 ガラス 盤上の ジス トに現像 理を施して、 露光した 部分 ジス トを 解 て現像を行 た。 体的には、 しな 現 像機のタ テ ブ 上に 像のガラス 盤を載 、 タ テ ごと回転させ ガラス 盤の 面に現像液を して その 面の ジス トを現像した。 これにより 、 ジス 層が準

タ に開口して る ジス トガラス 盤が得られた。

次に、 プラズ チ グを用 、 C ガス 囲気中での プラズ ッチ グを行 た。 これによ り、 ガラス 盤の 面に お て、 ジス ト層 ら 出して る タ の 分のみ ッチングが進行し、 その他の領 ジス トが スク となり ッ チ グはされず、 錐形状の が得られた。 このときの タ で の ッチ グ ( ) は ッチ グ 間によ て変化さ た。 後に アッ グにより 全に ジス トを除去することによ り、 状の タ の スアイガラス スタが得られた。 向における の さは、 トラックの 方向における の さよ り た。

次に、 上記 スアイガラス スタ 外線 脂を塗布した アク トを密着させ、 紫外線を照射し 化さ ながら 離するこ とによ り 、 光学 子を作製した。

( 状の )

のよ に作製した光学 子に て、 走査 子顕微鏡 S cann ng E ec on c oscope) によ り観察を行な た。 その 果を 第2 図に示す。 2 図 ら、 トラック 向における

によ て 続 れて るこ がわ る。

( 2)

トラック毎に極性反転 ッタ 号の 波数と、

、 適切な ピッチ 、 露光スポッ ト を調整することで、 ジス ト層を タ グすることによ り 、 四方 タ を ジス 層に 記録した。 これ以外のこ は、 実施 同様にして 子を作製し た。

( 3) ツク毎に極性反転 オ ツタ 号の 波数と、 の 、 適切な ピッチ 、 露光スポットとを調整することで、 ジス 層を タ ングすることによ り、 タ を ジス ト層 に記録した。 これ以外のことは、 実施 同様にして 子を作製 した。

( 4)

トラック毎に極性反転 ッタ 号の 波数と、 の 、 適切な ピッチ 、 露光スポット とを調整するこ で、 ジス ト層を実施 に して小さな開口で タ グ 、 ッチ グ ア ッ ングの 件を調整することによ り、 タ を ジス ト 層に記録した。 これ以外のことは、 実施 同様にして 子を作 した。

( 5)

トラック毎に極性反転 ッタ 号の 波数 、 の 、 適切な ピッチ 、 露光スポット とを調整するこ で、 ジス ト層を実施 に して小さな開口で タ グ 、 ッチ グ

グの 件を調整することによ り、 タ を ジス ト 層に記録した。 これ以外のことは、 実施 同様にして 子を作 製した。

( 6)

トラック毎に極性反転 ッタ 号の 波数 、 の 、 適切な ピッチ 、 露光スポッ トとを調整することで、 ジス ト層を タ グすることによ り 、 タ を ジス ト層 に記録した。 これ以外のことは、 実施 同様にして原盤を作製した ( 状の )

のよ にして作製した実施 ～5の 子、 および実施 6 の 盤の 凸面 ( 形成 ) を、 原子 微鏡 ( om c Fo ce c oscope) 、 および 子顕微鏡 (S cann ng E ec on c oscope) によ り観察を行 た。 そして、 の プ ァイ ら の の 、 およびピッチを求めた。 その 果を表 示す。

( )

22図は、 実施 3の 子の 性を示すグラフである。 22図 ら、 可視 にお て ・ ０ 下、 特に中心 にお て は0・ 下の 性能な反射 果が得られるこ がわ る。

23図 ら、 4 となる方位で 接し、 これらの てお て構造 士が接続されて ることがわ る。

24 、 24 ら、 の には、 の 部 ら に向 方向に細長 びる突出 ( ) が形成されて ることがわ る。 また、 の には微細な穴 mr ) が形成されて ることがわ る。 すなわち、 光学 子の (

) 体に が形成されて ることがわ る。

25図 ら、 の 部 ら に向 向に細長 びる 突出 (S ) などが、 光学 子の 体に形成されて ること がわ る。 なお、 として、 突出 ( ) に代えて、 を形 成するよ にしてもよ 。

2 6図 ら、 原盤の 面に準 子状に構造 ( ) が形成さ れ、 それらの さに異方性があることがわ る。

次に RCW ( go o s Co p ed ave na ys s) ョ によ り の さと反射 との 係につ て検討した。

( )

の トラックピッチP に対して 8 5 9 、 9 5 9 9 きさにして、 RCW ョ を行 た。 そ の 果を第2 7図に示す。

下に、 シ ョ の 件を示す。

形状

:

折率 48 トラックピッチ 32０

の 36 5

スペク ト

の

2 7図 ら、 の の きさが変わり 、 充填 が下がる 、 反射 が悪化するこ がわ る。

( 2)

トラック 向の 、 アスペク ト 0・ 3の であ る を設ける以外は、 試験 同様にして、 RCW

ョ を行 た。 その 果を第28図に示す。

28図 ら、 トラック 向の に低 で作成した がある場合、 充填 が下が ても、 反射 を低 抑えることがで きることがわ る。

( 3)

トラック 向の 、 の さの 4に相当する を設け、 の の を同じ 合で存在さ 、 それぞれ の さで 果と、 深さ 布を持た た場合の ( e・ ) をあわ せて、 グラ としたものを 2 9図に示す。

形状 折率 48

トラックピッチ : 32０

の トラックピッチP の 9

スペク ト ０ 93、 ・ ００、 ・ 4、 ・ 3０ 、 0 27０ 32０ 0 38 5 0 は )

の 2 9図 ら、 トラック 向の に低 である を設け、 に高さ 布を持たせると、 波長 の な 性が得られることがわ る。

( 4)

の 間的 波数の 数を、 、 2・ 3 、 4・ 8 として、 RCW ョ を行 た。 その 果を第3０図に 示す。

下に、 ョ の 件を示す。

形状 : 折率 5０

トラックピッチ 32０

の 365

スペク ト 4

の 子

第3０図 ら、 の 数を増やすと、 波長 が少な 、 が無 場合 比較して、 反射 の 光学 性が得られることが わ る。

( 5)

を六方 子状の 造とし、 を接合さ な 場合と 底 士を重ね合わ て 合さ た場合 のRCW ョ ン を行 た。 その 果を第3 図に示す。

下に、 ショ の 件を示す。

形状 折率 5０ トラックピッチ 32０

の 365

スペク ト 4

の

3 図 ら、 を六方 子状の 造 し、 を接合 させな 場合と、 重ね合わ て 合さ た場合とにお て、 接合さ た場合に良好な反射 性が得られることがわ る。

上、 この 明の および実施 に て具体的に説明したが この 、 上述の および実施 に限定されるものではな 、 この 明 術的 想に基 各種の 形が可能である。

えば、 上述の および実施 にお て げた数値、 形状およ び 料などはあ までも例に過ぎず、 必要に応じてこれと異なる数値、 形状および 料などを用 てもよ 。

Claims

求 の

・ 、

上記 表面に形成された、 または である および を備え、

上記 、 上記 表面にお て複数列のトラックをなすと もに、 可視 の 長以下の ピッチで周期的に繰り返し 列され、 上記 、 上記 の きさよ り も小さ 光学 。

2・ 、 上記 に設けられて る 求の 載の 。

3・ 、 六方 子状、 または 子状に周期的に配置 され、

上記 6 称、 またはほぼ6 となる方位で 接し 接する部分に上記 が設けられ、 により上記 が接続されて る 求の 2 載の 。

4・ 、 四方 子状、 または 子状に周期的に配置 され、

上記 4 称、 またはほぼ4 となる方位で 接し 接する部分に上記 が設けられ、 によ 上記 が接続されて る 求の 2 載の 。

5・ 、 上記 の 列の に形成されて る 求の 載の 。

6 ・ 、 上記 の 面に形成されて る 求の 載の 。

7・ の 返し 列の 波数 分が、 上記 の 列の周波数 分よ り高 求の 載の 。

8・ の 返し 列の 波数 分が、 上記 の 列の 波数に対して、 2 以上である 求の 7 載の 。 9・ の 返し 列の 波数 分が、 上記 の 列の周波数に対して、 4 以上である 求の 8 E載の光 。

０・ の 返し の 波数 分が、 上記 の 列の 波数に対して 数次の 調波となる は異なる 求の 7 載の 。

・ の 上部における平均 折率プ ァイ ( z ) の 化が、 上記 の 状が放物 の 化と 錐曲面 の 化との 間の値をとる 求の 載の 。

2・ の さが 上 5０ 下の 囲内であ る 求の 載の 。

3・ 、 上記 および上記 よ り 折率の 料を主成分とする 求の 載 。

4・ と上記 の の 係が、 さ まに な て る 求の 載の 。

5・ 、 上記 の 面にて細長 びる また は である 求の 載の 。

または 、 上記 の 部 ら に向 向に延びて る 求の 5 載の 。

7・ 、 上記 の に形成された である 求の 載の 。

8・ 、 錐形状、 または 形状であり、 の 、 上記トラックの 方向が長軸 向となる 形状である 求の E載の光 。 9・ 、

上記 表面に形成された、 または である構造 と を備え、

上記 、 上記 表面にお て複数列のトラックをなす も に、 可視 の 長以下の ピッチで周期的に繰り返し 列され、 隣接する上記 の 士が重ね合わされて る光学 。 2０・ ～ 9の ずれ 項に記載の 子を備える表示